KR102570161B1 - Thermosetting resin composition, thermosetting resin film, printed wiring board and semiconductor device - Google Patents

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Abstract

종래의 할로겐계 난연제를 사용하지 않고, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높고, 접착력이 높은 절연성 필름을 형성할 수 있는 열경화성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. (A) 방향족 축합 인산에스테르와, (B) 멜라민시아누레이트와, (C) 주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 2.9 이하인 수지를 포함하고, (C) 성분 100질량부에 대한 (A) 성분과 (B) 성분의 합계가 45질량부 이상이며, (A) 성분이 (B) 성분보다 많은 것을 특징으로 하는 열경화성 수지 조성물이다. 주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 3.0 이하인 열경화성 수지 조성물이면 바람직하다.It is an object of the present invention to provide a thermosetting resin composition capable of forming an insulating film having excellent dielectric properties, high flame retardancy, and high adhesion without using a conventional halogen-based flame retardant. (A) an aromatic condensed phosphate ester, (B) melamine cyanurate, and (C) a resin having a relative permittivity of 2.9 or less at a frequency of 1.9 GHz, and (A) component with respect to 100 parts by mass of (C) component The total amount of component (B) is 45 parts by mass or more, and component (A) is a thermosetting resin composition characterized by more than component (B). A thermosetting resin composition having a relative dielectric constant of 3.0 or less at a frequency of 1.9 GHz is preferable.

Description

열경화성 수지 조성물, 열경화성 수지 필름, 프린트 배선판 및 반도체 장치Thermosetting resin composition, thermosetting resin film, printed wiring board and semiconductor device

본 발명은 열경화성 수지 조성물, 열경화성 수지 필름, 프린트 배선판 및 반도체 장치에 관한 것이다. 특히, 난연성의 열경화성 수지 조성물, 열경화성 수지 필름, 프린트 배선판 및 반도체 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a thermosetting resin composition, a thermosetting resin film, a printed wiring board and a semiconductor device. In particular, it relates to a flame retardant thermosetting resin composition, a thermosetting resin film, a printed wiring board, and a semiconductor device.

근래 반도체 분야에 있어서, 전송 신호의 고주파화가 진행되고 있다. 이 전송 신호의 고주파화에 대응 가능한 저유전율 접착 필름에 대해, 난연성이 요구되는 용도가 있다.Recently, in the field of semiconductors, high-frequency transmission signals are being promoted. There are applications in which flame retardance is required for a low dielectric constant adhesive film capable of responding to high frequency transmission signals.

고주파에 대응 가능한 재료로는 열경화성 폴리페닐렌에테르(PPE) 등이, 난연성의 재료로는 할로겐계 난연제, 인계 난연제, 질소계 난연제 등이 알려져 있다. 종래, 사용되고 있는 할로겐계 난연제는 환경 문제의 관점에서 할로겐 프리의 요구가 강하고, 인계 난연제, 질소계 난연제 등의 사용이 검토되고 있다.Thermosetting polyphenylene ether (PPE) and the like are known as materials capable of responding to high frequencies, and halogen-based flame retardants, phosphorus-based flame retardants, nitrogen-based flame retardants and the like are known as flame retardant materials. Conventionally used halogen-based flame retardants have a strong demand for halogen-free from the viewpoint of environmental problems, and use of phosphorus-based flame retardants, nitrogen-based flame retardants, and the like has been studied.

우선, 폴리페닐렌에테르를 소정량, 열가소성 엘라스토머를 소정량, 및 폴리올레핀 수지를 소정량 함유하는 수지 성분과, 수지 성분 100질량부에 대해 인계 난연제 및 질소계 난연제 중 한쪽 또는 양쪽 모두를 5∼100질량부 함유하는 난연성 수지 시트, 및 이를 사용한 플랫 케이블이 보고되고 있다(특허문헌 1).First, a resin component containing a predetermined amount of polyphenylene ether, a predetermined amount of thermoplastic elastomer, and a predetermined amount of polyolefin resin, and 5 to 100% of one or both of a phosphorus-based flame retardant and a nitrogen-based flame retardant with respect to 100 parts by mass of the resin component. A flame retardant resin sheet containing parts by mass and a flat cable using the same have been reported (Patent Document 1).

그러나, 상기 난연성 수지 시트는 플랫 케이블에 대한 사용을 전제로 하고 있기 때문에, 프린트 배선판 용도로는 난연성이 충분하지 않을 우려가 있다.However, since the said flame retardant resin sheet is premised on use for a flat cable, there exists a possibility that flame retardance may not be enough for a printed wiring board use.

다음으로, 분자 내에 폴리페닐렌에테르 골격을 갖는 2관능성 페닐렌에테르 올리고머의 말단을 비닐화한 소정의 비닐 화합물과, 분자 내에 말레이미드기를 2개 이상 갖는 소정의 비스말레이미드 화합물을 함유하는 경화성 수지 조성물이 보고되고 있다(특허문헌 2). 이 경화성 수지 조성물에는 인계 난연제가 사용되고 있다.Next, a curable resin containing a predetermined vinyl compound obtained by vinylating the terminal of a bifunctional phenylene ether oligomer having a polyphenylene ether skeleton in the molecule and a predetermined bismaleimide compound having two or more maleimide groups in the molecule A composition has been reported (Patent Document 2). A phosphorus-based flame retardant is used in this curable resin composition.

그러나, 상기 경화성 수지 조성물에 사용되고 있는 비스말레이미드 화합물은 내열성이 우수하지만, 상기 경화성 수지 조성물에 의해 제작되는 필름은 강직해져, 필름 성형성이 나쁘고, 필름의 접착력이 낮다는 문제가 있다.However, although the bismaleimide compound used in the curable resin composition has excellent heat resistance, there are problems in that a film produced from the curable resin composition becomes rigid, poor film formability, and low adhesive strength.

국제 공개 제2011/043129호International Publication No. 2011/043129 일본 공개특허공보 2009-161725호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-161725

본 발명은 종래의 할로겐계 난연제를 사용하지 않고, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높고, 접착력이 높은 절연성 필름을 형성할 수 있는 열경화성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a thermosetting resin composition capable of forming an insulating film having excellent dielectric properties, high flame retardancy, and high adhesion without using a conventional halogen-based flame retardant.

본 발명은 이하의 구성을 가짐으로써, 상기 문제를 해결한 열경화성 수지 조성물, 열경화성 수지 필름, 프린트 배선판 및 반도체 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a thermosetting resin composition, a thermosetting resin film, a printed wiring board, and a semiconductor device that have solved the above problems by having the following structures.

[1] (A) 방향족 축합 인산에스테르와, (B) 멜라민시아누레이트와, (C) 주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 2.9 이하인 수지를 포함하고, (C) 성분 100질량부에 대한 (A) 성분과 (B) 성분의 합계가 45질량부 이상이며, (A) 성분이 (B) 성분보다 많은 것을 특징으로 하는 열경화성 수지 조성물.[1] (A) an aromatic condensed phosphate ester, (B) melamine cyanurate, and (C) a resin having a relative dielectric constant of 2.9 or less at a frequency of 1.9 GHz, with respect to 100 parts by mass of component (C) (A) ) component and (B) component are 45 parts by mass or more in total, and (A) component is more than (B) component, the thermosetting resin composition characterized by the above-mentioned.

[2] 주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 3.0 이하인 상기 [1]에 기재된 열경화성 수지 조성물.[2] The thermosetting resin composition according to [1] above, wherein the dielectric constant at a frequency of 1.9 GHz is 3.0 or less.

[3] (A) 성분이 비스디자일레닐포스페이트인 상기 [1] 또는 [2]에 기재된 열경화성 수지 조성물.[3] The thermosetting resin composition according to [1] or [2] above, wherein the component (A) is bisdisylenylphosphate.

[4] 상기 [1]∼[3] 중 어느 하나에 기재된 열경화성 수지 조성물을 사용하는 열경화성 수지 필름.[4] A thermosetting resin film using the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [3] above.

[5] 상기 [1]∼[3] 중 어느 하나에 기재된 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 [4]에 기재된 열경화성 수지 필름의 경화물을 사용하는 프린트 배선판.[5] A printed wiring board using a cured product of the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [3] above or a cured product of the thermosetting resin film according to [4] above.

[6] 상기 [1]∼[3] 중 어느 하나에 기재된 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 [4]에 기재된 열경화성 수지 필름의 경화물을 사용하는 반도체 장치.[6] A semiconductor device using a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [3] above or a cured product of the thermosetting resin film according to [4] above.

본 발명 [1]에 의하면, 할로겐계 난연제를 사용하지 않고, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높고, 접착력이 높은 절연성 필름을 형성 가능한 열경화성 수지 조성물을 제공할 수 있다.According to the present invention [1], it is possible to provide a thermosetting resin composition capable of forming an insulating film having excellent dielectric properties, high flame retardancy, and high adhesive strength without using a halogen-based flame retardant.

본 발명 [4]에 의하면, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높고, 접착력이 높은 열경화성 수지 조성물에 의해 형성된 절연성 필름을 제공할 수 있다.According to the present invention [4], it is possible to provide an insulating film formed of a thermosetting resin composition having excellent dielectric properties, high flame retardancy, and high adhesive strength.

본 발명 [5]에 의하면, 상기 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 열경화성 수지 필름의 경화물에 의해, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높은 프린트 배선판을 제공할 수 있다. According to the present invention [5], a printed wiring board having excellent dielectric properties and high flame retardancy can be provided by a cured product of the thermosetting resin composition or a cured product of the thermosetting resin film.

본 발명 [6]에 의하면, 상기 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 열경화성 수지 필름의 경화물에 의해, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높기 때문에, 고주파 용도에 적합한 반도체 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention [6], since the cured product of the thermosetting resin composition or the cured product of the thermosetting resin film has excellent dielectric properties and high flame retardancy, a semiconductor device suitable for high-frequency applications can be provided.

[열경화성 수지 조성물][Thermosetting resin composition]

본 발명의 열경화성 수지 조성물은 (A) 방향족 축합 인산에스테르와, (B) 멜라민시아누레이트와, (C) 주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 2.9 이하인 수지를 포함하고, (C) 성분 100질량부에 대한 (A) 성분과 (B) 성분의 합계가 45질량부 이상이며, (A) 성분이 (B) 성분보다 많다. 여기서, (A) 성분 및 (B) 성분은 난연제로서 첨가한다. (A) 성분 및 (B) 성분은 유전 특성을 악화시키기 어렵다. 본 발명의 열경화성 수지 조성물은 (A) 성분과 (B) 성분을 병용함으로써, (A) 성분 또는 (B) 성분을 각각 단독으로 사용하는 경우와 비교하여, 미국 UL 규격의 수직 연소 시험의 UL94의 VTM-0 상당의 난연성을 만족시키기 위한 난연제의 첨가량을 감소시킬 수 있다. 난연제는 수지 조성물의 난연성 이외의 물성을 저하시키기(예를 들면, 접착성이나 경화막 강도를 저하시키기) 때문에, 첨가량이 적은 것이 바람직하다.The thermosetting resin composition of the present invention contains (A) an aromatic condensed phosphate ester, (B) melamine cyanurate, and (C) a resin having a relative permittivity of 2.9 or less at a frequency of 1.9 GHz, and 100 parts by mass of component (C) The total of component (A) and component (B) is 45 parts by mass or more, and component (A) is more than component (B). Here, (A) component and (B) component are added as a flame retardant. Component (A) and component (B) are difficult to deteriorate dielectric properties. The thermosetting resin composition of the present invention, by using component (A) and component (B) in combination, compared to the case of using component (A) or component (B) alone, respectively, UL94 of the vertical burning test of the US UL standard The addition amount of the flame retardant to satisfy flame retardancy equivalent to VTM-0 can be reduced. Since the flame retardant lowers physical properties other than flame retardancy of the resin composition (for example, lowers adhesiveness or cured film strength), it is preferable that the addition amount is small.

(A) 성분인 방향족 축합 인산에스테르는 열경화성 수지 조성물에 난연성을 부여한다. 방향족 축합 인산에스테르로는 비스디자일레닐포스페이트가 바람직하고, 구체적으로는 화학식 (1)로 나타내는 레조르시놀비스-디자일레닐포스페이트:The aromatic condensed phosphoric acid ester as component (A) imparts flame retardancy to the thermosetting resin composition. As the aromatic condensed phosphoric acid ester, bisdixylenyl phosphate is preferable, specifically resorcinol bis-disylenyl phosphate represented by formula (1):

화학식 (2)로 나타내는 p-크레졸비스-디자일레닐포스페이트:p-cresolbis-disylenylphosphate represented by formula (2):

화학식 (3)으로 나타내는 비페놀비스-디자일레닐포스페이트:Biphenolbis-disylenylphosphate represented by formula (3):

화학식 (4)로 나타내는 레조르시놀비스-디페닐포스페이트:Resorcinolbis-diphenylphosphate represented by formula (4):

화학식 (5)로 나타내는 비스페놀 A 비스-디페닐포스페이트:Bisphenol A bis-diphenylphosphate represented by formula (5):

가 보다 바람직하다. 여기서, 레조르시놀비스-디자일레닐포스페이트는 상온 고형(분말상)으로, 수지에 용해되고, p-크레졸비스-디자일레닐포스페이트와 비페놀비스-디자일레닐포스페이트는 상온 고형(분말상)으로, 수지에 용해되지 않고, 레조르시놀비스-디페닐포스페이트와 비스페놀 A 비스-디페닐포스페이트는 액상이다. 분말상인 비스디자일레닐포스페이트를 사용함으로써, 액상인 다른 방향족 축합 인산에스테르와 비교하여, 열경화성 수지 필름 형성 후의 경시에 의한 블루밍의 발생을 줄일 수 있다.is more preferable. Here, resorcinol bis-disylenyl phosphate is solid (powder) at room temperature and dissolved in the resin, and p-cresol bis-disylenyl phosphate and biphenol bis-disylenyl phosphate are solid (powder) at room temperature, Insoluble in resin, resorcinol bis-diphenylphosphate and bisphenol A bis-diphenylphosphate are liquid. By using the powdery bisdisylenylphosphate, compared to other liquid aromatic condensed phosphoric acid esters, blooming due to lapse of time after formation of the thermosetting resin film can be reduced.

(B) 성분인 멜라민시아누레이트는 열경화성 수지 조성물에 난연성을 부여한다. 멜라민시아누레이트(C3H6N6·C3H3N3O3)는 화학식 (6):(B) Component melamine cyanurate imparts flame retardancy to the thermosetting resin composition. Melamine cyanurate (C 3 H 6 N 6 C 3 H 3 N 3 O 3 ) has formula (6):

으로 나타낸다.represented by

(C) 성분인 주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 2.9 이하인 수지는 열경화성 수지 조성물에 고주파 특성(즉, 저유전율), 내열성, 접착성을 부여한다. 여기서, 고주파 특성이란, 고주파 영역에서의 전송 손실을 작게 하는 성질을 말하고, (C) 성분은 비유전율(ε)이 2.9 이하이기 때문에, 고주파 특성이 매우 우수하다. (C) 성분은 (C1) 열경화성 수지와, (C2) 분자 중의 주쇄의 불포화 이중 결합이 수첨된 스티렌계 블록 코폴리머를 포함하면 바람직하다.Component (C), a resin having a relative dielectric constant of 2.9 or less at a frequency of 1.9 GHz, imparts high-frequency characteristics (ie, low dielectric constant), heat resistance, and adhesiveness to the thermosetting resin composition. Here, high-frequency characteristics refer to properties that reduce transmission loss in a high-frequency region, and component (C) has very excellent high-frequency characteristics because the dielectric constant (ε) is 2.9 or less. Component (C) preferably includes (C1) a thermosetting resin and (C2) a styrenic block copolymer in which unsaturated double bonds in the main chain of the molecule are hydrogenated.

(C1) 성분인 열경화성 수지는 열경화성 수지 조성물에 접착성, 고주파 특성, 내열성을 부여한다. (C1) 성분으로는, 말단에 스티렌기를 갖는 수지, 에폭시 수지가 바람직하고, 말단에 스티렌기를 갖는 수지가 보다 바람직하다.The thermosetting resin as component (C1) imparts adhesiveness, high-frequency characteristics, and heat resistance to the thermosetting resin composition. As the component (C1), a resin or an epoxy resin having a styrene group at the terminal is preferable, and a resin having a styrene group at the terminal is more preferable.

말단에 스티렌기를 갖는 수지로는 하기의 화학식 (7):The resin having a styrene group at the terminal includes the following formula (7):

(식 중, (In the expression,

R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7은 동일 또는 상이해도 되고, 수소 원자, 할로겐 원자, 알킬기, 할로겐화 알킬기 또는 페닐기이고, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and R 7 may be the same or different, and are a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group, a halogenated alkyl group, or a phenyl group;

-(O-X-O)-는 구조식 (8)로 나타내고, 여기서, R8, R9, R10, R14, R15는 동일 또는 상이해도 되고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R11, R12, R13은 동일 또는 상이해도 되고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, -(OXO)- is represented by structural formula (8), wherein R 8 , R 9 , R 10 , R 14 , and R 15 may be the same or different, and are a halogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, and R 11 , R 12 , R 13 may be the same or different, and are a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group;

-(Y-O)-는 구조식 (9)로 나타내는 1종류의 구조, 또는 구조식 (9)로 나타내는 2종류 이상의 구조가 랜덤으로 배열된 것이고, 여기서, R16, R17은 동일 또는 상이해도 되고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R18, R19는 동일 또는 상이해도 되고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, -(YO)- is one type of structure represented by Structural Formula (9), or two or more types of structures represented by Structural Formula (9) arranged randomly, wherein R 16 and R 17 may be the same or different, and halogen atom or an alkyl group or phenyl group having 6 or less carbon atoms, R 18 and R 19 may be the same or different, and are a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group or phenyl group having 6 or less carbon atoms;

Z는 탄소수 1 이상의 유기기이며, 경우에 따라 산소 원자, 질소 원자, 황 원자, 할로겐 원자를 포함하는 경우도 있고, Z is an organic group having 1 or more carbon atoms, and may contain an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, or a halogen atom in some cases;

a, b는 적어도 어느 한쪽이 0이 아닌, 0∼300의 정수를 나타내고, a and b represent integers from 0 to 300 in which at least either one is not 0;

c, d는 0 또는 1의 정수를 나타낸다)로 나타내는 비닐기가 결합된 페닐기를 양 말단에 갖는 열경화성 폴리페닐렌에테르의 올리고머체(이하, 변성 PPE라고 한다)가 바람직하다. (C1) 성분으로서 변성 PPE를 사용하는 경우에는, 고주파 특성이 우수한 것에 더해, 내열성이 우수하고, 경화 후의 열경화성 수지 조성물의 경시 변화가 생기기 어렵고, 이 열경화성 수지 조성물을 갖는 프린트 배선판, 반도체 장치의 장기 신뢰성을 유지할 수 있다. 또한, 수지 중의 친수기의 수가 적기 때문에 흡습성이나 내약품성이 우수하다는 특징이 있다. 이 변성 PPE는 일본 공개특허공보 2004-59644호에 기재된 바와 같다.(c and d represent an integer of 0 or 1) is preferably an oligomer of thermosetting polyphenylene ether having at both ends a phenyl group to which a vinyl group is bonded (hereinafter, referred to as modified PPE). In the case of using modified PPE as component (C1), in addition to being excellent in high-frequency characteristics, it is excellent in heat resistance, and the thermosetting resin composition after curing is less likely to change over time, and long-term of printed wiring boards and semiconductor devices having this thermosetting resin composition. reliability can be maintained. In addition, since the number of hydrophilic groups in the resin is small, it is characterized by excellent hygroscopicity and chemical resistance. This modified PPE is as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-59644.

화학식 (7)로 나타내는 변성 PPE의 -(O-X-O)-에 대한 구조식 (8)에 있어서, R8, R9, R10, R14, R15는 바람직하게는 탄소수 3 이하의 알킬기이고, R11, R12, R13은 바람직하게는 수소 원자 또는 탄소수 3 이하의 알킬기이다. 구체적으로는, 구조식 (10)을 들 수 있다.In structural formula (8) for -(OXO)- of modified PPE represented by formula (7), R 8 , R 9 , R 10 , R 14 , R 15 are preferably alkyl groups of 3 or less carbon atoms, and R 11 , R 12 , R 13 are preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 3 or less carbon atoms. Specifically, structural formula (10) is mentioned.

-(Y-O)-에 대한 구조식 (9)에 있어서, R16, R17은 바람직하게는 탄소수 3 이하의 알킬기이고, R18, R19는 바람직하게는 수소 원자 또는 탄소수 3 이하의 알킬기이다. 구체적으로는, 구조식 (11) 또는 (12)를 들 수 있다.In Structural Formula (9) for -(YO)-, R 16 and R 17 are preferably alkyl groups having 3 or less carbon atoms, and R 18 and R 19 are preferably hydrogen atoms or alkyl groups having 3 or less carbon atoms. Specifically, structural formula (11) or (12) is mentioned.

Z는 탄소수 3 이하의 알킬렌기를 들 수 있고, 구체적으로는 메틸렌기이다.Z includes an alkylene group having 3 or less carbon atoms, and is specifically a methylene group.

a, b는 적어도 어느 한쪽이 0이 아닌, 0∼300의 정수를 나타내고, 바람직하게는 0∼30의 정수를 나타낸다.a and b represent an integer of 0 to 300, at least either of which is not 0, preferably an integer of 0 to 30.

말단에 스티렌기를 갖는 수지는 평균 분자량 800∼3,500이면 바람직하고, 800∼3,000인 화학식 (7)의 변성 PPE가 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는 수평균 분자량 800∼2,500이다. 수평균 분자량은 겔 퍼미에이션 크로마토그래피법(GPC)에 의해, 표준 폴리스티렌에 의한 검량선을 이용한 값으로 한다.The resin having a styrene group at the terminal preferably has an average molecular weight of 800 to 3,500, more preferably a modified PPE of the formula (7) having an average molecular weight of 800 to 3,000. More preferably, it is a number average molecular weight of 800 to 2,500. The number average molecular weight is a value using a standard polystyrene calibration curve by gel permeation chromatography (GPC).

에폭시 수지는 액상 에폭시 수지여도 고형 에폭시 수지여도 된다. 에폭시 수지로는, 아미노페놀형 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 수첨 비스페놀형 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 알코올에테르형 에폭시 수지, 고리 형상 지방족형 에폭시 수지, 플루오렌형 에폭시 수지, 실록산계 에폭시 수지 등을 들 수 있고, 열경화성 수지 조성물의 유동성, 열경화성 수지 필름의 유연성의 관점에서, 액상 비스페놀 A형 에폭시 수지, 액상 비스페놀 F형 에폭시 수지, 액상 나프탈렌형 에폭시 수지, 액상 비페닐형 에폭시 수지가 바람직하다. 내열성, 내구성의 관점에서는 고형 에폭시 수지이면 바람직하다.The epoxy resin may be a liquid epoxy resin or a solid epoxy resin. As the epoxy resin, aminophenol type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, hydrogenated bisphenol type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, alcohol ether type epoxy resin , cyclic aliphatic epoxy resins, fluorene type epoxy resins, siloxane type epoxy resins, etc., from the viewpoint of the fluidity of the thermosetting resin composition and the flexibility of the thermosetting resin film, liquid bisphenol A type epoxy resin, liquid bisphenol F type Epoxy resins, liquid naphthalene type epoxy resins, and liquid biphenyl type epoxy resins are preferred. From the viewpoint of heat resistance and durability, it is preferable if it is a solid epoxy resin.

에폭시 수지의 시판품으로는, 비스페놀 A형 에폭시 수지(예: 다이소 제조 LX-01, 신닛테츠 화학 제조 YDF8170, 미츠비시 화학 제조 828, 828EL), 아미노페놀형 에폭시 수지(예: 미츠비시 화학 제조 JER630, JER630LSD), 비스페놀 F형 에폭시 수지(예: 신닛테츠 화학 제조 YDF870GS), 나프탈렌형 에폭시 수지(예: DIC 제조 HP4032D), 비페닐형 에폭시 수지(예: 닛폰 화약 제조 NC-3000-H), 실록산계 에폭시 수지(예: 신에츠 화학 제조 TSL9906) 등을 들 수 있다.Examples of commercially available epoxy resins include bisphenol A-type epoxy resins (e.g., LX-01 manufactured by Daiso, YDF8170 manufactured by Nippon-Stetsu Chemical, 828 and 828EL manufactured by Mitsubishi Chemical), aminophenol-type epoxy resins (eg, JER630 and JER630LSD manufactured by Mitsubishi Chemical). ), bisphenol F-type epoxy resin (e.g. YDF870GS manufactured by Shin-Nittetsu Chemical), naphthalene-type epoxy resin (e.g. HP4032D manufactured by DIC), biphenyl-type epoxy resin (e.g. NC-3000-H manufactured by Nippon Kayaku), siloxane-based epoxy Resin (for example, Shin-Etsu Chemical TSL9906) etc. are mentioned.

(C1) 성분은 단독으로도 2종 이상을 병용해도 된다.(C1) The component may be used alone or in combination of two or more.

(C2) 성분은 분자 중의 주쇄의 불포화 이중 결합이 수첨된 스티렌계 블록 코폴리머이고, 이 수첨 스티렌계 블록 코폴리머로는, 스티렌-에틸렌/부틸렌-스티렌 블록 공중합체(SEBS)나, 스티렌-(에틸렌-에틸렌/프로필렌)-스티렌 블록 공중합체(SEEPS), 스티렌-에틸렌/프로필렌-스티렌 블록 공중합체(SEPS) 등을 들 수 있고, SEBS, SEEPS가 바람직하다. SEBS나 SEEPS는 유전 특성이 우수하고 (C1) 성분의 선택지인 폴리페닐렌에테르(PPE), 변성 PPE 등과 상용성이 좋고, 내열성을 갖는 열경화성 수지 조성물을 형성할 수 있기 때문이다. 또한, 스티렌계 블록 코폴리머는 열경화성 수지 조성물의 저탄성화에도 기여하기 때문에, 열경화성 수지 필름에 유연성을 부여하고, 또한 열경화성 수지 조성물의 경화물에 3GPa 이하의 저탄성이 요구되는 용도에 바람직하다.Component (C2) is a styrenic block copolymer in which unsaturated double bonds in the main chain of the molecule have been hydrogenated, and examples of the hydrogenated styrenic block copolymer include styrene-ethylene/butylene-styrene block copolymer (SEBS) and styrene- (Ethylene-ethylene/propylene)-styrene block copolymer (SEEPS), styrene-ethylene/propylene-styrene block copolymer (SEPS), etc. are mentioned, and SEBS and SEEPS are preferable. This is because SEBS and SEEPS have excellent dielectric properties, good compatibility with polyphenylene ether (PPE), modified PPE, etc., which are optional components (C1), and can form a thermosetting resin composition having heat resistance. In addition, since the styrenic block copolymer also contributes to lower elasticity of the thermosetting resin composition, it imparts flexibility to the thermosetting resin film and is suitable for applications requiring low elasticity of 3 GPa or less in the cured product of the thermosetting resin composition.

(C2) 성분의 중량 평균 분자량은 30,000∼200,000인 것이 바람직하고, 80,000∼120,000인 것이 보다 바람직하다. 중량 평균 분자량은 겔 퍼미에이션 크로마토그래피법(GPC)에 의해, 표준 폴리스티렌에 의한 검량선을 이용한 값으로 한다.(C2) It is preferable that it is 30,000-200,000, and, as for the weight average molecular weight of component, it is more preferable that it is 80,000-120,000. The weight average molecular weight is a value using a standard polystyrene calibration curve by gel permeation chromatography (GPC).

(C2) 성분은 단독으로도 2종 이상을 병용해도 된다.(C2) The component may be used alone or in combination of two or more.

열경화성 수지 조성물은 추가로, (C3) 아크릴레이트 모노머를 포함하면, 접착력 향상의 관점에서 바람직하다.If the thermosetting resin composition further contains the (C3) acrylate monomer, it is preferable from the viewpoint of improving the adhesive force.

또한, (C1)으로서 에폭시 수지를 사용하는 경우에는, 열경화성 수지 조성물은 추가로, 경화를 위해 경화 촉매를 포함한다. 이 경화 촉매로는, 이미다졸 등을 들 수 있다. 또한, (C1)으로서 말단에 스티렌기를 갖는 수지를 사용하는 경우에는, 유기 과산화물과 같은 경화 촉매를 포함하면, 열경화성 수지 조성물의 경화성의 관점에서 바람직하다.In the case of using an epoxy resin as (C1), the thermosetting resin composition further contains a curing catalyst for curing. Imidazole etc. are mentioned as this curing catalyst. Moreover, when using resin which has a styrene group at the terminal as (C1), if a curing catalyst like an organic peroxide is included, it is preferable from a curable viewpoint of a thermosetting resin composition.

다음으로, (A) 성분과 (B) 성분의 합계는 (C) 성분 100질량부에 대해, 45∼90질량부가 바람직하고, 50∼85질량부가 보다 바람직하다.Next, the total of component (A) and component (B) is preferably 45 to 90 parts by mass, and more preferably 50 to 85 parts by mass with respect to 100 parts by mass of component (C).

(A) 성분은 (A) 성분과 (B) 성분의 합계 100질량부에 대해, 60∼85질량부인 것이 바람직하고, 65∼80질량부인 것이 보다 바람직하다. 난연제의 비율을 이 범위로 함으로써, (A) 성분과 (B) 성분의 상승 효과를 얻을 수 있고, 난연 효과를 가져오는데 필요한 난연제의 절대량을 줄일 수 있다.It is preferable that it is 60-85 mass parts, and, as for component (A), it is more preferable that it is 65-80 mass parts with respect to 100 mass parts of the total of (A) component and (B) component. By setting the ratio of the flame retardant within this range, a synergistic effect of component (A) and component (B) can be obtained, and the absolute amount of the flame retardant required to bring about the flame retardant effect can be reduced.

(C1) 성분은 열경화성 수지 조성물의 고주파 특성, 내열성, 내약품성의 관점에서, (C) 성분 100질량부에 대해, 15∼55질량부가 바람직하다.Component (C1) is preferably 15 to 55 parts by mass based on 100 parts by mass of component (C) from the viewpoints of the high-frequency characteristics, heat resistance, and chemical resistance of the thermosetting resin composition.

(C2) 성분은 열경화성 수지 조성물의 고주파 특성, 저탄성화의 관점에서, (C) 성분 100질량부에 대해, 40∼80질량부가 바람직하다.Component (C2) is preferably 40 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of component (C) from the viewpoint of high-frequency characteristics and low elasticity of the thermosetting resin composition.

(C3) 성분은 (C) 성분 100질량부에 대해, 1∼5질량부가 바람직하다. 경화 촉매는 (C) 성분 100질량부에 대해, 0.1∼4질량부가 바람직하다.Component (C3) is preferably 1 to 5 parts by mass based on 100 parts by mass of component (C). The curing catalyst is preferably 0.1 to 4 parts by mass based on 100 parts by mass of component (C).

또한, 열경화성 수지 조성물은 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위에서, 필러, 실란 커플링제 등의 커플링제, 점착성 부여제, 소포제, 유동 조정제, 성막 보조제, 분산 보조제 등의 첨가제를 포함할 수 있다.In addition, the thermosetting resin composition may contain additives such as fillers, coupling agents such as silane coupling agents, tackifiers, antifoaming agents, flow regulators, film formation aids, and dispersion aids within a range that does not impair the effects of the present invention.

열경화성 수지 조성물은 수지 조성물을 구성하는 (A), (B), (C) 성분 등의 원료를 유기용제에 용해 또는 분산 등을 시킴으로써 제작할 수 있다. 이들 원료의 용해 또는 분산 등의 장치로는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 가열 장치를 구비한 교반기, 디솔버, 라이카이기, 3본 롤밀, 볼밀, 플라네타리 믹서, 비즈밀 등을 사용할 수 있다. 또한, 이들 장치를 적절히 조합하여 사용해도 된다.The thermosetting resin composition can be prepared by dissolving or dispersing raw materials such as components (A), (B) and (C) constituting the resin composition in an organic solvent. The apparatus for dissolving or dispersing these raw materials is not particularly limited, but a stirrer equipped with a heating device, a dissolver, a Leica machine, a three-roll mill, a ball mill, a planetary mixer, a bead mill, and the like can be used. Moreover, you may use these apparatuses combining suitably.

유기용제로는, 방향족계 용제로서 예를 들면 톨루엔, 자일렌 등, 케톤계 용제로서 예를 들면 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 등을 들 수 있다. 유기용제는 단독이어도, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 작업성 면에서, 열경화성 수지 조성물은 200∼3,000mPa·s의 점도의 범위인 것이 바람직하다. 점도는 E형 점도계를 이용하고, 회전수 10rpm, 25℃에서 측정한 값으로 한다.Examples of the organic solvent include, for example, toluene and xylene as aromatic solvents, and methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone as examples of ketone solvents. An organic solvent may be used individually or in combination of 2 or more types. From the viewpoint of workability, the thermosetting resin composition preferably has a viscosity in the range of 200 to 3,000 mPa·s. The viscosity is a value measured at a rotational speed of 10 rpm and at 25°C using an E-type viscometer.

얻어지는 열경화성 수지 조성물은 주파수 1.9GHz에서의 비유전율(ε)이 3.0 이하이면 바람직하다. (A) 성분 및 (B) 성분은 열경화성 수지 조성물의 비유전율(ε) 및 유전 정접(tanδ)을 비교적 높게 하지 않는 난연제이기 때문에, 열경화성 수지 조성물의 비유전율(ε) 및 유전 정접(tanδ)을 낮게 억제할 수 있다.The resulting thermosetting resin composition preferably has a dielectric constant (ε) of 3.0 or less at a frequency of 1.9 GHz. Since component (A) and component (B) are flame retardants that do not relatively increase the dielectric constant (ε) and dielectric loss tangent (tanδ) of the thermosetting resin composition, the relative dielectric constant (ε) and dielectric loss tangent (tanδ) of the thermosetting resin composition are can be kept low.

[열경화성 수지 필름][Thermosetting resin film]

다음으로, 열경화성 수지 필름의 형성 방법에 대해 설명한다. 열경화성 수지 필름은 열경화성 수지 조성물로부터 원하는 형상으로 형성된다. 구체적으로는, 열경화성 수지 필름은 상술한 열경화성 수지 조성물을 지지체 위에 도포한 후, 건조함으로써 얻을 수 있다. 지지체는 특별히 한정되지 않고, 구리, 알루미늄 등의 금속박, 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지(PET) 등의 유기 필름 등을 들 수 있다. 지지체는 실리콘계 화합물 등으로 이형 처리되어 있어도 된다. 또한, 열경화성 수지 조성물은 여러 형상으로 사용할 수 있고, 형상은 특별히 한정되지 않는다.Next, the formation method of a thermosetting resin film is demonstrated. A thermosetting resin film is formed into a desired shape from a thermosetting resin composition. Specifically, the thermosetting resin film can be obtained by applying the thermosetting resin composition described above on a support and then drying it. The support is not particularly limited, and examples thereof include metal foils such as copper and aluminum, organic films such as polyester resins, polyethylene resins, and polyethylene terephthalate resins (PET). The support may be subjected to release treatment with a silicone-based compound or the like. In addition, the thermosetting resin composition can be used in various shapes, and the shape is not particularly limited.

열경화성 수지 조성물을 지지체에 도포하는 방법은 특별히 한정되지 않지만, 박막화·막 두께 제어의 면에서는 그라비아법, 슬롯 다이법, 닥터 블레이드법이 바람직하다. 슬롯 다이법에 따라, 열경화 후의 두께가 5∼300㎛가 되는 열경화성 수지 조성물의 미경화 필름, 즉 열경화성 수지 필름을 얻을 수 있다.The method of applying the thermosetting resin composition to the support is not particularly limited, but the gravure method, the slot die method, and the doctor blade method are preferable from the viewpoint of thinning and film thickness control. By the slot die method, an uncured film of a thermosetting resin composition having a thickness of 5 to 300 µm after thermal curing, that is, a thermosetting resin film can be obtained.

건조 조건은 열경화성 수지 조성물에 사용되는 유기용제의 종류나 양, 도포 두께 등에 따라, 적절히 설정할 수 있고, 예를 들면 50∼120℃에서 1∼60분 정도로 할 수 있다. 이와 같이 하여 얻어진 열경화성 수지 필름은 양호한 보존 안정성을 갖는다. 한편, 열경화성 수지 필름은 원하는 타이밍에 지지체로부터 박리할 수 있다.Drying conditions can be appropriately set according to the type and amount of the organic solvent used in the thermosetting resin composition, the coating thickness, and the like, and can be, for example, 50 to 120°C for about 1 to 60 minutes. The thermosetting resin film thus obtained has good storage stability. On the other hand, the thermosetting resin film can be separated from the support at a desired timing.

열경화성 수지 필름의 경화는 예를 들면, 150∼230℃에서 30∼180분간의 조건으로 행할 수 있다. 열경화성 수지 필름의 경화는 동박 등에 의한 배선이 형성된 기판 사이에 열경화성 수지 필름을 끼운 후 행해도 되고, 동박 등에 의한 배선을 형성한 열경화성 수지 필름을 적절히 적층한 후에 행해도 된다. 또한, 열경화성 수지 필름은 기판 상의 배선을 보호하는 커버레이 필름으로 사용할 수 있고, 그 때의 경화 조건도 동일하다. 또한, 열경화성 수지 조성물도 동일하게 경화시킬 수 있다.Curing of the thermosetting resin film can be performed under conditions of 30 to 180 minutes at 150 to 230°C, for example. Curing of the thermosetting resin film may be performed after sandwiching the thermosetting resin film between substrates on which wires are formed by copper foil or the like, or after properly laminating the thermosetting resin film on which wires are formed by copper foil or the like. In addition, the thermosetting resin film can be used as a coverlay film for protecting wiring on a substrate, and the curing conditions at that time are also the same. In addition, a thermosetting resin composition can also be cured in the same way.

본 발명의 열경화성 수지 필름은 난연제의 양이 적어도 경화 후에 높은 난연성을 부여할 수 있다. 이 때문에, 난연제의 함유량을 종래보다 줄일 수 있고, 경화 후의 열경화성 수지 필름을 강인한 것으로 할 수 있다. 여기서, 열경화성 수지 필름 중의 난연제의 함유량이 많으면, 경화 후의 열경화성 수지 필름이 약화되기 쉬워지고, 경화막 강도가 저하된다. 경화막 강도의 저하는 예를 들면 크랙 발생이나 접착성의 저하 등을 초래하기 때문에 바람직하지 않다. 종래, 프린트 기판으로 사용되고 있는 프리프레그(섬유에 수지를 함침시킨 시트)보다 필름 쪽이 난연제의 양에 의한 영향이 나오기 쉽다.The thermosetting resin film of the present invention can impart high flame retardancy after curing with a small amount of the flame retardant. For this reason, content of a flame retardant can be reduced more than before, and the thermosetting resin film after hardening can be made tough. Here, when there is much content of the flame retardant in a thermosetting resin film, the thermosetting resin film after hardening becomes easy to weaken and the cured film strength will fall. A decrease in the strength of the cured film is undesirable because it causes, for example, cracking or deterioration in adhesiveness. Film is more likely to be affected by the amount of flame retardant than prepreg (sheet in which fibers are impregnated with resin) conventionally used for printed circuit boards.

[프린트 배선판][printed wiring board]

본 발명의 프린트 배선판은 상술한 열경화성 수지 조성물, 또는 상술한 열경화성 수지 필름을 사용하여 이를 경화하여 제작한다. 이 프린트 배선판은 상기 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 열경화성 수지 필름의 경화물에 의해, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높다. 프린트 배선판 중에서는, 플렉시블 프린트 배선판(Flexible Printed Circuit, FPC)용의 플렉시블 동박 적층판(Flexible Copper Clad Laminate, FCCL), 다층 기판용의 동박 적층판(Copper Clad Laminate, CCL), 또는 빌드업재 등에 적합하다. 프린트 배선판의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 일반적인 프리프레그를 사용하여 프린트 배선판을 제작하는 경우와 동일한 방법을 사용할 수 있다.The printed wiring board of the present invention is produced by curing the above-described thermosetting resin composition or the above-described thermosetting resin film. This printed wiring board is excellent in dielectric properties and has high flame retardancy due to the cured product of the thermosetting resin composition or the cured product of the thermosetting resin film. Among printed wiring boards, flexible copper clad laminates (FCCL) for flexible printed circuits (FPC), copper clad laminates (CCL) for multilayer boards, or build-up materials are suitable. The manufacturing method of a printed wiring board is not specifically limited, The method similar to the case of manufacturing a printed wiring board using a general prepreg can be used.

[반도체 장치][Semiconductor device]

본 발명의 반도체 장치는 상술한 열경화성 수지 조성물, 또는 상술한 열경화성 수지 필름을 사용하여, 이를 경화하여 제작한다. 이 반도체 장치는 상기 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 열경화성 수지 필름의 경화물에 의해, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높기 때문에, 고주파 용도에 적합하다. 여기서, 반도체 장치란, 반도체 특성을 이용함으로써 기능할 수 있는 장치 전반을 가리키고, 전자 부품, 반도체 회로, 이들을 조합한 모듈, 전자 기기 등을 포함하는 것이다.The semiconductor device of the present invention is produced by curing the above-described thermosetting resin composition or the above-described thermosetting resin film. This semiconductor device is suitable for high-frequency applications because the cured product of the thermosetting resin composition or the cured product of the thermosetting resin film has excellent dielectric properties and high flame retardancy. Here, a semiconductor device refers to an overall device that can function by utilizing semiconductor characteristics, and includes electronic parts, semiconductor circuits, modules combining them, electronic devices, and the like.

실시예Example

본 발명에 대해, 실시예에 의해 설명하지만, 본 발명은 이들에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 부, %는 별다른 언급이 없는 한, 질량부, 질량%를 나타낸다.The present invention will be described by examples, but the present invention is not limited thereto. Incidentally, in the following examples, parts and % represent parts by mass and % by mass unless otherwise specified.

[실시예 1∼7, 비교예 1∼10][Examples 1 to 7, Comparative Examples 1 to 10]

<열경화성 수지 조성물의 제작><Preparation of thermosetting resin composition>

표 1∼3에 나타내는 배합으로, 수지, 엘라스토머, 용해성의 (A) 성분인 방향족 축합 인산 에스테르 (1) 및 톨루엔을 용기에 계량하여 취하고, 가열 교반기를 이용하여 가열 용해시키고, 실온까지 냉각시킨 후, 이에 (B) 성분인 멜라민시아누레이트, 경화 촉매, 첨가제를 계량하여 넣고, 자전·공전식의 교반기(마젤스타)로 3분간 교반 혼합한 후, 비즈밀을 사용하여 분산하고, 톨루엔으로 점도 조정하여 열경화성 수지 조성물을 조제했다. 또한, 비용해성의 (A) 성분인 방향족 축합 인산 에스테르 (2)를 사용하는 경우에는, 수지, 엘라스토머 및 톨루엔을 용기에 계량하여 취하고, 가열 교반기를 이용하여 가열 용해시키고, 실온까지 냉각시킨 후에 첨가하고, 그 이후는 상기와 동일하게 조제했다.In the formulations shown in Tables 1 to 3, resin, elastomer, aromatic condensed phosphoric acid ester (1) and toluene, which are soluble components (A), are weighed into a container, heated and dissolved using a heating stirrer, and cooled to room temperature. , Into (B) component melamine cyanurate, curing catalyst, and additives were weighed and mixed with a rotating/revolution type stirrer (Mazelstar) for 3 minutes, then dispersed using a bead mill, and the viscosity was adjusted with toluene Thus, a thermosetting resin composition was prepared. In the case of using aromatic condensed phosphoric acid ester (2) as insoluble component (A), resin, elastomer and toluene are weighed into a container, heated and dissolved using a heating stirrer, and added after cooling to room temperature After that, it was prepared in the same way as above.

[평가 방법][Assessment Methods]

<1. 난연성 시험> <1. Flame retardancy test>

얻어진 열경화성 수지 조성물을 이형제를 처리한 50㎛ 두께의 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름 상에 건조 도막이 25±5㎛인 막 두께가 되도록 도포기를 이용하여 도포하고, 80℃×10분간 건조하고, 열경화성 수지 필름을 얻었다. 얻어진 열경화성 수지 필름을 진공 프레스기로 프레스 경화(180℃×60분, 압력: 0.5MPa)한 후, 200×50㎜로 재단하고, PET 필름을 박리하고, 시험용 시료를 제작했다. 미국 UL 규격의 수직 연소 시험의 UL94 VTM 시험 방법에 준거하여, 시험용 시료의 난연성을 평가했다. 표 1∼3에 결과를 나타낸다.The obtained thermosetting resin composition was applied onto a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 50 μm treated with a release agent using an applicator so that the dry coating film had a film thickness of 25±5 μm, and dried at 80° C. for 10 minutes, followed by drying the thermosetting resin composition. got the film After press hardening (180 degreeC x 60 minutes, pressure: 0.5 MPa) of the obtained thermosetting resin film with a vacuum press machine, it cut out to 200 x 50 mm, peeled the PET film, and produced the test sample. Based on the UL94 VTM test method of the vertical burning test of the American UL standard, the flame retardance of the test sample was evaluated. A result is shown to Tables 1-3.

<2. 비유전율(ε), 유전 정접(tanδ)의 측정><2. Measurement of relative permittivity (ε) and dielectric loss tangent (tanδ)>

1. 난연성 시험과 동일한 방법으로, 이형제를 처리한 50㎛ 두께의 PET 필름 상에, 건조 도막이 25±5㎛인 막 두께가 되도록 열경화성 수지 조성물을 도포, 건조, 경화하고, 경화된 열경화성 수지 필름을 얻었다. 경화된 열경화성 수지 필름을 130×40㎜으로 재단한 후, PET 필름을 박리하고, 비유전율·유전 정접 측정용 시료를 제작했다. 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR)에 의해, 유전체 공진 주파수 1.9GHz로, 측정용 시료의 비유전율(ε), 유전 정접(tanδ)을 측정했다. 비유전율은 3.0 이하, 유전 정접은 0.0040 이하이면 바람직하다. 표 1∼2에 결과를 나타낸다. 동일하게, 실시예에서 사용한 (C) 성분의 비유전율(ε)을 측정했다.1. In the same way as in the flame retardancy test, a thermosetting resin composition was applied, dried, and cured on a PET film having a thickness of 50 μm treated with a release agent so that a dry coating film had a film thickness of 25 ± 5 μm, and the cured thermosetting resin film was got it After cutting the cured thermosetting resin film into 130 × 40 mm, the PET film was peeled off to prepare a sample for measuring relative permittivity and dielectric loss tangent. The dielectric constant (ε) and the dielectric loss tangent (tan δ) of the sample for measurement were measured at a dielectric resonance frequency of 1.9 GHz by a split post dielectric resonator (SPDR). It is preferable that the dielectric constant is 3.0 or less and the dielectric loss tangent is 0.0040 or less. The results are shown in Tables 1 and 2. Similarly, the dielectric constant (ε) of component (C) used in the examples was measured.

<3. 필 강도 시험><3. Peel strength test>

1. 난연성 시험과 동일한 방법으로, 이형제를 처리한 50㎛ 두께의 PET 필름 상에 건조 도막이 25±5㎛인 막 두께가 되도록 열경화성 수지 조성물을 도포, 건조하여 얻어진 열경화성 수지 필름을 100×100㎜으로 재단하고, PET 필름을 박리했다. 박리된 열경화성 수지 필름의 한쪽 면에 12㎛ 두께의 동박 광택면을, 다른 한쪽의 면에는 12㎛ 두께의 폴리이미드 필름을 적층하고, 진공 프레스기로 프레스 경화(180℃×60분, 압력: 0.5MPa)하여 접착하고, 필 강도 시험용 시료를 제작했다. 제작된 필 강도 시험용 시료를 10㎜ 폭으로 커트하고, 오토 그래프로 동박과 폴리이미드 필름을 박리하여 필 강도를 측정했다. 측정 결과에 대해, 각 N=5의 평균값을 계산했다. 필 강도는 5.0N/㎝ 이상이면 바람직하다. 표 3에 결과를 나타낸다.1. In the same way as in the flame retardancy test, the thermosetting resin composition was applied on a PET film having a thickness of 50 μm treated with a release agent so that the dry coating film had a film thickness of 25 ± 5 μm, and the resulting thermosetting resin film was dried to 100 × 100 mm. It cut|disconnected and peeled the PET film. A 12 μm-thick copper foil glossy surface was laminated on one side of the peeled thermosetting resin film and a 12 μm-thick polyimide film was laminated on the other side, and press cured with a vacuum press (180° C. × 60 minutes, pressure: 0.5 MPa). ) and adhered, and a sample for a peel strength test was produced. The prepared sample for a peel strength test was cut to a width of 10 mm, and the copper foil and the polyimide film were peeled off using an autograph to measure the peel strength. For the measurement results, an average value of each N=5 was calculated. The peel strength is preferably 5.0 N/cm or more. Table 3 shows the results.

표 1, 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1∼7은 난연성, 비유전율(ε), 유전 정접(tanδ) 모두에 있어서 양호한 결과였다. 표에는 기재되어 있지 않지만, 모든 (C) 성분의 비유전율(ε)은 2.9 이하였다. 또한, 실시예 1에 있어서, 난연제((A) 성분+(B) 성분)를 뺀 경우의 비유전율(ε)은 2.5, 유전 정접(tanδ)은 0.0028이며, 난연제의 첨가에 의한 비유전율(ε), 유전 정접(tanδ)의 증가는 적었다. 이에 대해, (A) 성분을 다량으로 함유하고, (B) 성분을 사용하지 않은 비교예 1은 난연성 시험의 결과가 나빴다. (A)와 (B)를 동량 사용한 비교예 2는 난연성 시험의 결과가 나빴다. (C) 성분 100질량부에 대한 (A) 성분과 (B) 성분의 합계가 45질량부 미만인 비교예 3은 난연성 시험의 결과가 나빴다. (A) 성분과 (B) 성분 대신에 폴리인산암모늄을 사용한 비교예 4는 비유전율, 유전 정접이 높았다. (A) 성분 대신에, 폴리인산멜라민·멜람·멜렘 복염을 사용한 비교예 5, 포스파페난트렌계 화합물 (1)을 사용한 비교예 6은 난연성 시험의 결과가 나쁘고, 비유전율, 유전 정접이 높았다. (A) 성분 대신에 포스파페난트렌계 화합물 (2)을 사용한 비교예 7은 난연성 시험의 결과가 나빴다. (A) 성분 대신에 포스파젠 화합물 (1)을 사용한 비교예 8은 유전 정접이 높았다. (A) 성분 대신에 포스파젠 화합물 (2)을 사용한 비교예 9는 난연성 시험의 결과가 나쁘고, 유전 정접이 높았다.As can be seen from Tables 1 and 2, Examples 1 to 7 gave good results in terms of flame retardancy, relative permittivity (ε), and dielectric loss tangent (tan δ). Although not described in the table, the relative permittivity (ε) of all components (C) was 2.9 or less. Further, in Example 1, the relative permittivity (ε) when the flame retardant ((A) component + (B) component) is subtracted is 2.5, the dielectric loss tangent (tan δ) is 0.0028, and the relative permittivity (ε) due to the addition of the flame retardant is ), the increase in dielectric loss tangent (tanδ) was small. On the other hand, Comparative Example 1 containing a large amount of component (A) and not using component (B) had poor flame retardancy test results. Comparative Example 2 using the same amounts of (A) and (B) had poor flame retardancy test results. Comparative Example 3 in which the total of component (A) and component (B) was less than 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of component (C) had a poor flame retardancy test result. Comparative Example 4 using ammonium polyphosphate instead of component (A) and component (B) had high dielectric constant and dielectric loss tangent. Instead of component (A), Comparative Example 5 using polyphosphate melamine/melam/melem double salt and Comparative Example 6 using phosphaphenanthrene-based compound (1) had poor flame retardancy test results, relative permittivity and dielectric loss tangent were high. Comparative Example 7 using the phosphaphenanthrene-based compound (2) instead of component (A) had poor flame retardancy test results. Comparative Example 8 using the phosphazene compound (1) instead of component (A) had a high dielectric loss tangent. Comparative Example 9 using the phosphazene compound (2) instead of component (A) had poor flame retardancy test results and a high dielectric loss tangent.

표 3으로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1, 4는 필 강도가 높았다. 이에 대해, (A) 성분을 다량으로 함유하고, (B) 성분을 사용하지 않은 비교예 10은 필 강도가 낮았다. 또한, 표 3에 기재되어 있지 않지만, 실시예 1∼7의 필 강도는 모두 5.0N/㎝ 이상이었다.As can be seen from Table 3, Examples 1 and 4 had high peel strength. On the other hand, Comparative Example 10 containing a large amount of component (A) and not using component (B) had low peel strength. In addition, although not described in Table 3, the peeling strengths of Examples 1 to 7 were all 5.0 N/cm or more.

본 발명의 열경화성 수지 조성물은 할로겐계 난연제를 사용하지 않고, 유전 특성이 우수한 재료를 사용하고, 난연성이 높고, 접착력이 높은 절연성 필름을 형성 가능하며, 매우 유용하다. 본 발명의 프린트 배선판은 상기 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 열경화성 수지 필름의 경화물에 의해, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높다. 본 발명의 반도체 장치는 상기 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 상기 열경화성 수지 필름의 경화물에 의해, 유전 특성이 우수하고, 난연성이 높기 때문에, 고주파 용도에 적합하다.The thermosetting resin composition of the present invention does not use a halogen-based flame retardant, uses a material having excellent dielectric properties, can form an insulating film having high flame retardancy and high adhesion, and is very useful. The printed wiring board of the present invention has excellent dielectric properties and high flame retardancy due to the cured product of the thermosetting resin composition or the cured product of the thermosetting resin film. The semiconductor device of the present invention is suitable for high-frequency applications because the cured product of the thermosetting resin composition or the cured product of the thermosetting resin film has excellent dielectric properties and high flame retardancy.

Claims (6)

(A) 비스디아릴포스페이트와,
(B) 멜라민시아누레이트와,
(C) (C1) 열경화성 수지 및 (C2) 분자 중의 주쇄의 불포화 이중 결합이 수첨된 스티렌계 블록 코폴리머를 포함하는, 주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 2.9 이하인 수지를 포함하고,
(C) 성분 100질량부에 대한 (A) 성분과 (B) 성분의 합계가 45질량부 이상이며,
(A) 성분의 함유량이 (A) 성분과 (B) 성분의 합계 100질량부에 대해, 60∼85질량부이고,
(C1) 성분이 적어도 말단에 스티렌기를 갖는 수지를 포함하며,
(C1) 성분의 함유량이 (C) 성분 100질량부에 대해, 15∼55질량부이고,
(C2) 성분의 함유량이 (C) 성분 100질량부에 대해, 40∼80질량부인 것을 특징으로 하는 열경화성 수지 조성물.
(A) bisdiaryl phosphate;
(B) melamine cyanurate;
(C) (C1) a resin having a relative permittivity of 2.9 or less at a frequency of 1.9 GHz, including a thermosetting resin and (C2) a styrenic block copolymer in which unsaturated double bonds in the main chain of the molecule are hydrogenated;
(C) The total of component (A) and component (B) relative to 100 parts by mass of component is 45 parts by mass or more,
The content of component (A) is 60 to 85 parts by mass relative to 100 parts by mass of the total of component (A) and component (B),
Component (C1) contains a resin having a styrene group at least at its terminal;
The content of component (C1) is 15 to 55 parts by mass relative to 100 parts by mass of component (C),
A thermosetting resin composition characterized in that the content of component (C2) is 40 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of component (C).
제 1 항에 있어서,
주파수 1.9GHz에서의 비유전율이 3.0 이하인 열경화성 수지 조성물.
According to claim 1,
A thermosetting resin composition having a relative dielectric constant of 3.0 or less at a frequency of 1.9 GHz.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
(A) 성분이 비스디자일레닐포스페이트인 열경화성 수지 조성물.
According to claim 1 or 2,
(A) The thermosetting resin composition whose component is bisdisylenyl phosphate.
제 1 항 또는 제 2 항의 열경화성 수지 조성물을 사용하는 열경화성 수지 필름.A thermosetting resin film using the thermosetting resin composition of claim 1 or 2. 제 1 항 또는 제 2 항의 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 제 4 항의 열경화성 수지 필름의 경화물을 사용하는 프린트 배선판.A printed wiring board using a cured product of the thermosetting resin composition according to claim 1 or 2 or a cured product of the thermosetting resin film according to claim 4. 제 1 항 또는 제 2 항의 열경화성 수지 조성물의 경화물, 또는 제 4 항의 열경화성 수지 필름의 경화물을 사용하는 반도체 장치.A semiconductor device using a cured product of the thermosetting resin composition according to claim 1 or 2 or a cured product of the thermosetting resin film according to claim 4.
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