KR102568493B1 - 액적들의 시리즈의 분포 또는 임펄스를 측정하기 위한 디바이스 - Google Patents

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Abstract

액적들의 시리즈의 분포 및/또는 임펄스를 측정하기 위한 디바이스는 복수의 액적들 각각이 계속해서 압전기 센서와 콘택트하여, 전기적 신호를 생성하도록 액적들의 소스에 대해 배치된 압전기 센서를 포함한다. 로직 회로는 전기적 신호로부터 하나 이상의 주파수들을 계산하도록 구성된다.

Description

일련의 드롭렛들의 분포 또는 임펄스를 측정하기 위한 디바이스{DEVICE FOR MEASURING THE DISTRIBUTION OR IMPULSE OF A SERIES OF DROPLETS}
본 발명은 반도체 웨이퍼의 프로세싱 동안 프로세스 액체 디스펜서로부터 디스펜싱된 단분산 드롭렛들의 스트림과 같은, 일련의 드롭렛들의 분포 및/또는 임펄스를 측정하기 위한 디바이스에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼들 상에 형성된 훨씬 보다 작은 반도체 디바이스 구조체들에 대한 경향은 이들 웨이퍼들을 프로세싱하도록 사용된 장비의 끊임없는 개발을 요구한다. 공동으로-소유된 미국 특허 제 8,691,022 호는 프로세스 액체가 단분산 일련의 드롭렛들로서 디스펜싱되는, 반도체 웨이퍼들을 처리하기 위한 디바이스 내의 프로세스 액체 디스펜서를 기술한다. 이러한 프로세스 액체 디스펜서는 프로세스 결과들의 재현성, 뿐만 아니라 프로세싱을 받는 반도체 웨이퍼 상에 형성된 초현미경적 디바이스 구조체들에 대한 원하지 않은 대미지의 감소된 발생률의 견지로부터 유리하다.
디스펜서가 안정한 성능을 나타내고, 예를 들어, 드롭렛들의 스트림이 드롭렛들의 단분산 특성을 유지하고, 그리고 드롭렛 스트림의 사이즈 및 주파수가 허용 가능한 허용 오차 내에 있다는 것을 보장하도록 프로세스들 사이에서 이러한 디스펜서의 성능을 모니터링하는 것은 바람직하다.
단분산 일련의 드롭렛들을 모니터링하기 위한 종래의 기법들은 예를 들어 드롭렛 스트림에 빛을 비추도록 연관된 스트로브 (strobe) 및 현미경 렌즈를 가진 CCD 카메라를 포함하는 스트로보스코픽 (stroboscopic) 카메라 시스템을 사용하여, 드롭렛 스트림을 광학적으로 평가하는 (assess) 것을 수반한다. 따라서 드롭렛들은 스트로보스코프 (stroboscope) 와 카메라를 동시에 트리거링함으로써 (triggering) 시각화될 수 있다.
그러나, 드롭렛 스트림의 광학 모니터링을 위한 장비는 고가이고, 게다가 드롭렛 특성들에 대한 임의의 조정들을 행하도록 사진 이미지들의 시각적 분석을 요구한다.
일련의 드롭렛들의 분포 및/또는 임펄스를 모니터링하기 위한 보다 단순하고 보다 자동화된 기법은 다양한 유용한 적용들에서 이러한 드롭렛 디스펜서들의 구현을 용이하게 할 수 있다.
따라서, 일 양태에서, 본 발명은 복수의 드롭렛들 각각이 잇달아 (in succession) 압전기 센서와 콘택트하여, 전기적 신호를 생성하도록 드롭렛들의 소스에 대해 배치되는 압전기 센서를 포함하는, 일련의 드롭렛들의 분포 및/또는 임펄스를 측정하기 위한 디바이스에 관한 것이다. 로직 회로는 전기적 신호로부터 하나 이상의 주파수들을 계산하도록 구성된다.
본 발명에 따른 디바이스의 바람직한 실시예들에서, 로직 회로는 전기적 신호로부터 계산된 주파수가 미리 결정된 정도보다 더 크게 타깃 주파수를 벗어날 때 알람을 생성하도록 구성된다.
본 발명에 따른 디바이스의 바람직한 실시예들에서, 로직 회로는 주파수 각각과 연관된 진폭을 계산하도록 구성된다.
본 발명에 따른 디바이스의 바람직한 실시예들에서, 로직 회로는 전기적 신호로부터 계산된 미리 결정된 주파수에 대한 진폭이 미리 결정된 정도보다 크게 미리 결정된 주파수에 대한 타깃 진폭으로부터 벗어날 때 알람을 생성하도록 구성된다.
본 발명에 따른 디바이스의 바람직한 실시예들에서, 압전기 센서는 복수의 일련의 드롭렛들을 동시에 수용하도록 구성된 압전기 엘리먼트를 포함한다.
또 다른 양태에서, 본 발명은 드롭렛들의 소스 및 드롭렛들의 소스로부터 나오는 일련의 드롭렛들의 분포 및/또는 임펄스를 측정하기 위한 디바이스의 조합에 관한 것이다. 디바이스는 복수의 드롭렛들 각각이 잇달아 압전기 센서와 콘택트하여, 전기적 신호를 생성하도록 드롭렛들의 소스에 대해 배치된 압전기 센서를 포함한다. 디바이스의 로직 회로는 전기적 신호로부터 하나 이상의 주파수들을 계산하도록 구성된다.
본 발명에 따른 조합의 바람직한 실시예들에서, 로직 회로는 전기적 신호로부터 계산된 주파수 또는 진폭이 미리 결정된 정도보다 더 크게 타깃 주파수 또는 진폭를 벗어날 때 알람을 생성하도록 구성된다.
본 발명에 따른 조합의 바람직한 실시예들에서, 압전기 센서는 복수의 일련의 드롭렛들을 동시에 수용하도록 구성된 압전기 엘리먼트를 포함한다.
본 발명에 따른 조합의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛들의 소스는 단분산 (monodisperse) 드롭렛들의 스트림을 디스펜싱하도록 (dispense) 구성된다.
본 발명에 따른 조합의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛들의 소스는 각각 10 내지 500 ㎚의 범위 내의 동일한 직경을 가진 단분산 드롭렛들의 스트림을 10 내지 100 m/s의 속도로 디스펜싱하도록 구성된다.
본 발명에 따른 조합의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛들의 소스는 운동의 사용 범위와 정지 위치 사이에서 이동하도록 구성되고, 압전기 센서는 드롭렛들의 소스가 정지 위치에 있을 때 드롭렛들의 소스의 밑에 있도록 (underlie) 장착된다.
또한 또 다른 양태에서, 본 발명은 미리 결정된 배향으로 웨이퍼-형상의 물품을 홀딩하도록 구성된 스핀 척; 및 단분산 액체 드롭렛들의 스프레이로서 적어도 하나의 오리피스를 통해 액체를 디스펜싱하도록 구성된 드롭렛 생성기를 포함하는, 웨이퍼-형상의 물품들의 습식 처리를 위한 장치에 관한 것이다. 드롭렛 생성기는 정지 위치와 운동의 사용 범위 사이에서 이동 가능하다. 장치는 또한 정지 위치에서 드롭렛 생성기로부터 디스펜싱된 복수의 드롭렛들 각각이 잇달아 압전기 센서와 콘택트하여, 전기적 신호를 생성하도록, 정지 위치에서 드롭렛 생성기 아래에 배치된 압전기 센서를 포함한다. 로직 회로는 전기적 신호로부터 하나 이상의 주파수들을 계산하도록 구성된다.
본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예들에서, 로직 회로는 전기적 신호로부터 계산된 주파수 또는 진폭이 미리 결정된 정도보다 크게 타깃 주파수 또는 진폭으로부터 벗어날 때 알람을 생성하도록 구성된다.
본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛 생성기는 복수의 단분산 일련의 드롭렛들을 동시에 디스펜싱하도록 구성된다.
또한 또 다른 양태에서, 본 발명은 복수의 드롭렛들 각각이 잇달아 압전기 센서와 콘택트하여, 전기적 신호를 생성하도록 드롭렛들의 소스에 대해 압전기 센서를 배치하는 단계; 및 전기적 신호로부터 하나 이상의 주파수들을 계산하는 단계를 포함하는 드롭렛들의 소스로부터 나오는 일련의 드롭렛들의 분포 및/또는 임펄스를 측정하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예들에서, 알람은 전기적 신호로부터 계산된 주파수 및/또는 진폭이 미리 결정된 정도보다 크게 타깃 주파수 및/또는 진폭으로부터 벗어날 때 생성된다.
본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예들에서, 압전기 센서는 복수의 일련의 드롭렛들을 동시에 수용한다.
본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛들의 소스는 단분산 드롭렛들의 스트림을 디스펜싱한다.
본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛들의 소스는 각각 10 내지 500 ㎚의 범위 내의 동일한 직경을 가진 단분산 드롭렛들의 스트림을 10 내지 100 m/s의 속도로 디스펜싱한다.
본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛들의 소스는 운동의 사용 범위와 정지 위치 사이에서 이동하고, 압전기 센서는 드롭렛들의 소스가 정지 위치에 있을 때 드롭렛들의 소스의 밑에 있도록 장착된다.
본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예들에서, 드롭렛들의 소스는 반도체 웨이퍼들의 단일의 웨이퍼 습식 프로세싱을 위한 장치 내의 프로세스 액체 디스펜서이고, 압전기 센서는 장치 내에서 반도체 웨이퍼를 홀딩하고 반도체 웨이퍼를 회전시키기 위한 스핀 척에 인접하게 장착된다.
본 발명의 다른 목적들, 피처들 및 이점들은 첨부된 도면들을 참조하여 주어진, 본 발명의 바람직한 실시예들의 다음의 상세한 기술을 읽은 후에 보다 분명해질 것이다.
도 1은 드롭렛들의 스트림을 배출하는 디스펜서와 함께, 본 발명의 실시예에 따른 측정 디바이스의 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1의 상세사항 II의 확대도; 도 1의 드롭렛 생성기 (2) 의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 드롭렛 디스펜서 및 측정 디바이스를 구비한, 반도체 웨이퍼들을 프로세싱하기 위한 장치의 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 3의 장치의 평면도이다.
도 5는 정지 위치에 있는 드롭렛 디스펜서를 도시하는, 도 4의 장치의 단편적인 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 압전기 센서에 의해 생성된 파형들을 나타내는 그래프이다.
도 7은 푸리에 변환 (Fourier transform) 을 사용하여 도 6에서와 같은 프로세싱 파형들의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 8은 본 발명에 따른 대안적인 실시예의, 도 1과 유사한 도면이다.
도 1에서, 드롭렛 생성기는 공동으로-소유된 미국 특허 제 8,691,022 호에 기술되는 바와 같이 구성된다. 드롭렛 생성기는 유입부 (130) 를 통해 가압된 프로세스 액체 (210) 가 공급되는 바디 (100) 를 포함한다. 바디 (100) 는 하단 플레이트 (160) 와 상단 플레이트 (110) 를 포함한다. 하단 플레이트 (160) 는 라미나형 액체 제트 (190) 가 형성되는 적어도 하나의 오리피스 (150) 를 포함한다. 상단 플레이트 (110) 에는 변환기 (170) (예를 들어 에폭시 수지를 사용하여 플레이트 (110) 에 접착된 압전기 변환기) 가 구비된다. 이 변환기 (170) 는 컨테이너 (100) 내에 존재하는 프로세스 액체 (120) 에 목표된 파장을 가진 음향 에너지 (140) 를 인가하도록 선택된 주파수 및 전력으로 전기적으로 구동될 수 있다. 그 결과, 오리피스 (150) 내의 프로세스 액체 (120) 내에 음향 에너지 (140) 가 있을 것이다. 음향 에너지 (140) 는 제트 (190) 내에서 레일리-플래토 (Rayleigh-Plateau) 불안정을 유발할 것이고, 이는 결국 단분산 드롭렛들 (180) 로의 제트 (190) 의 분해를 야기할 것이다.
압전기 센서는 드롭렛들 (180) 이 센서의 압전기 결정체 (240) 상에 충돌하도록 배치된다. 본 명세서에 보다 상세히 기술될 바와 같이, 드롭렛 디스펜서는 바람직하게 디스펜서가 사용 위치로부터 정지 위치로 이동될 때 압전기 센서 위에 배치된다. 단분산 드롭렛들 (180) 이 압전기 결정체 (240) 에 영향을 미칠 때, 결정체는 진동되고 따라서 센서의 바디 (290) 를 가진 프로세싱 회로로 단자들 (250) 에 의해 전송되는 전기적 신호가 생성되게 한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 드롭렛들의 스트림은 디스펜서가 정확하게 동작할 때 본질적으로 일정한 직경인 단분산 드롭렛들 (180) 로 구성된다. 특히, 드롭렛들 (180) 은 드롭렛들 (180) 의 적어도 90 질량%이 이들 드롭렛들의 평균 직경의 +/- 5 %의 범위 내의 직경을 가질 때 본질적으로 동일한 직경을 갖는다고 고려된다. 압전기 센서가 드롭렛 디스펜서의 유출부와 상당히 가깝게 배치될 때 (바람직하게는 15 ㎝ 미만, 보다 바람직하게는 10 ㎝ 미만), 연속적인 드롭렛들 (180) 사이의 간격은 또한 본질적으로 일정하고, 따라서 드롭렛들 (180) 의 스트림은 마찬가지로 본질적으로 일정한 기간 (λ) 을 특징으로 할 수도 있다.
따라서, 압전기 결정체 (240) 는 도 6에 도시된 바와 같이, 일정한 주파수 및 진폭의 사인파의 특성들을 가진 전기적 신호를 생성할 것이다. 도 6에서 파선 파형은 비교의 목적들을 위해, 스트림이 훨씬 보다 넓은 스펙트럼의 주파수들을 나타내는 다분산 드롭렛들의 스트림을 압전기 결정체 (240) 상으로 디스펜싱하는 효과를 나타낸다.
압전기 센서에 의해 생성된 신호가 본질적으로 단일의 주파수로부터 벗어나는 정도로, 이것은 드롭렛 생성기가 드롭렛 생성기의 사양으로부터 벗어나고, 조정이 요구될 수도 있다는 지표를 제공한다. 유사하게, 드롭렛들이 단분산이라면, 그러면 결정체 (240) 상의 드롭렛들 (180) 의 임펄스는 가변하지 않을 것이고, 따라서 도 6에 도시된 사인파 신호의 진폭은 본질적으로 일정해야 한다. 그러나, 신호의 진폭이 가변하거나, 예상된 값으로부터 미리 결정된 양보다 크게 상이하다면, 그러면 이것은 또한 단분산 드롭렛들의 스트림이 더 이상 프로세스 사양들을 충족하지 않을 수도 있다는 지표일 것이다.
이 실시예의 단분산 드롭렛 생성기를 사용하는 통상적인 프로세스에서, 드롭렛들 (180) 은 약 18 ㎛의 직경을 갖고 드롭렛 디스펜서의 유출부 (150) 로부터 약 50 m/s의 속도로 배출된다. 따라서 드롭렛들 (180) 은 초당 약 1200만 드롭렛들의 레이트로 방출되고 약 1.2 ㎒의 주파수로 압전기 결정체 (240) 상에서 충돌한다.
따라서, 신호의 파형이 도 6에 도시되는 신호는 바람직하게 도 7에 도시된 바와 같은 주파수 신호를 생성하도록 푸리에 변환을 사용하여 변환된다. 드롭렛 디스펜서가 올바르게 동작할 때, 푸리에 변환된 신호는 도 7에서 수직 실선으로 도시된 바와 같이 단일의 주파수로 좁게 국한된 값을 가질 것이고, 그 신호의 진폭은 마찬가지로 일정할 것이다.
도 6 및 도 7 중 하나 또는 양자에 예시된 신호들은 원한다면 신호들이 사용되는 장치의 조작자에게 보이도록 모니터 상에 디스플레이될 수도 있다. 대안적으로 또는 부가로, 센서 회로는 측정된 신호의 주파수 및/또는 진폭이 타깃 값으로부터 매우 크게 벗어날 때 알람을 생성하도록 미리-설정된 제한값들과 측정된 신호 값들을 비교할 수도 있다. 긴 실선의 기저 근방의 도 7의 산발적인 점들은 도 6의 상대적인, 가변적인 주파수 파형의 푸리에-변환된 신호 컴포넌트들이다.
실제로, 바람직하게는 주파수들의 전체 스펙트럼이 모니터링되고 피크가 상이한 위치 (보다 높거나 보다 낮은 주파수) 에 있거나 높이 (진폭) 면에서 상이하다면, 그러면 알람이 바람직하게 생성된다. 주파수의 차이는 초당 드롭렛들의 수가 변화한다는 것을 암시하고, 반면에 진폭의 차이는 드롭렛 각각의 임펄스 (및 에너지) 가 변화한다는 것을 암시하고, 이는 변화하는 드롭렛 각각의 속도 또는 질량에 기인한다. 드롭렛의 임펄스의 변화는 워크 피스에 대미지를 줄 수 있고 (임펄스가 매우 높은 경우) 또는 임펄스가 매우 낮은 경우 매우 낮은 PRE (particle removing efficiency) 를 발생시킬 수 있다. 양 결과들 (대미지 및 낮은 PRE) 은 생산된 집적 회로들의 수율에 부정적인 영향을 미치고, 이는 드롭렛들의 모니터링이 매우 바람직한 이유이다.
이제 도 3 내지 도 5로 돌아가서, 단일의 반도체 웨이퍼들의 습식 프로세싱을 위한 장치는 반도체 웨이퍼 (W) 를 지지하고 회전시키기 위한 스핀 척 (1), 적어도 하나의 드롭렛 생성기 (100), 및 상부에 드롭렛 생성기 (100) 가 장착되는 지지 암 (3) 을 포함한다. 암 (3) 은 암이 예를 들어 스핀 척 (1) 의 회전 축에 대략 수직인 선형 경로를 따라, 또는 스핀 척 (1) 의 회전 축에 대략 수직인 평면 내의 아치형 경로를 따라, 스핀 척 (1) (결국, 기판 (W)) 위로 드롭렛 생성기 (100) 를 이동시킬 수 있도록 장착된다. 실제로, 암 (3) 및 생성기 (100) 의 이 이동은 보통 기판 (W) 이 회전할 때 초래된다.
또 다른 액체 디스펜서 (100) 가 또한 도 4에 도시된 바와 같이 포함될 수도 있다. 도 4에서, 붐 스윙 (boom swing) 암 (3-2) 에 의해 운반된 액체 디스펜서 (100) 는 액체 디스펜서 (100) 가 연관된 압전기 센서의 압전기 결정체 (240) 위에 놓이는, 액체 디스펜서의 정지 위치에 있다. 반면에, 붐 스윙 암 (3-1) 에 의해 운반된 다른 액체 디스펜서 (100) 는 액체 디스펜서 (100) 가 웨이퍼 (W) 위에 놓이는 액체 디스펜서의 사용 위치에 있다. 도 4의 파선 호는 이 디스펜서 (100) 가 디스펜서의 정지 위치로 복귀하는 경로를 도시한다.
바람직하게, 액체 디스펜서 (100) 각각은 액체 디스펜서가 액체 디스펜서의 정지 위치로 복귀할 때마다, 즉, 프로세스 각각 전 및 후에, 그 연관된 디스펜서의 압전기 결정체 (240) 상에서 충돌하는 일련의 드롭렛들을 방출하도록, 액체 디스펜서가 정지 위치에 있는 동안 미리 결정된 시간 동안 디스펜서 (100) 를 턴 온함으로써 점검된다.
도 5는 정지 위치에서, 액체 디스펜서 (100) 가 액체 디스펜서 (100) 의 통과를 허용하도록 컷아웃 (cutout) 을 가진 배플 (baffle) 에 의해 내측으로 그리고 내부에 스핀 척 (1) 이 배치되는 콜렉터의 둘러싸는 벽 (14) 에 의해 외측으로 범위가 정해진 환형 구역 내에 배치된다는 것을 도시한다.
도 8은 드롭렛 디스펜서가 동시에 단분산 드롭렛들의 복수의 스트림들을 배출하는 대안적인 실시예를 도시한다. 이 경우에, 단부 플레이트 (160') 는 드롭렛들의 5개의 스트림을 방출하도록 5개의 오리피스들을 갖지만; 임의의 목표된 수의 스트림들은 대응하는 수의 유출부 오리피스들을 제공함으로써 선택될 수도 있다. 디스펜서에 의해 방출된 스트림들의 수는 주로 압전기 센서에 의해 생성된 신호의 진폭에 영향을 미치고, 이는 따라서 이전의 실시예들에 대해 기술된 바와 같이 이 실시예에서 활용될 수도 있다.
본 발명이 종래의 광학 시스템들과는 근본적으로 상이한 측정 기법을 사용하여 일련의 드롭렛들의 분포 및/또는 임펄스를 측정하는 것을 허용하고, 게다가 측정 프로세스의 증가된 자동화를 용이하게 하는 방식으로, 본 명세서에 기술된 기법들이 종래의 기법들보다 보다 저 비용의 장비를 사용하여 구현될 수도 있다는 것이 상술한 기술로부터 이해될 것이다.
본 발명이 본 발명의 다양한 바람직한 실시예들과 관련되어 기술되지만, 이들 실시예들은 단지 본 발명을 예시하도록 제공되고, 본 발명은 이들 실시예들로 제한되지 않지만, 오히려 첨부된 청구항들의 참된 범위 및 정신에 의해 포함된다는 것이 이해된다.

Claims (21)

  1. 웨이퍼-형상의 물품들의 습식 처리를 위한 장치에 있어서,
    미리 결정된 배향으로 웨이퍼-형상의 물품을 홀딩하도록 구성된 스핀 척;
    단분산 (monodisperse) 액체 드롭렛들의 스프레이로서 적어도 하나의 오리피스를 통해 액체를 디스펜싱하도록 (dispense) 구성된 드롭렛 생성기로서, 상기 드롭렛 생성기는 정지 위치와 운동의 사용 범위 사이에서 이동 가능한, 상기 드롭렛 생성기;
    상기 정지 위치에서 상기 드롭렛 생성기로부터 디스펜싱된 복수의 상기 드롭렛들 각각이 잇달아 (in succession) 압전기 센서와 콘택트하여, 전기적 신호를 생성하도록, 상기 정지 위치에서 상기 드롭렛 생성기 아래에 배치된 압전기 센서; 및
    상기 전기적 신호로부터 하나 이상의 미리 결정된 주파수들에 대한 하나 이상의 주파수들 및/또는 진폭들을 계산하도록 구성된 로직 회로를 포함하는, 웨이퍼-형상의 물품들의 습식 처리를 위한 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로직 회로는:
    상기 전기적 신호로부터 계산된 주파수가 제 1 미리 결정된 양보다 크게 타깃 주파수로부터 벗어날 때; 및
    상기 전기적 신호로부터 계산된 진폭이 제 2 미리 결정된 양보다 크게 타깃 진폭으로부터 벗어날 때 중 적어도 하나에서 알람을 생성하도록 구성되는, 웨이퍼-형상의 물품들의 습식 처리를 위한 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 드롭렛 생성기는 복수의 일련의 단분산 액체 드롭렛들을 동시에 디스펜싱하도록 구성되는, 웨이퍼-형상의 물품들의 습식 처리를 위한 장치.
  4. 드롭렛 생성기에 의해, 단분산 액체 드롭렛들의 스프레이로서 적어도 하나의 오리피스를 통해 액체를 디스펜싱하는 단계로서, 상기 드롭렛 생성기는 정지 위치와 운동의 사용 범위 사이에서 이동 가능한, 상기 액체를 디스펜싱하는 단계;
    상기 정지 위치에서 상기 드롭렛 생성기로부터 디스펜싱된 복수의 상기 드롭렛들 각각이 잇달아 압전기 센서와 콘택트하여, 전기적 신호를 생성하도록, 상기 정지 위치에서 상기 드롭렛 생성기 아래에 압전기 센서를 배치시키는 단계; 및
    상기 전기적 신호로부터 하나 이상의 미리 결정된 주파수들에 대한 하나 이상의 주파수들 및/또는 진폭들을 계산하는 단계를 포함하는, 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 전기적 신호로부터 계산된 주파수가 제 1 미리 결정된 양보다 크게 타깃 주파수로부터 벗어날 때; 및
    상기 전기적 신호로부터 계산된 진폭이 제 2 미리 결정된 양보다 크게 타깃 진폭으로부터 벗어날 때 중 적어도 하나에서 알람을 생성하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 디스펜싱하는 단계는 복수의 일련의 단분산 액체 드롭렛들을 동시에 디스펜싱하는 단계를 포함하는, 방법.
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