KR102561433B1 - Surface polishing apparatus - Google Patents
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Abstract
(과제) 정지부측의 케이블과 회전부 또는 회전부측의 케이블과 정지부의 접촉을 방지함으로써 정지부측 또는 회전부측의 케이블의 손상을 방지하고, 안정적으로 연마 가공을 가능하게 한다.
(해결 수단) 로터리 조인트(60)의 회전측 조인트부(63)에 접속된 케이블(53)을 덮는 위치에 상호간에 공간부(75)를 유지하여 배치된 제 1 케이블 커버(73)와 제 2 케이블 커버(74)가 설치되고, 양쪽 케이블 커버(73, 74) 사이의 공간부(75) 내에 회전측 조인트부(63)에 접속된 케이블(53)이 수용되어 있다.(Problem) To prevent damage to the cable on the stationary part side or the rotating part side by preventing contact between the cable on the stationary part side and the rotating part or between the cable on the rotating part side and the stationary part, thereby enabling stable polishing.
(Means of solution) A first cable cover 73 and a second cable cover 73 disposed while maintaining a space 75 therebetween at a position covering the cable 53 connected to the rotation side joint portion 63 of the rotary joint 60. A cable cover 74 is installed, and a cable 53 connected to the rotation joint part 63 is accommodated in a space 75 between both cable covers 73 and 74 .
Description
본 발명은 워크의 연마에 사용되는 평면 연마 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat polishing device used for polishing a workpiece.
종래부터, 예를 들면 실리콘 웨이퍼 등의 워크의 표면을 연마하는 연마 장치에는 워크 두께 측정 센서나 정반 온도 측정 센서 등의 여러 가지 센서가 탑재되어 있다. 이들 센서는 회전하는 정반에 설치되어 연마 가공 중에 정반과 함께 회전하면서 워크 두께나 정반 온도 등을 측정한다. 워크 두께 측정 센서에는 통상 레이저광을 워크에 조사해서 반사광으로부터 그 두께를 측정하는 광학식의 센서가 사용된다.Background Art [0002] Conventionally, various sensors such as a workpiece thickness measurement sensor and a platen temperature measurement sensor are mounted in a polishing apparatus that polishes the surface of a workpiece such as a silicon wafer. These sensors are installed on the rotating surface plate and measure the thickness of the workpiece or the temperature of the surface plate while rotating with the surface plate during polishing. As a workpiece thickness measurement sensor, an optical sensor that irradiates a workpiece with laser light and measures the thickness from reflected light is usually used.
연마 가공 중의 연마 장치에서는 측정 유닛으로부터 센서로의 레이저광 및 전력의 공급은 광섬유 케이블이나 전기 케이블을 통해 행해진다. 또한, 연마 가공 중에 센서에 의해 측정된 데이터는 상시 센서로부터 측정 유닛으로 광섬유 케이블이나 전기 케이블 등을 통해서 전달된다. 이때, 센서는 정반 등의 회전부에 설치되고, 측정 유닛은 기체 등의 회전하지 않는 정지부(靜止部)에 설치되기 때문에 회전부와 정지부 사이에서 레이저광이나 전력 또는 전기 신호 등의 전달을 행하기 위한 전달 부재로서 로터리 조인트가 사용되고, 그 정지측 조인트부와 측정 유닛 및 회전측 조인트부와 센서가 각각 광섬유 케이블 또는 전기 케이블에 의해 접속된다.In a polishing device during polishing, supply of laser light and electric power from the measurement unit to the sensor is performed through an optical fiber cable or an electric cable. In addition, data measured by the sensor during polishing is always transferred from the sensor to the measurement unit through an optical fiber cable or an electric cable. At this time, since the sensor is installed on a rotating part such as a surface plate and the measuring unit is installed on a non-rotating stationary part such as a gas, it is difficult to transmit laser light, power or electrical signals between the rotating part and the stationary part. A rotary joint is used as a transmission member for the transmission, and its stationary side joint and measurement unit and rotation side joint and sensor are connected by optical fiber cables or electric cables, respectively.
그러나, 로터리 조인트를 사용한 경우 회전부가 정지부에 대해서 회전할 때에 로터리 조인트의 회전부측에 접속된 케이블이 로터리 조인트의 정지부측에 접촉하고, 또는 정지부측에 접속된 케이블이 로터리 조인트의 회전부측에 접촉하는 경우가 있다. 그리고, 이 접촉에 의한 케이블의 마찰이나 걸림에 의해 케이블이 손상 또는 단선될 우려가 있다.However, in the case of using a rotary joint, when the rotating part rotates with respect to the stationary part, the cable connected to the rotary part side of the rotary joint contacts the stationary part side of the rotary joint, or the cable connected to the stationary part side contacts the rotating part side of the rotary joint. There are times when In addition, there is a possibility that the cable may be damaged or disconnected due to friction or jamming of the cable due to this contact.
특허문헌 1에는 연마 장치의 일례로서 레이저광을 사용해서 워크의 두께를 측정하는 연마 장치가 개시되어 있다. 특허문헌 1의 도 5에 개시되어 있는 연마 장치는 두께 측정 장치를 상측 정반에 부착한 것이며, 광원으로부터 출력된 레이저광을 워크에 조사하고, 워크로부터의 반사광을 상측 정반의 회전축 내를 통과한 광섬유 케이블, 광섬유 로터리 조인트를 통해 정지부에 도출하여 워크의 두께를 측정하고 있다. 이 때문에 이 연마 장치는 상술한 결점을 갖는 것이다.Patent Literature 1 discloses a polishing device that measures the thickness of a workpiece using a laser beam as an example of the polishing device. In the polishing device disclosed in FIG. 5 of Patent Document 1, a thickness measuring device is attached to the upper surface plate, a laser beam output from a light source is irradiated to the workpiece, and an optical fiber passes the reflected light from the workpiece through the rotating shaft of the upper surface platen. The thickness of the workpiece is measured by leading it to the stationary part through the cable and fiber optic rotary joint. For this reason, this polishing apparatus has the above-mentioned drawback.
본 발명의 목적은 정지부측의 측정 유닛과 회전부측의 센서 수단을 로터리 조인트를 통해 케이블로 접속하도록 한 평면 연마 장치에 있어서, 정지부측의 케이블과 회전부 또는 회전부측의 케이블과 정지부의 접촉을 방지함으로써 정지부측 또는 회전부측의 케이블의 손상을 방지하여 안정적인 연마 가공을 가능하게 하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a flat polishing device in which a measuring unit on the stationary side and a sensor means on the rotating side are connected with a cable through a rotary joint, by preventing contact between the cable on the stationary side and the rotating unit or between the cable on the rotating unit and the stationary unit. It is to prevent damage to the cable on the side of the stationary part or the rotating part to enable stable polishing.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 기체와, 워크를 연마하기 위해 기체에 회전 가능하게 지지된 정반과, 워크의 연마시에 워크 또는 정반에 관한 데이터를 측정하기 위해 정반과 일체로 회전하도록 설치된 센서 수단과, 기체에 설치되어 케이블에 의해 센서 수단에 접속된 측정 유닛과, 기체측의 정지부와 정반측의 회전부 사이에 개재되어 정지부측에 연결된 정지측 조인트부 및 회전부측에 연결된 회전측 조인트부를 갖는 로터리 조인트와, 로터리 조인트의 정지측 조인트부와 측정 유닛을 접속하는 1차측 케이블 및 로터리 조인트의 회전측 조인트부와 센서 수단을 접속하는 2차측 케이블을 갖고, 로터리 조인트의 정지측 조인트부 또는 회전측 조인트부에 접속된 케이블을 덮는 위치에 상호간에 공간부를 유지하여 배치된 제 1 케이블 커버와 제 2 케이블 커버가 설치되고, 양쪽 케이블 커버 사이의 공간부 내에 정지측 조인트부 또는 회전측 조인트부에 접속된 케이블이 수용되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a substrate, a surface plate rotatably supported by the substrate for polishing a workpiece, and a sensor installed to rotate integrally with the surface plate to measure data on the workpiece or surface plate during polishing of the workpiece. means, a measuring unit installed in the body and connected to the sensor means by a cable, and interposed between the stationary unit on the body side and the rotation unit on the front side, and a stationary joint unit connected to the stationary unit side and a rotation-side joint unit connected to the rotation unit side. A rotary joint having a rotary joint, a primary cable connecting the stationary side joint of the rotary joint and the measurement unit, and a secondary cable connecting the rotation side joint of the rotary joint and the sensor unit, wherein the stationary side joint of the rotary joint or the rotation A first cable cover and a second cable cover disposed while maintaining a space between each other are installed at a position to cover the cables connected to the side joint, and the stationary joint or the rotating joint is installed in the space between the two cable covers. It is characterized in that the connected cable is accommodated.
이 경우에 있어서, 제 1 케이블 커버와 제 2 케이블 커버는 유저(有底)통형상을 이루고 있고, 소경의 제 1 케이블 커버의 외측에 대경의 제 2 케이블 커버가 상호간에 공간부를 유지한 상태로 동심형상으로 배치되어 있는 것이 바람직하다.In this case, the first cable cover and the second cable cover form a barrel shape, and the large-diameter second cable cover outside the small-diameter first cable cover maintains a space between them. It is preferable to be arranged concentrically.
또한, 제 1 케이블 커버와 제 2 케이블 커버는 투시성을 갖는 것이 바람직하다.Also, it is preferable that the first cable cover and the second cable cover have see-through properties.
그리고, 보다 구체적으로는 평면 연마 장치는 양면 연마 장치로서, 정반은 상측 정반 및 하측 정반이며, 상측 정반은 기체에 승강 가능하며 또한 회전 가능하게 지지되고, 센서 수단은 상측 정반과 일체로 회전하도록 배치되어서 워크 연마시의 데이터를 측정하도록 구성되고, 케이블은 광섬유 케이블 및 전기 케이블 중 적어도 한쪽을 포함하는 것이 바람직하다.And, more specifically, the flat surface polishing device is a double-sided polishing device, the surface plate is an upper surface plate and a lower surface plate, the upper surface plate can be lifted and rotatably supported by the body, and the sensor unit is arranged to rotate integrally with the upper surface plate. It is configured to measure data at the time of polishing the workpiece, and the cable preferably includes at least one of an optical fiber cable and an electric cable.
(발명의 효과)(Effects of the Invention)
본 발명에 의하면 로터리 조인트의 정지측 조인트부 또는 회전측 조인트부에 접속된 케이블을 덮는 위치에 상호간에 공간부를 유지하여 배치된 제 1 케이블 커버와 제 2 케이블 커버가 설치되고, 양쪽 케이블 커버 사이의 공간부 내에 정지측 조인트부 또는 회전측 조인트부에 접속된 케이블이 수용되어 있다. 그 때문에, 정지측 조인트부 또는 회전측 조인트부와 케이블의 접촉을 방지할 수 있다. 이것에 의해 상기 접촉에 의한 케이블의 마모나 파단 등의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 케이블을 통해 공급된 레이저 광이나 전력 및 케이블을 통해 전달된 반사광이나 전기 신호 등의 측정 데이터가 부재와 케이블이 접촉함으로써 발생하는 노이즈 등의 영향을 받는 일 없이 안정적인 레이저광 또는 전력을 공급 또는 측정 데이터의 수집을 행할 수 있다. 즉, 안정적인 연마 가공이 가능해진다.According to the present invention, a first cable cover and a second cable cover are installed in a position to cover a cable connected to a stationary side joint or a rotation side joint of a rotary joint while maintaining a space between them, and A cable connected to the stationary side joint portion or the rotation side joint portion is accommodated in the space portion. Therefore, it is possible to prevent contact between the stationary side joint portion or the rotation side joint portion and the cable. Accordingly, damage such as abrasion or breakage of the cable due to the contact can be prevented. In addition, the measurement data such as laser light or power supplied through the cable and reflected light or electrical signal transmitted through the cable are not affected by noise caused by contact between the member and the cable, and stable laser light or power is supplied or supplied. Measurement data can be collected. That is, a stable polishing process becomes possible.
도 1은 본 발명에 의한 평면 연마 장치의 실시형태를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 로터리 조인트 주변을 확대한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an embodiment of a plane polishing device according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view around the rotary joint of FIG. 1 .
본 실시형태의 평면 연마 장치(1)는 기체(2)에 회전 가능하게 지지된 하측 정반(10)과, 기체(2)에 승강 가능 및 회전 가능하게 지지된 상측 정반(20)과, 상측 정반(20)과 하측 정반(10) 사이에 개재하여 설치되어 상측 정반(20)과 하측 정반(10)에 의해 연마되는 실리콘 웨이퍼 등의 워크(W)를 유지하는 캐리어(40)를 갖고 있다. 상측 정반(20)의 하면 및 하측 정반(10)의 상면에는 연마 패드(18a, 18b)가 부착되어 있다.The flat surface polishing device 1 of the present embodiment includes a lower surface plate 10 rotatably supported by a base 2, an upper surface plate 20 rotatably supported by a base 2, and an upper surface plate 20. 20 and the lower surface plate 10 interposed therebetween and has a carrier 40 holding a workpiece W such as a silicon wafer to be polished by the upper surface plate 20 and the lower surface plate 10 . Polishing pads 18a and 18b are attached to the lower surface of the upper surface plate 20 and the upper surface of the lower surface plate 10 .
기체(2)에는 광원(3)과 연산 제어 장치(4)를 포함하는 측정 유닛(5)이 설치되어 있다. 광원(3)은 레이저광을 출력하는 것이며, 연산 제어 장치(4)는 워크(W)의 두께 등의 측정 데이터를 수집하고, 수집된 데이터의 연산이나 분석 등을 행해서 연마 장치(1) 전체의 제어를 행하는 외에 전력 공급을 위한 전원을 겸하는 것이다. 또한, 광원(3)과 연산 제어 장치(4)를 포함하는 측정 유닛(5)은 기체(2) 이외의 상측 정반(20)이나 하측 정반(10)의 회전과 가장자리가 잘린 위치에 설치되어 있어도 좋다.Body 2 is provided with a measuring unit 5 comprising a light source 3 and an arithmetic control device 4 . The light source 3 outputs laser light, and the arithmetic control device 4 collects measurement data such as the thickness of the workpiece W, and calculates or analyzes the collected data to improve the overall performance of the polishing device 1. In addition to performing control, it also serves as a power supply for power supply. In addition, even if the measuring unit 5 including the light source 3 and the operation control unit 4 is installed at a position where the upper surface plate 20 or the lower surface plate 10 other than the body 2 rotates and the edge is cut off. good night.
상측 정반(20)에는 센서 수단으로서 워크(W)의 두께를 측정하는 광학식의 프로브(21)가 설치되고, 측정 유닛(5)과 프로브(21)가 광섬유 케이블(51) 및 전기 케이블(56)에 의해 로터리 조인트(60)를 통해 서로 접속되어 있다. An optical probe 21 for measuring the thickness of the workpiece W is installed on the upper surface plate 20 as a sensor means, and the measuring unit 5 and the probe 21 connect the optical fiber cable 51 and the electric cable 56 are connected to each other via the rotary joint 60 by.
하측 정반(10)의 중심에는 선 기어(11)가 배치되고, 하측 정반(10)의 외주에는 인터널 기어(12)가 하측 정반(10)을 둘러싸도록 배치되어 있다. 또한, 하측 정반(10) 상에는 상기 캐리어(40)가 선 기어(11)와 인터널 기어에 맞물려서 복수 배치되어 있다. 선 기어(11)의 중앙 하부에는 원통형상의 제 1 구동축(13)이 부착되고, 하측 정반(10)의 중앙 하부에는 원통형상의 제 2 구동축(14)이 부착되고, 인터널 기어(12)의 중앙 하부에는 원통형상의 제 3 구동축(15)이 부착되어 있다. 또한, 하측 정반(10)의 중심에는 제 4 구동축(16)이 부착되고, 이 제 4 구동축(16)은 제 1 구동축(13)에 수용되어 있다. 제 1 구동축(13)은 제 2 구동축(14)에 수용되어 있고, 제 2 구동축(14)은 제 3 구동축(15)에 수용되어 있다. 이들 제 1 내지 제 4 구동축(13-16)은 도시하지 않은 구동 모터에 의해 구동 회전하도록 구성되어 있다.A sun gear 11 is disposed at the center of the lower surface plate 10 , and an internal gear 12 is disposed around the outer circumference of the lower surface plate 10 to surround the lower surface plate 10 . In addition, on the lower surface plate 10, a plurality of carriers 40 are arranged in mesh with the sun gear 11 and the internal gear. A cylindrical first drive shaft 13 is attached to the lower center of the sun gear 11, a second cylindrical drive shaft 14 is attached to the lower center of the lower surface plate 10, and the center of the internal gear 12 A third drive shaft 15 in a cylindrical shape is attached to the lower part. In addition, a fourth drive shaft 16 is attached to the center of the lower surface plate 10, and this fourth drive shaft 16 is housed in the first drive shaft 13. The 1st drive shaft 13 is accommodated in the 2nd drive shaft 14, and the 2nd drive shaft 14 is accommodated in the 3rd drive shaft 15. These first to fourth drive shafts 13-16 are driven and rotated by a drive motor (not shown).
각 캐리어(40)에 형성되어 있는 복수의 워크 유지 구멍(41) 내에 각각 원판형의 워크(W)가 유지되고, 선 기어(11)와 인터널 기어(12)의 양쪽을 회전시킴으로써 상기 각 캐리어(40)가 선 기어(11)의 주위를 자전 및 공전하고, 각 캐리어(40)에 유지된 워크(W)의 상하 양면이 상측 정반(20)의 하면에 부착된 연마 패드(18a)와 하측 정반(10)의 상면에 부착된 연마 패드(18b)에 의해 연마된다.Disc-shaped workpieces W are held in a plurality of work holding holes 41 formed in each carrier 40, and both the sun gear 11 and the internal gear 12 are rotated to rotate each of the carriers. 40 rotates and revolves around the sun gear 11, and the upper and lower surfaces of the workpiece W held in each carrier 40 are connected to the polishing pad 18a attached to the lower surface of the upper surface plate 20 and the lower surface plate 20. Polishing is performed by the polishing pad 18b attached to the upper surface of the surface plate 10 .
상측 정반(20)은 정반 서스펜더(31)를 통해 승강용 액추에이터(7)의 승강 로드(32)에 부착되어 있다. 이 승강용 액추에이터(7)는 기체(2)에 지지되어 있다.The upper surface plate 20 is attached to the elevating rod 32 of the elevating actuator 7 via the surface plate suspender 31 . This lift actuator 7 is supported by the base body 2 .
이 상측 정반(20)의 부착에 대해서 보다 상세하게 설명하면 정반 서스펜더(31)의 외주측의 하면에는 하측 방향으로 연장되는 복수의 지지 로드(33)가 등간격으로 설치되고, 이 지지 로드(33)가 상측 정반(20)의 상면에 부착되어 있다. 또한, 정반 서스펜더(31)의 내주면과 승강 로드(32)의 외주면 사이에는 이 정반 서스펜더(31)와 승강 로드(32)를 상하 방향으로는 고정적으로 결합하지만 상측 정반(20)의 회전 방향으로는 상대적으로 회전 가능하게 결합하는 베어링(34)이 개재하여 설치되어 있다. 또한, 정반 서스펜더(31)의 내주측에는 후술하는 광섬유 케이블(51) 및 전기 케이블(56)을 삽입 통과하기 위한 케이블 삽입 통과 구멍(35)이 두께 방향으로 형성되어 있다.If the attachment of the upper surface plate 20 is described in more detail, a plurality of support rods 33 extending downward are installed at equal intervals on the lower surface of the outer peripheral side of the surface plate suspender 31, and these support rods 33 ) is attached to the upper surface of the upper platen 20. In addition, between the inner circumferential surface of the surface plate suspender 31 and the outer surface of the lifting rod 32, the surface plate suspender 31 and the lifting rod 32 are fixedly coupled in the vertical direction, but not in the rotational direction of the upper surface plate 20. A bearing 34 coupled to be relatively rotatable is interposed therebetween. In addition, a cable insertion hole 35 for inserting an optical fiber cable 51 and an electric cable 56 to be described later is formed on the inner circumferential side of the surface plate suspender 31 in the thickness direction.
상측 정반(20)은 워크(W)의 비연마시에 승강 로드(32)에 의해 대피 위치(도시 생략)로 상승하고, 워크(W)의 연마시에 도 1의 연마 위치까지 하강한다. 상측 정반(20)이 하강하면 상측 정반(20)에 부착된 후크(22)가 제 4 구동축(16)의 상단의 드라이버(17)에 결합되기 때문에 상측 정반(20)과 정반 서스펜더(31)는 제 4 구동축(16)에 의해 드라이버(17)를 통해 구동되어 일체로 회전한다.The upper surface plate 20 is raised to a sheltered position (not shown) by the elevating rod 32 when the workpiece W is not polished, and is lowered to the polishing position shown in FIG. 1 when the workpiece W is polished. When the upper surface plate 20 descends, the hook 22 attached to the upper surface plate 20 is coupled to the driver 17 at the upper end of the fourth drive shaft 16, so that the upper surface plate 20 and the surface plate suspender 31 It is driven through the driver 17 by the fourth drive shaft 16 and rotates integrally.
또한, 지지 로드(33)에느 프로브 홀더(36)가 고정되고, 이 프로브 홀더(36)에 프로브(21)가 유지되어 있다. 이 프로브(21)는 상측 정반(20)의 상하면을 관통하는 두께 측정 구멍(23)의 바로 위에 배치되고, 이 두께 측정 구멍(23)에는 하단에 투명한 창판(25)을 설치한 창 부재(26)가 부착되어 있다. 또한, 프로브(21)는 상측 정반(20)에 직접 부착하거나, 또는 정반 서스펜더(31)에 고정한 프로브 홀더(36)에 프로브(21)를 유지시키는 방식이어도 좋다.Further, a probe holder 36 is fixed to the support rod 33, and the probe 21 is held by the probe holder 36. This probe 21 is disposed directly above the thickness measurement hole 23 penetrating the upper and lower surfaces of the upper surface plate 20, and a window member 26 having a transparent window plate 25 installed at the lower end of the thickness measurement hole 23. ) is attached. Further, the probe 21 may be directly attached to the upper surface plate 20 or may be held in a probe holder 36 fixed to the surface plate suspender 31.
승강 로드(32)의 하단부(32a)와 정반 서스펜더(31) 사이에는 로터리 조인트(60)가 배치되어 있다. 이 로터리 조인트(60)는 내측의 광용 로터리 조인트부(61)와 외측의 전기용 로터리 조인트부(65)를 갖고 있다.A rotary joint 60 is disposed between the lower end 32a of the elevating rod 32 and the surface plate suspender 31 . This rotary joint 60 has an inner rotary joint part 61 for light and an outer rotary joint part 65 for electricity.
광용 로터리 조인트부(61)는 상대적으로 회전 가능하게 정지측 조인트부(62)와 회전측 조인트부(63)를 갖고 있다. 정지측 조인트부(62)는 기체(2)에 대해서 비회전의 승강 로드(32)의 하단부(32a)에 고정적으로 부착되고, 회전측 조인트부(63)는 후술하는 제 1 케이블 커버(73)를 통해 정반 서스펜더(31)에 연결됨으로써 정반 서스펜더(31) 및 상측 정반(20)과 일체로 회전하고, 정지측 조인트부(62)와 회전측 조인트부(63) 사이에는 베어링(64)이 개재하여 설치되어 있다.The light rotary joint part 61 has a stationary side joint part 62 and a rotation side joint part 63 so as to be relatively rotatable. The stationary side joint part 62 is fixedly attached to the lower end 32a of the non-rotating elevating rod 32 with respect to the body 2, and the rotation side joint part 63 is a first cable cover 73 to be described later. By being connected to the surface plate suspender 31 through, the surface plate suspender 31 and the upper surface plate 20 rotate integrally, and a bearing 64 is interposed between the stationary side joint part 62 and the rotation side joint part 63. is installed.
또한, 승강 로드(32)와 정지측 조인트부(62)와 회전측 조인트부(63)에는 삽입 통과 구멍(32b와 62a와 63a)이 동축 상에 위치하도록 형성되고, 승강 로드(32)의 삽입 통과 구멍(32b)과 정지측 조인트부(62)의 삽입 통과 구멍(62a)의 내부에는 광섬유 케이블(51) 중 광원(3)에 접속된 1차측 케이블(52)이 삽입되고, 회전측 조인트부(63)의 삽입 통과 구멍(63a)의 내부에는 프로브(21)에 접속된 2차측 케이블(53)이 삽입되고, 정지측 조인트부(62)에 유지된 1차측 케이블(52)의 단면과, 회전측 조인트부(63)에 유지된 2차측 케이블(53)의 단면이 공극을 통해 비접촉 상태로 정대(正對)하고 있다.In addition, insertion holes 32b, 62a, and 63a are formed coaxially in the elevating rod 32, the stationary joint portion 62, and the rotating joint portion 63, and the elevating rod 32 is inserted. The primary side cable 52 connected to the light source 3 among the optical fiber cables 51 is inserted into the through hole 32b and the insertion hole 62a of the stationary side joint part 62, and the rotation side joint part Inside the insertion hole 63a of (63), the secondary side cable 53 connected to the probe 21 is inserted, and the cross section of the primary side cable 52 held by the stop side joint portion 62, The end face of the secondary side cable 53 held by the rotation side joint part 63 is in a non-contact state through an air gap.
한편, 전기용 로터리 조인트부(65)는 상대적으로 회전 가능한 정지측 조인트부(66)와 회전측 조인트부(67)를 갖고 있다. 정지측 조인트부(66)는 승강 로드(32)의 하단부(32a)에 고정적으로 부착되고, 회전측 조인트부(67)는 광용 로터리 조인트부(61)의 회전측 조인트부(63)에 연결됨으로써 정반 서스펜더(31) 및 상측 정반(20)과 일체로 회전하고, 정지측 조인트부(66)와 회전측 조인트부(67) 사이에는 베어링(68)이 개재하여 설치되어 있다.On the other hand, the electric rotary joint part 65 has a stationary side joint part 66 and a rotation side joint part 67 which are relatively rotatable. The stationary joint part 66 is fixedly attached to the lower end 32a of the elevating rod 32, and the rotation-side joint part 67 is connected to the rotation-side joint part 63 of the rotary joint part 61 for light. It rotates integrally with the surface plate suspender 31 and the upper surface plate 20, and a bearing 68 is interposed between the stationary side joint part 66 and the rotation side joint part 67.
회전측 조인트부(67)는 원통형을 하고 있고, 광용 로터리 조인트부(61)의 정지측 조인트부(62) 및 회전측 조인트부(63)의 주위를 비접촉 상태로 둘러싸도록 배치되고, 핀(71)으로 회전측 조인트부(63)에 연결됨으로써 이 회전측 조인트부(63)와 일체가 되어서 회전한다.The rotation-side joint portion 67 has a cylindrical shape, and is disposed so as to surround the stationary-side joint portion 62 and the rotation-side joint portion 63 of the light rotary joint portion 61 in a non-contact state, and pin 71 ) by being connected to the rotary joint part 63, it rotates integrally with this rotary joint part 63.
정지측 조인트부(66)는 원통형을 하고 있고, 회전측 조인트부(67)의 주위를 둘러싸도록 배치되어 정지측 조인트부(66)의 내주부에 설치된 브러시(69)가 회전측 조인트부(67)의 외주부에 슬라이딩함으로써 정지측 조인트부(66)와 회전측 조인트부(67)가 전기적으로 접속되어 있다. 베어링(68)은 정지측 조인트부(66)의 내주면과 회전측 조인트부(67)의 외주면 사이에 개재하여 설치되어 있다.The stationary-side joint portion 66 has a cylindrical shape, and is disposed so as to surround the rotation-side joint portion 67. By sliding on the outer periphery of ), the stationary side joint part 66 and the rotation side joint part 67 are electrically connected. The bearing 68 is interposed between the inner circumferential surface of the stationary side joint part 66 and the outer circumferential surface of the rotating side joint part 67 and is provided.
전기용 로터리 조인트부(65)의 정지측 조인트부(66)에는 전기 케이블(56) 중 일단을 연산 제어 장치(4)에 접속된 1차측 케이블(57)의 타단이 승강 로드(32)의 삽입 통과 구멍(32c) 내를 통해서 접속되고, 회전측 조인트부(67)에는 일단을 프로브(21)에 접속된 2차측 케이블(58)의 타단이 접속되어 있다.The other end of the primary side cable 57, one end of which is connected to the arithmetic control device 4, of the electric cable 56 is inserted into the stationary side joint portion 66 of the electrical rotary joint portion 65 by the lifting rod 32 The other end of the secondary cable 58 connected to the probe 21 at one end is connected to the rotation joint part 67 through the passage hole 32c.
정반 서스펜더(31)의 중앙부 하면에는 로터리 조인트(60)를 덮도록 유저통형상을 이룬 소경의 제 1 케이블 커버(73)와 대경의 제 2 케이블 커버(74)가 상호간에 공간부(75)를 유지하여 내외 동심형상으로 배치되고, 정반 서스펜더(31) 및 상측 정반(20)과 일체로 회전하도록 부착되어 있다. 제 2 케이블 커버(74)는 직경도 깊이도 제 1 케이블 커버(73)보다 크기 때문에 공간부(75)는 제 1 케이블 커버(73)의 바닥벽(73a) 외면과 제 2 케이블 커버(74)의 바닥벽(74a) 내면의 사이 및 제 1 케이블 커버(73)의 측벽(73b) 외면과 제 2 케이블 커버(74)의 측벽(74b) 내면 사이에 연속해서 형성된다.On the lower surface of the central part of the surface plate suspender 31, a small-diameter first cable cover 73 and a large-diameter second cable cover 74 formed in a cylindrical shape so as to cover the rotary joint 60 form a space portion 75 between them. It is held and arranged concentrically inside and outside, and is attached so as to rotate integrally with the surface plate suspender 31 and the upper surface plate 20. Since the second cable cover 74 is larger than the first cable cover 73 in diameter and depth, the space 75 is formed between the outer surface of the bottom wall 73a of the first cable cover 73 and the second cable cover 74. It is continuously formed between the inner surface of the bottom wall 74a and between the outer surface of the side wall 73b of the first cable cover 73 and the inner surface of the side wall 74b of the second cable cover 74.
제 1 케이블 커버(73)및 제 2 케이블 커버(74)는 금속이나 수지 등의 재료로 형성할 수 있고, 바람직하게는 수지로 형성되는 것이며, 보다 바람직하게는 투시성을 갖게 함으로써 내부를 투시할 수 있도록 형성하는 것이다. 또한, 제 1 케이블 커버(73) 및 제 2 케이블 커버(74)는 케이블의 접촉을 최대한 방지하기 위해서 유저원통형상체로 하는 것이 바람직하지만 이것에 한정되지 않고 유저통형상을 이루는 것이면 다각통형상체 등의 다른 형상이어도 좋다.The first cable cover 73 and the second cable cover 74 can be formed of a material such as metal or resin, preferably made of resin, and more preferably have transparency so that they can see through the inside. to form so that In addition, although it is preferable that the first cable cover 73 and the second cable cover 74 be shaped like cylindrical bodies in order to prevent cable contact as much as possible, they are not limited to this, and if they have a cylindrical shape, they can be made of polygonal cylindrical bodies, etc. Other shapes may be used.
제 1 케이블 커버(73)의 바닥벽(73a)의 중앙부에는 제 1 케이블 커버(73)의 내부와 공간부(75)를 연통시키는 개구 구멍(76)이 형성되고, 개구 구멍(76)에 감합하는 광용 로터리 조인트부(61)의 회전측 조인트부(63)의 하단부와 개구 구멍(76)의 개구 가장자리부(76a)가 핀(72)으로 연결됨으로써 상측 정반(20)의 회전시에 광용 로터리 조인트부(61)의 회전측 조인트부(63)가 상측 정반(20)에 추종해서 회전하도록 되어 있다.An opening hole 76 communicating the interior of the first cable cover 73 and the space portion 75 is formed in the central portion of the bottom wall 73a of the first cable cover 73, and is fitted to the opening hole 76. The lower end of the rotation-side joint part 63 of the rotary joint part 61 for light and the opening edge part 76a of the opening hole 76 are connected by a pin 72, so that when the upper surface plate 20 rotates, the light rotary The rotation side joint part 63 of the joint part 61 follows the upper surface plate 20 and rotates.
그리고, 공간부(75) 내에는 광용 로터리 조인트부(61)의 회전측 조인트부(63)의 삽입 통과 구멍(63a)으로부터 도출되는 광섬유 케이블(51)의 2차측 케이블(53)과 전기용 로터리 조인트부(65)의 회전측 조인트부(67)에 접속된 전기 케이블(56)의 2차측 케이블(58)이 수용되고, 공간부(75) 내를 통과함으로써 로터리 조인트(60)의 정지측 부분 또는 부품에 대해서 비접촉 상태로 격리되고, 정반 서스펜더(31)에 형성된 케이블 삽입 통과 구멍(35)으로부터 정반 서스펜더(31)의 외부로 도출된 후 프로브(21)에 접속되어 있다.And, in the space part 75, the secondary side cable 53 of the optical fiber cable 51 led out from the insertion hole 63a of the rotary joint part 63 of the rotary joint part 61 for light and the electrical rotary The secondary side cable 58 of the electric cable 56 connected to the rotation side joint portion 67 of the joint portion 65 is accommodated, and the stationary side portion of the rotary joint 60 is passed through the space portion 75. Alternatively, it is isolated from parts in a non-contact state, and is connected to the probe 21 after being led out of the surface plate suspender 31 from the cable insertion hole 35 formed in the surface plate suspender 31.
이와 같이 구성된 평면 연마 장치로 워크(W)를 연마할 때에는 캐리어(40)에 워크(W)가 세팅된 후 대피 위치를 차지하고 있던 상측 정반(20)이 승강 로드(32)의 신장에 의해 도 1의 연마 위치까지 하강하고, 상측 정반(20)에 부착된 후크(22)가 드라이버(17)에 의해 결합된다. 이 상태에서 제 1-제 4 구동축(13-16)이 도시되지 않은 구동 모터에 의해 구동, 회전됨으로써 각 캐리어(40)가 선 기어(11)의 주위를 자전 및 공전하고, 각 캐리어(40)에 유지된 워크(W)의 상하 양면이 상측 정반(20)의 하면에 부착된 연마 패드(18a)와 하측 정반(10)의 상면에 부착된 연마 패드(18b)에 의해 연마된다.When the workpiece W is polished with the flat surface polishing device configured as described above, after the workpiece W is set on the carrier 40, the upper surface plate 20, which occupies the retracted position, is moved to FIG. 1 by the elongation of the elevating rod 32. , and the hook 22 attached to the upper surface plate 20 is engaged by the driver 17. In this state, as the first to fourth drive shafts 13 to 16 are driven and rotated by a drive motor (not shown), each carrier 40 rotates and orbits around the sun gear 11, and each carrier 40 Both upper and lower surfaces of the workpiece W held therein are polished by the polishing pad 18a attached to the lower surface of the upper surface plate 20 and the polishing pad 18b attached to the upper surface of the lower surface plate 10 .
연마 중 워크(W)에는 프로브(21)로부터 레이저광이 조사되고, 워크(W)의 표면 및 이면으로부터의 반사광이 프로브(21)로 수광되고, 수광된 반사광은 전기 신호로 변환되어 두께 데이터로서 전기 케이블(56)을 통해서 연산 제어 장치(4)에 수집되고, 이 데이터가 연산 또는 분석됨으로써 워크(W)의 두께가 측정된다. 그리고, 측정된 워크(W)의 두께가 소망의 두께가 된 시점에서 연마가 종료된다.During polishing, the workpiece W is irradiated with laser light from the probe 21, the reflected light from the surface and backside of the workpiece W is received by the probe 21, and the received reflected light is converted into an electrical signal as thickness data. The thickness of the workpiece W is measured by being collected by the arithmetic control device 4 via the electric cable 56 and calculating or analyzing this data. Then, polishing is finished when the measured thickness of the workpiece W reaches a desired thickness.
이때, 로터리 조인트(60)의 광용 로터리 조인트부(61)의 회전측 조인트부(63)에 접속된 광섬유 케이블(51)의 2차측 케이블(53)과 전기용 로터리 조인트부(65)의 회전측 조인트부(67)에 접속된 전기 케이블(56)의 2차측 케이블(58)은 정반 서스펜더(31) 및 상측 정반(20)과 일체로 회전하지만, 모두 제 1 케이블 커버(73)와 제 2 케이블 커버(74) 사이의 공간부(75) 내에 수용됨으로써 로터리 조인트부(60)의 정지측 부분 또는 부품으로부터 격리되고, 이들 부분 또는 부품과 접촉하지 않기 때문에 접촉에 의한 마모나 파단 등의 손상을 받는 일이 없다. 또한, 본 실시형태에서는 상기 접촉이 없기 때문에 케이블을 통해 공급되는 레이저광이나 전력, 및 케이블을 통해 전달되는 반사광이나 전기 신호 등의 측정 데이터가 상기 접촉에 의해 발생하는 노이즈 등의 영향을 받는 일 없이 안정적으로 레이저광 또는 전력의 공급 또는 측정 데이터의 수집을 행할 수 있다. 즉, 안정적인 연마 가공이 가능해진다.At this time, the secondary cable 53 of the optical fiber cable 51 connected to the rotation side joint unit 63 of the rotary joint unit 61 for light of the rotary joint 60 and the rotation side of the rotary joint unit 65 for electricity The secondary cable 58 of the electrical cable 56 connected to the joint portion 67 rotates integrally with the surface plate suspender 31 and the upper surface plate 20, but both are connected to the first cable cover 73 and the second cable. Accommodated in the space portion 75 between the covers 74, it is isolated from the stationary side parts or parts of the rotary joint part 60, and is not in contact with these parts or parts, so it is not subject to damage such as abrasion or breakage due to contact. There is no work. In addition, since there is no contact in the present embodiment, measurement data such as laser light and electric power supplied through the cable and reflected light and electrical signals transmitted through the cable are not affected by noise or the like caused by the contact. It is possible to stably supply laser light or power or collect measurement data. That is, a stable polishing process becomes possible.
또한, 본 실시형태에서는 로터리 조인트(60)의 전기용 로터리 조인트부(65)에 있어서의 1차측 케이블(57)과 2차측 케이블(58)을 브러시(69)로 전기적으로 접속하고 있지만, 1차측 케이블(57)과 2차측 케이블(58)을 수은 등의 액체 금속을 사용해서 전기적으로 접속해도 좋다.In this embodiment, the primary side cable 57 and the secondary side cable 58 in the electrical rotary joint part 65 of the rotary joint 60 are electrically connected by the brush 69, but the primary side You may electrically connect the cable 57 and the secondary side cable 58 using liquid metal, such as mercury.
또한, 본 실시형태에서는 승강 로드(32)의 삽입 통과 구멍(32b)에 삽입되어 있는 광섬유 케이블(51)의 1차측 케이블(52)과 전기 케이블(56)의 1차측 케이블(57)은 승강 로드(32)의 측면으로부터 외부로 도출되어서 광원(3) 및 연산 제어 장치(4)에 접속되어 있지만, 승강 로드(32)의 상면으로부터 외부로 도출되는 구조이어도 좋다.Further, in this embodiment, the primary side cable 52 of the optical fiber cable 51 and the primary side cable 57 of the electric cable 56 inserted into the insertion hole 32b of the elevating rod 32 are the elevating rod. Although it leads to the outside from the side surface of 32 and is connected to the light source 3 and the arithmetic control device 4, it may be structured to lead to the outside from the upper surface of the lifting rod 32.
또한, 본 실시형태에서는 프로브(21)가 상측 정반(20)에 부착되고, 로터리 조인트(60)의 광용 로터리 조인트부(61)의 정지측 조인트부(62) 및 전기용 로터리 조인트부(65)의 정지측 조인트부(66)가 승강 로드(32)의 하단부(32a)에 부착되고, 광용 로터리 조인트부(61)의 회전측 조인트부(63) 및 전기용 로터리 조인트부의 회전측 조인트부(67)가 상측 정반(20)과 일체로 회전하도록 구성되어 있지만, 변형예로서 프로브(21)를 하측 정반(10)에 부착하고, 로터리 조인트(60)를 하측 정반용 구동축(제 2 구동축)(14)의 하단에 부착해서 하측 정반(10)측으로부터 워크(W)의 두께를 측정하도록 구성할 수도 있다.Further, in this embodiment, the probe 21 is attached to the upper surface plate 20, and the stationary side joint part 62 of the rotary joint part 61 for light of the rotary joint 60 and the rotary joint part 65 for electricity The stationary side joint portion 66 of is attached to the lower end portion 32a of the elevating rod 32, the rotation side joint portion 63 of the rotary joint portion 61 for light and the rotation side joint portion 67 of the rotary joint portion for electricity. ) is configured to rotate integrally with the upper surface plate 20, but as a modified example, the probe 21 is attached to the lower surface plate 10, and the rotary joint 60 is used as a drive shaft (second drive shaft) 14 for the lower surface plate. ), and may be configured so that the thickness of the workpiece W is measured from the lower surface plate 10 side.
이 변형예의 경우 도 2에 있어서, 부호 32를 붙인 부분이 회전하는 하측 정반용 구동축, 부호 31을 붙인 부분이 하측 정반용 구동축의 주위의 정지하는 기체 부분으로 여겨질 수 있고, 그렇게 하면 광용 로터리 조인트부(61)의 정지측 조인트부(62) 및 전기용 로터리 조인트부(65)의 정지측 조인트부(66)가 각각 회전측 조인트부가 됨과 아울러 광용 로터리 조인트부(61)의 회전측 조인트부(63) 및 전기용 로터리 조인트부(65)의 회전측 조인트부(67)가 각각 정지측 조인트부가 되고, 또한 제 1 케이블 커버(73)와 제 2 케이블 커버(74)는 정지측인 기체 부분에 부착되고, 양쪽 케이블 커버(73, 74) 사이의 공간부(75) 내에 수용된 광섬유 케이블(51)의 2차측 케이블(53) 및 전기 케이블(56)의 2차측 케이블(58)은 측정 유닛(5)과 정지측 조인트부를 접속하는 1차측 케이블이 된다.In the case of this modified example, in Fig. 2, the part with reference numeral 32 can be regarded as the rotating drive shaft for the lower surface plate, and the part with reference numeral 31 can be regarded as the part of the body that is stationary around the drive shaft for the lower surface plate. In that case, the rotary joint for light The stationary-side joint part 62 of the part 61 and the stationary-side joint part 66 of the rotary joint part 65 for electricity are each a rotation-side joint part, and the rotation-side joint part of the rotary joint part 61 for light ( 63) and the rotation side joint portion 67 of the electrical rotary joint portion 65 are stationary side joint portions, respectively, and the first cable cover 73 and the second cable cover 74 are attached to the body part on the stationary side. The secondary side cable 53 of the optical fiber cable 51 and the secondary side cable 58 of the electrical cable 56, which are attached and accommodated in the space portion 75 between both cable covers 73 and 74, are the measuring unit 5 ) and the primary side cable connecting the stationary side joint.
이 변형예와 같이 구성함으로써 로터리 조인트의 정지측 조인트부에 접속된 케이블이 로터리 조인트의 회전측 조인트부나 그 밖의 회전하는 부분 등에 접촉해서 손상되거나 파선되거나 하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 케이블이 로터리 조인트의 회전측 조인트부나 그 밖의 회전하는 부분 등에 접촉하지 않기 때문에 케이블을 통해 공급되는 레이저광이나 전력, 및 케이블을 통해 전달되는 반사광이나 전기 신호 등의 측정 데이터가 상기 접촉에 의해 발생하는 노이즈 등의 영향을 받는 일 없이 안정적인 레이저 광 또는 전력의 공급 또는 측정 데이터의 수집을 행할 수 있다. 즉, 안정적인 연마 가공이 가능해진다.By configuring like this modified example, it is possible to prevent the cable connected to the stationary side joint portion of the rotary joint from being damaged or broken due to contact with the rotation side joint portion of the rotary joint or other rotating parts. In addition, since the cable does not come into contact with the rotating side joint of the rotary joint or other rotating parts, measurement data such as laser light or power supplied through the cable and reflected light or electrical signals transmitted through the cable are affected by the contact. It is possible to stably supply laser light or power or collect measurement data without being affected by generated noise or the like. That is, a stable polishing process becomes possible.
또한, 상술한 변형예와 같이 프로브(21)를 하측 정반(10)에 부착하고, 로터리 조인트(60)를 하측 정반용 구동축(14)의 하단에 부착한 구조는 워크의 편면을 하측 정반에서 연마하는 편면 연마 장치에 적용할 수 있다.In addition, in the structure in which the probe 21 is attached to the lower surface plate 10 and the rotary joint 60 is attached to the lower end of the driving shaft 14 for the lower surface plate, as in the above-described modified example, one side of the workpiece is polished on the lower surface plate. It can be applied to a single-sided polishing device that
또한, 프로브(21)가 전원을 자신으로 유지하고 있는 경우나 프로브가 측정 데이터를 전기 신호로 변환해서 무선으로 연산 제어 장치(4)에 송신하도록 구성되어 있는 경우에는 전기 케이블(56)은 불필요해진다. 이와 같은 경우 측정 유닛(5)과 프로브(21)는 광섬유 케이블(51)만을 통해서 접속되기 때문에 로터리 조인트(60)는 전기용 로터리 조인트부(65)를 없애서 광용 로터리 조인트부(61)만으로 할 수 있다.Further, the electric cable 56 becomes unnecessary when the probe 21 is powered by itself or when the probe is configured to convert measurement data into electrical signals and transmit them to the operation control device 4 wirelessly. . In this case, since the measurement unit 5 and the probe 21 are connected only through the fiber optic cable 51, the rotary joint 60 can be formed with only the optical rotary joint 61 by eliminating the electrical rotary joint 65. there is.
반대로 프로브(21)가, 예를 들면 연마됨으로써 변화하는 워크 상면의 위치 정보나, 연마 가공시의 정반의 온도 정보 등을 전기적으로 검출하는 것인 경우에는 레이저 광에 관련되는 광원이나 광섬유 케이블 등은 불필요하며, 전기 케이블만이 사용된다. 이 때문에, 로터리 조인트(60)는 광용 로터리 조인트부(61)를 없애서 전기용 로터리 조인트부(65)만으로 할 수 있다.Conversely, when the probe 21 electrically detects, for example, the positional information of the top surface of the workpiece that changes by polishing, the temperature information of the surface plate during polishing, etc., a light source related to laser light, an optical fiber cable, etc. It is unnecessary, only electric cables are used. For this reason, the rotary joint 60 can use only the rotary joint 65 for electricity without the rotary joint 61 for light.
1 : 평면 연마 장치 2 : 기체
3 : 광원 4 : 연산 제어 장치
5 : 측정 유닛 10 : 하측 정반
20 : 상측 정반 21 : 프로브
31 : 정반 서스펜더 32 : 승강 로드
40 : 캐리어 52 : 1차측 케이블
53 : 2차측 케이블 57 : 1차측 케이블
58 : 2차측 케이블 60 : 로터리 조인트
62 : 정지측 조인트부 63 : 회전측 조인트부
66 : 정지측 조인트부 67 : 회전측 조인트부
73 : 제 1 케이블 커버 74 : 제 2 케이블 커버
75 : 공간부 W : 워크1: plane polishing device 2: body
3: light source 4: operation control unit
5: measuring unit 10: lower surface plate
20: upper surface plate 21: probe
31: base suspender 32: lifting rod
40: carrier 52: primary side cable
53: secondary side cable 57: primary side cable
58: secondary side cable 60: rotary joint
62: stationary side joint part 63: rotation side joint part
66: stationary side joint part 67: rotation side joint part
73: first cable cover 74: second cable cover
75: space W: work
Claims (4)
기체에 설치되어 케이블에 의해 센서 수단에 접속된 측정 유닛과,
기체측의 정지부와 정반측의 회전부 사이에 개재되어 정지부측에 연결된 정지측 조인트부 및 회전부측에 연결된 회전측 조인트부를 갖는 로터리 조인트를 갖고,
상기 케이블은 로터리 조인트의 정지측 조인트부와 측정 유닛을 접속하는 1차측 케이블 및 로터리 조인트의 회전측 조인트부와 센서 수단을 접속하는 2차측 케이블을 갖고,
상기 로터리 조인트의 외측에는, 상호간에 공간부를 유지한 상태에서 상기 정반에 대해 동축으로 고정된 제 1 케이블 커버와 제 2 케이블 커버가 설치되고, 상기 공간부 내에 상기 2차측 케이블이 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 평면 연마 장치.A body, a surface plate rotatably supported by the body for polishing the workpiece, and sensor means provided to rotate integrally with the surface plate for measuring data relating to the workpiece or the surface plate during polishing of the workpiece;
a measuring unit installed in the body and connected to the sensor means by a cable;
A rotary joint having a stationary joint portion connected to the stationary portion side and a rotation joint portion connected to the rotating portion side interposed between the body-side stationary portion and the base-side rotating portion,
The cable has a primary cable connecting the stationary side joint portion of the rotary joint and the measuring unit, and a secondary cable connecting the rotation side joint portion of the rotary joint and the sensor means,
On the outside of the rotary joint, a first cable cover and a second cable cover coaxially fixed to the surface plate are installed while maintaining a space between them, and the secondary cable is accommodated in the space. A flat polishing device to be.
제 1 케이블 커버와 제 2 케이블 커버는 유저통형상을 이루고 있고, 소경의 제 1 케이블 커버의 외측에 대경의 제 2 케이블 커버가 상호간에 공간부를 유지한 상태로 동심형상으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 평면 연마 장치.According to claim 1,
The first cable cover and the second cable cover form a cylindrical shape, and a large-diameter second cable cover is concentrically arranged outside the small-diameter first cable cover while maintaining a space therebetween. flat polishing device.
제 1 케이블 커버와 제 2 케이블 커버는 투시성을 갖는 것을 특징으로 하는 평면 연마 장치.According to claim 1 or 2,
The flat surface polishing device characterized in that the first cable cover and the second cable cover have see-through properties.
평면 연마 장치는 양면 연마 장치이며, 정반은 상측 정반 및 하측 정반이며,
상측 정반은 기체에 승강 가능하며 또한 회전 가능하게 지지되고,
센서 수단은 상측 정반과 일체로 회전하도록 배치된 워크 연마시의 데이터를 측정하도록 구성되고,
상기 케이블은 광섬유 케이블 및 전기 케이블 중 적어도 한쪽을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 연마 장치.According to claim 1 or 2,
The flat surface polishing machine is a double-sided polishing machine, and the surface plate is an upper surface plate and a lower surface plate,
The upper surface plate can be raised and lowered from the aircraft and is rotatably supported,
The sensor means is configured to measure data at the time of polishing the workpiece arranged to rotate integrally with the upper surface plate,
The flat surface polishing device according to claim 1, wherein the cable comprises at least one of an optical fiber cable and an electric cable.
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