KR102549594B1 - 다관절을 이용한 xrf 검사장치 - Google Patents

다관절을 이용한 xrf 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102549594B1
KR102549594B1 KR1020210148210A KR20210148210A KR102549594B1 KR 102549594 B1 KR102549594 B1 KR 102549594B1 KR 1020210148210 A KR1020210148210 A KR 1020210148210A KR 20210148210 A KR20210148210 A KR 20210148210A KR 102549594 B1 KR102549594 B1 KR 102549594B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
ray
rotational
joint
xrf
Prior art date
Application number
KR1020210148210A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20230063205A (ko
Inventor
박용규
정연성
Original Assignee
(주)필옵틱스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)필옵틱스 filed Critical (주)필옵틱스
Priority to KR1020210148210A priority Critical patent/KR102549594B1/ko
Publication of KR20230063205A publication Critical patent/KR20230063205A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102549594B1 publication Critical patent/KR102549594B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/307—Accessories, mechanical or electrical features cuvettes-sample holders
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/308—Accessories, mechanical or electrical features support of radiation source
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/33—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
    • G01N2223/3306—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts object rotates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/33—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
    • G01N2223/3307—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts source and detector fixed; object moves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/633—Specific applications or type of materials thickness, density, surface weight (unit area)

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

본 발명에 의하면, 측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10); 측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20); 및 진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치가 제공된다.

Description

다관절을 이용한 XRF 검사장치{XRF device using mutiful joint robot}
본 발명은 다관절을 이용한 XRF(X-ray flourescence spectroscopy) 검사장치에 관것으로서, 보다 상세하게는 3차원 형상을 가진 소재 내부 성분 두께를 소재의 형상이나 크기에 영향을 받지 않고 정밀하게 측정할 수 있는 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 솔리드 대상물(solid objects)을 식별하는 방법에는 각 대상물의 물리적 속성 또는 특징을 결정하고, 공통 속성을 공유하는 대상물을 그룹화하는 작업을 포함한다. 이러한 성질을 결정하는 방법으로서 방사 또는 방출되는 광파의 양 및/또는 파장에 의한 식별, 와전류 분리, 헤비-미디어(heavy-media) 식물 분리 및 X- 선 형광 검출을 포함한다.
그 중에서 X- 선 형광 분광학은 오랫동안 학문적 환경과 산업 분야에서 물질 내의 원소를 확인함으로써 물질을 분류하는 기술로 이용되어 왔으며, 그중에서 형광 X선은 조사된 원소로부터 등방성으로 방출되며 검출된 방사선은 검출기에 의해 지정된 입체각 및 검출기에 도달하는 방사선량에 의하여 소재의 두께나 성질을 측정하는데 이용되고 있다.
이와 관련하여 특허공개공보 제10-2019-0028446호에 의하면, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 대상물을 동시에 조사하기 위한 공간 강도 분포를 갖는 적어도 하나의 X선 또는 감마선(Gamma-Ray) 여기빔(excitation beam)을 방출하도록 된 이미터 어셈블리, 복수의 대상물에 의해 방출된 2차 방사선을 측정하고, 복수의 대상물에 대하여 검출된 X선 데이터의 공간 강도분포를 나타내는 신호를 발생시키는 X선 검출기, 및 복수의 솔리드 대상물 각각의 적어도 하나의 표면에 상기 마킹 조성물의 존재를 확인하기 위해 상기 검출된 응답 X-선 신호를 수신하고 처리하기 위해 상기 검출기와 통신하는 신호 처리기를 포함하는 XRF 분석기를 개시하고 있다.
여기서, 이미터 어셈블리는 서로 이격된 복수의 이미터를 포함하며, 각각의 이미터는 서로에 대해 상이한 강도를 갖는 여기 빔을 생성하도록 적응되도록 하고 있으며, 상기 이미터 어셈블리는 이미터 그리고 상기 이미터에 결합된 공간 강도 빔 변조기를 포함하며, 상기 대상물 각각에 충돌하는 강도가 상이하고 식별가능하도록 상기 여기 빔의 강도를 공간적으로 변조하도록 되어 있다.
그러나 이러한 기술에 의하면, 지상에 평행한 작업대 상에 소재가 놓인 상태에서 소재에 대하여 X선 이미터가 소재에 대하여 입사시킨 상태에서 X선 검출기가 X선을 검출하고 있기 때문에, 측정하고자 하는 소재의 입체적 형상에 있어서 3차원적 형상에 따른 음영지대가 발생되어 3차원 형상을 가진 소재의 음영지대를 포함한 각 영역을 정확히 측정할 수 없는 문제점이 있다.
따라서 이러한 문제점을 해결할 수 있는 기술의 개발이 요구되고 있다.
따라서 본 발명의 목적은 피측정 대상인 소재의 3차원 형상으로 인한 X선 음영영역이 발생되지 않도록 하여 보다 정확한 소재의 두께 등을 측정할 수 있는 다관절을 이용한 XRF 검사장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재에 있어서 미세한 높이의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 조사된 X선량의 유효 검출량을 최대화하여 상기 부분에 대하여 정밀하게 측정할 수 있도록 할 수 있는 다관절을 이용한 XRF 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10); 측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20); 및 진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치가 제공된다.
여기서, X선부(10)는 X선 조사 어셈블리(미도시)가 내재되기 위한 X선 본체(12), X 본체(12)의 단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 방향으로 경사지게 연장된 경사연장부(14), 경사연장부(14)로부터 수직하게 돌출연장된 X선 조사부(16) 및 경사연장부(14)의 단부에 구비된 X선 검출부(18)로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, X선부(10)의 X선 본체(12)는 원통형 또는 육면체의 하우징을 구비하며, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)의 하단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 경사각으로 연장된 하우징을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)가 원통형으로 이루어질 경우 역뿔형상의 경사각을 가진 형상의 하우징으로 이루어지며, X선 본체(12)가 육면체로 이루어질 경우 하부로 내려갈 수록 좁아지는 단면을 가진 형상의 하우징으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, X선 조사부(16)는 상기와 같이 경사진 외측면을 가진 경사연장부(14)의 단부에서 경사연장부(14)의 단부면보다 작은 직경을 가지고 연장되어 X선 본체(12)로부터 발생된 X선이 상기 연장된 영역으로 유도되어 X선이 조사되는 것이 바람직하다.
또한, X선 조사부(16)는 경사연장부(14)의 단부로부터 가변적으로 돌출 연장되는 것이 바람직하다.
또한, 진공흡착부(20)는 측정대상인 소재(M)를 안착시키기 위한 안착지그(22)와 안착지그(22)를 관통하여 소재(M)에 대하여 진공압이 전달되도록 하기 위하여 소재(M)와 접하는 영역에 대응하여 관통된 진공흡입공(24)으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 진공흡착부(20)의 안착지그(22)는 소재(M)의 3차원 만곡 형상에 대응하는 표면을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 진공흡착부(20)의 진공흡입공(24)는 진공펌프(미도시)를 통하여 공급되는 진공유로(미도시)를 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 다관절 이동부(30)는 적어도 두개의 암(33a, 34a)을 포함하며, 상기 암(33a, 34a)을 매개하여 순차적으로 서로 직교하는 회전축들을 구동하기 위한 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)가 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 구비되어 진공흡착부(20)를 3차원적으로 이동시키는 것이 바람직하다.
또한, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 서로 직교하는 회전축들이 순차적으로 연결되도록 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 순차적으로 직교하는 6축으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 다관절 이동부(30)는 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 제1 회전축으로 회전운동시키기 위한 제1 회동부(32), 제1 회동부(32) 상에서 제1 회전축에 수직한 제2 회전축으로 제1 암(33a)을 회전운동시키기 위한 제2 회동부(33), 제1 암(33a)의 단부에 결합되어 제2 암(34a)을 제2 회전축에 수직한 제3 회전축으로 회전운동시키기 위한 제3 회동부(34), 제2 암(34a)의 단부에 결합되어 제3 회전축에 수직한 제4 회전축으로 회전운동시키기 위한 제4 회동부(35), 제4 회동부(35)의 단부에서 제4 회전축에 수직한 제5 회전축으로 회전운동시키기 위한 제5 회동부(36), 및 제5 회동부(36)의 단부에서 제5 회전축에 수직한 제6 회전축으로 진공흡착부(20)를 회전운동시키기 위한 제6 회동부(37)로 이루어지는 것이 바람직하다.
따라서 본 발명에 의하면 피측정 대상인 소재의 3차원 형상으로 인한 X선 음영영역이 발생되지 않도록 하여 보다 정확한 소재의 두께 등을 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재에 있어서 미세한 높이의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 조사된 X선량의 유효 검출량을 최대화하여 상기 부분에 대하여 정밀하게 측정할 수 있다.
도 1은 특허공개공보 제10-2019-0028446호에 따른 XRF 분석기의 블록도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치의 개략적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 위치에 따른 동작 상태를 나타낸 개략적인 사시도들이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 검출되는 유효 X선량의 검출 상태를 모식도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 진공흡착부와 측정 소재 사이의 밀착상태를 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치의 개략적인 사시도이며, 도 3은 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 위치에 따른 동작 상태를 나타낸 개략적인 사시도들이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 미세한 높이의 측면을 가진 3차원 형상으로 이루어진 측정 소재의 측면에 대하여 X선 장치와 간섭하지 않도록 하면서 검출되는 유효 X선량의 검출 상태를 모식도이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 있어서, 진공흡착부와 측정 소재 사이의 밀착상태를 나타낸 단면도이다.
도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 의하면, 측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10), 측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20), 및 진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함한다.
X선부(10)는 X선 조사 어셈블리(미도시)가 내재되기 위한 X선 본체(12), X 본체(12)의 단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 방향으로 경사지게 연장된 경사연장부(14), 경사연장부(14)로부터 수직하게 돌출연장된 X선 조사부(16) 및 경사연장부(14)의 단부에 구비된 X선 검출부(18)로 이루어진다.
X선부(10)의 X선 본체(12)는 원통형 또는 육면체의 하우징을 구비하는 것이 바람직하며, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)의 하단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 경사각으로 연장된 하우징을 구비한다.
이 때, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)가 원통형으로 이루어질 경우 역뿔형상의 경사각을 가진 형상의 하우징으로 이루어지며, X선 본체(12)가 육면체로 이루어질 경우 하부로 내려갈 수록 좁아지는 단면을 가진 형상의 하우징으로 이루어진다. 한편, X선 조사부(16)는 상기와 같이 경사진 외측면을 가진 경사연장부(14)의 단부에서 경사연장부(14)의 단부면보다 작은 직경을 가지고 연장되어 X선 본체(12)로부터 발생된 X선이 상기 연장된 영역으로 유도되어 X선이 조사된다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 의하면, X선 조사부(16)는 경사연장부(14)의 단부로부터 가변적으로 돌출 연장되도록 할 수도 있다.
이와 같이, 본 발명에 의하면, 조사되는 X선은 X선 본체(12)의 단면폭보다 좁은 영역에서 경사연장부(14)의 단부에 결합 구성됨으로써, 소재(M)가 다관절 이동부(30)의 이동시 소재(M)와 저촉되는 영역을 최소화할 수 있으며, 그에 따라 소재(M)의 미세한 높이를 가진 측면 영역에 대하여 X선 본체(12)와 경사연장부(14)에 대하여 간섭이 발생되지 않을 뿐만 아니라 음영영역을 발생시키지 않으면서 소재(M)를 정밀하게 측정할 수 있다.
진공흡착부(20)는 측정대상인 소재(M)를 안착시키기 위한 안착지그(22)와 안착지그(22)를 관통하여 소재(M)에 대하여 진공압이 전달되도록 하기 위하여 소재(M)와 접하는 영역에 대응하여 관통된 진공흡입공(24)으로 이루어진다.
진공흡착부(20)의 안착지그(22)는 소재(M)의 3차원 만곡 형상에 대응하는 표면을 가지는 것이 바람직하다. 진공흡착부(20)의 진공흡입공(24)는 진공펌프(미도시)를 통하여 공급되는 진공유로(미도시)를 더 구비한다.
다관절 이동부(30)는 적어도 두개의 암(33a, 34a)을 포함하며, 상기 암(33a, 34a)을 매개하여 순차적으로 서로 직교하는 회전축들을 구동하기 위한 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)가 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 구비되어 진공흡착부(20)를 3차원적으로 이동시킨다.
다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 서로 직교하는 회전축들이 순차적으로 연결되도록 구성된다.
다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 적어도 3축 이상의 회전축을 구비하며, 바람직하게는 순차적으로 직교하는 6축으로 이루어진다.
보다 바람직하게는 다관절 이동부(30)는 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 제1 회전축으로 회전운동시키기 위한 제1 회동부(32), 제1 회동부(32) 상에서 제1 회전축에 수직한 제2 회전축으로 제1 암(33a)을 회전운동시키기 위한 제2 회동부(33), 제1 암(33a)의 단부에 결합되어 제2 암(34a)을 제2 회전축에 수직한 제3 회전축으로 회전운동시키기 위한 제3 회동부(34), 제2 암(34a)의 단부에 결합되어 제3 회전축에 수직한 제4 회전축으로 회전운동시키기 위한 제4 회동부(35), 제4 회동부(35)의 단부에서 제4 회전축에 수직한 제5 회전축으로 회전운동시키기 위한 제5 회동부(36), 및 제5 회동부(36)의 단부에서 제5 회전축에 수직한 제6 회전축으로 진공흡착부(20)를 회전운동시키기 위한 제6 회동부(37)로 이루어진다.
따라서 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다관절을 이용한 XRF 검사장치에 의하면, 측정대상이 되는 소재는 진공흡착부(20)를 통하여 3차원 공간상으로 탈부착이 될 수 있을 뿐만 아니라, 측정대상이 되는 소재(M)의 측면(m´)이 전체 표면의 형상 영역에 비하여 매우 낮은 높이를 가진 경우에도 다관절 이동부(30)에 의하여 X선부(10)의 경사연장부(14)의 경사면에 평행하게 진공흡착부(20)의 안착지그(22)를 이동시킴과 동시에 해당 측면(m´)에 대하여 유효 X선량이 최대가 되도록 X선 조사부(16)가 근접되어 조사되도록 할 수 있다. 이와 같이 음영지대로 되거나 입반사각에 따른 산란으로 인하여 유효 X선량의 감소가 될 수 있는 측면(m´)에 대하여 전술한 바와 같이 조사과 검출과정이 이루어지도록 함으로써 음영을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 유효 X선량의 손실을 방지함으로써 정확하게 소재의 두께 등을 측정할 수 있다.
10: X선부
12: X선 본체
14: 경사연장부
16: X선 조사부
18: X선 검출부
20: 진공흡착부
22: 안착지그
24: 진공흡입공
30: 다관절 이동부
32: 제1 회동부
33: 제2 회동부
33a: 제1 암
34: 제3 회동부
34a: 제2 암
35: 제4 회동부
36: 제5 회동부
37: 제6 회동부

Claims (17)

  1. 삭제
  2. 측정대상인 소재(M)에 대하여 X선을 조사하고 검출하기 위한 X선부(10);
    측정대상인 소재(M)를 진공흡착하기 위한 진공흡착부(20); 및
    진공흡착부(20)를 베이스 프레임(미도시) 상에서 다축으로 회전시켜 소재(M)의 측정영역을 3차원적으로 X선부(10)로 이동시키기 위한 다관절 이동부(30)를 포함하며,
    X선부(10)는 X선 조사 어셈블리(미도시)가 내재되기 위한 X선 본체(12), X선 본체(12)의 단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 방향으로 경사지게 연장된 경사연장부(14), 경사연장부(14)로부터 수직하게 돌출연장된 X선 조사부(16) 및 경사연장부(14)의 단부에 구비된 X선 검출부(18)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  3. 제2항에 있어서, X선부(10)의 X선 본체(12)는 원통형 또는 육면체의 하우징을 구비하며, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)의 하단부로부터 그 중심축에 대하여 좁아지는 경사각으로 연장된 하우징을 구비하는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  4. 제3항에 있어서, 경사연장부(14)는 X선 본체(12)가 원통형으로 이루어질 경우 역뿔형상의 경사각을 가진 형상의 하우징으로 이루어지며, X선 본체(12)가 육면체로 이루어질 경우 하부로 내려갈 수록 좁아지는 단면을 가진 형상의 하우징으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  5. 제4항에 있어서, X선 조사부(16)는 경사진 외측면을 가진 경사연장부(14)의 단부에서 경사연장부(14)의 단부면보다 작은 직경을 가지고 연장되어 X선 본체(12)로부터 발생된 X선이 상기 연장된 영역으로 유도되어 X선이 조사되는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  6. 제5항에 있어서, X선 조사부(16)는 경사연장부(14)의 단부로부터 가변적으로 돌출 연장되는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  7. 제2항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서, 진공흡착부(20)는 측정대상인 소재(M)를 안착시키기 위한 안착지그(22)와 안착지그(22)를 관통하여 소재(M)에 대하여 진공압이 전달되도록 하기 위하여 소재(M)와 접하는 영역에 대응하여 관통된 진공흡입공(24)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  8. 제7항에 있어서, 진공흡착부(20)의 안착지그(22)는 소재(M)의 3차원 만곡 형상에 대응하는 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  9. 제7항에 있어서, 진공흡착부(20)의 진공흡입공(24)는 진공펌프(미도시)를 통하여 공급되는 진공유로(미도시)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  10. 제7항에 있어서, 다관절 이동부(30)는 적어도 두개의 암(33a, 34a)을 포함하며, 상기 암(33a, 34a)을 매개하여 순차적으로 서로 직교하는 회전축들을 구동하기 위한 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)가 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 구비되어 진공흡착부(20)를 3차원적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  11. 제7항에 있어서, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 서로 직교하는 회전축들이 순차적으로 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  12. 제7항에 있어서, 다관절 이동부(30)의 회동부(32, 33, 34, 35, 36, 37)는 순차적으로 직교하는 6축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  13. 제12항에 있어서, 다관절 이동부(30)는 검사장치의 본체를 이루는 베이스 프레임(미도시) 상에서 제1 회전축으로 회전운동시키기 위한 제1 회동부(32), 제1 회동부(32) 상에서 제1 회전축에 수직한 제2 회전축으로 제1 암(33a)을 회전운동시키기 위한 제2 회동부(33), 제1 암(33a)의 단부에 결합되어 제2 암(34a)을 제2 회전축에 수직한 제3 회전축으로 회전운동시키기 위한 제3 회동부(34), 제2 암(34a)의 단부에 결합되어 제3 회전축에 수직한 제4 회전축으로 회전운동시키기 위한 제4 회동부(35), 제4 회동부(35)의 단부에서 제4 회전축에 수직한 제5 회전축으로 회전운동시키기 위한 제5 회동부(36), 및 제5 회동부(36)의 단부에서 제5 회전축에 수직한 제6 회전축으로 진공흡착부(20)를 회전운동시키기 위한 제6 회동부(37)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다관절을 이용한 XRF 검사장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
KR1020210148210A 2021-11-01 2021-11-01 다관절을 이용한 xrf 검사장치 KR102549594B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210148210A KR102549594B1 (ko) 2021-11-01 2021-11-01 다관절을 이용한 xrf 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210148210A KR102549594B1 (ko) 2021-11-01 2021-11-01 다관절을 이용한 xrf 검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20230063205A KR20230063205A (ko) 2023-05-09
KR102549594B1 true KR102549594B1 (ko) 2023-06-29

Family

ID=86408630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210148210A KR102549594B1 (ko) 2021-11-01 2021-11-01 다관절을 이용한 xrf 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102549594B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102288818B1 (ko) * 2020-08-25 2021-08-12 주식회사 쎄크 엑스레이 검사 장치 및 엑스레이 검사 시스템

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10197518A (ja) * 1997-01-13 1998-07-31 Mitsui Chem Inc 粉状物中の遊離石灰含有量を測定する方法及び装置
KR100878639B1 (ko) * 2007-03-02 2009-01-15 주식회사 포스코 시료 처리 시스템 및 방법
KR102381642B1 (ko) * 2019-10-23 2022-04-01 (주)자비스 웨이퍼 검사용 엑스레이 장치 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102288818B1 (ko) * 2020-08-25 2021-08-12 주식회사 쎄크 엑스레이 검사 장치 및 엑스레이 검사 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20230063205A (ko) 2023-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6542578B2 (en) Apparatus for determining the crystalline and polycrystalline materials of an item
US7653176B2 (en) Inspection system with material identification
RU2253861C2 (ru) Устройство и способ для обнаружения неразрешенных предметов
RU2009110284A (ru) Способ определения характеристик объекта
US20100172470A1 (en) Three-dimensional contents determination method using transmitted x-ray
JPH01147351A (ja) 被検体検査装置
US7756249B1 (en) Compact multi-focus x-ray source, x-ray diffraction imaging system, and method for fabricating compact multi-focus x-ray source
KR20080063443A (ko) Ｘ선 형광을 이용한 작은 특징부의 검사
WO2011046078A1 (ja) 非破壊検査方法及びその装置
AU2017265073B2 (en) Inspection devices, inspection methods and inspection systems
US10983073B2 (en) Hybrid inspection system
CN105764422A (zh) 成像装置和方法
KR100990592B1 (ko) 회절 분석기 및 회절 분석 방법
KR102549594B1 (ko) 다관절을 이용한 xrf 검사장치
US7457394B2 (en) Device and method for inspecting objects
US6364528B1 (en) Determination of the measuring spot during x-ray fluorescence analysis
JP2007301365A (ja) 医療技術機器、試験体、および患者テーブルの位置決め精度のチェック方法
US3539808A (en) Measuring corrosion on a coated metallic surface by means of backscattered nuclear radiation
JPH11174001A (ja) 青果物の内部判定装置
CA2093347A1 (en) Imaging method for defining the structure of objects
KR20230063224A (ko) Xrf 검사 시스템 및 그 방법
US8976936B1 (en) Collimator for backscattered radiation imaging and method of using the same
JPH1144662A (ja) 微小部ｘ線分析装置
CN103901058A (zh) 一种双光路x射线无损检测装置
CN203025127U (zh) 一种双光路x射线无损检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant