KR102547935B1 - 기판 연마장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판 연마장치는, 지지부분 및 상기 지지부분의 중앙 영역으로부터 돌출된 돌출부분을 포함하는 바디 부재, 상기 돌출부분에 결합된 결합부분 및 상기 결합부분의 일 부분으로부터 돌출된 결합축을 포함하는 연결 부재, 상기 결합축이 삽입되는 결합홀이 정의되며, 상기 결합축의 길이 방향에 평행한 단면상에서 적어도 일 부분이 곡선을 포함하는 연마 기둥 부재, 상기 지지부분의 테두리 영역에 결합된 연마 링 부재를 포함한다.

Description

기판 연마장치{GRINDING DEVICE FOR SUBSTRATE}
본 발명은 연마장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판 연마장치에 관한 것이다.
평판 표시장치(Flat Panel Display)는 표시장치 중 평평하고 두께가 얇은 박형의 표시장치로서, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 있다. 평판 표시장치는 영상을 표시하는 표시패널을 포함한다. 일반적으로 표시패널은 영상 표시에 필요한 소자들이 배치된 하부 기판과 상부 기판을 합착하여 모패널을 형성한 후, 원하는 셀의 크기로 절단하여 형성된다. 이 때, 모패널의 절단 공정은 커팅 휠(cutting wheel)로 절단홈을 형성하는 공정과 브레이커 (breaker) 등을 이용하여 절단홈을 타격하는 공정으로 이루어진다. 이러한 절단 공정에 의해, 원하는 크기로 표시패널이 분리될 수 있다.
또한, 최근 들어, 다양한 디자인들의 표시장치들 중 곡면 형상의 모서리를 갖는 표시장치가 개발되었다. 일 예로, 곡면 형상의 모서리를 위한 기판의 절단 공정은 연마석을 이용하여 진행될 수 있다.
본 발명의 목적은 기판의 모서리를 곡면 형상으로 연마할 수 있는 기판 연마장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 연마장치는, 지지부분 및 상기 지지부분의 중앙 영역으로부터 돌출된 돌출부분을 포함하는 바디 부재, 상기 돌출부분에 결합된 결합부분 및 상기 결합부분의 일 부분으로부터 돌출된 결합축을 포함하는 연결 부재, 상기 결합축이 삽입되는 결합홀이 정의되며, 상기 결합축의 길이 방향에 평행한 단면상에서 적어도 일 부분이 곡선을 포함하는 연마 기둥 부재, 상기 지지부분의 테두리 영역에 결합된 연마 링 부재를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 연마 기둥 부재는 상기 결합부분 상부에 배치된 제1 연마 기둥부 및 상기 제1 연마 기둥부 상부에 연결된 제2 연마 기둥부를 포함하고, 상기 제1 연마 기둥부 및 상기 제2 연마 기둥부의 중심축을 따라 상기 결합홀이 정의된다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제2 연마 기둥부의 외면은 상기 제1 연마 기둥부 상에 연결된 밑면, 상기 밑면에 대향하는 상면, 상기 밑면과 상기 상면을 연결하는 외측면 및 내측면을 포함하고, 상기 밑면에 수직한 단면상에서 상기 제2 연마 기둥부의 외측선은 상기 곡선 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 밑면은 디스크 형상을 가지며, 상기 상면은 링 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 밑면의 면적은 수평면상에서 상기 상면의 면적보다 큰 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 제2 연마 기둥부의 상측선의 길이 및 상기 결합홀의 길이의 합은 6 마이크로미터(mm) 이상인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 상측선의 길이는 상기 결합홀의 길이보다 짧은 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 제2 연마 기둥부의 하측선의 길이 및 상기 결합홀의 길이의 합은 26 마이크로미터(mm) 이상인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 제1 연마 기둥부의 외측선은 직선 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제1 연마 기둥부 및 상기 제2 연마 기둥부는 일체형인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제1 연마 기둥부는 원기둥 형상을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 바디부재는 상기 중앙 영역 및 상기 테두리 영역 사이의 결합 영역에서 적어도 하나의 결합홈이 정의되고, 상기 결합홈에 결합되어 상기 바디부재를 회전시키는 회전 부재를 더 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 돌출 부분은 결합홈이 정의되며, 상기 결합 부분은 상기 결합홈에 결합된다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 연결 부재는 알루미늄인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 연마 기둥 부재 및 상기 연마 링 부재는 서로 다른 물질의 재료를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 연마 기둥 부재는 메탈을 포함하며, 상기 연마 링 부재는 레진을 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 결합축은 원기둥 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 연마장치는 중심에 결합홀이 정의되며, 외면의 적어도 일 부분이 곡면 형상을 갖는 연마 기둥부를 포함할 수 있다. 특히, 연마 기둥부의 상면은 링 형상으로 제공될 수 있다.
이러한 연마 기둥부에 의해, 크랙 또는 치핑 현상 없이 기판의 모서리 부분이 곡면 형상으로 연마될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 연마장치의 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 1에 도시된 I-I’를 따라 절단한 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 도 1에 도시된 I-I’를 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 연마 기둥 부재의 단면도이다.
도 4 및 도 5는 기판을 보여주는 사시도이다.
도 6a 내지 도 6c는 연마장치를 이용하여 기판의 절단 영역을 절단하는 일 예들이다.
도 6d는 연마장치를 이용하여 기판을 연마하는 다른 예이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 연마장치에 의해 연마된 기판을 보여주는 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대 또는 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들 의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1a는 본 발명의 실시 예에 따른 연마장치의 사시도이다. 도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 도 1a에 도시된 연마장치의 분해 사시도이다.
도 1a에 도시된 연마장치(GD)는 연마하고자 하는 물체에 직접적으로 접촉함으로써, 물체를 연마할 수 있다. 예컨대, 연마장치(GD)는 그라인더(Grinder)로 제공될 수 있다. 본 발명의 실시 예에 따르면, 연마장치(GD)는 표시장치에 포함된 기판 또는 윈도우의 구성을 연마할 수 있다. 여기서, 기판 및 윈도우는 유리, 사파이어, 플라스틱 등으로 구성될 수 있다.
특히, 기판은 상부 기판 및 하부 기판을 포함할 수 있으며, 상부 기판 및 하부 기판이 합착된 모패널이 셀 단위로 절단됨에 따라 단일 패널이 제공될 수 있다. 연마장치(GD)는 절단된 영역의 표면을 연마할 수 있다. 또한, 연마장치(GD)는 기판의 모서리가 곡면 형상을 갖도록 연마할 수 있다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 연마장치(GD)는 바디 부재(BC), 연마 링 부재(Gn1), 연마 기둥 부재(Gn2), 연결 부재(MD), 및 회전 부재(CC)를 포함할 수 있다. 한편, 도 1b에서는 도 1a의 회전 부재(CC)가 생략된 연마장치(GD)가 개시된다.
바디 부재(BC)는 연마장치(GD)를 전반적으로 지지하며, 연마 링 부재(Gn1) 및 연결 부재(MD)와 결합될 수 있다. 실시 예에 따르면, 바디 부재(BC)의 테두리에서 연마 링 부재(Gn1) 및 바디 부재(BC)가 결합되며, 바디 부재(BC)의 중심에서 연결 부재(MD) 및 바디 부재(BC)가 결합될 수 있다.
한편, 바디 부재(BC)의 중심에서 바디 부재(BC)는 적어도 일 부분이 돌출된 돌출부분을 포함할 수 있다. 특히, 돌출부분에는 연결 부재(MD)와 결합되는 결합홈(OPt)이 정의될 수 있다. 연결 부재(MD)는 돌출부분에 정의된 결합홈(OPt)에 삽입됨으로써, 바디 부재(BC)와 결합될 수 있다.
자세하게, 연결 부재(MD)는 바디 부재(BC)의 중심에서 바디 부재(BC)와 결합되는 결합부분(MD1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)와 결합되는 결합축(MD2)을 포함할 수 있다. 여기서, 결합축(MD2)은 결합부분(MD1)의 일 부분으로부터 연마 기둥 부재(Gn2) 방향으로 돌출된 원기둥 형상일 수 있다. 그러나, 결합축(MD2)의 형상은 원기둥 형상 외에 사각 기둥 등의 다양한 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 결합부분(MD1)은 바디 부재(BC) 방향으로 돌출된 돌출부를 포함할 수 있다. 이러한 돌출부는 바디 부재(BC)의 돌출부분에 정의된 결합홈(OPt)에 삽입될 수 있다.
한편, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며, 바디 부재(BC)와 연결 부재(MD) 간의 결합 구조는 다양하게 변형될 수 있다. 일 예로, 연결 부재(MD)의 결합부분(MD1)에 홈이 정의될 수 있으며, 바디 부재(BC)의 돌출부분이 이러한 결합부분(MD1)에 정의된 홈에 삽입될 수 있다.
또한, 실시 예에 따르면, 연결 부재(MD)의 무게는 연마 기둥 부재(Gn2)의 무게에 비해 가벼울 수 있다. 일 예로서, 연결 부재(MD)는 알루미늄 소재로 구성될 수 있다. 즉, 연결 부재(MD)의 무게가 가벼운 소재로 구성됨에 따라, 연마장치(GD)의 전반적인 무게가 감소될 수 있다.
연마 링 부재(Gn1)는 링(ring) 형상을 가지며 바디 부재(BC)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 바디 부재(BC) 및 연마 링 부재(Gn1)는 다양한 방식에 의해 서로 결합될 수 있다.
일 예로서, 바디 부재(BC)는 적어도 하나의 돌기를 포함할 수 있으며, 연마 링 부재(Gn1)는 돌기의 수에 대응하는 적어도 하나의 홈을 포함할 수 있다. 바디 부재(BC) 및 연마 링 부재(Gn1)는 이러한 돌기 및 홈을 이용하여 서로 결합될 수 있다.
일 예로서, 바디 부재(BC)는 적어도 하나의 홈을 포함할 수 있으며, 연마 링 부재(Gn1)는 바디 부재(BC)에 포함된 홈 수에 대응하는 적어도 하나의 돌기를 포함할 수 있다. 바디 부재(BC) 및 연마 링 부재(Gn1)는 이러한 돌기 및 홈을 이용하여 서로 결합될 수 있다.
연마 기둥 부재(Gn2)에는 결합축(MD2)이 삽입되는 결합홀(OPn)이 정의된다. 결합홀(OPn)은 결합축(MD2)의 길이 방향(DLR)에 대응하여 연마 기둥부(Gn2)의 내측에 정의될 수 있다. 즉, 연마 기둥 부재(Gn2)의 내측은 원기둥 형상의 홀 형상을 가질 수 있다. 그러나, 연마 기둥 부재(Gn2)의 내측은 원기둥 형상 외에 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 연마 기둥 부재(Gn2)의 내측은 결합축(MD2)의 형상에 대응하여 형성될 수 있다.
일 예로서, 결합축(MD2)의 형상이 원기둥일 경우 결합홀(OPn)은 원기둥 형상으로 연마 기둥 부재(Gn2)에 정의된다. 일 예로서, 결합축(MD2)의 형상이 사각 기둥일 경우 결합홀(OPn)은 사각 기둥 형상으로 연마 기둥 부재(Gn2)에 정의된다.
실시 예에 따르면, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 서로 동일한 재질을 포함할 수 있다. 일 예로서, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 레진(resin)을 포함할 수 있다. 여기서, 레진은 폴리우레탄(polyurethane), 폴리이미드(Polyimide),폴리에테르술폰(Polyethersulfone), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate),폴리다이메틸실록산(polydimethylsiloxane), 폴리스티렌(polystyrene) 및 메타크릴레이트스티렌(methacrylate styrene) 중 적어도 어느 하나의 물질을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 메탈(metal) 재질의 금속을 포함할 수 있다.
실시 예에 따르면, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 서로 다른 재질을 포함할 수 있다. 일 예로서, 연마 링 부재(Gn1)는 레진을 포함하며, 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 메탈(metal)을 포함할 수 있다. 이 경우, 레진을 포함한 연마 링 부재(Gn1)는 메탈을 포함한 연마 기둥 부재(Gn2)에 비해 수명이 짧을 수 있다. 즉, 연마 링 부재(Gn1)의 전체 면적이 연마 기둥 부재(Gn2)의 전체 면적에 비해 크기 때문에, 수명이 짧은 레진 물질이 연마 링 부재(Gn1)에 포함되며, 수명이 긴 메탈 물질이 연마 기둥 부재(Gn2)에 포함된다. 따라서, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2) 간의 교체 시기가 유사해질 수 있다.
회전 부재(CC)는 바디 부재(BC)에 결합되어, 바디 부재(BC)에 회전력을 전달할 수 있다. 회전 부재(CC)이 회전축(AX)을 기준으로 고속으로 회전됨에 따라, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)가 회전될 수 있다. 그 결과, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 회전력을 기반으로 연마 동작을 수행할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 도 1a에 도시된 I-I’를 따라 절단한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 바디 부재(BC)는 지지부분(BCa) 및 지지부분(BCa)으로부터 돌출된 돌출부분(BCb)을 포함한다. 돌출부분(BCb)은 앞서 도 1에서 상술된 돌출부분과 동일한 구성일 수 있다.
지지부분(BCa)은 원 형상으로 구성될 수 있으며, 상면 및 상면과 이격되어 대향하는 하면을 포함할 수 있다. 또한, 지지부분(BCa)은 중앙 영역(CTA), 테두리 영역(TA), 및 중앙 영역(CTA)과 테두리 영역(TA) 사이의 결합 영역(CNA)을 포함할 수 있다. 결합 영역(CNA)은 중앙 영역(CTA)을 둘러쌀 수 있으며, 테두리 영역(TA)은 결합 영역(CNA)을 둘러쌀 수 있다. 한편, 본 발명에 따른 지지부분(BCa)이 원 형상을 갖는 것으로 설명되나 이에 한정되지 않으며, 지지부분(BCa)은 연마장치(GD)의 용도에 따라 다각 형상을 가질 수 있다.
지지부분(BCa)의 하면에는 도 1a에서 도시된 회전 부재(CC)와 결합되기 위한 적어도 하나 이상의 결합홈이 정의될 수 있다. 본 발명의 설명에 따르면, 지지부분(BCa)의 하면에는 제1 결합홈(OP1) 및 제2 결합홈(OP2)이 정의될 수 있다. 제1 결합홈(OP1) 및 제2 결합홈(OP2)은 결합 영역(CNA)에 중첩하도록 지지부분(BCa)의 하면에 정의될 수 있다.
회전 부재(CC)는 제1 결합홈(OP1) 및 제2 결합홈(OP2)에 결합되어 회전함으로써, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)에 회전력을 전달할 수 있다. 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 회전 부재(cc)의 회전수에 비례하여 기판의 표면을 연마할 수 있다.
한편, 본 발명의 설명에 따르면, 제1 결합홈(OP1) 및 제2 결합홈(OP2)이 결합 영역(CAN)에 중첩하도록 지지부분(BCa)의 하면에 정의된 것으로 설명되나, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 지지부분(BCa)의 하면에는 결합 영역(CNA) 및 중앙 영역(CTA)에 중첩하는 하나의 결합홈이 정의될 수 있다. 예컨대, 지지부분(BCa)의 하면에는 결합 영역(CAN)에 중첩하는 하나의 결합홈이 정의될 수 있다.
돌출부분(BCb)은 중앙 영역(CTA)에서 지지부분(BCa)의 상면으로부터 돌출될 수 있다. 돌출부분(BCb)에는 연결 부재(MD)와 결합되기 위한 결합홈(OPt)이 정의될 수 있다.
연마 링 부재(Gn1)는 테두리 영역(TA)에 중첩하여 지지부분(BCa)에 결합될 수 있다. 한편, 연마 링 부재(Gn1)가 링 형상으로 제공됨에 따라, 링 형상의 내부를 통해 연결 부재(MD)가 돌출부분(BCb)에 결합되며, 연마 기둥 부재(Gn2)가 연결 부재(MD)에 결합될 수 있다.
결합부분(MD1)은 중앙 영역(CTA)에 중첩하여 결함홈(OPt)에 삽입될 수 있다. 결합부분(MD1)의 일 부분으로부터 지지부분(BCa)과 대향하는 방향으로 돌출된 돌출부가 결합홈(OPt)에 삽입됨으로써, 돌출부분(BCb)과 결합부분(MD1)이 서로 결합될 수 있다.
또한, 결합축(MD2)은 결합부분(MD1)의 다른 부분으로부터 연마 기둥 부재(Gn2)와 대향하는 방향으로 돌출될 수 있다. 앞서 상술된 바와 같이, 결합축(MD2)은 원기둥 형상을 가질 수 있으며, 연마 기둥 부재(Gn2)의 결합홀(OPn, 도1b 참조)에 삽입될 수 있다. 특히, 결합축(MD2)은 연마 기둥 부재(Gn2)의 결합홀(OPn) 전체를 채우도록 결합홀(OPn)에 삽입될 수 있다.
연마 기둥 부재(Gn2)는 결합홀(OPn)이 정의되며, 결합홀(OPn)을 통해 결합축(MD2)에 삽입될 수 있다.
실시 예에 따르면, 연마 기둥 부재(Gn2)의 밑면은 디스크(disk) 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 연마 기둥 부재(Gn2)의 밑면의 면적이 결합홀(OPn)의 면적보다 클 수 있다. 이와 반대로, 연마 기둥 부재(Gn2)의 상면은 링 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 연마 기둥 부재(Gn2)의 상면의 면적이 수평면상에서의 결합홀(OPn)의 면적보다 작을 수 있다.
한편, 연마 기둥 부재(Gn2)의 밑면 및 상면은 서로 이격되며 대향할 수 있으며, 각각 수평면상에서 평탄할 수 있다.
실시 예에 따르면, 연마 기둥 부재(Gn2)의 밑면의 면적은 수평면상에서 연마 기둥 부재(Gn2)의 상면의 면적보다 클 수 있다. 이러한 연마 기둥 부재(Gn2)의 상면은 기판의 모서리가 곡면에서 평면으로 이어지는 지점을 연마할 수 있다.
실시 예에 따르면, 연마 기둥 부재(Gn2)의 밑면에 수직한 단면상에서, 외면의 적어도 일 부분은 곡면을 포함할 수 있다. 이러한 연마 기둥 부재(Gn2)에 대해서는 도 3을 통해 보다 자세히 설명된다.
상술된 바와 같이, 본 발명에 따른 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 기판의 표면을 연마할 수 있다. 예컨대, 연마 링 부재(Gn1)는 절단된 기판의 평탄한 표면을 연마할 수 있으며, 연마 기둥 부재(Gn2)는 기판의 곡면 형상의 표면을 연마할 수 있다. 그러나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며, 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)는 기판의 다양한 영역들을 연마할 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 연마 기둥 부재의 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 연마 기둥 부재(Gn2)는 제1 연마 기둥부(Gn2a) 및 제2 연마 기둥부(Gn2b)를 포함할 수 있다. 본 발명의 설명에 따르면, 연마 기둥 부재(Gn2)가 제1 연마 기둥부(Gn2a) 및 제2 연마 기둥부(Gn2b)를 개별적으로 포함하는 것으로 설명될 수 있다. 그러나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며, 제1 연마 기둥부(Gn2a) 및 제2 연마 기둥부(Gn2b)는 실질적으로 일체 형상으로 제공될 수 있다.
제1 연마 기둥부(Gn2a)는 결합부분(MD1) 상부에 배치될 수 있다. 제1 연마 기둥부(Gn2a)는 중심에 결합홀(OPn)이 정의된 원기둥 형상으로 제공될 수 있다.
제2 연마 기둥부(Gn2b)는 제1 연마 기둥부(Gn2a) 상부에 연결될 수 있다. 제2 연마 기둥부(Gn2b)는 제1 연마 기둥부(Gn2a)와 마찬가지로 결합홀(OPn)이 정의된다. 또한, 제2 연마 기둥부(Gn2b)는 밑면, 밑면과 이격되어 대향하는 상면, 밑면과 상면을 연결하는 외측면 및 내측면을 포함할 수 있다. 여기서, 밑면은 제1 연마 기둥부(Gn2a)와 연결되며, 상면과 이격되어 대향할 수 있다. 외측면과 내측면은 밑면과 상면을 연결할 수 있다.
이 경우, 제2 연마 기둥부(Gn2a)의 밑면과 수직한 단면상에서, 제2 연마 기둥부(Gn2a)는 하측선(L1), 상측선(L2), 외측선(L3) 및 내측선(L4)을 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 하측선(L1), 상측선(L2), 및 내측선(L4)은 직선 형상일 수 있으며, 외측선(L3)은 곡선 형상을 가질 수 있다. 즉, 제2 연마 기둥부(Gn2a)의 밑면과 수직한 단면상에서, 제2 연마 기둥부(Gn2a)는 외측선(L3)에 대응하는 곡면 영역(RA) 및 상측선(L2)에 대응하는 평탄 영역(FA)을 포함할 수 있다.
실시 예에 따르면, 상측선(L2) 및 결합홀(OPn)의 길이의 합은 6 마이크로미터(micro meter, 이하: mm) 이상일 수 있다. 여기서, 상측선(L2) 및 결합홀(OPn)의 길이의 합은 제1 길이(d1)인 것으로 설명된다.
실시 예에 따르면, 하측선(L1) 및 결합홀(OPn)의 길이의 합은 26 마이크로미터(mm) 이상일 수 있다. 여기서, 하측선(L1) 및 결합홀(OPn)의 길이의 합은 제2 길이(d2)인 것으로 설명된다. 이 경우, 제2 길이(d2)는 제1 길이(d1) 보다 길 수 있다.
도 4 및 도 5는 기판을 보여주는 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 기판(ST)이 제공된다. 기판(ST)은 앞서 상술된 바와 같이, 영상을 표시하는 표시장치의 구성인 표시패널일 수 있다. 일 예로서, 표시패널은 액정표시패널 또는 유기발광 표시패널, 전기영동 표시패널, 일렉트로웨팅 표시패널 등일 수 있고, 그 종류가 제한되지 않는다.
기판(ST)은 상면(US), 상면(US)과 대향하는 하면(DS), 및 상면(US)과 하면(DS)을 연결하는 측면(SD)을 포함할 수 있다. 이 경우, 도 4에 도시된 기판(ST)은 사각 형상에 따른 기판 형상일 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 연마장치(GD)는 기판(ST)의 모서리 부분이 곡면 형상을 갖도록 연마 동작을 수행할 수 있다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 연마장치(GD)는 연마 링 부재(Gn1, 도1 참조) 및 연마 기둥 부재(Gn2)를 이용함으로써, 기판(ST)의 절단 영역(CA)을 연마할 수 있다.
도 6a 내지 도 6c는 연마장치를 이용하여 기판의 절단 영역을 절단하는 일 예들이다. 도 6d는 연마장치를 이용하여 기판을 연마하는 다른 예이다.
먼저, 도 6a 내지 도 6c를 통해 기판(ST)의 모서리 부근의 절단 영역(CA)을 연마하는 동작이 설명된다. 특히, 기판(ST)의 모서리인 절단 영역(CA)을 연마하는 동작은 연마 기둥 부재(Gn2)에 의해 수행될 수 있다.
자세하게, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 제2 연마 기둥부(Gn2b)는 회전 부재(CC, 도1 참조)의 회전력에 기반하여, 시작 영역(SP1)을 기준으로 끝 영역(SP2)으로 이동하며 기판(ST)을 연마할 수 있다. 이 경우, 제2 연마 기둥부(Gn2b)는 외측면을 이용하여 절단 영역(CA)을 연마할 수 있다.
도 6c를 참조하면, 기판(ST)의 측면은 곡선 영역(RL)과 직선 영역(FL)을 포함할 수 있다. 한편, 연마 기둥 부재(Gn2)의 외측면(OA)을 통해 기판(ST)의 곡선 영역(RL)과 직선 영역(FL)이 만나는 지점의 연마 동작에서, 치핑 현상이 발생될 수 있다. 즉, 만약, 연마 기둥 부재(Gn2)의 상면(UA)이 평탄한 형상을 가지지 않거나 점 형상으로 제공될 경우, 이러한 끝 영역(SP2)에서의 연마 동작이 어려울 수 있다.
이하에서, 기판(ST)의 곡선 영역(RL)과 직선 영역(FL)이 만나는 지점은 끝 영역(SP2)인 것으로 예시적으로 설명된다. 또한, 기판(ST)의 곡선 영역(RL)과 직선 영역(FL)이 만나는 지점은 시작 영역(SP1)이 될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 끝 영역(SP2)의 연마 동작은 연마 기둥 부재(Gn2)의 상면(UA)이 이용될 수 있다. 앞서 상술된 바와 같이, 연마 기둥 부재(Gn2)의 상면(UA)은 링 형상으로 제공될 수 있으며, 상면(UA)은 평탄할 수 있다. 제2 연마 기둥부(Gn2b)의 내측은 도 2에서 설명된 결합축(MD2)에 의해 채워질 수 있다.
도 6c에 도시된 바와 같이, 끝 영역(SP2)의 연마 동작을 위해, 상면(UA)과 기판(ST)의 측면이 서로 대향할 수 있다. 이 경우, 상면(UA)이 기판(ST)의 직선 영역(FL)과 평행할 수 있다. 그 결과, 링 형상의 평탄한 면적을 갖는 상면(UA)이 치핑 현상 없이 끝 영역(SP2)을 연마할 수 있다.
도 6d는 연마 링 부재(Gn1)에 따른 연마 동작을 보여준다. 도 6d를 참조하면, 기판(ST)의 측면(SD, 도4 참조)은 연마 링 부재(Gn1)에 의해 연마될 수 있다. 이 경우, 기판(ST)이 외부 고정물에 의해 고정될 수 있으며, 연마 링 부재(Gn1)는 기판(ST)의 길이 방향으로 이동함으로써, 기판(ST)의 측면(SD)을 연마할 수 있다.
한편, 도 6d를 통해 연마 링 부재(Gn1)가 기판(ST)의 측면(SD)을 연마하는 것으로 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않는다. 즉, 연마 링 부재(Gn1)는 기판(ST)의 다양한 영역들을 연마할 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 연마장치에 의해 연마된 기판을 보여주는 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 연마장치(GD)에 의해 연마된 기판(ST)이 제공된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(ST)의 측면은 곡선 영역(RL) 및 직선 영역(FL)을 포함할 수 있다.
상술된 바와 같이, 본 발명의 따른 연마장치(GD)는 연마 링 부재(Gn1) 및 연마 기둥 부재(Gn2)를 이용하여 기판(ST)을 연마할 수 있다. 특히, 연마 기둥 부재(Gn2)에 포함된 제2 연마 기둥부(Gn2b)의 상면을 통해 기판(ST)의 곡선 영역(RL)과 직선 영역(FL)의 경계면을 연마할 수 있다. 그 결과, 기판(ST)의 직선 영역(FL) 또는 직선 영역(FL)에서의 치핑 현상이 방지될 수 있다.
이상에서와 같이 도면과 명세서에서 실시 예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
BC: 바디 부재
MD: 연결 부재
Gn1: 연마 링 부재
Gn2: 연마 기둥 부재
ST: 기판

Claims (17)

  1. 지지부분 및 상기 지지부분의 중앙 영역으로부터 돌출된 돌출부분을 포함하는 바디 부재;
    상기 돌출부분에 결합된 결합부분 및 상기 결합부분의 일 부분으로부터 돌출된 결합축을 포함하는 연결 부재;
    상기 결합축이 삽입되는 결합홀이 정의되며 평탄한 상면을 갖고, 상기 결합축의 길이 방향에 평행한 단면상에서 적어도 일 부분이 곡선을 포함하는 연마 기둥 부재; 및
    상기 지지부분의 테두리 영역에 결합된 연마 링 부재를 포함하는 기판 연마장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 연마 기둥 부재는 상기 결합부분 상부에 배치된 제1 연마 기둥부 및 상기 제1 연마 기둥부 상부에 연결된 제2 연마 기둥부를 포함하고,
    상기 제1 연마 기둥부 및 상기 제2 연마 기둥부의 중심축을 따라 상기 결합홀이 정의된 기판 연마장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 연마 기둥부의 외면은 상기 제1 연마 기둥부 상에 연결된 밑면, 상기 밑면에 대향하는 상면, 상기 밑면과 상기 상면을 연결하는 외측면 및 내측면을 포함하고,
    상기 밑면에 수직한 단면상에서 상기 제2 연마 기둥부의 외측선은 상기 곡선 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 밑면은 디스크 형상을 가지며, 상기 상면은 링 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 밑면의 면적은 수평면상에서 상기 상면의 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 제2 연마 기둥부의 상측선의 길이 및 상기 결합홀의 길이의 합은 6 마이크로미터(mm) 이상인 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 상측선의 길이는 상기 결합홀의 길이보다 짧은 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 제2 연마 기둥부의 하측선의 길이 및 상기 결합홀의 길이의 합은 26 마이크로미터(mm) 이상인 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  9. 제 3 항에 있어서,
    상기 밑면에 수직한 단면상에서, 상기 제1 연마 기둥부의 외측선은 직선 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 연마 기둥부 및 상기 제2 연마 기둥부는 일체형인 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 연마 기둥부는 원기둥 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 바디부재는 상기 중앙 영역 및 상기 테두리 영역 사이의 결합 영역에서 적어도 하나의 결합홈이 정의되고,
    상기 결합홈에 결합되어 상기 바디부재를 회전시키는 회전 부재를 더 포함하는 기판 연마장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출 부분은 결합홈이 정의되며, 상기 결합 부분은 상기 결합홈에 결합되는 기판 연마장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결 부재는 알루미늄인 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 연마 기둥 부재 및 상기 연마 링 부재는 서로 다른 물질의 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 연마 기둥 부재는 메탈을 포함하며, 상기 연마 링 부재는 레진을 포함하는 기판 연마장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 결합축은 원기둥 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
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