KR102544563B1 - Printed circuit board and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

인쇄회로기판이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 인쇄회로기판은, 내부 절연층, 내부 절연층의 일면과 타면에 적층된 외부 절연층, 외부 절연층 각각의 일면에 형성되는 외부 도체패턴층, 외부 도체패턴층을 서로 연결하도록 내부 절연층과 외부 절연층을 관통하는 관통비아, 및 내부 절연층의 일면과 타면에 각각 형성되고 적어도 일부가 관통비아에 삽입된 내부 도체패턴층을 포함한다.A printed circuit board is disclosed. In the printed circuit board according to one aspect of the present invention, an inner insulating layer, an outer insulating layer laminated on one surface and the other surface of the inner insulating layer, an outer conductor pattern layer formed on each surface of the outer insulating layer, and an outer conductor pattern layer are formed on each other. A through via penetrating the inner insulating layer and the outer insulating layer to connect the through via, and an inner conductor pattern layer formed on one surface and the other surface of the inner insulating layer and having at least a portion inserted into the through via.

Description

인쇄회로기판 및 인쇄회로기판의 제조방법{PRINTED CIRCUIT BOARD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}Printed circuit board and manufacturing method of printed circuit board {PRINTED CIRCUIT BOARD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a method for manufacturing the printed circuit board.

전자부품이 경박단소화되어 감에 따라 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB) 또한 소형화, 박판화 및 미세패턴화되고 있다. 따라서, 인쇄회로기판을 구성하는 절연층도 박판화되고 있다.As electronic components become lighter, thinner and smaller, printed circuit boards (PCBs) are also miniaturized, thinned, and finely patterned. Therefore, the insulating layer constituting the printed circuit board is also being thinned.

인쇄회로기판의 층간 연결을 위한 비아는 절연층에 비아홀을 가공한 후 비아홀에 전도성 물질을 형성함으로써 형성된다. 통상의 경우 비아홀은 레이저 드릴을 통해 절연층에 형성된다.Vias for interlayer connection of printed circuit boards are formed by processing via holes in an insulating layer and then forming a conductive material in the via holes. In general, the via hole is formed in the insulating layer through laser drilling.

하지만, 박판화된 절연층의 경우 레이저 드릴의 깊이 조절(Depth Control)이 어려워, 레이저 드릴로 비아홀을 가공하는 것은 점점 힘들어지고 있다.However, in the case of a thinned insulating layer, it is difficult to control the depth of a laser drill, so it is increasingly difficult to process a via hole with a laser drill.

한국공개특허 제10-2013-0055335호 (2013.05.28. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2013-0055335 (published on May 28, 2013)

본 발명의 실시예에 따르면, 50㎛ 내외의 두께로 박판화된 인쇄회로기판이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a printed circuit board thinned to a thickness of about 50 μm may be provided.

또한 본 발명의 실시예에 따르면, 비아홀 가공 불량을 감소시킬 수 있는 인쇄회로기판이 제공될 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, a printed circuit board capable of reducing via hole machining defects may be provided.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 A부분을 확대한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 나타내는 순서도.
도 4 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 설명하기 위해 제조 공정을 순차적으로 나타내는 도면.
1 is a view showing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an enlarged view of part A of Figure 1;
3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
4 to 9 are views sequentially showing manufacturing processes to explain a manufacturing method of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 그리고, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "include" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded. And, throughout the specification, "on" means to be located above or below the target part, and does not necessarily mean to be located on the upper side with respect to the direction of gravity.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, coupling does not mean only the case of direct physical contact between each component in the contact relationship between each component, but another configuration intervenes between each component so that the component is in the other configuration. It should be used as a concept that encompasses even the case of contact with each other.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.Since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the shown bar.

이하, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판의 제조방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a printed circuit board and a manufacturing method of the printed circuit board according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components have the same reference numerals. , and redundant description thereof will be omitted.

인쇄회로기판printed circuit board

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 도면이다. 도 2는 도 1의 A부분을 확대한 도면이다.1 is a diagram showing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view of part A of FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)은 내부 절연층(100), 외부 절연층(200), 외부 도체패턴층(400), 관통비아(TV) 및 내부 도체패턴층(300)을 포함하고, 층간비아(V)를 더 포함할 수 있다.1 and 2, a printed circuit board 1000 according to an embodiment of the present invention includes an inner insulating layer 100, an outer insulating layer 200, an outer conductive pattern layer 400, a through-via (TV) ) and an internal conductor pattern layer 300, and may further include an interlayer via (V).

내부 절연층(100)과 외부 절연층(200)은 전기절연성 물질로, 외부 절연층(200)은 내부 절연층(100)의 일면과 타면에 적층된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)은 내부 절연층(100)을 중심으로 외부 절연층(200)이 내부 절연층(100)의 일면과 타면에 각각 적층된 대칭 구조일 수 있다.The inner insulating layer 100 and the outer insulating layer 200 are electrically insulating materials, and the outer insulating layer 200 is laminated on one surface and the other surface of the inner insulating layer 100 . That is, as shown in FIG. 1 , in the printed circuit board 1000 according to the present embodiment, the outer insulating layer 200 is laminated on one side and the other side of the inner insulating layer 100, respectively, with the inner insulating layer 100 as the center. may be a symmetrical structure.

이하에서는 외부 절연층(200) 간의 구별이 필요한 경우에는, 도 1을 기준으로 내부 절연층(100)의 상면에 적층된 외부 절연층(200)을 상부 절연층으로, 내부 절연층(100)의 하면에 적층된 외부 절연층(200)을 하부 절연층으로 칭하기로 한다. 외부 절연층(200) 간의 구별이 불필요한 경우에는 상부 절연층과 하부 절연층을 모두 외부 절연층으로 통칭하기로 한다.Hereinafter, when it is necessary to distinguish between the outer insulating layers 200, the outer insulating layer 200 stacked on the upper surface of the inner insulating layer 100 with reference to FIG. 1 is used as an upper insulating layer, and the inner insulating layer 100 The outer insulating layer 200 laminated on the lower surface will be referred to as a lower insulating layer. When distinction between the external insulating layers 200 is unnecessary, both the upper insulating layer and the lower insulating layer will be collectively referred to as the external insulating layer.

내부 절연층(100)과 외부 절연층(200) 각각은 5㎛ 내지 10㎛의 두께로 형성될 수 있다.Each of the inner insulating layer 100 and the outer insulating layer 200 may be formed to a thickness of 5 μm to 10 μm.

내부 절연층(100)은 연성 수지를 포함한다. 내부 절연층(100)은 폴리이미드(Polyimide) 수지로 형성될 수 있다. 내부 절연층(100)은 연성동박적층판(Flexible Copper Claude Laminate, FCCL)을 이용해 형성될 수 있다.The inner insulating layer 100 includes a flexible resin. The inner insulating layer 100 may be formed of polyimide resin. The inner insulating layer 100 may be formed using Flexible Copper Claude Laminate (FCCL).

외부 절연층(200)은 전기절연성 수지와 무기 필러(f)를 포함한다. 외부 절연층(200)은 전기절연성 수지로 열경화성 수지 및/또는 광경화성 수지를 포함할 수 있다. 열경화 수지는 에폭시 수지일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 에폭시 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 나프탈렌 변형 에폭시 수지, 크레졸 노블락 에폭시 수지, 고무 변형성 에폭시 수지 등이 사용될 수 있다.The external insulating layer 200 includes an electrical insulating resin and an inorganic filler (f). The outer insulating layer 200 may include a thermosetting resin and/or a photocurable resin as an electrical insulating resin. The thermosetting resin may be an epoxy resin, but is not limited thereto. As the epoxy resin, a bisphenol A-type epoxy resin, a naphthalene-modified epoxy resin, a cresol novolak epoxy resin, a rubber-modified epoxy resin, or the like may be used.

무기 필러(f)는 외부 절연층(200)의 전기절연성 수지에 분산된다. 외부 절연층(200) 전체 중량에 대한 무기 필러(f)의 중량비는 설계 상의 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The inorganic filler (f) is dispersed in the electrical insulating resin of the external insulating layer 200 . The weight ratio of the inorganic filler (f) to the total weight of the external insulating layer 200 may be variously changed according to design needs.

무기 필러(f)는 알루미나, 실리카, 글라스 및 실리콘 카바이드로 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.The inorganic filler (f) may be at least one selected from the group consisting of alumina, silica, glass, and silicon carbide, and mixtures thereof.

무기 필러(f)는 구형, 반구형, 다각형, 실린더형 또는 판형 등 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 따라서, 도 1 및 도 2에 도시된 무기 필러(f)의 형상은 예시적인 것으로 이해되어야 한다.The inorganic filler (f) may be formed in various shapes such as a sphere, a hemispherical shape, a polygonal shape, a cylinder shape, or a plate shape. Accordingly, it should be understood that the shape of the inorganic filler f shown in FIGS. 1 and 2 is illustrative.

무기 필러(f)의 직경은 수 nm에서 수백 nm의 크기로 다양하게 선택될 수 있다. 무기 필러(f)가 구형이 아닌 경우에 있어 무기 필러(f)의 직경이란, 무기 필러(f) 표면의 서로 다른 두 점을 잇고 무기 필러(f)의 무게 중심을 지나는 복수의 선분 각각의 길이 중 최장 길이를 의미하는 것으로 사용한다.The diameter of the inorganic filler (f) can be variously selected from several nm to hundreds of nm in size. In the case where the inorganic filler (f) is not spherical, the diameter of the inorganic filler (f) is the length of each of a plurality of line segments connecting two different points on the surface of the inorganic filler (f) and passing through the center of gravity of the inorganic filler (f). It is used to mean the longest length among them.

외부 도체패턴층(400)은 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)의 최외곽에 형성된 도체패턴층으로, 외부 절연층(200) 각각의 일면에 형성된다. 즉, 도 1을 참고하여 설명하면 외부 도체패턴층(400)은 상부 절연층(200)의 상면과 하부 절연층(200)의 하면에 각각 형성된다. 외부 도체패턴층(400)은 회로패턴과 외부접속패드를 포함할 수 있다.The external conductor pattern layer 400 is a conductor pattern layer formed on the outermost surface of the printed circuit board 1000 according to the present embodiment, and is formed on one surface of each of the external insulating layers 200 . That is, referring to FIG. 1 , the external conductor pattern layer 400 is formed on the upper surface of the upper insulating layer 200 and the lower surface of the lower insulating layer 200 , respectively. The external conductor pattern layer 400 may include circuit patterns and external connection pads.

외부 도체패턴층(400)은 전기전도성 물질로 형성된다. 예로써, 외부 도체패턴층(400)은 구리(Cu)로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고 니켈(Ni), 알루미늄(Al) 등 다양한 전기전도성 물질로 형성될 수 있다.The external conductor pattern layer 400 is formed of an electrically conductive material. For example, the external conductor pattern layer 400 may be formed of copper (Cu), but is not limited thereto, and may be formed of various electrically conductive materials such as nickel (Ni) and aluminum (Al).

관통비아(TV)는 외부 도체패턴층(400)을 서로 연결하도록 내부 절연층(100)과 외부 절연층(200)을 관통한다. 즉, 관통비아(TV)는 상부 절연층(200), 내부 절연층(100) 및 하부 절연층(200)을 모두 관통하는 관통비아홀(TVH)에 형성되어 상부 절연층(200)의 상면에 형성된 외부 도체패턴층(400)과 하부 절연층(200)의 하면에 형성된 외부 도체패턴층(400)을 전기적으로 연결한다.The through via (TV) penetrates the inner insulating layer 100 and the outer insulating layer 200 to connect the outer conductive pattern layer 400 to each other. That is, the through via (TV) is formed in the through via hole (TVH) penetrating all of the upper insulating layer 200, the inner insulating layer 100, and the lower insulating layer 200, and is formed on the upper surface of the upper insulating layer 200. The external conductor pattern layer 400 and the external conductor pattern layer 400 formed on the lower surface of the lower insulating layer 200 are electrically connected.

관통비아(TV)는 전기전도성 물질로 형성된다. 예로써, 관통비아(TV)는 구리(Cu)로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고 니켈(Ni), 알루미늄(Al) 등 다양한 전기전도성 물질로 형성될 수 있다.The through via (TV) is formed of an electrically conductive material. For example, the through via (TV) may be formed of copper (Cu), but is not limited thereto, and may be formed of various electrically conductive materials such as nickel (Ni) and aluminum (Al).

관통비아홀(TVH)을 형성하기 위해 상부 절연층(200)과 하부 절연층(200)의 모재가 되는 상부 절연재(도 5 내지 도 8의 200')와 하부 절연재(도 5 내지 도 8의 200') 및 내부 절연층(100)을 강알칼리성 에칭액으로 에칭한다. 이때, 내부 절연층과 절연재(도 5 내지 도 8의 200')는 서로 상이한 물질의 절연수지를 포함하므로, 절연재(도 5 내지 도 8의 200')에서의 관통비아홀(TVH)의 횡단면적과 내부 절연층(100)에서의 관통비아홀(TVH)의 횡단면적은 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 내부 절연층(100)은 폴리이미드(Polyimide) 수지를 포함하고 절연재(도 5 내지 도 8의 200')는 반경화상태의 에폭시 수지를 포함할 수 있는데, 강알칼리성 에칭액에 대한 폴리이미드 수지의 반응성과 강알칼리성 에칭액에 대한 반경화상태의 에폭시 수지의 반응성이 상이할 수 있다.An upper insulating material (200' in Figs. 5 to 8) and a lower insulating material (200' in Figs. ) and the internal insulating layer 100 are etched with a strong alkaline etchant. At this time, since the inner insulating layer and the insulating material (200' in Figs. 5 to 8) include insulating resins of different materials, the cross-sectional area of the through-via hole (TVH) in the insulating material (200' in Figs. 5 to 8) Cross-sectional areas of through-via holes (TVH) in the inner insulating layer 100 may be different from each other. For example, the internal insulating layer 100 may include a polyimide resin and the insulating material (200′ in FIGS. 5 to 8) may include a semi-cured epoxy resin. The reactivity of the mead resin and the reactivity of the semi-cured epoxy resin to the strong alkaline etchant may be different.

그리고, 상술한 관통비아홀(TVH) 형성과정에서 강알칼리성 에칭액은 상부 절연재(도 5 내지 도 8의 200')의 상부로부터 그리고 하부 절연재(도 5 내지 도 8의 200')의 하부로부터 공급된다. 이로 인해, 내부 절연층(100)은 상면과 하면으로부터 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 대칭적으로 에칭된다. 따라서, 관통비아홀(TVH)은 내부 절연층(100)에서의 횡단면적이 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 감소하고, 결국 내부 절연층(100)에서의 관통비아(TV)의 횡단면적은 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 감소한다.Further, in the above-described process of forming the through-via hole (TVH), the strong alkaline etchant is supplied from the upper part of the upper insulating material (200' in FIGS. 5 to 8) and the lower part of the lower insulating material (200' in Figs. 5 to 8). Due to this, the internal insulating layer 100 is symmetrically etched in the direction of the center of the thickness of the internal insulating layer 100 from the upper and lower surfaces. Therefore, the cross-sectional area of the through-via hole (TVH) in the inner insulating layer 100 decreases in the direction of the center of the thickness of the inner insulating layer 100, and eventually the through-via (TV) in the inner insulating layer 100 The cross-sectional area decreases toward the center of the thickness of the inner insulating layer 100 .

또한, 반경화상태의 에폭시 수지를 포함하는 절연재는(도 5 내지 도 8의 200') 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 경화도가 감소하여, 강알칼리성 에칭액에 대한 반응성이 증가한다. 이로 인해, 절연재(도 5 내지 도 8의 200')가 완전 경화되어 형성된 외부 절연층(200)에서의 관통비아홀(TVH)의 횡단면적은 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 증가하고, 결국 외부 절연층(200)에서의 관통비아(TV)의 횡단면적은 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 증가한다.In addition, the curing degree of the insulating material containing the epoxy resin in a semi-cured state (200′ in FIGS. 5 to 8) decreases toward the center of the thickness of the inner insulating layer 100, so that the reactivity to the strong alkaline etchant increases. . For this reason, the cross-sectional area of the through-via hole (TVH) in the outer insulating layer 200 formed by completely curing the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8) increases toward the center of the thickness of the inner insulating layer 100. As a result, the cross-sectional area of the through via (TV) in the outer insulating layer 200 increases toward the center of the thickness of the inner insulating layer 100.

한편, 화학적 에칭 시의 절연재(도 5 내지 도 8의 200')의 경화도는 설계의 필요에 따라 변경될 수 있다. 따라서, 외부 절연층(200)에서의 관통비아(TV)의 횡단면이 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향을 따라 변화하는 정도는 설계의 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다.Meanwhile, the curing degree of the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8) upon chemical etching may be changed according to design needs. Accordingly, the degree to which the cross section of the through-via (TV) in the outer insulating layer 200 changes along the direction of the center of the thickness of the inner insulating layer 100 may be variously changed according to design needs.

또한, 도 1 및 도 2에는 관통비아(TV)의 종단면과 외부 절연층(200)의 경계 및 관통비아(TV)의 종단면과 내부 절연층(100)의 경계가 직선임을 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로 상술한 화학적 에칭의 성질에 따라 곡선이 될 수도 있다.1 and 2 show that the boundary between the longitudinal section of the through-via (TV) and the outer insulating layer 200 and the boundary between the longitudinal section of the through-via (TV) and the inner insulating layer 100 are straight lines, but this is an example. It can also be a curve depending on the nature of the chemical etching described above.

내부 도체패턴층(300)은 내부 절연층(100)의 일면과 타면에 각각 형성되고, 적어도 일부가 관통비아(TV)에 삽입된다. 도 1과 도 2를 참고하면 내부 도체패턴층(300)의 적어도 일부가 관통비아(TV)의 측면으로 삽입된다. 이는 상술한 절연재(도 5 내지 도 8의 200')의 에칭 과정에서 절연재(도 5 내지 도 8의 200') 하부측에서의 에칭량이 절연재(도 5 내지 도 8의 200') 상부측에서의 에칭량보다 많기 때문에 내부 도체패턴층(300)의 적어도 일부가 외부로 노출되기 때문이다.The inner conductor pattern layer 300 is formed on one surface and the other surface of the inner insulating layer 100, respectively, and at least a portion thereof is inserted into the through via (TV). Referring to FIGS. 1 and 2 , at least a portion of the inner conductor pattern layer 300 is inserted into the side of the through via (TV). This is because in the etching process of the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8), the etching amount on the lower side of the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8) is greater than the etching amount on the upper side of the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8). This is because at least a part of the internal conductor pattern layer 300 is exposed to the outside.

내부 도체패턴층(300)은 전기전도성 물질로 형성된다. 예로써, 내부 도체패턴층(300)은 구리(Cu)로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고 니켈(Ni), 알루미늄(Al) 등 다양한 전기전도성 물질로 형성될 수 있다.The inner conductor pattern layer 300 is formed of an electrically conductive material. For example, the internal conductor pattern layer 300 may be formed of copper (Cu), but is not limited thereto and may be formed of various electrically conductive materials such as nickel (Ni) and aluminum (Al).

층간비아(V)는 내부 도체패턴층(300)과 외부 도체패턴층(400)을 연결하도록 외부 절연층(200)에 형성되고, 층간비아(V)의 횡단면적은 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 증가한다. 즉, 층간비아(V)는 내부 절연층(100)에 형성된 내부 도체패턴층(300) 중 어느 하나와 외부 절연층(200)에 형성된 외부 도체패턴층(400) 중 어느 하나를 서로 전기적으로 연결한다. 또한, 층간비아(V)는 외부 절연층(200)에 형성되고, 그 횡단면적이 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 증가하는데, 이는 상술한 외부 절연층(200)에서의 관통비아(TV)의 횡단면적이 증가하는 것과 동일한 이치이므로 설명을 생략한다.The interlayer vias (V) are formed in the outer insulating layer 200 to connect the inner conductor pattern layer 300 and the outer conductor pattern layer 400, and the cross-sectional area of the interlayer vias V is that of the inner insulating layer 100. It increases in the direction of the center of the thickness. That is, the interlayer via V electrically connects one of the inner conductor pattern layers 300 formed on the inner insulating layer 100 and one of the outer conductor pattern layers 400 formed on the outer insulating layer 200 to each other. do. In addition, interlayer vias (V) are formed in the outer insulating layer 200, and their cross-sectional area increases in the direction of the center of the thickness of the inner insulating layer 100, which is through the outer insulating layer 200 described above. Since it is the same principle as the increase in the cross-sectional area of the via (TV), the description is omitted.

한편, 도 1에는 도시되지 않았으나, 본 실시예에 따른 인쇄회로기판(1000)은 외부 도체패턴층(400)의 적어도 일부를 노출하도록 개구부가 패터닝된 솔더레지스트층이 형성될 수 있다.Meanwhile, although not shown in FIG. 1 , in the printed circuit board 1000 according to the present embodiment, a solder resist layer patterned with openings may be formed to expose at least a portion of the external conductor pattern layer 400 .

인쇄회로기판의 제조방법Manufacturing method of printed circuit board

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 나타내는 순서도이다. 도 4 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 설명하기 위해 제조 공정을 순차적으로 나타내는 도면이다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. 4 to 9 are diagrams sequentially showing manufacturing processes to explain a manufacturing method of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법은 내부 도체패턴층이 형성된 내부 절연층을 공급하는 단계, 내부 절연층의 양면에 절연재를 적층하는 단계 및 내부 절연층과 절연재를 화학적으로 에칭하여 관통비아홀과 층간비아홀을 형성하는 단계를 포함한다.Referring to FIG. 3 , the method of manufacturing a printed circuit board according to the present embodiment includes supplying an inner insulating layer having an inner conductor pattern layer formed thereon, laminating an insulating material on both sides of the inner insulating layer, and forming the inner insulating layer and the insulating material. and chemically etching to form through-via holes and interlayer via-holes.

우선, 도 4에 도시된 바와 같이 내부 도체패턴층(300)이 형성된 내부 절연층(100)을 공급한다. 내부 절연층(100)에 내부 도체패턴층(300)을 형성하는 것은 Subtractive법, Additive법, Semi-Additive법, Modified Semi-Additive법 등 통상의 회로패턴 형성방법을 이용할 수 있다. Semi-Additve법 또는 Modified Semi-Additive법을 이용할 경우, 내부 도체패턴층(300)은 내부 절연층(100) 상에 형성되는 시드층과 시드층 상에 형성되는 전해도금층을 포함할 수 있다.First, as shown in FIG. 4 , the internal insulating layer 100 on which the internal conductor pattern layer 300 is formed is supplied. Forming the internal conductor pattern layer 300 on the internal insulating layer 100 may use a conventional circuit pattern forming method such as a subtractive method, an additive method, a semi-additive method, or a modified semi-additive method. In the case of using the semi-additive method or the modified semi-additive method, the inner conductor pattern layer 300 may include a seed layer formed on the inner insulating layer 100 and an electroplating layer formed on the seed layer.

내부 도체패턴층(300)은 절연재(도 5 내지 도 8의 200')의 과에칭을 방지하는 과에칭방지패턴을 포함한다. 후속 공정을 통해 절연재(도 5 내지 도 8의 200')가 화학적으로 에칭되는데 과에칭방지패턴이 내부 절연층(100)에 형성되어 있으므로 절연재(도 5 내지 도 8의 200')의 과도한 에칭이 방지될 수 있다.The inner conductor pattern layer 300 includes an over-etching prevention pattern to prevent over-etching of the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8). Through subsequent processes, the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8) is chemically etched. Since the over-etching prevention pattern is formed on the inner insulating layer 100, excessive etching of the insulating material (200' in FIGS. 5 to 8) can be prevented

여기서, 내부 도체패턴층(300)이 형성된 내부 절연층(100)을 공급하는 단계는 롤투롤(Roll to Roll) 방식으로 연성 절연시트의 양면에 내부 도체패턴층(300)을 형성하는 단계와 내부 도체패턴층(300)이 형성된 연성 절연시트를 절단하는 단계를 포함할 수 있다.Here, the step of supplying the internal insulating layer 100 on which the internal conductor pattern layer 300 is formed is the step of forming the internal conductor pattern layer 300 on both sides of the flexible insulating sheet in a roll-to-roll manner and A step of cutting the flexible insulating sheet on which the conductor pattern layer 300 is formed may be included.

연성 절연시트는 폴리이미드(Polyimide)를 포함할 수 있다. 롤투롤 방식으로 연성 시트에 도체패턴을 형성하는 것과 연성 시트를 절단하는 것은 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로 자세한 설명을 생략한다.The flexible insulating sheet may include polyimide. Forming a conductor pattern on a flexible sheet in a roll-to-roll manner and cutting the flexible sheet are obvious to those skilled in the art, so detailed descriptions thereof will be omitted.

롤투롤 방식으로 연성 절연시트의 양면에 내부 도체패턴층(300)을 형성함에 있어, 연성동박적층판(Flexible Copper Claude Laminate, FCCL)을 이용할 수 있다. 연성동박적층판은 폴리이미드(Polyimide)와 같이 연성을 가지는 절연수지의 양면에 구리박을 적층한 것으로 연성으로 인해 롤투롤 방식이 가능해 가공성 및 생산성이 향상될 수 있다.In forming the internal conductor pattern layer 300 on both sides of the flexible insulating sheet in a roll-to-roll manner, a flexible copper clad laminate (FCCL) may be used. The flexible copper clad laminate is a laminate of copper foil on both sides of an insulating resin having flexibility such as polyimide, and due to the ductility, a roll-to-roll method is possible, and processability and productivity can be improved.

다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이 내부 절연층(100)의 양면에 절연재(200')를 적층한다. 절연재(200')는 후속되는 경화 공정을 거쳐 상술한 도 1의 외부 절연층(도 1의 200)이 되는 부재로, 필름 타입으로 형성되어 내부 절연층(100)의 양면에 라미네이션될 수 있다.Next, as shown in FIG. 5 , an insulating material 200 ′ is laminated on both sides of the inner insulating layer 100 . The insulating material 200 ′ is a member that becomes the outer insulating layer (200 in FIG. 1 ) of FIG. 1 through a subsequent curing process, and may be formed in a film type and laminated on both sides of the inner insulating layer 100 .

절연재(200')는 전기절연성 수지와 무기 필러(f)를 포함한다. 절연재(200')는 전기절연성 수지로 열경화성 수지 및/또는 광경화성 수지를 포함할 수 있다. 열경화 수지는 에폭시 수지일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 에폭시 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 나프탈렌 변형 에폭시 수지, 크레졸 노블락 에폭시 수지, 고무 변형성 에폭시 수지 등이 사용될 수 있다.The insulating material 200' includes an electrical insulating resin and an inorganic filler (f). The insulating material 200 ′ may include a thermosetting resin and/or a photocurable resin as an electrically insulating resin. The thermosetting resin may be an epoxy resin, but is not limited thereto. As the epoxy resin, a bisphenol A-type epoxy resin, a naphthalene-modified epoxy resin, a cresol novolak epoxy resin, a rubber-modified epoxy resin, or the like may be used.

무기 필러(f)는 절연재(200')의 전기절연성 수지에 분산된다. 무기 필러(f)는 알루미나, 실리카, 글라스 및 실리콘 카바이드로 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.The inorganic filler (f) is dispersed in the electrically insulating resin of the insulating material 200'. The inorganic filler (f) may be at least one selected from the group consisting of alumina, silica, glass, and silicon carbide, and mixtures thereof.

무기 필러(f)는 구형, 반구형, 다각형, 실린더형 또는 판형 등 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 따라서, 도 4 내지 도 9에 도시된 무기 필러(f)의 형상은 예시적인 것으로 이해되어야 한다.The inorganic filler (f) may be formed in various shapes such as a sphere, a hemispherical shape, a polygonal shape, a cylinder shape, or a plate shape. Accordingly, it should be understood that the shape of the inorganic filler f shown in FIGS. 4 to 9 is illustrative.

무기 필러(f)의 직경은 수 nm에서 수백 nm의 크기로 다양하게 선택될 수 있다. 무기 필러(f)가 구형이 아닌 경우에 있어 무기 필러(f)의 직경이란, 무기 필러(f) 표면의 서로 다른 두 점을 잇고 무기 필러(f)의 무게 중심을 지나는 복수의 선분 각각의 길이 중 최장 길이를 의미하는 것으로 사용한다.The diameter of the inorganic filler (f) can be variously selected from several nm to hundreds of nm in size. In the case where the inorganic filler (f) is not spherical, the diameter of the inorganic filler (f) is the length of each of a plurality of line segments connecting two different points on the surface of the inorganic filler (f) and passing through the center of gravity of the inorganic filler (f). It is used to mean the longest length among them.

절연재(200')는 내부 절연층(100)과의 접착을 위해 반경화상태로 적층되어 r관통비아홀(도 7의 TVH)과 층간비아홀(도 7의 VH)이 형성될 때까지 반경화상태가 유지된다. 내부 절연층(100)에 적층될 절연재(200')의 경화도는 50% 내지 80% 일 수 있으나, 설계 상의 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The insulating material 200' is laminated in a semi-cured state for adhesion with the inner insulating layer 100, and is in a semi-cured state until an r through via hole (TVH in FIG. 7) and an interlayer via hole (VH in FIG. 7) are formed. maintain. The curing degree of the insulating material 200' to be laminated on the inner insulating layer 100 may be 50% to 80%, but may be variously changed according to design needs.

한편, 내부 절연층(100)의 양면에 적층된 절연재(200')의 일면에는 금속박(MF)이 형성될 수 있다. 금속박(MF)은 후속 공정에서 에칭 레지스트패턴(MF')으로 가공될 수 있다. 금속박(MF)은 절연재(200')의 적층과 동시에 또는 이시에 절연재(200')에 형성될 수 있다. 전자의 경우는 단면동박적층판(Resin Coated Copper, RCC)과 같이 금속박(MF)의 일면에 절연재(200')가 형성된 부재를 내부 절연층(100)에 적층함으로써 구현될 수 있다. 금속박(MF)은 구리박일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.Meanwhile, a metal foil MF may be formed on one side of the insulating material 200 ′ stacked on both sides of the inner insulating layer 100 . The metal foil MF may be processed into an etching resist pattern MF' in a subsequent process. The metal foil MF may be formed on the insulating material 200' at the same time or at the same time as the stacking of the insulating material 200'. In the former case, it can be implemented by laminating a member having an insulating material 200' formed on one side of the metal foil MF on the inner insulating layer 100, such as a single-sided copper clad laminate (Resin Coated Copper, RCC). The metal foil MF may be a copper foil, but is not limited thereto.

다음으로, 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 내부 절연층(100)과 절연재(200')를 화학적으로 에칭하여 관통비아홀(TVH)과 층간비아홀(VH)을 형성한다. 관통비아홀(TVH)은 내부 절연층(100)과 절연재(200')를 모두 관통하고, 층간비아홀(VH)은 절연재(200')를 관통한다. 이를 보다 자세히 설명한다.Next, as shown in FIGS. 6 to 8 , the internal insulating layer 100 and the insulating material 200' are chemically etched to form a through via hole (TVH) and an interlayer via hole (VH). The through via hole (TVH) passes through both the inner insulating layer 100 and the insulating material 200', and the interlayer via hole (VH) penetrates through the insulating material 200'. This will be explained in more detail.

우선, 도 6에 도시된 바와 같이, 금속박(MF)을 선택적으로 에칭함으로써 절연재(200')의 일면에 개구(O)가 형성된 에칭 레지스트패턴(MF')을 형성한다. 에칭 레지스트패턴(MF')은 금속박(MF)의 전 영역에 걸쳐 감광성의 드라이필름을 적층하고, 드라이필름을 선택적으로 노광 현상하여 금속박 에칭용 레지스트패턴을 형성한 후 금속박(MF)을 에칭할 수 있는 금속박용 에칭액으로 금속박(MF)을 선택적으로 에칭함으로써 형성될 수 있다. 이렇게 형성된 에칭 레지스트패턴(MF')은 금속성 재질이므로 후속되는 내부 절연층(100)과 절연재(200')에 대한 에칭 공정에서 사용되는 강알칼리성 에칭액에 반응하지 않을 수 있다.First, as shown in FIG. 6 , an etching resist pattern MF' having an opening O formed on one surface of an insulating material 200' is formed by selectively etching the metal foil MF. In the etching resist pattern MF', a photosensitive dry film is laminated over the entire area of the metal foil MF, and the dry film is selectively exposed and developed to form a resist pattern for etching the metal foil, and then the metal foil MF can be etched. It can be formed by selectively etching the metal foil (MF) with an etchant for metal foil. Since the etching resist pattern MF' thus formed is made of a metallic material, it may not react to a strong alkaline etchant used in a subsequent etching process for the inner insulating layer 100 and the insulating material 200'.

이후, 도 7에 도시된 바와 같이 에칭 레지스트패턴(MF')을 이용해 내부 절연층(100)과 절연재(200')를 강알칼리성 에칭액으로 선택적으로 에칭하여 관통비아홀(TVH)과 층간비아홀(VH)을 형성한다. 강알칼리성 에칭액은 에칭 레지스트패턴(MF')의 개구(O)를 통해 유입되므로, 내부 절연층(100)에서의 관통비아홀(TVH)의 횡단면적은 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 감소한다.Thereafter, as shown in FIG. 7, the internal insulating layer 100 and the insulating material 200' are selectively etched with a strong alkaline etchant using the etching resist pattern MF' to form through via holes (TVH) and interlayer via holes (VH). form Since the strong alkaline etchant flows in through the opening O of the etching resist pattern MF', the cross-sectional area of the through-via hole TVH in the inner insulating layer 100 is in the direction of the center of the thickness of the inner insulating layer 100 decreases more and more

한편, 반경화상태의 절연재(200')는 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 경화도가 낮아지므로 절연재(200')에 형성되는 층간비아홀(VH)은 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 횡단면적이 증가한다. 또한, 같은 이치로 절연재(200')에서의 관통비아홀(TVH)의 횡단면적은 내부 절연층(100)의 두께 중심의 방향으로 갈수록 증가한다.Meanwhile, since the degree of curing of the insulating material 200' in a semi-cured state decreases toward the center of the thickness of the inner insulating layer 100, the interlayer via hole VH formed in the insulating material 200' is the thickness of the inner insulating layer 100. The cross-sectional area increases in the direction of the thickness center. In the same way, the cross-sectional area of the through-via hole (TVH) in the insulating material 200' increases toward the center of the thickness of the internal insulating layer 100.

이후, 도 8에 도시된 바와 같이 절연재(200')의 일면에 형성된 에칭 레지스트패턴(MF')을 제거한다. 에칭 레지스트패턴(MF')은 물리적 또는 화학적 방법으로 제거될 수 있다.Then, as shown in FIG. 8, the etching resist pattern MF' formed on one surface of the insulating material 200' is removed. The etching resist pattern MF' may be removed by a physical or chemical method.

다음으로, 도 9에 도시된 바와 같이 관통비아(TV), 층간비아(V) 및 외부 도체패턴층(400)을 형성한다. 관통비아(TV), 층간비아(V) 및 외부 도체패턴층(400)은 Additive법, Semi-Additive법, Modified Semi-Additive법 등 통상의 회로패턴 형성방법으로 형성될 수 있다. 관통비아(TV), 층간비아(V) 및 외부 도체패턴층(400)을 형성하기 위한 전해도금은 수회 반복될 수 있다.Next, as shown in FIG. 9 , a through via (TV), an interlayer via (V), and an external conductor pattern layer 400 are formed. The through-vias (TV), the inter-layer vias (V), and the external conductor pattern layer 400 may be formed by a conventional circuit pattern formation method such as an additive method, a semi-additive method, or a modified semi-additive method. Electrolytic plating to form the through vias (TV), the interlayer vias (V), and the external conductor pattern layer 400 may be repeated several times.

한편, 자세히 설명하지는 않았으나 본 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법은 절연재(200')를 완전 경화시켜 외부 절연층(200)을 형성하는 단계를 포함하고, 또한 외부 도체패턴층(400)을 커버하도록 개구부가 형성된 솔더레지스트층을 외부 도체패턴층(400) 상에 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.On the other hand, although not described in detail, the manufacturing method of the printed circuit board according to the present embodiment includes forming the outer insulating layer 200 by completely curing the insulating material 200', and also forming the outer conductor pattern layer 400. A step of forming a solder resist layer having openings to cover the outer conductor pattern layer 400 may be further included.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경 또는 삭제 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.In the above, one embodiment of the present invention has been described, but those skilled in the art can add, change, or delete components within the scope not departing from the spirit of the present invention described in the claims. It will be possible to modify and change the present invention in various ways, which will also be said to be included within the scope of the present invention.

f: 무기 필러
MF: 금속박
MF': 에칭 레지스트패턴
O: 개구
TV: 관통비아
TVH: 관통비아홀
V: 층간비아
VH: 층간비아홀
100: 내부 절연층
200: 외부 절연층
200': 절연재
300: 내부 도체패턴층
400: 외부 도체패턴층
1000: 인쇄회로기판
f: inorganic filler
MF: metal foil
MF': etching resist pattern
O: opening
TV: Through Via
TVH: through via hole
V: interlevel via
VH: Interlayer via hole
100: inner insulating layer
200: external insulating layer
200': Insulation
300: inner conductor pattern layer
400: external conductor pattern layer
1000: printed circuit board

Claims (10)

내부 절연층;
상기 내부 절연층의 일면과 타면에 적층된 외부 절연층;
상기 외부 절연층 각각의 일면에 형성되는 외부 도체패턴층;
상기 외부 도체패턴층을 서로 연결하도록 상기 내부 절연층과 상기 외부 절연층을 관통하는 관통비아; 및
상기 내부 절연층의 일면과 타면에 각각 형성되고, 적어도 일부가 상기 관통비아에 삽입된 내부 도체패턴층을 포함하며,
상기 관통비아는
상기 내부 절연층에서의 횡단면적이 상기 내부 절연층의 두께 중심의 방향으로 갈수록 실질적으로 감소하며,
상기 외부 절연층에서의 횡단면적이 상기 내부 절연층의 두께 중심의 방향으로 갈수록 실질적으로 증가하며,
상기 내부 절연층은 연성 수지를 포함하고,
상기 외부 절연층은 열경화성 수지와 무기 필러를 포함하는, 인쇄회로기판.
inner insulating layer;
an outer insulating layer laminated on one surface and the other surface of the inner insulating layer;
an external conductor pattern layer formed on one surface of each of the external insulating layers;
a through-via passing through the inner insulating layer and the outer insulating layer to connect the outer conductive pattern layers to each other; and
An internal conductor pattern layer formed on one surface and the other surface of the internal insulating layer, at least a portion of which is inserted into the through-via;
The through via is
The cross-sectional area of the inner insulating layer decreases substantially in the direction of the center of the thickness of the inner insulating layer,
The cross-sectional area of the outer insulating layer increases substantially in the direction of the center of the thickness of the inner insulating layer,
The inner insulating layer includes a flexible resin,
The outer insulating layer includes a thermosetting resin and an inorganic filler, the printed circuit board.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 내부 도체패턴층과 상기 외부 도체패턴층을 연결하도록 상기 외부 절연층에 형성되는 층간비아를 더 포함하고,
상기 층간비아의 횡단면적은 상기 내부 절연층의 두께 중심의 방향으로 갈수록 증가하는, 인쇄회로기판.
According to claim 1,
Further comprising an interlayer via formed in the outer insulating layer to connect the inner conductor pattern layer and the outer conductor pattern layer,
Wherein the cross-sectional area of the interlayer via increases in the direction of the center of the thickness of the inner insulating layer.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 내부 절연층과 상기 외부 절연층 각각은 5㎛ 내지 10㎛의 두께로 형성되는, 인쇄회로기판.
According to claim 1,
Each of the inner insulating layer and the outer insulating layer is formed to a thickness of 5 μm to 10 μm, the printed circuit board.
내부 도체패턴층이 형성된 내부 절연층을 공급하는 단계;
상기 내부 절연층의 양면에 절연재를 적층하는 단계; 및
상기 내부 절연층과 상기 절연재를 화학적으로 에칭하여 상기 내부 절연층과 상기 절연재를 모두 관통하는 관통비아홀과 상기 절연재를 관통하여 상기 내부 도체패턴층을 노출시키는 층간비아홀을 형성하는 단계;
를 포함하고,
상기 내부 도체패턴층은
상기 절연재의 과에칭을 방지하는 과에칭방지패턴을 포함하는, 인쇄회로기판의 제조방법.
supplying an internal insulating layer on which an internal conductor pattern layer is formed;
laminating an insulating material on both sides of the inner insulating layer; and
chemically etching the inner insulating layer and the insulating material to form a through via hole penetrating both the inner insulating layer and the insulating material and an interlayer via hole penetrating the insulating material to expose the inner conductor pattern layer;
including,
The inner conductor pattern layer is
A method of manufacturing a printed circuit board comprising an over-etching prevention pattern for preventing over-etching of the insulating material.
제7항에 있어서,
상기 내부 절연층과 상기 절연재를 화학적으로 에칭하는 단계에서,
상기 절연재는 반경화상태인, 인쇄회로기판의 제조방법.
According to claim 7,
In the step of chemically etching the inner insulating layer and the insulating material,
The insulating material is a method of manufacturing a printed circuit board in a semi-cured state.
제7항에 있어서,
상기 내부 도체패턴층이 형성된 내부 절연층을 공급하는 단계는
롤투롤 방식으로 연성 절연시트의 양면에 내부 도체패턴층을 형성하는 단계 및
상기 내부 도체패턴층이 형성된 상기 연성 절연시트를 절단하는 단계
를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
According to claim 7,
The step of supplying the inner insulating layer on which the inner conductor pattern layer is formed is
Forming internal conductor pattern layers on both sides of the flexible insulating sheet in a roll-to-roll manner; and
Cutting the flexible insulating sheet on which the inner conductor pattern layer is formed
Method for manufacturing a printed circuit board comprising a.
제7항에 있어서,
상기 내부 절연층과 상기 절연재를 화학적으로 에칭하는 단계는
상기 절연재의 일면에 에칭 레지스트패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 인쇄회로기판의 제조방법.
According to claim 7,
Chemically etching the inner insulating layer and the insulating material
A method of manufacturing a printed circuit board comprising the step of forming an etching resist pattern on one surface of the insulating material.
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