KR102542287B1

KR102542287B1 - 기판 처리용 진동형 행거장치

Info

Publication number: KR102542287B1
Application number: KR1020230040543A
Authority: KR
Inventors: 유윤상
Original assignee: (주)선우하이테크
Priority date: 2023-03-28
Filing date: 2023-03-28
Publication date: 2023-06-13

Abstract

본 발명은 기판 처리용 진동형 행거장치를 개시한다. 개시된 기판 처리용 진동형 행거장치는, 습식 처리를 위한 기판을 고정하는 기판고정 클램프부와, 기판고정 클램프부가 결합되는 클램프 설치 지지대와, 클램프 설치 지지대의 수평지지 프레임에 결합되어 습식 처리조의 이동 지지대에 이동 가능하게 설치되는 행거이동 가이드부와, 기판고정 클램프부에 고정되며, 습식 처리조의 처리액에 침수되는 기판을 진동시켜 기판의 표면과 관통홀부에 생성되는 기포를 제거하는 기포제거 클램프 진동부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 습식 표면처리를 위하여 처리액에 침수되는 기판의 표면과 관통홀부 내부에 형성되는 기포를 완전하게 제거할 수 있으므로, 기판 표면처리시 불량률을 줄일 수 있는 기판 처리용 진동형 행거장치에 관한 것이다.

Description

기판 처리용 진동형 행거장치{Vibration Clamping device for surface treatment}

본 발명은 기판 처리용 진동형 행거장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클램프 설치 지지대에 기포제거 클램프 진동부를 설치하고, 기판을 처리하는 과정에서 진동을 발생함으로써, 처리액에 침수되는 기판의 표면과 관통홀부 내부에 형성되는 기포를 완전하게 제거할 수 있으므로, 기판 표면처리시 불량률을 줄일 수 있으며, 필요에 따라 클램프 설치 지지대를 이동하는 과정에서도 기판을 진동시켜 기판의 처리효과를 높일 수 있도록 하는 기판 처리용 진동형 행거장치에 관한 것이다.

통상 표면처리(Plating, 도금, 착색, 피막 등) 방식은 크게 습식표면처리와 건식표면처리로 구분되며, 습식표면처리는 습한 환경, 예를 들어 처리용액에 가공물을 침수시키거나, 애칭액을 분사하여 표면을 처리하는 것이고, 건식표면처리는 진공의 용기에서 플라즈마나 아크, 가열증기를 이용하여 표면을 처리는 방식이다.

이중 습식표면처리 방식은 표면처리 공정 전후 및 공정 중 이전 공정에서 사용되었던 반응액 및 도금액 등을 제거하기 위해 세정단계를 진행하여야 한다. 또한, 기판을 표면처리 할 때 기판을 홀딩장치에 고정하여 반응액 및 도금액에 함침하고, 기판에 전류를 인가하여 표면처리를 진행하게 된다. 이때, 기판을 반응액과 도금액 등에 침수시키기 위하여 홀딩장치를 습식 처리조를 따라 이동시키게 된다.

이러한 습식표면처리 방식은 인쇄회로기판(PCB; printed circuit board) 제조 공정에도 많이 사용된다. 통상의 인쇄회로기판 습식 처리장치는 인쇄회로기판의 처리방식에 따라 인쇄회로기판을 도금, 도장, 양극산화, 화성피막, 화학연마(전해 포함), 화학 에칭(전해 포함), 탈지 등의 처리를 위하여 기판을 수평으로 이송하면서 반응액, 도금액, 세정액 등에 침수시켜 처리한다.

그러나 상기와 같은 종래 기술의 습식표면 처리장치는, 기판을 처리조의 처리액에 함수하는 과정에서 기판의 굴곡진 표면과 홀의 내면 등에 기포가 발생하여 표면 처리에 불량이 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.

한편, 한편, 국내 공개특허 제10-2009-0040781호(공개일:2009.04.27)에는 "습식세정장치 및 기판처리방법"가 개시되어 있고, 등록특허 제10-1479442호(등록일:2014.12.29)에는 "습식표면처리 라인용 캐리어"가 개시되어 있다.

본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 습식 표면처리를 위하여 처리액에 침수되는 기판을 미세진동시켜 기판을 침수하는 과정에서 기판의 표면과 관통홀부의 내부에 생성되는 기포를 효과적으로 제거함으로써, 기판 표면처리시 기포로 인한 표면처리 불량을 감소시킬 수 있는 기판 처리용 진동형 행거장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 클램프 설치 지지대에 기포제거 클램프 진동부를 설치함으로써, 기판을 처리액에 침수하여 진동을 발생할 수 있음은 물론 기판을 이동하는 과정에서도 작동하여 클램프 설치 지지대에 진동을 발생하여 기판을 진동시킬 수 있으므로, 기판의 처리효과를 높일 수 있는 기판 처리용 진동형 행거장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치는, 습식 처리를 위한 기판을 고정하는 기판고정 클램프부와, 상기 기판고정 클램프부가 결합되는 클램프 설치 지지대와, 상기 클램프 설치 지지대의 수평지지 프레임에 결합되어 습식 처리조의 이동 지지대에 이동 가능하게 설치되는 행거이동 가이드부와, 상기 기판고정 클램프부에 고정되며, 상기 습식 처리조의 처리액에 침수되는 상기 기판을 진동시켜 상기 기판의 표면과 관통홀부에 생성되는 기포를 제거하는 기포제거 클램프 진동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 수평지지 프레임은, 상기 기포제거 클램프 진동부가 내부에 설치되도록 중공 형태로 형성되고, 상기 기포제거 클램프 진동부의 설치를 위한 개구홀부가 상면에 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 기포제거 클램프 진동부는, 상기 개구홀부를 통해 상기 수평지지 프레임의 내부에 삽입되어 고정되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 수평지지 프레임은, 상기 개구홀부를 밀폐하는 커버 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 커버 플레이트는 양단부가 하측으로 절곡되어 상기 수평지지 프레임의 측면에 볼트의 체결을 통해 고정되는 고정플랜지가 절곡 형성되고, 상기 고정플랜지에 상기 볼트의 삽입을 위한 결합홀부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 기포제거 클램프 진동부는, 상기 수평지지 프레임의 내부에 고정되는 지지브래킷과, 상기 지지브래킷에 고정되어 진동을 발생하는 진동모터부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 지지브래킷은, 볼트의 체결을 통해 상기 진동모터부재가 고정되는 모터고정판부재와, 상기 수평지지 프레임의 내부 바닥에 접촉되도록 상기 모터고정판부재에 수직으로 접합되며, 체결홀부를 구비하는 행거고정판부재를 포함하는 것을 특징으론 한다.

또한, 본 발명에서 상기 수평지지 프레임는, 하면에 상기 체결홀부와 정렬되는 브래킷 고정홀부가 형성되고, 외부에서 상기 브래킷 고정홀부를 통해 볼트가 삽입되어 상기 체결홀부에 체결됨에 따라 상기 지지브래킷을 고정하는 것을 특징으로 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치는 종래 기술과는 달리 습식 표면처리를 위하여 처리액에 침수되는 기판을 미세진동시켜 기판을 침수하는 과정에서 기판의 표면과 관통홀부의 내부에 생성되는 기포를 효과적으로 제거하므로, 기판 표면처리시 기포로 인한 표면처리 불량을 감소시킬 수 있는 효과를 가진다.

또한, 본 발명에 의하면, 클램프 설치 지지대의 내부에 기포제거 클램프 진동부가 설치됨으로 인하여, 기판을 처리액에 침수하여 진동을 발생할 수 있을 뿐만 아니라, 기판을 이동하는 과정에서도 기포제거 클램프 진동부를 작동할 수 있어 필요한 위치에서 기판을 진동시킬 수 있어 기판의 처리효과를 더욱 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기포제거 클램프 진동부를 설명하기 위한 요부 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기포제거 클램프 진동부를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 집게개방 지지부를 설명하기 위한 요부확대도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 위치 기판 처리용 진동형 행거장치의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치를 설명하기 위한 평면도이다.

또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기포제거 클램프 진동부를 설명하기 위한 요부 확대도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기포제거 클램프 진동부를 설명하기 위한 단면도이고, 도 6은 도 5의 A-A선 단면도이고,

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 집게개방 지지부를 설명하기 위한 요부확대도이다.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는, 기판(10) 예컨대 인쇄회로기판의 표면 처리시에 인쇄회로기판을 처리액에 침수하여 표면처리하는 과정에서 진동을 발생시켜 인쇄회로기판을 처리액에 침수하는 과정에서 발생하는 기포를 제거한다.

본 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는, 기판(10)의 두께가 비교적 두꺼운 5mm 이상의 두께를 가지는 기판(10)을 처리할 때 적용될 수 있다. 예를 들어 기판(10)의 두께가 두꺼운 경우 표면 처리를 위한 처리관통홀부(11)의 길이가 길어지게 되어 기판(10)을 처리액에 침수하는 과정에서 처리관통홀부(11)의 내부에 기포가 발생하게 된다. 그러면, 기판(10)을 처리하는 과정에서 처리관통홀부(11)의 내부에 생성되는 기포로 인하여 처리액의 처리물질이 처리관통홀부(11) 내면에 접촉하지 못하여 기판(10) 처리 불량이 발생하게 된다.

이때, 본 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는, 습식 처리조로 이송되어 기판(10)이 습식 처리조의 처리액에 침수되어 표면 처리가 이루어지는 표면처리공정을 진행하는 과정에서 진동을 발생하여 처리관통홀부(11)의 기포를 제거하게 된다. 즉, 본 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는, 기판(10)의 표면처리공정과 기포제거 공정을 동시에 진행할 수 있도록 이루어진다.

구체적으로, 본 실시 예에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는, 크게 기판고정 클램프부(110)와, 클램프 설치 지지대(120)와, 행거이동 가이드부(130)와, 기포제거 클램프 진동부(140)를 포함한다.

이러한, 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는, 기판고정 클램프부(110)에 기판(10)이 고정된 상태에서 습식 처리조로 이동하여 기판(10)이 처리액에 침수되면, 기포제거 클램프 진동부(140)가 작동하여 기판(10)의 처리관통홀부(11)에 생성되는 기포를 제거시킨다. 이때, 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는 습식 처리조의 가이드 레일에 이동 가능하게 설치되는 행거이동 가이드부(130)에 의해 안정되게 이동하게 된다.

본 실시 예에 따른 기판고정 클램프부(110)는, 클램프 설치 지지대(120)에 결합되며, 습식 처리를 위한 기판(10)의 상단을 파지하여 고정한다. 이러한 기판고정 클램프부(110)는 클램프 설치 지지대(120)에 볼트와 너트 등의 체결방식으로 결합되는 고정판(111)과, 고정판(111)에 회전 가능하게 결합되어 기판(10)을 지지하는 회전판(113)과, 고정판(111)과 회전판(113) 사이에 구비되는 스프링(115)과, 회전판(113)의 개방 상태를 안정되게 유지시키기 위한 집게개방 지지부(117)를 구비한다.

또한, 기판고정 클램프부(110)는 집게개방 지지부(117)의 걸림 상태가 해제되면 스프링(115)의 탄성에 의해 회전판(113)이 회전되어 고정판(111)에 밀착되면서 기판(10)을 고정한다. 한편, 기판고정 클램프부(110)에 기판(10)이 고정되기 전에 집게개방 지지부(117)에 의해 회전판(113)의 개방된 상태가 안정되게 유지되어 기판 처리용 진동형 행거장치(100)가 이동하는 과정에서 회전판(113)이 작동하는 것을 방지할 수 있다.

집게개방 지지부(117)는 고정판(111)에 결합되는 고정핀(117a)과, 회전판(113)에 회전 가능하게 결합되는 걸림고정편(117b)을 구비한다. 걸림고정편(117b)에는 고정핀(117a)이 삽입되어 걸림 고정되도록 핀 걸림홈부(117c)가 형성된다. 핀 걸림홈부(117c)는 일측에 경사면을 이루고, 타측에 수직면을 이루도록 형성된다.

이와 같은 본 실시 예에 따른 기판고정 클램프부(110)는 클램프 설치 지지대(120)에 복수개 구비된다.

클램프 설치 지지대(120)는 기판고정 클램프부(110)가 고정되는 수직지지 프레임(121)과, 수직지지 프레임(121)에 수직을 이루도록 결합되며 기포제거 클램프 진동부(140)가 설치되는 수평지지 프레임(123)을 구비한다.

수직지지 프레임(121)는 하단부에 기판고정 클램프부(110)가 고정되고, 상단부에 수평지지 프레임(123)이 고정되며, 판형상을 가진다.

수평지지 프레임(123)은 그 중량을 줄일 수 있도록 사각의 중공체 형상으로 형성되며, 양 끝단부에 사각판 형상의 조립 플랜지(123a)가 각각 접합된다. 또한, 수평지지 프레임(123)은 내부에 기포제거 클램프 진동부(140)가 설치 가능하도록 일측 상면에 개구홀부(123b)가 형성되고, 개구홀부(123b)를 통해 기포제거 클램프 진동부(140)가 내부로 삽입된다. 이를 통해 기판(10)을 처리하는 과정에서 발생하는 유증기와, 처리액의 비산 등에 의한 기포제거 클램프 진동부(140)의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 수평지지 프레임(123)은 개구홀부(123b)를 밀폐하기 위한 커버 플레이트(123c)를 더 구비한다. 커버 플레이트(123c)는 볼트나 나사의 체결을 통해 수평지지 프레임(123)에 결합된다. 이때, 개구홀부(123b)의 양측면에는 볼트나 나사의 체결을 위한 볼트체결홀부(123d)가 각각 형성된다.

커버 플레이트(123c)는 수평지지 프레임(123)에 견고하고 긴밀하게 결합되도록 양단에 고정플랜지(123c')가 하측으로 절곡 형성된다. 고정플랜지(123c')에는 볼트체결홀부(123d)와 연통하는 결합홀부(123e)가 장홀 형태로 형성된다. 이러한 커버 플레이트(123c)는 개구홀부(123b)를 통해 기포제거 클램프 진동부(140)로 이물질이 투입되는 것을 방지한다. 이때, 커버 플레이트(123c)의 내면에는 실링패드가 구비될 수 있다.

기포제거 클램프 진동부(140)는 기판고정 클램프부(110)에 파지된 기판(10)을 미세진동을 시킬 수 있도록 진동을 발생한다. 이러한 기포제거 클램프 진동부(140)는 개구홀부(123b)를 통해 수평지지 프레임(123)의 내부에 삽입되어 수평지지 프레임(123)의 내부 바닥면에 고정된다.

예를 들어 기포제거 클램프 진동부(140)는 수평지지 프레임(123)의 내부에 바닥에 고정되는 지지브래킷(141)과, 지지브래킷(141)에 고정되어 진동을 발생하는 진동모터부재(143)를 포함한다. 이때, 진동모터부재(143)로 전력을 공급하기 위한 전력선이 수평지지 프레임(123)의 내부로 배선되므로, 전기 부품의 파손을 방지할 수 있다. 즉, 중공형의 수평지지 프레임(123)의 내부에 전기 부품이 설치되므로, 전기 부품이 외부로 노출되는 것이 방지되어 전기 안전성을 향상시킬 수 있다.

지지브래킷(141)은 진동모터부재(143)의 고정을 위한 모터고정판부재(141a)와, 모터고정판부재(141a)를 수평지지 프레임(123)에 고정하기 위한 행거고정판부재(141b)로 구성된다. 이때, 모터고정판부재(141a)와 행거고정판부재(141b)는 용접 방식으로 상호 접합되며, 행거고정판부재(141b)가 볼트에 의해 수평지지 프레임(123)에 고정된다.

또한, 모터고정판부재(141a)는 볼트의 체결을 통해 진동모터부재(143)가 견고하게 고정되며, 양측 외면이 수평지지 프레임(123)의 내면에 접촉되도록 개구홀부(123b)로 삽입된다. 이처럼, 모터고정판부재(141a)의 측면이 수평지지 프레임(123)의 내면에 접촉됨으로 인하여 모터고정판부재(141a)를 수평지지 프레임(123)에 더욱 긴밀하고 견고하게 고정할 수 있다.

행거고정판부재(141b)는 수평지지 프레임(123)의 외부에서 체결되는 볼트를 이용하여 용이하게 고정할 수 있도록 체결홀부(141c)를 구비하며, 수평지지 프레임(123)의 내부 바닥에 접촉되도록 모터고정판부재(141a)에 수직으로 접합된다. 이때, 수평지지 프레임(123)에는 외측 하면에서 볼트를 삽입하여 모터고정판부재(141a)에 체결할 수 있도록 하면에 브래킷 고정홀부(125)가 형성된다. 브래킷 고정홀부(125)에는 체결홀부(141c)가 정렬된다.

진동모터부재(143)는, 모터고정판부재(141a)에 고정되는 모터(143a)와, 모터(143a)의 모터축에 편심되게 결합되는 원형의 진동자(143b)로 구성된다.

이같이 구성되는 기포제거 클램프 진동부(140)는 수평지지 프레임(123)의 상면으로 개구되는 개구홀부(123b)를 통해 수평지지 프레임(123)의 내부에 설치된다. 이를 통해 시공과 유지보수에 기포제거 클램프 진동부(140)를 수평지지 프레임(123)에 용이하게 조립 및 분리할 수 있어, 시공과 유지보수의 편의성을 높일 수 있다.

한편, 수평지지 프레임(123)의 일측에는 기판 처리용 진동형 행거장치(100)의 이동을 위한 행거이동 가이드부(130)가 결합된다. 행거이동 가이드부(130)는 습식 처리조의 이동 지지대에 이동 가능하게 설치된다.

이러한, 행거이동 가이드부(130)는 이동 지지대를 따라 슬라이딩 가능하도록 복수의 가이드 롤러(131)를 구비한다. 가이드 롤러(131)는 이동 지지대의 양측에 접촉하도록 복수개 구비된다.

또한, 본 실시 예에서는 클램프 설치 지지대(120)의 수평지지프레임(123)의 내부에 기포제거 클램프 진동부(140)가 설치되므로, 기판(10)을 침수하여 진동시킬 수 있음은 물론, 기판(10)을 처리액에서 인양하는 과정에서도 기판(10)을 진동시켜 기판(10) 표면의 잔존하는 처리액을 보다 효과적으로 제거할 수 있으며, 진동형 행거장치(100)를 이동하는 과정에서 진동 가능하여 처리관통홀부(11)의 내부의 처리액과 이물질을 효과적으로 제거할 수 있다. 즉, 기판(11)의 위치에 관계없이 필요에 따라 기포제거 클램프 진동부(140)를 작동시킬 수 있다.

더하여, 기판고정 클램프부(110)에서 기판(10)을 제거한 상태에서도 기포제거 클램프 진동부(140)를 작동하여 클램프 설치 지지대(120)에 잔존하는 이물질을 제거할 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 처리용 진동형 행거장치(100)는, 기판고정 클램프부(110)에 습식 처리를 위한 기판(10)이 파지되면, 행거이동 가이드부(130)가 이동 지지대를 따라 처리 위치로 이송된 후, 하강하여 기판(10)이 습식 처리조의 처리액에 침수된다.

그리고 기판(10)의 표면 처리가 시작되면 기포제거 클램프 진동부(140)의 진동모터부재(143)가 작동함에 따라 진동이 발생되고, 그 진동이 클램프 설치 지지대(120)를 통해 기판고정 클램프부(110)와 기판(10)으로 전달되어 기판(10)을 미세하게 진동시키게 된다. 그러면, 기판(10)을 처리액에 침수하는 과정에서 기판(10)의 처리관통홀부(11)의 내부에 생성되는 기포들이 미세진동을 통해 처리관통홀부(11)에서 배출되어 제거된다. 이를 통해 기판(10)의 처리관통홀부(11)에 처리액이 안정적으로 통과할 수 있어 처리관통홀부(11)의 내부 표면처리를 정확하게 진행할 수 있다. 즉, 기판(10)을 미세진동시켜 기판(10)의 처리관통홀부(11) 표면처리 불량을 줄일 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.

100 : 기판 처리용 진동형 행거장치 10 : 이동 지지대
110 : 기판 탈착 클램프 111 : 고정형 집게부
113 : 이동형 집게부 120 : 이동 행거부
121 : 수평지지부재 123 : 수직지지부재
123a : 조립플랜지 123b : 개구홀부
123c : 커버 플레이트 123c' : 고정플랜지
123d : 볼트체결홀부 123e : 결합홀부
125 : 브래킷 고정홀부 130 : 행거이동 가이드부
131 : 가이드 롤러 140 : 기포제거 클램프 진동부
141 : 지지브래킷 141a : 모터고정판부재
141b : 행거고정판부재 141c : 체결홀부
143 : 진동모터부재 143a : 모터
143b : 진동자

Claims

습식 처리를 위한 기판을 고정하는 기판고정 클램프부; 상기 기판고정 클램프부가 결합되는 클램프 설치 지지대; 상기 클램프 설치 지지대의 수평지지 프레임에 결합되어 습식 처리조의 이동 지지대에 이동 가능하게 설치되는 행거이동 가이드부; 및 상기 기판고정 클램프부에 고정되며, 상기 습식 처리조의 처리액에 침수되는 상기 기판을 진동시켜 상기 기판의 표면과 관통홀부에 생성되는 기포를 제거하는 기포제거 클램프 진동부;를 포함하며,
상기 수평지지 프레임은, 상기 기포제거 클램프 진동부가 내부에 설치되도록 중공 형태로 형성되고, 상기 기포제거 클램프 진동부의 설치를 위한 개구홀부가 상면에 형성되며,
상기 기포제거 클램프 진동부는, 상기 개구홀부를 통해 상기 수평지지 프레임의 내부에 삽입되어 고정되고,
상기 기포제거 클램프 진동부는, 상기 수평지지 프레임의 내부에 고정되는 지지브래킷; 및
상기 지지브래킷에 고정되어 진동을 발생하는 진동모터부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 진동형 행거장치.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 수평지지 프레임은, 상기 개구홀부를 밀폐하는 커버 플레이트를 더 포함하며,
상기 커버 플레이트는 양단부가 하측으로 절곡되어 상기 수평지지 프레임의 측면에 볼트의 체결을 통해 고정되는 고정플랜지가 절곡 형성되고, 상기 고정플랜지에 상기 볼트의 삽입을 위한 결합홀부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 진동형 행거장치.
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제 1 항에 있어서,
상기 지지브래킷은, 볼트의 체결을 통해 상기 진동모터부재가 고정되는 모터고정판부재;
상기 수평지지 프레임의 내부 바닥에 접촉되도록 상기 모터고정판부재에 수직으로 접합되며, 체결홀부를 구비하는 행거고정판부재;를 포함하며,
상기 수평지지 프레임은, 하면에 상기 체결홀부와 정렬되는 브래킷 고정홀부가 형성되고, 외부에서 상기 브래킷 고정홀부로 볼트가 삽입되어 상기 체결홀부에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 진동형 행거장치.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 기포제거 클램프 진동부는, 상기 기판이 상기 습식 처리조의 처리액에 침수되어 표면 처리공정을 진행함에 따라 작동하면서 진동을 발생하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 진동형 행거장치.