KR102537613B1 - 초박형 led 소자를 이용한 풀-컬러 led 디스플레이 및 이의 제조방법 - Google Patents

초박형 led 소자를 이용한 풀-컬러 led 디스플레이 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 풀-컬러 LED 디스플레이에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 초박형 LED 소자를 이용한 풀-컬러 LED 디스플레이 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

Description

초박형 LED 소자를 이용한 풀-컬러 LED 디스플레이 및 이의 제조방법{Full-color LED display using ultra-thin LED and method for manufacturing thereof}
본 발명은 풀-컬러 LED 디스플레이에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 초박형 LED 소자를 이용한 풀-컬러 LED 디스플레이 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
마이크로 LED와 나노 LED는 우수한 색감과 높은 효율을 구현할 수 있고, 친환경적인 물질이므로 각종 광원, 디스플레이의 핵심 소재로 사용되고 있다. 이러한 시장상황에 맞춰서 최근에는 새로운 나노로드 LED 구조나 새로운 제조공정에 의하여 쉘이 코팅된 나노 케이블 LED를 개발하기 위한 연구가 진행되고 있다. 더불어 나노로드 외부면을 피복하는 보호막의 고효율, 고안정성을 달성하기 위한 보호막 소재에 대한 연구나 후속 공정에 유리한 리간드 소재에 대한 연구개발도 진행되고 있다.
이러한 소재분야의 연구에 맞춰서 최근에는 적색, 녹색, 청색 마이크로-LED를 활용한 디스플레이 TV까지 상용화 되었다. 마이크로-LED를 활용한 디스플레이, 각종 광원은 고성능 특성과 이론적인 수명과 효율이 매우 길고 높은 장점을 가지나 한정된 영역의 소형화된 전극 상에 마이크로 LED를 일일이 낱개로 배치시켜야 하므로 마이크로-LED를 전극 상에 pick place 기술로 배치시켜 구현되는 디스플레이는 높은 단가와 높은 공정 불량률, 낮은 생산성을 고려할 때 공정기술의 한계로 스마트폰에서 TV에 이르는 진정한 의미의 고해상도 상용 디스플레이나 다양한 크기, 형상, 밝기를 갖는 광원으로 제조하기 어려운 실정이다. 더불어 마이크로-LED 보다 작게 구현된 나노-LED를 마이크로-LED와 같은 pick and place 기술로 전극 상에 낱개로 일일이 배치시키는 것은 더욱 어려운 실정이다.
이러한 난점을 극복하기 위하여 본 발명자에 의한 등록특허공보 제10-1436123호는 서브픽셀에 나노로드형 LED가 혼합된 용액을 투하한 뒤 두 정렬 전극 사이에 전계(electric field)를 형성시켜 나노로드형 LED 소자들을 전극 상에 자기 정렬시킴으로써 서브픽셀을 형성하는 공법을 통해 제조된 디스플레이를 개시한다. 그러나 개시된 디스플레이는 나노로드형 LED 소자의 p형 반도체층과, n형 반도체층에 전류를 인가하는 전극이 수평방향으로 이격해 존재하므로 서브픽셀 제작 시 어드레스를 위한 가로, 세로 전극 배열이 쉽지 않은 문제가 있다. 또한, 개시된 디스플레이에 사용된 나노로드형 LED는 광이 추출되는 면적이 적어 효율이 좋지 않아서 목적하는 효율을 발현하기 위해서는 많은 개수의 LED를 실장시켜야 하는 문제가 있고, 나노로드형 LED 자체의 제조공정 상 불가피한 결함 발생 가능성이 높은 문제가 있다.
나노로드형 LED 자체의 불가피한 결함에 대해 구체적으로 설명하면, 나노로드형 LED 소자는 LED 웨이퍼를 나노패턴공정과 드라이에칭/??에칭을 혼합해서 top-down 방법으로 제조하거나 기판 위에 직접 bottom-up 방법으로 성장시키는 방법이 알려져 있다. 이러한 나노로드형 LED는 LED 장축이 적층방향 즉, p-GaN/InGaN 다중양자우물(MQW)/n-GaN 적층구조에서 각 층의 적층방향과 일치하므로 발광면적이 좁고, 이로 인해서 표면결함이 발광효율에 큰 영향을 미치는데, 에칭에 의해 형성되는 측면의 면적이 윗면이나 아랫면보다 상대적으로 크기 때문에 표면결함에 따른 발광효율의 저하가 클 수밖에 없다. 또한, 정자-정공의 재결합 속도를 최적화하기가 어려워서 본래 웨이퍼가 갖고 있던 발광효율보다 나노로드형 LED의 발광효율이 크게 낮아지는 문제가 있다.
따라서, 서브픽셀 제작시 어드레스를 위한 전극배치를 보다 용이하게 구현할 수 있고, 발광면적이 넓고, 표면 결함에 의한 효율 저하가 최소화 또는 방지되며, 전자-정공의 재결합 속도가 최적화된 새로운 LED 소재를 기반으로 하는 디스플레이에 대한 개발이 시급한 실정이다.
등록특허공보 제10-1490758호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로서, 잉크화 시키기 적합한 LED 소재를 이용해서 대면적의 디스플레이를 쉽게 구현할 수 있는 풀-컬러 LED 디스플레이 제조방법 및 이를 통해 구현된 풀-컬러 LED 디스플레이를 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 표면 결함에 의한 효율 저하가 최소화 또는 방지되며, 전자-정공의 재결합 속도가 최적화된 LED 소재를 이용해 휘도가 개선된 풀-컬러 LED 디스플레이 제조방법 및 이를 통해 구현된 풀-컬러 LED 디스플레이를 제공하는데 다른 목적이 있다.
나아가, 디스플레이의 서브픽셀을 구현 시 어드레스를 위한 전극 배열을 보다 용이하게 설계하고 구현할 수 있는 풀-컬러 LED 디스플레이 및 이의 제조방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 제1구현예는 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인; 서브픽셀 영역마다 적어도 2개가 구비되도록 배치되며, 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하고, 층들의 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이며, 제1전극 상에 층들의 적층방향으로 세워져 배치되는 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 다수 개의 초박형 LED 소자; 상기 다수 개의 초박형 LED 소자 상에 배치되는 제2전극을 포함하는 상부 전극라인; 및 상기 서브픽셀 영역마다 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역이 되도록 서브픽셀 영역에 대응되는 상기 제2전극 상에 패터닝된 색변환층;을 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이를 제공한다.
또한, 본 발명의 제2구현예는 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인; 각각 독립적으로 청색, 녹색 또는 적색을 발광하며, 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하고, 층들의 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5인 소자로서, 상기 다수 개의 서브픽셀 영역이 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 나타내도록 서브픽셀 영역마다 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 적어도 2개의 소자가 배치되는 다수 개의 초박형 LED 소자; 및 상기 다수 개의 초박형 LED 소자 상부와 접촉하도록 배치된 제2전극을 포함하는 상부 전극라인을 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이를 제공한다.
본 발명 제1구현예 및 제2구현예의 일 실시예에 의하면, 상기 초박형 LED 소자의 두께 방향 일 측 및 제1전극 내 서브픽셀 영역 중 어느 한 쪽 또는 양 쪽에는 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 배치시키기 위한 배열유도층 더 포함하며, 상기 배열유도층은 자성층, 전하층 또는 결합층일 수 있다.
또한, 상기 초박형 LED 소자는 최대면 면적이 16 ㎛2 이하일 수 있다.
또한, 상기 초박형 LED 소자는 두께가 2㎛ 이하일 수 있다.
또한, 상기 초박형 LED 소자에서 제1도전성 반도체층은 n형 III-질화물 반도체층이고, 광활성층에서 재결합되는 전자와 전공의 수가 균형이 이루어지도록 광활성층에 인접하는 제1도전성 반도체층 일면에 대향하는 반대면 상에 전자지연층을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 전자지연층은 CdS, GaS, ZnS, CdSe, CaSe, ZnSe, CdTe, GaTe, SiC, ZnO, ZnMgO, SnO2, TiO2, In2O3, Ga2O3, Si, 폴리(파라-페닐렌 비닐렌)(poly(para-phenylene vinylene)) 및 이의 유도체, 폴리아닐린(polyaniline), 폴리(3-알킬티오펜)(poly(3-alkylthiophene)) 및 폴리(파라페닐렌)(poly(paraphenylene))로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1도전성 반도체층은 도핑된 n형 III-질화물 반도체층이며, 상기 전자지연층은 도핑농도가 상기 제1도전성 반도체층보다 낮은 III-질화물 반도체일 수 있다.
또한, 상기 초박형 LED 소자의 노출된 측면을 둘러싸는 보호피막을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 초박형 LED 소자의 제1도전성 반도체층은 n형 III-질화물 반도체층이고, 제2도전성 반도체층은 p형 III-질화물 반도체층이며, 제2도전성 반도체층의 노출된 측면, 또는 제2도전성 반도체층 노출된 측면과 광활성층 적어도 일부의 노출된 측면을 둘러싸서 노출된 측면 표면쪽의 정공을 중심쪽으로 이동시키기 위한 정공푸싱피막 및 상기 제1도전성 반도체층의 노출된 측면을 둘러싸서 노출된 측면 표면쪽의 전자를 중심쪽으로 이동시키기 위한 전자푸싱피막 중 적어도 어느 하나의 피막을 더 포함할 수 있다.
또한, 초박형 LED 소자는 상기 정공푸싱피막과 전자푸싱피막을 모두 포함하며, 상기 전자푸싱피막은 제1도전성 반도체층, 광활성층 및 제2도전성 반도체층의 측면을 둘러싸는 최외피막으로 구비될 수 있다.
또한, 상기 정공푸싱피막은 AlNX, ZrO2, MoO, Sc2O3, La2O3, MgO, Y2O3, Al2O3, Ga2O3, TiO2, ZnS, Ta2O5 및 n-MoS2 로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한, 상기 전자푸싱피막은 Al2O3, HfO2, SiNx, SiO2, ZrO2, Sc2O3, AlNx 및 Ga2O3로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한, 제1구현예에서 실질적으로 동일한 광색은 청색, 백색 또는 UV일 수 있다.
또한, 본 발명의 제1구현예는 (1) 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인을 준비하는 단계; (2) 적층된 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하며 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이고 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 초박형 LED 소자가 다수 개로 포함된 잉크조성물을 각 서브픽셀 영역마다 적어도 2개의 초박형 LED 소자가 배치되도록 상기 제1전극 상에 처리하는 단계; (3) 서브픽셀 영역 상에 처리된 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 제1전극 상에 조립시키는 단계; (4) 제1전극에 조립된 초박형 LED 소자 일측에 대향하는 반대측과 전기적으로 연결되도록 제2전극을 포함하는 상부 전극라인을 형성시키는 단계; 및 (5) 상기 다수 개의 서브픽셀 영역마다 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역이 되도록 서브픽셀 영역에 대응되는 제2전극 상에 색변환층을 패터닝하는 단계를 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 제2구현예는 (Ⅰ) 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인을 준비하는 단계; (Ⅱ) 적층된 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하며 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5인 초박형 LED 소자를 광색 별로 다수 개 포함하는 청색 초박형 LED 소자 잉크조성물, 녹색 초박형 LED 소자 잉크조성물 및 적색 초박형 LED 소자 잉크조성물을 상기 제1전극 상에 처리하되, 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 광색을 나타내고, 각 서브픽셀 영역마다 적어도 2개의 초박형 LED 소자가 배치되도록 잉크조성물을 처리하는 단계; (Ⅲ) 서브픽셀 영역 상에 처리된 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 제1전극 상에 조립시키는 단계; 및 (Ⅳ) 제1전극에 조립된 초박형 LED 소자 일측에 대향하는 반대측과 전기적으로 연결되도록 제2전극을 포함하는 상부 전극라인을 형성시키는 단계를 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이 제조방법을 제공한다.
본 발명 제1구현예 및 제2구현예에 따른 일 실시예에 의하면, 초박형 LED 소자의 두께방향 일측 및 서브픽셀 영역 내 제1전극 상에는 자성층이 더 구비되며, 상기 (3) 단계 및 (Ⅲ) 단계는 초박형 LED 소자를 서브픽셀 영역으로 이동시키고 두께방향으로 세워져 배치되도록 제1전극의 주면에 수직한 방향으로 자기장을 형성시킬 수 있다.
또한, 초박형 LED 소자의 두께방향 일측에는 양전하 또는 음전하를 띠는 제1전하층이 더 구비되고, 서브픽셀 영역 내 제1전극 상에는 상기 제1전하층과 반대 전하를 띠는 제2전하층이 더 구비되며, 상기 (3) 단계 및 (Ⅲ) 단계는 초박형 LED 소자를 서브픽셀 영역으로 이동시키고 두께방향으로 세워져 배치되도록 제1전극의 주면에 수직한 방향으로 전기장을 형성시킬 수 있다.
또한, 상기 (3) 단계 및 (Ⅲ) 단계는 초박형 LED 소자의 두께방향 일측 및 서브픽셀 영역 내 제1전극 간에 결합층을 매개로 한 화학결합을 통해서 초박형 LED 소자가 서브픽셀 영역 내 제1전극 상에 세워져 조립되며, 상기 결합층은 초박형 LED 소자의 두께방향 일측 및 서브픽셀 영역 내 제1전극 중 어느 한 쪽 또는 양 쪽에 구비될 수 있다.
이하, 본 발명에서 사용한 용어에 대해 정의한다.
본 발명에 따른 구현예의 설명에 있어서, 각 층, 영역, 패턴 또는 기판, 각 층, 영역, 패턴들의 "위(on)", "상부", "상", "아래(under)", "하부", "하"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "위(on)", "상부", "상", "아래(under)", "하부", "하"는 "directly"와 "indirectly"의 의미를 모두 포함한다.
본 발명에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이는 초박형 LED 소자를 잉크화 시켜서 잉크젯 프린팅을 통해 구현가능함에 따라서 대면적의 디스플레이를 보다 쉽게 구현할 수 있다. 또한, 종래의 나노로드형 LED 소자를 이용한 디스플레이에 대비해 소자의 발광면적을 증가시켜 높은 휘도와 광효율을 달성하기에 유리하다. 또한 소자의 발광면적을 증가시키면서도 표면에 노출된 광활성층 면적은 크게 줄여서 표면결함에 의한 효율 저하를 방지 또는 최소화할 수 있어서 디스플레이의 휘도 저하를 방지 또는 최소화 할 수 있다. 나아가 사용된 LED 소자가 전자 및 정공 속도의 불균일에 따른 전자-정공 재결합 속도가 최적화될 수 있어서 보다 개선된 발광효율을 달성하므로 높은 휘도를 갖는 디스플레이를 구현할 수 있다. 더불어 서브픽셀을 구현하는 전극배열을 쉽고 단순하게 설계할 수 있고, 동시에 구현하는 것에도 어려움이 없어서 다양한 디스플레이에 널리 응용될 수 있다.
도 1 내지 2는 본 발명의 제1구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이에 대한 평면모식도 및 도 1의 X-X' 경계선에 따른 단면모식도,
도 3 내지 4는 본 발명의 제2구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이에 대한 평면모식도 및 도 3의 Y-Y' 경계선에 따른 단면모식도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자의 사시도이다.
도 6은 도 5의 Z-Z' 경계선에 따른 단면도이다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자에 구비될 수 있는 배열 유도층에 대한 여러 실시예에 대한 도면이다.
도 8은 LED 소자에서 전자와 정공의 균형을 설명하기 위한 모식도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자의 단면도이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자의 제조방법 1에 대한 모식도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자의 제조방법 2에 대한 모식도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자의 일 제조방법에 대한 모식도이다.
도 15 내지 도 17는 본 발명의 일 실시예에 따른 초박형 LED 디스플레이 제조방법의 일 단계의 여러 실시예를 도시한 모식도이다.
도 18 및 19는 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자 제조방법 중 특정 단계에서의 SEM 사진이다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자에 대한 SEM 사진이다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 사용되는 초박형 LED 소자의 제조 과정에서 초박형 LED 소자를 제조한 뒤 남은 LED 웨이퍼에 대한 SEM 사진이다.
도 22는 초박형 LED 소자와 로드형 LED 소자를 각각 아세톤에 분산시킨 잉크 조성물에서 시간별로 측정된 파장별 흡광도를 이용해서 380 ~ 780 nm 가시광 영역의 스펙트럼 면적을 정규화한 시간별 흡광도 그래프이다.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
먼저 본 발명의 제1구현예에 따른 디스플레이로서, 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 LED 소자들로 구현된 풀-컬러 LED 디스플레이에 대해서 설명한다.
도 1 및 도 2를 참고하여 설명하면, 본 발명의 제1구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이(1000)는 다수 개의 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)이 형성된 제1전극(311,312,313)을 포함하는 하부 전극라인(310), 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 마다 적어도 2개가 구비되도록 배치되며, 상기 제1전극(311,312,313) 상에 층들의 적층방향으로 세워져 배치되는 다수 개의 초박형 LED 소자(101) 및 상기 다수 개의 초박형 LED 소자(101) 상부와 접촉하도록 배치되는 제2전극(321,322)을 포함하는 상부 전극라인(320) 및 상기 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)마다 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)이 되도록 상기 상부 전극라인(320) 상에 패터닝된 색변환층(700)을 포함하여 구현된다.
먼저, 각 구성의 구체적 설명에 앞서서 초박형 LED 소자를 발광시키기 위한 전극라인에 대해서 설명한다.
본 발명의 제1구현예에 따른 디스플레이(1000)는 초박형 LED 소자(101)를 사이에 두고 상부와 하부에 대향하여 배치되는 상부 전극라인(320)과 하부 전극라인(310)을 포함한다. 상기 상부 전극라인(320)과 하부 전극라인(310)은 수평방향으로 배열된 것이 아니기 때문에 초소형의 두께, 폭을 갖도록 구현된 2종의 전극을 한정된 면적의 평면 내에 수평방향으로 마이크로, 또는 나노 단위 간격을 갖도록 배치시키는 종래의 전계 유도에 의한 디스플레이의 복잡한 전극라인을 탈피해 전극 설계를 매우 단순하게 할 수 있고, 보다 용이하게 구현할 수 있다. 또한, TFT 배열도 용이하므로 액티브 매트릭스 구동뿐만 아니라 x-y 매트릭스 구동인 패시브 매트릭스 구동도 가능해지므로 다양한 종류의 디스플레이 구현이 훨씬 쉬워지는 이점이 있다.
또한, 상기 하부 전극라인(310) 및 상부 전극라인(320)은 각각 다수 개의 제1전극(311,312,313)과 제2전극(321,322)을 구비할 수 있으며, 이들의 개수, 간격, 배치형상 등은 구현하고자 하는 디스플레이의 면적, 휘도 등을 고려해 적절히 변형될 수 있으므로 본 발명은 이에 대해서 특별히 한정하지 않는다.
또한, 상기 상부 전극라인(320)은 상기 하부 전극라인(310) 상에 실장된 초박형 LED 소자(101)의 상부와 전기적 접촉되도록 설계되는 경우 개수, 배치 형상 등에 제한은 없다. 다만 도 1과 같이 만일 하부 전극라인(310)이 일 방향으로 나란하게 배열된 경우 상부 전극라인(320)은 상기 일방향에 수직이 되도록 배열될 수 있으며, 이러한 전극배치는 종래에 디스플레이 등에서 널리 사용된 전극배치로써 종래의 디스플레이 분야의 전극배치 및 제어 기술을 그대로 사용할 수 있는 이점이 있다.
또한, 상기 하부 전극라인(310) 및 상부 전극라인(320)은 통상적인 LED를 이용한 디스플레이에 사용되는 전극의 재질, 형상, 폭, 두께를 가질 수 있으며, 공지된 방법을 이용해 제조할 수 있으므로 본 발명은 구체적으로 이를 제한하지 않는다. 일예로 상기 제1전극(311,312,313)과 제2전극(321,322)은 각각 독립적으로 알루미늄, 크롬, 금, 은, 구리, 그래핀, ITO, 또는 이들의 합금 등일 수 있고, 폭은 2 ~ 50㎛, 두께는 0.1 ~ 100㎛ 수 있으나, 목적하는 LED 디스플레이의 크기 등을 고려해 적절히 변경될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 제1전극(311,312,313) 상에는 초박형 LED 소자(101)가 배치될 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)이 형성될 수 있다. 상기 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)은 목적에 따라 매우 다양하게 설정될 수 있으며, 도 1에 도시된 것과 같이 소정의 간격을 두고 서브픽셀 영역 간에 이격해서 설정될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 한편, 상기 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)은 제1전극(311,312,313)의 주면을 구획하는 가상의 영역을 의미한다.
또한, 상기 서브픽셀 영역은 단위면적이 100㎛×100㎛ 이하, 다른 일예로 30㎛×30㎛ 이하, 또 다른 일예로 20㎛×20㎛ 이하 일 수 있는데, 이와 같은 크기의 단위면적은 LED를 이용한 디스플레이의 단위 서브픽셀 면적 보다 감소된 것으로 LED가 차지하는 면적비를 최소화 하면서 대면적화를 도모할 수 있고, 이를 통해 고해상도의 디스플레이를 구현하기에 유리할 수 있다. 한편, 각각의 서브픽셀 영역의 단위면적은 서로 상이할 수도 있다. 또한 상기 서브픽셀 영역들의 표면에 별도의 표면처리를 하거나, 홈을 형성할 수도 있다.
한편, 도 1에는 통상적인 디스플레이에 구비되는 데이터전극, 게이트전극 등의 전극배치가 도시되지 않았으나 도시되지 않은 전극의 배치는 통상적인 디스플레이에서 사용되는 전극의 배치가 채용될 수 있다.
다음으로 상술한 하부 전극라인(310)과 상부 전극라인(320) 사이에 배치된 초박형 LED 소자(101)에 대해서 설명한다.
상기 초박형 LED 소자(101)는 제1전극(311,312,313) 상의 다수 개의 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 마다 적어도 2개 포함되도록 배치되며, 이를 통해 각 서브픽셀 당 배치된 초박형 LED 소자(101) 중 불량이 발생한 소자가 포함되는 경우에도 모든 서브픽셀에 소정의 광을 발광시킬 수 있어서 디스플레이의 불량화소 발생을 최소화 또는 방지할 수 있다.
또한, 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 마다 구비되는 초박형 LED 소자(101)는 실질적으로 동일한 광색을 발광한다. 이때, 실질적으로 동일한 광색이란 발광되는 광의 파장이 완전히 동일함을 의미하지는 않고, 통상적으로 동일한 광색이라고 칭할 수 있는 파장영역에 속하는 광을 의미한다. 일예로, 광색이 청색인 경우 420 ~ 470 ㎚의 파장영역에 속하는 광을 발광하는 초박형 LED 소자는 모두 실질적으로 동일한 광색을 발광한다고 볼 수 있다. 본 발명의 제1구현예에 따른 디스플레이에 구비되는 초박형 LED 소자가 발광하는 광색은 일예로, 청색, 백색, 또는 UV일 수 있다.
이러한 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 마다 적어도 2개 배치되는 초박형 LED 소자(101)를 도 5 및 도 6을 참조하여 설명하면, 제1도전성 반도체층(10), 광활성층(20) 및 제2도전성 반도체층(30)을 포함하고, 이외에 제1도전성 반도체층(10) 하에 형성된 제2전극층(60), 제2도전성 반도체층(30) 상에 형성된 제1전극층(40) 및 제2도전성 반도체층(30) 쪽의 최외측에 형성된 배열유도층(70)을 더 포함할 수 있다.
상술한 층들은 어느 일 방향으로 적층되는데, 적층방향인 두께와 상기 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5를 만족하고, 바람직하게는 1: 0.8 ~ 1.2, 보다 바람직하게는 1: 0.9 ~ 1.1을 만족할 수 있으며, 이를 통해서 초박형 LED 소자를 잉크젯용 잉크로 구현 시 분산매 내 우수한 분산성을 발현하며 장시간 침전되지 않고 분산상태를 유지하기에 유리할 수 있다. 또한, 이러한 잉크화에 적합한 기하학적 구조로 인해서 분산상태를 유지시키기 위한 별도의 첨가제가 필요 없어서, 별도의 첨가제로 인한 하부 전극라인(310)이나 회로기판의 오염을 사전에 예방할 수 있는 이점이 있다. 나아가, 초박형 LED 소자를 함유한 잉크를 하부 전극라인(310) 상에 프린팅 시 종래 종횡비가 큰 나노로드형 LED 소자는 거의 대부분 소자가 누워서 전극 상에 위치하는데, 초박형 LED 소자는 전극 상에 누워서 배열될 확률을 감소시킬 수 있는 이점이 있다. 또한, 두께 방향 어느 일측에 형성된 배열유도층(70)을 통해서 두께방향으로 제1전극 상에 조립되므로 조립 시 다수 개의 소자들이 조립되는 방향이 서로 다를 확률, 달리 말하면 p형 도전성 반도체층과 n형 도전성 반도체층의 방향이 서로 다른 방향으로 제1전극 상에 조립될 확률이 감소될 수 있고, 이를 통해서 역방향 배열에 의한 전기적 리크를 줄일 수 있으며, 수명을 향상 시킬 수 있는 이점이 있다. 여기서 상기 장축의 길이란, 횡단면 모양이 원일 경우 직경, 타원일 경우 장축의 길이, 다각형일 경우 가장 긴 변의 길이를 의미한다. 한편, 초박형 LED 소자의 횡단면이 두께방향으로 동일하지 않을 경우 상기 횡단면은 횡단면 중 가장 큰 면을 의미한다.
또한, 상기 횡단면에서 단축의 길이와 장축의 길이 간 비 역시 1: 0.5 ~ 1.5, 바람직하게는 1: 0.8 ~ 1.2, 보다 바람직하게는 1: 0.9 ~ 1.1을 만족할 수 있고, 이를 통해서 상술한 본 발명의 목적을 달성하기에 보다 유리할 수 있다. 만일 두께와 장축 길이 간 비율이 1:0.5 ~ 1.5를 만족하더라도 횡단면에서 단축 길이와 장축 길이 간 비율이 1: 0.5 ~ 1.5를 벗어날 경우 LED 소자가 장시간 분산매 상에 분산상태를 유지하기 어려워 잉크화 되기 부적합할 수 있다. 또한, 이러한 잉크화에 부적합한 기하학적 구조를 갖는 LED 소자를 분산매에서 장시간 분산이 유지되게 하기 위해서는 첨가제를 더 함유 해야 하며, 첨가제 사용으로 인한 구동전극이나 회로기판 상을 오염시키는 문제를 발생시킬 우려가 있다. 여기서 횡단면에서 단축의 길이란, 장축에 수직한 축의 길이 중 가장 긴 길이를 의미한다.
한편, 도 5에 도시된 초박형 LED 소자(101)는 층들의 적층방향에 수직한 횡단면의 크기가 동일한 것으로 도시했으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 두께에 따라서 횡단면의 크기가 상이할 수 있다.
또한, 초박형 LED 소자(101)의 형상은 도 5에 도시된 것과 같이 원기둥일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니며, 육면체, 팔면체, 십면체 등 다면체뿐만 아니라 별모양의 면을 갖는 비정형의 형상도 무방함을 밝혀둔다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 초박형 LED 소자(101)는 잉크화 시 침강속도가 느려서 분산상태를 계속 유지할 수 있는 분산 유지성능을 개선하기 위하여 최대면 면적이 16㎛2 이하, 보다 바람직하게는 9㎛2 이하, 보다 더 바람직하게는 4㎛2 이하, 더욱 바람직하게는 0.1 ~ 2.5㎛2 일 수 있다. 여기서 최대면 면적이란 LED 소자를 투영한 면적 중 최대값을 의미한다. 만일 최대면 면적이 16㎛2을 초과 시 침강속도가 빨라 분산 유지성능이 저하될 우려가 있고, 잉크로 제조되기에 적합하지 않거나, 잉크화 시키기 위해 별도의 첨가제를 더 함유시키거나 분산매를 특정한 것으로 사용해야 하는 제한이 있을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 초박형 LED 소자(101)의 두께는 2㎛ 이하일 수 있고, 보다 바람직하게는 1㎛ 이하일 수 있으며, 이를 통해 잉크화 시 장시간 분산상태를 유지하기에 더욱 적합할 수 있다.
다만, LED 소자의 경우 두께를 얇게 구현 시 전자와 정공 간에 결합이 이루어지는 위치가 광활성층(20)을 벗어나게 되어 발광효율이 저하될 수 있다. 특히 대면적의 LED 웨이퍼를 식각해 초박형 LED 소자들을 구현하는 경우 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층의 두께는 LED 웨이퍼 상태에서 이미 결정되는데, 발광효율이 일정 수준을 달성하도록 이미 결정된 웨이퍼 내 각 층의 두께와 다르게 일부만 식각해 초박형 LED 소자를 구현하므로 이러한 문제는 필연적으로 발생할 수밖에 없다. 이러한 전자와 정공 간에 결합이 이루어지는 위치 변화는 도전성 반도체층을 이동하는 전자와 정공의 속도 차이에 기인한다. 예를 들어 n형 GaN인 도전성 반도체층에서 전자의 모빌리티는 200㎠/Vs인데 반하여 p형 GaN인 도전성 반도체층에서 정공의 모빌리티는 5㎠/Vs에 불과해 이와 같은 전자-정공 속도 불균형에 의해 p형 GaN인 도전성 반도체층의 두께와 n형 GaN인 도전성 반도체층의 두께에 따라서 전자와 정공이 결합하는 위치가 달라지고 광활성층을 벗어날 수 있다.
이를 도 8을 참조하여 설명하면, n형 GaN인 도전성 반도체층(210), 광활성층(220) 및 p형 GaN인 도전성 반도체층(230)이 적층된 직경이 약 600㎚인 LED 소자(200)에서 n형 GaN인 도전성 반도체층(210)의 전자 모빌리티 및 p형 GaN인 도전성 반도체층(230) 의 정공 모빌리티를 고려해 광활성층(220) 내 지점(A2)에서 재결합되는 전자와 정공의 수가 균형이루도록 두께를 설계 시 n형 GaN인 도전성 반도체층(210)의 두께(h)가 필연적으로 두꺼워야 하며, 이로 인해서 p형 GaN인 도전성 반도체층(230)의 두께를 매우 얇게 구현하지 않는 이상 로드형의 LED 소자가 구현될 가능성이 매우 높다. 달리 말하면, 재결합되는 전자와 정공의 수가 균형을 이루는 위치가 광활성층(220)이 되도록 각 층의 두께가 설계된 LED 소자의 경우 두께 방향에 수직한 횡단면의 장축 길이가 작을수록 LED 소자의 두께와 횡단면 장축 길이 간 종횡비가 더욱 커질 수밖에 없고, 이로 인해 광활성층에서 재결합되는 정공과 전자의 수가 균형을 이루더라도 잉크로 구현하기에 부적절할 수 있다. 또한, 잉크로 구현하기에 적합하도록 n형 GaN 도전성 반도체층(210)의 두께를 얇게 구현 시 재결합되는 전자와 정공의 수가 균형을 이루는 위치가 p형 GaN 도전성 반도체층(230) 내 어느 지점(A3)에서 이루어질 수 있어서 발광효율이 저하될 수 있다.
이에 따라 본 발명의 일 실시예에 구비되는 초박형 LED 소자는 잉크로 구현되기에 적합한 기하학적 구조를 가지면서도 상기 광활성층에서 재결합되는 정공과 전자의 수가 균형이 이루어져서 발광효율의 저하를 방지하기 위해서 n형 도전성 반도체층 측에 인접해 전자지연층을 더 포함할 수 있다. 이를 도 9를 참조하여 설명하면, 제1도전성 반도체층이 n형 도전성 반도체이라고 할 때, 초박형 LED 소자(102)는 전자지연층(50)을 제1도전성 반도체층(10) 상에 구비할 수 있으며, 이를 통해 제1도전성 반도체층(10)의 두께를 얇게 구현해도 발광효율 감소를 방지할 수 있다. 또한, 얇아진 제1도전성 반도체층(10)의 두께는 전자가 제1도전성 반도체층(10)의 두께 방향으로 이동 중 표면 결함에 의해 포획될 확률을 감소시킴으로써 발광손실을 최소화 시킬 수 있는 이점이 있다.
상기 전자지연층(50)은 일 예로 CdS, GaS, ZnS, CdSe, CaSe, ZnSe, CdTe, GaTe, SiC, ZnO, ZnMgO, SnO2, TiO2, In2O3, Ga2O3, Si, 폴리(파라-페닐렌 비닐렌)(poly(para-phenylene vinylene)) 및 이의 유도체, 폴리아닐린(polyaniline), 폴리(3-알킬티오펜)(poly(3-alkylthiophene)) 및 폴리(파라페닐렌(poly(paraphenylene))로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 함유일 수 있다. 또한, 상기 전자지연층(50)의 두께는 1 ~ 100㎚일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니며, n형 도전성 반도체층의 재질, 전자지연층의 재질 등을 고려해 적절히 변경될 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 구비되는 초박형 LED 소자(101) 각 층에 대해 구체적으로 설명한다.
제1도전성 반도체층(10) 및 제2도전성 반도체층(30) 중 어느 하나는 n형 반도체층이고, 다른 하나는 p형 반도체층일 수 있고, 상기 n형 반도체층 및 p형 반도체층은 발광다이오드에 채용되는 공지된 반도체층의 경우 제한 없이 사용될 수 있다. 일예로 상기 n형 반도체층과 p형 반도체층은 III-질화물 재료들로 지칭되는 III-V족 반도체들, 특히 갈륨, 알루미늄, 인듐 및 질소의 2원, 3원 및 4원 합금들을 포함할 수 있다.
일예로 제1도전성 반도체층(10)은 n형 반도체층일 수 있고, 이 경우 n형 반도체층은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0 ≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료 예컨대, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN등에서 어느 하나 이상이 선택될 수 있으며, 제1 도전성 도펀트(예: Si, Ge, Sn 등)가 도핑될 수 있다. 본 발명의 바람직한 일구현예에 따르면 상기 제1도전성 반도체층(10)의 두께는 50 ~ 150㎚일 수 있으나 이에 제한되지 않는다.
또한, 제2도전성 반도체층(30)은 p형 반도체층일 수 있으며, 이 경우 상기 p형 반도체층은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0 ≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질 예컨대, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN등에서 어느 하나 이상이 선택될 수 있으며, 제 2도전성 도펀트(예: Mg)가 도핑될 수 있다. 본 발명의 바람직한 일구현예에 따르면, 상기 제2도전성 반도체층(30)의 두께는 100 ~ 1800㎚일 수 있으나 이에 제한되지 않는다.
또한, 상기 제1도전성 반도체층(10)과 제2도전성 반도체층(30) 사이에 위치하는 광활성층(20)은 단일 또는 다중 양자 우물 구조로 형성될 수 있다. 상기 광활성층(20)은 조명, 디스플레이 등에 사용되는 통상의 LED 소자에 포함되는 광활성층인 경우 제한 없이 사용될 수 있다. 상기 광활성층(20)의 위 및/또는 아래에는 도전성 도펀트가 도핑된 클래드층(미도시)이 형성될 수도 있으며, 상기 도전성 도펀트가 도핑된 클래드층은 AlGaN층 또는 InAlGaN층으로 구현될 수 있다. 그 외에 AlGaN, AlInGaN 등의 물질도 광활성층(20)으로 이용될 수 있다. 이러한 광활성층(20)은 소자에 전계를 인가하였을 때, 광활성층 위, 아래에 각각 위치하는 도전성 반도체층으로부터 광활성층으로 이동하는 전자와 정공이 광활성층에서 전자-정공 쌍의 결합이 발생하고 이로 인해 발광하게 된다. 본 발명의 바람직한 일실예에 따르면 상기 광활성층(20)의 두께는 50 ~ 200㎚일 수 있으나 이에 제한되지 않는다.
한편, 상술한 제1 도전성 반도체층(10) 하부에는 제2전극층(60)이 구비될 수 있다. 또는, 제1도전성 반도체층(10)과 제2전극층(60) 사이에 전자지연층(50)이 더 구비될 수 있다. 또한, 상술한 제2도전성 반도체층(30) 상부에는 제1전극층(40)이 구비될 수 있다.
상기 제1전극층(40) 및 상기 제2전극층(60)은 조명, 디스플레이 등에 사용되는 통상의 LED 소자에 포함되는 전극층의 경우 제한 없이 사용될 수 있다. 상기 제1전극층(40) 및 상기 제2전극층(60)은 각각 독립적으로 Cr, Ti, Al, Au, Ni, ITO 및 이들의 산화물 또는 합금 중 1종으로 형성된 단독층, 또는 2종 이상이 혼합된 단독층, 또는 2종 이상의 재질 각각이 층을 이룬 복합층일 수 있다. 일예로 초박형 LED 소자(102)는 도 9에 도시된 것과 같이 제2도전성 반도체층(30) 상에 ITO전극층(40) 및 Ti/Au 복합층(41)이 적층된 제1전극층(42)을 구비할 수 있다. 또한, 상기 제1전극층(40) 및 상기 제2전극층(60)은 각각 독립적으로 두께가 10 ~ 500㎚일 수 있으나 이에 제한되지 않는다.
또한, 초박형 LED 소자(101)의 두께 방향 일 측 및 제1전극(311,312,313) 내 초박형 LED 소자(1010가 배치될 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 중 어느 한 쪽 또는 양 쪽에는 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 배치시키기 위한 배열유도층(70)이 형성될 수 있다. 상기 배열유도층은 초박형 LED 소자(101)를 제1전극(311,312,313) 상의 목적하는 영역, 즉 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 상으로 이동하도록 유도하고, 초박형 LED 소자(101)를 제1 전극(311,312) 상에 세워서 배열되도록 하는 역할을 수행한다. 상기 배열유도층은 초박형 LED 소자(101) 측에 형성되거나 및/또는 제1전극(311,312,313) 상의 목적하는 영역, 예를 들어 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 상에 형성될 수 있다.
제1전극(311,312,313) 상에만 배열유도층이 형성되는 경우에 대해서 설명하면, 이때의 배열유도층은 초박형 LED 소자(101)의 금속부분, 일예로 제1전극층 및/또는 제2전극층에 화학적으로 결합될 수 있는 결합층일 수 있다. 이때 상기 결합층은 일예로 티올기가 외부로 노출되도록 형성된 층일 수 있다.
또한, 초박형 LED 소자(101) 상에 배열유도층이 형성되는 경우에 대해서 설명하면, 도 5 및 도 7a 내지 7c에 도시된 것과 같이 제1전극층(40) 상에 배열유도층(70)을 더 포함할 수 있다. 상기 배열유도층(70)은 구체적인 유도 및 결합방식에 따라서 층의 재질이 달라질 수 있다. 예를 들어 배열유도층(70)은 양전하 또는 음전하를 띠는 전하층일 수 있고, 구체적으로 도 7a에 도시된 것과 같이 음전하를 띠는 전하층(71)일 수 있다. 상기 전하층(71)은 후술하는 전기영동 방식을 통해서 초박형 LED 소자가 제1전극 상으로 유도되고 세워져 조립될 수 있다. 또는, 도 7b에 도시된 것과 같이 배열유도층은 결합층(72)일 수 있고, 결합층(72)에 노출된 작용기는 제1 전극 상에 구비된 다른 작용기와 화합결합을 이루거나, 금속 재질의 제1전극 상에 화학적 결합, 일예로 흡착을 통해 결합될 수 있다. 또한, 상기 배열유도층(70)은 도 7c에 도시된 것과 같이 자성층(73)일 수 있으며, 자기장 하에서 자성층(73)이 제1 전극(311,312) 상에 조립될 수 있다.
한편, 초박형 LED 소자 상에 구비된 배열유도층(70)이 전하층(71)인 경우 제1전극(311,312,313) 내 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 상에는 초박형 LED 소자에 구비된 전하층(71)의 전하와 반대 전하를 띠는 전하층이 구비될 수 있고, 이를 통해서 초박형 LED 소자를 배치영역으로 보다 더 잘 유도하는 동시에 초박형 LED 소자를 더 잘 세워서 배치시킬 수 있는 이점이 있다. 상기 전하층은 양전하 또는 음전하를 띠면서 층 또는 피막을 형성하기에 적합한 재질로 형성된 경우 제한은 없다.
또한, 초박형 LED 소자 상에 구비된 배열유도층(70)이 자성층(73)인 경우에도 상기 제1전극(311,312,313) 내 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 상에는 자성층을 더 포함할 수 있으며, 이를 통해서 초박형 LED 소자를 배치영역으로 보다 더 잘 유도하는 동시에 초박형 LED 소자를 더 잘 세워서 배치시킬 수 있는 이점이 있다. 이때, 상기 자성층은 강자성체 또는 상자성체일 수 있다.
한편, 도 5 및 도 6에서는 배열유도층(70)의 위치가 제1전극층(40) 상에 위치하도록 도시되었으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 제2전극층(60) 상에 위치하도록 배치될 수도 있다. 달리 말하면, 배열유도층(70)은 초박형 LED 소자의 두께 방향 어느 일측, 즉 최상부층 또는 최하부층이 되도록 초박형 LED 소자에 구비될 수 있다.
또한, 초박형 LED 소자(101)는 적층방향에 평행한 면을 측면이라고 할 때 소자 측면을 둘러싸는 보호피막(80)을 더 포함할 수 있다. 상기 보호피막(80)은 제1도전성 반도체층(10), 광활성층(20) 및 제2도전성 반도체층(30)의 표면을 보호하는 기능을 수행한다. 또한, 후술하는 초박형 LED 소자의 일 제조방법과 같이 LED 웨이퍼를 두께방향으로 식각한 후 다수 개의 LED 기둥을 분리하는 공정에서 제1도전성 반도체층(10)을 보호하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 보호피막(80)은 일 예로 질화규소(Si3N4), 이산화규소(SiO2), 산화알루미늄(Al2O3), 산화하프늄(HfO2), 산화지르코늄(ZrO2), 산화이트륨(Y2O3), 이산화티타늄(TiO2), 질화알루미늄(AlN) 및 질화갈륨(GaN) 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 상기 보호피막(80)의 두께는 5㎚ ~ 100㎚, 보다 바람직하게는 30㎚ ~ 100㎚일 수 있고, 이를 통해 후술하는 초박형 LED 소자의 제조공정 중 LED 기둥을 웨이퍼에서 분리하는 공정에서 제1도전성 반도체층(10)을 보호하기에 유리할 수 있다.
한편, 도 10에 도시된 것과 같이 본 발명의 일 실시예에 의한 초박형 LED 소자(103)는 보호피막으로써의 보호기능 이외에 보다 향상된 발광효율을 가지기 위해서 제2도전성 반도체층(30)의 노출된 측면, 또는 제2도전성 반도체층(30) 노출된 측면과 광활성층(20) 적어도 일부의 노출된 측면을 둘러싸서 노출된 측면 표면쪽의 정공을 중심쪽으로 이동시키기 위한 정공푸싱피막(81)과, 제1도전성 반도체층(10)의 노출된 측면을 둘러싸서 노출된 측면 표면쪽의 전자를 중심쪽으로 이동시키기 위한 전자푸싱피막(82)으로 구성된 보호피막(80')을 구비할 수 있다.
제1도전성 반도체층(10)으로부터 광활성층(20)으로 이동되는 전하의 일부와, 제2도전성 반도체층(30)으로부터 광활성층(20)으로 이동되는 정공의 일부는 측면의 표면을 따라 이동할 수 있는데, 이 경우 표면에 존재하는 결함에 의해서 전자나 정공의 ??칭이 발생하하고, 이로 인해 발광효율이 저하될 우려가 있다. 이 경우 보호피막을 구비시키더라도, 보호피막의 구비 전 소자 표면에 발생된 결함에 의한 ??칭은 피할 수 없는 문제가 있다. 그러나 보호피막(80')을 정공푸싱피막(81)과 전자푸싱피막(82)으로 구성 시 전자와 정공을 소자 중심쪽 집중시켜 광활성층 방향으로 이동하게끔 유도함에 따라서 보호피막 형성 전 소자 표면에 결함이 있더라도 표면결함에 따른 발광효율 손실을 방지할 수 있는 이점이 있다.
상기 정공푸싱피막(81)은 일 예로 AlNX, ZrO2, MoO, Sc2O3, La2O3, MgO, Y2O3, Al2O3, Ga2O3, TiO2, ZnS, Ta2O5 및 n-MoS2로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있으며, 상기 전자푸싱피막(82)은 Al2O3, HfO2, SiNx, SiO2, ZrO2, Sc2O3, AlNx 및 Ga2O3로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한, 도 10에 도시된 것과 같이 초박형 LED 소자가 정공푸싱피막(81)과 전자푸싱피막(82)을 모두 구비하는 경우 전자푸싱피막(82)은 제1도전성 반도체층(10), 광활성층(20) 및 제2도전성 반도체층(30)의 측면을 둘러싸는 최외피막으로 구비될 수 있다.
또한, 상기 정공푸싱피막(81)과 전자푸싱피막(82)은 각각 독립적으로 두께가 1 ~ 50㎚일 수 있다.
한편, 상술한 초박형 LED 소자의 제1도전형 반도체층(10), 광활성층(20), 제2도전성 반도체층(30)은 초박막 LED소자의 최소 구성 요소로 포함될 수 있고, 각 층의 위/아래에 다른 형광체층, 양자점층, 다른 활성층, 반도체층, 정공 블록층 및/또는 전극층을 더 포함할 수도 있음을 밝혀둔다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 도 2에 도시된 것과 같이 제1전극(311,312,313)과 초박형 LED 소자(101) 간의 접촉 저항을 감소시키기 위하여 제1전극(311,312,313)과 접촉한 초박형 LED 소자(101)의 일측과 제1전극(311,312,313) 간을 연결하는 통전용 금속층(500)을 더 포함할 수 있다. 상기 통전용 금속층(500)은 은, 알루미늄, 금 등의 도전성 금속층일 수 있으며, 일예로 두께 약 10㎚로 형성될 수 있다.
또한, 하부 전극라인(310) 상에 배치된 초박형 LED 소자(101)와, 초박형 LED 소자(101) 상부와 전기적 접촉하는 상부 전극라인(320) 사이 공간에 절연층(600)을 더 포함할 수 있다. 상기 절연층(600)은 수직방향으로 대향하는 두 전극라인(310,320) 간의 전기적 접촉을 방지하며, 상부 전극라인(320)의 구현을 보다 용이하게 하는 기능을 수행한다.
또한, 도 2에 도시된 것과 같이 상부 전극라인(320) 상에는 다수 개의 서브픽셀 영역마다 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역이 되도록 청색 색변환층(711), 녹색 색변환층(712) 및 적색 색변환층(713)이 패터닝된 색변환층(700)을 포함한다. 상기 청색 색변환층(711), 녹색 색변환층(712) 및 적색 색변환층(713)은 서브픽셀 영역에 구비되는 초박형 LED 소자(101)가 발광하는 광의 파장을 고려해서 색변환층을 통과한 광이 청색, 녹색 및 적색을 띠도록 변환시키는 공지된 색변환층일 수 있으므로 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다. 한편, 상기 초박형 소자(101)가 청색을 발광하는 소자일 경우 청색 색변환층(711)이 불필요하므로 색변환층(700)은 녹색 색변환층 및 적색 색변환층을 포함할 수 있다.
또한, 상술한 색변환층(700)을 보호하기 위한 보호층(800)이 더 구비될 수 있고, 상기 보호층(800)은 색변환층(700)이 구비되는 통상적인 디스플레이에서 사용되는 보호층을 적절히 채용할 수 있으므로 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다.
상술한 제1구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이(1000)는 후술하는 제조방법으로 제조될 수 있다. 구체적으로 (1) 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인을 준비하는 단계, (2) 적층된 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하며 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이고 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 초박형 LED 소자가 다수 개로 포함된 잉크조성물을 각 서브픽셀 영역마다 적어도 2개의 초박형 LED 소자가 배치되도록 상기 제1전극 상에 처리하는 단계, (3) 서브픽셀 영역 상에 처리된 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 제1전극 상에 조립시키는 단계, (4) 제1전극에 조립된 초박형 LED 소자 일측에 대향하는 반대측과 전기적으로 연결되도록 제2전극을 포함하는 상부 전극라인을 형성시키는 단계 및 (5) 상기 다수 개의 서브픽셀 영역마다 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역이 되도록 상기 상부 전극라인 상에 색변환층을 패터닝하는 단계를 포함하여 제조될 수 있다. 이하 제조방법의 설명에서 상술한 풀-컬러 LED 디스플레이(1000)에서 설명된 내용은 생략한다.
먼저 본 발명에 따른 (1) 단계로서, 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극(311,312,313)을 포함하는 하부 전극라인(310)을 준비하는 단계를 수행한다.
상기 제1전극(311,312,313)은 공지된 방법을 통해 공지된 다양한 전극패턴으로 구현될 수 있고, 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다. 일예로 도 1과 같이 다수 개의 제1전극(311,312,313)이 소정의 간격을 두고 이격하여 나란하게 배열되는 패턴으로 구현될 수 있다. 상기 제1전극(311,312,313)은 기판(400) 상에 형성될 수 있으며, 상기 기판(400)은 일 예로 유리기판, 수정기판, 사파이어 기판, 플라스틱 기판 및 구부릴 수 있는 유연한 폴리머 필름 중 어느 하나가 사용될 수 있다. 다른 일 예로 상기 기판(400)은 투명할 수 있다. 다만, 열거된 종류에 한정되는 것은 아니며 통상적으로 전극을 형성시킬 수 있는 기판의 경우 어느 종류나 사용될 수 있다. 상기 기판(400)의 면적은 제한이 없으며, 기판(400) 상에 형성되는 제1전극(311,312,313)의 면적을 고려하여 변경할 수 있다. 또한, 기판(400)의 두께는 100㎛ 내지 1㎜일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
다음으로 본 발명에 따른 (2) 단계로써, 적층된 제1도전성 반도체층(10), 광활성층(20), 제2도전성 반도체층(30)을 포함하며 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이고 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 초박형 LED 소자(101)가 다수 개로 포함된 잉크조성물을 각 서브픽셀 영역마다 적어도 2개의 초박형 LED 소자가 배치되도록 상기 제1전극(311,312,313) 상에 처리하는 단계를 수행한다.
상기 초박막 LED 소자(101)는 다수 개가 잉크화 된 잉크조성물로 준비되며, 다수 개의 초박막 LED 소자(101)로 이루어진 초박막 LED 소자 집합체(100)는 도 11 및 도 12에 도시된 제조방법 1 또는 도 13에 도시된 제조방법 2를 통해 제조될 수 있다. 제조방법 1은 n형 III-질화물 반도체층이 도핑된 n형 III-질화물 반도체층일 때 유용하게 선택될 수 있으며, 만일 n형 III-질화물 반도체층이 도핑되지 않은 경우 제조방법 2가 유용할 수 있다.
제조방법 1과 제조방법 2는 LED 웨이퍼(100a)로부터 다수 개의 LED 구조물을 포함하는 웨이퍼(도 11의 100h, 도 13의 100h)를 제조하는 공정까지는 공통이며, 형성된 LED 구조물을 웨이퍼에서 분리하는 방법에서 차이가 있다. LED 웨이퍼(100a)로부터 다수 개의 LED 구조물을 포함하는 웨이퍼(도 11의 100h, 도 13의 100h)를 제조하는 공정까지는 제조방법 1을 통해 설명하기로 한다.
먼저 도 11를 참조하여 제조방법 1에 대해 설명한다. 제조방법 1은 (A) LED 웨이퍼(100a)를 준비하는 단계(도 11의 (a)), (B) 낱 개의 LED 구조물에서 층들이 적층되는 방향에 수직한 평면이 목적하는 모양과 크기를 갖도록 LED 웨이퍼(100a) 상부를 패터닝한 후(도 11의 (b), (c)), 제1도전성 반도체층(10) 적어도 일부 두께까지 수직방향으로 식각하여 다수 개의 LED 구조물을 형성시키는 단계(도 11의 (d) ~ (h)), (C) 다수 개의 LED 구조물 각각의 노출면을 둘러싸되, 인접하는 LED 구조물 사이의 제1부분 상부면은 외부에 노출되도록 보호피막을 형성시키는 단계(도 11의 (i) ~ (j)), (D) LED 웨이퍼를 전해액에 함침 후 전원의 어느 한 단자와 전기적 연결시키 전원의 나머지 단자를 상기 전해액에 함침된 전극에 전기적 연결시킨 뒤, 전원을 인가하여 상기 제1부분에 다수 개의 기공을 형성시키는 단계(도 11의 (k)) 및 (E) 상기 LED 웨이퍼에 초음파를 인가하여 다수 개의 기공이 형성된 제1부분으로부터 다수 개의 LED 구조물을 분리시키는 단계(도 11의 (o))를 포함할 수 있다.
(A) 단계에서 준비된 LED 웨이퍼(100a)는 상용화된 것으로서 입수 가능한 것은 제한 없이 사용될 수 있다. 일 예로 상기 LED 웨이퍼(100a)는 기판(1), 제1도전성 반도체층(10), 광활성층(20), 제2도전성 반도체층(30)을 최소한으로 포함하는 것일 수 있다. 이때, 상기 제1도전성 반도체층(10)은 n형 III-질화물 반도체층일 수 있고, 제2도전성 반도체층(30)은 p형 III-질화물 반도체층일 수 있다. 또한, 목적하는 두께가 되도록 n형 III-질화물 반도체층을 식각 후 LED 웨이퍼 상에서 식각되고 남은 LED 구조물을 (C) 내지 (E) 단계를 통해 분리시킬 수 있으므로 LED 웨이퍼 내 n형 III-질화물 반도체층인 제1도전성 반도체층(10)의 두께 역시 제한이 없으며, 별도의 희생층 존재 유무는 웨이퍼의 선택 시 고려되지 않을 수 있다.
또한, 상기 LED 웨이퍼(100a) 내 각 층은 c-plane 결정구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 LED 웨이퍼(100a)는 세정공정을 거친 것일 수 있고, 세정공정은 통상적인 웨이퍼의 세정용액과 세정공정을 적절히 채용할 수 있으므로 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다. 상기 세정용액은 일예로 이소프로필알코올, 아세톤 및 염산일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
다음으로 (B) 단계 수행 전에 p형 III-질화물 반도체층인 제2도전성 반도체층(30) 상에 제1전극층(40)을 형성시키는 단계를 수행할 수 있다. 상기 제1전극층(40)은 반도체층 상에 전극을 형성하는 통상적인 방법을 통해 형성될 수 있으며, 일 예로 스퍼터링을 통한 증착으로 형성될 수 있다. 상기 제1전극층(40)의 재질은 상술한 것과 같이 일예로 ITO일 수 있으며, 약 150㎚의 두께로 형성될 수 있다. 상기 제1전극층(40)은 증착공정 후 급속 열처리(rapid thermal annealing) 공정을 더 거칠 수 있으며, 일예로 600℃, 10분간 처리될 수 있으나 전극층의 두께, 재질 등을 고려하여 적절히 조정할 수 있으므로 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다.
다음으로 (B) 단계로써, 낱 개의 LED 구조물에서 층들이 적층되는 방향에 수직한 평면이 목적하는 모양과 크기를 갖도록 LED 웨이퍼 상부를 패터닝할 수 있다(도 11의 (b) ~ (c)). 구체적으로 제1전극층(40) 상부면에 마스크 패턴층을 형성시킬 수 있으며, 상기 마스크 패턴층은 LED 웨이퍼 식각 시 사용되는 공지된 방법 및 재질로 형성될 수 있고, 패턴층의 패턴은 통상적인 포토리소그래피 공법이나 나노임프린팅 공법 등을 적절히 응용해 형성시킬 수 있다.
일 예로, 마스크 패턴층은 도 11의 (f)에 도시된 것과 같이 제1전극층(40) 상에 소정의 패턴을 형성한 제1마스크층(2), 제2마스크층(3) 및 레진패턴층(4’)의 적층체일 수 있다. 마스크 패턴층을 형성시키는 방법을 간략히 설명하면, 일 예로 제1전극층(40) 상에 제1마스크층(2) 및 제2마스크층(3)을 증착을 통해 형성시키고, 레진패턴층(4’)의 유래가 되는 레진층(4)을 제2마스크층(3) 상에 형성시킨 뒤(도 11의 (b), (c)), 레진층(4)의 잔류레진 부분(4a)을 RIE(reactive ion etching: 반응성 이온 에칭) 등과 같은 통상적인 방법으로 제거하고(도 11의 (d)), 레진패턴층(4’)의 패턴을 따라서 제2마스크층(3)과 제1마스크층(2) 각각을 순차적으로 식각(도 11의 (e), (f))시키는 것을 통해 형성될 수 있다. 이때, 제1마스크층(2)은 일예로 이산화규소로 형성될 수 있고, 제2마스크층(3)은 알루미늄, 니켈 등의 금속층일 수 있으며, 이들의 식각은 각각 RIE 및 ICP(inductively coupled plasma: 유도 결합 플라즈마)로 수행될 수 있다. 한편, 제1마스크층(2)의 식각 시 레진패턴층(4') 역시 제거될 수 있다(100f 참조).
또한, 레진패턴층(4’)의 유래가 되는 레진층(4)은 나노임프린팅 공법을 통해 형성된 것일 수 있고, 목적하는 소정의 패턴 주형에 상응하는 몰드를 제조한 뒤, 몰드에 레진을 처리해 레진층을 형성시킨 후, 이를 제1전극층(40) 상에 제1마스크층(2)과 제2마스크층(3)이 형성된 웨이퍼 적층체(100b) 상에 레진층(4)이 위치하도록 레진층(4)을 전사한 뒤 몰드를 제거하는 것을 통해서 레진층(4)이 형성된 웨이퍼 적층체(100c)를 구현할 수 있다.
한편, 나노 임프린팅 공법을 통해 패턴을 형성하는 방법을 설명하였으나 이에 제한되는 것은 아니며, 패턴은 공지된 감광성 물질을 이용한 포토리소그래피를 통해서 형성되거나 또는 공지된 레이저 간섭 리소그래피, 전자빔 리소그래피 등을 통해서 형성될 수도 있다.
이후 도 11의 (g)에 도시된 것과 같이 제1전극층(40) 상에 형성된 마스크 패턴층(2,3)의 패턴을 따라서 LED 웨이퍼(100f)의 면에 수직한 방향으로 n형 III-질화물 반도체층인 제1도전성 반도체층(10) 일부 두께까지 식각하여 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼(100g) 를 제조할 수 있고, 이때 식각은 ICP와 같은 통상적인 건식식각법과 KOH/TAMH 습식에칭을 통해서 수행할 수 있다. 이러한 식각과정에서 마스크패턴층을 구성하는 Al인 제2마스크층(3)은 제거될 수 있으며, 이후 LED 웨이퍼(100g) 내 각각의 LED 구조물 제1전극층(40) 상에 존재하는 마스크 패턴층을 구성하는 이산화규소인 제1마스크층(2)을 제거하는 것을 통해 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼(100h)를 제조할 수 있다.
이후 (C) 단계로써, 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼(100h)에서 다수 개의 LED 구조물 각각의 노출면을 소정의 두께로 둘러싸되, 인접하는 LED 구조물 사이의 제1부분(a) 상부면(S1)은 외부에 노출되도록 보호피막(80a)을 형성시키는 단계를 수행한다(도 11의 (i),(j)). 상기 보호피막(80a)은 후술하는 (D) 단계의 수행으로 인한 LED 구조물의 손상을 방지하기 위한 것이며, 이와 더불어 LED 웨이퍼에서 분리되는 LED 구조물의 측면에 계속 잔존 시 낱 개로 분리된 LED 구조물의 측면 표면을 외부의 자극으로부터 보호하는 기능까지 수행할 수 있다.
(C) 내지 (E) 단계에 대해서 도 12를 참조하여 설명하면, 상기 (C) 단계는 구체적으로 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼(100h) 상에 보호피막 재료를 증착시켜서 다수 개의 LED 구조물 각각의 노출면을 소정의 두께로 보호피막(80a)이 둘러싸도록 형성시키는 단계(C-1 단계) 및 인접하는 LED 구조물 사이의 제1부분(a) 상부면(S1)에 증착된 보호피막을 제거하여 LED 구조물 사이의 제1부분(a) 상부면(S1)을 외부로 노출시키는 단계(C-2 단계)를 통해 수행될 수 있다.
상기 C-1 단계는 보호피막 재료를 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼(100h) 상에 증착시키는 단계(도 10의 (a))이다. 이때 보호피막 재료는 후술하는 (D) 단계의 전해액에 화학적 침해 받지 않는 공지된 재료일 수 있고, 일 예로 상술한 보호피막(80)의 재질인 경우 제한 없이 사용할 수 있고, 일 예로 질화규소(Si3N4), 이산화규소(SiO2), 산화알루미늄(Al2O3), 산화하프늄(HfO2), 산화지르코늄(ZrO2), 산화이트륨(Y2O3), 산화란타늄(La2O3), 산화스칸듐(Sc2O3) 및 이산화티타늄(TiO2), 질화알루미늄(AlN) 및 질화갈륨(GaN)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다. 또한, 보호피막 재료의 증착을 통해 형성된 보호피막(80a) 두께는 5 ~ 100㎚일 수 있고, 보다 바람직하게는 30 ~ 100㎚일 수 있다. 만일 보호피막(80a)의 두께가 5㎚ 미만일 경우 후술하는 (D) 단계의 전해액에 의한 LED 구조물의 침해를 방지하기 어려울 수 있고, 100㎚를 초과 시, 제조비용 증가, LED 구조물 사이가 연결되는 문제가 있을 수 있다.
다음으로 C-2 단계는 인접하는 LED 구조물 사이의 제1부분(a) 상부면(S1)에 증착된 보호피막을 제거하여 LED 구조물 사이의 제1부분(a) 상부면(S1)을 외부로 노출시키는 단계이다(도 10의 (b)). C-1 단계의 수행으로 인해서 인접하는 LED 구조물 사이의 제1부분(a) 상부면(S1)에도 보호피막 재료가 증착되는데, 이로 인해 전해액이 n형 III-질화물 반도체인 제1도전성 반도체층(10)과 접촉하지 못하여 제1부분(a)에 목적하는 기공을 형성시키지 못할 수 있다. 이에 상기 제1부분(a)의 상부면(S1)에 피복된 보호피막 재료를 제거시켜 외부에 노출시키는 단계를 수행하며, 이때 보호피막 재료의 제거는 보호피막 재료를 고려해 공지된 건식 또는 습식 식각 방법을 통해 수행될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 의하면 (C) 단계에서 형성된 보호피막(80a)은 (C) 단계 수행으로 인한 LED 구조물의 손상을 방지하기 위한 임시 보호피막이며, (D) 단계와 (E) 단계 사이에 상기 임시 보호피막을 제거 후 LED 구조물의 측면을 둘러싸는 표면 보호피막을 형성시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 즉 도 11에 도시된 것과 같이 (C) 단계에 보호피막(5')이 (D) 단계에서의 LED 구조물 손상 방지를 위한 임시 보호피막으로써만 구비되고(도 11의 (i) ~ (k)), (E) 단계 수행 전 제거된 뒤 LED 구조물 표면 손상을 방지하는 기능을 수행을 위한 표면 보호피막(80)이 LED 구조물의 측면을 피복하도록 형성될 수 있다(도 11의 (m)).
한편, 도 11에 도시된 것과 같은 일부 실시예는 보호피막을 두 번 형성시키는 번거로움이 있으나 제조되는 LED 구조물의 평면 형상, 크기, LED 구조물 간 간격을 고려해 선택될 수 있다. 또한, 후술하는 (D) 단계 수행 시 보호피막의 침해가 부분적으로 발생할 수 있는데, 침해가 발생한 보호피막을 최종 수득되는 낱 개의 LED 구조물에 남겨서 표면 보호피막으로 사용 시 표면 보호 기능을 적절히 수행하기 어려운 경우가 있을 수 있어서, (D) 단계를 수행한 보호피막을 제거 후 다시 보호피막을 구비시키는 것이 경우에 따라 유리할 수 있다.
이와 같은 도 11에 도시된 제조공정을 설명하면, 임시 보호피막 재료(5)를 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼 상(100h)에 증착시킨 뒤(도 11의 (i)), 임시 보호피막 재료(5)가 증착된 LED 웨이퍼(100i)의 인접하는 LED 구조물 사이 도핑된 n형 III-질화물 반도체층인 제1도전성 반도체층(10)의 제1부분(a) 상부면(S1) 상에 증착된 임시 보호피막 재료(5)를 식각시켜서 다수 개의 LED 구조물의 측면과 상부를 보호하는 임시 보호피막인 보호피막(5’)을 형성시킬 수 있다. 이후 후술하는 (D) 단계(도 11의 (k))를 수행 후 보호피막(5’)을 식각을 통해 제거하고(도 11의 (l)), LED 구조물의 표면을 보호하기 위한 표면 보호피막로써 보호피막 재료를 LED 웨이퍼(100l) 상에 증착시킨 뒤, LED 구조물 각각의 상부에 형성된 보호피막 재료를 제거해 LED 구조물 측면을 둘러싸는 보호피막(80)을 형성시킬 수 있다(도 11의 (m)). 이때, LED 구조물 상부에 형성된 보호피막 재료뿐만 아니라 LED 웨이퍼(100m)의 인접하는 LED 구조물 사이인 도핑된 n형 III-질화물 반도체층인 제1도전성 반도체층(10)의 제1부분(a) 상부면(S1) 상에 증착된 보호피막 재료를 함께 제거시킬 수 있는데, 이를 통해 후술하는 (E) 단계에서 기포발생 용매가 제1부분(a) 상부면(S1)에 접촉 가능하고, 제1부분(a) 에 형성된 기공(P)으로 초음파를 통해 발생된 기포가 침투할 수 있어서 기포를 통한 LED 구조물의 분리가 가능할 수 있다.
한편, 임시 보호피막 재료 및 표면 보호피막 재료는 상술한 보호피막의 재료 설명과 동일하며, 구현되는 피막 두께 역시 상술한 보호피막의 두께 범위로 구현될 수 있다.
다음으로 제조방법 1의 (D) 단계로써, LED 웨이퍼를 전해액에 함침 후 전원의 어느 한 단자와 전기적 연결시키 전원의 나머지 단자를 상기 전해액에 함침된 전극에 전기적 연결시킨 뒤, 전원을 인가하여 상기 제1부분에 다수 개의 기공을 형성시키는 단계를 수행한다.
구체적으로 도 12를 참조하여 설명하면, 보호피막(80a)이 형성된 LED 웨이퍼(100h2)를 전원의 어느 한 단자, 일예로 애노드에 전기적 연결시키고, 전원의 나머지 단자, 일예로 캐쏘드에 전해액에 함침된 전극을 전기적 연결시킨 뒤 전원을 인가해 도핑된 n형 III-질화물 반도체인 제1도전성 반도체층(10)의 제1부분(a)에 다수의 기공(P)이 형성된 LED 웨이퍼(100h3)를 제조할 수 있다. 이때, 기공(P)은 전해액에 직접 닿게 되는 도핑된 n형 III-질화물 반도체인 제1도전성 반도체층(10)의 제1부분(a)의 상부면(S1)부터 형성되기 시작해 두께 방향 및 다수 개의 LED 구조물 각각의 하부에 대응되는 제1부분(a) 쪽의 측면 방향으로 형성될 수 있다.
상기 (D) 단계에서 사용되는 전해액은 옥살산, 인산, 아황산, 황산, 탄산, 아세트산, 아염소산, 염소산, 브롬산, 아질산 및 질산으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 산소산을 포함할 수 있고, 보다 바람직하게는 옥살산을 사용할 수 있으며, 이를 통해서 제1도전성 반도체층의 손상을 최소화할 수 있는 이점이 있다. 또한, 상기 전극은 백금(Pt), 탄소(C), 니켈(Ni) 및 금(Au) 등을 사용할 수 있고, 일예로 백금 전극일 수 있다. 또한, (D) 단계는 ３V 이상의 전압이 전원으로 １분 ~ 24시간 동안 인가될 수 있는데, 이를 통해 다수 개의 LED 구조물 각각의 하부에 대응되는 제1부분(a) 쪽까지 기공(P) 형성이 원활할 수 있고, 이를 통해 (E) 단계를 통해 LED 구조물을 보다 용이하게 웨이퍼로부터 분리시킬 수 있다. 보다 바람직하게는 전압은 10V 이상일 수 있고, 더 바람직하게는 30 V 이하로 인가될 수 있다. 만일 ３V 미만으로 전압이 인가 시 전원의 인가 시간을 증가시키더라도 LED 구조물 각각의 하부에 대응되는 제1부분(a) 쪽에 기공 형성이 원활하지 못해 후술하는 (E) 단계를 통해 분리가 어렵거나, 분리되더라도 다수 개의 LED 구조물 각각의 분리된 일 단면의 형상이 상이할 수 있고 이로 인해 다수 개의 LED 구조물들이 균일한 특성을 발현하기 어려울 수 있다. 또한, 전압이 30V를 초과해 인가될 경우 도핑된 n형 III-질화물 반도체층의 제1부분(a)에 이어지는 LED 구조물의 하단부인 제2부분(b)까지 기공이 형성될 수 있고, 이로 인해서 발광 특성의 저하를 유발할 수 있다. 또한, 후술하는 (E) 단계에서 LED 구조물의 분리가 도핑된 n형 III-질화물 반도체층의 제1부분(a)과 제2부분(b) 사이의 경계지점에서 이루어지는 것이 바람직하나 제2부분(b) 쪽에 형성된 기공으로 인해서 상기 경계지점을 벗어나 제2부분(b) 쪽 어느 지점에서 분리가 일어날 수 있어서 초도 설계된 n형 반도체층 두께보다 얇은 두께의 n형 반도체층을 갖는 LED 구조물이 수득될 우려가 있다. 또한, 전원의 인가 시간 역시 전압의 세기에 따른 효과와 유사하게 인가 시간이 길어질 경우 기공이 목적하는 부분 이외의 제2부분(b)까지 형성될 우려가 있고, 반대로 인가 시간이 짧아질 경우 기공형성이 원활하지 못해 LED 구조물의 분리가 어려울 수 있다.
(D) 단계 이후 후술하는 (E) 단계 전에 LED 구조물이 웨이퍼로부터 분리된 뒤 제1전극층(40)쪽으로 전기적 연결이 가능하도록 보호피막(80a) 중 LED 구조물 각각의 상부면에 형성된 보호피막이 제거된 LED 웨이퍼(100h4)를 제조하는 단계를 더 수행할 수 있다. 또한, LED 구조물의 상부면에 형성된 보호피막만이 제거되므로 LED 구조물 측면에 형성된 보호피막(80)은 잔존하게 되어 LED 구조물의 측면을 외부로부터 보호하는 기능을 수행할 수 있다.
또한, (D) 단계 이후 후술하는 (E) 단계 전에 LED 구조물 제1전극층(40) 상에 기타 층을 형성시키는 단계를 더 수행할 수 있으며, 상기 기타 층은 일예로 ITO층인 제1전극층(40)에 제1전극층 재료로 더 형성될 수 있는 Ti/Au 복합층, 또는 배열유도층(70)일 수 있다(도 11의 (n) 참조).
다음으로 제조방법 1에 따른 (E) 단계로써 LED 웨이퍼(100h4)에 초음파를 인가하여 다수 개의 기공(P)이 형성된 제1부분(a)으로부터 다수 개의 LED 구조물을 분리시키는 단계를 수행한다. 이때 초음파는 기공이 형성된 LED 웨이퍼(100h4)에 직접적으로 가해지거나 또는 기공이 형성된 LED 웨이퍼(100h4)를 용매에 침지시켜서 초음파가 간접적으로 가해질 수 있다. 다만, 초음파 자체로 인한 물리적 외력을 이용해 제1부분(a)의 기공(P)을 붕괴시키는 방식은 기공의 붕괴가 원활하지 못하고, 붕괴가 원활하도록 과도하게 기공을 형성 시 LED 구조물의 제2부분(b)까지 기공이 형성될 우려가 있어서 LED 구조물의 품질을 저하시키는 부작용을 초래할 수 있다.
이에 본 발명이 일 실시예에 의하면, 상기 (E) 단계는 초음파 화학(sonochemistry)적인 방법을 이용해 수행될 수 있으며, 구체적으로 LED 웨이퍼(100h4)를 기포형성 용액(또는 용매)(76)에 침지시킨 후 상기 기포형성 용액(또는 용매)(76)에 초음파를 인가하여 초음파 화학적인 메커니즘에 의해서 생성 및 성장된 기포가 기공에서 터질 때 발생하는 에너지를 통해 기공을 붕괴시켜서 다수 개의 LED 구조물을 분리시킬 수 있다. 이에 대해 구체적으로 설명하면 초음파는 음파의 진행방향으로 상대적으로 높은 압력부분과 상대적으로 낮은 압력부분을 교호적으로 발생시키는데, 발생된 기포는 높은 압력부분과 낮은 압력 부분을 통과하면서 압축과 팽창을 반복하면서 더욱 높은 온도와 압력을 갖는 기포로 성장하다가 붕괴하며, 붕괴 시 일예로 4000K 수준의 높은 온도와 1000 대기압 수준의 높은 압력을 발생시키는 국부적 핫스팟이 되는데, 이와 같은 에너지를 이용해 LED 웨이퍼에 발생된 기공이 붕괴되어 LED 구조물이 웨이퍼로부터 분리될 수 있다. 결국 초음파는 기포형성 용액(또는 용매)에 기포를 생성, 성장시키고, 발생된 기포를 제1부분(a)의 기공(P)으로 이동 및 침투시키는 기능을 수행할 뿐이며, 이후 기공(P)에 침투한 높은 온도와 압력을 갖는 불안정한 상태의 기포가 터질 때 발생하는 외력으로 기공(P)이 붕괴되는 기공붕괴 메커니즘을 통해서 LED 웨이퍼로부터 다수 개의 LED 구조물을 용이하게 분리시킬 수 있고, 이를 통해 다수 개의 초박형 LED 소자(101')를 포함하는 LED 집합체(100')를 수득할 수 있다.
상기 기포형성 용액(또는 용매)(76)은 초음파가 인가되었을 때 기포를 발생시키고, 높은 압력과 온도를 갖도록 성장될 수 있는 용액(또는 용매)의 경우 제한 없이 사용될 수 있고, 바람직하게는 기포형성 용액(또는 용매)은 증기압력이 100mmHg(20℃) 이하, 다른 일예로 80mmHg(20℃) 이하, 60mmHg(20℃) 이하, 50mmHg(20℃) 이하, 40mmHg(20℃) 이하, 30mmHg(20℃) 이하, 20mmHg(20℃) 이하, 또는 10mmHg(20℃) 이하인 것을 사용할 수 있다. 만일 증기압력이 10０mmHg (20℃)를 초과하는 용매를 사용 시 짧은 시간 내 분리가 제대로 일어나지 않을 수 있어서 제조시간이 연장되고, 생산비용이 증가되는 우려가 있다. 이와 같은 물성을 만족하는 기포형성 용액(76)은 일예로 감마-부틸락톤, 프로필렌　글리콜　메틸　에테르　아세테이트, 메틸피롤리돈, 및 ２－메톡시에탄올로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상일 수 있다. 한편, 기포형성 용액(또는 용매)의 상온, 일예로 20℃에서의 증기압력이 100mmHg인 용액(또는 용매)을 사용할 수도 있으나, 이와 다르게 (E) 단계를 수행하는 조건을 조정해 상기 조건에서 기포형성 용액(또는 용매)의 증기압력이 10０mmHg 이하가 되도록 조절(일 예로 낮은 온도조건 등)해 (E) 단계를 수행할 수도 있음을 밝혀둔다. 이 경우 사용 가능한 용매의 종류 제한이 더 넓어질 수 있고, 일예로 물, 아세톤, 클로로포름, 알코올류와 같은 용매도 사용이 가능할 수 있다.
또한, (E) 단계에서 가해주는 초음파의 파장은 초음파화학을 일으킬 수 있는 영역, 구체적으로 기포가 붕괴 시 높은 압력과 온도를 생성하는 국부적인 핫스팟이 되도록 기포를 성장 및 붕괴 시킬 수 있는 주파수로 가해질 수 있으며, 일예로 20 ㎑ ~ 2MHz일 수 있고, 가해주는 초음파의 인가 시간은 1분 ~ 24시간 일 수 있으며, 이를 통해 LED 웨이퍼로부터 LED 구조물을 분리하기에 용이할 수 있다. 만일 가해주는 초음파의 파장이 범위 안에 들어가더라도 세기가 적거나 인가 시간이 짧을 경우 LED 웨이퍼로부터 분리되지 않는 LED 구조물이 존재하거나 분리되지 않는 LED 구조물의 개수가 증가할 우려가 있다. 또한, 만일 가해주는 초음파의 세기가 크거나 인가 시간이 길 경우 LED 구조물이 손상될 우려가 있다.
한편, 제1도전성 반도체층(10) 상에 제2전극층(60)을 형성시키기 위해서 상술한 (E) 단계 수행 전, 제1도전성 반도체층(10) 상에 기타층, 예를 들어 제2전극층(60)이나 전자지연층(미도시)을 형성시키기 위해 지지필름(9)을 LED 웨이퍼(100n) 상에 부착시키는 단계(도 11의 (o))를 더 수행할 수 있고, 이후 (E) 단계를 수행해 지지필름(9)이 부착된 상태로 다수개의 LED 구조물을 분리시킬 수 있다(도 11의 (p)). 이후 지지필름(9)이 부착된 상태로 다수개의 LED 구조물의 상부에 제2전극층(60)을 증착 등의 공지된 방법을 통해서 형성시킨 뒤(도 11의 (q)), 지지필름을 제거 시 다수 개의 초박형 LED 소자(101) 집합체(100)를 수득할 수 있다.
다음으로 도 13을 참조하여 제조방법 2를 통한 초박형 LED 소자를 제조하는 방법에 대해서 설명한다.
상술한 것과 같이 LED 웨이퍼로부터 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼(100h)를 형성시키는 것은 제조방법 1과 동일하다. 이후 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼(100h)는 (ⅰ) 다수 개의 LED 구조물의 노출된 측면을 피복하도록 절연피막(8)을 형성시키는 단계(도 13의 (b)), (ⅱ) 인접하는 LED 구조물 사이의 제1도전성 반도체층(10) 상부면(S1)이 노출되도록 제1도전성 반도체층(10) 상부에 형성된 절연피막 일부를 제거시키는 단계(도 13의 (c)), (ⅲ) 노출된 제1도전성 반도체층 상부(S1)를 통해서 상기 제1도전성 반도체층(10)을 두께 방향으로 더 식각시켜서 절연피막(8')이 형성된 LED 기둥의 제1도전성 반도체층 하방으로 소정의 두께만큼 측면이 노출된 제1도전성 반도체층 부분을 형성시키는 단계(도 13의 (c)), (ⅳ) 측면이 노출된 상기 제1도전성 반도체층 부분을 양측면에서 중앙쪽으로 식각시키는 단계(도 13의 (d)), (ⅴ) 상기 절연피막(8)을 제거시키는 단계(도 13의 (e)), (ⅵ) 다수 개의 LED 구조물 측면에 보호피막(80)을 형성시키는 단계(도 13의 (f)), (ⅶ) 다수 개의 LED 구조물 상부에 형성된 보호피막을 제거시켜서 제1전극층(40)을 노출시키는 단계(도 11의 (g)), (ⅷ) 제1전극층(40) 상에 배열유도층(70)을 형성시키는 단계(도 13의 (h)) 및 (ⅸ) 다수 개의 LED 구조물을 LED 웨이퍼로부터 분리시켜서 초박형 LED 소자(100")를 다수 개 포함하는 초박형 LED 집합체(100")를 제조하는 단계를 통해 수행될 수 있다. 한편, 상술한 제조방법 2는 LED 소자를 제조하는 공지된 방법을 적절히 이용해서 수행될 수 있으며, 이에 대한 구체적 설명은 본 발명의 발명자에 의한 출원번호 제2020-0050884호가 전체로써 본 발명의 참조로 삽입되며, 본 발명은 제조방법 2의 각 단계에 대한 구체적 설명은 생략한다.
이때, 단계 (ⅸ)에서 다수 개의 LED 구조물의 분리는 절단기구를 이용한 컷팅 또는 접착성 필름을 이용한 탈리일 수 있다.
한편, 도 10을 통해 상술한 것과 같이 보호피막으로써 발광효율을 향상시키는 정공푸싱피막(81)과 전자푸싱피막(82)으로 구성된 보호피막(80')이 형성될 수 있는데, 이의 제조방법에 대해서 도 14를 참조하여 설명한다.
상술한 도 11 내지 도 13과의 차이점은 수직방향으로 식각 시 n형 반도체인 제1도전성 반도체층(10) 일부까지 식각하지 않고, 제2도전성 반도체층(30), 또는 광활성층(20) 일부까지 또는 광활성층(20)까지만 1차로 식각하고(도 14의 (a)) 이후에 제1도전성 반도체층(10) 일부 두께까지 2차로 식각하며(도 14의 (c)), 피막재료를 증착하고, 다수 개의 LED 구조물 사이의 피막 재료를 제거하는 과정을 2회 수행하는 것(도 14의 (b),(d),(e))에 차이가 있다.
구체적으로 LED 웨이퍼를 수직방향으로 식각 시 n형 반도체인 제1도전성 반도체층(10) 일부까지 식각하지 않고, 제2도전성 반도체층(30), 또는 제2도전성 반도체층(30)과 광활성층(20) 일부 또는 광활성층(20)까지만 1차로 식각 후(도 14의 (a)), 정공푸싱피막 재료(81a)를 증착 후(도 14의 (b)) LED 구조물 사이에 형성된 정공푸싱피막 재료를 제거하는 공정을 수행한다. 이후 다시 제1도전성 반도체층(10) 소정의 두께까지 2차로 식각(도 14의 (c)) 하고, 이어서 정공푸싱피막(81b)이 형성된 LED 구조물 상에 전자푸싱피막 재료(82a)를 증착 후(도 14의 (d)) 다시 LED 구조물 사이(S1)에 형성된 전자푸싱피막 재료를 제거하는 공정(도 14의 (e))을 수행할 수 있다. 이후 상술한 도 11 내지 도 12에서 LED 구조물을 분리시키는 공정(도 11의 (k) 이하, 도 12의 (c) 이하), 또는 도 13에서 LED 구조물을 분리시키는 공정(도 13의 (d) 이하)을 수행하여 LED 웨이퍼로부터 초박형 LED 소자(103)를 분리시킬 수 있다.
상술한 방법을 통해 수득된 초박형 LED 소자(101,102,103)는 잉크 조성물로 구현될 수 있다. 상기 잉크조성물은 공지된 잉크젯용 잉크 조성물에 구비되는 분산매, 기타 첨가제 등을 더 포함할 수 있고, 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다. 다만, 상술한 것과 같이 상기 초박형 LED 소자(101)는 두께와 적층방향에 수직한 횡단면의 장축길이가 상술한 특정한 비율을 만족함을 통해서 잉크 화 시 침전이 지연되어 장시간 분산상태를 유지할 수 있는 이점이 있다. 또한, 잉크 조성물에 분산되는 초박형 LED 소자(101)의 농도, 잉크 조성물의 점도는 잉크조성물을 프린팅하는 잉크젯 프린팅 장치에 적합하게 설계될 수 있으며, 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다. 또한, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 초박형 LED 소자를 함유한 잉크조성물을 제1전극 상에 프린팅할 수 있는 장치로서, 압전방식 또는 정전방식 등 공지된 방식을 채용한 장치일 수 있어서 본 발명은 잉크젯 프린팅 장치 및 이를 이용해 제1전극 상에 프린팅하는 구체적 방법에 대해 특별히 한정하지 않는다.
다음으로 본 발명에 따른 (3) 단계로써, 제1전극(311,312,313) 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 상에 처리, 예를 들어 잉크젯 프린팅 장치를 통해 프린팅된 초박형 LED 소자(101)를 두께방향으로 세워서 제1전극 상에 조립시키는 단계를 수행한다.
잉크조성물에 분산된 다수 개의 초박형 LED 소자(101)는 제1전극(311,312,313)의 서브픽셀(S1,S2,S3,S4) 영역 당 적어도 2개 구비되도록 프린팅되더라도 프린팅 후 일부 초박형 LED 소자(101)는 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)을 벗어나 위치할 수 있다. 또한, 초박형 LED 소자(101,102,103)가 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 내 위치해도 모든 초박형 LED 소자(101)가 제1전극(311,312,313) 상에 두께방향으로 세워져 배치되지 않을 수 있다.
이에 풀-컬러 LED 디스플레이(1000)에서 상술한 것과 같이 상기 초박형 LED 소자(101)의 두께 방향 일 측 및 제1전극(311,312,313) 내 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4) 중 어느 한 쪽 또는 양 쪽에는 초박형 LED 소자(101)를 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)내로 이동을 유도하고, 제1전극(311,312,313) 상에 두께방향으로 세워서 배치시키기 위한 배열유도층(70) 더 포함할 수 있다.
구체적으로 도 15를 참조하여 설명하면, 상기 배열유도층(70)이 양전하 또는 음전하를 띠는 전하층(71)인 경우 초박형 LED 소자를 포함하는 잉크조성물을 프린팅 한 후, 또는 프린팅과 함께, 또는 프린팅 전부터 전기영동 방식을 통해서 초박형 LED 소자(104)를 상기 배치영역으로 이동시키고 두께방향으로 세워져 배치되도록 제1전극(311)의 주면에 수직한 방향으로 전기장을 형성시킬 수 있다. 또한, 초박형 LED 소자가 상기 배치영역으로 이동 및 세워져 배치되기 유리하도록 초박형 LED 소자에 구비된 전하층이 양전하 또는 음전하를 띠는 제1전하층이라고 할 때, 상기 제1전극 내 배치영역 상에는 상기 제1전하층과 반대 전하를 띠는 제2전하층이 더 구비될 수 있다. 상기 제1전하층과 제2전하층의 두께는 일 예로 0.1 ~ 500㎚일 수 있으나, 전하를 띨 수 있을 정도로 두께가 형성되면 무방하므로 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다.
또한, 전기영동 방식을 통해 초박형 LED 소자를 배치영역 내로 이동 및 세워져 배치시키기 위한 전기장의 세기 역시 잉크조성물 내 초박형 LED 소자의 개수, 크기 등을 고려해 적절히 변경될 수 있으므로 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다.
또는 상기 배열유도층(70)이 결합층(72)인 경우를 도 16을 참조하여 설명하면, 상기 결합층(72)을 매개로 한 화학결합을 통해서 초박형 LED 소자(105)가 배치영역 상에 세워져 조립될 수 있다. 이때, 상기 결합층(72)은 초박형 LED 소자(105)의 두께방향 일측 및/또는 상기 배치영역 상에 구비될 수 있다. 또한, 상기 결합층은 일 예로, 일 예로, 티올기, 아민기, 카복실기, DNA 단일가닥(single strand) 등이 외부로 노출되도록 형성된 것일 수 있고, 구체적으로 아미노에탄싸이올(aminoethanethiol), 1,2-에탄다이싸이올(1,2-ethanedithiol), 1,4-부탄다이싸이올 (1,4-butanedithiol), 머켑토프로피오닉엑시드(3-mercaptopropionic acid), NH2 종결된 DNA 단일가닥 등의 화합물을 통해서 형성된 것일 수 있다. 또한, 상기 화학결합은 공유결합 또는 비공유결합일 수 있고, 일예로 티올기가 외부로 노출된 결합층의 경우 금속인 제1전극과 비공유결합을 통해 결합될 수 있다. 또한, 아민기와 카복실기가 결합하여 아마이드(amide) 결합을 형성할 시 반응속도가 매우 느리기 때문에, 1-에틸-3-(3-디메틸아미노프로필) 카보디이미드(1-Ethyl-3-(3-Dimethylaminopropyl) Carbodiimide, EDC)를 첨가하여 카복실기를 활성 에스테르 중간체를 형성한 후 강한 친핵체인 1차 아민을 첨가하여 아마이드 결합을 빠르게 형성시킬 수 있다. 또한, EDC를 이용하여 에스테르 중간체를 안정화 시켜주기 위해 술포 N-하이드록시숙신이미드(sulfo N-Hydroxysuccinimide, NHS)를 사용하여 아마이드 결합이 안정하게 진행될 수 있게 사용할 수 있다. 또한, 상기 결합층은 초박형 LED 소자 측에 형성된 제1결합층과 제1전극 측에 형성된 제2결합층을 포함할 수 있고, 제1결합층 내 제1링커와 제2결합층 내 제2링커 간 상보적 결합을 통해서 초박형 LED 소자가 제1전극 상에 세워져 조립될 수 있다.
또는 상기 배열유도층(70)이 자성층(73)인 경우를 도 17을 참조하여 설명하면, 자기력을 통해서 초박형 LED 소자(106)를 상기 배치영역으로 이동시키고 두께방향으로 세워져 배치되도록 초박형 LED 소자를 포함하는 잉크조성물을 프린팅 한 후, 또는 프린팅과 함께, 또는 프린팅 전부터 제1전극(311)의 주면에 수직한 방향으로 자기장을 형성시킬 수 있다. 또한, 초박형 LED 소자(106)가 상기 배치영역으로 이동 및 세워져 배치되기 유리하도록 상기 제1전극 내 배치영역 상에도 자성층이 형성될 수 있다. 상기 자성층은 상자성체 또는 강자성체일 수 있다. 또한, 상기 자성층(73)의 두께는 일 예로 0.1 ~ 500㎚일 수 있으나, 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다.
이후, 제1전극(311,312,313) 상에 세워져 배치된 초박형 LED 소자(104,105,106)를 제1전극(311,312,313)에 고정 및 오믹(Ohmic) 접촉시키는 단계를 더 수행할 수 있다. 상기 고정 및 오믹 접촉은 일 예로 제1전극(311,312,313)과 초박형 LED 소자(101) 간 계면을 급속 열처리(RTA, Rapid Thermal Annealing) 공정을 통해 수행될 수 있다. 또는 제1전극(311,312,313) 내 서브픽셀 영역 상에 낮은 융점을 갖는 고정층을 더 구비시킨 뒤, 배치영역 상에 초박형 LED 소자(101)가 세워져 배치된 후 열을 가해 상기 고정층을 용융 및 고화시킴으로써 초박형 LED 소자(101)를 제1전극(311,312,313) 상에 단단히 고정시킬 수 있다. 상기 고정층은 일 예로 전기전자재료로 사용하는 통상적인 솔더 재질일 수 있다.
한편, 초박형 LED 소자(101)와 제1전극(311,312,313) 간에 전기적 연결성을 개선시키기 위하여 (3) 단계 후, 통전용 금속층(500)을 형성시키는 단계를 더 수행할 수 있다. 상기 통전용 금속층(500)은 감광성 물질을 이용한 포토리소그래피 공정을 응용해 통전용 금속층이 증착될 라인을 패터닝한 후 통전용 금속층을 증착시키거나, 또는 증착된 금속층을 패터닝한 후 식각시켜 제조할 수 있다. 당해 공정은 공지된 방법을 적절히 채용하여 수행할 수 있으며, 본 발명의 발명자에 의한 대한민국 특허출원 제10-2016-0181410호가 참조로 삽입될 수 있다.
또한, 후술하는 (4) 단계에서 형성될 상부 전극라인(320)과 전기적 절연을 위하여 하부 전극라인(310) 상에 소정의 두께로 절연층(600)을 형성시키는 단계를 더 수행할 수 있다. 상기 절연층(600)은 공지된 절연재료의 증착을 통해 형성될 수 있고, 일예로 SiO2, SiNx와 같은 절연재료를 PECVD 공법을 통해 증착하거나, AlN, GaN와 같은 절연재료를 MOCVD 공법을 통해 증착하거나, Al2O, HfO2, ZrO2 등의 절연재료를 ALD 공법을 통해 증착시킬 수 있다. 한편, 상기 절연층(600)은 세워져 조립된 초박형 LED 소자(101)의 상부면을 덮지 않도록 형성됨이 바람직한데, 이를 위해서 초박형 LED 소자(101)의 상부면을 덮지 않는 두께만큼까지 증착을 통해 절연층을 형성시키거나 또는 초박형 LED 소자(101) 상부면을 덮는 두께까지 절연층을 증착시킨 뒤 초박형 LED 소자(101)의 상부면이 노출될 때까지 건식식각을 수행할 수도 있다.
다음으로 본 발명에 따른 (4) 단계로서, 제1전극(311,312,313)과 전기적으로 연결된 초박형 LED 소자(104,105,106)의 일측에 대향하는 반대측과 전기적 연결되도록 제2전극(321,322)을 포함하는 상부 전극라인(320)을 형성시키는 단계를 수행한다. 상기 상부 전극라인(320)은 공지된 포토리소그래피를 이용한 전극라인 패터닝 후 전극물질을 증착 또는 전극물질을 증착 후 건식 및/또는 습식 식각시켜서 구현할 수 있다. 이때 전극물질은 전기전자재료의 전극으로 사용되는 통상적인 전극물질일 수 있으며, 본 발명은 이에 대해 특별히 한정하지 않는다.
이후 본 발명에 따른 (5) 단계로써, 상기 다수 개의 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)마다 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역(S1,S2,S3,S4)이 되도록 상기 상부 전극라인(320) 상에 색변환층(700)을 패터닝하는 단계를 수행한다.
서브픽셀 영역에 구비되는 초박형 LED 소자(101)가 청색, 백색 또는 UV인 광색을 출사할 수 있는데, 이 경우 컬러영상을 시현하기 위하여 출사되는 광색과 다른 광색의 광으로 변환시킬 수 있는 색변환층(700)을 서브픽셀 영역들 상부에 구비시키는 단계이다. 바람직하게는 색순도를 더욱 높여 색재현성을 향상시키고, 색변환층에서의 후면발광을 전면으로 되도록 색변환된 광, 일예로 녹색/적색의 전면발광효율을 향상시키기 위하여 서브픽셀 영역 상부에 단파장투과필터(미도시)를 형성시키고, 상기 단파장투과필터 상부 중 일영역에 색변환층(700)을 형성시킬 수 있다.
초박형 LED 소자(101)가 청색 LED 소자일 때를 기준해서 설명하면, 상부 전극라인(320) 상부에 단파장투과필터를 형성시킬 수 있고, 만일 상부 전극라인(320) 형성된 평면이 평탄하지 않을 경우 상부 전극라인(320)이 형성된 평면을 평탄화시키기 위한 평탄화층(미도시)을 더 형성시킨 뒤, 상기 평탄화층 상부에 단파장 투과필터를 형성시킬 수 있다. 상기 단파장 투과필터는 고굴절/저굴절 재료의 박막을 반복시킨 다층막일 수 있으며, 상기 다층막의 구성은 청색을 투과시키고, 청색보다 긴 파장의 광색은 반사시키기 위하여 [(0.125)SiO2/(0.25)TiO2/(0.125)SiO2]m(m =반복층수, m은 5이상) 일 수 있다. 또한 단파장 투과필터의 두께는 0.5 내지 10 ㎛일 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 상기 단파장 투과필터의 형성방법은 e-빔(e-beam), 스퍼터링, 및 원자증착법 중 어느 하나의 방법일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
다음으로 단파장투과필터 상에 색변환층(700)을 형성시킬 수 있는데, 색변환층(700)은 구체적으로 서브픽셀 영역들 중 일부 선택된 서브픽셀 영역들에 대응하는 단파장 투과필터 상에 녹색 색변환층을 패터닝하고, 나머지 서브픽셀 영역들 중 일부 선택된 서브픽셀 영역들에 대응하는 단파장 투과필터 상에 적색 색변환층을 패터닝하여 형성시킬 수 있다. 상기 패터닝을 형성하는 방법은 스크린 프린팅 공법, 포토리소그래피(photolithography) 및 디스펜싱으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 방법에 의할 수 있다. 한편, 상기 녹색 변환층과 적색 변환층의 패터닝 순서는 제한이 없으며 동시에 형성되거나 역순으로 형성되는 것도 가능하다. 또한, 상기 적색 색변환층 및 녹색 색변환층은 조명, 디스플레이 분야에서 공지된 색변환층, 일예로 컬러필터 또는 청색 LED 소자에 의해 여기되어 목적하는 광색으로 변환시킬 수 있는 형광체 등의 색변환물질을 포함할 수 있으며, 공지된 색변환물질을 사용할 수 있다. 일예로, 상기 녹색 색변환층은 녹색 형광물질을 포함하는 형광층 있고 구체적으로는 SrGa2S4:Eu, (Sr,Ca)3SiO5:Eu, (Sr,Ba,Ca)SiO4:Eu, Li2SrSiO4:Eu, Sr3SiO4:Ce,Li, β-SiALON:Eu, CaSc2O4:Ce, Ca3Sc2Si3O12:Ce, Caα-SiALON:Yb, Caα-SiALON:Eu, Liα-SiALON:Eu, Ta3Al5O12:Ce, Sr2Si5N8:Ce, (Ca,Sr,Ba)Si2O2N2:Eu, Ba3Si6O12N2:Eu, γ-AlON:Mn 및 γ-AlON:Mn,Mg 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 형광체를 포함할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 또한 상기 녹색 색변환층은 녹색 양자점물질을 포함하는 형광층 있고 구체적으로는 CdSe/ZnS, InP/ZnS, InP/GaP/ZnS, InP/ZnSe/ZnS, Peroviskite 녹색 나노결정 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 양자점을 포함할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
또한, 상기 적색 색변환층은 적색 형광물질을 포함하는 형광층일 수 있고, 구체적으로 (Sr,Ca)AlSiN3:Eu, CaAlSiN3:Eu, (Sr,Ca)S:Eu, CaSiN2:Ce, SrSiN2:Eu, Ba2Si5N8:Eu, CaS:Eu, CaS:Eu,Ce, SrS:Eu, SrS:Eu,Ce 및 Sr2Si5N8:Eu로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 형광체를 포함할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 또한 상기 적색 색변환층은 적색 양자점물질을 포함하는 형광층 있고 구체적으로는 CdSe/ZnS, InP/ZnS, InP/GaP/ZnS, InP/ZnSe/ZnS, Peroviskite 적색 나노결정 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 양자점을 포함할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
일부 서브픽셀 영역은 단파장투과필터만이 최상층에 배치되고 수직상부에 녹색 색변환층 및 적색 색변환층이 형성되지 않는데, 이러한 영역에서는 청색광이 조사될 수 있다. 반면에 단파장투과필터 상부에 녹색 색변환층이 형성된 일부 서브픽셀 영역 영역은 녹색 변환층을 통해 녹색광이 조사될 수 있다. 또한 나머지 서브픽셀 영역 영역은 단파장투과필터 상부에 적색 변환층이 형성됨에 따라 적색광이 조사될 수 있고, 이를 통해 제1구현예로써 컬러-바이-블루 LED 디스플레이를 구현할 수 있다.
또한, 바람직하게는 녹색 및 적색 색변환층을 포함한 상부에 장파장 투과필터를 더 형성할 수 있으며, 상기 장파장 투과필터는 소자에서 발광된 청색 광과 색변환된 녹색/적색 광이 혼합되어서 색순도가 떨어지는 것을 방지하기 위한 필터로 기능한다. 상기 장파장 투과필터는 상기 녹색 색변환층 및 적색 색변환층의 일부 또는 전부의 상부에 형성될 수 있고, 바람직하게는 녹색/적색 색변환층 상에만 형성될 수 있다. 이때 사용 가능한 장파장 투과필터는 청색을 반사시키는 장파장 투과 및 단파장 반사의 목적을 달성할 수 있는 고굴절/저굴절 재료의 박막을 반복시킨 다층막일 수 있으며, 구성은 [(0.125)TiO2/(0.25)SiO2/(0.125)TiO2]m(m =반복층수, m은 5이상)일 수 있다. 또한 장파장 투과필터(1950)의 두께는 0.5 내지 10 ㎛일 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 상기 장파장 투과필터의 형성방법은 전자빔(e-beam), 스퍼터링 및 원자증착법 중 어느 하나의 방법일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 녹색/적색 색변환층 상부에만 장파장투과 필터를 형성시키기 위해서는 녹색/적색 색변환층을 노출시키고 그 이외는 마스킹할 수 있는 메탈 마스크를 사용하여 목적하는 영역에만 장파장 투과 필터를 형성시킬 수 있다.
다음으로 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명 제2 구현예에 따른 풀-컬러 디스플레이에 대해서 설명하면, 풀-컬러 LED 디스플레이(2000)는 다수 개의 서브픽셀 영역(S5,S6,S7)이 형성된 제1전극(314,315,316)을 포함하는 하부 전극라인(310'), 각각 독립적으로 청색, 녹색 또는 적색을 발광하며, 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하고, 층들의 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5인 소자로서, 상기 다수 개의 서브픽셀 영역(S5,S6,S7)이 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 나타내도록 서브픽셀 영역(S5,S6,S7)마다 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 적어도 2개의 소자가 배치되는 다수 개의 초박형 LED 소자(107,108,109), 및 상기 다수 개의 초박형 LED 소자(107,108,109) 상부와 접촉하도록 배치된 제2전극(323)을 포함하는 상부 전극라인을 포함하여 구현된다.
상술한 제1 구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이(1000)는 실질적으로 동일한 광색을 발광하는 초박형 LED 소자(101)를 포함한 반면에 제2 구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이(2000)에는 다수 개의 초박형 LED 소자(107,108,109)들 각각이 청색, 녹색 또는 적색을 발광하는 3종의 소자를 사용한 것에 차이가 있으며, 서브픽셀 영역(S5,S6,S7)마다 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발광할 수 있는 소자가 적어도 2개 배치된다. 또한, 서브픽셀 영역(S5,S6,S7)에 배치된 소자 자체가 목적하는 청색, 녹색 또는 적색을 발광하므로 제2전극(323) 상에 별도의 색변환층은 불필요하다. 한편, 제2 구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이(2000) 역시 제1전극(314,315,316)이 형성된 기판(401), 제1전극(314,315,316)과 초박형 LED 소자(107,108,109) 간의 접촉 부분의 저항을 감소시키기 위한 통전용 금속층(501)과, 제1전극(314,315,316)과 제2전극(323) 사이를 채우는 절연층(601)을 더 포함할 수 있다.
또한, 상술한 제2구현예에 따른 풀-컬러 LED 디스플레이(2000)는 (Ⅰ) 다수 개의 서브픽셀 영역(S5,S6,S7)이 형성된 제1전극(314,315,316)을 포함하는 하부 전극라인(310')을 준비하는 단계, (Ⅱ) 적층된 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하며 적층방향인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5인 초박형 LED 소자(107,108,109)를 광색 별로 다수 개 포함하는 청색 초박형 LED 소자 잉크조성물, 녹색 초박형 LED 소자 잉크조성물 및 적색 초박형 LED 소자 잉크조성물을 상기 제1전극(314,315,316) 상에 처리하되, 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 광색을 나타내고, 각 서브픽셀 영역(S5,S6,S7)마다 적어도 2개의 초박형 LED 소자가 배치되도록 잉크조성물을 처리하는 단계, (Ⅲ) 서브픽셀 영역(S5,S6,S7) 상에 처리된 초박형 LED 소자(107,108,109)를 두께방향으로 세워서 제1전극(314,315,316) 상에 조립시키는 단계, 및 (Ⅳ) 제1전극(314,315,316)에 조립된 초박형 LED 소자(107,108,109) 일측에 대향하는 반대측과 전기적으로 연결되도록 제2전극(323)을 포함하는 상부 전극라인을 형성시키는 단계를 포함하여 제조될 수 있다.
상기 제2구현예에 따른 제조방법의 각 단계는 (Ⅱ)에서 잉크조성물이 서로 다른 3색을 나타내는 초박형 LED 소자가 함유된 잉크조성물 3종이 사용되는 것 이외에 제1구현예에 따른 제조방법과 동일하므로 구체적 설명은 생략한다. 또한, 제2구현예에 포함되는 광색은 3종 이외에 다른 색을 발광하는 초박형 LED 소자가 더 사용될 수 있고, 이에 따라서 잉크 조성물 역시 다른 발광색의 잉크조성물을 더 포함할 수 있음을 밝혀둔다.
하기의 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하기로 하지만, 하기 실시예가 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니며, 이는 본 발명의 이해를 돕기 위한 것으로 해석되어야 할 것이다.
<준비예 1>
기판 상에 미도핑된 n형 III-질화물 반도체층, Si로 도핑된 n형 III-질화물 반도체층(두께 ４㎛), 광활성층(두께 0.45㎛) 및 p형 III-질화물 반도체층(두께 0.05㎛)이 순차적으로 적층된 통상의 LED 웨이퍼(Epistar)를 준비하였다. 준비된 LED 웨이퍼 상에 제1전극층으로 ITO(두께 0.15㎛), 제1마스크층으로 SiO2(두께 1.2㎛), 제2마스크층으로 Al(두께 0.2㎛)을 순차적으로 증착한 뒤, 패턴이 전사된 SOG 레진층을 나노임프린트 장비를 사용해 제2마스크층 상에 전사시켰다. 이후 RIE 사용하여 SOG 레진층을 경화시키고, 레진층의 잔류레진 부분을 RIE를 통해 식각해 레진패턴층을 형성시켰다. 이후 패턴을 따라서 ICP를 이용해 제2마스크층을 식각하고, RIE를 이용해 제1마스크층을 식각했다. 이후 ICP를 이용해 제1전극층, p형 III-질화물 반도체층, 광활성층을 식각한 뒤, 이어서 도핑된 n형 III-질화물 반도체층을 두께 0.78㎛까지 식각한 뒤 식각된 도핑된 n형 III-질화물 반도체층 측면이 층 면에 수직이 되도록 구현하기 위해서 KOH 습식 에칭을 통해 다수 개의 LED 구조물(직경 850㎚, 높이 850㎚)이 형성된 LED 웨이퍼를 제조했다. 이후 다수 개의 LED 구조물이 형성된 LED 웨이퍼 상에 SiNx 인 보호피막 재료를 증착하였고(도 18 SEM 사진 참조, LED 구조물 측면 기준 증착두께 52.5㎚, 72.5㎚), 이후 다수 개의 LED 구조물 사이에 형성된 보호피막 재료를 Reative ion etcher를 통해 제거시켜 도핑된 n형 III-질화물 반도체층 제1부분(a)의 상부면(S1)을 노출시켰다.
이후 임시 보호피막이 형성된 LED 웨이퍼를 0.3M 옥살산 수용액인 전해액에 함침 후 전원의 애노드 단자에 연결시키고, 전해액에 함침된 백금전극에 캐소드 단자를 연결시킨 뒤 10V 전압을 5분간 인가시켜서 도 19의 SEM 사진과 같이 도핑된 n형 III-질화물 반도체층 제1부분(a)의 표면으로부터 깊이 600㎚ 지점까지 다수의 기공을 형성시켰다. 이후 임시 보호피막을 RIE를 통해 제거시킨 뒤 Al2O3인 표면 보호피막을 LED 구조물 측면 기준 두께 50㎚로 LED 웨이퍼에 재증착했고, 다수 개의 LED 구조물 상부에 형성된 표면 보호피막과 도핑된 n형 III-질화물 반도체층 제1부분(a)의 표면(S1) 상부에 형성된 표면 보호피막을 ICP를 통해 제거시켜 도핑된 n형 III-질화물 반도체층 제1부분(a)의 상부면(S1)과 LED 구조물 상부면을 노출시켰다. 이후 LED 웨이퍼를 감마-부틸락톤인 기포형성 용액에 침지시킨 뒤 초음파를 40㎑ 주파수로 10분간 조사시켜서 생성된 기포를 이용해 도핑된 n형 III-질화물 반도체층에 형성된 기공을 붕괴시켜서 도 20의 SEM 사진과 같이 웨이퍼로부터 다수 개의 LED 구조물이 분리된, 초박형 LED 소자들이 포함된 초박형 LED 소자 집합체를 제조했다. 또한, 도 21과 같이 웨이퍼 상에는 분리되지 않은 LED 구조물이 존재하지 않는 것을 확인할 수 있다.
<비교 준비예1>
통상의 방법을 통해서 LED 웨이퍼로부터 직경이 650㎚이고, 높이가 4.2㎛인 실시예1과 동일한 적층구조를 가지는 나노로드형의 LED 소자 집합체를 제조했다.
<실험예1>
준비예1과 비교 준비예1을 통해 제조된 LED 소자 집합체를 각각 아세톤에 투입 후초음파를 100W 조건으로 조사해 분산시킨 뒤 15분 간격으로 2시간 동안 LED 소자의 분산상태를 흡광도를 측정해 확인했고, 측정된 결과를 이용해서 380 ~ 780 nm 가시광 영역의 스펙트럼 면적을 normalization 해서 도 22와 같은 시간별 흡광도 그래프로 나타내었다.
도 22를 통해 확인할 수 있듯이 준비예1에 따른 초박형 LED 소자가 비교 준비예1에 따른 나노로드형 LED 소자에 대비해 아세톤 용매에서 장시간 분산유지성이 우수한 것을 알 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
101,103,104,105,106,107,109,109: 초박형 LED 소자
310,310': 하부 전극라인 311,312,313,314,315,316: 제1전극
320: 상부 전극라인 321,322,323: 제2전극
400,401: 기판 500,501: 통전용 금속층
600,601: 절연층 700: 색변환층
1000,2000: 풀-컬러 LED 디스플레이

Claims (16)

  1. 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인;
    서브픽셀 영역마다 적어도 2개가 구비되도록 배치되며, 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하고, 층들의 적층방향 길이인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이며, 투영 시 면적 중 최대값인 최대면 면적이 4.0㎛2 이하이고, 제1전극 상에 층들의 적층방향으로 세워져 배치되는 동일한 광색을 발광하는 다수 개의 초박형 LED 소자;
    상기 다수 개의 초박형 LED 소자 상에 배치되는 제2전극을 포함하는 상부 전극라인; 및
    서브픽셀 영역마다 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역이 되도록 서브픽셀 영역에 대응되는 상기 제2전극 상에 패터닝된 색변환층;을 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  2. 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인;
    각각 독립적으로 청색, 녹색 또는 적색을 발광하며, 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하고, 층들의 적층방향 길이인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이며, 투영 시 면적 중 최대값인 최대면 면적이 4.0㎛2 이하인 소자로서, 상기 다수 개의 서브픽셀 영역이 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 나타내도록 서브픽셀 영역마다 동일한 광색을 발광하는 적어도 2개의 소자가 배치되는 다수 개의 초박형 LED 소자; 및
    상기 다수 개의 초박형 LED 소자 상부와 접촉하도록 배치된 제2전극을 포함하는 상부 전극라인을 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 초박형 LED 소자의 두께 방향 일 측 및 제1전극 내 서브픽셀 영역 중 어느 한 쪽 또는 양 쪽에는 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 배치시키기 위한 배열유도층 더 포함하며,
    상기 배열유도층은 자성층, 전하층 또는 결합층인 풀-컬러 LED 디스플레이.
  4. 삭제
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 초박형 LED 소자는 두께가 2㎛ 이하인 풀-컬러 LED 디스플레이.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 초박형 LED 소자에서 제1도전성 반도체층은 n형 III-질화물 반도체층이고, 광활성층에서 재결합되는 전자와 전공의 수가 균형이 이루어지도록 광활성층에 인접하는 제1도전성 반도체층 일면에 대향하는 반대면 상에 전자지연층을 더 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 전자지연층은 CdS, GaS, ZnS, CdSe, CaSe, ZnSe, CdTe, GaTe, SiC, ZnO, ZnMgO, SnO2, TiO2, In2O3, Ga2O3, Si, 폴리(파라-페닐렌 비닐렌)(poly(para-phenylene vinylene)) 및 이의 유도체, 폴리아닐린(polyaniline), 폴리(3-알킬티오펜)(poly(3-alkylthiophene)) 및 폴리(파라페닐렌)(poly(paraphenylene))로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1도전성 반도체층은 도핑된 n형 III-질화물 반도체층이며, 상기 전자지연층은 도핑농도가 상기 제1도전성 반도체층보다 낮은 III-질화물 반도체인 풀-컬러 LED 디스플레이.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 초박형 LED 소자의 노출된 측면을 둘러싸는 보호피막을 더 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 초박형 LED 소자의 제1도전성 반도체층은 n형 III-질화물 반도체층이고, 제2도전성 반도체층은 p형 III-질화물 반도체층이며,
    제2도전성 반도체층의 노출된 측면, 또는 제2도전성 반도체층 노출된 측면과 광활성층 적어도 일부의 노출된 측면을 둘러싸서 노출된 측면 표면쪽의 정공을 중심쪽으로 이동시키기 위한 정공푸싱피막 및
    상기 제1도전성 반도체층의 노출된 측면을 둘러싸서 노출된 측면 표면쪽의 전자를 중심쪽으로 이동시키기 위한 전자푸싱피막 중 적어도 어느 하나의 피막을 더 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  11. 제10항에 있어서,
    초박형 LED 소자는 상기 정공푸싱피막과 전자푸싱피막을 모두 포함하며, 상기 전자푸싱피막은 제1도전성 반도체층, 광활성층 및 제2도전성 반도체층의 측면을 둘러싸는 최외피막으로 구비되는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 정공푸싱피막은 AlNX, ZrO2, MoO, Sc2O3, La2O3, MgO, Y2O3, Al2O3, Ga2O3, TiO2, ZnS, Ta2O5 및 n-MoS2 로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 전자푸싱피막은 Al2O3, HfO2, SiNx, SiO2, ZrO2, Sc2O3, AlNx 및 Ga2O3로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 광색은 청색, 백색 또는 UV인 풀-컬러 LED 디스플레이.
  15. (1) 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인을 준비하는 단계;
    (2) 적층된 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하며 적층방향 길이인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이고 투영 시 면적 중 최대값인 최대면 면적이 4.0㎛2 이하이며 동일한 광색을 발광하는 초박형 LED 소자가 다수 개로 포함된 잉크조성물을 각 서브픽셀 영역마다 적어도 2개의 초박형 LED 소자가 배치되도록 상기 제1전극 상에 처리하는 단계;
    (3) 서브픽셀 영역 상에 처리된 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 제1전극 상에 조립시키는 단계;
    (4) 제1전극에 조립된 초박형 LED 소자 일측에 대향하는 반대측과 전기적으로 연결되도록 제2전극을 포함하는 상부 전극라인을 형성시키는 단계; 및
    (5) 상기 다수 개의 서브픽셀 영역마다 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 색을 발현하는 서브픽셀 영역이 되도록 서브픽셀 영역에 대응되는 상기 제2전극 상에 색변환층을 패터닝하는 단계를 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이 제조방법.
  16. (Ⅰ) 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 형성된 제1전극을 포함하는 하부 전극라인을 준비하는 단계;
    (Ⅱ) 적층된 제1도전성 반도체층, 광활성층, 제2도전성 반도체층을 포함하며 적층방향 길이인 두께와 적층방향에 수직한 횡단면에서 장축의 길이 간 비가 1: 0.5 ~ 1.5이고 투영 시 면적 중 최대값인 최대면 면적이 4.0㎛2 이하인 초박형 LED 소자를 광색 별로 다수 개 포함하는 청색 초박형 LED 소자 잉크조성물, 녹색 초박형 LED 소자 잉크조성물 및 적색 초박형 LED 소자 잉크조성물을 상기 제1전극 상에 처리하되, 다수 개의 서브픽셀 영역(sub-pixel sites)이 각각 독립적으로 청색, 녹색 및 적색 중 어느 한 광색을 나타내고, 각 서브픽셀 영역마다 적어도 2개의 초박형 LED 소자가 배치되도록 잉크조성물을 처리하는 단계;
    (Ⅲ) 서브픽셀 영역 상에 처리된 초박형 LED 소자를 두께방향으로 세워서 제1전극 상에 조립시키는 단계; 및
    (Ⅳ) 제1전극에 조립된 초박형 LED 소자 일측에 대향하는 반대측과 전기적으로 연결되도록 제2전극을 포함하는 상부 전극라인을 형성시키는 단계를 포함하는 풀-컬러 LED 디스플레이 제조방법.
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