KR102532024B1 - 클린 케이블 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리는 각각에 복수의 케이블이 삽입되는 내/외측 포드(pod) 레이어 및 상기 내/외측 포드 레이어 사이에 마련되며 복수의 도전성 가이드 체인이 삽입되는 가이드 포드 레이어를 포함하는, 일방향 절곡 다중 레이어 포드; 및 상기 다중 레이어 포드의 양단에 결합되는 한쌍의 클램프를 포함하며, 상기 한쌍의 클램프 중 장비에 고정되는 클램프와 상기 복수의 가이드 체인 및 장비의 접지는 전기적으로 연결될 수 있다.

Description

클린 케이블 어셈블리{clean cable assembly}
본 발명은 클린 케이블 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 처짐 및 뒤틀림 현상을 방지함과 동시에 스파크 발생을 방지할 수 있는 대전방지 설계가 적용된 클린 케이블 어셈블리에 관한 것이다.
세계 반도체 장비 시장은 미국, 일본, 네덜란드 등의 점유율이 높고, 우리나라는 약 4% 정도의 점유율을 가지고 있다. 그리고 반도체 장비산업의 경쟁력은 세계 최고 수준 대비 60%를 상회하는 정도이다.
2019년 일본이 수출규제로 인하여 일본에 대한 수입의존도가 높은 소재, 부품, 장비에 대한 국산화에 대한 관심이 높아지고 있다. 그 중 반도체 제조장치의 핵심부품에 속하는 클린 케이블에 대한 일본 수입 의존도는 70%에 이를 정도로 높아, 이에 대한 국산화와 그에 적용되는 소재의 국산화가 시급한 실정이다.
이에 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 기본적으로 처짐 및 뒤틀림을 방지함과 동시에 스파크 발생 방지를 위한 대전방지 기능을 갖는 클린 케이블 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리는, 각각에 복수의 케이블이 삽입되는 내/외측 포드(pod) 레이어 및 상기 내/외측 포드 레이어 사이에 마련되며 복수의 도전성 가이드 체인이 삽입되는 가이드 포드 레이어를 포함하는, 일방향 절곡 다중 레이어 포드; 및 상기 다중 레이어 포드의 양단에 결합되는 한쌍의 클램프를 포함할 수 있다.
상기 한쌍의 클램프 중 장비에 고정되는 클램프와 상기 복수의 가이드 체인 및 장비의 접지는 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 복수의 가이드 체인 각각은, 도전성 물질이 함유된 강화 수지재이며, 서로 연결된 복수의 연결체인; 및 상기 복수의 연결체인 양단에 결합된 한쌍의 블락체인을 포함할 수 있다.
상기 한쌍의 클램프 각각은, 상기 내/외측 포드 레이어의 한쪽 끝을 클램핑하는 내/외측 클램핑부; 및 상기 내/외측 클램핑부 사이에 마련되며, 상기 가이드 포드 레이어의 한쪽 끝으로 돌출된 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인을 클램핑하는 중앙 클램핑부를 포함할 수 있다.
상기 복수의 가이드 체인 각각은, 탄소 나노튜브(carbon nanotube), 탄소 분말(carbon powder), 절단된 탄소 섬유(chopped carbon fiber) 중 하나가 20 내지 40 중량% 포함된 폴리아미드 수지(polyamid resin)재일 수 있다.
상기 복수의 가이드 체인 각각은, 내측에 접착되어 상기 복수의 연결 체인을 전기적으로 연결하는 도전성 필름; 및 상기 도전성 필름이 접착된 상태에서 대응되는 연결 체인의 몸체 중앙부에 바인딩되는 복수의 탄성 밴드를 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 연결체인 각각은, 가로방향으로 돌출된 결합자쌍이 마련된 결합돌기; 및 인접한 연결체인의 결합돌기가 삽입되고 상기 삽입된 결합돌기의 결합자쌍이 내측에서 외측방향으로 끼워지는 결합공쌍이 마련된 결합홈으로 구성될 수 있다.
상기 복수의 가이드 체인 각각은, 연결체인의 결합공쌍의 외측에서 내측방향으로 탄성을 가지고 체결되며, 도전성을 갖는 복수의 클립형 결합수단을 더 포함할수 있다.
복수의 가이드 체인 각각에서, 상기 도전성 필름은, 복수의 가이드 체인 양단에서 중앙 방향으로 일정 거리만큼 접착되는 제1 및 제2 도전성 필름을 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수의 클립형 결합수단은, 상기 복수의 가이드 체인 중앙부에서 양단 방향으로 일부의 연결체인에 대해서만 체결될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 도전성 필름이 커버하는 부분에서 가이드 체인의 중앙 방향 쪽 단부는 상기 복수의 클립형 결합수단이 커버하는 부분과 중첩될 수 있다.
상기 중앙 클램핑부 내측의 상하면에는, 클램핑되는 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인 방향으로 돌출되어, 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인에 대한 접촉력을 향상시키기 위한 미세돌기들이 형성되어 있을 수 있다.
상기 복수의 가이드 체인 각각에는, 상기 중앙 클램핑부 내측의 상하면 중 적어도 하나의 방향으로 돌출되어, 상기 중앙 클램핑부의 상하면 중 적어도 하나에 마련된 홈에 삽입되는 제1 돌출구조가 형성되어 있을 수 있다.
상기 중앙 클램핑부 내측에는, 클램핑되는 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인이 안착되는 위치를 구획하는 제2 돌출구조가 형성되어 있을 수 있다.
본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리는 기본적으로 처짐 및 뒤틀림을 방지함과 동시에 강력한 정전기로 인한 스파크 방지 기능을 제공할수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)의 일예를 나타내는 사진이다.
도 2는 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)가 장착된 반도체 장비(300)의 일예를 나타낸다.
도 3은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)의 동작 상태를 나타내는 개념도이다.
도 4는 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)을 구성하는 블락체인(220)과 연결체인(210)을 나타낸다.
도 5는 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)을 구성하는 블락체인(220)과 연결체인(210)의 연결방법과 결과를 나타낸다.
도 6은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)을 구성하는 연결체인(220)에 의하여 상기 가이드 체인(200)의 절곡부의 곡률반경이 결정되는 것을 설명하기 위한 개념도이다.
도 7은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 클램프(151)의 구조 및 클램핑 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
도 8은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)의 블락체인(220)과 한쌍의 클램프(150) 사이의 결합에 의하여 상기 블락체인(220)이 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 길이방향으로의 움직임이 억제되는 개념을 설명하기 위한 사진들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)의 정전기 방지 기능을 향상시키기 위한 방법들을 설명하기 도면들이다.
본 발명과 본 발명의 동작상 또는 기능상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대 또는 축소하여 도시한 것일 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)의 일예를 나타내는 사진이다. 도 2는 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)가 장착된 반도체 장비(300)의 일예를 나타낸다. 도 3은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)의 동작 상태를 나타내는 개념도이다.
상기 클린 케이블 어셈블리(100)는 일방향으로 절곡되며, 다중 포드 레이어(multi-layer pod, 110) 및 한쌍의 클램프(150)를 포함한다. 상기 다중 포드 레이어(110)는 내측 포드 레이어(120), 외측 포드 레이어(130) 및 가이드 포드 레이어(140)를 포함한다. 참고로, 내/외측 포드 레이어(120 및 130)의 구분은 절곡의 내측인지 외측인지를 기준으로 한다.
한편, 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 구성요소들이 필수적인 것은 아니어서, 상기 클린 케이블 어셈블리(100)는 그보다 많은 구성요소들을 갖거나 그보다 적은 구성요소들을 가질 수도 있다. 이는 상기 클린 케이블 어셈블리(100)를 구성하는 각 구성 요소들에 대해서도 마찬가지이다. 이하 각 구성요소들에 대해서 보다 상세히 살펴본다.
상기 내/외측 포드 레이어(120 및 130) 각각에는 복수의 케이블(160)이 삽입된다. 상기 케이블(160)에는 전선 케이블, 광섬유 케이블, 유체 공급 호스 등 상기 클린 케이블 어셈블리(100)가 장착되는 장비에서 특정 기능을 수행하는 케이블이나 호스 등 포함될 수 있다. 그러나 본 발명의 범위가 이로 한정되는 것은 아니다.
상기 가이드 포드 레이어(140)는 상기 내/외측 포드 레이어(120 및 130) 사이에 마련되며, 그 포드들의 내부에는 가이드 체인(200)이 복수 개 삽입될 수 있다. 상기 가이드 체인(200)은 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 직선부분(도 3의 경우 L1 또는 L2)이 자중에 의하여 처지거나 뒤틀리는 것을 방지하고, 절곡 부분이 일정한 곡률반경(R)을 유지하는 기능을 수행할 수 있다.
참고로 상기 직선부분(L1 또는 L2)의 길이는 상기 클린 케이블 어셈블리(100)가 장착된 장비의 동작상태에 따라 상기 장비에 접촉된 부분의 직선부분(L3)의 길이와 상보적으로 가변될 수 있다. 즉, 상기 직선부분(L1 또는 L2)이 길어지면 상기 직선부분(L3)은 짧아지고, 상기 직선부분(L1 또는 L2)이 짧아지면 상기 직선부분(L3)은 길어진다. 물론, 이때에도 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 절골부분의 곡률(R)은 항상 일정하게 유지되는 것이 바람직하다.
상기 가이드 체인(200)은 기본적으로 강성과 내구성이 높아야 하며, 그 무게는 가벼운 것이 바람직하다. 그러므로 상기 가이드 체인(200)은 강화 수지재로 구현됨이 바람직하다. 그리고 상기 가이드 체인(200)은 상기 클린 케이블 어셈블리(100)에서 발생하는 정전기를 외부로 배출하는 통로 역할을 하므로, 상기 가이드 체인(200)에는 도전성 물질이 포함되어 있다.
예컨대, 상기 가이드 체인(200)은 폴리아미드 수지(polyamid resin)재일 수 있고, 도전성의 확보를 위하여 가이드 체인(200)에는 탄소 나노튜브(carbon nanotube), 탄소 분말(carbon powder), 절단된 탄소 섬유(chopped carbon fiber) 중 하나가 20 내지 40 중량% 포함될 수 있다.
상기 한쌍의 클램프(150)는 상기 다중 포드 레이어(110) 양단에 결합된다. 상기 한쌍의 클램프(150)는 상기 클린 케이블 어셈블리(100) 양단을 고정함과 동시에 실링(sealing)할 수 있다. 그러므로 상기 한쌍의 클램프(150)는 포드의 내면과 이에 삽입되는 케이블이나 가이드 포드 레이어(140) 사이의 마찰 등에 의해 발생하는 분진이나 오염물질이 외부로 배출되는 것을 차단할 수 있다.
그러므로 본 발명에 따른 높은 청정도를 요구하는 반도체 제조장비, 반도체 검사장비, 각종 정밀 전자기기, 산업용 로봇 등에 널리 이용될 수 있다. 도 2는 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100) 복수 개가 반도체 검사장비에 장착된 것을 나타낸다.
한편, 상기 클린 케이블 어셈블리(100)가 설치되는 장치들은 높은 청정도 이외에도 정전기에 의하여 심각한 문제가 발생할 수 있는 장비가 대부분이므로, 이러한 장비들의 작동 중 상기 클린 케이블 어셈블리(100)에서 발생하는 정전기를 외부로 배출하는 것이 매우 중요하다.
상기 한쌍의 클램프(150) 중 상술한 장비에 고정되는 클램프(151)는 상기 가이드 포드 레이어(140)에 삽입된 복수의 가이드 체인(200) 및 상기 장비의 접지와 전기적으로 연결되어 상기 장비에서 정전기가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)을 구성하는 블락체인(220)과 연결체인(210)을 나타낸다. 도 5는 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)을 구성하는 블락체인(220)과 연결체인(210)의 연결방법과 결과를 나타낸다.
상기 가이드 체인(200)은 상기 연결체인(210)이 복수 연결되고 그 양단에 상기 블락체인(220) 한쌍이 결합되어 구현될 수 있다. 정전기의 이동경로 역할을 위하여, 함유된 도전성분에 의하여 상기 체인들을 전기적으로 서로 연결된 상태를 유지할 수 있다.
상기 블락체인(220)은 직육면체 형상의 헤드부(221) 및 결합홈(222)을 포함한다. 상기 헤드부(221)는 상기 한쌍의 클램프(150)에 의하여 클램핑되는 부분이다. 상기 헤드부(221)에는 상기 한쌍의 클램프(150)에 마련된 홈에 삽입되어 상기 블락체인(220)이 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 길이방향으로의 움직임을 억제하는 기능을 수행하는 제1 돌출구조(221A)가 마련되어 있다. 이에 대해서는 향후 도 8을 참조하여 보다 상세히 살펴본다.
상기 결합홈(222A)은 상기 헤드부(221)에 연장된 부분에 형성되며, 상기 결합홈(222A) 내측에는 한쌍의 결합공(222B)이 마련되어 있다.
상기 연결체인(210)은 결합돌기(211) 및 결합홈(212)을 포함한다. 상기 결합돌기(211)에는 가로방향으로 돌출된 결합자쌍(211A)이 마련되어 있다. 상기 결합홈(212)은 상기 결합돌기(211)에서 연장된 부분에 마련되며, 상기 결합홈(212)에는 한쌍의 결합공(212A)이 마련되어 있다.
상기 결합자쌍(211A)은 인접한 연결체인(210)의 결합홈(212)에 마련된 결합공쌍(212A)의 내측에서 외측 방향으로 삽입되거나, 블락체인(220)의 결합홈(222)에 마련된 결합공쌍(222A)의 내측에서 외측방향으로 삽입된다.
한편, 도 4 및 도 5를 참조하여 살펴본 것은, 상기 가이드 체인(200)의 일단의 연결구조이다. 한편, 도면에 도시되지는 않았으나, 상기 가이드 체인(200)의 타단의 연결구조에서는, 헤드부의 연결부는 상기 연결체인(210)의 결합돌기(211)와 같이 인접 연결체인(210)의 결합홈(212)을 통하여 연결되기 위한 구조를 가질 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)을 구성하는 연결체인(220)에 의하여 상기 가이드 체인(200)의 절곡부의 곡률반경이 결정되는 것을 설명하기 위한 개념도이다.
상기 연결체인(210)의 결합돌기(211)와 결합홈(212)의 연결부에는 소정의 각도(θ)를 갖는 빗면(213)이 형성되어 있는데, 연결체인(210)이 복수 개 연결되면 상기 각도(θ)에 의하여, 상기 가이드 체인(200)의 절곡부는 소정의 곡률반경(R)을 가질 수 있다. 즉, 상기 가이드 체인(200)의 절곡부의 곡률반경(R)은 상기 각도(θ)에 의하여 가변될 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 클램프(151)의 구조 및 클램핑 방법을 설명하기 위한 개념도이다. 참고로, 상기 클램프(151)는 한쌍의 클램프(150) 중 상기 클린 케이블 어셈블리(100)가 장착되는 장비에 고정되는 것의 단면도를 나타내는 개념도이다.
상기 클램프(151)는 제1 부재(151A), 제2 부재(151B), 제3 부재(151C), 제4 부재(151D) 및 결합부재(151E)를 포함한다. 상기 제1 부재(151A)와 상기 제2 부재(151B)에 의하여 내측 포드 레이어(120)의 한쪽 끝을 클램핑하는 내측 클램핑부(151F)가 형성된다. 상술한 구성요소들은 강한 강도와 전기적 도전성을 가지는 것이 바람직하므로, 기본적으로 금속재로 구현된다.
상기 제2 부재(151B)와 상기 제3 부재(151C)에 의하여 복수의 가이드 체인(200)의 한쪽 끝의 블락체인(220)이 클램핑되는 중앙 클램핑부(151G)가 형성된다. 이때, 상기 복수의 가이드 체인(200)의 블락체인(220)은 가이드 포드 레이어(140)의 한쪽 끝으로 돌출된다.
상기 제3 부재(151C)와 상기 제4 부재(151D)에 의하여 외측 포드 레이어(130)의 한쪽 끝을 클램핑하는 외측 클램핑부(151H)가 형성된다. 즉, 상기 중앙 클램핑부(151G)는 상기 내/외측 클램핑부(151F 및 151H) 사이에 마련된다.
상기 중앙 클램핑부(151G) 내측의 상하면(즉, 상기 제2 부재(151B)의 일면과 상기 제3 부재(151C)의 일면)에는 클램핑되는 상기 가이드 체인(200)의 블락체인(220) 방향으로 돌출된 미세돌기들(151B1 및 151C1)이 형성되어 있다.
상기 미세돌기들(151B1 및 151C1)에 의하여 상기 복수의 가이드 체인(200)의 블락체인(220)과 상기 클램프(151)와의 전기적 접촉력이 보장 또는 향상될 수 있다. 그러므로 상기 미세돌기들(151B1 및 151C1)에 의하여 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 정전기 방지 기능이 향상될 수 있다.
상기 중앙 클램핑부(151G) 내측의 상하면에는 클램핑 되는 상기 복수의 가이드 체인(200)의 블락체인(220)이 안착되는 위치를 구획하기 위한 제2 돌출구조(151B2 및 151C2)가 마련되어 있다. 상기 제2 돌출구조(151B2 및 151C2)에 의하여 클램핑되는 복수의 블락체인(220)의 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 가로방향의 움직임을 억제하여 보다 안정적인 상태를 가능케 한다.
상기 결합부재(151E)는 복수의 부재들이 적층된 구조를 갖는 상기 클램프(151)를 가압결합시키고, 상기 클램프(151)를 상기 클린 케이블 어셈블리(100)가 결합되는 장비에 고정시킨다. 그리고 상기 결합부재(151E)는 정전기 방지를 위하여 상기 클램프(151)를 상기 장비의 접지와 전기적으로 연결시킬 수 있다. 한편 나머지 클램프(152)는 상기 클램프(151)과 유사한 단면 구조를 가질 수 있으나, 결합부재(151E)와 달리 상기 클램프(152)만을 가압결합하는 구조를 가짐이 바람직하다.
도 8은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)에서 가이드 체인(200)의 블락체인(220)과 한쌍의 클램프(150) 사이의 결합에 의하여 상기 블락체인(220)이 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 길이방향으로의 움직임이 억제되는 개념을 설명하기 위한 사진들이다.
가이드 체인(200)의 블락체인(220)에는 제1 돌출구조(221A)가 형성되어 있고, 중앙 클램핑부(152G)를 구성하는 제2 부재(151B, 즉 중앙 클램핑부(152G) 내측의 상면)에는 홈(151B3)이 마련되어 있는데, 상기 제1 돌출구조(221A)는 상기 홈(151B3)에 삽입된다. 이로 인하여 상기 블락체인(220)이 상기 클린 케이블 어셈블리(100)의 길이방향으로의 움직임이 억제될 수 있다.
한편, 이와 같은 돌출구조와 홈의 결합관계는 상기 중앙 클램핑부(152G) 내측의 하면에 대해서도 적용될 수 있다. 즉, 본 발명에 따르면, 상기 복수의 가이드 체인(200)의 블락체인(220)에는 중앙 클램핑부(152G) 내측의 상하면 중 적어도 하나의 방향으로 돌출되어, 상기 중앙 클램핑부(152G)의 상하면 중 적어도 하나에 마련된 홈에 삽입되는 제1 돌출구조가 형성될 수 있다.
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 클린 케이블 어셈블리(100)의 정전기 방지 기능을 향상시키기 위한 방법들을 설명하기 위한 도면들이다.
도 9는 가이드 체인(200)의 내측에 복수의 연결체인(210)을 전기적으로 연결하는 도전성 필름(230) 접착시킴으로써 상기 가이드 체인(200)의 도전성을 향상시키는 것을 나타낸다. 한편, 상기 도전성 필름(230)의 접착 내구성을 향상시키기 위하여 복수의 탄성 밴드(240)이 추가적으로 바인딩된다.
이때, 상기 복수의 탄성 밴드(240)는 연결체인(210)의 몸체 중앙부에 바인딩되는 것이 바람직하다. 이는 탄성 밴드(240)가 연결체인(210)의 가장자리에 바인딩될 경우에는 가이드 체인(200)의 절곡과 직선상태로의 회복이 반복됨에 따라 바인딩이 느슨해질 수 있기 때문이다.
도 10은 연결체인(210)의 결합공쌍(212A)의 외측에서 내측방향으로 탄성을 가지고 체결되며 도전성을 갖는 복수의 클립형 결합수단(250)에 의하여 상기 가이드 체인(200)의 도전성이 향상되는 것을 나타낸다.
상기 클립형 결합수단(250)은 상기 연결체인(210)의 측면을 커버하는 부분(251 및 252) 및 상기 연결체인(210)의 상면을 커버하는 부분(253)을 포함한다. 그리고 상기 연결체인(210)의 측면을 커버하는 부분(251 및 252)에는 상기 결합공쌍(212A)에 삽입되는 결합자쌍(254)이 마련되어 있다.
한편, 상기 도전성 필름(240)은 탄성 밴드(240)가 바인딩되어 있더라도, 가이드 체인(200)의 절곡과 직선상태로의 회복에 의한 접착내구성이 약해질 수 있기 때문에, 상기 가이드 체인(200)의 양단에서 중앙 방향으로 일정 거리만큼 접착되는 제1 도전성 필름과 제2 도전성 필름으로 나누어져 접착되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 클립형 결합수단(250)은 상기 도전성 필름(240)에 비하여 결합내구성이 강하므로, 상기 가이드 체인(200)의 중앙부의 연결체인(210)에도 장착될 수 있다. 다만, 제조단가나 작업의 포드삽입 작업의 난이도 등을 고려할 때 상기 가이드 체인(200)의 중앙부에서 양단 방향으로 일부의 연결체인(210)에 대해서만 체결되는 것이 바람직하다.
그러나, 상기 도전성 필름(240)과 상기 클립형 결합수단(250)에 의한 상기 가이드 체인(200)의 도전성 보완이라는 목적의 확실한 달성을 위하여, 상기 제1 및 제2 도전성 필름이 커버하는 부분에서 상기 가이드 체인(200)의 중앙 방향 쪽 단부는 상기 복수의 클립형 결합수단(250)이 커버하는 부분과 중첩되는 것이 바람직하다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 클린 케이블 어셈블리 110: 다중 포드 레이어
120: 내측 포드 레이어 130: 외측 포드 레이어
140: 가이드 포드 레이어 150: 클램프
160: 케이블 200: 가이드 체인
210: 연결체인 220: 블락체인

Claims (9)

  1. 각각에 복수의 케이블이 삽입되는 내/외측 포드(pod) 레이어 및 상기 내/외측 포드 레이어 사이에 마련되며 복수의 도전성 가이드 체인이 삽입되는 가이드 포드 레이어를 포함하는, 일방향 절곡 다중 레이어 포드; 및
    상기 다중 레이어 포드의 양단에 결합되는 한쌍의 클램프를 포함하며,
    상기 한쌍의 클램프 중 장비에 고정되는 클램프와 상기 복수의 가이드 체인 및 장비의 접지는 전기적으로 연결되며,
    도전성 물질이 함유된 강화 수지재인 상기 복수의 가이드 체인 각각은,
    서로 연결된 복수의 연결체인;
    상기 복수의 연결체인 양단에 결합된 한쌍의 블락체인;
    내측에 접착되어 상기 복수의 연결 체인을 전기적으로 연결하는 도전성 필름; 및
    상기 도전성 필름이 접착된 상태에서 대응되는 연결 체인의 몸체 중앙부에 바인딩되는 복수의 탄성 밴드를 포함하며,
    상기 한쌍의 클램프 각각은,
    상기 내/외측 포드 레이어의 한쪽 끝을 클램핑하는 내/외측 클램핑부; 및
    상기 내/외측 클램핑부 사이에 마련되며, 상기 가이드 포드 레이어의 한쪽 끝으로 돌출된 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인을 클램핑하는 중앙 클램핑부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 클린 케이블 어셈블리.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 복수의 연결체인 각각은,
    가로방향으로 돌출된 결합자쌍이 마련된 결합돌기; 및
    인접한 연결체인의 결합돌기가 삽입되고 상기 삽입된 결합돌기의 결합자쌍이 내측에서 외측방향으로 끼워지는 결합공쌍이 마련된 결합홈으로 구성되며,
    상기 복수의 가이드 체인 각각은,
    연결체인의 결합공쌍의 외측에서 내측방향으로 탄성을 가지고 체결되며, 도전성을 갖는 복수의 클립형 결합수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 클린 케이블 어셈블리.
  6. 제5항에 있어서, 복수의 가이드 체인 각각에서,
    상기 도전성 필름은,
    복수의 가이드 체인 양단에서 중앙 방향으로 일정 거리만큼 접착되는 제1 및 제2 도전성 필름을 포함하며,
    상기 복수의 클립형 결합수단은,
    상기 복수의 가이드 체인 중앙부에서 양단 방향으로 일부의 연결체인에 대해서만 체결되며,
    상기 제1 및 제2 도전성 필름이 커버하는 부분에서 가이드 체인의 중앙 방향 쪽 단부는 상기 복수의 클립형 결합수단이 커버하는 부분과 중첩되는 것을 특징으로 하는, 클린 케이블 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서, 상기 중앙 클램핑부 내측의 상하면에는,
    클램핑되는 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인 방향으로 돌출되어, 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인에 대한 접촉력을 향상시키기 위한 미세돌기들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 클린 케이블 어셈블리.
  8. 제7항에 있어서, 상기 복수의 가이드 체인 각각에는,
    상기 중앙 클램핑부 내측의 상하면 중 적어도 하나의 방향으로 돌출되어, 상기 중앙 클램핑부의 상하면 중 적어도 하나에 마련된 홈에 삽입되는 제1 돌출구조가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 클린 케이블 어셈블리.
  9. 제8항에 있어서, 상기 중앙 클램핑부 내측에는,
    클램핑되는 상기 복수의 가이드 체인의 블락체인이 안착되는 위치를 구획하는 제2 돌출구조가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 클린 케이블 어셈블리.
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