KR102525857B1 - Electrode for plating and apparatus for manufacturing electrolytic metal foil - Google Patents

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Abstract

본 발명은 양극과 음극 사이의 거리에 관하여 보다 적합하게 대응 가능한 전주기술을 제공하는 것을 과제로 한다. 전해금속박의 제조에 사용하는 도금용 전극이 제공된다. 이러한 도금용 전극은, 전극부재와, 그 전극부재가 장착되는 기체로 적어도 구성되어 있다. 전극부재는, 드럼 형상의 대극과 대향하는 면으로서 두께증가면을 가지는 것을 특징으로 하고 있다.An object of the present invention is to provide an electroforming technique capable of more appropriately responding to the distance between an anode and a cathode. An electrode for plating used in the manufacture of an electrolytic metal foil is provided. Such an electrode for plating is constituted at least by an electrode member and a body on which the electrode member is mounted. The electrode member is characterized by having an increased thickness surface as a surface facing the drum-shaped counter electrode.

Description

도금용 전극 및 전해금속박의 제조장치{Electrode for plating and apparatus for manufacturing electrolytic metal foil}Electrode for plating and apparatus for manufacturing electrolytic metal foil}

본 발명은, 도금용 전극 및 전해금속박의 제조장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은, 도금법으로 전해금속박을 제조하기 위한 전극에 관한 것과 함께, 이러한 전극을 구비한 전해금속박의 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrode for plating and an apparatus for manufacturing an electrolytic metal foil. More specifically, the present invention relates to an electrode for manufacturing an electrolytic metal foil by a plating method, and to an apparatus for manufacturing an electrolytic metal foil provided with such an electrode.

금속박은, 종래부터 공업적으로 널리 이용되고 있고, 전기·전자 분야에서 프린트 회로재로서 이용되거나, 전기화학 분야에서 전지의 집전체로서 이용되거나 하고 있다. 이러한 금속박의 종류로는, 기계적으로 압연하여 얻어지는 압연박 이외에, 전기화학적인 도금으로 얻어지는 전해금속박 등이 존재한다. 도금에 의하여 금속박을 제조하는 기술은, 전기주조(특히 "전주")라고도 불릴 수 있다. 전주에서는, 연속적인 금속박을 비교적 간이하게 얻을 수 있는 동시에, 표면평활성 등의 금속박의 특성 제어가 비교적 용이하여, 동박 또는 동합금박 등의 금속박 제조에 많이 사용되고 있다.Metal foil has conventionally been widely used industrially, and is used as a printed circuit material in the electric/electronic field or used as a current collector of a battery in the electrochemical field. Examples of such metal foils include electrolytic metal foils obtained by electrochemical plating in addition to rolled foils obtained by mechanical rolling. The technique of manufacturing metal foil by plating may also be called electroforming (particularly "electroforming"). In electric poles, continuous metal foil can be obtained relatively easily, and properties of metal foil such as surface smoothness can be controlled relatively easily, so it is widely used in the manufacture of metal foil such as copper foil or copper alloy foil.

전해금속박의 제조에서는, 전기도금의 원리가 이용되고, 도금용 전극이 이용된다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 전해조(500)의 전해액(510)에 침지시킨 도금용 전극(520)과, 그것과 쌍을 이루는 드럼 형상의 대극(530)으로 이루어지는 전기도금장치가 이용된다. 도금용 전극(520)은, 드럼 형상의 대극(530)에 대하여 마주보도록 설치되어 있고, 드럼 형상의 대전극(530)의 "원형윤곽"을 따르도록 만곡한 형태를 가진다. 이와 같은 도금용 전극(520)과 드럼 형상의 대극(530) 사이로 통전시키면, 대극(530)의 표면에 금속성분을 전해석출시킬 수 있다. 따라서, 드럼 형상의 대극(530)을 도금용 전극(520)에 대하여 회전시키면서 통전을 행하고, 전해석출에 기인하여 형성되는 금속층을 대극(530)으로부터 순차 박리함으로써 금속박(550)을 연속적으로 얻을 수 있다.In the production of electrolytic metal foil, the principle of electroplating is used, and an electrode for plating is used. As shown in Fig. 11, an electroplating apparatus comprising a plating electrode 520 immersed in an electrolyte solution 510 of an electrolytic cell 500 and a drum-shaped counter electrode 530 paired therewith is used. The plating electrode 520 is installed to face the drum-shaped counter electrode 530 and has a curved shape to follow the “circular contour” of the drum-shaped counter electrode 530 . When electricity is passed between the plating electrode 520 and the drum-shaped counter electrode 530, metal components can be electrolytically deposited on the surface of the counter electrode 530. Therefore, the metal foil 550 can be continuously obtained by rotating the drum-shaped counter electrode 530 relative to the plating electrode 520 while applying electricity, and sequentially peeling the metal layer formed due to electrolytic deposition from the counter electrode 530. there is.

특허문헌 1: 일본공개특허공보 평8-209396호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-209396 특허문헌 2: 일본공고특허공보 평6-47758호Patent Document 2: Japanese Patent Publication No. 6-47758 특허문헌 3: 국제공개(WO) 제2010/067754호Patent Document 3: International Publication (WO) No. 2010/067754 특허문헌 4: 일본특허공보 제3468545호Patent Document 4: Japanese Patent Publication No. 3468545

본원 발명자는, 종전의 전해금속박의 제조에서는 극복해야 할 과제가 여전히 있는 것을 깨닫고, 그를 위한 대책을 취할 필요성을 발견하였다. 구체적으로는, 이하의 과제가 있는 것을 본원 발명자는 발견하였다.The present inventors realized that there were still problems to be overcome in the production of conventional electrolytic metal foils, and found the need to take countermeasures for them. Specifically, the present inventors discovered that there are the following subjects.

금속박의 전주제조에 있어서는, 도금용 전극으로서 불용성 양극을 이용하고, 이러한 양극을 개편(個片)화하는 방식이 있다. 개편화한 양극의 복수매가, 기체에 장착되어 사용된다. 이러한 방식에서는, 전해액을 통하여 양극이 음극 드럼에 대향하는 상태가 되는데, 본원 발명자들은, 양극과 음극 사이의 거리가 멀면, 전해조의 전압이 보다 높아져 전력코스트가 상승하는 문제를 무시할 수 없다는 것을 발견하였다. 또한, 현행의 전극구조에 따라서는 양극 상의 전류분포가 불균일해져, 전해금속박의 불량을 발생시킬 우려도 무시할 수 없다는 것도 발견하였다.In the production of electrocasting of metal foil, there is a method in which an insoluble anode is used as an electrode for plating and the anode is separated into pieces. A plurality of individualized anodes are attached to the body and used. In this way, the anode is in a state of facing the cathode drum through the electrolyte, and the inventors of the present application found that the problem that the voltage of the electrolytic cell becomes higher and the power cost increases cannot be ignored when the distance between the anode and the cathode is large. . In addition, it was also found that depending on the current electrode structure, the current distribution on the anode becomes non-uniform, and the possibility of generating defects in the electrolytic metal foil cannot be ignored.

특히, 개편 형상의 양극이 장착되는 기체는, 전해조의 벽 일부를 이루고 있는 경우가 있고, 양극과 음극 사이의 거리는, 그 벽의 위치에 의존할 수 있다. 연속적인 금속박 제조가 이루어지는 전주에서는, 코스트 및 핸들링의 관점뿐만 아니라, 만곡화시키는 관점이 통상 중시되므로, "얇은" 양극이 사용된다. 따라서, 전주의 당업자는, 그러한 만곡화에 바람직한 "얇은" 전극의 사용을 일반적으로 중요시하고 있으며, 양극과 음극 사이의 거리가 비교적 먼 것을 통상 의식하지는 않았다.In particular, the substrate on which the piece-shaped anode is mounted forms part of the wall of the electrolytic cell in some cases, and the distance between the anode and the cathode may depend on the position of the wall. In an electric pole in which continuous metal foil production is performed, not only the viewpoints of cost and handling, but also the viewpoint of curvature are usually emphasized, so a "thin" anode is used. Accordingly, those skilled in the art of electroforming generally attach importance to the use of "thin" electrodes, which are desirable for such curvature, and are usually not conscious of the relatively large distance between the anode and cathode.

본 발명은 이러한 사정에 감안하여 이루어진 것이다. 즉, 본 발명의 주된 목적은, 양극과 음극 사이의 거리에 관하여 보다 적합하게 대응 가능한 전주기술을 제공하는 것이다.The present invention was made in view of these circumstances. That is, the main object of the present invention is to provide an electroforming technology that can more appropriately respond to the distance between the anode and the cathode.

본원 발명자는, 종래 기술의 연장선 상에서 대응하는 것이 아니라, 새로운 방향에서 대처하는 것에 의하여 상기 과제의 해결을 시도하였다. 그 결과, 상기 주된 목적이 달성된 도금용 전극 및 전해금속박의 제조장치의 발명에 이르렀다.The inventors of the present application have attempted to solve the above problems by coping in a new direction, rather than responding on the extension line of the prior art. As a result, the invention of an electrode for plating and an apparatus for manufacturing an electrolytic metal foil have been reached in which the above main object has been achieved.

본 발명에서는, 전해금속박의 제조에 이용하는 도금용 전극으로서,In the present invention, as an electrode for plating used in the manufacture of an electrolytic metal foil,

전극부재와, 당해 전극부재가 장착되는 기체로 적어도 구성되고,Consisting of at least an electrode member and a body on which the electrode member is mounted,

전극부재가, 드럼 형상의 대극과 대향하는 면으로서 두께증가면을 가지는 것을 특징으로 하는 도금용 전극이 제공된다.An electrode for plating characterized in that the electrode member has an increased thickness surface as a surface facing the drum-shaped counter electrode.

또한, 본 발명에서는, 상기 도금용 전극을 적어도 가지고 이루어지는 전해금속박의 제조장치도 제공된다.Moreover, in this invention, the manufacturing apparatus of the electrolytic metal foil which has at least the said electrode for plating is also provided.

본 발명의 도금용 전극은, 기체에 장착되는 전극부재가 드럼 형상의 대극과 대향하는 면으로서 두께증가면을 가지고 있고, 양극과 음극 사이에 있어서의 전극간 거리의 점에서 보다 적합한 전주기술을 초래된다.In the plating electrode of the present invention, the electrode member mounted on the body has a thickness increasing surface as a surface facing the drum-shaped counter electrode, resulting in a more suitable electroforming technique in terms of the distance between the electrodes between the anode and the cathode. do.

구체적으로는, 전극부재의 "두께증가면"에 기인하여, 금속박 제조의 전극간 거리가 보다 적합하게 감소되므로, 전해조의 전압을 보다 낮은 상태에서 운전하는 것이 가능해지고, 나아가서는 전력코스트를 저감할 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 전극과 기체의 접촉면적이 향상되므로, 도금용 전극 상의 전류분포가 보다 균일화되기 쉬워져, 제조하는 금속박의 불량 발생을 줄이는 것도 가능해진다.Specifically, due to the "thickness increase surface" of the electrode member, the distance between electrodes in metal foil production is reduced more appropriately, so that it is possible to operate the electrolytic cell in a lower voltage state, and further reduce the power cost. can Further, in the present invention, since the contact area between the electrode and the substrate is improved, the current distribution on the plating electrode becomes more uniform, and it is also possible to reduce the occurrence of defects in the metal foil to be manufactured.

도 1은 본 발명의 도금용 전극을 나타낸 모식적 단면도(도 1의 (a): 두꺼운 전극의 사용, 도 1의 (b): 얇은 전극의 사용)
도 2는 본 발명의 도금용 전극을 나타낸 모식적 단면도(도 2의 (a): 두꺼운 전극의 사용, 도 2의 (b): 얇은 전극의 사용)
도 3은 비스를 나타낸 모식적 단면도
도 4는 "두꺼운 전극의 태양"에 따른 두께증가면을 설명하기 위한 모식적 단면도(도 4의 (a): 전극 두께가 접시비스의 두부 치수 이상, 도 4의 (b): 전극 두께가 접시비스의 두부 치수와 동일)
도 5는 "부피 증가를 초래하는 굴곡진 얇은 전극의 양태"에 따른 두께증가면을 설명하기 위한 모식적 단면도(도 5의 (a): 전극의 부피가 접시비스의 두부 치수와 동일, 도 5의 (b): 전극의 부피가 접시비스의 두부 치수와 동일하며 스페이서 부속)
도 6은 본 발명의 두께증가에 기인하는 적합한 밀접상태를 "얇은 전극"과 비교하여 설명하기 위한 모식적 단면도
도 7은 "두꺼운 전극의 양태"에 관한 바람직한 구체예를 나타낸 모식적 단면도
도 8은 도 7의 구체예의 유의성을 설명하기 위한 모식적 단면도
도 9는 본 발명의 제조장치의 예시적인 양태를 나타내는 모식적 사시도
도 10은 본 발명의 도금용 전극으로서, 기체에 대한 전극부재의 고정화 또는 안정화에 기여하는 홈을 구비하는 양태를 나타낸 모식적 단면도(도 10의 (a): 스페이서 없음, 도 10의 (b): 스페이서 있음, 도 10의 (c): 특수 형상의 접시비스 사용)
도 11은 전기도금으로 연속적인 금속박을 제조하는 양태를 설명하기 위한 모식적 단면도 1 is a schematic cross-sectional view showing a plating electrode of the present invention (FIG. 1 (a): use of thick electrode, FIG. 1 (b): use of thin electrode)
Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing the electrode for plating of the present invention (Fig. 2 (a): use of a thick electrode, Figure 2 (b): use of a thin electrode)
3 is a schematic cross-sectional view showing bis
Figure 4 is a schematic cross-sectional view for explaining the thickness increase surface according to the "thick electrode aspect" (FIG. 4 (a): electrode thickness equal to or greater than the head size of the plate plate, Fig. 4 (b): electrode thickness plate Same as Vis's head size)
Figure 5 is a schematic cross-sectional view for explaining the thickness increase surface according to "Aspects of curved thin electrodes causing volume increase" (Fig. 5 (a): the volume of the electrode is the same as the head size of the plate vice, Fig. 5 (b): The volume of the electrode is the same as the head of the plate and a spacer is attached)
Figure 6 is a schematic cross-sectional view for explaining a suitable close state due to the thickness increase of the present invention in comparison with a "thin electrode"
Fig. 7 is a schematic cross-sectional view showing a preferred specific example of the "mode of thick electrode";
Figure 8 is a schematic cross-sectional view for explaining the significance of the specific example of Figure 7
9 is a schematic perspective view showing an exemplary embodiment of the manufacturing apparatus of the present invention;
10 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of an electrode for plating according to the present invention having a groove contributing to fixation or stabilization of an electrode member to a substrate (FIG. 10(a): no spacer, FIG. 10(b) : with spacer, Fig. 10 (c): use of special-shaped plate screws)
Figure 11 is a schematic cross-sectional view for explaining an aspect of manufacturing a continuous metal foil by electroplating

이하, 본 발명에 따른 도금용 전극 및 전해금속박의 제조방치를 상세하게 설명한다. 필요에 따라서 도면을 참조하여 설명을 하지만, 도시되는 내용은, 본 발명의 이해를 위하여 모식적 및 예시적으로 나타낸 것에 불과하며, 외관이나 치수비 등은 실물과 다를 수 있다.Hereinafter, the method for manufacturing the electrode for plating and the electrolytic metal foil according to the present invention will be described in detail. Although the description is made with reference to the drawings as necessary, the contents shown are only shown schematically and exemplarily for the understanding of the present invention, and the appearance or size ratio may be different from the real thing.

본 발명의 설명에 있어서 사용하는 '단면시'라는 표현은, 도금용 전극의 두께방향을 따라서 잘라낸 단면도에 상당하고, 실질적으로는 대상물을 측방에서 포착한 도면에 상당할 수 있다. 다른 관점에서 말하면, '단면시'는, 도금용 양극과 쌍을 이루는 음극 드럼의 회전축이 법선이 되는 면으로 잘라낸 도면에 상당할 수 있다. 또한, 본 발명의 도금용 전극에 관련하여 직접적 또는 간접적으로 사용하는 '상(또는 상측)'은, 사용시에 대극(즉, 드럼 형상의 전극)에 보다 근접한 위치가 되는 방향을 가리키고 있으며, 또한 그 역방향이 '하(또는 하측 혹은 바닥측)'에 상당한다.The expression "cross-sectional view" used in the description of the present invention corresponds to a cross-sectional view cut along the thickness direction of the electrode for plating, and may substantially correspond to a drawing of an object captured from the side. From another point of view, 'cross-sectional view' may correspond to a drawing cut along a surface on which a rotating shaft of a negative electrode drum paired with a positive electrode for plating is a normal line. In addition, 'top (or upper side)' used directly or indirectly in relation to the plating electrode of the present invention indicates a direction closer to the counter electrode (ie, drum-shaped electrode) during use, and also The reverse direction corresponds to 'lower (or lower side or bottom side)'.

<<본 발명의 도금용 전극>><<Plating electrode of the present invention>>

본 발명의 도금용 전극은, 전해금속박의 제조에 사용되는 전극이다. 이러한 도금용 전극은, 전주를 위한 전극이라고 할 수 있으며, "전주용 전극" 등으로 칭할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 말하는 '전해금속박'이라는 용어는, 전기도금의 원리로 제조되는 금속박을 실질적으로 가리키고 있다. 전해금속박으로서는, 동, 니켈 및 철로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하여 이루는 금속박을 들 수 있다. 전형적인 예를 하나 들면, 전해금속박은 동박이다.The electrode for plating of this invention is an electrode used for manufacture of an electrolytic metal foil. Such plating electrodes can be referred to as electrodes for electric poles, and can be referred to as "electrode for electric poles". In addition, the term 'electrolytic metal foil' as used herein substantially refers to a metal foil manufactured by the principle of electroplating. Examples of the electrolytic metal foil include a metal foil comprising at least one selected from the group consisting of copper, nickel, and iron. Taking one typical example, the electrolytic metal foil is copper foil.

도 1의 (a) 및 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 도금용 전극(100)은, 드럼 형상의 대극(200)과 대향하도록 이용되는 전극이다. 금속박 제조의 적합한 예에 따르면, 본 발명의 도금용 전극(100)은 "양극"에 상당하는 한편, 대극(200)이 "음극"에 상당한다. 전해금속박의 제조시에는 양극과 음극의 전극 사이가 통전됨으로써, 전해석출에 기인하여 음극 상에 금속박(보다 정확하게는, 금속박의 전구체가 되는 금속층)이 형성된다. 예를 들어, 양극으로서 사용되는 도금용 전극은, 이른바 불용성 양극인 것이 바람직하다. 불용성 양극의 경우, 양극의 용해에 의하여 도금금속성분이 공급되는 것이 아니라, 전해조의 전해액에 원래 포함되는 성분이 도금금속성분의 제공원이 된다.As shown in FIG. 1(a) and FIG. 1(b), the plating electrode 100 of the present invention is an electrode used so as to face the drum-shaped counter electrode 200. According to a suitable example of metal foil production, the plating electrode 100 of the present invention corresponds to the "anode", while the counter electrode 200 corresponds to the "cathode". During production of the electrolytic metal foil, a metal foil (more precisely, a metal layer serving as a precursor of the metal foil) is formed on the cathode due to electrolytic deposition by energizing between the electrodes of the anode and cathode. For example, it is preferable that the electrode for plating used as an anode is what is called an insoluble anode. In the case of an insoluble anode, plating metal components are not supplied by dissolution of the anode, but components originally included in the electrolytic solution of the electrolytic cell serve as a source of plating metal components.

음극이 되는 대극은, 전체적으로 드럼 형상을 가지고, 회전 가능하게 설치되어 있다. 여기에서 말하는 '드럼 형상'이란, 대극이 금속박의 연속 제조에 이바지하는 원통 형상 또는 대략 원통 형상을 가지는 것을 가리키고 있다. 한편, 양극이 되는 전극은, 드럼 형상의 음극과 이격하여 그 일부를 둘러싸도록 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명에 따른 양극의 도금용 전극은, 그 단면시에서 드럼 윤곽의 적어도 일부를 따르도록 만곡한 형태를 가질 수 있다. 도시하는 양태로부터 알 수 있듯이, 전해금속박 제조용의 전극(100)은, 단면시에서 전체적으로 원호 형상을 이루고 있다.The counter electrode serving as the cathode has a drum shape as a whole and is rotatably installed. The term "drum shape" as used herein indicates that the counter electrode has a cylindrical shape or substantially cylindrical shape that contributes to the continuous production of metal foil. On the other hand, it is preferable that the electrode serving as the anode be arranged so as to surround a part of the drum-shaped cathode while being spaced apart from it. That is, the plating electrode of the anode according to the present invention may have a curved shape so as to follow at least a part of the contour of the drum in its cross-section. As can be seen from the illustrated aspect, the electrode 100 for electrolytic metal foil production has an arc shape as a whole in cross section.

본 발명의 도금용 전극은, 전극부재와, 그 전극부재가 장착되는 기체로 적어도 구성되어 있다. 즉, 도 1의 (a) 및 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 도금용 전극(100)은, 대극(200)과 직접적으로 대향하는 전극부재(10)를 가지는 동시에, 그 전극부재가 고정화되는 기체(20)를 가지며 이루어진다. 전극부재(10)는, 전주시에 있어서 양극으로서 실질적으로 기능하는 부재로서, 바람직하게는 불용성 양극으로서 기능하는 부재이다.The electrode for plating of the present invention is constituted at least by an electrode member and a body on which the electrode member is mounted. That is, as shown in Fig. 1 (a) and Fig. 1 (b), the plating electrode 100 has an electrode member 10 directly opposed to the counter electrode 200, and the electrode member It is made with a gas 20 to be immobilized. The electrode member 10 is a member that substantially functions as an anode during electrification, preferably a member that functions as an insoluble anode.

본 발명의 도금용 전극은, 전극부재가 특이한 표면 레벨을 가지는 것을 특징으로 하고 있다. 구체적으로는, 본 발명의 도금용 전극에 있어서는, 전극부재가, 드럼 형상의 대극에 대향하는 면으로서 두께증가면을 가지고 있다. 두께증가면은 표면 레벨(즉, 전극표면 높이)이 증가한 면인 바, 본 발명의 도금용 전극은, 전극부재의 표면 레벨, 특히 쌍을 이루는 음극 드럼과 직접적으로 대향하는 표면 레벨(즉, 상면 레벨)이 높다는 특징을 가지고 있다.The electrode for plating of the present invention is characterized in that the electrode member has a unique surface level. Specifically, in the plating electrode of the present invention, the electrode member has an increased thickness surface as a surface facing the drum-shaped counter electrode. The thickness increase surface is a surface level (ie, electrode surface height) increased bar, the electrode for plating of the present invention, the surface level of the electrode member, in particular, the surface level directly opposed to the paired cathode drum (ie, the upper surface level) ) is characterized by a high

상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 본 명세서에서 말하는 '두께증가면'이란, 넓은 의미로는, 도금용 전극의 표면 레벨이, 대극에 의하여 가까워지도록 증가한 형태를 가지는 것을 실질적으로 의미하고 있다. 좁은 의미로는, '두께증가면'은, 도금용 전극에 있어서의 전극부재의 상측 주면 레벨(기체와 직접적으로 대향하는 바닥측 주면과 반대측에 위치하는 주면의 레벨)이 대극에 의하여 가까워지도록 증가한 형태를 가지는 것을 실질적으로 의미하고 있다. 이와 같은 것으로부터, 본 발명에 있어서의 '두께증가면'은, "리프트 레벨면" 또는 "바닥 올림면" 등으로 부를 수도 있다. 예시하면, 두께증가면은, 전극부재가 기체에 장착된 상태에 있어서, 기체의 표면(전극부재에 대하여 보다 가까운 위치의 설치 기체면)으로부터의 이격거리가, 예를 들어 2mm보다 큰 레벨, 바람직하게는 3mm보다 큰 레벨(하나의 예시로서 5mm보다 큰 레벨)에 위치하는 면이다. 이러한 이격거리의 상한값은, 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 30mm, 20mm, 15mm, 10mm, 8mm 또는 5mm 등이다.As can be seen from the above description, in a broad sense, the term "thickness increase face" in this specification substantially means that the surface level of the plating electrode has an increased shape so as to approach the counter electrode. In a narrow sense, the 'thickness increasing surface' is increased so that the level of the upper main surface of the electrode member in the electrode for plating (the level of the main surface on the bottom side directly facing the substrate and the main surface located on the opposite side) becomes closer by the counter electrode. It literally means to have a form. For this reason, the 'thickening surface' in the present invention can also be called a "lift level surface" or a "floor raised surface". For example, the thickness increase surface is a level where the separation distance from the surface of the body (the surface of the body to be installed closer to the electrode member) is greater than 2 mm, for example, in a state where the electrode member is mounted on the body. Preferably, it is a plane located at a level greater than 3 mm (a level greater than 5 mm as an example). The upper limit of the separation distance is not particularly limited, but is, for example, 30 mm, 20 mm, 15 mm, 10 mm, 8 mm, or 5 mm.

전극부재가 "두께증가면"을 가지는 예시 양태로서는, 도 1의 (a)에 나타내는 바와 같이 전극부재(10)가 속이 채워진 두꺼운 전극의 형태를 가지고 있는 태양을 들 수 있다. 또는, 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이 전극부재(10)가 얇은 전극으로서, 그 얇은 전극이 부피가 증가하도록 굴곡져 있는 형태를 가지는 태양이어도 좋다. 전자는, 속이 채워진 두꺼운 전극의 두꺼운 두께에 기인하여, 그 두꺼운 전극의 상측 표면이 "두께증가면"에 상당하게 되어 있고, 후자는, 얇은 전극의 부피가 증가한 굴곡 형태에 기인하여, 그 얇은 전극의 상측 표면이 "두께증가면"에 상당하고 있다.As an exemplary embodiment in which the electrode member has an "increased thickness", an embodiment in which the electrode member 10 has the form of a thick electrode filled inside as shown in Fig. 1 (a) can be cited. Alternatively, as shown in FIG. 1(b), the electrode member 10 may be a thin electrode, and the thin electrode may have a shape in which the thin electrode is curved so as to increase in volume. In the former, due to the thick thickness of the filled thick electrode, the upper surface of the thick electrode corresponds to a "thickness increase surface", and in the latter, due to the curved shape in which the volume of the thin electrode increases, the thin electrode The upper surface of corresponds to the "thickness increase surface".

도 1의 (a) 및 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 도금용 전극(100)은, 전극부재(10)를 기체(20)에 장착하기 위한 비스(30)를 더 가지고 이루어지는 것이 바람직하다. 즉, 전극부재(10)를 기체(20)에 고정하는 부재로서, 본 발명의 도금용 전극(100)은, 비스(30)를 가지고 이루어지는 것이 바람직하다. 한편, 도 2의 (a) 및 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 이러한 비스(30)는 테이퍼 측면(35)을 가지고 있는 것이 바람직하다. 이러한 경우, 전극부재(10)의 측면 부분(12)(도 2의 (a)) 또는 두께증가면(15)(도 2의 (b))은, 비스(30)의 테이퍼 측면(35)과 상보적인 형상을 가지고 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 전극부재와 비스의 정합성이 향상되고, 도금용 전극으로서 전체의 일체성이 증가하게 된다. 또한, 어느 태양에서는, 그와 같은 상보적인 관계에 의하여, 보다 틈이 없는 적합한 전극면이 초래되는 동시에, 비스를 통한 적합한 방열이 초래되게 된다("방열"에 대하여는 나중에 상술함).As shown in Fig. 1 (a) and Fig. 1 (b), it is preferable that the plating electrode 100 further has a screw 30 for attaching the electrode member 10 to the base body 20 do. That is, as a member for fixing the electrode member 10 to the substrate 20, the plating electrode 100 of the present invention preferably has bis 30. On the other hand, as shown in FIG. 2(a) and FIG. 2(b), it is preferable that such a screw 30 has a tapered side surface 35. In this case, the side portion 12 (FIG. 2 (a)) or the thickness increasing surface 15 (FIG. 2 (b)) of the electrode member 10 is the tapered side surface 35 of the bis 30 and It is desirable to have a complementary shape. Accordingly, the matching between the electrode member and the bis is improved, and the overall integrity of the electrode for plating is increased. Further, in a certain aspect, such a complementary relationship results in a suitable electrode surface with no gaps, and at the same time, suitable heat dissipation through the vis is brought about ("heat dissipation" will be described later in detail).

비스(30)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 두부(32)와 나사절삭부(37)로 적어도 구성되며, 이러한 두부(32)의 측면(35)이 테이퍼 형상으로 되어 있는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 비스(30)에 있어서는 두부(32)가 하측을 향하여(즉, 나사절삭부(37)를 향하여) 점차 폭치수를 줄이도록 되어 있는 것이 바람직하다. 전극부재(10)의 측면 부분(12)은, 그 테이퍼 형상 측면(35)을 구비한 비스 두부(32)에 대하여 바람직하게는 상보적인 형상으로 되어 있다(도 2의 (a)를 참조). 보다 바람직하게는, 전극부재(10)가 기체(20)에 설치된 상태에서는, 전극부재(10)의 측면 부분(12)은, 비스(30)의 나사절삭부(37)에 접하지 않고 비스(30)의 두부(32)의 테이퍼 형상 측면(35)에 대하여 상보적으로 밀접하고 있다. 마찬가지로 하여서, 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 전극부재(10)의 두께증가면(15)의 일부(15A)는, 그 테이퍼 형상 측면(35)을 구비한 비스 두부(32)에 대하여 바람직하게는 상보적인 형상으로 되어 있다. 보다 바람직하게는, 전극부재(10)가 기체(20)에 장착된 상태에 있어서, 전극부재(10)의 두께증가면(15)의 일부(15A)는, 비스(30)의 나사절삭부(37)에 접하지 않고 비스(30)의 두부(32)의 테이퍼 형상 측면(35)에 대하여 상보적으로 밀접하고 있다.As shown in Fig. 3, the screw 30 is constituted at least by a head 32 and a thread cutting portion 37, and it is preferable that the side surface 35 of the head 32 is tapered. Specifically, in the screw 30, it is preferable that the head 32 is directed downward (ie, toward the thread cutting portion 37) so that the width dimension is gradually reduced. The side surface portion 12 of the electrode member 10 preferably has a complementary shape to the screw head 32 having the tapered side surface 35 (see Fig. 2(a)). More preferably, in a state where the electrode member 10 is installed on the base body 20, the side surface portion 12 of the electrode member 10 does not come into contact with the screw cutting portion 37 of the screw 30, and the screw ( 30) is in complementary close contact with the tapered side surface 35 of the head 32. Similarly, as shown in FIG. 2(b), a part 15A of the thickness increasing surface 15 of the electrode member 10 is relative to the screw head 32 provided with the tapered side surface 35. It is preferably in a complementary shape. More preferably, in a state in which the electrode member 10 is mounted on the base body 20, a part 15A of the thickness increasing surface 15 of the electrode member 10 is a thread cutting portion of the screw 30 ( 37) and is in complementary close contact with the tapered side surface 35 of the head 32 of the screw 30.

본 발명의 도금용 전극에 있어서의 전극부재는, "두께증가면"에 기인하여, 전극 표면 레벨이 높아져 있다. 예를 들어, 전극부재에 있어서 두께증가면으로부터 '전극부재와 기체의 접속레벨'까지의 수직거리 치수가, 비스에 있어서의 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수 또는 그보다 크게 되어 있다. 도 4 및 도 5에 나타내는 태양으로 말하자면, 두께증가면(15)을 기준으로 하여, 그로부터 '전극부재(10)와 기체(20)의 접속 레벨'까지의 수직거리 치수(H1)가, 비스(30)의 테이퍼 높이 치수(H2)와 실질적으로 동일하거나, 또는 그보다 커져 있다고 할 수 있다. 이러한 설명으로부터 알 수 있듯이, 본 명세서에서 사용하는 '수직거리 치수'라는 용어에 관한 "수직"은, 두께증가면(특히, 비굴곡 부분에 있어서의 두꺼운 면)에 대하여 법선 또는 수직선이 되는 방향을 의미하고 있다.The electrode member in the plating electrode of the present invention has a high electrode surface level due to the "thickness increase surface". For example, in the electrode member, the vertical distance dimension from the thickness increasing surface to the 'connection level between the electrode member and the base' is larger than or equal to the taper height dimension corresponding to the installation portion of the taper side surface in the bis. 4 and 5, the vertical distance dimension H1 from the thickness increasing surface 15 to the 'connection level between the electrode member 10 and the base body 20' is bis ( 30) is substantially equal to or larger than the taper height dimension H2. As can be seen from this description, "perpendicular" in relation to the term 'vertical distance dimension' used in this specification refers to a direction that becomes a normal line or a vertical line with respect to the thickness increasing surface (especially, the thick surface in the non-bending portion). It means.

도 4의 (a) 및 (b)의 태양에 따라서 설명하면, 속이 채워진 두꺼운 전극(10A)의 상측 표면 레벨로부터, 그 두꺼운 전극(10A)이 기체(20)와 접촉하는 면까지의 최단거리치수(H1)는, 비스(30)의 테이퍼 높이 치수(H2) 이상으로 되어 있어도 좋다. 또한, 도 5의 (a) 및 (b)의 태양에서는, 부피 증가한 굴곡 형태를 가지는 얇은 전극(10B)의 상측 표면 레벨로부터, 그 얇은 전극(10B)이 기체(20)와 접촉하는 포인트(18)에 있어서의 레벨까지의 최단거리치수(H1)가, 비스(30)의 테이퍼 높이 치수(H2)와 실질적으로 동일하게 되어 있어도 좋다.4 (a) and (b), the shortest distance from the upper surface level of the thick electrode 10A filled with the inside to the surface where the thick electrode 10A contacts the substrate 20 (H1) may be equal to or greater than the taper height dimension (H2) of the screw 30. 5 (a) and (b), the point 18 at which the thin electrode 10B contacts the substrate 20 from the upper surface level of the thin electrode 10B having a curved shape with increased volume. The shortest distance dimension H1 to the level in ) may be substantially the same as the taper height dimension H2 of the screw 30.

이와 같은 치수 특징을 가지는 "두께증가면"은, 금속박 제조에 있어서의 양극과 음극의 전극간 거리에 관하여 보다 적합하게 기여한다. 즉, 전극부재의 "두께증가면"에 기인하여, 전극간 거리를 보다 줄일 수 있어, 전해조의 전압을 보다 낮은 상태에서 운전하는 것이 가능해진다. 따라서, 금속박 제조시의 전력 코스트를 저감할 수 있게 된다. 또한, 전극간 거리를 보다 줄일 수 있으므로, 도금용 전극에 있어서의 전류분포가 보다 균일화되기 쉬워져, 제조되는 금속박의 불량 발생을 줄이는 것도 가능해질 수 있다.The "thickness increasing surface" having such dimensional characteristics contributes more appropriately to the distance between the electrodes of the anode and the cathode in metal foil production. That is, due to the "thickness increase surface" of the electrode member, the distance between the electrodes can be further reduced, and it becomes possible to operate the electrolytic cell in a lower voltage state. Therefore, it becomes possible to reduce the electric power cost at the time of metal foil manufacture. In addition, since the distance between electrodes can be further reduced, the current distribution in the plating electrode becomes more uniform, and it can also be possible to reduce the occurrence of defects in the metal foil to be manufactured.

본 발명의 도금용 전극은, "두께증가면"에 기인하여, 전극부재의 측면 부분의 단면윤곽 또는 두께증가면의 단면윤곽이 특징적인 형태를 가질 수 있다. 어느 적합한 태양에서는, 전극부재의 단면시에서 전극부재의 측면 부분 또는 두께증가면의 윤곽이 굴곡진 형태를 가지고 있다.The electrode for plating of the present invention may have a characteristic shape of the cross-sectional contour of the side portion of the electrode member or the cross-sectional contour of the thickness-increasing surface due to the "thickness increasing surface". In a suitable aspect, the contour of the side portion or thickness increase surface of the electrode member has a curved shape in a cross-sectional view of the electrode member.

보다 구체적으로는, 도 4의 (a)의 태양과 같이, 속이 채워진 두꺼운 전극(10A)의 측면 부분(12)(특히, 비스와 직접적으로 대향하는 측면 부분(12))의 단면윤곽이 굴곡진 형태를 가지고 있어도 좋다. 또한, 도 5의 (a)의 태양과 같이, 부피가 증가한 입체 형태를 가지는 얇은 전극(10B)의 두께증가면(15)의 단면윤곽의 일부(15')(특히, 비스 꼭대기면에 인접하는 부분(15'))가 굴곡진 형태를 가지고 있어도 좋다. 이와 같은 굴곡진 형태는, 높은 레벨의 "두께증가면"에 기인하므로, 금속박 제조에 있어서의 양극과 음극 사이의 거리 저감에 의하여 적합하게 이바지하는 특징이라고 할 수 있다.More specifically, as in the aspect of FIG. 4(a), the cross-sectional contour of the side portion 12 (particularly, the side portion 12 directly facing the bis) of the filled thick electrode 10A is curved. It may have a shape. In addition, as shown in (a) of FIG. 5, a portion 15 'of the cross-sectional contour of the thickness increasing surface 15 of the thin electrode 10B having a three-dimensional shape with an increased volume (in particular, adjacent to the bis top surface) The portion 15') may have a curved shape. Since such a curved shape results from a high level of "thickness increase surface", it can be said that it is a characteristic that favorably contributes by reducing the distance between the anode and the cathode in metal foil production.

본 발명의 도금용 전극은, 바람직하게는 비스와 함께 사용되는 것인 바, 전극부재에 관련하여 적합한 설치형태를 가지고 있다. 예를 들어, 비스에 의하여 전극부재가 기체에 장착된 상태에서는, 비스의 꼭대기면과 전극부재의 두께증가면이 면일하게 된다. 도 4에 나타내는 태양에 따라 말하자면, 속이 채워진 두꺼운 전극(10A)의 상측 표면 레벨이 비스(30)의 꼭대기면 레벨(두부의 상측면 레벨)과 실질적으로 동일해질 수 있다. 또한, 도 5에 나타내는 태양에서는, 부피가 증가한 굴곡 형태를 가지는 얇은 전극(10B)의 상측 표면 레벨이 비스(30)의 꼭대기면 레벨(두부의 상측면 레벨)과 실질적으로 동일해 질 수 있다. 이와 같은 "면일"에 의하여, 보다 매끄러운 전극면이 초래될 수 있다. 도 4 및 도 5로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에서는, "두께증가면"이기 때문에, 전극부재에 있어서 두께증가면으로부터의 기체와의 접촉레벨까지의 수직거리치수(H1)가 비스(30)의 테이퍼 높이치수(H2) 또는 그보다 커지면서도, 비스(30)의 꼭대기면과 전극부재(10)의 두께증가면이 면일하게 된다. 이와 같은 특징도 또한, 높은 레벨의 "두께증가면"에 기인하므로, 전주에 있어서의 전극간 거리 저감에 의하여 적합하게 이바지하는 특징이라고 할 수 있다.The electrode for plating of the present invention is preferably used with a bis, and has a suitable installation form in relation to the electrode member. For example, in a state where the electrode member is attached to the body by the bis, the top surface of the bis and the thickness increasing surface of the electrode member are flush with each other. According to the aspect shown in Fig. 4, the upper surface level of the filled thick electrode 10A can be substantially the same as the top surface level of the bis 30 (the upper surface level of the head). 5, the upper surface level of the thin electrode 10B having a curved shape with increased volume can be substantially equal to the top surface level of the bis 30 (the upper surface level of the head). By such "surfacing", a smoother electrode surface can be obtained. As can be seen from FIGS. 4 and 5, in the present invention, since it is a "thickness increasing surface", in the electrode member, the vertical distance dimension H1 from the thickness increasing surface to the contact level with the gas is bis 30 ) of the taper height dimension (H2) or larger than that, the top surface of the bis 30 and the thickness increasing surface of the electrode member 10 are flush with each other. Since such a feature is also due to a high level of "thickness increase surface", it can be said that it is a feature that contributes favorably by reducing the distance between electrodes in the pole.

본 발명의 도금용 전극에 있어서의 '전극부재', '기체' 및 '비스'에 대하여 상술해 두겠다.The 'electrode member', 'substrate' and 'vis' in the plating electrode of the present invention will be described in detail.

전극부재는, 상술한 바와 같이, 전주시에서 실질적으로 양극으로서 기능하는 부분으로서, 바람직하게는 불용성 양극이다. 전극부재의 재질은, 특별히 제한하는 것은 아니지만, 밸브금속이어도 좋다. 보다 구체적으로 말하자면, 전극부재는, 탄탈, 니오브, 티탄, 하프늄, 지르코늄, 텅스텐, 비스무트 및 안티몬으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하여 이루어져 있어도 좋다. 어디까지나 예시이지만, 내식성 및/또는 범용성 등의 관점으로부터, 어느 적합한 양태에 따른 전극부재는 티탄 또는 티탄합금을 포함하여 이루어진다.As described above, the electrode member is a part that substantially functions as an anode during electric charging, and is preferably an insoluble anode. The material of the electrode member is not particularly limited, but may be a valve metal. More specifically, the electrode member may contain at least one metal selected from the group consisting of tantalum, niobium, titanium, hafnium, zirconium, tungsten, bismuth and antimony. Although it is only an example, from the viewpoint of corrosion resistance and/or versatility, the electrode member according to a certain preferred embodiment contains titanium or a titanium alloy.

전극부재는, "두께증가면"을 가지는 바, 그 두께증가면으로부터 기체와의 접촉면 또는 접촉레벨까지의 수직거리 치수(즉, 도 4 및 도 5의 "H1")는, 바람직하게는 2mm보다 크고, 보다 바람직하게는 3mm보다 크게 되어 있다. 이러한 수직거리 치수의 상한값은, 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 쇼트방지 등의 관점에서 30mm, 20mm, 15mm, 10mm, 8mm 또는 5mm이어도 좋다.The electrode member has a "thickness increasing surface", and the vertical distance from the thickness increasing surface to the contact surface or contact level with the gas (i.e., "H1" in Figs. 4 and 5) is preferably greater than 2 mm. It is large, and more preferably larger than 3 mm. The upper limit of this vertical distance dimension is not particularly limited, but may be, for example, 30 mm, 20 mm, 15 mm, 10 mm, 8 mm, or 5 mm from the viewpoint of short circuit prevention or the like.

한편, 전극부재의 표면은 전극촉매를 포함하고 있어도 좋다. 예를 들어, 백금족 금속 또는 그 산화물이 전극부재의 표면에 코팅되어 있어도 좋다. 즉, 팔라듐, 로듐, 루테늄, 백금, 이리듐 및 오스뮴으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 적어도 1종의 백금족 금속, 및/또는 그들 백금족 금속의 산화물을 적어도 포함하여 이루어지는 전극촉매가 전극부재의 두께증가면에 대하여 설치되어 있어도 좋다. 그와 같은 전극촉매층이 설치되는 경우, 촉매층이 실질적으로 두께증가면의 표면을 이룰 수 있다. 어디까지나 하나의 예시에 불과하지만, 어느 적합한 양태에 따른 전극부재에는 이리듐원소 및 탄탈원소를 포함하여 이루어지는 촉매가 사용된다.On the other hand, the surface of the electrode member may contain an electrode catalyst. For example, a platinum group metal or an oxide thereof may be coated on the surface of the electrode member. That is, an electrode catalyst comprising at least one platinum group metal selected from the group consisting of palladium, rhodium, ruthenium, platinum, iridium, and osmium, and/or an oxide of those platinum group metals is used to increase the thickness of the electrode member. It may be installed. When such an electrode catalyst layer is provided, the catalyst layer can substantially form the surface of the increased thickness. Although it is only an example, a catalyst comprising an iridium element and a tantalum element is used for an electrode member according to any preferred embodiment.

기체는, 전극부재가 고정화되는 전주부재인 바, 금속재질로 이루어져 있는 것이 바람직하다. 예를 들어, 그와 같은 전극기체가 밸브금속을 포함하여 이루어져 있어도 좋다. 즉, 전극부재가 고정화되는 기체는, 탄탈, 니오브, 티탄, 하프늄, 지르코늄, 텅스텐, 비스무트 및 안티몬으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하여 이루어져 있어도 좋다. 어디까지나 예시에 불과하지만, 어느 적합한 태양에 따른 기체는 티탄 또는 티탄합금을 포함하여 이루어진다. 티탄 또는 티탄합금은, 내식성 등의 관점에서 바람직하기 때문이다. 기체의 두께는, 전주에 사용되는 전극부재의 고정화에 이바지하는 것이라면 특별히 제한은 없고, 예를 들어 10mm~40mm 정도여도 좋다. 한편, 도 9에 나타내는 태양으로부터 알 수 있는 바와 같이, 기체(20)는 전해조(50)의 벽의 적어도 일부를 이루고 있어도 좋다. 예를 들어, 전해액을 저장해 두는 것에 직접적으로 이바지는 전해조 내벽이 만곡 형태(특히, 단면시 원호 형상)를 가지고 있고, 그 만곡 형태의 전해조 내벽의 적어도 일부가 기체로 되어 있어도 좋다.The base is a pole member to which the electrode member is fixed, and is preferably made of a metal material. For example, such an electrode base may contain valve metal. That is, the base on which the electrode member is immobilized may contain at least one metal selected from the group consisting of tantalum, niobium, titanium, hafnium, zirconium, tungsten, bismuth and antimony. Although merely illustrative, the base body according to any suitable aspect comprises titanium or a titanium alloy. This is because titanium or a titanium alloy is preferable from the viewpoint of corrosion resistance and the like. The thickness of the substrate is not particularly limited as long as it contributes to the immobilization of the electrode member used in the electric pole, and may be, for example, about 10 mm to 40 mm. On the other hand, as can be seen from the aspect shown in FIG. 9 , the substrate 20 may form at least a part of the wall of the electrolytic cell 50 . For example, to directly contribute to storing the electrolyte, the inner wall of the electrolytic cell may have a curved shape (particularly, an arc shape in cross section), and at least a part of the inner wall of the curved electrolytic cell may be made of gas.

비스는, 전극부재와 기체의 상호 고정화에 이용되는 바, 금속재질로 이루어져 있어도 좋다. 예를 들어, 비스가 밸브금속을 포함하여 이루어져 있어도 좋다. 즉, 비스는, 탄탈, 니오브, 티탄, 하프늄, 지르코늄, 텅스텐, 비스무트 및 안티몬으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하여 이루어져 있어도 좋다. 어디까지나 예시이지만, 어느 적합한 태양에 따른 비스는, 내식성 및/또는 범용성 등의 관점에서 티탄 또는 티탄합금을 포함하여 이루어진다.Since bis is used for mutual immobilization of the electrode member and the substrate, it may be made of a metal material. For example, the bis may contain valve metal. That is, bis may contain at least one metal selected from the group consisting of tantalum, niobium, titanium, hafnium, zirconium, tungsten, bismuth, and antimony. Although it is an example only, the bis which concerns on a suitable aspect consists of titanium or a titanium alloy from viewpoints, such as corrosion resistance and/or versatility.

도 3에 나타내는 바와 같이, 비스(30)는, 두부(32)와 나사절삭부(37)로 적어도 구성되며, 이러한 두부(32)의 측면(35)이 테이퍼 형상으로 되어 있는 것이 바람직하다. 도 3에 나타내는 테이퍼 각도(α)는, 바람직하게는 10°~80°, 보다 바람직하게는 20°~70°, 더욱 바람직하게는 30°~60°이다. 이러한 테이퍼 측면은, 예를 들어 기계가공에 의하여 설치할 수 있다. 또는, 시판의 테이퍼 부착 비스를 그대로 사용하여도 좋다. 테이퍼 측면(35)이 설치되어 있는 두부(32)의 높이 치수(H2)(도 3을 참조)는, 본 발명의 두께증가면의 실현화에 기여하기 위하여, 종전의 것보다 크게 되어 있어도 좋다. 즉, 어느 적합한 태양에 따른 비스는, 당업자(특히, 전해금속박의 제조에 있어서의 당업자)의 통상의 인식으로 크다고 여겨지는 높이 치수의 두부를 구비하고 있다고 할 수 있다. 예를 들어, 두부(32)의 높이 치수(H2)는, 2mm보다 크고, 바람직하게는 3mm보다 크다. 이러한 비스의 두부의 높이치수의 상한값은, 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 30mm, 20mm, 15mm, 10mm, 8mm 또는 5mm이어도 좋다.As shown in Fig. 3, the screw 30 is constituted at least by a head 32 and a thread cutting portion 37, and it is preferable that the side surface 35 of the head 32 is tapered. The taper angle α shown in FIG. 3 is preferably 10° to 80°, more preferably 20° to 70°, still more preferably 30° to 60°. Such tapered sides can be installed, for example, by machining. Alternatively, a commercially available tapered screw may be used as it is. The height dimension H2 (see Fig. 3) of the head 32 provided with the tapered side surface 35 may be larger than the previous one in order to contribute to the realization of the thickening surface of the present invention. That is, it can be said that the bis according to a certain preferred aspect has a head having a height dimension considered to be large in the ordinary perception of those skilled in the art (particularly, those skilled in the manufacture of electrolytic metal foil). For example, the height dimension H2 of the head 32 is larger than 2 mm, preferably larger than 3 mm. The upper limit of the height of the head of the screw is not particularly limited, but may be, for example, 30 mm, 20 mm, 15 mm, 10 mm, 8 mm or 5 mm.

본 발명의 도금용 전극은, 다양한 태양으로 구현화될 수 있다. 대표적으로는, 상술한 '두꺼운 전극의 태양' 및 '부피의 증가를 초래하는 굴곡진 얇은 전극의 태양'으로써 구현화할 수 있다.The electrode for plating of the present invention can be implemented in various aspects. Representatively, it can be embodied as the above-described 'thick electrode aspect' and 'curved thin electrode aspect causing an increase in volume'.

(두꺼운 전극의 태양)(sun of thick electrode)

이러한 태양에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 전극부재(10)가 속이 채워진 두꺼운 전극(10A)으로 되어 있다. 즉, 전주(특히, 전해금속박의 제조)의 당업자에게 있어서 얇다고 생각되는 전극 두께가 아니라, 이러한 당업자의 인식으로 통상 크다고 생각되는 두께의 전극이 전극부재를 이루고 있다. 예를 들어, 속이 채워진 두꺼운 전극(10A)은, 그 두께가 비스에 있어서의 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수로 되어 있거나, 또는 그보다 크게 되어 있어도 좋다. 바꿔말하면, 속이 채워진 두꺼운 전극의 두께는, 비스의 두부의 높이 치수 이상으로 되어 있어도 좋다. 더욱 말하자면, 두꺼운 전극의 두께는 비스의 테이퍼 측면의 설치부분에 의하여 기체에 고정화되는 강도를 가지도록 되어 있어도 좋다. 이것은, 속이 채워진 두꺼운 전극의 두께는, 비스의 테이퍼 측면의 설치부에 의하여 기체로 고정화하기 위한 강도를 가지기 위하여, 예를 들어 비스 두부(32)의 높이 치수(H2)의 50% 이상이 바람직하다는 것을 의미하고 있다. 즉, 속이 채워진 두꺼운 전극은, 비스의 테이퍼 측면에 의한 지지로 두꺼운 전극을 기체로 고정화 또는 설치할 수 있는 강도를 가지는 두께로 되어 있어도 좋다(그 경우, 속이 채워진 두꺼운 전극의 두께는, 예를 들어 비스 두부(32)의 높이 치수(H2)의 50% 이상으로 되어 있어도 좋다).In this aspect, as shown in Fig. 4, the electrode member 10 is a thick electrode 10A filled with a hollow. That is, the electrode member is formed not of an electrode thickness that is considered thin by those skilled in the art of electric poles (particularly, production of electrolytic metal foil), but of an electrode having a thickness that is usually considered large by those skilled in the art. For example, the filled thick electrode 10A may have a thickness corresponding to the taper height corresponding to the installation portion of the tapered side surface of the bis, or may be larger than that. In other words, the thickness of the thick filled electrode may be greater than or equal to the height of the head of the bis. In other words, the thickness of the thick electrode may be such that it has the strength to be fixed to the body by the mounting portion of the taper side of the bis. This is because the thickness of the filled thick electrode is preferably 50% or more of the height dimension H2 of the head of the screw 32, for example, in order to have the strength to be fixed to the gas by the installation part on the tapered side of the screw. it means that That is, the thick filled electrode may have a thickness that allows the thick electrode to be immobilized or attached to a base by being supported by the tapered side surface of the bis (in that case, the thickness of the thick filled electrode is, for example, bis It may be 50% or more of the height dimension H2 of the head 32).

이와 같은 두꺼운 전극의 두께는, 전극부재의 "두께증가면"의 실현에 적합하게 기여하고, 금속박 제조에 있어서의 양극과 음극의 전극간 거리에 관하여 보다 적합하게 기여한다. 즉, 이러한 두꺼운 전극의 두께에 기인하여, 전극간 거리를 보다 줄일 수 있고, 전해조의 전압을 보다 낮은 상태에서 운전하는 것이 가능해진다. 따라서, 금속박 제조시의 전력코스트를 저감할 수 있다. 또한, 전극간 거리를 보다 줄이는 것뿐만 아니라, 전극의 두께가 증가함으로써, 통전시의 도금용 전극 상 전류분포가 보다 균일화해지기 쉬워져, 제조하는 금속박의 불량 발생을 줄이는 것도 가능해질 수 있다.The thickness of such a thick electrode contributes appropriately to the realization of the "thickness increase surface" of the electrode member, and more appropriately contributes to the distance between the electrodes of the anode and the cathode in metal foil production. That is, due to the thickness of such a thick electrode, the distance between electrodes can be further reduced, and it becomes possible to operate the electrolytic cell in a lower voltage state. Therefore, the power cost at the time of metal foil manufacture can be reduced. In addition, not only can the distance between electrodes be further reduced, but also the thickness of the electrode can be increased, so that the current distribution on the plating electrode at the time of energization can be more uniform, making it possible to reduce the occurrence of defects in the metal foil to be manufactured.

어디까지나 예시에 불과하지만, 속이 채워진 두꺼운 전극의 구체적인 두께는, 예를 들어 2mm보다 크고, 바람직하게는 3mm보다 크다. 이러한 속이 채워진 두꺼운 전극의 상한값은, 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 30mm, 20mm, 15mm, 10mm, 8mm 또는 5mm 등이어도 좋다. 당업자(특히, 전해금속박의 제조에 있어서의 당업자)의 통상의 인식을 감안하면, 이와 같은 두께는, 전해금속박의 제조에 이용하는 양극으로서는 큰 것이다. 종전의 전극 두께가 약 1mm 정도인 바, 본 발명에 따른 속이 채워진 두꺼운 전극은, 종전의 도금전극의 적어도 2배보다 크고, 바람직하게는 3배보다 크다고 할 수 있고, 단적으로는 종전의 전극 두께의 2배~30배, 바람직하게는 3배~20배(예를 들어, 3배~10배, 3배~8배 또는 3배~5배) 등으로 되어 있다. 이와 같은 종전보다 두꺼운 전극은, 당업자에게 있어서 보면, 가공(특히, 비스용 구멍을 위한 가공)이 통상 하기 어렵다고 상기되어, 종전에서는 전해금속박의 양극전극으로서 실제로 사용되는 것이 아니었다. 이러한 점, 본 발명은, 그와 같은 종래의 상식에 사로잡히지 않고, 오히려 적극적으로 큰 전극 두께를 사용하는 것을 통하여 이루어진 것이라고 할 수 있다.Although it is only an example, the specific thickness of the thick filled electrode is, for example, greater than 2 mm, preferably greater than 3 mm. The upper limit of such a thick filled electrode is not particularly limited, but may be, for example, 30 mm, 20 mm, 15 mm, 10 mm, 8 mm, or 5 mm. Considering the common perception of those skilled in the art (particularly those skilled in the production of electrolytic metal foil), such a thickness is large for an anode used for production of an electrolytic metal foil. Since the thickness of the conventional electrode is about 1 mm, the thick filled electrode according to the present invention can be said to be at least twice as large as the conventional plated electrode, and preferably more than three times as large as the conventional electrode. 2 times to 30 times, preferably 3 times to 20 times (for example, 3 times to 10 times, 3 times to 8 times, or 3 times to 5 times). For those skilled in the art, such an electrode thicker than before is recalled as being difficult to process (particularly, processing for holes for vis), and was not actually used as an anode electrode of an electrolytic metal foil in the past. In this regard, it can be said that the present invention was achieved through the active use of a large electrode thickness rather than being obsessed with such conventional common sense.

어느 적합한 태양에서는, 비스(30)에 의하여 두꺼운 전극(10A)이 기체(20)에 설치된 상태에서 두꺼운 전극(10A)이 기체(20)에 전면 접촉하고 있고, 특히 그들이 서로 밀접하고 있다(도 4를 참조). 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 두꺼운 전극(10A)은 비굴곡진 형태를 가지는 바, 이러한 두꺼운 전극(10A)의 하측 주면과 기체(20)의 상측 주면이 밀접하고 있다. 바람직하게는 실질적으로 틈없이 액밀 상태로 두꺼운 전극의 하면 주면과 기체의 상측 주면이 서로 밀접하고 있다. 이것은, 전극부재가 얇은 전극인 경우와 비교하여 현재(顯在)화할 수 있는 특징이다. 이것에 대하여 상술한다. 만일 전극부재가 두껍지 않고 얇은 전극인 경우에는, 비스에 의한 전극부재를 기체에 고정화하는 데에 있어서는, 비스 고정의 점체결에 기인하여 얇은 전극부재가 정도의 차이는 있지만 휘어져 버릴 우려가 있다(도 6의 "얇은 전극의 경우"를 참조). 이에 따라, 기체에 장착된 얇은 전극부재에서는, 기체와의 사이에 미소한 틈이 형성될 수 있게 된다(일반적으로 도시되는 양태에서는, 비록 밀접하고 있도록 그려져 있어도, 실제로는 미소한 틈이 발생하고 있거나, 또는 발생하기 쉬운 상태로 되어 있음). 이러한 점, 본 발명에서는, 두꺼운 전극의 두꺼운 두께에 기인하여, 전극부재에 의하여 높은 강성이 초래되어, 비스 고정의 점체결에 의하여 전극부재가 휘어지기 어려워진다(도 6의 "본 발명"을 참조). 따라서, 두꺼운 전극(10)의 하측 주면과 기체(20)의 상측 주면이 서로 접합하게 밀접할 수 있고, 바람직하게는 실질적으로 틈없이 액밀하게 그들이 밀접할 수 있다. 이것은, 본 발명의 도금용 전극을 사용하면 전류분포가 보다 균일화해지기 쉬워져, 제조하는 금속박의 불량 발생을 줄이기 쉬워지는 것을 의미하고 있다. 또한, 두꺼운 전극(10A)의 경우, 애초에 두꺼운 전극 두께(종전의 얇은 전극보다 두꺼운 전극)에 기인하여 통전시의 전류분포가 양호해지므로, 보다 균일한 도금이 초래될 수 있다. 더욱이는, 두꺼운 전극(10A)의 경우, 전극부재가 기체에 설치된 상태에서는 두꺼운 전극의 두꺼운 측면과 비스의 두부 측면이 서로 밀접한 상태가 될 수 있으므로(도 6의 "본 발명"을 참조), 그 점에서도 통전시의 전류분포가 양호해져 균일한 도금이 달성되기 쉬워진다.In a suitable aspect, the thick electrodes 10A are in full contact with the base 20 in a state where the thick electrodes 10A are attached to the base 20 by the bis 30, especially they are in close contact with each other (FIG. 4 see). As can be seen from FIG. 4 , the thick electrode 10A has a non-curved shape, and the lower main surface of the thick electrode 10A and the upper main surface of the base 20 are in close contact. Preferably, the lower surface of the thick electrode and the upper surface of the substrate are in close contact with each other in a liquid-tight state with virtually no gap. This is a characteristic that can be present compared to the case where the electrode member is a thin electrode. I will elaborate on this. If the electrode member is a thin electrode rather than thick, in fixing the electrode member to the substrate by bis, there is a risk that the thin electrode member will be bent, although there is a difference in degree due to point fastening of the bis fixation (Fig. See "For thin electrodes" in 6). Accordingly, in the thin electrode member attached to the base body, a minute gap can be formed between the base body (in the generally illustrated aspect, even though it is drawn to be close, in reality a minute gap is generated or , or prone to occur). In this regard, in the present invention, due to the thick thickness of the thick electrode, high rigidity is caused by the electrode member, and the electrode member is difficult to bend due to the point fastening of the bis fixing (see "the present invention" in FIG. 6 ). Accordingly, the lower main surface of the thick electrode 10 and the upper main surface of the substrate 20 can be brought into close contact with each other, preferably in liquid tight contact with substantially no gap. This means that when the electrode for plating of the present invention is used, the current distribution becomes more uniform, making it easier to reduce the occurrence of defects in the metal foil to be produced. In addition, in the case of the thick electrode 10A, the current distribution at the time of energization becomes good due to the thick electrode thickness (thicker than the previous thin electrode) in the first place, so that more uniform plating can be achieved. Moreover, in the case of the thick electrode 10A, since the thick side of the thick electrode and the side of the head of the bis can be in close contact with each other in a state where the electrode member is installed on the base (see “the present invention” in FIG. 6), the In terms of this, the current distribution at the time of energization becomes good, and uniform plating becomes easy to achieve.

또한, 전극부재가 속이 채워진 두꺼운 전극인 경우, 그 두께에 기인하여, 전극 측면과 비스가 특이적인 형상 관계를 가질 수 있다. 구체적으로는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 두꺼운 전극(10A)의 두꺼운 측면(12)에는 비스(30)의 테이퍼 측면(35)과 상보적인 형상을 포함할 수 있다. 즉, 비굴곡 형태를 가지는 두꺼운 전극(10A)의 두께증가화에 기여하는 측면과 비스(30)의 두부의 측면이 서로 상보적인 형상을 가지고 있고, 전극부재가 기체에 장착된 상태에서는 그들 두꺼운 전극의 두꺼운 측면과 비스의 두부 측면이 서로 밀접한 상태가 된다. 이와 같은 형태에서는, 두꺼운 전극의 측면을 통하여 적합한 방열이 이루어지는 점에서 유리한 효과가 나타날 수 있다. 구체적으로는, 전주시에 있어서는 통전에 기인하여 전해액의 온도가 상승하므로 그 승온을 억제하는 것이 요구될 수 있는데, 본 발명에서는 두꺼운 전극과, 그 측면과 밀접하는 비스를 통하여 전해조 밖으로 적합하게 방열시킬 수 있다.In addition, when the electrode member is a thick electrode filled with a hollow, due to its thickness, the side of the electrode and the bis may have a specific shape relationship. Specifically, as shown in FIG. 4 , the thick side surface 12 of the thick electrode 10A may have a shape complementary to the tapered side surface 35 of the screw 30 . That is, the side that contributes to the increase in the thickness of the thick electrode 10A having a non-bending shape and the side of the head of the bis 30 have complementary shapes, and in a state where the electrode member is mounted on the body, those thick electrodes The thick side of the and the head side of the bis come into close contact with each other. In this form, an advantageous effect can be obtained in that suitable heat dissipation is made through the side surface of the thick electrode. Specifically, since the temperature of the electrolyte solution rises due to energization during electrolysis, it may be required to suppress the temperature rise. there is.

본 발명의 도금용 전극에서 사용하는 두꺼운 전극은, 도전성의 모재를 알칼리나 유기용제를 사용하여 탈지 세정한 후, 블러스트 처리 등으로 기계적인 표면 처리 또는 산이나 알칼리를 사용한 화학적인 표면 처리 혹은 기계적 처리와 화학적 처리를 양방 조합한 표면 처리를 거쳐, 기체에 전극촉매의 도포 소성을 행한다. 이러한 전극촉매의 구성으로서는, 백금족 금속 또는 그 산화물과 밸브금속(티탄, 탄탈, 니오브, 텅스텐, 지르코늄) 및 주석으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 1종류 이상의 금속의 산화물과의 혼합산화물이 적합하다. 대표적인 예로서는, 이리듐-탄탈 혼합산화물, 이리듐-탄탈-티탄 혼합산화물 등을 들 수 있다. 전극활물질의 피복은, 상기와 같은 전극활물질을 포함하는 용액을 도포, 건조, 소성의 순서로 실시함으로써 제작할 수 있고, 소정의 촉매량까지 이러한 도포에서 소성까지의 공정을 반복함으로써 불용성 양극을 얻을 수 있다. 그와 같이 얻어진 두꺼운 전극에 대하여 기계가공 또는 화학에칭 등에 의하여 비스용 구멍을 설치하고, 그러한 구멍을 통하여 비스로 두꺼운 전극을 기체에 장착함으로써, 전해금속박의 제조에 제공하는 도금용 전극을 얻을 수 있다. 또한, 상기와 같은 전극활물질을 포함하는 용액을 도포하기 전에, 두꺼운 전극의 도전성 모재에 대하여 기계가공 또는 화학에칭 등에 의하여 비스 구멍용 구멍을 설치하여도 좋다.The thick electrode used in the plating electrode of the present invention is degreased and washed with an alkali or organic solvent on a conductive base material, followed by mechanical surface treatment such as blasting, chemical surface treatment using acid or alkali, or mechanical surface treatment. After surface treatment in which both treatment and chemical treatment are combined, coating and firing of the electrode catalyst is performed on the substrate. As the composition of such an electrocatalyst, a mixed oxide of a platinum group metal or its oxide and an oxide of one or more metals selected from the group consisting of valve metals (titanium, tantalum, niobium, tungsten, zirconium) and tin is suitable. Representative examples include iridium-tantalum mixed oxide, iridium-tantalum-titanium mixed oxide, and the like. Coating of the electrode active material can be produced by coating, drying, and firing a solution containing the electrode active material as described above in the order, and by repeating the process from coating to firing up to a predetermined amount of catalyst, an insoluble anode can be obtained. . A hole for vis is provided in the thick electrode obtained in this way by mechanical processing or chemical etching, and a thick electrode made of bis is attached to the base body through the hole. An electrode for plating used in the manufacture of an electrolytic metal foil can be obtained. . In addition, before applying the solution containing the electrode active material as described above, holes for bis holes may be provided in the conductive base material of the thick electrode by mechanical processing or chemical etching.

전극부재가 속이 채워진 두꺼운 전극이 되는 경우의 바람직한 구체예를 도 7을 참조하여 설명해 두겠다. 이러한 구체예에서는, 기체(20)에 대하여 스폿페이싱 구멍(26)이 형성되어 있다. 스폿페이싱 구멍(26)은 테이퍼 형상 오목부의 형태를 가지고 있어도 좋고, 따라서 도시되는 바와 같이 전체적으로 비스와 마찬가지 형태를 가지는 오목부가 기체(20)에 형성되어 있어도 좋다(본 명세서에 있어서의 '스폿페이싱 구멍'은 "기체 오목부" 또는 "테이퍼 형상 오목부" 등으로 칭할 수 있음). 이와 같이 스폿페이싱 구멍(26)이 설치되어 있다고 하여도, "속이 채워진 두꺼운 전극"에 기인하여, 스폿페이싱 구멍(26)은 비스(30)로 완전히 채워져 있지 않다. 즉, 어느 적합한 일례에서는, 비스 두부(32)가 전극부재(10)의 테이퍼 측면에 걸리는 것과 같은 형태로 비스(30)가 기체(20)의 스폿페이싱 구멍면(26')(스폿페이싱 구멍(26)을 형성하고 있는 바닥면(26'))으로부터 이격되어 배치되어 있다. 이것은, 전극부재(10)가 기체(20)에 장착된 상태에 있어서, 비스(30)(특히, 비스 두부(32))와 전극부재(10)와 기체(20)로 둘러싸인 영역에 공간(28)(특히, 테이퍼 형상 스폿페이싱 구멍에 기인한 테이퍼 공간(28))이 설치되어 있는 것을 의미하고 있다. 도시하는 태양으로부터 알 수 있는 바와 같이, 서로 밀접한 비스 두부(32)와 전극부재(10)의 조합이, 스폿페이싱 구멍의 형성영역에 공간(28)(부가적으로는, 기체의 나사절삭 구멍의 영역에도 공간(29))을 남기면서 또는 제공하면서 기체(20)와 일체화하고 있다. 이와 같은 태양이어도, 바람직하게는 비스(30)의 꼭대기면과 전극부재(10)의 두께증가면(15)이 면일해져 있다. 또한, 두꺼운 전극(10A)의 두꺼운 측면(12)은 비스(30)의 테이퍼 측면(35)과 상보적인 형상을 포함할 수 있다. 속이 채워진 두꺼운 전극(10A)은, 그 두께가 비스에 있어서의 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수로 되어 있거나, 또는 그보다 크게 되어 있어도 좋다(단, 속이 채워진 두꺼운 전극(10A)은, 상술한 바와 같이 비스 두부가 전극의 테이퍼 측면에 걸리는 것과 같은 형태가 되는 것이라면, 도 7의 하측 괄호 내에 나타내는 바와 같이 두꺼운 전극(10A)이 테이퍼 높이 치수 미만으로 되어 있어도 좋음. 한편, 이와 같은 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이, 스폿페이싱 구멍이 테이퍼 형상이라면, 비스 두부와의 간섭을 적합하게 회피할 수 있으므로 비스를 전극부재 두께에 따라 보다 하방으로 위치시킬 수 있음). 어디까지나 예시에 불과하지만, 도 7의 양태에 따른 전극부재(10)의 두께는, 예를 들어 3~8mm 정도여도 좋다.A preferred specific example in the case where the electrode member becomes a thick electrode filled inside will be described with reference to FIG. 7 . In this embodiment, a spotfacing hole 26 is formed in the base body 20 . The spot facing hole 26 may have the shape of a tapered concave portion, and therefore, as shown in the figure, a concave portion having the same shape as the bis as a whole may be formed in the base body 20 ('spot facing hole in this specification). ' may be referred to as "gas concave portion" or "taper-shaped concave portion" or the like). Even if the spotfacing hole 26 is provided in this way, the spotfacing hole 26 is not completely filled with the bis 30 due to the "thick filled electrode". That is, in one suitable example, the bis 30 is in the same form as the bis head 32 is caught on the tapered side of the electrode member 10, the spot facing hole surface 26 'of the base body 20 (the spot facing hole ( 26) is disposed spaced apart from the bottom surface 26 ′). This is, in a state where the electrode member 10 is mounted on the base 20, the space 28 ) (particularly, the taper space 28 due to the tapered spotfacing hole) is provided. As can be seen from the illustrated aspect, the combination of the screw head 32 and the electrode member 10 in close contact with each other creates a space 28 in the formation region of the spot facing hole (additionally, the screw cutting hole of the base body). It is integrated with the body 20 while leaving or providing a space 29 in the area. Even in such an aspect, preferably, the top surface of the screw 30 and the thickness increasing surface 15 of the electrode member 10 are flat. In addition, the thick side 12 of the thick electrode 10A may have a shape complementary to the tapered side 35 of the bis 30 . The thickness of the filled thick electrode 10A may be a taper height corresponding to the installation portion of the taper side surface in the bis, or may be larger than that (however, the filled thick electrode 10A is as described above). As described above, as long as the screw head is in the form of being caught on the tapered side surface of the electrode, the thick electrode 10A may be less than the taper height dimension as shown in the lower parentheses in Fig. 7. On the other hand, as can be seen from this figure As can be seen, if the spot facing hole has a tapered shape, interference with the head of the bis can be suitably avoided, so the bis can be positioned more downward depending on the thickness of the electrode member). Although it is only an example, the thickness of the electrode member 10 according to the aspect of FIG. 7 may be, for example, about 3 to 8 mm.

기체(20)에 스폿페이싱 구멍(26)이 형성된 태양에 따른 본 발명의 이점에 대하여, 얇은 전극부재의 경우와 비교하여 설명해 두겠다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 상대적으로 얇은 전극부재(11)(예를 들어, 티탄으로 이루어지는 1mm 정도 두께의 전극부재)는, 실제로는 비스 계합부에서 예각 형상으로 구부려지기 어렵게 되어 있어, 접점이 한정되어 버릴 우려가 있다. 즉, 그와 같이 구부러진 얇은 전극부재(11)는, 비스 계합부에 있어서의 접점이 한정되는 경우가 있고(예를 들어, 도 8에 나타내는 점선으로 둘러싸인 부분으로 한정되어 버릴 경우가 있고), 기체와의 접촉 관점에서는 원하는대로 되어 있다고 할 수 없는 경우가 있다. 이와 같은 것으로부터, 얇은 전극부재는, 통전시의 전류분포의 점에서 더욱 향상을 도모할 여지가 있다고 할 수 있다. 이러한 점, 본 발명의 속이 채워진 두꺼운 전극의 경우, 도 7에 나타내는 태양으로부터 알 수 있는 바와 같이, 비스 계합부에 있어서의 접점은 실질적으로 같아지므로, 통전시의 전류분포의 점에서 바람직한 상태가 될 수 있다.The advantage of the present invention according to the aspect in which the spot facing hole 26 is formed in the base body 20 will be explained in comparison with the case of a thin electrode member. As shown in Fig. 8, the relatively thin electrode member 11 (for example, an electrode member with a thickness of about 1 mm made of titanium) is actually difficult to bend into an acute angle at the screw engagement portion, and the contact is limited. There is a risk of becoming That is, in the thin electrode member 11 bent in this way, the contact point in the bis engagement portion is sometimes limited (for example, it is sometimes limited to the portion surrounded by the dotted line shown in FIG. 8), From the point of view of contact with, there are cases in which it cannot be said to be as desired. From this, it can be said that the thin electrode member has room for further improvement in terms of current distribution during energization. In the case of this point, in the case of the thick filled electrode of the present invention, as can be seen from the aspect shown in Fig. 7, the contacts in the bis engagement portion are substantially the same, so the current distribution at the time of energization is in a desirable state. can

또한 더욱 말하자면, 도 7에 나타내는 바와 같은 본 발명의 태양은, 전극부재(10)와 기체(20)의 서로의 설치의 점에서 바람직하다. 구체적으로는, 비스(30)(특히, 비스 두부(32))의 하방에 공간(28)이 위치하고 있으므로, 비스를 보다 하방으로 변위시키기 위하여 보다 강하게 체결할 수 있고, 두꺼운 전극(10)의 하측 주면과 기체(20)의 상측 주면을 서로 보다 강하게 밀접시킬 수 있다. 바람직하게는 틈없이 액밀하게 그들은 밀접시킬 수 있다(도 6을 참조하여 설명한 바와 같이, 두꺼운 전극은, 그 두꺼운 두께에 기인하여, 전극부재에 보다 높은 강성이 초래되어 있으므로, 보다 강하게 체결하여도 전극부재 자체가 휘어지기 어렵게 되어 있음). 따라서, 이러한 점에서도, 전류분포가 보다 균일화하기 쉽고, 결과적으로 제조하는 금속박의 불량 발생이 감소되기 쉽다고 할 수 있다.More specifically, the aspect of the present invention as shown in Fig. 7 is preferable in terms of mutually installing the electrode member 10 and the base body 20. Specifically, since the space 28 is located below the screw 30 (particularly, the screw head 32), the screw can be more strongly tightened to displace the screw more downward, and the lower side of the thick electrode 10 The main surface and the upper main surface of the body 20 can be brought into closer contact with each other. Preferably, they can be brought into close contact with each other in a liquid-tight manner without gaps (as explained with reference to FIG. 6, the thick electrode results in higher rigidity to the electrode member due to its thick thickness, so even if the electrode is tightened more strongly) The member itself is difficult to bend). Therefore, also from this point, it can be said that the current distribution is more likely to be uniform, and as a result, the occurrence of defects in the metal foil to be produced is easier to be reduced.

(부피 증가를 초래하는 굴곡진 얇은 전극의 태양)(the sun of curved thin electrodes resulting in volume increase)

도 5에 나타내는 바와 같이, 이러한 태양의 전극부재(10)는, 얇은 전극(10B)으로 되어 있고, 특히 부피가 증가하도록 굴곡진 얇은 전극(10B)의 형태를 가지고 있다. 즉, 두께가 실질적으로 일정해진 얇은 전극(10B)이 굴곡짐으로써 전극부재가 전체적으로 부피가 증가하여 있다(즉, 일정 두께의 전극부재가 굴곡져 도금용 전극의 부피가 증가하여 있다고 할 수 있음). 이러한 양태에서는, 전주(특히, 전해금속박의 제조)의 당업자에게 있어서 얇다고 생각되는 전극 두께이지만, 그 얇은 전극이 입체적으로 부피가 증가하도록 부분적으로 굴곡진 형태로 되어 있다. 얇은 전극(10B)의 두께 자체는, "박판"이므로, 3mm 이하, 바람직하게는 2mm 이하이고, 예를 들어 1.5mm 이하 또는 1.0mm 이하이다(하한값은 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 0.2mm, 0.5mm, 0.7mm 정도이어도 좋음). 이와 같이 얇은 두께임에도 불구하고, 입체적으로 부피가 증가하도록 부분적으로 굴곡진 얇은 전극은, 그 최상 레벨과 최하 레벨 사이의 치수가 바람직하게는 비스의 테이퍼 높이 치수로 되어 있거나, 또는 그보다 크게 되어 있다. 단적으로 말하자면, 전체적으로 부피가 증가하도록 굴곡진 얇은 전극의 최대 입체 두께는, 비스의 두부의 높이 치수 이상으로 되어 있어도 좋다.As shown in Fig. 5, the electrode member 10 of this embodiment is a thin electrode 10B, and has a shape of a thin electrode 10B that is curved to increase in volume. That is, the overall volume of the electrode member is increased by bending the thin electrode 10B whose thickness is substantially constant (that is, the volume of the electrode for plating is increased by bending the electrode member of a certain thickness). . In this aspect, although the thickness of the electrode is considered thin by those skilled in the art of electric poles (particularly, production of electrolytic metal foil), the thin electrode is partially curved so that the volume increases three-dimensionally. Since the thickness of the thin electrode 10B itself is a "thin plate", it is 3 mm or less, preferably 2 mm or less, for example, 1.5 mm or less or 1.0 mm or less (the lower limit is not particularly limited, but, for example, 0.2 mm, 0.5mm or 0.7mm is good). In spite of such a small thickness, the thin electrode partially curved to increase the volume three-dimensionally has a dimension between the uppermost level and the lowermost level preferably equal to or larger than the taper height of the bis. Simply put, the maximum three-dimensional thickness of the thin electrode curved so as to increase the overall volume may be greater than or equal to the height of the head of the screw.

입체적으로 부피가 증가하도록 일부 굴곡져 있는 것에 기인하여, 전극부재가 비스로 기체에 장착된 상태에서는 얇은 전극과 기체 사이에 이격공간이 형성된다. 도 5에 나타내는 형태로부터 알 수 있는 바와 같이, 얇은 전극(10B)의 비굴곡부와 기체(20)가 서로 이격된 상태로 되어 있고, 그에 의하여 전극부재(10)의 "두께증가면"이 초래되어 있다. 바꿔말하면, 입체적으로 전체적으로 부피가 증가하도록 굴곡진 얇은 전극에서는, 얇은 전극과 기체 사이의 공간이 "두께증가면"의 실현에 적합하게 기여하여, 금속박 제조의 양극와 음극 사이의 거리에 관하여 유의한 역할을 다한다. 따라서, 도 5에 나타내는 태양이어도 전극간 거리를 보다 줄일 수 있어, 전해조의 전압을 보다 낮은 상태에서 운전하는 것이 가능해진다. 즉, 금속박 제조시의 전력코스트를 저감할 수 있다.Due to the fact that the electrode member is partially curved to increase in volume three-dimensionally, a separation space is formed between the thin electrode and the base body when the electrode member is mounted on the base body. As can be seen from the form shown in FIG. 5, the non-bent portion of the thin electrode 10B and the base 20 are in a state of being spaced apart from each other, thereby resulting in a "surface of increased thickness" of the electrode member 10. there is. In other words, in thin electrodes curved so as to increase the overall volume three-dimensionally, the space between the thin electrode and the substrate contributes appropriately to the realization of the "thickness increasing surface", which plays a significant role in relation to the distance between the anode and the cathode in metal foil production. do everything Therefore, even in the aspect shown in FIG. 5, the distance between electrodes can be further reduced, and it becomes possible to operate the electrolyzer at a lower voltage. That is, the power cost at the time of metal foil manufacture can be reduced.

"두께증가면"이므로, 즉 얇은 전극의 입체적으로 부피가 증가한 굴곡 형태이므로, 비스에 의하여 전극부재가 기체에 장착된 상태에서는, 얇은 전극의 두께(얇은 전극 자체의 두께)와 이격공간의 두께의 합이, 바람직하게는 비스에 있어서의 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수로 되어 있거나, 또는 그보다 커져 있다. 이것은, 입체적으로 부피가 증가한 굴곡 형태를 가지는 얇은 전극의 두께(얇은 전극 자체의 두께)와 이격공간의 두께의 합이 비스의 두부의 높이 치수 이상으로 되어 있다고도 할 수 있다.Since it is a "thickness increase surface", that is, because it is a curved shape in which the volume of the thin electrode is increased in three dimensions, in the state where the electrode member is mounted on the body by the bis, the thickness of the thin electrode (thickness of the thin electrode itself) and the thickness of the separation space The sum is preferably equal to or larger than the taper height corresponding to the installation portion of the taper side surface in the bis. This can be said to be that the sum of the thickness of the thin electrode having a curved shape with three-dimensionally increased volume (thickness of the thin electrode itself) and the thickness of the separation space is equal to or greater than the height of the head of the bis.

어디까지나 예시에 불과하지만, 입체적으로 부피가 증가하여 굴곡진 얇은 전극의 태양에서는, 기체의 표면과 얇은 전극의 두께증가면(즉, 전극의 상측 주면) 사이의 거리는, 예를 들어 2mm보다 크고, 바람직하게는 3mm보다 크다. 이러한 거리의 상한값은, 특별히 제한은 없으며, 예를 들어 30mm, 20mm, 15mm, 10mm, 8mm 또는 5mm여도 좋다. 예시에 불과하지만 얇은 전극 자체의 두께가, 예를 들어 1mm 이하인 경우, 얇은 전극과 기체의 사이의 이격공간에 있어서의 틈 치수(전극의 비굴곡 부분의 두께를 따른 방향의 치수)는, 1mm 이하가 될 수 있고, 바람직하게는 2mm 이하가 될 수 있다(그 상한값은, 예를 들어 29mm, 19mm, 14mm, 9mm, 7mm 또는 4mm가 될 수 있음).Although it is only an example, in the aspect of a curved thin electrode with a three-dimensional increase in volume, the distance between the surface of the substrate and the thickness increasing surface of the thin electrode (ie, the upper main surface of the electrode) is, for example, greater than 2 mm, preferably greater than 3 mm. The upper limit of this distance is not particularly limited, and may be, for example, 30 mm, 20 mm, 15 mm, 10 mm, 8 mm or 5 mm. Although it is only an example, when the thickness of the thin electrode itself is, for example, 1 mm or less, the gap dimension (dimension in the direction along the thickness of the non-bent part of the electrode) in the separation space between the thin electrode and the base is 1 mm or less , and may be preferably 2 mm or less (the upper limit may be, for example, 29 mm, 19 mm, 14 mm, 9 mm, 7 mm or 4 mm).

본 발명의 도금용 전극에서 이용되는 입체적으로 부피가 증가한 얇은 전극은, 예를 들어 전해금속박의 양극전극으로서 상투적으로 이용되고 있는 얇은 두께의 전극을 외력을 이용하여 국소적인 구부림 형성 또는 국소적인 오목부 형성을 행함으로써 얻을 수 있다. 그와 같이 얻어진 부피가 증가한 얇은 전극에 대하여 기계가공 또는 화학에칭 등에 의하여 비스용 구멍을 형성하고(특히 국소적인 구부림부·오목부의 부분에 비스용 구멍을 형성), 그러한 구멍을 통하여 비스로 얇은 전극을 기체에 장착하면, 전해금속박의 제조에 제공하는 본 발명의 도금용 전극을 얻을 수 있다. 한편, 비스용 구멍의 형성에 국소적인 외력을 수반하는 경우에는, 비스용 구멍의 형성시에 국소적인 구부림 또는 오목부를 형성하여도 좋다.The three-dimensionally increased volume of the thin electrode used in the plating electrode of the present invention is, for example, a thin electrode conventionally used as an anode electrode of an electrolytic metal foil by using an external force to form local bends or local concavities. It can be obtained by forming. For the thus obtained thin electrode with increased volume, holes for vis are formed by mechanical processing or chemical etching, etc. (particularly, holes for vis are formed in the local bent and concave parts), and thin electrodes with bis through such holes When attached to the body, the plating electrode of the present invention used for the production of the electrolytic metal foil can be obtained. On the other hand, if the formation of the hole for the screw involves a local external force, a local bend or recess may be formed at the time of forming the hole for the screw.

입체적으로 부피가 증가한 굴곡진 얇은 전극의 양태는, 이격공간(40)에 스페이서(60)를 가지고 있어도 좋다(도 5의 (b)를 참조). 즉, 비스(30)에 의하여 전극부재(10)가 기체(20)에 장착된 상태에 있어서, 박판전극(10B)의 비굴곡부와 기체(20) 사이의 공간(40)을 부분적으로 차지하는 스페이서(60)가 형성되어도 좋다. 이러한 스페이서가 형성됨으로써, 전주시에 있어서 박판전극의 부피가 증가한 형태가 경시적으로 보다 적합하게 유지되기 쉬워진다.As an aspect of the curved thin electrode having a three-dimensional increase in volume, the spacer 60 may be provided in the separation space 40 (see Fig. 5(b)). That is, in a state in which the electrode member 10 is mounted on the base 20 by the bis 30, the spacer partially occupying the space 40 between the non-bent portion of the thin plate electrode 10B and the base 20 ( 60) may be formed. Formation of such a spacer makes it easier to maintain the shape of the thin electrode in which the volume of the thin plate electrode increased over time more appropriately with time during the electric pole.

스페이서의 재질은, "이격공간"의 유지에 이용하는 것이라면 특별히 제한은 없다. 따라서, 스페이서는, 금속재, 수지재 및/또는 세라믹재를 포함하여 이루어지는 것이어도 좋다. "이격공간"이 보다 적합하게 유지되기 쉬운 점에서 말하면, 어느 정도의 강성을 가지는 것이 바람직하다. 하나 예시하면, 스페이서는 속이 채워진 금속블록이어도 좋다. 또한, 스페이서는, 이른바 "철수세미"의 형태를 가지는 것이도 좋고, 스페이서에 적절한 탄력특성이 부여되어 있어도 좋다. 스페이서의 재질이 금속재인 경우, 얇은 부재와 스페이서와 기체를 통과하는 방열경로가 바람직하게는 형성될 수 있고, 전주시에 전해액에서 발생하는 열을 스페이서를 통하여 전해조 밖으로 보낼 수 있다. 스페이서의 고정수법은 특별히 제한은 없다. 별개의 수단에 의하여 고정화되어 있어도 좋지만, 비스에 기인하여 얇은 전극의 비굴곡부와 기체 사이에 주어진 협지력으로 스페이서가 고정화되어도 좋다.The material of the spacer is not particularly limited as long as it is used for maintaining the "separation space". Therefore, the spacer may be made of a metal material, a resin material and/or a ceramic material. In view of the fact that the "separation space" is easier to be maintained more appropriately, it is desirable to have a certain degree of rigidity. For one example, the spacer may be a solid metal block. Further, the spacer may have a shape of a so-called "iron scrubber", or may have appropriate elasticity characteristics imparted to the spacer. When the material of the spacer is a metal material, a heat dissipation path passing through the thin member, the spacer, and the gas may be preferably formed, and the heat generated in the electrolyte during electrolysis may be sent out of the electrolytic bath through the spacer. The spacer fixing method is not particularly limited. Although it may be fixed by a separate means, the spacer may be fixed by the clamping force given between the non-bent part of the thin electrode and the substrate due to the bis.

비스에 의하여 전극부재가 기체에 장착된 상태에서는, 입체적으로 부피가 증가한 굴곡진 얇은 전극은, 그 비굴곡 부분이 기체와 이격되어 있지만, 굴곡부가 기체와 접하는 것이 바람직하다. 또한, 예를 들어 도 5의 (b)에 나타내는 태양으로부터 알 수 있는 바와 같이, 입체적으로 부피가 증가한 굴곡진 얇은 전극(10B)의 굴곡부(10B굴곡)는, 비스의 테이퍼 측면(35)과 서로 밀접하고 있는 것이 바람직하다. 특히, 입체적인 부피에 기여하는 얇은 전극(10B)의 굴곡부(10B굴곡)와, 비스(30)의 두부(32)의 측면(35)이 액밀상태에서 서로 밀접한 상태가 되는 것이 바람직하다. 얇은 전극의 굴곡부를 통하여 적합한 방열이 이루어질 수 있는 점에서 유리한 효과가 나타나기 때문이다. 구체적으로는, 전주시에는 통전에 기인하여 전해액의 온도가 상승하므로 승온을 억제하는 것이 요구될 수 있는데, 얇은 전극의 굴곡부, 및 그 굴곡부와 밀접한 비스를 통하여 전해조 밖으로 적합하게 열을 보낼 수 있다. 한편, 이러한 얇은 전극의 굴곡부(10B굴곡)는, 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 비스(30)에 접하고 있는 동시에 기체(20)에도 접하고 있다. 따라서, 얇은 전극의 굴곡부는, 비스를 통하여 뿐만 아니라, 기체를 통하여도 전주시에 전해액에서 발생하는 열을 외부로 적합하게 보낼 수 있다. 이러한 점에 감안하면, 얇은 전극의 굴곡부는, 전기도금 방열부라고 칭할 수도 있다.In the state where the electrode member is attached to the base body by the bis, the curved thin electrode having a three-dimensionally increased volume preferably has a bent portion in contact with the base body, although its non-bend portion is spaced apart from the base body. Further, as can be seen from the aspect shown in (b) of FIG. 5 , for example, the curved portion 10B of the curved thin electrode 10B having a three-dimensionally increased volume is mutually related to the tapered side surface 35 of the bis. It is desirable to be close. In particular, it is preferable that the curved portion 10B of the thin electrode 10B, which contributes to the three- dimensional volume , and the side surface 35 of the head 32 of the bis 30 are in close contact with each other in a liquid-tight state. This is because an advantageous effect appears in that suitable heat dissipation can be achieved through the bent portion of the thin electrode. Specifically, since the temperature of the electrolyte solution rises due to energization during electrolysis, it may be required to suppress the temperature rise, and heat can be appropriately sent out of the electrolytic cell through the bent portion of the thin electrode and the bis close to the bent portion. On the other hand, the bent portion 10B of the thin electrode is in contact with the base 20 as well as with the bis 30, as shown in FIG. 5(b). Therefore, the bent portion of the thin electrode can suitably send heat generated in the electrolyte during electrolysis to the outside not only through the bis but also through the gas. Considering this point, the bent portion of the thin electrode may also be referred to as an electroplating heat dissipation portion.

본 발명의 도금용 전극에서는, 상술한 '두꺼운 전극의 태양' 및 '부피를 초래하는 굴곡진 얇은 전극의 태양'의 무엇인지에 상관없이, 전극부재가 개편화된 형태를 가지고 있어도 좋다. 즉, 전극부재(10)가 복수의 개편화된 서브전극(10')의 조합으로 구성되고, 그 서브전극(10')의 각각이 기체(20)에 장착되는 형태여도 좋다(도 9를 참조). 이러한 경우, 그 서브전극(10')의 각각이 비스(30)에 의하여 기체(20)에 고정화되게 된다.In the electrode for plating of the present invention, the electrode member may have a singular form regardless of the above-mentioned 'thick electrode mode' and 'curved thin electrode mode that causes bulk'. That is, the electrode member 10 may be composed of a combination of a plurality of individual sub-electrodes 10', and each of the sub-electrodes 10' may be mounted on the base body 20 (see FIG. 9). ). In this case, each of the sub-electrodes 10' is fixed to the substrate 20 by bis 30.

이와 같은 서브전극의 양태에서는, 전극의 촉매활성이 실활 혹은 박리되거나, 또는 전극부재가 부식 혹은 손상되거나 하는 등의 불량이 발생하였을 때, 그 대상이 되는 서브 전극만을 교환할 수 있다. 즉, 개편화된 서브전극의 태양에서는, 도금용 전극의 보수(保守) 또는 보수(補修) 등의 점에서 편이성이 증가하게 된다.In such an aspect of the sub-electrode, when a defect such as deactivation or peeling of the electrode's catalytic activity or corrosion or damage to the electrode member occurs, only the sub-electrode subject to the problem can be replaced. That is, in the aspect of the individualized sub-electrode, convenience increases in terms of maintenance or maintenance of the electrode for plating.

바람직하게는, 서브전극(10')의 각각이 기체의 만곡 형상을 따르는 형태를 가지고 있다. 바꿔말하면, 서브전극(10')의 각각은, 기체에 고정화하였을 때(또는 장착된 경우)에 기체 만곡을 따르는 형태를 가지고 있는 것이 바람직하다. 복수의 서브전극이 서로 조합되어 얻어지는 전극부재는, 전체적으로 대극의 드럼윤곽과 양극의 이격거리를 같게 유지하는 형태를 가지는 것이 바람직하다. 두꺼운 전극(10A)을 개편화한 서브전극(10')이 기체의 만곡형상을 따르는 형태를 가짐으로써(도 9를 참조), 비스(30)에 의하여 서브전극(10')을 기체(20)에 고정화하면, 서브전극(10')과 기체(20)를 틈없이 밀접시킬 수 있다. 하지만, 서브전극(10')의 두께가 얇은 얇은 전극(10B)에 있어서는, 서브전극(10')을 비스(30)에 의하여 기체(20)에 고정화함으로써 서브전극(10')이 기체형태에 추종 변형할 수 있는 경우에는 미리 만곡형상을 따르는 형태를 가지지 않아도 좋다(예를 들어, 서브전극의 각각이 비만곡 형태 또는 플랫 형태를 가지고 있어도 좋음).Preferably, each of the sub-electrodes 10' has a shape following the curved shape of the substrate. In other words, it is preferable that each of the subelectrodes 10' have a shape that follows the curvature of the gas when immobilized on (or mounted on) the gas. An electrode member obtained by combining a plurality of sub-electrodes with each other preferably has a shape in which the separation distance between the drum contour of the counter electrode and the anode is the same as a whole. Since the sub-electrode 10', which is a single piece of the thick electrode 10A, has a shape following the curved shape of the base (see FIG. 9), the sub-electrode 10' is formed by the bis 30 When immobilized on the substrate, the sub-electrode 10' and the substrate 20 can be brought into close contact without any gap. However, in the case of the thin electrode 10B having a thin sub-electrode 10', the sub-electrode 10' is immobilized on the substrate 20 by bis 30 so that the sub-electrode 10' is in a gaseous form. In the case of following deformation, it is not necessary to have a shape following a curved shape in advance (for example, each of the subelectrodes may have a non-curved shape or a flat shape).

<<본 발명의 전해금속박의 제조장치>><<Manufacturing apparatus of electrolytic metal foil of the present invention>>

본 발명의 장치는, 전해금속박을 제조하기 위한 장치이며, 상술한 도금용 전극을 적어도 가지고 이루어진다. 즉, 본 발명에 따른 전해금속박의 장치는, 양극으로서 상술한 도금용 전극(100), 및 음극으로서 드럼 형상의 대극(200)을 가지고 이루어진다(도 9를 참조).The apparatus of the present invention is an apparatus for manufacturing an electrolytic metal foil, and has at least the electrode for plating described above. That is, the electrolytic metal foil device according to the present invention has the above-described plating electrode 100 as an anode and a drum-shaped counter electrode 200 as a cathode (see Fig. 9).

본 발명의 장치에 있어서, 양극으로서 이용되는 도금용 전극은, 전극부재와 그것이 장착되는 기체로 적어도 구성되어 있고, 이러한 양극의 전극부재가, 음극의 드럼 형상의 대극과 대향하는 면으로서 "두께증가면"을 가진다. In the device of the present invention, the plating electrode used as the anode is composed of at least an electrode member and a body on which it is mounted, and the electrode member of this anode has a "thickness increase" as a surface facing the drum-shaped counter electrode of the cathode. have "side"

본 발명의 제조장치는, "두께증가면"에 기인하여, 양극의 도금용 전극이 음극의 대극에 대하여 보다 가까워진 위치관계 또는 보다 근방의 위치관계를 가진다. 그 때문에, 본 발명의 제조장치를 이용하면, 전해조의 전압을 보다 낮은 상태에서 운전할 수 있어, 전력코스트를 저감할 수 있다. 또한, 양극으로서 도전성 모재의 두께를 증가시킴으로써, 통전시에 도금용 전극 상의 전류분포가 보다 균일화되기 쉬워져, 제조되는 금속박의 불량 발생을 줄이는 것도 가능하다. 어디까지나 예시에 불과하지만, 본 발명의 전해금속박의 장치에서는, 양극과 음극 사이의 이격거리(양 전극의 근위면 사이의 거리)는 바람직하게는 5~25mm, 보다 바람직하게는 5~20mm, 더욱 바람직하게는 6~15mm(예를 들어, 6mm~10mm 정도)로 되어 있다.In the manufacturing apparatus of the present invention, the anode plating electrode has a closer positional relationship or a closer positional relationship with respect to the cathode counter electrode due to the "thickness increase surface". Therefore, if the manufacturing apparatus of the present invention is used, the electrolyzer can be operated at a lower voltage, and the power cost can be reduced. In addition, by increasing the thickness of the conductive base material as the anode, the current distribution on the plating electrode becomes more uniform during energization, and it is also possible to reduce the occurrence of defects in the manufactured metal foil. Although it is only an example, in the electrolytic metal foil device of the present invention, the separation distance between the anode and the cathode (the distance between the proximal surfaces of both electrodes) is preferably 5 to 25 mm, more preferably 5 to 20 mm, and further It is preferably 6 to 15 mm (for example, about 6 mm to 10 mm).

금속박의 제조시에는 전기도금이 행하여진다. 따라서, 본 발명의 장치는, 전해조를 더 가지고 이루어진다. 이러한 전해조 내에 '양극으로서 도금용 전극' 및 '음극으로서 드럼 형상의 대극'이 서로 일정 거리를 두고 배치되어 있다. 전해조(50)의 벽의 적어도 일부가 도금용 전극의 기체(20)로 되어 있어도 좋다. 즉, 전해조의 벽의 일부가 원호 형상으로 만곡하고 있고, 그와 같이 만곡한 벽이 도금용 전극의 기체를 겸하고 있어도 좋다.Electroplating is performed at the time of manufacture of metal foil. Therefore, the device of the present invention further includes an electrolytic cell. In this electrolytic cell, a 'plating electrode as an anode' and a 'drum-shaped counter electrode as a cathode' are disposed at a certain distance from each other. At least a part of the wall of the electrolytic cell 50 may be the substrate 20 of the electrode for plating. That is, a part of the wall of the electrolytic cell may be curved in an arc shape, and the wall thus curved may also serve as a body of the electrode for plating.

전해조에서는, 음극으로서 드럼 형상의 대극이 회전 가능하게 설치된다. 즉, 음극이 회전 드럼으로서 전해조에 설치되어 있다. 구체적으로는, 음극의 회전 드럼의 대략 하반부 이상이 전해조의 전해액(즉, 도금액)에 침지되도록 설치되는 것이 바람직하다. 드럼 형상의 음극 자체는, 전해금속박 제조에 상투적인 것이어도 좋다. 금속박 제조시에 있어서는, 음극의 드럼이 회전하고, 그것이 전해액에 접촉할 때에 전착이 이루어진다. 드럼의 회전에 기인하여, 전해액에 접촉한 음극 드럼의 일부가 공기중으로 노출되게 되는데, 그때에 드럼 표면으로부터 기계적으로 전착층이 박리된다. 이에 따라, 원하는 금속박을 얻을 수 있다. 금속박은 연속적으로 얻을 수 있으므로, 그것을 감기 위한 적당한 릴수단이 설치되어 있어도 좋다.In the electrolytic cell, a drum-shaped counter electrode is rotatably installed as a cathode. That is, the cathode is installed in the electrolytic cell as a rotating drum. Specifically, it is preferable to install so that approximately the lower half of the rotary drum of the cathode is immersed in the electrolytic solution (ie, plating solution) of the electrolytic cell. The drum-shaped cathode itself may be conventional in electrolytic metal foil production. At the time of metal foil manufacture, electrodeposition occurs when the drum of a negative electrode rotates and it contacts electrolyte solution. Due to the rotation of the drum, a portion of the negative electrode drum that has contacted the electrolyte is exposed to the air, at which time the electrodeposited layer is mechanically peeled off from the drum surface. In this way, a desired metal foil can be obtained. Since the metal foil can be obtained continuously, an appropriate reel means for winding it may be provided.

본 발명의 제조장치는, 전극으로의 급전을 위한 부스바를 더 가지고 이루어진다. 예를 들어, 부스바가 도금용 전극의 전극부재 및/또는 기체에 대하여 장착되어 있어도 좋다. 이와 같은 부스바에 의하여, 양극과 음극 사이에 직류전류를 흐르게 할 수 있어, 원하는 전주를 실시할 수 있다. 또한, 기체 등은, 전해액의 공급에 이바지하는 공급구(예를 들어, 간극부)를 가지고 있어도 좋다. 이러한 공급구를 통하여, 소비되는 도금 성분을 적절히 보충할 수 있다.The manufacturing apparatus of the present invention further comprises a bus bar for power supply to the electrodes. For example, a bus bar may be attached to the electrode member and/or base of the electrode for plating. With such a bus bar, direct current can flow between the anode and the cathode, and a desired electric pole can be performed. In addition, the base body or the like may have a supply port (for example, a gap portion) that contributes to the supply of the electrolyte solution. Through such a supply port, it is possible to appropriately replenish consumed plating components.

본 발명의 제조장치의 보다 상세한 사항, 더욱 구체적인 태양 등 그 밖의 사항은, 상술한 <<본 발명의 도금용 전극>>에서 설명하고 있으므로, 중복을 피하기 위하여 설명을 생략한다.Other matters, such as more detailed details and more specific aspects of the manufacturing apparatus of the present invention, are described in the above <<electrode for plating of the present invention>>, so descriptions are omitted to avoid redundancy.

이상, 본 발명의 각종 태양을 설명해 왔는데, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 규정되는 발명의 설명으로부터 벗어나지 않게 다양한 양태가 당업자에 의하여 구현화될 수 있다고 이해될 것이다.In the above, various aspects of the present invention have been described, but the present invention is not limited thereto, and it will be understood that various aspects can be implemented by those skilled in the art without departing from the description of the invention defined in the claims.

예를 들어, 본 발명에서는, 도 10의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 전극부재(10)의 고정화 또는 안정화를 위한 홈(25)이 기체(20)에 설치되어 있어도 좋다. 즉, 전극부재(10)가 기체(20)에 장착된 상태에 있어서, 전극부재(10)에 있어서의 "비스 구멍의 근접부분(19)"이 삽입되는 홈(25)이 기체(20)에 설치되어 있어도 좋다. 이러한 경우, 전극부재(10)(특히, 얇은 전극(10B))의 근방부분(19)이 비스(30)와 기체(20) 사이에서 협지되게 되므로, 기체에 장착되는 전극부재의 고정화 또는 안정화가 조력될 수 있다. 한편, 도시하는 태양으로부터 알 수 있는 바와 같이, 홈(25)은, 어느 태양에서는 기체(20)에 대하여 스폿페이싱 구멍에 상당할 수 있으므로, 도 10의 (a)~(c)에 나타내는 태양은, 전극부재(10)(특히 얇은 전극(10B))의 고정화 또는 안정화에 스폿페이싱 구멍이 적합하게 이용된 태양이라고도 할 수 있다.For example, in the present invention, grooves 25 for immobilizing or stabilizing the electrode member 10 may be provided in the base body 20, as shown in FIGS. 10(a) to (c). That is, in the state where the electrode member 10 is attached to the base body 20, the groove 25 into which the "portion adjacent to the bis hole" in the electrode member 10 is inserted is inserted into the base body 20. It may be installed. In this case, since the near portion 19 of the electrode member 10 (particularly, the thin electrode 10B) is sandwiched between the bis 30 and the base 20, the electrode member mounted on the base is fixed or stabilized. can be spurred on On the other hand, as can be seen from the illustrated mode, the grooves 25 can correspond to spot-facing holes in the body 20 in some aspects, so the aspects shown in FIGS. 10(a) to (c) are , It can also be said to be an aspect in which the spot facing hole is suitably used for immobilizing or stabilizing the electrode member 10 (particularly the thin electrode 10B).

도 10의 (c)에 나타내는 바와 같이, 비스(30)의 두부에 비테이퍼 부분이 포함되어 있어도 좋다. 이러한 경우, 비스(30)와 기체(20) 사이에서 협지되는 전극부재(10)(특히, 얇은 전극(10B))의 부분을 보다 증가시킬 수 있다(즉, 도시하는 태양으로부터 알 수 있는 바와 같이, 비스(30)와 기체(20) 사이에서 협지되는 전극부재(10)(10B)의 근방부분(19)을 증가시킬 수 있음). 따라서, 기체에 장착되는 전극부재의 고정화 또는 안정화가 이 점에서도 조력될 수 있다.As shown in Fig. 10(c), a non-tapered portion may be included in the head of the screw 30. In this case, the portion of the electrode member 10 (in particular, the thin electrode 10B) sandwiched between the bis 30 and the base 20 can be further increased (that is, as can be seen from the illustrated aspect , the vicinity portion 19 of the electrode member 10 (10B) sandwiched between the bis 30 and the base 20 can be increased). Accordingly, immobilization or stabilization of the electrode member mounted on the body can be assisted in this respect as well.

한편, 상술과 같은 본 발명은, 다음의 적합한 실시형태를 포함하고 있다.On the other hand, the present invention as described above includes the following preferred embodiments.

·제1 실시형태: 전해금속박의 제조에 이용하는 도금용 전극으로서, - 1st Embodiment : As an electrode for plating used for manufacture of an electrolytic metal foil,

상기 도금용 전극은, 전극부재와, 상기 전극부재가 장착되는 기체로 적어도 구성되어 있고,The electrode for plating is composed of at least an electrode member and a body on which the electrode member is mounted,

상기 전극부재가, 드럼 형상의 대극과 대향하는 면으로서 두께증가면을 가지는 도금용 전극.An electrode for plating wherein the electrode member has an increased thickness surface as a surface facing the drum-shaped counter electrode.

·제2 실시형태: 상기 제1 실시형태에 있어서, 상기 전극부재를 상기 기체에 상기 장착을 위한 비스를 더 가지고 이루어지고, Second Embodiment : In the first embodiment, the electrode member further has screws for attaching to the body,

상기 비스가 테이퍼 측면을 가지며, 상기 전극부재의 측면 부분 또는 상기 두께증가면이 상기 테이퍼 측면과 상보적인 형상을 가지는 도금용 전극.The electrode for plating wherein the bis has a tapered side surface, and the side portion of the electrode member or the thickness increasing surface has a shape complementary to the tapered side surface.

·제3 실시형태: 상기 제2 실시형태에 있어서, 상기 전극부재에 있어서 상기 두께증가면에서 상기 기체와의 접촉 레벨까지의 수직 거리 치수가, 상기 비스에 있어서의 상기 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수 또는 그보다 크게 되어 있는 도금용 전극. Third Embodiment : In the second embodiment, in the electrode member, a vertical distance dimension from the thickness increasing surface to the contact level with the substrate corresponds to the installation portion of the taper side surface of the screw An electrode for plating that has a taper height dimension or larger than that.

·제4 실시형태: 상기 제1 실시형태 내지 제3 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극부재의 단면시에서 상기 전극부재의 측면윤곽 또는 상기 두께증가면의 윤곽이 굴곡진 형태를 가지고 있는 도금용 전극. Fourth Embodiment : According to any one of the first to third embodiments, in a cross-sectional view of the electrode member, the side contour of the electrode member or the contour of the thickness increasing surface has a curved shape. electrode for plating.

·제5 실시형태: 상기 제2 실시형태에 종속하는 상기 제3 실시형태 또는 제4 실시형태에 있어서, 상기 전극부재가 상기 비스에 의하여 상기 기체에 상기 장착된 상태에서는, 상기 비스의 꼭대기면과 상기 전극부재의 상기 두께증가면이 면일이 되는 도금용 전극. Fifth Embodiment : In the third or fourth embodiment dependent on the second embodiment, in the state where the electrode member is attached to the body by the screw, the top surface of the screw and An electrode for plating in which the thickness increasing surface of the electrode member is flat.

·제6 실시형태: 상기 제1 실시형태 내지 제5 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극부재는 속이 채워진 두꺼운 전극인 도금용 전극. -Sixth Embodiment : The electrode for plating according to any one of the first to fifth embodiments, wherein the electrode member is a thick electrode filled with a core.

·제7 실시형태: 상기 제2 실시형태에 종속하는 상기 제6 실시형태에 있어서, 상기 두꺼운 전극의 두께가 상기 비스의 상기 테이퍼 측면의 설치부분에 의하여 상기 기체에 고정화하는 강도를 가지는 도금용 전극. Seventh Embodiment : In the sixth embodiment dependent on the second embodiment, the thickness of the thick electrode is an electrode for plating having strength to be fixed to the base body by the installation portion of the taper side of the screw. .

·제8 실시형태: 상기 제2 실시형태에 종속하는 상기 제6 실시형태 또는 제7 실시형태에 있어서, 상기 두꺼운 전극의 두께가 상기 비스의 상기 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수 또는 그보다 크게 되어 있는 도금용 전극. Eighth Embodiment : In the sixth or seventh embodiment dependent on the second embodiment, the thickness of the thick electrode is a taper height dimension corresponding to the installation portion of the tapered side surface of the screw or greater A large plating electrode.

·제9 실시형태: 상기 제6 실시형태 내지 제8 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 두꺼운 전극의 두께가 2mm보다 큰 도금용 전극. - Ninth Embodiment : The electrode for plating according to any one of the sixth to eighth embodiments, wherein the thickness of the thick electrode is greater than 2 mm.

·제10 실시형태: 상기 제2 실시형태에 종속하는 상기 제6 실시형태 내지 제9 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극부재가 상기 비스에 의하여 상기 기체에 상기 장착된 상태에서는, 상기 두꺼운 전극이 상기 기체에 밀접하고 있는 도금용 전극. Tenth Embodiment : according to any one of the sixth to ninth embodiments dependent on the second embodiment, in the state where the electrode member is attached to the body by the screw, the thick An electrode for plating in which the electrode is in close contact with the substrate.

·제11 실시형태: 상기 제2 실시형태에 종속하는 상기 제6 실시형태 내지 제10 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 두꺼운 전극의 두꺼운 측면은 상기 비스의 상기 테이퍼 측면에 대하여 상보적인 형상을 포함하는 도금용 전극. Eleventh Embodiment : according to any one of the sixth to tenth embodiments dependent on the second embodiment, wherein the thick side of the thick electrode has a shape complementary to the tapered side of the bis. Electrode for plating comprising.

·제12 실시형태: 상기 제2 실시형태에 종속하는 상기 제6 실시형태 내지 제11 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기체에는 스폿페이싱 구멍이 형성되어 있고, 서로 밀접한 비스 두부와 전극부재와의 조합이, 스폿페이싱 구멍의 영역에 공간을 남기면서 상기 기체와 일체화하고 있는 도금용 전극. Twelfth Embodiment : In any one of the sixth to eleventh embodiments dependent on the second embodiment, a spot-facing hole is formed in the base body, and the screw head and the electrode member are in close contact with each other. The electrode for plating is integrated with the substrate while leaving a space in the region of the spot facing hole.

·제13 실시형태: 상기 제2 실시형태에 종속하는 상기 제3 실시형태 내지 제5 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극부재가 얇은 전극으로서, 상기 얇은 전극이 부피가 증가하도록 굴곡져 있고, Thirteenth Embodiment : according to any one of the third to fifth embodiments dependent on the second embodiment, wherein the electrode member is a thin electrode, and the thin electrode is curved to increase in volume; ,

상기 전극부재가 상기 비스에 의하여 상기 기체에 상기 장착된 상태에 있어서 상기 얇은 전극과 상기 기체와의 사이에 이격공간을 가지는 도금용 전극.An electrode for plating having a separation space between the thin electrode and the base in a state in which the electrode member is attached to the base by the bis.

·제14 실시형태: 상기 제13 실시형태에 있어서, 상기 이격공간에 스페이서를 가지는 도금용 전극. - Fourteenth Embodiment : The electrode for plating according to the thirteenth embodiment, wherein a spacer is provided in the separation space.

·제15 실시형태: 상기 제13 실시형태 또는 제14 실시형태에 있어서, 상기 얇은 전극의 두께와 상기 이격공간의 두께와의 합이, 상기 비스에 있어서의 상기 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수 및 그보다 크게 되어 있는 도금용 전극. Fifteenth Embodiment : In the thirteenth embodiment or the fourteenth embodiment, the sum of the thickness of the thin electrode and the thickness of the separation space is a taper corresponding to the installation portion of the taper side surface in the screw Electrodes for plating with a height dimension and larger than that.

·제16 실시형태: 상기 제1 실시형태 내지 제15 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극부재가, 복수의 개편화된 서브전극의 조합으로 구성되어 있고, 상기 서브전극의 각각이 상기 기체에 상기 장착되는 도금용 전극. Sixteenth Embodiment : In any one of the first to fifteenth embodiments, the electrode member is constituted by a combination of a plurality of individualized sub-electrodes, and each of the sub-electrodes is the base body. An electrode for plating mounted on the above.

·제17 실시형태: 상기 제16 실시형태에 있어서, 상기 서브전극의 각각이 상기 기체에 고정화하였을 때에 기체 만곡을 따르는 형태를 가지는 도금용 전극. - Seventeenth Embodiment : In the sixteenth embodiment, an electrode for plating wherein each of the sub-electrodes has a shape following the curvature of the base body when immobilized on the base body.

·제18 실시형태: 상기 제1 실시형태 내지 제17 실시형태 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도금용 전극이 양극이며, 상기 대극이 음극인 도금용 전극. - Eighteenth Embodiment : The plating electrode according to any one of the first to seventeenth embodiments, wherein the plating electrode is an anode and the counter electrode is a cathode.

·제19 실시형태: 상기 제1 실시형태 내지 제18 실시형태 중 어느 한 항에 기재된 도금용 전극을 적어도 가지고 이루어지는 전해금속박의 제조장치. - Nineteenth Embodiment : An electrolytic metal foil manufacturing device comprising at least the electrode for plating according to any one of the first to eighteenth embodiments.

본 발명에 따른 도금용 전극은, 전기도금이 실시되는 다양한 분야에서 이용할 수 있다. 특히, 전기도금으로 금속박을 제조하는 전주에서 적합하게 이용할 수 있다. 어디까지나 예시에 불과하지만, 프린트 회로재 또는 이차전지의 전극집전체에 이용되는 금속박을 제조하는 전해장치의 양극으로서, 본 발명에 따른 도금용 전극을 적합하게 이용할 수 있다.The electrode for plating according to the present invention can be used in various fields where electroplating is performed. In particular, it can be suitably used in an electric pole for manufacturing metal foil by electroplating. Although only an example, the electrode for plating according to the present invention can be suitably used as an anode of an electrolysis device for manufacturing a printed circuit material or a metal foil used for an electrode current collector of a secondary battery.

10: 전극부재
10': 개편화된 서브전극
10A: 두꺼운 전극
10B: 얇은 전극
12: 전극부재의 측면 부분
15: 두꺼운 면
20: 기체
30: 비스
40: 공간(이격공간)
35: 비스의 테이퍼 측면
60: 스페이서
100: 도금용 전극
200: 대극
H1: 두께증가면으로부터 기체와의 접촉 레벨까지의 수직 거리 치수
H2: 비스의 테이퍼 높이 치수10: electrode member
10': segmented sub-electrode
10A: thick electrode
10B: thin electrode
12: side portion of electrode member
15: thick side
20: gas
30: Bis
40: space (separated space)
35: tapered side of vis
60: spacer
100: electrode for plating
200: counter pole
H1: Vertical distance dimension from the thickness increase surface to the level of contact with the gas
H2: The taper height dimension of the bis

Claims (19)

전해금속박의 제조에 이용하는 도금용 전극으로서,
상기 도금용 전극은, 전극부재와, 상기 전극부재가 장착되는 기체로 적어도 구성되어 있고,
상기 전극부재가, 드럼 형상의 대극과 대향하는 면으로서 두께증가면을 가지고 있으며,
상기 전극부재는 속이 채워진 두꺼운 전극이고,
상기 전극부재를 상기 기체에 장착하기 위한 비스를 더 가지고 이루어지며, 상기 비스가 테이퍼 측면을 가지고, 상기 전극부재의 측면 부분이 상기 테이퍼 측면과 상보적인 형상을 가지고 있으며,
상기 기체에는 스폿페이싱 구멍이 형성되어 있고, 서로 밀접한 비스 두부와 상기 전극부재와의 조합이, 상기 스폿페이싱 구멍의 영역에 공간을 남기면서 상기 기체와 일체화하고 있는,
도금용 전극.As an electrode for plating used in the manufacture of an electrolytic metal foil,
The electrode for plating is composed of at least an electrode member and a body on which the electrode member is mounted,
The electrode member has a thickness increasing surface as a surface facing the drum-shaped counter electrode,
The electrode member is a thick electrode filled with a hollow,
Further comprising a bis for mounting the electrode member to the body, the bis has a tapered side surface, and a side portion of the electrode member has a shape complementary to the tapered side surface,
A spot facing hole is formed in the base body, and the combination of the bis head and the electrode member in close contact with each other is integrated with the base body while leaving a space in the area of the spot facing hole.
electrode for plating. 제 1 항에 있어서,
상기 전극부재에 있어서 상기 두께증가면에서 상기 기체와의 접촉 레벨까지의 수직 거리 치수가, 상기 비스에 있어서의 상기 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수 또는 그보다 크게 되어 있는 도금용 전극.According to claim 1,
An electrode for plating wherein, in the electrode member, a vertical distance from the thickness increasing surface to a level of contact with the substrate is equal to or larger than a taper height corresponding to an installation portion of the taper side surface of the bis. 제 1 항에 있어서,
상기 전극부재의 단면시에서 상기 전극부재의 측면윤곽이 굴곡진 형태를 가지고 있는 도금용 전극.According to claim 1,
An electrode for plating in which a side profile of the electrode member has a curved shape in a cross-sectional view of the electrode member. 제 1 항에 있어서,
상기 전극부재가 상기 비스에 의하여 상기 기체에 상기 장착된 상태에 있어서 상기 비스의 꼭대기면과 상기 전극부재의 상기 두께증가면이 면일이 되는 도금용 전극.According to claim 1,
An electrode for plating wherein the top surface of the bis and the thickness increasing surface of the electrode member are flush with each other in a state where the electrode member is attached to the base body by the bis. 제 1 항에 있어서,
상기 두꺼운 전극의 두께가 상기 비스의 상기 테이퍼 측면의 설치부분에 의하여 상기 기체에 고정화하는 강도를 가지는 도금용 전극.According to claim 1,
An electrode for plating in which the thickness of the thick electrode has strength to be fixed to the substrate by the installation portion of the taper side of the bis. 제 1 항에 있어서,
상기 두꺼운 전극의 두께가 상기 비스의 상기 테이퍼 측면의 설치부분에 상당하는 테이퍼 높이 치수 또는 그보다 크게 되어 있는 도금용 전극.According to claim 1,
The electrode for plating, wherein the thickness of the thick electrode is greater than or equal to the height of the taper corresponding to the installation portion of the tapered side surface of the bis. 제 1 항에 있어서,
상기 두꺼운 전극의 두께가 2mm보다 큰 도금용 전극.According to claim 1,
An electrode for plating in which the thickness of the thick electrode is greater than 2 mm. 제 1 항에 있어서,
상기 전극부재가, 복수의 개편화된 서브전극의 조합으로 구성되어 있고, 상기 서브전극의 각각이 상기 기체에 상기 장착되는 도금용 전극.According to claim 1,
The electrode for plating wherein the electrode member is composed of a combination of a plurality of individualized sub-electrodes, and each of the sub-electrodes is attached to the base body. 제 8 항에 있어서,
상기 서브전극의 각각이 상기 기체에 고정화하였을 때에 기체 만곡을 따르는 형태를 가지는 도금용 전극.According to claim 8,
An electrode for plating wherein each of the sub-electrodes has a shape following the curve of the gas when immobilized on the base. 제 1 항에 있어서,
상기 도금용 전극이 양극이며, 상기 대극이 음극인 도금용 전극.According to claim 1,
An electrode for plating wherein the electrode for plating is an anode and the counter electrode is a cathode. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 도금용 전극을 적어도 가지고 이루어지는 전해금속박의 제조장치.The manufacturing apparatus of the electrolytic metal foil which has at least the electrode for plating of any one of Claims 1-10. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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