KR102513210B1 - Flexible display device, and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표시패널의 화질 불량을 개선할 수 있는 플렉서블 표시장치 및 그의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치는 제1 베이스 필름, 및 상기 제1 베이스 필름의 상면을 덮는 제2 베이스 필름을 구비하고, 상기 제1 베이스 필름은 소수성(hydrophobic)을 가지며, 상기 제2 베이스 필름은 친수성(hydrophilic)을 가진다.The present invention provides a flexible display device capable of improving poor image quality of a display panel and a manufacturing method thereof. A flexible display device according to the present invention includes a first base film and a second base film covering an upper surface of the first base film, the first base film is hydrophobic, and the second base film is It has hydrophilic properties.

Description

플렉서블 표시장치 및 그의 제조방법{FLEXIBLE DISPLAY DEVICE, AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}Flexible display device and manufacturing method thereof

본 발명의 실시예는 플렉서블 표시장치, 및 그의 제조방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a flexible display device and a manufacturing method thereof.

정보화 사회로 시대가 발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시장치(FPD: Flat Panel Display Device)의 중요성이 증대되고 있다. 평판 표시장치에는, 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display Device), 플라즈마 표시장치(PDP: Plasma Display Panel Device), 유기발광 표시장치(OLED: Organic Light Emitting Display Device) 등이 있으며, 최근에는 전기영동 표시장치(EPD: Electrophoretic Display Device)도 널리 이용되고 있다.As the era develops into an information society, the importance of a flat panel display device (FPD) having excellent characteristics such as thinning, light weight, and low power consumption is increasing. Flat panel displays include Liquid Crystal Display Device (LCD), Plasma Display Panel Device (PDP), and Organic Light Emitting Display Device (OLED). An electrophoretic display device (EPD) is also widely used.

이 중, 박막 트랜지스터를 포함하는 액정표시장치 및 유기발광 표시장치는 해상도, 컬러 표시, 화질 등에서 우수하여 텔레비전, 노트북, 테블릿 컴퓨터, 또는 데스크 탑 컴퓨터의 표시장치로 널리 상용화되고 있다. 이러한 액정표시장치와 유기발광 표시장치는 유연성을 갖는 플렉서블 표시장치(flexible display device)로도 개발되고 있다.Among them, liquid crystal display devices and organic light emitting display devices including thin film transistors are excellent in resolution, color display, image quality, etc., and are widely commercialized as display devices for televisions, notebook computers, tablet computers, or desktop computers. Such liquid crystal display devices and organic light emitting display devices are also being developed as flexible display devices having flexibility.

종래의 플렉서블 표시패널은 베이스 필름, 버퍼층, 박막 트랜지스터, 및 유기발광 다이오드를 포함한다. 베이스 필름은 보조 기판 상에 마련되며, 플랙서블한 플라스틱 필름일 수 있다. 버퍼층은 베이스 필름 상에 마련되고, 박막 트랜지스터는 버퍼층 상에 마련된다. 유기발광 다이오드는 박막 트랜지스터 상에 마련되며, 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된다. 이러한 종래의 플렉서블 표시패널은 보조 기판 상에 베이스 필름, 버퍼층, 박막 트랜지스터 및 유기발광 다이오드를 순차적으로 형성한 후, 레이저를 이용하여 베이스 필름과 보조 기판을 분리함으로써 제조될 수 있다. 이 경우, 베이스 필름은 보조 기판 상에 고분자 물질을 도포하고, 경화시킴으로써 구비될 수 있다.A conventional flexible display panel includes a base film, a buffer layer, a thin film transistor, and an organic light emitting diode. The base film is provided on the auxiliary substrate and may be a flexible plastic film. A buffer layer is provided on the base film, and a thin film transistor is provided on the buffer layer. The organic light emitting diode is provided on the thin film transistor and electrically connected to the thin film transistor. Such a conventional flexible display panel may be manufactured by sequentially forming a base film, a buffer layer, a thin film transistor, and an organic light emitting diode on an auxiliary substrate, and then separating the base film and the auxiliary substrate using a laser. In this case, the base film may be provided by coating and curing a polymer material on the auxiliary substrate.

그러나, 보조 기판 상에 도포된 고분자 물질을 경화시키는 공정 시간이 길기 때문에, 상기 고분자 물질로 이물(particle)이 침투할 수 있다. 이 경우, 이물에 의해 플렉서블 표시패널에 화질 불량이 발생될 수 있다.However, since the process time for curing the polymer material applied on the auxiliary substrate is long, particles may penetrate into the polymer material. In this case, a quality defect may occur in the flexible display panel due to the foreign matter.

본 발명은 표시패널의 화질 불량을 개선할 수 있는 플렉서블 표시장치 및 그의 제조방법을 제공한다.The present invention provides a flexible display device capable of improving poor image quality of a display panel and a manufacturing method thereof.

본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 제1 베이스 필름, 및 상기 제1 베이스 필름의 상면을 덮는 제2 베이스 필름을 구비하고, 상기 제1 베이스 필름은 소수성(hydrophobic)을 가지며, 상기 제2 베이스 필름은 친수성(hydrophilic)을 가진다.A flexible display device according to an embodiment of the present invention includes a first base film and a second base film covering an upper surface of the first base film, wherein the first base film is hydrophobic, and the second base film The base film has hydrophilic properties.

본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 보조 기판 상에 제1 베이스 물질을 도포하고, 상기 제1 베이스 물질의 상면과 측면들을 덮도록 제2 베이스 물질을 도포하는 단계, 상기 제2 베이스 물질을 UV 경화하여 제2 베이스 필름을 형성하는 단계, 상기 제1 베이스 물질을 열 경화하여 제1 베이스 필름을 형성하는 단계, 및 상기 보조 기판으로부터 제1 베이스 필름과 제2 베이스 필름을 분리하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes applying a first base material on an auxiliary substrate and applying a second base material to cover upper and side surfaces of the first base material; Forming a second base film by UV curing a base material, forming a first base film by thermally curing the first base material, and separating the first base film and the second base film from the auxiliary substrate. Include steps.

본 발명의 실시예는 제1 베이스 필름 및 제1 베이스 필름의 상면 및 측면들을 감싸는 제2 베이스 필름을 구비한다. 이 경우, 제2 베이스 필름이 먼저 광경화되고 제1 베이스 필름이 나중에 열경화된다. 따라서, 본 발명의 실시예는 상기 제2 베이스 필름이 먼저 광경화되어 제1 베이스 필름을 보호하기 때문에, 제1 베이스 필름만 구비하는 종래와 비교하여, 제1 베이스 필름의 내부로 이물이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 플랙서블 표시장치의 화질 불량을 개선할 수 있다.An embodiment of the present invention includes a first base film and a second base film covering upper and side surfaces of the first base film. In this case, the second base film is first photocured and the first base film is thermally cured later. Therefore, in the embodiment of the present invention, since the second base film is first photocured to protect the first base film, foreign matter penetrates into the first base film, compared to the prior art having only the first base film. can prevent Accordingly, the embodiment of the present invention can improve the quality defect of the flexible display device.

또한, 본 발명의 실시예는 제1 베이스 필름이 소수성을 갖고, 제2 베이스 필름이 친수성을 가지며, 제1 베이스 필름의 밀도가 제2 베이스 필름의 밀도보다 크다. 이에 따라, 제1 베이스 필름과 제2 베이스 필름이 서로 층 분리되어 이중구조를 가질 수 있다.Further, in an embodiment of the present invention, the first base film has hydrophobicity and the second base film has hydrophilicity, and the density of the first base film is greater than that of the second base film. Accordingly, the first base film and the second base film may be layer separated from each other to have a dual structure.

위에서 언급된 본 발명의 효과 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition to the effects of the present invention mentioned above, other features and advantages of the present invention will be described below, or will be clearly understood by those skilled in the art from such description and description.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 보여주는 일 예시도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 일측 단면을 보여주는 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들.
1 is an exemplary view showing a flexible display device according to an embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view showing a cross-section of one side of a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
4A to 4F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention.

본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.The meaning of terms described in this specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. "상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.Singular expressions should be understood to include plural expressions unless the context clearly defines otherwise, and terms such as “first” and “second” are used to distinguish one component from another, The scope of rights should not be limited by these terms. It should be understood that terms such as "comprise" or "having" do not preclude the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. The term “at least one” should be understood to include all possible combinations from one or more related items. For example, "at least one of the first item, the second item, and the third item" means not only the first item, the second item, or the third item, respectively, but also two of the first item, the second item, and the third item. It means a combination of all items that can be presented from one or more. The term "on" means not only the case where a certain component is formed directly on top of another component, but also the case where a third component is interposed between these components.

이하에서는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 및 그의 제조방법의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.Hereinafter, a preferred example of a flexible display device and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to components of each drawing, the same components may have the same numerals as much as possible even if they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description may be omitted.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 보여주는 일 예시도면이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 일측 단면을 보여주는 단면도이다.1 is an exemplary diagram showing a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view showing a cross-section of one side of a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1에서 X축은 게이트 라인과 나란한 방향을 나타내고, Y축은 데이터 라인과 나란한 방향을 나타내며, Z축은 플렉서블 표시장치의 높이 방향을 나타낸다. 또한, 도 1에서 연성필름, 회로보드 등에 의해 가려져 보이지 않는 구성은 점선으로 도시하였다. 이하에서는 도 1 및 도 2를 결부하여 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 상세히 설명한다.In FIG. 1 , the X-axis represents a direction parallel to the gate line, the Y-axis represents a direction parallel to the data line, and the Z-axis represents the height direction of the flexible display device. In addition, in FIG. 1, a configuration invisible by being covered by a flexible film, a circuit board, or the like is indicated by a dotted line. Hereinafter, a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 플렉서블 표시패널(100), 게이트 구동부(200), 소스 드라이브 집적회로(integrated circuit, 이하 "IC"라 칭함)(310), 연성필름(330), 회로보드(350), 및 타이밍 제어부(400)를 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2 , a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a flexible display panel 100, a gate driver 200, a source drive integrated circuit (hereinafter referred to as "IC") (310 ), a flexible film 330, a circuit board 350, and a timing controller 400.

플랙서블 표시패널(100)의 표시 영역(DA)에는 게이트 라인들과 데이터 라인들이 형성되며, 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 영역들에는 발광부들이 형성될 수 있다. 표시 영역(DA)의 발광부들은 화상을 표시할 수 있다.Gate lines and data lines may be formed in the display area DA of the flexible display panel 100 , and light emitting units may be formed in intersection areas of the gate lines and data lines. The light emitting units of the display area DA may display an image.

구체적으로 플렉서블 표시패널(100)은 베이스 필름(110), 버퍼층(130), 박막 트랜지스터(T), 패시베이션층(PAS), 평탄화층(PAC), 유기발광 다이오드(OLED), 및 봉지층(180)을 포함한다.Specifically, the flexible display panel 100 includes a base film 110, a buffer layer 130, a thin film transistor (T), a passivation layer (PAS), a planarization layer (PAC), an organic light emitting diode (OLED), and an encapsulation layer 180. ).

베이스 필름(110)은 제1 베이스 필름(111) 및 제2 베이스 필름(113)을 포함한다. 제1 베이스 필름(111)은 플랙서블한 플라스틱 필름(plastic film)일 수 있다. 제1 베이스 필름(111)은 메타크릴레이트(methacrylate)가 포함된 열 경화성 폴리이미드(polyimide) 필름일 수 있다. 즉, 제1 베이스 필름(111)은 메타크릴레이트(methacrylate)가 포함된 폴리이미드(polyimide)를 장시간 (예를 들어, 1 시간 내지 2 시간) 열 경화하여 제조할 수 있다. 또한, 제1 베이스 필름(111)은 N,N-디메틸포름아미드(N,N-dimethylformamide; DMF), N,N-디에틸포름아미드(N,N-diethylformamide; DEF), 또는 N-메틸피롤리돈(Nmethylpyrrolidone; NMP) 등을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 베이스 필름(111)은 소수성(hydrophobic)을 가질 수 있다.The base film 110 includes a first base film 111 and a second base film 113 . The first base film 111 may be a flexible plastic film. The first base film 111 may be a thermosetting polyimide film containing methacrylate. That is, the first base film 111 may be manufactured by thermally curing polyimide containing methacrylate for a long time (eg, 1 hour to 2 hours). In addition, the first base film 111 may be N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-diethylformamide (DEF), or N-methylformamide. Rolidone (Nmethylpyrrolidone; NMP) and the like may be included. Accordingly, the first base film 111 may have hydrophobic properties.

제2 베이스 필름(113)은 제1 베이스 필름(111) 상에 마련된다. 제2 베이스 필름(113)은 제1 베이스 필름(111)의 상면과 측면들을 덮는다. 제2 베이스 필름(113)은 플랙서블한 플라스틱 필름(plastic film)일 수 있다. 예를 들어, 제2 베이스 필름은 신나메이트(cinnamate)가 포함된 광 경화성 폴리이미드(polyimide) 필름일 수 있다. 즉, 제2 베이스 필름(113)은 신나메이트(cinnamate)가 포함된 폴리이미드(polyimide)를 광 경화하여 제조할 수 있다. 이 경우, 제2 베이스 필름(113)은 광 경화에 의해 제조되기 때문에, 제1 베이스 필름(111)보다 짧은 시간 내에 경화될 수 있다. 또한, 제2 베이스 필름(113)은 폴리에틸렌 글리콜(poly ethylene glycol; PEG), 또는 3.5-디아미노벤조산(3,5-diaminobenzoic acid; DABA) 등을 포함할 수 있다. 이에 따라, 제2 베이스 필름은 친수성(hydrophilic)을 가질 수 있다. 이 경우, 제1 베이스 필름(111)의 밀도는 제2 베이스 필름(113)의 밀도보다 클 수 있다. 이에 따라, 제1 베이스 필름(111)과 제2 베이스 필름(113)은 서로 혼합되지 않고, 두 개의 층으로 분리될 수 있다.The second base film 113 is provided on the first base film 111 . The second base film 113 covers the top and side surfaces of the first base film 111 . The second base film 113 may be a flexible plastic film. For example, the second base film may be a light-curable polyimide film containing cinnamate. That is, the second base film 113 may be manufactured by photocuring polyimide containing cinnamate. In this case, since the second base film 113 is manufactured by light curing, it can be cured within a shorter time than the first base film 111 . In addition, the second base film 113 may include polyethylene glycol (PEG) or 3,5-diaminobenzoic acid (DABA). Accordingly, the second base film may have hydrophilic properties. In this case, the density of the first base film 111 may be greater than that of the second base film 113 . Accordingly, the first base film 111 and the second base film 113 may be separated into two layers without being mixed with each other.

본 발명의 실시예는 제1 베이스 필름(111) 및 제1 베이스 필름(111)의 상면 및 측면들을 감싸는 제2 베이스 필름(113)을 구비한다. 이 경우, 제2 베이스 필름(113)이 먼저 광경화되고 제1 베이스 필름(111)이 나중에 열경화된다. 따라서, 본 발명의 실시예는 상기 제2 베이스 필름(113)이 먼저 광경화되어 제1 베이스 필름(111)을 보호하기 때문에, 제1 베이스 필름(111)만 구비하는 종래와 비교하여, 제1 베이스 필름(111)의 내부로 이물이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 플랙서블 표시장치의 화질 불량을 개선할 수 있다.An embodiment of the present invention includes a first base film 111 and a second base film 113 covering the top and side surfaces of the first base film 111 . In this case, the second base film 113 is first photocured and the first base film 111 is thermally cured later. Therefore, in the embodiment of the present invention, since the second base film 113 is first photocured to protect the first base film 111, compared to the prior art having only the first base film 111, the first Penetration of foreign substances into the base film 111 may be prevented. Accordingly, the embodiment of the present invention can improve the quality defect of the flexible display device.

또한, 본 발명의 실시예는 제1 베이스 필름(111)이 소수성을 갖고, 제2 베이스 필름(113)이 친수성을 가지며, 제1 베이스 필름(111)의 밀도가 제2 베이스 필름(113)의 밀도보다 크다. 이에 따라, 제1 베이스 필름(111)과 제2 베이스 필름(113)이 서로 층 분리되어 이중구조를 가질 수 있다.In addition, in the embodiment of the present invention, the first base film 111 has hydrophobicity, the second base film 113 has hydrophilicity, and the density of the first base film 111 is that of the second base film 113. greater than the density. Accordingly, the first base film 111 and the second base film 113 may be layer separated from each other to have a dual structure.

버퍼층(130)은 제2 베이스 필름(113) 상에 마련된다. 버퍼층(130)은 투습에 취약한 제2 베이스 필름(113)으로부터 플렉서블 표시패널(100)의 내부로 수분이 침투하여 박막 트랜지스터들(T)의 특성을 저하시키는 것을 방지한다. 또한, 버퍼층(130)은 제2 베이스 필름(113)으로부터 금속 이온 등의 불순물이 확산되어 액티브층(ACT)에 침투하는 것을 방지한다. 이를 위해 버퍼층(130)은 적어도 하나 이상의 무기막을 포함할 수 있다. 버퍼층(130)은 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The buffer layer 130 is provided on the second base film 113 . The buffer layer 130 prevents moisture from penetrating into the flexible display panel 100 from the second base film 113 , which is vulnerable to moisture permeation, and thereby deteriorating the characteristics of the thin film transistors T . In addition, the buffer layer 130 prevents impurities such as metal ions from diffusing from the second base film 113 and penetrating into the active layer ACT. To this end, the buffer layer 130 may include at least one inorganic film. The buffer layer 130 may be, for example, SiO2 (silicon dioxide), SiNx (silicon nitride), SiON (silicon oxynitride), or a multi-layer thereof, but is not necessarily limited thereto.

박막 트랜지스터(T)는 제2 베이스 필름(113)의 표시 영역(DA)에 마련된다. 박막 트랜지스터(T)는 액티브층(ACT), 게이트 절연막(GI), 게이트 전극(GE), 층간 절연막(ILD), 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 포함한다. The thin film transistor T is provided in the display area DA of the second base film 113 . The thin film transistor T includes an active layer ACT, a gate insulating layer GI, a gate electrode GE, an interlayer insulating layer ILD, a source electrode SE, and a drain electrode DE.

액티브층(ACT)은 버퍼층(130) 상에 마련된다. 액티브층(ACT)은 소스 전극(SE) 측에 위치한 일단 영역(A1), 드레인 전극(DE) 측에 위치한 타단 영역(A2), 및 일단 영역(A1)과 타단 영역(A2) 사이에 위치한 중심 영역(A3)을 포함할 수 있다. 중심 영역(A3)은 도펀트가 도핑되지 않은 반도체 물질로 이루어지고, 일단 영역(A1)과 타단 영역(A2)은 도펀트가 도핑된 반도체 물질로 이루어질 수 있다. The active layer ACT is provided on the buffer layer 130 . The active layer ACT includes one end region A1 located on the source electrode SE side, another end region A2 located on the drain electrode DE side, and a center located between one end region A1 and the other end region A2. Area A3 may be included. The central region A3 may be formed of a semiconductor material not doped with a dopant, and one end region A1 and the other end region A2 may be formed of a semiconductor material doped with a dopant.

게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACT) 상에 마련된다. 게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACT)과 게이트 전극(GE)을 절연시키는 기능을 한다. 게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACT)을 덮으며, 표시 영역(DA) 전면에 형성된다. 게이트 절연막(GI)은 무기막 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. A gate insulating layer GI is provided on the active layer ACT. The gate insulating layer GI serves to insulate the active layer ACT and the gate electrode GE. The gate insulating layer GI covers the active layer ACT and is formed on the entire surface of the display area DA. The gate insulating layer (GI) may be formed of an inorganic layer, for example, silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or multiple layers thereof, but is not limited thereto.

게이트 전극(GE)은 게이트 절연막(GI) 상에 마련된다. 게이트 전극(GE)은 게이트 절연막(GI)을 사이에 두고, 액티브층(ACT)의 중심 영역(A3)과 중첩된다. 게이트 전극(GE)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The gate electrode GE is provided on the gate insulating layer GI. The gate electrode GE overlaps the central region A3 of the active layer ACT with the gate insulating layer GI interposed therebetween. The gate electrode GE may be made of, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). It may be a single layer or a multi-layer made of any one or an alloy thereof, but is not limited thereto.

층간 절연막(ILD)은 게이트 전극(GE) 상에 마련된다. 층간 절연막(ILD)은 게이트 전극(GE)을 덮으며, 베이스 필름(110) 전면에 마련될 수 있다. 층간 절연막(ILD)은 게이트 절연막(GI)과 동일한 무기막 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. An interlayer insulating layer ILD is provided on the gate electrode GE. The interlayer insulating layer ILD covers the gate electrode GE and may be provided on the entire surface of the base film 110 . The interlayer insulating layer (ILD) may be formed of the same inorganic layer as the gate insulating layer (GI), for example, SiO2 (silicon dioxide), SiNx (silicon nitride), SiON (silicon oxynitride), or multiple layers thereof, but is not limited thereto. don't

소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 층간 절연막(ILD)상에서 서로 이격되어 배치된다. 전술한 게이트 절연막(GI)과 층간 절연막(ILD)에는 액티브층(ACT)의 일단 영역(A1) 일부를 노출시키는 제1 콘택홀(CNT1) 및 액티브층(ACT)의 타단 영역(A2) 일부를 노출시키는 제2 콘택홀(CNT2)이 구비된다. 소스 전극(SE)은 제1 콘택홀(CNT1)을 통해서 액티브층(ACT)의 일단 영역(A1)과 연결되고, 드레인 전극(DE)은 제2 콘택홀(CNT2)을 통해서 액티브층(ACT)의 타단 영역(A2)에 연결된다.The source electrode SE and the drain electrode DE are spaced apart from each other on the interlayer insulating layer ILD. A first contact hole CNT1 exposing a part of one end area A1 of the active layer ACT and a part of the other end area A2 of the active layer ACT are formed in the aforementioned gate insulating film GI and interlayer insulating film ILD. An exposed second contact hole CNT2 is provided. The source electrode SE is connected to one end region A1 of the active layer ACT through the first contact hole CNT1, and the drain electrode DE connects to the active layer ACT through the second contact hole CNT2. It is connected to the other end area (A2) of.

이러한 박막 트랜지스터(T)의 구성은 앞서 설명한 예에 한정되지 않고, 당업자가 용이하게 실시할 수 있는 공지된 구성으로 다양하게 변형 가능하다. The configuration of the thin film transistor T is not limited to the above-described example, and may be variously modified into a known configuration that can be easily implemented by those skilled in the art.

패시베이션층(PAS)은 박막 트랜지스터(T) 상에 마련된다. 패시베이션층(PAS)은 박막 트랜지스터(T)를 보호하는 기능을 한다. 패시베이션층(PAS)은 무기막 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The passivation layer PAS is provided on the thin film transistor T. The passivation layer PAS serves to protect the thin film transistor T. The passivation layer (PAS) may be formed of an inorganic film, for example, silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or a multilayer thereof, but is not limited thereto.

평탄화층(PAC)은 표시 영역(DA)에 위치한 패시베이션층(PAS) 상에 마련된다. 평탄화층(PAC)은 박막 트랜지스터(T)가 마련되어 있는 제2 베이스 필름(113)의 상부를 평탄하게 해주는 역할을 한다. 평탄화층(PAC)은 예를 들어, 아크릴계 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides resin)등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 표시 영역(DA)에 위치한 패시베이션층(PAS)과 평탄화층(PAC)에는 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(DE)을 노출시키는 제3 콘택홀(CNT3)이 구비되어 있다. 제3 콘택홀(CNT3)을 통하여 드레인 전극(DE)과 애노드 전극(AND)이 연결된다. The planarization layer PAC is provided on the passivation layer PAS positioned in the display area DA. The planarization layer PAC serves to flatten the top of the second base film 113 on which the thin film transistor T is provided. The planarization layer (PAC) is made of, for example, acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamides resin, polyimide resin, etc. It may be made, but is not limited thereto. A third contact hole CNT3 exposing the drain electrode DE of the thin film transistor T is provided in the passivation layer PAS and the planarization layer PAC located in the display area DA. The drain electrode DE and the anode electrode AND are connected through the third contact hole CNT3.

유기발광 다이오드(OLED)는 박막 트랜지스터(T) 상에 마련된다. 유기발광 다이오드(OLED)는 애노드 전극(AND), 유기층(EL), 및 캐소드 전극(CAT)을 포함한다. 애노드 전극(AND)은 패시베이션층(PAS)과 평탄화층(PAC)에 마련된 제3 콘택홀(CNT3)을 통해 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(DE)에 접속된다. 서로 인접한 애노드 전극(AND)들 사이에는 뱅크(B)가 마련되며, 이로 인해 서로 인접한 애노드 전극(AND)들은 전기적으로 절연될 수 있다. 뱅크(B)는 예를 들어, 폴리이미드계 수지(polyimides resin), 아크릴계 수지(acryl resin), 벤조사이클로뷰텐(BCB) 등과 같은 유기막으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The organic light emitting diode (OLED) is provided on the thin film transistor (T). The organic light emitting diode (OLED) includes an anode electrode (AND), an organic layer (EL), and a cathode electrode (CAT). The anode electrode AND is connected to the drain electrode DE of the thin film transistor T through the third contact hole CNT3 provided in the passivation layer PAS and the planarization layer PAC. A bank B is provided between adjacent anode electrodes AND, so that the adjacent anode electrodes AND can be electrically insulated from each other. The bank B may be formed of, for example, an organic layer such as polyimide resin, acryl resin, or benzocyclobutene (BCB), but is not limited thereto.

유기층(EL)은 애노드 전극(AND)상에 마련된다. 유기층(EL)은 정공 수송층(hole transporting layer), 유기발광층(organic light emitting layer), 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 나아가, 유기층(EL)에는 발광층의 발광 효율 및/또는 수명 등을 향상시키기 위한 적어도 하나 이상의 기능층이 더 포함될 수도 있다.The organic layer EL is provided on the anode electrode AND. The organic layer EL may include a hole transporting layer, an organic light emitting layer, and an electron transporting layer. Furthermore, the organic layer EL may further include at least one functional layer for improving light emitting efficiency and/or lifetime of the light emitting layer.

캐소드 전극(CAT)은 유기층(EL)과 뱅크(B) 상에 마련된다. 애노드 전극(AND)과 캐소드 전극(CAT)에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 유기발광층으로 이동되며, 유기발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다.The cathode electrode CAT is provided on the organic layer EL and the bank B. When voltage is applied to the anode electrode AND and the cathode electrode CAT, holes and electrons move to the organic light emitting layer through the hole transport layer and the electron transport layer, respectively, and combine with each other in the organic light emitting layer to emit light.

도 2에서는 플렉서블 표시패널(100)이 전면(前面) 발광(top emission) 방식으로 구현된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 배면(背面) 발광(bottom emission) 방식으로 구현될 수도 있다. 전면 발광 방식에서는 유기층(EL)의 빛이 상부 기판 방향으로 발광하므로, 트랜지스터(T)가 뱅크(B)와 애노드 전극(AND) 아래에 넓게 마련될 수 있다. 따라서, 전면 발광 방식은 배면 발광 방식에 비해 트랜지스터(T)의 설계 영역이 넓다는 장점이 있다. 전면 발광 방식에서는 애노드 전극(AND)이 알루미늄, 알루미늄과 ITO의 적층 구조와 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성되고, 캐소드 전극(CAT)이 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질로 형성되는 것이 바람직하다.In FIG. 2 , the flexible display panel 100 is embodied in a top emission method, but is not limited thereto and may be implemented in a bottom emission method. In the top emission method, since the organic layer EL emits light toward the upper substrate, the transistor T can be widely provided under the bank B and the anode AND. Accordingly, the top emission method has an advantage in that the design area of the transistor T is wider than that of the bottom emission method. In the top emission method, it is preferable that the anode electrode AND is formed of a highly reflective metal material such as aluminum or a laminated structure of aluminum and ITO, and the cathode electrode CAT is formed of a transparent metal material such as ITO or IZO.

봉지층(180)은 박막 트랜지스터(T) 및 유기발광 다이오드(OLED) 상에 마련된다. 이 경우, 봉지층(180)은 제2 베이스 필름(113) 보다 작게 마련된다. 이로 인해, 제2 베이스 필름(113)의 일부는 봉지층(180)에 의해 덮이지 않고 노출될 수 있다. 봉지층(180)은 외부의 충격으로부터 박막 트랜지스터(T) 및 유기발광 다이오드(OLED)를 보호하고, 플렉서블 표시패널(100)의 내부로 수분의 침투하는 것을 방지하는 기능을 한다.The encapsulation layer 180 is provided on the thin film transistor T and the organic light emitting diode OLED. In this case, the encapsulation layer 180 is provided smaller than the second base film 113 . Due to this, a portion of the second base film 113 may be exposed without being covered by the encapsulation layer 180 . The encapsulation layer 180 serves to protect the thin film transistor T and the organic light emitting diode OLED from external impact and to prevent moisture from penetrating into the flexible display panel 100 .

추가적으로, 봉지층(180)상에는 전면 접착층(190)이 마련될 수 있다. 전면 접착층(190)은 외부의 충격으로부터 박막 트랜지스터(T), 및 유기발광 다이오드(OLED)를 보호하고, 수분의 침투를 방지한다. 전면 접착층(190)은 메탈층 또는 베리어 필름일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.Additionally, a front adhesive layer 190 may be provided on the encapsulation layer 180 . The front adhesive layer 190 protects the thin film transistor T and the organic light emitting diode OLED from external impact and prevents moisture from permeating. The front adhesive layer 190 may be a metal layer or a barrier film, but is not necessarily limited thereto.

게이트 구동부(200)는 타이밍 제어부(400)로부터 입력되는 게이트 제어신호에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 도 1에서는 게이트 구동부(200)가 플렉서블 표시패널(100)의 표시영역(DA)의 일 측 바깥쪽에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 게이트 구동부(200)는 플렉서블 표시패널(100)의 표시영역(DA)의 양 측 바깥쪽에 GIP 방식으로 형성될 수도 있고, 또는 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 플렉서블 표시패널(100)에 부착될 수도 있다.The gate driver 200 supplies gate signals to the gate lines according to the gate control signal input from the timing controller 400 . 1 illustrates that the gate driver 200 is formed outside one side of the display area DA of the flexible display panel 100 by a gate driver in panel (GIP) method, but is not limited thereto. That is, the gate driver 200 may be formed on the outside of both sides of the display area DA of the flexible display panel 100 by the GIP method, or may be manufactured as a driving chip and mounted on a flexible film, and may be TAB (tape automated bonding) It can also be attached to the flexible display panel 100 in this way.

소스 드라이브 IC(310)는 타이밍 제어부(400)로부터 디지털 비디오 데이터와 소스 제어신호를 입력받는다. 소스 드라이브 IC(310)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 소스 드라이브 IC(310)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(330)에 실장될 수 있다.The source drive IC 310 receives digital video data and a source control signal from the timing controller 400 . The source drive IC 310 converts digital video data into analog data voltages according to a source control signal and supplies them to data lines. When the source drive IC 310 is manufactured as a driving chip, it may be mounted on the flexible film 330 in a chip on film (COF) or chip on plastic (COP) method.

봉지층(180)은 제2 베이스 필름(113) 보다 작게 마련되기 때문에, 제2 베이스 필름(113)의 일부는 봉지층(180)에 의해 덮이지 않고 노출될 수 있다. 봉지층(180)에 의해 덮이지 않고 노출된 제2 베이스 필름(113)의 일부에는 데이터 패드들과 같은 패드들이 마련된다. 연성필름(330)에는 패드들과 소스 드라이브 IC(310)를 연결하는 배선들, 패드들과 회로보드(350)의 배선들을 연결하는 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(330)은 이방성 도전 필름(antisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(330)의 배선들이 연결될 수 있다.Since the encapsulation layer 180 is smaller than the second base film 113 , a portion of the second base film 113 may be exposed without being covered by the encapsulation layer 180 . Pads, such as data pads, are provided on a portion of the second base film 113 that is exposed and not covered by the encapsulation layer 180 . Wires connecting pads and the source drive IC 310 and wires connecting pads and wires of the circuit board 350 may be formed on the flexible film 330 . The flexible film 330 is attached to the pads using an anisotropic conducting film, and thereby the pads and wires of the flexible film 330 may be connected.

회로보드(350)는 연성필름(330)들에 부착될 수 있다. 회로보드(350)는 구동 칩들로 구현된 다수의 회로들이 실장될 수 있다. 예를 들어, 회로보드(350)에는 타이밍 제어부(400)가 실장될 수 있다. 회로보드(350)는 인쇄회로보드(printed circuit board) 또는 연성 인쇄회로보드(flexible printed circuit board)일 수 있다.The circuit board 350 may be attached to the flexible films 330 . A plurality of circuits implemented as driving chips may be mounted on the circuit board 350 . For example, the timing controller 400 may be mounted on the circuit board 350 . The circuit board 350 may be a printed circuit board or a flexible printed circuit board.

타이밍 제어부(400)는 외부의 시스템 보드(미도시)로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력받는다. 타이밍 제어부(400)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부(200)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 소스 드라이브 IC(310)들을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 타이밍 제어부(400)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부(200)에 공급하고, 소스 제어신호를 소스 드라이브 IC(310)들에 공급한다.The timing controller 400 receives digital video data and timing signals from an external system board (not shown). The timing controller 400 generates a gate control signal for controlling the operation timing of the gate driver 200 and a source control signal for controlling the source drive ICs 310 based on the timing signal. The timing controller 400 supplies gate control signals to the gate driver 200 and supplies source control signals to the source drive ICs 310 .

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다. 도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 이는 도 2에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략된다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention. 4A to 4F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to an exemplary embodiment of the present invention. This relates to a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 2 . Therefore, the same reference numerals are assigned to the same components, and redundant descriptions of repetitive parts in the materials and structures of each component are omitted.

첫 번째로, 도 4a와 같이 보조 기판(115) 상에 제1 베이스 물질(111a)을 도포하고, 제1 베이스 물질(111a) 상에 제2 베이스 물질(113a)을 도포한다. 제1 베이스 물질(111a)은 보조 기판(115) 상에 슬릿 코팅(slit coating) 방식을 이용하여 도포될 수 있다. 슬릿 코팅 방식은 액상의 제1 베이스 물질(111a)을 노즐(nozzle)을 이용하여 보조 기판(115) 상에 균일하게 도포하는 방법이다. 슬릿 코팅 방식으로 제1 베이스 물질(111a)을 구비하는 경우, 보조 기판(115) 상에 선택적인 코팅이 가능하다. 이에 따라, 제1 베이스 물질(111a)은 보조 기판(115)보다 작은 크기로 구비될 수 있다. 그러나, 제1 베이스 물질(111a)을 형성하는 방법이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.First, as shown in FIG. 4A, a first base material 111a is coated on an auxiliary substrate 115, and a second base material 113a is coated on the first base material 111a. The first base material 111a may be applied on the auxiliary substrate 115 using a slit coating method. The slit coating method is a method of uniformly applying the liquid first base material 111a on the auxiliary substrate 115 using a nozzle. When the first base material 111a is provided in a slit coating method, selective coating on the auxiliary substrate 115 is possible. Accordingly, the first base material 111a may have a size smaller than that of the auxiliary substrate 115 . However, the method of forming the first base material 111a is not necessarily limited thereto.

제2 베이스 물질(113a)은 제1 베이스 물질(111a) 상에 슬릿 코팅(slit coating) 방식을 이용하여 도포될 수 있다. 이 경우, 제2 베이스 물질(113a)은 제1 베이스 물질(111a)의 상면 및 측면들을 덮는다. 제2 베이스 물질(113a)은 제1 베이스 물질(111a)을 밀봉하며 보조 기판(115) 상에 마련된다.The second base material 113a may be applied on the first base material 111a using a slit coating method. In this case, the second base material 113a covers the top and side surfaces of the first base material 111a. The second base material 113a seals the first base material 111a and is provided on the auxiliary substrate 115 .

본 발명의 실시예에 따른 제1 베이스 물질(111a)은 소수성(hydrophobic)을 가질 수 있으며, 제2 베이스 물질(113a)은 친수성(hydrophilic)을 가질 수 있다. 또한, 제1 베이스 물질(111a)의 밀도는 제2 베이스 물질(113a)의 밀도 보다 크다. 따라서, 제1 베이스 물질(111a)과 제2 베이스 물질(113a)은 서로 섞이지 않고 층으로 분리된다. 즉, 제2 베이스 물질(113a)과 비교하여 상대적으로 무거운 제1 베이스 물질(111a)이 보조 기판(115) 상에 배치되고, 제1 베이스 물질(111a)과 비교하여 상대적으로 가벼운 제2 베이스 물질(113a)이 제1 베이스 물질(111a) 상에 배치된다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 층 분리된 제1 베이스 물질(111a)과 제2 베이스 물질(113a)을 경화함으로써, 이중 구조를 갖는 제1 베이스 필름(111)과 제2 베이스 필름(113)을 형성할 수 있다. (도 3의 S101)According to an embodiment of the present invention, the first base material 111a may have hydrophobic properties, and the second base material 113a may have hydrophilic properties. Also, the density of the first base material 111a is greater than that of the second base material 113a. Therefore, the first base material 111a and the second base material 113a are separated into layers without mixing with each other. That is, the relatively heavy first base material 111a compared to the second base material 113a is disposed on the auxiliary substrate 115, and the second base material is relatively light compared to the first base material 111a. (113a) is disposed on the first base material (111a). Accordingly, in the embodiment of the present invention, the first base film 111 and the second base film 113 having a double structure are formed by curing the layer-separated first base material 111a and the second base material 113a. can form (S101 in FIG. 3)

두 번째로, 도 4b와 같이 제2 베이스 물질(113a)을 UV 경화하여 제2 베이스 필름(113)을 형성한다. 제2 베이스 물질(113a)은 신나메이트(cinnamate)가 포함된 광경화성 폴리이미드(polyimide)일 수 있다. 이러한 제2 베이스 물질(113a)은 UV와 같은 광에 의하여 경화될 수 있다. 이에 따라, 제2 베이스 물질(113a)이 경화되는 시간은 제1 베이스 물질(111a)이 경화되는 시간보다 짧다. 즉, 제2 베이스 물질(113a)이 광에 의해 단시간에 경화되기 때문에, 상기 제2 베이스 물질(113a)은 열에 의해 경화되는 제1 베이스 물질(111a)보다 짧은 시간에 경화될 수 있다. 상기한 바와 같이 형성된 제2 베이스 필름(113)은 제1 베이스 물질(111a)로 이물이 침투하는 것을 방지하는 기능을 한다. 즉, 제2 베이스 필름(113)이 먼저 형성되어 제1 베이스 물질(111a)을 보호하기 때문에, 제1 베이스 물질(111a)이 장시간 열 경화되더라도 상기 제2 베이스 필름(113)에 의해 상기 제1 베이스 물질(111a)로 이물이 침투되지 않는다. (도 3의 S102)Second, as shown in FIG. 4B , the second base material 113a is UV-cured to form the second base film 113 . The second base material 113a may be photocurable polyimide containing cinnamate. The second base material 113a may be cured by light such as UV. Accordingly, the curing time of the second base material 113a is shorter than the curing time of the first base material 111a. That is, since the second base material 113a is cured in a short time by light, the second base material 113a may be cured in a shorter time than the first base material 111a cured by heat. The second base film 113 formed as described above functions to prevent foreign matter from penetrating into the first base material 111a. That is, since the second base film 113 is formed first to protect the first base material 111a, even if the first base material 111a is thermally cured for a long time, the second base film 113 protects the first base material 111a. Foreign matter does not penetrate into the base material 111a. (S102 in Fig. 3)

세 번째로, 도 4c와 같이 제1 베이스 물질(111a)을 열 경화하여 제1 베이스 필름(111)을 형성한다. 제1 베이스 물질(111a)은 메타크릴레이트(methacrylate)가 포함된 열 경화성 폴리이미드(polyimide)일 수 있다. 이에 따라, 제1 베이스 물질(111a)이 열에 의해 경화되어 제1 베이스 필름(111)이 형성될 수 있다. (도 3의 S103)Thirdly, as shown in FIG. 4C , the first base film 111 is formed by thermally curing the first base material 111a. The first base material 111a may be thermosetting polyimide containing methacrylate. Accordingly, the first base material 111a may be cured by heat to form the first base film 111 . (S103 in Fig. 3)

네 번째로, 도 4d와 같이 제2 베이스 필름(113) 상에 박막 트랜지스터(T)들을 형성한다. 먼저, 상기 제2 베이스 필름(113)상에 버퍼층(130), 액티브층(ACT), 및 게이트 절연막(G1)을 순차적으로 형성한다. 다음, 표시 영역(DA)에 배치된 게이트 절연막(GI)상에 액티브층(ACT)과 중첩되도록 게이트 전극(GE)형성한다. 다음, 게이트 전극(GE) 상에 층간 절연막(ILD)을 형성한다. 마지막으로, 층간 절연막(ILD) 상에 제1 및 제2 콘택홀들(CNT1, CNT2)을 통해 액티브층(ACT)에 접속되는 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)을 형성한다.Fourth, as shown in FIG. 4D , thin film transistors T are formed on the second base film 113 . First, a buffer layer 130 , an active layer ACT, and a gate insulating layer G1 are sequentially formed on the second base film 113 . Next, a gate electrode GE is formed to overlap the active layer ACT on the gate insulating layer GI disposed in the display area DA. Next, an interlayer insulating layer ILD is formed on the gate electrode GE. Finally, a source electrode SE and a drain electrode DE connected to the active layer ACT through the first and second contact holes CNT1 and CNT2 are formed on the interlayer insulating layer ILD.

다섯 번째로, 도 4e와 같이 박막 트랜지스터(T)들과 접속되는 유기발광 다이오드(OLED)들을 형성하고, 유기발광 다이오드(OLED)들을 덮는 봉지층(180)을 형성한다. 박막 트랜지스터(T)들 상에는 패시베이션층(PAS) 및 평탄화층(PAC)이 순차적으로 형성된다. 에노드 전극(AND)은 박막 트랜지스터(T) 상에 형성되며, 패시베이션층(PAS) 및 평탄화층(PAC)에 마련된 제3 콘택홀(CNT3)을 통하여 드레인 전극(DE)과 연결된다. 서로 인접한 애노드 전극(AND)들 사이에는 뱅크(B)가 형성된다. 유기층(EL)은 애노드 전극(AND)상에 형성된다. 캐소드 전극(CAT)은 유기층(EL)과 뱅크(B) 상에 형성된다. 봉지층(180)은 박막 트랜지스터(T) 및 유기 발광 다이오드(OLED)를 덮도록 형성된다. 봉지층(180)상에는 전면 접착층(190)이 추가로 형성될 수 있다.Fifthly, as shown in FIG. 4E , organic light emitting diodes (OLEDs) connected to the thin film transistors (T) are formed, and an encapsulation layer 180 covering the organic light emitting diodes (OLEDs) is formed. A passivation layer (PAS) and a planarization layer (PAC) are sequentially formed on the thin film transistors (T). The anode electrode AND is formed on the thin film transistor T and is connected to the drain electrode DE through the third contact hole CNT3 provided in the passivation layer PAS and the planarization layer PAC. A bank B is formed between adjacent anode electrodes AND. The organic layer EL is formed on the anode electrode AND. The cathode electrode CAT is formed on the organic layer EL and the bank B. The encapsulation layer 180 is formed to cover the thin film transistor T and the organic light emitting diode OLED. A front adhesive layer 190 may be additionally formed on the encapsulation layer 180 .

마지막으로, 도 4f과 같이 보조 기판(115)으로부터 제1 및 제2 베이스 필름들(111, 113)을 분리한다. 이 경우, 보조 기판(115)과 제1 및 제2 베이스 필름들(111, 113)은 레이저(laser)를 이용하여 서로 분리될 수 있다. (도 3의 S104)Finally, as shown in FIG. 4F , the first and second base films 111 and 113 are separated from the auxiliary substrate 115 . In this case, the auxiliary substrate 115 and the first and second base films 111 and 113 may be separated from each other using a laser. (S104 in Fig. 3)

본 발명의 실시예는 제1 베이스 필름(111) 및 제1 베이스 필름(111)의 상면 및 측면들을 감싸는 제2 베이스 필름(113)을 구비한다. 이 경우, 제2 베이스 필름(113)이 먼저 광경화되고 제1 베이스 필름(111)이 나중에 열경화된다. 따라서, 본 발명의 실시예는 상기 제2 베이스 필름(113)이 먼저 광경화되어 제1 베이스 필름(111)을 보호하기 때문에, 제1 베이스 필름(111)만 구비하는 종래와 비교하여, 제1 베이스 필름(111)의 내부로 이물이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 플랙서블 표시장치의 화질 불량을 개선할 수 있다.An embodiment of the present invention includes a first base film 111 and a second base film 113 covering the top and side surfaces of the first base film 111 . In this case, the second base film 113 is first photocured and the first base film 111 is thermally cured later. Therefore, in the embodiment of the present invention, since the second base film 113 is first photocured to protect the first base film 111, compared to the prior art having only the first base film 111, the first Penetration of foreign substances into the base film 111 may be prevented. Accordingly, the embodiment of the present invention can improve the quality defect of the flexible display device.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the technical field to which the present invention belongs that various substitutions, modifications, and changes are possible without departing from the technical details of the present invention. It will be clear to those who have knowledge of Therefore, the scope of the present invention is indicated by the following claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.

100: 플렉서블 표시패널 105: 보조 기판
111: 제1 베이스 필름 113: 제2 베이스 필름
130: 버퍼층 180: 봉지층
190: 전면 접착층 200: 게이트 구동부
310: 소스 드라이브 IC 330: 연성필름
350: 회로보드 400: 타이밍 제어부
T: 박막 트랜지스터 OLED: 유기발광 다이오드
100: flexible display panel 105: auxiliary substrate
111: first base film 113: second base film
130: buffer layer 180: encapsulation layer
190: front adhesive layer 200: gate driving unit
310: source drive IC 330: flexible film
350: circuit board 400: timing controller
T: thin film transistor OLED: organic light emitting diode

Claims (11)

제1 베이스 필름과, 상기 제1 베이스 필름의 상면 및 측면들을 덮는 제2 베이스 필름을 포함하는 베이스 필름;
상기 베이스 필름의 상면을 덮는 버퍼층;
상기 버퍼층 상에 위치하는 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 상에 위치하고, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 유기발광 다이오드; 및
상기 박막 트랜지스터 및 상기 유기발광 다이오드를 덮는 봉지층을 포함하되,
상기 제1 베이스 필름은 소수성(hydrophobic)을 가지며, 상기 제2 베이스 필름은 친수성(hydrophilic)을 가지는 플렉서블 표시장치.
a base film including a first base film and a second base film covering top and side surfaces of the first base film;
a buffer layer covering an upper surface of the base film;
a thin film transistor positioned on the buffer layer;
an organic light emitting diode disposed on the thin film transistor and electrically connected to the thin film transistor; and
An encapsulation layer covering the thin film transistor and the organic light emitting diode,
The first base film is hydrophobic, and the second base film is hydrophilic.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제1 베이스 필름은 메타크릴레이트(methacrylate)가 포함된 폴리이미드 필름인 플렉서블 표시장치.
According to claim 1,
The first base film is a flexible display device comprising a polyimide film containing methacrylate.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 베이스 필름은 신나메이트(cinnamate)가 포함된 폴리이미드 필름인 플렉서블 표시장치.
According to claim 1,
The flexible display device of claim 1 , wherein the second base film is a polyimide film containing cinnamate.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 베이스 필름의 밀도는 상기 제2 베이스 필름의 밀도보다 큰 플렉서블 표시장치.
According to claim 1,
The flexible display device of claim 1 , wherein a density of the first base film is greater than a density of the second base film.
제 1 항에 있어서,
상기 봉지층 상에 마련된 전면 접착층을 더 포함하는 플렉서블 표시장치.
According to claim 1,
A flexible display device further comprising a front adhesive layer provided on the encapsulation layer.
보조 기판 상에 제1 밀도를 가지는 제1 베이스 물질을 도포하는 단계;
상기 제1 밀도를 가지는 제1 베이스 물질의 상면과 측면들을 덮으면서 상기 제1 베이스 물질과 분리되도록 상기 제1 밀도보다 가벼운 제2 밀도를 가지는 제2 베이스 물질을 도포하는 단계;
상기 제2 베이스 물질을 UV 광으로 경화하여 제2 베이스 필름을 형성하는 단계;
상기 경화된 제2 베이스 필름을 보호막으로 하여 상기 제1 베이스 물질을 열 경화하여 제1 베이스 필름을 형성하는 단계; 및
상기 보조 기판으로부터 제1 베이스 필름과 제2 베이스 필름을 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
coating a first base material having a first density on an auxiliary substrate;
applying a second base material having a second density lighter than the first density to be separated from the first base material while covering upper and side surfaces of the first base material having the first density;
curing the second base material with UV light to form a second base film;
forming a first base film by thermally curing the first base material using the cured second base film as a protective film; and
A method of manufacturing a flexible display device comprising separating a first base film and a second base film from the auxiliary substrate.
제 7 항에 있어서,
상기 제2 베이스 필름 상에 박막 트랜지스터들을 형성하는 단계; 및
상기 박막 트랜지스터들과 접속되는 유기발광 다이오드들을 형성하는 단계를 더 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
According to claim 7,
forming thin film transistors on the second base film; and
The method of manufacturing a flexible display device further comprising forming organic light emitting diodes connected to the thin film transistors.
제 7 항에 있어서,
상기 제1 베이스 물질은 소수성(hydrophobic)을 가지며, 상기 제2 베이스 물질은 친수성(hydrophilic)을 가지는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
According to claim 7,
The first base material has hydrophobic properties, and the second base material has hydrophilic properties.
삭제delete 제 7 항에 있어서,
상기 제1 베이스 물질은 제1 시간동안 열 경화하여 상기 제1 베이스 필름으로 형성하고, 상기 제2 베이스 물질은 제1 시간보다 짧은 제2 시간동안 UV광으로 경화되어 상기 제2 베이스 필름으로 형성하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
According to claim 7,
The first base material is thermally cured for a first time to form the first base film, and the second base material is cured with UV light for a second time shorter than the first time to form the second base film. Manufacturing method of flexible display device.
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