KR102512747B1 - 배향된 이종 계면을 갖는 신축성 투명도 조절 필름, 그 제조 방법 및 신축성 투명도 조정 필름을 포함하는 스마트 윈도우 - Google Patents

배향된 이종 계면을 갖는 신축성 투명도 조절 필름, 그 제조 방법 및 신축성 투명도 조정 필름을 포함하는 스마트 윈도우 Download PDF

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Abstract

개시된 신축성 투명도 조절 필름은, 신축성 투명도 조절 필름은, 3차원 네트워크 형상을 가지며 제1 탄성 중합체를 포함하는 내부 탄성부, 상기 내부 탄성부를 둘러싸는 무기 박막 및 상기 무기 박막을 둘러싸며 제2 탄성 중합체를 포함하는 외부 탄성부를 포함한다. 일 단면에서 상기 내부 탄성부, 상기 무기 박막 및 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 산란 유닛은, 수직 방향 및 수평 방향으로부터 기울어진 경사 방향으로 배향된다.

Description

배향된 이종 계면을 갖는 신축성 투명도 조절 필름, 그 제조 방법 및 신축성 투명도 조정 필름을 포함하는 스마트 윈도우{STRETCHABLE TRANSPARENCY-ADJUSTING FILM HAVING AN ORIENTATED HETEROGENEOUS INTERFACE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND SMART WINDOW HAVING STRETCHABLE TRANSPARENCY-ADJUSTING FILM}
본 발명은 투명도를 조절 가능한 필름에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 광산란 효율이 향상된 경사진 이종 계면을 갖는 신축성 투명도 조절 필름, 그 제조 방법 및 신축성 투명도 조정 필름을 포함하는 스마트 윈도우에 관한 것이다.
기존의 외부 전기적 신호를 통해 제어되는 전기변색 소자 (Electrochromic device), Suspended particle device(SPD) 기술은 내부에 분산된 산란 개체의 정렬도를 제어하기 위하여 전계를 가해야 하기 때문에, 복잡한 구성과 높은 비용 그리고 기존 창호 시스템에 호환이 불가능하다. 또한, 광변색(Photochromic), 열변색(Thermochromic) 기술의 경우, 화학적 변화에 기반을 두고 있기 때문에 상대적으로 내구성 및 안정성이 떨어질 수 있고, 느린 반응 속도, 필연적인 색변화가 발생하기 때문에 선글라스와 같은 제한적인 응용처에 적용되고 있다.
위 문제점으로부터 자유로울 수 있는 기술로, 간단한 원리의 기계적 변형으로 제어되는 광학 변조 기술이 최근 집중 받고 있다. 예를 들어, 마이크로, 혹은 나노 구조체 (wrinkle, crack, pillar, hole, particle 등) 등의 산란 구조에 빛이 입사될 때 발생 되는 구조 계면에서의 빛 산란 현상을 이용하여, 인장에 따라 투광도를 조절 가능한 신축성 광학 필름이 연구되고 있다.
이러한 신축성 광학 필름은 신축성 탄성중합체 표면에 산란 구조가 형성된 적층형 구조(bilayer 구조)를 가질 수 있으며, 기판 위 표면에 존재하는 구조가 갖는 굴절률과 바깥 매질의 굴절률 차이에 의한 빛의 산란 현상을 이용하여 투광도를 조절할 수 있다. 2차원 구조의 경우, 대부분의 표면에 위치한 구조에서 발생하는 산란 효과는 광학 밀도가 낮기 때문에 광학 변조 성능이 떨이지고, 온도, 습도, 심한 기계적 변형을 포함하는 외부 환경에 취약하기 때문에 성능 저하 및 내구성 문제가 있다.
최근 이러한 기술적 한계를 극복하기 위하여, 3차원 산란 구조를 갖는 신축성 복합체가 연구되고 있다. 이러한 3차원 산란 구조는 광 산란을 일으키는 이종 계면의 밀도가 높기 때문에 고대비 투광성 제어가 가능하지만, 비정렬 다공성 구조에 기반하기 때문에 큰 인장력을 필요로 한다. 특히, 실용적인 응용을 위한 넓은 면적에서 높은 균일도를 달성하기에 어려움이 있다.
(1) 대한민국등록특허 10-1902380 (2) 대한민국등록특허 10-0596589 (3) 미국특허출원 15/553,805
(1) Advanced Materials 30, 43, 1803847 (2018) (2) Nature Communications 7, 11802 (2016) (3) Advanced Materials 27, 15, 2489-2495 (2015) (4) Advanced Materials 26, 4127 (2014)
본 발명의 일 과제는, 산란 효율이 개선된 신축성 투명도 조절 필름을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 과제는 상기 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 과제는 신축성 투명도 조절 필름을 포함하는 스마트 윈도우를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 신축성 투명도 조절 필름은, 3차원 네트워크 형상을 가지며 제1 탄성 중합체를 포함하는 내부 탄성부, 상기 내부 탄성부를 둘러싸는 무기 박막 및 상기 무기 박막을 둘러싸며 제2 탄성 중합체를 포함하는 외부 탄성부를 포함한다. 일 단면에서 상기 내부 탄성부, 상기 무기 박막 및 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 산란 유닛은, 수직 방향 및 수평 방향으로부터 기울어진 경사 방향으로 배향된다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막은 산화물을 포함한다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막은 알루미나를 포함한다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막의 두께는 60nm 내지 80nm이다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 탄성 중합체 중 적어도 하나는 폴리디메틸실록산을 포함한다.
일 실시예에 따르면, 일 단면에서 인접하는 네 개의 산란 유닛들을 연결한 선들은 평행 사변형을 형성한다.
일 실시예에 따르면, 상기 경사 방향은 상기 수평 방향으로부터 50도 내지 80도로 기울어진다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막은 기울어진 체심 정방(body-centered tetragonal, BCT) 구조를 갖는다.
일 실시예에 따른 스마트 윈도우는, 윈도우부 및 구동부를 포함한다. 상기 윈도우부는 신축성 투명도 조절 필름 및 상기 신축성 투명도 조절 필름의 단부를 고정하는 고정 클램프를 포함한다. 상기 구동부는 상기 신축성 투명도 조절 필름의 스트레인을 조절한다. 상기 신축성 투명도 조절 필름은, 스트레인에 의해 형성된 내부 공극에 의해 투명도가 감소한다.
일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법은, 감광성 필름 상에 위상 마스크를 배치하는 단계, 상기 위상 마스크를 통해 상기 감광성 필름에 3차원 분포를 갖는 광을 제공하는 단계, 상기 감광성 필름을 현상하여 3차원 네트워크 형상을 갖는 주형부와 이에 의해 정의된 기공부를 갖는 다공성 주형 필름을 형성하는 단계, 상기 다공성 주형 필름의 기공부를 충진하며 제1 탄성 중합체를 포함하는 역상의 외부 탄성부를 형성하는 단계, 상기 다공성 주형 필름의 주형부를 제거하여 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 기공부를 형성하는 단계, 상기 외부 탄성부의 내벽에 무기 박막을 형성하는 단계 및 상기 외부 탄성부에 의해 정의된 기공부를 충진하며 상기 무기 박막에 의해 둘러싸여지며 제2 탄성 중합체를 포함하는 내부 탄성부를 형성하는 단계를 포함한다. 상기 3차원 분포를 갖는 광은, 상기 감광성 필름의 수평 방향 및 수직 방향으로부터 기울어진 경사 방향으로 상기 감광성 필름에 입사되며, 일 단면에서 상기 내부 탄성부, 상기 무기 박막 및 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 산란 유닛은, 상기 경사 방향으로 배향된다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 인장/복원에 따라 투명도를 조절할 수 있는 필름이 신축성 투명도 조절 필름을 얻을 수 있다.
또한, 일 실시예에 따르면, 기울어진 3차원 구조의 신축성 투명도 조절 필름을 얻을 수 있다. 상기 신축성 투명도 조절 필름이 인장되면 기울어진 공극이 형성될 수 있다. 기울어진 공극은 수직으로 연장되는 공극 보다 빛의 진행 방향에 있어 많은 산란 경계를 형성할 수 있다. 따라서, 더 적은 인장에 의해 더 큰 투광성 변화를 얻을 수 있다.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법을 도시한 도면들이다.
도 9a, 도 9b, 도 10a 및 도 10b는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름의 산란 증가 효과를 설명하기 위한 도면들이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법을 도시한 도면들이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름 및 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 발명은, 간단한 stretching/releasing 방법을 통하여 산란 경계를 조절함으로써, 투광도를 효과적으로 제어할 수 있는 신축성 투명도 조절 필름을 제공한다. 이를 위하여 일 실시예로서, 신축성 있는 탄성 중합체와 3차원 무기 박막으로 이루어진 신축성 투명도 조절 필름 및 그 제조 방법을 제공한다.
상기 신축성 투명도 조절 필름에 스트레인이 발생하면, 탄성 중합체와 무기 박막의 서로 다른 기계적 거동으로 인해 공극(air-gap)이 발생한다. 상기 공극(공기 굴절율: 1)은 상기 무기 박막(예를 들어, 알루미나 굴절율: 1.7)이 코팅된 BCT(body centered tetragonal) 유닛 셀에서의 내부 탄성부를 고립시킴으로써 산란 입자(scattering particle)가 형성된다. 상기 무기 박막과 상기 공극의 계면에서 가시광 전 파장에 걸쳐 빛의 산란 효과(Mie scattering)가 발생한다.
상기 신축성 투명도 조절 필름에 가해진 인장력이 제거되면, 탄성 중합체의 복원에 의해 공극이 제거된다. 따라서, 탄성중합체/무기박막/탄성중합체의 계면이 형성되어 가시광에 대해 단일 매질로 거동한다. (일반적으로, 입사하는 파장의 약 1/10 크기보다 작은 스케일의 매질은 광학적으로 투명할 수 있다)
본 발명의 실시예들에 따른 신축성 투명도 조절 필름은, 주기적인 구조에 기반하였기 때문에, 효과적인 재료의 선정 및 신뢰성 있는 투명도 조절이 가능하다. 또한, 대면적 광학 패터닝 및 원자층 증착법 기술을 통해, 대면적화가 가능하며, 최근 고도화되고 있는 IoT(Internet of Things) 기술과의 접목을 통해 외부 환경에 스스로 투광성을 제어하는 스마트 윈도우 디바이스 구현이 가능하다.
본 발명에서 이용되는 주기적인 3차원 나노 복합체를 형성하기 위하여, 자가조립(Self-Assembly), 간섭 리소그라피(Interference Lithography), 스테레오 리소그라피(Stereo Lithography), 홀로그래픽 리소그라피(Holographic Lithography), 직접 잉크 라이팅(Direct Ink Writing), 3D 프린팅(3D Printing) 등 다양한 기술이 사용될 수 있다. 이를 설명하기 위하여 동 출원인의 한국특허출원 2018-0041150호, 2017-0041150호 및 2016-0116160호, 그리고 한국등록특허 1391730호, 1400363호, 1358988호, 1919906호 및 1902382호에 기술된 방법이 참조로 병합될 수 있다.
이하에서는 예시로서, 근접장 나노패터닝 기술(Proximity-Field Nanopatterning, PnP)을 이용한 실시예를 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법을 도시한 도면들이다. 구체적으로, 도 1 내지 3은 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계를 도시한 단면도들이고, 도 4 내지 도 8은 3차원 다공성 주형 필름으로부터 신축성 투명도 조절 필름을 형성하는 단계를 도시한 확대 단면도들이다.
도 1을 참조하면, 베이스 기판(100) 위에 희생층(110)을 형성한다.
예를 들어, 상기 베이스 기판(100)은 실리콘, 유리, 쿼츠, 사파이어, 고분자, 금속 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 고분자는, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리이미드(PI), 폴리아미드(PA), 폴리프로필렌(PP) 등을 포함할 수 있다.
상기 희생층(110)은, 상기 베이스 기판(100)과 그 위에 형성되는 신축성 필름의 분리를 쉽게할 수 있다. 예를 들어, 상기 희생층(110)은, 포토레지스트 조성물 등을 도포하고 경화(노광 및 베이킹)하여 형성될 수 있다.
다음으로, 상기 희생층(110) 위에 감광성 필름(120)을 형성한다. 예를 들어, 상기 감광성 필름(120)은, 포토레지스트 조성물을 상기 희생층(110) 위에 코팅한 후, 예를 들면 약 50℃ 내지 약 100℃ 범위의 온도로 소프트 베이킹(soft baking) 처리하여 형성될 수 있다. 가열 시간은 적절하게 조절될 수 있으며, 예를 들어 약 5분 내지 3시간 동안 가열될 수 있다.
예를 들어, 상기 감광성 필름(120) 형성을 위한 포토레지스트 조성물은, 광가교성을 갖는 유-무기 하이브리드 물질, 하이드로 젤, 페놀릭 수지, 에폭시 수지 등을 포함할 수 있다. 구체적인 예로서, 상기 포토레지스트 조성물로는 SU-8 시리즈, KMPR 시리즈, ma-N 1400 (이상 MicroChem), NR6-6000p(Futurrex) 등이 사용될 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 감광성 필름(120)의 상면에 위상 마스크(130)를 접촉시키고, 상기 위상 마스크(130)를 통해, 3차원 분포를 갖는 광을 상기 감광성 필름(120)에 조사한다. 예를 들어, 상기 위상 마스크(130)의 접촉면은 요철 형상을 가질 수 있다. 상기 위상 마스크(130)를 투과하는 광은, 간섭 현상에 의해 주기적인 3차원 분포를 형성할 수 있다.
예를 들면, 상기 위상 마스크(130)는, 표면에 형성된 요철 격자 구조를 가질 수 있으며, 유연한 탄성체로 형성될 수 있다. 상기 위상 마스크(130)를 상기 감광성 필름(120)에 접촉시키면 반 데르 발스(Van der Waals) 힘에 의해 상기 위상 마스크(130)가 상기 감광성 필름(120)에 밀착할 수 있다.
상기 위상 마스크(130)의 격자 주기와 유사한 범위의 파장을 갖는 레이저를 상기 위상 마스크(130) 표면에 조사하면 탈봇 효과에 의해 3차원인 빛의 분포가 형성될 수 있다. 상기 감광성 필름(120)이 네가티브 포토레지스트를 포함하는 경우, 보강 간섭으로 빛이 강하게 형성된 부분만 선택적으로 포토레지스트의 가교가 일어나고 상대적으로 빛이 약한 나머지 부분은 가교를 위한 노광량이 충분하지 못하기 때문에 현상(developing) 과정에서 용해되어 제거될 수 있다. 따라서, 상기 레이저의 파장 및 상기 위상 마스크의 디자인에 따라 수 백 나노미터(nm) ~ 수 마이크로미터(㎛) 수준의 주기적인 3차원 구조의 네트워크를 포함하는 다공성 구조가 형성될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 위상 마스크(130)의 패턴 주기 및 입사광의 파장을 조절하여 다공성 구조의 기공 사이즈 및 주기성을 조절할 수 있다.
예를 들어, 상기 위상 마스크(130)는 폴리디메틸실록산(polydimetyl siloxane: PDMS), 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate: PUA), 퍼플루오로폴리에테르(perfluoropolyether: PFPE) 등의 물질을 포함할 수 있다.
예를 들어, 노광량(exposing dose energy)은 막 두께에 따라 10 내지 300 mJ/cm2 일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 위상 마스크(130)에 조사되는 광은, 상기 감광성 필름(120)의 상면의 수직 방향으로부터 기울어질 수 있다. 예를 들어, 상기 위상 마스크(130)에 조사되는 광의 입사각(θ)은 10도 내지 60도일 수 있다. 상기 감광성 필름(120)에 조사되는 광을 입사각을 조절함으로써, 상기 감광성 필름(120)으로부터 형성되는 다공성 주형 필름(122) 내부의 패턴 및 이로부터 형성되는 신축성 투명도 조절 필름의 산란 유닛들의 형상, 배향 등을 조절할 수 있다. 상기 감광성 필름(120)에 기울어진 방향으로 광을 조사하는 방법은 도시된 것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 감광성 필름(120)을 기울이기 위하여, 경사 지그 등이 사용될 수도 있다.
예를 들어, 노광된 감광성 필름은, 약 50℃ 내지 약 100℃ 범위의 온도로 다시 베이킹될 수 있다. 가열 시간은 적절하게 조절될 수 있으며, 예를 들어 약 5분 내지 30분 동안 가열될 수 있다.
상기 감광성 필름(120)이 네가티브 타입의 화학 증폭 레지스트(CAR)를 포함하는 경우, 노광 후 베이킹을 통해 노광된 부분이 경화될 수 있다. 따라서, 노광 후 베이킹 단계를 거치기 전에 노광을 여러 차례 이어서 하게 되면 패턴을 대면적화 할 수 있다.
도 3을 참조하면, 노광된 감광성 필름(120)을 현상하여 다공성 주형 필름(122)을 형성한다.
일 실시예에서, 상기 노광된 감광성 필름의 현상은 두 단계로 나누어질 수 있다. 예를 들어, 저농도의 제1 현상액으로 1차 현상을 수행한 후, 고농도의 제2 현상액으로 2차 현상을 수행할 수 있다. 예를 들어, 1차 현상에 의해 감광성 필름의 상부가 먼저 현상되고, 2차 현상에 의해 감광성 필름이 전체적으로 현상되어 3차원 다공성 주형 필름(122)이 형성될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 1차 현상 이후 2차 현상 전에 린싱(세정)을 수행할 수 있다.
상기 감광성 필름(120)의 두께를 증가시키고자 하는 경우, 균일한 현상이 어렵다. 예를 들어, 현상액에 대한 노출 시간이 길어지고 편차가 커짐으로써, 감광ㄱ성 필름의 상부 구조가 손상될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기와 같이 두 단계로 현상 과정을 나누어 수행함으로써, 감광성 필름의 상부 구조의 안정성을 증가시킬 수 있으며, 고농도 현상액에 대한 노출 시간을 감소시킴으로써, 두께를 증가시킬 때, 다공성 주형 필름(122)에서 상부 구조의 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 결과적으로 3차원 나노 복합체의 균일성 및 신뢰성을 개선할 수 있다.
상기 현상액으로서 예를 들면, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol monomethyl ether acetate: PGMEA), 에틸 락테이트(ethyl lactate), 디아세톤알콜(diacetone alcohol), 테트라메틸암모늄 히드록시드(TMAH), Su-8용 현상액 등이 사용될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 현상액은 TMAH와 같은 알칼리를 포함할 수 있으며, 상기 저농도 현상액의 알칼리 농도는 고농도 현상액의 50% 이하, 예를 들어, 10% 내지 50%일 수 있다. 상기 저농도 현상액은 상기 고농도 현상액(예를 들어, 상업용 현상액 원액)을 탈이온수로 희석하여 얻어질 수 있다.
또한, 린싱을 위하여 에탄올 또는 이소프로필 알콜 등과 같은 알콜 또는 탈이온수가 사용될 수 있다.
도 4를 참조하면, 다공성 주형 필름(122)은, 주기적으로 정렬된 3차원 네트워크 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 다공성 주형 필름(122)은 3차원으로 연결된 네트워크 형상의 주형부(122a) 및 이에 의해 정의된 기공부(122b)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 주형부(122a)의 패턴은 상기 감광성 필름(120)에 조사되는 광의 각도에 따라 일정 방향으로 배향될 수 있다. 예를 들어, 일 단면에서 상기 주형부(122a)는 다공성 주형 필름(122)의 수직 방향(D2) 및 상기 다공성 주형 필름(122)에 평행한 방향으로부터 일정 각도로 기울어진 경사 방향(D3)으로 배향될 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 다공성 주형 필름(122)의 기공부(122b) 내에 액상 실리콘 수지를 충진하고 경화하여 외측 탄성부(10)를 형성한다. 일 실시예에 따르면, 상기 외측 탄성부(10)는 폴리디메틸실록산(PDMS) 수지를 포함할 수 있다. 상기 액상 실리콘 수지는, 폴리디메틸실록산과 경화제를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 다공성 주형 필름(122) 위에 액상 실리콘 수지를 제공하여 코팅하고, 데시케이터와 진공 펌프 등을 이용한 진공 처리를 통해, 상기 액상 실리콘 수지를 상기 기공 내에 충진할 수 있다.
다음으로, 가열 등을 통해 상기 액상 실리콘 수지를 경화한 후, 상기 주형부(122a)와 상기 희생층(110)을 제거할 수 있다.
상기 주형부(122a)와 상기 희생층(110)을 제거하기 위하여, 리무버(remover)가 사용될 수 있다. 상기 리무버는 제거 대상 물질에 따라 다양한 유기 용매가 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 리무버는 아세톤, 에탄올, N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸설폭사이드(DMSO) 등을 포함할 수 있다.
상기 주형부(122a)가 제거됨에 따라, 도 6에 도시된 것과 같이, 외측 탄성부(10) 및 이에 의해 정의된 기공부(12)를 갖는 신축성 필름이 얻어질 수 있다. 상기 외측 탄성부(10)는 상기 다공성 주형 필름(122)의 주형부(122a)의 역상을 가질 수 있으며, 상기 기공부(12)는 상기 다공성 주형 필름(122)의 주형부(122a) 형상에 대응되며, 3차원으로 연결된 네트워크 형상을 가질 수 있다.
다음으로, 상기 외측 탄성부(10)의 내벽에 무기 박막(14)을 형성한다. 상기 무기 박막(14)은, 상기 외측 탄성부(10)의 내벽에 형성되어, 상기 기공부(12)를 둘러싸는 형상을 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막(14)은 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 무기 박막(14)은, 알루미나, 실리카, 티타니아, 텅스텐 산화물, 아연 산화물, 주석 산화물, 실리케이트 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막(14)은 알루미나를 포함할 수 있다. 알루미나는 PDMS의 굴절률(약 1.4)과 상대적으로 근접한 굴절률(약 1.7)을 가짐으로써, 산란 효과를 높일 수 있다. 구체적으로, PDMS가 채워질 경우, 비교적 인덱스 매칭되어 (굴절률 차이가 0.3) 공극이 없는 경우에 높은 투과율을 가질 수 있다. 또한, 인장에 의해 공극이 발생될 경우, 기계적 물성 차이로 인하여 공극이 발생될 수 있으며, 공극이 발생될 경우 공극과 무기 박막(14)의 굴절율 차이가 공극과 PDMS의 굴절율 차이보다 크므로, 산란 효율이 증가될 수 있다.
또한, 알루미나는 PDMS에 대한 접착력이 낮아서, 계면 분리에 의한 공극 형성에 유리하다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며, 외측 탄성부(10)에 대한 접착력, 인장 강도 등 다른 물성을 고려하여 적합한 다른 무기 물질이 선택될 수 있다.
예를 들어, 상기 무기 박막(14)은, 원자층 증착법(ALD) 등과 같은 화학 기상 증착(CVD)에 의해 형성될 수 있다. 예를 들어, 무기 박막(14)은 트리메틸알루미늄 등과 같은 알루미늄 전구체를 이용한 ALD에 의해 형성될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막(14)을 형성하기 전에, 상기 외측 탄성부(10)의 표면을 개질한다. 예를 들어, 상기 외측 탄성부(10)를 UV/오존 처리함으로써, 기공 내벽에 실리카 박막을 형성할 수 있다. 상기 실리카 박막은 매우 작은 두께, 예를 들어, 20nm 이하, 바람직하게는 10nm 이하로 형성될 수 있다. 상기 표면 처리를 통해 외측 탄성부(10)의 표면이 친수성을 증가시킴으로써, 상기 무기 박막(14)을 형성하기 위한 전구체의 흡착을 증가시킬 수 있다. 따라서, 무기 박막(14)의 형성 및 두께 조절이 용이해질 수 있다.
다음으로, 상기 기공부(12) 내에 내측 탄성부(16)를 형성한다. 상기 내측 탄성부(16)는 상기 외측 탄성부(10)와 동일한 물질, 예를 들어, PDMS 수지를 포함할 수 있다. 상기 내측 탄성부(16)는, 상기 외측 탄성부(10)와 유사한 방법을 통해 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 무기 박막(14)이 형성된 신축성 필름 위에 액상 실리콘 수지를 제공하여 코팅하고, 데시케이터와 진공 펌프 등을 이용한 진공 처리를 통해, 상기 액상 실리콘 수지를 상기 기공 내에 충진할 수 있다. 다음으로, 가열 등을 통해 상기 액상 실리콘 수지를 경화하여 상기 내측 탄성부(16)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 내측 탄성부(16)는 3차원으로 연결된 네트워크 형태를 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 내측 탄성부(16)와 상기 외측 탄성부(10)는 동일한 탄성 중합체를 포함할 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예들을 이에 한정되지 않으며, 상기 내측 탄성부(16)와 상기 외측 탄성부(10)는 필요에 따라 서로 다른 물질을 포함할 수도 있다.
이에 따라, 상기 외측 탄성부(10), 상기 내측 탄성부(16) 및 상기 무기 박막(14)을 포함하는 신축성 투명도 조절 필름(130)이 얻어질 수 있다. 예를 들어, 일 단면에서, 상기 외측 탄성부(10)는 상기 내측 탄성부(16) 및 상기 무기 박막(14)을 둘러싸는 매트릭스 형상을 가질 수 있으며, 상기 무기 박막(14)은 상기 내측 탄성부(16)를 둘러싸는 형상을 가질 수 있다.
인장력이 가해지지 않은 상태에서, 상기 신축성 투명도 조절 필름은 산란 경계를 형성하지 않는다. 따라서, 높은 투과율 예를 들어, 90% 이상의 투과율을 가질 수 있다.
상기 신축성 투명도 조절 필름에 인장력이 가해지면, 스트레인이 발생한다. 구조적으로, 일 단면에서, 상기 외측 탄성부(10)는 상기 내측 탄성부(16) 보다 큰 인장력을 받을 수 있으며, 상기 내측 탄성부(16)의 신장은 상기 무기 박막(14)에 의해 제한된다. 따라서, 상기 외측 탄성부(10)와 상기 무기 박막(14) 사이에 공극이 발생한다. 상기 공극은 상기 내측 탄성부(16)를 고립시킴으로써 산란 입자를 형성한다. 따라서, 상기 신축성 투명도 조절 필름을 통과하는 광의 산란 증가에 의해 투명도가 낮아진다.
상기 신축성 투명도 조절 필름은 높은 신축성 및 복원성을 갖는다. 따라서, 상기 신축성 투명도 조절 필름으로부터 인장력이 제거되면, 상기 신축성 투명도 조절 필름은 복원되어 투명도가 증가할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 신축성 투명도 조절 필름의 두께는 약 5㎛ 이상일 수 있으며, 바람직하게는 10㎛ 이상일 수 있다. 상기 신축성 투명도 조절 필름의 두께가 과소한 경우, 인장-복원 시의 투명도 차이(콘트라스트)가 과소하여, 스마트 윈도우 등으로의 활용성이 낮아질 수 있다. 상기 신축성 투명도 조절 필름의 두께가 과다한 경우, 인장되지 않았을 때의 노말 투명도가 과도하게 낮아질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막(14)의 두께는 40nm 초과 100nm 이하일 수 있으며, 보다 바람직하게는 60nm 내지 80nm일 수 있다. 상기 무기 박막(14)의 두께가 과도하게 작은 경우, 인장력이 인가되더라도, 계면 분리 및 공극이 발생하지 않거나 과소할 수 있다. 또한, 상기 무기 박막(14)의 두께가 과도하게 큰 경우, 무기 박막(14) 및 이에 의해 둘러싸여지는 내측 탄성부(14)의 신축성이 감소하여, 산란 효과가 감소할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 가시광의 파장을 고려하였을 때, 상기 신축성 투명도 조절 필름이 인장되었을 때 산란 입자를 형성하기 위한 공극의 크기(폭)는 약 60nm 이상일 수 있으며, 또는 120nm 이상일 수 있다.
또한, 상기의 공극을 형성하기 위한 스트레인은 약 10% 이상일 수 있으며, 손상 방지를 위하여 최대 스트레인은 60% 이내로 제한될 수 있다.
상기 신축성 투명도 조절 필름이 인장되었을 때, 상기 무기 박막(14)은 파편화되거나 크랙이 발생할 수 있다. 그러나, 상기 무기 박막(14)은 상기 탄성부에 반데르발스 힘 등에 의해 결합되거나 고정됨으로써, 파편화되거나 크랙이 발생하는 경우에도 전체적인 형태를 유지할 수 있다. 또한 이러한 파편들은 산란 효과를 증가시킬 수도 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 무기 박막(14)은 체심 정방(body-centered tetragonal, BCT) 구조를 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 무기 박막(14)은 기울어진 BCT 구조를 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 근접장 나노패터닝으로 제작 되는 다공성 주형 필름의 경우, BCT 구조를 가질 수 있으며, 상기 무기 박막(14)은 상기 다공성 주형 필름의 주형부를 둘러싸는 형상을 갖는다. 따라서, 상기 무기 박막(14)은 거시적으로는 BCT 구조를 가질 수 있고, 미시적으로는 나노 쉘 구조를 가질 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며, 상기 무기 박막(14)의 네트워크는 면심 입방(face centered cubic) 구조 또는 단순 입방(simple cubic) 구조를 가질 수도 있다. 예를 들어, 본 발명의 신축성 투명도 조절 필름에서, 상기 구조의 x 축 방향으로 인장력이 가해진다고 가정할 때, 상기 무기 박막(14)이 면심 입방 구조 또는 단순 입방 구조를 갖는 것이 스트레인 대비 갭 크기의 증가에 유리할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 외측 탄성부(10) 및 내측 탄성부(16)는 PDMS를 포함할 수 있다, 그러나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 상기 무기 박막(14)이 연속적인 네트워크 구조를 갖는 경우, 탄성부들이 PDMS와 다른 포아송 비율을 갖는 물질을 사용하는 것이 공극 발생에 유리할 수도 있다.
일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름은, 3차원으로 배열되는 산란 유닛(SU)들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 산란 유닛(SU)은 단면도 상에서, 내측 탄성부(16), 상기 내측 탄성부(16)를 둘러싸는 무기 박막(14) 및 상기 무기 박막(14)을 둘러싸는 외측 탄성부(14)에 의해 정의될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 산란 유닛(SU)들은, 상기 신축성 투명도 조절 필름의 평면 방향에 기울어진 방향으로 배향성을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 산란 유닛(SU)들은 상기 신축성 투명도 조절 필름의 평면 방향(D1) 및 수직 방향(D2)에서 일정 각도로 기울어진 경사 방향(D3)으로 배향될 수 있다. 예를 들어, 상기 신축성 투명도 조절 필름의 평면 방향에 대한 상기 산란 유닛들의 배향 각도(θ)는 30도 내지 80도 또는 50도 내지 80도일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 산란 유닛(SU)들은, 단면도 상에서 인접하는 네 개의 산란 유닛(SU)을 연결한 선들이 평행 사변형 형상을 형성하도록 배열될 수 있다. 이러한 구성을 갖는 경우, 수평 방향(D1)에서 산란 유닛(SU)들 사이의 간격이 감소함에 따라, 산란 면적이 증가될 수 있다. 따라서, 투광도 조절 필름의 산란 효과를 증가시킬 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며, 상기 산란 유닛(SU)들은, 단면도 상에서 인접하는 네 개의 산란 유닛을 연결한 선들은 마름모 형상, 직사각형 형상을 형성하도록 배열될 수 있다.
도 9a, 도 9b, 도 10a 및 도 10b는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름의 산란 증가 효과를 설명하기 위한 도면들이다. 구체적으로, 도 9a 및 도 10a는 인장력이 가해졌을 때 산란 유닛의 형태 변화를 도시한 도면이고, 도 9b 및 도 10b는 도 9a 및 도 10a의 A 영역을 확대 도시한 단면도들이다. 도 9a 및 도 9b는 기울어지지 않은 산란 유닛을 도시하며, 도 10a 및 도 10b는 기울어진 산란 유닛을 도시한다.
도 9a 및 도 10a를 참고하면, 내측 탄성부(16, 16'), 상기 내측 탄성부(16, 16')를 둘러싸는 무기 박막(14, 14') 및 상기 무기 박막(14, 14')을 둘러싸는 외측 탄성부(10, 10')를 포함하는 산란 유닛에 수평 방향으로 인장력이 가해지면, 상기 무기 박막(14, 14')과 상기 외측 탄성부(10, 10') 사이에 공극(18, 18')이 형성될 수 있다.
광의 산란은 굴절율 차이가 큰 계면, 예를 들어, 상기 무기 박막(14, 14')과 상기 공극(18, 18')의 계면에서 주로 발생할 수 있다. 도 9b 및 도 10b를 참조하면, 산란 유닛이 인장력이 가해지는 방향(수평 방향)에 수직한 방향으로 배향되는 구조에 비하여, 산란 유닛이 인장력이 가해지는 방향(수평 방향)에 경사진 방향으로 배향되는 구조에서 인장력이 가해졌을 때, 광이 투과되는 방향에 수직한 단면에서, 산란 계면(무기 박막과 공극의 겨면)과 중첩하는 면적이 증가할 수 있음을 알 수 있다. 따라서, 도 9b의 구조에서보다 도 10b의 구조에서 투과하는 광(L2) 대비 산란되는 광(L1)이 증가함으로써 산란 효과가 증가될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 일 단면에서 무기 박막(14) 또는 내측 탄성부(16)는 원형, 또는 타원형 형상을 갖는 것으로 도시되나, 이는 설명을 위한 예시로서 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법을 도시한 도면들이다.
도 11을 참조하면, 주형부(122a)와 기공부(122b)를 포함하는 다공성 주형 필름을 준비한다. 상기 다공성 주형 필름의 주형부(122a)의 표면에 무기 박막(14)을 형성한다. 상기 무기 박막(14)은 ALD 등을 이용하여 형성될 수 있으며, 상기 주형부(122a)를 둘러싸는 쉘 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 기공부(122b)의 적어도 일부는 충진되지 않고 유지된다.
도 12를 참조하면, 상기 주형부(122a)를 제거한다. 따라서, 3차원으로 연결되는 내측 기공부(15a), 상기 내측 기공부(15a)를 둘러싸는 무기 박막(14) 및 상기 무기 박막(14)을 둘러싸는 외측 기공부(15b)를 포함하는 3차원 구조물이 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 주형부(122a)는 아세톤, 에탄올, N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸설폭사이드(DMSO) 등과 같은 리무버에 의해 제거될 수 있다.
다음으로, 3차원 구조물의 내측 기공부(15a)와 외측 기공부(15b)에 액상 실리콘 수지 등을 충진하여 도 8에 도시된 것과 같이, 외측 탄성부(10), 내측 탄성부(16) 및 무기 박막(14)을 포함하는 투광도 조절 필름을 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 산란 유닛들이 3차원으로 배열된 신축성 투명도 조절 필름을 얻을 수 있다. 상기 신축성 투명도 조절 필름은 인장에 의해 투명도가 조절될 수 있다. 또한, 상기 산란 유닛을 기울어진 방향으로 배향시킴으로써 산란 면적을 증가시킬 수 있다. 따라서, 상기 신축성 투명도 조절 필름의 산란 효과와 콘트라스트를 증가시킬 수 있다. 따라서, 더 작은 인장력과 더 작은 스트레인으로 투명도를 조절할 수 있으며, 이에 따라 신축성 투명도 조절 필름의 활용도를 증가시키고 과도한 인장에 의한 내구성 저하를 방지할 수 있다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우를 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우는 윈도우부(200)와 구동부(300)를 포함할 수 있다.
도 13을 참조하면, 윈도우부(200)는 신축성 투명도 조절 필름(210)과 상기 투명도 조절 필름(210)의 양단에 결합된 고정 클램프(212, 214)를 포함할 수 있다. 상기 고정 클램프(212, 214)중 적어도 하나는, 제어 신호에 따라 작동하는 구동 모터에 의해 이동함으로써, 상기 투명도 조절 필름(210)에 인장력을 가함으로써 스트레인을 발생시키거나, 신축된 투명도 조절 필름을 복원할 수 있다. 상기 신축성 투명도 조절 필름(210)의 구성은 기설명된 실시예와 동일할 수 있다.
상기 구동부(300)는, 상기 윈도우부(200)의 상기 고정 클램프(212, 214)를 이동시키기 위한 구동 모터 및 상기 구동 모터를 제어하기 위한 제어부를 포함할 수 있다. 또한, 상기 구동부(300)는 필요에 따라, 센서부 및/또는 통신부를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 구동부(300)는, 적어도 하나의 서보 모터(Servo Motor), 상기 서보 모터를 작동하기 위한 구동 신호를 제공하는 마이크로 콘트롤러(MCU), 광량을 감지하여 상기 마이크로 콘트롤러에 광량 정보 신호를 제공하는 광센서(Ambient Illumination Sensor) 및 무선 통신 모듈(Wireless Communication Module)을 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 광센서는 주변의 광량을 센싱하여, 광량 정보 신호를 상기 마이크로 콘트롤러에 제공할 수 있다. 상기 마이크로 콘트롤러는 상기 광량 정보 신호가 특정 조건에 매치되는 경우, 상기 서보 모터를 작동하기 위한 구동 신호를 제공할 수 있다. 예를 들어, 상기 광량 정보 신호의 값이 레퍼런스 값보다 큰 경우, 투명도 조절 필름(200)을 인장하여 투명도를 감소시키고, 상기 레퍼런스 값보다 같거나 작은 경우, 상기 인장된 투명도 조절 필름을 복원하여 투명도를 증가시킬 수 있다.
상기 무선 통신 모듈은, 외부의 통신 장치, 예를 들면 스마트 폰으로부터 제어 신호, 업데이트 정보 등을 수신하여 상기 마이크로 콘트롤러에 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 구동부는 외부의 사용자 또는 외부의 구동 장치에 의해 구동될 수 있다. 본 발명이 구동부에 사용 가능한 통신 모듈은 무선 통신 모듈에 한정되지 않으며, 유선 통신 모듈이 사용될 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 신축성 투명도 조절 필름은, 광학 장치, 스마트 윈도우, 프로젝터, 가변 투명 파티션, 차광 장치 등의 용도로 사용될 수 있으며, 건물, 이동 수단(자동차, 선박, 항공기 등), 가전 기구, 표시 장치 등에 적용될 수 있다.

Claims (18)

  1. 3차원 네트워크 형상을 가지며 제1 탄성 중합체를 포함하는 내부 탄성부;
    상기 내부 탄성부를 둘러싸며, 알루미나를 포함하고, 두께가 60nm 내지 80nm인 무기 박막; 및
    상기 무기 박막을 둘러싸며 제2 탄성 중합체를 포함하는 외부 탄성부를 포함하며,
    필름의 평면 방향으로 인장력이 가해질 때 상기 외부 탄성부와 상기 무기 박막 사이에 공극이 생성되며,
    일 단면에서 상기 내부 탄성부, 상기 무기 박막 및 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 산란 유닛은, 필름의 평면 방향 및 평면의 수직 방향으로부터 기울어진 경사 방향으로 배향되고, 상기 인장력이 가해지지 않았을 때 상기 경사 방향은 상기 평면 방향으로부터 50도 내지 80도로 기울어지고,
    상기 제1 및 제2 탄성 중합체 중 적어도 하나는 폴리디메틸실록산을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 투명도 조절 필름.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 일 단면에서 인접하는 네 개의 산란 유닛들을 연결한 선들은 평행 사변형을 형성하는 것을 특징으로 하는 신축성 투명도 조절 필름.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서, 상기 무기 박막은 기울어진 체심 정방(body-centered tetragonal, BCT) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 신축성 투명도 조절 필름.
  9. 신축성 투명도 조절 필름 및 상기 신축성 투명도 조절 필름의 단부를 고정하는 고정 클램프를 포함하는 윈도우부; 및
    상기 신축성 투명도 조절 필름의 스트레인을 조절하기 위한 구동부를 포함하고,
    상기 신축성 투명도 조절 필름은,
    3차원 네트워크 형상을 가지며 제1 탄성 중합체를 포함하는 내부 탄성부;
    상기 내부 탄성부를 둘러싸며, 알루미나를 포함하고, 두께가 60nm 내지 80nm인 무기 박막; 및
    상기 무기 박막을 둘러싸며 제2 탄성 중합체를 포함하는 외부 탄성부를 포함하며,
    일 단면에서 상기 내부 탄성부, 상기 무기 박막 및 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 산란 유닛은, 상기 신축성 투명도 조절 필름의 평면 방향 및 평면의 수직 방향으로부터 기울어진 경사 방향으로 배향되고, 상기 신축성 투명도 조절 필름의 스트레인이 없을 때 상기 경사 방향은 상기 평면 방향으로부터 50도 내지 80도로 기울어지며,
    상기 신축성 투명도 조절 필름은, 스트레인에 의해 형성된 내부 공극에 의해 투명도가 감소하고,
    상기 제1 및 제2 탄성 중합체 중 적어도 하나는 폴리디메틸실록산을 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 윈도우.
  10. 삭제
  11. 제9항에 있어서, 일 단면에서 인접하는 네 개의 산란 유닛들을 연결한 선들은 평행 사변형을 형성하는 것을 특징으로 하는 스마트 윈도우.
  12. 제9항에 있어서, 상기 구동부는,
    상기 고정 클램프를 이동시키기 위한 구동 모터;
    상기 구동 모터를 제어하기 위한 제어부; 및
    외부 광량을 감지하여 상기 제어부에 광량 정보 신호를 제공하는 광센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트 윈도우.
  13. 제9항에 있어서, 상기 공극은 상기 외부 탄성부 및 상기 무기 박막 사이에 형성되며, 60nm 이상의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 스마트 윈도우.
  14. 감광성 필름 상에 위상 마스크를 밀착하는 단계;
    상기 위상 마스크를 통해 상기 감광성 필름에 3차원 분포를 갖는 광을 제공하는 단계;
    상기 감광성 필름을 현상하여 3차원 네트워크 형상을 갖는 주형부와 이에 의해 정의된 기공부를 갖는 다공성 주형 필름을 형성하는 단계;
    상기 다공성 주형 필름의 기공부 내에 제1 탄성 중합체를 포함하는 역상의 외부 탄성부를 형성하는 단계;
    상기 다공성 주형 필름의 주형부를 제거하여 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 기공부를 형성하는 단계;
    상기 외부 탄성부의 내벽에 알루미나를 포함하고 두께가 60nm 내지 80nm인 무기 박막을 형성하는 단계; 및
    상기 외부 탄성부에 의해 정의된 기공부 내에 상기 무기 박막에 의해 둘러싸여지며 제2 탄성 중합체를 포함하는 내부 탄성부를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 3차원 분포를 갖는 광은, 상기 감광성 필름의 평면 방향 및 평면의 수직 방향으로부터 기울어진 경사 방향으로 상기 감광성 필름에 입사되며, 일 단면에서 상기 내부 탄성부, 상기 무기 박막 및 상기 외부 탄성부에 의해 정의되는 산란 유닛은, 상기 경사 방향으로 배향되고, 상기 경사 방향은 상기 평면 방향으로부터 50도 내지 80도로 기울어지며, 상기 평면 방향으로 인장력이 가해질 때 상기 외부 탄성부와 상기 무기 박막 사이에 공극이 생성되며,
    상기 제1 및 제2 탄성 중합체 중 적어도 하나는 폴리디메틸실록산을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 감광성 필름을 현상하는 단계는,
    상기 3차원 분포를 갖는 광에 노출된 감광성 필름에 저농도의 제1 현상액을 제공하는 단계; 및
    상기 제1 현상액으로 현상된 감광성 필름에 고농도의 제2 현상액을 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법.
  16. 삭제
  17. 제14항에 있어서, 상기 무기 박막을 형성하기 전에, 상기 외부 탄성부를 UV/오존 처리하여 기공 내벽에 실리카 박막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 투명도 조절 필름의 제조 방법.
  18. 삭제
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