KR102511577B1 - Automatic clean quick coupler remote operation system - Google Patents
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Abstract
본 발명은 식수나 공업수를 이송하는 배관 등과 같은 액체 이송용 배관 동결 및 동파 방지 시스템에 관한 것으로, 상세하게는, 액체 이송용 배관을 따라 일정 온도로 가열된 부동액(혼합액)이 흐르는 부동액 호스를 설치하고, 호스를 흐르는 부동액의 열원을 액체 이송용 배관으로 전달하여 동절기에 액체 이송용 배관이 동결 및 동파되는 것을 방지할 수 있는 액체 이송용 배관 동결 및 동파 방지 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a freezing and freezing prevention system for pipes for transporting liquids, such as pipes for transporting drinking water or industrial water, and more particularly, to an antifreeze hose in which antifreeze (mixture) heated to a certain temperature flows along a pipe for transporting liquid The present invention relates to a system for preventing freezing and bursting of liquid transport piping, which can prevent freezing and bursting of liquid transport piping in winter by transferring a heat source of antifreeze flowing through a hose to a liquid transport piping.
Description
본 발명은 ACQC(Automatic Clean Quick Coupler) 원격 구동 시스템에 관한 것으로, 상세하게는, 탱크로리(Tank lorry)에 채워진 화학약품을 ACQC 장치를 이용하여 저장탱크(Storage tank)로 이송할 때 작업자가 탱크로리의 호스 체결과 탱크로리 측 수동밸브만을 조작하고, 운전(Start signal)은 근거리에서 원격으로 제어하여 ACQC 장치의 연결이나 화학약품의 초기 투입과정에서 화학약품의 분출이나 유출로 인한 위험상황 발생시 작업자를 보호할 수 있는 ACQC 원격 구동 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an ACQC (Automatic Clean Quick Coupler) remote driving system, and in detail, when transferring chemicals filled in a tank lorry to a storage tank using an ACQC device, an operator Only the hose connection and the manual valve on the tank lorry are operated, and the operation (start signal) is remotely controlled from a short distance to protect workers in the event of a dangerous situation due to the ejection or leakage of chemicals during the initial input process or connection of the ACQC device. It relates to an ACQC remote driving system capable of
일반적으로, 반도체 장치를 제조하는 반도체 제조공정에는 환경과 인체에 유해한 다양한 종류의 화학약품을 사용하기 때문에 그 취급에 있어서 주의가 필요하다. 이러한 화학약품은 탱크로리(tank lorry)에서 저장탱크(storage tank)로 이송된 후 저장탱크에서 단위공정이 진행되는 챔버로 이송되는 방식으로 공급이 이루어진다.In general, since various types of chemicals harmful to the environment and human body are used in a semiconductor manufacturing process for manufacturing semiconductor devices, care must be taken in handling them. These chemicals are supplied in such a way that they are transported from a tank lorry to a storage tank and then transported from the storage tank to a chamber where a unit process is performed.
탱크로리에서 저장탱크로 화학약품을 이송하는 이송 시스템에서는 통상 탱크로리와 저장탱크 사이에 ACQC(Automatic Clean Quick Coupler) 장치를 설치하여 이송한다. ACQC 장치를 통해 탱크로리의 탱크에 고압 질소(N2)를 공급하고, 공급된 고압 질소의 압력으로 화학약품을 토출시켜 ACQC 장치를 통해 저장탱크에 저장하게 된다. In a transfer system that transfers chemicals from a tank lorry to a storage tank, an ACQC (Automatic Clean Quick Coupler) device is usually installed between the tank lorry and the storage tank for transport. High-pressure nitrogen (N 2 ) is supplied to the tank of the tank lorry through the ACQC device, and chemicals are discharged with the pressure of the supplied high-pressure nitrogen and stored in the storage tank through the ACQC device.
즉, 탱크로리의 탱크에 저장된 화학약품은 고압 질소에 의해 탱크로리의 탱크로부터 1차적으로 ACQC 장치로 이송된 후 ACQC 장치에서 저장탱크로 이송된다. 이에 따라, 화학약품이 ACQC 장치로부터 저장탱크로 이송되는 과정에서 작업자가 화학약품에 노출될 위험성과 화학약품의 유출로 위한 화재 등의 위험성을 최소화할 수 있다. That is, the chemicals stored in the tank of the tank lorry are first transferred from the tank of the tank lorry to the ACQC device by high-pressure nitrogen, and then transferred from the ACQC device to the storage tank. Accordingly, it is possible to minimize the risk of workers being exposed to chemicals and the risk of fire due to the outflow of chemicals in the process of transferring chemicals from the ACQC device to the storage tank.
그러나, ACQC 장치를 사용하여 화학약품을 이송하는 이송 시스템에서는 호스 연결 등을 근접 거리에서 작업자가 직접 수행해야 하기 때문에 안전을 위협받고 있다. 예를 들어, 탱크로리 운전자 또는 작업자는 근접 거리에서 탱크로리에 연결된 호스를 길게 인출한 후 종단에 구비된 수커넥터를 ACQC 장치에 구비된 암커넥터에 직접 연결해야 하기 때문에 예기치 못한 화학약품의 분출이나 유출 위험이 상존한다. However, in the transport system for transporting chemicals using the ACQC device, safety is threatened because a worker must directly perform hose connection or the like at a close distance. For example, the tank lorry driver or worker must draw a long hose connected to the tank lorry from a close distance and directly connect the male connector provided at the end to the female connector provided in the ACQC device, so there is a risk of unexpected chemical discharge or leakage. this persists
이와 같이, 화학약품을 공급하는 중에 작업자의 실수나 부주의로 인해 연결부위에서 화학약품이 외부로 분출 또는 유출될 수 있고, 또는 ACQC 장치의 동작 이상으로 인해 화학약품이 안정적으로 투입되지 못하고 주입구를 통해 외부로 분출 또는 유출되어 작업자 등의 인체에 치명적인 악영향을 줄 수 있는 문제가 발생하였다. In this way, chemicals may be ejected or leaked out from the connection part due to a worker's mistake or negligence while supplying chemicals, or chemicals may not be stably injected due to an abnormal operation of the ACQC device, and the chemicals may be injected outside through the inlet A problem occurred that could cause a fatal adverse effect on the human body such as a worker by being ejected or leaked.
따라서, 본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 탱크로리에 채워진 화학약품을 ACQC 장치를 이용하여 저장탱크로 이송할 때 작업자가 탱크로리의 호스 체결과 탱크로리 측 수동밸브만을 조작하고, 운전은 근거리에서 원격으로 제어하여 ACQC 장치의 연결이나 화학약품의 초기 투입과정에서 위험상황 발생시 작업자를 보호할 수 있는 ACQC 원격 구동 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다. Therefore, the present invention is proposed to solve the problems of the prior art, and when transferring the chemicals filled in the tank lorry to the storage tank using the ACQC device, the operator operates only the hose connection of the tank lorry and the manual valve on the tank lorry side, and the operation Its purpose is to provide an ACQC remote driving system that can remotely control from a short distance to protect workers in the event of a dangerous situation during the connection of ACQC devices or the initial input of chemicals.
상기한 목적을 달성하기 위한 일 측면에 따른 본 발명은 반도체 제조공정의 각종 화학약품이 저장된 탱크로리와 호스를 통해 서로 연결되고, 상기 호스를 통해 상기 탱크로리로 고압 질소를 공급하여 상기 고압 질소의 압력에 의해 상기 탱크로리로부터 토출되는 화학약품을 저장탱크로 공급하는 ACQC 장치; 및 상기 호스를 통해 상기 탱크로리와 상기 ACQC 장치가 연결되어 상기 탱크로리에서 상기 ACQC 장치로 화학약품이 투입되는 위험지역 내의 작업현장에서 벗어나 안전지역 내에서 상기 ACQC 장치와 유선 또는 무선으로 통신하여 상기 작업현장을 실시간으로 모니터링하고 원격으로 상기 ACQC 장치의 운전을 제어하는 관리자 단말기를 포함하는 것을 특징으로 하는 ACQC 원격 구동 시스템을 제공한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, the tank lorry in which various chemicals in the semiconductor manufacturing process are stored is connected to each other through a hose, and high-pressure nitrogen is supplied to the tank lorry through the hose to increase the pressure of the high-pressure nitrogen. ACQC device for supplying the chemicals discharged from the tank lorry to the storage tank by; And the tank lorry and the ACQC device are connected through the hose to communicate with the ACQC device by wire or wirelessly in a safe area away from a work site in a dangerous area where chemicals are injected from the tank lorry to the ACQC device, and communicate with the work site by wire or wirelessly. It provides an ACQC remote driving system comprising a manager terminal for monitoring in real time and remotely controlling the operation of the ACQC device.
바람직하게, 상기 호스는 종단에 구비된 수커넥터와 상기 ACQC 장치에 구비된 암커넥터의 캡을 제거한 후 상기 호스의 수커넥터를 상기 ACQC 장치의 암커넥터에 연결하여 상기 탱크로리와 상기 ACQC 장치를 연결하는 것을 특징으로 할 수 있다. Preferably, the hose is connected to the tank lorry and the ACQC device by connecting the male connector of the hose to the female connector of the ACQC device after removing the cap of the male connector provided at the end and the female connector provided in the ACQC device. that can be characterized.
바람직하게, 상기 관리자 단말기는 상기 탱크로리와 상기 ACQC 장치로 이루어진 복수 개의 그룹 내에서 각각 화학약품의 공급 이송작업이 수행될 때 각 그룹 내의 ACQC 장치의 운전을 원격으로 동시에 제어하되, 무선 네트워크를 통해 각 그룹들 내에서 ACQC 장치와 무선통신하여 안전지역 내에서 원격으로 ACQC 장치의 현재 상태와 위험상황을 모니터링하고 운전을 제어하는 것을 특징으로 할 수 있다. Preferably, the manager terminal remotely and simultaneously controls the operation of the ACQC devices in each group when the chemical supply and transfer work is performed in a plurality of groups consisting of the tank lorry and the ACQC device, respectively, through a wireless network. It may be characterized in that the current status and dangerous situation of the ACQC device is remotely monitored in a safe area by wireless communication with the ACQC device within the groups and the operation is controlled.
바람직하게, 상기 관리자 단말기는 상기 ACQC 장치가 복수 개로 설치된 위험물 취급소 내에 설치된 메인허브와 무선 네트워크를 통해 상기 복수 개의 ACQC 장치와 무선통신하고, 상기 메인 허브는 상기 위험물 취급소에 설치된 복수 개의 ACQC 장치들 중 마스터 장치로 설정된 마스터 ACQC 장치와 유선통신하고, 상기 마스터 ACQC 장치를 제외한 나머지 슬레이브 ACQC 장치들은 순차적으로 직렬 연결되어 유선통신하고, 상기 슬레이브 ACQC 장치들 중 어느 하나의 슬레이브 ACQC 장치는 상기 마스터 ACQC 장치와 유선으로 연결되어 유선통신하는 것을 특징으로 할 수 있다. Preferably, the manager terminal wirelessly communicates with the plurality of ACQC devices through a wireless network with a main hub installed in a dangerous goods handling station in which a plurality of ACQC devices are installed, and the main hub is among the plurality of ACQC devices installed in the dangerous goods handling station. Wired communication with the master ACQC device set as the master device, and the remaining slave ACQC devices other than the master ACQC device are sequentially connected in series to communicate by wire, and any one of the slave ACQC devices is connected to the master ACQC device. It may be characterized in that it is connected by wire and performs wired communication.
바람직하게, 상기 슬레이브 ACQC 장치들은 각각 PLC(Programmable Logic Controller)을 통해 현재 자신의 상태를 상기 마스터 ACQC 장치를 매개로 상기 메인허브로 전송하고, 상기 메인허브는 상기 무선 네트워크를 통해 상기 관리자 단말기로 전송하고, 상기 관리자 단말기는 상기 메인허브로부터 전송된 데이터를 수신받고, 그에 대응하는 현재 상태를 표시하고, 상기 관리자 단말기는 터치패널을 통해 입력된 운전신호를 상기 무선 네트워크를 매개로 상기 메인허브를 통해 상기 마스터 ACQC 장치로 전송하고, 상기 마스터 ACQC 장치는 상기 메인허브로부터 전송된 운전신호를 상기 슬레이브 ACQC 장치들로 전송하여 운전시키는 것을 특징으로 할 수 있다. Preferably, the slave ACQC devices each transmit their current state to the main hub through the master ACQC device through a programmable logic controller (PLC), and the main hub transmits to the manager terminal through the wireless network The manager terminal receives data transmitted from the main hub and displays a corresponding current state, and the manager terminal transmits a driving signal input through a touch panel through the main hub through the wireless network. Transmission to the master ACQC device, and the master ACQC device may be characterized in that the drive signal transmitted from the main hub is transmitted to the slave ACQC devices for operation.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 ACQC 원격 구동 시스템에 따르면, 탱크로리에 채워진 화학약품을 ACQC 장치를 이용하여 저장탱크로 이송할 때 작업자가 탱크로리의 호스 체결과 탱크로리 측 수동밸브만을 조작하고, 운전(초기 투입과정)은 예기치 못한 화학약품의 분출이나 유출시에도 작업자가 영향을 받지 않는 안전지역에서 원격으로 제어하여 가동시킴으로써 ACQC 장치의 연결이나 화학약품의 초기 투입과정에서 위험상황이 발생하더라도 작업자를 안전하게 보호할 수 있다. As described above, according to the ACQC remote drive system according to the present invention, when transferring the chemicals filled in the tank lorry to the storage tank using the ACQC device, the operator operates only the hose connection of the tank lorry and the manual valve on the tank lorry side, and the operation (Initial input process) is remotely controlled and operated in a safe area where workers are not affected even in the event of an unexpected ejection or leakage of chemicals, so that even if a dangerous situation occurs during the initial input process of chemicals or connecting the ACQC device, the operator is protected. can be safely protected.
또한, 본 발명에 따른 ACQC 원격 구동 시스템에 따르면, 작업자가 탱크로리와 ACQC 장치의 연결지점, 즉 탱크로리에서 ACQC 장치로 화학약품이 투입되는 투입지점으로부터 떨어져 작업현장의 모니터링 및 원격 운전이 가능하여 위험상황에 노출되지 않은 상태로 상황을 주시 할 수 있으므로 인명피해 우려를 불식 시킬 수 있으며, 무선기반의 시스템으로 구역내 이동하며 업무가 가능한 이점을 제공할 수 있다. In addition, according to the ACQC remote driving system according to the present invention, the worker can monitor and remotely operate the work site away from the connection point between the tank lorry and the ACQC device, that is, the input point where the chemicals are injected from the tank lorry to the ACQC device, so that it is possible to monitor and remotely operate the dangerous situation. Since it is possible to keep an eye on the situation without being exposed to it, it is possible to dispel concerns about human casualties, and it is possible to provide the advantage of being able to work while moving within the area as a wireless-based system.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템을 간략하게 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 운영과정을 도시한 흐름도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 구현범위를 간략하게 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 네트워크 구성을 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 무선 구성의 일례를 도시한 도면.1 is a diagram schematically illustrating an ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a flow chart showing the operating process of the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a diagram briefly showing the implementation range of the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a diagram showing the network configuration of the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram showing an example of a wireless configuration of an ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them, will become clear with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms.
본 명세서에서 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. In this specification, this embodiment is provided to complete the disclosure of the present invention, and to completely inform those skilled in the art of the scope of the invention to which the present invention belongs. And the invention is only defined by the scope of the claims. Thus, in some embodiments, well-known components, well-known operations and well-known techniques have not been described in detail in order to avoid obscuring the interpretation of the present invention.
또한, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 그리고, 본 명세서에서 사용된(언급된) 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, '포함(또는, 구비)한다'로 언급된 구성 요소 및 동작은 하나 이상의 다른 구성요소 및 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. Also, like reference numerals designate like elements throughout the specification. In addition, the terms used (mentioned) in this specification are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, singular forms also include plural forms unless specifically stated otherwise in a phrase. Also, elements and operations referred to as 'include (or include)' do not exclude the presence or addition of one or more other elements and operations.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used in a meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless they are defined.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 기술적 특징을 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, technical features of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템을 간략하게 도시한 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating an ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템은 반도체 제조공정의 각종 화학약품이 저장된 탱크로리(1)로 고압 질소(N2)를 공급하고 공급된 고압 질소의 압력에 의해 탱크로리(1)의 탱크로부터 토출되는 화학약품을 저장탱크(3)로 공급하는 ACQC 장치(2)와, ACQC 장치(2)와 유선 또는 무선으로 통신하여 위험지역 밖에서 원격으로 ACQC 장치(2)의 운전을 조작하는 관리자 단말기(4)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention supplies high-pressure nitrogen (N 2 ) to a tank lorry (1) in which various chemicals in a semiconductor manufacturing process are stored, and the tank lorry is moved by the pressure of the supplied high-pressure nitrogen. The ACQC device (2) that supplies chemicals discharged from the tank of (1) to the storage tank (3) and the ACQC device (2) communicates with the ACQC device (2) by wire or wirelessly to operate the ACQC device (2) remotely from outside the hazardous area. It includes an
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 운영과정을 도시한 흐름도이다. Figure 2 is a flow chart showing the operating process of the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2와 같이, 탱크로리(1)가 ACQC 장치(2)가 설치된 장소에 근접하게 정차하면(S1), 안전장치를 점검하고 안전펜스 등의 안전 시설물을 설치한다(S2). 1 and 2, when the
이후, 안전조치에 대한 점검과 안전 시설물 설치가 완료되면, 작업자는 탱크로리(1)에 연결된 호스를 인출하여 ACQC 장치(2)에 연결한다(S3). 즉, 호스의 종단에 구비된 수커넥터와 ACQC 장치(2)에 구비된 암커넥터의 캡을 제거한 후 호스의 수커넥터를 ACQC 장치의 암커넥터에 연결하는 방식으로 호스를 ACQC 장치(2)에 연결한다. Thereafter, when the inspection of safety measures and the installation of safety facilities are completed, the worker withdraws the hose connected to the tank lorry (1) and connects it to the ACQC device (2) (S3). That is, after removing the cap of the male connector provided at the end of the hose and the female connector provided in the
이후, ACQC 장치(2)에 구비된 수동밸브를 조작하여 밸브를 개방한다(S4). Thereafter, the valve is opened by operating the manual valve provided in the ACQC device (2) (S4).
이후, 작업자가 화학약품의 분출이나 유출시 화학약품에 노출되는 위험지역을 벗어나 안전지역으로 이동하면, 관리자 단말기(4)를 이용하여 ACQC 장치(2)와 유선 또는 무선으로 원거리에서 ACQC 장치(2)의 운전을 가동 및 정지시킨다(S5, S6). 이때, 무선통신의 경우에는 옥외 저장소 내에 근거리에서 ACQC 장치(2)의 운전을 제어하고, 유선통신의 경우에는 지정된 위치의 고정식 유선통신을 통해 제어한다.Then, when the worker moves out of the dangerous area exposed to chemicals when the chemical is ejected or leaked and moves to a safe area, the ACQC device (2) is remotely connected to the ACQC device (2) by wire or wirelessly using the manager terminal (4). ) to start and stop the operation (S5, S6). At this time, in the case of wireless communication, the operation of the
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템에서는, 탱크로리(1)의 탱크에 저장된 화학약품을 저장탱크(3)로 공급 이송할 때, 작업자는 탱크로리(1)와 연결된 호스를 물리적으로 ACQC 장치(2)에 연결하는 작업 후 수동밸브만을 조작하고, ACQC 장치(2)의 운전은 안전지역에서 원격으로 관리자 단말기(4)를 통해 제어함으로써 화학약품을 공급하는 중에 작업자의 실수나 부주의로 인해 연결부위에서 화학약품이 외부로 분출 또는 유출되더라도 작업자의 안전을 보장할 수 있다. As such, in the ACQC remote drive system according to the embodiment of the present invention, when supplying and transferring the chemicals stored in the tank of the
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 구현범위를 간략하게 도시한 도면이다.3 is a diagram briefly showing the implementation range of the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
도 3과 같이, 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템은 무선통신용 관리자 단말기(4)를 통해 탱크로리(1)와 ACQC 장치(2)로 이루어진 복수 개의 그룹(ACQC #1~ACQC #8) 내에서 각각 화학약품의 공급 이송작업이 수행될 때 각 그룹(ACQC #1~ACQC #8) 내의 ACQC 장치(2)의 운전을 원격으로 동시에 제어할 수 있다. As shown in FIG. 3, the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention includes a plurality of groups (
각 그룹들(ACQC #1~ACQC #8) 내에서 ACQC 장치(2)는 무선 엑세스 포인트(AP), 즉 무선 네트워크(AP)를 통해 관리자 단말기(4)와 무선통신한다. 무선 네트워크(AP)는 그룹들(ACQC #1~ACQC #8) 간의 거리가 멀거나 그룹의 수가 많은 경우에는 관리자 단말기(4)와의 원활한 무선통신이 가능하도록 복수 개가 설치될 수 있다. Within each group (
관리자 단말기(4)는 무선 네트워크(AP)를 매개로 각 그룹(ACQC #1~ACQC #8) 내에 설치된 ACQC 장치(2)와 각각 무선통신하여 안전지역 내에서 원격으로 ACQC 장치(2)의 현재 상태(레벨, 밸브상태 등), 위험상황 등을 모니터링하는 한편, 운전을 제어한다.The
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 네트워크 구성을 도시한 도면이다. 4 is a diagram showing the network configuration of the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템은 메인 허브(5)를 통해 위험물 취급소 내에 설치된 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #5)을 모니터링 및 제어한다. Referring to FIG. 4, the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention monitors and controls ACQC devices (
메인허브(5)는 위험물 취급소 내에 설치된 무선 네트워크(AP)를 통해 관리자 단말기(4)와 무선통신하고, 복수 개의 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #5) 중 마스터 장치로 설정된 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)와 유선통신한다. 즉, 메인허브(5)는 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)와 관리자 단말기(4)를 무선 네트워크(AP)를 매개로 중계한다. The
마스터 ACQC 장치(ACQC #5)를 제외한 나머지 슬레이브 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #4)은 순차적으로 직렬 연결되어 유선통신하고, 이들 중 어느 하나의 슬레이브 ACQC 장치, 예컨대 'ACQC #4'는 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)와 유선으로 연결된다.Except for the master ACQC device (ACQC #5), the remaining slave ACQC devices (
슬레이브 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #4)은 각각에 구비된 PLC(Programmable Logic Controller)을 통해 현재 자신의 상태(호스 연결상태, 수동밸브 개폐상태 등의 동작상태)를 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)로 전송한다. 그리고, 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)는 슬레이브 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #4)에서 전송된 데이터를 메인허브(5)로 전송하고, 메인허브(5)는 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)에서 전송된 데이터를 무선 네트워크(AP)를 통해 관리자 단말기(4)로 전송한다.The slave ACQC devices (
관리자 단말기(4)는 메인허브(5)로부터 전송된 데이터를 수신받고, 그에 대응하는 현재 상태, 예를 들면 레벨과 밸브 상태 등을 표시한다. 그리고, 관리자 단말기(4)의 터치패널을 터치방식으로 조작하여 메인허브(5)를 통해 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)로 운전신호를 전송한다. 마스터 ACQC 장치(ACQC #5)는 메인허브(5)로부터 전송된 운전신호를 각 슬레이브 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #4)로 전송하여 가동시킨다. The
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템의 무선 구성의 일례를 도시한 도면이다. 5 is a diagram showing an example of a wireless configuration of an ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention.
도 4 및 도 5와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 ACQC 원격 구동 시스템에서는, 복수 개의 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #5)과 메인허브(5)를 유선으로 통신하기 위해 각각에 PLC 통신을 위한 카드가 추가로 설치된다. 즉, 각 ACQC 장치들(ACQC #1~ACQC #5)에 구비된 PLC는 메인허브(5)와 유선으로 통신하고, 메인허브(5)는 무선 네트워크(AP)를 통해 관리자 단말기(4)와 무선으로 통신한다. 그리고, 무선 네트워크(AP)는 무선 포터블 PC(6)를 구비한 모니터링장치와 무선으로 통신하도록 구축될 수도 있다. As shown in FIGS. 4 and 5, in the ACQC remote driving system according to an embodiment of the present invention, a plurality of ACQC devices (
이상에서와 같이 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 바람직한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아니다. 이처럼 이 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 본 발명의 실시예의 결합을 통해 다양한 실시예들이 가능함을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the technical spirit of the present invention has been specifically described in the preferred embodiment, but the above preferred embodiment is for explanation and not for limitation. As such, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible through the combination of the embodiments of the present invention within the scope of the technical spirit of the present invention.
1 : 액체 이송용 배관
11 : 부동액 호스
11a : 공급호스
11b : 회귀호스
12 : 순환펌프
13 : 제1 온도센서
14 : 제어부
15 : 표시부
16 : 가열기
17 : 온도 조절기
18 : 부동액 탱크
19 : 단열재
21 : 물탱크
22 : 선택부
23 : 제2 온도센서
1: Piping for liquid transfer
11: antifreeze hose
11a: supply hose
11b: return hose
12: circulation pump
13: first temperature sensor
14: control unit
15: display
16: heater
17: thermostat
18: antifreeze tank
19: insulation
21: water tank
22: selection part
23: second temperature sensor
Claims (5)
상기 호스를 통해 상기 탱크로리와 상기 ACQC 장치가 연결되어 상기 탱크로리에서 상기 ACQC 장치로 화학약품이 투입되는 위험지역 내의 작업현장에서 벗어나 안전지역 내에서 상기 ACQC 장치와 유선 또는 무선으로 통신하여 상기 작업현장을 실시간으로 모니터링하고 원격으로 상기 ACQC 장치의 운전을 제어하는 관리자 단말기를 포함하되,
상기 관리자 단말기는,
상기 ACQC 장치가 복수 개로 설치된 위험물 취급소 내에 설치된 메인허브와 무선 네트워크를 통해 상기 복수 개의 ACQC 장치와 무선통신하고, 상기 메인 허브는 상기 위험물 취급소에 설치된 복수 개의 ACQC 장치들 중 마스터 장치로 설정된 마스터 ACQC 장치와 유선통신하고, 상기 마스터 ACQC 장치를 제외한 나머지 슬레이브 ACQC 장치들은 순차적으로 직렬 연결되어 유선통신하고, 상기 슬레이브 ACQC 장치들 중 어느 하나의 슬레이브 ACQC 장치는 상기 마스터 ACQC 장치와 유선으로 연결되어 유선통신하는 것을 특징으로 하는 ACQC 원격 구동 시스템.
The tank lorry in which various chemicals in the semiconductor manufacturing process are stored is connected to each other through a hose, and high-pressure nitrogen is supplied to the tank lorry through the hose to supply chemicals discharged from the tank lorry by the pressure of the high-pressure nitrogen to the storage tank. ACQC device; and
The tank lorry and the ACQC device are connected through the hose, and the tank lorry communicates with the ACQC device by wire or wirelessly in a safe area away from the work site in the dangerous area where chemicals are injected into the ACQC device to control the work site. Including a manager terminal that monitors in real time and remotely controls the operation of the ACQC device,
The manager terminal,
The plurality of ACQC devices wirelessly communicate with the plurality of ACQC devices through a wireless network with a main hub installed in a dangerous goods handling center, and the main hub is a master ACQC device set as a master device among a plurality of ACQC devices installed in the dangerous goods handling center. wired communication with, the remaining slave ACQC devices except for the master ACQC device are sequentially connected in series for wired communication, and any one of the slave ACQC devices is connected to the master ACQC device by wire and communicates with the wire ACQC remote driving system, characterized in that.
상기 호스는 종단에 구비된 수커넥터와 상기 ACQC 장치에 구비된 암커넥터의 캡을 제거한 후 상기 호스의 수커넥터를 상기 ACQC 장치의 암커넥터에 연결하여 상기 탱크로리와 상기 ACQC 장치를 연결하는 것을 특징으로 하는 ACQC 원격 구동 시스템.
According to claim 1,
The hose is characterized by connecting the tank lorry and the ACQC device by removing the cap of the male connector provided at the end and the female connector provided in the ACQC device, and then connecting the male connector of the hose to the female connector of the ACQC device. ACQC remote driving system.
상기 관리자 단말기는 상기 탱크로리와 상기 ACQC 장치로 이루어진 복수 개의 그룹 내에서 각각 화학약품의 공급 이송작업이 수행될 때 각 그룹 내의 ACQC 장치의 운전을 원격으로 동시에 제어하되, 무선 네트워크를 통해 각 그룹들 내에서 ACQC 장치와 무선통신하여 안전지역 내에서 원격으로 ACQC 장치의 현재 상태와 위험상황을 모니터링하고 운전을 제어하는 것을 특징으로 하는 ACQC 원격 구동 시스템.
According to claim 1,
The manager terminal remotely and simultaneously controls the operation of the ACQC devices in each group when the chemical supply and transfer work is performed in each of the plurality of groups consisting of the tank lorry and the ACQC device, and in each group through a wireless network. ACQC remote driving system, characterized in that for wirelessly communicating with the ACQC device in a safe area to remotely monitor the current state and dangerous situation of the ACQC device and control operation.
상기 슬레이브 ACQC 장치들은 각각 PLC(Programmable Logic Controller)을 통해 현재 자신의 상태를 상기 마스터 ACQC 장치를 매개로 상기 메인허브로 전송하고, 상기 메인허브는 상기 무선 네트워크를 통해 상기 관리자 단말기로 전송하고, 상기 관리자 단말기는 상기 메인허브로부터 전송된 데이터를 수신받고, 그에 대응하는 현재 상태를 표시하고, 상기 관리자 단말기는 터치패널을 통해 입력된 운전신호를 상기 무선 네트워크를 매개로 상기 메인허브를 통해 상기 마스터 ACQC 장치로 전송하고, 상기 마스터 ACQC 장치는 상기 메인허브로부터 전송된 운전신호를 상기 슬레이브 ACQC 장치들로 전송하여 운전시키는 것을 특징으로 하는 ACQC 원격 구동 시스템.According to claim 1,
The slave ACQC devices each transmit their current state to the main hub through the master ACQC device through a programmable logic controller (PLC), and the main hub transmits to the manager terminal through the wireless network, The manager terminal receives data transmitted from the main hub, displays a corresponding current state, and the manager terminal receives a driving signal input through a touch panel through the master ACQC through the main hub via the wireless network. ACQC remote driving system, characterized in that the master ACQC device transmits the driving signal transmitted from the main hub to the slave ACQC devices for operation.
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