KR102510895B1 - 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법 - Google Patents

테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102510895B1
KR102510895B1 KR1020180001524A KR20180001524A KR102510895B1 KR 102510895 B1 KR102510895 B1 KR 102510895B1 KR 1020180001524 A KR1020180001524 A KR 1020180001524A KR 20180001524 A KR20180001524 A KR 20180001524A KR 102510895 B1 KR102510895 B1 KR 102510895B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tag
wireless communication
short
range wireless
test
Prior art date
Application number
KR1020180001524A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20190083733A (ko
Inventor
이재설
홍기옥
정해성
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020180001524A priority Critical patent/KR102510895B1/ko
Priority to CN201811388275.1A priority patent/CN110008765B/zh
Priority to US16/239,660 priority patent/US11216622B2/en
Publication of KR20190083733A publication Critical patent/KR20190083733A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102510895B1 publication Critical patent/KR102510895B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
    • G06F30/30—Circuit design
    • G06F30/39—Circuit design at the physical level
    • G06F30/392—Floor-planning or layout, e.g. partitioning or placement
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
    • G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
    • G06K19/077—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
    • G06K19/0772—Physical layout of the record carrier
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
    • G06K7/0095—Testing the sensing arrangement, e.g. testing if a magnetic card reader, bar code reader, RFID interrogator or smart card reader functions properly
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
    • G06K7/08—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by means detecting the change of an electrostatic or magnetic field, e.g. by detecting change of capacitance between electrodes
    • G06K7/082—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by means detecting the change of an electrostatic or magnetic field, e.g. by detecting change of capacitance between electrodes using inductive or magnetic sensors
    • G06K7/083—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by means detecting the change of an electrostatic or magnetic field, e.g. by detecting change of capacitance between electrodes using inductive or magnetic sensors inductive

Abstract

테스트 시스템, 테스트 장치, 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법이 제공된다. 테스트 시스템은, 근거리 무선통신(Near Field Communication) 칩이 배치되고, 안테나를 포함하는 테스트 보드, 제1 및 제2 근거리 무선통신 태그(tag)를 수용하는 제1 및 제2 태그 홀더와, 제1 및 제2 태그 홀더 각각의 위치를 조정하는 제1 컨트롤러를 포함하는 태그 홀딩 장치 및 근거리 무선통신 칩과 제1 근거리 무선통신 태그에 대한 제1 통신 테스트가 수행되도록 제1 테스트 신호를 테스트 보드에 전송하고, 제1 통신 테스트의 결과를 수신 받고, 근거리 무선통신 칩이 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 정상적으로 리드(read)하는지 여부를 판단하는 제2 컨트롤러를 포함하고, 제1 컨트롤러는, 제1 근거리 무선통신 태그가 안테나로부터, 제1 근거리 무선통신 태그에 따른 제1 거리로 이격되어 서로 마주보도록 위치시키고, 제1 통신 테스트가 완료되면, 상기 제1 및 제2 태그 홀더를 회전시킨다.

Description

테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법{Test apparatus, test system comprising the same, test method using the test apparatus and the test system, and method for fabricating an integrated circuit}
본 발명은 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법에 관한 것이다.
근거리 무선통신(Near Field Communication) 기술이 적용된 제품의 정상 작동 여부를 판단하기 위해, 근거리 무선통신 태그(tag)와 근거리 무선통신 기술이 적용된 제품 간의 통신에 대한 테스트가 필요하다.
예를 들어, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 통신 테스트에서, 근거리 무선통신을 진행하는 안테나와 근거리 무선통신 태그 간의 이격되는 거리는, 근거리 무선통신 태그의 유형에 따라 서로 상이할 수 있다. 또한, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 통신 테스트에서, 상용되고 있는 다양한 유형의 근거리 무선통신 태그 각각과, 하나의 근거리 무선통신 칩과의 통신 테스트가 요구될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 통신 테스트의 편의성을 향상시킬 수 있는 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 통신 테스트의 정확성을 향상시킬 수 있는 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 테스트 시스템은, 근거리 무선통신(Near Field Communication) 칩이 배치되고, 안테나를 포함하는 테스트 보드, 제1 및 제2 근거리 무선통신 태그(tag)를 수용하는 제1 및 제2 태그 홀더와, 제1 및 제2 태그 홀더 각각의 위치를 조정하는 제1 컨트롤러를 포함하는 태그 홀딩 장치 및 근거리 무선통신 칩과 제1 근거리 무선통신 태그에 대한 제1 통신 테스트가 수행되도록 제1 테스트 신호를 테스트 보드에 전송하고, 제1 통신 테스트의 결과를 수신 받고, 근거리 무선통신 칩이 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 정상적으로 리드(read)하는지 여부를 판단하는 제2 컨트롤러를 포함하고, 제1 컨트롤러는, 제1 근거리 무선통신 태그가 안테나로부터, 제1 근거리 무선통신 태그에 따른 제1 거리로 이격되어 서로 마주보도록 위치시키고, 제1 통신 테스트가 완료되면, 상기 제1 및 제2 태그 홀더를 회전시킨다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 테스트 장치는, 지지대, 상기 지지대와 결속되고, 제1 근거리 무선통신(Near Field Communication) 태그(tag)를 수용할 제1 태그 홀더 및 상기 지지대와 결속되고, 제2 근거리 무선통신 태그를 수용할 제2 태그 홀더를 포함하고, 상기 제1 태그 홀더 및 상기 제2 태그 홀더는 회전하고, 상기 제1 태그 홀더가 이동하여, 상기 제1 근거리 무선통신 태그와 근거리 무선통신 칩을 포함하는 테스트 보드 사이의 제1 거리가 조정되고, 상기 제2 태그 홀더가 이동하여, 상기 제2 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 제2 거리가 조정될 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 테스트 방법은, 테스트 보드에 포함된 안테나와 제1 근거리 무선통신 태그(tag)가 제1 거리로 이격되어 서로 마주보도록, 상기 제1 근거리 무선통신 태그의 위치를 제어하고, 상기 테스트 보드에 포함된 근거리 무선통신(Near Field Communication) 칩이 상기 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 리드(read)하는 제1 통신 테스트가 수행되도록 제어하고, 상기 제1 통신 테스트가 수행된 후, 상기 제1 근거리 무선통신 태그를 회전시켜, 상기 안테나와 제2 근거리 무선통신 태그가 제2 거리로 이격되어 서로 마주보도록, 상기 제2 근거리 무선통신 태그의 위치를 제어할 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 집적 회로의 제조 방법은, 집적 회로의 레이어(layer)의 특징 세트(feature set)를 위한 마스크 레이아웃을 생성하되, 상기 마스크 레이아웃은 프로세서를 포함하는 하나 이상의 회로 특징(circuit feature)에 대한 스탠다드 셀 라이브러리 매크로(standard cell library macro)를 포함하고, 상기 마스크 레이아웃의 생성 중, 레이아웃 디자인 룰(layout design rule)의 준수를 위해 상기 스탠다드 셀 라이브러리 매크로의 상대적인 위치를 무시하고, 상기 마스크 레이아웃의 생성 후, 상기 레이아웃 디자인 룰의 준수를 위해 상기 스탠다드 셀 라이브러리 매크로의 상대적인 위치를 검사하고, 상기 스탠다드 셀 라이브러리 매크로 중 상기 레이아웃 디자인 룰을 준수하지 않은 임의의 스탠다드 셀 라이브러리 매크로에 대하여, 상기 레이아웃 디자인 룰을 준수하지 않은 임의의 스탠다드 셀 라이브러리 매크로를 수정함으로써 상기 마스크 레이아웃을 수정하여 상기 레이아웃 디자인 룰을 준수시키고, 상기 집적 회로의 상기 레이어의 특징 세트를 갖는 상기 수정된 마스크 레이아웃에 따라 마스크를 생성하고, 상기 마스크에 따라 상기 집적 회로의 레이어를 제조하는 것을 포함하고, 상기 프로세서는, 테스트 보드에 포함된 안테나와 제1 근거리 무선통신 태그(tag)가 제1 거리로 이격되어 서로 마주보도록, 상기 제1 근거리 무선통신 태그의 위치를 제어하고, 상기 테스트 보드에 포함된 근거리 무선통신(Near Field Communication) 칩이 상기 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 리드(read)하는 제1 통신 테스트가 수행되도록 제어하고, 상기 제1 통신 테스트가 수행된 후, 상기 제1 근거리 무선통신 태그를 회전시켜, 상기 안테나와 제2 근거리 무선통신 태그가 제2 거리로 이격되어 서로 마주보도록, 상기 제2 근거리 무선통신 태그의 위치를 제어할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 테스트 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 4 각각은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 제1 컨트롤러를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6 내지 도 8 각각은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 5의 단계(S440)를 설명하기 위한 도면이다.
도 10 내지 도 13 각각은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 프로세서를 포함하는 집적 회로의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 테스트 시스템(1)을 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 테스트 시스템(1)은, 제1 컨트롤러(150)를 포함하는 태그 홀딩 장치(10), 테스트 보드(20) 및 제2 컨트롤러(30)를 포함할 수 있다.
태그 홀딩 장치(10)는, 태그 홀더(100)와 제1 컨트롤러(150)를 포함할 수 있다.
태그 홀더(100)는 근거리 무선통신 태그(tag)를 수용할 수 있다. 태그 홀더(100)는 복수개의 태그 홀더를 포함할 수 있다. 태그 홀더(100)가 복수개의 태그 홀더를 포함하는 경우, 태그 홀더(100)는 복수개의 근거리 무선통신 태그를 수용할 수 있다. 복수개의 태그 홀더 각각은, 한 개의 근거리 무선통신 태그를 수용할 수 있다.
제1 컨트롤러(150)는 태그 홀더(100)의 위치를 조정할 수 있다. 예를 들어, 제1 컨트롤러(150)는 태그 홀더(100)와 후술할 테스트 보드(20)가 이격되는 거리를 조정할 수 있다. 또한, 제1 컨트롤러(150)는 예를 들어, 태그 홀더(100)를 회전시킬 수 있다.
제1 컨트롤러(150)는 예를 들어, 회전부(rotator)(153)와 거리 제어부(distance controller)(163)를 포함할 수 있다.
회전부(153)는 태그 홀더(100)를 회전시킬 수 있다. 거리 제어부(163)는 태그 홀더(100)와 테스트 보드(20)가 이격되는 거리를 조정할 수 있다. 도 1에서, 제1 컨트롤러(150)가 회전부(153)와 거리 제어부(163)만을 포함하는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 컨트롤러(150)는 전원부 및 지지대 등, 필요에 따라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음은 물론이다.
테스트 보드(20)는 수용 영역(accept region)(201)과 안테나(203)를 포함할 수 있다. 테스트 보드(20)의 수용 영역(201)은, 테스트 보드(20)에 포함되는 기판의 일부 영역일 수 있다. 테스트 보드(20)의 수용 영역(201)에는, 근거리 무선통신 칩이 배치될 수 있다.
안테나(203)는 테스트 보드(20)에 포함되는 기판과 연결될 수 있다. 안테나(203)는 태그 홀더(100)에 수용되는 근거리 무선통신 태그와, 수용 영역(201)의 근거리 무선통신 칩과의 무선통신에 관여할 수 있다. 태그 홀더(100)에 수용되는 근거리 무선통신 태그는, 안테나(203) 상에, 근거리 무선통신 태그의 유형에 따른 거리로 이격되어 배치될 수 있다. 이에 대한 자세한 사항은 후술한다.
제2 컨트롤러(30)는 테스트 보드(20)에 테스트 신호를 전송할 수 있다. 테스트 신호는, 테스트 보드(20)의 수용 영역(201)에 배치되는 근거리 무선통신 칩과, 태그 홀더(100)에 수용되는 근거리 무선통신 태그에 대한 통신 테스트가 수행되도록 하는 정보를 포함할 수 있다.
제2 컨트롤러(30)는, 통신 테스트의 결과를 수신할 수 있다.
제2 컨트롤러(30)는 통신 테스트의 결과를 기초로, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 통신이 정상인지 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 제2 컨트롤러(30)는, 근거리 무선통신 칩이 근거리 무선통신 태그에 저장된 데이터를 정상적으로 리드(read)하는지 여부를 판단할 수 있다. 이에 대한 자세한 사항은 후술한다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치(10)를 설명하기 위한 도면이다. 도 3 및 도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 제1 컨트롤러(150)를 설명하기 위한 도면으로, 도 3은 도 2의 제1 컨트롤러(150)의 분해사시도이고, 도 4는 도 2의 제1 컨트롤러(150)의 사시도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치(10)는 태그 홀더(100)와 제1 컨트롤러(150)를 포함할 수 있다.
태그 홀더(100)는 근거리 무선통신 태그를 수용할 수 있다. 태그 홀더(100)는 태그 홀더 지지대(110) 및 태그 홀더 지지대(110)와 연결된 복수개의 태그 홀더를 포함할 수 있다.
복수의 태그 홀더는, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103)를 포함할 수 있다. 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103)는 태그 홀더 지지대(110)로부터 돌출될 수 있다. 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각은, 근거리 무선통신 태그를 수용할 수 있다.
도면에서 태그 홀더(100)가 일정개수를 갖는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 필요에 따라, 태그 홀더(100)의 개수는 도시된 개수보다 클 수도 있고 작을 수도 있음은 물론이다.
태그 홀더(100)는 제1 컨트롤러(150)와 결속될 수 있다. 예를 들어, 제1 컨트롤러(150)는 태그 홀더(100)를 관통하여, 태그 홀더(100)와 서로 결속될 수 있다. 예를 들어, 제1 컨트롤러(150)의 제2 연결부(165)를 통해, 제1 컨트롤러(150) 와 태그 홀더(100)는 서로 결속될 수 있다.
제1 컨트롤러(150)는 전원부(151), 회전부(153), 플레이트(155), 브라켓(157), 제1 지지대(159), 제2 지지대(161), 제1 연결부(162), 거리 제어부(163), 레일(164) 및 제2 연결부(165)를 포함할 수 있다.
전원부(151)는 예를 들어, 회전부(153)와 거리 제어부(163)에 전원을 공급할 수 있다. 전원부(151)는 예를 들어, 외부 전원과 연결되어, 회전부(153)와 거리 제어부(163)에 전원을 공급할 수 있다.
회전부(153)는 예를 들어, 전원부(151) 상에 배치될 수 있다. 회전부(153)는, 예를 들어, 전원부(151)와 결속될 수 있다. 회전부(153)는 전원부(151) 상에서 회전될 수 있다.
플레이트(155)는 회전부(153) 상에 배치될 수 있다. 플레이트(155)는, 예를 들어, 회전부(153)와 결속될 수 있다. 플레이트(155)의 일부분은 회전부(153)로부터 돌출되어, 길게 연장될 수 있다. 플레이트(155)는 회전부(153)가 회전함에 따라, 함께 회전될 수 있다. 플레이트(155)는 브라켓(157)과 회전부(153)를 연결할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 플레이트(155)는 생략될 수 있음은 물론이다.
브라켓(157)은 플레이트(155) 상에 배치될 수 있다. 브라켓(157)은, 예를 들어, 플레이트(155)와 결속될 수 있다. 브라켓(157)은 플레이트(155)와 직접 접촉하는 제1 부분(157a)과, 제1 부분(157a)으로부터 수직 방향으로 연장되는 제2 부분(157b)을 포함할 수 있다. 브라켓(157)의 제1 부분(157a)과 제2 부분(157b)은 서로 연결될 수 있다. 브라켓(157)은 제1 지지대(159)와 플레이트(155)를 연결할 수 있다.
제1 지지대(159)는 브라켓(157)의 제2 부분(157b)에 결속되어, 회전부(153) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 지지대(159)의 일측면 상에는, 브라켓(157)이 배치될 수 있다. 제1 지지대(159)의 타측면 상에는, 제2 지지대(161), 제1 연결부(162), 거리 제어부(163), 레일(164) 및 제2 연결부(165)가 배치될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 브라켓(157)과 제1 지지대(159)는 일체로써 형성될 수도 있음은 물론이다.
제2 지지대(161)는, 제1 지지대(159)와 결속될 수 있다. 제2 지지대(161)는 제1 연결부(162)를 통해 거리 제어부(163)와 연결될 수 있다.
제2 지지대(161)는, 예를 들어, 거리 제어부(163)를 제어하는 제어 신호를 생성할 수 있다. 생성된 제어 신호는, 제1 연결부(162)를 통해 거리 제어부(163)로 전송되어, 거리 제어부(163)의 Z 방향으로의 위치가 조정될 수 있다. 그러나 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 거리 제어부(163)를 제어하는 제어 신호는, 제2 지지대(161)와 별개인 구성요소에서 생성될 수도 있음은 물론이다.
거리 제어부(163)는 제1 지지대(159)의 타측면 상에서 Z 방향을 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 거리 제어부(163)는 레일(164) 상에서, 레일(164)을 따라 상하운동 할 수 있다. 여기서 상하운동은, Z 방향을 따라 이동하는 것일 수 있다. 예를 들어, 거리 제어부(163)는, 제1 지지대(159)가 연장되는 방향을 따라 레일(164) 상에서 이동될 수 있다.
제2 연결부(165)는 거리 제어부(163)와 태그 홀더(100)를 서로 결속시킬 수 있다. 따라서, 거리 제어부(163)가 레일(164) 상에서 Z 방향을 따라 이동됨에 따라, 태그 홀더(100)도 함께 이동될 수 있다. 즉, 거리 제어부(163)가 상하운동을 하는 경우, 태그 홀더(100)도 상하운동을 할 수 있다.
태그 홀더(100), 플레이트(155), 브라켓(157), 제1 지지대(159), 제2 지지대(161), 제1 연결부(162) 및 거리 제어부(163)는, 회전부(153)와 연결되어 있기 때문에, 회전부(153)가 회전함에 따라 태그 홀더(100), 플레이트(155), 브라켓(157), 제1 지지대(159), 제2 지지대(161), 제1 연결부(162) 및 거리 제어부(163)도 함께 회전될 수 있다.
다시 말해서, 제1 컨트롤러(150)는 거리 제어부(163)를 통해 태그 홀더(100)와 후술할 테스트 보드(20)가 이격되는 거리를 조정할 수 있고, 회전부(153)를 통해 태그 홀더(100)를 회전시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 테스트 시스템(1)을 이용한 테스트 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 6 내지 도 8 각각은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치(10)의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 7은 도 6의 테스트 시스템(1)의 평면도이고, 도 8은 안테나(203)와 제1 태그 홀더(101)를 측면에서 바라본 도면이다. 도 8은 도시의 명확성을 위해, 안테나(203)와 제1 태그 홀더(101) 이외의 도시는 생략하였다.
도 9는 도 5의 단계(S440)를 설명하기 위한 도면이다.
도 10 내지 도 13 각각은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치(10)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 구체적으로, 도 10은 도 7의 태그 홀딩 장치(10)가 제1 각도(θ1)만큼 r 방향으로 회전한 후의 테스트 시스템(1)의 평면도이고, 도 11은 안테나(203)와 제2 태그 홀더(102)를 측면에서 바라본 도면이다. 도 11은 도시의 명확성을 위해, 안테나(203)와 제2 태그 홀더(102) 이외의 도시는 생략하였다.
또한, 도 12는 도 7의 태그 홀딩 장치(10)가 제2 각도(θ2)만큼 r 방향으로 회전한 후의 테스트 시스템(1)의 평면도이고, 도 13은 안테나(203)와 제3 태그 홀더(103)를 측면에서 바라본 도면이다. 도 13은 도시의 명확성을 위해, 안테나(203)와 제3 태그 홀더(103) 이외의 도시는 생략하였다.
도 5를 참조하면, 단계(S410)에서, 근거리 무선통신 칩이 배치된 테스트 보드가 제공될 수 있다.
도 6을 참조하면, 제1 근거리 무선통신 칩(211)이 배치된 테스트 보드(20)가 제공될 수 있다. 테스트 보드(20)는 기판(200), 수용 영역(201) 및 안테나(203)를 포함할 수 있다. 수용 영역(201)은 기판(200)의 일부 영역일 수 있다. 안테나(203)는 기판(200)과 연결될 수 있다.
근거리 무선통신 칩(211)과 제1 태그(191)간의 제1 통신 테스트를 위해, 근거리 무선통신 칩(211)은 테스트 보드(20)의 수용 영역(201)에 배치되어 있을 수 있다.
다시 도 5를 참조하면, 단계(S420)에서, 복수의 태그 홀더 각각에 복수의 근거리 무선통신 태그가 수용될 수 있다.
다시 도 6을 참조하면, 태그 홀딩 장치(10)의 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각에는, 제1, 제2, 및 제3 근거리 무선통신 태그(191, 192, 193)가 각각 수용될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제1 내지 제3 근거리 무선통신 태그(191, 192, 193)는, 서로 다른 유형의 태그일 수 있다.
다시 도 5를 참조하면, 단계(S430)에서, 근거리 무선통신 태그가 안테나로부터 특정 거리만큼 이격되도록, 태그 홀더의 위치가 조정될 수 있다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 제1 태그 홀더(101)에 수용된 제1 근거리 무선통신 태그(191)는, 안테나(203)로부터 제1 거리(D1)만큼 이격되어 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 이 때, 제1 컨트롤러(150)는, 제1 근거리 무선통신 태그(191)와 안테나(203)가 제1 거리(D1)로 이격되어 서로 마주보고 배치되도록 제어할 수 있다.
예를 들어, 제1 컨트롤러(150)의 거리 제어부(163)가 이동되어, 제1 근거리 무선통신 태그(191)와 안테나(203)가 제1 거리(D1)로 이격되어 서로 마주보고 배치되도록, 제1 태그 홀더(101)가 Z 방향을 따라 이동될 수 있다. 즉, 제1 근거리 무선통신 태그(191)와 안테나(203)의 이격 거리는 제1 거리(D1)로 조정될 수 있다.
제1 거리(D1)는 예를 들어, 안테나(203)와 제1 근거리 무선통신 태그(191)가 서로 이격되는 거리일 수 있다. 제1 거리(D1)는 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제1 근거리 무선통신 태그(191)간의 무선통신이 정상인지 여부를 판단하는 제1 통신 테스트를 수행하기 위해 요구되는 거리일 수 있다. 제1 거리(D1)는, 제1 근거리 무선통신 태그(191)의 유형에 따라 정해지는 값일 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제1 거리(D1)는, 근거리 무선통신 포럼에서 근거리 무선통신 시험 규격으로 지정된, 제1 근거리 무선통신 태그(191)의 유형에 따른 거리일 수 있다.
다시 도 5를 참조하면, 단계(S440)에서, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그에 대해, 통신 테스트가 수행될 수 있다.
도 9를 참조하면, 도 5의 단계(S440)의 통신 테스트는, 단계(S441) 내지 단계(S448)를 포함할 수 있다.
도 9의 단계(S441)에서, 통신 테스트는, 테스트 보드가 테스트 신호를 수신하는 것을 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는, 테스트 보드(20)에 테스트 신호를 전송할 수 있다. 테스트 신호는, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그에 대한 제1 통신 테스트가 수행되도록 하는 정보를 포함할 수 있다.
도 9의 단계(S442)에서, 통신 테스트는, 테스트 보드가 리드 커맨드(read command)를 포함하는 제1 신호를 근거리 무선통신 태그로 전송하는 것을 포함할 수 있다.
다시 도 6을 참조하면, 제1 테스트 신호를 수신한 테스트 보드(20)는, 제1 통신 테스트를 수행하기 위해, 제1 신호를 제1 근거리 무선통신 태그(191)로 전송할 수 있다.
제1 통신 테스트는, 제1 근거리 무선통신 칩(211)의 리드 모드(read mode)에서, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제1 근거리 무선통신 태그(191)간의 무선통신이 정상적으로 이루어지는지 테스트하는 것일 수 있다. 리드 모드는, 예를 들어, 제1 근거리 무선통신 칩(211)이 제1 근거리 무선통신 태그(191)에 저장된 제1 데이터를 리드하는 것을 포함할 수 있다.
제1 신호는, 예를 들어, 안테나(203)를 통해 제1 근거리 무선통신 태그(191)로 전송될 수 있다.
다시 도 9를 참조하면, 단계(S443)에서, 통신 테스트는 근거리 무선통신 태그가 제1 신호를 수신하는 것을 포함할 수 있다.
다시 도 6을 참조하면, 제1 근거리 무선통신 태그(191)는 리드 커맨드를 포함하는 제1 신호를 수신할 수 있다.
다시 도 9를 참조하면, 단계(S444)에서, 통신 테스트는 근거리 무선통신 칩으로, 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 포함하는 제2 신호가 전송되는 것을 포함할 수 있다.
다시 도 6을 참조하면, 제1 근거리 무선통신 태그(191)에는 제1 데이터가 저장되어 있을 수 있다. 리드 커맨드를 포함하는 제1 신호가 제1 근거리 무선통신 태그(191)에 수신되면, 제1 근거리 무선통신 태그(191)는 제1 데이터를 포함하는 제2 신호를 테스트 보드(20)로 전송할 수 있다.
제2 신호는, 예를 들어, 안테나(203)를 통해 테스트 보드(20)에 배치된 제1 근거리 무선통신 칩(211)에 전송될 수 있다.
다시 도 9를 참조하면, 단계(S445)에서, 통신 테스트는 X회 반복되어 수행되는 것을 포함할 수 있다. 여기서 X는, 자연수일 수 있다. 만약 통신 테스트가 X회 반복되지 않았다면, 단계(S442), 단계(S443) 및 단계(S444)가 다시 수행될 수 있다. 만약 통신 테스트가 X회 반복되어 수행되었다면, 단계(S446)로 넘어갈 수 있다.
다시 도 6을 참조하면, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제1 근거리 무선통신 태그(191)에 대한 제1 통신 테스트는, X회 반복되어 수행될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는, 통신 테스트가 X회만큼 반복되어 수행되었는지 확인할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제1 통신 테스트는 제1 서브 통신 테스트와 제2 서브 통신 테스트를 포함할 수 있다. 제1 서브 통신 테스트는, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제1 근거리 무선통신 태그(191)가, 제1 및 제2 신호를 제1 속도로 주고받는 테스트일 수 있다. 제2 서브 통신 테스트는, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제1 근거리 무선통신 태그(191)가 제1 및 제2 신호를 제2 속도로 주고받는 테스트일 수 있다. 제1 속도와 제2 속도는 서로 다른 값일 수 있다.
제1 및 제2 서브 통신 테스트 각각은, X회만큼 반복되어 수행될 수 있다. 예를 들어, 제1 서브 통신 테스트가 X회 반복 수행된 후, 제2 서브 통신 테스트가 X회 반복 수행될 수 있다. 제2 서브 통신 테스트가 X회 반복 수행된 후, 도 9의 단계(S446)로 넘어갈 수 있다.
다시 도 9를 참조하면, 단계(S446)에서, 통신 테스트는, 근거리 무선통신 칩이 데이터를 정상적으로 리드한 비율이 임계값 이상인지 여부를 판단하는 것을 포함할 수 있다.
X회 반복된 통신 테스트에서, 근거리 무선통신 칩이 제2 신호를 정상적으로 수신한 비율이 결정될 수 있다. 즉, X회 반복된 통신 테스트에서, 근거리 무선통신 칩이 근거리 무선통신 태그에 저장된 데이터를 정상적으로 리드한 비율이 결정될 수 있다.
비율이 임계값 이상인 경우, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 무선통신은 정상으로 결정될 수 있다(단계(S447)). 만약 비율이 임계값보다 작다면, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 무선통신은 비정상으로 결정될 수 있다(단계(S448)).
비율이 결정됨으로써, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그간의 통신 테스트가 완료될 수 있다.
다시 도 6을 참조하면, X회 반복된 제1 통신 테스트에서, 제1 근거리 무선통신 칩(211)이 제1 근거리 무선통신 태그(191)에 저장된 제1 데이터를 정상적으로 리드한 비율이 결정될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는, 비율을 결정할 수 있다. 제2 컨트롤러(도 1의 30)가 비율과 임계값을 비교함으로써, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제1 근거리 무선통신 태그(191)간의 무선통신이 정상인지 여부가 결정되고, 제1 통신 테스트의 수행이 완료될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 단계(S446, S447, S448)는 단계(S460) 이후에 수행될 수도 있다.
다시 도 5를 참조하면, 단계(S450)에서, 통신 테스트 수행이 완료된 후, 태그 홀더가 회전될 수 있다. 태그 홀더가 회전된 후, 단계(S460)에서, 태그 홀더에 수용된 근거리 무선통신 태그들과 근거리 무선통신 칩과의 통신 테스트가 모두 수행되었는지 결정될 수 있다. 통신 테스트가 모두 수행되지 않았다면, 다시 단계(S430, S440, S450, S460)가 수행될 수 있다.
다시 도 6을 참조하면, 제1 태그 홀더(101)와 제2 태그 홀더(102)는 제1 각도(θ1)만큼 이격될 수 있고, 제2 태그 홀더(102)와 제3 태그 홀더(103)는 제2 각도(θ2)만큼 이격될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제1 각도(θ1)와 제2 각도(θ2)는 서로 동일한 값일 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각은, 동일한 방향(예를 들어, r 방향)으로 회전될 수 있다.
제1 통신 테스트가 완료된 후, 제1 컨트롤러(150)는, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103)를 r 방향으로 회전시킬 수 있다. 이 때, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각은 제1 각도(θ1)만큼 회전될 수 있다. 제1 컨트롤러(150)는, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103)를 r 방향으로 회전시키기 위해, 제1 컨트롤러(150)의 회전부(153)를 회전시킬 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각이 r 방향으로 회전되는 것은, 자동적으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는 제1 컨트롤러(150)에 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각이 r 방향으로 회전되도록 명령할 수 있고, 제1 컨트롤러(150)는 회전부(153)가 회전되도록 제어할 수 있다.
또는, 몇몇 실시예에서, 제1 통신 테스트가 완료된 후, 제1 컨트롤러(150)는 자동으로 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각을 r 방향으로 회전시킬 수 있다.
도 10을 참조하면, 제1 컨트롤러(150)의 회전부(153)가 회전되어, 제2 근거리 무선통신 태그(192)와 안테나(203)가 서로 마주보고 배치되도록, 제2 태그 홀더(102)가 이동될 수 있다. 즉, 회전부(153)가 회전됨으로써, 제1 지지대(159)가 회전되고, 제1 지지대(159)에 결속되어 있는 태그 홀더(100)가 회전될 수 있다.
도 11을 참조하면, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103)가 회전되어, 제2 태그 홀더(102)에 수용된 제2 근거리 무선통신 태그(192)는, 안테나(203)로부터 제2 거리(D2)만큼 이격되어 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 이 때, 제1 컨트롤러(150)는, 제2 근거리 무선통신 태그(192)와 안테나(203)가 제2 거리(D2)로 이격되어 서로 마주보고 배치되도록 제어할 수 있다.
예를 들어, 제1 컨트롤러(150)의 거리 제어부(163)가 이동되어, 제2 근거리 무선통신 태그(192)와 안테나(203)가 제2 거리(D2)로 이격되어 서로 마주보고 배치되도록, 제2 태그 홀더(102)가 이동될 수 있다. 즉, 제2 근거리 무선통신 태그(192)와 안테나(203)의 이격 거리는 제2 거리(D2)로 조정될 수 있다.
제2 거리(D2)는 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제2 근거리 무선통신 태그(192)간의 무선통신이 정상인지 여부를 판단하는 제2 통신 테스트를 수행하기 위해 요구되는 거리일 수 있다. 제2 거리(D2)는, 제2 근거리 무선통신 태그(192)의 유형에 따라 정해지는 값일 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제2 거리(D2)는, 근거리 무선통신 포럼에서 근거리 무선통신 시험 규격으로 지정된, 제2 근거리 무선통신 태그(192)의 유형에 따른 거리일 수 있다.
제2 거리(D2)가 조정된 후, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제2 근거리 무선통신 태그(192)에 대한 제2 통신 테스트가 수행될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는, 제2 거리(D2)가 조정된 후, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제2 근거리 무선통신 태그(192)에 대한 제2 통신 테스트가 수행되도록, 제2 테스트 신호를 테스트 보드(20)에 전송할 수 있다. 또한, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는 제2 통신 테스트의 결과를 수신 받고, 제1 근거리 무선통신 칩(211)이 제2 근거리 무선통신 태그(192)에 저장된 제2 데이터를 정상적으로 리드하는지 여부를 판단할 수 있다.
제2 통신 테스트에 대한 내용은, 도 9를 참조하여 설명한 통신 테스트(예를 들어, 제1 통신 테스트)와 실질적으로 동일하므로, 반복되는 설명은 생략한다.
도 6 및 도 12를 참조하면, 제2 통신 테스트가 완료된 후, 제1 컨트롤러(150)는, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103)를 r 방향으로 회전시킬 수 있다. 이 때, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103) 각각은 제2 각도(θ2)만큼 회전될 수 있다.
예를 들어, 제1 컨트롤러(150)의 회전부(153)가 회전되어, 제3 근거리 무선통신 태그(193)와 안테나(203)가 서로 마주보고 배치되도록, 제3 태그 홀더(103)가 이동될 수 있다. 즉, 회전부(153)가 회전됨으로써, 제1 지지대(159)가 회전되고, 제1 지지대(159)에 결속되어 있는 태그 홀더(100)가 회전될 수 있다.
도 13을 참조하면, 제1, 제2 및 제3 태그 홀더(101, 102, 103)가 회전되어, 제3 태그 홀더(103)에 수용된 제3 근거리 무선통신 태그(193)는, 안테나(203)로부터 제3 거리(D3)만큼 이격되어 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 이 때, 제1 컨트롤러(150)는, 제3 근거리 무선통신 태그(193)와 안테나(203)가 제3 거리(D3)로 이격되어 서로 마주보고 배치되도록 제어할 수 있다.
예를 들어, 제1 컨트롤러(150)의 거리 제어부(163)가 이동되어, 제3 근거리 무선통신 태그(193)와 안테나(203)가 제3 거리(D3)로 이격되어 서로 마주보고 배치되도록, 제3 태그 홀더(103)가 이동될 수 있다. 즉, 제3 근거리 무선통신 태그(193)와 안테나(203)의 이격 거리는 제3 거리(D3)로 조정될 수 있다.
제3 거리(D3)는 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제3 근거리 무선통신 태그(193)간의 무선통신이 정상인지 여부를 판단하는 제3 통신 테스트를 수행하기 위해 요구되는 거리일 수 있다. 제3 거리(D3)는, 제3 근거리 무선통신 태그(193)의 유형에 따라 정해지는 값일 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제3 거리(D3)는, 근거리 무선통신 포럼에서 근거리 무선통신 시험 규격으로 지정된, 제3 근거리 무선통신 태그(193)의 유형에 따른 거리일 수 있다.
제3 거리(D3)가 조정된 후, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제3 근거리 무선통신 태그(193)에 대한 제3 통신 테스트가 수행될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는, 제3 거리(D3)가 조정된 후, 제1 근거리 무선통신 칩(211)과 제3 근거리 무선통신 태그(193)에 대한 제3 통신 테스트가 수행되도록, 제3 테스트 신호를 테스트 보드(20)에 전송할 수 있다. 또한, 제2 컨트롤러(도 1의 30)는 제3 통신 테스트의 결과를 수신 받고, 제1 근거리 무선통신 칩(211)이 제3 근거리 무선통신 태그(193)에 저장된 제3 데이터를 정상적으로 리드하는지 여부를 판단할 수 있다.
제3 통신 테스트에 대한 내용은, 도 9를 참조하여 설명한 통신 테스트(예를 들어, 제1 통신 테스트)와 실질적으로 동일하므로, 반복되는 설명은 생략한다.
다시 도 5를 참조하면, 단계(S460)에서 근거리 무선통신 칩과 복수의 근거리 무선통신 태그 각각에 대한 통신 테스트가 모두 수행되었다면, 단계(S470)에서 다른 근거리 무선통신 칩이 테스트 보드에 배치될 수 있다. 다른 근거리 무선통신 칩이 테스트 보드에 배치된 후, 다시 단계(S430, S440, S450, S460)가 수행될 수 있다.
예를 들어, 도 6, 도 10 및 도 11을 참조하여 설명한 태그 홀더(100)에 수용된 복수의 근거리 무선통신 태그 각각과 제1 근거리 무선통신 칩(211)간의 통신 테스트가 모두 수행된 경우, 수용 영역(201)에 제2 근거리 무선통신 칩이 배치될 수 있다. 또한, 제1 근거리 무선통신 태그(191)는 다시, 안테나(203) 상에 배치될 수 있다. 그 후, 도 5의 단계(S430, S440, S450, S460)가 수행될 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 테스트 시스템(1)은, 테스트 장치인 태그 홀딩 장치(10)의 태그 홀더가 z 방향 및 r 방향으로 이동되어, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 통신 테스트의 편의성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 태그 홀딩 장치(10)가, 근거리 무선통신 태그의 유형에 따른 거리로 안테나(203)와 이격되도록 조정됨으로써, 근거리 무선통신 칩과 근거리 무선통신 태그와의 통신 테스트의 정확성을 향상시킬 수 있다.
도 14는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 프로세서를 포함하는 집적 회로의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 12를 참조하면, 단계(S510)에서, 집접 회로의 레이어의 특징 세트(feature set)를 위한 마스크 레이아웃을 생성하는 데이터의 초기 레이아웃이 생성될 수 있다.
마스크 레이아웃은 프로세서를 포함하는 하나 이상의 회로 특징(circuit feature)에 대한 스탠다드 셀 라이브러리매크로(standard cell library macro)를 포함할 수 있다.
프로세서는, 테스트 보드에 포함된 안테나와 제1 근거리 무선통신 태그가 제1 거리로 이격되어 서로 마주보도록, 제1 근거리 무선통신 태그의 위치를 제어할 수 있다. 또한, 프로세서는, 테스트 보드에 포함된 근거리 무선통신 칩이 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 리드하는 제1 통신 테스트가 수행되도록 제어할 수 있다. 나아가 프로세서는, 제1 통신 테스트가 수행된 후, 제1 근거리 무선통신 태그를 회전시켜, 안테나와 제2 근거리 무선통신 태그가 제2 거리로 이격되어 서로 마주보도록, 제2 근거리 무선통신 태그의 위치를 제어할 수 있다.
프로세서는, 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어로 프로그래밍된 하드웨어로 구현될 수 있다.
단계(S520)에서, 마스크 레이아웃의 생성 중, 레이아웃 디자인 룰(layout design rule)의 준수를 위해 스탠다드 셀 라이브러리 매크로의 상대적인 위치를 무시하는 디자인 룰(design rule) 체크가 수행될 수 있다.
단계(S530)에서, 마스크 레이아웃 생성 이후에 레이아웃 디자인 룰의 준수를 위해 스탠다드 셀 라이브러리 매크로의 상대적인 위치를 검사하는 레이아웃의 수정이 수행될 수 있다.
단계(S540)에서, 새로운 레이아웃 디자인이 형성되고, 임의의 매크로에 의한 레이아웃 디자인 룰의 준수 여부를 검출할 때, 디자인 룰을 준수하지 않은 매크로 각각을 레이아웃 디자인 룰에 따르도록 수정함으로써 마스크 레이아웃을 수정할 수 있다. 또한, 집적 회로의 레이어의 특징 세트를 갖는 수정된 마스크 레이아웃에 따라 마스크가 생성될 수 있고, 생성된 마스크에 따라 집적 회로 레이어가 제조될 수 있다.
소프트웨어적인 구현에 의하면, 절차나 기능과 같은 실시예들은 적어도 하나의 기능 또는 작동을 수행하게 하는 별개의 소프트웨어 모듈과 함께 구현될 수 있다. 소프트웨어 코드는 적절한 프로그램 언어로 쓰여진 소프트웨어 어플리케이션에 의해 구현될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 태그 홀딩 장치 20: 테스트 보드
30: 제2 컨트롤러 101: 제1 태그 홀더
150: 제1 컨트롤러 191: 제1 근거리 무선통신 태그
211: 제1 근거리 무선통신 칩 203: 안테나

Claims (20)

  1. 근거리 무선통신(Near Field Communication) 칩에 연결되는 안테나를 포함하는 테스트 보드;
    제1 근거리 무선통신 태그(tag)를 수용하는 제1 태그 홀더;
    제2 근거리 무선통신 태그를 수용하는 제2 태그 홀더;
    상기 제1 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 제1 거리 및 상기 제2 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 제2 거리를 조정하고, 상기 제1 태그 홀더와 상기 제2 태그 홀더를 회전시키는 제1 컨트롤러; 및
    상기 근거리 무선통신 칩과 상기 제1 근거리 무선통신 태그에 대한 제1 통신 테스트가 수행되도록 제1 테스트 신호를 상기 테스트 보드에 전송하는 제2 컨트롤러를 포함하고,
    상기 제1 통신 테스트는, X회 반복되어 수행되되, 상기 테스트 보드가 상기 제1 근거리 무선통신 태그로 리드 커맨드(read command)를 포함하는 제1 신호를 전송하고, 상기 제1 신호를 수신한 상기 제1 근거리 무선통신 태그가, 상기 근거리 무선통신 칩으로 상기 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 포함하는 제2 신호를 전송하는 것을 포함하는 것을 포함하고,
    상기 제2 컨트롤러는, 상기 제1 통신 테스트가 X회 반복된 경우, 상기 근거리 무선통신 칩이 상기 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 상기 제1 데이터를 정상적으로 리드한 비율과 임계값을 비교하여 상기 근거리 무선통신 칩과 상기 제1 근거리 무선통신 태그간의 무선통신이 정산인지 여부를 결정하는 테스트 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제2 컨트롤러는, 상기 제1 컨트롤러가 상기 제1 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 상기 제1 거리를 조정한 후, 제1 테스트 신호를 상기 테스트 보드에 전송하는 테스트 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 컨트롤러는, 상기 제1 통신 테스트가 완료되면 상기 제1 및 제2 태그 홀더를 회전시킨 후,
    상기 제1 근거리 무선통신 태그와 다른 상기 제2 근거리 무선통신 태그에 따라, 상기 제2 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 상기 제2 거리를 조정하고, 서로 마주보고 위치시키는 테스트 시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제2 컨트롤러는, 상기 제2 컨트롤러가 상기 제2 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 상기 제2 거리를 조정한 후, 상기 근거리 무선통신 칩과 상기 제2 근거리 무선통신 태그에 대한 제2 통신 테스트가 수행되도록 제2 테스트 신호를 상기 테스트 보드에 전송하는 테스트 시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 태그 홀더는 지지대에 결속되고,
    상기 제1 컨트롤러는, 상기 지지대를 회전시켜 상기 제1 및 제2 태그 홀더를 회전시키는 테스트 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 태그 홀더는, 상기 지지대가 연장되는 방향을 따라 이동 가능하고,
    상기 제1 컨트롤러는,
    상기 제1 태그 홀더를 상기 지지대가 연장되는 방향을 따라 이동시켜, 상기 제1 근거리 무선통신 태그가 상기 안테나로부터 상기 제1 거리로 이격되어 서로 마주보도록 하는 테스트 시스템.
  7. 제 5항에 있어서,
    제3 근거리 무선통신 태그를 수용하고, 상기 지지대와 연결되는 제3 태그 홀더를 더 포함하고,
    상기 제1 컨트롤러는 상기 제3 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 제3 거리를 조정하고, 상기 제3 태그 홀더를 회전시키기 위해 상기 지지대를 회전시키는 테스트 시스템.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제1 태그 홀더와 상기 제2 태그 홀더는 제1 각도만큼 서로 이격되어 있고,
    상기 제2 태그 홀더와 상기 제3 태그 홀더는 제2 각도만큼 서로 이격되어 있고,
    상기 제1 각도와 상기 제2 각도는 동일한 테스트 시스템.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 제1 컨트롤러는 상기 제2 근거리 무선통신 태그와 다른 상기 제3 근거리 무선통신 태그에 따라, 상기 제3 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 상기 제3 거리를 조정하고, 서로 마주보고 위치시키는 테스트 시스템.
  10. 지지대;
    상기 지지대와 결속되고, 제1 근거리 무선통신(Near Field Communication) 태그(tag)를 수용할 제1 태그 홀더; 및
    상기 지지대와 결속되고, 제2 근거리 무선통신 태그를 수용할 제2 태그 홀더;
    상기 제1 태그 홀더 및 상기 제2 태그 홀더를 회전시키고, 상기 제1 태그 홀더를 이동시켜 상기 제1 근거리 무선통신 태그와 근거리 무선통신 칩을 포함하는 테스트 보드 사이의 제1 거리가 조정하고,
    상기 제2 태그 홀더를 이동시켜, 상기 제2 근거리 무선통신 태그와 상기 테스트 보드 사이의 제2 거리를 조정하는 제1 컨트롤러; 및
    서로 통신하는 상기 제1 근거리 무선통신 태그와 상기 근거리 무선통신 칩에 대한 제1 통신 테스트를 수행하는 제2 컨트롤러를 포함하고,
    상기 제1 통신 테스트는, X회 반복되어 수행되되, 상기 테스트 보드가 상기 제1 근거리 무선통신 태그로 리드 커맨드(read command)를 포함하는 제1 신호를 전송하고, 상기 제1 신호를 수신한 상기 제1 근거리 무선통신 태그가, 상기 근거리 무선통신 칩으로 상기 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 제1 데이터를 포함하는 제2 신호를 전송하는 것을 포함하는 것을 포함하고,
    상기 제2 컨트롤러는, 상기 제1 통신 테스트가 X회 반복된 경우, 상기 근거리 무선통신 칩이 상기 제1 근거리 무선통신 태그에 저장된 상기 제1 데이터를 정상적으로 리드한 비율과 임계값을 비교하여 상기 근거리 무선통신 칩과 상기 제1 근거리 무선통신 태그간의 무선통신이 정산인지 여부를 결정하는 테스트 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제1 태그 홀더는, 상기 지지대가 연장되는 방향을 따라 이동되어, 상기 제1 거리가 조정되고,
    상기 제2 태그 홀더는, 상기 지지대가 연장되는 방향을 따라 이동되어, 상기 제2 거리가 조정되는 테스트 장치.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 제1 태그 홀더가 이동되어 상기 제1 거리가 조정되고 상기 제1 및 제2 태그 홀더가 회전된 후,
    상기 제2 태그 홀더가 이동하여 상기 제2 거리가 조정되는 테스트 장치.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 제1 컨트롤러는,
    상기 제1 거리가 조정되고, 서로 통신하는 상기 제1 근거리 무선통신 태그와 상기 근거리 무선통신 칩에 대한 제1 통신 테스트가 수행된 후,
    상기 제1 및 제2 태그 홀더를 회전시켜 상기 제2 거리를 조정하는 테스트 장치.
  14. 삭제
  15. 제 10항에 있어서,
    상기 제1 통신 테스트는,
    상기 근거리 무선통신 칩과 상기 제1 근거리 무선통신 태그가 상기 제1 및 제2 신호 각각을 제1 속도로 주고받는 제1 서브 통신 테스트와,
    상기 근거리 무선통신 칩과 상기 제1 근거리 무선통신 태그가 상기 제1 및 제2 신호 각각을 제2 속도로 주고받는 제2 서브 통신 테스트를 포함하는 테스트 장치.
  16. 제 10항에 있어서,
    상기 지지대와 연결되고, 상기 제1 및 제2 태그 홀더를 회전시키는 회전부(rotator); 및
    상기 지지대와 연결되고, 상기 제1 및 제2 태그 홀더 각각을 이동시켜 상기 제1 및 제2 거리 각각을 조정하는 거리 제어부(distance controller)를 더 포함하는 테스트 장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 거리 제어부는 상기 지지대가 연장되는 방향을 따라 이동하고,
    상기 회전부와 상기 거리 제어부는 서로 연결되어, 상기 회전부가 회전함에 따라 상기 거리 제어부도 회전되고,
    상기 제1 및 제2 태그 홀더는 상기 거리 제어부에 결속되는 테스트 장치.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 지지대와 연결되는 레일을 더 포함하고,
    상기 거리 제어부는 상기 지지대가 연장되는 방향을 따라 상기 레일 상에서 구동하는 테스트 장치.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 거리 제어부 상에 배치된 연결부를 더 포함하고,
    상기 연결부는 상기 거리 제어부, 상기 제1 태그 홀더 및 상기 제2 태그 홀더를 서로 결속하는 테스트 장치.
  20. 삭제
KR1020180001524A 2018-01-05 2018-01-05 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법 KR102510895B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180001524A KR102510895B1 (ko) 2018-01-05 2018-01-05 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법
CN201811388275.1A CN110008765B (zh) 2018-01-05 2018-11-20 测试装置、测试系统、测试方法以及制造集成电路的方法
US16/239,660 US11216622B2 (en) 2018-01-05 2019-01-04 Test apparatus, test system including test apparatus, test method using test apparatus and test system, and method of manufacturing integrated circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180001524A KR102510895B1 (ko) 2018-01-05 2018-01-05 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190083733A KR20190083733A (ko) 2019-07-15
KR102510895B1 true KR102510895B1 (ko) 2023-03-15

Family

ID=67139477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180001524A KR102510895B1 (ko) 2018-01-05 2018-01-05 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11216622B2 (ko)
KR (1) KR102510895B1 (ko)
CN (1) CN110008765B (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111726177B (zh) * 2019-11-01 2022-09-13 深圳市通用测试系统有限公司 无线设备的无线性能测试方法、装置、系统、设备及存储介质
CN113179495A (zh) * 2021-03-31 2021-07-27 德氪微电子(深圳)有限公司 一种采用毫米波通讯的测试装置、方法以及存储介质
CN114114224A (zh) * 2021-10-26 2022-03-01 北京小米移动软件有限公司 Uwb测距性能测试方法、系统、设备及存储介质

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005202881A (ja) * 2004-01-19 2005-07-28 Fuji Photo Film Co Ltd Ｒｆｉｄタグの検査装置
JP2009251932A (ja) * 2008-04-07 2009-10-29 Brother Ind Ltd 無線タグ通信装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6104291A (en) * 1998-01-09 2000-08-15 Intermec Ip Corp. Method and apparatus for testing RFID tags
US7528712B2 (en) * 2006-06-06 2009-05-05 Industrial Technology Research Institute System and method for testing RFID devices
JP2008077283A (ja) * 2006-09-20 2008-04-03 Dainippon Printing Co Ltd Ｉｃタグ検査装置
CN101373508B (zh) * 2007-08-22 2011-06-29 资茂科技股份有限公司 适用于电子标签的测试装置及其测试方法
CN101498769B (zh) * 2008-01-31 2012-12-19 中兴通讯股份有限公司 近场通讯终端测试用位置控制装置
CN202904597U (zh) * 2012-10-29 2013-04-24 重庆艾申特电子科技有限公司 一种多标签测试读卡器及测试平台
US9959436B2 (en) * 2013-03-08 2018-05-01 Sony Corporation Reader for RFID tag for near-field wireless communication and near-field wireless communication system
EP2858259B1 (en) * 2013-10-07 2019-06-26 Nxp B.V. NFC tag, communication method and system
KR101572615B1 (ko) * 2014-07-11 2015-11-27 (주) 듀얼아이 엔에프씨 기능 호환성 시험장치 및 시험방법
CN204302407U (zh) * 2014-11-21 2015-04-29 国家电网公司 一种特高频段rfid测试系统
KR101625590B1 (ko) * 2014-12-15 2016-05-30 한국산업기술시험원 근거리 무선모듈의 상호호환성 시험자동화 시스템 및 방법
CN105574452B (zh) * 2015-10-30 2017-10-10 无锡职业技术学院 Rfid应用测试系统
CN105656574B (zh) * 2016-02-03 2019-03-22 上海坤锐电子科技有限公司 Nfc读卡器灵敏度的检测装置
SG10201610224YA (en) * 2016-10-04 2018-05-30 Crest Tech Limited Method and system for wireless tag reading

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005202881A (ja) * 2004-01-19 2005-07-28 Fuji Photo Film Co Ltd Ｒｆｉｄタグの検査装置
JP2009251932A (ja) * 2008-04-07 2009-10-29 Brother Ind Ltd 無線タグ通信装置

Also Published As

Publication number Publication date
US11216622B2 (en) 2022-01-04
CN110008765A (zh) 2019-07-12
CN110008765B (zh) 2024-02-02
US20190213362A1 (en) 2019-07-11
KR20190083733A (ko) 2019-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102510895B1 (ko) 테스트 장치, 이를 포함하는 테스트 시스템, 테스트 장치 및 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법 및 집적 회로의 제조 방법
KR20170131184A (ko) 무선신호의 강도를 이용한 위치 가이드 시스템 및 무선신호의 강도를 이용한 위치 가이드 방법
US7987308B2 (en) Multi-interface controller, memory card having the multi-interface controller, and interface setting method
JP2012063932A (ja) Ｒｆｉｄタグおよびｒｆｉｄシステム
KR20170131177A (ko) 음성강도를 이용한 위치확인 및 안내 시스템과 음성강도를 이용한 위치확인 및 안내 방법
CN103942581A (zh) 识别卡片错误插入的电子设备及其操作方法
CN106093659A (zh) 智能卡断电保护测试装置、系统及方法
CN101046850B (zh) Rf标签的读取设备和控制rf标签的读取的方法
CN103823469A (zh) 一种用于无人引导寻迹机器人的定位装置及其定位方法
US20170061464A1 (en) Stamper, terminal, and operation method thereof
JP2023511640A (ja) 移動デバイスの回避方法、装置及びコンピュータ読取可能な記憶媒体
US7890666B2 (en) Embedded protocol selection technique, related interface and computer program product
CN106663017A (zh) 实现主机卡模拟的方法、终端、数据路由方法及装置
US20120221825A1 (en) Nonvolatile memory system and feature information setting method
CN105807224A (zh) 用于带nfc的电池组件的测试工装及测试方法
CN105824313A (zh) 障碍物躲避方法及装置
CN106200689B (zh) 一种非接触式智能卡自动测试方法与装置
KR20160146404A (ko) 입출력라인 테스트 장치 및 방법
CN101799528A (zh) 定位装置及方法
JP2009200858A (ja) 無線通信装置及び無線通信方法及びプログラム
CN101587520B (zh) 导航装置的授权系统及授权方法
CN111897062A (zh) 一种光路耦合方法、装置及存储介质
CN102385557B (zh) 驱动处理方法及装置
KR101901914B1 (ko) 머신 러닝을 이용한 모션 인증 시스템 및 방법
KR102635498B1 (ko) 모터 제어 방법 및 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant