KR102503358B1 - 무철심형 리니어 모터 - Google Patents

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KR102503358B1
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쿤-정 청
쿠이-둔 덩
카이-한 덩
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토요 오토메이션 컴퍼니 리미티드
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Abstract

코일 어셈블리(3)가 코일 베이스(4)에 연결된 코일 유닛(5)을 포함한다. 각각의 코일 유닛(5)은 상부, 중간, 및 하부 코일 모듈(51, 52, 53)을 포함하고, 상부, 중간, 및 하부 코일 모듈(51, 52, 53) 각각은 이격된 제1 및 제2 상호작용 면(511, 521, 531, 512, 522, 532), 및 제1 및 제2 상호작용 면(511, 521, 531, 512, 522, 532)에 연결된 2개의 비상호작용 면(513, 523, 533)를 가지고 있음으로써 수용 공간(514, 524, 534)을 형성한다. 중간 및 하부 코일 모듈(52, 53)의 제1 상호작용 면(521, 531)은 상부 코일 모듈(51)의 수용 공간(514)에서 서로 나란히 놓여진다. 상부 및 중간 코일 모듈(51, 52)의 제2 상호작용 면(512, 522)는 하부 코일 모듈(53)의 수용 공간(534)에 서로 나란히 놓여진다. 무철심형 모터가 자기 레일 어셈블리(2)와 전술한 코일 어셈블리(3)를 포함한다.

Description

무철심형 리니어 모터{IRONLESS LINEAR MOTOR}
본 개시는 모터에 관한 것으로, 상세하게는 무철심형 리니어 모터와 무철심형 리니어 모터의 코일 어셈블리에 관한 것이다.
무철심형 리니어 모터용 코일 어셈블리는 세 가지 유형, 즉 비중첩 집중형 권선 유형(non-overlapping concentrated winding type), 중첩 집중형 권선 유형(overlapping concentrated winding type), 및 인쇄 회로 기판 유형이 있다. 도 1은 상대적으로 작은 공간에서 더 큰 구동력을 생성하기 위해 중첩 집중형 권선 유형인 무철심형 리니어 모터(ironless linear motor)의 코일 어셈블리(11)를 도시한 도면이다. 코일 어셈블리(11)는 직렬로 정렬된 4개의 코일 유닛(12)을 포함하고, 코일 유닛(12) 각각은 인접한 다른 코일 유닛에 대해 뒤집어지고 중첩되어 있다. 각각의 코일 유닛(12)은 3상 코일 구조를 구성하기 위해 2개의 제1 코일 모듈(121)과 1개의 제2 코일 모듈(122)을 포함한다.
하지만, 리니어 모터 코일 어셈블리의 공간 활용률과 볼륨 전력 밀도를 개선할 여지가 있다.
따라서, 본 발명의 하나의 목적은 공간 활용률을 개선할 수 있고 효과적인 전력 밀도를 제공할 수 있는 코일 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적에 따르면, 코일 어셈블리는 X 방향으로 연장된 코일베이스, 및 상기 X 방향으로 배열되고 상기 코일베이스에 연결된 복수의 코일 유닛을 포함한다.
코일 유닛 각각은 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈을 포함한다. 상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각은 제1 상호작용 면, 상기 X 방향으로 상기 제1 상호작용 면으로부터 이격된 제2 상호작용 면, 및 상기 X 방향에 수직인 Y 방향으로 서로 이격되고 상기 제1 상호작용 면과 상기 제2 상호작용 면에 연결된 2개의 비상호작용 면(non-interaction side)을 가지고 있다.
상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각의 제1 및 제2 상호작용 면과 상기 비상호작용 면은 수용 공간을 둘러싸는 루프를 협력적으로 형성한다.
상기 중간 코일 모듈과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 상부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치한다.
상기 상부 코일 모듈과 상기 중간 코일 모듈의 제2 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 하부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치한다.
본 발명의 다른 목적은 무철심형 리니어 모터(ironless linear motor)를 제공하는 것이다.
따라서, 무철심형 리니어 모터가 자기 레일 어셈블리(magnetic rail assembly)와 코일 어셈블리를 포함한다.
상기 자기 레일 어셈블리는 X 방향으로 연장된 자기 부재들(magnetic members)의 상부 행과 하부 행을 포함하고, 상부 행과 하부 행은 서로 이격되고, 상부 행과 하부 행 각각의 자기 부재들의 양극성과 음극성이 상기 X 방향으로 서로 교번한다.
상기 코일 어셈블리는 상기 자기 부재들의 2개의 행 사이에서 슬라이딩 가능하다. 상기 코일 어셈블리는 상기 X 방향으로 연장된 코일 베이스, 및 상기 X 방향으로 배열되고 상기 코일 베이스에 연결된 복수의 코일 유닛을 포함한다.
상기 코일 유닛 각각은 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈을 포함한다. 상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각은 제1 상호작용 면, 상기 X 방향으로 상기 제1 상호작용 면으로부터 이격된 제2 상호작용 면, 및 상기 X 방향에 수직인 Y 방향으로 서로 이격되고 상기 제1 상호작용 면과 상기 제2 상호작용 면에 연결된 2개의 비상호작용 면을 가지고 있다.
상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각의 제1 및 제2 상호작용 면과 비상호작용 면은 수용 공간을 둘러싸는 루프를 협력적으로 형성한다.
상기 중간 코일 모듈과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 상부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치한다.
상기 상부 코일 모듈과 상기 중간 코일 모듈의 제2 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 하부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치한다.
본 개시의 다른 특징 및 이점은 첨부 도면을 참조하여 실시예의 다음의 상세한 설명에서 명백해질 것이다.
도 1은 종래의 무철심형 리니어 모터(ironless linear motor)의 코일 어셈블리를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 무철심형 리니어 모터와 리니어 슬라이드 유닛을 도시한 사시도이다.
도 3은 상기 실시예의 측면도이다.
도 4는 회로 기판 상에 서로 나란히 놓여진 코일 유닛을 나타낸 실시예의 사시도이다.
도 5는 상기 실시예의 코일 유닛 중 하나를 예시하는 사시도이다.
도 6은 도 5의 분해 사시도이다.
은 각각의 코일 유닛의 권선 구조를 나타낸 실시예의 사시도이다.
도 8은 각각의 코일 유닛의 권선 구조를 나타낸 실시예의 측면도이다.
도 2 내지 도 4는 리니어 슬라이드 유닛(9)에 적합한 본 개시의 일 실시예에 따른 무철심형 리니어 모터(ironless linear motor)를 도시하고 있다. 리니어 슬라이드 유닛(9)은 리니어 레일(91)과, 작업대(도시되지 않음) 또는 작업물(도시되지 않음)을 지지하기 위해 리니어 레일(91) 상에 슬라이딩 가능하게 배치된 캐리지(carriage, 92)를 포함한다. 리니어 레일(91)은 레일 베이스(912)와 레일 베이스(912) 내부에 배치된 상부 레일 부재(913)를 가지고 있다. 레일 베이스(912)와 상부 레일 부재(913)는 2개의 슬라이딩 공간(911)을 협력적으로 형성한다. 본 발명의 무철심형 리니어 모터는 자기 레일 어셈블리(2)와 코일 어셈블리(3)를 포함한다.
자기 레일 어셈블리(2)는, X 방향으로 연장되고 슬라이딩 공간(911)에서 레일 베이스(912)와 상부 레일 부재(913) 상에 각각 배치되는 자기 부재들(21)의 2개의 상부 행과 하부 행을 포함한다. 상부 행과 하부 행은 서로 이격되고, 각각의 행의 자기 부재들(21)의 양극성과 음극성이 X 방향으로 서로 교번한다.
코일 어셈블리(3)는 캐리지(92)에 연결되고 자기 레일 어셈블리(2)에 배치된다. 코일 어셈블리(3)는 일반적으로 X 방향에 수직인 I자형 단면을 형성하고, 자기 부재들(21)의 2개의 행을 수용하기 위한 상부 홈과 하부 홈을 가지고 있다. 이와 같이, 코일 어셈블리(3)는 전압이 가해지면 X 방향으로 자기 부재들(21)의 2개의 행 사이에서 슬라이딩 가능하다.
본 실시예에서, 코일 어셈블리(3)는 코일 베이스(4)와 복수의 코일 유닛(5)을 포함한다.
코일 베이스(4)는 X 방향으로 연장되고 코일 유닛(5)에 전기적으로 연결된 회로 기판이다. 코일베이스(4)와 코일 유닛(5)이 명확하게 보일 수 있도록, 도면에서는 이들 사이의 배선 연결이 생략되어 있다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 코일 유닛(5)은 X 방향으로 배열되고 코일 베이스(4)에 연결된다. 각각의 코일 유닛(5)은 3상 코일 구조를 형성하기 위해 상부 코일 모듈(51), 중간 코일 모듈(52), 및 하부 코일 모듈(53)을 포함한다. 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈(51, 52, 53)의 각각은 제1 상호작용 면(511, 521, 531), X 방향으로 제1 상호작용 면(511, 521, 531)으로부터 이격된 제2 상호작용 면(512, 522, 532), 및 X 방향에 수직인 Y 방향으로 서로 이격되고 제1 상호작용 면(511, 521, 531)과 제2 상호작용 면(512, 522, 532)에 연결된 2개의 비상호작용 면(513, 523, 533)을 가지고 있다. 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈(51, 52, 53)의 제1 및 제2 상호작용 면(511, 521, 531, 512, 522, 532)과 비상호작용 면(513, 523, 533)은 각각 수용 공간(514, 524, 534)을 둘러싸는 루프를 협력적으로 형성한다.
중간 및 하부 코일 모듈(52, 23)의 제1 상호작용 면(521, 531)은 서로 나란히 놓여지고 상부 코일 모듈(51)의 수용 공간(514)에 맞게 삽입된다. 상부 및 중간 코일 모듈(51, 52)의 제2 상호작용 면(512, 522)은 서로 나란히 놓여지고 하부 코일 모듈(53)의 수용 공간(534)에 맞게 삽입된다. 상부 코일 모듈(51)의 제2 상호작용 면(512)과 하부 코일 모듈(53)의 제1 상호작용 면(531)은 서로 나란히 놓여지고 중간 코일 모듈(52)의 수용 공간(524)에 맞게 삽입된다.
상부 코일 모듈(51)의 제1 상호작용 면(511), 중간 코일 모듈(52)의 제1 상호작용 면(521), 하부 코일 모듈(53)의 제1 상호작용 면(531), 상부 코일 모듈(51)의 제2 상호작용 면(512), 중간 코일 모듈(52)의 제2 상호작용 면(522), 및 하부 코일 모듈(53)의 제2 상호작용 면(532)은 순차적으로 X 방향으로 배열된다. 도 2, 도 4, 및 5에 도시된 바와 같이, 코일 어셈블리(3)에 전압이 가해질 때, 제1 상호작용 면(511, 521, 531)과 제2 상호작용 면(512, 522, 532)은 자기 부재들(21)의 2개의 행과 상호 작용하여 미는 힘을 생성함으로써 X 방향으로 코일 어셈블리(3)를 움직인다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 코일 유닛(5) 중 인접한 2개의 상부 코일 모듈(51)과 하부 코일 모듈(53)은 X 방향과 Y 방향에 수직인 Z 방향에서 중첩하지 않는다. 각각의 코일 유닛(5)에 대해, 중간 코일 모듈(52)의 비상호작용 면(523)은 2개의 엔드 섹션(end section)을 각각 형성하고, 2개의 엔드 섹션 각각은 T자형 단면을 형성하고 위쪽과 아래쪽으로 돌출된다. 상부 코일 모듈(51)의 비상호작용 면(513)은 중간 코일 모듈의 2개의 엔드 섹션 사이에서 위쪽으로 돌출되는 2개의 엔드 플랜지(end flange, 52)를 각각 형성한다. 하부 코일 모듈(53)의 비상호작용 면(533)은 중간 코일 모듈의 엔드 섹션들 사이에서 아래쪽으로 돌출하는 2개의 엔드 플랜지(52)를 각각 형성한다. 따라서, 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈(51, 52, 53)이 함께 Z 방향에서 맞게 조립된 후에, Y 방향의 각각의 코일 유닛(5)의 크기가 줄어들 수 있다.
상부 코일 모듈(51)의 제1 및 제2 상호작용 면(511, 512), 중간 코일 모듈(52)의 제1 및 제2 상호작용 면(521, 522), 및 하부 코일 모듈(53)의 제1 및 제2 상호작용 면(531, 532)은 X 방향에서 동일한 크기를 가지고 있다. 수용 공간(514, 524, 534) 각각은 X 방향의 제1 상호작용 면(511, 521, 531) 각각의 크기의 2배인 X 방향의 크기를 가지도록 설계된다. 따라서, 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈(51, 52, 53)의 제1 상호작용 면(511, 521, 531)과 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈(51, 52, 53)의 제2 상호작용 면(512, 522, 532)은 수용 공간(514, 524, 534)과 적절하게 연동될 수 있다.
도 7과 도 8은 각각의 코일 유닛(5)의 실제 권선 구조를 도시하고 있다.
요약하면, 코일 어셈블리(3)는 다음의 장점이 있다.
1. 중간 및 하부 코일 모듈(52, 23)의 제1 상호작용 면(521, 531)이 나란히 놓여지고 상부 코일 모듈(51)의 수용 공간(514) 내에 맞게 삽입되므로, 그리고 상부 및 중간 코일 모듈(51, 52)의 제2 상호작용 면(512, 522)이 나란히 놓여지고 하부 코일 모듈(53)의 수용 공간(534) 내에 맞게 삽입되므로, 효과적인 공간 활용이 달성된다. X-방향으로 26개의 단위 길이를 가진 4개의 코일 유닛(12)으로 구성된 종래 기술의 코일 어셈블리(11)(도 1을 참조)와 비교할 때, 4개의 코일 유닛(5)을 포함하는 코일 어셈블리(3)는 X 방향으로 24개의 단위 길이만을 가진다(도 4를 참조). 즉, X 방향의 코일 어셈블리(3)는 종래 기술과 동일하거나 더 높은 전력 밀도를 제공하면서 종래 기술에 비해 길이가 8% 줄어들 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 코일 유닛(5)의 상부 코일 모듈(51)은 도 1에 도시된 종래 기술과 달리 Z 방향에서 인접한 코일 유닛(5)의 하부 코일 모듈(53)과 중첩하지 않는다. 또한, 각각의 코일 유닛(5)은 단일 어셈블리이다. 따라서, 기존 코일 유닛(5)을 재배치하지 않고 코일 유닛(5)의 기존 행의 마지막 열과 나란하게 새로운 코일 유닛(5)을 배치하여 코일 어셈블리(3)의 길이가 증가될 수 있다. 코일 어셈블리를 조립하는 시간이 절약될 수 있다.
이상의 설명에서, 설명의 목적을 위해, 실시예의 완전한 이해를 제공하기 위해 다수의 구체적인 세부사항을 설명하였다. 하지만, 하나 이상의 다른 실시예가 이러한 구체적인 세부사항 없이 실시될 수 있다는 것이 당업자에게는 명백할 것이다. 또한, 본 명세서 전체에서 "일 실시예", "실시예", 및 서수 등을 나타내는 실시예에 대한 언급이 상세한 특징, 구조, 또는 특성이 본 개시를 실시하는 데 포함될 수 있다는 것을 이해해야 한다. 추가로 이해해야 할 것은, 이상의 설명에서, 다양한 특징이 본 개시를 간소화하고 다양한 발명 양태의 이해를 돕기 위해 단일 실시예, 도면, 또는 이들의 설명에서 때때로 함께 그룹화되고, 하나의 실시예로부터의 하나 이상의 특징 또는 구체적인 세부사항이 본 개시를 실시할 때 적절하다면 다른 실시예로부터의 하나 이상의 특징 또는 구체적인 세부사항과 함께 실시될 수 있다는 것이다.
예시적인 실시예로 간주되는 것과 관련하여 본 개시를 설명하였지만, 본 개시는 개시된 실시예에 제한되지 않고 이러한 모든 수정과 등가의 배치를 포함할 수 있도록 가장 넓은 해석의 사상 및 범위에 포함되는 다양한 배치를 포함하려는 것이라고 이해해야 한다.

Claims (11)

  1. 무철심형 리니어 모터(ironless linear motor)의 코일 어셈블리로서,
    X 방향으로 연장된 코일 베이스; 및
    상기 X 방향으로 배열되고 상기 코일 베이스에 연결된 복수의 코일 유닛 - 코일 유닛 각각은 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈을 포함하고, 상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각은 제1 상호작용 면, 상기 X 방향으로 상기 제1 상호작용 면으로부터 이격된 제2 상호작용 면, 및 상기 X 방향에 수직인 Y 방향으로 서로 이격되고 상기 제1 상호작용 면과 상기 제2 상호작용 면에 연결된 2개의 비상호작용 면(non-interaction side)을 가지고 있음 -
    를 포함하고,
    상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각의 제1 및 제2 상호작용 면과 비상호작용 면은 수용 공간을 둘러싸는 루프를 협력적으로 형성하며;
    상기 중간 코일 모듈과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 상부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치하며;
    상기 상부 코일 모듈과 상기 중간 코일 모듈의 제2 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 하부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치하며;
    상기 상부 코일 모듈의 제2 상호작용 면과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 중간 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치하며;
    상기 코일 유닛 각각에 대해, 상기 중간 코일 모듈의 비상호작용 면은 2개의 엔드 섹션(end section)을 각각 형성하고, 2개의 엔드 섹션 각각은 T자형 단면을 형성하고 위쪽과 아래쪽으로 돌출되며, 상기 상부 코일 모듈의 비상호작용 면은 상기 중간 코일 모듈의 2개의 엔드 섹션 사이에서 위쪽으로 돌출된 2개의 엔드 플랜지(end flange)를 각각 형성하고, 상기 하부 코일 모듈의 비상호작용 면은 상기 중간 코일 모듈의 2개의 엔드 섹션 사이에서 아래쪽으로 돌출된 2개의 엔드 플랜지를 각각 형성하는, 무철심형 리니어 모터의 코일 어셈블리.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부 코일 모듈의 제1 상호작용 면, 상기 중간 코일 모듈의 제1 상호작용 면, 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면, 상기 상부 코일 모듈의 제2 상호작용 면, 상기 중간 코일 모듈의 제2 상호작용 면, 및 상기 하부 코일 모듈의 제2 상호작용 면은 상기 X 방향으로 순차적으로 배열되는, 무철심형 리니어 모터의 코일 어셈블리.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 코일 유닛 중 2개의 인접한 코일 유닛의 상부 코일 모듈과 하부 코일 모듈은 상기 X 방향과 상기 Y 방향에 수직인 Z 방향에서 중첩하지 않는, 무철심형 리니어 모터의 코일 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 코일 유닛 각각에 대해, 서로 나란히 놓여진 상기 중간 코일 모듈과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 상기 상부 코일 모듈의 수용 공간에 맞게 삽입되고;
    상기 코일 유닛 각각에 대해, 서로 나란히 놓여진 상기 상부 코일 모듈과 상기 중간 코일 모듈의 제2 상호작용 면은 상기 하부 코일 모듈의 수용 공간에 맞게 삽입되며;
    상기 코일 유닛 각각에 대해, 서로 나란히 놓여진 상기 상부 코일 모듈의 제2 상호작용 면과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 상기 중간 코일 모듈의 수용 공간에 맞게 삽입되는, 무철심형 리니어 모터의 코일 어셈블리.
  7. 무철심형 리니어 모터(ironless linear motor)로서,
    X 방향으로 연장된 자기 부재들(magnetic members)의 상부 행과 하부 행을 포함하는 자기 레일 어셈블리(magnetic rail assembly) - 상부 행과 하부 행은 서로 이격되고, 상부 행과 하부 행 각각의 자기 부재들의 양극성과 음극성이 상기 X 방향으로 서로 교번함 -; 및
    상기 자기 부재들의 상부 행과 하부 행 사이에서 슬라이딩 가능한 코일 어셈블리
    를 포함하고,
    상기 코일 어셈블리는 상기 X 방향으로 연장된 코일 베이스, 및 상기 X 방향으로 배열되고 상기 코일 베이스에 연결된 복수의 코일 유닛 - 코일 유닛 각각은 상부 코일 모듈, 중간 코일 모듈, 및 하부 코일 모듈을 포함하고, 상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각은 제1 상호작용 면, 상기 X 방향으로 상기 제1 상호작용 면으로부터 이격된 제2 상호작용 면, 및 상기 X 방향에 수직인 Y 방향으로 서로 이격되고 상기 제1 상호작용 면과 상기 제2 상호작용 면에 연결된 2개의 비상호작용 면(non-interaction side)을 가지고 있음 -을 포함하며;
    상기 상부 코일 모듈, 상기 중간 코일 모듈, 및 상기 하부 코일 모듈의 각각의 제1 및 제2 상호작용 면과 비상호작용 면은 수용 공간을 둘러싸는 루프를 협력적으로 형성하고;
    상기 중간 코일 모듈과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 상부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치하며;
    상기 상부 코일 모듈과 상기 중간 코일 모듈의 제2 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 하부 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치하며;
    상기 코일 유닛 각각에 대해, 상기 중간 코일 모듈의 비상호작용 면은 2개의 엔드 섹션(end section)을 각각 형성하고, 2개의 엔드 섹션 각각은 T자형 단면을 가지고 있고 위쪽과 아래쪽으로 돌출되며, 상기 상부 코일 모듈의 비상호작용 면은 상기 중간 코일 모듈의 2개의 엔드 섹션 사이에서 위쪽으로 돌출된 2개의 엔드 플랜지(end flange)를 각각 형성하고, 상기 하부 코일 모듈의 비상호작용 면은 상기 중간 코일 모듈의 2개의 엔드 섹션 사이에서 아래쪽으로 돌출된 2개의 엔드 플랜지를 각각 형성하는, 무철심형 리니어 모터.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 상부 코일 모듈의 제2 상호작용 면과 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면은 서로 나란히 놓여지고 상기 중간 코일 모듈의 수용 공간 내에 위치하는, 무철심형 리니어 모터.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 상부 코일 모듈의 제1 상호작용 면, 상기 중간 코일 모듈의 제1 상호작용 면, 상기 하부 코일 모듈의 제1 상호작용 면, 상기 상부 코일 모듈의 제2 상호작용 면, 상기 중간 코일 모듈의 제2 상호작용 면, 및 상기 하부 코일 모듈의 제2 상호작용 면은 순차적으로 배열되는, 무철심형 리니어 모터.
  10. 삭제
  11. 제7항에 있어서,
    상기 상부 코일 모듈의 제1 및 제2 상호작용 면, 상기 중간 코일 모듈의 제1 및 제2 상호작용 면, 및 상기 하부 코일 모듈의 제1 및 제2 상호작용 면은 상기 X 방향으로 동일한 크기를 가진, 무철심형 리니어 모터.
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