KR102495026B1 - Door assembly of burn-in chamber - Google Patents

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KR102495026B1
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Abstract

Disclosed is a door assembly of a burn-in chamber. Only one of a plurality of openings formed in the burn-in chamber is opened simultaneously or selectively. The watertightness can be secured through an expansion member when closing the opening part through a door. Accordingly, the installation area of the burn-in chamber is reduced in response to the miniaturization of the burn-in chamber. An optimal thermal stress environment for a semiconductor device is maintained while preventing the heat generated in a test space from being leaked to the outside through the door.

Description

번인 챔버의 도어 어셈블리{Door assembly of burn-in chamber}Door assembly of burn-in chamber

본 발명은 번인챔버의 도어 어셈블리에 대한 것으로, 보다 상세하게는 슬라이딩 방식으로 직선 이동하는 도어가 적용되는 번인챔버내의 테스트 공간에 대한 밀폐성을 향상시키고, 번인 챔버의 소형화를 구현하면서 그에 따른 설치 면적을 줄일 수 있도록 하는 번인 챔버의 도어 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a door assembly of a burn-in chamber, and more particularly, improves the sealing of a test space in a burn-in chamber to which a door that moves linearly in a sliding manner is applied, and realizes miniaturization of the burn-in chamber while reducing the corresponding installation area. It relates to a door assembly of a burn-in chamber that enables reduction.

일반적으로, IC칩 등으로 대표되는 반도체 소자(Device Under Test)는 오류 가능성이 초기에 가장 높고 그 이후에는 수명이 다할 때까지 거의 일정한 것으로 알려져 있으며, 이에 반도체 소자의 적절한 기능성과 신뢰성을 보장하기 위해서는 번인 테스트 장비를 이용하여 열적 테스트를 진행하게 된다.In general, semiconductor devices (Device Under Test), represented by IC chips, etc., are known to have the highest probability of failure at the beginning and then to be almost constant until the end of their lifespan. The thermal test is performed using burn-in test equipment.

상기와 같은 열적 테스트를 가하는 상기 번인 테스트 장비는 하나 또는 복수의 테스트 공간(또는 번인 공간)을 가지는 것으로 하나 또는 복수의 개구부를 가지는 번인 챔버, 상기 개구부를 개폐시키기 위한 도어, 상기 도어를 개폐시키도록 구동하는 구동부(예; 실린더 및/또는 모터), 그리고 온도조절장비로서 가열기, 냉각기, 송풍기 등이 포함될 수 있다.The burn-in test equipment for applying the thermal test as described above has one or a plurality of test spaces (or burn-in spaces), a burn-in chamber having one or a plurality of openings, a door for opening and closing the opening, and a door for opening and closing the door. A driving unit (eg, a cylinder and/or a motor), and a heater, a cooler, a blower, and the like may be included as temperature control equipment.

즉, 상기 번인 테스트 장비는 일반적인 사용 환경(예를 들면 실온)보다 가혹한 스트레스 환경을 조성하면서 일반적인 환경 조건에서 발생되는 결함이나 불량을 보다 빠르게 검출하는 것이며, 조성되는 스트레스 환경은 대략 영하 10℃ 내지 영상 150℃ 범위내의 온도에서 반도체 소자에 열적 스트레스를 가하는 것이다.That is, the burn-in test equipment is to more quickly detect defects or defects that occur in general environmental conditions while creating a stress environment that is more severe than the general use environment (eg, room temperature), and the stress environment created is approximately minus 10 ° C. Thermal stress is applied to a semiconductor device at a temperature within the range of 150°C.

그러나, 상기의 설명에서 하나의 개구부만을 가지는 번인 챔버는 하나의 테스트 공간만을 제공하는 것이므로, 테스트 대상인 반도체 소자의 테스트 시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.However, since the burn-in chamber having only one opening in the above description provides only one test space, there is a problem in that a lot of time is required to test a semiconductor device to be tested.

이에 종래에는 복수의 테스트 공간이 마련되는 번인 챔버를 제작하면서, 상기 테스트 공간에 대한 복수의 개구부를 각각 별도의 도어를 통해 개폐시키도록 하였다.In the related art, while manufacturing a burn-in chamber in which a plurality of test spaces are provided, a plurality of openings for the test spaces are opened and closed through separate doors, respectively.

그러나, 상기와 같이 복수의 테스트 공간이 마련되면서 이의 개구부를 각각 도어를 통해 폐쇄시키는 구조는 번인 챔버의 전반적인 크기가 커지면서 그 설치 공간을 많이 차지할 수 밖에 없었다.However, the structure in which a plurality of test spaces are provided and the openings thereof are closed through doors respectively takes up a lot of installation space as the overall size of the burn-in chamber increases.

즉, 복수의 개구부를 각각 도어를 통해 개방시킬 때, 상기 도어는 번인 챔버의 전면 기준에서 측부 라인을 벗어날 수 밖에 없으므로, 상기 도어의 개방에 필요로 하는 공간이 확보되어야 하며 이는 번인 챔버의 설치 공간을 넓게 확보해야 하는 것이다.That is, when the plurality of openings are opened through the door, the door has no choice but to deviate from the side line from the front surface of the burn-in chamber, so the space required for opening the door must be secured, which is the installation space of the burn-in chamber. should be secured widely.

이에 종래에는 도어의 선택적인 개방이 이루어지도록 하면서 열적 테스트의 효율성을 높이는 공개특허공보 제10-2008-0092082호(공개일 2008.10.15. 이하 '선행기술 1' 이라함)가 개시되었다.Accordingly, in the prior art, Patent Publication No. 10-2008-0092082 (published on October 15, 2008, hereinafter referred to as 'Prior Art 1') has been disclosed, which increases the efficiency of thermal testing while selectively opening a door.

그러나, 상기의 선행기술 1은 복수의 개구부에 대한 개방 조건이 선택적으로 이루어지는 관계로, 복수의 테스트 공간을 선택적으로 사용할 수 있을뿐 동시에 사용하지 못하는 문제가 있고, 열적 테스트 진행시 개구부에 대한 밀폐성을 확보하기 위해 좌우 방향으로 개폐 이동하는 도어를 전후방향으로 이동시켜야 하는 등 그 구동패턴이 복잡하였다.However, in the prior art 1, since the opening conditions for the plurality of openings are selectively made, there is a problem in that a plurality of test spaces can be selectively used but not simultaneously, and the sealing of the openings during the thermal test is performed. The driving pattern was complicated, such as the need to move the door that opens and closes in the left and right directions in the forward and backward directions to secure it.

한편, 종래에는 상기와 같은 선행기술 1의 문제를 개선하고자 등록특허공보 제10-2310343호(공고일 2021.10.07. 이하 '선행기술 2' 이라함)에서와 같이 나란하게 배치되는 도어들 사이에 보관공간을 형성하게 되면서, 복수의 개구부를 모두 개폐시키도록 하는 도어 어셈블리를 제공하기도 하였다.On the other hand, conventionally, in order to improve the problem of prior art 1 as described above, as in Registered Patent Publication No. 10-2310343 (published date 2021.10.07, hereinafter referred to as 'prior art 2'), storage between doors arranged side by side As the space is formed, a door assembly capable of opening and closing all of the plurality of openings is also provided.

그러나, 상기의 선행기술 2는 번인 챔버의 전면에서 개구부와 개구부 사이에 별도의 보관공간을 확보하는 것으로, 이 또한 상기의 보관공간으로 인해 번인 챔버의 전반적인 크기는 커질 수 밖에 없는 등 소형화가 극히 제한적일 수 밖에 없는 것이다.However, the prior art 2 above secures a separate storage space between the opening and the opening at the front of the burn-in chamber, and this storage space also inevitably increases the overall size of the burn-in chamber, so miniaturization is extremely limited. it can only be

또한, 상기의 선행기술 2도 슬라이딩 방식으로 직선 이동하는 도어를 적용하는 관계로, 번인 챔버의 개구부를 폐쇄한 도어 사이로 테스트 공간에서 형성된 열기가 누출되어 적절한 열적 스트레스 환경을 유지할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, since the prior art 2 also applies a door that moves linearly in a sliding manner, heat generated in the test space leaks between the doors that close the opening of the burn-in chamber, so that an appropriate thermal stress environment cannot be maintained.

공개특허공보 제10-2008-0092082호(공개일 2008.10.15.)Publication No. 10-2008-0092082 (published on October 15, 2008) 등록특허공보 제10-2310343호(공고일 2021.10.07.)Registered Patent Publication No. 10-2310343 (Announcement Date 2021.10.07.)

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 번인 챔버에 형성되는 복수의 개구부를 동시 또는 선택적으로 어느 하나만 개방되도록 구성하는 한편, 도어를 통해 개구부를 폐쇄시 팽창부재를 통해 수밀성이 확보되도록 구성함으로써, 번인 챔버의 소형화에 대응하여 번인 챔버의 설치 면적을 줄일 수 있도록 하고, 도어 사이로 테스트 공간에서 형성된 열기가 외부로 누출되는 것을 방지하면서 반도체 소자에 대한 최적의 열적 스트레스 환경을 유지할 수 있도록 하는 번인 챔버의 도어 어셈블리를 제공하려는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to configure a plurality of openings formed in the burn-in chamber so that only one is opened simultaneously or selectively, and when closing the opening through a door, watertightness is secured through an expandable member, so that the burn-in chamber The door assembly of the burn-in chamber to reduce the installation area of the burn-in chamber in response to the miniaturization and to maintain the optimal thermal stress environment for the semiconductor device while preventing the heat generated in the test space from leaking to the outside through the door. is to provide

본 발명의 과제 해결 수단인 번인 챔버의 도어 어셈블리는, 번인 챔버에 마련되는 복수의 개구부 중 어느 하나를 선택적으로 폐쇄시키도록 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동하는 것으로, 상단 고정체와 양측부가 개구된 격납공간이 형성되는 제 1 도어; 상기 제 1 도어가 복수의 상기 개구부 중 어느 하나를 선택적으로 폐쇄시에는 상기 격납공간에 수용되고, 복수의 상기 개구부를 동시에 폐쇄시에는 상기 격납공간으로부터 인출되도록 상기 제 1 도어와 반대되는 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동하는 제 2 도어; 제어부에 의해 구동이 제어되며, 상기 상단 고정체와 결합되면서 상기 제 1 도어를 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동시키는 제 1 구동부; 제어부에 의해 구동이 제어되며, 상기 제 1 도어를 기준으로 상기 제 2 도어를 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동시키는 제 2 구동부; 를 포함하며,The door assembly of the burn-in chamber, which is a means for solving the problems of the present invention, is linearly moved in the left or right direction to selectively close any one of a plurality of openings provided in the burn-in chamber, and the top fixture and the containment opening on both sides are opened. a first door in which a space is formed; When the first door selectively closes any one of the plurality of openings, the first door is accommodated in the storage space, and when the plurality of openings are simultaneously closed, the right side or left side opposite to the first door is drawn out of the storage space. a second door that moves linearly in the direction; a first driving unit that is driven by a control unit and linearly moves the first door in a left or right direction while being coupled to the upper end fixture; a second driving unit that is driven by a control unit and linearly moves the second door in a right or left direction relative to the first door; Including,

상기 번인 챔버의 전면측과 접촉되는 상기 제 1 도어의 일면에는 폐쇄된 하나의 개구부를 통해 상기 테스트 공간내 열기가 외부로 누출되지 않도록 제어부에 의해 팽창하여 수밀성을 제공하는 제 1 팽창부재를 형성하고, 상기 번인 챔버의 전면측과 접촉되는 상기 제 2 도어의 일면에는 폐쇄된 다른 하나의 개구부를 통해 상기 테스트 공간내 열기가 외부로 누출되지 않도록 상기 제어부에 의해 팽창하여 수밀성을 제공하는 제 2 팽창부재; 를 형성하는 것이다.On one side of the first door in contact with the front side of the burn-in chamber, a first expandable member is formed to provide watertightness by being expanded by a controller so that heat in the test space does not leak to the outside through one closed opening, , A second expansion member that is expanded by the control unit to provide watertightness so that heat in the test space does not leak to the outside through the other closed opening on one side of the second door that is in contact with the front side of the burn-in chamber ; is to form

또한, 상기 제 1 도어의 하면에는 상기 제 1 구동부의 구동에 따라 상기 제 1 도어가 좌측 또는 우측 좌측 방향으로 직선 이동시 그 직선 이동을 가이드하는 제 1 롤러를 형성하고, 상기 번인 챔버의 전면 하단에는 상기 제 1 롤러의 직선 이동을 지지하는 제 1 이동 가이드부가 형성되는 것이다.In addition, a first roller is formed on the lower surface of the first door to guide the linear movement when the first door linearly moves in the left or right-left direction according to the driving of the first driving unit, and at the lower end of the front surface of the burn-in chamber. A first movement guide portion supporting linear movement of the first roller is formed.

또한, 상기 제 1 구동부는 상기 상단 고정체가 결합되는 이동체가 포함되면서 유압이나 공압 또는 전기적 신호에 의해 구동하는 로드리스 실린더이고, 상기 로드리스 실린더의 실린더 몸체는 상기 번인 챔버의 전면 상단에 형성되는 고정 프레임에 양단이 고정되는 것이다.In addition, the first driving unit is a rodless cylinder driven by hydraulic pressure, pneumatic pressure, or an electrical signal while including a moving body to which the upper stationary unit is coupled, and the cylinder body of the rodless cylinder is formed on the front upper end of the burn-in chamber Both ends are fixed to the fixed frame.

또한, 상기 제 2 구동부는, 상기 제 1 도어의 상면 양단에 각각 고정되면서 상기 제어부에 의해 구동 제어되는 대칭의 제 1 및 제 2 모터; 상기 제 1 및 제 2 모터의 구동축에 각각 결합되는 대칭의 제 1 및 제 2 피니언 기어; 및, 상기 제 2 도어의 상면에 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 피니언 기어와 기어 맞물림되는 랙기어; 를 포함하는 것이다.In addition, the second driving unit may include first and second symmetrical motors driven and controlled by the control unit while being respectively fixed to both ends of the upper surface of the first door; symmetrical first and second pinion gears respectively coupled to the drive shafts of the first and second motors; and a rack gear formed on an upper surface of the second door and meshed with the first and second pinion gears. is to include

또한, 상기 제 2 도어의 하면에는 상기 제 2 구동부의 구동에 따라 상기 제 2 도어가 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동시 그 직선 이동을 가이드하는 제 2 롤러를 형성하고, 상기 제 1 도어의 내부측 바닥면에는 상기 제 2 롤러의 직선 이동을 가이드하는 제 2 이동 가이드부가 형성되는 것이다.In addition, a second roller is formed on the lower surface of the second door to guide the linear movement when the second door linearly moves in the right or left direction according to the driving of the second driving unit, and the inner bottom of the first door A second movement guide portion for guiding linear movement of the second roller is formed on the surface.

또한, 상기 제 1 구동부에 포함되는 상기 실린더 몸체의 양끝단에는 상기 이동체가 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동하여 접촉시 그 접촉에 따른 신호를 출력하는 제 1 및 제 2 센서를 형성하고, 상기 제어부는 상기 제 1 센서 또는 상기 제 2 센서로부터 출력되는 접촉신호에 따라 상기 제 1 도어의 일면에 형성되는 상기 제 1 팽창부재를 팽창시키는 제어신호를 출력하는 것이다.In addition, first and second sensors are formed at both ends of the cylinder body included in the first driving unit to output signals according to the contact when the moving body linearly moves in a left or right direction and contacts, and the control unit A control signal for inflating the first expandable member formed on one surface of the first door is output according to a contact signal output from the first sensor or the second sensor.

또한, 상기 제 2 구동부에 포함되는 상기 제 1 모터 또는 상기 제 2 모터가 정회전 또는 역회전 구동시 그 구동량은 제 3 센서를 통해 감지되도록 구성하고, 상기 제어부는 상기 제 3 센서로부터 감지되어 출력되는 신호에 따라 상기 제 2 도어의 이동거리를 연산하면서 상기 제 2 도어의 일면에 형성되는 상기 제 2 팽창부재를 팽창시키는 제어신호를 출력하는 것이다.In addition, when the first motor or the second motor included in the second driving unit is driven in forward or reverse rotation, the driving amount is sensed through a third sensor, and the control unit is detected by the third sensor A control signal for inflating the second expansion member formed on one surface of the second door is output while calculating the movement distance of the second door according to the output signal.

또한, 상기 제 1 팽창 부재와 상기 제 2 팽창부재는 동일 구조를 가지는 것으로, 상기 개구부가 상기 제 1 도어 또는 상기 제 2 도어에 의해 밀폐시, 상기 개구부의 가장자리면에 접촉되도록 상기 제 1 및 제 2 도어의 일면에 각각 원형 또는 사각의 링형 구조로 형성되는 에어튜브; 및, 상기 에어튜브에 에어 공급라인과 에어 배기라인으로 각각 연결되며, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 에어튜브를 수축 또는 팽창시키는 에어 구동부; 를 포함하는 것이다.In addition, the first expansion member and the second expansion member have the same structure, and when the opening is closed by the first door or the second door, the first and second expansion members are in contact with the edge surface of the opening. 2 Air tubes formed in a circular or square ring-shaped structure on one side of the door, respectively; and an air driver connected to the air tube through an air supply line and an air exhaust line, respectively, and contracting or expanding the air tube under the control of the control unit. is to include

또한, 상기 에어 배기라인에는 상기 제어부의 제어신호에 따라 열림 또는 닫힘이 이루어지면서 상기 에어튜브내의 에어를 배기시키는 전자밸브를 형성하고, 상기 에어 구동부는 상기 전자밸브가 닫힘 제어시 상기 에어 공급라인을 통해 상기 에어튜브에 에어를 공급하도록 상기 제어부의 제어신호에 따라 구동하는 에어펌프인 것이다.In addition, an electromagnetic valve is formed in the air exhaust line to exhaust air in the air tube while being opened or closed according to a control signal from the controller, and the air driver controls the air supply line when controlling the electromagnetic valve to close. It is an air pump that is driven according to a control signal of the control unit to supply air to the air tube through the air pump.

이와 같이, 본 발명은 번인 챔버에 형성되는 복수의 개구부를 동시 또는 선택적으로 어느 하나만 개방되도록 구성함은 물론, 도어를 통해 개구부를 폐쇄시 팽창부재를 통해 수밀성이 확보되도록 구성한 것이며, 이를 통해 번인 챔버의 소형화에 대응하여 번인 챔버의 설치 면적을 줄이고, 도어 사이로 테스트 공간에서 형성된 열기가 외부로 누출되는 것을 방지하면서 반도체 소자에 대한 최적의 열적 스트레스 환경을 유지하는 효과를 기대할 수 있는 것이다.As such, the present invention is configured so that only one of the plurality of openings formed in the burn-in chamber is opened simultaneously or selectively, and watertightness is secured through an expansion member when the opening is closed through a door. Through this, the burn-in chamber In response to the miniaturization of the burn-in chamber, the installation area of the burn-in chamber is reduced, and the effect of maintaining an optimal thermal stress environment for the semiconductor device while preventing leakage of heat generated in the test space to the outside through the door can be expected.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 실시예로 제 1 도어를 통해 일측 개구부가 폐쇄된 상태를 보인 번인 챔버 구조의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예로 제 1 도어를 통해 타측 개구부가 폐쇄된 상태를 보인 번인 챔버 구조의 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예로 번인 챔버의 도어 어셈블리 구조에 대한 측단면 개략도.
도 4는 본 발명의 실시예로 제 1 및 제 2 도어를 직선 이동시키는 제 1 및 제 2 구동부에 대한 확대 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예로 도어를 직선 이동시키기 위한 전기적 구성요소들에 대한 개략적인 블럭도.
도 6은 본 발명의 실시예로 일측 개구부를 폐쇄시킨 제 1 도어로부터 제 2 도어가 인출의 직선 이동으로 타측 개구부를 폐쇄시키는 상태를 보인 정면 개략도.
도 7은 본 발명의 실시예로 도 6에 대한 평면 개략도.
도 8은 본 발명의 실시예로 타측 개구부를 폐쇄시킨 제 1 도어로부터 제 2 도어가 인출의 직선 이동으로 일측 개구부를 폐쇄시키는 상태를 보인 정면 개략도.
도 9는 본 발명의 실시예로 도 8에 대한 평면 개략도.1 is a perspective view of a burn-in chamber structure showing a state in which an opening on one side is closed through a first door according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view of a burn-in chamber structure showing a state in which the other opening is closed through a first door according to an embodiment of the present invention;
3 is a side cross-sectional schematic view of a door assembly structure of a burn-in chamber according to an embodiment of the present invention.
4 is an enlarged perspective view of first and second driving units for linearly moving first and second doors according to an embodiment of the present invention;
5 is a schematic block diagram of electrical components for linearly moving a door in an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a front schematic view showing a state in which the second door closes the other opening by linear movement of withdrawal from the first door closing the opening on one side according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a plan schematic view of Figure 6 in an embodiment of the present invention.
8 is a front schematic view showing a state in which a second door closes one side opening by linear movement of withdrawal from a first door closing the other side opening according to an embodiment of the present invention;
Fig. 9 is a plan schematic view of Fig. 8 in an embodiment of the present invention;

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명 기술적 사상의 실시예에 있어서 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명 기술적 사상의 실시예에 있어서 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention, and methods of achieving them, will become clear with reference to the detailed description of the following embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings. However, in the embodiments of the technical idea of the present invention, it is not limited to the embodiments disclosed below, and may be implemented in various different forms, but only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the technology to which the present invention belongs It is provided to completely inform those skilled in the art of the scope of the invention, and is only defined by the scope of the claims in the embodiments of the technical idea of the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다.Terminology used herein is for describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, singular forms also include plural forms unless specifically stated otherwise in a phrase.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this specification, terms such as "comprise" or "having" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 필요한 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 영역은 라운드 지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 장치의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.In addition, the embodiments described in this specification will be described with reference to cross-sectional views and/or plan views, which are ideal exemplary views of the present invention. Therefore, embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in necessary forms. For example, a region shown at right angles may be rounded or have a predetermined curvature. Accordingly, the regions illustrated in the drawings have schematic properties, and the shapes of the regions illustrated in the drawings are intended to illustrate a specific shape of the region of the device and are not intended to limit the scope of the invention.

명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 따라서, 동일한 참조 부호 또는 유사한 참조 부호들은 해당 도면에서 언급 또는 설명되지 않았더라도, 다른 도면을 참조하여 설명될 수 있다. 또한, 참조 부호가 표시되지 않았더라도, 다른 도면들을 참조하여 설명될 수 있다.Like reference numbers designate like elements throughout the specification. Accordingly, the same reference numerals or similar reference numerals may be described with reference to other drawings, even if not mentioned or described in the drawings. Also, even if reference numerals are not indicated, description may be made with reference to other drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예로 제 1 도어를 통해 일측 개구부가 폐쇄된 상태를 보인 번인 챔버 구조의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예로 제 1 도어를 통해 타측 개구부가 폐쇄된 상태를 보인 번인 챔버 구조의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예로 번인 챔버의 도어 어셈블리 구조에 대한 측단면 개략도이고, 도 4는 본 발명의 실시예로 제 1 및 제 2 도어를 직선 이동시키는 제 1 및 제 2 구동부에 대한 확대 사시도이며, 도 5는 본 발명의 실시예로 도어를 직선 이동시키기 위한 전기적 구성요소들에 대한 개략적인 블럭도를 도시한 것이다.1 is a perspective view of a burn-in chamber structure showing a state in which one opening is closed through a first door according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a state in which the other opening is closed through a first door according to an embodiment of the present invention. It is a perspective view of the burn-in chamber structure shown, Figure 3 is a side cross-sectional schematic view of the door assembly structure of the burn-in chamber according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a first and second doors linearly moving according to an embodiment of the present invention It is an enlarged perspective view of the first and second driving units, and FIG. 5 shows a schematic block diagram of electrical components for linearly moving a door according to an embodiment of the present invention.

첨부된 도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 번인 챔버의 도어 어셈블리는, 테스트 대상물(예; 반도체 소자)이 투입되는 분리된 테스트 공간(T1, T2)을 가지는 번인 챔버(100)의 전면측에 마련되는 복수의 개구부(101, 102)를 선택적으로 폐쇄시키거나 또는 동시에 폐쇄시키는 것으로, 제 1 도어(10), 제 2 도어(20), 제 1 구동부(30), 제 3 구동부(40), 제 1 팽창부재(50), 제 2 팽창부재(60), 제어부(70)를 포함할 수 있는 것이다.1 to 5, the door assembly of the burn-in chamber according to an embodiment of the present invention includes a burn-in chamber having separate test spaces T1 and T2 into which a test object (eg, a semiconductor device) is put. 100) by selectively closing or simultaneously closing a plurality of openings 101 and 102 provided on the front side, the first door 10, the second door 20, the first driving unit 30, 3 drive unit 40, the first expansion member 50, the second expansion member 60, it may include a control unit 70.

여기서, 상기 테스트 공간(T1, T2)은 소정의 두께를 가지는 격벽(D1)에 의해 분할되는 공간이고, 상기 개구부(101, 102)는 각각 상기 테스트 공간(T1, T2)과 연통되는 것이며, 이에따라 상기 번인 챔버(100)는 기존에 공지된 번인 챔버 대비 좌우 폭이 획기적으로 줄어들 수 있는 것이다.Here, the test spaces T1 and T2 are spaces divided by a partition wall D1 having a predetermined thickness, and the openings 101 and 102 communicate with the test spaces T1 and T2, respectively. The left and right widths of the burn-in chamber 100 can be drastically reduced compared to conventionally known burn-in chambers.

즉, 상기 테스트 공간(T1, T2)이 소정의 두께를 가지는 상기 격벽(D1)을 기준으로 나란하게 분리 형성되면서, 상기 테스트 공간(T1, T2)과 연통되는 개구부(101, 102)도 나란하게 서로 인접하게 배치될 수 있으며, 이에따라 본 발명의 실시예에 따른 상기 번인 챔버(100)는 선행기술 2의 번인 챔버(반도체 장치)와 대비하여 보관 공간이 생략될 수 있게 되면서 그 좌우 폭이 줄어들 수 있고, 따라서 상기 번인 챔버(100)의 소형화 등에 맞물려 상기 번인 챔버(100)의 설치 면적 또한 축소될 수 있는 것이다.That is, while the test spaces T1 and T2 are formed side by side and separated based on the partition wall D1 having a predetermined thickness, the openings 101 and 102 communicating with the test spaces T1 and T2 are also side by side. can be arranged adjacent to each other, and accordingly, the burn-in chamber 100 according to the embodiment of the present invention can omit the storage space compared to the burn-in chamber (semiconductor device) of the prior art 2, and its left and right width can be reduced Therefore, the installation area of the burn-in chamber 100 can also be reduced in line with the miniaturization of the burn-in chamber 100 .

상기 제 1 도어(10)는 상기 제 1 구동부(30)와 연결되는 상단 고정체(11)와 상기 제 2 도어(20)가 수용되는 양측부가 개구된 격납공간(12)이 형성되는 도어 구조물로, 첨부된 도 1 또는 첨부된 도 2에서와 같이 상기 번인 챔버(100)에 마련되는 복수의 상기 개구부(101, 102) 중 어느 하나의 개구부(101 또는 102)를 선택적으로 폐쇄시키도록 상기 제 1 구동부(30)의 정회전 또는 역회전 구동에 따라 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동되는 것이다.The first door 10 is a door structure in which an upper fixing body 11 connected to the first driving unit 30 and a storage space 12 having both sides open in which the second door 20 is accommodated are formed. , As shown in the attached FIG. 1 or the attached FIG. 2, the first opening 101 or 102 of the plurality of openings 101 and 102 provided in the burn-in chamber 100 is selectively closed. It is linearly moved in the left or right direction according to forward rotation or reverse rotation of the drive unit 30 .

여기서, 상기 제 1 도어(10)의 하면에는 상기 제 1 구동부(30)의 구동에 따라 상기 제 1 도어(10)가 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동시 그 직선 이동을 가이드하는 제 1 롤러(13)가 형성될 수 있으며, 상기 번인 챔버(100)의 전면 하단에는 상기 제 1 롤러(13)의 직선 이동을 지지하기 위한 레일 구조물인 Ｕ자형의 제 1 이동 가이드부(103)가 형성될 수 있고, 이에따라 상기 제 1 도어(10)는 안정적으로 직선 이동이 가능하게 되는 것이다.Here, on the lower surface of the first door 10, when the first door 10 linearly moves in the left or right direction according to the driving of the first driving unit 30, a first roller 13 guiding the linear movement may be formed, and a U-shaped first movement guide portion 103, which is a rail structure for supporting the linear movement of the first roller 13, may be formed at the lower end of the front surface of the burn-in chamber 100, Accordingly, the first door 10 can be stably moved in a straight line.

한편, 상기 번인 챔버(100)의 전면 상단에는 고정 프레임(104)이 형성되면서, 상기 고정 프레임(104)에는 상기 제 1 구동부(30)의 양단이 고정될 수 있도록 하였다.Meanwhile, a fixing frame 104 is formed at the top of the front surface of the burn-in chamber 100 so that both ends of the first driving unit 30 can be fixed to the fixing frame 104 .

상기 제 2 도어(20)는 복수의 개구부(101, 102) 중 어느 하나의 개구부(101 또는 102)만을 선택적으로 폐쇄시 상기 격납공간(12)에 수용되고, 복수의 상기 개구부(101, 102)를 동시에 폐쇄시에는 상기 격납공간(12)으로부터 인출되도록 상기 제 1 도어(10)와 반대되는 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동하는 것이다.The second door 20 is accommodated in the storage space 12 when only one of the plurality of openings 101 and 102 is selectively closed, and the plurality of openings 101 and 102 When closing at the same time, it linearly moves in the right or left direction opposite to the first door 10 so as to be withdrawn from the storage space 12 .

즉, 상기 제 2 도어(20)가 상기 격납공간(12)에 격납 수용되면, 첨부된 도 1 또는 첨부된 도 2에서와 같이 상기 개구부(101, 102)는 상기 제 1 도어(10)에 의해 어느 하나만 폐쇄될 수 있는 것이고, 상기 제 2 도어(20)가 상기 격납공간(12)으로부터 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동하여 인출되면 첨부된 도 6 및 도 7 또는 첨부된 도 8 및 도 9에서와 같이 상기 제 1 도어(10)와 함께 상기 개구부(101, 102)를 동시에 폐쇄시킬 수 있는 것이다.That is, when the second door 20 is accommodated in the storage space 12, as shown in FIG. 1 or FIG. 2, the openings 101 and 102 are opened by the first door 10. Only one of them can be closed, and if the second door 20 is drawn out from the storage space 12 by straight movement to the right or left, as shown in FIGS. 6 and 7 or attached FIGS. 8 and 9 Similarly, the openings 101 and 102 can be simultaneously closed together with the first door 10 .

일예로, 상기 제 1 도어(10)가 도면 기준으로 좌측의 개구부(101)를 폐쇄한 상태에서, 상기 제 2 도어(20)가 우측 방향으로 직선 이동하여 인출되면 도면 기준으로 우측의 개구부(102)도 함께 폐쇄될 수 있다.For example, in a state in which the first door 10 closes the left opening 101 based on the drawing, when the second door 20 moves straight to the right and is drawn out, the right opening 102 ) can also be closed together.

반대로, 상기 제 1 도어(10)가 도면 기준으로 우측의 개구부(102)를 폐쇄한 상태에서, 상기 제 2 도어(20)가 좌측 방향으로 직선 이동하여 인출되면 도면 기준으로 좌측의 개구부(102)도 함께 폐쇄될 수 있는 것이다.Conversely, in a state where the first door 10 closes the right opening 102 based on the drawing, when the second door 20 moves linearly in the left direction and is drawn out, the left opening 102 can also be closed together.

여기서, 상기 제 2 도어(20)의 하면 중앙에는 상기 제 2 구동부(40)의 구동에 따라 상기 제 2 도어(20)가 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동시 그 직선 이동을 가이드하는 제 2 롤러(21)가 형성될 수 있으며, 이 경우 상기 제 1 도어(10)의 내부측 바닥면에는 상기 제 2 롤러(21)의 직선 이동을 가이드하는 레일 구조물인 Ｕ자형의 제 2 이동 가이드부(14)가 형성될 수 있으며, 이에따라 상기 제 2 도어(20)는 상기 격납공간(12)에 격납 수용됨은 물론 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동시의 안정성을 확보할 수 있는 것이다.Here, at the center of the lower surface of the second door 20, when the second door 20 linearly moves in the right or left direction according to the driving of the second driving unit 40, the second roller 21 guides the linear movement. ) may be formed, and in this case, the U-shaped second movement guide part 14, which is a rail structure that guides the linear movement of the second roller 21, is formed on the bottom surface of the inner side of the first door 10. Accordingly, the second door 20 can be stored and accommodated in the storage space 12, and stability can be secured when moving in a straight line in the right or left direction.

상기 제 1 구동부(30)는 상기 상단 고정체(11)와 결합되면서 상기 제 1 도어(10)를 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동시키는 것으로, 이는 첨부된 도 3에서와 같이 상기 상단 고정체(11)가 결합되는 피스톤 구조물로서 가이드봉(31a)을 따라 직선 이동하는 이동체(31)를 포함하면서 상기 제어부(70)에 의해 제어되는 유압이나 공압 또는 전기적 신호에 의해 구동하는 통상의 로드리스 실린더 조립체이고, 상기 로드리스 실린더 조립체에 포함되는 실린더 몸체(32)는 상기 번인 챔버(100)의 전면 상단에 형성되는 고정 프레임(104)에 양단이 고정될 수 있는 것이다.The first drive unit 30 linearly moves the first door 10 in the left or right direction while being coupled with the upper fixture 11, which is the upper fixture 11 as shown in FIG. ) As a piston structure to which is coupled, it is a conventional rodless cylinder assembly that includes a moving body 31 that moves linearly along the guide rod 31a and is driven by hydraulic pressure, pneumatic pressure, or electrical signals controlled by the control unit 70. Both ends of the cylinder body 32 included in the rodless cylinder assembly can be fixed to the fixing frame 104 formed at the top of the front of the burn-in chamber 100.

여기서, 상기 로드리스 실린더 조립체는 등록특허공보 제10-0663943호(공고일 2007.01.02.)는 물론 다른 여러 선행기술들을 통해 공개된 공지의 기술로서, 이하에서는 그 구체적인 설명을 생략하기로 한다.Here, the rodless cylinder assembly is a known technology disclosed through Patent Registration No. 10-0663943 (published on January 2, 2007) as well as various other prior arts, and a detailed description thereof will be omitted below.

상기 제 2 구동부(40)는 상기 제 1 도어(10)를 기준으로 상기 제 2 도어(20)를 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동시키는 것으로, 첨부된 도 4에서와 같이 대칭의 제 1 및 제 2 모터(41, 42)와 대칭의 제 1 및 제 2 피니언 기어(43, 44), 그리고 랙기어(45)를 포함하는 것이다.The second driving unit 40 linearly moves the second door 20 in the right or left direction with respect to the first door 10, and as shown in FIG. 4, the first and second symmetrical It includes motors 41 and 42, symmetrical first and second pinion gears 43 and 44, and a rack gear 45.

상기 제 1 모터(41)와 상기 제 2 모터(42)는 상기 제 1 도어(10)의 상면 양단에 각각 고정되면서 상기 제어부(70)에 의해 정,역회전 구동이 동일하게 제어될 수 있는 것이다.The first motor 41 and the second motor 42 are fixed to both ends of the upper surface of the first door 10, respectively, and forward and reverse rotation driving can be equally controlled by the control unit 70. .

즉, 상기 제어부(70)로부터 출력되는 제어신호에 따라 상기 제 1 모터(41)와 상기 제 2 모터(42)는 동시에 정회전 또는 역회전 구동이 이루어지는 것이다.That is, the first motor 41 and the second motor 42 are driven forward or reverse at the same time according to the control signal output from the control unit 70 .

상기 제 1 피니언 기어(43)와 상기 제 2 피니언 기어(44)는 상기 제 1 모터(41)와 상기 제 2 모터(42)의 구동축(미표시)에 각각 결합되면서, 상기 제 1 모터(41)와 상기 제 2 모터(42)의 정회전 또는 역회전 구동에 따라 정방향 또는 역방향으로 회전하는 것이다.The first pinion gear 43 and the second pinion gear 44 are coupled to drive shafts (not shown) of the first motor 41 and the second motor 42, respectively, and the first motor 41 and forward or reverse rotation according to forward rotation or reverse rotation driving of the second motor 42 .

상기 랙기어(45)는 상기 제 2 도어(20)의 상면에 수직하게 형성되는 것으로, 상기 제 1 피니언 기어(43) 및 상기 제 2 피니언 기어(44)와 각각 기어 맞물림되는 것이다.The rack gear 45 is formed perpendicularly to the upper surface of the second door 20 and meshes with the first pinion gear 43 and the second pinion gear 44, respectively.

즉, 상기 격납공간(12)에 상기 제 2 도어(20)가 격납된 초기 상태에서, 제 1 모터(41)가 정회전 구동하면, 상기 제 1 모터(41)의 구동축에 연결되는 제 1 피니언 기어(43)가 정방향 회전을 하게 되면서, 상기 제 1 피니어 기어(43)와 기어 맞물림되는 랙기어(45)는 도면 기준으로 좌측 방향으로 직선 이동하고, 상기 랙기어(45)가 일체화되도록 결합되어진 제 2 도어(20)는 상기 제 1 도어(10)의 격납공간(12)에서 좌측 방향으로 직선 이동하는 인출이 이루어질 수 있는 것이다.That is, when the first motor 41 rotates forward in the initial state in which the second door 20 is stored in the storage space 12, the first pinion connected to the driving shaft of the first motor 41 As the gear 43 rotates in the forward direction, the rack gear 45 meshed with the first pinier gear 43 linearly moves in the left direction based on the drawing, and the rack gear 45 is combined to be integrated The second door 20 can be withdrawn from the storage space 12 of the first door 10 to move linearly in the left direction.

여기서, 상기 격납공간(12)에 상기 제 2 도어(20)가 격납된 초기 상태에서, 상기 랙기어(45)의 일측 끝단에 상기 제 1 피니언 기어(43)가 기어 맞물림되고, 상기 랙기어(45)의 타측 끝단에는 상기 제 2 피니언 기어(44)가 기어 맞물림된 상태이므로, 상기 제 1 모터(41)의 초기 정회전 구동시, 상기 제 2 모터(42)는 초기에만 정회전 구동을 한 후 정지되며, 이는 상기 제어부(70)에 의해 제어될 수 있는 것이다.Here, in an initial state in which the second door 20 is stored in the storage space 12, the first pinion gear 43 is gear-engaged with one end of the rack gear 45, and the rack gear ( Since the second pinion gear 44 is gear-engaged with the other end of 45), when the first motor 41 is initially driven for forward rotation, the second motor 42 performs forward rotation only at the initial stage. and then stopped, which can be controlled by the control unit 70.

반면, 상기 격납공간(12)에 상기 제 2 도어(20)가 격납된 초기 상태에서, 제 2 모터(42)가 역회전 구동하면, 상기 제 2 모터(42)의 구동축에 연결되는 제 2 피니언 기어(44)가 역방향 회전을 하게 되면서, 상기 제 2 피니어 기어(44)와 기어 맞물림되는 랙기어(45)는 도면 기준으로 우측 방향으로 직선 이동하게 되면서, 상기 랙기어(45)와 일체화된 구조를 이루는 제 2 도어(20)는 상기 제 1 도어(10)의 격납공간(12)에서 우측 방향으로 직선 이동하는 인출이 이루어질 수 있는 것이다.On the other hand, when the second motor 42 reversely rotates in the initial state in which the second door 20 is stored in the storage space 12, the second pinion connected to the drive shaft of the second motor 42 As the gear 44 rotates in the reverse direction, the rack gear 45 meshed with the second pinion gear 44 linearly moves in the right direction based on the drawing, and the rack gear 45 is integrated with the rack gear 45. The structure of the second door 20 can be withdrawn from the storage space 12 of the first door 10 to linearly move in the right direction.

여기서, 상기 격납공간(12)에 상기 제 2 도어(20)가 격납된 초기 상태에서, 상기 랙기어(45)의 타측 끝단에 상기 제 2 피니언 기어(44)가 기어 맞물림되고, 상기 랙기어(45)의 일측 끝단에는 상기 제 1 피니언 기어(43)가 기어 맞물림된 상태이므로, 상기 제 2 모터(42)의 초기 역회전 구동시, 상기 제 1 모터(41)는 초기에만 역회전 구동을 한 후 정지되는 것이며 이는 상기 제어부(70)에 의해 제어될 수 있는 것이다.Here, in an initial state in which the second door 20 is stored in the storage space 12, the second pinion gear 44 is gear-engaged with the other end of the rack gear 45, and the rack gear ( Since the first pinion gear 43 is gear-engaged with one end of 45), when the second motor 42 is initially driven in reverse rotation, the first motor 41 is driven in reverse rotation only in the initial stage. and then stopped, which can be controlled by the control unit 70.

상기 제 1 팽창부재(50)와 상기 제 2 팽창부재(60)는 상기 번인 챔버(100)의 전면측과 접촉되는 상기 제 1 도어(10)와 상기 제 2 도어(20)의 일면에 각각 형성되면서, 상기 제 1 도어(10)가 직선 이동 중이거나 상기 제 2 도어(20)가 상기 격납공간(12)에 격납 수용시에는 상기 제어부(70)에 의해 각각 수축되고, 상기 제 1 도어(10)와 상기 제 2 도어(20)가 직선 이동하여 복수의 상기 개구부(101, 102)를 동시에 폐쇄시에는 상기 제어부(70)에 의해 팽창하면서 상기 번인 챔버(100)의 테스트 공간(T1, T2)내 열기가 외부로 누출되지 않도록 차단하는 것으로, 상기 제 1 및 제 2 팽창부재(50, 60)는 동일 구조로서 첨부된 5는 물론 도 7 및 도 9에서와 같이 에어튜브(51, 61)와 에어 구동부(52, 62) 및 전자밸브(53, 63)를 포함하는 것이다.The first expansion member 50 and the second expansion member 60 are respectively formed on one surface of the first door 10 and the second door 20 in contact with the front side of the burn-in chamber 100. While the first door 10 is moving in a straight line or the second door 20 is stored and accommodated in the storage space 12, the control unit 70 contracts each of them, and the first door 10 ) and the second door 20 linearly move to close the plurality of openings 101 and 102 at the same time, the test spaces T1 and T2 of the burn-in chamber 100 are expanded by the control unit 70 To block internal heat from leaking to the outside, the first and second expansion members 50 and 60 have the same structure as the air tubes 51 and 61 as shown in FIGS. 7 and 9 as well as the attached 5 It includes air driving units 52 and 62 and solenoid valves 53 and 63.

상기 에어튜브(51, 61)는 복수의 개구부(101, 102)가 상기 제 1 도어(10) 또는 상기 제 2 도어(20)에 의해 밀폐시, 상기 개구부(101, 102)의 가장자리면에 접촉되도록 상기 제 1 도어(10)와 상기 제 2 도어(20)의 일면에 각각 원형 또는 사각의 링형 구조로 형성되는 것이다.When the plurality of openings 101 and 102 are closed by the first door 10 or the second door 20, the air tubes 51 and 61 contact the edge surfaces of the openings 101 and 102. The first door 10 and the second door 20 are each formed in a circular or square ring-shaped structure on one surface.

여기서, 상기 에어튜브(51, 61)는 상기 개구부(101, 102)를 통한 열기로 인해 변형이 방지되도록 열적 안정성을 가지는 탄소나노튜브(aligned carbon nanotubes) 또는 탄성나노튜브를 포함하는 고무 복합체 조성물로 이루어질 수 있으며, 이는 등록특허공보 제10-1462426호(공고일 2014.11.17.)과 등록특허공보 제10-2172152호(공고일 2020.10.30.) 등에 공지된 기술적 특징을 이용한 것으로 이하에서는 그 구체적인 설명을 생략하기로 한다.Here, the air tubes 51 and 61 are made of a rubber composite composition including aligned carbon nanotubes or elastic nanotubes having thermal stability to prevent deformation due to heat generated through the openings 101 and 102. This can be done, which uses the technical features known in Patent Registration No. 10-1462426 (published date 2014.11.17.) and Registered Patent Publication No. 10-2172152 (published date 2020.10.30.), and a detailed description thereof will be given below. to omit

상기 에어 구동부(52, 62)는 상기 에어튜브(51, 61)에 에어 공급라인(L1, L1')과 에어 배기라인(L2, L2')으로 각각 연결되면서, 상기 제어부(70)의 제어에 따라 상기 에어튜브(51, 61)를 수축 또는 팽창시키는 에어 펌프인 것이다.The air driving units 52 and 62 are connected to the air tubes 51 and 61 through air supply lines L1 and L1' and air exhaust lines L2 and L2', respectively, and are controlled by the control unit 70. It is an air pump that contracts or expands the air tubes 51 and 61 accordingly.

상기 전자밸브(53, 63)는 상기 에어 배기라인(L2, L2')에 형성되면서 상기 제어부(70)의 제어신호에 따라 열림 또는 닫힘이 이루어지면서 상기 에어튜브(51, 61)내의 에어를 배기시키는 것이고, 상기 전자밸브(53, 63)가 닫힘 제어시 상기 에어 구동부(52, 62)가 상기 에어 공급라인(L1, L1')을 통해 상기 에어튜브(51, 61)에 각각 에어를 공급하면 상기 에어튜브(51, 61)의 팽창이 이루어질 수 있게 되는 것이다.The solenoid valves 53 and 63 are formed in the air exhaust lines L2 and L2' and are opened or closed according to a control signal from the control unit 70 to exhaust air in the air tubes 51 and 61. When the solenoid valves 53 and 63 are controlled to close, the air driving units 52 and 62 supply air to the air tubes 51 and 61 through the air supply lines L1 and L1', respectively. This allows the air tubes 51 and 61 to be inflated.

여기서, 에어펌프로 이루어진 상기 에어 구동부(52, 62)는 상기 제 1 도어(10)와 상기 제 2 도어(20)에 각각 구성되거나, 또는 상기 제 1 도어(10)와 상기 제 1 도어(10)의 격납공간(12)내에 각각 구성될 수 있으며, 상기 에어 공급라인(L1, L1')과 상기 에어 배기라인(L2, L2')은 플렉시블한 관체이거나 상기 제 1 및 제 2 도어(10, 20)에 형성되는 유로 구조물일 수 있고, 상기 전자밸브(53, 63)는 도면에는 구체적으로 도시하지 않았지만 상기 제어부(70)와 전기적 신호 라인으로 연결될 수 있으며, 상기 제어부(70)는 상기 번인 챔버(100)에 마련되는 각종 조작키를 가지는 제어패널(미도시)에 마련될 수 있는 것이다.Here, the air driving units 52 and 62 made of air pumps are respectively configured in the first door 10 and the second door 20, or in the first door 10 and the first door 10. ), and the air supply lines (L1, L1') and the air exhaust lines (L2, L2') are flexible tubular bodies or the first and second doors (10, 20), and the solenoid valves 53 and 63, although not specifically shown in the drawings, may be connected to the control unit 70 through an electrical signal line, and the control unit 70 may be connected to the burn-in chamber It can be provided in a control panel (not shown) having various operation keys provided in (100).

더불어, 상기 제어부(70)에 의해 구동이 제어되는 상기 제 1 구동부(30), 그리고 상기 제 2 구동부(30)에 포함되는 제 1 및 제 2 모터(41, 42) 또한 상기 제어부(70)와 전기적 신호라인으로 연결되는 것이다.In addition, the first driving unit 30 whose driving is controlled by the control unit 70 and the first and second motors 41 and 42 included in the second driving unit 30 are also connected to the control unit 70. It is connected with an electrical signal line.

한편, 상기 제 1 도어(10) 및/또는 제 2 도어(20)에 의해 상기 번인 챔버(100)에 마련되는 복수의 개구부(101, 102)가 선택적으로 폐쇄되거나 또는 동시에 폐쇄된 시점에서, 상기 번인 챔버(100)의 전면측과 상기 제 1 도어(10) 및/또는 제 2 도어(20)의 사이로 테스트 공간(T1 및/또는 T2)에서 발생하는 열기가 외부로 누출되지 않도록 상기 에어튜브(51 및/또는 61)가 팽창되어 수밀성을 확보해야 하고, 따라서 상기 에어튜브(51 및/또는 61)의 팽창 시점은 제 1 센서(S1)와 제 2 센서(S2), 그리고 제 3 센서(S3)를 통해 감지되는 신호에 따라 상기 제어부(70)가 제어신호를 출력함으로써 달성될 수 있다.Meanwhile, when the plurality of openings 101 and 102 provided in the burn-in chamber 100 are selectively closed or simultaneously closed by the first door 10 and/or the second door 20, the The air tube ( 51 and/or 61) must be inflated to ensure watertightness, and therefore, the expansion time of the air tube 51 and/or 61 is the first sensor S1, the second sensor S2, and the third sensor S3. It can be achieved by the control unit 70 outputting a control signal according to a signal sensed through ).

즉, 상기 제 1 센서(S1)와 상기 제 2 센서(S2)는 상기 제 1 구동부(30)에 포함되는 실린더 몸체(32)의 양끝단에 각각 형성되는 접촉센서(예; 리미트 스위치)로서, 상기 제 1 센서(S1) 또는 상기 제 2 센서(S2)는 제 1 도어(10)가 개구부(101 또는 102)를 폐쇄시키도록 상기 제 1 구동부(30)에 포함되는 이동체(31)가 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동하여 접촉시 그 접촉에 따른 신호를 상기 제어부(70)로 출력하는 것이고, 이에 상기 제어부(70)는 상기 제 1 센서(S1) 또는 상기 제 2 센서(S2)로부터 출력되는 접촉신호에 따라 상기 제 1 도어(10)에 형성되는 상기 에어튜브(51)를 팽창시키는 제어신호를 상기 에어구동부(52)에 출력하게 되는 것이다.That is, the first sensor S1 and the second sensor S2 are contact sensors (eg, limit switches) formed at both ends of the cylinder body 32 included in the first driving unit 30, respectively. The first sensor S1 or the second sensor S2 is configured so that the first door 10 closes the opening 101 or 102 when the movable body 31 included in the first driving unit 30 moves to the left or right side. It moves linearly in the right direction and outputs a signal according to the contact to the control unit 70 upon contact, and thus the control unit 70 detects the contact output from the first sensor S1 or the second sensor S2. According to the signal, a control signal for inflating the air tube 51 formed in the first door 10 is output to the air driver 52 .

일예로, 상기 제 1 구동부(30)에 포함되면서 상단 고정체(11)를 통해 제 1 도어(10)가 결합되어진 이동체(31)가 실린더 몸체(32)의 일측 끝단에 형성되는 하나의 제 1 센서(S1)에 접촉하고, 상기 제 1 센서(S1)가 접촉에 따른 신호를 제어부(70)로 출력하면, 상기 제어부(70)는 상기 제 1 도어(10)가 번인 챔버(100)의 일측 개구부(101)를 폐쇄한 것으로 인식하면서, 상기 제 1 도어(10)의 일면에 형성되는 에어튜브(51)를 팽창시키도록 에어구동부(52)를 구동 제어하는 것이다.For example, one first movable body 31 included in the first driving unit 30 and coupled to the first door 10 through the upper fixed body 11 is formed at one end of the cylinder body 32 When the sensor S1 is contacted and the first sensor S1 outputs a signal according to the contact to the control unit 70, the control unit 70 determines that the first door 10 is located on one side of the burn-in chamber 100. While recognizing that the opening 101 is closed, the air driver 52 is driven and controlled to inflate the air tube 51 formed on one surface of the first door 10 .

반대로, 상기 제 1 구동부(30)에 포함되면서 상단 고정체(11)를 통해 제 1 도어(10)가 결합되어진 이동체(31)가 실린더 몸체(32)의 타측 끝단에 형성되는 다른 하나의 제 2 센서(S2)에 접촉하고, 상기 제 2 센서(S2)가 접촉에 따른 신호를 제어부(70)로 출력하면, 상기 제어부(70)는 상기 제 1 도어(10)가 번인 챔버(100)의 타측 개구부(102)를 폐쇄한 것으로 인식하면서, 상기 제 1 도어(10)의 일면에 형성되는 에어튜브(51)를 팽창시키도록 에어구동부(52)를 구동 제어하는 것이다.On the contrary, the moving body 31 included in the first driving unit 30 and coupled to the first door 10 through the upper fixing body 11 is formed at the other end of the cylinder body 32, and the other second When the sensor S2 is contacted and the second sensor S2 outputs a signal according to the contact to the control unit 70, the control unit 70 determines that the first door 10 is on the other side of the burn-in chamber 100. While recognizing that the opening 102 is closed, the air driver 52 is driven and controlled to inflate the air tube 51 formed on one surface of the first door 10 .

여기서, 상기 제 1 도어(10)가 일측 개구부(101) 또는 타측 개구부(102)를 폐쇄한 상태에서 타측 개구부(102) 또는 일측 개구부(101)의 방향으로 직선 이동하게 되면, 상기 이동체(31)가 제 1 센서(S1) 또는 상기 제 2 센서(S2)와 접촉이 해제되므로, 상기 제 1 센서(S1) 또는 상기 제 2 센서(S2)는 접촉 해제에 따른 신호를 제어부(70)에 제공하게 되면서, 상기 제어부(70)는 전자밸브(53)를 개방시키는 제어동작을 수행할 수 있으며, 이 경우 상기 에어튜브(51)내의 에어는 에어 배기라인(L2)을 통해 배기되면서, 상기 에어튜브(51)는 수축될 수 있는 것이다.Here, when the first door 10 linearly moves in the direction of the other opening 102 or the one opening 101 in a state in which the one opening 101 or the other opening 102 is closed, the moving body 31 Since the contact with the first sensor S1 or the second sensor S2 is released, the first sensor S1 or the second sensor S2 provides a signal according to the contact release to the control unit 70. In this case, the controller 70 can perform a control operation of opening the solenoid valve 53. In this case, the air in the air tube 51 is exhausted through the air exhaust line L2, and the air tube ( 51) can be contracted.

상기 제 3 센서(S3)는 단수 또는 복수로서 상기 제 2 구동부(40)에 포함되는 제 1 모터(41)와 제 2 모터(42)가 정회전 또는 역회적 구동시 그 구동량을 감지한 후 이를 제어부(60)에 출력하는 회전량 감지센서일 수 있고, 상기 제어부(70)는 상기 제 3 센서(S3)로부터 출력된 신호에 따라 상기 제 2 도어(20)의 이동거리를 공지의 연산프로그램을 이용하여 연산하면서 상기 제 2 도어(20)에 형성된 상기 에어튜브(61)를 팽창시키는 제어신호를 상기 에어구동부(62)에 출력하게 되는 것이다.The third sensor S3, singular or plural, detects the amount of driving when the first motor 41 and the second motor 42 included in the second driving unit 40 are driven forward or backward. It may be a rotation amount detection sensor that outputs this to the control unit 60, and the control unit 70 calculates the movement distance of the second door 20 according to the signal output from the third sensor S3 through a known calculation program. A control signal for inflating the air tube 61 formed in the second door 20 is output to the air driver 62 while calculating using .

일예로, 상기 번인 챔버(100)의 타측 개구부(102)가 제 1 도어(10)에 의해 밀폐된 상태에서, 상기 제 1 도어(10)내의 격납공간(12)에 격납된 제 2 도어(20)가 제 1 모터(41)의 구동에 따라 좌측 방향으로 직선 이동하여 상기 번인 챔버(100)의 일측 개구부(101)를 밀폐시키면, 상기 제 1 모터(41)의 구동량이 제 3 센서(S3)에 의해 감지되어 제어부(70)로 출력된다.For example, in a state where the other side opening 102 of the burn-in chamber 100 is sealed by the first door 10, the second door 20 stored in the storage space 12 within the first door 10 ) moves linearly in the left direction according to the driving of the first motor 41 and closes the opening 101 on one side of the burn-in chamber 100, the driving amount of the first motor 41 detects the third sensor S3 It is detected by and outputted to the control unit 70.

그러면, 상기 제어부(70)는 상기 제 3 센서(S3)로부터 출력되는 구동량 정보를 연산하여 상기 제 2 도어(20)의 이동거리를 산출하면서 상기 제 2 도어(20)가 번인 챔버(100)의 일단 개구부(101)를 폐쇄한 것으로 인식한 후 상기 제 2 도어(20)의 일면에 형성되는 에어튜브(61)를 팽창시키도록 에어구동부(62)를 구동 제어하는 것이다.Then, the control unit 70 calculates the moving distance of the second door 20 by calculating the driving amount information output from the third sensor S3, and the second door 20 moves through the burn-in chamber 100. After recognizing that the opening 101 is closed, the air driver 62 is driven and controlled to inflate the air tube 61 formed on one side of the second door 20 .

반대로, 상기 번인 챔버(100)의 일측 개구부(101)가 제 1 도어(10)에 의해 밀폐된 상태에서, 상기 제 1 도어(10)내의 격납공간(12)에 격납된 제 2 도어(20)가 제 2 모터(42)의 구동에 따라 우측 방향으로 직선 이동하여 상기 번인 챔버(100)의 타측 개구부(102)를 밀폐시키면, 상기 제 2 모터(42)의 구동량도 제 3 센서(S3)에 의해 감지되어 제어부(70)로 출력된다.Conversely, in a state where the opening 101 on one side of the burn-in chamber 100 is sealed by the first door 10, the second door 20 stored in the storage space 12 within the first door 10 When the second motor 42 moves linearly in the right direction to seal the other opening 102 of the burn-in chamber 100, the driving amount of the second motor 42 is also determined by the third sensor S3. It is detected by and outputted to the control unit 70.

그러면, 상기 제어부(70)는 상기 제 3 센서(S3)로부터 출력되는 구동량 정보를 연산하여 상기 제 2 도어(20)의 이동거리를 산출하면서 상기 제 2 도어(20)가 번인 챔버(100)의 타측 개구부(102)를 폐쇄한 것으로 인식한 후 상기 제 2 도어(20)의 일면에 형성되는 에어튜브(61)를 팽창시키도록 에어구동부(62)를 구동 제어하는 것이다.Then, the control unit 70 calculates the moving distance of the second door 20 by calculating the driving amount information output from the third sensor S3, and the second door 20 moves through the burn-in chamber 100. After recognizing that the other side opening 102 is closed, the air driver 62 is driven and controlled to inflate the air tube 61 formed on one surface of the second door 20 .

여기서, 상기 제 2 도어(20)가 일측 개구부(101) 또는 타측 개구부(102)를 폐쇄한 상태에서 제 1 모터(41) 또는 제 2 모터(42)의 구동에 따라 타측 개구부(102) 또는 일측 개구부(101)의 방향으로 직선 이동하여 격납공간(12)에 격납 수용되면, 상기 제 1 모터(41) 또는 상기 제 2 모터(42)의 구동량 정보는 제 3 센서(S3)에 의해 각각 감지된 후 제어부(70)로 출력되므로, 상기 제어부(70)는 구동량에 따른 이동거리를 연산하면서 전자밸브(63)를 개방시키는 제어동작을 수행할 수 있으며, 이 경우 상기 에어튜브(61)내의 에어는 에어 배기라인(L2')을 통해 배기되면서, 상기 에어튜브(61)는 수축될 수 있는 것이다.Here, in a state in which the second door 20 closes the one side opening 101 or the other side opening 102, the other side opening 102 or one side opening 102 is opened according to the driving of the first motor 41 or the second motor 42. When it moves linearly in the direction of the opening 101 and is stored and accommodated in the storage space 12, the driving amount information of the first motor 41 or the second motor 42 is detected by the third sensor S3, respectively. After being output to the control unit 70, the control unit 70 can perform a control operation of opening the solenoid valve 63 while calculating the moving distance according to the driving amount. In this case, the air tube 61 While air is exhausted through the air exhaust line (L2'), the air tube (61) can be contracted.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 번인 챔버(100)의 도어 어셈블리는 첨부된 도 1 내지 도 9에서와 같이, 번인 챔버(10)의 좌우폭 축소를 통해 설치 면적이 줄어들고, 더불어 복수의 개구부(101, 102)를 제 1 도어(10)와 제 1 팽창부재(50) 및/또는 제 2 도어(20)와 제 2 팽창부재(60)를 통해 어느 하나만 밀폐시키거나 또는 동시에 밀폐시킬 수 있게 되면서, 번인 챔버(100)내의 테스트 공간(T1, T2)으로 투입되는 측정 대상물인 반도체 소자들의 열적 테스트를 효율적으로 진행할 수 있는 것이다.In this way, the door assembly of the burn-in chamber 100 according to an embodiment of the present invention, as shown in the accompanying FIGS. 1 to 9, the installation area is reduced through the reduction of the left and right width of the burn-in chamber 10, and a plurality of openings ( 101 and 102 can be sealed either through the first door 10 and the first expandable member 50 and/or the second door 20 and the second expandable member 60, or sealed at the same time. , It is possible to efficiently conduct a thermal test of semiconductor elements, which are objects to be measured, that are introduced into the test spaces T1 and T2 in the burn-in chamber 100.

이상에서 본 발명 번인 챔버의 도어 어셈블리에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.In the above, the technical idea of the door assembly of the burn-in chamber of the present invention has been described together with the accompanying drawings, but this is an illustrative example of the best embodiment of the present invention, but does not limit the present invention.

따라서, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.Therefore, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and various modifications can be made by anyone having ordinary knowledge in the art to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course it is possible, and such variations are within the scope of the claims.

10; 제 1 도어 11; 상단 고정체
12; 격납공간 13; 제 1 롤러
14; 제 2 이동 가이드부 20; 제 2 도어
21; 제 2 롤러 30; 제 1 구동부
31; 이동체 32; 실린더 몸체
40; 제 2 구동부 41; 제 1 모터
42; 제 2 모터 43; 제 1 피니언 기어
44; 제 2 피니언 기어 45; 랙기어
50; 제 1 팽창부재 60; 제 2 팽창부재
51, 61; 에어튜브 52, 62; 에어 구동부
53, 63; 전자밸브 100; 번인챔버
101, 102; 개구부 103; 제 1 이동 가이드부
104; 고정프레임 L1, L1'; 에어 공급라인
L2, L2'; 에어 배기라인 S1; 제 1 센서
S2; 제 2 센서 S3; 제 3 센서
T1, T2; 테스트 공간10; first door 11; top fixture
12; containment space 13; 1st roller
14; a second movement guide unit 20; 2nd door
21; second roller 30; 1st driving part
31; mobile body 32; cylinder body
40; a second driving unit 41; 1st motor
42; second motor 43; 1st pinion gear
44; second pinion gear 45; rack gear
50; a first expandable member 60; 2nd expansion member
51, 61; air tubes 52, 62; air driven part
53, 63; electronic valve 100; burn-in chamber
101, 102; opening 103; 1st movement guide part
104; fixed frame L1, L1'; air supply line
L2, L2'; Air exhaust line S1; 1st sensor
S2; a second sensor S3; 3rd sensor
T1, T2; test space

Claims (9)

번인 챔버에 마련되는 복수의 개구부 중 어느 하나를 선택적으로 폐쇄시키도록 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동하는 것으로, 상면 중앙에 상단 고정체가 형성되고 양측부는 개구된 격납공간이 형성되는 제 1 도어;
상기 제 1 도어가 복수의 상기 개구부 중 어느 하나를 선택적으로 폐쇄시에는 상기 격납공간에 수용되고, 복수의 상기 개구부를 동시에 폐쇄시에는 상기 격납공간으로부터 인출되도록 상기 제 1 도어와 반대되는 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동하는 제 2 도어;
상기 번인 챔버의 전면 상단에 형성되는 고정프레임의 양단에 고정되는 실린더 몸체와, 상기 고정프레임의 양단에 고정되는 상기 실린더 몸체를 연결하는 가이드봉, 그리고 제어부에 의해 제어되는 유압 또는 공압에 의해 상기 가이드봉을 따라 직선 이동하는 이동체가 포함되는 로드리스 실린더로서, 상기 제 1 도어가 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동되도록 직선 이동하는 상기 이동체에 상기 제 1 도어의 중앙 상면에 형성되는 상기 상단 고정체가 결합되도록 하는 제 1 구동부;
상기 제 2 도어의 상면 일단에 고정되는 랙기어, 상기 제 1 도어의 상면 양끝단에 고정되면서 상기 제어부에 의해 정방향 또는 역방향으로 동일하게 회전 구동하는 제 1 및 제 2 모터, 상기 제 1 및 제 2 모터의 구동축에 각각 결합되면서 상기 제 1 도어의 내부 상단에서 상기 제 2 도어의 상면 일단에 고정되는 상기 랙기어의 양단에 각각 기어 맞물림되는 것으로 상기 제 1 도어를 기준으로 상기 랙기어를 통해 상기 제 2 도어를 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동시키는 제 1 및 제 2 피니언 기어가 포함되는 제 2 구동부; 를 포함하며,
상기 번인챔버의 전면과 마주하는 상기 제 1 도어의 일면에는 상기 번인챔버에 형성되는 복수의 개구부 중 어느 하나가 상기 제 1 도어에 의해 선택적으로 밀폐시 밀폐된 하나의 상기 개구부를 통해 테스트 공간내 열기의 외부 노출을 방지하도록 팽창하면서 하나의 상기 개구부 가장자리면에 접촉하는 것으로 열적 안정성을 가지는 탄소나노튜브나 탄성나노튜브를 포함하는 고무 복합체 조성물로 이루어지는 원형 또는 사각 링형 구조의 에어튜브, 상기 에어튜브와 전자밸브를 가지는 에어 공급라인과 전자밸브를 가지는 에어 배기라인으로 연결되면서 상기 제어부의 제어에 따라 구동하여 상기 에어튜브를 팽창 또는 수축시키는 에어펌프를 포함하는 제 1 팽창부재를 형성하고,
상기 번인챔버의 전면과 마주하는 상기 제 2 도어의 일면에는 상기 번인챔버에 형성되는 복수의 개구부 중 다른 하나가 상기 제 2 도어에 의해 선택적으로 밀폐시 밀폐된 다른 하나의 상기 개구부를 통해 테스트공간내 열기의 외부 노출을 방지하도록 팽창하여 다른 하나의 상기 개구부 가장자리면에 접촉하는 것으로 열적 안정성을 가지는 탄소나노튜브나 탄성나노튜브를 포함하는 고무 복합체 조성물로 이루어지는 원형 또는 사각 링형 구조의 에어튜브, 상기 에어튜브와 전자밸브를 가지는 에어 공급라인과 전자밸브를 가지는 에어 배기라인으로 연결되면서 상기 제어부의 제어에 따라 구동하여 상기 에어튜브를 팽창 또는 수축시키는 에어펌프를 포함하는 제 2 팽창부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 번인챔버의 도어 어셈블리.A first door that linearly moves in the left or right direction to selectively close any one of a plurality of openings provided in the burn-in chamber, and has a top fixture formed in the center of the top surface and a storage space with open sides formed on both sides;
When the first door selectively closes any one of the plurality of openings, the first door is accommodated in the storage space, and when the plurality of openings are simultaneously closed, the right side or left side opposite to the first door is drawn out of the storage space. a second door that moves linearly in the direction;
A cylinder body fixed to both ends of a fixing frame formed at the top of the front of the burn-in chamber, guide rods connecting the cylinder body fixed to both ends of the fixing frame, and the guide by hydraulic pressure or pneumatic pressure controlled by a control unit. A rodless cylinder including a movable body that moves linearly along a rod, and the upper end fixture formed on the central upper surface of the first door is coupled to the movable body that linearly moves so that the first door moves linearly in a left or right direction. a first driving unit that enables;
rack gears fixed to one end of the upper surface of the second door, first and second motors fixed to both ends of the upper surface of the first door and equally rotationally driven by the controller in the forward or reverse direction, the first and second motors The gears are engaged with both ends of the rack gear fixed to one end of the upper surface of the second door from the inner upper end of the first door while being coupled to the drive shaft of the motor, respectively, through the rack gear based on the first door. a second driving unit including first and second pinion gears that linearly move the two doors in the right or left direction; Including,
On one surface of the first door facing the front surface of the burn-in chamber, one of a plurality of openings formed in the burn-in chamber is selectively closed by the first door to open the test space through the closed opening. An air tube having a circular or square ring structure made of a rubber composite composition including carbon nanotubes or elastic nanotubes having thermal stability by being in contact with the edge surface of one of the openings while expanding to prevent exposure to the outside, the air tube and A first expansion member including an air pump connected to an air supply line having an electromagnetic valve and an air exhaust line having an electromagnetic valve and driven under the control of the control unit to expand or contract the air tube,
On one surface of the second door facing the front surface of the burn-in chamber, another one of a plurality of openings formed in the burn-in chamber is selectively closed by the second door and is sealed inside the test space through the other opening. An air tube having a circular or square ring structure made of a rubber composite composition including carbon nanotubes or elastic nanotubes having thermal stability by expanding to prevent external exposure of heat and coming into contact with the edge surface of the other opening, the air It is characterized by forming a second expansion member including an air pump that expands or contracts the air tube by being connected to an air supply line having a tube and an electronic valve and an air exhaust line having an electronic valve and driven under the control of the control unit. The door assembly of the burn-in chamber to be. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 도어의 하면에는 상기 제 1 구동부의 구동에 따라 상기 제 1 도어가 좌측 또는 우측 좌측 방향으로 직선 이동시 그 직선 이동을 가이드하는 제 1 롤러를 형성하고,
상기 번인 챔버의 전면 하단에는 상기 제 1 롤러의 직선 이동을 지지하는 제 1 이동 가이드부를 형성하는 것을 특징으로 하는 번인 챔버의 도어 어셈블리.According to claim 1,
A first roller is formed on the lower surface of the first door to guide the linear movement when the first door linearly moves in the left or right-left direction according to the driving of the first driving unit,
The door assembly of the burn-in chamber, characterized in that the first movement guide portion for supporting the linear movement of the first roller is formed at the bottom of the front surface of the burn-in chamber. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 도어의 하면에는 상기 제 2 구동부의 구동에 따라 상기 제 2 도어가 우측 또는 좌측 방향으로 직선 이동시 그 직선 이동을 가이드하는 제 2 롤러를 형성하고,
상기 제 1 도어의 내부측 바닥면에는 상기 제 2 롤러의 직선이동을 가이드하는 제 2 이동가이드부를 형성하는 것을 특징으로 하는 번인챔버의 도어 어셈블리.According to claim 1,
A second roller is formed on the lower surface of the second door to guide the linear movement when the second door linearly moves in the right or left direction according to the driving of the second driving unit,
The door assembly of the burn-in chamber, characterized in that the second movement guide portion for guiding the linear movement of the second roller is formed on the inner bottom surface of the first door. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 구동부에 포함되는 상기 로드리스 실린더의 몸체 양끝단에는 상기 이동체가 좌측 또는 우측 방향으로 직선 이동하여 접촉시 그 접촉에 따른 신호를 출력하는 제 1 및 제 2 센서를 형성하고,
상기 제어부는 상기 제 1 센서 또는 상기 제 2 센서로부터 출력되는 접촉신호에 따라 상기 제 1 도어의 일면에 형성되는 상기 제 1 팽창부재를 팽창시키는 제어신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 번인 챔버의 도어 어셈블리.According to claim 1,
First and second sensors are formed at both ends of the body of the rodless cylinder included in the first driving unit to output signals according to the contact when the movable body linearly moves in the left or right direction, and outputs a signal according to the contact,
The control unit outputs a control signal for inflating the first expansion member formed on one surface of the first door according to a contact signal output from the first sensor or the second sensor, and outputs a control signal for the burn-in chamber door assembly. . 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 구동부에 포함되는 상기 제 1 모터 또는 상기 제 2 모터가 정회전 또는 역회전 구동시 그 구동량은 제 3 센서를 통해 감지되도록 구성하고,
상기 제어부는 상기 제 3 센서로부터 감지되어 출력되는 신호에 따라 상기 제 2 도어의 이동거리를 연산하면서 상기 제 2 도어의 일면에 형성되는 상기 제 2 팽창부재를 팽창시키는 제어신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 번인 챔버의 도어 어셈블리.According to claim 1,
When the first motor or the second motor included in the second driving unit is driven in forward or reverse rotation, the driving amount is sensed through a third sensor,
Characterized in that the control unit outputs a control signal for inflating the second expansion member formed on one side of the second door while calculating a moving distance of the second door according to a signal detected and output from the third sensor. door assembly of the burn-in chamber. 삭제delete 삭제delete
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116937408A (en) * 2023-08-02 2023-10-24 弘乐集团有限公司 Environment-friendly gas ring main unit

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100663943B1 (en) * 2005-12-15 2007-01-02 김용래 Rodless cylinder
KR20080092082A (en) 2007-04-11 2008-10-15 주식회사 씨큐알텍 Door open-close apparatus for burn-in tester
KR20170055188A (en) * 2015-11-11 2017-05-19 (주)새한공조 Refrigerated warehouse with heat insulated structure
KR20200043762A (en) * 2018-10-18 2020-04-28 (주) 예스티 A test device for semiconductor
KR20200109500A (en) * 2019-03-13 2020-09-23 주식회사 이노테크 Apparatus For Opening And Closing Door Of Test Chamber
KR102310343B1 (en) 2020-06-08 2021-10-07 주식회사 에스엔씨솔루션 Door assembly for Substrate apparatus
KR20220036892A (en) * 2020-09-16 2022-03-23 마이크로 콘트롤 컴파니 Semiconductor burn-in oven chamber sealing

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100663943B1 (en) * 2005-12-15 2007-01-02 김용래 Rodless cylinder
KR20080092082A (en) 2007-04-11 2008-10-15 주식회사 씨큐알텍 Door open-close apparatus for burn-in tester
KR20170055188A (en) * 2015-11-11 2017-05-19 (주)새한공조 Refrigerated warehouse with heat insulated structure
KR20200043762A (en) * 2018-10-18 2020-04-28 (주) 예스티 A test device for semiconductor
KR20200109500A (en) * 2019-03-13 2020-09-23 주식회사 이노테크 Apparatus For Opening And Closing Door Of Test Chamber
KR102310343B1 (en) 2020-06-08 2021-10-07 주식회사 에스엔씨솔루션 Door assembly for Substrate apparatus
KR20220036892A (en) * 2020-09-16 2022-03-23 마이크로 콘트롤 컴파니 Semiconductor burn-in oven chamber sealing

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116937408A (en) * 2023-08-02 2023-10-24 弘乐集团有限公司 Environment-friendly gas ring main unit
CN116937408B (en) * 2023-08-02 2024-02-20 弘乐集团有限公司 Environment-friendly gas ring main unit

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