KR200292551Y1 - Vaccum Gate Valve - Google Patents
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Abstract
본 고안은 진공 게이트밸브에 관한 것으로, 특히 진공 상태의 작업환경에서 자업을 행하고자 하는 경우에 통로와 이와 대응되는 밸브체를 구비하고 밸브체에 의한 개폐작동이 이루어지도록 한 게이트밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum gate valve, and more particularly, to a gate valve having a passage and a corresponding valve body and opening and closing operation by the valve body when performing a self-employment in a vacuum working environment.
종래의 경우 밸브체와 오링을 결합하는 작업이나 밸브 전체를 이루는 구조가 복잡하여 제작이 어렵고, 특히 밸브하우징에 형성한 통로와 밸브체와의 사이에 기밀을 유지시키기 위한 가압기구가 구조적으로 취약점이 있어 밀폐유지효과가 고르지 못하고 이에 따라 작동 불량률이 높아지는 원인이 되고 있는 실정이다.In the related art, the operation of combining the valve body and the O-ring or the complicated structure of the entire valve is difficult to manufacture, and in particular, the pressure mechanism for maintaining the airtightness between the passage formed in the valve housing and the valve body is weak in structure. Therefore, the sealing effect is uneven and thus the situation that causes the operation failure rate increases.
본 고안은 이와 같은 종래의 문제를 해소하기 위하여 밸브하우징에 형셩된 통로와 밸브체 사이에 기밀유지가 보다 확실하고 균일하게 이루어지도록 기존과는 전혀 다르게 복수개로 이루어지는 벨로우즈 타입의 가압수단을 채택하여 기밀유지효과를 크게 향상시키고, 전체적으로 그 구조를 단순화시키면서 작동시 가이드가 보다 확실하게 이루어지도록 하여 작동신뢰도를 보다 높일 수 있음에 그 특징이 있다.The present invention adopts a bellows-type pressurization means made of a plurality of completely different from conventional ones so that the airtightness between the passage formed in the valve housing and the valve body is more reliably and uniformly in order to solve such a conventional problem. It is characterized by significantly improving the holding effect and simplifying the structure as a whole, thereby making the guide more reliable in operation, thereby increasing the operation reliability.
Description
본 고안은 진공 게이트밸브에 관한 것으로 특히, 진공 상태의 작업환경에서 자업을 행하고자 하는 경우에 통로와 이와 대응되는 밸브체를 구비하고 밸브체에의한 개폐작동이 이루어지도록 한 게이트밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum gate valve, and more particularly, to a gate valve having a passage and a valve body corresponding thereto and opening / closing by the valve body when performing a self-employment in a vacuum working environment. .
일반적으로 진공 게이트밸브는 작업환경이 진공을 요하는 경우에 통로의 개폐작동을 위하여 사용되는 것인데, 이러한 게이트밸브를 중심으로 좌,우측에 형성된 서로 압력이 다른 형태의 작업환경이 필요한 경우에 이러한 불균등 상태에서의 진공압하에서 작업이 이루어지도록 하기 위하여 사용되는 것이다.In general, the vacuum gate valve is used for opening and closing the passage when the working environment requires a vacuum, and this unevenness is required when the working environment having different pressures formed on the left and right sides of the gate valve is required. It is used to make the work under vacuum under the condition.
그런데, 이와 같이 사용되고 있는 진공 게이트밸브의 경우, 밸브체를 승하강시키기 위하여 설치되는 승,하강기구가 링크의 조합된 형태로 이루어지고, 밸브를 이루는 전체적인 구조가 복잡한 문제점이 있고, 특히, 밸브하우징에 형성된 통로와 밸브체와의 사이에 기밀을 유지시키기 위한 가압기구의 작동구조상 취약점이 있어 밀폐유지효과가 일정하거나 고르지 못하여 작동불량률이 높아지는 원인이 되고 있으나, 이를 개선할 만한 별도의 수단이 강구되지 못하고 있는 실정인 것이다.By the way, in the case of the vacuum gate valve used in this way, the lifting mechanism, which is installed to raise and lower the valve body is made of a combined form of the link, the overall structure of the valve has a complicated problem, in particular, the valve housing There is a weakness in the operation structure of the pressure mechanism for maintaining the airtightness between the passage formed in the valve body and the valve body, which causes the sealing effect to be constant or uneven, which causes the failure rate to be increased. I'm not doing it.
즉, 밸브하우징에 형성된 통로와 밸브체와의 사이에 기밀을 유지시키기 위한 작동수단이 밸브체의 승,하강시 함께 가압 또는 가압의 해제 작동이 이루어지도록 하는 기구적인 메카니즘을 밸브하우징의 내측에 형성하여 작동이 이루어지도록 하고 있으나, 밸브체에 설치된 오링의 전부위에 걸쳐 고르게 가압력이 전달되는 것이아니라 일측으로 편중된 상태로 작동이 이루어지게 되므로, 기밀유지체의 역할을 담당하는 오링의 기밀유지효과가 부분적으로 약화되면서 작동상 불량률이 높아지는 문제점으로 부각되고 있는 것이다.That is, an actuating means for maintaining airtightness between the passage formed in the valve housing and the valve body forms a mechanical mechanism inside the valve housing so that pressurization or release of pressurization is performed together with the valve body when the valve body is raised or lowered. It is to be operated, but the pressure is not evenly transmitted over the whole of the O-ring installed in the valve body, the operation is carried out in a biased state to one side, the O-ring acting as the airtight retaining effect As it is partially weakened, the operation defect rate is increasing.
더우기, 밸브체의 승하강작동이나 가압작동시 밸브체의 가이드가 정확하게 이루어지지 않아 작동 효율을 약화시키고, 작동중에 소음을 발생시키는 등의 여러문제점도 자주 발생되고 있다.In addition, the valve body is not accurately guided during the lifting and lowering operation of the valve body, and thus, various problems such as weakening the operation efficiency and generating noise during the operation are frequently generated.
본 고안은 전술한 종래의 문제점을 근본적으로 해소하기 위하여 연구 개발된 것으로 다음과 같은 목적을 가지고 있다.The present invention has been researched and developed to fundamentally solve the above-mentioned conventional problems, and has the following objectives.
본 고안의 주목적은 기존과는 달리 밸브체의 가압수단을 벨로우즈로 구성하여 밸브하우징에 형성된 통로와 밸브체사이에 기밀유지가 보다 균일하고 확실하게 이루어지도록 하고자 하는데 있다.The main purpose of the present invention is to provide a more uniform and reliable airtightness between the passage formed in the valve housing and the valve body by configuring the pressurizing means of the valve body, unlike the conventional.
본 고안의 다른 목적은 밸브체를 승하강시키는 승하강기구나 밸브체를 가압하는 가압기구를 기존과는 다른 형태의 가이드기구에 의하여 보다 확실한 가이드가 이루어져 보다 정교한 작동이 이루어져 작동신뢰도를 보다 향상시키고 작동상 소음의 발생을 방지시킬수 있도록 하고자 하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a more precise guide by a guide mechanism of a different type from the conventional lifting mechanism for raising and lowering the valve body and the pressure mechanism for pressurizing the valve body, thereby improving operation reliability and improving operation reliability. The purpose is to prevent the occurrence of phase noise.
도1은 본 고안인 밸브의 조립상태 단면도,1 is an assembled state cross-sectional view of the valve of the present invention,
도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도,2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1;
도3은 본 고안의 변형례로서 공압전달기구를 가이드로드에 형성한 예를 보여주는 종단면도.3 is a longitudinal sectional view showing an example in which a pneumatic transfer mechanism is formed on a guide rod as a modification of the present invention;
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
1:밸브하우징, 2:밸브체,1: valve housing, 2: valve body,
3:승하강기구, 4:가압기구,3: lifting mechanism, 4: pressure mechanism,
5:공압전달기구, 6:상하가이드기구,5: pneumatic conveying mechanism, 6: upper and lower guide mechanism,
7:수평가이드기구, 10:통로,7: number evaluation guide mechanism, 10: passage,
30:공압실린더, 32:피스톤로드,30: pneumatic cylinder, 32: piston rod,
40:벨로우즈40: bellows
본 고안은 전술한 목적들을 달성하기 위하여, 밸브하우징의 내부에서 밸브체가 승하강기구에 의하여 승하강이 이루어지고, 상기 밸브체는 가압기구에 의하여 상기 밸브하우징에 형성된 통로의 개폐가 가능하게 이루어지는 통상의 진공 게이트밸브에 있어서, 상기 밸브체의 후부에는 상기 가압기구로서 팽창 및 수축에 의하여 변위가 가능한 벨로우즈가 설치되고, 상기 벨로우즈의 다른 일측에는 공압전달기구를 설치하며, 상기 밸브체를 수평 방향으로 가이드하는 수평가이드기구를 밸브체와 상기 공압전달기구에 마련하여 이루어지는 진공 게이트밸브를 제공한다.The present invention is to achieve the above-mentioned objects, the valve body in the valve housing is raised and lowered by the raising and lowering mechanism, the valve body is usually made of opening and closing of the passage formed in the valve housing by the pressing mechanism. In the vacuum gate valve of the valve body, a bellows capable of being displaced by expansion and contraction as the pressurization mechanism is provided on the rear portion of the valve body, and a pneumatic transfer mechanism is provided on the other side of the bellows, and the valve body is moved in the horizontal direction. Provided is a vacuum gate valve provided with a horizontal guide mechanism for guiding the valve body and the pneumatic transfer mechanism.
또한, 상기 밸브체의 상,하가이드기구는 상기 공압전달기구의 일부와 상기가압기구를 포함하여 승하강 작동이 이루어지는 승하강기구와 연동되도록 가이드로드 형태로 설치되어지는 진공 게이트밸브를 제공한다.In addition, the upper and lower guide mechanism of the valve body provides a vacuum gate valve which is installed in the form of a guide rod to be connected to the lifting mechanism, which includes a portion of the pneumatic transfer mechanism and the pressure mechanism to the lifting operation.
또한, 상기 공압전달기구는 내부에 공급통로를 갖고 상기 벨로우즈와 각각 내부가 연통되도록 상호간 고정 설치되는 공압전달블록과 상기 공압전달블록과 연결 설치되어 외부의 공압공급라인과 연결 설치되는 공급통로를 갖는 공압연결체의 결합된 형태로 이루어지되, 상기 공압연결체가 상기 승하강기구인 공압실린더의 피스톤로드를 길게 연장 형성하고 상기 피스톤로드의 내부에 공급통로를 형성하여 이루어지는 진공 게이트밸브를 제공한다.In addition, the pneumatic transfer mechanism has a supply passage therein and a pneumatic transfer block which is fixed to each other so as to communicate with the bellows inside each other and the supply passage is installed in connection with the pneumatic transfer block is installed connected to the external pneumatic supply line It is made of a combined form of the pneumatic connector, the pneumatic connector provides a vacuum gate valve formed by extending the piston rod of the pneumatic cylinder which is the lifting mechanism and forming a supply passage in the piston rod.
또한, 상기 상하가이드기구는 가이드로드 형태로 이루어지고 상기 공압연결체가 상기 가이드로드의 내측에 공급통로를 형성하고, 상기 수평가이드기구는 상기 밸브체의 하부가 상기 공압전달블록의 수평가이드판을 타고 슬라이드 이동이 가능하게 마련하여 이루어지는 진공 게이트밸브가 제공된다.In addition, the upper and lower guide mechanism is formed in the form of a guide rod and the pneumatic connecting member forms a supply passage in the inner side of the guide rod, the horizontal guide mechanism is the lower portion of the valve body rides on the horizontal guide plate of the pneumatic transfer block Provided is a vacuum gate valve provided to enable slide movement.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 고안의 바람직한 실시예를 나누어 보다 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, the preferred embodiment of the present invention by dividing the accompanying drawings will be described in more detail.
본 고안은 도1 내지 도3에 도시한 바와 같이, 공통적으로 밸브하우징(1)의 내부에서 밸브체(2)가 승하강기구(3)에 의하여 승,하강이 이루어지고, 상기 밸브체(2)는 가압기구(4)에 의하여 상기 밸브하우징(1)에 형성된 통로(10)의 개폐가 가능하게 이루어지는 통상의 진공 게이트밸브에 있어서, 상기 밸브체(2)의 후부에는 상기 가압기구(4)로서 팽창 및 수축에 의하여 변위가 가능한 벨로우즈(40)가 설치되고, 상기 벨로우즈(40)의 다른 일측에는 공압전달기구(5)를 설치하며, 상기밸브체(2)를 수평 방향으로 가이드하는 수평가이드기구(7)를 밸브체(2)와 상기 공압전달기구(5)에 마련하여 이루어지게 된다.1 to 3, the valve body 2 is raised and lowered by the raising and lowering mechanism 3 in the inside of the valve housing 1 in common, and the valve body 2 In the conventional vacuum gate valve which can open and close the passage 10 formed in the valve housing 1 by the pressurizing mechanism 4, the pressurizing mechanism 4 is provided on the rear part of the valve body 2. As the bellows 40 is displaceable by expansion and contraction is installed, the other side of the bellows 40 is provided with a pneumatic transmission mechanism 5, a horizontal guide for guiding the valve body 2 in the horizontal direction The mechanism 7 is provided in the valve body 2 and the pneumatic transmission mechanism 5.
이때, 상기 밸브체(2)의 승,하강시 가이드 역할을 수행하는 상하가이드기구(6)는 상기 공압전달기구(5)의 일부와 상기 가압기구(4)를 포함하여 승하강 작동이 이루어지는 승하강기구(3)와 연동되도록 가이드로드(60) 형태로 설치되어지게 된다.At this time, the vertical guide mechanism 6, which serves as a guide when the valve body 2 moves up and down, includes a part of the pneumatic transmission mechanism 5 and the pressurizing mechanism 4 to move up and down. It is installed in the form of a guide rod 60 so as to interlock with the lowering mechanism (3).
또한, 상기 공압전달기구(5)는 내부에 공급통로(51)를 갖고 상기 벨로우즈(40)와 각각 내부가 연통되도록 상호간 고정 설치되는 공압전달블록(50)과 상기 공압전달블록(50)과 연결 설치되어 외부의 공압공급라인(54)과 연결 설치되는 공급통로(53)를 갖는 공압연결체(52)의 결합된 형태로 이루어지되, 상기 공압연결체(52)가 상기 승하강기구(3)인 공압실린더(30)의 피스톤로드(32)를 길게 연장 형성하고 상기 피스톤로드(32)의 내부에 공급통로(53)를 형성하여 이루어질수 있으며, 상기 공압공급라인(54)엔 공급통로(53)로 공압을 제공하거나 공급통로(53)의 내부 공압을 제거 개방하여 대기압 상태를 유지하도록 하기 위한 제어밸브(56)를 설치하게 된다.In addition, the pneumatic transfer mechanism 5 has a supply passage 51 therein and is connected to the pneumatic transfer block 50 and the pneumatic transfer block 50 which are fixed to each other so that the bellows 40 and the inside communicate with each other. It is made of a combined form of the pneumatic connector 52 having a supply passage 53 is installed and connected to the external pneumatic supply line 54, the pneumatic connector 52 is the lifting mechanism (3) The piston rod 32 of the pneumatic cylinder (30) is formed to extend long and can be made by forming a supply passage (53) inside the piston rod 32, the pneumatic supply line 54, the supply passage (53) The control valve 56 is provided to maintain the atmospheric pressure by providing furnace air pressure or by removing and opening the internal air pressure of the supply passage 53.
물론, 상기 상하가이드기구(6)는 가이드로드(60) 형태로 이루어지고 상기 공압연결체(52)가 상기 가이드로드(60)의 내측에 공급통로(53)를 형성하여 이루어지고, 상기 수평가이드기구(7)는 상기 밸브체(2)의 하부가 상기 공압전달블록(50)의 수평가이드판(70)을 타고 슬라이드 이동이 가능하게 마련하여 이루어지도록 구성할 수도 있다.Of course, the upper and lower guide mechanism 6 is made in the form of a guide rod 60 and the pneumatic connector 52 is formed by forming a supply passage 53 inside the guide rod 60, the horizontal guide The mechanism 7 may be configured such that a lower portion of the valve body 2 is provided to allow the slide movement on the horizontal guide plate 70 of the pneumatic transfer block 50.
물론, 이때 밸브하우징(1)의 내부에 위치한 밸브체(2)와 공압전달블록(50) 사이로서 상기 피스톤로드(32)와 상기 가이드로드(60)를 외부에서 감싼 상태로 벨로우즈 형태의 신축이 가능한 기밀유지부재(8)를 설치하여 밸브하우징(1)의 내부에서 기밀유지가 가능하게 구성함이 바람직하다.Of course, in this case, the bellows-type expansion and contraction is performed between the valve body 2 located in the valve housing 1 and the pneumatic transfer block 50 while wrapping the piston rod 32 and the guide rod 60 from the outside. It is preferable that the airtight holding member 8 is provided so that the airtight holding is possible inside the valve housing 1.
미설명 부호로서 20은 밸브체(2)에 설치되는 오링을 나타낸다.As reference numeral 20, an O-ring provided in the valve body 2 is shown.
다음은 전술한 바와 같이 이루어지는 본 고안인 진공 게이트밸브의 작동과정을 살펴보기로 한다.Next will be described the operation of the vacuum gate valve of the present invention made as described above.
본 고안인 진공 게이트밸브를 설치하여 사용하고자 하는 부위에 설치하고, 사용하게 되면, 통로(10)를 폐쇄시켜 밸브를 닫아 놓는 상태와 반대로 상기 통로(10)를 열어 개방시키는 경우를 각각 나누어 살펴보면 다음과 같다.When the vacuum gate valve of the present invention is installed and installed at the site to be used and used, the case of opening and opening the passage 10 in reverse as opposed to closing the passage 10 to close the valve will be described below. Is the same as
우선, 밸브하우징(1)에 형성한 통로(10)를 닫아 밀폐시키고자 하는 경우엔 가압기구(4)엔 공압을 전달하지 아니한 비가압상태를 유지하고 승하강기구(3)인 공압실린더(30)를 작동시켜 내부의 피스톤로드(32)가 상승하면서 밸브체(2)가 상하가이드기구(6)인 가이드로드(60)에 의하여 정확하게 위치를 자리잡으면서 상기 통로(10)의 대향된 위치로 위치이동이 이루어지도록 한 다음, 제어밸브(56)를 조작하여 공압전달기구(5)에 있어서, 공압공급라인(54)중에 대기중이던 공압을 공압연결체(52)의 공급통로(53) 및 공압전달블록(50)의 공급통로(51)를 거쳐 가압기구(4)인 복수개의 벨로우즈(40) 각각에게 동시에 공급이 이루어지도록 한다.First, in the case where the passage 10 formed in the valve housing 1 is to be closed and closed, the pressure mechanism 4 maintains a non-pressurized state in which no air pressure is transmitted, and the pneumatic cylinder 30 which is the lifting mechanism 3 is closed. To the opposite position of the passage (10) while the piston rod (32) is raised and the valve element (2) is accurately positioned by the guide rod (60), which is a vertical guide mechanism (6). After the movement of the position is performed, the control valve 56 is operated to provide the pneumatic pressure in the pneumatic supply line 54 with the supply passage 53 and the pneumatic pressure of the pneumatic connector 52. Through the supply passage 51 of the transfer block 50 is to be supplied to each of the plurality of bellows (40) that is the pressure mechanism (4) at the same time.
그리하면, 상기 공압전달기구(5)중 공압전달블록(50)은 제자리에서 움직이지 아니하는 고정위치 상태에서 벨로우즈(60)는 동시에 팽창되면서 밸브체(2)는 전진하되, 수평가이드기구(7)인 수평가이드판(70)의 상부로 상기 밸브체(2)가 미끄러지듯이 슬라이드 이동하면서 정확한 위치이동이 동시에 이루어지게 되고, 상기 밸브체(2)의 선단에 미리 설치되어진 오링(20)은 밸브하우징(1)의 내측으로서 통로(10)의 외주연을 밀폐상태로 가압작동을 수행하게 되며, 밸브체(2)에 의한 통로(10)의 밀폐에 의하여 밸브를 닫는 작동이 이루어지게 된다.Then, the pneumatic transfer block 50 of the pneumatic transfer mechanism (5) in the fixed position state that does not move in place while the bellows 60 is expanded at the same time while the valve body (2) is advanced, the horizontal guide mechanism (7) At the same time, the valve body 2 slides to the upper portion of the horizontal guide plate 70 and slides as if the valve body 2 slides, and the O-ring 20 pre-installed at the front end of the valve body 2 is a valve. Pressing the outer periphery of the passage 10 in a sealed state as the inside of the housing 1 is performed, the operation of closing the valve by the sealing of the passage 10 by the valve body 2 is made.
물론, 이때, 밸브체(2)의 상승 이동과정에서는 상하가이드기구(6)에 의하여 정확한 위치의 설정 작동이 이루어지게 되고, 수평 가압과정에 있어서는 수평가이드기구(7)에 의한 정확한 수평 위치이동이 가능하게 되고, 더우기 가압기구(4)인 벨로우즈(40)에 상기 공압전달기구(5)에 의하여 공압이 전달되는 경우 동시에 작동이 이루어지되, 벨로우즈(4)의 특성상 밸브체(2)의 후부에서 전체 부위에 걸쳐 고른 가압력이 정확하게 전달되게 되므로 오링(20)에 전달되는 가압력도 어느 부위에서나 동일하고도 균일하게 전달되어 아주 정확하게 기밀유지가 가능하게 되는 것이다.Of course, at this time, in the ascending movement of the valve body 2, the setting operation of the correct position is made by the up and down guide mechanism 6, and in the horizontal pressurization process, the accurate horizontal position movement by the horizontal guide mechanism 7 is performed. When the pneumatic pressure is transmitted to the bellows 40 which is the pressurizing mechanism 4 by the pneumatic transfer mechanism 5, the operation is performed at the same time, but at the rear of the valve body 2 due to the characteristics of the bellows 4. Since the even pressing force is accurately transmitted over the entire part, the pressing force transmitted to the O-ring 20 is also equally and uniformly transmitted at any part, thereby enabling a very accurate airtightness.
다음, 밸브체(2)를 원위치시켜 밸브를 개방시키고자 하는 경우엔 우선 제어밸브(56)를 조작하여 공압공급라인(54)을 개방시키게 되면 벨로우즈(40)에 가하여지던 공압이 해제되어 벨로우즈(40)는 수평가이드기구(7)인 수평가이드판(70)을 타고 원위치로 후진하게 되고, 이와 같이 후진한 상태에서 승하강기구(3)인 공압실린더(30)를 작동시켜 피스톤로드(32)를 하강시키면 밸브체(2)를 포함하여 가압기구(4) 및 공압전달기구(5)도 함께 상하가이드기구(6)인 가이드로드(6)를 타고 원위치로 하강하여 다음의 작동을 위한 대기상태로 위치하게 되고 결국, 밸브의개방작동은 완료되게 된다.Next, in order to open the valve by returning the valve body 2, first, when the pneumatic supply line 54 is opened by operating the control valve 56, the air pressure applied to the bellows 40 is released and the bellows ( 40 is reversed to the original position by taking the horizontal guide plate 70, the horizontal guide mechanism (7), the piston rod (32) by operating the pneumatic cylinder (30) the lifting mechanism (3) in the reversed state When lowering, the pressure mechanism 4 and the pneumatic transmission mechanism 5 together with the valve body 2 are lowered to their original positions by the guide rod 6, which is the upper and lower guide mechanism 6, and then the standby state for the next operation. Position, the valve opening operation is completed.
더우기, 이와 같이 통로(10)를 개폐시키는 과정에서 밸브하우징(1)과 같은 고정부(固定部)와 피스톤로드(32)나 가이드로드(60)와 같은 가동부(可動部)와의 사이에에서의 기밀유지는 밸브하우징(1)의 내부에 위치한 기밀유지부재(8)에 의하여 보다 완벽하게 이루어지게 된다.In addition, in the process of opening and closing the passage 10 in this way, between the fixed part such as the valve housing 1 and the movable part such as the piston rod 32 or the guide rod 60, Hermetic holding is made more complete by the hermetic holding member 8 located inside the valve housing 1.
이상 살펴본 바와 같이, 본 고안인 진공 게이트밸브는 기존과는 달리 밸브체(2)의 가압기구(4)를 함께 연동이 이루어지는 벨로우즈(40)로 구성하여 밸브하우징(1)에 형성된 통로(10)와 밸브체(2)사이에 기밀유지가 보다 균일하고 확실하게 이루어지고 밸브체(2)를 승하강시키는 승하강기구(3)나 밸브체를 가압하는 가압기구(4)를 기존과는 다른 형태의 상하가이드기구(7)나 수평가이드기구(7)에 의하여 보다 확실한 가이드가 이루어져 보다 정교한 작동이 이루어지게 되며 작동신뢰도를 보다 향상시킬 수 있고, 작동상 소음의 발생요인을 사전에 제거하여 소음을 방지할 수 있는 등의 우수한 효과를 갖는다.As described above, the vacuum gate valve according to the present invention is different from the conventional passage 10 formed in the valve housing 1 by the bellows 40 in which the pressurizing mechanism 4 of the valve body 2 is interlocked together. The airtight holding is more uniformly and reliably between the valve body and the valve body 2, and the lifting mechanism 3 for raising and lowering the valve body 2 and the pressurizing mechanism 4 for pressurizing the valve body are different from the conventional forms. The upper and lower guide mechanisms (7) or horizontal guide mechanisms (7) of the guide to make a more precise guide to achieve a more precise operation, can improve the operation reliability more, and remove the noise in advance in the operation of noise It has an excellent effect such as being able to prevent.
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