KR102494531B1 - 온도 테스팅 챔버 - Google Patents

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KR102494531B1
KR102494531B1 KR1020210128607A KR20210128607A KR102494531B1 KR 102494531 B1 KR102494531 B1 KR 102494531B1 KR 1020210128607 A KR1020210128607 A KR 1020210128607A KR 20210128607 A KR20210128607 A KR 20210128607A KR 102494531 B1 KR102494531 B1 KR 102494531B1
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윤석봉
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(주)비에스테크
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    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/022Heaters specially adapted for heating gaseous material

Abstract

본 발명은 온도 테스팅 챔버에 관한 것으로, 이를 위해 하우징;과, 상기 하우징의 내부에 마련되는 테스트룸;과, 상기 테스트룸 내 공기가 유통될 수 있도록 상기 테스트룸의 뒷면에 형성되는 공기순환로;과, 상기 공기순환로에 배치되어 테스트룸의 내부 공기를 순환시키는 송풍팬;과, 상기 송풍팬에 의해 송풍되는 공기를 가열 또는 냉각시키는 증발기를 갖는 온도조절수단; 및 상기 공기순환로에 설치되어 테스트룸의 내부 공기를 가열하여 테스트룸 내 온도를 상승시키는 히팅수단;을 포함하여 이루어지되, 상기 온도조절수단은 상기 테스트룸에 순환되는 공기를 냉각 또는 가열시킬 수 있도록 상기 공기순환로에 배치되는 증발기와, 상기 증발기에서 토출되는 저압저온기체 또는 저압중온기체를 공급받아 고압고온기체로 토출하는 압축기와, 상기 압축기에서 토출되는 고압고온기체를 공급받아 고압상온액체로 토출하는 응축기로 구성되고, 상기 증발기는 상기 응축기에서 토출되는 고압상온액체와, 더불어 압축기에서 토출되는 고압고온기체의 토출량을 정밀하게 운전제어하여 순환되는 공기를 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 온도를 1차 조절할 수 있도록 구성되고, 상기 히팅수단(50)은 60℃로 가열된 공기를 재차 가열하여 95℃±5℃로 급속 가열시켜 에너지를 절감할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

온도 테스팅 챔버{TEMPERATURE TESTING CHAMBER}
본 발명은 온도 테스팅 챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 1차 온도설정 시 테스트룸과 유통되는 공기순환로에 증발기를 배치시켜 히팅수단 가동없이 순환되는 공기의 온도를 최대 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 조절하여 에너지를 절감할 수 있고, 더불어 히팅수단을 통해 1차 설치된 온도를 최대 95℃±5℃까지 조절하여 온도설정 범위를 테스팅할 물품의 용도에 맞게 확장시킬 수 있도록 한 에너지를 절감할 수 있도록 한 온도 테스팅 챔버에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 배터리에 대한 제조 공정이 완료된 후, 해당 제품에 대한 양품 여부를 검사한다.
양품여부에 대한검사는 해당 제품에 따라 다르게 실시될 수 있다. 예를 들어, 반도체의 경우 일정 가혹조건(예를 들어, 고온조건이나 저온조건) 하에서 정상적으로 작동하는지 여부를 검사할 수 있으며, 배터리의 경우 일정 가혹조건(예를 들어, 고온조건이나 저온조건) 하에서 폭발성을 갖는지 여부를 검사할 수 있다.
검사하고자 하는 전자 부품(예를 들어, 반도체 또는 배터리)은 챔버 내함에 마련된 테스트베드 상에 설치되며, 챔버 내부의 공기는 히터 또는 냉각기를 통해 가열되거나 냉각된다.
이때, 공기는 설정된 가혹조건에 부합하는 온도까지 조절되며, 이로 인해 테스트베드가 가혹조건 하에 놓일 수 있고, 이러한 가혹조건에서 전자 부품에 대한 테스트가 이루어질 수 있다.
그러나, 종래의 테스트용 챔버 설비는 챔버 내부에 형성된 기류의 흐름이 원활하지 않을 수 있고, 더구나 테스트 대상에 따라서는 다수의 전자 부품 시료들이 동작하면서 추가적으로 열이 상당히 발생하기 때문에, 챔버 내부의 위치에 따라 온도 분포가 불균일하게 될 수 있다.
따라서, 테스트베드 상에서 전자 부품 시료의 위치에 따라 설정된 가혹조건을 부여하지 못했을 수 있는 문제점이 발생하였으며, 이로 인해 챔버 내부의 위치에 따라 테스트 결과의 신뢰성이 떨어질 수 있는 문제점이 있었다
또한 가열과 냉각의 반복수행으로 설정온도에 도달하게 하는 기존의 온도조절 챔버는 대전력이 소비되는 가열용 히터와 프레온 가스를 냉매로 사용하기 때문에 많은 온도를 정밀하게 조절할 수 없고, 더불어 전력손실이 발생되는 문제점이 있었다.
또한 종래의 전열히터와 펠티어소자를 이용한 소형 온도조절 챔버(대한민국 공개특허 제2003-0095562호) 역시 기류의 흐름이 원활하지 않아 온도 분포가 균일하지 않고, 또한 전열히터와 펠티어소자로 인해 크기 대비 전역소비가 많은 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 제2003-0095562호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제1목적은, 1차 온도설정 시 테스트룸과 유통되는 공기순환로에 증발기를 배치시켜 히팅수단 가동없이 순환되는 공기의 온도를 최대 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 조절하여 에너지를 절감할 수 있고, 더불어 히팅수단을 통해 1차 설치된 온도를 최대 95℃±5℃까지 조절하여 온도설정 범위를 테스팅할 물품의 용도에 맞게 확장시킬 수 있도록 한 에너지를 절감할 수 있도록 한 온도 테스팅 챔버를 제공하는데 있다.
본 발명의 제2목적은, 증발기에서 압축기로 토출되는 냉매가 저압중온기체의 경우 상기 제3우회라인을 통해 저압저온액체와 열교환시켜 압축기의 과부하 방지에 따른 효과적인 온도 운전제어가 가능한 온도 테스팅 챔버를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 특징에 따르면, 제 1발명은, 온도 테스팅 챔버에 관한 것으로, 이를 위해 하우징;과, 상기 하우징의 내부에 마련되는 테스트룸;과, 상기 테스트룸 내 공기가 유통될 수 있도록 상기 테스트룸의 뒷면에 형성되는 공기순환로;과, 상기 공기순환로에 배치되어 테스트룸의 내부 공기를 순환시키는 송풍팬;과, 상기 송풍팬에 의해 송풍되는 공기를 가열 또는 냉각시키는 증발기를 갖는 온도조절수단; 및 상기 공기순환로에 설치되어 테스트룸의 내부 공기를 가열하여 테스트룸 내 온도를 상승시키는 히팅수단;을 포함하여 이루어지되, 상기 온도조절수단은 상기 테스트룸에 순환되는 공기를 냉각 또는 가열시킬 수 있도록 상기 공기순환로에 배치되는 증발기와, 상기 증발기에서 토출되는 저압저온기체 또는 저압중온기체를 공급받아 고압고온기체로 토출하는 압축기와, 상기 압축기에서 토출되는 고압고온기체를 공급받아 고압상온액체로 토출하는 응축기로 구성되고, 상기 증발기는 상기 응축기에서 토출되는 고압상온액체와, 더불어 압축기에서 토출되는 고압고온기체의 토출량을 정밀하게 운전제어하여 순환되는 공기를 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 온도를 1차 조절할 수 있도록 구성되고, 상기 히팅수단(50)은 60℃로 가열된 공기를 재차 가열하여 95℃±5℃로 급속 가열시켜 에너지를 절감할 수 있도록 구성되고, 상기 압축기와 응축기의 사이에는 상기 증발기와 연결되는 제1우회라인과, 제2우회라인이 분기되고, 상기 제1우회라인에는 압축기에서 토출되는 고압고온기체를 유량을 단속하는 제1솔레노이드밸브가 연결되고, 상기 제2우회라인에는 압축기에서 토출되는 고압고온기체를 유량을 제어하는 제1스테핑모터밸브가 연결되며, 상기 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 토출되는 고압고온기체는 제1솔레노이드밸브의 ON/OFF 단속과, 상기 제1스테핑모터밸브의 개도를 정밀하게 조절하여 1차 혼합된 고압고온기체의 온도를 1차적으로 정밀하게 운전제어하는 것을 특징으로 한다.
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제3발명은, 제1발명에서, 상기 응축기와 증발기의 사이에는 응축기에서 토출되는 고압상온액체의 유량을 제어하는 제2스테핑모터밸브가 연결되되, 상기 제2스테핑모터밸브에서 유량이 제어되는 고압상온액체는 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 배출되는 1차 혼합 고압고온기체와 2차 혼합되어 증발기로 공급됨으로써, 상기 증발기를 통해 가열 또는 냉각되는 공기의 온도를 최대 -10℃ ~ 60℃ 범위 내에서 0.1℃ 간격으로 정밀하게 2차 운전제어하는 것을 특징으로 한다.
제4발명은, 제1발명에서, 상기 응축기와 압축기의 사이에는 응축기의 고압상온액체를 압축기로 우회시키는 적어도 2개 이상 분기되는 제3우회라인(L3)을 더 포함하되, 상기 각 제3우회라인(L3)에는 고압상온액체를 단속하는 제2솔레노이드밸브와, 고압상온액체를 저압저온기체화시키는 모세관이 더 연결되고, 상기 모세관을 통해 토출되는 저압저온기체는 증발기에서 압축기로 토출되는 냉매가 저압중온기체일 경우 이와 혼합되어 압축기의 과부하를 방지할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 온도 테스팅 챔버에 따르면, 1차 온도설정 시 테스트룸과 유통되는 공기순환로에 증발기를 배치시켜 히팅수단 가동없이 순환되는 공기의 온도를 최대 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 조절하여 에너지를 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한 히팅수단을 통해 1차 설치된 온도를 최대 95℃±5℃까지 조절하여 온도설정 범위를 물품의 용도에 맞게 확장시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 증발기에서 압축기로 토출되는 냉매가 저압중온기체의 경우 상기 제3우회라인을 통해 저압저온액체와 열교환시켜 압축기의 과부하 방지에 따른 효과적인 온도 운전제어가 가능한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 온도 테스팅 챔버의 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 온도조절수단의 냉매사이클을 나타내는 전개도이다.
이하의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.
오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시예들을 기술하는데 있어서, 여러가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 혼돈을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다.
이하에서는 본 발명에 따른 온도 테스팅 챔버에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 온도 테스팅 챔버의 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 온도조절수단의 냉매사이클을 나타내는 전개도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명은 1차 온도설정 시 테스트룸과 유통되는 공기순환로에 증발기를 배치시켜 히팅수단 가동없이 순환되는 공기의 온도를 최대 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 조절하여 에너지를 절감할 수 있고, 더불어 히팅수단을 통해 1차 설치된 온도를 최대 95℃±5℃까지 조절하여 온도설정 범위를 용도에 맞게 확장시킬 수 있도록 한 에너지를 절감할 수 있도록 한 온도 테스팅 챔버(100)에 관한 것이다.
본 발명의 온도 테스팅 챔버(100)는 크게 5개 부분으로 구성되는데, 이는 하우징(10)과, 테스트룸(20)와, 공기순환로(30)와, 온도조절수단(40) 및 히팅수단(50)로 구성된다
상기 테스트룸(20)은 상기 하우징(10)의 내부에 마련되어 도어(11)를 통해 오픈되어나 밀폐되는 구조이며, 이를 통해 테스트룸(20)에 물품을 수용하여 소망하는 온도로 테스팅할 수 있도록 이루어진다.
이러한 상기 테스트룸(20)은 내부 온도를 측정할 수 있도록 온도센서(21)가 구비될 수 있다.
또한 상기 테스트룸(20)의 뒷면에는 공기순환로(30)가 형성되고, 상기 테스트룸(20)의 내벽면에는 공기순환로(30)에서 발생되는 열풍 또는 냉풍이 유통되어 순환될 수 있도록 다수의 통공(12)이 더 형성된다.
아울러 상기 공기순환로(30)에는 테스트룸(20) 내 공기를 순환시키는 송풍팬(31)과, 송풍팬(31)에 의해 순환되는 공기를 가열 또는 냉각시키는 증발기(41)를 갖는 온도조절수단(40)이 배치되는 것은 물론, 히팅수단이 배치되는 구조이다.
여기서 상기 온도조절수단(40)은 송풍팬(31)에 의해 순환되는 공기의 온도를 히팅수단(50)의 가동없이 최대 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 조절하고, 상기 히팅수단(50)은 온도조절수단(40)을 통해 가열된 공기를 재차 가열하여 최대 95℃±5℃까지 용도에 맞게 확장시킬 수 있도록 한 구조이다.
상기에서 히팅수단(50)은 설정온도가 60℃ 내지 95℃±5℃ 범위일 경우, 온도조절수단(40)의 가동없이 순환되는 공기의 온도를 급속 상승시킬 수 있는 것은 물론이다.
또한 본 발명은 테스트룸(20)의 설정온도가 60℃ 내지 95℃±5℃ 범위에서 0.1℃ 간격으로 정밀하게 조절할 경우에는 히팅수단(50)을 통해 공기의 온도를 60℃ 이상으로 급속 상승시킨 상태에서 온도조절수단(40)의 증발기(41)를 통해 0.1℃ 간격으로 정밀하게 온도를 조절할 수 있는 특징이 있다.
한편 상기 온도조절수단(40)은 상기 온도조절수단(40)의 증발기(41)는 -10℃의 냉풍을 발생시키는 것은 물론, 별도의 히팅수단(50)의 가동 없이 최대 60℃까지 공기를 가열시켜 열풍을 발생시킬 수 있도록 기능한다.
상기 온도조절수단(40)은 도 2와 같이, 증발기(41)와, 압축기(42) 및 응축기(43)를 포함하여 구성된다.
여기서 상기 증발기(41)는 상기 테스트룸(20)에 순환되는 공기를 가열 또는 냉각시킬 수 있도록 상기 공기순환로(30)에 배치된다.
그리고 상기 압축기(42)는 상기 증발기(41) 온도 상태에 따라 저압저온기체 또는 저압중온기체를 공급받아 고압고온기체로 토출하는 기능을 한다.
아울러 상기 응축기(43)는 상기 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체를 공급받아 고압상온액체 상태로 토출하는 기능을 한다.
여기서 상기 증발기(41)는 상기 응축기(43)에서 토출되는 고압상온액체와, 더불어 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체의 토출량을 정밀하게 운전제어하여 순환되는 공기를 가열 또는 냉각시킬 수 있도록 기능한다.
이를 위해 상기 증발기(41)는 온도를 정밀하게 1차 제어하기 위해 상기 압축기(42)와 응축기(43)의 사이에는 상기 증발기(41)와 연결되는 제1우회라인(L1)과, 제2우회라인(L2)이 분기되는 구성이다.
상기 제1우회라인(L1)과, 제2우회라인(L2)은 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체의 일부를 우회시켜 증발기(41)로 공급하는 것으로, 제1우회라인(L1)과 제2우회라인(L2)으로 공급되는 고압고온기체의 온도를 정밀하게 1차 제어하여 증발기(41)로 공급할 수 있도록 기능한다.
이 때 상기 제1우회라인(L1)에는 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체를 유량을 단속하는 제1솔레노이드밸브(SV1)가 연결되고, 상기 제2우회라인(L2)에는 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체의 유량을 정밀 제어하는 제1스테핑모터밸브(SSV1)가 연결된다.
이를 통해 상기 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 토출되는 고압고온기체는 제1솔레노이드밸브(SV1)의 ON/OFF 단속과, 상기 제1스테핑모터밸브(SSV1)의 개도를 정밀하게 조절하여 혼합 고압고온기체의 온도를 1차적으로 정밀하게 조절할 수 있게 된다.
여기서 제1우회라인(L1)과 제2우회라인(L2)으로 분기된 이유는 제1우회라인(L1)의 제2우회라인(L2)의 고압고온기체의 온도차를 이용한 것으로, 예를 들어 제1우회라인(L1)의 냉매 온도가 60℃이고, 제2우회라인(L2)의 냉매 온도가 57℃일 경우 제1스테핑모터밸브(SSV1)의 개도를 정밀하게 조절하여 60℃ ~ 57℃ 온도 범위에서 정밀하게 조절하여 1차 혼합된 고압고온기체의 온도를 1차적으로 제어할 수 있게 된다.
더불어 증발기(41)의 냉각 온도를 -10℃ 온도 범위까지 제어하기 위해 상기 응축기(43)와 증발기(41)의 사이에는 응축기(43)에서 토출되는 고압상온액체의 유량을 제어하는 제2스테핑모터밸브(SSV2)가 연결된다.
이 때 상기 제2스테핑모터밸브(SSV2)에서 유량이 제어되는 고압상온액체는 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 배출되는 1차 혼합 고압고온기체와 2차 혼합되어 증발기(41)로 공급됨으로써, 상기 증발기(41)와 열교환되는 순환 공기의 온도를 최대 60℃ ~ -10℃ 범위 내에서 0.1℃ 간격으로 정밀하게 2차 운전제어(제2스테핑모터밸브의 단독 제어 또는 1,2스테핑모터밸브의 동시제어)된다.
한편 상기 응축기(43)와 압축기(42)의 사이에는 응축기(43)의 고압상온액체를 압축기(42)로 우회시키는 적어도 2개 이상 분기되는 제3우회라인(L3)을 더 포함한다. 본 발명에서는 2개의 제3우회라인(L3)이 분기되어 구성된다.
이러한 상기 제3우회라인(L3)은 증발기(41)에서 압축기(42)로 토출되는 냉매가 저압중온기체의 경우 저압저온액체와 혼합시켜 압축기(42)의 과부하를 방지할 수 있도록 기능한다.
이를 위해 상기 각 제3우회라인(L3)에는 고압상온액체를 단속하는 제2솔레노이드밸브(SV2)와, 고압상온액체를 저압저온기체화시키는 모세관(44)이 더 연결되고, 상기 모세관(44)을 통해 토출되는 저압저온기체는 증발기(41)에서 압축기(42)로 토출되는 저압중온기체와 혼합되어 열교환되는 구성이다.
예를 들어 2개의 제3우회라인(L3)은 증발기(41)에서 토출되는 냉매가 저압중온기체일 경우, 압축기(42)의 과부하를 방지하기 위해 제2솔레노이드밸브(SV2)를 통해 동시 개방되고, 저압저온기체의 경우 1개의 제3우회라인(L3)은 폐쇄하고 나머지 1개의 제3우회라인(L3)은 개방될 수 있다.
여기서 상기 각 제2솔레노이드밸브(SV2)는 증발기(41)에서 토출되는 저압중온기체의 온도에 반비례하여 단속된다.
따라서 압축기(42)로 공급되는 냉매는 항시적으로 저압저온기체만을 공급하여 압축기(42)의 과부하를 방지할 수 있게 되어 보다 안정적인 냉매사이클을 이룰 수 있게 된다.
이하에서는 본 발명의 온도 테스팅 챔버의 작동에 관하여 간단히 설명하기로 한다.
[테스트룸의 온도를 -10℃로 맞출 경우]
상기 제2스테핑모터밸브(SSV2)를 개방시켜 응축기(43)에서 토출되는 고압상온액체를 증발기(41)로 공급한 후, 고압상온액체의 증발잠열에 의해 증발기(41)를 통과한 순환 공기의 온도를 냉각시켜 순환 냉풍을 발생시킬 수 있다.
이 때 제1우회라인(L1)의 제1솔레노이드밸브(SV1)는 OFF시키고, 제2우회라인(L2)의 제1스테핑모터밸브(SSV1)는 냉매 유량을 정밀하게 조절하여 냉풍온도를 -10℃까지 조절함으로쏘, 테스트룸(20)의 온도를 -10℃까지 맞출 수 있게 된다.
[테스트룸의 온도를 60℃ 맞출 경우]
제1우회라인(L1)의 제1솔레노이드밸브(SV1)를 개방시켜 압축기(42)의 고압고온기체를 증발기(41)로 공급하여 증발기(41)를 통과한 순환공기의 가열하여 순환 열풍을 발생시킬 수 있다.
이 때 상기 제2스테핑모터밸브(SSV2)는 차단하고, 제2우회라인(L2)의 제2스테핑모터밸브(SSV2)는 제1우회라인(L1)의 고압고온기체의 온도에 따라 냉매 유량을 정밀하게 조절하여 열풍온도를 60℃까지 맞출 수 있게 된다.
[테스트룸의 온도를 95℃±5℃까지 확장할 경우]
먼저 온도조절수단의 제2스테핑모터밸브(SSV2)는 차단하고, 제1우회라인(L1)의 제1솔레노이드밸브(SV1)를 개방시켜 압축기(42)의 고압고온기체를 증발기(41)로 공급하여 증발기(41)를 통과한 순환공기를 온도를 60℃까지 상승시킨다.
이 후 히팅수단(50)을 가동하여 60℃까지 상승된 열풍 온도를 최대 95℃±5℃까지 상승하여 물품의 용도에 맞게 온도를 확장시킬 수 있다.
또한 설정온도가 60℃ 내지 95℃±5℃ 범위일 경우, 온도조절수단(40)의 가동없이 히팅수단(50)만으로 순환되는 공기의 온도를 상승시킬 수 있다.
[테스트룸 온도를 정밀하게 조절할 경우]
상기 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 토출되는 고압고온기체는 제1솔레노이드밸브(SV1)의 ON/OFF 단속과, 상기 제1스테핑모터밸브(SSV1)의 개도를 정밀하게 조절하여 1차 혼합 고압고온기체의 온도를 조절한다.
그리고 상기 제2스테핑모터밸브(SSV2)에서 토출되는 고압상온액체는 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 배출되는 1차 혼합 고압고온기체와 혼합시켜 증발기와 열교환된 순환 공기의 온도를 최대 -10℃ ~ 60℃ 범위 내에서 0.1℃ 간격으로 정밀하게 운전제어(제1,2스테핑모터밸브의 동시제어)한다.
여기서 설정온도가 60℃ 내지 95℃±5℃ 범위일 경우에는 히팅수단(50)을 통해 공기의 온도를 60℃ 이상으로 상승시킨 상태에서 온도조절수단(40)의 증발기(41)를 통해 0.1℃ 간격으로 정밀하게 온도를 조절할 수 있게 된다.
본 발명의 온도 테스팅 챔버는 배터리만, 반도체, 전자부품의 테스팅에서 사용할 수 있고, 농수산물의 건조기에도 사용할 수 있음은 물론이다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
10: 하우징 11: 도어 12: 통공
20: 테스트룸 21: 온도센서
30: 공기순환로 31: 송풍팬
40: 온도조절수단 41: 증발기 42: 압축기
43: 응축기 44: 모세관
SV1: 제1솔레노이드밸브 SV2: 제2솔레노이드밸브
SSV1: 제1스테핑모터밸브 SSV2: 제2스테핑모터밸브
L1: 제1우회라인 L2: 제2우회라인
L3: 제3우회라인
50: 히팅수단
100: 온도 테스팅 챔버

Claims (4)

  1. 하우징(10);
    상기 하우징(10)의 내부에 마련되는 테스트룸(20);
    상기 테스트룸(20) 내 공기가 유통될 수 있도록 상기 테스트룸(20)의 뒷면에 형성되는 공기순환로(30);
    상기 공기순환로(30)에 배치되어 테스트룸(20)의 내부 공기를 순환시키는 송풍팬(31);
    상기 송풍팬(31)에 의해 송풍되는 공기를 가열 또는 냉각시키는 증발기(41)를 갖는 온도조절수단(40); 및
    상기 공기순환로(30)에 설치되어 테스트룸(20)의 내부 공기를 가열하여 테스트룸(20) 내 온도를 상승시키는 히팅수단(50);을 포함하여 이루어지되,
    상기 온도조절수단(40)은 상기 테스트룸(20)에 순환되는 공기를 냉각 또는 가열시킬 수 있도록 상기 공기순환로(30)에 배치되는 증발기(41)와, 상기 증발기(41)에서 토출되는 저압저온기체 또는 저압중온기체를 공급받아 고압고온기체로 토출하는 압축기(42)와, 상기 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체를 공급받아 고압상온액체로 토출하는 응축기(43)로 구성되고,
    상기 증발기(41)는 상기 응축기(43)에서 토출되는 고압상온액체와, 더불어 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체의 토출량을 정밀하게 운전제어하여 순환되는 공기를 -10℃ 내지 60℃ 범위까지 온도를 1차 조절할 수 있도록 구성되고,
    상기 히팅수단(50)은 60℃로 가열된 공기를 재차 가열하여 95℃±5℃로 급속 가열시켜 에너지를 절감할 수 있도록 구성되고,
    상기 압축기(42)와 응축기(43)의 사이에는 상기 증발기(41)와 연결되는 제1우회라인(L1)과, 제2우회라인(L2)이 분기되고,
    상기 제1우회라인(L1)에는 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체를 유량을 단속하는 제1솔레노이드밸브(SV1)가 연결되고,
    상기 제2우회라인(L2)에는 압축기(42)에서 토출되는 고압고온기체를 유량을 제어하는 제1스테핑모터밸브(SSV1)가 연결되며,
    상기 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 토출되는 고압고온기체는 제1솔레노이드밸브(SV1)의 ON/OFF 단속과, 상기 제1스테핑모터밸브(SSV1)의 개도를 정밀하게 조절하여 1차 혼합된 고압고온기체의 온도를 1차적으로 정밀하게 운전제어하는 것을 특징으로 하는 온도 테스팅 챔버.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 응축기(43)와 증발기(41)의 사이에는 응축기(43)에서 토출되는 고압상온액체의 유량을 제어하는 제2스테핑모터밸브(SSV2)가 연결되되,
    상기 제2스테핑모터밸브(SSV2)에서 유량이 제어되는 고압상온액체는 제1,2우회라인(L1,L2)을 통해 배출되는 1차 혼합 고압고온기체와 2차 혼합되어 증발기(41)로 공급됨으로써, 상기 증발기(41)를 통해 가열 또는 냉각되는 공기의 온도를 최대 -10℃ ~ 60℃ 범위 내에서 0.1℃ 간격으로 정밀하게 2차 운전제어하는 것을 특징으로 하는 온도 테스팅 챔버.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 응축기(43)와 압축기(42)의 사이에는 응축기(43)의 고압상온액체를 압축기(42)로 우회시키는 적어도 2개 이상 분기되는 제3우회라인(L3)을 더 포함하되,
    상기 각 제3우회라인(L3)에는 고압상온액체를 단속하는 제2솔레노이드밸브(SV2)와, 고압상온액체를 저압저온기체화시키는 모세관(44)이 더 연결되고,
    상기 모세관(44)을 통해 토출되는 저압저온기체는 증발기(41)에서 압축기(42)로 토출되는 냉매가 저압중온기체일 경우 이와 혼합되어 압축기(42)의 과부하를 방지할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 온도 테스팅 챔버.
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030095562A (ko) 2002-06-12 2003-12-24 한국과학기술원 전열히터와 펠티어소자를 이용한 소형 온도조절 챔버
JP2015102541A (ja) * 2013-11-28 2015-06-04 エスペック株式会社 環境試験装置及び冷却装置
JP2015161611A (ja) * 2014-02-27 2015-09-07 エスペック株式会社 環境試験装置
JP2017173235A (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 エスペック株式会社 環境試験装置
JP2018194338A (ja) * 2017-05-12 2018-12-06 エスペック株式会社 環境試験装置及びランプユニット
JP2019128167A (ja) * 2018-01-22 2019-08-01 エスペック株式会社 環境試験装置、空調装置及び空調方法
JP2020091140A (ja) * 2018-12-04 2020-06-11 エスペック株式会社 環境試験装置及びその運転方法
KR20210033184A (ko) * 2019-09-18 2021-03-26 한밭대학교 산학협력단 항온항습 챔버 및 그 제어방법
JP2021073470A (ja) * 2021-02-09 2021-05-13 エスペック株式会社 環境試験装置及び環境試験方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030095562A (ko) 2002-06-12 2003-12-24 한국과학기술원 전열히터와 펠티어소자를 이용한 소형 온도조절 챔버
JP2015102541A (ja) * 2013-11-28 2015-06-04 エスペック株式会社 環境試験装置及び冷却装置
JP2015161611A (ja) * 2014-02-27 2015-09-07 エスペック株式会社 環境試験装置
JP2017173235A (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 エスペック株式会社 環境試験装置
JP2018194338A (ja) * 2017-05-12 2018-12-06 エスペック株式会社 環境試験装置及びランプユニット
JP2019128167A (ja) * 2018-01-22 2019-08-01 エスペック株式会社 環境試験装置、空調装置及び空調方法
JP2020091140A (ja) * 2018-12-04 2020-06-11 エスペック株式会社 環境試験装置及びその運転方法
KR20210033184A (ko) * 2019-09-18 2021-03-26 한밭대학교 산학협력단 항온항습 챔버 및 그 제어방법
JP2021073470A (ja) * 2021-02-09 2021-05-13 エスペック株式会社 環境試験装置及び環境試験方法

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