KR102469594B1 - Stiffness Measuring Jig for Semiconductor Test Equipment Module - Google Patents

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KR102469594B1
KR102469594B1 KR1020220051559A KR20220051559A KR102469594B1 KR 102469594 B1 KR102469594 B1 KR 102469594B1 KR 1020220051559 A KR1020220051559 A KR 1020220051559A KR 20220051559 A KR20220051559 A KR 20220051559A KR 102469594 B1 KR102469594 B1 KR 102469594B1
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서정권
나재흠
이석희
서병우
은성수
서용주
강민석
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주식회사 구비테크
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Abstract

The present invention relates to a jig for measuring stiffness for verifying whether a high-stiffness module can be precisely analyzed in a high-load environment, which comprises: a plate positioned on a module to be measured; a plurality of plane measurement units formed on the plate and measuring plane stiffness of the module; and a plurality of side surface measurement units formed on the plate and measuring side stiffness of the module.

Description

반도체 검사장비 모듈 강성 측정용 지그{Stiffness Measuring Jig for Semiconductor Test Equipment Module}Stiffness Measuring Jig for Semiconductor Test Equipment Module}

본 발명은 반도체 검사장비 모듈의 강성 측정용 지그에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 고강성 모듈이 고하중 환경에서도 웨이퍼의 정밀 분석 가능할지 여부를 검증하기 위한 강성 측정용 지그에 관한 것이다. The present invention relates to a jig for measuring the stiffness of a semiconductor inspection equipment module, and more particularly, to a jig for measuring the stiffness for verifying whether a high-stiffness module can precisely analyze a wafer even in a high-load environment.

반도체 검사장비는 크게 주검사 장비, Probe Station, 핸들러 번인 장비로 구분된다. 그 중 Probe Station은 반도체 조립공정을 진행하기 전, 웨이퍼 상에 만들어진 수백 내지 수천 개의 반도체 칩이 제대로 완성되었는지 테스트하기 위한 장비로, 웨이퍼에 Probe Card에 있는 Probe Tip을 칩의 패드에 접촉시키고, 주검사 장비로부터 전기적인 신호를 보내 수십 분에 걸쳐 칩의 정상 유무를 판정하는 웨이퍼 수준의 검사를 수행한다.Semiconductor inspection equipment is largely divided into main inspection equipment, probe station, and handler burn-in equipment. Among them, the probe station is a device for testing whether hundreds to thousands of semiconductor chips made on a wafer are properly completed before proceeding with the semiconductor assembly process. An electrical signal is sent from the inspection equipment to perform a wafer-level inspection that determines whether a chip is normal or not over several tens of minutes.

근래에는 반도체 웨이퍼가 대구경화 및 고집적화됨에 따라 Probe Station을 통해 웨이퍼를 검사할 때, 복수의 Chip을 검사하기 위해 보다 높은 하중을 인가하여 검사를 진행되고 있다. 이에 따라 높은 하중에서도 정밀한 측정이 되기 위해서는 웨이퍼 검사 시 직접적으로 접촉이 이뤄지는 모듈들은 일정 하중에 대해 변형이 적은 고강성 특성이 요구되어지고, 그러한 모듈들의 강성을 측정하기 위해서 검사 시 인가되는 하중으로부터 변형되는 정도와 하중 인가가 제거되었을 때 복원하는 정도를 테스트하기 위한 강성테스트 시스템이 필요하다.In recent years, as semiconductor wafers have become larger in diameter and highly integrated, when inspecting a wafer through a probe station, a higher load is applied to inspect a plurality of chips. Accordingly, in order to accurately measure even under high load, modules that are in direct contact during wafer inspection are required to have high rigidity characteristics with little deformation for a certain load. A stiffness test system is needed to test the extent to which the load is applied and the extent to which it recovers when the load application is removed.

이를 위한 종래의 강성테스트 시스템의 경우 Probe Station의 특정 모듈의 각 위치를 검사하기 위해 측정기의 하중의 강도와 방향 조절을 수동으로 하는 것이 불가피하고, 이에 따라 측정을 위해 과도하게 인력 및 시간이 소모되는 문제점이 있었고, 특히 수동조작으로 인해 측정오차가 커지고 정밀도가 다소 떨어지는 문제점이 있었다.In the case of a conventional stiffness test system for this purpose, it is inevitable to manually adjust the intensity and direction of the load of the measuring instrument to inspect each position of a specific module of the probe station, and accordingly, excessive manpower and time are consumed for measurement. There was a problem, especially due to manual operation, the measurement error increased and the precision was somewhat lowered.

한국 등록특허공보 제10-2251805호("반도체 검사장비 모듈의 강성 테스트기", 등록일 2021.05.07.)Korean Patent Registration No. 10-2251805 ("Stiffness Tester for Semiconductor Inspection Equipment Module", registration date 2021.05.07.)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 강성테스트 시스템을 간소화 및 정밀화한 강성 측정용 지그를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a rigidity measurement jig that simplifies and refines a rigidity test system.

또한, 본 발명의 목적은 단일 방향의 하중을 통해 모듈의 모든 위치의 강성을 측정할 수 있는 강성 측정용 지그를 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is to provide a stiffness measurement jig capable of measuring stiffness at all positions of a module through a load in a single direction.

또한, 본 발명의 목적은 하중부의 위치조정을 최소화하여 모듈의 모든 위치의 강성을 측정할 수 있는 강성 측정용 지그를 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is to provide a stiffness measurement jig capable of measuring stiffness at all positions of a module by minimizing position adjustment of a load unit.

하중부를 통해 웨이퍼 검사용 모듈의 강성을 측정하는 강성테스트기에 적용되는 강성 측정용 지그에 있어서, 상기 모듈 상에 위치되는 플레이트; 상기 플레이트에 복수 개 형성되며, 상기 모듈의 평면 강성을 측정하는 평면 측정부; 및 상기 플레이트에 복수 개 형성되며, 상기 모듈의 측면 강성을 측정하되, 상기 평면 측정부과 동일한 방향의 하중으로 작동되는 측면 측정부;를 포함할 수 있다.A stiffness measuring jig applied to a stiffness tester for measuring stiffness of a wafer inspection module through a load unit, comprising: a plate positioned on the module; a plane measuring unit formed in plurality on the plate and measuring plane rigidity of the module; and a plurality of side measuring units formed on the plate and measuring the lateral rigidity of the module, and operating with a load in the same direction as the plane measuring unit.

또한, 상기 측면 측정부는 수직방향 하중을 전달받는 수직 쐐기핀 및 상기 수직 쐐기핀으로부터 받은 수직방향 하중을 수평방향으로 전달하는 수평 쐐기핀을 포함할 수 있다.In addition, the side measuring unit may include a vertical wedge pin receiving a vertical load and a horizontal wedge pin transmitting the vertical load received from the vertical wedge pin in a horizontal direction.

또한, 상기 수직 쐐기핀과 상기 수평 쐐기핀은 각각 서로 접촉하는 사선 접촉면을 포함하고, 상기 사선 접촉면을 통해 수직방향 하중을 수평방향으로 전달할 수 있다.
또한, 상기 복수의 평면 측정부 및 상기 복수의 측면 측정부는 상기 하중부에 의해 단 일개씩 개별적으로 하중이 가해질 수 있다.In addition, the vertical wedge pin and the horizontal wedge pin each include an oblique contact surface contacting each other, and a vertical load can be transmitted in a horizontal direction through the oblique contact surface.
In addition, the plurality of plane measurement units and the plurality of side measurement units may be individually loaded by the load unit one by one.

또한, 상기 측면 측정부는 상기 모듈의 중심부를 기준으로 원주방향으로 복수 개가 배열될 수 있다.In addition, a plurality of side measuring units may be arranged in a circumferential direction based on the center of the module.

또한, 상기 측면 측정부는 상기 모듈의 중심부를 기준으로 원주방향으로 같은 간격을 유지하고 배열되는 제1 측면 측정부 내지 제4 측면 측정부를 더 포함할 수 있다.In addition, the side measuring part may further include first to fourth side measuring parts arranged at equal intervals in a circumferential direction based on the center of the module.

또한, 상기 수직 쐐기핀 및 상기 수평 쐐기핀 중 적어도 한 곳에 하중이 제거되었을 때 상기 수직 쐐기핀을 최초 위치로 복원시키는 복원부를 더 포함할 수 있다.In addition, when a load is removed from at least one of the vertical wedge pin and the horizontal wedge pin, a restoration unit for restoring the vertical wedge pin to an initial position may be further included.

또한, 상기 측면 측정부는 상기 수평 쐐기핀에 인접하여 형성되며, 상기 모듈의 측면 변위량을 측정하는 수평 변위 측정부 및 상기 수직 쐐기핀에 인접하여 형성되며, 상기 수직 쐐기핀의 복원 여부를 감지하는 복원 감지 센서를 더 포함할 수 있다.In addition, the side measuring unit is formed adjacent to the horizontal wedge pin, and is formed adjacent to the horizontal displacement measuring unit and the vertical wedge pin for measuring the amount of lateral displacement of the module, and restores whether the vertical wedge pin is restored. A detection sensor may be further included.

또한, 상기 평면 측정부는 상기 모듈의 평면상에 하중을 전달하는 수직 누름핀을 포함할 수 있다.In addition, the plane measurement unit may include a vertical push pin that transmits a load on the plane of the module.

또한, 상기 평면 측정부는 상기 모듈의 중심부를 기준으로 원주방향으로 같은 간격을 유지하고 복수 개가 배열되며, 상기 모듈의 중심부에도 추가로 더 배열되는 것을 특징으로 하는.In addition, a plurality of the plane measuring units are arranged at equal intervals in the circumferential direction based on the center of the module, and further arranged in the center of the module.

또한, 상기 평면 측정부는 상기 모듈의 중심부를 기준으로 원주방향으로 같은 간격을 유지하고 배열되는 제1 평면 측정부 내지 제4 평면 측정부 및 상기 모듈의 중심부에 배열되는 제5 평면 측정부를 포함할 수 있다.In addition, the plane measurement unit may include first to fourth plane measurement units arranged at equal intervals in the circumferential direction based on the center of the module, and a fifth plane measurement unit arranged in the center of the module. have.

또한, 상기 수직 누름핀은 하중이 제거되었을 때 상기 수직 누름핀을 최초 위치로 복원시키는 복원부를 더 포함할 수 있다.In addition, the vertical push pin may further include a restoring unit for restoring the vertical push pin to an initial position when the load is removed.

또한, 상기 평면 측정부는 상기 수직 누름핀에 인접하여 형성되며, 상기 모듈의 평면 변위량을 측정하는 수직 변위 측정부 및 상기 수직 누름핀에 인접하여 형성되며, 상기 수직 누름핀의 복원 여부를 감지하는 복원 감지 센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 복수의 평면 측정부 및 상기 복수의 측면 측정부는 두 직선이 겹친 십자 형태로 배열될 수 있다.
또한, 상기 수직 쐐기핀과 상기 수평 쐐기핀은 각각 상기 플레이트와 고정되며 상기 수직 쐐기핀과 상기 수평 쐐기핀을 감싸는 형태로 결합되는 가이드 부시를 더 포함할 수 있다.In addition, the plane measurement unit is formed adjacent to the vertical push pin, and is formed adjacent to the vertical displacement measurement unit and the vertical push pin to measure the amount of plane displacement of the module, and restores whether or not the vertical push pin is restored. A detection sensor may be further included.
In addition, the plurality of plane measurement units and the plurality of side measurement units may be arranged in a cross shape in which two straight lines overlap each other.
In addition, the vertical wedge pin and the horizontal wedge pin are fixed to the plate, respectively, and may further include a guide bush coupled in a form surrounding the vertical wedge pin and the horizontal wedge pin.

또한, 상기 강성 측정용 지그의 하중부를 이용한 강성 측정 방법에 있어서, 상기 모듈의 강성을 측정하는 강성 측정 과정 이전, 상기 평면 측정부 또는 상기 측면 측정부로 하중을 가하는 하중부의 입력하중을 측정하는 입력하중 측정 과정, 상기 평면 측정부 또는 상기 측면 측정부에서 하중부로부터 받은 하중을 측정 대상체에 전달하는 출력하중을 측정하는 출력하중 측정 과정 및 상기 입력하중과 상기 출력하중의 상관관계를 산출하고 측정 표준을 설정하는 캘리브레이션 과정을 포함할 수 있다.In addition, in the stiffness measurement method using the load portion of the stiffness measurement jig, before the stiffness measurement process for measuring the stiffness of the module, the input load for measuring the input load of the load portion applying the load to the plane measurement portion or the side measurement portion The measurement process, the output load measurement process of measuring the output load that transmits the load received from the load unit to the measurement object in the plane measurement unit or the side measurement unit, and calculating the correlation between the input load and the output load and measuring standards It may include a calibration process to set.

또한, 상기 하중부는 하중부 로드셀을 포함하고, 상기 하중부 로드셀은 상기 입력하중 측정 과정 또는 상기 강성 측정 과정에서 상시 하중 측정이 가능할 수 있다.In addition, the load unit may include a load unit load cell, and the load unit load cell may measure a load at all times during the process of measuring the input load or the process of measuring the stiffness.

또한, 상기 입력하중 측정 과정 이전, 상기 평면 측정부 및 상기 측면 측정부 상에 출력하중을 측정하는 수직 캘리브레이션 로드셀 및 수평 캘리브레이션 로드셀을 각각 설치하는 로드셀 설치 과정 및 상기 강성 측정 과정 이전, 상기 수직 캘리브레이션 로드셀 및 상기 수평 캘리브레이션 로드셀을 제거하는 로드셀 제거 과정을 포함할 수 있다.In addition, before the input load measurement process, before the load cell installation process and the rigidity measurement process for installing a vertical calibration load cell and a horizontal calibration load cell for measuring the output load on the plane measurement unit and the side measurement unit, respectively, the vertical calibration load cell and a load cell removal process of removing the horizontal calibration load cell.

본 발명에 따른 강성 측정용 지그는 강성 측정 테스트를 간소화 및 정밀화할 수 있어 자동화에 유리한 장점이 있다.The stiffness measurement jig according to the present invention can simplify and refine the stiffness measurement test, which is advantageous for automation.

또한, 본 발명에 따른 강성 측정용 지그는 간소화된 강성 측정 테스트로 인해 인력 소모가 적은 장점이 있다.In addition, the stiffness measurement jig according to the present invention has the advantage of reducing manpower consumption due to a simplified stiffness measurement test.

또한, 본 발명에 따른 강성 측정용 지그는 단일 방향의 하중으로 모듈의 모든 위치의 강성을 측정할 수 있어, 하중부의 위치 조정을 최소화할 수 있고, 이로 인해 테스트 시간을 축소시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, the stiffness measuring jig according to the present invention has the advantage of being able to measure the stiffness of all positions of the module with a load in a single direction, thereby minimizing the positional adjustment of the load part, thereby reducing the test time. .

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그가 적용된 강성테스트기의 전체모습을 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그의 상부 모습을 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그의 하부 모습을 나타낸 사시도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그의 확대도
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그의 단면도
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그의 단면도 및 확대도
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그의 확대도
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그의 단면도1 is a perspective view showing the overall appearance of a stiffness tester to which a jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention is applied;
Figure 2 is a perspective view showing the top of the jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention
3 is a perspective view showing a lower portion of a jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention;
Figure 4 is an enlarged view of a jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention
5 is a cross-sectional view of a jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention
6 is a cross-sectional and enlarged view of a jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention;
7 is an enlarged view of a jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view of a jig for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention

이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해석 되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, the technical spirit of the present invention will be described in more detail using the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be construed as limited in their usual or dictionary meanings, and the inventor appropriately defines the concept of terms in order to explain his/her invention in the best way. It should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be done. Therefore, since the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all of the technical ideas of the present invention, various modifications that can be substituted for them at the time of the present application It should be understood that there may be examples.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그가 적용된 강성테스트기의 전체모습을 나타낸 것으로, 본 발명에 따른 강성 측정용 지그는 상기 강성테스트기의 반도체 검사 장비 모듈 상에 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 강성 측정용 지그는 강성테스트기 상에 형성된 하중부의 위치조정을 종래와 대비하여 간소화하고 측정을 정밀하게 할 수 있다. 이를 통해 본 발명에 따른 강성 측정용 지그는 강성테스트의 자동화가 용이한 장점이 있다. 이때, 상기 강성테스트기는 반도체 검사단계 (Test, Burn-in, Handler)를 포함한 반도체 제조 공정에서 필요한 다양한 모듈이나 다른 구조물(예컨대, 부품들에 대해서 성능을 테스트하는 장치) 등 다양한 형태의 개념을 포함할 수 있다.1 shows an overall appearance of a stiffness tester to which a stiffness measurement jig according to an embodiment of the present invention is applied. The stiffness measurement jig according to the present invention may be installed on a semiconductor inspection equipment module of the stiffness tester. The jig for measuring stiffness according to the present invention can simplify the adjustment of the position of the load part formed on the stiffness tester and precisely measure it compared to the prior art. Through this, the stiffness measurement jig according to the present invention has the advantage of facilitating the automation of the stiffness test. At this time, the stiffness tester includes various types of concepts such as various modules or other structures (eg, a device for testing the performance of parts) required in the semiconductor manufacturing process including semiconductor inspection steps (Test, Burn-in, Handler). can do.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그(10)의 상부 모습을 나타낸 것으로, 본 발명에 따른 강성 측정용 지그(10)는 플레이트(100), 상기 플레이트(100) 상에 형성되는 평면 측정부(200) 및 측면 측정부(300)를 포함할 수 있다.2 shows an upper view of a jig 10 for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention, and the jig 10 for measuring stiffness according to the present invention is formed on a plate 100 and the plate 100. It may include a plane measuring unit 200 and a side measuring unit 300 to be.

좀 더 상세하게 설명하자면, 상기 플레이트(100)는 반도체 검사장비의 모듈(1) 상에 위치되는 플레이트(100)를 포함할 수 있다. 상기 플레이트(100) 상에는 모듈(1)의 강성을 측정하기 위한 다양한 구성들이 형성될 수 있다. 상기 플레이트(100)는 상기 모듈(1)의 평면 강성을 측정하는 복수의 평면 측정부(200) 및 상기 모듈(1)의 측면 강성을 측정하는 복수의 측면 측정부(300)를 포함할 수 있다. 이때, 본 발명에 따른 강성 측정용 지그(10)의 상기 평면 측정부(200)와 상기 측면 측정부(300)는 상기 하중부(2)로부터 동일한 방향의 하중을 받는 것을 특징으로 한다. 즉, 상기 평면 측정부(200)는 상기 하중부(2)로부터 수직한 방향의 하중을 받아 상기 모듈(1)의 평면에 수직한 방향의 하중을 전달하고, 상기 측면 측정부(300)는 상기 하중부(2)로부터 수직한 방향의 하중을 받되 상기 모듈(1)의 측면으로 수평한 방향의 하중을 전달받는 것을 특징으로 한다.In more detail, the plate 100 may include the plate 100 positioned on the module 1 of the semiconductor inspection equipment. Various configurations for measuring the rigidity of the module 1 may be formed on the plate 100 . The plate 100 may include a plurality of plane measurement units 200 for measuring the plane stiffness of the module 1 and a plurality of side measurement units 300 for measuring the lateral stiffness of the module 1. . At this time, the plane measuring part 200 and the side measuring part 300 of the stiffness measuring jig 10 according to the present invention are characterized in that they receive loads from the load part 2 in the same direction. That is, the plane measurement unit 200 receives a load in a direction perpendicular to the load unit 2 and transfers a load in a direction perpendicular to the plane of the module 1, and the side measurement unit 300 transmits a load in a direction perpendicular to the plane of the module 1. It is characterized by receiving a load in a vertical direction from the load unit 2 and receiving a load in a horizontal direction to the side of the module 1.

또한, 상기 평면 측정부(200)는 상기 플레이트(100) 상에 상기 모듈(1)의 중심부를 기준으로 원주방향으로 같은 간격을 유지하고 배열되는 제1 평면 측정부(200-1) 내지 제4 평면 측정부(200-4)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 평면 측정부(200-1) 내지 상기 제4 평면 측정부(200-4)는 상기 모듈(1)의 평면 가장자리에 위치되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 평면 측정부(200)는 상기 모듈(1)의 중심부에 위치되는 제5 평면 측정부(200-5)를 포함할 수 있다.In addition, the plane measuring part 200 is the first plane measuring part 200-1 to the fourth plane measuring part 200-1 that are arranged on the plate 100 at the same interval in the circumferential direction based on the center of the module 1. A flat measuring unit 200-4 may be included. At this time, it is preferable that the first plane measurement unit 200-1 to the fourth plane measurement unit 200-4 are located at the edges of the plane of the module 1. In addition, the plane measuring unit 200 may include a fifth plane measuring unit 200 - 5 located at the center of the module 1 .

아울러, 상기 측면 측정부(300)는 상기 플레이트(100) 상에 상기 모듈(1)의 중심부를 기준으로 원주방향으로 같은 간격을 유지하고 배열되는 제1 측면 측정부(300-1) 내지 제4 측면 측정부(300-4)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 측면 측정부(300-1) 내지 상기 제4 측면 측정부(300-4)는 상기 모듈(1)의 평면상에서 벗어난 바깥쪽에 위치되는 것이 바람직하다.In addition, the side measuring part 300 is the first side measuring part 300-1 to the fourth side measuring part 300-1 that are arranged on the plate 100 while maintaining equal intervals in the circumferential direction based on the center of the module 1. A side measuring unit 300-4 may be included. At this time, it is preferable that the first side measuring part 300-1 to the fourth side measuring part 300-4 are located outside the plane of the module 1.

이때, 상기 하중부(2)의 위치 조정을 최대한 간소화하기 위해 상기 제1 평면 측정부(200-1) 내지 상기 제5 평면 측정부(200-5) 및 상기 제1 측면 측정부(300-1) 내지 상기 제4 측면 측정부(300-4)는 십자가 형태로 동일 선상에 배치되도록 설계될 수 있다.At this time, in order to simplify the position adjustment of the load unit 2 as much as possible, the first plane measurement part 200-1 to the fifth plane measurement part 200-5 and the first side surface measurement part 300-1 ) to the fourth side measuring part 300-4 may be designed to be disposed on the same line in a cross shape.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그(10)의 하부 모습을 나타낸 것으로, 도시된 바와 같이 상기 평면 측정부(200) 및 상기 측면 측정부(300)는 상기 플레이트(100)를 관통하는 형태로 결합될 수 있다. 즉, 상술한 바와 같이 상기 평면 측정부(200)는 상부에서 하중을 받아 상기 플레이트(100)의 하부 방향으로 상기 모듈(1)에 직접적으로 하중을 가하도록 설계될 수 있다. 또한, 상기 측면 측정부(300)는 마찬가지로 상부에서 하중을 받아 상기 플레이트(100)의 하부 방향으로 하중을 전달하되 상기 하부 방향의 하중을 수평 방향으로 전환하여 상기 모듈(1)의 측면으로 하중을 가하도록 설계될 수 있다.3 shows a bottom view of the jig 10 for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention. As shown, the plane measuring part 200 and the side measuring part 300 are the plate 100 It can be combined in the form of penetrating. That is, as described above, the plane measuring unit 200 may be designed to receive a load from the top and directly apply a load to the module 1 in a downward direction of the plate 100 . In addition, the side measuring unit 300 likewise receives a load from the top and transfers the load to the lower direction of the plate 100, but converts the load in the lower direction to the horizontal direction to transfer the load to the side of the module 1. can be designed to

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그(10)의 상부를 확대하여 나타낸 것으로, 상기 평면 측정부(200)는 수직 누름핀(210)을 포함하고, 상기 측면 측정부(300)는 수직 쐐기핀(310)을 포함할 수 있다. 상기 수직 누름핀(210) 및 상기 수직 쐐기핀(310)은 각각 상기 하중부(2)로부터 동일한 방향의 하중을 받는 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 평면 측정부(200)의 상기 수직 누름핀(210)은 상기 모듈(1)의 평면상에 직접 하중을 가하고, 상기 측면 측정부(300)의 상기 수직 쐐기핀(310)은 상기 측면 측정부(300)의 하중 방향을 전환하기 위한 구성으로 하중을 전달할 수 있다.4 is an enlarged view of the upper portion of the jig 10 for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention, the plane measurement unit 200 includes a vertical push pin 210, and the side measurement unit 300 ) may include a vertical wedge pin 310. The vertical push pin 210 and the vertical wedge pin 310 are characterized in that each receives a load in the same direction from the load part (2). At this time, the vertical push pin 210 of the plane measuring part 200 directly applies a load on the plane of the module 1, and the vertical wedge pin 310 of the side measuring part 300 measures the side A load may be transmitted as a configuration for changing a load direction of the measuring unit 300 .

또한, 상기 평면 측정부(200)는 상기 모듈(1)의 평면 변위량을 측정하는 수직 변위 측정부(230)를 더 포함할 수 있다. 상기 수직 변위 측정부(230)는 상기 수직 누름핀(210)이 인접한 곳에 설치되는 것이 바람직하다. 상기 수직 변위 측정부(230)는 LVDT를 포함한 다양한 선형 변위 센서들 중 하나로 채택될 수 있다.In addition, the plane measurement unit 200 may further include a vertical displacement measurement unit 230 that measures the amount of displacement of the module 1 in a plane. The vertical displacement measurement unit 230 is preferably installed adjacent to the vertical push pin 210 . The vertical displacement measurement unit 230 may be adopted as one of various linear displacement sensors including LVDT.

또한, 상기 평면 측정부(200)의 상기 수직 누름핀(210) 및 상기 측면 측정부(300)의 상기 수직 쐐기핀(310)이 인접한 곳에 상기 수직 누름핀(210) 및 상기 수직 쐐기핀(310)의 복원 여부를 감지하는 복원 감지 센서(441)를 더 포함할 수 있다. 상기 복원 감지 센서(441)는 상기 플레이트(100) 상에 설치된 거치대(440) 상에 설치될 수 있으며, 상기 수직 누름핀(210) 및 상기 수직 쐐기핀(310)의 최대 변위를 감지하는 형태로 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the vertical push pin 210 and the vertical wedge pin 310 are adjacent to the vertical push pin 210 of the plane measuring part 200 and the vertical wedge pin 310 of the side measuring part 300 ) may further include a restoration detection sensor 441 for detecting whether or not restoration. The restoration detection sensor 441 may be installed on the cradle 440 installed on the plate 100, and detects the maximum displacement of the vertical push pin 210 and the vertical wedge pin 310. It is desirable to install

도 5 및 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 강성 측정용 지그(10)가 상기 모듈(1)에 결합된 단면 모습을 나타낸 것으로, 도시된 바와 같이 상기 하중부(2)는 상기 평면 측정부(200) 및 상기 측면 측정부(300)에 동일하게 수직한 방향으로 하중을 가한다. 이때, 상기 평면 측정부(200)는 상기 모듈(1)의 평면상으로 동일한 방향의 하중을 전달하고, 상기 측면 측정부(300)는 상기 모듈(1)의 측면상으로 전환된 수평 방향의 하중을 전달하는 것을 특징으로 한다.5 and 6 show a cross-sectional view of a jig 10 for measuring stiffness according to an embodiment of the present invention coupled to the module 1, and as shown, the load unit 2 measures the plane. A load is applied in the same vertical direction to the part 200 and the side measuring part 300. At this time, the plane measurement unit 200 transmits the load in the same direction on the plane of the module 1, and the side measurement unit 300 transfers the load in the horizontal direction to the side of the module 1. It is characterized by conveying.

좀 더 상세하게 설명하자면, 도 6을 참조하면, 상기 평면 측정부(200)는 상기 수직 누름핀(210), 상기 수직 누름핀(210) 상에 결합된 복원부(211) 및 수직 변위 측정부(230)를 포함할 수 있다.In more detail, referring to FIG. 6 , the plane measuring unit 200 includes the vertical push pin 210, a restoration unit 211 coupled to the vertical push pin 210, and a vertical displacement measuring unit. (230).

상기 복원부(211)는 상기 수직 누름핀(210)에 결합되어 상기 수직 누름핀(210)에 가해진 하중이 제거되었을 때 상기 수직 누름핀(210)을 다시 최초의 변위로 복원시키는 역할을 한다. 일예로, 도시된 바와 같이 하중이 가해졌을 때, 상기 수직 누름핀(210)의 상부가 상기 복원부(211)를 압축시키는 형태로 설계될 수 있다. 이어, 하중이 제거 되었을 때 상기 복원부(211)가 탄성에 의해 상기 수직 누름핀(210)을 다시 원위치 시킬 수 있도록, 상기 복원부(211)는 탄성체로 형성될 수 있다.The restoring part 211 is coupled to the vertical push pin 210 and serves to restore the vertical push pin 210 to its initial displacement when the load applied to the vertical push pin 210 is removed. For example, as shown in the figure, when a load is applied, the top of the vertical push pin 210 may be designed to compress the restoring part 211 . Subsequently, the restoring part 211 may be formed of an elastic body so that the restoring part 211 can return the vertical push pin 210 to its original position when the load is removed.

상기 수직 변위 측정부(230)는 도시된 바와 같이 상기 수직 누름핀(210)이 인접한 위치에 형성되는 것이 바람직하다. 상기 수직 변위 측정부(230)는 상기 수직 누름핀(210)을 통해 상기 모듈(1)의 변위량을 측정한다. 상기 수직 변위 측정부(230)는 채택되는 센서에 따라 다르게 설치될 수 있다. 일예로, LVDT와 같은 선형 변위 센서가 채택되었을 때, 상기 수직 누름핀(210)과 평행한 형태로 상기 플레이트(100)를 관통하고 상기 모듈(1)의 평면에 접촉되도록 설치될 수 있다.As shown, the vertical displacement measuring unit 230 is preferably formed at a position adjacent to the vertical push pin 210 . The vertical displacement measuring unit 230 measures the amount of displacement of the module 1 through the vertical push pin 210 . The vertical displacement measurement unit 230 may be installed differently depending on the sensor employed. For example, when a linear displacement sensor such as LVDT is adopted, it may be installed to pass through the plate 100 in parallel with the vertical push pin 210 and contact the plane of the module 1.

상기 측면 측정부(300)는 케이싱(301), 수직 쐐기핀(310), 수평 쐐기핀(320), 복원부(311) 및 수평 변위 측정부(330)를 포함할 수 있다.The side measuring unit 300 may include a casing 301 , a vertical wedge pin 310 , a horizontal wedge pin 320 , a restoring unit 311 and a horizontal displacement measuring unit 330 .

상기 수직 쐐기핀(310)과 상기 수평 쐐기핀(320)은 서로 수직을 이루며 접촉될 수 있다. 이때, 도시된 바와 같이 상기 수직 쐐기핀(310)과 상기 수평 쐐기핀(320)은 서로 접촉되는 사선 접촉면(312, 322)을 포함할 수 있다. 즉, 상기 수직 쐐기핀(310)이 하중부(2)로부터 하중을 받았을 때, 상기 수직 쐐기핀(310)이 하강하게 되고, 이어 상기 수평 쐐기핀(320)이 상기 사선 접촉면(312, 322)에 슬라이드되는 형태로 상기 모듈(1) 방향으로 수평 방향의 하중을 가하게 된다. 이를 통해, 수직 방향의 하중을 전달받은 상기 평면 측정부(200)는 상기 모듈(1)의 측면으로 수평 방향의 하중을 전달할 수 있게 된다.The vertical wedge pin 310 and the horizontal wedge pin 320 may be in vertical contact with each other. At this time, as shown, the vertical wedge pin 310 and the horizontal wedge pin 320 may include diagonal contact surfaces 312 and 322 contacting each other. That is, when the vertical wedge pin 310 receives a load from the load part 2, the vertical wedge pin 310 descends, and then the horizontal wedge pin 320 contacts the oblique contact surfaces 312 and 322 A load in the horizontal direction is applied in the direction of the module (1) in the form of sliding. Through this, the plane measuring unit 200 receiving the load in the vertical direction can transmit the load in the horizontal direction to the side of the module 1.

이때, 상기 평면 측정부(200)는 상기 수직 쐐기핀(310) 및 상기 수직 누름핀(210)을 감싸는 케이싱(301)을 구성할 수 있다. 상기 케이싱(301)은 내측으로 상기 수직누름핀 및 상기 수직 누름핀(210)이 각각 일방향으로 운동할 수 있도록 상기 수직 쐐기핀(310) 및 상기 수직 누름핀(210)과 접촉되는 가이드 부시(303)를 더 포함할 수 있다. 상기 케이싱(301)의 외측으로는 상기 수평 쐐기핀(320)과 인접하도록 상기 수평 변위 측정부(330)가 설치될 수 있다. 이를 위해, 도시된 바와 같이 상기 케이싱(301)의 외측으로 홀더(302)가 형성될 수 있으며, 상기 홀더(302)가 상기 수평 변위 측정부(330)를 고정하는 형태로 상기 모듈(1)의 측면 변위량을 측정할 수 있다. 이때, 상기 수평 변위 측정부(330)는 상기 수직 변위 측정부(230)와 마찬가지로 LVDT를 포함한 다양한 선형 변위 센서들 중 하나로 채택될 수 있다.At this time, the plane measuring unit 200 may constitute a casing 301 surrounding the vertical wedge pin 310 and the vertical push pin 210 . The casing 301 is a guide bush 303 in contact with the vertical wedge pin 310 and the vertical push pin 210 so that the vertical push pin and the vertical push pin 210 can move in one direction, respectively. ) may further include. The horizontal displacement measurement unit 330 may be installed outside the casing 301 to be adjacent to the horizontal wedge pin 320 . To this end, as shown, a holder 302 may be formed outside the casing 301, and the holder 302 fixes the horizontal displacement measurement unit 330 to the module 1. The amount of lateral displacement can be measured. At this time, the horizontal displacement measuring unit 330 may be adopted as one of various linear displacement sensors including an LVDT like the vertical displacement measuring unit 230 .

상기 복원부(311)는 상기 수직 쐐기핀(310) 또는 상기 수평 쐐기핀(320) 중 적어도 한 곳에 결합될 수 있다. 상기 복원부(311)는 마찬가지로 상기 수직 쐐기핀(310) 및 상기 수평 쐐기핀(320)에 가해진 하중이 제거되었을 때 상기 수직 쐐기핀(310) 및 상기 수평 쐐기핀(320)을 다시 최초의 변위로 복원시키는 역할을 한다. 일예로, 도시된 바와 같이 하중이 가해졌을 때, 상기 수직 쐐기핀(310) 및 상기 수평 쐐기핀(320)의 상부가 상기 복원부(311)를 압축시키는 형태로 설계될 수 있다. 이어, 하중이 제거되었을 때 상기 복원부(311)가 탄성에 의해 상기 수직 쐐기핀(310) 및 상기 수평 쐐기핀(320)을 다시 원위치 시킬 수 있도록, 상기 복원부(311)는 탄성체로 형성될 수 있다.The restoring part 311 may be coupled to at least one of the vertical wedge pin 310 and the horizontal wedge pin 320 . The restoring unit 311 similarly performs the initial displacement of the vertical wedge pin 310 and the horizontal wedge pin 320 again when the load applied to the vertical wedge pin 310 and the horizontal wedge pin 320 is removed. plays a role in restoring For example, as shown, when a load is applied, upper portions of the vertical wedge pin 310 and the horizontal wedge pin 320 may be designed to compress the restoring portion 311 . Then, when the load is removed, the restoring part 311 is formed of an elastic body so that the vertical wedge pin 310 and the horizontal wedge pin 320 can be returned to their original positions by elasticity. can

도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 강성 측정용 지그(10)에 설치되는 캘리브레이션 로드셀(20, 30)을 나타낸 것이다. 본 발명에 따른 강성 측정용 지그(10)를 이용한 강성 측정 방법은 입력하중과 출력하중의 상관관계를 산출하여 표준을 설정하는 캘리브레이션 과정을 포함할 수 있다.7 and 8 show calibration load cells 20 and 30 installed in the jig 10 for measuring stiffness according to the present invention. The stiffness measurement method using the stiffness measuring jig 10 according to the present invention may include a calibration process of setting a standard by calculating a correlation between an input load and an output load.

도 5를 함께 참조하면, 상기 강성 측정용 지그(10)를 활용한 강성 측정 테스트는 도시된 하중부(2)를 활용하여 진행될 수 있다. 상기 하중부(2)는 상기 평면 측정부(200)와 상기 측면 측정부(300)에 하중을 가하는 역할로, 상시 하중 측정이 가능한 하중부 로드셀(40)을 더 포함할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 강성 측정용 지그(10)는 상기 평면 측정부(200)의 상기 수직 누름핀(210) 및 상기 측면 측정부(300)의 상기 수직 쐐기핀(310)에서 출력되는 출력하중을 측정하고 탈착이 가능한 수직 캘리브레이션 로드셀(30) 및 수평 캘리브레이션 로드셀(20)을 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5 together, a stiffness measurement test using the stiffness measurement jig 10 may be performed using the illustrated load unit 2 . The load unit 2 serves to apply a load to the plane measurement unit 200 and the side measurement unit 300 and may further include a load unit load cell 40 capable of measuring a load at all times. In addition, the jig 10 for measuring stiffness according to the present invention is the output load output from the vertical push pin 210 of the plane measuring part 200 and the vertical wedge pin 310 of the side measuring part 300 It may further include a vertical calibration load cell 30 and a horizontal calibration load cell 20 that measure and are detachable.

본 발명에 따른 강성 측정 방법은 강성 측정 과정 이전, 입력하중 측정 과정, 출력하중 측정 과정 및 캘리브레이션 과정을 포함할 수 있다.The stiffness measurement method according to the present invention may include a process of measuring an input load, a process of measuring an output load, and a calibration process before a process of measuring stiffness.

좀 더 상세하게 설명하자면, 본 발명에 따른 강성 측정용 지그(10)의 하중부(2)를 이용한 강성 측정 방법은 상기 모듈(1)의 강성을 측정하는 강성 측정 과정 이전, 상기 평면 측정부(200) 또는 상기 측면 측정부(300)로 하중을 가하는 하중부(2)의 입력하중을 측정하는 입력하중 측정 과정을 포함할 수 있다. 상기 입력하중 측정 과정은 상기 하중부(2)가 상기 평면 측정부(200)의 상기 수직 누름핀(210) 및 상기 측면 측정부(300)의 상기 수직 쐐기핀(310)에 하중을 가할 때, 상기 하중부 로드셀(40)에서 측정된 하중값을 산출한다. 이때, 상기 강성 측정 방법은 상기 입력하중 측정 과정 이전, 상기 평면 측정부(200) 및 상기 측면 측정부(300) 상에 출력하중을 측정하는 상기 수직 캘리브레이션 로드셀(30) 및 상기 수평 캘리브레이션 로드셀(20)을 각각 설치하는 과정을 포함할 수 있다. 상기 수직 캘리브레이션 로드셀(30) 및 상기 수평 캘리브레이션 로드셀(20)은 상기 플레이트(100)에 결합되어 설치되며, 각각 상기 수직 누름핀(210) 및 상기 수평 쐐기핀(320)에 직접 접촉할 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다.To explain in more detail, the stiffness measurement method using the load portion 2 of the stiffness measurement jig 10 according to the present invention, prior to the stiffness measurement process of measuring the stiffness of the module 1, the plane measuring portion ( 200) or an input load measuring process of measuring the input load of the load unit 2 applying the load to the side measuring unit 300. In the input load measurement process, when the load unit 2 applies a load to the vertical push pin 210 of the plane measurement unit 200 and the vertical wedge pin 310 of the side measurement unit 300, A load value measured by the load unit load cell 40 is calculated. At this time, the stiffness measurement method is the vertical calibration load cell 30 and the horizontal calibration load cell 20 that measure the output load on the plane measurement unit 200 and the side measurement unit 300 before the input load measurement process. ) may include a process of installing each. The vertical calibration load cell 30 and the horizontal calibration load cell 20 are coupled to the plate 100 and installed, respectively, to directly contact the vertical push pin 210 and the horizontal wedge pin 320 Installed it is desirable to be

또한, 상기 강성 측정 방법은 상기 강성 측정 과정 이전, 상기 평면 측정부(200) 또는 상기 측면 측정부(300)에서 상기 하중부(2)로부터 받은 하중을 측정 대상체에 전달하는 출력하중을 측정하는 출력하중 측정 과정을 포함할 수 있다. 상기 출력하중 측정 과정은 상기 하중부(2)로부터 하중을 전달 받은 상기 수직 누름핀(210)이 상기 수직 캘리브레이션 로드셀(20)에 하중을 전달하고, 상기 하중부(2)로부터 하중을 전달 받은 상기 수평 쐐기핀(320)이 상기 수평 캘리브레이션 로드셀(30)에 하중을 전달하게 된다. 이때, 각 하중을 상기 수직 캘리브레이션 로드셀(30) 및 상기 수평 캘리브레이션 로드셀(20)이 측정하게 된다.In addition, the stiffness measurement method is an output of measuring an output load that transmits the load received from the load unit 2 to the measurement object in the plane measurement unit 200 or the side measurement unit 300 before the stiffness measurement process. It may include load measurement process. The output load measurement process is that the vertical push pin 210 receiving the load from the load unit 2 transfers the load to the vertical calibration load cell 20, and the load is transmitted from the load unit 2. A horizontal wedge pin 320 transmits a load to the horizontal calibration load cell 30 . At this time, each load is measured by the vertical calibration load cell 30 and the horizontal calibration load cell 20 .

또한, 상기 강성 측정 방법은 상기 강성 측정 과정 이전, 상기 입력하중과 상기 출력하중의 상관관계를 산출하고 측정 표준을 설정하는 캘리브레이션 과정을 포함할 수 있다. 즉, 상기 캘리브레이션 과정을 통해 상기 입력하중 대비 상기 출력하중을 산출하여 상기 하중부(2)를 통해 측정 대상체인 상기 모듈(1)에 작용할 하중값에 대한 관계식을 설정할 수 있다. 이때, PLC등 외부 제어장치를 통해 상기 입력하중 및 상기 출력하중의 상관관계를 자동 측정하고, 상기 강성 측정 과정에서 실제 측정 대상체에 작용할 하중에 대한 산출이 가능하도록 프로그래밍이 이루어지는 과정 또한 포함될 수 있다.In addition, the stiffness measurement method may include a calibration process of calculating a correlation between the input load and the output load and setting a measurement standard before the stiffness measurement process. That is, it is possible to set a relational expression for a load value to be applied to the module 1, which is a measurement object, through the load unit 2 by calculating the output load compared to the input load through the calibration process. At this time, the process of automatically measuring the correlation between the input load and the output load through an external control device such as PLC, and programming to calculate the load to be applied to the actual measurement object in the stiffness measurement process may also be included.

1 : 모듈 2 : 하중부
10 : 강성 측정용 지그
20 : 수평 캘러브레이션 로드셀
30 : 수직 캘러브레이션 로드셀
40 : 하중부 로드셀
100 : 플레이트
200 : 평면 측정부
210 : 수직 누름핀 211 : 복원부
230 : 수직 변위 측정부
300 : 측면 측정부
301 : 케이싱 302 : 홀더
303 : 가이드부시
310 : 수직 쐐기핀
311 : 복원부 312 : 사선 접촉면
320 : 수평 쐐기핀
321 : 복원부 322 : 사선 접촉면
330 : 수평 변위 측정부
440 : 거치대 441 : 복원 감지 센서1: module 2: load part
10: Jig for measuring stiffness
20: horizontal calibration load cell
30: vertical calibration load cell
40: load part load cell
100: plate
200: flat measuring part
210: vertical push pin 211: restoration unit
230: vertical displacement measuring unit
300: side measurement part
301: casing 302: holder
303: guide bush
310: vertical wedge pin
311: restoration part 312: oblique contact surface
320: horizontal wedge pin
321: restoration unit 322: oblique contact surface
330: horizontal displacement measuring unit
440: cradle 441: restoration detection sensor

Claims (15)

하중부를 통해 웨이퍼 검사용 모듈의 강성을 측정하는 강성테스트기에 적용되는 강성 측정용 지그에 있어서,
상기 모듈 상에 위치되는 플레이트;
상기 플레이트에 복수 개 형성되며, 상기 모듈의 평면 강성을 측정하는 평면 측정부; 및
상기 플레이트에 복수 개 형성되며, 상기 모듈의 측면 강성을 측정하되, 상기 평면 측정부와 동일한 방향의 하중으로 작동되는 측면 측정부;를 포함하고,
상기 측면 측정부는 수직방향 하중을 전달받는 수직 쐐기핀 및
상기 수직 쐐기핀으로부터 받은 수직방향 하중을 수평방향으로 전달하는 수평 쐐기핀을 포함하고,
상기 수직 쐐기핀과 상기 수평 쐐기핀은 각각 서로 접촉하는 사선 접촉면을 포함하고, 상기 사선 접촉면을 통해 수직방향 하중을 수평방향으로 전달하고,
상기 복수의 평면 측정부 및 상기 복수의 측면 측정부는 상기 하중부에 의해 단 일개씩 개별적으로 하중이 가해지는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
In the stiffness measurement jig applied to the stiffness tester for measuring the stiffness of the wafer inspection module through the load unit,
a plate positioned on the module;
a plane measuring unit formed in plurality on the plate and measuring plane rigidity of the module; and
A plurality of side measuring units are formed on the plate and measure the lateral rigidity of the module, and the side measuring unit operates with a load in the same direction as the flat measuring unit,
The side measuring part is a vertical wedge pin receiving a vertical load and
Including a horizontal wedge pin that transmits the vertical load received from the vertical wedge pin in the horizontal direction,
The vertical wedge pin and the horizontal wedge pin each include an oblique contact surface contacting each other, and transmits a vertical load in a horizontal direction through the oblique contact surface,
The plurality of flat measuring parts and the plurality of side measuring parts are rigidity measurement jig, characterized in that the load is applied individually by the load part.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 측면 측정부는 상기 모듈의 중심부를 기준으로 원주방향으로 복수 개가 배열되는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 1,
The side measuring unit is a jig for measuring stiffness, characterized in that a plurality of pieces are arranged in a circumferential direction based on the center of the module.
 제1항에 있어서,
상기 수직 쐐기핀 및 상기 수평 쐐기핀 중 적어도 한 곳에 하중이 제거되었을 때 상기 수직 쐐기핀을 최초 위치로 복원시키는 복원부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 1,
The jig for measuring stiffness, characterized in that it further comprises a restoration unit for restoring the vertical wedge pin to an initial position when a load is removed from at least one of the vertical wedge pin and the horizontal wedge pin.
 제5항에 있어서,
상기 측면 측정부는 상기 수평 쐐기핀에 인접하여 형성되며, 상기 모듈의 측면 변위량을 측정하는 수평 변위 측정부 및
상기 수직 쐐기핀에 인접하여 형성되며, 상기 수직 쐐기핀의 복원 여부를 감지하는 복원 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 5,
The side measuring unit is formed adjacent to the horizontal wedge pin, and a horizontal displacement measuring unit for measuring the amount of lateral displacement of the module; and
The jig for measuring stiffness, characterized in that it further comprises a restoration detection sensor formed adjacent to the vertical wedge pin and detecting whether or not the vertical wedge pin is restored.
 제1항에 있어서,
상기 평면 측정부는 상기 모듈의 평면 상에 하중을 전달하는 수직 누름핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 1,
The plane measurement unit comprises a vertical push pin for transmitting a load on the plane of the module, characterized in that the jig for measuring stiffness.
 제7항에 있어서,
상기 평면 측정부는 상기 모듈의 중심부를 기준으로 원주방향으로 같은 간격을 유지하고 복수 개가 배열되며,
상기 모듈의 중심부에도 추가로 더 배열되는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 7,
The plane measuring unit maintains equal intervals in the circumferential direction based on the center of the module and is arranged in plurality,
A jig for measuring stiffness, characterized in that further arranged in the center of the module.
 제8항에 있어서,
상기 수직 누름핀은 하중이 제거되었을 때 상기 수직 누름핀을 최초 위치로 복원시키는 복원부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 8,
The vertical push pin is a jig for measuring stiffness, characterized in that it further comprises a restoration unit for restoring the vertical push pin to an initial position when the load is removed.
 제9항에 있어서,
상기 평면 측정부는 상기 수직 누름핀에 인접하여 형성되며, 상기 모듈의 평면 변위량을 측정하는 수직 변위 측정부 및
상기 수직 누름핀에 인접하여 형성되며, 상기 수직 누름핀의 복원 여부를 감지하는 복원 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 9,
The plane measurement unit is formed adjacent to the vertical push pin, and a vertical displacement measurement unit for measuring the amount of plane displacement of the module, and
The jig for measuring stiffness, characterized in that it further comprises a restoration detection sensor formed adjacent to the vertical push pin and detecting whether or not the vertical push pin is restored.
 제1항, 제4항 내지 제10항 중 어느 한 항의 강성 측정용 지그를 이용한 강성 측정 방법에 있어서,
상기 모듈의 강성을 측정하는 강성 측정 과정 이전,
상기 평면 측정부 또는 상기 측면 측정부로 하중을 가하는 하중부의 입력하중을 측정하는 입력하중 측정 과정,
상기 평면 측정부 또는 상기 측면 측정부에서 하중부로부터 받은 하중을 측정 대상체에 전달하는 출력하중을 측정하는 출력하중 측정 과정 및
상기 입력하중과 상기 출력하중의 상관관계를 산출하고 측정 표준을 설정하는 캘리브레이션 과정을 포함하는 강성 측정 방법.
In the stiffness measurement method using the stiffness measurement jig of any one of claims 1 and 4 to 10,
Prior to the stiffness measurement process of measuring the stiffness of the module,
An input load measurement process of measuring an input load of a load unit applying a load to the plane measurement unit or the side measurement unit;
An output load measuring process for measuring an output load that transmits a load received from a load unit to a measurement object in the plane measurement unit or the side measurement unit, and
Stiffness measurement method comprising a calibration process of calculating the correlation between the input load and the output load and setting a measurement standard.
 제11항에 있어서,
상기 하중부는 하중부 로드셀을 포함하고, 상기 하중부 로드셀은 상기 입력하중 측정 과정 또는 상기 강성 측정 과정에서 상시 하중 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 강성 측정 방법.According to claim 11,
The load unit includes a load unit load cell, and the load unit load cell is a stiffness measurement method, characterized in that the constant load measurement in the input load measurement process or the stiffness measurement process. 제11항에 있어서,
상기 입력하중 측정 과정 이전, 상기 평면 측정부 및 상기 측면 측정부 상에 출력하중을 측정하는 수직 캘리브레이션 로드셀 및 수평 캘리브레이션 로드셀을 각각 설치하는 로드셀 설치 과정 및
상기 강성 측정 과정 이전, 상기 수직 캘리브레이션 로드셀 및 상기 수평 캘리브레이션 로드셀을 제거하는 로드셀 제거 과정을 포함하는 강성 측정 방법.According to claim 11,
Before the input load measurement process, a load cell installation process of installing a vertical calibration load cell and a horizontal calibration load cell for measuring the output load on the plane measurement unit and the side measurement unit, respectively, and
A stiffness measurement method comprising a load cell removal process of removing the vertical calibration load cell and the horizontal calibration load cell before the stiffness measurement process. 제1항에 있어서,
상기 복수의 평면 측정부 및 상기 복수의 측면 측정부는 두 직선이 겹친 십자 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.
According to claim 1,
The plurality of plane measuring parts and the plurality of side measuring parts are rigidity measuring jig, characterized in that arranged in the form of a cross in which two straight lines overlap.
 제1항에 있어서,
상기 수직 쐐기핀과 상기 수평 쐐기핀은 각각 상기 플레이트와 고정되며 상기 수직 쐐기핀과 상기 수평 쐐기핀을 감싸는 형태로 결합되는 가이드 부시를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 강성 측정용 지그.According to claim 1,
The vertical wedge pin and the horizontal wedge pin are fixed to the plate, respectively, and the rigidity measurement jig, characterized in that it further comprises a guide bush coupled in a form surrounding the vertical wedge pin and the horizontal wedge pin.
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