KR100936971B1 - OS of probe card, evenness, leakage current measuring mean and the system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브카드에 전류 또는 전압을 인가하여 수천개의 검침핀들 중 쇼트, 누설전류가 발생된 해당 검침핀들을 정확히 식별해낼 수 있고, 기구적 및 전자적인 시스템의 구성으로 프로브카드의 수천개의 검침핀들의 평탄도를 신속하고 정확하게 측정할 수 있으며, 이에 따라 작업자의 수작업 또는 육안으로 평탄도를 측정하였던 종래에 비해 프로브카드의 검사가 정확하게 이루어지므로 프로브카드의 생산성이 향상되고, 인건비 절감에 따라 검사비용이 절감될 수 있는 프로브카드의 쇼트, 누설전류 및 평탄도 측정방법 및 그 시스템을 제공한다.The present invention can accurately identify the corresponding probe pins in which short or leakage current is generated among thousands of probe pins by applying current or voltage to the probe card, and by configuring the mechanical and electronic system, thousands of probe pins of the probe card Flatness can be measured quickly and accurately. As a result, the inspection of the probe card is more accurate than the conventional manual measurement of the flatness by the operator's manual or naked eye, thus improving the productivity of the probe card and reducing the inspection cost according to the labor cost. The present invention provides a method for measuring short, leakage current and flatness of a probe card and a system thereof.

본 발명 프로브카드의 OS, 누설전류 및 평탄도 측정시스템은, 프로브카드의 평탄도 및 누설전류 측정정보가 수집되는 정보수집모듈과; 상기 프로브카드가 하부에 장착되고 그 프로브카드를 상기 정보수집모듈에 전기적으로 연결하며, 상기 정보수집모듈과 케이블로 연결되는 인터페이스보드와; 상기 프로브카드와 대향되게 위치되어 그라운드 접지되며 상기 프로브카드의검침핀이 접지되는 접지플레이트와; 상기 정보수집모듈과 전기적으로 연결되어 상기 정보수집모듈에 수집된 정보가 전달되고 상기 프로브카드의 평탄도 및 누설전류의 측정을 제어하는 메인컴퓨터와; 상기 프로브카드와 연결되어 상기 프로브카드의 쇼트 및 상기 프로브카드의 누설전류를 측정하는 전류측정기를 포함하며, 상기 프로브카드의 검침핀들 중 선택된 적어도 하나에는 전류를 인가시키고 나머지 검침핀들은 그라운드 접점시키는 것을 반복하면서 전류가 누설되는 검침핀 및 쇼트가 발생되는 검침핀들을 판별하여 상기 프로브카드의 누설전류 및 OS(Open Shot)를 측정하고, 상기 프로브카드를 상기 접지플레이트에 일정 거리만큼 한 단계 근접시킨 후 상기 검침핀들 중 선택된 적어도 하나에는 전류를 인가시키고 나머지 검침핀들은 플로팅 상태를 유지하는 것을 반복하면서 상기 접지플레이트와 접지되는 검침핀들을 판별하여 상기 프로브카드의 평탄도를 측정하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류를 측정시스템에 대하여 개시한다.OS, leakage current and flatness measurement system of the probe card of the present invention, the information collection module for collecting the flatness and leakage current measurement information of the probe card; An interface board mounted below the probe card and electrically connecting the probe card to the information collection module, the interface board being connected to the information collection module by a cable; A ground plate positioned opposite to the probe card and grounded, and having a probe pin of the probe card grounded; A main computer electrically connected to the information collection module to transfer the collected information to the information collection module and to control the flatness and leakage current of the probe card; And a current meter connected to the probe card to measure a short of the probe card and a leakage current of the probe card, wherein a current is applied to at least one selected from the probe pins of the probe card, and the other probe pins are ground contacted. After repeating the measurement, the leakage current and OS (Open Shot) of the probe card are measured by determining the metering pins and the metering pins in which the short is generated, and then moving the probe card one step closer to the ground plate. The OS of the probe card for measuring the flatness of the probe card by measuring the flatness of the probe card by applying a current to at least one of the probe pins and applying the current and the other probe pins to maintain the floating state, Figures and leakage currents are described for the measurement system.

프로브카드, 메인컴퓨터, 인터페이스보드, 정보수집모듈, 테스트보드, 접지플레이트 Probe card, main computer, interface board, information acquisition module, test board, ground plate

Description

프로브카드의 오에스, 평탄도 및 누설전류 측정방법 및 그 시스템{OS of probe card, evenness, leakage current measuring mean and the system}OS, probe card, evenness, leakage current measuring mean and the system of probe card

본 발명은 프로브카드의 OS, 누설전류 및 평탄도 측정방법 및 그 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브카드의 OS, 누설전류 및 평탄도를 매우 신속하고 정확하게 측정할 수 있으며, 인건비의 절감 등 프로브검사시의 비용이 절감되는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정방법 및 그 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a method of measuring the OS, the leakage current and the flatness of the probe card, and a system thereof, and more specifically to the OS, leakage current and flatness of the probe card can be measured very quickly and accurately, labor costs, etc. The present invention relates to a method for measuring the OS, flatness and leakage current of a probe card, and a system for reducing the cost of probe inspection.

프로브카드(Probe Card)는 통산 반도체의 웨이퍼(wafer)를 프로빙(probing)하여 테스터기로 인터페이스(interface)하는 카드이다.A probe card is a card that probes a wafer of a general semiconductor and interfaces with a tester.

일반적으로 다이(die)의 패드(pad)수에 따라서 100~200 핀(pin)정도의 비교적 적은 프로브카드가 주종을 이루었으나, 최근에는 웨이퍼 다이(wafer die) 일부를 동시에, 혹은 전체를 프로브하는 기술이 보편화되면서 프로브카드의 핀수가 5000핀 이상 기하 급수적으로 증가하는 추세이다.In general, a relatively small number of probe cards (100 to 200 pins) are predominant depending on the number of pads of a die, but recently, a portion of a wafer die is simultaneously or entirely probed. As technology becomes more common, the number of pins on probe cards is increasing exponentially over 5000 pins.

이러한 상황에서는 프로브카드의 평탄도와 각 핀들 사이의 누설전류 등의 품질이 매우 중요한 문제로 대두되고 있다.In such a situation, the flatness of the probe card and the quality of leakage current between each pin are very important issues.

종래에는 프로브카드를 검사할시 작업자가 프로브카드를 육안으로 확인하여 프로브카드의 평탄도를 측정하였으며, 계측기를 사용하여 일일이 핀마다 수작업으로 프로브카드의 누설전류를 측정하였다.Conventionally, when inspecting a probe card, the operator visually checks the probe card to measure the flatness of the probe card, and manually measures the leakage current of the probe card by hand every pin using a measuring instrument.

이에 따라, 종래에 프로브카드의 평탄도 검사시 육안으로 확인함에 따라 검사결과가 정확하지 못하여 불량의 프로브카드가 속출되는 문제가 있었으며, 누설전류의 검사시 많은 시간이 소요되고, 인건비가 증가되는 등 프로브카드의 검사시 비용의 증가 및 프로프카드 검사가 신속하고 정확하게 이루어질 수 없는 등의 문제가 있었다.Accordingly, conventionally, when the flatness test of the probe card is visually checked, the test result is not accurate, and there is a problem in that the defective probe card is continued, and a lot of time is required when the leakage current is tested, and the labor cost is increased. There was a problem such as an increase in the cost of the probe card inspection and the probe card inspection can not be done quickly and accurately.

또한, 최근에 생산되는 5000핀 이상의 핀을 가진 프로브카드를 수작업으로 검사하기에는 더욱 많은 시간의 소요와, 인건비가 상승되는 문제가 발생된다.In addition, a manual inspection of a probe card having more than 5000 pins produced recently, more time, labor costs are raised.

상술한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 프로브카드의 검사시 신속하고 정확하게 핀들 사이의 쇼트, 누설전류 및 평탄도를 검사할 수 있으며, 인건비 절감 등 비용이 현저히 절감되도록 한 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정방법 및 그 시스템을 제공하는데 있다.An object of the present invention for solving the above problems, the inspection of the probe card can quickly and accurately check the short, leakage current and flatness between the pins, the operating cost of the probe card to significantly reduce the cost, such as labor costs To provide a method for measuring flatness and leakage current and a system thereof.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 프로브카드의 평탄도 및 누설전류 측정정보가 수집되는 정보수집모듈과; 상기 프로브카드가 하부에 장착되고 그 프로브카드를 상기 정보수집모듈에 전기적으로 연결하며, 상기 정보수집모듈과 케이블로 연결되는 인터페이스보드와; 상기 프로브카드와 대향되게 위치되어 그라운드 접지되며 상기 프로브카드의검침핀이 접지되는 접지플레이트와; 상기 정보수집모듈과 전기적으로 연결되어 상기 정보수집모듈에 수집된 정보가 전달되고 상기 프로브카드의 평탄도 및 누설전류의 측정을 제어하는 메인컴퓨터와; 상기 프로브카드와 연결되어 상기 프로브카드의 쇼트 및 상기 프로브카드의 누설전류를 측정하는 전류측정기를 포함하며, 상기 프로브카드의 검침핀들 중 선택된 적어도 하나에는 전류를 인가시키고 나머지 검침핀들은 그라운드 접점시키는 것을 반복하면서 전류가 누설되는 검침핀 및 쇼트가 발생되는 검침핀들을 판별하여 상기 프로브카드의 누설전류 및 OS(Open Shot)를 측정하고, 상기 프로브카드를 상기 접지플레이트에 일정 거리만큼 한 단계 근접시킨 후 상기 검침핀들 중 선택된 적어도 하나에는 전류를 인가시키고 나머지 검침핀들은 플로팅 상태를 유지하는 것을 반복하면서 상기 접지플레이트와 접지되는 검침핀들을 판별하여 상기 프로브카드의 평탄도를 측정하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템에 특징이 있다.The present invention for achieving the above object, the information collection module for collecting the flatness and leakage current measurement information of the probe card; An interface board mounted below the probe card and electrically connecting the probe card to the information collection module, the interface board being connected to the information collection module by a cable; A ground plate positioned opposite to the probe card and grounded, and having a probe pin of the probe card grounded; A main computer electrically connected to the information collection module to transfer the collected information to the information collection module and to control the flatness and leakage current of the probe card; And a current meter connected to the probe card to measure a short of the probe card and a leakage current of the probe card, wherein a current is applied to at least one selected from the probe pins of the probe card, and the other probe pins are ground contacted. After repeating the measurement, the leakage current and OS (Open Shot) of the probe card are measured by determining the metering pins and the metering pins in which the short is generated, and then moving the probe card one step closer to the ground plate. The OS of the probe card for measuring the flatness of the probe card by measuring the flatness of the probe card by applying a current to at least one of the probe pins and applying the current and the other probe pins to maintain the floating state, Characteristic of the degree and leakage current measurement system.

또한 본 발명의 상기 정보수집모듈이, 수납공간을 가지는 케이스와, 100 내지 200의 핀수를 가지며 상기 케이스 내부에 복수로 장착하여 각각의 핀수 합계가 상기 프로브카드가 가지는 수천개의 검침핀의 개수와 동일하게 구성하고, 상기 프로브카드를 장착한 상기 인터페이스보드와 케이블로 연결되어 상기 프로브카드의 측정정보를 상기 인터페이스보드로부터 전달받아서 수집하는 다수의 테스트보드들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템에 특징이 있다.In addition, the information collection module of the present invention, the case having a storage space, and has a pin number of 100 to 200, and a plurality of pins are installed inside the case, the total number of each pin is equal to the number of thousands of probe pins that the probe card has And a plurality of test boards configured to be connected to the interface board on which the probe card is mounted and connected to a cable to receive and collect measurement information of the probe card from the interface board. Characteristic of the degree and leakage current measurement system.

또한 본 발명의 상기 테스트보드들이 가지는 핀들이 상기 프로브카드의 검침핀들에 일 대 일 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템에 특징이 있다.In addition, the test board of the present invention is characterized in that the OS, flatness and leakage current measuring system of the probe card, characterized in that one to one pins are connected to the probe pins of the probe card.

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또한 본 발명의 상기 전류측정기는 상기 프로브카드의 검침핀들에 전류 또는 전압인가를 제어하며, 상기 프로브카드의 검침핀들이 플로팅되게 제어하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템에 특징이 있다.In addition, the current measuring device of the present invention is characterized in that the OS, flatness and leakage current measuring system of the probe card to control the application of current or voltage to the probe pins of the probe card, and to control the probe pins of the probe card to float. .

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또한 본 발명은, 프로브카드의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 전압을 인가시키고, 그 검침핀을 제외한 나머지 검침핀들은 그라운드 접점하며, 이를 상기 프로브카드의 검침핀마다 순차적으로 반복하면서 전류가 누설되는 검침핀들을 판별하는 1차측정단계와; 상기 1차측정단계에서 누설전류량이 측정된 상기 프로브카드의 검침핀들 중 테스트하고자 하는 두 검침핀을 선택하여 어느 하나는 전압인가하고, 다른 하나는 그라운드 접점하며, 나머지 검침핀들은 플로팅상태로 유지시키는 것을 상기 1차측정단계에서 누설전류가 측정된 검침핀들에 반복실시하여 검침핀과 검침핀사이의 누설전류를 측정하는 제2측정단계로 이루어지는 프로브카드의 누설전류 측정방법에 특징이 있다.In addition, the present invention, the voltage is applied to any one of the probe pins of the probe pin of the probe card, the other probe pins except the probe pin is a ground contact, the current leaks while sequentially repeating this for each probe pin of the probe card A first measurement step of determining the meter reading pins; Among the probe pins of the probe card in which the leakage current is measured in the first measurement step, two probe pins to be tested are selected, one of which is a voltage, the other is a ground contact, and the other probe pins are kept in a floating state. It is characterized in that the leakage current measurement method of the probe card consisting of a second measurement step of measuring the leakage current between the metering pin and the metering pin by repeating the measurement to the metering pins the leakage current was measured in the first measurement step.

또한 본 발명은, 프로브카드의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 전류를 인가시키고, 상기 전류가 인가된 검침핀을 제외한 나머지 검침핀들은 그라운드 접점시키며, 이를 검침핀마다 순차적으로 반복하여 쇼트가 발생되는 검침핀들을 판별하는 1차측정단계와;In addition, the present invention, the current is applied to any one of the probe pins of the probe card, the other probe pins except for the current is applied to the probe pins are ground contact, the short occurs by repeating this sequentially for each meter pin A first measurement step of determining the meter reading pins;

상기 제1측정단계에서 쇼트가 발생된 검침핀들 중 테스트하고자 하는 두 검침핀을 선택하여 어느 하나는 전류인가하고, 다른 하나는 그라운드 접점하며, 나머지 검침핀들은 플로팅상태로 유지시키는 것을 상기 1차측정단계에서 쇼트가 발생된 검침핀들에 반복실시하여 검침핀과 검침핀사이의 쇼트여부를 측정하는 제2측정단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS 측정방법에 특징이 있다.In the first measurement step, the first measurement is performed by selecting two probe pins to be tested among the probe pins that are short-circuited, and applying one of them to current, the other to ground contact, and keeping the other probe pins in a floating state. It is characterized in that the OS measurement method of the probe card, characterized in that the second measuring step of measuring whether the short between the metering pin and the metering pin by repeatedly performing the reading pins generated short in the step.

또한 본 발명은, 1) 수천개의 검침핀을 가진 프로브카드를 인터페이스 보드에 장착하는 단계와; 2) 100 내지 200의 핀수를 가지는 테스트보드를 수납공간을 갖는 케이스 내부에 복수로 장착하여 상기 복수의 테스트보드 각각의 핀수 합계가 상기 프로브카드가 가지는 수천개의 검침핀의 개수와 동일하게 구성하고, 상기 프로브카드를 장착한 상기 인터페이스보드와 케이블로 연결하여 정보수집모듈을 구성하는 단계와; 3) 상기 프로브카드를 접지플레이트에 일정 거리만큼 한 단계 근접시키는 단계와; 4) 상기 프로브카드의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 순차적으로 전류를 인가시키고, 나머지 검침핀들은 플로팅상태를 유지하는 것을 순차적으로 반복하면서 상기 접지플레이트와 접지된 해당 검침핀을 검출하는 단계와; 5) 상기 4)의 단계에서 상기 접지플레이트와 접지된 해당 검침핀이 검출되면 그 검출된 데이터를 상기 테스트보드에 저장하는 단계와; 6) 상기 테스트보드에 저장된 정보를 메인컴퓨터로 전송하는 단계를 포함하며; 상기 1)~6)의 단계가 반복하여 실시되면서 상기 프로브카드의 평탄도가 측정되는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 평탄도 측정방법에 특징이 있다.In another aspect, the present invention, 1) mounting a probe card having thousands of probe pins on the interface board; 2) A plurality of test boards having a pin number of 100 to 200 are mounted in a case having a storage space, and the total number of pins of each of the plurality of test boards is equal to the number of thousands of probe pins of the probe card. Constructing an information collection module by connecting the interface board equipped with the probe card with a cable; 3) bringing the probe card one step closer to the ground plate; 4) sequentially applying current to any one of the probe pins of the probe card, and repeatedly detecting the other probe pins while maintaining the floating state, and detecting the ground plate and the corresponding probe pin grounded; ; 5) storing the detected data on the test board when the corresponding probe pin grounded with the ground plate is detected in step 4); 6) transmitting information stored in the test board to a main computer; The flatness of the probe card is characterized in that the flatness of the probe card is measured while the steps 1) to 6) are repeatedly performed.

본 발명에 따른 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정방법 및 그 시스템에 의하면, 프로브카드에 전류 또는 전압을 인가하여 수천개의 검침핀들 중 쇼트, 누설전류가 발생된 해당 검침핀들을 정확히 식별해낼 수 있고, 기구적 및 전자적인 시스템의 구성으로 프로브카드의 수천개의 검침핀들의 평탄도를 신속하고 정확하게 측정할 수 있으며, 이에 따라 작업자의 수작업 또는 육안으로 평탄도를 측정하였던 종래에 비해 프로브카드의 검사가 정확하게 이루어지므로 프로브카드의 생산성이 향상되고, 인건비 절감에 따라 검사비용이 절감될 수 있는 등의 효과가 있다.According to the OS, flatness and leakage current measuring method and system of the probe card according to the present invention, by applying current or voltage to the probe card, it is possible to accurately identify the corresponding probe pins in which short and leakage currents are generated among thousands of probe pins. It is possible to measure the flatness of thousands of probe pins of the probe card quickly and accurately with the configuration of mechanical and electronic system. Therefore, the flatness of the probe card can be measured by manual or visual inspection by the operator. Since the inspection is accurate, the productivity of the probe card is improved, and the inspection cost can be reduced according to the labor cost.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 프로브카드 검사 장치의 구성을 보이는 개략적 구성도로써, 본 발명 프로브카드 검사 장치는 도1과 같이 정보수집모듈(20), 인터페이스 보드(23), 접지플레이트(25), 메인컴퓨터(10)로 대분된다.1 is a schematic configuration diagram showing the configuration of a probe card inspection apparatus according to the present invention, the probe card inspection apparatus of the present invention, the information collection module 20, the interface board 23, the ground plate 25, It is divided into main computer 10.

정보수집모듈(20)은, 프로브카드(24)의 평탄도 및 누설전류 측정값을 수집하여 후술할 메인컴퓨터(10)로 전달하며, 이는 수납공간을 가지는 케이스(21)와, 상기 케이스(21)의 수납공간에 장착되는 테스트보드(22)로 구성된다.The information collection module 20 collects the flatness and leakage current measurement values of the probe card 24 and transmits the measured values to the main computer 10 to be described later, which includes a case 21 having a storage space and the case 21. It consists of a test board 22 mounted in the storage space.

여기서, 테스트보드(22)는 미리 정해진 핀수를 가지고 상기 케이스(21)의 내부에 장착되는바, 프로브카드(24)가 수천의 검침핀을 가지므로 통상 100 ~ 200(Pin)을 가지는 것이 바람직하다.Here, the test board 22 has a predetermined number of pins and is mounted inside the case 21. Since the probe card 24 has thousands of probe pins, the test board 22 preferably has 100 to 200 (Pin). .

그리고 테스트보드(22)는 프로브카드(24)의 검침핀수에 따라 케이스(21)에 장착되는 갯수를 달리하는바, 예컨대 프로브카드(24)가 5000개의 검침핀으로 구성되면 상기 테스트보드(22)의 핀수가 200핀일 경우 25개의 갯수로 상기 케이스(21) 내부에 장착된다.And the test board 22 is different from the number mounted on the case 21 according to the number of probe pins of the probe card 24, for example, if the probe card 24 is composed of 5000 meter pins the test board 22 If the number of pins is 200 pins, the number of 25 is mounted inside the case 21.

또한 테스트보드(22)는 프로브카드(24)와 연결되는 것으로, 후술할 인터페이스 보드(23)와 케이블(26)로 연결되어 상기 인터페이스 보드(23)에 장착된 프로브카드(24)와 연결되고, 이때 테스트보드(22)의 각 핀(미도시)들은 프로브카드(24)의 검침핀들과 일 대 일 연결된다.In addition, the test board 22 is connected to the probe card 24, the interface board 23 to be described later and the cable 26 is connected to the probe card 24 mounted on the interface board 23, At this time, each pin (not shown) of the test board 22 is connected one-to-one with the metering pins of the probe card 24.

인터페이스 보드(23)는, 하부 또는 상부에 프로브카드(24)가 장착되고, 이때 인터페이스 보드(23)의 하부 또는 상부에 상기 프로브카드(24)의 검침핀들에 각각 대응되는 다수의 핀들로 상기 프로브카드(24)와 연결된다.The interface board 23 has a probe card 24 mounted at a lower portion or an upper portion thereof, and at this time, the probes are provided with a plurality of pins respectively corresponding to the probe pins of the probe card 24 at the lower portion or the upper portion of the interface board 23. It is connected with the card 24.

그리고 정보수집모듈(20)의 테스트보드(22)들과 케이블(26)로 연결되어 프로브카드(24)의 쇼트, 누설전류 및 평탄도 등의 상태를 상기 테스트보드(22)들에 전달하며, 도1과 같이 후술할 접지플레이트(25)의 상부에 위치되어 공압실린더 등과 같은 하강수단에 의해 하부에 고정된 접지플레이트(25)측으로 하강되도록 설치되거나, 접지플레이트(25)의 하부에 고정될 수도 있다.And connected to the test boards 22 and the cable 26 of the information acquisition module 20 to transfer the state of the short, leakage current and flatness of the probe card 24 to the test boards 22, As shown in FIG. 1, it may be installed on the ground plate 25 to be described later and lowered to the ground plate 25 fixed to the lower side by a lowering means such as a pneumatic cylinder, or fixed to the lower portion of the ground plate 25. have.

접지플레이트(25)는, 상기 인터페이스보드(23)에 장착된 프로브카드(24)와 대향되게 위치되는바, 이는 도1과 같이 상기 프로브카드(24)의 하부에 고정되거나, 프로브카드(24)의 상부에서 상기 프로브카드(24)와 대향되게 위치되어 상기 프로브카드(24)측으로 하강되게 설치될 수도 있다.The ground plate 25 is positioned to face the probe card 24 mounted on the interface board 23, which is fixed to the bottom of the probe card 24 as shown in FIG. 1, or the probe card 24. It may be installed to be lowered toward the probe card 24 is located opposite to the probe card 24 at the top of the.

메인컴퓨터(10)는, 정보수집모듈(20)과 전기적으로 연결되어 상기 정보수집모듈(20)의 테스트보드(22)들에 수집된 정보를 인가받아서 모니터에 표시한다.The main computer 10 is electrically connected to the information collection module 20 and receives information collected by the test boards 22 of the information collection module 20 and displays it on the monitor.

그리고 메인컴퓨터(10)는 시스템의 시작 및 프로브카드(24)의 상하이동을 제어한다.The main computer 10 then controls the start of the system and the movement of the probe card 24.

한편, 상기 프로브카드(24)와 연결되어 상기 프로브카드(24)의 쇼트 및 상기 프로브카드(24)의 누설전류를 측정하는 전류측정기(27)가 더 구비될 수 있으며, 상기 프로브카드(24)의 검침핀들에 전류 또는 전압인가를 제어하며, 상기 프로브카드(24)의 검침핀들이 플로팅(floating) 즉, ＋접지나, －접지 중 어디에도 접지되지 않은 상태가 되도록 제어할 수 있다.Meanwhile, a current measuring device 27 connected to the probe card 24 may measure a short of the probe card 24 and a leakage current of the probe card 24, and the probe card 24 may be further provided. It is possible to control the application of current or voltage to the probe pins of the probe card 24 so that the probe pins of the probe card 24 are not floating, i.e., + ground or-ground.

이와 같이 구성된 프로브카드 검사 시스템으로 프로브카드(24)의 쇼트, 누설전류 및 평탄도와 같은 다양한 검사를 실시할 수 있는바, 그 실시예를 설명하면 다음과 같다.With the probe card inspection system configured as described above, various inspections such as short, leakage current and flatness of the probe card 24 can be performed.

먼저, 프로브카드(24)의 쇼트 즉, OS 테스트(Open Shot)를 실시할시는, 상기 프로브카드(24) 전체의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 전류를 인가시키고, 그 검침핀을 제외한 나머지 검침핀들은 그라운드 접점시키며, 이를 최초 시작부터 끝의 검침핀까지 순차적으로 반복하여 실시한다.First, when a short of the probe card 24, that is, an OS test (Open Shot), a current is applied to any one of the probe pins of the entire probe card 24, except for the probe pin The other metering pins are ground contacted, and they are repeated in sequence from the beginning to the end of the metering pins.

즉, 프로브카드(24)의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀을 제외한 모든 검침핀들을 그라운드 접점하고 선택된 하나의 검침핀에 전류를 인가하여 쇼트가 발생되었는지를 검사하며, 검사가 완료된 선택 검침핀은 그라운드 접점시키고 그 검침핀에 순차적으로 배열된 다음의 검침핀에 전류를 인가하여 쇼트가 발생되었는지를 검사하고, 이와 같은 과정을 반복하면서 프로브카드(24)의 검침핀들의 쇼트발생여부를 검사하며, 그 검사 결과는 쇼트가 발생된 해당 검침핀과 일대일 연결된 정보수집모듈(20)의 테스트보드(22)에 저장되며, 이와 동시에 전류측정기(27)에 전압이 출력되고, 테스트보드(22)에 저장된 정보는 다시 메인컴퓨터(10)로 전달되어 작업자가 전류측정기(27) 및 메인컴퓨터(10)를 확인하여 쇼트가 발생된 검침핀들을 확인한다.That is, all the probe pins except for one of the probe pins of the probe card 24 are ground contacted, and a current is applied to the selected one of the probe pins to check whether a short is generated. Check whether a short has occurred by applying a current to the next metering pin which is sequentially arranged on the metering pin, and then repeats the process, and checks whether the metering pins of the probe card 24 are shorted. The test result is stored in the test board 22 of the information acquisition module 20 one-to-one connected to the corresponding metering pin that is short, and at the same time a voltage is output to the current meter 27, stored in the test board 22 The information is transmitted back to the main computer 10 so that the operator checks the current meter 27 and the main computer 10 to check the metering pins in which the short is generated.

이와 같은 1차단계의 쇼트 검사가 완료되면 2차단계에서 더욱 정밀하게 쇼트검사를 실시하는데, 이때 상기 1차단계에서 쇼트가 발생된 검침핀들 중 테스트하고자 하는 두 검침핀을 선택하여 어느 하나는 전류를 인가하고, 다른 하나는 그라운드 접점시킨다.When the short test of the first stage is completed, the short test is carried out more precisely in the second stage. At this time, one of the two test pins to be tested is selected from among the probe pins that are shorted in the first stage. Is applied and the other is ground contacted.

그리고 나머지 검침핀들은 ＋,－ 접점을 하지않은 플로팅상태로 유지시키며, 이를 1차단계에서 쇼트가 발생된 검침핀들에 반복 실시하면서 검침핀과 검침핀사이의 쇼트여부 즉, 어느 검침핀과 어느 검침핀이 붙어서 쇼트가 발생되었는지를 정확하게 판별하게 되며, 그 검사 결과는 판별된 프로브카드(24)의 해당핀과 일대일 연결된 정보수집모듈(20)의 테스트보드(22)에 저장되며, 이와 동시에 전류측정기(27)에 전압이 출력되고, 테스트보드(22)에 저장된 정보는 다시 메인컴퓨터(10)로 전달되어 작업자가 이를 확인한다.And the other metering pins are kept in a floating state without + and-contacts, and this is repeatedly performed on the metering pins in which the short is generated in the first step, and the short between the metering pin and the metering pin, that is, which metering pin and which meter The pin is attached to determine whether a short is generated accurately, the test result is stored in the test board 22 of the information acquisition module 20 connected one-to-one with the corresponding pin of the determined probe card 24, and at the same time the current meter The voltage is output to the 27, and the information stored in the test board 22 is transferred to the main computer 10 again to confirm the operator.

이에 따라, 상호 관계에 의해 쇼트가 발생된 검침핀들을 정확히 판별하여 해당 검침핀들을 정확하고 신속하게 보정할 수 있게 된다.Accordingly, by accurately determining the metering pins generated by the short circuit due to the mutual relationship, it is possible to correct the metering pins accurately and quickly.

또한 누설전류의 측정시는, 프로브카드(24)의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 전압을 인가시키고, 그 검침핀을 제외한 나머지 검침핀들은 그라운드 접점하며, 이를 상기 프로브카드(24)의 검침핀마다 순차적으로 반복하면서 전류가 누설되는 검침핀들을 판별한다.In addition, when measuring leakage current, a voltage is applied to any one of the probe pins of the probe card 24, and the other probe pins except for the probe pin are ground contacts, and the probe of the probe card 24 is read. Iteratively repeats each pin to determine the metering pins that leak current.

즉, 프로브카드(24)의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀을 제외한 모든 검침핀들을 그라운드 접점하고 선택된 하나의 검침핀에 전압을 인가하여 쇼트가 발생되었는지를 검사하며, 검사가 완료된 선택 검침핀은 그라운드 접점시키고 그 검침핀에 순차적으로 배열된 다음의 검침핀에 전류를 인가하여 누설전류량이 있는지를 검사하고, 이와 같은 과정을 반복하면서 프로브카드(24)의 검침핀들의 누설전류를 검사하며, 그 검사 결과는 쇼트가 발생된 해당 검침핀과 일대일 연결된 정보수집모듈(20)의 테스트보드(22)에 저장되며, 이와 동시에 전류측정기(27)에 누설전류량이 출력되며, 테스트보드(22)에 저장된 정보는 다시 메인컴퓨터(10)로 전달되어 작업자가 이를 확인한다.That is, all the probe pins except for one of the probe pins of the probe card 24 are ground contacted and a voltage is applied to one of the selected probe pins to check whether a short is generated. Check whether there is a leakage current by applying a current to the next reading pin arranged in sequence with the ground contact point, and checking the leakage current of the probe pins of the probe card 24 while repeating the above process. The test result is stored in the test board 22 of the information acquisition module 20 one-to-one connected to the corresponding metering pin where the short is generated, and at the same time, the amount of leakage current is output to the current meter 27 and stored in the test board 22. The information is passed back to the main computer 10 and the worker confirms this.

이와 같이 1차측정단계의 누설전류측정이 완료되면 다시 2차측정단계에서 더욱 정밀하게 누설전류여부를 측정하게 되는데, 상기 1차측정단계에서 누설전류량이 측정된 상기 프로브카드(24)의 검침핀들 중 테스트하고자 하는 두 검침핀을 선택하여 어느 하나는 전압인가하고, 다른 하나는 그라운드 접점하며, As such, when the leakage current measurement of the primary measurement step is completed, the leakage current is measured more accurately in the secondary measurement step. The probe pins of the probe card 24 in which the leakage current amount is measured in the primary measurement step are measured. Select two metering pins to test, one is voltage, the other is ground contact,

그리고 나머지 검침핀들은 ＋,－ 접점을 하지않은 플로팅상태로 유지시키며, 이를 1차단계에서 누설전류량이 측정된 검침핀들에 반복 실시하면서 검침핀과 검침핀사이의 쇼트여부 즉, 어느 검침핀과 어느 검침핀이 사이에서 누설전류량이 측정되었는지를 정확하게 판별하게 되며, 그 검사 결과는 판별된 프로브카드(24)의 해당 검침핀과 일대일 연결된 정보수집모듈(20)의 테스트보드(22)에 저장되며, 이와 동시에 전류측정기(27)에 전압이 출력되고, 테스트보드(22)에 저장된 정보는 다시 메인컴퓨터(10)로 전달되어 작업자가 이를 확인한다.The remaining probe pins are kept in a floating state without the + and-contacts, and are repeatedly performed on the probe pins in which the leakage current is measured in the first step, and a short between the probe pin and the probe pin, that is, which probe pin and which The metering pin pin accurately determines whether the amount of leakage current is measured, and the test result is stored in the test board 22 of the information acquisition module 20 connected one-to-one with the corresponding metering pin of the determined probe card 24, At the same time, the voltage is output to the current meter 27, the information stored in the test board 22 is transferred to the main computer 10 again to check the operator.

이에 따라, 상호 관계에 의해 누설전류량이 측정된 검침핀들을 정확히 판별하여 해당 검침핀들을 정확하고 신속하게 보정할 수 있게 된다.Accordingly, by accurately determining the metering pins measured by the leakage current amount by the mutual relationship, it is possible to accurately and quickly correct the metering pins.

한편 프로브카드(24)의 검침핀들의 평탄도를 측정시는, 프로브카드(24)가 도1과 같이 인터페이스보드(23)의 하부에 고정된 상태에서 미리 설정된 이동거리 만큼 인터페이스보드(23)를 단계적으로 상기 접지플레이트(25)측으로 하강시키면서 평탄도를 측정하게 되며, 이는 1) 수천개의 검침핀을 가진 프로브카드를 인터페이스 보드에 장착하는 단계와; 2) 100 내지 200의 핀수를 가지는 테스트보드를 상기 케이스 내부에 복수로 장착하여 상기 복수의 테스트보드 각각의 핀수 합계가 상기 프로브카드가 가지는 수천개의 검침핀의 개수와 동일하게 구성하고, 상기 프로브카드를 장착한 상기 인터페이스보드와 케이블로 연결하여 정보수집모듈을 구성하는 단계와; 3) 상기 프로브카드를 접지플레이트에 일정 거리만큼 한 단계 근접시키는 단계와; 4) 상기 프로브카드의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 순차적으로 전류를 인가시키고, 나머지 검침핀들은 플로팅상태를 유지하는 것을 순차적으로 반복하면서 상기 접지플레이트와 접지된 해당 검침핀을 검출하는 단계와; 5) 상기 4)의 단계에서 상기 접지플레이트와 접지된 해당 검침핀이 검출되면 그 검출된 데이터를 상기 테스트보드에 저장하는 단계와; 6) 상기 테스트보드에 저장된 정보를 메인컴퓨터로 전송하는 단계로 이루어진다.Meanwhile, when measuring the flatness of the probe pins of the probe card 24, the interface board 23 is moved by a predetermined moving distance in a state where the probe card 24 is fixed to the lower portion of the interface board 23 as shown in FIG. The flatness is measured while descending to the ground plate 25 step by step, which includes: 1) mounting a probe card having thousands of probe pins on an interface board; 2) A plurality of test boards having a pin number of 100 to 200 are mounted in the case, and the total number of pins of each of the plurality of test boards is equal to the number of thousands of probe pins of the probe card. Configuring an information collection module by connecting to the interface board equipped with a cable; 3) bringing the probe card one step closer to the ground plate; 4) sequentially applying current to any one of the probe pins of the probe card, and repeatedly detecting the other probe pins while maintaining the floating state, and detecting the ground plate and the corresponding probe pin grounded; ; 5) storing the detected data on the test board when the corresponding probe pin grounded with the ground plate is detected in step 4); 6) transmitting the information stored in the test board to the main computer.

이를 자세히 설명하면, 상기 1)~2)의 단계를 실시하여 도1과 같이 구성한 후, 상기 3)의 단계에서 프로브카드(24)를 미리 설정된 이동거리 만큼 1차 하강시켜서 상기 접지플레이트(25)에 근접시킨다.In detail, the steps 1) to 2) are performed as shown in FIG. 1, and then the probe card 24 is first lowered by a predetermined moving distance in the step 3) to the ground plate 25. Close to

그리고 상기 4)의 단계에서는, 상기 프로브카드(24)가 하강된 상태에서 프로브카드(24)의 검침핀들 중 1번의 검침핀부터 시작하여 마지막의 검침핀까지 각각의 검침핀들에 단독으로 전류를 인가하며, 하나의 검침핀에 전류가 인가될시 다른 검침핀들은 플로팅 상태를 유지시킨다.In the step 4), the current is applied to each of the probe pins independently from the probe pin of the probe pins of the probe card 24 to the last probe pin while the probe card 24 is lowered. When current is applied to one of the metering pins, the other metering pins remain in a floating state.

이와 같은 과정 중에 어느 하나의 검침핀이 접지플레이트(25)와 쇼트(Shot)가 발생되면, 그 결과는 상기 5)의 단계에서 상기 검출핀과 일대일 연결된 핀을 가진 테스트보드(22)에 저장되며, 테스트보드(22)에 저장된 정보는 상기 6)의 단계에서 메인컴퓨터(10)로 전송되며, 이에 따라 작업자가 메인컴퓨터(10)를 통하여 확인 가능하고, 이와 같은 과정은 본 발명에 따른 시스템에 의해 자동 실행된다.When one of the metering pins is shorted with the ground plate 25 and shot during the process, the result is stored in the test board 22 having pins connected one-to-one with the detection pin in step 5). The information stored in the test board 22 is transmitted to the main computer 10 in the step 6, and thus the operator can check the main computer 10 through the main computer 10. Is executed automatically.

이와 같은 전체의 과정이 1차 실시되면 다시 동일한 과정을 수회 실시하게 되며, 상기 과정을 수회 실시중 상기 접지플레이트(25)에 상기 프로브카드(24)의 거의 모든 검침핀들이 접지되어 쇼트가 발생되면 더 이상의 검사를 중지하며, 처음 쇼트가 발생된 검침핀의 지점과 거의 모든 검침핀들이 쇼트가 발생된 지점의 차이를 계산하여 프로브카드(24)의 평탄도 정도를 판별한다.When the entire process is first performed, the same process is performed again several times. When the process is performed several times, almost all the probe pins of the probe card 24 are grounded to the ground plate 25, and a short is generated. The test stops further, and the degree of flatness of the probe card 24 is determined by calculating the difference between the point where the first short is generated and the point where almost all the test pins are short.

이러한 프로브카드(24)의 평탄도 검사가 완료되면 작업자는 측정된 평탄도를 기준으로 프로브카드(24)의 균일한 평탄도를 유지하는 검침핀들을 제외하고 상기 검침핀들보다 길거나 짧은 검침핀들을 교체하여 프로브카드(24)를 보정하거나, 검침핀의 평탄도 차이가 심한 프로브카드(24)는 불량처리하여 폐기처분 하게 된다.When the flatness test of the probe card 24 is completed, the operator replaces the probe pins longer or shorter than the probe pins except for the probe pins that maintain the uniform flatness of the probe card 24 based on the measured flatness. The probe card 24 is corrected, or the probe card 24 having a severe difference in the flatness of the metering pin is disposed of by defective treatment.

이에 따라, 프로브카드(24)의 평탄도를 자동화 시스템으로 매우 신속하게 측정할 수 있으며, 수천개의 검침핀을 가진 프로브카드(24)의 평탄도를 신속하게 측정할 수 있으므로 프로브카드(24)의 생산성이 향상되고, 불량이 없는 매우 정밀한 프로브카드(24)를 생산할 수 있게 된다.Accordingly, the flatness of the probe card 24 can be measured very quickly by an automated system, and the flatness of the probe card 24 having thousands of probe pins can be quickly measured. Productivity is improved and it is possible to produce a very precise probe card 24 without defects.

도 1은 본 발명에 따른 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템의 구성을 보이는 개략적 구성도.1 is a schematic diagram showing the configuration of the OS, flatness and leakage current measuring system of the probe card according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 ; 메인컴퓨터 20 ; 정보수집모듈10; Main computer 20; Information collection module

21 ; 케이스 22 ; 테스트보드21; Case 22; Test board

23 ; 인터페이스 보드 24 ; 프로브카드23; Interface board 24; Probe card

25 ; 접지플레이트 26 ; 케이블25; Ground plate 26; cable

27 ; 전류측정기27; Current meter

Claims (10)

프로브카드의 평탄도 및 누설전류 측정정보가 수집되는 정보수집모듈과;An information collection module for collecting flatness and leakage current measurement information of the probe card; 상기 프로브카드가 하부에 장착되고 그 프로브카드를 상기 정보수집모듈에 전기적으로 연결하며, 상기 정보수집모듈과 케이블로 연결되는 인터페이스보드와;An interface board mounted below the probe card and electrically connecting the probe card to the information collection module, the interface board being connected to the information collection module by a cable; 상기 프로브카드와 대향되게 위치되어 그라운드 접지되며 상기 프로브카드의검침핀이 접지되는 접지플레이트와;A ground plate positioned opposite to the probe card and grounded, and having a probe pin of the probe card grounded; 상기 정보수집모듈과 전기적으로 연결되어 상기 정보수집모듈에 수집된 정보가 전달되고 상기 프로브카드의 평탄도 및 누설전류의 측정을 제어하는 메인컴퓨터와;A main computer electrically connected to the information collection module to transfer the collected information to the information collection module and to control the flatness and leakage current of the probe card; 상기 프로브카드와 연결되어 상기 프로브카드의 쇼트 및 상기 프로브카드의 누설전류를 측정하는 전류측정기를 포함하며,A current meter connected to the probe card to measure a short of the probe card and a leakage current of the probe card, 상기 프로브카드의 검침핀들 중 선택된 적어도 하나에는 전류를 인가시키고 나머지 검침핀들은 그라운드 접점시키는 것을 반복하면서 전류가 누설되는 검침핀 및 쇼트가 발생되는 검침핀들을 판별하여 상기 프로브카드의 누설전류 및 OS(Open Shot)를 측정하고,The current is applied to at least one selected among the probe pins of the probe card and the other probe pins are ground contacted, and the probe pins for leaking current and the probe pins for short are generated to determine leakage current and OS of the probe card. Open Shot) 상기 프로브카드를 상기 접지플레이트에 일정 거리만큼 한 단계 근접시킨 후 상기 검침핀들 중 선택된 적어도 하나에는 전류를 인가시키고 나머지 검침핀들은 플로팅 상태를 유지하는 것을 반복하면서 상기 접지플레이트와 접지되는 검침핀들을 판별하여 상기 프로브카드의 평탄도를 측정하는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템.After the probe card is moved closer to the ground plate by a predetermined distance, current is applied to at least one selected among the metering pins, and the other metering pins are repeatedly maintained to float, and the metering pins grounded to the grounding plate are identified. OS, flatness and leakage current measurement system of the probe card, characterized in that for measuring the flatness of the probe card. 제1항에 있어서, 상기 정보수집모듈이,The method of claim 1, wherein the information collection module, 수납공간을 가지는 케이스와,Case with storage space, 100 내지 200의 핀수를 가지며 상기 케이스 내부에 복수로 장착하여 각각의 핀수 합계가 상기 프로브카드가 가지는 수천개의 검침핀의 개수와 동일하게 구성하고, 상기 프로브카드를 장착한 상기 인터페이스보드와 케이블로 연결되어 상기 프로브카드의 측정정보를 상기 인터페이스보드로부터 전달받아서 수집하는 다수의 테스트보드들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템.It has a pin number of 100 to 200 and a plurality of pins are installed in the case so that the total number of pins is the same as the number of thousands of probe pins of the probe card, and the cable is connected to the interface board on which the probe card is mounted. And a plurality of test boards collecting and collecting the measurement information of the probe card from the interface board. 삭제delete 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 테스트보드들이 가지는 핀들이 상기 프로브카드의 검침핀들에 일 대 일 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템.The test card OS, flatness and leakage current measuring system of the probe card, characterized in that the pins that the test board has one to one connected to the probe pins of the probe card. 삭제delete 삭제delete 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 전류측정기는 상기 프로브카드의 검침핀들에 전류 또는 전압인가를 제어하며, 상기 프로브카드의 검침핀들이 플로팅되게 제어하는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS, 평탄도 및 누설전류 측정시스템.The current measuring device controls the application of current or voltage to the probe pins of the probe card, the probe pin OS, flatness and leakage current measuring system, characterized in that for controlling to float. 프로브카드의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 전압을 인가시키고, 그 검침핀을 제외한 나머지 검침핀들은 그라운드 접점하며, 이를 상기 프로브카드의 검침핀마다 순차적으로 반복하면서 전류가 누설되는 검침핀들을 판별하는 1차측정단계와;A voltage is applied to any one of the probe pins of the probe card, and the other probe pins except for the probe pin are ground contacts. A first measurement step of performing; 상기 1차측정단계에서 누설전류량이 측정된 상기 프로브카드의 검침핀들 중 테스트하고자 하는 두 검침핀을 선택하여 어느 하나는 전압인가하고, 다른 하나는 그라운드 접점하며, 나머지 검침핀들은 플로팅상태로 유지시키는 것을 상기 1차측정단계에서 누설전류가 측정된 검침핀들에 반복실시하여 검침핀과 검침핀사이의 누설전류를 측정하는 제2측정단계로 이루어지는 프로브카드의 누설전류 측정방법.Among the probe pins of the probe card in which the leakage current is measured in the first measurement step, two probe pins to be tested are selected, one of which is a voltage, the other is a ground contact, and the other probe pins are kept in a floating state. And repeating the measurement of the leakage current measured in the first measurement step to measure the leakage current between the probe pin and the probe pin. 프로브카드의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 전류를 인가시키고, 상기 전류가 인가된 검침핀을 제외한 나머지 검침핀들은 그라운드 접점시키며, 이를 검침핀마다 순차적으로 반복하여 쇼트가 발생되는 검침핀들을 판별하는 1차측정단계와;A current is applied to one of the probe pins of the probe card, and the other probe pins except for the probe pins to which the current is applied are grounded contacts, and the probe pins are repeatedly determined in sequence for each of the probe pins. A first measurement step of performing; 상기 제1측정단계에서 쇼트가 발생된 검침핀들 중 테스트하고자 하는 두 검침핀을 선택하여 어느 하나는 전류인가하고, 다른 하나는 그라운드 접점하며, 나머지 검침핀들은 플로팅상태로 유지시키는 것을 상기 1차측정단계에서 쇼트가 발생된 검침핀들에 반복실시하여 검침핀과 검침핀사이의 쇼트여부를 측정하는 제2측정단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 OS 측정방법.In the first measurement step, the first measurement is performed by selecting two probe pins to be tested among the probe pins that are short-circuited, and applying one of them to current, the other to ground contact, and keeping the other probe pins in a floating state. The method of measuring the OS of the probe card, characterized in that the second measuring step of repeating the short-produced metering pin in the step to measure the short between the metering pin and the metering pin. 1) 수천개의 검침핀을 가진 프로브카드를 인터페이스 보드에 장착하는 단계와;1) mounting a probe card having thousands of probe pins to the interface board; 2) 100 내지 200의 핀수를 가지는 테스트보드를 수납공간을 갖는 케이스 내부에 복수로 장착하여 상기 복수의 테스트보드 각각의 핀수 합계가 상기 프로브카드가 가지는 수천개의 검침핀의 개수와 동일하게 구성하고, 상기 프로브카드를 장착한 상기 인터페이스보드와 케이블로 연결하여 정보수집모듈을 구성하는 단계와;2) A plurality of test boards having a pin number of 100 to 200 are mounted in a case having a storage space, and the total number of pins of each of the plurality of test boards is equal to the number of thousands of probe pins of the probe card. Constructing an information collection module by connecting the interface board equipped with the probe card with a cable; 3) 상기 프로브카드를 접지플레이트에 일정 거리만큼 한 단계 근접시키는 단계와;3) bringing the probe card one step closer to the ground plate; 4) 상기 프로브카드의 검침핀들 중 어느 하나의 검침핀에 순차적으로 전류를 인가시키고, 나머지 검침핀들은 플로팅상태를 유지하는 것을 순차적으로 반복하면서 상기 접지플레이트와 접지된 해당 검침핀을 검출하는 단계와;4) sequentially applying current to any one of the probe pins of the probe card, and repeatedly detecting the other probe pins while maintaining the floating state, and detecting the ground plate and the corresponding probe pin grounded; ; 5) 상기 4)의 단계에서 상기 접지플레이트와 접지된 해당 검침핀이 검출되면 그 검출된 데이터를 상기 테스트보드에 저장하는 단계와;5) storing the detected data on the test board when the corresponding probe pin grounded with the ground plate is detected in step 4); 6) 상기 테스트보드에 저장된 정보를 메인컴퓨터로 전송하는 단계를 포함하며;6) transmitting information stored in the test board to a main computer; 상기 1)~6)의 단계가 반복하여 실시되면서 상기 프로브카드의 평탄도가 측정되는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 평탄도 측정방법.The method of measuring the flatness of the probe card, characterized in that the flatness of the probe card is measured while repeating the steps 1) to 6).
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