KR102462633B1 - 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치 및 제어방법 - Google Patents

소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치 및 제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 수소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 수소가스 공급라인; 질소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 질소가스 공급라인; 산소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 질소가스 공급라인; 상기 수소가스 및 질소가스가 혼합되어 제1 혼합가스를 제조하는 제1 혼합기; 상기 산소가스 및 질소가스가 혼합되어 제2 혼합가스를 제조하는 제2 혼합기; 및 상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스가 혼합되어 제3 혼합가스를 제조하는 제3 혼합기를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 질소와 수소가 혼합된 제1 혼합가스 및 질소와 산소가 혼합된 제2 혼합가스를 고온의 반응로에서 반응시켜, 수소와 산소의 반응으로, 설정된 이슬점의 수분량이 생성될 수 있으므로, 구성이 단순하여 분위기가스 이슬점 제어 설비 구성 비용을 절감할 수 있으며, 또한, 이슬점 제어 정확도를 향상시킬 수 있다.

Description

소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치 및 제어방법 {APPARATUS METHODE FOR CONTROLLING DEW POINT OF ATMOSPHERE GAS IN ANNEALING FURNACE}
본 발명은 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치 및 제어방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 연속소둔로 내부의 분위기가스 이슬점을 조절할 때, 분위기 가스로 공급되는 질소 및 수소의 혼합가스에 질소 및 산소의 혼합가스를 첨가하여, 고온의 반응로에서 수소와 산소를 결합시켜 생성된 수분으로 이슬점을 제어하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치 및 제어방법에 관한 것이다.
강판 중의 탄소분을 제거해 원하는 품질을 얻는데 있어서, 소둔로 내의 분위기 가스의 이슬점 제어가 중요하다.
종래에는 연속 소둔로 분위기가스의 이슬점을 제어하기 위해, 질소를 통과 시켜 수분을 공급하기 위한 물 저장탱크 및 물의 온도와 레벨을 제어하기 위한 장치를 이용하여, 질소를 일정 온도의 물에 통과시켜 분위기가스에 수분을 공급하여 이슬점을 제어하였다.
그러나, 상기 방법은 질소를 일정 온도의 물에 통과시켜 얻어지는 수분의 양이 일정하지 않아 이슬점 제어가 부정확하고, 물의 레벨 제어 이상 발생시 소둔로에 물이 그대로 공급됨에 따라, 사고 가능성이 증가하였다. 또한 설비가 복잡하여 물 저장탱크, 온도 및 물의 레벨 제어를 위한 장치의 비용이 증가하는 원인이 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 사정을 감안하여 안출된 것으로서, 연속 소둔로에 분위기가스로 공급되는 수소를 고온의 반응로에서 첨가된 산소와의 결합으로 생성된 수분으로 분위기 가스의 수분량을 조절하는 것에 의해, 연속 소둔로 분위기가스 이슬점을 제어하는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 수소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 수소가스 공급라인; 질소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 질소 유량계를 포함하는 질소가스 공급라인; 산소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 산소 유량계를 포함하는 산소가스 공급라인; 상기 수소가스 및 질소가스가 혼합되어 제1 혼합가스를 제조하는 제1 혼합기; 상기 산소가스 및 질소가스가 혼합되어 제2 혼합가스를 제조하는 제2 혼합기; 및 상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스가 혼합되어 제3 혼합가스를 제조하는 제3 혼합기를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치가 제공된다.
상기 제어장치는 질소가스 및 수소가스의 유량을 제어하는 분위기 가스 유량 제어계 및 산소가스의 유량을 제어하는 산소 가스 유량 제어계를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제어장치는 제1 혼합가스에 포함된 수소 가스의 양을 측정하는 수소 분석기를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제어장치는 제2 혼합가스에 포함된 산소 가스의 양을 측정하는 산소 분석기를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제어장치는 제3 혼합가스의 이슬점을 측정하기 위한 온도계를 추가로 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 소둔로에 투입되는 분위기 가스의 유량 및 이슬점을 설정하는 단계; 질소가스 및 수소가스를 혼합하여 제1 혼합가스를 제조하는 단계; 질소가스 및 산소가스를 혼합하여 제2 혼합가스를 제조하는 단계; 상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스를 혼합하여, 수분을 포함하는 분위기 가스를 제조하는 단계; 및 상기 분위기 가스를 소둔로에 투입하는 단계를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법이 제공된다.
상기 제1 혼합가스를 제조하는 단계는 질소가스의 유량을 설정하는 단계; 및 상기 질소가스의 유량에 수소가스의 혼합 비율을 곱하여 수소가스의 유량을 도출하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 혼합가스를 제조하는 단계 이후, 제1 혼합가스에 포함된 질소 및 수소의 비율을 측정하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제2 혼합가스를 제조하는 단계는 산소가스의 유량을 설정하는 단계; 및 상기 산소가스의 유량에 질소가스 및 산소가스의 혼합비율을 나누어 질소가스의 유량을 설정하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 산소가스의 유량을 설정하는 단계는 설정된 분위기 가스의 유량과 설정된 이슬점의 포화수증기량의 곱으로부터 필요한 수분량을 도출하는 단계; 및 상기 수분량과 물 1g 생성시 필요한 산소의 양의 곱으로부터 산소가스의 양을 도출하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 혼합가스에 포함된 수소가스의 1/2의 유량을 기준으로 도출되는 수분 생성에 필요한 산소가스의 유량 및 제2 혼합가스의 설정된 산소가스의 유량 중 적은 값으로 선택될 수 있다.
상기 제2 혼합가스를 제조하는 단계 이후, 제2 혼합가스에 포함된 질소 및 산소의 비율을 측정하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제3 혼합가스를 제조하는 단계는 850℃ 이상의 온도에서 수행될 수 있다.
상기 제조된 제3 혼합가스의 이슬점을 확인하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 질소와 수소가 혼합된 제1 혼합가스 및 질소와 산소가 혼합된 제2 혼합가스를 고온의 반응로에서 반응시켜, 수소와 산소의 반응으로, 설정된 이슬점의 수분량이 생성될 수 있으므로, 구성이 단순하여 분위기가스 이슬점 제어 설비 구성 비용을 절감할 수 있으며, 또한, 이슬점 제어 정확도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분위기가스 공급 유량 제어계의 신호 흐름을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 산소가스 공급 유량 제어계의 신호 흐름을 나타낸 흐름도이다.
이하, 다양한 실시예를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 밸브형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
본 발명은 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치 및 제어방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 수소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 수소가스 공급라인(30); 질소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 질소 유량계를 포함하는 질소가스 공급라인(40); 산소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 산소 유량계를 포함하는 산소가스 공급라인(50); 상기 수소가스 및 질소가스가 혼합되어 제1 혼합가스를 제조하는 제1 혼합기(15); 상기 산소가스 및 질소가스가 혼합되어 제2 혼합가스를 제조하는 제2 혼합기(16); 및 상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스가 혼합되어 제3 혼합가스를 제조하는 제3 혼합기(20)를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치가 제공된다.
또한, 상기 제어장치는 질소가스 및 수소가스의 유량을 제어하는 분위기 가스 유량 제어계(100) 및 산소가스의 유량을 제어하는 산소 가스 유량 제어계(200)를 추가로 포함할 수 있다.
한편, 상기 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치를 이용한 본 발명의 이슬점 제어방법은 소둔로에 투입되는 분위기 가스의 유량 및 이슬점을 설정하는 단계; 질소가스 및 수소가스를 혼합하여 제1 혼합가스를 제조하는 단계; 질소가스 및 산소가스를 혼합하여 제2 혼합가스를 제조하는 단계; 상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스를 혼합하여, 수분을 포함하는 분위기 가스를 제조하는 단계; 및 상기 분위기 가스를 소둔로에 투입하는 단계를 포함할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치를 개략적으로 나타낸 것으로, 도 1을 참조하면 연속 소둔로에 공급할 분위기가스 유량과 이슬점을 설정하면 분위기가스는 분위기가스 유량 제어계(100)에서 질소와 수소의 혼합비율에 따라, 질소를 먼저 공급한 이후, 공급되는 질소 유량에 수소의 혼합비율을 도출하여 수소 공급유량을 제어하는 것이다.
상기 제1 혼합가스를 제조하는 단계는 질소가스의 유량을 설정하는 단계; 및 상기 질소가스의 유량에 수소가스의 혼합 비율을 곱하여 수소가스의 유량을 도출하는 단계를 포함할 수 있다.
구체적으로, 질소는 질소차단밸브(2)가 열리고 질소감압밸브(5)는 일정한 압력이 되도록 제어된다. 질소 공급유량은 질소 유량계(8)로 질소의 유량을 검출하여 설정된 공급 유량이 되도록 질소 유량조절밸브(12)를 작동시킨다. 수소는 수소차단밸브(1)가 열리고 수소감압밸브(4)는 일정한 압력이 되도록 한다. 수소 공급 유량은 수소 유량계(7)로 유량을 검출하고, 질소 유량계(8)로 검출된 질소 유량에 수소의 혼합 비율을 곱하여 수소 공급유량을 설정하고 설정된 공급유량이 되도록 수소 유량조절밸브((11)를 작동시킨다.
상기와 같이, 공급된 질소가스와 수소가스는 제1 혼합기(15)를 지나면서 혼합되어 제1 혼합가스가 생성된다.
한편, 본 발명에 따른 제어장치는 제1 혼합가스에 포함된 수소 가스의 양을 측정하는 수소 분석기(18)를 추가로 포함할 수 있으며, 상기 제1 혼합가스를 제조하는 단계 이후, 제1 혼합가스에 포함된 질소 및 수소의 비율을 측정하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 이에 따라, 질소가스와 수소가스의 혼합 결과는 상기 수소 분석기(18)을 통하여 확인할 수 있다.
상기 제2 혼합가스를 제조하는 단계는 산소가스의 유량을 설정하는 단계; 및 상기 산소가스의 유량에 질소가스 및 산소가스의 혼합비율을 나누어 질소가스의 유량을 설정하는 단계를 포함할 수 있다. 구체적으로, 분위기가스 공급유량과 이슬점 설정값을 이용하여 산소 유량제어계(200)에서 산소공급 유량을 계산하게 되고, 계산된 산소 공급 유량값에 질소와의 혼합비율을 나누어 산소와 혼합될 질소유량을 계산하며, 계산된 질소유량과 산소유량을 더하며 분위기가스에 첨가될 유량의 총량이 계산된다.
보다 상세하게, 첨가될 질소 공급유량은 질소 유량계(9)로 유량을 검출하고 설정된 공급유량이 되도록 질소 유량조절밸브(13)를 작동시킨다. 산소는 산소차단밸브(3)가 열리고 산소감압밸브(4)은 일정한 압력이 되도록 한다. 산소 공급유량은 산소 유량계(10)로 유량을 검출하고 질소 유량계(9)로 검출된 질소 유량에 혼합 비율을 곱하여 산소 공급유량을 설정하고 설정된 공급유량이 되도록 산소 유량조절밸브((14)를 작동시킨다.
질소와 산소는 제2 혼합기(16)를 지나면서 혼합된다. 본 발명에 따른 제어장치는 제2 혼합가스에 포함된 산소 가스의 양을 측정하는 산소 분석기를 추가로 포함할 수 있고, 상기 제2 혼합가스를 제조하는 단계 이후, 제2 혼합가스에 포함된 질소 및 산소의 비율을 측정하는 단계를 추가로 포함할 수 있으며, 질소와 산소의 혼합 결과는 상기 산소분석기(18)를 통하여 확인될 수 있다.
질소와 수소가 혼합된 제1 혼합가스와 질소와 산소가 혼합된 제2 혼합가스는 고온의 반응로(20)에서 제3 혼합가스를 형성하며, 이때, 수소와 산소가 결합하여 수분이 발생된다. 상기 제3 혼합가스를 형성하는 단계는 수소와 산소가 결합될 수 있도록 850℃ 이상의 온도에서 수행되는 것이 바람직하다. 구체적으로, 반응로(20)는 수소와 산소가 결합될 수 있도록 850℃ 이상으로 온도제어계(19) 온도를 설정하여 온도계(19-2)로 온도를 검출하고 전기히터(19-1)를 작동시킬 수 있다.
본 발명에 따른 제어장치는 제3 혼합가스의 이슬점을 측정하기 위한 온도계를 추가로 포함할 수 있고, 상기 제조된 제3 혼합가스의 이슬점을 확인하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 연속소둔로에 공급되는 분위기가스의 이슬점은 상기 온도계(21)를 통해 확인할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분위기가스 공급 유량 제어계의 신호 흐름을 나타낸 흐름도이다. 이하, 도 2을 참조하면 본 발명의 일 구현예를 설명한다.
먼저, 분위기가스 공급유량을 설정하면 질소 및 수소 공급유량제어계의 설정값이 되고 질소 유량계 검출값(①)과 수소 유량계 검출값(③)을 더한 값이 설정값이 되도록 질소, 수소 공급유량제어계에서 질소 유량조절밸브 출력(②)을 조절한다.
질소 유량계(8)로 검출된 질소 유량계 검출값(①)에 설정된 질소와 수소 혼합 비율을 곱하여 수소 공급유량을 설정하고, 수소 유량계 검출값(③)이 설정된 공급유량이 되도록 수소 공급유량제어계에서 질소 유량조절밸브 출력(④)을 조절하게 된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 산소가스 공급 유량 제어계의 신호 흐름을 나타낸 흐름도이다. 이하, 도 2을 참조하면 본 발명의 일 구현예를 설명한다.
산소가스의 유량을 설정하는 단계는 설정된 분위기 가스의 유량과 설정된 이슬점의 포화수증기량의 곱으로부터 필요한 수분량을 도출하는 단계; 및 상기 수분량과 물 1g 생성시 필요한 산소의 양의 곱으로부터 산소가스의 양을 도출하는 단계를 포함할 수 있다.
구체적으로, 설정된 분위기가스 공급유량과 포화수증기량테이블에서 설정된 이슬점에 해당하는 포화수증기량을 곱하면 공급 분위기가스의 설정 이슬점이 되기 위한 수분량을 알 수 있다. 이 수분량에 물 1g생성시 필요한 산소량[0.622/1000㎥]을 곱하여 산소공급량을 계산한다.
산소공급량에 질소와 산소 혼합비율을 나누면 질소 공급량이 되고 산소공급량과 질소공급량을 더한 값이 질소, 수소 공급유량제어계의 설정값이 되며 질소 유량계 검출값(⑤)과 산소 유량계 검출값(⑦)을 더한 값이 설정값이 되도록 질소, 산소 공급유량제어계에서 질소 유량조절밸브 출력(⑥)을 조절한다.
한편, 산소공급량이 많은 경우, 반응로에서 수소와 결합하여 수분을 생성하고도 수소가 부족하여 잉여의 산소가 발생하면, 상기 산소가 품질불량 및 설비사고를 유발할 수 있다. 따라서, 산소공급량을 투입되는 수소 유량에 따라 제한할 필요가 있다.
이에 따라, 본 발명에 따르면, 산소가스의 유량을 설정하는 단계는 제1 혼합가스에 포함된 수소가스의 1/2의 유량을 기준으로 도출되는 수분 생성에 필요한 산소가스의 유량 및 제2 혼합가스의 설정된 산소가스의 유량 중 적은 값으로 선택될 수 있다.
보다 상세하게, 현재 공급되고 있는 수소 유량계 검출값(㉯)에 2를 나누어 산소 공급 가능 최대유량을 계산하고 질소 유량계(9)로 검출된 질소 유량계 검출값(⑤)에 설정된 질소와 산소 혼합 비율을 곱하여 산소 공급유량을 계산한 값 중 적은 값을 선택하여 산소공급 유량제어계의 산소 공급유량으로 설정하고 산소 유량계 검출값(⑦)이 설정된 공급유량이 되도록 산소 공급유량제어계에서 산소 유량조절밸브 출력(⑧)을 조절할 수 있다.
상술한 본 발명의 제어장치 및 제어방법에 따르면, 질소와 수소가 혼합된 제1 혼합가스 및 질소와 산소가 혼합된 제2 혼합가스를 고온의 반응로에서 반응시켜, 수소와 산소의 반응으로, 설정된 이슬점의 수분량이 생성될 수 있으므로, 구성이 단순하여 분위기가스 이슬점 제어 설비 구성 비용을 절감할 수 있으며, 또한, 이슬점 제어 정확도를 향상시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 밸브형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
1: 수소 차단밸브 2: 질소 차단밸브
3: 산소 차단밸브 4: 수소 감압밸브
5: 질소 감압밸브 6: 산소 감압밸브
7: 수소 유량계 8,9: 질소 유량계
10: 산소 유량계 11: 수소 유량조절밸브
12,13: 수소 유량조절밸브 14: 산소 유량조절밸브
15: 제1 혼합기 16: 제2 혼합기
17: 수소분석기 18: 산소분석기
19: 온도제어계 19-1: 전기히터
19-2: 반응로 온도계 20: 반응로
21: 이슬점 온도계 22: 소둔로
30: 수소가스 공급라인
40: 질소가스 공급라인
50: 산소가스 공급라인
100: 분위기가스 유량제어계
200: 산소 유량 제어계

Claims (14)

  1. 수소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 수소가스 공급라인;
    질소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 질소가스 공급라인;
    산소가스가 공급되며, 경로에 차단 밸브, 감압 밸브, 유량 제어밸브 및 수소 유량계를 포함하는 산소가스 공급라인;
    상기 수소가스 및 질소가스가 혼합되어 제1 혼합가스를 제조하는 제1 혼합기;
    상기 산소가스 및 질소가스가 혼합되어 제2 혼합가스를 제조하는 제2 혼합기; 및
    상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스가 혼합되어 제3 혼합가스를 제조하는 제3 혼합기를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치.
  2. 제1항에 있어서,
    질소가스 및 수소가스의 유량을 제어하는 분위기 가스 유량 제어계 및 산소가스의 유량을 제어하는 산소 가스 유량 제어계를 추가로 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치.
  3. 제1항에 있어서,
    제1 혼합가스에 포함된 수소 가스의 양을 측정하는 수소 분석기를 추가로 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치.
  4. 제1항에 있어서,
    제2 혼합가스에 포함된 산소 가스의 양을 측정하는 산소 분석기를 추가로 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치.
  5. 제1항에 있어서,
    제3 혼합가스의 이슬점을 측정하기 위한 온도계를 추가로 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어장치.
  6. 소둔로에 투입되는 분위기 가스의 유량 및 이슬점을 설정하는 단계;
    질소가스 및 수소가스를 혼합하여 제1 혼합가스를 제조하는 단계;
    질소가스 및 산소가스를 혼합하여 제2 혼합가스를 제조하는 단계;
    상기 제1 혼합가스 및 제2 혼합가스를 혼합하여, 수분을 포함하는 제3 혼합가스를 제조하는 단계; 및
    상기 제3 혼합가스를 소둔로에 투입하는 단계를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 혼합가스를 제조하는 단계는 질소가스의 유량을 설정하는 단계; 및
    상기 질소가스의 유량에 수소가스의 혼합 비율을 곱하여 수소가스의 유량을 도출하는 단계를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 혼합가스를 제조하는 단계 이후, 제1 혼합가스에 포함된 질소 및 수소의 비율을 측정하는 단계를 추가로 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2 혼합가스를 제조하는 단계는 산소가스의 유량을 설정하는 단계; 및
    상기 산소가스의 유량에 질소가스 및 산소가스의 혼합비율을 나누어 질소가스의 유량을 설정하는 단계를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 산소가스의 유량을 설정하는 단계는 설정된 분위기 가스의 유량과 설정된 이슬점의 포화수증기량의 곱으로부터 필요한 수분량을 도출하는 단계; 및
    상기 수분량과 물 1g 생성시 필요한 산소의 양의 곱으로부터 산소가스의 양을 도출하는 단계를 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 산소가스의 유량을 설정하는 단계는 제1 혼합가스에 포함된 수소가스의 1/2의 유량을 기준으로 도출되는 수분 생성에 필요한 산소가스의 유량 및 제2 혼합가스의 설정된 산소가스의 유량 중 적은 값으로 선택되는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  12. 제6항에 있어서,
    상기 제2 혼합가스를 제조하는 단계 이후, 제2 혼합가스에 포함된 질소 및 산소의 비율을 측정하는 단계를 추가로 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  13. 제6항에 있어서,
    상기 제3 혼합가스를 제조하는 단계는 850℃ 이상의 온도에서 수행되는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
  14. 제6항에 있어서,
    상기 제조된 제3 혼합가스의 이슬점을 확인하는 단계를 추가로 포함하는 소둔로 분위기 가스의 이슬점 제어방법.
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