KR102461005B1

KR102461005B1 - 테이프 캐스팅용 슬러리 댐

Info

Publication number: KR102461005B1
Application number: KR1020200184116A
Authority: KR
Inventors: 여동훈; 신효순; 김시연; 최진식
Original assignee: 한국세라믹기술원
Priority date: 2020-12-28
Filing date: 2020-12-28
Publication date: 2022-10-28
Also published as: KR20220093426A

Abstract

본 발명은 테이프 캐스팅용 슬러리 댐에 관한 것이다. 본 발명은 그린 시트(22)가 제조되는 캐리어 필름(23)을 이송하는 백업 롤(24)과 상기 백업 롤(24)에 대하여서는 코팅 두께의 조절이 이루어지는 니프 존(25)을 형성하는 애플리케이션 롤(26)을 포함하는 테이프 캐스팅용 롤 코터에 사용되며, 상기 롤 코터가 슬러리(27)를 상기 백업 롤(24)의 전면에서 상기 캐리어 필름(23)에 공급하기 위한 슬러리 댐(21)을 포함하고, 상기 슬러리 댐(21)은 상부개방형의 상자형으로 양 측벽(28, 28')과 전면을 향하여 하향 경사진 경사저면부(29)를 가지며 상기 백업 롤(24)을 향하는 전면이 개방되고 상기 측벽(28, 28')의 전면에 상기 백업 롤(24)의 주면에 근접할 수 있도록 상기 백업 롤(24)의 주면의 곡률과 같은 곡률의 만곡부(30)가 형성된 테이프 캐스팅용 슬러리 댐을 제공한다. 본 발명에 따라서, 상기 슬러리 댐(21)의 상기 경사저면부(29) 상에서 상기 측벽(28, 28') 사이에 저면이 상기 경사저면부(29)의 상면에 밀착되고 전면에 상기 백업 롤(24)의 주면의 곡률과 같은 곡률의 만곡면(32)을 갖는 쐐기형 패드(31)가 배치됨을 특징으로 한다.

Description

테이프 캐스팅용 슬러리 댐 {SLURRY FEEDING DAM FOR TAPE CASTING}

본 발명은 테이프 캐스팅용 슬러리 댐에 관한 것으로, 특히 롤 코터(roll coater)를 이용한 테이프 캐스팅 장치에 있어서 테이프 캐스팅을 위하여 슬러리를 공급하는 슬러리 댐에서 슬러리의 점도에 맞추어 슬러리의 공급액면 높이를 설정할 수 있도록 하여 낮은 점도에도 불구하고 요구된 두께를 갖는 그린 시트의 제조가 가능하도록 한 테이프 캐스팅용 슬러리 댐에 관한 것이다.

일반적으로, 슬러리를 테이프 캐스팅하여 그린 시트를 제조함에 있어서, 캐리어 필름상에 닥터 블레이드를 이용하여 코팅되는 두께를 조절함으로써 요구된 두께를 갖는 그린 시트를 제조하거나 또는 콤마 롤을 이용하여 슬러리 댐으로부터 공급되는 양을 조절하여 요구된 두께의 그린 시트를 제조한다.

이러한 테이프 캐스팅 공정은 캐리어 필름에 대한 닥터 블레이드의 간격을 조절하거나 또는 캐리어 필름이 권취되어 지나는 백업 롤에 대한 콤마 롤의 간격을 조절함으로써 요구된 두께의 그린 시트를 얻을 수 있다. 특히, 콤마 롤을 이용하는 테이프 캐스팅에 있어서는 슬러리를 공급하는 댐에서 슬러리의 공급량은 조절하기 위한 가동블레이드가 구비되어 사용될 수 있다.

롤 코터를 이용하여 그린 시트를 제조하는 테이프 캐스팅 시스템에서는, 슬러리 댐으로부터 백업 롤의 캐리어 필름에 슬러리를 공급함에 있어서 슬러리의 점도에 따라 그린 시트의 두께가 달라질 수 있으므로 슬러리 점도에 따른 슬러리 공급조절수단이 요구된다. 특히, 롤 코터의 구조상 슬러리 댐으로부터 백업 롤을 통하여 지나는 캐리어 필름의 표면에 슬러리가 적량 공급될 수 있도록 하기 위해서는 댐에 수용되어 공급되는 슬러리의 액면이 가능한 백업 롤과 이러한 백업 롤에 대하여 간격이 조절되는 애플리케이션 롤 간의 간극에 최대한 근접하는 것이 유리하다. 이는 특히 점도가 낮은 슬러리의 경우 슬러리 자체의 점성에 의해 캐리어 필름에 코팅되어나가는 그린 시트의 상태가 요구된 두께로 균일하게 유지하는데 중요하다.

롤 코터를 이용하여 얇은 두께의 그린 시트를 제조하는 테이프 캐스팅에서 그린 시트 두께의 한계성을 극복하기위해서는 일반적으로 하기 조건 (i)~(iv)이 요구된다:

(i) 대략 100㎛ 이상의 두께를 갖는 그린 시트의 제조를 위해서는 세라믹 슬러리의 점도는 최소 대략 1000cps 이상이어야 하고;

(ii) 대략 300㎛ 이상의 두께를 갖는 그린 시트를 제조하는 과정에서 기공이나 균열이 발생하지 않아야 하고;

(iii) 예컨대 반도체 패키지 제조 등과 같이 전극과 동시소성이 진행되는 분야에서는 잔류 탄소를 억제하기 위해 바인더와 같은 유기물의 함량이 작아야하며;

(iv) 생산단가를 낮추고 수율을 높이기 위해서 가능한 비교적 낮은 점도의 슬러리를 적용하여 시트를 제작하는 것이 바람직하다.

일반적으로는 위 요건들을 충족하기 위해서 닥터 블레이드 방식을 통하여 높은 점도의 슬러리로 시트를 제작한다. 그러나, 이 경우 필러의 함량이 높거나 유기물 함량이 높기 때문에 그린 시트의 충전 밀도는 낮아지게 되며, 또한 설비를 갖추기 위해 기존의 롤러 타입 외에 새로운 장비를 구축하거나 추가적인 비용문제가 발생한다. 따라서, 기존에 널리 채용되고 있는 롤러 형태의 설비, 즉 롤 코터를 통하여 얇은 두께의 그린 시트를 제조하면서 동시에 낮은 점도의 슬러리를 이용하여 두꺼운 시트도 제조할 수 있도록 하는 방안이 요청된다.

도 1 내지 도 4는 롤 코터에 사용되는 종래기술의 슬러리 댐(1)의 구성을 보인 것이다.

종래기술의 슬러리 댐(1)은 도 2에서 보인 바와 같이 그린 시트(2)가 제조되는 캐리어 필름(3)을 이송하는 백업 롤(back-up roll)(4)의 전방에 배치된다. 이러한 백업 롤(4)에 대하여 코팅 두께의 조절이 이루어지는 니프 존(nip zone)(5)을 형성하는 애플리케이션 롤(application roll)(6)이 상하이동가능하게 배치된다. 슬러리 댐(1)은 이에 공급되는 슬러리(7)를 백업 롤(4)의 전면에서 이에 의하여 이송되는 캐리어 필름(3)에 공급한다. 백업 롤(4)의 전면에서 캐리어 필름(3)에 공급되는 슬러리(7)는 백업 롤(4)과 애플리케이션 롤(6) 간의 니프 존(5)을 지나면서 캐리어 필름(3) 상에 코팅되어 그린 시트(2)를 제조한다. 여기에서, 백업 롤(4)과 애플리케이션 롤(6)이 실질적인 롤 코터의 주요 구성요소이다.

이러한 롤 코터에서, 슬러리 댐(1)의 구조는 대체로 상부개방형의 직육면체상의 상자형으로 양 측벽(8, 8')과 전면을 향하여 하향 경사진 경사저면부(9)를 가지며, 백업 롤(4)을 향하는 전면이 개방되고, 양 측벽(8, 8')의 전면에는 백업 롤(4)의 주면에 근접할 수 있도록 백업 롤(4)의 주면의 곡률과 같은 곡률의 만곡부(10)가 형성되어 있다.

롤 코터의 백업 롤(4)과 애플리케이션 롤(6) 간의 니프 존(5)을 통하여 캐리어 필름(3) 상에 슬러리(7)를 공급하여 그린 시트(2)가 제조되도록 하기 위하여, 슬러리 댐(1)에는 계량된 적정의 슬러리(7)가 공급되고 그 액면이 가능한 한 일정하게 유지될 수 있어야 한다. 도 4에서 보인 바와 같이, 슬러리(7)의 액면과 니프 존(5) 사이의 간격 "Ha"는 슬러리(7)의 점도에 따라 달라질 수 있어, 슬러리(7)의 점도가 크면 간격 Ha의 크기가 커지고 점도가 낮으면 간격 Ha의 크기가 작아지도록 하여 캐리어 필름(3) 상에 코팅되어 형성되는 그린 시트(2)의 두께가 요구된 크기로 유지되고 전체적으로 밀도가 균일하게 유지되고 연속성이 단절되지 않도록 한다.

백업 롤(4)과 애플리케이션 롤(6)로 구성되는 롤 코터에 사용되는 슬러리 댐(1)은 전술하듯이 적정한 간격 Ha를 유지하기 위하여, 그린 시트(2)의 제조에 사용되는 슬러리(7)의 점도에 따라 경사저면부(9)의 상대적인 깊이가 다른 슬러리 댐(1)을 다수 구비하여야 한다. 그러나, 이러한 슬러리 댐(1)을 경사저면부(9)의 상대적인 깊이가 다른 여러 개를 준비하는 것이 경제적이지못할 뿐만 아니라, 일반적으로 슬러리 댐(1)이 롤 코터의 여러 구성요소와 함께 배치되므로, 이를 일일이 교체하여 사용하는 것은 작업능률면에서 비효율적이다.

1. 공개특허공보 제10-2006-0066192호 (2006. 06. 16 공개) 2. 공개특허공보 제10-2007-0023007호 (2007. 02. 28 공개) 3. 공개특허공보 제10-2008-0056968호 (2008. 06. 24 공개) 4. 공개특허공보 제10-2009-0119037호 (2009. 12. 03 공개) 5. 공개특허공보 제 10-2016-0010792호 (2016. 01. 28 공개)

본 발명에 있어서는 종래기술의 문제점을 감안하여 창안한 것으로, 롤 코터를 이용하는 테이프 캐스팅 장치에서 슬러리의 점도에 맞추어 슬러리의 공급액면 높이를 설정할 수 있도록 하여 낮은 점도에도 불구하고 요구된 두께를 갖는 그린 시트의 제조가 가능하도록 한 슬러리 댐의 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

위 과제를 해결하기 위한 본 발명의 테이프 캐스팅용 슬러리 댐은, 캐리어 필름을 이송하는 백업 롤과, 상기 백업 롤과 협동하여 소정 간격의 니프 존을 형성하고 상기 니프 존으로 그린 시트용의 슬러리와 캐리어 필름을 함께 도입하는 애플리케이션 롤을 포함하여 상기 캐리어 필름 상에 코팅된 그린 시트를 제조하는 테이프 캐스팅용 롤 코터에서 상기 백업 롤의 전면측에 부착되어 사용된다. 상기 테이프 캐스팅용 슬러리 댐은 양 측벽과 전면을 향해 하향 경사진 경사저면부를 포함하고 상부와 상기 백업 롤을 향한 전면이 개방된 상자형상을 갖되 상기 백업 롤의 주면에 근접하여 상기 슬러리를 상기 캐리어 필름으로 공급한다. 특히, 상기 테이프 캐스팅용 슬러리 댐은 상기 측벽 간의 영역에서 상기 경사저면부의 상면에 탈착가능하도록 밀착되는 저면과, 전면을 향하여 하향경사지고 상기 측벽과 함께 수용공간을 이루고 상기 수용공간 내에 상기 슬러리를 수용하는 상부경사면과, 전면에 상기 백업 롤의 주면의 곡률과 동일한 곡률을 갖는 만곡면을 포함하여 구성된 쐐기형상의 패드를 포함하고, 상기 패드는 상기 만곡면이 상기 백업 롤의 주면에 밀착하여 수용된 상기 슬러리가 상기 캐리어 필름 상으로 공급되도록 한다.

또한, 선택적으로, 상기 패드의 재질은 테프론일 수 있다.

또한, 선택적으로, 상기 상부경사면의 상면 기울기는 2~3°범위일 수 있다.

또한, 선택적으로, 상기 패드는 상기 슬러리의 액면과 상기 니프 존 간의 간격(Hb)이 조절되도록 서로 다른 상기 만곡면의 높이를 갖는 복수의 패드 중에서 선택된 하나일 수 있다.

또한, 선택적으로, 상기 슬러리는 서로 다른 점도를 갖는 복수의 슬러리 중에서 선택되고, 선택되는 상기 슬러리의 점도가 상대적으로 높을수록 상기 복수의 패드 중에서 선택된 상기 패드는 상대적으로 더 큰 만곡면의 높이를 가질 수 있다.

또한, 선택적으로, 상기 슬러리는 서로 다른 점도를 갖는 복수의 슬러리 중에서 선택되고, 선택된 상기 슬러리의 점도가 상대적으로 낮을수록 상기 복수의 패드 중에서 선택된 상기 패드는 상대적으로 더 낮은 만곡면의 높이를 가질 수 있다.

또한, 선택적으로, 상기 슬러리는 점도가 5000cps 이하이고 상기 캐리어 필름 상에 코팅되어 제조된 그린 시트는 두께가 400㎛ 이상일 수 있다.

또한, 선택적으로, 상기 슬러리는 소포제가 배제된 조성일 수 있다.

이와 같은 본 발명은 롤 코터를 이용하는 테이프 캐스팅 장치에서 슬러리의 점도에 맞추어 슬러리의 공급액면 높이를 설정할 수 있도록 하여 낮은 점도에도 불구하고 요구된 두께를 갖는 그린 시트의 제조가 가능하도록 한 슬러리 댐의 구조를 제공한다.

도 1은 롤 코터에 사용되는 종래기술의 슬러리 댐을 보인 사시도이다.
도 2는 종래기술의 슬러리 댐이 롤 코터에 사용되는 것을 보인 단면도이다.
도 3은 종래기술의 슬러리 댐과 롤 코터의 백업 롤의 상대위치를 설명하는 사시도이다.
도 4는 종래기술의 슬러리 댐으로부터 슬러리가 롤 코터에 공급되어 그린 시트가 제조되는 것을 보인 설명도이다.
도 5는 본 발명에 따른 슬러리 댐의 분해사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 슬러리 댐의 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 슬러리 댐이 롤 코터에 사용되는 것을 보인 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 슬러리 댐과 롤 코터의 백업 롤의 상대위치를 설명하는 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 슬러리 댐으로부터 슬러리가 롤 코터에 공급되어 그린 시트가 제조되는 것을 보인 설명도이다.
도 10은 본 발명에 따른 슬러리 댐의 단면도이다.
도 11은 슬러리 댐에 공급된 슬러리 액면의 높이를 슬러리의 점도에 따라 설정할 수 있도록 발명에 따른 슬러리 댐에 사용된 다양한 높이의 패드를 보인 설명도이다.
도 12는 본 발명의 실시예들에서 본 발명에 따른 패드를 사용한 결과로 슬러리 점도에 따른 그린 시트의 두께를 보인 시험결과 그래프이다.
도 13은 제조되는 그린 시트의 상태를 보이는 사진으로, (a)~(c)는 본 발명에 따른 패드가 사용되지않는 비교예로서 슬러리 점도가 높은 경우 그린 시트에서 발생하는 버블(a), 기공(b) 및 크랙(c)의 각 사진이고, (d)는 본 발명의 일 실시예에서 본 발명의 패드를 사용함으로써 (a)~(c)에 적용된 슬러리 점도를 낮춘 점도 수준을 갖는 슬러리를 적용하여 제조된 그린 시트의 사진이다.

본 발명은 전술한 종래의 슬러리 댐이 갖는 불리한 점을 개선하기위하여 통상적인 슬러리 댐에 슬러리의 점도에 따른 슬러리의 액면높이의 설정이 간단히 이루어질 수 있도록 한 수단을 결합하는 구조를 제공한다. 도 7 내지 도 9는 롤 코터에 사용되는 본 발명에 따른 슬러리 댐(21)의 구성을 보인다.

도 7~9를 참조하면, 본 발명에 따른 슬러리 댐(21)은 그린 시트(22)가 제조되는 캐리어 필름(23)을 이송하는 백업 롤(24)의 전방에 배치된다. 백업 롤(24)에 대하여는 코팅 두께의 조절이 이루어지는 니프 존(25)을 형성하는 애플리케이션 롤(26)이 상하이동가능하게 배치된다. 슬러리 댐(21)은 이에 공급되는 슬러리(27)를 백업 롤(24)의 전면에서 이에 의하여 이송되는 캐리어 필름(23)에 공급한다. 슬러리 댐(21)의 구조는 상부개방형의 상자형으로 양 측벽(28, 28')과 전면을 향하여 하향 경사진 경사저면부(29)를 가지며, 백업 롤(24)을 향하는 전면이 개방되고, 양 측벽(28, 28')의 전면에는 백업 롤(24)의 주면에 근접할 수 있도록 백업 롤(24)의 주면의 곡률과 같은 곡률의 만곡부(30)가 형성된다.

또한, 본 발명에 따라, 슬러리 댐(21)의 내부, 즉, 경사저면부(29) 상에서 양 측벽(28, 28') 간에 쐐기형의 패드(31)가 배치된다. 이 패드(31)는 저면이 슬러리 댐(21)의 경사저면부(29)의 상면에 밀착되고 전면은 백업 롤(24)의 주면의 곡률과 동일한 곡률의 만곡면(32)을 가지며, 상면은 일 실시예로서 대략 2~3°범위, 바람직하게는 대략 2°의 기울기로 전면을 향하여 하향경사진 상부경사면(33)을 갖는다. 이러한 패드(31)의 재질은 사용되는 슬러리에 따라 반응성이 적고 화학적으로 안정적인 폴리머 또는 금속 조성물일 수 있으며, 바람직하게는 테프론이다.

또한, 본 발명에 따른 슬러리 댐(21)은 롤 코터의 백업 롤(24)과 애플리케이션 롤(26) 간의 니프 존(25)을 통하여 캐리어 필름(23) 상에 슬러리(27)를 공급하여 그린 시트(22)가 제조될 수 있도록 하기 위하여, 적정의 슬러리(27)가 공급되고 그 액면이 니프 존(25) 사이에 간격 "Hb"로 유지되도록 된다(도 9 참조). 일 실시예에서, 이 간격 Hb는 그린 시트(22)의 제조에 사용되는 슬러리(27)의 점도에 따라 달라지며, 슬러리(27)의 점도가 높을수록 Hb는 크게 조정되어도 무방하나, 점도가 낮을수록 Hb는 가능한 작게 조정된다. 이러한 조정을 위하여 전술한 바와 같은 패드(31)가 슬러리 댐(21)에 결합되어 사용된다.

본 발명에 따라서 슬러리 댐(21)에 결합되어 사용되는 패드(31)는 그린 시트(22)의 제조를 위하여 선택된 슬러리(27)의 점도에 따라 슬러리의 액면의 높이가 조정 및 설정될 수 있도록 선택되며, 패드(31)의 전면인 만곡면(32)을 기준으로 하여 상단-하단 간의 높이를 다양화한 패드(31)를 준비한다.

즉, 본 발명의 실시예들에서, 도 11의 (a)~(c)에서 보이듯이, 슬러리 댐(21)에 결합되어 사용되는 패드(31)는 전면인 만곡면(32)을 기준으로 하여 상단-하단간의 높이가 서로 다른 h1, h2, h3...인 것을 준비할 수 있다. 예를 들어, 높이가 가장 큰 h1의 패드(31)는 슬러리(27)의 점도가 높아 허용되는 슬러리(27)의 액면과 니프 존(25) 간의 간격 Hb가 비교적 높은 경우에 사용될 수 있고, 반면에 높이값이 상대적으로 낮은 h2 또는 h3는 슬러리(27)의 점도가 상대적으로 높아 허용되는 슬러리(27)의 액면과 니프 존(25) 간의 간격 Hb가 상대적으로 작은 경우에 사용될 수 있다.

위와 같이 본 발명에 따라 패드(31)의 선택을 통하여, 슬러리(27)의 점도가 대략 5000cps 이하, 인 경우에도 대략 400㎛ 이상의 두께를 갖는 그린 시트의 제조가 가능하다.

도 12는 본 발명의 실시예들에서 본 발명에 따른 패드(31)를 사용하여 슬러리를 공급하고 그린 시트를 제조한 결과를 보인 것으로, 슬러리(27)의 점도가 대략 3000cps인 경우, 본 발명의 패드(31)를 사용한 본 발명 실시예들에서는 대략 400㎛ 이상의 두께를 갖는 그린 시트가 제조되는 반면, 패드(31)가 없는 종래기술에 따른 비교예들에서는 대략 330㎛에 불과한, 상대적으로 얇은 그린 시트가 제조됨이 확인된다.

또한, 도 13은 제조되는 그린 시트의 상태를 보이는 사진으로, (a)~(c)는 본 발명에 따른 패드가 사용되지않는 비교예로서 슬러리 점도가 높은 경우 그린 시트에서 발생하는 버블(a), 기공(b) 및 크랙(c)의 각 사진이고, (d)는 본 발명의 일 실시예에서 본 발명의 패드를 사용함으로써 (a)~(c)에 적용된 슬러리 점도를 낮춘 점도 수준을 갖는 슬러리를 적용하여 제조된 그린 시트의 사진이다.

실제 그린 시트의 제조에 있어서, 도 13의 (a)~(c)에 보인 비교예들의 사진에서 알 수 있듯이 본 발명의 패드(31)가 없는 경우에는 슬러리 점도가 높으면 제조된 그린 시트에서 버블(a)이나 기공(b), 크랙(c)과 같은 결함이 발생하는 경우가 종종 발생한다. 일반적으로 그린 시트의 이러한 결함은 슬러리의 점도를 낮춤으로써 해결될 수 있다. 도 13의 (d)에 보인 본 발명 실시예의 사진에서 보이듯이, 본 발명에 따라 상기 패드(31)를 사용함으로써 슬러리 점도를 상대적으로 낮출 수 있게 됨으로써 상기 결함들의 발생이 억제된다.

또한, 본 발명에 따라 슬러리 댐에 슬러리 액면의 높이를 조절할 수 있는 수단을 제공함으로써, 슬러리 조성에 기타 소포제 등 유기물의 첨가와 탈포 공정이 필요없이 요구된 두께의 그린 시트를 제조할 수 있다.

아울러, 도 13의 (d)에 보이듯이 슬러리의 점도를 낮은 수준으로 조절가능하게되어 본래의 우수한 분산특성을 유지하여 그린 시트의 상대적으로 두꺼운 두께를 구현할 수 있다. 따라서, 테이프 캐스팅용 슬러리 댐은 특히 예컨대 반도체 패키지용 세라믹 기판 또는 기타 기판의 제조에 유리하게 적용될 수 있다.

한편, 전술한 본 발명 실시예들에서의 제반 두께 편차, 기공, 결함 등은 조성분말의 평균입도, 분포 및 비표면적과 같은 분말특성과, 원료의 순도, 불순물 첨가량 및 분산 상태, 유기물의 함량에 따라 통상적인 오차범위 내에서 다소 변동이 있을 수 있음은 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 지극히 당연한 것이다.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구 범위에 속하는 것으로 보아야 한다.

21: 슬러리 댐, 22: 그린 시트, 23: 캐리어 필름, 24: 백업 롤, 25: 니프 존, 26: 애플리케이션 롤, 27: 슬러리, 28, 28': 측벽, 29: 경사저면부, 30: 만곡부, 31: 패드, 32: 만곡면, 33: 상부경사면.

Claims

캐리어 필름(23)을 이송하는 백업 롤(24)과, 상기 백업 롤(24)과 협동하여 소정 간격의 니프 존(25)을 형성하고 상기 니프 존(25)으로 그린 시트(22)용의 슬러리(27)와 캐리어 필름(23)을 함께 도입하는 애플리케이션 롤(26)을 포함하여 상기 캐리어 필름(23) 상에 코팅된 그린 시트(22)를 제조하는 테이프 캐스팅용 롤 코터에서 상기 백업 롤(24)의 전면측에 부착되어 사용되고, 양 측벽(28, 28')과 전면을 향해 하향 경사진 경사저면부(29)를 포함하고 상부와 상기 백업 롤(24)을 향한 전면이 개방된 상자형상을 갖되 상기 백업 롤(24)의 주면에 근접하여 상기 슬러리(27)를 상기 캐리어 필름(23)으로 공급하는 테이프 캐스팅용 슬러리 댐(21)에 있어서,
상기 측벽(28, 28') 간의 영역에서 상기 경사저면부(29)의 상면에 탈착가능하도록 밀착되는 저면과;
전면을 향하여 하향경사지고 상기 측벽(28, 28')과 함께 수용공간을 이루고 상기 수용공간 내에 상기 슬러리(27)를 수용하는 상부경사면(33)과;
전면에 상기 백업 롤(24)의 주면의 곡률과 동일한 곡률을 갖는 만곡면(32)을 포함하여 구성되고, 상기 만곡면(32)이 상기 백업 롤(24)의 주면에 밀착하여 수용된 상기 슬러리(27)가 상기 캐리어 필름(23) 상으로 공급되도록 구성된, 쐐기형상의 패드(31)를 포함하고,
상기 만곡면(32)은, 상기 슬러리(27)의 점도가 높을수록 상기 니프 존(25)에 근접하는 방향으로 상향되도록 상기 만곡면(32)의 높이가 증가하도록 조절되고, 상기 슬러리(27)의 점도가 낮을수록 상기 니프 존(25)에서 멀어지는 방향으로 하향되도록 상기 만곡면(32)의 높이가 감소하도록 조절되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐스팅용 슬러리 댐.
제1항에 있어서,
상기 패드(31)의 재질이 테프론인 것을 특징으로 하는 테이프 캐스팅용 슬러리 댐.
제1항에 있어서,
상기 상부경사면(33)의 상면 기울기가 2~3°범위인 것을 특징으로 하는 테이프 캐스팅용 슬러리 댐.
삭제
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삭제
제1항에 있어서,
상기 슬러리(27)는 점도가 5000cps 이하이고, 상기 캐리어 필름(23)에 코팅되어 제조된 그린 시트(22)는 두께가 400㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 테이프 캐스팅용 슬러리 댐.
제1항에 있어서,
상기 슬러리(27)는 소포제가 배제된 조성인 것을 특징으로 하는 테이프 캐스팅용 슬러리 댐.