KR102449056B1 - 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법 - Google Patents

반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법은 카세트 로딩 감지센서에 의해 카세트가 스테이지에 정상 로딩된 것을 감지하면, 카세트 방향 감지센서에 의해 카세트가 로딩된 방향을 감지할 수 있다.
따라서, 공정마다 카세트의 방향이 바뀌더라도 카세트를 스테이지에 정방향으로 로딩할 수 있고, 그에 따라 실제 카세트에 수용된 웨이퍼들은 카세트의 바코드로부터 인식된 웨이퍼들의 정보와 일치하기 때문에 웨이퍼들 별로 정확한 공정 제어를 통하여 웨이퍼 품질일 높일 수 있으며, 연속된 공정 중에 웨이퍼들의 혼합 및 파손을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Description

반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법 {Cassette loading apparatus of semiconductor manufacturing equipment and cassette loading method by it}
본 발명은 웨이퍼들이 수용되는 카세트를 정확한 방향으로 로딩시킬 수 있는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 증착 공정과, 식각 공정과, 폴리싱 공정과, 세정 공정 등과 같은 여러 단계 공정을 거쳐지면서 반도체 디바이스로 만들어지고, 각각의 공정을 실시하기 위하여 각각의 공정 설비 내에 웨이퍼를 이송하는 것이 필요하다.
통상적으로 웨이퍼는 개별 단위로 운반되지 않고, 25개 정도의 로트(lot) 단위로 운반되어 가공된다.
상기와 같은 웨이퍼는 공정의 진행을 위하여 운반되는 동안 운반의 편의성은 물론, 웨이퍼의 손상 등을 방지하여 불량률을 줄일 수 있도록 테프론(teflon) 재질을 사출성형하여 만들어진 용기에 담겨 운반되는데, 이 용기를 카세트(cassette)라 한다.
보통, 카세트는 전면과 후면 사이에 수평 방향으로 일정 간격을 두고 복수개의 웨이퍼가 세워진 상태로 수용되고, 카세트에 담긴 웨이퍼의 제품 식별 관리를 위하여 카세트의 전면과 후면에 바코드가 부착된다.
물론, 바코드는 카세트의 전면 측 1번 위치의 웨이퍼 정보부터 카세트의 후면 측 25번 위치의 웨이퍼 정보까지 담고 있다.
상기와 같이 웨이퍼들이 수용된 카세트는 각각의 공정 설비 내에 정확한 위치에 로딩하는 것이 필요하다.
한국공개특허 제2006-0040806호에는 카세트의 일측 외부 측벽에 형성되어 있는 돌출형 센서 접촉부의 위치를 인식하기 위하여, 카세트가 로딩되는 카세트 스테이지의 중심에 광센서가 형성된다.
그런데, 종래 기술에 따르면, 광센서가 스테이지의 중심에 위치하기 때문에 카세트의 전/후면 방향이 바뀌어서 로딩되더라도 카세트가 로딩된 것을 감지한다.
따라서, 종래 기술은, 카세트의 로딩 방향을 감지하지 못하고, 공정마다 카세트의 방향이 바뀌어서 로딩될 수 있고, 그에 따라 실제 카세트에 수용된 웨이퍼들은 카세트의 바코드로부터 인식된 웨이퍼들의 정보와 일치하지 않기 때문에 웨이퍼들마다 정확한 공정을 수행하기 어렵고, 나아가 연속된 공정 중에 웨이퍼들이 혼합되거나, 파손되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼들이 수용되는 카세트를 정확한 방향으로 로딩시킬 수 있는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 전면과 후면 사이에 복수개의 웨이퍼가 세워진 상태로 소정 간격을 두고 안착되는 카세트; 상기 카세트가 로딩되는 스테이지; 상기 스테이지에 형성되고, 상기 카세트의 하단 사방을 상기 스테이지에 고정시키는 고정 가이드부; 상기 카세트의 정상 로딩 여부를 감지하는 카세트 로딩 감지센서; 및 상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 카세트 방향 감지센서;를 포함하는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 카세트의 전면과 후면 사이에 복수개의 웨이퍼가 세워진 상태로 소정 간격을 두고 안착되는 제1단계; 상기 제1단계에서 웨이퍼들이 안착된 카세트가 스테이지에 로딩되는 제2단계; 상기 제2단계에서 카세트가 상기 스테이지에 로딩되면, 상기 카세트의 정상 로딩 여부를 감지하는 제3단계; 및 상기 제3단계에서 카세트가 상기 스테이지에 정상 로딩되면, 상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 제4단계;를 포함하는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법은 카세트 로딩 감지센서에 의해 카세트가 스테이지에 정상 로딩된 것을 감지하면, 카세트 방향 감지센서에 의해 카세트가 로딩된 방향을 감지할 수 있다.
따라서, 공정마다 카세트의 방향이 바뀌더라도 카세트를 스테이지에 정방향으로 로딩할 수 있고, 그에 따라 실제 카세트에 수용된 웨이퍼들은 카세트의 바코드로부터 인식된 웨이퍼들의 정보와 일치하기 때문에 웨이퍼들 별로 정확한 공정 제어를 통하여 웨이퍼 품질일 높일 수 있으며, 연속된 공정 중에 웨이퍼들의 혼합 및 파손을 방지할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치가 개시된 측면도.
도 2a 내지 도 2c는 도 1에 적용된 카세트의 하부 및 전/후면이 도시된 도면.
도 3은 도 1에 적용된 카세트 스테이지가 도시된 사시도.
도 4a 내지 도 4b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제1실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도.
도 5는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제2,3실시예 위치가 도시된 평면도.
도 6a 내지 도 6b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제2실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도.
도 7a 내지 도 7b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제3실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도.
도 8a 내지 도 8b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제4실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도.
도 9는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제5실시예가 도시된 측면도.
도 10은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 방법이 도시된 순서도.
이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치가 개시된 측면도이고, 도 2a 내지 도 2c는 도 1에 적용된 카세트의 하부 및 전/후면이 도시된 도면이며, 도 3은 도 1에 적용된 카세트 스테이지가 도시된 사시도이다.
본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼가 로딩되는 카세트(cassette : 110)와, 공정이 진행되기 전 또는 후에 카세트가 로딩되는 스테이지(stage : 120)와, 상기 카세트(110)가 상기 스테이지(120)에 정상 로딩된 것을 감지하는 카세트 로딩 감지센서(130)와, 상기 카세트(110)가 상기 스테이지(120)에 로딩된 방향을 감지하는 카세트 방향 감지센서(미도시)를 포함하도록 구성된다.
상기 카세트(110)는 원판 형상의 전/후면(111,112) 사이에 웨이퍼가 세워진 상태로 지지되는데, 웨이퍼의 하단이 안착될 수 있는 홈들이 일렬로 구비된 바닥부(113,114)가 구비되고, 상기 바닥부들(113,114)은 상기 전/후면(111,112) 하단을 연결하는 한 쌍의 바 형태로 구성된다.
물론, 세정 공정과 같이 웨이퍼가 세워진 상태로 로딩시키면, 상기 카세트(110)는 해당 공정의 스테이지에 상기 바닥부들(113,114)에 의해 지지된다.
하지만, 폴리싱 공정과 같이 웨이퍼가 눕혀진 상태로 로딩시키면, 상기 카세트(110)는 해당 공정의 스테이지에 상기 전면 또는 후면에 의해 지지되어야 하며, 이를 위하여 상기 전면(111)에는 세 개의 돌출부(111a,111b,111c)가 돌출되도록 구비된다.
또한, 상기 전/후면(111,112)은 원주를 따라 돌출된 리브(rib)가 형성되고, 웨이퍼들의 정보가 저장된 바코드가 부착될 수 있다.
이때, 상기 전면(111)의 하단부(111A)는 한 개의 돌출부(111a) 하부와 한 쌍의 바닥부(113,114) 전면을 동일한 수직면으로 연결하도록 구성됨에 따라 그 단면이 수직한 일자 형태로 구성되며, 상기 전면(111)의 하단부(111A) 내측에 소정의 공간(111H)이 구비된다.
반면, 상기 후면(112)의 하단부(112A)는 한 쌍의 바닥부(113,114) 후면 사이에 구비된 원호 형태의 수직면과 원호를 따라 돌출된 리브로 구성됨에 따라 그 단면이 'L' 형태로 구성되며, 상기 후면(112)의 하단부(112A)와 상기 바닥부들(113,114) 사이에 소정의 공간이 구비된다.
상기 스테이지(120)는 상기 카세트(110)의 하부 사방을 고정하는 고정 가이드부(121a,121b,121c,121d)가 구비되는데, 상기 카세트(110)의 바닥부들(113,114)의 전/후/양측과 맞물리도록 구비된다.
상기 카세트 로딩 감지센서(130)는 상기 카세트(110)가 상기 스테이지(120)에 정상 로딩된 것을 감지하는데, 일예로 상기 스테이지(120) 전방에 구비되는 일종의 광센서로 구성될 수 있으며, 한정되지 아니한다.
상기 카세트 방향 감지센서(미도시)는 상기 카세트(110)가 상기 스테이지(120)에 로딩된 방향을 감지하는데, 하기에서 설명될 여러 가지 형태의 실시예로 구성될 수 있으며, 카세트(110)에 수용된 웨이퍼들이 세워진 상태로 로딩되는 경우에 한정하여 카세트(110)의 로딩 방향을 감지하도록 한정된다.
도 4a 내지 도 4b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제1실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도이다.
본 발명에 따른 카세트 방향 감지센서의 제1실시예는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 스테이지(120)의 전방에 상향 돌출된 보조 가이드부(122)가 구비되고, 상기 보조 가이드부(122)와 근접하도록 상기 스테이지(120) 양측에 발광부(151) 및 수광부(152)가 구비된다.
따라서, 상기 카세트(110)의 전면(111)이 상기 스테이지(120)의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 4a에 도시된 바와 같이 상기 카세트(110)의 전면 하단부(111A) 내측 공간에 상기 보조 가이드부(122)가 수용되고, 상기 카세트(110)가 상기 스테이지(120)의 전방에 수평하게 로딩되기 때문에 상기 카세트(110)에 의해 상기 발광부(151)와 수광부(152) 사이에 빛이 차단되고, 그에 따라 상기 카세트(110)가 정방향 로딩된 것으로 판단한다.
반면, 상기 카세트(110)의 후면(112)이 상기 스테이지(120)의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 4b에 도시된 바와 같이 상기 카세트(110)의 후면 하단부(112A)가 상기 보조 가이드부(122)에 지지되고, 상기 카세트(110)가 상기 스테이지(120)의 전방에 들리도록 로딩되기 때문에 상기 카세트(110)와 스테이지(120)의 전방 사이의 공간을 통하여 상기 발광부(151)와 수광부(152) 사이에 빛이 통과되고, 그에 따라 상기 카세트(110)가 역방향 로딩된 것으로 판단한다.
도 5는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제2,3실시예 위치가 도시된 평면도이고, 도 6a 내지 도 6b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제2실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도이며, 도 7a 내지 도 7b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제3실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도이다.
본 발명에 따른 카세트 방향 감지센서의 제2,3실시예는 도 5에 도시된 바와 같이 카세트(110)가 스테이지(120)에 정방향으로 로딩될 경우 카세트(110)의 전면 하단부와 맞닿게 되는 스테이지(120) 전방 바닥면의 특정 위치(S)에 설치되는데, 카세트(110)의 전면 하단부가 스테이지(120)와 접촉되는 반면, 카세트(110)의 후면 하단부가 스테이지(120)와 접촉되지 않는 것을 이용하여 카세트(110)의 로딩 방향을 감지하도록 구성된다.
상기 카세트 방향 감지센서의 제2실시예는 도 6a 내지 도 6b에 도시된 바와 같이 소정 간격을 유지하는 발광부(151)와 수광부(152)로 구성되는데, 상기 발광부(151)와 수광부(152) 사이의 공간에는 상기 카세트의 전면 하단부(111A)만 삽입될 수 있고, 상기 카세트의 후면 하단부(112A)가 삽입될 수 없도록 구성된다.
따라서, 상기 카세트의 전면이 상기 스테이지(120)의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 6a에 도시된 바와 같이 상기 발광부(151)와 수광부(152) 사이에 상기 카세트의 전면 하단부(111A)가 삽입되기 때문에 상기 카세트의 전면 하단부(111A)에 의해 상기 발광부(151)와 수광부(152) 사이에 빛이 차단되고, 그에 따라 상기 카세트가 정방향 로딩된 것으로 판단한다.
반면, 상기 카세트의 후면이 상기 스테이지(120)의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 발광부(151) 또는 수광부(152) 상단에 상기 카세트의 후면 하단부(112A)가 지지되기 때문에 상기 발광부(151)와 수광부(152) 사이에 빛이 통과되고, 그에 따라 상기 카세트가 역방향 로딩된 것으로 판단한다.
상기 카세트 방향 감지센서의 제3실시예는 도 7a 내지 도 7b에 도시된 바와 같이 접촉센서(153) 또는 압력센서 형태로 구성되는데, 상기 카세트가 상기 스테이지에 로딩될 때 상대적으로 높이가 낮은 상기 카세트의 전면 하단부(111A)는 상기 접촉/압력센서(153)와 접촉될 수 있고, 상대적으로 높이가 높은 상기 카세트의 후면 하단부(112A)는 상기 접촉/압력센서(153)와 이격되도록 구성된다.
따라서, 상기 카세트의 전면이 상기 스테이지(120)의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 7a에 도시된 바와 같이 상기 카세트의 전면 하단부(111A)가 상기 접촉/압력센서(153)를 눌러주고, 그에 따라 상기 카세트가 정방향 로딩된 것으로 판단한다.
반면, 상기 카세트의 후면이 상기 스테이지(120)의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 7b에 도시된 바와 같이 상기 카세트의 후면 하단부(112A)가 상기 접촉/압력센서(153)와 이격됨에 따라 눌러주지 못하고, 그에 따라 상기 카세트가 역방향 로딩된 것으로 판단한다.
도 8a 내지 도 8b는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제4실시예에 의해 카세트가 로딩된 정/역방향을 감지하는 측면도이다.
본 발명에 따른 카세트 방향 감지센서의 제4실시예는 도 8a 내지 도 8b에 도시된 바와 같이 스테이지의 전방 일측에 구비된 광센서(154)로 구성되는데, 상기 카세트가 상기 스테이지에 로딩될 때 상기 광센서(154)는 상기 카세트의 전면(111)에 구비된 돌출부(111a)를 향하여 빛을 발생시키도록 설치된다.
이때, 상기 광센서(154)는 빛을 발생시킨 다음, 부딪혀 되돌아오는 시간에 따라 그 거리를 측정할 수 있도록 구성된다.
따라서, 상기 카세트의 전면(111)이 상기 스테이지의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 광센서(154)는 상기 카세트의 전면(111)에 돌출부(111a)까지 제1거리를 측정하고, 그에 따라 상기 카세트가 정방향 로딩된 것으로 판단한다.
반면, 상기 카세트의 후면(112)이 상기 스테이지의 전방에 위치하도록 로딩되면, 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 광센서(154)는 상기 카세트의 후면(112)까지 제2거리를 측정하고, 그에 따라 상기 카세트가 역방향 로딩된 것으로 판단한다.
물론, 상기 제1거리가 상기 제2거리보다 짧게 측정되고, 그에 따라 상기 카세트의 로딩 방향을 감지할 수 있다.
도 9는 도 1에 적용된 카세트 방향 감지센서 제5실시예가 도시된 측면도이다.
본 발명에 따른 카세트 방향 감지센서의 제5실시예는 도 9에 도시된 바와 같이 스테이지(120)의 전방 또는 후방에 위치된 바코드 리더기(155)와, 상기 스테이지(120)의 상측에 구비된 카메라(156)와, 상기 바코드 리더기(155)로부터 읽어들인 바코드의 정보와 상기 카메라(156)에 촬영된 영상을 비교/판단하는 제어부(미도시)를 포함한다.
상세하게, 상기 카세트(110)가 상기 스테이지(120)에 정상 로딩되면, 상기 바코드 리더기(155)가 상기 카세트(110)에 부착된 바코드로부터 웨이퍼들의 정보를 획득하고, 상기 카메라(156)가 상기 카세트(156)의 상면을 촬영한다.
예를 들어, 상기 카세트(156)에는 25개의 웨이퍼를 수용할 수 있는 25개의 홈이 있으면, 각각의 홈 위치별로 수용된 웨이퍼의 정보를 획득할 수 있으며, 일부의 홈에만 웨이퍼가 수용될 수도 있다.
따라서, 상기 제어부는 상기 바코드 리더기(155)에서 입력되는 웨이퍼들의 정보와 상기 카메라(156)에서 촬영된 영상을 비교하여 웨이퍼 위치 및 장수를 확인하고, 양측의 웨이퍼 위치 및 장수가 동일한 경우에 상기 카세트(110)가 정방향으로 로딩된 것으로 판단하지만, 그렇지 않은 경우에 상기 카세트(110)가 역방향으로 로딩된 것으로 판단한다.
도 10은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 방법이 도시된 순서도이다.
먼저, 웨이퍼를 카세트에 안착시키고, 카세트를 해당 공정의 스테이지로 로딩시킨다.(S1,S2 참조)
여러 개의 웨이퍼가 카세트의 전/후면 내측에 소정 간격을 두고 일렬로 세워진 상태로 안착되고, 웨이퍼가 담긴 카세트가 웨이퍼를 제조하기 위한 여러 공정별로 이동되는데, 이는 웨이퍼들의 오염을 방지하는 동시에 이동 효율을 높일 수 있다.
물론, 공정별로 카세트에 담긴 웨이퍼들이 세워진 상태 또는 눕혀진 상태로 로딩될 수 있으나, 본 발명의 실시예는 카세트에 담긴 웨이퍼들이 세워진 상태로 로딩되는 것에 한정된다.
다음, 카세트가 스테이지에 정상 로딩되면, 카세트의 로딩 방향을 감지한다.(S3,S4 참조)
상세하게, 카세트의 로딩 방향은 발광부 및 수광부와, 접촉/압력센서와, 광센서에 의해 카세트의 전/후면 형상이 다른 것을 이용하여 감지하거나, 바코드 리더기 및 카메라 등에 의해 카세트에 부착된 바코드에 담긴 웨이퍼들의 정보와 실제 카메라로 찍은 카세트에 담긴 웨이퍼 영상을 이용하여 감지할 수 있으며, 한정되지 아니한다.
상기의 다양한 실시예를 통하여, 카세트의 전면이 스테이지의 전방에 위치하면, 카세트가 정방향으로 로딩된 것으로 판단하고, 해당 스테이지에서 웨이퍼 제조 공정이 진행된다.(S5 참조)
반면, 카세트의 후면이 스테이지의 전방에 위치하면, 카세트가 역방향으로 로딩된 것으로 판단하고, 작업자에게 알람으로 알리고, 카세트를 해당 스테이지에 다시 로딩하도록 한다.(S6,S7 참조)
따라서, 공정마다 카세트의 방향이 바뀌더라도 카세트를 해당 공정의 스테이지에 정방향으로 로딩할 수 있고, 해당 공정을 진행하기 전 실제 카세트에 수용된 웨이퍼들은 카세트의 바코드로부터 인식된 웨이퍼들의 정보와 일치하도록 위치한다.
이후, 해당 공정을 진행하더라도 웨이퍼들 별로 정확한 공정 제어를 통하여 웨이퍼 품질일 높일 수 있으며, 연속된 공정 중에 웨이퍼들의 혼합 및 파손을 방지할 수 있다.
110 : 카세트 111: 카세트의 전면
112 : 카세트의 후면 113,114 : 카세트의 바닥부들
120 : 스테이지 121a,121b,121c,121d : 고정 가이드부
122 : 보조 가이드부 130 : 카세트 로딩 감지센서
151 : 발광부 152 : 수광부
153 : 접촉/압력센서 154 : 광센서
155 : 바코드 리더기 156 : 카메라

Claims (11)

  1. 전면과 후면 사이에 복수개의 웨이퍼가 세워진 상태로 소정 간격을 두고 안착되는 카세트;
    상기 카세트가 로딩되는 스테이지;
    상기 스테이지에 형성되고, 상기 카세트의 하단 사방을 상기 스테이지에 고정시키는 고정 가이드부;
    상기 카세트의 정상 로딩 여부를 감지하는 카세트 로딩 감지센서; 및
    상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 카세트 방향 감지센서;를 포함하고,
    상기 카세트 방향 감지센서는,
    상기 스테이지의 전방 일측에 구비된 광센서로 구성되고,
    상기 카세트의 정방향 로딩 시 상기 광센서가 상기 카세트의 전면에 돌출된 돌출부까지 제1거리를 감지하고,
    상기 카세트의 역방향 로딩 시 상기 광센서는 상기 카세트의 후면까지 제2거리를 감지하는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치.
  2. 전면과 후면 사이에 복수개의 웨이퍼가 세워진 상태로 소정 간격을 두고 안착되는 카세트;
    상기 카세트가 로딩되는 스테이지;
    상기 스테이지에 형성되고, 상기 카세트의 하단 사방을 상기 스테이지에 고정시키는 고정 가이드부;
    상기 카세트의 정상 로딩 여부를 감지하는 카세트 로딩 감지센서; 및
    상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 카세트 방향 감지센서;를 포함하고,
    상기 카세트 방향 감지 센서는,
    상기 카세트의 전면 또는 후면에 부착된 바코드를 읽는 바코드 리더기와,
    상기 스테이지에 로딩된 상기 카세트를 상측에서 촬영하는 카메라와,
    상기 바코드 리더기로부터 읽어들인 바코드의 정보와 상기 카메라에 촬영된 영상을 비교하고. 웨이퍼의 위치 및 장수에 따라 상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 제어부를 포함하는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치.
  3. 카세트의 전면과 후면 사이에 복수개의 웨이퍼가 세워진 상태로 소정 간격을 두고 안착되는 제1단계;
    상기 제1단계에서 웨이퍼들이 안착된 카세트가 스테이지에 로딩되는 제2단계;
    상기 제2단계에서 카세트가 상기 스테이지에 로딩되면, 상기 카세트의 정상 로딩 여부를 감지하는 제3단계; 및
    상기 제3단계에서 카세트가 상기 스테이지에 정상 로딩되면, 상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 제4단계;를 포함하고,
    상기 제4단계는,
    상기 스테이지의 전방 일측에서 빛이 부딪혀 돌아오는 시간에 따라 거리를 감지하는 제1과정과,
    상기 제1과정에서 감지되는 거리에 상기 카세트의 로딩 방향을 판단하는 제2과정을 포함하며,
    상기 제2과정은,
    상기 카세트의 전면에 돌출된 돌기부까지 제1거리를 감지하면, 상기 카세트의 정방향 로딩으로 감지하고,
    상기 카세트의 후면까지 제2거리를 감지하면, 상기 카세트의 역방향 로딩으로 감지하는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 방법.
  4. 카세트의 전면과 후면 사이에 복수개의 웨이퍼가 세워진 상태로 소정 간격을 두고 안착되는 제1단계;
    상기 제1단계에서 웨이퍼들이 안착된 카세트가 스테이지에 로딩되는 제2단계;
    상기 제2단계에서 카세트가 상기 스테이지에 로딩되면, 상기 카세트의 정상 로딩 여부를 감지하는 제3단계; 및
    상기 제3단계에서 카세트가 상기 스테이지에 정상 로딩되면, 상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 제4단계;를 포함하고,
    상기 제4단계는,
    상기 카세트의 전면 또는 후면에 부착된 바코드의 정보를 읽어들이는 제1과정과,
    상기 스테이지에 로딩된 상기 카세트를 상측에서 촬영하는 제2과정과,
    상기 제1과정의 바코드 정보와 상기 제2과정의 영상을 비교하고, 웨이퍼의 위치 및 장수에 따라 상기 카세트의 로딩 방향을 감지하는 제3과정을 포함하는 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 방법.
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