KR102447076B1 - High-speed turning jig for machining center for electrostatic chuck focus ring machining - Google Patents

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Abstract

A machining center high-speed turning jig for processing an electrostatic chuck focus ring according to the present invention is equipped with a high-speed turning jig mounted on a table of a machining center for cutting. When cutting the focus ring of the electrostatic chuck used in a semiconductor production process, the focus ring itself is rotated at high speed rather than just using movement of a spindle on which a tool is mounted for cutting process. An adsorption fixing part for adsorbing and fixing the focus ring to be processed is provided on an upper part of a rotating part so that the focus ring can be easily fixed without a separate fixing means. By forming a number of rail protrusions and rail grooves on a rotating plate and a mounting plate, the rotation of the rotating plate can be precisely induced. The machining center high-speed turning jig for processing an electrostatic chuck focus ring includes a main body part, a rotating part, a driving part, a bearing part, and an adsorption fixing part.

Description

정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그 { High-speed turning jig for machining center for electrostatic chuck focus ring machining }High-speed turning jig for machining center for electrostatic chuck focus ring machining }

본 발명은 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그에 관한 것으로서 보다 상세하게는 반도체 생산공정에 사용되는 정전척의 포커스링을 절삭 및 연삭 가공시 머시닝센터의 공구가 장착된 스핀들의 이동만으로 가공하는 것이 아닌 포커스링 자체가 고속회전되는 절삭가공용 머시닝센터의 테이블에 장착되는 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그에 관한 것이다.The present invention relates to a machining center high-speed turning jig for machining an electrostatic chuck focus ring, and more particularly, when cutting and grinding a focus ring of an electrostatic chuck used in a semiconductor production process, it is not processed only by movement of a spindle equipped with a tool of a machining center. The present invention relates to a machining center high-speed turning jig for electrostatic chuck focus ring machining, which is mounted on a table of a machining center for cutting in which the focus ring itself rotates at high speed.

일반적으로 반도체소자는 실리콘 웨이퍼 상에 제조공정을 반복적으로 진행하여 완성되며, 반도체 제조공정은 그 소재가 되는 웨이퍼에 대하여 산화, 마스킹, 포토레지스트, 식각, 확산 및 적층공정들과 이들 공정들의 전,후에서 보조적으로 세척, 건조 및 검사 등의 여러 공정들이 수행되어야 한다. In general, a semiconductor device is completed by repeatedly performing a manufacturing process on a silicon wafer, and the semiconductor manufacturing process includes oxidation, masking, photoresist, etching, diffusion and lamination processes for the wafer as a material, and before and after these processes. After that, several processes such as washing, drying and inspection should be performed auxiliary.

특히, 식각공정은 실질적으로 웨이퍼 상에 패턴을 형성시키는 중요한 공정의 하나로서, 포토레지스트 공정과 함께 식각공정을 이루는 것으로서, 감광성을 갖는 포토레지스트를 웨이퍼 상에 코팅하고, 패턴을 전사한 후, 그 패턴에 따라 식각을 수행하여 상기 패턴에 따라 적절한 소자의 물리적 특성을 부여하는 것이다.In particular, the etching process is one of the important processes for substantially forming a pattern on the wafer. As an etching process together with the photoresist process, a photoresist having photosensitivity is coated on the wafer, the pattern is transferred, and the The etching is performed according to the pattern to give appropriate physical properties of the device according to the pattern.

여기서, 상기 식각공정에는 반도체 기판 즉 웨이퍼를 정전기를 이용하여 흡착 고정하는 정전척이 사용되고 있는데 이러한 정전척은 척 바디와, 상기 척 바디의 상부에 본딩되는 척 플레이트와, 상기 척 플레이트의 외주에 배치되는 포커스링으로 구성된다.Here, an electrostatic chuck for adsorbing and fixing a semiconductor substrate, i.e., a wafer, using static electricity is used in the etching process. The electrostatic chuck includes a chuck body, a chuck plate bonded to an upper portion of the chuck body, and an outer periphery of the chuck plate. It consists of a focus ring that becomes

또한, 상기 포커스링은 반도체 식각(Dry etching) 공정에서 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 균일한 플라즈마 밀도유지와 웨이퍼 측면(Edge)의 오염을 방지하는 역활을 수행하는 부품이다.In addition, the focus ring is a part that fixes a silicon wafer in a semiconductor dry etching process, maintains a uniform plasma density, and prevents contamination of an edge of the wafer.

여기서, 종래의 포커스링이 구비된 정전척에 대한 기술문헌으로 국내등록특허 제10-1901551가 개시되었다.Here, Korean Patent Registration No. 10-1901551 has been disclosed as a technical document on an electrostatic chuck equipped with a conventional focus ring.

한편, 종래의 포커스링을 정해진 형상으로 가공하기 위하여 머시닝센터와 같은 절각가공장치를 통하여 절삭가공하게 되는데 일반적인 머시닝센터로 가공할 경우에는 테이블의 상면에 상기 포커스링을 고정하는 지그를 장착한 후 절삭공구가 연결된 스핀들을 정해진 반경으로 선회시키면서 상기 포커스링을 가공하게 된다.On the other hand, in order to process the conventional focus ring into a predetermined shape, the cutting process is performed through a cutting machine such as a machining center. The focus ring is machined while turning the spindle to which the tool is connected with a predetermined radius.

그러나, 종래의 머시닝센터로 포커스링을 가공할 경우에는 머시닝센터의 주축이 정해진 반경으로 회전되며 가공해야 하는 것으로 가공시간이 불필요하게 많이 소요되는 문제점이 있었다.However, in the case of machining the focus ring with a conventional machining center, the main axis of the machining center is rotated at a predetermined radius and has to be machined, so there is a problem in that machining time is unnecessarily long.

더불어, 종래의 머시닝센터로 포커스링을 가공할 경우에는 절삭가공을 가능하나 포커스링의 표면을 균일화하는 연삭가공이 불가능하여 가공의 수행범위가 협소하다는 문제점이 있었다.In addition, in the case of machining the focus ring with a conventional machining center, cutting processing is possible, but grinding processing to uniform the surface of the focus ring is not possible, so there is a problem in that the range of processing is narrow.

또한, 종래의 머시닝센터에서 가공되는 포커스링은 가공완료후 상기 테이블에 고정된 포커스링을 해제하여 다음 공정으로 이동시키는데 상기 고정된 포커스링을 해제하는 작업으로 다음 공정으로 이동하는 시간 및 작업이 불필요하게 소모되는 문제점이 있었다.In addition, the focus ring machined in the conventional machining center moves to the next process by releasing the focus ring fixed to the table after machining is completed. There was a problem with consumption.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 절삭가공용 머시닝센터의 테이블에 장착되는 고속선회지그를 구비하여 반도체 생산공정에 사용되는 정전척의 포커스링을 절삭가공할 경우 공구가 장착된 스핀들의 이동만으로 가공하는 것이 아닌 가공되는 포커스링 자체를 고속회전시키고, 회전부의 상부에 가공하려는 포커스링을 흡착고정하는 흡착고정부를 구비하여 포커스링을 별도의 고정수단없이 간편하게 고정하며, 회전판 및 설치판에 다수개의 레일돌기 및 레일홈을 형성하여 회전판의 회전으로 정밀하게 유도할 수 있는 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그를 제공함에 있다.The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to provide a high-speed turning jig mounted on a table of a machining center for cutting processing to cut and process a focus ring of an electrostatic chuck used in a semiconductor production process. In this case, the focus ring itself is rotated at high speed rather than machining only by moving the spindle on which the tool is mounted. It is to provide a machining center high-speed turning jig for machining an electrostatic chuck focus ring that can be fixed and precisely guided by the rotation of the rotating plate by forming a plurality of rail protrusions and rail grooves on the rotating plate and the mounting plate.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그는 정전척용 포커스링의 절삭가공시 상기 포커스링이 안착되어 회전되도록 머시닝센터의 테이블에 장착되는 머시닝센터용 고속선회지그로서 상기 테이블에 안착되는 지그판과, 상기 지그판의 상부에 수직방향으로 직립된 다수개의 측벽과, 상기 측벽의 상부에 안착되며 내부 중심부에 설치공이 형성된 설치판으로 이루어진 본체부와; 상기 설치공의 내부에 삽입된 원통형상의 회전본체와, 상기 회전본체의 상부에 형성되며 그 하면이 상기 설치판의 상면에 안착된 원판형상의 회전판으로 이루어진 회전부와; 상기 측벽의 일측에 구비된 구동모터와, 상기 구동모터에 연결된 모터풀리와, 상기 회전본체의 하부에 구비된 회전풀리와, 상기 모터풀리와 회전풀리에 연결되며 상기 구동모터의 회전력을 상기 회전본체로 전달하는 밸트로 이루어진 구동부와; 상기 회전본체의 외주면에 구비되어 상기 회전부를 회전시키는 베어링부와; 상기 회전판의 상부에 구비되며 상기 포커스링을 흡착하는 링형상의 흡착고정부;로 구성된 것을 특징으로 한다.The high-speed turning jig for machining center for electrostatic chuck focus ring machining according to the present invention for achieving the above object is a high-speed turning jig for machining center mounted on a table of a machining center so that the focus ring is seated and rotated during cutting of the focus ring for an electrostatic chuck. a body part comprising a jig plate seated on the table as a jig plate, a plurality of side walls erected in a vertical direction on an upper portion of the jig plate, and a mounting plate seated on the side wall and having an installation hole formed in the inner center; a rotating part comprising a cylindrical rotating body inserted into the installation hole, and a disc-shaped rotating plate formed on the upper portion of the rotating body and having a lower surface seated on the upper surface of the mounting plate; A driving motor provided on one side of the side wall, a motor pulley connected to the driving motor, a rotating pulley provided under the rotating body, and a rotating pulley connected to the motor pulley and the rotating pulley to apply the rotational force of the driving motor to the rotating body And a driving unit consisting of a belt for transferring to; a bearing portion provided on an outer circumferential surface of the rotating body to rotate the rotating unit; It is provided on the upper portion of the rotating plate and is characterized in that it is composed of a ring-shaped adsorption fixing portion for adsorbing the focus ring.

상기 흡착고정부는 상기 회전판의 상면에 고정된 링형상의 흡착본체와, 상기 흡착본체의 내부에 흡착공기가 이동하는 다수개의 진공로와, 상기 흡착본체의 상면에 상기 진공로와 연통되며 상기 포커스링을 흡착하는 흡착공과, 상기 흡착공의 상부에 형성되며 상기 포커스링의 하면에 흡착력이 전달되도록 상기 흡착본체의 상면 둘레를 따라 내측으로 요입된 흡착홈과, 상기 진공로에 연결된 튜브형상의 진공라인으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The adsorption fixing part includes a ring-shaped adsorption body fixed to the upper surface of the rotating plate, a plurality of vacuum paths through which adsorption air moves inside the adsorption body, and the vacuum path communicating with the vacuum path on the upper surface of the adsorption body and the focus ring an adsorption hole formed on the upper portion of the adsorption hole and recessed inward along the periphery of the upper surface of the adsorption body so that the adsorption force is transmitted to the lower surface of the focus ring, and a tube-shaped vacuum line connected to the vacuum furnace. characterized by being made.

상기 흡착본체의 상면에 형성되며 상기 포커스링이 일측방향으로 미끄러지는 것을 방지하도록 내측으로 요입된 다수개의 슬립방지홈이 형성된 것을 특징으로 한다.A plurality of anti-slip grooves formed on the upper surface of the suction body and recessed inward to prevent the focus ring from sliding in one direction are formed.

상기 회전부의 중심부와 상기 지그판의 하면에는 상기 진공라인이 관통하는 라인통과공이 형성되고, 상기 라인통과공의 내부에는 상기 진공라인의 방향을 꺽어주며 연결시키는 연결어댑터가 구비되며, 상기 진공라인에는 상기 회전부의 회전시 상기 진공라인도 회전되도록 로터리조인트가 구비된 것을 특징으로 한다.A line through hole through which the vacuum line passes is formed in the center of the rotating part and the lower surface of the jig plate, and a connection adapter for connecting the vacuum line by bending the direction of the vacuum line is provided inside the line through hole, and the vacuum line includes It is characterized in that a rotary joint is provided so that the vacuum line is also rotated when the rotating part is rotated.

상기 베어링부는 상기 회전본체의 하부에 구비되며 상기 지그판에 안착된 지지베어링과, 상기 회전본체의 중간부에 구비되며 상기 설치공의 내부에 안착된 회전베어링과, 상기 회전판의 하면에 구비되며 상기 설치공의 상부에 안착된 스러스트베어링으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The bearing part is provided on the lower part of the rotating body and is mounted on the jig plate; It is characterized in that it consists of a thrust bearing seated on the upper part of the installation hole.

상기 회전베어링의 하부에는 상기 회전베어링의 낙하를 차단하는 베어링고정너트가 구비되고; 상기 회전본체의 외주면에는 상기 베어링고정너트가 체결되는 너트체결나사부가 형성된 것을 특징으로 한다.a bearing fixing nut for blocking the fall of the rotating bearing is provided at a lower portion of the rotating bearing; A nut fastening screw portion to which the bearing fixing nut is fastened is formed on the outer circumferential surface of the rotating body.

상기 회전판의 하면에는 상부방향으로 요입된 다수개의 레일홈이 형성되고; 상기 설치판의 상면에는 상기 레일홈에 안착되도록 상부로 돌출된 다수개의 레일돌기가 형성된 것을 특징으로 한다.A plurality of rail grooves recessed in the upper direction are formed on the lower surface of the rotating plate; A plurality of rail protrusions protruding upward to be seated in the rail groove are formed on the upper surface of the mounting plate.

이와 같이 본 발명에 따른 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그는 아래와 같은 효과가 있다.As described above, the machining center high-speed turning jig for machining the electrostatic chuck focus ring according to the present invention has the following effects.

첫째, 절삭가공용 머시닝센터의 테이블에 장착되는 고속선회지그를 구비함으로써, 반도체 생산공정에 사용되는 정전척의 포커스링을 가공할 경우 공구가 장착된 스핀들의 이동만으로 가공하는 것이 아닌 가공되는 포커스링 자체를 고속회전시킬 수 있어 포커스링의 가공속도를 대폭 증가시키는 것과 더불어 공구의 변경으로 포커스링의 표면을 연삭 가공할 수 있어 머시닝센터의 사용범위를 대폭 확대할 수 있고, First, by having a high-speed turning jig mounted on the table of the machining center for cutting, when machining the focus ring of the electrostatic chuck used in the semiconductor production process, the focus ring itself is processed at high speed, not just by moving the spindle on which the tool is mounted. It can be rotated to significantly increase the machining speed of the focus ring, and the surface of the focus ring can be grinded by changing the tool, greatly expanding the range of use of the machining center.

둘째, 고속선회지그는 본체부의 내부에 선회운동하는 회전부와 이를 고속으로 회전시키는 구동부 및 회전부의 상부에 가공하려는 포커스링을 흡착고정하는 흡착고정부로 이루어짐으로써, 포커스링을 별도의 고정수단없이 간편하게 고정하는 것과 함께 고속으로 회전시킬 수 있어 포커스링을 편리하게 절삭가공할 수 있으며,Second, the high-speed turning jig consists of a rotating part that swings inside the main body, a driving part that rotates it at high speed, and an adsorption fixing part that adsorbs and fixes the focus ring to be machined on the upper part of the rotating part, so that the focus ring is easily fixed without a separate fixing means. It can be rotated at high speed with

셋째, 흡착본체의 상면에 형성된 다수개의 슬립방지홈을 형성함으로써, 슬립방지홈을 통하여 마찰력을 증가시켜 포커스링의 고정력을 향상시킬 수 있고,Third, by forming a plurality of anti-slip grooves formed on the upper surface of the suction body, frictional force can be increased through the anti-slip grooves to improve the fixing force of the focus ring,

넷째, 진공라인을 분기하거나 회전시키는 로터리조인트를 구비함으로써, 회전부의 회전시 진공라인도 회전되도록 하여 회전으로 인한 꼬임 또는 절단을 미연에 방지할 수 있으며,Fourth, by having a rotary joint for branching or rotating the vacuum line, the vacuum line is also rotated when the rotating part is rotated, thereby preventing kinking or cutting due to rotation in advance.

다섯째, 회전판의 하면에 다수개의 레일홈을 형성하고, 설치판의 상면에 레일홈으로 삽입되는 다수개의 레일돌기를 형성함으로써, 설치판의 상부에서 회전되는 회전판의 회전이 항상 동일한 선회반경으로 회전됨과 동시에 흔들리거나 일측방향으로 이탈되는 것을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.Fifth, by forming a plurality of rail grooves on the lower surface of the rotation plate and forming a plurality of rail protrusions inserted into the rail grooves on the upper surface of the installation plate, the rotation of the rotation plate rotated on the top of the installation plate is always rotated with the same turning radius At the same time, there is an effect that can prevent in advance from being shaken or separated in one direction.

도 1은 본 발명에 따른 고속선회지그가 머시닝센터에 장착된 것을 나타내 보인 정면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 고속선회지그를 나타내 보인 사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 고속선회지그를 나타내 보인 분해사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 고속선회지그를 나타내 보인 정단면도이며,
도 5는 도 4에 도시된 A부분을 확대한 확대도이다.1 is a front view showing that a high-speed turning jig according to the present invention is mounted on a machining center;
2 is a perspective view showing a high-speed turning jig according to the present invention;
3 is an exploded perspective view showing a high-speed turning jig according to the present invention;
4 is a front cross-sectional view showing a high-speed turning jig according to the present invention,
FIG. 5 is an enlarged view of part A shown in FIG. 4 .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 정전척용 포커스링(R)의 절삭가공시 상기 포커스링(R)이 안착되어 회전되도록 머시닝센터(M)의 테이블(T)에 장착되는 머시닝센터용 고속선회지그(1)로서 상기 테이블(T)에 안착되는 지그판(11)과, 상기 지그판(11)의 상부에 수직방향으로 직립된 다수개의 측벽(12)과, 상기 측벽(12)의 상부에 안착되며 내부 중심부에 설치공(13a)이 형성된 설치판(13)으로 이루어진 본체부(10)와; 상기 설치공(13a)의 내부에 삽입된 원통형상의 회전본체(21)와, 상기 회전본체(21)의 상부에 형성되며 그 하면이 상기 설치판(13)의 상면에 안착된 원판형상의 회전판(22)으로 이루어진 회전부(20)와; 상기 측벽(12)의 일측에 구비된 구동모터(31)와, 상기 구동모터(31)에 연결된 모터풀리(32)와, 상기 회전본체(21)의 하부에 구비된 회전풀리(33)와, 상기 모터풀리(32)와 회전풀리(33)에 연결되며 상기 구동모터(31)의 회전력을 상기 회전본체(21)로 전달하는 밸트(34)로 이루어진 구동부(30)와; 상기 회전본체(21)의 외주면에 구비되어 상기 회전부(20)를 회전시키는 베어링부(40)와; 상기 회전판(22)의 상부에 구비되며 상기 포커스링(R)을 흡착하는 링형상의 흡착고정부(50);로 구성된다.As shown in Figs. 1 to 3, the machining center high-speed turning jig for machining an electrostatic chuck focus ring according to the present invention is a machining center (M) such that the focus ring (R) is seated and rotated during cutting of the focus ring (R) for an electrostatic chuck according to the present invention. ) as a high-speed turning jig 1 for a machining center mounted on a table T of a jig plate 11 seated on the table T, and a plurality of vertically erected on the upper portion of the jig plate 11 a body portion 10 comprising a side wall 12 and a mounting plate 13 seated on the side wall 12 and having an installation hole 13a formed in the inner center thereof; A cylindrical rotating body 21 inserted into the installation hole 13a, and a disk-shaped rotating plate formed on the upper portion of the rotating body 21, the lower surface of which is seated on the upper surface of the mounting plate 13 ( 22) consisting of a rotating part 20 and; A drive motor 31 provided on one side of the side wall 12, a motor pulley 32 connected to the drive motor 31, and a rotary pulley 33 provided at a lower portion of the rotating body 21, a driving unit 30 connected to the motor pulley 32 and the rotating pulley 33 and comprising a belt 34 for transmitting the rotational force of the driving motor 31 to the rotating body 21; a bearing part 40 provided on the outer peripheral surface of the rotating body 21 to rotate the rotating part 20; It is provided on the upper portion of the rotating plate 22, the ring-shaped adsorption fixing portion 50 for adsorbing the focus ring (R); is composed of.

한편, 상기 지그판(11)의 양측면에는 상기 머시닝센터(M)의 테이블(T)에 볼트로 고정되는 다수개의 볼트홈(미도시)이 형성되고 상기 지그판(11)과 측벽(12) 및 설치판(13)은 볼트에 의하여 결합되는 것이 바람직하다.On the other hand, a plurality of bolt grooves (not shown) fixed to the table T of the machining center M with bolts are formed on both sides of the jig plate 11, and the jig plate 11 and the side wall 12 and The mounting plate 13 is preferably coupled by bolts.

그리고, 상기 흡착고정부(50)는 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 회전판(22)의 상면에 고정된 링형상의 흡착본체(51)와, 상기 흡착본체(51)의 내부에 흡착공기가 이동하는 다수개의 진공로(52)와, 상기 흡착본체(51)의 상면에 상기 진공로(52)와 연통되며 상기 포커스링(R)을 흡착하는 흡착공(53)과, 상기 흡착공(53)의 상부에 형성되며 상기 포커스링(R)의 하면에 흡착력이 전달되도록 상기 흡착본체(51)의 상면 둘레를 따라 내측으로 요입된 흡착홈(54)과, 상기 진공로(52)에 연결된 튜브형상의 진공라인(55)으로 이루어진다.And, the adsorption fixing part 50 is a ring-shaped adsorption body 51 fixed to the upper surface of the rotary plate 22, as shown in FIGS. 4 to 5, and the adsorption body 51 is adsorbed inside A plurality of vacuum furnaces 52 through which air moves, suction holes 53 communicating with the vacuum furnace 52 on the upper surface of the suction body 51 and adsorbing the focus ring R, and the suction holes The suction groove 54 formed on the upper portion 53 and recessed inward along the periphery of the upper surface of the suction body 51 so that the suction force is transmitted to the lower surface of the focus ring R, and the vacuum furnace 52 It consists of a vacuum line 55 in the form of a tube connected.

한편, 상기 진공라인(55)은 흡착력이 향상되도록 2개 이상의 갯수로 형성되고, 상기 진공로(51) 또한 다수개의 진공라인(55)이 연결되도록 다수개로 형성되는 것이 바람직하다. On the other hand, it is preferable that the vacuum line 55 is formed in two or more numbers to improve the adsorption force, and the vacuum furnace 51 is also formed in plurality so that the plurality of vacuum lines 55 are connected.

또한, 상기 흡착본체(51)의 상면에 형성되며 상기 포커스링(R)이 일측방향으로 미끄러지는 것을 방지하도록 내측으로 요입된 다수개의 슬립방지홈(56)이 형성된다.In addition, a plurality of slip prevention grooves 56 are formed on the upper surface of the suction body 51 and recessed inward to prevent the focus ring R from sliding in one direction.

그리고, 상기 회전부(20)의 중심부와 상기 지그판(11)의 하면에는 도 4와 같이 상기 진공라인(55)이 관통하는 라인통과공(23)이 형성되고, 상기 라인통과공(23)의 내부에는 상기 진공라인(55)의 방향을 꺽어주며 연결시키는 연결어댑터(24)가 구비되며, 상기 진공라인(55)에는 상기 회전부(20)의 회전시 상기 진공라인(55)도 회전되도록 로터리조인트(25)가 구비된다.In addition, a line through hole 23 through which the vacuum line 55 passes is formed in the center of the rotating part 20 and the lower surface of the jig plate 11 as shown in FIG. 4 , and the line through hole 23 A connection adapter 24 for connecting the vacuum line 55 is provided inside, and the vacuum line 55 has a rotary joint so that the vacuum line 55 is also rotated when the rotating part 20 rotates. (25) is provided.

또한, 상기 베어링부(40)는 상기 회전본체(21)의 하부에 구비되며 상기 지그판(11)에 안착된 지지베어링(41)과, 상기 회전본체(21)의 중간부에 구비되며 상기 설치공(13a)의 내부에 안착된 회전베어링(42)과, 상기 회전판(22)의 하면에 구비되며 상기 설치공(13a)의 상부에 안착된 스러스트베어링(43)으로 이루어진다.In addition, the bearing unit 40 is provided in the lower portion of the rotating body 21 and is provided in the middle of the supporting bearing 41 seated on the jig plate 11 and the rotating body 21 and is installed It consists of a rotating bearing 42 seated inside the ball 13a, and a thrust bearing 43 provided on the lower surface of the rotating plate 22 and seated on the upper portion of the installation hole 13a.

그리고, 상기 회전베어링(42)의 하부에는 상기 회전베어링(42)의 낙하를 차단하는 베어링고정너트(44)가 구비되고; 상기 회전본체(21)의 외주면에는 상기 베어링고정너트(44)가 체결되는 너트체결나사부(211)가 형성된다.And, the lower portion of the rotary bearing 42 is provided with a bearing fixing nut 44 for blocking the fall of the rotary bearing 42; A nut fastening screw portion 211 to which the bearing fixing nut 44 is fastened is formed on the outer peripheral surface of the rotating body 21 .

또한, 상기 회전판(22)의 하면에는 도 5에 도시된 바와 같이 상부방향으로 요입된 다수개의 레일홈(221)이 형성되고; 상기 설치판(13)의 상면에는 상기 레일홈(221)에 안착되도록 상부로 돌출된 다수개의 레일돌기(131)가 형성된다.In addition, a plurality of rail grooves 221 recessed in the upper direction are formed on the lower surface of the rotating plate 22 as shown in FIG. 5 ; A plurality of rail protrusions 131 protruding upward to be seated in the rail groove 221 are formed on the upper surface of the mounting plate 13 .

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그의 작용을 살펴보면 다음과 같다.The operation of the machining center high-speed turning jig for machining an electrostatic chuck focus ring according to the present invention having the above configuration is as follows.

본 발명에 따른 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그는 정전척용 포커스링(R)의 절삭가공시 상기 포커스링(R)이 안착되어 회전되도록 머시닝센터(M)의 테이블(T)에 장착되는 머시닝센터용 고속선회지그(1)이다.The machining center high-speed turning jig for machining an electrostatic chuck focus ring according to the present invention is a machining center mounted on a table (T) of a machining center (M) so that the focus ring (R) is seated and rotated during cutting of the focus ring (R) for an electrostatic chuck It is a high-speed turning jig for the center (1).

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 절삭가공용 머시닝센터(M)의 테이블(T)에 장착되는 고속선회지그(1)를 구비함으로써, 반도체 생산공정에 사용되는 정전척의 포커스링(R)을 절삭가공할 경우 공구가 장착된 스핀들의 이동만으로 가공하는 것이 아닌 가공되는 포커스링(R) 자체를 고속회전시킬 수 있어 포커스링(R)의 가공속도를 대폭 증가시키는 것과 더불어 정밀한 가공을 수행할 수 있게 된다.That is, as shown in FIG. 1, by providing the high-speed turning jig 1 mounted on the table T of the machining center M for cutting, the focus ring R of the electrostatic chuck used in the semiconductor production process is cut. In this case, the focus ring (R) itself can be rotated at high speed rather than machining only by moving the spindle on which the tool is mounted, thus significantly increasing the machining speed of the focus ring (R) and performing precise machining. .

여기서, 상기 고속선회지그(1)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 상기 본체부(10)의 내부에 선회운동하는 회전부(20)와 이를 고속으로 회전시키는 구동부(30) 및 상기 회전부(20)의 상부에 가공하는 포커스링(R)을 흡착고정하는 흡착고정부(50)로 이루어짐으로써, 상기 포커스링(R)을 별도의 고정수단없이 간편하게 고정하는 것과 함께 고속으로 회전시킬 수 있어 상기 포커스링(R)을 편리하게 절삭가공할 수 있게 된다.Here, as shown in FIGS. 2 to 4, the high-speed turning jig 1 includes a rotating part 20 rotating inside the main body 10, a driving part 30 rotating it at high speed, and the rotating part ( 20), since it consists of an adsorption fixing part 50 for adsorbing and fixing the processed focus ring R, the focus ring R can be easily fixed without a separate fixing means and can be rotated at a high speed. It is possible to conveniently cut the focus ring (R).

또한, 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 흡착본체(51)의 상면에 형성된 다수개의 슬립방지홈(56)을 형성함으로써, 상기 슬립방지홈(56)을 통하여 마찰력을 증가시켜 흡입력을 통하여 고정된 상기 포커스링(R)이 일측방향으로 미끄러지는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.In addition, as shown in FIGS. 4 to 5 , by forming a plurality of anti-slip grooves 56 formed on the upper surface of the suction body 51, frictional force is increased through the anti-slip grooves 56 through suction force. It is possible to prevent the fixed focus ring R from sliding in one direction in advance.

그리고, 상기 진공라인(55)에는 상기 진공라인(55)을 분기하거나 회전되도록 로터리조인트(25)가 구비됨으로써, 상기 회전부(20)의 회전시 상기 진공라인(55)도 회전되도록 하여 회전으로 인한 꼬임 또는 절단을 미연에 방지할 수 있게 된다.In addition, the vacuum line 55 is provided with a rotary joint 25 to branch or rotate the vacuum line 55 , so that the vacuum line 55 is also rotated when the rotating unit 20 rotates. Twisting or cutting can be prevented in advance.

또한, 상기 회전판(22)의 하면과 상기 설치공(13a)의 상부에 스러스트베어링(43)을 안착함으로써, 상기 회전판(22)의 수직하중을 지탱하며 회전시킬 수 있어 상기 머시닝센터(M)의 가공시 흔들리는 것을 최소화시킬 수 있어 가공의 정밀성을 향상시킬 수 있게 된다.In addition, by seating the thrust bearing 43 on the lower surface of the rotating plate 22 and the upper portion of the installation hole 13a, the rotating plate 22 can be rotated while supporting the vertical load of the machining center (M). It is possible to minimize the shaking during machining, so it is possible to improve the precision of the machining.

그리고, 상기 회전판(22)의 하면에는 도 5에 도시된 바와 같이 상부방향으로 요입된 다수개의 레일홈(221)이 형성되고; 상기 설치판(13)의 상면에는 상기 레일홈(221)에 안착되도록 상부로 돌출된 다수개의 레일돌기(131)가 형성됨으로써, 상기 설치판(13)의 상부에서 회전되는 회전판(22)의 회전이 항상 동일한 선회반경으로 회전됨과 동시에 흔들리거나 측방향으로 이탈되는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.In addition, a plurality of rail grooves 221 recessed in the upper direction are formed on the lower surface of the rotating plate 22 as shown in FIG. 5 ; A plurality of rail protrusions 131 protruding upward to be seated in the rail groove 221 are formed on the upper surface of the mounting plate 13 , thereby rotating the rotating plate 22 rotated on the top of the mounting plate 13 . It is possible to prevent in advance that it is always rotated at the same turning radius and at the same time shakes or deviates laterally.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims, anyone with ordinary skill in the art to which the invention pertains can implement various modifications Of course, such modifications are intended to be within the scope of the claims.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
R : 포커스링 M : 머시닝센터
T : 테이블 1 : 고속선회지그
10 : 본체부 11 : 지그판
12 : 측벽 13 : 설치판
13a : 설치공 131 : 레일돌기
20 : 회전부 21 : 회전본체
211 : 너트체결나사부 22 : 회전판
221 : 레일홈 23 : 라인통과공
24 : 연결어댑터 25 : 로터리조인트
30 : 구동부 31 : 구동모터
32 : 모터풀리 33 : 회전풀리
34 : 밸트 40 : 베어링부
41 : 지지베어링 42 : 회전베어링
43 : 스러스트베어링 44 : 베어링고정너트
50 : 흡착고정부 51 : 흡착본체
52 : 진공로 53 : 흡착공
54 : 흡착홈 55 : 진공라인
56 : 슬립방지홈 <Explanation of symbols for main parts of the drawing>
R : Focus ring M : Machining center
T : Table 1 : High-speed turning jig
10: body part 11: jig plate
12: side wall 13: mounting plate
13a: installer 131: rail protrusion
20: rotating part 21: rotating body
211: nut fastening screw part 22: rotating plate
221: rail groove 23: line through hole
24: connection adapter 25: rotary joint
30: driving unit 31: driving motor
32: motor pulley 33: rotary pulley
34: belt 40: bearing part
41: support bearing 42: rotary bearing
43: thrust bearing 44: bearing fixing nut
50: adsorption fixing part 51: adsorption body
52: vacuum furnace 53: suction hole
54: suction groove 55: vacuum line
56: slip prevention groove

Claims (7)

정전척용 포커스링(R)의 절삭가공시 상기 포커스링(R)이 안착되어 회전되도록 머시닝센터(M)의 테이블(T)에 장착되는 머시닝센터용 고속선회지그(1)에 있어서,
상기 테이블(T)에 안착되는 지그판(11)과, 상기 지그판(11)의 상부에 수직방향으로 직립된 다수개의 측벽(12)과, 상기 측벽(12)의 상부에 안착되며 내부 중심부에 설치공(13a)이 형성된 설치판(13)으로 이루어진 본체부(10)와;
상기 설치공(13a)의 내부에 삽입된 원통형상의 회전본체(21)와, 상기 회전본체(21)의 상부에 형성되며 그 하면이 상기 설치판(13)의 상면에 안착된 원판형상의 회전판(22)으로 이루어진 회전부(20)와;
상기 측벽(12)의 일측에 구비된 구동모터(31)와, 상기 구동모터(31)에 연결된 모터풀리(32)와, 상기 회전본체(21)의 하부에 구비된 회전풀리(33)와, 상기 모터풀리(32)와 회전풀리(33)에 연결되며 상기 구동모터(31)의 회전력을 상기 회전본체(21)로 전달하는 밸트(34)로 이루어진 구동부(30)와;
상기 회전본체(21)의 외주면에 구비되어 상기 회전부(20)를 회전시키는 베어링부(40)와;
상기 회전판(22)의 상부에 구비되며 상기 포커스링(R)을 흡착하는 링형상의 흡착고정부(50)로 구성되고;
상기 흡착고정부(50)는 상기 회전판(22)의 상면에 고정된 링형상의 흡착본체(51)와, 상기 흡착본체(51)의 내부에 흡착공기가 이동하는 다수개의 진공로(52)와, 상기 흡착본체(51)의 상면에 상기 진공로(52)와 연통되며 상기 포커스링(R)을 흡착하는 흡착공(53)과, 상기 흡착공(53)의 상부에 형성되며 상기 포커스링(R)의 하면에 흡착력이 전달되도록 상기 흡착본체(51)의 상면 둘레를 따라 내측으로 요입된 흡착홈(54)과, 상기 진공로(52)에 연결된 튜브형상의 진공라인(55)으로 이루어지며;
상기 흡착본체(51)의 상면에 형성되며 상기 포커스링(R)이 일측방향으로 미끄러지는 것을 방지하도록 내측으로 요입된 다수개의 슬립방지홈(56)이 형성되고;
상기 회전부(20)의 중심부와 상기 지그판(11)의 하면에는 상기 진공라인(55)이 관통하는 라인통과공(23)이 형성되고, 상기 라인통과공(23)의 내부에는 상기 진공라인(55)의 방향을 꺽어주며 연결시키는 연결어댑터(24)가 구비되며, 상기 진공라인(55)에는 상기 회전부(20)의 회전시 상기 진공라인(55)도 회전되도록 로터리조인트(25)가 구비되며;
상기 베어링부(40)는 상기 회전본체(21)의 하부에 구비되며 상기 지그판(11)에 안착된 지지베어링(41)과, 상기 회전본체(21)의 중간부에 구비되며 상기 설치공(13a)의 내부에 안착된 회전베어링(42)과, 상기 회전판(22)의 하면에 구비되며 상기 설치공(13a)의 상부에 안착된 스러스트베어링(43)으로 이루어지고;
상기 회전베어링(42)의 하부에는 상기 회전베어링(42)의 낙하를 차단하는 베어링고정너트(44)가 구비되고; 상기 회전본체(21)의 외주면에는 상기 베어링고정너트(44)가 체결되는 너트체결나사부(211)가 형성되며;
상기 회전판(22)의 하면에는 상부방향으로 요입된 다수개의 레일홈(221)이 형성되고; 상기 설치판(13)의 상면에는 상기 레일홈(221)에 안착되도록 상부로 돌출된 다수개의 레일돌기(131)가 형성된 것을 특징으로 하는 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그.In the high-speed turning jig for a machining center (1) mounted on a table (T) of a machining center (M) so that the focus ring (R) is seated and rotated during cutting of the focus ring (R) for an electrostatic chuck,
A jig plate 11 seated on the table (T), a plurality of sidewalls 12 erected in a vertical direction on the upper portion of the jig plate 11, and a jig plate 11 seated on the upper portion of the sidewall 12 and located in the inner center a body portion 10 made of a mounting plate 13 having an installation hole 13a formed therein;
A cylindrical rotating body 21 inserted into the installation hole 13a, and a disk-shaped rotating plate formed on the upper portion of the rotating body 21, the lower surface of which is seated on the upper surface of the mounting plate 13 ( 22) consisting of a rotating part 20 and;
A drive motor 31 provided on one side of the side wall 12, a motor pulley 32 connected to the drive motor 31, and a rotary pulley 33 provided at a lower portion of the rotating body 21, a driving unit 30 connected to the motor pulley 32 and the rotating pulley 33 and comprising a belt 34 for transmitting the rotational force of the driving motor 31 to the rotating body 21;
a bearing part 40 provided on the outer peripheral surface of the rotating body 21 to rotate the rotating part 20;
It is provided on the upper portion of the rotating plate (22) and is composed of a ring-shaped adsorption fixing part (50) for adsorbing the focus ring (R);
The adsorption fixing unit 50 includes a ring-shaped adsorption body 51 fixed to the upper surface of the rotating plate 22, and a plurality of vacuum furnaces 52 through which adsorption air moves in the adsorption body 51 and , a suction hole 53 communicating with the vacuum furnace 52 and adsorbing the focus ring R on the upper surface of the suction body 51, and the focus ring ( R) consists of a suction groove 54 recessed inward along the upper surface periphery of the suction body 51 so that the suction force is transmitted to the lower surface of the lower surface, and a tube-shaped vacuum line 55 connected to the vacuum furnace 52;
a plurality of anti-slip grooves 56 formed on the upper surface of the suction body 51 and recessed inward to prevent the focus ring R from sliding in one direction are formed;
A line through hole 23 through which the vacuum line 55 passes is formed in the center of the rotating part 20 and the lower surface of the jig plate 11, and the vacuum line ( 55) is provided with a connecting adapter 24 for connecting them, and a rotary joint 25 is provided on the vacuum line 55 so that the vacuum line 55 also rotates when the rotating part 20 rotates. ;
The bearing part 40 is provided in the lower part of the rotating body 21 and is provided in the middle of the supporting bearing 41 seated on the jig plate 11 and the rotating body 21 and the installation hole ( 13a) comprising a rotating bearing 42 seated inside, and a thrust bearing 43 provided on a lower surface of the rotating plate 22 and seated on an upper portion of the installation hole 13a;
A bearing fixing nut 44 for blocking the fall of the rotary bearing 42 is provided at a lower portion of the rotary bearing 42; A nut fastening screw portion 211 to which the bearing fixing nut 44 is fastened is formed on the outer peripheral surface of the rotating body 21;
A plurality of rail grooves 221 recessed in an upward direction are formed on the lower surface of the rotating plate 22; A machining center high-speed turning jig for machining an electrostatic chuck focus ring, characterized in that a plurality of rail protrusions (131) protruding upward to be seated in the rail groove (221) are formed on the upper surface of the mounting plate (13). 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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