KR102440282B1 - Connection Nozzle Assembly Structure - Google Patents

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Abstract

흡인 노즐을 접속하는 조립 구조를 제공하는 것으로, 이는 고정 시트와, 흡인 노즐 베이스부와, 흡인 노즐을 포함하고, 상기 고정 시트는 원뿔형의 위치결정구멍을 형성하며, 상기 흡인 노즐 베이스부는 원뿔형태의 위치결정구멍에 삽입하기 위한 위치결정기둥을 마련하고, 또한 실링 부품과 마그넷을 설치하며, 상기 실링 부품의 상단은 고정 시트에 결합되어 있고, 상기 고정 시트 및 상기 흡인 노즐 베이스부는 자기의 누출을 피하기 위해 자성을 가지는 금속 재료로 제조되어 있다. 상기 흡인 노즐은 상기 흡인 노즐 베이스부에 부착되고, 상기 흡인 노즐은 고정 시트의 진공 통로를 접속하기 위해 복수의 정상부로부터 바닥부까지 통하고 있는 관통공을 형성하며, 마그넷의 흡착력으로, 상기 흡인 노즐 베이스부와 상기 흡인 노즐을 상기 고정 시트에 흡착시키고, 웨이퍼 탑재 장치를 조립하여, 상기 고정 시트의 원뿔형태의 위치결정구멍과 상기 흡인 노즐 베이스부의 위치결정기둥으로, 그리고 실링 부품의 조정 기능에 의해, 수직의 오프셋을 자동적으로 조정할 수 있으며, 동시에 흡인 노즐의 수평 포지셔너가 된다. To provide an assembly structure for connecting a suction nozzle, which includes a fixed seat, a suction nozzle base, and a suction nozzle, wherein the fixed seat forms a conical positioning hole, and the suction nozzle base has a conical shape. A positioning post for insertion into the positioning hole is provided, and a sealing part and a magnet are installed, the upper end of the sealing part is coupled to a fixing seat, and the fixing seat and the suction nozzle base part avoid magnetic leakage It is made of a metal material with magnetic properties. The suction nozzle is attached to the suction nozzle base, and the suction nozzle forms a plurality of through-holes passing from the top to the bottom for connecting the vacuum passages of the fixed sheet, and by the suction power of the magnet, the suction nozzle By adsorbing the base portion and the suction nozzle to the fixing sheet, and assembling a wafer mounting device, the cone-shaped positioning hole of the fixing sheet and the positioning pillar of the suction nozzle base portion, and by the adjustment function of the sealing part , can automatically adjust the vertical offset, and at the same time become the horizontal positioner of the suction nozzle.

Description

흡인 노즐을 접속하는 조립 구조{Connection Nozzle Assembly Structure}Assembly structure for connecting suction nozzles {Connection Nozzle Assembly Structure}

본 발명은 웨이퍼의 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조에 관한 것으로, 특히 자동적으로 전체 구조의 수직 오프셋과 수평 포지셔너(positioner)를 조정할 수 있는 조립 구조에 관한 것이다. The present invention relates to an assembly structure for connecting suction nozzles of a wafer, and more particularly to an assembly structure capable of automatically adjusting a vertical offset and a horizontal positioner of the entire structure.

반도체의 패키징 프로세스에서, 절단하거나 연삭(硏削)하거나 한 웨이퍼의 흡인과 방치를 행할 필요가 있으므로, 흡인과 방치를 위한 장치를 설치하고, 그 장치에서는 웨이퍼의 흡인과 방치 사이에 접촉이 있으므로, 고정 시트(seat)와 흡인 노즐을 설치한다. In the semiconductor packaging process, since it is necessary to perform suction and standing of a wafer that has been cut or ground, a device for suctioning and leaving is provided, and in the device, there is contact between suction and leaving of the wafer, Install a fixed seat and suction nozzle.

웨이퍼의 두께가 점점 얇아짐에 따라, 현재의 시장에서 흔히 볼 수 있는 사양은 약 30∼50μm이며, 게다가 점점 얇아지고 있다. 그 때문에, 흡인과 방치를 행하는 작업은 흡인 노즐의 인공 조작시의 과실로, 평압(平壓)으로 할 수 없게 되거나, 또는 흡인 노즐이 균등하게 힘을 가할 수 없으므로, 웨이퍼와 접촉면에 공기를 발생하거나, 또는 언더필(underfill)로 완전히 접착할 수 없으며, 또한, 웨이퍼에 손상을 주므로, 원래의 흡인과 방치를 위한 고정 시트와 흡인 노즐은 생산 요구를 만족시킬 수 없지만, 흡인 노즐이 평면 방식으로 제작되는 것을 제외하고, 더 얇은 웨이퍼에 대하여, 서로 다른 고정 시트와 흡인 노즐을 제조하는 경우가 있다. As wafers become thinner, the specifications commonly found on the market today are about 30-50 μm, and they are getting thinner. Therefore, the operation of performing suction and leaving is due to negligence at the time of artificial manipulation of the suction nozzle, and the flat pressure cannot be performed, or the suction nozzle cannot apply the force evenly, so air is generated on the contact surface with the wafer. Or, it cannot be completely adhered with an underfill, and also damage the wafer, so the original fixed seat for suction and leaving and the suction nozzle cannot meet the production needs, but the suction nozzle is manufactured in a flat manner Except that, for thinner wafers, different fixing sheets and suction nozzles are sometimes manufactured.

종래, 흔히 볼 수 있는 흡인 노즐을 접속하기 위해 사용되는 조립 구조는 고정 시트에서 클램프 턱부(clamp jaw)를 배치하고, 흡인 노즐을 직접 클램프 턱부에 매립시킨다. 그러나, 흡인 노즐은 고정 시트의 위쪽에 배치되어 있는 클램프 턱부에 매립되어 있으므로, 흡인 노즐이 장착 매립된 후 분리하기 어렵고, 이로 인해 교체하기가 어려워진다. 흡인 노즐을 장착할 때는, 흡인 노즐의 흡인 웨이퍼면에 접촉하는 것을 피할 수 없는데, 흡인 노즐에 오염을 초래하며, 또한 과실로 인해 흡인 노즐을 단부에까지 가압할 수 없으므로, 고정 시트의 접촉면에 부착되어 기울어지게 되며, 따라서 흡인 노즐을 장착한 후, 평평해야만 하는 것을 보증할 수 없어, 웨이퍼가 파손될 우려가 있다. 게다가, 클램프 턱부와 흡인 노즐간은 억지끼워맞춤 방식으로 조립되어 고정되므로, 흡인 노즐이 클램프 턱부로부터의 압력에 의해 변형되기 쉬워져, 웨이퍼가 파손될 우려가 있다. Conventionally, an assembly structure used to connect a suction nozzle, which is commonly seen, arranges a clamp jaw in a fixed seat, and embeds the suction nozzle directly into the clamp jaw. However, since the suction nozzle is embedded in the clamp jaws disposed above the fixing seat, it is difficult to remove the suction nozzle after mounting and embedding, which makes it difficult to replace. When mounting the suction nozzle, it is inevitable to avoid contact with the suction wafer surface of the suction nozzle, which causes contamination of the suction nozzle, and since the suction nozzle cannot be pressed to the end due to negligence, it is attached to the contact surface of the fixed sheet. It is inclined, therefore, after mounting the suction nozzle, it cannot be guaranteed that it must be flat, and there is a risk of damage to the wafer. In addition, since the clamp jaw and the suction nozzle are assembled and fixed in an interference fit manner, the suction nozzle is liable to be deformed by the pressure from the clamp jaw, and there is a fear that the wafer may be damaged.

종래, 흡인 노즐을 접속하기 위해 사용되는 조립 구조는, 고정 시트가, 진공 구멍 바닥부의 볼록 접촉 구조와 흡인 노즐에 배치되어 대응하는 오목형 구조에 위치하여, 클램프 턱부가 흡인 노즐에 장착되는 것은 용이하지만, 흡인 노즐에 대응하는 오목형 구조를 마련해야 하기 때문에, 제조 과정에서 변형되기 쉽고, 또한 장착할 때, 흡인 노즐이 오염된다는 문제가 있다. 또한, 흡인 노즐이 그 재료에 따라 제조시 보다 큰 공차(公差)를 가지는 경우가 있어, 미리 설정된 대응하는 요철(凹凸) 구조를 가지지만, 슬라이딩이나 변형되기가 쉬워 웨이퍼가 파손될 우려가 있다. Conventionally, in the assembly structure used for connecting the suction nozzle, the fixing sheet is disposed in the convex contact structure of the vacuum hole bottom and the suction nozzle is located in the corresponding concave structure, so that the clamp jaw is easily mounted to the suction nozzle However, since it is necessary to provide a concave structure corresponding to the suction nozzle, it is liable to be deformed during the manufacturing process, and there is a problem that the suction nozzle is contaminated during installation. Further, depending on the material, the suction nozzle may have a larger tolerance at the time of manufacture, and although it has a preset corresponding concave-convex structure, it is easy to slide or deform, and there is a fear that the wafer may be damaged.

대응하고 있는 체결의 관계로, 흡인 노즐을 고정시키는 조립 구조로서, 고정 시트의 아래쪽에도 위치결정다리를 연신(延伸)하여, 흡인 노즐에 있는 위치결정구멍과 끼워 맞추고, 또한 위치결정다리와 흡인 노즐간의 체결 구조에서는 흡인 노즐의 장착과 분리에도 어려움이 있다. 게다가, 흡인 노즐과 고정 시트간은 체결에 의해 위치를 지정하여, 구조로는 조정할 수 없는데, 장착할 때, 접촉으로 인해 흡인 노즐이 오염될 우려가 있다. As an assembly structure for fixing the suction nozzle in relation to the corresponding fastening, the positioning leg is also extended below the fixing seat to fit the positioning hole in the suction nozzle, and furthermore, the positioning leg and the suction nozzle In the fastening structure of the liver, it is difficult to attach and detach the suction nozzle. In addition, the position between the suction nozzle and the fixed seat is specified by fastening and cannot be adjusted by the structure, but when mounting, there is a fear that the suction nozzle is contaminated due to contact.

종래의 조립 구조에서는 상술한 대응하고 있는 체결의 관계로, 흡인 노즐을 고정하는 것을 개량함으로써, 고정 시트에 마그넷을 매립하고, 흡인 노즐에 빨아당기는 철편(鐵片) 또는 스테인리스강을 마련하여, 체결의 조립 구조를 치환한다. 그러나, 체결의 조립 구조를 개선할 수 있지만, 다른 기술적인 문제도 일으킨다. 고정 시트와 흡인 노즐 사이의 철편 또는 스테인리스강은 완전히 체결하여 결합할 수 없으므로, 진공 누출 상태의 가능성이 있다. 또한, 마그넷과 흡인 노즐 사이에 있는 철편 또는 스테인리스강의 자기(磁氣) 흡착 구조는 대응하는 위치결정부위가 없고, 흡인 노즐의 조립 시에 수평 오프셋의 문제를 일으킨다. In the conventional assembly structure, in relation to the fastening corresponding to the above, by improving the fixing of the suction nozzle, the magnet is embedded in the fixing sheet, and an iron piece or stainless steel to be sucked into the suction nozzle is provided and fastened. replace the assembly structure of However, although the assembly structure of the fastening can be improved, it also causes other technical problems. Since the iron piece or stainless steel between the fixed seat and the suction nozzle cannot be fully fastened and joined, there is a possibility of a vacuum leak. In addition, the magnetic adsorption structure of iron pieces or stainless steel between the magnet and the suction nozzle does not have a corresponding positioning portion, and causes a problem of horizontal offset when assembling the suction nozzle.

또한, 종래 체결의 관계로, 흡인 노즐을 고정하는 조립 구조는, 조립된 흡인 노즐의 평면도(平面度)의 문제에 초점을 맞춘 경우, 흡인된 웨이퍼에 대하여, 흡인 노즐과 평면이 아닌 수직 오프셋의 문제를 일으킨다면, 상술한 흡인 노즐과 고정 시트 사이에 따른 평면도(平面度)의 구조상 개량으로는 수직 오프셋의 문제를 해결할 수 없고, 특히 웨이퍼의 두께가 얇아지면, 이 문제의 영향이 커진다. In addition, in relation to the conventional fastening, the assembly structure for fixing the suction nozzle, when focusing on the problem of flatness of the assembled suction nozzle, with respect to the suctioned wafer, the suction nozzle and the vertical offset of the vertical offset If a problem arises, the problem of vertical offset cannot be solved by structural improvement of the flatness between the suction nozzle and the fixed seat as described above, and especially when the thickness of the wafer becomes thinner, the effect of this problem increases.

이와 같은 점을 감안하여, 종래의 개량 구조에 대하여, 제 1 양태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조를 제공하며, 흡인 노즐의 조립에 사용된다. 조립 구조는 고정 시트와, 흡인 노즐 베이스부를 포함한다. 고정 시트는 자기(磁氣) 전도체를 가지며, 적어도 2개의 위치결정부를 구비한다. 위치결정부는 고정 시트의 서로 다른 측에 각각 배치되어 있다. 흡인 노즐 베이스부는 자기 전도체를 가지며, 흡인 노즐이 설치된다. 흡인 노즐 베이스부는 위치결정부에 대응하여 각각 위치결정기둥이 마련되며, 위치고정기둥이 대응하는 위치결정부에 삽입됨으로써, 흡인 노즐 베이스부를 고정 시트에 접속시킨다. 고정 시트가 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조에 있는 수평 변위를 제한하므로, 흡인 노즐의 조작 사용에 유리한 점이 있다. 흡인 노즐 베이스부에는 마그넷을 설치하기 위한 오목부가 형성된다. 고정 시트는 투자율(透磁率)을 가지며, 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부와의 사이는 자기 흡착에 의해 조립하여 연접한다. 이로써, 자력이 흡인 노즐의 하단으로부터 누출되는 것이 방지된다.In view of such a point, an assembly structure for connecting the suction nozzles according to the first aspect is provided with respect to the conventional improved structure, and is used for assembling the suction nozzles. The assembly structure includes a fixed seat and a suction nozzle base. The fixing sheet has a magnetic conductor and has at least two positioning portions. The positioning portions are respectively disposed on different sides of the fixing seat. The suction nozzle base has a magnetic conductor, and a suction nozzle is provided. Each of the suction nozzle bases is provided with positioning posts corresponding to the positioning parts, and the positioning posts are inserted into the corresponding positioning parts to connect the suction nozzle base to the fixing seat. Since the fixing seat limits the horizontal displacement in the assembly structure with the suction nozzle base, there is an advantage in the operation use of the suction nozzle. A concave portion for installing a magnet is formed in the suction nozzle base portion. The fixed sheet has magnetic permeability, and the fixed sheet and the suction nozzle base are assembled and connected by magnetic adsorption. Thereby, the magnetic force is prevented from leaking from the lower end of the suction nozzle.

고정 시트는 그 상단면에서 결합부가 형성된다. 결합부는 진공 통로를 구비한다. 마그넷에는 흡인 노즐 베이스부와 공동(共同)으로 진공 통로를 연통시키기 위한 개구부가 마련된다. 흡인 노즐 베이스부에는 실링 홈이 형성된다. 실링 홈은 오목부의 외측을 에워싼다. 실링 홈에는 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부 사이에 끼이는 실링 부품이 설치된다. 실링 부품은 진공 기밀성을 확보하기 위해 탄성 재료로 만들어지고, 흡인 노즐 베이스부의 높이보다도 높게 되어 있다. 고정 시트의 하단면과 흡인 노즐 베이스부의 상단면과의 사이에는 조정 공간이 확보되고, 조정 공간의 높이는 경사로 인해 생기는 고저차(高低差)를 보상하기 위해 사용된다. The fixing sheet is formed with a coupling portion at its upper surface. The coupling portion has a vacuum passage. The magnet is provided with an opening for communicating the vacuum passage with the suction nozzle base in common. A sealing groove is formed in the suction nozzle base. The sealing groove surrounds the outside of the recess. In the sealing groove, a sealing part sandwiched between the fixed seat and the suction nozzle base is provided. The sealing part is made of an elastic material to ensure vacuum tightness, and is higher than the height of the suction nozzle base. An adjustment space is secured between the lower end surface of the fixed seat and the upper end surface of the suction nozzle base, and the height of the adjustment space is used to compensate for the elevation difference caused by the inclination.

흡인 노즐 베이스부의 양측에는 각각 취급을 용이하게 하기 위해 핸들이 마련된다. Handles are provided on both sides of the suction nozzle base to facilitate handling, respectively.

제2 양태에 따른 조립 구조는 고정 시트와, 흡인 노즐 베이스부를 포함한다. 고정 시트는 자기 전도체를 가지며, 적어도 2개의 위치결정부를 구비한다. 위치결정부는 고정 시트의 서로 다른 측에 각각 배치되어 있다. 흡인 노즐 베이스부는 자기 전도체를 가지며, 흡인 노즐이 설치된다. 흡인 노즐 베이스부는 위치결정부에 대응하여 각각 위치결정기둥이 마련되고, 위치결정기둥이 대응하는 위치결정부에 삽입됨으로써, 흡인 노즐 베이스부를 고정 시트에 접속시키고, 또한 고정 시트가 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조에 있는 수평 변위를 제한하므로, 흡인 노즐의 조작 사용에 유리하다. 흡인 노즐 베이스부는 마그넷을 설치하기 위한 적어도 1개의 오목부가 형성되고, 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부 사이는 자기의 흡착으로 접속한다. The assembly structure according to the second aspect includes a fixing seat and a suction nozzle base portion. The fixing sheet has a magnetic conductor and has at least two positioning portions. The positioning portions are respectively disposed on different sides of the fixing seat. The suction nozzle base has a magnetic conductor, and a suction nozzle is provided. The suction nozzle base portion is provided with a positioning column corresponding to the positioning portion, respectively, and the positioning pillar is inserted into the corresponding positioning portion, thereby connecting the suction nozzle base to the fixed seat, and the fixed seat is connected to the suction nozzle base Since it limits the horizontal displacement in the assembly structure of the suction nozzle, it is advantageous for the operation use of the suction nozzle. At least one recess for installing a magnet is formed in the suction nozzle base, and the fixed seat and the suction nozzle base are connected by magnetic suction.

고정 시트에는 그 상단면에 결합부가 형성된다. 결합부는 진공 통로를 구비한다. 흡인 노즐 베이스부에는 고정 시트의 진공 통로를 연통시키기 위해 진공 구멍이 마련된다. 흡인 노즐 베이스부에는 실링 홈이 형성된다. 실링 홈은 오목부의 외측을 에워싼다. 실링 홈에는 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부와의 사이에 끼이는 실링 부품이 설치된다. 실링 부품은 진공 기밀성을 확보하기 위해 탄성 재료로 만들어진다. 고정 시트의 하단면과 흡인 노즐 베이스부의 상단면과의 사이에 형성되는 조정 공간에 따라, 실링 부품은 흡인 노즐 베이스부의 높이보다 높게 되어 있다. 조정 공간의 높이는 경사로 의해 생기는 고저차를 보상하기 위해 사용된다. A coupling portion is formed on the upper surface of the fixing sheet. The coupling portion has a vacuum passage. A vacuum hole is provided in the suction nozzle base portion for communicating the vacuum passage of the fixed sheet. A sealing groove is formed in the suction nozzle base. The sealing groove surrounds the outside of the recess. A sealing part is provided in the sealing groove to be sandwiched between the fixed seat and the suction nozzle base. The sealing part is made of an elastic material to ensure vacuum tightness. According to an adjustment space formed between the lower end surface of the fixed seat and the upper end surface of the suction nozzle base, the sealing component is higher than the height of the suction nozzle base. The height of the adjustment space is used to compensate for the elevation difference caused by the slope.

흡인 노즐 베이스부의 양측에는 각각 취급을 용이하게 하기 위해 핸들이 마련된다. Handles are provided on both sides of the suction nozzle base to facilitate handling, respectively.

제3 양태에 따른 조립 구조는 고정 시트와, 흡인 노즐 베이스부와, 실링 부품을 포함한다. 고정 시트는 자기 전도체를 가지며, 적어도 2개의 위치결정부를 구비한다. 위치결정부는 폭이 테이퍼진 원뿔홀을 갖는다. 고정 시트의 하단면에는 하단 구멍이 형성되어 있다. 흡인 노즐 베이스부는 자기 전도체를 가지며, 흡인 노즐이 설치된다. 흡인 노즐 베이스부에는 위치결정부에 대응하여 각각 위치결정기둥이 마련되며, 위치결정기둥에 대응하는 하단 구멍에 삽입됨으로써, 흡인 노즐 베이스부를 고정 시트에 접속시키고, 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조에 있는 수평 변위를 제한한다. 실링 부품은 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부와의 사이에 끼인다. 위치결정부는 원뿔홀이 그 하단 구멍의 위쪽에 위치하는 홀과 서로 대향함으로써 흡인 노즐 베이스부가 경사져 있을 때, 위치결정기둥에 필요한 상대(相對) 변위 공간을 제공하여, 흡인 노즐의 하단면이 경사진 웨이퍼의 표면에 장착되는 것에 유리하다. 실링 부품을 이용하여, 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조의 밀착도를 유지한다. The assembly structure according to the third aspect includes a fixing seat, a suction nozzle base portion, and a sealing part. The fixing sheet has a magnetic conductor and has at least two positioning portions. The positioning portion has a conical hole tapered in width. A bottom hole is formed in the lower surface of the fixing sheet. The suction nozzle base has a magnetic conductor, and a suction nozzle is provided. The suction nozzle base is provided with positioning posts corresponding to the positioning sections, respectively, and is inserted into the lower hole corresponding to the positioning posts, thereby connecting the suction nozzle base to the fixed seat, and connecting the fixed seat and the suction nozzle base to the fixed seat. Limit the horizontal displacement in the assembly structure. The sealing part is sandwiched between the fixed seat and the suction nozzle base. The positioning portion provides a space for relative displacement necessary for the positioning column when the suction nozzle base is inclined by the conical hole facing the hole positioned above the lower hole, so that the lower end of the suction nozzle is inclined. It is advantageous to be mounted on the surface of the wafer. The adhesion degree of the assembly structure of a fixed seat and a suction nozzle base part is maintained using a sealing part.

원뿔홀의 경사면은 수직선과의 사이각이 1°로부터 5°이며, 바람직하게는 2°∼2.5°가 된다. The angle between the inclined surface of the conical hole and the vertical line is 1° to 5°, and preferably 2° to 2.5°.

위치결정부는 고정 시트의 서로 다른 측에 각각 배치되어 있다. The positioning portions are respectively disposed on different sides of the fixing seat.

흡인 노즐 베이스부에는 오목부 및 실링 홈이 형성된다. 오목부는 마그넷을 설치하기 위한 것으로, 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부와의 사이는 자기 흡착에 의해 조립 접속함으로써, 자력이 흡인 노즐의 하단으로부터 누출되는 것이 방지된다. 실링 홈은 오목부의 외측을 에워싸고, 실링 부품은 실링 홈에 배치된다. A concave portion and a sealing groove are formed in the suction nozzle base portion. The recess is for attaching a magnet, and the magnetic force is prevented from leaking from the lower end of the suction nozzle by assembling and connecting the fixed seat and the suction nozzle base by magnetic suction. The sealing groove surrounds the outside of the recess, and the sealing part is disposed in the sealing groove.

고정부의 상단면에는 결합부가 마련된다. 결합부에는 진공 통로가 형성된다. 오목부의 바닥면에는 진공 구멍이 형성된다. 마그넷에는 오목부와 공동으로 진공 통로를 연통시키기 위한 개구부가 마련된다. 실링 부품은 고정 시트의 하단면과 흡인 노즐 베이스부의 상단면과의 사이에 형성되는 조정 공간에 따라, 흡인 노즐 베이스부의 높이보다 높게 되어 있다. 조정 공간의 높이는 경사에 의해 생기는 고저차를 보상한다. A coupling part is provided on the upper surface of the fixing part. A vacuum passage is formed in the coupling portion. A vacuum hole is formed in the bottom surface of the recess. The magnet is provided with an opening for communicating the vacuum passage jointly with the concave portion. The sealing component is higher than the height of the suction nozzle base according to the adjustment space formed between the lower end surface of the fixed seat and the upper end surface of the suction nozzle base. The height of the adjustment space compensates for the elevation difference caused by the inclination.

흡인 노즐 베이스부는 투자율을 가지며, 적어도 하나의 오목부 및 실링 홈이 형성된다. 오목부는 마그넷을 설치하기 위한 것으로, 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부와의 사이는 자기 흡착에 의해 조립하여 접속함으로써, 자력이 흡인 노즐의 하단으로부터 누출되는 것이 방지된다. 실링 홈은 오목부의 외측을 에워싼다. 실링 부품은 실링 홈에 배치된다. 고정부의 상단면에는 결합부가 마련되다. 결합부에는 진공 통로가 형성된다. 흡인 노즐 베이스부는 고정부의 진공 통로를 연통시키기 위한 진공 구멍이 형성된다. 실링 부품은 고정 시트의 하단면과 흡인 노즐 베이스부의 상단면과의 사이에 형성되는 조정 공간에 따라, 흡인 노즐 베이스부의 높이보다 높게 되어 있다. 조정 공간의 높이는 경사에 의해 생기는 고저차를 보상한다. 실링 부품은 진공 기밀성을 확보하기 위한 탄성 재료를 사용한다. The suction nozzle base portion has a magnetic permeability, and at least one concave portion and a sealing groove are formed therein. The recess is for attaching a magnet, and the magnetic force is prevented from leaking from the lower end of the suction nozzle by assembling and connecting the fixed seat and the suction nozzle base by magnetic suction. The sealing groove surrounds the outside of the recess. The sealing part is arranged in the sealing groove. A coupling part is provided on the upper surface of the fixing part. A vacuum passage is formed in the coupling portion. The suction nozzle base portion is formed with a vacuum hole for communicating the vacuum passage of the fixing portion. The sealing component is higher than the height of the suction nozzle base according to the adjustment space formed between the lower end surface of the fixed seat and the upper end surface of the suction nozzle base. The height of the adjustment space compensates for the elevation difference caused by the inclination. The sealing part uses an elastic material to ensure vacuum tightness.

흡인 노즐 베이스부의 양측에는 각각 취급을 용이하게 하기 위해 핸들이 마련된다. Handles are provided on both sides of the suction nozzle base to facilitate handling, respectively.

본 발명은 종래의 기술과 비교하면, 하기의 효과가 있다. Compared with the prior art, the present invention has the following effects.

본 발명의 조립 구조에는 고정부는 서로 다른 측에 있는 위치결정부를 이용하여 흡인 노즐 베이스부의 위치결정기둥을 맞추고, 위치결정기둥이 위치결정부의 하단 구멍에 대응하여 삽입되는 대응 구조로 되어 있어, 고정부와 흡인 노즐 베이스부를 조립하는 수평 포지셔너로서 기능한다. 이로써, 흡인 노즐이 수평 변위의 문제를 갖지 않는다.In the assembly structure of the present invention, the fixing part has a corresponding structure in which the positioning posts of the suction nozzle base are aligned using the positioning parts on different sides, and the positioning posts are inserted corresponding to the lower hole of the positioning part, and functions as a horizontal positioner to assemble the suction nozzle base. Thereby, the suction nozzle does not have the problem of horizontal displacement.

또한, 흡인 노즐은 흡인 노즐 베이스부에 직접 평평하게 장착되어 있으므로, 확실하게 흡인 노즐을 조립하는 구조에 맞추는 대신에, 흡인 노즐의 변형 문제가 발생하지 않는다. Further, since the suction nozzle is directly and flatly mounted on the suction nozzle base portion, instead of securely fitting the suction nozzle assembling structure, the problem of deformation of the suction nozzle does not occur.

조립 구조에 있는 흡인 노즐은 실링 홈에 실링 부품이 설치되고, 실링 부품의 탄성을 이용하여, 고정부, 흡인 노즐, 흡인 노즐 베이스부, 웨이퍼 또는 그 흡착물 등과 관련된 다양한 요철이나 경사를 수정한다. 이로써, 평면도를 확보하기 위해, 흡인 노즐을 평탄하게 흡착되도록 하거나, 또는 평탄하게 웨이퍼 또는 흡착물에 접착시킨다. In the suction nozzle in the assembly structure, a sealing component is installed in the sealing groove, and the elasticity of the sealing component is used to correct various irregularities or inclinations related to the fixing part, the suction nozzle, the suction nozzle base, the wafer or its adsorbent. Thereby, in order to ensure a flatness, the suction nozzle is made to be sucked flatly or adhered to the wafer or adsorbed material flatly.

조립 구조에 있는 흡인 노즐 베이스부에는 마그넷이 설치되어, 투자율을 가지는 고정 시트 및 흡인 노즐 베이스부를 맞추고, 고정 시트와 흡인 노즐 베이스부 사이는 자기 흡착을 통하여 조립하여 접속한다. 이로써, 자력이 흡인 노즐의 면 끝에서부터 누출되는 것이 방지된다. 흡인 노즐 베이스부에는 핸들이 마련되어 있어, 핸들을 이용하여 흡인 노즐 베이스부를 조립하므로, 작업자가 흡인 노즐의 하단면에 닿지 않도록, 신속하고 간편하게 흡인 노즐 베이스부와 흡인 노즐을 고정부에 장착하거나, 또는 고정부로부터 분리가능하다. 또한, 웨이퍼면을 흡인하기 위한 흡인 노즐의 하단면을 오염시키지 않고, 고정부를 장착 또는 분리할 필요는 없다. A magnet is installed on the suction nozzle base in the assembly structure, and the fixed sheet and the suction nozzle base having magnetic permeability are aligned, and the fixed seat and the suction nozzle base are assembled and connected through magnetic suction. Thereby, the magnetic force is prevented from leaking from the surface end of the suction nozzle. The suction nozzle base is provided with a handle, and since the suction nozzle base is assembled using the handle, the suction nozzle base and the suction nozzle can be quickly and easily attached to the fixed part so that the operator does not touch the lower surface of the suction nozzle, or It is detachable from the fixed part. Further, the lower end surface of the suction nozzle for sucking the wafer surface is not contaminated, and there is no need to mount or remove the fixing portion.

조작 환경의 온도는 마그넷의 자력에 영향을 줄 우려가 있지만, 흡인 노즐의 수명이 보다 짧으므로, 그것을 교환할 필요가 있기 전에, 자력에 미치는 온도의 영향은 흡인 노즐의 내용연수(耐用年數)가 종료되어, 마그넷의 자기가 퀴리 온도에서 완전히 없어지지 않는 한, 웨이퍼를 흡인과 방치하는 작업에 영향을 미치지 않는다. The temperature of the operating environment may affect the magnetic force of the magnet, but since the life of the suction nozzle is shorter, before it is necessary to replace it, the effect of temperature on the magnetic force is the service life of the suction nozzle. is finished, and the operation of suctioning and leaving the wafer is not affected, unless the magnetism of the magnet is completely lost at the Curie temperature.

고정부에는 원뿔홀이 마련된다. 원뿔홀은 경사면으로 에워싸인 폭이 테이퍼진 원뿔형태의 구조 공간이어서, 흡인 노즐 베이스부가 경사져 있을 때, 고정부의 위치가 변하지 않기 때문에, 위치결정기둥이 필요한 상대 변위 공간을 제공할 수 있다. 이에, 흡인 노즐 베이스부는 실링 부품을 맞출 수가 있어, 경사를 통하여, 전체의 조립 또는 웨이퍼나 또는 다른 원인 등으로 생긴 수직 오프셋에 대응하여, 보정을 실시한다. A conical hole is provided in the fixing part. Since the conical hole is a structural space in the form of a tapered cone surrounded by an inclined surface, the position of the fixing part does not change when the suction nozzle base is inclined, so that the positioning pillar can provide a necessary relative displacement space. Accordingly, the suction nozzle base can match the sealing parts, and correction is performed in response to the vertical offset caused by the assembling of the whole or the wafer or other causes through the inclination.

고정부의 원뿔홀은 그 경사면과 수직선과의 사이각이 고정부와 흡인 노즐과 웨이퍼 등의 모든 가능한 수직 오프셋의 최대 경사도를 고려하여 설계되어, 수직 오프셋이 발생했을 때, 실링 부품과의 조합에 기여하여, 수직 오프셋을 평탄도(平坦度)로 보정할 수 있다. The conical hole of the fixed part is designed in consideration of the maximum inclination of all possible vertical offsets of the fixed part and the suction nozzle and the wafer, etc. By contributing, the vertical offset can be corrected to flatness.

흡인 노즐 베이스부는 경사져 있을 때, 그 고정부와 경사에 의해 높이가 달라도, 실링 부품이 둘 사이의 기밀성을 유지하기 위해 사용된다. When the suction nozzle base is inclined, a sealing part is used to maintain airtightness between the two, even if the height is different due to the inclination and the fixing part thereof.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 사시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 바닥면측에서 본 사시도.
도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 분해사시도.
도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 웨이퍼를 흡인하는 것을 나타낸 도면.
도 5a는 도 5의 부분 확대도.
도 6은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 수직 조정을 나타낸 도면.
도 6a는 도 6의 부분 확대도.
도 7은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 사시도.
도 8은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 바닥면측에서 본 사시도.
도 9는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 분해사시도.
도 10은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 단면도.
도 11은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 웨이퍼를 흡인하는 것을 나타낸 도면.
도 12는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 수직 조정을 나타낸 도.
도 13은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 사시도.
도 14는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 바닥면에서 본 사시도.
도 15는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 분해사시도.
도 16은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 단면도.
도 17은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 웨이퍼를 흡인하는 것을 나타낸 도면.
도 18은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조의 수직 조정을 나타낸 도면. 1 is a perspective view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a first embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a perspective view from the bottom side of an assembly structure for connecting suction nozzles according to the first embodiment of the present invention;
Fig. 3 is an exploded perspective view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to the first embodiment of the present invention;
Fig. 4 is a cross-sectional view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to the first embodiment of the present invention;
Fig. 5 is a view showing suction of a wafer having an assembly structure for connecting a suction nozzle according to the first embodiment of the present invention;
Fig. 5a is a partially enlarged view of Fig. 5;
Fig. 6 is a view showing vertical adjustment of an assembly structure for connecting suction nozzles according to the first embodiment of the present invention;
Fig. 6a is a partially enlarged view of Fig. 6;
Fig. 7 is a perspective view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a second embodiment of the present invention;
Fig. 8 is a perspective view from the bottom side of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a second embodiment of the present invention;
Fig. 9 is an exploded perspective view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a second embodiment of the present invention;
Fig. 10 is a cross-sectional view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a second embodiment of the present invention;
Fig. 11 is a diagram showing suction of a wafer having an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a second embodiment of the present invention;
Fig. 12 is a view showing vertical adjustment of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a second embodiment of the present invention;
Fig. 13 is a perspective view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a third embodiment of the present invention;
Fig. 14 is a perspective view from the bottom of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a third embodiment of the present invention;
Fig. 15 is an exploded perspective view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a third embodiment of the present invention;
Fig. 16 is a cross-sectional view of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a third embodiment of the present invention;
Fig. 17 is a diagram showing suction of a wafer having an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a third embodiment of the present invention;
Fig. 18 is a view showing vertical adjustment of an assembly structure for connecting a suction nozzle according to a third embodiment of the present invention;

(제1 실시형태)(First embodiment)

본 발명의 제1 실시형태에 따른 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조를 도 1∼도 3를 참조하여 설명한다. 도 1∼도 3은 본 발명의 제1 실시형태의 사시도와 분해사시도이다. 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조는 고정 시트(10)와, 흡인 노즐 베이스부(20)를 포함한다. 흡인 노즐 베이스부(20)는 흡인 노즐(30)을 설치하고, 흡인 노즐(30)은 그 하단면이 웨이퍼(40)를 흡인하기 위한 것이다. 고정 시트(10) 및 흡인 노즐 베이스부(20)는 자기의 누출을 피하기 위해 자성을 갖는 금속 재료로 제조된다.An assembly structure for connecting a suction nozzle according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 3 are a perspective view and an exploded perspective view of a first embodiment of the present invention. The assembly structure for connecting the suction nozzles includes a fixed seat 10 and a suction nozzle base 20 . The suction nozzle base 20 is provided with a suction nozzle 30 , and the bottom surface of the suction nozzle 30 is for sucking the wafer 40 . The fixing seat 10 and the suction nozzle base 20 are made of a metal material having magnetism to avoid leakage of magnetism.

고정 시트(10)는 자기 전도체인 금속 본체를 가지며, 진공 아스피레이터(aspirator)(미도시)에 결합하기 위해, 그 상단면에는 결합부(11)가 배치된다. 결합부(11)에는 진공 통로(111)가 형성된다. 진공 통로(111)는 결합부(11) 및 고정 시트(10)를 관통하고 있다. The fixing sheet 10 has a metal body that is a magnetic conductor, and in order to couple to a vacuum aspirator (not shown), a coupling part 11 is disposed on its upper surface. A vacuum passage 111 is formed in the coupling portion 11 . The vacuum passage 111 passes through the coupling portion 11 and the fixing sheet 10 .

도 5a에 나타낸 바와 같이, 고정 시트(10)에는 2개의 위치결정부(12)가 마련된다. 2개의 위치결정부(12)는 각각 서로 다른 측에 설치된다. 위치결정부(12)는 고정 시트(10)를 관통하는 테이퍼 형상의 원뿔홀(120)을 구비한다. 고정 시트(10)의 상하 양 끝면에는 각각 상단(上端) 구멍(121) 또는 하단 구멍(122)이 형성된다. 위치결정부(12)의 원뿔홀(120)은 수직선과 1°∼5°를 이루는 경사면을 갖는다. As shown in FIG. 5A , the fixing seat 10 is provided with two positioning portions 12 . The two positioning units 12 are respectively installed on different sides. The positioning unit 12 has a conical hole 120 having a tapered shape penetrating the fixing sheet 10 . An upper end hole 121 or a lower end hole 122 is formed in both upper and lower end surfaces of the fixing sheet 10 , respectively. The conical hole 120 of the positioning unit 12 has an inclined surface forming 1° to 5° with the vertical line.

실제의 요구에 따라, 원뿔홀(120)의 경사면과 수직선과의 사이각(θ)은 2°, 2.5°, 3°, 3.5°, 4° 또는 4.5°가 되며, 사이각(θ)의 바람직한 범위는 2°∼2.5°가 된다. According to actual requirements, the angle θ between the inclined surface of the conical hole 120 and the vertical line becomes 2°, 2.5°, 3°, 3.5°, 4° or 4.5°, and the preferred angle between the angle θ is θ. The range is from 2° to 2.5°.

고정 시트(10)는 먼지 또는 잡물(雜物)이 위치결정부(12) 내에 낙하하는 것을 방지하기 위해서 임의로 위치결정부(12)의 상단 구멍(121)에 캡(미도시)을 마련할 수도 있다. 필요에 따라, 위치결정부(12)의 수를 늘린다. The fixing sheet 10 may optionally provide a cap (not shown) in the upper hole 121 of the positioning unit 12 in order to prevent dust or foreign objects from falling into the positioning unit 12 . have. If necessary, the number of positioning units 12 is increased.

또한, 본 실시형태에 따른 고정 시트(10)의 위치결정부(12)의 원뿔홀(120)은 고정 시트(10)의 하단면을 관통하고, 그에 따라 하단 구멍(122)을 형성한다. In addition, the conical hole 120 of the positioning portion 12 of the fixing sheet 10 according to the present embodiment penetrates the lower end surface of the fixing sheet 10, thereby forming the bottom hole 122 .

흡인 노즐 베이스부(20)의 상단면은 고정 시트(10)의 위치결정부(12)의 부위에 대응하여, 각각 위치결정기둥(21)과, 진공 통로(111)를 관통하기 위한 진공 구멍(22)을 형성한다. 흡인 노즐 베이스부(20)의 하단면은 진공 구멍(22)을 연통시키는 진공 공간(25)과 고정 오목부(26)를 형성한다. 고정 오목부(26)는 흡인 노즐(30)을 접착 고정하기 위해 형성되어 있다. 흡인 노즐(30)은 흡인 노즐 베이스부(20)의 아래쪽에 평평하게 점착되어 있으므로, 흡인 노즐(30)의 평탄도를 확보할 수 있다. The upper surface of the suction nozzle base 20 corresponds to the portion of the positioning portion 12 of the fixing sheet 10, and the positioning column 21 and the vacuum hole for penetrating the vacuum passage 111, respectively ( 22) is formed. A lower end surface of the suction nozzle base portion 20 forms a vacuum space 25 for communicating the vacuum hole 22 and a fixing concave portion 26 . The fixing recessed portion 26 is formed for adhesively fixing the suction nozzle 30 . Since the suction nozzle 30 is flatly adhered to the lower side of the suction nozzle base 20 , flatness of the suction nozzle 30 can be ensured.

흡인 노즐 베이스부(20)의 상단면은 위치결정기둥(21)이 고정 시트(10)의 하단 구멍(122)에 대응하여 삽입되는 것을 이용하여, 흡인 노즐 베이스부(20)를 고정 시트(10)에 조립한다. 위치결정부(12)와 위치결정기둥(21)간의 삽입 구조에 의해, 고정 시트(10)와 흡인 노즐 베이스부(20)와의 조립 구조에 있는 수평 변위를 제한시킴으로써, 2개의 상대 위치가 제한되어 좌우로 이동할 수 없도록 하므로, 진공 하에서의 흡인 노즐(30)의 조작 사용에 기여한다. The upper end surface of the suction nozzle base 20 is inserted into the positioning column 21 corresponding to the lower hole 122 of the fixing sheet 10, so that the suction nozzle base 20 is attached to the fixing seat 10 ) assembling By limiting the horizontal displacement in the assembly structure of the fixing seat 10 and the suction nozzle base 20 by the insertion structure between the positioning portion 12 and the positioning pillar 21, the two relative positions are limited, Since it cannot move left and right, it contributes to the use of operation of the suction nozzle 30 under vacuum.

본 실시형태에 따른 고정 시트(10)와 흡인 노즐 베이스부(20)는 투자율을 갖는다. 흡인 노즐 베이스부(20)는 진공 통로(111)의 아래쪽에서 오목부(24)를 형성하고 있다. 진공 구멍(22)은 오목부(24)의 바닥면에 상대적으로 배치된다. 마그넷(29)는 오목부(24)에 설치된다. 이에 따라, 고정 시트(10)와 흡인 노즐 베이스부(20)와의 사이는 자기적으로 접속된다. 고정 시트(10)와 흡인 노즐 베이스부(20)는 자성 재료이므로, 자력이 흡인 노즐(30)의 하단면으로부터 누출되는 것이 방지된다. The fixed seat 10 and the suction nozzle base 20 according to the present embodiment have magnetic permeability. The suction nozzle base 20 forms a recess 24 below the vacuum passage 111 . The vacuum hole 22 is disposed relative to the bottom surface of the recess 24 . The magnet 29 is installed in the concave portion 24 . Thereby, the fixed seat 10 and the suction nozzle base 20 are magnetically connected. Since the fixing sheet 10 and the suction nozzle base 20 are magnetic materials, magnetic force is prevented from leaking from the lower end surface of the suction nozzle 30 .

흡인 노즐 베이스부(20)는 자기적(磁氣的)으로 고정 시트(10)에 흡착되어, 종래의 매립식 조립 구조를 개량할 수 있다. 설치시에는 뜻하지 않게 흡인 노즐 베이스부(20)를 가장 바닥면에 가압하여 고정 시트(10)에 밀착시키고, 흡인 노즐 베이스부(20)에 조립된 흡인 노즐(30)은 동시에 경사져 있어, 흡착된 웨이퍼(40)가 작업 중에 파손된다는 문제가 있다. The suction nozzle base 20 is magnetically attracted to the fixing sheet 10, so that the conventional embedded assembly structure can be improved. At the time of installation, the suction nozzle base 20 is accidentally pressed to the bottom surface to be in close contact with the fixed seat 10, and the suction nozzle 30 assembled to the suction nozzle base 20 is inclined at the same time, There is a problem that the wafer 40 is damaged during operation.

마그넷(29)에도 오목부(24)와 공동으로 진공 통로(111)를 연통시키기 위한 개구부가 마련된다.An opening for communicating the vacuum passage 111 with the concave portion 24 is also provided in the magnet 29 .

흡인 노즐 베이스부(20)에는 오목부(24)의 외측에 실링 홈(23)이 형성된다.도 3에 나타낸 바와 같이, 실링 홈(23)은 오목부(24)의 외측을 에워싸며, 실링 홈(23) 중에 부착 결합하여, 실링 부품(28)이 형성된다. 실링 부품(28)의 상단은 고정 시트(10)의 바닥면에 결합하고, 조립 후, 고정 시트(10)와 흡인 노즐 베이스부(20)와의 사이에 끼여 있다. 실링 부품(28)은 실링 홈(23)과 대응하여 동일한 외형으로 형성된다.A sealing groove 23 is formed on the outside of the concave portion 24 in the suction nozzle base 20. As shown in Fig. 3, the sealing groove 23 surrounds the outside of the concave portion 24, and the sealing groove 23 is By attaching and engaging in the groove 23 , a sealing part 28 is formed. The upper end of the sealing part 28 is coupled to the bottom surface of the fixed seat 10 , and is sandwiched between the fixed seat 10 and the suction nozzle base 20 after assembly. The sealing part 28 is formed to correspond to the sealing groove 23 and has the same external shape.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 실링 부품(28)은 탄성의 절연 재료로 형성되어, 고정 시트(10)와 흡인 노즐 베이스부(20) 사이의 기밀 구조를 확보할 수 있으며, 진공 조작 하에서 둘 사이의 진공도를 유지할 수 있다. 따라서, 흡인 노즐(30)이 진공 하에서 조작 사용하는 것에 기여한다. 실링 부품(28)의 재질 탄성은 고정 시트(10)와, 흡인 노즐 베이스부(20)와, 흡인 노즐(30)과, 웨이퍼(40)에 관한 다양한 구조상에 생긴 불규칙성 또는 경사를 수정할 수 있어, 흡인 노즐(30)을 웨이퍼(40)에 평탄하게 흡착하거나 또는 접착할 수 있다. 4 and 5, the sealing part 28 is formed of an elastic insulating material, so that the airtight structure between the fixing sheet 10 and the suction nozzle base 20 can be secured, and under vacuum operation A vacuum level between the two can be maintained. Thus, the suction nozzle 30 contributes to operation and use under vacuum. The elasticity of the material of the sealing part 28 can correct irregularities or inclinations generated in various structures with respect to the fixing sheet 10, the suction nozzle base 20, the suction nozzle 30, and the wafer 40, The suction nozzle 30 may be flatly adsorbed or adhered to the wafer 40 .

실제로는 온도는 흡인 노즐 베이스부(20)의 마그넷(29)에 영향을 미칠 가능성이 있고, 또한 자력에 영향을 준다. 그러나, 흡인 노즐(30)의 수명이 짧으므로, 흡인 노즐(30)을 교환할 필요가 있기 전에, 마그넷(29)에 대한 온도의 영향은 흡인 노즐(30)의 내용연수가 종료되기 전에 마그넷(29)의 자기가 퀴리 온도에서 완전히 없어지지 않는 한, 흡인과 방치하는 작업에 영향을 미치지 않는다. In practice, the temperature has the potential to affect the magnet 29 of the suction nozzle base 20, and also affects the magnetic force. However, since the life of the suction nozzle 30 is short, before the suction nozzle 30 needs to be replaced, the effect of temperature on the magnet 29 is 29), it does not affect the suction and standing operations unless the magnetism is completely lost at the Curie temperature.

도 4, 도 5에 나타낸 바와 같이, 흡인 노즐 베이스부(20)의 하단면에는 흡인 노즐(30)이 고정된다. 흡인 노즐(30)의 정상면은 통로(31)와 복수의 흡인 노즐(30)의 관통공(32)을 포함한다. 관통공(32)은 흡인 노즐 베이스부(20)의 진공 구멍(22) 및 진공 공간(25)을 통해, 고정 시트(10)의 진공 통로(111)와 연통하며, 진공 통로(111)와 관통공(32)이 공기 통로를 형성시킨다. 그에 따라, 흡인 노즐(30)은 진공 흡착 장치(미도시)를 이용하여, 진공 통로(111)가, 흡기할 때 생긴 진공 흡력을에 의해 웨이퍼(40)를 흡착한다. 이 때, 웨이퍼(40)는 흡인 노즐(30)이 조립된 후, 웨이퍼(40)를 흡착하기 위한 하단면(33)에 장착된다. 4 and 5 , the suction nozzle 30 is fixed to the lower end surface of the suction nozzle base 20 . The top surface of the suction nozzle 30 includes a passage 31 and through-holes 32 of the plurality of suction nozzles 30 . The through hole 32 communicates with the vacuum passage 111 of the fixing sheet 10 through the vacuum hole 22 and the vacuum space 25 of the suction nozzle base 20, and passes through the vacuum passage 111 Ball 32 forms an air passage. Accordingly, the suction nozzle 30 uses a vacuum suction device (not shown) to suction the wafer 40 by the vacuum suction power generated when the vacuum passage 111 sucks air. At this time, the wafer 40 is mounted on the bottom surface 33 for sucking the wafer 40 after the suction nozzle 30 is assembled.

통상의 사용 조건 하에서는 흡인 노즐(30)의 하단면(33)은 직접 웨이퍼(40)에 장착할 수 있다. 그러나, 웨이퍼(40)의 표면이 평탄하지 않은 경우나 웨이퍼(40)가 이상(異常)하게 배치된 경우에는, 웨이퍼(40)의 표면이 상대적으로 흡인 노즐(30)의 하단면(33)과 경사 상태가 된다. Under normal use conditions, the lower end surface 33 of the suction nozzle 30 may be directly mounted on the wafer 40 . However, when the surface of the wafer 40 is not flat or when the wafer 40 is arranged abnormally, the surface of the wafer 40 is relatively the lower surface 33 of the suction nozzle 30 and becomes inclined.

이와 같은 상황에서, 흡인 노즐(30)의 하단면(33)을 상대적으로 경사를 이루는 웨이퍼(40)의 표면에 접착시키기 위해, 흡인 노즐(30)과 흡인 노즐 베이스부(20)는 함께 경사지게 할 필요가 있어, 웨이퍼(40)의 구조를 손상시키지 않고 웨이퍼(40)와 점착하는 것을 유지할 수 있다. In this situation, in order to adhere the lower end surface 33 of the suction nozzle 30 to the surface of the wafer 40 that is relatively inclined, the suction nozzle 30 and the suction nozzle base 20 are inclined together. As necessary, adhesion with the wafer 40 can be maintained without damaging the structure of the wafer 40 .

도 6 및 도 6a에 나타낸 바와 같이, 흡인 노즐 베이스부(20)는 위치결정기둥(21)이 고정 시트(10)의 원뿔홀(120)의 하단 구멍(122)에 삽입된다. 원뿔홀(120)의 하단 구멍(122)의 위쪽은 서서히 넓어진 홀을 가지며, 원뿔홀(120)의 경사면으로 에워싸인 폭이 테이퍼진 원뿔형태의 구조 공간이다. 흡인 노즐 베이스부(20)가 경사졌을 때, 고정 시트(10)는 원래의 위치를 유지하고 있지만, 원뿔홀(120)은 위치결정기둥(21)에 필요한 상대 변위 공간을 제공하여, 흡인 노즐 베이스부(20)를 경사 방향에 따라 상하로 수직 조정시킨다. As shown in FIGS. 6 and 6A , the suction nozzle base 20 is inserted into the lower hole 122 of the conical hole 120 of the fixing seat 10 with the positioning pillar 21 . The upper portion of the lower hole 122 of the conical hole 120 has a gradually widened hole, and is a tapered conical structural space surrounded by the inclined surface of the conical hole 120 . When the suction nozzle base portion 20 is inclined, the fixed seat 10 maintains its original position, but the conical hole 120 provides a necessary relative displacement space for the positioning pillar 21, and the suction nozzle base The part 20 is vertically adjusted up and down along the inclination direction.

흡인 노즐 베이스부(20)는 경사져 있을 때, 고정 시트(10)와의 경사에 따른고저차가 있고, 이 경우, 고정 시트(10)와 흡인 노즐 베이스부(20)와의 사이에 끼인 실링 부품(28)을 이용하여, 그 2개의 밀착도를 유지한다. When the suction nozzle base part 20 is inclined, there is a difference in elevation according to the inclination with the fixed seat 10, and in this case, a sealing part 28 sandwiched between the fixed seat 10 and the suction nozzle base 20 is used to maintain the two degrees of adhesion.

실링 부품(28)은 흡인 노즐 베이스부(20)의 높이보다도 높게 되어 있어, 고정 시트(10)의 하단면과 흡인 노즐 베이스부(20)의 상단면과의 사이에 미리 보류한 조정 공간(13)가 형성된다. 그 높이는 웨이퍼(40) 자체와 웨이퍼(40)의 흡인과 방치에 필요한 각각의 구성 부품의 조립 공차를 고려하여 설정된다. 동시에 실링 부품(28)의 탄성을 이용하여, 경사로 인해 생긴 수직 고저차를 보상할 수 있으므로, 흡인 노즐 베이스부(20)가 경사짐으로써, 전체 구조에 있는 기밀도(氣密度)를 유지할 수 있고, 조립함으로써 누적된 수직 허용 오프셋을 자동적으로 조정함과 동시에, 흡인 노즐(30)의 수평 포지셔너가 된다.The sealing part 28 is made higher than the height of the suction nozzle base part 20, and the adjustment space 13 reserved in advance between the lower end surface of the fixed seat 10 and the upper end surface of the suction nozzle base part 20. ) is formed. The height is set in consideration of the assembly tolerance of the wafer 40 itself and each component required for suction and standing of the wafer 40 . At the same time, by using the elasticity of the sealing part 28, it is possible to compensate for the vertical height difference caused by the inclination, so that the suction nozzle base 20 is inclined, so that the airtightness in the overall structure can be maintained, By assembling, it automatically adjusts the accumulated vertical allowable offset and at the same time becomes a horizontal positioner of the suction nozzle 30 .

위치결정부(21)의 원뿔홀(120)은 실링 부품(28)을 맞추고, 구조상으로 조립한 수직 허용 오프셋을 수정하여, 웨이퍼(40)의 표면이 흡인 노즐(30)과 경사지는 사용 상황 하에서 조작을 조정할 수 있다. 게다가, 원뿔홀(120)의 하단 구멍(122)이 흡인 노즐 베이스부(20)의 위치결정부(21)와의 사이에 대응하는 구조 관계는, 동시에 전체 조립 구조를 상대의 수평 변위가 되게 하지 않는다. 원뿔홀(120)의 경사면과 수직선간의 사이각(θ)은 고정 시트(10)와, 흡인 노즐 베이스부(20)와, 흡인 노즐(30)과, 웨이퍼(40) 등의 가능한 수직 오프셋의 최대 경사를 고려하여 설정된다. The conical hole 120 of the positioning unit 21 aligns the sealing part 28 and corrects the structurally assembled vertical allowable offset, so that the surface of the wafer 40 is inclined with the suction nozzle 30 under the use situation. operation can be adjusted. In addition, the corresponding structural relationship between the lower hole 122 of the conical hole 120 and the positioning portion 21 of the suction nozzle base 20 does not at the same time cause the entire assembly structure to become a relative horizontal displacement. . The angle θ between the inclined surface of the conical hole 120 and the vertical line is the maximum of the possible vertical offset of the fixed sheet 10 , the suction nozzle base 20 , the suction nozzle 30 , and the wafer 40 . It is set in consideration of the inclination.

제1 실시형태에 따른 조립 구조를 조립하고 있을 때, 실링 부품(28)을 실링 홈(23)에 넣는다. 이어, 마그넷(29)을 흡인 노즐 베이스부(20)의 오목부(24)에 배치한다. 그리고, 흡인 노즐(30)을 흡인 노즐 베이스부(20)의 고정 오목부(26)에 부착시킨다. 마지막으로, 손으로 흡인 노즐 베이스부(20)의 양측에 설치되어 있는 핸들(27)을 잡고, 흡인 노즐 베이스부(20)의 위치결정부(21)를 고정 시트(10)의 위치결정부(12)에 맞춰 삽입하고, 마그넷(29)의 흡인력으로, 흡인 노즐 베이스부(20)와 부착된 흡인 노즐(30)을 고정 시트(10)에 흡착시켜, 웨이퍼 탑재 장치를 조립한다. 한편, 분리해낼 때, 손으로 흡인 노즐 베이스부(20)의 핸들(27)을 잡아 인출할 수 있고, 즉 흡인 노즐 베이스부(20)와 흡인 노즐(30)을 함께 분리할 수 있다. When assembling the assembly structure according to the first embodiment, the sealing part 28 is inserted into the sealing groove 23 . Next, the magnet 29 is placed in the concave portion 24 of the suction nozzle base 20 . Then, the suction nozzle 30 is attached to the fixed concave portion 26 of the suction nozzle base 20 . Finally, hold the handles 27 installed on both sides of the suction nozzle base 20 by hand, and hold the positioning part 21 of the suction nozzle base 20 with the positioning part of the fixing seat 10 ( 12), the suction nozzle base 20 and the attached suction nozzle 30 are sucked onto the fixing sheet 10 by the suction force of the magnet 29 to assemble the wafer mounting apparatus. On the other hand, when removing, the handle 27 of the suction nozzle base 20 can be pulled out by hand, that is, the suction nozzle base 20 and the suction nozzle 30 can be separated together.

흡인 노즐 베이스부(20)의 핸들(27)을 이용하여, 작업자가 흡인 노즐(30)의 하단면(33)에 접촉하지 않도록, 흡인 노즐(30)을 직접 고정 시트(10)에 설치시키거나 또는 고정 시트(10)로부터 분리할 수 있다. 이에, 흡인 노즐(30)의 하단면(33)을 오염시키지 않고, 설비 상에 있는 고정 시트(10)를 분리할 필요는 없기 때문에, 신속하게 흡인 노즐(30)을 고정 시트(10)에 설치할 수 있다. Using the handle 27 of the suction nozzle base 20, the suction nozzle 30 is installed directly on the fixed seat 10 so that the operator does not contact the lower end surface 33 of the suction nozzle 30, or Alternatively, it may be separated from the fixed sheet 10 . Therefore, without contaminating the lower end surface 33 of the suction nozzle 30 and there is no need to separate the fixed seat 10 on the equipment, the suction nozzle 30 is quickly installed on the fixed seat 10 . can

(제2 실시형태)(Second embodiment)

본 발명의 제2 실시형태를 도 7∼도 12를 참조하여 설명한다. 제2 실시형태의 구조는 제1 실시형태와 거의 동일하며, 동일한 기능을 가지는 것으로, 설명을 간략화하기 위해, 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략한다. 제2 실시형태의 고정 시트(10A) 및 흡인 노즐(30A)은 사이즈가 제1 실시형태보다도 크지만, 동일한 기능을 갖는다.A second embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. The structure of the second embodiment is substantially the same as that of the first embodiment, has the same function, and in order to simplify the description, the same reference numerals are attached and the description is omitted. Although the size of the fixed seat 10A and the suction nozzle 30A of the second embodiment is larger than that of the first embodiment, they have the same function.

제2 실시형태에 따른 흡인 노즐 베이스부(20A)는 타원형의 진공 구멍(22A)을 갖는다. 진공 구멍(22A)은 진공 통로(111)와 연통된다. 흡인 노즐 베이스부(20A)의 상단면에는 진공 구멍(22A) 이외의 적어도 하나의 오목부(24A)를 형성하여, 각각 마그넷(29A)을 설치한다. 오목부(24A)의 외측에는 직사각형의 실링 홈(23A)이 형성된다. 실링 홈(23A)에는 이에 대응하여, 직사각형의 실링 부품(28A)이 설치되어 있다. A suction nozzle base portion 20A according to the second embodiment has an elliptical vacuum hole 22A. The vacuum hole 22A communicates with the vacuum passage 111 . At least one concave portion 24A other than the vacuum hole 22A is formed on the upper end surface of the suction nozzle base portion 20A, and magnets 29A are provided respectively. A rectangular sealing groove 23A is formed on the outside of the concave portion 24A. Corresponding to this, 28 A of rectangular sealing parts are provided in 23 A of sealing grooves.

본 실시형태에 따른 오목부(24A)의 수는 설치된 마그넷(29A)에 제공된 자성이 충분하며, 흡인 노즐 베이스부(20A)를 고정 시트(10A)에 흡착시켜 조립하여 접속하면, 마그넷의 수나 형상은 한정되지 않는다. 실제의 필요에 따라, 실링 부품(28A)은 임의로 모든 오목부(24A)를 에워싸고 있거나 또는 각각으로 에워싸고 있다. The number of concave portions 24A according to the present embodiment is sufficient for the magnetism provided to the provided magnets 29A, and when the suction nozzle base portion 20A is adsorbed to the fixing sheet 10A and assembled and connected, the number and shape of the magnets is not limited. Depending on the actual need, the sealing part 28A optionally surrounds all of the recesses 24A or surrounds each of them.

(제3 실시형태)(Third embodiment)

본 발명의 제3 실시형태는 도 13∼도 18을 참조하여 설명한다. 제3 실시형태의 구조는 제1 실시형태 및 제2 실시형태와 거의 동일하며, 동일한 기능을 가지는 것으로, 설명을 간략화하기 위해, 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다. 제3 실시형태의 고정 시트(10B) 및 흡인 노즐(30B)은 사이즈가 제2 실시형태보다도 크지만, 동일한 기능을 가진다. A third embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. The structure of 3rd Embodiment is substantially the same as 1st Embodiment and 2nd Embodiment, It has the same function, In order to simplify description, the same code|symbol is attached|subjected and description is abbreviate|omitted. Although the size of the fixed seat 10B and the suction nozzle 30B of 3rd Embodiment is larger than 2nd Embodiment, they have the same function.

제3 실시형태에 따른 흡인 노즐 베이스부(20B)는 타원형의 진공 구멍(22B)을 가진다. 진공 구멍(22B)은 진공 통로(111)와 연통한다. 흡인 노즐 베이스부(20B)의 상단면에는 진공 구멍(22B) 이외의 적어도 하나의 오목부(24A)를 형성하여, 각각 마그넷(29B)을 설치한다. 오목부(24B)의 외측에는 직사각형의 실링 홈(23B)이 형성된다. 실링 홈(23B)에는 이에 대응하여 직사각형의 실링 부품(28B)이 설치되어 있다. The suction nozzle base portion 20B according to the third embodiment has an elliptical vacuum hole 22B. The vacuum hole 22B communicates with the vacuum passage 111 . At least one concave portion 24A other than the vacuum hole 22B is formed on the upper end surface of the suction nozzle base portion 20B, and magnets 29B are provided respectively. A rectangular sealing groove 23B is formed outside the concave portion 24B. A rectangular sealing component 28B is provided in the sealing groove 23B corresponding to this.

본 실시형태에 따른 오목부(24B)의 수량은 설치된 마그넷(29B)에 제공된 자성이 충분하며, 흡인 노즐 베이스부(20B)를 고정 시트(10B)에 흡착시켜 조립하여 접속하면, 마그넷의 수나 형상은 한정되지 않는다. 실제의 필요에 따라, 실링 부품(28B)는 임의로 모든 오목부(24B)를 에워싸고 있거나 또는 각각으로 에워싸고 있다. The number of the recessed portions 24B according to the present embodiment is sufficient for the magnetism provided to the installed magnets 29B, and when the suction nozzle base portion 20B is adsorbed to the fixing sheet 10B and assembled and connected, the number and shape of the magnets is not limited. Depending on the actual need, the sealing part 28B optionally surrounds all of the recesses 24B or surrounds each of them.

본 발명에 따른 조립 구조는 제1 내지 제3 실시형태 등에 나타낸 바와 같이, 3개의 서로 다른 규격으로 사용할 수 있으며, 웨이퍼의 사이즈에 적절한 흡인 노즐 베이스부를 교체할 수도 있다. 또한, 흡인 노즐은 상이한 스타일, 형상, 동일한 사이즈의 요구에 따라 교체할 수도 있으며, 동일한 효과를 얻을 수 있다. As shown in the first to third embodiments and the like, the assembly structure according to the present invention can be used in three different standards, and a suction nozzle base suitable for the size of the wafer can be replaced. In addition, the suction nozzle can be replaced according to the needs of different styles, shapes, and the same size, and the same effect can be obtained.

상술한 것은 본 발명의 바람직한 실시형태로서, 본 발명은 상기 실시형태에서 설명한 것에 한정되지 않으며, 또한 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 설계 변경, 보정, 대체, 조합, 간단화, 등가 치환할 수 있음은 당연한 것이다. The above is a preferred embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to that described in the above embodiment, and various design changes, corrections, substitutions, combinations, simplifications, and equivalent substitutions can be made without departing from the gist of the invention. It is natural that you can.

10 : 고정 시트 10A : 고정 시트
10B : 고정 시트 11 : 결합부
111 : 진공 통로 12 : 위치결정부
120 : 원뿔홀 121 : 상단 구멍
122 : 하단 구멍 13 : 조정 공간
20 : 흡인 노즐 베이스부 20A : 흡인 노즐 베이스부
20B : 흡인 노즐 베이스부 21 : 위치결정기둥
22 : 진공 구멍 22A : 진공 구멍
22B : 진공 구멍 23 : 실링 홈
24 : 오목부 25 : 진공 공간
26 : 고정 오목부 28 : 실링 부품
28A : 실링 부품 28B : 실링 부품
29 : 마그넷 29A : 마그넷
29B : 마그넷 30 : 흡인 노즐
30A : 흡인 노즐 30B : 흡인 노즐
31 : 통로 32 : 관통공
33 : 하단면 40 : 웨이퍼10: fixed seat 10A: fixed seat
10B: fixed seat 11: coupling part
111: vacuum passage 12: positioning unit
120: conical hole 121: upper hole
122: bottom hole 13: adjustment space
20: suction nozzle base part 20A: suction nozzle base part
20B: suction nozzle base 21: positioning column
22: vacuum hole 22A: vacuum hole
22B: vacuum hole 23: sealing groove
24: recessed part 25: vacuum space
26: fixed recessed portion 28: sealing part
28A: sealing part 28B: sealing part
29: magnet 29A: magnet
29B: magnet 30: suction nozzle
30A: suction nozzle 30B: suction nozzle
31: passage 32: through hole
33: bottom surface 40: wafer

Claims (17)

흡인 노즐을 접속하는 조립 구조로서,
흡인 노즐의 조립에 사용되며, 상기 조립 구조는 고정 시트(seat)와, 흡인 노즐 베이스부를 포함하고,
상기 고정 시트는 자기 전도체를 가지며, 적어도 2개의 위치결정부를 구비하고, 상기 위치결정부는 상기 고정 시트의 서로 다른 측에 각각 배치되어 있으며,
상기 흡인 노즐 베이스부는 자기 전도체를 가지며, 상기 흡인 노즐이 설치되고,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 상기 위치결정부에 대응하여 각각 위치결정기둥이 마련되며, 상기 위치결정기둥이 대응하는 상기 위치결정부에 삽입됨으로써, 상기 흡인 노즐 베이스부를 상기 고정 시트에 접속시켜, 상기 고정 시트가 상기 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조에 있는 수평 변위를 제한하며,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 마그넷을 설치하기 위한 오목부가 형성되고,
상기 고정 시트는 투자율(透磁率)을 가지고 있어, 상기 고정 시트가 상기 흡인 노즐 베이스부와의 사이는 상기 마그넷에 의한 자기 흡착에 의해 조립하여 연접하고,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 실링 홈이 형성되며,
상기 실링 홈에는 그 오목부의 외측을 에워싸고 상기 고정 시트와 상기 흡인 노즐 베이스부와의 사이에 끼이는 실링 부품이 설치되며, 상기 실링 부품은 탄성 재료로 형성되고,
상기 실링 부품은 상기 흡인 노즐 베이스부의 상단면보다 돌출되고 상기 고정 시트의 하단면과 접촉하고,
상기 고정 시트의 하단면과 상기 흡인 노즐 베이스부의 상단면과의 사이에 형성되는 조정 공간은, 상기 흡인 노즐 베이스부의 경사로 인해 생기는 고저차를 보상하는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. As an assembly structure for connecting a suction nozzle,
Used for assembling a suction nozzle, the assembly structure includes a fixed seat and a suction nozzle base,
the fixing sheet has a magnetic conductor and has at least two positioning portions, the positioning portions are respectively disposed on different sides of the fixing sheet,
The suction nozzle base has a magnetic conductor, the suction nozzle is installed,
Positioning pillars are provided in the suction nozzle base to correspond to the positioning units, respectively, and the positioning pillars are inserted into the corresponding positioning units to connect the suction nozzle base to the fixing seat, and to fix the suction nozzle base. limiting the horizontal displacement of the seat in the assembly structure with the suction nozzle base;
A recess for installing a magnet is formed in the suction nozzle base,
The fixed sheet has a magnetic permeability, and the fixed sheet and the suction nozzle base are assembled and connected by magnetic absorption by the magnet,
A sealing groove is formed in the suction nozzle base,
A sealing part is installed in the sealing groove to surround the outside of the recess and to be sandwiched between the fixed seat and the suction nozzle base, the sealing part is formed of an elastic material;
The sealing part protrudes from the upper end surface of the suction nozzle base and comes into contact with the lower end surface of the fixed seat,
and an adjustment space formed between the lower end surface of the fixed seat and the upper end surface of the suction nozzle base portion compensates for a height difference caused by the inclination of the suction nozzle base portion. 제1항에 있어서,
상기 고정 시트에는 그 상단면에 결합부가 마련되며,
상기 결합부는 진공 통로를 구비하고,
상기 마그넷에는 상기 흡인 노즐 베이스부와 공동으로 상기 진공 통로를 연통시키기 위한 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. According to claim 1,
The fixing sheet is provided with a coupling portion on its upper surface,
The coupling part has a vacuum passage,
An assembly structure for connecting a suction nozzle, characterized in that the magnet is formed with an opening for communicating the vacuum passage jointly with the suction nozzle base. 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조로서,
흡인 노즐의 조립에 사용되며, 상기 조립 구조는 고정 시트와, 흡인 노즐 베이스부를 포함하고,
상기 고정 시트는 자기 전도체를 가지며, 적어도 2개의 위치결정부를 구비하고, 상기 위치결정부는 고정 시트의 서로 다른 측에 각각 배치되어 있으며,
상기 흡인 노즐 베이스부는 자기 전도체를 가지며, 상기 흡인 노즐이 설치되어 있고,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 상기 위치결정부에 대응하여 각각 위치결정기둥이 마련되며, 상기 위치결정기둥이 대응하는 상기 위치결정부에 삽입됨으로써, 상기 흡인 노즐 베이스부를 상기 고정 시트에 접속시켜, 상기 고정 시트가 상기 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조에 있는 수평 변위를 제한하고,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 마그넷을 설치하기 위해, 적어도 하나의 오목부가 형성되며, 상기 고정 시트와 상기 흡인 노즐 베이스부와의 사이는 상기 마그넷에 의한 자기 흡착으로 접속하고,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 실링 홈이 형성되며,
상기 실링 홈에는 그 오목부의 외측을 에워싸고 상기 고정 시트와 상기 흡인 노즐 베이스부와의 사이에 끼이는 실링 부품이 설치되며, 상기 실링 부품은 탄성 재료로 형성되고,
상기 실링 부품은 상기 흡인 노즐 베이스부의 상단면보다 돌출되고 상기 고정 시트의 하단면과 접촉하고,
상기 고정 시트의 하단면과 상기 흡인 노즐 베이스부의 상단면과의 사이에 형성되는 조정 공간은, 상기 흡인 노즐 베이스부의 경사로 인해 생기는 고저차를 보상하는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. As an assembly structure for connecting a suction nozzle,
Used for assembling a suction nozzle, the assembly structure includes a fixed seat and a suction nozzle base,
The fixing sheet has a magnetic conductor and has at least two positioning portions, the positioning portions are respectively disposed on different sides of the fixing sheet,
The suction nozzle base has a magnetic conductor, the suction nozzle is installed,
Positioning pillars are provided in the suction nozzle base to correspond to the positioning units, respectively, and the positioning pillars are inserted into the corresponding positioning units to connect the suction nozzle base to the fixing seat, and to fix the suction nozzle base. limiting the horizontal displacement of the seat in the assembly structure with the suction nozzle base,
At least one recess is formed in the suction nozzle base to install a magnet, and the fixed seat and the suction nozzle base are connected by magnetic attraction by the magnet,
A sealing groove is formed in the suction nozzle base,
A sealing part is installed in the sealing groove to surround the outside of the recess and to be sandwiched between the fixed seat and the suction nozzle base, the sealing part is formed of an elastic material;
The sealing part protrudes from the upper end surface of the suction nozzle base and comes into contact with the lower end surface of the fixed seat,
and an adjustment space formed between the lower end surface of the fixed seat and the upper end surface of the suction nozzle base portion compensates for a height difference caused by the inclination of the suction nozzle base portion. 제3항에 있어서,
상기 고정 시트는 그 상단면에 결합부가 마련되고,
상기 결합부는 진공 통로를 구비하며,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 상기 고정 시트의 진공 통로를 연통시키기 위한 진공 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 4. The method of claim 3,
The fixing sheet is provided with a coupling portion on its upper surface,
The coupling part has a vacuum passage,
An assembly structure for connecting a suction nozzle, wherein a vacuum hole for communicating a vacuum passage of the fixed sheet is formed in the suction nozzle base portion. 삭제delete 삭제delete 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조로서,
흡인 노즐의 조립에 사용되며, 상기 조립 구조는 고정 시트와, 흡인 노즐 베이스부와, 실링 부품을 포함하고,
상기 고정 시트는 자기 전도체를 가지며, 적어도 2개의 위치결정부를 구비하고, 상기 위치결정부는 테이퍼 형상의 원뿔홀을 가지며, 상기 고정 시트의 하단면에는 상기 원뿔홀과 연결된 하단 구멍이 형성되고, 상기 원뿔홀은 상기 고정 시트의 하단면으로 가까이 갈수록 직경이 줄어들고, 상기 하단 구멍은 상기 원뿔홀에서부터 상기 고정 시트의 하단면으로 가까이 갈수록 직경이 증가하고,
상기 흡인 노즐 베이스부는 자기 전도체를 가지며, 상기 흡인 노즐이 설치되어 있고,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 상기 위치결정부에 대응하여 각각 위치결정기둥이 마련되며, 상기 위치결정기둥이 대응하는 상기 하단 구멍에 삽입됨으로써, 상기 흡인 노즐 베이스부를 상기 고정 시트에 접속시켜, 상기 고정 시트가 상기 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조에 있는 수평 변위를 제한하고,
상기 실링 부품은 상기 고정 시트와 상기 흡인 노즐 베이스부와의 사이에 끼이며,
상기 위치결정부는 상기 원뿔홀이 그 하단 구멍의 위쪽에 위치하는 홀과 서로 대향함으로써 상기 흡인 노즐 베이스부가 경사져 있을 때, 상기 위치결정기둥에 필요한 상대(相對) 변위 공간을 제공하여, 상기 흡인 노즐의 하단면이 경사진 웨이퍼의 표면에 점착되는 것에 유리하며, 상기 실링 부품을 이용하여, 상기 고정 시트와 상기 흡인 노즐 베이스부와의 조립 구조의 밀착도를 유지하는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. As an assembly structure for connecting a suction nozzle,
Used for assembling a suction nozzle, the assembly structure includes a fixed seat, a suction nozzle base, and a sealing part,
The fixing sheet has a magnetic conductor and includes at least two positioning parts, the positioning part has a tapered conical hole, and a lower hole connected to the cone hole is formed on a lower end surface of the fixing sheet, the cone The hole decreases in diameter as it approaches the lower end surface of the fixed sheet, and the lower hole increases in diameter as it approaches the lower end surface of the fixed sheet from the conical hole,
The suction nozzle base has a magnetic conductor, the suction nozzle is installed,
The suction nozzle base is provided with positioning posts corresponding to the positioning sections, respectively, and the positioning posts are inserted into the corresponding lower holes to connect the suction nozzle base to the fixing seat, and the fixing seat limits the horizontal displacement in the assembly structure with the suction nozzle base,
The sealing part is sandwiched between the fixing seat and the suction nozzle base,
The positioning unit provides a necessary relative displacement space for the positioning column when the suction nozzle base is inclined by the conical hole facing the hole located above the lower hole of the suction nozzle. Assembling for connecting a suction nozzle, characterized in that it is advantageous for the bottom surface to be adhered to the surface of the inclined wafer, and maintains the degree of adhesion of the assembly structure between the fixing sheet and the suction nozzle base by using the sealing part rescue. 제7항에 있어서,
상기 원뿔홀의 경사면은 수직선과의 사이각이 1°∼5°인 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 8. The method of claim 7,
An assembling structure for connecting a suction nozzle, characterized in that the inclined surface of the conical hole has an angle between it and a vertical line of 1° to 5°. 제8항에 있어서,
상기 경사면과 상기 수직선과의 사이각은 2°∼2.5°인 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 9. The method of claim 8,
An assembly structure for connecting suction nozzles, wherein an angle between the inclined surface and the vertical line is 2° to 2.5°. 제7항에 있어서,
상기 위치결정부는 각각 고정 시트의 서로 다른 측에 설치되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 8. The method of claim 7,
The assembly structure for connecting the suction nozzles, characterized in that the positioning portions are respectively installed on different sides of the fixing seat. 제7항에 있어서,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 오목부 및 실링 홈이 형성되고,
상기 오목부는 마그넷을 설치하기 위한 것으로,
상기 고정 시트와 상기 흡인 노즐 베이스부와의 사이는 자기 흡착을에 의해 조립하여 접속하며,
상기 실링 홈은 상기 오목부의 외측을 에워싸고,
상기 실링 부품은 상기 실링 홈에 배치되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 8. The method of claim 7,
A concave portion and a sealing groove are formed in the suction nozzle base portion,
The recess is for installing a magnet,
The fixed seat and the suction nozzle base are assembled and connected by magnetic suction,
The sealing groove surrounds the outside of the concave portion,
An assembly structure for connecting a suction nozzle, wherein the sealing part is disposed in the sealing groove. 제11항에 있어서,
상기 고정 시트의 상단면에는 결합부가 마련되고,
상기 결합부에는 진공 통로가 형성되며,
상기 오목부의 바닥면에는 진공 구멍가 형성되고,
상기 마그넷에는 상기 오목부와 공동으로 상기 진공 통로를 연통시키기 위한 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 12. The method of claim 11,
A coupling portion is provided on the upper surface of the fixed sheet,
A vacuum passage is formed in the coupling portion,
A vacuum hole is formed in the bottom surface of the concave portion,
An assembly structure for connecting a suction nozzle, wherein an opening for communicating the vacuum passage is formed in the magnet jointly with the concave portion. 제7항에 있어서,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 적어도 하나의 오목부와 실링 홈이 형성되고,
상기 오목부는 상기 고정 시트와 상기 흡인 노즐 베이스부를 자기 흡착에 의해 조립하여 접속하기 위한 마그넷이 설치되며,
상기 실링 홈은 상기 오목부의 외측을 에워싸고,
상기 실링 부품은 상기 실링 홈에 배치되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 8. The method of claim 7,
At least one concave portion and a sealing groove are formed in the suction nozzle base portion,
The concave portion is provided with a magnet for assembling and connecting the fixing sheet and the suction nozzle base portion by magnetic adsorption,
The sealing groove surrounds the outside of the concave portion,
An assembly structure for connecting a suction nozzle, wherein the sealing part is disposed in the sealing groove. 제13항에 있어서,
상기 고정 시트의 상단면에는 결합부가 마련되며,
상기 결합부에는 진공 통로가 형성되고,
상기 흡인 노즐 베이스부에는 상기 고정 시트의 상기 진공 통로를 연통시키기 위한 진공 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 14. The method of claim 13,
A coupling portion is provided on the upper surface of the fixed sheet,
A vacuum passage is formed in the coupling portion,
An assembly structure for connecting a suction nozzle, wherein a vacuum hole for communicating the vacuum passage of the fixing sheet is formed in the suction nozzle base portion. 제11항 또는 제13항에 있어서,
상기 실링 부품은 상기 흡인 노즐 베이스부의 높이보다 높고, 상기 고정 시트의 하단면과 상기 흡인 노즐 베이스부의 상단면과의 사이에 형성되는 조정 공간에 따라, 상기 흡인 노즐 베이스부의 높이보다 높게 되어 있으며,
상기 조정 공간의 높이는 경사로 인해 생기는 고저차를 보상하는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 14. The method of claim 11 or 13,
The sealing part is higher than the height of the suction nozzle base part, and is higher than the height of the suction nozzle base part according to the adjustment space formed between the lower end surface of the fixed seat and the upper end surface of the suction nozzle base part;
An assembly structure for connecting a suction nozzle, characterized in that the height of the adjustment space compensates for a height difference caused by an inclination. 제11항 또는 제13항에 있어서,
상기 실링 부품은 탄성 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조. 14. The method of claim 11 or 13,
The assembly structure for connecting the suction nozzle, characterized in that the sealing part is formed of an elastic material. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제11항, 제13항 및 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡인 노즐 베이스부의 양측에는 핸들이 마련되는 것을 특징으로 하는 흡인 노즐을 접속하는 조립 구조.

15. The method of any one of claims 1, 2, 3, 4, 11, 13 and 14,
An assembly structure for connecting a suction nozzle, characterized in that handles are provided on both sides of the suction nozzle base.
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