KR102424494B1 - 기판 스피닝 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 스피닝 장치에 관한 것으로, 원형 디스크 형상의 기판을 스핀 회전시키는 동안에 접촉하는 접촉부와, 상기 접촉부로부터 하방으로 요입 형성되어 상기 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 구비된 회전 지지체를; 포함하여 구성되어, 회전 지지체에 의하여 기판을 스핀 회전시키면서 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 약간 파여들어간 상태로 밀착되어 있더라도, 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 기판의 가장자리 하측에 정렬되면, 기판의 저면은 물리적으로 지지되어 있지 않고 뜬 상태가 되므로, 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 끼게 되더라도, 기판의 자중에 의하여 기판과 회전 지지체의 접촉부 사이의 끼임 상태를 자연스럽게 해제함으로써, 기판이 추락하는 등의 오류를 없애 그 다음 공정으로 기판을 오류 없이 이송하는 신뢰성을 향상시키는 기판 스피닝 장치를 제공한다.

Description

기판 스피닝 장치 {SUBSTRATE SPINNING APPARATUS}
본 발명은 기판 스피닝 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 원형 디스크 형상의 기판을 스핀 회전하면서 브러쉬에 의한 세정 공정이 행해진 다음에, 기판의 가장자리와 접촉하면서 끼인 상태를 원활하게 해제시킬 수 있는 기판 스피닝 장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치에 사용되는 기판이나 반도체 소자의 제작에 사용되는 웨이퍼(이하, 이들을 '기판'이라고 통칭함)를 처리한 이후에, 처리 공정 중에 표면에 묻은 이물질을 제거하는 세정 공정이 이루어진다.
도1은 화학 기계적 연마 공정이 행해진 이후에 연마 공정에서 묻은 이물질을 제거하는 종래의 기판 세정 장치(1)를 도시한 것이다. 종래의 기판 세정 장치(1)는 기판 이송부에 의하여 기판(W)을 회전 지지체(10, 20)의 접촉부(11, 21)에 위치시키면, 한 쌍의 회전 지지체(10, 20) 중 어느 하나(A1, A2) 이상을 서로 가까워지게 이동(20d')시켜, 기판(W)이 회전 지지체(10)의 접촉부(11)에 접촉한 상태가 된다.
그리고, 도2a에 도시된 바와 같이 회전 지지체(10, 20) 중 구동 지지체(10)가 구동 모터에 의하여 회전 구동하면, 구동 지지체(10)의 접촉부(11)와 맞닿아 있는 기판(W)의 가장자리가 함께 이동하면서, 기판(W)이 회전구동된다. 그리고, 회전 가능하게 설치된 세정 브러쉬(99)가 기판(W)의 표면과 접촉한 상태로 회전하면서, 기판(W)의 표면에 묻어있는 이물질을 제거한다. 이 때, 세정 브러쉬(99)나 기판(W)에 세정액 성분을 함유한 약액(당업계에서 '케미칼'이라고 불리기도 함)을 도포하여, 기판(W)의 판면으로부터 이물질의 제거 효율을 높인다.
그 다음, 세정 공정이 종료되면, 도2b에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 회전 지지체(10, 20) 중 어느 하나 이상이 멀어지게 이동(20d")시키고, 원형 기판(W)을 그다음 공정으로 이송한다.
도면 중 미설명 부호인 20은 감지 지지체(20)로서, 기판(W)의 가장자리에 맞닿아 회전하면서 브러쉬 세정 공정 중에 기판(W)의 회전수를 측정한다.
그러나, 상기와 같이 구성된 종래의 기판 스피닝 장치(1)는, 회전 구동부(10, 20)의 접촉부(11, 21)에 기판(W)의 가장자리와 밀착한 상태로 회전 구동하므로, 브러쉬 세정 공정이 종료되어 기판(W)을 그다음 공정으로 이송하기 위하여 한 쌍(A1, A2)의 회전 지지체들이 서로 멀어지게 이동하면, 기판 가장자리가 회전 지지체(10, 20)의 접촉부에 여전히 끼인 상태로 유지되면서, 회전 지지체(10, 20) 중 어느 하나에 딸려 함께 이동하다가 바닥으로 추락하는 오류가 발생되는 문제가 있었다.
따라서, 브러쉬 세정 공정이 종료된 이후에, 원형 기판이 회전 지지체(10, 20)의 접촉부(11, 21)로부터 끼인 상태를 자연스럽게 해제시킬 수 있는 방안의 필요성이 절실히 요구되고 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 원형 디스크 형상의 기판을 스핀 회전하면서 브러쉬에 의한 세정 공정이 종료된 상태에서, 기판을 그 다음 공정으로 이송하기 위하여 기판의 가장자리와 스피닝 장치의 회전 구동부에 끼인 상태를 자연스러우면서 원활하게 해제시킬 수 있는 기판 스피닝 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 통해, 본 발명은 브러쉬 세정 공정으로부터 그 다음 공정으로 기판을 이송하는 공정 중에 오류가 발생되지 않아 신뢰성있는 공정을 보장하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은, 원형 디스크 형상의 기판을 스핀 회전시키는 동안에 접촉하는 접촉부와, 상기 접촉부로부터 하방으로 요입 형성되어 상기 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 구비된 회전 지지체를; 포함하여 구성되어, 상기 기판이 스핀 회전하는 동안에 상기 회전 지지체에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치를 제공한다.
이는, 회전 지지체에 의하여 기판을 스핀 회전시키면서 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 약간 파여들어간 상태로 밀착되어 있더라도, 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 기판의 가장자리 하측에 정렬되면, 기판의 저면은 물리적으로 지지되어 있지 않고 뜬 상태가 되므로, 기판 가장자리의 하측에 물리적인 지지 구조물을 제거함으로써, 기판의 자중에 의하여 접촉부로부터 단턱면으로 낙하하여 지지된 상태가 되도록 하기 위함이다.
이를 통해, 브러쉬 세정 공정 등을 위하여 기판의 가장자리를 회전 지지체에 밀착시키거나 가압된 상태로 기판을 스핀 회전시키면서, 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 끼게 되더라도, 기판의 자중에 의하여 기판과 회전 지지체의 접촉부 사이의 끼임 상태를 자연스럽게 해제함으로써, 기판이 추락하는 등의 오류를 없애 그 다음 공정으로 기판을 오류 없이 이송하는 신뢰성을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있었다.
이 때, 기판을 지지하면서 스핀 회전시킬 수 있도록 상기 회전 지지체는 3개 이상으로 설치된다. 그리고, 상기 회전 지지체는 모두 상기 기판을 회전시키는 구동력을 상기 기판에 전달하는 구동 지지체로 형성될 수도 있다.
이 때, 상기 다수의 구동 지지체는 단턱면의 회전 위치를 정해진 위치로 셋팅하여 두고 일괄적으로 제어할 수도 있지만, 기판을 스핀 회전시키는 공정 중에 각각의 구동 지지체의 회전 위치가 변동될 수 있으므로, 다수의 구동 지지체는 개별 제어되어 상기 단턱면의 회전 위치가 개별적으로 정해지게 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 회전 지지체 중 일부는 브러쉬 세정 공정 등을 진행할 때에는 기판과 맞물려 피동적으로 회전하여 기판의 회전수를 감지하는 감지 지지체로 형성될 수도 있다. 이 경우에는, 감지 지지체의 회전축은 선택적으로 감지 구동 모터에 의하여 구동되어, 기판 스핀 회전 공정 중에는 구동력이 전달되지 않아 감지 지지체의 회전축이 기판의 가장자리에 맞물려 기판의 회전에 따라 함께 회전하도록 작동하고, 기판 스핀 회전 공정이 종료되면 구동 모터로부터의 회전 구동력이 전달되어 단턱면이 기판의 하측에 위치하는 회전 위치가 되도록 위치 제어된다. 이에 의하여, 감지 지지체가 구비되더라도 감지 지지체의 단턱면을 이용하여 기판과 회전 지지체의 맞물림 상태를 해제시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 다수의 회전 지지체들의 상기 단턱면이 모두 상기 기판의 가장자리에 위치하면, 상기 기판은 상기 접촉부로부터 상기 단턱면으로 하방 이동하게 된다.
그리고, 상기 단턱면은 평탄면으로 형성되어, 상기 기판의 가장자리가 구동 지지체의 접촉부로부터 해제되어 기판의 자중에 의하여 기판의 가장자리가 단턱면에 지지되는 상태로 기판이 하방 이동하면, 기판의 가장자리가 평탄하게 형성된 단턱면에 안정적으로 안착된다.
이 때, 상기 회전 지지체들의 상기 단턱면들은 높이가 동일하여, 기판이 수평 상태를 유지하여, 그 다음 공정으로 기판을 이송하는 로봇 아암의 그립퍼가 기판을 원활하게 파지할 수 있도록 한다.
한편, 상기 단턱면과 상기 접촉부의 경계에는 원주 방향을 따라 안내 경사면이 형성될 수 있다. 이에 의하여, 상기 기판이 구동 지지체의 접촉부로부터 단턱면으로 하방 이동할 때에, 기판 가장자리의 일부가 안내 경사면을 타고 이동하게 되어 기판이 접촉부에서 단턱면으로 이동하는 동안에 발생될 수 있는 충격을 줄일 수 있다.
상기 단턱면은 상기 제1구동 지지체의 회전 중심을 기준으로 대략 150도 이하의 원주 방향의 각도로 형성되어, 상기 단턱면의 원주 방향의 약간의 편차가 있더라도 각각의 구동 지지체는 기판의 가장자리를 단턱면에 수용할 수 있게 된다.
한편, 상기 접촉부는 단면이 원형인 측면으로 형성되고, 상기 측면으로부터 반경 바깥으로 돌출되게 하향 경사진 지지 경사면이 형성될 수 있다. 이에 의하여, 기판이 스핀 회전하는 동안에는 회전하는 회전 지지체의 접촉부와 지지 경사면에 지지되어 하방 이탈하지 않고 제자리를 유지할 수 있다. 이 때, 상기 단턱면은 상기 지지 경사면을 절개하여 형성된다.
그리고, 상기 기판을 스핀 회전시키는 공정이 종료하면, 회전 지지체 사이의 간격을 살짝 벌려주는 것에 의하여 상기 회전 지지체를 서로 멀어지게 함으로써, 기판의 자중에 의하여 기판 가장자리가 회전 지지체의 접촉부의 끼인 상태로부터 보다 확실하게 해제시킬 수 있는 잇점을 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은, 기판 스피닝 장치의 회전 지지체에 의하여 기판을 스핀 회전시키면서 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 약간 파여들어간 상태로 끼여 밀착되어 있더라도, 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 기판의 가장자리 하측에 정렬시키는 것에 의하여, 기판의 자중에 의하여 접촉부로부터 단턱면으로 이동하게 유도하여, 기판의 자중에 의하여 기판과 회전 지지체의 접촉부 사이의 끼임 상태를 자연스럽게 해제시킬 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
특히, 본 발명은, 기판의 스핀 회전 공정이 종료하면, 회전 지지체 사이의 간격을 살짝 벌려주는 것에 의하여 상기 회전 지지체를 서로 멀어지게 함으로써, 기판 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 끼어 있더라도, 기판의 자중에 의하여 기판 가장자리를 지지하는 물리적 구조물이 완전히 제거되므로, 기판 가장자리가 회전 지지체의 접촉부의 끼인 상태로부터 보다 확실하게 해제시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
이를 통해, 본 발명은, 기판의 스핀 공정 이후에 기판의 추락 등과 같은 오류를 제거하고, 기판을 그 다음 공정으로 이송시킬 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있었다.
도1은 브러쉬 세정 공정에 사용되는 종래의 기판 스피닝 장치의 구성을 도시한 사시도,
도2a 및 도2b는 도1의 기판 스피닝 장치의 작동 원리를 설명하기 위한 평면도,
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스피닝 장치의 구성을 도시한 사시도,
도4은 도3의 'A'부분의 확대도,
도5는 도3의 정면도,
도6은 도5의 절단선 B-B에 따른 종단면도,
도7a 내지 도7c는 도3의 기판 스피닝 장치의 작동 원리를 설명하기 위한 평면도,
도8은 도7c의 종단면도,
도9는 도8의 'C'부분의 확대도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스피닝 장치(100)를 구체적으로 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하며, 동일하거나 유사한 기능 혹은 구성에 대해서는 동일하거나 유사한 도면 부호를 부여하기로 한다.
도면에 예시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스피닝 장치(100)는, 원형 디스크 형상의 기판(W)을 지지하면서 기판(W)을 제자리에서 회전(r1)시키는 다수의 회전 지지체(110A, 110B, 110C, 110D; 110)로 이루어진다. 그리고, 이들 회전 지지체(110A, 110B, 110C, 110D; 110)는 고정 플레이트(66)에 대하여 한 쌍(A1, A2)씩 서로 가까워졌다(20d') 멀어지는(20d") 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 본 발명의 다른 실시 형
도5 및 도6에 도시된 바와 같이, 각각의 회전 지지체(110)는 각각의 구동 모터(115A, 115B, 115C,...)에 의하여 회전(110d) 구동되는 회전축(114)이 구비되고, 회전축(114)은 하우징(116)에 의하여 은폐되게 구성된다. 그리고, 회전축(114)의 상단에는 기판 지지부(111)가 체결 볼트로 고정된다.
기판 지지부(111)는 측면에 기판(W)의 가장자리와 접촉하여 기판(W)에 회전 구동력을 전달하는 원형 형태의 접촉부(111a)가 세워진 측면 형태로 형성되고, 접촉부(111a)의 반경 바깥으로 돌출되게 하향 경사진 지지 경사면(111b)이 형성된다. 이에 따라, 기판(W)을 스핀 회전(r1)시키는 동안에는 기판(W) 가장자리는 세로로 세워진 형태의 접촉부(111a)에 접촉하지만, 기판(W)의 일부가 미끄러져 내리더라도 기판(W)의 가장자리가 지지 경사면(111b)에 의하여 물리적으로 지지되므로, 스핀 회전(r1) 중에 기판(W)이 하방 이탈하지 않고 제자리를 유지할 수 있다.
무엇보다도, 구동 지지체(110)의 기판 지지부(111)에는 기판(W)의 가장자리를 수용할 수 있는 단턱부(119)가 형성된다. 단턱부(119)는 도4에 도시된 바와 같이 접촉부(111a)를 수직 연장하는 형태로 정해진 원주 방향의 각도(119x)만큼 지지 경사면(111b)으로부터 하방으로 절개한 형태로 형성된다.
단턱부(119)의 바닥을 이루는 단턱면(119s)은 접촉부(111a)로부터 대략 2mm 이상 20mm 이하만큼 하방으로 이격된 위치에 평탄하게 형성된다. 이에 따라, 기판(W)에 대하여 브러쉬 세정 공정 등이 행해지면서 기판 스피닝 공정이 종료된 이후에, 회전 지지체(110)들의 단턱부(119)가 모두 기판(W)의 하측에 위치하면, 기판(W)의 가장자리 하측은 모두 빈 공간이 되므로, 기판(W)이 더이상 지지 경사면(111b)에 지지되지 못하고 하측으로 낙하하는 형태로 하방 이동(88)하게 되며, 하방 이동된 기판(W)의 가장자리는 평탄한 단턱면(119s)에 안정적으로 위치하게 된다.
또한, 다수의 회전 지지체(110)들의 단턱면(119s)의 높이는 모두 동일하게 설치되어, 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)로부터 단턱면(119s)으로 이동한 기판(W)이 수평 상태로 유지되어, 그 다음 공정으로 기판을 이송하는 로봇 아암의 그립퍼가 기판을 원활하게 파지할 수 있게 된다.
그리고, 회전 지지체(110)들의 단턱면(119s)과 지지 경사면(111b)의 사이에는 원주 방향을 따라 경사진 안내 경사면(119a)이 형성된다. 이에 따라, 기판(W)이 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)로부터 단턱면(119s)으로 하방 이동할 때에, 기판(W)의 가장자리 일부가 안내 경사면(119a)을 타고 이동하여 단턱면(119s)에 안착하게 되어, 접촉부(111a)로부터 단턱면(119s)으로 기판(W)이 이동하는 동안에 발생될 수 있는 충격을 줄일 수 있다.
여기서, 단턱면(119s)의 각도(119x)는 기판(W)의 가장자리를 수용할 수 있는 정도의 각으로 정해지며, 단턱면(119s)의 회전 위치 제어에 약간의 오류가 있더라도 기판(W)의 가장자리를 수용할 수 있도록 150도 내지 120도로 여유있게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 회전 지지체(110)는 모두 구동 모터(115)에 의하여 기판(W)에 회전 구동력을 전달하는 구동 지지체로 형성될 수도 있다. 이 경우에, 각각의 회전 지지체(110)의 단턱면(119s)의 회전 위치는 각각의 구동 모터(115A, 115B, 115C, 115D)에 의하여 개별적으로 제어된다. 이를 위하여, 회전 지지체(110) 마다 엔코더가 설치되어, 단턱면(119s)의 회전 위치가 독립적으로 제어될 수 있다.
한편, 도면에 도시되지 않았지만, 본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 회전 지지체(110) 중 하나는 브러쉬 세정 공정 등을 진행할 때에는 기판과 맞물려, 기판(W)이 구동 지지체에 의하여 회전 구동하게 되면, 기판의 회전 구동력을 전달받아 회전하면서, 기판의 회전수를 감지하는 감지 지지체로 형성될 수도 있다. 이 때, 감지 지지체는 스스로 회전하지 아니하므로, 브러쉬 세정 공정 등이 종료된 이후에만 감지 지지체의 감지 구동 모터에 의해서만 회전 구동되어, 단턱면(119s)의 회전 위치를 제어한다.
즉, 기판 스핀 회전 공정이 종료된 경우에만, 감지 구동 모터로부터의 감지 지지체의 회전축에 회전 구동력이 전달되어, 감지 지지체의 단턱면(119s)이 기판(W) 가장자리의 하측에 위치하도록 위치시킨다. 이를 통해, 회전 지지체(110)들 중에 감지 지지체가 하나 또는 2개 배치되더라도, 다른 구동지지체의 단턱면(119s)과 함께 감지 지지체의 단턱면(119s)을 이용하여 기판(W)과 회전 지지체(110)의 맞물림 상태를 해제시킬 수 있다.
한편, 회전 지지체(110)의 단턱면(119s)의 회전 위치를 정확하게 제어하기 위하여, 회전 지지체(110)마다 단턱면(119s)의 위치를 감지하는 엔코더 등의 회전 위치 센서가 구비될 수 있다. 이에 따라, 스핀 회전 공정이 종료되어 기판(W)을 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)로부터 이탈시키기 위하여, 엔코더 등의 회전 위치 센서를 이용하여 단턱면(119s)의 위치를 기판 가장자리의 하측에 정확히 위치시킬 수 있다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스피닝 장치(100)의 작동 원리를 상술한다.
단계 1: 도7a에 도시된 바와 같이, 원형 기판(W)이 기판 스피닝 장치(100)에 공급되는 때에는, 회전 지지체(110)의 각 단턱부(119, 빗금친 부분)의 위치가 기판(W)의 하측에 위치하지 않도록, 구동 모터(115)에 의하여 각 회전 지지체(110)의 단턱부(119)는 기판(W)과 접촉하는 제1회전위치(Px)로부터 약 180도 이격된 회전 위치로 제어된다.
그 다음, 회전 지지체(110)의 각 쌍(A1, A2)이 서로 이격된 상태로 있다가, 도면부호 20d'로 표시된 방향으로 서로 근접하면서, 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)의 제1회전위치(Px)에 기판(W)의 가장자리를 접촉시키면서, 기판(W)을 기판 스피닝 장치(100)에 탑재한다.
이 때, 접촉부(111a)의 하측에는 지지 경사면(111b)이 형성되어 있으므로, 기판(W)은 4개의 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)에 접촉한 상태로 위치하게 된다. 경우에 따라서는, 접촉부(111a)는 원형 단면의 평탄 측면 형태로 형성될 수도 있고, 회전 중심을 향하여 오목하게 곡면으로 요입 형성된 형태로 형성될 수도 있다.
단계 2: 그리고 나서, 도7b에 도시된 바와 같이, 회전 지지체(110)는 구동 모터(115)에 의하여 회전(110d) 구동되면서, 원형 기판(W)에 회전 구동력을 전달하여 기판(W)을 회전(r1)시킨다.
이와 동시에, 기판(W)에 대하여 행하고자 하는 공정을 진행한다. 예를 들어, 세정 브러쉬를 기판 표면에 접촉한 상태로 회전시켜 접촉 세정 공정을 행할 수도 있고, 약액 공급부로부터 약액을 기판의 표면에 도포할 수도 있다.
도면에는 4개의 회전 지지체(110)가 모두 구동 지지체인 구성을 예로 들었지만, 이 중 1개는 감지 지지체로 형성될 수도 있다.
단계 3: 단계 2의 공정이 완료되면, 기판 스피닝 장치(100)의 각 회전 지지체(110)는 구동 모터(115)에 의해 고속 회전되는 것이 중단된다. 그리고, 엔코더 등의 센서(미도시)에 의하여, 각각의 회전 지지체(110)에서 단턱부(119)의 회전 위치를 감지한다.
그리고, 각 회전 지지체(110A, 110B, 110C, 110D)의 구동 모터(115A, 115B, 115C, 115D)는 단턱부(119)의 회전 위치가 기판(W)의 가장자리 하측에 위치하도록 천천히 회전 지지체(110)의 회전축(114)을 회전시킨다.
이에 따라, 기판(W)의 하측에는 단턱부(119)에 의하여 빈 공간이 있을 뿐, 물리적으로 어떠한 것에서도 지지되지 않는 상태가 된다. 따라서, 기판(W)은 자중에 의하여, 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)로부터 단턱부(119)의 단턱면(119s)으로 하방 이동(88)하면서, 기판(W)은 접촉부(111a)로부터 분리된 상태가 된다.
한편, 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)가 우레탄, 고무 등의 탄성을 갖는 재질로 형성되어 기판의 가장자리가 접촉부(111a)의 측면에 파여들어가는 것이 허용되고, 동시에 회전 지지체(110) 사이의 간격이 기판(W)의 직경에 비하여 더 작게 위치한 상태로 단계 2의 기판 스피닝 공정이 행해지면, 기판 스피닝 공정 중에 기판(W)의 가장자리가 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)에 높은 힘으로 끼어 들어간 상태가 되는 경우도 있다. 이 경우에는, 자중에 의해서만 기판(W)이 접촉부(111a)로부터 이탈하지 못할 수도 있다.
따라서, 기판(W)의 스피닝 공정이 종료되면, 도9에 도시된 바와 같이, 기판 스피닝 공정 시에 배치되어 있는 회전 지지체(110) 사이의 간격을 살짝 벌려준다(20d"). 이 때, 각 회전 지지체(110)의 이동 거리(e)는 1mm 내지 5mm이면 충분하다. 이에 의하여, 회전 지지체(110)와 접촉하고 있던 4개의 기판(W)의 가장자리 중에 적어도 2개 이상이 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)로부터 분리된 상태가 되고, 이에 따라 기판(W)의 2개 이상의 가장자리가 공중에 뜬 상태가 되므로, 기판(W)의 자중에 의해 기판(W)은 단턱면(119s)으로 내려와 접촉부(111a)로부터 확실하게 분리시킬 수 있다.
이 때, 단턱면(1119s)의 경계에는 안내 경사면(119a)이 원주 방향으로 형성되어 있으므로, 기판(W)이 하방으로 이동(88)하는 경로를 안내 경사면(119a)이 보조하여 천천히 정해진 위치로 기판(W)의 하방 이동을 안내할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스피닝 장치(100)는, 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)에 기판의 가장자리를 접촉한 상태로 스핀 회전시키는 과정에서, 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 약간 파여들어간 상태로 끼여 밀착되어 있더라도, 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면(119s)이 기판의 가장자리 하측에 위치하도록 정렬시키는 공정이 포함됨으로써, 기판의 자중에 의하여 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)로부터 단턱면(119s)으로 하방 이동하게 유도하여, 기판의 가장자리와 회전 지지체(110)의 접촉부(111a) 사이의 끼임 상태를 자연스럽게 해제시킬 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
특히, 본 발명은, 기판의 스핀 회전 공정이 종료한 상태에서 회전 지지체(110) 사이의 간격을 1mm~3mm정도 살짝 벌려주는 것에 의하여 상기 회전 지지체를 서로 멀어지게 함으로써, 기판 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 견고하게 끼어 있더라도, 기판의 가장자리의 일부를 공중에 띄운 상태가 되게 하여, 기판 가장자리를 회전 지지체(110)의 접촉부(111a)의 끼인 위치로부터 보다 확실하게 분리시킴으로써, 기판의 추락 등의 오류가 발생되지 않게 하면서, 기판의 위치와 자세를 항상 일정하게 유지하여 그 다음 공정으로 정확하게 이송시킬 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 상기와 같은 특정 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
100: 기판 스피닝 장치 110: 회전 지지체
115: 구동 모터 111: 기판 지지부
111a: 접촉부 111b: 지지 경사면
119: 단턱부 119a: 안내 경사면
119s: 단턱면

Claims (13)

  1. 원형 디스크 형상의 기판을 스핀 회전시키는 동안에 접촉하는 접촉부와, 상기 접촉부로부터 하방으로 요입 형성되어 상기 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 구비된 회전 지지체를;
    포함하여 구성되어, 상기 기판이 스핀 회전하는 동안에 상기 회전 지지체에 의해 지지되고, 상기 다수의 회전 지지체들의 상기 단턱면이 모두 상기 기판의 가장자리에 위치하면, 상기 기판은 상기 접촉부로부터 상기 단턱면으로 하방 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 회전 지지체는 모두 상기 기판을 회전시키는 구동력을 상기 기판에 전달하는 구동 지지체로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 다수의 구동 지지체는 개별 제어되어 상기 단턱면의 회전 위치가 개별적으로 정해지고, 상기 구동 지지체의 상기 단턱면의 회전 위치를 감지하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 단턱면은 평탄면으로 형성되고, 높이가 서로 동일한 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치.
  8. 삭제
  9. 제 3항에 있어서,
    상기 단턱면과 상기 접촉부의 경계에는 원주 방향을 따라 안내 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 접촉부는 단면이 원형인 측면으로 형성되고, 상기 측면으로부터 반경 바깥으로 돌출되게 하향 경사진 지지 경사면이 형성되고, 상기 단턱면은 상기 지지 경사면을 절개하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치.
  13. 제 1항 또는 제3항 또는 제4항 또는 제7항 또는 제9항 또는 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판을 스핀 회전시키는 공정이 종료하면, 상기 회전 지지체는 서로 멀어지게 작동하여, 상기 단턱면에 상기 기판이 거치되게 하는 것을 보조하는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치.


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