KR102412459B1 - 웨이퍼 공정용 수직 리액터 - Google Patents

웨이퍼 공정용 수직 리액터 Download PDF

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Abstract

본 발명은 보트 영역에 영향이 없도록 단열 구조 및 퍼지 구조를 개선한 웨이퍼 공정용 수직 리액터를 개시하며, 상기 수직 리액터는 웨이퍼 공정을 위한 보트가 배치되는 상부의 보트 영역과 단열을 위한 하부의 단열 영역으로 내부 공간이 구분되며, 상기 단열 영역에 배기구가 형성된 이너 튜브; 상기 단열 영역 내 평면상 중앙에 수직으로 구성되는 단열 코어; 및 상기 단열 코어가 삽입되는 수직의 중공이 형성되며 상기 단열 영역 내에서 상하로 이격되는 복수의 단열체를 갖는 단열체 그룹;을 포함하며, 상기 단열 영역으로 유입된 퍼지 가스가 상기 복수의 단열체가 이격된 배기 공간을 경유하고 상기 단열 코어를 우회하여 상기 이너 튜브의 상기 배기구로 안내됨을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 공정용 수직 리액터{VERTICAL REACTOR FOR WAFER PROCESSING}
본 발명은 리액터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 보트 영역에 영향이 없도록 단열 영역의 단열 구조 및 퍼지 구조를 개선한 웨이퍼 공정용 수직 리액터에 관한 것이다.
반도체 공정 장비는 웨이퍼를 제조하는 반도체 제조 공정을 수행하는 것으로 이해될 수 있다. 예시적으로, 웨이퍼의 열처리를 위하여 보트를 이용하는 리액터(Reactor)가 이용될 수 있다.
리액터는 투입된 웨이퍼들에 대한 열처리 공정을 수행하는 것이고, 보트는 일정 매수 단위(예시적으로 180매)로 열처리를 위한 웨이퍼들을 차지(Charge)하여 리액터 내부로 투입하거나 열처리된 웨이퍼들을 디스차지(Discharge)하기 위하여 리액터 외부로 배출하기 위한 것이다.
상기한 리액터는 히터 케이스, 아우터 튜브(Outer Tube), 이너 튜브(Inner Tube)를 구비한다.
이너 튜브는 상부의 보트 영역과 하부의 단열 영역으로 구분될 수 있다. 보트 영역은 보트가 로딩되며 보트에 실린 웨이퍼에 대한 열처리가 진행되는 영역이고, 단열 영역은 웨이퍼 공정 중에 고온을 유지하는 보트 영역을 외부와 차단하기 위한 단열 구조를 갖는 영역이다.
웨이퍼 공정 중, 반응 가스가 이너 튜브 상부의 보트 영역으로 공급되며, 퍼지 가스가 이너 튜브 하부의 단열 영역으로 공급된다. 웨이퍼 공정을 위하여 보트 영역은 고온과 저압 환경이 유지될 수 있다.
일반적인 경우, 공정 중 퍼지 가스는 단열 영역에서 웨이퍼가 있는 보트 영역의 하부를 경유하여 이너 튜브에서 아우터 튜브로 배기된다. 상기한 종래의 공정 환경에 의하여, 보트의 하부에 실린 웨이퍼들에 대한 공정 환경은 배기되는 퍼지 가스의 영향을 받는다.
그러므로, 단열 영역에 멀리 위치한 웨이퍼들과 단열 영역에 가까이 위치한 웨이퍼들은 다른 공정 환경에 노출된다. 상기한 공정 환경의 차이는 공정을 안정적으로 유지하는데 장애 요인으로 작용하며 수율을 저하시키는 요인으로 작용한다.
본 발명은 이너 튜브의 내부 공간에서 단열 영역의 퍼지 가스가 보트 영역의 웨이퍼에 영향을 미치지 않고 독립적인 배기 공간을 통하여 배기됨으로써 안정적인 공정 환경을 유지할 수 있는 웨이퍼 공정용 수직 리액터를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 회전력을 보트로 전달하는 단열 코어와 단열 코어가 삽입되며 배기 공간을 제공하는 단열체 그룹을 갖는 단열 구조와 퍼지 가스가 배기 공간을 경유하고 단열 코어를 우회하는 퍼지 구조를 갖는 웨이퍼 공정용 수직 리액터를 제공함을 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 상하로 이격된 단열체 또는 외측면에 환형의 수평 채널을 갖는 단열체를 이용하여 단열 영역의 배기 공간을 제공함으로써 보트 영역의 웨이퍼에 영향을 미치지 않고 퍼지 가스를 배기할 수 있는 웨이퍼 공정용 수직 리액터를 제공함을 또다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 회전력을 보트로 전달하는 단열 코어와 단열 코어가 삽입되며 배기 공간을 제공하는 단열체를 갖는 단열 구조와 퍼지 가스가 배기 공간을 경유하고 단열체를 우회하는 퍼지 구조를 갖는 웨이퍼 공정용 수직 리액터를 제공함을 또다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 구동축이 결합된 플랜지 중앙의 퍼지 가스 유입구와 플랜지 변부의 퍼지 가스 노즐을 통하여 서로 분리된 위치에서 퍼지 가스가 공급됨으로써 퍼지 효율이 개선된 웨이퍼 공정용 수직 리액터를 제공함을 또다른 목적으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 공정용 수직 리액터는, 웨이퍼 공정을 위한 보트가 배치되는 상부의 보트 영역과 단열을 위한 하부의 단열 영역으로 내부 공간이 구분되며, 상기 단열 영역에 배기구가 형성된 이너 튜브; 상기 단열 영역 내 평면상 중앙에 수직으로 구성되는 단열 코어; 및 상기 단열 코어가 삽입되는 수직의 중공이 형성되며 상기 단열 영역 내에서 상하로 이격되는 복수의 단열체를 갖는 단열체 그룹;을 포함하며, 상기 단열 영역으로 유입된 퍼지 가스가 상기 복수의 단열체가 이격된 배기 공간을 경유하고 상기 단열 코어를 우회하여 상기 이너 튜브의 상기 배기구로 안내됨을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 공정용 수직 리액터는, 웨이퍼 공정을 위한 보트가 배치되는 상부의 보트 영역과 단열을 위한 하부의 단열 영역으로 내부 공간이 구분되며, 상기 단열 영역에 배기구가 형성된 이너 튜브; 상기 단열 영역 내 평면상 중앙에 수직으로 구성되는 단열 코어; 및 상기 단열 코어가 삽입되는 수직의 중공이 형성되며, 외측면에 환형의 수평 채널로 형성된 배기 공간을 갖는 단열체;를 구비하며, 상기 단열 영역으로 유입된 퍼지 가스가 상기 배기 공간을 경유하고 상기 단열체를 우회하여 상기 이너 튜브의 상기 배기구로 안내됨을 특징으로 한다.
본 발명은 단열 구조가 개선됨으로써 이너 튜브 내에서 단열 영역의 퍼지 가스를 배기하는 배기 공간을 별도로 마련되고, 배기 공간을 통하여 단열 영역의 퍼지 가스가 배기됨으로써 퍼지 가스가 보트 영역의 웨이퍼들에 대한 공정 환경에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
그러므로, 본 발명은 개선된 단열 구조와 퍼지 구조에 의하여 웨이퍼 공정용 수직 리액터가 공정을 위한 안정적인 환경을 유지할 수 있는 효과를 가질 수 있다.
도 1은 본 발명의 수직 리액터의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A 부분 단면도.
도 3은 히터 케이스를 제거한 도 2의 부분 확대 단면도.
도 4는 도 3의 B-B 부분 단면도
도 5는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 도 3에 대응하는 부분 확대 단면도.
도 6은 도 5의 C-C 부분 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있다.
본 발명에 의해 실시되는 수직 리액터(100)는 도 1과 같이 예시할 수 있다.
도 1은 수직 리액터(100)의 외관을 나타내는 사시도이며, 상부의 히터 케이스(10), 하부의 매니폴드(12) 및 플랜지(14)를 확인할 수 있다.
도 1에 예시된 히터 케이스(10)의 내부 구조는 도 2 및 도 3으로 이해할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 히터 케이스(10)는 내부에 원통형 공간을 가지며, 내벽에 히터(11)가 구성된다. 히터 케이스(10)의 원통형 공간에는 아우터 튜브(20)가 수용된다.
아우터 튜브(20)는 배기관(22)이 하부의 외측면에 구성된다. 배기관(22)은 아우터 튜브(20) 내부의 가스를 외부로 배기하는 경로를 제공하며, 배기를 위한 펌프(도시되지 않음)가 연결됨으로써 펌핑력을 제공받을 수 있다. 히터 케이스(10)의 히터(11)는 배기관(22)이 형성된 상부까지 히터 케이스(10)의 내벽에 구성될 수 있다.
아우터 튜브(20)의 내부에는 이너 튜브(30)가 구성되며, 아우터 튜브(20)와 이너 튜브(30)는 매니폴드(12)를 통하여 하부의 플랜지(14)와 결합된다.
본 발명의 실시예에서, 이너 튜브(30)의 내부 공간은 웨이퍼 공정을 위한 보트(50)가 배치되는 상부의 보트 영역과 단열을 위한 단열 영역으로 구분된다.
매니폴드(12)는 플랜지(14)의 상부에 구성되며, 이너 튜브(30)에 반응 가스를 공급하기 위한 배관들(12a)이 설치된다. 배관들(12a)은 이너 튜브(30)의 상부로 연장됨으로써 반응 가스를 이너 튜브(30)의 보트 영역에 공급하도록 구성된다.
플랜지(14)는 중심에 퍼지 가스 유입구가 형성되고 변부에 퍼지 가스 노즐(14a)이 구성될 수 있다. 퍼지 가스 유입구는 후술하는 구동축(42)이 삽입되는 공간으로 이해될 수 있다.
구동부(40)의 구동축(42)은 퍼지 가스 유입구를 통하여 하부에서 상부로 관통하도록 구성된다. 플랜지(14)의 퍼지 가스 유입구는 퍼지 가스 유입 공간을 갖는 마그네틱 실링(Magnetic Sealing) 구조로 결합되며, 퍼지 가스는 퍼지 가스 유입 공간을 통하여 이너 튜브(30)의 단열 영역의 하부 중심으로 공급된다.
그리고, 플랜지(14) 변부의 퍼지 가스 노즐(14a)은 플랜지(14)를 하부에서 상부로 관통하여 이너 튜브(30) 내측의 단열 영역의 하부의 변부로 퍼지 가스를 공급하도록 구성된다.
보트(50)는 웨이퍼(WF)를 수평으로 차지하기 위한 복수의 슬롯들이 수직으로 나란히 형성된 구조를 가지며, 웨이퍼 공정을 위하여 이너 튜브(30)의 상부의 보트 영역에 배치된다.
그리고, 이너 튜브(30)의 보트(50)가 배치된 하부는 단열 영역으로 이해될 수 있으며, 단열 코어(60)와 단열체 그룹이 구성된다.
단열 코어(60)는 원기둥 형상을 가지며 이너 튜브(30)의 단열 영역 내 평면상 중앙에 수직으로 구성되며 구동축(42)에 결합된 회전판(70) 상부에 구성된다. 상기한 단열 코어(60)는 상부의 보트(50)를 지지한다. 또한 단열 코어(60)는 회전판(70)을 통하여 구동축(42)과 축이음됨으로써 구동축(42)의 회전에 연동하여 웨이퍼 공정을 위해 보트(50)를 회전시킬 수 있다.
단열체 그룹은 단열 코어(60)가 삽입되는 수직의 중공이 형성되며 단열 영역 내에서 상하로 이격되는 복수의 단열체(62, 64)를 포함한다. 단열체(62)는 수직의 중공이 형성되며, 단열 영역의 상부에 설치되고, 중공에 단열 코어(60)의 상부가 삽입된다. 단열체(64)는 수직의 중공이 형성되며, 단열 영역의 하부에 단열체(62)와 이격된 수평 공간을 형성하도록 설치되고, 중공에 단열 코어(60)의 하부가 삽입된다.
복수의 단열체(62, 64)들이 상하로 이격된 수평 공간은 배기 공간으로 정의할 수 있으며, 단열 영역으로 유입된 퍼지 가스가 배기 공간을 경유하고 단열 코어(60)를 우회하여 이너 튜브(30)의 배기구(30b)로 안내된다.
단열 코어(60) 및 단열체 그룹의 단열체(64)의 하부에 플랜지(14)가 구성되고, 단열체(64)의 저면은 플랜지(14)의 상면에 접하도록 구성되며, 단열 코어(60)의 저면은 회전판(70)을 통하여 구동축(42)과 축이음된다.
단열체들(62, 64)의 내측면은 단열 코어(60)의 측면과 이격되며, 단열체(62)의 외측면은 이너 튜브(30)의 내측면과 이격된다.
단열체들(62, 64) 사이의 배기 공간에는 일정한 높이의 지지부들(61)이 개재된다. 즉, 단열체들(62, 64)의 이격 간격은 지지부들(61)에 의해 지지되며, 지지부들(61)은 단열 재질을 갖는 다양한 기둥 형상으로 구성될 수 있다. 본 발명의 실시예는 원기둥으로 지지부들(61)이 구성된 것을 예시한다. 상기한 지지부들(61)은 단열 코어(60)를 중심으로 동일한 거리와 동일한 각도로 이격되도록 구성될 수 있다.
그리고, 지지부들(61)은 상부와 하부의 단열체들(62, 64)과 일체로 구성되거나 조립되도록 구성될 수 있다. 단열체들(62, 64)이 지지부들(61)을 통하여 일체로 구성되는 경우, 단열체 그룹은 하나의 블록으로 형성될 수 있다.
상기한 구성에 의하여, 단열체(64)의 외측면의 퍼지 가스 노즐(14a)을 통하여 유입된 퍼지 가스는 단열체(64)의 외측면을 따라 단열체들(62, 64) 사이의 배기 공간으로 안내된다. 그리고, 단열체(64)의 중공에 대응하는 플랜지(14)의 퍼지 가스 유입구를 통하여 유입된 퍼지 가스는 단열 코어(60)의 하부 및 단열체(64)의 중공의 내측면과 단열 코어(60)의 측면 사이의 이격 공간을 통하여 단열체들(62, 64) 사이의 배기 공간으로 안내된다.
상기한 이너 튜브(30)는 보트 영역에 일렬로 수직 배열된 배기구들(30a)을 구비하고 또한 단열 영역의 배기관(22)의 입구와 적어도 일부가 마주하는 위치의 배기구(30b)를 구비할 수 있다.
상기한 구성에 의하여, 이너 튜브(30) 상부의 보트 영역으로 공급된 반응 가스는 웨이퍼 공정에 이용된 후 보트 영역에 형성된 배기구들(30a)을 통하여 아우터 튜브(20)로 배기될 수 있다. 이때, 보트 영역의 반응 가스는 단열 영역에 퍼지 가스가 공급되므로 단열 영역으로 유입되는 것이 차단된다.
그리고, 이너 튜브(30) 하부의 플랜지(14)의 퍼지 가스 유입구 또는 퍼지 가스 노즐(14a)을 통해 단열 영역으로 공급된 퍼지 가스는 도 3의 화살표와 같이 이너 튜브(30)의 내측면과 단열체(64)의 외측면 간의 이격된 틈과 단열 코어(60)의 측면 및 단열체(64)의 내측면 간의 이격된 틈을 따라 상부로 상승한다. 그 후 퍼지 가스는 배기 공간을 경유하고 단열 코어(60)를 우회한 후 이너 튜브(30)의 배기구(30b)를 통하여 배기될 수 있다.
단열 영역의 퍼지 가스는 배기에 충분한 체적을 갖도록 형성된 단열체들(62, 64) 사이의 배기 공간을 통하여 수평으로 흘러서 이너 튜브의 배기구(30b)를 통하여 배기된다. 상기한 배기 공간에 의하여 퍼지 가스가 상부의 단열체(62)의 상측으로 흐르는 것이 방지될 수 있다.
그리고, 이너 튜브(30)와 아우터 튜브(20) 간에는 이격된 공간이 형성되고, 상기한 배기구들(30a, 30b)을 통하여 배기된 가스가 하부로 흐른 후 배기관(22)을 통하여 배기될 수 있다.
여기에서, 단열체들(62, 64) 사이의 배기 공간은 이너 튜브(30)의 단열 영역의 배기구(30b)와 동일한 높이에 형성됨이 바람직하다.
또한, 이너 튜브(30)의 배기구(30b)는 이너 튜브(30)를 수용하는 아우터 튜브(20)의 내벽의 하부에 구성된 배기관(22)의 입구와 적어도 일부와 마주하는 높이에 형성됨이 바람직하며, 이너 튜브(30)의 배기구(30b)는 아우터 튜브(20) 내벽의 배기관(22) 입구보다 높은 위치에 형성됨이 바람직하다.
상기와 같이 단열체들(62, 64) 사이의 배기 공간, 이너 튜브(30)의 배기구(30b) 및 아우터 튜브(20)의 배기관(22)의 입구는 수평으로 연통됨으로써 퍼지 가스를 원활히 배기할 수 있으며, 퍼지 가스의 수평 경로는 도 3의 B-B 부분의 평면 상태를 예시한 단면도인 도 4의 화살표와 같이 진행됨을 이해할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예는 단열체(62, 64) 사이에 배기 공간이 별도로 형성됨에 따라 웨이퍼 공정 중에 단열 영역의 퍼지 가스를 보트 영역으로 상승시키지 않고 수평 경로 및 배기구(30b)를 통하여 이너 튜브(30)로 배기할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 단열 코어(60)가 구성됨으로써 회전력을 보트(50)에 전달할 수 있다.
그러므로, 본 발명은 상기한 단열 코어(60) 및 단열체들(62, 64)이 결합된 단열 구조에 의하여 웨이퍼 공정 중에 퍼지 가스가 상부의 보트 영역에 영향을 미치는 것을 방지하는 퍼지 구조를 제공할 수 있으며 그 결과 웨이퍼에 대한 안정적인 공정 환경을 유지할 수 있다.
한편, 본 발명은 도 5 및 도 6과 같이 배기 공간을 형성할 수 있다. 도 5 및 6에서 도 3 및 도 4와 동일한 부품은 동일 부호를 사용하며, 중복 부품에 대한 중복 설명은 생략한다.
도 5 및 도 6의 실시예는 도 3 및 도 4와 대비하여, 단열체 그룹으로 구성된 단열체들(62, 64) 대신 수평 채널(68)이 형성된 단열체(66)를 구비한다.
도 5 및 도 6의 단열체(66)는 단열 코어(60)가 삽입되는 수직의 중공이 형성되며, 외측면에 환형의 수평 채널(68)로 형성된 배기 공간을 갖도록 구성된다. 수평 채널(68)은 균일한 폭의 요부가 측면에 수평으로 형성된 것을 의미한다.
상기한 구성에 의하여, 단열 영역으로 유입된 퍼지 가스는 상기한 수평 채널(68)에 의한 배기 공간을 경유하고 단열체(66)를 우회하여 상부로 상승되지 않고 도 5 및 도 6의 화살표와 같이 이너 튜브(30)의 배기구(30b)로 안내될 수 있다.
상기한 단열체(66)는 도시되지 않았으나 둘 이상의 평행한 수평 채널(68)을 구비하여 배기 공간을 형성할 수 있다. 이 경우, 각 층의 수평 채널(68)은 상승하는 퍼지 가스에 대한 버퍼로 작용할 수 있으며, 퍼지 가스는 둘 이상의 평행한 수평 채널(68)을 통하여 분산 배기될 수 있다.
그리고, 상기한 채널(68)에 의한 배기 공간도 도 1 내지 도 4와 동일하게 이너 튜브(30)의 배기구(30b)와 마주하도록 형성됨이 바람직하다. 또한, 이너 튜브(30)의 배기구(30b)는 이너 튜브(30)를 수용하는 아우터 튜브(20)의 하부에 구성된 배기관(22)의 입구와 적어도 일부가 마주하는 높이에 형성되고, 아우터 튜브(20)의 배기관(22)의 입구보다 높은 위치에 형성됨이 바람직하다.
그리고, 배기 공간을 형성하는 채널(68)에는 중공과 연결되는 관통구(도시되지 않음)가 복수 개 형성될 수 있으며, 이 경우, 중공의 퍼지 가스를 원활히 배기할 수 있다.
본 발명의 실시예는 상술한 바와 같이 구성됨으로써 웨이퍼 공정 중 단열 영역의 하부로 공급된 퍼지 가스를 보트 영역으로 상승시키지 않고 단열 영역의 배기 공간을 통하여 원활히 배기할 수 있다.
그러므로, 본 발명에 의한 웨이퍼 공정용 수직 리액터는 단열 영역의 퍼지 가스가 배기 과정에 보트 영역의 웨이퍼에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있어서 웨이퍼 공정을 위한 안정적인 환경을 유지할 수 있다.

Claims (17)

  1. 웨이퍼 공정을 위한 보트가 배치되는 상부의 보트 영역과 단열을 위한 하부의 단열 영역으로 내부 공간이 구분되며, 상기 단열 영역에 배기구가 형성된 이너 튜브;
    상기 단열 영역 내 평면상 중앙에 수직으로 구성되며 회전력을 상기 보트에 전달하는 단열 코어;
    상기 단열 코어가 삽입되는 수직의 중공이 형성되며 상기 단열 영역 내에서 상하로 이격된 수평 공간인 배기 공간을 형성하는 복수의 단열체를 갖는 단열체 그룹;
    상기 이너 튜브를 수용하며 하부에 배기관이 구성된 아우터 튜브;
    상기 단열 코어 및 상기 단열체 그룹의 하부에 구성되며, 퍼지가스 노즐을 가지고, 상기 퍼지 가스 노즐을 통하여 퍼지 가스를 상기 단열 영역의 하부로 공급하는 플랜지; 및
    상기 이너 튜브의 상부로 연장됨으로써 반응 가스를 상기 이너 튜브의 상기 보트 영역에 공급하는 배관들이 설치된 매니폴드;를 포함하며,
    상기 이너 튜브와 상기 아우터 튜브는 상기 매니폴드를 통하여 상기 플랜지와 결합되며,
    상기 배기 공간은 상기 이너 튜브의 상기 배기구와 마주하도록 형성되고,
    상기 배기구는 상기 아우터 튜브의 상기 배기관의 입구와 적어도 일부와 마주하는 높이에 형성되며,
    상기 단열 영역으로 유입된 상기 퍼지 가스가 상기 단열체 그룹의 상기 배기 공간을 경유하고 상기 단열 코어를 우회하여 상기 이너 튜브의 상기 배기구를 통하여 상기 아우터 튜브의 상기 배기관으로 안내됨을 특징으로 하는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 플랜지는 평면상 중앙에 퍼지 가스 유입구가 더 형성되고 변부에 상기 퍼지 가스 노즐이 구성되며 상기 퍼지 가스 유입구와 상기 퍼지 가스 노즐을 통하여 중앙과 변부에서 유입된 상기 퍼지 가스를 상기 단열 영역의 하부로 공급하는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  3. 제2 항에 있어서,
    구동축이 상기 퍼지 가스 유입구를 관통하여 상기 단열 코어와 축이음되어 상기 단열 코어에 회전력을 전달하고, 퍼지 가스 유입 공간을 갖는 마그네틱 실링 구조로 상기 퍼지 가스 유입구와 결합되며,
    상기 퍼지 가스는 상기 퍼지 가스 유입 공간 및 상기 퍼지 가스 노즐을 통하여 상기 단열 영역의 하부로 공급되는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 단열체 그룹은,
    수직의 제1 중공이 형성되며, 상기 단열 영역의 상부에 설치되고, 상기 제1 중공에 상기 단열 코어의 상부가 삽입되는 제1 단열체; 및
    수직의 제2 중공이 형성되며, 상기 단열 영역의 하부에 상기 제1 단열체와 이격되어 상기 배기 공간을 형성하도록 설치되고, 상기 제2 중공에 상기 단열 코어의 하부가 삽입되는 제2 단열체;를 구비하는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 배기 공간에 개재되며 상기 단열 코어를 중심으로 동일한 거리와 동일한 각도로 이격되고 일정한 높이를 갖는 지지부들이 더 구성되며,
    상기 단열체 그룹은 상기 제1 단열체와 상기 지지부들 및 상기 제2 단열체가 일체로 이루어진 단일 블록으로 구성되는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 단열 코어 및 상기 제2 단열체의 하부에 상기 플랜지가 구성되며,
    상기 플랜지는 평면상 중앙에 퍼지 가스 유입구가 형성되고 변부에 상기 퍼지 가스 노즐이 구성되고,
    상기 퍼지 가스 노즐을 통하여 상기 단열 영역의 하부로 유입된 제1 퍼지 가스는 상기 제2 단열체의 외측면과 상기 이너 튜브의 내측면 사이의 제1 이격 공간을 통하여 상기 배기 공간으로 안내되고, 그리고,
    상기 퍼지 가스 유입구를 통하여 상기 단열 영역의 하부로 유입된 제2 퍼지 가스는 상기 제2 단열체의 상기 제2 중공의 측면과 상기 단열 코어의 측면 사이의 제2 이격 공간을 통하여 상기 배기 공간으로 안내되는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 이너 튜브의 상기 배기구는 상기 아우터 튜브의 상기 배기관의 입구보다 높은 위치에 형성된 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  10. 웨이퍼 공정을 위한 보트가 배치되는 상부의 보트 영역과 단열을 위한 하부의 단열 영역으로 내부 공간이 구분되며, 상기 단열 영역에 배기구가 형성된 이너 튜브;
    상기 단열 영역 내 평면상 중앙에 수직으로 구성되며 회전력을 상기 보트에 전달하는 단열 코어;
    상기 단열 코어가 삽입되는 수직의 중공이 형성되며, 외측면에 환형의 수평 채널로 형성된 배기 공간을 갖는 단열체;
    상기 이너 튜브를 수용하며 하부에 배기관이 구성된 아우터 튜브;
    상기 단열 코어 및 상기 단열체의 하부에 구성되며, 퍼지가스 노즐을 가지고, 상기 퍼지 가스 노즐을 통하여 퍼지 가스를 상기 단열 영역의 하부로 공급하는 플랜지; 및
    상기 이너 튜브의 상부로 연장됨으로써 반응 가스를 상기 이너 튜브의 상기 보트 영역에 공급하는 배관들이 설치된 매니폴드;를 포함하며,
    상기 이너 튜브와 상기 아우터 튜브는 상기 매니폴드를 통하여 상기 플랜지와 결합되며,
    상기 배기 공간은 상기 이너 튜브의 상기 배기구와 마주하도록 형성되고,
    상기 배기구는 상기 아우터 튜브의 상기 배기관의 입구와 적어도 일부와 마주하는 높이에 형성되며,
    상기 단열 영역으로 유입된 상기 퍼지 가스가 상기 단열체의 상기 배기 공간을 경유하고 상기 단열체를 우회하여 상기 이너 튜브의 상기 배기구를 통하여 상기 아우터 튜브의 상기 배기관으로 안내됨을 특징으로 하는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 플랜지는 평면상 중앙에 퍼지 가스 유입구가 더 형성되고 변부에 상기 퍼지 가스 노즐이 구성되며 상기 퍼지 가스 유입구와 상기 퍼지 가스 노즐을 통하여 중앙과 변부에서 유입된 상기 퍼지 가스를 상기 단열 영역의 하부로 공급하는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  12. 제11 항에 있어서,
    구동축이 상기 퍼지 가스 유입구를 관통하여 상기 단열 코어와 축이음되어 상기 단열 코어에 회전력을 전달하고, 퍼지 가스 유입 공간을 갖는 마그네틱 실링 구조로 상기 퍼지 가스 유입구와 결합되며,
    상기 퍼지 가스는 상기 퍼지 가스 유입 공간 및 상기 퍼지 가스 노즐을 통하여 상기 단열 영역의 하부로 공급되는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  13. 제10 항에 있어서,
    상기 단열체는 상기 배기 공간으로서 둘 이상의 수평 채널이 형성된 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제10 항에 있어서,
    상기 이너 튜브의 상기 배기구는 상기 아우터 튜브의 상기 배기관의 입구보다 높은 위치에 형성된 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
  17. 제10 항에 있어서,
    상기 배기 공간에는 상기 중공과 연결되는 관통구가 복수 개 형성되는 웨이퍼 공정용 수직 반응 리액터.
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