KR102410793B1 - 액체 샘플링 장치 및 액체 샘플링 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치는 액체가 유입되도록 구성되는 포트(port)부; 상기 포트부를 통과한 액체에 존재하는 버블을 센싱하도록 구성된 버블 센싱부; 상기 버블 센싱부에 의하여 버블 유무에 대한 체크가 이루어진 액체가 저장되도록 구성되는 시료 저장부; 상기 시료 저장부의 액체를 시료로 하여 액체에 대한 이온 크로마토그래피 분석, 형광분석 및 유도결합 플라즈마 분석 중 적어도 하나를 수행하도록 구성된 시료 분석부; 및 상기 버블 센싱부가 버블을 센싱할 경우 상기 시료가 비정상이라고 도출하도록 구성된 컨트롤러를 포함한다.
Description
본 발명은 액체 샘플링 장치 및 액체 샘플링 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생한 액체에 대한 분석을 수행할 수 있는 액체 샘플링 장치 및 액체 샘플링 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서는 많은 양의 폐수가 발생한다.
반도체 제조 공정에서는 다양한 맹독성 화학 물질이 사용되므로 화학 물질의 처리 과정에서 다양한 액체가 발생하게 된다.
이에 따라 액체를 적절하게 처리하기 위하여 액체를 분석할 수 있는 액체 샘플링 장치 및 액체 샘플링 방법이 다양하게 연구되고 있다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치 및 방법은 액체 분석에 대한 정확도와 신뢰성을 향상시키기 위한 것이다.
본 출원의 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 액체가 유입되도록 구성되는 포트(port)부; 상기 포트부를 통과한 액체에 존재하는 버블을 센싱하도록 구성된 버블 센싱부; 상기 버블 센싱부에 의하여 버블 유무에 대한 체크가 이루어진 액체가 저장되도록 구성되는 시료 저장부; 상기 시료 저장부의 액체를 시료로 하여 액체에 대한 분석을 수행하도록 구성된 시료 분석부; 및 상기 버블 센싱부가 버블을 센싱할 경우 상기 시료가 비정상이라고 도출하도록 구성된 컨트롤러를 포함하는 액체 샘플링 장치가 제공된다.
본 발명의 일측면에 따른 액체 샘플링 장치는 상기 포트부를 통하여 액체가 유입되도록 흡입력을 제공하는 펌핑(pumping)부를 더 포함하고, 상기 컨트롤러는 상기 액체에 대한 분석 이전에 상기 펌핑부를 제어하여 액체가 상기 포트부로부터 액체가 유입되는 방향의 반대 방향으로 방출되도록 할 수 있다.
상기 포트부는 파티클 필터링(particle filtering)부를 통과한 액체가 유입되고, 상기 포트부는 복수의 포트를 포함하고, 상기 파티클 필터링부는 복수의 파티클 필터를 포함하며, 상기 파티클 필터 하나마다 하나의 상기 포트와 연결되며, 본 발명의 일측면에 따른 액체 샘플링 장치는 상기 컨트롤러의 제어에 따라 상기 복수의 포트 중 액체가 유입되는 포트를 선택하는 포트 선택부를 더 포함하고, 상기 컨트롤러는 버블이 센싱된 액체가 유입된 포트를 다른 포트로 변경하도록 상기 포트 선택부를 제어할 수 있다.
상기 컨트롤러는 상기 복수의 포트들 중 버블이 센싱된 액체가 유입된 제1 포트를 제2 포트로 변경하도록 상기 포트 선택부를 제어하고, 상기 포트 선택부의 포트 변경 동작 후에 상기 펌핑부를 제어하여 액체가 상기 제2 포트에서 상기 제2 포트와 연결된 파티클 필터를 향하여 방출되도록 하고, 상기 펌핑부의 동작 후에 액체가 상기 제2 포트와 연결된 파티클 필터에서 상기 제2 포트로 유입되도록 상기 펌핑부를 제어할 수 있다.
상기 컨트롤러는 버블이 센싱된 액체가 유입된 포트와 연결된 파티클필터의 막힘에 대한 경고 메시지를 도출할 수 있다.
상기 버블 센싱부는 상기 포트부를 통과한 액체에 대해 순차적으로 버블을 센싱하는 복수의 버블 센서를 포함하며, 상기 컨트롤러는 상기 복수의 버블 센서 전체가 상기 액체에서 버블을 센싱할 경우 상기 시료가 비정상이라고 도출할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 액체 샘플링 장치는 상기 컨트롤러의 제어에 따라 상기 복수의 포트 중 액체가 유입되는 포트를 선택하는 포트 선택부를 더 포함하고, 상기 포트 선택부는 상기 복수의 포트와 연결된 복수의 유입단과, 상기 복수의 유입단 중 하나를 통하여 인입된 액체가 방출되는 하나의 유출단을 포함하며, 상기 복수의 버블 센서는 상기 하나의 유출단을 통하여 방출된 액체에 대하여 버블 센싱을 수행할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 액체에 대한 분석 이전에 액체를 제1 방향으로 배출하여 파티클 필터링부 또는 유로의 막힘을 방지하는 단계; 상기 제1 방향으로 액체를 배출한 후 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 액체를 흐르게 하는 단계; 상기 제2 방향으로 흐른 액체에 대한 버블 센싱을 수행하는 단계; 상기 버블 센싱의 결과에 따라 액체가 정상 시료인지를 판별하는 단계; 상기 정상 시료에 대한 이온 크로마토그래피 분석, 형광분석 및 유도결합 플라즈마 분석 중 적어도 하나를 수행하는 단계;를 포함하는 액체 샘플링 방법이 제공된다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치 및 방법은 액체에 버블이 있는지를 센싱하고 센싱 결과에 따라 시료의 적정성 여부를 제공함으로써 액체 분석에 대한 정확도와 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
본 출원의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치의 분석 전 역배출 동작을 나타낸다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액체 샘플링 장치를 나타낸다.
도 5는 버블 센싱 과정의 일례를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 방법을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치의 분석 전 역배출 동작을 나타낸다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액체 샘플링 장치를 나타낸다.
도 5는 버블 센싱 과정의 일례를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 방법을 나타낸다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치를 나타낸다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치는 포트(port)부(110), 버블(bubble) 센싱부(130), 시료 저장부(150), 시료 분석부(170), 컨트롤러(190)를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치의 동작에 필요한 배터리나 상용 전원과 전원부는 통상의 기술자에게 일반적인 기술이므로 도1 내지 도 4에서는 전원부가 도시되어 있지 않다.
포트부(110)는 액체가 유입되도록 구성된다. 액체는 반도체 제조 과정에서 발생한 폐수일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 포트부(110)는 다양한 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어, 포트부(110)는 외부에서 인입되는 유로가 삽입되는 홀의 형태를 지니거나 외부의 유로에 삽입되어 연결되는 부재를 포함할 수 있으나 본 발명이 이와 같은 형태에 한정되는 것은 아니다.
이 때, 액체는 파티클 필터링(particle filter)부(120)를 통과하여 포트부(110)에 유입될 수 있다. 파티클 필터링부(120)는 수십 마이크로 미터 내외의 입자를 거를 수 있으나 이와 같은 입자 크기에 한정되는 것은 아니다. 파티클 필터링부(120)는 액체의 입자가 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 포트부(110)와 파티클 필터링부(120)는 액체가 흐를 수 있는 유로로 연결될 수 있다. 이뿐만 아니라 본 발명은 파티클 필터링(particle filter)부(120)가 없는 경우에도 적용될 수 있다.
버블 센싱부(130)는 포트부(110)를 통과한 액체에 존재하는 버블을 센싱하도록 구성된다. 버블 센싱부(130)는 포트부(110)와 연결된 유로를 통하여 흐르는 액체에 존재하는 버블을 센싱할 수 있다.
시료 저장부(150)는 버블 센싱부(130)에 의하여 버블 유무에 대한 체크가 이루어진 액체가 저장되도록 구성된다.
시료 분석부(170)는 시료 저장부(150)의 액체를 시료로 하여 액체에 대한 이온 크로마토그래피(ion chromatography) 분석, 형광분석 및 유도결합 플라즈마 분석 중 적어도 하나를 수행하도록 구성된다.
이온 크로마토그래피 분석은 이온의 물리적 성질에 따라 이온 교환 수지 내에서 그 이동 속도가 다른 것을 이용하여 용액 내의 음이온이나 양이온을 분석하는 것이다.
형광 분석은 물질 자체의 특유한 형광을 이용하든가 혹은 어떤 형광 물질에 대한 소광을 이용해서 정성 또는 정량분석을 하는 방법이다.
유도결합 플라즈마 분석은 고온의 플라즈마를 이온원(source)로 사용하여 다중 원소를 동시에 빠르게 분석 방법이다.
컨트롤러(190)는 버블 센싱부(130)가 버블을 센싱할 경우 시료가 비정상이라고 도출하도록 구성된다. 시료에 버블이 존재할 경우 시료 분석의 정확도 및 신뢰성이 낮아질 수 있다. 예를 들어, 반도체 제조 공정에서 방출되는 액체는 실시간 분석이 이루어져야 하는데, 액체에 버블이 존재할 경우 액체에 대한 분석 결과가 추세를 벗어나 갑자기 변하는 오류가 발생할 수 있다.
본 발명은 액체에 버블이 있는지를 센싱하고 센싱 결과에 따라 시료의 적정성 여부를 제공함으로써 액체 분석에 대한 정확도와 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치는 포트부(110)를 통하여 액체가 유입되도록 흡입력을 제공하는 펌핑(pumping)부(200)를 더 포함할 수 있다. 펌핑부(200)는 시린지 펌프(syringe pump)를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 도 1, 3, 및 4에서는 버블 센싱부가 유로의 버블을 센싱하는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 버블 센싱부(130)는 펌핑부(200)에 흐르는 액체의 버블을 센싱할 수 있다. 예를 들어, 펌핑부(200)는 시린지 펌프(syringe pump)를 포함할 경우, 버블 센싱부(130)는 시린지의 액체에 대한 버블을 센싱할 수 있다.
컨트롤러(190)는 액체에 대한 분석 이전에 펌핑부(200)를 제어하여 액체가 포트부(110)로부터 액체가 유입되는 방향의 반대 방향으로 방출되도록 할 수 있다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치는 액체를 포트부(110)로부터 파티클 필터링부(120)를 향하여 흐르게 할 수 있다. 이후 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치는 액체를 파티클 필터링부(120)로부터 포트부(110)를 향하여 흐르게 할 수 있다.
파티클 필터링부(120)는 액체에 있는 파티클을 필터링하는 것이므로 파티클 필터링부(120)의 표면에 파티클이 누적될 수 있다. 누적된 파티클로 인하여 액체가 파티클 필터링부(120)를 통과하기 어려울 수 있다.
본 발명은 펌핑부(200)를 제어하여 액체에 대한 분석 전에 액체를 역배출함으로써 누적된 파티클을 파티클 필터링부(120)에서 제거할 수 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액체 샘플링 장치를 나타낸다.
포트부(110 )는 파티클 필터링부(120)를 통과한 액체가 유입될 수 있다. 포트부(110)는 복수의 포트(P1~P4)를 포함하고, 파티클 필터링부(120)는 복수의 파티클 필터(PF1~PF4)를 포함할 수 있다. 이 때, 파티클 필터 하나마다 하나의 포트와 연결될 수 있다.
예를 들어, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 포트부(110)는 포트 P1 내지 포트 P4를 포함하고, 파티클 필터링부(120)는 파티클 필터 PF1 내지 파티클 필터 PF4를 포함할 수 있다. 포트 P1은 파티클 필터 PF1와, 포트 P2는 파티클 필터 PF2와, 포트 P3은 파티클 필터 PF3과, 포트 P4는 파티클 필터 PF4와 유로로 연결될 수 있다.
이 때 본 발명은 도 3 및 도 4에 도시된 파티클 필터 및 포트의 개수에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 장치는 컨트롤러(190)의 제어에 따라 복수의 포트 중 액체가 유입되는 포트를 선택하는 포트 선택부(210)를 더 포함할 수 있다. 포트 선택부(210)는 도 3과 같이 스위칭 밸브(switching valve)를 포함할 수도 있고, 도 4와 같이 각 포트별로 연결된 솔레노이트 밸브(solenoid valve)를 포함할 수도 있으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 컨트롤러(190)는 스위칭 밸브 또는 솔레노이드 밸브를 제어하여 액체가 유입될 포트를 선택할 수 있다.
또한 도 3 및 도 4의 포트 선택부(210)는 4개의 유입단(in1~in4)을 포함하나 본 발명이 이와 같은 유입단의 개수에 한정되는 것은 아니다.
이 때 컨트롤러(190)는 버블이 센싱된 액체가 유입된 포트를 다른 포트로 변경하도록 포트 선택부(210)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 포트 1(P1)을 통하여 유입된 액체에서 버블이 센싱될 경우, 컨트롤러(190)는 포트 선택부(210)를 제어하여 포트 2 내지 포트 4 중 하나를 통하여 액체가 흐르도록 할 수 있다.
한편, 컨트롤러(190)는 복수의 포트들 중 버블이 센싱된 액체가 유입된 제1 포트를 제2 포트로 변경하도록 포트 선택부(210)를 제어할 수 있다. 포트 선택부(210)의 포트 변경 동작 후에 펌핑부(200)를 제어하여 액체가 제2 포트에서 제2 포트와 연결된 파티클 필터를 향하여 방출되도록 할 수 있다. 이와 같은 펌핑부(200)의 동작 후에 액체가 제2 포트와 연결된 파티클 필터에서 제2 포트로 유입되도록 펌핑부(200)를 제어할 수 있다.
즉, 앞서 설명된 바와 같이, 본 발명은 포트부(110)를 통하여 액체가 유입되기 전에 포트부(110)에서 파티클 필터링부(120)를 향하여 액체를 역배출함으로써 파티클 필터링부(120)에 누적된 파티클을 제거할 수 있다.
포트가 변경될 경우, 변경된 포트(예를 들어, P2)에 연결된 파티클 필터(예를 들어, PF2)에 있는 파티클을 제거하기 위하여 상기 포트(예를 들어, P2)를 통하여 액체가 유입되기 전에 상기 포트(예를 들어, P2)에서 파티클 필터(예를 들어, PF2)를 향하여 액체를 역배출할 수 있다.
한편, 컨트롤러(190)는 버블이 센싱된 액체가 유입된 포트와 연결된 파티클 필터의 막힘에 대한 경고 메시지를 도출할 수 있다. 파티클 필터가 막힐 경우 파티클 필터와 포트부(110)를 통하여 액체가 유입되기 힘들어져 액체가 아니라 버블 형태의 기체가 유입될 수 있다. 즉, 버블이 센싱되었다는 것은 파티클 필터가 막혀있을 수 있다는 것을 의미할 수 있다.
이에 따라 컨트롤러(190)는 상기 경고 메시지를 도출할 수 있다. 예를 들어, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 포트 1(P1)를 통하여 유입된 액체에서 버블이 센싱되었다면 컨트롤러(190)는 포트 1(P1)과 유로로 연결된 파티클 필터(PF1)의 막힘이 발생했다는 경고 메시지를 도출할 수 있다.
이와 같은 경고 메시지는 시각적 또는 청각적으로 구현될 수 있다. 경고 메시지를 구현하기 위한 스피커나 디스플레이는 통상의 기술자에게 일반적인 것이므로 이에 대한 설명은 생략된다.
한편, 버블 센싱부(130)는 포트부(110)를 통과한 액체에 대해 순차적으로 버블을 센싱하는 복수의 버블 센서를 포함할 수 있다. 버블 센서는 광을 액체 또는 버블에 조사하고, 액체 또는 버블에서 반사된 광의 반사각에 따라 액체 및 버블을 구별하여 버블을 센싱할 수 있다. 또다른 타입의 버블 센서는 초음파를 이용하여 버블을 센싱할 수 있다.
컨트롤러(190)는 복수의 버블 센서 전체가 액체에서 버블을 센싱할 경우 시료가 비정상이라고 도출할 수 있다.
예를 들어, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 버블 센싱부(130)는 버블 센서 1(BS1)과 버블 센서 2(BS2)를 포함할 수 있다. 버블 센서 1(BS1)과 버블 센서 2(BS2)는 동일한 유로로 이송되는 액체에 대해 순차적으로 버블을 센싱할 수 있다. 도 3 내지 도 5에서는 버블 센싱부(130)가 2개의 버블 센서를 포함하나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1, 도 3 내지 도5에서는 버블 센서 1(BS1)과 버블 센서 2(BS2)는 동일한 유로로 이송되는 액체에 대해 순차적으로 버블을 센싱하는 것으로 도시되어 있으나 버블 센서 1(BS1)은 유로에 흐르는 버블을 센싱하고, 버블 센서 2(BS2)는 펌핑부(200)의 액체에 대한 버블을 센싱할 수도 있다.
버블이 있을 경우 액체의 샘플링 및 분석에 대한 신뢰도가 떨어질 수 있다. 본 발명은 동일한 유로에 흐르는 액체에 대해 복수의 버블 센서 전체가 버블을 센싱하면 시료가 비정상이라고 판단할 수 있다.
물론 본 발명은 버블 센싱부(130)가 하나의 버블 센서를 구비할 수도 있다. 이와 같은 복수의 버블 센서를 구비하는 경우에 비하여 시료의 정상 여부 도출에 대한 정확도가 떨어질 수 있다. 즉, 하나의 버블 센서가 구비될 경우, 버블 센서의 오동작으로 인하여 버블 유무에 대한 센싱 결과의 신뢰도가 낮을 수 있다. 본 발명은 복수의 버블 센서를 구비함으로써 버블 센싱 경과에 대한 신뢰도를 높일 수 있다.
한편, 앞서 설명된 바와 같이, 컨트롤러(190)의 제어에 따라 복수의 포트 중 액체가 유입되는 포트를 선택하는 포트 선택부(210)를 더 포함할 수 있다. 포트 선택부(210)는 복수의 포트와 연결된 복수의 유입단과, 복수의 유입단 중 하나를 통하여 인입된 액체가 방출되는 하나의 유출단을 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 포트 1(P1) 내지 포트 4(P4)가 유입단 1(in1) 내지 유입단 4(in4)에 각각 유로로 연결될 수 있다. 또한 포트 선택부(210)는 선택된 유입단을 통하여 유입된 액체가 유출되는 하나의 유출단(out1)을 포함할 수 있다.
이 때, 복수의 버블 센서는 상기 하나의 유출단(out1)을 통하여 방출된 액체에 대하여 버블 센싱을 수행할 수 있다. 이를 통하여 구비되어야 할 버블 센서의 개수를 낮출 수 있다. 즉, 본 발명과 다르게 유입단에 버블 센서가 구비될 경우, 유입단 마다 복수의 버블 센서가 구비되어야 하므로 버블 센서의 개수가 과도하게 증가할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 방법을 나타낸다. 이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 방법을 설명하기 위하여 앞서 설명된 액체 샘플링 장치를 이용하나 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 방법이 이와 같은 액체 샘플링 장치에 한정되는 것은 아니다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액체 샘플링 방법은 액체에 대한 분석 이전에 액체가 제1 방향으로 배출되도록 하여 파티클 필터링부(120) 또는 유로의 막힘을 방지하는 단계(S610), 제1 방향으로 액체를 배출한 후 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 액체를 흐르게 하는 단계(S620), 제2 방향으로 흐른 액체에 대한 버블 센싱을 수행하는 단계(S630), 버블 센싱의 결과에 따라 액체가 정상 시료인지를 판별하는 단계(S640), 정상 시료에 대한 분석을 수행하는 단계(S650)를 포함한다. 버블이 센싱되면 시료가 비정상이라고 도출된다(S660).
이상과 같이 본 발명에 따른 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
포트(port)부(110)
파티클 필터링부(120)
버블(bubble) 센싱부(130)
시료 저장부(150)
시료 분석부(170)
컨트롤러(190)
펌핑부(200)
포트 선택부(210)
파티클 필터링부(120)
버블(bubble) 센싱부(130)
시료 저장부(150)
시료 분석부(170)
컨트롤러(190)
펌핑부(200)
포트 선택부(210)
Claims (8)
- 액체가 유입되도록 구성되는 포트(port)부;
상기 포트부를 통과한 액체에 존재하는 버블을 센싱하도록 구성된 버블 센싱부;
상기 버블 센싱부에 의하여 버블 유무에 대한 체크가 이루어진 액체가 저장되도록 구성되는 시료 저장부;
상기 시료 저장부의 액체를 시료로 하여 액체에 대한 이온 크로마토그래피 분석, 형광분석 및 유도결합 플라즈마 분석 중 적어도 하나를 수행하도록 구성된 시료 분석부; 및
상기 버블 센싱부가 버블을 센싱할 경우 상기 시료가 비정상이라고 도출하도록 구성된 컨트롤러를 포함하며,
상기 포트부는 파티클 필터링(particle filtering)부를 통과한 액체가 유입되고,
상기 포트부는 복수의 포트를 포함하고, 상기 파티클 필터링부는 복수의 파티클 필터를 포함하며, 상기 파티클 필터 하나마다 하나의 상기 포트와 연결되며,
상기 컨트롤러의 제어에 따라 상기 복수의 포트 중 액체가 유입되는 포트를 선택하는 포트 선택부를 더 포함하고,
상기 컨트롤러는 버블이 센싱된 액체가 유입된 포트를 다른 포트로 변경하도록 상기 포트 선택부를 제어하는 것을 특징으로 하는 액체 샘플링 장치. - 제1항에 있어서,
상기 포트부를 통하여 액체가 유입되도록 흡입력을 제공하는 펌핑(pumping)부를 더 포함하고,
상기 컨트롤러는 상기 액체에 대한 분석 이전에 상기 펌핑부를 제어하여 액체가 상기 포트부로부터 액체가 유입되는 방향의 반대 방향으로 방출되도록 하는 것을 특징으로 액체 샘플링 장치. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 컨트롤러는
상기 복수의 포트들 중 버블이 센싱된 액체가 유입된 제1 포트를 제2 포트로 변경하도록 상기 포트 선택부를 제어하고,
상기 포트 선택부의 포트 변경 동작 후에 상기 펌핑부를 제어하여 액체가 상기 제2 포트에서 상기 제2 포트와 연결된 파티클 필터를 향하여 방출되도록 하고,
상기 펌핑부의 동작 후에 액체가 상기 제2 포트와 연결된 파티클 필터에서 상기 제2 포트로 유입되도록 상기 펌핑부를 제어하는 것을 특징으로 하는 액체 샘플링 장치. - 제1항에 있어서,
상기 컨트롤러는
버블이 센싱된 액체가 유입된 포트와 연결된 파티클 필터의 막힘에 대한 경고 메시지를 도출하는 것을 특징으로 하는 액체 샘플링 장치. - 제1항에 있어서,
상기 버블 센싱부는 상기 포트부를 통과한 액체에 대해 순차적으로 버블을 센싱하는 복수의 버블 센서를 포함하며,
상기 컨트롤러는 상기 복수의 버블 센서 전체가 상기 액체에서 버블을 센싱할 경우 상기 시료가 비정상이라고 도출하는 것을 특징으로 하는 액체 샘플링 장치. - 제6항에 있어서,
상기 컨트롤러의 제어에 따라 상기 복수의 포트 중 액체가 유입되는 포트를 선택하는 포트 선택부를 더 포함하고,
상기 포트 선택부는 상기 복수의 포트와 연결된 복수의 유입단과, 상기 복수의 유입단 중 하나를 통하여 인입된 액체가 방출되는 하나의 유출단을 포함하며,
상기 복수의 버블 센서는 상기 하나의 유출단을 통하여 방출된 액체에 대하여 버블 센싱을 수행하는 것을 특징으로 하는 액체 샘플링 장치. - 포트 선택부를 포함하는 액체 샘플링 장치에 의하여 구현되는 액체 샘플링 방법에 있어서,
액체에 대한 분석 이전에 액체를 제1 방향으로 배출하여 파티클 필터링부 또는 유로의 막힘을 방지하는 단계;
상기 제1 방향으로 액체를 배출한 후 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 액체를 흐르게 하는 단계;
상기 제2 방향으로 흐른 액체에 대한 버블 센싱을 수행하는 단계;
상기 버블 센싱의 결과에 따라 액체가 정상 시료인지를 판별하는 단계;
상기 정상 시료에 대한 이온 크로마토그래피 분석, 형광분석 및 유도결합 플라즈마 분석 중 적어도 하나를 수행하는 단계;를 포함하며,
포트부는 상기 파티클 필터링부를 통과한 액체가 유입되고,
상기 포트부는 복수의 포트를 포함하고, 상기 파티클 필터링부는 복수의 파티클 필터를 포함하며, 상기 파티클 필터 하나마다 하나의 상기 포트와 연결되며,
상기 포트 선택부는,
상기 복수의 포트 중 액체가 유입되는 포트를 선택하고,
버블이 센싱된 액체가 유입된 포트를 다른 포트로 변경하는 것을 특징으로 하는 액체 샘플링 방법.
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|---|---|---|---|
| KR1020210153724A KR102410793B1 (ko) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | 액체 샘플링 장치 및 액체 샘플링 방법 |
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| KR102410793B1 true KR102410793B1 (ko) | 2022-06-22 |
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2021
- 2021-11-10 KR KR1020210153724A patent/KR102410793B1/ko active IP Right Grant
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