KR102404049B1 - 질화물 기반의 멤스 미러 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 질화물 기반의 멤스 미러 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 물리적인 힘의 사용 없이 구동 전극과 고정 전극 간에 단차를 형성하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 멤스 미러용 정전 구동기는 제1 콤 전극층과 제2 콤 전극층을 포함한다. 제1 콤 전극층은 제1 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극을 구비한다. 그리고 제2 콤 전극층은 제2 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 제1 콤 전극층의 상부에 적층되며, 복수의 제1 콤 전극의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극을 구비한다.

Description

질화물 기반의 멤스 미러 및 그의 제조 방법{A nitride-based MEMS mirror and manufacturing method thereof}
본 발명은 멤스 미러(MEMS mirror) 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 멤스(MEMS; Micro Electro Mechanical Systems) 공정을 통해 제조되는 질화물 기반의 멤스 미러 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 디스플레이, 프린팅 장치, 정밀 측정, 정밀 가공 등 다양한 기술 분야에서 반도체 공정기술에 의해 제조되는 멤스(MEMS; Micro Electro Mechanical Systems) 디바이스에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 광원으로부터 입사된 광을 소정의 화면영역에 대해 주사하여 영상을 구현하는 디스플레이 분야 또는 소정의 화면영역에 대해 광을 주사하고 반사된 광을 수광하여 화상 정보를 읽어들이는 스캐닝 분야에서는 미소 구조의 멤스 미러(MEMS mirror)가 주목받고 있다. 멤스 미러는 광 스캐너(optical scanner)로 불리기도 한다.
이러한 멤스 미러는 일반적으로 멤스 공정 기술을 이용하여 광을 반사시키는 미러와, 미러를 지지하는 지지축 및 미러를 요동시키기 위한 정전 구동기를 단일의 칩 형태로 구성한 것을 지칭한다.
정전 구동기는 운동체인 스테이지 또는 이동구조물의 평면에 대해 나란한 방향으로 구동 전극이 형성되고, 구동 전극에 대응하는 고정 전극이 위치 고정된 상태에서 구동 전극과 교번적으로 배치되고, 구동 전극과 같이 스테이지의 평면 방향에 나란하게 형성되는 구조를 가진다.
정전 구동기는 정전기력에 의해 회전운동을 하기 위해서는 구동 전극과 고정 전극 사이에 높이 또는 기울기 차이를 갖는다. 이로 인해 정전 구동기는 구동 전극과 고정 전극의 높이를 같게 제작한 후 높이 또는 기울기 차이를 발생시키기 위한 추가 공정이 필요하다.
등록특허공보 제10-1090961호에 개시된 멤스 미러(광 스캐너)에 따르면, 필러를 포함하는 덮개부로 아래에 위치하는 장치부를 위에서 눌러 장치부에 포함된 구동 전극을 고정 전극에 대해서 소정 각도로 기울어지게 하는 구성을 개시하고 있다. 여기서 장치부는 미러, 레버가 연결된 지지축 및 정전 구동기를 포함한다. 덮개부는 장치부에 결합할 때 필러가 레버를 위에서 누름으로써, 레버와 연결되어 있는 지지축이 소정 각도 회전하게 된다. 이로 인해 정전 구동기의 구동 전극이 고정 전극에 대해 소정 각도로 기울어지게 된다.
이와 같은 멤스 미러는 정전 구동기를 포함하는 장치부의 상부에 덮개부가 결합된 구조를 갖기 때문에, 제조 공정이 복잡하며 정교한 정렬을 해야 하는 어려움으로 인해 자동화 및 대량생산에 적합하지 못하다.
또는 등록특허 제10-2032287호, 등록특허 제10-21083434호에 개시된 바와 같이, 멤스 스캐너는 쉬프트부(리프트부)가 장치부의 하부에서 위로 올려주는 쉬프트 방식으로 구동 전극과 고정 전극이 서로 어긋나게 구성하여 정전 구동력을 발생시킬 수 있다.
전술된 바와 같은 누르는 방식과 쉬프트 방식 모두 구동 전극 또는 고정 전극에 물리적인 힘을 작용하기 때문에, 물리적인 힘이 작용하는 정전 구동기 부분에 물리적인 스트레스가 작용하여 크랙이 발생하거나 파손되는 문제가 발생할 수 있다.
그리고 물리적인 힘으로 구동 전극과 고정 전극을 어긋나게 하는 과정에서, 구동 전극과 고정 전극 간의 정렬이 틀어지는 문제가 발생할 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은 물리적인 힘의 사용 없이 구동 전극과 고정 전극을 서로 어긋나게 형성하는 질화물 기반의 멤스 미러 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 제1 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 제1 콤 전극층; 및 제2 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 상기 제1 콤 전극층의 상부에 적층되며, 상기 복수의 제1 콤 전극의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 제2 콤 전극층;을 포함하는 멤스 미러용 정전 구동기를 제공한다.
상기 제1 콤 전극층은, 상기 복수의 제1 콤 전극과 교번되게 형성되며, 상부에 상기 제2 콤 전극이 위치하는 더미 콤 전극;을 더 포함한다.
본 발명에 따른 멤스 미러용 정전 구동기는, 질화물계 절연 소재로 형성되며, 상기 제1 콤 전극층과 상기 제2 콤 전극층 사이에 개재되고, 상기 더미 콤 전극과 상기 제2 콤 전극 사이에 개재되는 스페이서를 구비하는 질화물계 절연층;을 더 포함한다.
상기 복수의 제1 콤 전극과 상기 복수의 제2 콤 전극은 적층된 더미 콤 전극/스페이서/제2 콤 전극과 상기 제1 콤 전극이 교번되게 배열된다.
상기 스페이서를 매개로 상기 제2 콤 전극 아래에 형성된 상기 제1 콤 전극은 더미 콤 전극으로 상기 제2 콤 전극과 이웃하게 위치하는 다른 상기 제1 콤 전극과는 분리되어 있다.
본 발명에 따른 멤스 미러용 정전 구동기는, 실리콘 기판; 및 상기 실리콘 기판과 상기 제1 콤 전극층 사이에 개재되는 질화물계 버퍼층;을 더 포함한다.
상기 실리콘 기판은 중심 부분에 개방부가 형성되어 있고, 상기 개방부에 상기 복수의 제1 콤 전극과 상기 복수의 제2 콤 전극이 노출된다.
상기 제1 및 제2 콤 전극층은 각각, 상기 실리콘 기판에 의해 지지되며, 상기 복수의 제1 및 제2 콤 전극이 각각 연결되는 제1 및 제2 콤 전극판;을 더 포함한다.
상기 복수의 제1 콤 전극 아래에 상기 질화물계 버퍼층 부분이 존재하거나 제거될 수 있다.
상기 질화물계 버퍼층은 절연성을 갖는 질소를 기반으로 Al, In 및 Ga 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 질화물계 반도체 소재는 반도체성을 갖는 질소를 기반으로 Al, In 및 Ga 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 질화물계 절연층은 절연성을 갖는 GaN, AlGaN 및 InGaN 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 콤 전극은 하나가 고정 전극이고 다른 하나가 구동 전극이다.
상기 제1 및 제2 콤 전극층 중에 구동 전극을 구비하는 콤 전극층은, 상기 구동 전극에 연결되는 미러 설치판;을 더 포함할 수 있다.
본 발명은 또한, 광을 반사시키는 미러; 및 상기 미러를 요동시키는 상기 정전 구동기;를 포함한다. 여기서 상기 정전 구동기는, 제1 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 제1 콤 전극층; 및 제2 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 상기 제1 콤 전극층의 상부에 적층되며, 상기 복수의 제1 콤 전극의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 제2 콤 전극층;을 포함한다. 그리고 상기 제1 및 제2 콤 전극은 하나가 고정 전극이고 다른 하나가 구동 전극이고, 상기 미러는 상기 구동 전극에 연결된다.
본 발명은 또한, 실리콘 기판 위에 질화물계 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 질화물계 버퍼층 위에 제1 질화물계 반도체층을 형성하는 단계; 상기 제1 질화물계 반도체층 위에 질화물계 절연층을 형성하는 단계; 상기 질화물계 절연층 위에 제2 질화물계 반도체층을 형성하는 단계; 상기 제2 질화물계 반도체층을 패터닝하여 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 제2 콤 전극층을 형성하는 단계; 상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 질화물계 절연층을 상기 제2 콤 전극층에 대응되게 패터닝하는 단계; 상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 제1 질화물계 반도체층을 패터닝하여 미러 설치판과, 상기 미러 설치판에 연결되되 상기 복수의 제2 콤 전극에 교번되는 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 제1 콤 전극층을 형성하는 단계; 상기 미러 설치판에 미러를 형성하는 단계; 및 상기 실리콘 기판의 하부로 상기 미러, 상기 복수의 제1 콤 전극 및 상기 복수의 제2 콤 전극이 노출되게 상기 실리콘 기판의 중심 부분에 개방부를 형성하는 단계;를 포함하는 멤스 미러의 제조 방법을 제공한다.
그리고 본 발명은, 실리콘 기판 위에 질화물계 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 질화물계 버퍼층 위에 제1 질화물계 반도체층을 형성하는 단계; 상기 제1 질화물계 반도체층 위에 질화물계 절연층을 형성하는 단계; 상기 질화물계 절연층 위에 제2 질화물계 반도체층을 형성하는 단계; 상기 제2 질화물계 반도체층을 패터닝하여 미러 설치판과, 상기 미러 설치판에 연결되는 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 제2 콤 전극층을 형성하는 단계; 상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 질화물계 절연층을 상기 제2 콤 전극층에 대응되게 패터닝하는 단계; 상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 제1 질화물계 반도체층을 패터닝하여 상기 복수의 제2 콤 전극에 교번되게 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 제1 콤 전극층을 형성하는 단계; 상기 미러 설치판에 미러를 증착하는 단계; 및 상기 실리콘 기판의 하부로 상기 미러, 상기 복수의 제1 콤 전극 및 상기 복수의 제2 콤 전극이 노출되게 상기 실리콘 기판의 중심 부분에 개방부를 형성하는 단계;를 포함하는 멤스 미러의 제조 방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 실리콘 기판 위에 MEMS 공정을 통하여 질화물 소재의 구동 전극층과 고정 전극층을 적층하여 형성한 후, 구동 전극층과 고정 전극층의 패터닝을 통하여 상하로 구동 전극과 고정 전극을 교번되게 형성함으로써, 멤스 미러의 제조 공정 중 구동 전극과 고정 전극을 서로 어긋나게 형성하기 위해 물리적인 힘을 작용하는 것을 배제할 수 있다. 이로 인해 본 발명에 따른 멤스 미러는 물리적인 힘에 의한 물리적인 스트레스가 작용하여 크랙이 발생하거나 파손되는 문제를 차단할 수 있다.
본 발명에 따른 멤스 미러는 물리적인 힘의 작용 없이 패터닝 공정을 통하여 구동 전극과 고정 전극을 교번되게 형성하기 때문에, 구동 전극과 고정 전극 간의 정렬 불량이 발생하는 것을 최소화할 수 있다. 이로 인해 본 발명에 따른 멤스 미러의 제조 방법에 따르면, 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 멤스 미러는 구동 전극 또는 고정 전극을 가압하는 가압 부재가 필요하지 않기 때문에, 멤스 미러의 구조를 간소화하면서 컴팩트하게 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 멤스 미러의 평면도이다.
도 2는 도 1의 2-2 선 단면도이다.
도 3 내지 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 멤스 미러의 제조 방법에 따른 각 단계를 보여주는 단면도들이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 멤스 미러의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 멤스 미러의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 멤스 미러의 단면도이다.
하기의 설명에서는 본 발명의 실시예를 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며, 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다.
이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
[제1 실시예]
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 멤스 미러의 평면도이다. 그리고 도 2는 도 1의 2-2 선 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)는 멤스(MEMS) 공정을 통해 제조되는 광 스캐너(optical scanner)로서, 광을 반사시키는 미러(10)와, 미러(10)를 요동시키는 정전 구동기(20)를 포함한다.
제1 실시예에 따른 정전 구동기(20)는 제1 콤 전극층(50)과 제2 콤 전극층(70)을 포함한다. 제1 콤 전극층(50)은 제1 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극(53)을 구비한다. 그리고 제2 콤 전극층(70)은 제2 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 제1 콤 전극층(50)의 상부에 적층되며, 복수의 제1 콤 전극(53)의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극(73)을 구비한다. 여기서 제1 및 제2 콤 전극(53,73)은 하나가 고정 전극이고 다른 하나가 구동 전극이다. 미러(10)는 구동 전극에 연결된다.
제1 실시예에 따른 정전 구동기(20)는 실리콘 기판(30), 질화물계 버퍼층(40), 제1 전극 패드(59) 및 제2 전극 패드(79)를 더 포함할 수 있다.
상부면에 질화물계 버퍼층(40)이 형성된 실리콘 기판(30)은 제1 및 제2 콤 전극층(70)을 지지하며, 제1 및 제2 콤 전극층(70)을 형성할 수 있는 베이스 기판이다.
실리콘 기판(30)은 중심에 개방부(31)가 형성되어 있다. 개방부(31)로 미러(10), 복수의 제1 콤 전극(53) 및 복수의 제2 콤 전극(73)이 노출된다. 개방부(31)를 통하여 미러(10)와, 미러(10)에 연결된 구동 전극이 요동하게 된다.
질화물계 버퍼층(40)은 실리콘 기판(30) 위에 형성되어 실리콘 기판(30)의 개방부(31)를 덮는다. 질화물계 버퍼층(40)은 상부에 형성되는 제1 콤 전극층(50)에 도핑되는 물질이 실리콘 기판(30)으로 확산되는 것을 방지한다. 이러한 질화물계 버퍼층(40)은 실리콘 기판(30) 위에 형성되는 제1 버퍼층(41)과, 제1 버퍼층(41)과 연결되어 개방부(31)에 노출되는 제2 버퍼층(43)과 제3 버퍼층(45)을 포함한다. 제2 및 제3 버퍼층(43,45)는 제1 및 제2 콤 전극(53,73)과 함께 패터닝되어 분할된다. 분할된 제2 버퍼층(43)는 복수의 제1 콤 전극(53)의 하부에 위치한다. 제3 버퍼층(45)은 미러 설치판(57)의 하부에 위치한다.
이러한 질화물계 버퍼층(40)은 절연성을 갖는 질소를 기반으로 Al, In 및 Ga 중에 적어도 하나를 포함한다. 예컨대 질화물계 버퍼층(40)은 도핑되지 않은 GaN(u-GaN), AlN, AlGaN, InGaN 및 InN 중에 적어도 하나로 형성될 수 있다.
질화물계 버퍼층(40)은 MOCVD(유기금속 기상증착법), MBE(분자빔성장법), HVPE(하이브리드 기상증착법) 등으로 성장하여 형성할 수 있다. 예컨대 질화물계 버퍼층(40)은 400 내지 1200℃에서 500 내지 3000nm 두께로 성장하여 형성할 수 있다.
질화물계 버퍼층(40)으로 u-GaN이 형성된 실리콘 기판(30)은 GaN-On-Si 기판으로 명명할 수 있다.
제1 콤 전극층(50)은 질화물계 버퍼층(40) 위에 형성된 제1 질화물계 반도체층을 패터닝하여 형성한다. 제1 질화물계 반도체층은 제1 질화물계 반도체 소재로 형성된다.
제2 콤 전극층(70)은 제1 콤 전극층(50) 위에 형성된 제2 질화물계 반도체층을 패터닝하여 형성한다. 제2 질화물계 반도체층은 제2 질화물계 반도체 소재로 형성된다.
여기서 제1 및 제2 질화물계 반도체 소재는 반도체성을 갖는 질소를 기반으로 Al, In 및 Ga 중에 적어도 하나를 포함한다. 예컨대 제1 및 제2 질화물계 반도체 소재는 n-타입의 반도체 소재로서, GaN 및 InGaN 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다.
제1 및 제2 콤 전극층(50,70)은 800 내지 1200℃에서 1 내지 10㎛ 두께로 성장하여 형성된 제1 및 제2 질화물계 반도체층을 기반으로 형성할 수 있다. 제1 또는 제2 질화물계 반도체층은 단일층 또는 복수층으로 형성될 수 있다. 단일층으로 제1 또는 제2 질화물계 반도체층을 형성하는 경우, 1 내지 4㎛의 두께로 형성될 수 있다. 복수층으로 제1 또는 제2 질화물계 반도체층이 형성될 경우, 2 내지 10㎛의 두께로 형성될 수 있다.
제1 및 제2 콤 전극층(50,70)은 실리콘 기판(30)에 의해 지지되며, 복수의 제1 및 제2 콤 전극(53,73)이 각각 연결되는 제1 및 제2 콤 전극판(55,75)을 포함한다. 실리콘 기판(30) 위에 형성된 제1 및 제2 콤 전극판(55,75)은 물리적으로 분리되어 있다.
제1 실시예에서는 제1 콤 전극(53)이 구동 전극이고, 제2 콤 전극(73)이 고정 전극으로 사용된 예를 개시하였다. 따라서 제1 콤 전극층(50)은 구동 전극층이고, 제1 콤 전극판(55)은 구동 전극판이다. 제2 콤 전극층(70)은 고정 전극층이고, 제2 콤 전극판(75)은 고정 전극판이다.
제1 콤 전극층(50)은 제1 콤 전극(53)에 연결되는 미러 설치판(57)을 포함한다. 미러 설치판(57)의 상부에 미러(10)가 형성된다.
미러(10)는 광 반사성이 양호한 금속 소재를 증착하여 형성할 수 있다. 미러(10)의 소재로는 금(Au)이 사용될 수 있다. 증착 방법으로 화학적 기상 증착(Chemical Vapor Deposition; CVD), 물리적 기상 증착(Physics Vapor Deposition; PVD), 원자층 증착(Atomic Layer Deposition; ALD) 등이 사용될 수 있다.
제1 콤 전극층(50)은 미러 설치판(57)에 대해서 양쪽으로 돌출되어 제1 콤 전극판(55)에 연결되는 지지축(58)을 포함한다. 지지축(58)을 중심으로 양쪽에 복수의 제1 콤 전극(53)이 배열되어 있다.
제1 실시예에서는 미러 설치판(57)을 중심에 양쪽에 복수의 제1 및 제2 콤 전극(53,73)이 교번되게 형성된 예를 개시하였지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 미러 설치판(57)의 외측면에 복수의 제1 콤 전극(53)을 형성하고, 복수의 제1 콤 전극(53)에 교번되게 복수의 제2 콤 전극(73)을 형성할 수도 있다.
제1 콤 전극층(50)은 복수의 제1 콤 전극(53)과 교번되게 형성되며, 상부에 제2 콤 전극(73)이 형성되는 복수의 더미 콤 전극(54)을 포함한다. 복수의 더미 콤 전극(54)은 복수의 제1 콤 전극(53)과 함께 동일 평면 상에 형성되며, 지지축(58)으로부터 분리되어 있다.
제1 또는 제2 질화물계 반도체층에는 불순물이 도핑될 수 있다. 예컨대 불순물은 Si, Ge, Mg, Zn, Se, Mn, Ti, Ni 및 Fe 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다. 불순물 주입은 인-시츄 도핑(in-situ doping), 익스-시츄 도핑(ex-situ doping) 및 이온 주입(ion implantation) 중에 적어도 하나의 방법으로 수행될 수 있다.
제1 및 제2 질화물계 반도체층은 1×1017 내지 5×1020/cm3의 도핑 레벨(doping density)을 가질 수 있다.
질화물계 절연층(60)은 질화물계 절연 소재로 형성되며, 제1 콤 전극층(50)과 제2 콤 전극층(70) 사이에 개재되고, 더미 콤 전극(54)과 제2 콤 전극(73) 사이에 개재되는 스페이서(61)를 구비한다. 제1 및 제2 콤 전극(53,73)을 서로 교번되게 형성할 때, 제2 콤 전극(73) 아래에 더미 콤 전극(54)이 위치한다.
질화물계 절연층(60)을 매개로 복수의 제1 및 제2 콤 전극(53,73)이 형성될 때, 복수의 제1 및 제2 콤 전극(53,73)의 상하로 교번되게 형성된다. 복수의 제1 콤 전극(53)이 일렬로 배열된다. 복수의 제2 콤 전극(73)이 복수의 제1 콤 전극(53) 위에 형성되되, 복수의 제1 콤 전극(53)과 교번되게 형성된다.
이러한 질화물계 절연층(60)은 절연성을 갖는 질소를 기반으로 Al, In 및 Ga 중에 적어도 하나를 포함한다. 예컨대 질화물계 절연층(60)은 도핑되지 않은 GaN(u-GaN), AlGaN 및 InGaN 중에 적어도 하나로 형성될 수 있다. 질화물계 절연층(60)은 400 내지 1200℃에서 100 내지 5000nm 두께로 단일층 또는 복수층으로 성장하여 형성할 수 있다. 단일층으로 질화물계 절연층(60)을 형성하는 경우, 100 내지 1000nm의 두께로 형성될 수 있다. 복수층으로 질화물계 절연층(60)이 형성될 경우, 500 내지 5000nm의 두께로 형성될 수 있다.
질화물계 절연층(60)에는 불순물이 도핑될 수 있다. 예컨대 불순물은 Mg, C, Fe, Ge, Zn, Mn, Ti 및 Ni 중에 적어도 하나를 포함할 수 있다. 질화물계 절연층(60)은 1×1016/cm3 이하의 도핑 레벨을 가질 수 있다.
복수의 제2 콤 전극(73)이 복수의 제1 콤 전극(53)과 교번되게 배열될 수 있도록, 복수의 제2 콤 전극(73)은 복수의 제1 콤 전극(53)과 교번되게 형성되는 더미 콤 전극(54) 위에 스페이서(61)를 매개로 형성된다. 즉 더미 콤 전극(54)/스페이서(61)/제2 콤 전극(73)과 제1 콤 전극(53)이 교번되게 배열된다.
여기서 스페이서(61)를 매개로 제2 콤 전극(73)의 하부에 위치하는 더미 콤 전극(54)은 지지축(58)에서 분리되어 있다. 즉 스페이서(61)를 매개로 제2 콤 전극(73)의 하부에 위치하는 더미 콤 전극(54)은 제1 콤 전극(53)과 함께 형성되지만 제1 콤 전극(53)으로서의 기능을 수행하진 않는다. 더미 콤 전극(54)은 제2 콤 전극(73)과 제1 콤 전극(53) 간에 단차를 형성하는 요소로 사용된다.
그리고 제1 및 제2 전극 패드(59,79)는 제1 콤 전극(53) 및 제2 콤 전극(73)에 각각 반대되는 극성의 구동 전압을 공급한다. 제1 전극 패드(59)는 제1 콤 전극판(55) 위에 형성될 수 있다. 제2 전극 패드(79)는 제2 콤 전극판(75) 위에 형성될 수 있다. 그리고 제1 및 제2 전극 패드(59,79)는 미러(10)를 증착할 때 함께 형성할 수 있다.
이와 같이 제1 및 제2 전극 패드(59,79)를 통하여 제1 콤 전극(53) 및 제2 콤 전극(73)으로 인가되는 구동 전압의 세기를 조절함으로써, 복수의 제2 콤 전극(73)에 대한 복수의 제1 콤 전극(53)의 회전량을 조절하여 미러(10)의 회전 각도를 조절할 수 있다.
그리고 제1 및 제2 콤 전극층(50,70)을 형성하는 질화물 소재와 기존의 실리콘 소재를 비교하면 아래의 표1과 같다. 표1에서 Si는 실리콘 소재를 나타내고, GaN은 질화물 소재를 나타낸다. 여기서 면저항은 두께 2.5㎛의 n타입의 GaN을 사용하여 측정하였다.
유전상수 탄성계수
(Gpa)		 면저항
(mΩ/□)		 열팽창계수
(K^-1)
Si 10.7 165 <17 2.6×10-6
GaN 9.5 398 <15 3.2×10-6
탄성계수를 비교하면, 질화물 소재는 실리콘 소재 대비 고탄성 및 고강도 소재이기 때문에, 제1 및 제2 콤 전극을 보다 얇은 두께로 제조가 가능하다. 이로 인해 정전 구동기(20)는 구동력(driving force)를 증가시킬 수 있다.
또한, 탄성이 클수록 물질의 고유진동수가 증가하므로 공진주파수가 높게 형성될 것으로 판단된다. 따라서 멤스 미러(100)는 고주파용 전자기기에 적용이 가능할 것으로 판단된다. 여기서 고주파용 전자기기는 디스플레이, LiDAR, 프로젝터 등을 포함하며, 이것에 한정되는 것은 아니다.
면저항을 비교하면, 질화물 소재는 실리콘 소재 대비 유사하거나 낮은 저항 특성을 갖기 때문에, 질화물 소재로 제1 및 제2 콤 전극층(50,70)을 구현하는 데 문제가 없을 것으로 판단된다.
그리고 열팽창계수를 비교하면, 질화물 소재는 실리콘 소재 대비 유사한 특성을 갖기 때문에, 질화물 소재로 제1 및 제2 콤 전극층을 구현하는 데 문제가 없을 것으로 판단된다.
[제1 실시예에 따른 멤스 미러의 제조 방법]
이와 같은 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)의 제조 방법에 대해서 도 3 내지 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 여기서 도 3 내지 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)의 제조 방법에 따른 각 단계를 보여주는 단면도들이다.
먼저 도 3에 도시된 바와 같이, 실리콘 기판(30) 위에 질화물계 버퍼층(40)을 형성한다. 질화물계 버퍼층(40)은 MOCVD, MBE, HVPE 등으로 성장하여 형성할 수 있다.
다음으로 도 4에 도시된 바와 같이, 질화물계 버퍼층(40) 위에 제1 질화물계 반도체층(51), 질화물계 절연층(60), 및 제2 질화물계 반도체층(71)을 순차적으로 적층하여 형성한다. 여기서 제1 질화물계 반도체층(51), 질화물계 절연층(60), 및 제2 질화물계 반도체층(71) 또한 MOCVD, MBE, HVPE 등으로 성장하여 형성할 수 있다.
다음으로 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 질화물계 반도체층(71)을 패터닝하여 제2 콤 전극층(70)을 형성한다. 여기서 제2 콤 전극층(70)은 복수의 제2 콤 전극(73)과, 복수의 제2 콤 전극(73)이 연결되는 제2 콤 전극판(75)을 포함한다.
그리고 질화물계 절연층(60)은 제2 콤 전극층(70)에 대응되게 패터닝되어 제2 콤 전극층(70) 아래에 위치한다.
이때 제2 질화물계 반도체층(71)과 질화물계 절연층(60)의 패턴닝은 함께 수행할 수도 있고, 제2 질화물계 반도체층(71)에 대한 패터닝을 수행한 이후에 질화물계 절연층(60)에 대한 패턴닝을 수행할 수 있다.
다음으로 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 콤 전극층(70) 아래의 제1 질화물계 반도체층(51) 및 질화물계 버퍼층(40)을 패터닝하여 제1 콤 전극층(50)을 형성한다. 여기서 제1 콤 전극층(50)은 미러 설치판(57)과, 미러 설치판(57)에 연결되되 복수의 제2 콤 전극(73)에 교번되는 복수의 제1 콤 전극(53)을 구비하는 제1 콤 전극층(50)과, 제1 콤 전극판(55)을 포함한다.
제1 콤 전극층(50)은 복수의 제2 콤 전극(73) 아래에 각각 형성되는 복수의 더미 콤 전극(54)을 더 포함한다. 복수의 더미 콤 전극(54)은 복수의 제1 콤 전극(53)과 함께 형성되며, 복수의 더미 콤 전극(54)과 복수의 제1 콤 전극(53)은 동일 평면 상에 교번되게 형성된다.
그리고 질화물계 버퍼층(40)은 제1 콤 전극층(50)에 대응되게 패터닝되어 제1 콤 전극층(50) 아래에 위치한다.
다음으로 도 7에 도시된 바와 같이, 미러 설치판(57)에 미러(10)를 증착하여 형성한다. 미러(10)를 증착할 때, 제1 및 제2 콤 전극층(50,70) 위에 제1 및 제2 전극 패드(59,79)를 함께 증착할 수 있다. 여기서 미러(10), 제1 및 제2 전극 패드(59,79)는 동일 소재의 금속을 증착하여 형성할 수 있다.
그리고 도 8에 도시된 바와 같이, 실리콘 기판(30)의 하부를 통하여 실리콘 기판(30)의 중심 부분에 개방부(31)를 형성함으로써, 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)를 얻을 수 있다. 여기서 개방부(31)를 통하여 미러(10), 복수의 제1 콤 전극(53) 및 복수의 제2 콤 전극(73)이 노출된다. 개방부(31)를 통하여 노출되는 면은 질화물계 버퍼층(40)으로, 제2 및 제3 버퍼층(43,45)이 노출된다.
이와 같이 제1 실시예에 따른 제조 방법에 따르면, 실리콘 기판(30) 위에 MEMS 공정을 통하여 질화물 소재의 구동 전극층(제1 콤 전극층(50))과 고정 전극층(제2 콤 전극층(70))을 적층하여 형성한 후, 구동 전극층과 고정 전극층의 패터닝을 통하여 상하로 구동 전극(제1 콤 전극(53))과 고정 전극(제2 콤 전극(73))을 교번되게 형성함으로써, 멤스 미러(100)의 제조 공정 중 구동 전극과 고정 전극을 서로 어긋나게 형성하기 위해 물리적인 힘을 작용하는 것을 배제할 수 있다. 이로 인해 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)는 물리적인 힘에 의한 물리적인 스트레스가 작용하여 크랙이 발생하거나 파손되는 문제를 차단할 수 있다.
제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)는 물리적인 힘의 작용 없이 패터닝 공정을 통하여 구동 전극과 고정 전극을 교번되게 형성하기 때문에, 구동 전극과 고정 전극 간의 정렬 불량이 발생하는 것을 최소화할 수 있다. 이로 인해 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)의 제조 방법에 따르면, 수율을 향상시킬 수 있다.
그리고 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)는 구동 전극 또는 고정 전극을 가압하는 가압 부재가 필요하지 않기 때문에, 멤스 미러(100)의 구조를 간소화하면서 컴팩트하게 제조할 수 있다.
[제2 실시예]
한편 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)는 제1 콤 전극(53)이 구동 전극이고, 제2 콤 전극(73)이 고정 전극으로 형성된 예를 개시하였지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 콤 전극(53)이 고정 전극이고, 제2 콤 전극(73)이 구동 전극으로 형성될 수 있다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 멤스 미러(200)의 단면도이다.
도 9를 참조하면, 제2 실시예에 따른 멤스 미러(200)는 미러(10)와, 미러(10)를 요동시키는 정전 구동기(120)를 포함한다.
제2 실시예에 따른 정전 구동기(120)는 제1 콤 전극층(50)과 제2 콤 전극층(70)을 포함한다. 제1 콤 전극층(50)은 제1 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극(53)을 구비한다. 그리고 제2 콤 전극층(70)은 제2 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 제1 콤 전극층(50)의 상부에 적층되며, 복수의 제1 콤 전극(53)의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극(73)을 구비한다.
여기서 제1 콤 전극(53)이 고정 전극이고, 제2 콤 전극(73)이 구동 전극이다. 미러(10)는 제2 콤 전극(73)에 연결된다.
따라서 제1 콤 전극층(50)은 고정 전극층이고, 제1 콤 전극판(55)은 고정 전극판이다. 제2 콤 전극층(70)은 구동 전극층이고, 제2 콤 전극판(75)은 구동 전극판이다.
제2 콤 전극층(70)은 미러 설치판(77)을 포함한다. 제1 실시예에서 미러 설치판으로 사용된 제1 콤 전극층(50) 부분은 더미 미러 설치판(57a)이다. 더미 미러 설치판(57a)은 제1 콤 전극(53)에서 분리되어 있다.
이와 같은 제2 실시예에 따른 멤스 미러(200)의 제조 방법은, 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)의 제조 방법과 동일한 순서로 진행될 수 있다.
이때 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)의 제조 방법에서는 제1 콤 전극층(50)에 미러 설치판을 형성해야 하기 때문에, 미러 설치판이 형성될 부분의 상부의 제2 질화물계 반도체층 부분을 제거하였다.
하지만 제2 실시예에 따른 멤스 미러(200)의 제조 방법에서는 제2 콤 전극층(70)에 미러 설치판(77)을 형성하기 때문에, 제2 콤 전극층(70)을 형성할 때, 제2 질화물계 반도체층을 패터닝하여 미러 설치판(77)과, 미러 설치판(77)에 연결되는 복수의 제2 콤 전극(73)을 구비하는 제2 콤 전극층(70)을 형성한다.
[제3 실시예]
한편 제1 실시예에 따른 멤스 미러(100)는 제2 및 제3 버퍼층(43,45)을 구비하는 예를 개시하였지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 10에 도시된 바와 같이, 제2 및 제3 버퍼층은 개방부(31)를 형성할 때 함께 제거될 수 있다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 멤스 미러(300)의 단면도이다.
도 10을 참조하면, 제3 실시예에 따른 멤스 미러(300)는 미러(10)와, 미러(10)를 요동시키는 정전 구동기(220)를 포함한다.
제3 실시예에 따른 정전 구동기(220)는 제1 실시예에 따른 정전 구동기(20)와 동일한 구조를 가지며, 개방부(31)에서 제2 및 제3 버퍼층이 제거된 구조를 갖는다.
따라서 제3 실시예에 따른 정전 구동기(220)는 개방부(31)를 통하여 미러 설치판(57), 복수의 제1 콤 전극(53) 및 복수의 더미 콤 전극(54)이 노출되는 것을 제외하고, 제1 실시예에 따른 정전 구동기(20)와 동일한 구조를 갖는다.
이와 같이 미러 설치판(57), 복수의 제1 콤 전극(53) 및 복수의 더미 콤 전극(54)으로부터 제2 및 제3 버퍼층을 제거함으로써, 제1 실시예와 같이 제2 및 제3 버퍼층(43,45)이 있는 것 보다는, 정전기력을 이용하여 보다 쉽게 미러(10)를 요동시킬 수 있다.
[제4 실시예]
한편 제2 실시예에 따른 멤스 미러(200)는 제2 및 제3 버퍼층(43,45)을 구비하는 예를 개시하였지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 11에 도시된 바와 같이, 제2 및 제3 버퍼층은 개방부(31)를 형성할 때 함께 제거될 수 있다.
도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 멤스 미러(400)의 단면도이다.
도 11을 참조하면, 제4 실시예에 따른 멤스 미러(400)는 미러(10)와, 미러(10)를 요동시키는 정전 구동기(320)를 포함한다.
제4 실시예에 따른 정전 구동기(320)는 제2 실시예에 따른 정전 구동기(120)와 동일한 구조를 가지며, 개방부(31)에서 제2 및 제3 버퍼층이 제거된 구조를 갖는다.
따라서 제4 실시예에 따른 정전 구동기(320)는 개방부(31)를 통하여 미러 설치판(77), 복수의 제1 콤 전극(53) 및 복수의 더미 콤 전극(54)이 노출되는 것을 제외하고, 제2 실시예에 따른 정전 구동기(120)와 동일한 구조를 갖는다.
이와 같이 미러 설치판(77), 복수의 제1 콤 전극(53) 및 복수의 더미 콤 전극(54)으로부터 제2 및 제3 버퍼층을 제거함으로써, 제2 실시예와 같이 제2 및 제3 버퍼층(43,45)이 있는 것 보다는, 정전기력을 이용하여 보다 쉽게 미러(10)를 요동시킬 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
10 : 미러
20, 120, 220, 320 : 정전 구동기
30 : 실리콘 기판
31 : 개방부
40 : 질화물계 버퍼층
41 : 제1 버퍼층
43 : 제2 버퍼층
45 : 제3 버퍼층
50 : 제1 콤 전극층
51 : 제1 질화물계 반도체층
53 : 제1 콤 전극
54 : 더미 콤 전극
55 : 제1 콤 전극판
57, 77 : 미러 설치판
57a : 더미 미러 설치판
58 : 지지축
59 : 제1 전극 패드
60 : 질화물계 절연층
61 : 스페이서
70 : 제2 콤 전극층
71 : 제2 질화물계 반도체층
73 : 제2 콤 전극
75 : 제2 콤 전극판
79 : 제2 전극 패드
100, 200, 300, 400 : 멤스 미러

Claims (16)

  1. 제1 질화물계 반도체 소재로만 형성되는 제1 콤 전극층으로, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 상기 제1 콤 전극층; 및
    제2 질화물계 반도체 소재로만 형성되는 제2 콤 전극층으로, 상기 제1 콤 전극층의 상부에 적층되며, 상기 복수의 제1 콤 전극의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 상기 제2 콤 전극층;
    을 포함하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 콤 전극층은,
    상기 복수의 제1 콤 전극과 교번되게 형성되며, 상부에 상기 제2 콤 전극이 위치하는 더미 콤 전극;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  3. 제2항에 있어서,
    질화물계 절연 소재로 형성되며, 상기 제1 콤 전극층과 상기 제2 콤 전극층 사이에 개재되고, 상기 더미 콤 전극과 상기 제2 콤 전극 사이에 개재되는 스페이서를 구비하는 질화물계 절연층;을 더 포함하고,
    상기 복수의 제1 콤 전극과 상기 복수의 제2 콤 전극은 적층된 더미 콤 전극/스페이서/제2 콤 전극과 상기 제1 콤 전극이 교번되게 배열된 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 스페이서를 매개로 상기 제2 콤 전극 아래에 형성된 상기 제1 콤 전극은 더미 콤 전극으로 상기 제2 콤 전극과 이웃하게 위치하는 다른 상기 제1 콤 전극과는 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  5. 제4항에 있어서,
    실리콘 기판; 및
    상기 실리콘 기판과 상기 제1 콤 전극층 사이에 개재되는 질화물계 버퍼층;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 실리콘 기판은 중심 부분에 개방부가 형성되어 있고, 상기 개방부에 상기 복수의 제1 콤 전극과 상기 복수의 제2 콤 전극이 노출되는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 및 제2 콤 전극층은 각각,
    상기 실리콘 기판에 의해 지지되며, 상기 복수의 제1 및 제2 콤 전극이 각각 연결되는 제1 및 제2 콤 전극판;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제1 콤 전극 아래에 상기 질화물계 버퍼층 부분이 존재하거나 제거된 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 질화물계 버퍼층은 절연성을 갖는 질소를 기반으로 Al, In 및 Ga 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 질화물계 반도체 소재는 반도체성을 갖는 질소를 기반으로 Al, In 및 Ga 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 질화물계 절연층은 절연성을 갖는 GaN, AlGaN 및 InGaN 중에 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 콤 전극은 하나가 고정 전극이고 다른 하나가 구동 전극인 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 콤 전극층 중에 구동 전극을 구비하는 콤 전극층은,
    상기 구동 전극에 연결되는 미러 설치판;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 미러용 정전 구동기.
  14. 광을 반사시키는 미러; 및
    상기 미러를 요동시키는 정전 구동기;를 포함하며,
    상기 정전 구동기는,
    제1 질화물계 반도체 소재로만 형성되는 제1 콤 전극층으로, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 상기 제1 콤 전극층; 및
    제2 질화물계 반도체 소재로만 형성되는 제2 콤 전극층으로, 상기 제1 콤 전극층의 상부에 적층되며, 상기 복수의 제1 콤 전극의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 상기 제2 콤 전극층;을 포함하고,
    상기 제1 및 제2 콤 전극은 하나가 고정 전극이고 다른 하나가 구동 전극이고, 상기 미러는 상기 구동 전극에 연결되는 것을 특징으로 하는 멤스 미러.
  15. 실리콘 기판 위에 질화물계 버퍼층을 형성하는 단계;
    상기 질화물계 버퍼층 위에 제1 질화물계 반도체 소재로만 제1 질화물계 반도체층을 형성하는 단계;
    상기 제1 질화물계 반도체층 위에 질화물계 절연층을 형성하는 단계;
    상기 질화물계 절연층 위에 제2 질화물계 반도체 소재로만 제2 질화물계 반도체층을 형성하는 단계;
    상기 제2 질화물계 반도체층을 패터닝하여 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 제2 콤 전극층을 형성하는 단계;
    상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 질화물계 절연층을 상기 제2 콤 전극층에 대응되게 패터닝하는 단계;
    상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 제1 질화물계 반도체층을 패터닝하여 미러 설치판과, 상기 미러 설치판에 연결되되 상기 복수의 제2 콤 전극에 교번되는 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 제1 콤 전극층을 형성하는 단계;
    상기 미러 설치판에 미러를 증착하는 단계; 및
    상기 실리콘 기판의 하부로 상기 미러, 상기 복수의 제1 콤 전극 및 상기 복수의 제2 콤 전극이 노출되게 상기 실리콘 기판의 중심 부분에 개방부를 형성하는 단계;
    를 포함하는 멤스 미러의 제조 방법.
  16. 실리콘 기판 위에 질화물계 버퍼층을 형성하는 단계;
    상기 질화물계 버퍼층 위에 제1 질화물계 반도체 소재로만 제1 질화물계 반도체층을 형성하는 단계;
    상기 제1 질화물계 반도체층 위에 질화물계 절연층을 형성하는 단계;
    상기 질화물계 절연층 위에 제2 질화물계 반도체 소재로만 제2 질화물계 반도체층을 형성하는 단계;
    상기 제2 질화물계 반도체층을 패터닝하여 미러 설치판과, 상기 미러 설치판에 연결되는 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 제2 콤 전극층을 형성하는 단계;
    상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 질화물계 절연층을 상기 제2 콤 전극층에 대응되게 패터닝하는 단계;
    상기 제2 콤 전극층 아래의 상기 제1 질화물계 반도체층을 패터닝하여 상기 복수의 제2 콤 전극에 교번되게 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 제1 콤 전극층을 형성하는 단계;
    상기 미러 설치판에 미러를 형성하는 단계; 및
    상기 실리콘 기판의 하부로 상기 미러, 상기 복수의 제1 콤 전극 및 상기 복수의 제2 콤 전극이 노출되게 상기 실리콘 기판의 중심 부분에 개방부를 형성하는 단계;
    를 포함하는 멤스 미러의 제조 방법.
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