KR970006687B1 - 광로조절장치 - Google Patents
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Abstract
내용없음.
Description
제1도는 종래의 광로조절장치의 단면도.
제2도는 본 발명에 따른 광로조절장치의 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
30 : 광로조절장치 31 : 구동기판
33 : 접속단자 34 : 액츄에이터
35 : 지지부 36 : 접속단자
37 : 변형부 39, 41 : 신호 및 바이어스전극
43 : 액츄에이터 45 : 거울몸체
47 : 거울면
본 발명은 투사형 화상표시장치용 광로조절장치에 관한 것으로서, 특히, 박막의 변형부를 갖는 광로조절장치에 관한 것이다.
화상표시장치는 표시방식에 따라 직시형 화상표시장치와 투사형 화상표시장치로 구분된다. 직시형 화상표시장치는 CRT(Cathode Ray Tube)등이 있는데, 이러한 CRT 화상표시장치는 화질이 좋으나 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증가와, 가격이 비싸지는 문제점이 있어 대화면을 구현하는데 한계가 있다. 투사형 화상표시장치는 대화면 액정표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 LCD라 칭함)등이 있는데, 이러한 대화면 LCD는 박형화가 가능하여 중량을 작게 할 수 있다. 그러나, 이러한 LCD는 편광판에 의한 광의 손실이 크고, LCD를 구동하기 위한 박막 트랜지스터가 화소마다 형성되어 개구율(광의 투과면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.
이러한, LCD의 단점을 보완하고자 미합중국 Aura 사이에서 액츄에이티드 미러 어레이(Actuated Mirror Arrays : 이하 AMA라 칭함)를 이용한 투사형 화상표시장치가 개발되었다.
AMA를 이용한 투사형 화상표시장치는 광원에서 발광된 백색광을 적색, 녹색 및 청색의 광속(light beam)등으로 분리한 후, 이 광속들을 액츄에이터들의 변형에 의해 기울어지는 반사경들에 각각 반사시켜 광로(light path)들을 조절하고, 이 광속들의 광량을 조절하여 화면으로 투사시키므로서 화상을 나타낸다.
AMA는 구동방식에 따라 액츄에이터가 M×1개인 1차원 AMA와 M×N개의 2차원 AMA로 구분된다.
상기에서 액츄에이터는 압전물질이나 전왜물질로 이루어지는 변형부와 전극들을 포함하며 전계발생시 변형되어 상부에 있는 거울을 기울어지게 한다.
제1도는 종래의 광로조절장치(10)의 단면도이다.
상기 광로조절장치(10)는 구동기판(11), 액츄에이터(15) 및 거울(29)들을 포함한다.
구동기판(11)은 유리 또는 알루미나(Al2O3)등의 절연물질이나 실리콘등의 반도체로 이루어지며 M×N개의 트랜지스터들(도시되지 않음)이 매트릭스(matrix) 형태로 내장되어 있으며 표면에 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 접속단자(13)들이 형성되어 있다.
액츄에이터(15)는 제1 및 제2변형부들(17),(18), 신호전극(19), 제1 및 제2바이어스전극들(21)(23)로 이루어져 구동기판(11)에 실장되어 있다. 제1 및 제2변형부들(17)(18)은 전왜세라믹, 또는, 수직축을 따라 분극(polarization)된 압전세라믹으로 30~50㎛ 정도의 두께로 형성되어 있다. 제1 및 제2변형부들(17)(18)은 한 몸체를 이루는 2~5㎛정도의 폭과 10~20㎛ 정도의 깊이를 갖는 U자의 홈(27)들에 의해 상부가 분리되어 있으며 인접하는 액츄에이터(도시되지 않음)들의 제2 및 제2변형부들(도시되지 않음)과 연결되어 있다. 또한, 제1 및 제2변형부들(17)(18)은 동일 열(column)상의 액츄에이터(도시되지 않음)의 제1 및 제2변형부들(도시되지 않음)과 길게 연결되어 있다.
상기 제1 및 제2변형부들(17)(18)의 하부표면에 신호전극(19)과 상부 표면에 제1 및 제2바이어스전극들(21)(23)이 형성되어 있다. 신호전극(19)은 구동기판(11)의 접속단자(13)과 접촉되며 인접하는 액츄에이터들의 신호전극들과 이격되어 트랜지스터들과 접속단자(13)를 통해 외부회로(도시되지 않음)로부터 화상신호가 입력된다. 제1 및 제2바이어스전극들(21)(23)은 인접하는 액츄에이터들의 제2 및 제1바이어스전극들(23)(21)과 연결되어 각각 공통의 바이어스전압이 인가된다. 또한, 제1 및 제2바이어스전극들(21)(23)은 동일한 한 열의 제1 및 제2변형부들의 표면에 형성된 제1 및 제2변형부들(도시되지 않음)과 길게 연결되어 있다.
거울(29)은 상기 홈(27)들에 하부가 끼워진 'T'자형의 구동전달부(28)들의 표면에 형성되어 있다. 구동전달부(28)는 변형 가능한 연질의 에폭시(epoxy)등으로 이루어져 표면이 평탄하며 인접하는 구동전달부(도시되지 않음)들과 분리되어 있다. 거울(29)은 구동전달부(28)의 표면에 반사특성이 양호한 금속으로 형성되며 상기 구동전달부(28)의 구동에 의해 경사지게 되어 입사되는 광의 경로를 바꾸어 반사시킨다.
상기에서 제1 및 제2변형부들(17)(18)이 전왜세라믹으로 형성되어 있다면 제1 및 제2바이어스전극들(21)(23)은 각기 위상이 반대이고 세기가 동일한 소정세기의 바이어스전압이 인가된다. 그러므로, 상기에서 언급된 트랜지스터 및 접속단자(13)를 통해 외부회로로부터 화상신호가 소정세기로 입력되면 제1 및 제2변형부들(17)(18)은 화상신호와 각각의 바이어스전압의 차에 비례하여 수직방향으로 팽창하게 된다. 상기 화상신호는 '-'전위의 바이어스전압과 같거나 크고, '+'전위의 바이어스전압과 작거나 같은데, 화상신호가 OV로 입력되면 제1 및 제2변형부들(17)(18)은 전위차가 동일하게 된다. 따라서, 제1 및 제2변형부들(17)(18)이 수직축을 따라 팽창되고 정도가 동일하므로 거울면(29)이 경사지지 않는다. 그러나, 화상신호가 OV이외의 전위로 입력되면 제1 및 제2변형부들(17)(18)은 전위차가 다르게 되어 팽창되는 정도가 다르게 된다. 그러므로 제1 및 제2변형부들(17)(18)의 높이차에 의해 거울면(29)은 경사지게 된다.
상술한 종래의 광로조절장치는 30~50㎛ 정도 두께의 압전 또는 전왜세라믹 웨이퍼를 이용하여 소정 액츄에이터의 제1 및 제2변형부들과 제1 및 제2바이어스전극들이 인접하는 액츄에이터들의 제2 및 제1변형부들과 제2 및 제1바이어스전극들과 한 몸체를 이루고 공통을 이룬다. 따라서, 화면의 색의 계조를 조절하기 위해 인접하는 액츄에이터의 신호전극들에 반대의 전위를 갖는 화상신호를 인가시켜 각각의 거울들을 동일한 방향으로 구동시킨다.
그러나, 상술한 광로조절장치는 변형부들을 형성하기 위한 세라믹웨이퍼 30~50㎛ 정도의 두께로 형성하는 연마와 이후 제조공정이 어려운 문제점이 있었다. 또한, 액츄에이터들이 분리되어 있지 않으므로 구동시 변형부들이 상호간섭하며, 그리고, 가공방법에 따라서는 인접하는 거울들을 동일한 방향으로 구동시키기 위해 소정 액츄에이터들에 인가되는 화상신호는 위상을 반전시켜야 하므로 주변회로가 복잡해지는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 연마를 하지 않고 화학증착, 물리증착 등의 방법으로 형성된 세라믹으로 박막의 변형부들을 쉽게 형성할 수 있는 광로조절장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 액츄에이터들이 분리되어 구동시 상호간섭을 방지할 수 있는 광로조절장치를 제공함에 있다.
본 발명은 동일 위상의 화상신호에 의해 인접하는 거울들을 동일한 방향으로 경사지게 구동시킬 수 있는 광로조절장치를 제공함에 있다.
상기 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광로조절장치는 트랜지스터가 내장되고 표면에 이 트랜지스터와 전기적으로 연결된 접속단자를 갖는 구동기판과, 상기 구동기판의 상부에 접속단자를 덮도록 형성된 지지부와, 박막의 세라믹으로 이루어져 상부 및 하부의 표면에 제1 및 제2전극들이 형성되며 이 지지부의 상부에 하부 표면의 일측이 부착되도록 실장된 변형부와, 상기 지지부를 관통하여 상기 접속단자와 제1전극을 전기적으로 연결하는 플러그로 이루어진 액츄에이터와, 상기 구동기판과 변형부의 모서리에 일측의 모서리와 내부 표면이 부착되고 상기 변형부의 표면과 타측이 평행하도록 'ㄱ'자의 형태를 갖는 거울몸체와, 상기 거울몸체의 표면에 형성된 거울면을 구비한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 광로조절장치(30)의 단면도이다.
상기 광로조절장치(30)는 구동기판(31), 액츄에이터(34) 및 거울(43)을 포함한다.
구동기판(31)은 유리 또는 알루미나 등의 절연물질이나, 또는 실리콘 등의 반도체로 이루어지며 트랜지스터(도시되지 않음)가 내장되어 있는데, 이 트랜지스터는 M×N개가 매트릭스 형태로 내장되어 있다. 또한, 구동기판(31)의 표면에 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 접속단자(33)가 형성되어 있다.
액츄에이터(34)는 지지부(35), 변형부(37), 신호 및 바이어스전극들(39)(41)과 플러그(plug : 36)로 이루어져 이웃하는 액츄에이터(도시되지 않음)들과 분리된다.
상기 지지부(35)는 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(Si3N4)등의 절연물질을 스퍼터링(sputtering) 또는 화학기상 침적(Chemical Vapor Deposition : 이하 CVD라 칭함)으로 구동기판(31)의 상부에 접속단자(33)를 덮도록 형성한다.
변형부(37)는 일측의 하부표면이 지지부(35)와 부착되어 실장된다. 변형부(37)는 BaTiO3, PZT(Pb(Zr,Ti)O3) 또는 PLZT(Pb,La)(Zr,Ti)O3) 등의 압전 세라믹이나, 또는, PMN(Pb(Mg,Nb)O3) 등의 전왜 세라믹을 Sol-Gel법 스퍼터링 또는CVD 방법에 의해 0.7~2㎛ 정도의 두께로 형성된다. 그리고, 변형부(37)의 하부 및 상부의 표면에 신호 및 바이어스전극들(39)(41)이 형성된다. 상기에서 신호전극(39)과 바이어스(41) 사이의 전위차는 박막으로 이루어진 변형부(37)의 두께에 비해 매우 크다. 즉, 변형부(37)의 단위 두께에 걸리는 전압이 매우 큰데, 대략 압전세라믹의 분극 전압 정도가 된다. 따라서, 변형부(37)가 압전세라믹으로 이루어지면 분극을 하기 위한 공정의생략이 가능하다.
상기 신호전극(39)은 백금(Pt) 또는 백금/티타늄(Pt/Ti)등을, 바이어스전극(41)은 금(Au), 티타늄(Ti) 또는 백금을 500~2000Å 정도의 두께로 스퍼터링 또는 진공증착하여 형성된다.
플러그(plug : 36)는 지지부(35)를 관통하여 접속단자(33)와 신호전극(39)을 전기적으로 연결시키는 것으로 텅스텐(W) 또는 티타늄으로 형성된다.
거울(43)은 거울몸체(45)와 거울면(47)으로 이루어진다. 거울몸체(45)는 'ㄱ'자 형태로 이루어져 일측은 모서리가 상기 구동기판(31)과 부착되고 내부 표면이 변형부(37)의 타측의 모서리와 부착되며 타측은 변형시에 바이어스전극(41)과 접촉되지 않도록 내부표면이 변형부(37)와 1~2㎛ 정도 이상 이격되어 평행하게 형성된다. 상기 거울몸체(45)는 형성된다. 거울면(47)은 거울몸체(45)의 타측 외부표면에 형성된다. 거울면(47)은 알루미늄 또는 은등의 반사특성이 양호한 금속을 스퍼터링 또는 진공증착에 의해 500~2000Å 정도의 두께로 도포하여 형성된다. 또한, 상기 거울(43)이 거울몸체(45)와 거울면(47)으로 구분되어 형성되지 않고 반사특성이 양호하고 탄성이 좋은 알루미늄 또는 은등으로 한 몸체로 형성될 수도 있다. 이러한 경우에 거울(43)이 거울몸체(45)와 거울면(47)의 기능을 동시에 수행한다.
상술한 광로조절장치(30)의 동작을 설명한다.
구동기판(31)을 통해 외부로부터 입력되는 소정 전위의 화상신호가 접속단자(33)와 플러그(36)을 통해 신호전극(39)으로 인가된다. 또한, 바이어스전극(41)에 소정의 바이어스 전위, 예를들면, 접지전위가 인가된다. 그러므로, 변형부(37)가 전왜 또는 압전세라믹으로 형성되어 있다면 화상신호와 접지전위의 차이에 의해 변형부(37)는 수직축의 일방향으로 전계가 발생되어 수직방향으로 팽창되고 수평방향으로 수축된다. 이에 의해, 변형부(37)의 타측 모서리에 부착된 거울몸체(45)은 일측이 지지부(35)쪽으로 휘어지며, 타측이 휘어짐없이 평탄하게 상기 지지부(35)쪽으로 경사지게 되어 표면에 형성된 거울면(47)도 동일하게 경사지게 된다.
또한, 변형부(37)가 분극되지 않은 압전세라믹으로 형성된다면, 신호전극(39)과 바이어스전극(41) 사이의 전위차에 의해 발생되는 전계에 의해 자연적으로 분극될 수 있다. 즉, 신호전극(39)과 바이어스전극(41)사이의 전위차는 단위두께의 압전세라믹을 분극시키기 위한 전위차보다 크거나 유사하므로 구동시의 전계에 의해 분극될 수 있다.
상술한 바와 같이 침적등의 방법으로 형성된 변형부는 일측의 하부표면이 지지부에 부착되어 실장되어, 타측의 모서리가 'ㄱ'자 형태를 이루어 일측은 모서리가 구동기판에 부착된 거울몸체의 일측 내부표면과 부착되어 이 변형부의 하부 및 상부표면에 있는 신호 및 바이어스전극 사이의 전위차에 의해 발생되는 전계의 세기에 따라 변형부가 수평방향으로 수축된다. 그러므로 변형부의 타측 모서리에 부착된 거울몸체의 일측이 지지부쪽으로 휘어져 타측의 평탄한 표면에 형성된 거울면이 평탄하게 기울어진다.
따라서, 본 발명은 연마등의 번거로운 생산공정을 행하지 않고 침적등의 박막형성 방법으로 쉽게 얇게 형성하여 이용한다는 잇점이 있다. 그리고, 액츄에이터들이 분리되므로 구동시 상호 간섭을 방지할 수 있으며, 또한, 상술한 바와 같이 본 발명이 바람직한 실시예를 중심으로 설명 및 도시되었으나, 본 기술분야의 숙련자라면 본 발명의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다양하게 변형실시할 수 있음을 알아야 한다.
Claims (7)
- 트랜지스터가 내장되고 표면에 이 트랜지스터와 전기적으로 연결된 접속단자를 갖는 구동기판과, 상기 구동기판의 상부에 접속단자를 덮도록 형성된 지지부와, 박막의 세라믹으로 이루어져 상부 및 하부의 표면에 제1 및 제2전극들이 형성되며 이 지지부의 상부에 하부 표면의 일측이 부착되도록 실장된 변형부와, 상기 지지부를 관통하여 상기 접속단자와 제1전극을 전기적으로 연결하는 플러그로 이루어진 액츄에이터와, 상기 구동기판과 변형부의 모서리에 일측의 모서리와 내부표면이 부착되고 상기 변형부의 표면과 타측이 평행되도록 'ㄱ'자의 형태를 갖는 거울몸체와, 상기 거울몸체의 표면에 형성된 거울면을 구비하는 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 변형부가 전왜 또는 압전세라믹으로 이루어진 광로조절장치.
- 제2항에 있어서, 상기 변형부가 Sol-Gel법, 스퍼터링 또는 화학기상 침적법으로 형성된 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 거울몸체가 폴리이미드등과 같이 탄성이 좋은 절연 물질로 형성된 광로조절장치.
- 제4항에 있어서, 상기 거울면이 은 또는 알루미늄등의 반사특성이 좋은 물질로 형성된 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 거울몸체와 거울면이 동일한 물질로 형성된 광로조절장치.
- 제6항에 있어서, 상기 거울몸체와 거울면이 은 또는 알루미늄등의 탄성 및 반사특성이 좋은 물질로 형성된 광로조절장치.
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| G160 | Decision to publish patent application | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
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Payment date: 20010328 Year of fee payment: 5 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |