KR102393080B1 - Vacuum adsorption device and method for inspecting an organic light emitting diodes panel - Google Patents

Vacuum adsorption device and method for inspecting an organic light emitting diodes panel Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치는, 상기 유기발광다이오드 패널을 제1 위치에서 상기 진공 흡착 장치의 하측의 제2 위치로 이동시키는 이동 부재, 상기 진공 흡착 장치의 상측에 연결되며, 상기 제2 위치에 위치한 상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 회전하여 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 복수의 파지부들, 및 상기 복수의 파지부들이 상기 진공 흡착 장치의 방향으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 검사부를 포함할 수 있다.The present invention relates to a vacuum adsorption apparatus and method for inspecting an organic light emitting diode panel.
To this end, in the vacuum adsorption device for inspecting the organic light emitting diode panel according to the present invention, a moving member for moving the organic light emitting diode panel from a first position to a second position below the vacuum adsorption device, an upper side of the vacuum adsorption device a plurality of gripping parts connected to and rotating in the downward direction of the organic light emitting diode panel positioned at the second position to support the organic light emitting diode panel, and the plurality of gripping parts are in the direction of the vacuum adsorption device It may include an inspection unit that inspects the organic light emitting diode panel based on movement.

Description

유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치 및 방법{VACUUM ADSORPTION DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING AN ORGANIC LIGHT EMITTING DIODES PANEL}VACUUM ADSORPTION DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING AN ORGANIC LIGHT EMITTING DIODES PANEL

본 발명은 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum adsorption apparatus and method for inspecting an organic light emitting diode panel.

일반적으로 유기발광다이오드(organic light emitting diodes, OLED)는 액정 패널에 빛을 공급하는 후방 조명인 백라이트(back light)가 필요하지 않으며, 형광성 유기화합물을 기반으로 하는 발광 소자의 일종이다. 이러한 유기발광다이오드는 액정과 달리 자체적으로 빛을 발산할 수 있다. 이러한 유기발광다이오드로 이루어진 유기발광다이오드 패널(즉, OLED 물질이 증착되어 있는 글라스)은 디스플레이 장치에 사용되고 있다.In general, organic light emitting diodes (OLEDs) do not require a backlight, which is a backlight for supplying light to a liquid crystal panel, and are a type of light emitting device based on a fluorescent organic compound. Unlike liquid crystal, such an organic light emitting diode can emit light by itself. An organic light emitting diode panel (ie, a glass on which an OLED material is deposited) made of such an organic light emitting diode is used in a display device.

그런데, 종래의 유기발광다이오드 패널의 결함 유무를 판단하는 검사 장치는 상기 유기발광다이오드 패널을 이동시키는 로봇이 상기 유기발광다이오드 패널을 흡착 장치에 올려주면, 상기 흡착 장치가 검사 장치로 상기 유기발광다이오드 패널을 올려주는 방식이기 때문에, 검사 장치의 구성이 복잡하고 일정 이상의 공간이 필요한 문제점이 있다.However, in the conventional inspection apparatus for determining the presence or absence of defects in an organic light emitting diode panel, when a robot that moves the organic light emitting diode panel puts the organic light emitting diode panel on an adsorption device, the adsorption device serves as an inspection device for the organic light emitting diode Since the panel is raised, there is a problem in that the configuration of the inspection device is complicated and requires more than a certain amount of space.

뿐만 아니라, 종래의 유기발광다이오드 패널의 결함 유무를 판단하는 검사 장치는 증착 면이 아래 방향으로 향해 있고, 유기발광다이오드 패널의 4면 가장자리의 10mm 이하의 면만 접촉이 가능하기 때문에 이송 속도를 빠르게 할 수 없는 어려움이 있고, 유기발광다이오드 패널을 검사 장치에 고정시키는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.In addition, in the conventional inspection apparatus for determining the presence or absence of defects in an organic light emitting diode panel, the deposition side faces downward, and only the surfaces of 10 mm or less of the edges of the four sides of the organic light emitting diode panel can be contacted, so the transport speed can be increased. There is an impossible difficulty, and there is a problem that it takes a lot of time to fix the organic light emitting diode panel to the inspection device.

따라서, 본 발명의 목적은 유기발광다이오드 패널을 검사 장치에 흡착시키는 흡착 장치를 배제함으로써 검자 장치의 크기, 무게 등을 줄일 수 있는 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a vacuum adsorption apparatus for inspecting an organic light emitting diode panel capable of reducing the size, weight, etc. of the sensing apparatus by excluding the adsorption apparatus for adsorbing the organic light emitting diode panel to the inspection apparatus.

또한, 본 발명의 목적은 이동 부재를 통해 OLED가 흡착된 패널을 검사 장치에 직접 밀착시킴으로써 유기발광다이오드 패널을 검사 장치에 고정시키는데 소요되는 시간을 줄일 수 있는 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치를 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is a vacuum adsorption device for inspecting an organic light emitting diode panel that can reduce the time required to fix the organic light emitting diode panel to the inspection device by directly adhering the panel on which the OLED is adsorbed to the inspection device through a moving member is to provide

또한, 본 발명의 목적은 이동 부재(예: 로봇)를 통해 유기발광다이오드 패널을 진공 흡착 장치에 근접하게 이동시키고, 복수의 파지부들(예: glass clamp)를 통해 상기 유기발광다이오드 패널을 상기 진공 흡착 장치에 밀접 시키는 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치를 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is to move the organic light emitting diode panel close to the vacuum adsorption device through a moving member (eg, a robot), and hold the organic light emitting diode panel through a plurality of gripping parts (eg, a glass clamp). It is to provide a vacuum adsorption device for inspecting an organic light emitting diode panel in close contact with the vacuum adsorption device.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention not mentioned may be understood by the following description, and will be more clearly understood by the examples of the present invention. It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by the means and combinations thereof indicated in the appended claims.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치는, 상기 유기발광다이오드 패널을 제1 위치에서 상기 진공 흡착 장치의 하측의 제2 위치로 이동시키는 이동 부재, 상기 진공 흡착 장치의 상측에 연결되며, 상기 제2 위치에 위치한 상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 회전하여 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 복수의 파지부들, 및 상기 복수의 파지부들이 상기 진공 흡착 장치의 방향으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 검사부를 포함할 수 있다.In order to achieve this object, a vacuum adsorption device for inspecting an organic light emitting diode panel according to the present invention includes a moving member for moving the organic light emitting diode panel from a first position to a second position below the vacuum adsorption device, the vacuum A plurality of grippers connected to the upper side of the adsorption device and rotated downward of the organic light emitting diode panel positioned at the second position to support the organic light emitting diode panel, and the plurality of grippers are the vacuum adsorption devices It may include an inspection unit for inspecting the organic light emitting diode panel based on the movement in the direction.

또한 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치의 방법은, 이동 부재가, 상기 유기발광다이오드 패널을 제1 위치에서 상기 진공 흡착 장치의 하측의 제2 위치로 이동시키는 과정, 상기 진공 흡착 장치의 상측에 연결된 복수의 파지부들이, 상기 제2 위치에 위치한 상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 회전하여 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 과정, 및 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 검사부가, 상기 복수의 파지부들이 상기 진공 흡착 장치의 방향으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 과정을 포함할 수 있다.Further, in the method of the vacuum adsorption device for inspecting the organic light emitting diode panel according to the present invention, the moving member moves the organic light emitting diode panel from a first position to a second position below the vacuum adsorption device, the vacuum A process of supporting the organic light emitting diode panel by rotating the plurality of grippers connected to the upper side of the adsorption device in a downward direction of the organic light emitting diode panel located at the second position, and an inspection unit inspecting the organic light emitting diode panel , based on the movement of the plurality of grippers in the direction of the vacuum adsorption device, may include a step of inspecting the organic light emitting diode panel.

본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치는 복수의 파지부들을 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 회전시켜 상기 유기발광다이오드 패널을 파지한 후, 상기 진공 흡착 장지에 밀착시킴으로써, 검사 장치를 간단하게 구성할 수 있고, 공간상의 제약에 자유로울 수 있다.The vacuum adsorption device for inspecting an organic light emitting diode panel according to the present invention rotates a plurality of gripping parts in a downward direction of the organic light emitting diode panel to hold the organic light emitting diode panel, and then attaches it to the vacuum adsorption device. can be configured simply and free from space constraints.

또한, 본 발명에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치는 유기발광다이오드 패널을 검사 장치에 흡착시키는 별도의 흡착 장치가 배제되기 때문에, 검자 장치의 크기, 무게 등을 줄일 수 있다.In addition, since the vacuum adsorption device for inspecting the organic light emitting diode panel according to the present invention excludes a separate adsorption device for adsorbing the organic light emitting diode panel to the inspection device, the size and weight of the sensing device can be reduced.

또한, 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 복수의 파지부들이 상기 유기발광다이오드 패널의 가장자리를 파지함으로써, 상기 유기발광다이오드 패널의 이동 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, the plurality of grippers of the vacuum adsorption device according to the present invention grip the edge of the organic light emitting diode panel, thereby improving the moving speed of the organic light emitting diode panel.

또한, 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 복수의 파지부들 각각이 파지부를 상측 또는 하측 방향으로 회전시키는 모터부, 상기 파지부를 상측 또는 하측 방향으로 이동시키는 피스톤부, 및 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 지지부를 포함함으로서, 유기발광다이오드 패널을 검사 장치에 흡착시키는 별도의 흡착 장치가 요구되지 않는다.In addition, each of the plurality of gripping parts of the vacuum adsorption device according to the present invention includes a motor part for rotating the grip part in an upper or lower direction, a piston part for moving the grip part in an upper or lower direction, and the organic light emitting diode panel By including a support for supporting the , a separate adsorption device for adsorbing the organic light emitting diode panel to the inspection device is not required.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the above-described effects, the specific effects of the present invention will be described together while describing specific details for carrying out the invention below.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 시스템을 나타낸 예시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이동 부재가 진공 흡착 장치의 하단으로 이동한 예시도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 흡착 장치의 하단으로 이동한 이동 부재가 검사부에 밀착되도록 이동한 예시도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부가 진공 흡착 장치의 하단에서 유기발광다이오드 패널을 지지하고 있는 예시도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부가 유기발광다이오드 패널을 진공 흡착 장치의 검사부로 이동시킨 예시도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 복수의 파지부들이 파지한 예시도이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 복수의 파지부들의 일부를 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 복수의 파지부들이 유기발광다이오드 패널을 검사부에 밀착시킨 상태에서 상기 검사부가 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 예시도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부를 통해 유기발광다이오드 패널을 진공 흡착 장치의 검사부에 밀착시킨 예시도이다.
도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 흡착 장치의 검사부에 밀착된 유기발광다이오드 패널이 상기 검사부로부터 이탈되어 파지부를 통해 지지되고 있는 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이동 부재가 진공 흡착 장치의 하단으로 이동한 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부를 나타낸 예시도이다.
도 9a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부의 회전 동작을 나타낸 예시도이다.
도 9b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부가 상측 방향으로 이동한 예시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하기 위해 상기 유입발광소자 패널을 진공 흡착 장치의 하단으로 투입하는 방법을 나타낸 순서도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사한 후, 상기 유입발광소자 패널을 진공 흡착 장치로부터 이동시키는 방법을 나타낸 순서도이다.1 is an exemplary view showing a system for inspecting an organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.
Figure 2a is an exemplary view in which the moving member is moved to the lower end of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention.
2B is an exemplary view in which the moving member moved to the lower end of the vacuum adsorption apparatus according to an embodiment of the present invention is moved so as to be in close contact with the inspection unit.
3A is an exemplary view in which the gripper supports the organic light emitting diode panel at the lower end of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention.
3B is an exemplary view in which the holding unit moves the organic light emitting diode panel to the inspection unit of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention.
4A is an exemplary view in which a plurality of grippers hold an organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.
4B is an exemplary view illustrating a portion of a plurality of gripping parts of an organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.
5 is an exemplary view in which the inspection unit inspects the organic light emitting diode panel in a state in which a plurality of gripping units adhere the organic light emitting diode panel to the inspection unit according to an embodiment of the present invention.
6A is an exemplary view in which the organic light emitting diode panel is brought into close contact with the inspection unit of the vacuum adsorption device through the holding unit according to an embodiment of the present invention.
6B is an exemplary view in which the organic light emitting diode panel in close contact with the inspection unit of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention is separated from the inspection unit and supported through the holding unit.
7 is an exemplary view in which the moving member is moved to the lower end of the vacuum adsorption apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is an exemplary view showing a gripper according to an embodiment of the present invention.
9A is an exemplary view illustrating a rotation operation of a gripper according to an embodiment of the present invention.
9B is an exemplary view in which the gripper moves upward according to an embodiment of the present invention.
10 is a flowchart illustrating a method of inserting the inlet light emitting device panel into the lower end of the vacuum adsorption device in order to inspect the organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.
11 is a flowchart illustrating a method of moving the inflow light emitting diode panel from the vacuum adsorption device after inspecting the organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술 되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조 부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.The above-described objects, features and advantages will be described later in detail with reference to the accompanying drawings, and accordingly, those skilled in the art to which the present invention pertains will be able to easily implement the technical idea of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to refer to the same or similar components.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것으로, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 제1 구성요소는 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, these elements are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one component from other components, and unless otherwise stated, it goes without saying that the first component may be the second component.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다. In the following, that an arbitrary component is disposed on the "upper (or lower)" of a component or "upper (or below)" of a component means that any component is disposed in contact with the upper surface (or lower surface) of the component. Furthermore, it may mean that other components may be interposed between the component and any component disposed on (or under) the component.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다. In addition, when it is described that a component is “connected”, “coupled” or “connected” to another component, the components may be directly connected or connected to each other, but other components are “interposed” between each component. It should be understood that “or, each component may be “connected,” “coupled,” or “connected,” through another component.

명세서 전체에서, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 각 구성요소는 단수 일수도 있고 복수일 수도 있다.Throughout the specification, unless otherwise stated, each element may be singular or plural.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.As used herein, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “consisting of” or “comprising” should not be construed as necessarily including all of the various components or various steps described in the specification, some of which components or some steps are It should be construed that it may not include, or may further include additional components or steps.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다Throughout the specification, when “A and/or B” is used, it means A, B or A and B, unless otherwise stated, and when “C to D” is used, it means that there is no specific opposite description. Unless otherwise specified, it means that it is greater than or equal to C and less than or equal to D.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치 및 방법을 설명하도록 한다.Hereinafter, a vacuum adsorption apparatus and method for inspecting an organic light emitting diode panel according to some embodiments of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 시스템을 나타낸 예시도이다.1 is an exemplary view showing a system for inspecting an organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하는 시스템(100)은 OLED 물질이 상면에 증착된 유기발광다이오드 패널(130)을 진공 흡착 장치(110)로 이동시키는 이동 부재(120), 및 상기 이동 부재(120)에 의해 이동된 유기발광다이오드 패널(130)을 검사하는 진공 흡착 장치(110)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , a system 100 for inspecting an organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention moves an organic light emitting diode panel 130 on which an OLED material is deposited to a vacuum adsorption device 110 . It may include a moving member 120 and a vacuum adsorption device 110 for inspecting the organic light emitting diode panel 130 moved by the moving member 120 .

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 검사하는 검사부(112), 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하며, OLED 물질이 상면에 증착된 유기발광다이오드 패널(130)을 검사부(112)에 밀착시키기 위해 일 방향(예: Z방향)으로 이동하는 복수의 파지부들(111), 및 상기 진공 흡착 장치(110)를 고정시키는 지지부재(113)를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the vacuum adsorption device 110 supports the inspection unit 112 for inspecting the organic light emitting diode panel 130 and the organic light emitting diode panel 130, and an organic light emitting diode material deposited on the upper surface. A plurality of grippers 111 moving in one direction (eg, Z-direction) to attach the light emitting diode panel 130 to the inspection part 112 , and a support member 113 for fixing the vacuum adsorption device 110 . ) may be included.

도 1에 도시된 진공 흡착 장치(100)의 구성은 일 실시 예에 따른 것이고, 진공 흡착 장치(100)의 구성 요소들이 도 1에 도시된 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 일부 구성 요소가 부가, 변경 또는 삭제될 수 있다.The configuration of the vacuum adsorption apparatus 100 shown in FIG. 1 is according to an embodiment, and the components of the vacuum adsorption apparatus 100 are not limited to the embodiment shown in FIG. 1 , and as necessary, some components may be added, changed or deleted.

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)는 상기 진공 흡착 장치(110)의 방향(예: X 방향)으로 형성된 두 개의 제1 부재들(120a, 120b), 상기 제1 부재들(120a, 120b)과 수직 방향으로 형성된 복수의 제2 부재들(121), 및 상기 제2 부재들(121)과 수직 방향으로 형성된 복수의 제3 부재들(122)을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제2 부재들(121) 각각 및 상기 제3 부재들(122) 각각의 일 측에는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하는 돌기부(124)를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the movable member 120 includes two first members 120a and 120b formed in a direction (eg, an X direction) of the vacuum adsorption device 110 , the first members 120a, 120b) may include a plurality of second members 121 formed in a vertical direction, and a plurality of third members 122 formed in a direction perpendicular to the second members 121 . In addition, each of the second members 121 and one side of each of the third members 122 may include a protrusion 124 supporting the organic light emitting diode panel 130 .

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 제1 위치(예: 상기 이동 부재(120)가 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입되기 전의 위치)에서 제2 위치(예: 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입된 후의 위치)로 이동시킬 수 있다. 상기 이동 부재(120)는 상기 제2 부재들(121) 각각, 및 상기 제3 부재들(122) 각각의 일 측에 배치된 돌기부(124)에 의해 지지되는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동시킬 수 있다.According to an embodiment, the moving member 120 moves the organic light emitting diode panel 130 to a first position (eg, a position before the moving member 120 is inserted into the lower end of the vacuum adsorption device 110 ). may be moved to a second position (eg, a position after input to the lower end of the vacuum adsorption device 110 ). The moving member 120 moves the organic light emitting diode panel 130 supported by the protrusions 124 disposed on one side of each of the second members 121 and the third members 122, respectively. It can be moved from the first position to the second position.

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)는 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측으로 진입(예: X 방향)한 후, 상측 방향(예: Z방향)으로 이동할 수 있다. 이와 같이, 상기 이동 부재(120)는 복수의 돌기부들(124) 상에 놓여진 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측으로 이동(예: X 방향)시킬 수 있다. According to an embodiment, the movable member 120 may move downward (eg, in the X direction) of the vacuum adsorption device 110 and then move in an upward direction (eg, in the Z direction). As such, the moving member 120 may move the organic light emitting diode panel 130 placed on the plurality of protrusions 124 downward (eg, in the X direction) of the vacuum adsorption device 110 .

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)는 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측으로 이동된 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상측 방향(예: Z방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 이동 부재(120)가 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상측 방향(예: Z방향)으로 이동시키는 것은 상기 진공 흡착 장치(110)의 네 가장자리들 각각에 배치된 복수의 파지부들(111)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전하는 경우, 상기 복수의 파지부들(111) 각각의 지지부에 형성된 돌기부 상에 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 놓여지도록 하기 위함이다.According to an embodiment, the moving member 120 may move the organic light emitting diode panel 130 moved to the lower side of the vacuum adsorption device 110 in an upper direction (eg, the Z direction). When the moving member 120 moves the organic light emitting diode panel 130 in the upper direction (eg, the Z direction), the plurality of grippers 111 disposed at each of the four edges of the vacuum adsorption device 110 . ) is rotated 180 o in the downward direction (eg, -Z direction) of the vacuum adsorption device 110 , the organic light emitting diode panel 130 on the protrusion formed on the support part of each of the plurality of holding parts 111 . ) to be placed.

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(111)에 의해 상기 유기발광다이오드 패널이 파지되는 경우, 상기 이동 부재(120)는 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동될 수 있다. 예를 들면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 하측 방향으로 180o 회전된 상기 복수의 파지부들(111)에 의해 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 파지되는 경우, 상기 이동 부재(120)는 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동할 수 있다.According to an embodiment, when the organic light emitting diode panel is gripped by the plurality of grippers 111 , the movable member 120 may be moved from the second position to the first position. For example, when the organic light emitting diode panel 130 is gripped by the plurality of grippers 111 rotated by 180 ° in the downward direction of the organic light emitting diode panel 130, the moving member 120 may move from the second position to the first position.

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)의 형상은 도 1에 국한되는 것은 아니며, 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 이동시킬 수 있는 다양한 구조에 적용될 수 있음은 자명하다.According to an embodiment, the shape of the movable member 120 is not limited to FIG. 1 , and it is obvious that it can be applied to various structures capable of moving the organic light emitting diode panel 130 .

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(111)은 상기 진공 흡착 장치(110)의 네 가장자리들(예: 상하좌우 테두리 부분) 각각에 배치되어 하측 방향(예: -Z 방향) 또는 상측 방향(예: Z방향)으로 180o 회전될 수 있다. 상기 복수의 파지부들(111)은 이러한 하측 방향(예: -Z 방향) 또는 상측 방향(예: Z 방향)으로 180o 회전하여 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 파지할 수 있다. According to an embodiment, the plurality of gripping parts 111 are disposed on each of the four edges (eg, upper, lower, left, and right edge portions) of the vacuum adsorption device 110 in a lower direction (eg, -Z direction) or an upper direction It can be rotated 180 o in the direction (eg the Z direction). The plurality of grippers 111 may be rotated by 180 ° in the downward direction (eg, -Z direction) or upward direction (eg, Z direction) to grip the organic light emitting diode panel 130 .

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 진공 흡착 장치(110)의 상측과 고정되도록 부착될 수 있다. 그리고, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 진공 흡착 장치(110)를 파지하는 파지부를 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전시키거나, 또는 상측 방향(예: Z방향)으로 180o 회전시키는 모터부, 상기 모터부와 결합되며, 상기 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전된 상기 파지부를 상기 진공 흡착 장치(110)의 방향(예: Z방향)으로 상승시키기 위한 피스톤부, 및 상기 파지부의 일 측에 배치되어 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하는 지지부를 포함할 수 있다.According to an embodiment, each of the plurality of gripping parts 111 may be attached to be fixed to an upper side of the vacuum adsorption device 110 . In addition, each of the plurality of grippers 111 rotates the gripper for gripping the vacuum adsorption device 110 in a lower direction (eg, -Z direction) by 180 o , or in an upward direction (eg, Z direction). ) in the direction of the vacuum adsorption device 110 (eg, in the Z direction) to the motor unit that rotates 180 o , and is coupled to the motor unit, and the gripper rotated by 180 o in the downward direction (eg, -Z direction) It may include a piston part for raising the pole, and a support part disposed on one side of the grip part to support the organic light emitting diode panel 130 .

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(111) 각각의 지지부는 상기 유기발광다이오드 패널(130)에 직접적으로 접촉되며, 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하는 돌기부를 포함할 수 있다. 상기 돌기부는 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 가장자리를 지지하도록 상기 지지부의 일 측에 형성될 수 있다.According to an embodiment, the supporting part of each of the plurality of holding parts 111 may directly contact the organic light emitting diode panel 130 and include a protrusion supporting the organic light emitting diode panel 130 . . The protrusion may be formed on one side of the support to support the edge of the organic light emitting diode panel 130 .

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 검사부(112)에 밀착되도록 상측 방향(예: Z 방향)으로 이동할 수 있다.According to an embodiment, each of the plurality of gripping parts 111 may move in an upper direction (eg, Z-direction) so that the organic light emitting diode panel 130 is in close contact with the inspection part 112 .

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)의 검사부(112)는 상기 복수의 파지부들(111)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 방향(예: Z 방향)으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 OLED 물질의 증착에 따른 무결점(예: 결함, 이물질 흡착 여부 등)을 검사할 수 있다. 상기 검사부(112)는 상기 검사부(112)에 밀착된 상기 유기발광다이오드 패널(130) 간의 진공 흡착을 통해 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 검사할 수 있다.According to an embodiment, the inspection unit 112 of the vacuum adsorption device 110 is based on the movement of the plurality of grippers 111 in a direction (eg, Z direction) of the vacuum adsorption device 110 . , it is possible to inspect defects (eg, whether defects, foreign matter adsorption, etc.) according to the deposition of the OLED material of the organic light emitting diode panel 130 . The inspection unit 112 may inspect the organic light emitting diode panel 130 through vacuum adsorption between the organic light emitting diode panels 130 in close contact with the inspection unit 112 .

일 실시 예에 따르면, 상기 검사부(112)는 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 배치되며, 상기 복수의 파지부들(111)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 방향(예: Z 방향)으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 접촉을 감지할 수 있다. 그리고, 상기 검사부(112)는 상기 검사부(112)와 상기 유기발광다이오드 패널(130) 간의 진공 흡착을 통해 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 검사할 수 있다.According to an embodiment, the inspection unit 112 is disposed at a lower end of the vacuum adsorption device 110 , and the plurality of gripping units 111 are disposed in a direction (eg, Z direction) of the vacuum adsorption device 110 . A contact of the organic light emitting diode panel 130 may be sensed based on the movement of the light emitting diode panel 130 . In addition, the inspection unit 112 may inspect the organic light emitting diode panel 130 through vacuum adsorption between the inspection unit 112 and the organic light emitting diode panel 130 .

일 실시 예에 따르면, 상기 검사부(112)에 의해 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 검사가 완료되는 경우, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 검사부(112)에 밀착된 유기발광다이오드 패널(130)을 파지하기 위해, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 하측 방향으로 180o 회전할 수 있다. 상기 복수의 파지부들(111) 각각이 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 하측 방향으로 180o 회전되는 경우, 상기 검사부(112)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)과의 진공 흡착을 종료할 수 있다. According to an embodiment, when the inspection of the organic light emitting diode panel 130 is completed by the inspection unit 112 , each of the plurality of holding units 111 is an organic light emitting diode in close contact with the inspection unit 112 . In order to grip the panel 130 , the organic light emitting diode panel 130 may be rotated by 180 ° in a downward direction. When each of the plurality of grippers 111 is rotated 180 ° downward of the organic light emitting diode panel 130 , the inspection unit 112 terminates vacuum adsorption with the organic light emitting diode panel 130 . can

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 검사부(112) 방향(예: Z 방향)으로 이동하여 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지할 수 있다.According to an embodiment, each of the plurality of gripping parts 111 may support the organic light emitting diode panel 130 by moving in a direction (eg, Z direction) of the inspection part 112 .

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(111) 각각에 의해 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 지지되는 경우, 상기 이동 부재(120)는 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동할 수 있다. 그리고, 상기 이동 부재(120)가 상기 제1 위치로부터 이동하기 시작하여 상기 제2 위치에 놓여진 경우, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 하측 방향(예: -Z 방향)으로 이동하여, 상기 상기 복수의 파지부들(111) 각각에 의해 지지하고 있는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 이동 부재(120) 상에 놓여지도록 할 수 있다.According to an embodiment, when the organic light emitting diode panel 130 is supported by each of the plurality of gripping parts 111 , the movable member 120 may move from the first position to the second position. there is. And, when the movable member 120 starts to move from the first position and is placed in the second position, each of the plurality of gripping parts 111 moves in a downward direction (eg, -Z direction), The organic light emitting diode panel 130 supported by each of the plurality of gripping parts 111 may be placed on the movable member 120 .

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)의 제1 부재 내지 제3 부재(120a, 120b, 121, 122) 각각은 상기 복수의 파지부들(111) 각각의 회전에 닿지 않도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 이동 부재(120)의 제1 부재 내지 제3 부재(120a, 120b, 121, 122) 각각과 닿지 않도록 상기 진공 흡착 장치(110) 상에 형성될 수 있다.According to an embodiment, each of the first to third members 120a, 120b, 121, and 122 of the movable member 120 may be formed so as not to touch the rotation of each of the plurality of gripping parts 111 . . In addition, each of the plurality of gripping parts 111 is formed on the vacuum adsorption device 110 so as not to contact each of the first to third members 120a, 120b, 121 and 122 of the movable member 120 . can be

도 2a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이동 부재가 진공 흡착 장치의 하단으로 이동한 예시도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 흡착 장치의 하단으로 이동한 이동 부재가 검사부에 밀착되도록 이동한 예시도이다.Figure 2a is an exemplary view in which the moving member is moved to the lower end of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention. 2B is an exemplary view in which the moving member moved to the lower end of the vacuum adsorption apparatus according to an embodiment of the present invention is moved so as to be in close contact with the inspection unit.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 이동 부재(120)는 상기 이동 부재(120)의 복수의 제2 부재들(121) 상의 돌기부들(124)을 통해 유기발광다이오드 패널(130)을 지지할 수 있다. 복수의 돌기부들(124)을 통해 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하고 있는 상기 이동 부재(120)는 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에서 일 방향(예: X 방향)으로 진입할 수 있다.2A and 2B , the movable member 120 may support the organic light emitting diode panel 130 through the protrusions 124 on the plurality of second members 121 of the movable member 120 . there is. The movable member 120 supporting the organic light emitting diode panel 130 through the plurality of protrusions 124 may enter from the lower end of the vacuum adsorption device 110 in one direction (eg, the X direction). .

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)의 상기 일 방향(예: X 방향)으로 진입이 완료되는 경우, 상기 이동 부재(120)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 배치된 검사부(112)에 밀착되도록, 일 방향(예: Z 방향)으로 이동할 수 있다. According to an embodiment, when the movement of the moving member 120 in the one direction (eg, the X direction) is completed, the moving member 120 is the organic light emitting diode panel 130 in the vacuum adsorption device ( 110) so as to be in close contact with the inspection unit 112 disposed at the lower end thereof, it may move in one direction (eg, the Z direction).

일 실시 예에 따르면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 배치된 검사부(112)에 밀착되는 경우, 상기 진공 흡착 장치(110)의 네 가장자리들 각각에 배치된 복수의 파지부들(111)은 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전(210)할 수 있다. 그리고, 상기 복수의 파지부들(111)은 진공 흡착 장치(110)의 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전한 후, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 배치된 검사부(112)에 밀착되도록, 일 방향(예: Z 방향)으로 이동할 수 있다.According to an embodiment, when the organic light emitting diode panel 130 is in close contact with the inspection unit 112 disposed at the lower end of the vacuum adsorption device 110 , it is disposed at each of the four edges of the vacuum adsorption device 110 . The plurality of gripping units 111 may be rotated 210 by 180 ° in a downward direction (eg, -Z direction) of the vacuum adsorption device 110 . In addition, after the plurality of gripping parts 111 rotate 180 ° in the lower direction (eg, -Z direction) of the vacuum adsorption device 110 , the organic light emitting diode panel 130 is moved to the vacuum adsorption device 110 . ) so as to be in close contact with the inspection unit 112 disposed at the lower end thereof, may be moved in one direction (eg, the Z direction).

도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부가 진공 흡착 장치의 하단에서 유기발광다이오드 패널을 지지하고 있는 예시도이다. 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부가 유기발광다이오드 패널을 진공 흡착 장치의 검사부로 이동시킨 예시도이다.3A is an exemplary view in which the gripper supports the organic light emitting diode panel at the lower end of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention. 3B is an exemplary view in which the holding unit moves the organic light emitting diode panel to the inspection unit of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 복수의 파지부들(210)은 상기 진공 흡착 장치(110)(예: 검사부(112))의 상측에 연결될 수 있다. 그리고, 상기 복수의 파지부들(210) 각각은 유기발광다이오드 패널(130)의 아래에 위치하도록 일 방향(예: -Z 방향)으로 회전하고, 상기 일 방향(예: -Z 방향)으로 회전에 기반하여 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지할 수 있다.3A and 3B , the plurality of grippers 210 according to an embodiment of the present invention may be connected to the upper side of the vacuum adsorption device 110 (eg, the inspection part 112 ). In addition, each of the plurality of grippers 210 rotates in one direction (eg, -Z direction) to be positioned below the organic light emitting diode panel 130 , and rotates in the one direction (eg, -Z direction). Based on this, the organic light emitting diode panel 130 may be supported.

일 실시 예에 따르면, 복수의 파지부들(210) 각각은 피스톤부(310), 지지부(320), 및 모터부(340)를 포함할 수 있다. 상기 복수의 파지부들(210) 각각의 지지부(320) 및 각각의 피스톤부(310)는 힌지(350)를 통해 파지부(210)와 결합될 수 있고, 회전될 수 있다. 상기 복수의 파지부들(210) 각각의 지지부(320)는 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하는 돌기부(330)를 포함할 수 있다. 상기 돌기부(330)는 상기 복수의 파지부들(210) 각각의 지지부(320)의 일 측(예: 유기발광다이오드 패널(130)의 가장자리를 지지하는 위치)에 배치될 수 있다.According to an embodiment, each of the plurality of gripping parts 210 may include a piston part 310 , a support part 320 , and a motor part 340 . The support part 320 and each piston part 310 of each of the plurality of gripping parts 210 may be coupled to the gripping part 210 through a hinge 350 and may be rotated. The support part 320 of each of the plurality of gripping parts 210 may include a protrusion 330 supporting the organic light emitting diode panel 130 . The protrusion 330 may be disposed on one side (eg, a position supporting the edge of the organic light emitting diode panel 130 ) of the support part 320 of each of the plurality of gripping parts 210 .

일 실시 예에 따르면, 상기 모터부(340)는 상기 지지부(320) 및 상기 피스톤부(310)를 진공 흡착 장치(110)의 상측(또는 검사부(112)의 상측)에서 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측(또는 검사부(112)의 하측)으로 180o 회전시키는 동력을 제공할 수 있다. 상기 지지부(320)와 상기 피스톤부(310)는 상기 모터부(340)로부터 제공된 동력에 의해, 상기 진공 흡착 장치(110)(예: 검사부(112))의 상측에서 상기 진공 흡착 장치(110)(예: 검사부(112))의 하측으로 180o 회전될 수 있다.According to an embodiment, the motor unit 340 moves the support unit 320 and the piston unit 310 from the upper side of the vacuum adsorption device 110 (or the upper side of the inspection unit 112 ) to the vacuum adsorption device 110 . ) to the lower side (or the lower side of the inspection unit 112) can provide power to rotate 180 o . The support part 320 and the piston part 310 are connected to the vacuum adsorption device 110 from the upper side of the vacuum adsorption device 110 (eg, the inspection unit 112) by the power provided from the motor unit 340 . (eg, the inspection unit 112) may be rotated 180 ° downward.

일 실시 예에 따르면, 상기 피스톤부(310)는 상기 지지부(320)를 상측 방향(예: Z 방향) 또는 하측 방향(예: -Z 방향)으로 이동시키기 위한 동력을 제공할 수 있는 적어도 하나의 피스톤(미도시)을 포함할 수 있다. According to one embodiment, the piston unit 310 is at least one that can provide power for moving the support unit 320 in an upward direction (eg, Z direction) or downward direction (eg, -Z direction). It may include a piston (not shown).

일 실시 예에 따르면, 상기 모터부(340)에 의해 회전되고, 상기 피스톤부(310)에 의해 상측 방향(예: Z 방향) 또는 하측 방향(예: -Z 방향)으로 이동되는 지지부(320)는 일 측에 돌기부(330)가 배치될 수 있다. 상기 유기발광다이오드 패널(130)은 복수의 돌기부들(330)에 의해 지지될 수 있다. 그리고, 상기 이동 부재(120)의 제1 부재 내지 제3 부재(120a, 120b, 121, 122) 각각은 상기 복수의 파지부들(111) 각각의 회전에 닿지 않도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 이동 부재(120)의 제1 부재 내지 제3 부재(120a, 120b, 121, 122) 각각과 닿지 않도록 상기 진공 흡착 장치(110) 상에 형성될 수 있다.According to an embodiment, the support part 320 is rotated by the motor unit 340 and is moved in an upward direction (eg, Z direction) or downward direction (eg, -Z direction) by the piston unit 310 . A protrusion 330 may be disposed on one side. The organic light emitting diode panel 130 may be supported by a plurality of protrusions 330 . In addition, each of the first to third members 120a , 120b , 121 , and 122 of the movable member 120 may be formed so as not to contact the rotation of each of the plurality of gripping parts 111 . In addition, each of the plurality of gripping parts 111 is formed on the vacuum adsorption device 110 so as not to contact each of the first to third members 120a, 120b, 121 and 122 of the movable member 120 . can be

도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 복수의 파지부들이 파지한 예시도이다. 도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 복수의 파지부들의 일부를 나타낸 예시도이다.4A is an exemplary view in which a plurality of grippers hold an organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention. 4B is an exemplary view illustrating a portion of a plurality of gripping parts of an organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 흡착 장치(110)의 상단에 배치된 복수의 파지부들(210) 각각은 지지부(320)를 통해 유기발광다이오드 패널(130)을 파지할 수 있다. 4A and 4B , each of the plurality of gripping parts 210 disposed on the upper end of the vacuum adsorption apparatus 110 according to an embodiment of the present invention is formed through the support part 320 through the organic light emitting diode panel 130 . ) can be grasped.

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(210) 각각의 지지부(320)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 가장자리 부분(예: 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 모서리에서 일정 거리(예: 10mm) 이내의 부분)을 파지할 수 있다. 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 일 면은 OLED 물질이 증착된 글라스일 수 있다.According to an embodiment, the support part 320 of each of the plurality of gripping parts 210 is a predetermined distance from the edge of the organic light emitting diode panel 130 (eg, the edge of the organic light emitting diode panel 130). For example: part) within 10mm) can be gripped. One surface of the organic light emitting diode panel 130 may be glass on which an OLED material is deposited.

일 실시 예에 따르면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 상단에 위치한 가장자리 및 하단에 위치한 가장자리의 각각은 복수개의 파지부들(예: 6개 또는 8개)에 의해 파지되고, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 좌단에 위치한 가장자리 및 우단에 위치한 가장자리의 각각은 복수개의 파지부들(예: 4개 또는 6개)에 의해 파지될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 두 개의 파지부들은 결합된 상태에서 하나의 피스톤 및 하나의 모터부에 의해 동작될 수 있다.According to an embodiment, each of the edge positioned at the upper end and the lower edge of the organic light emitting diode panel 130 is gripped by a plurality of grippers (eg, 6 or 8), and the organic light emitting diode Each of the edge positioned at the left end and the edge positioned at the right end of the panel 130 may be gripped by a plurality of grippers (eg, four or six). According to an embodiment, the two gripping units may be operated by one piston and one motor unit in a coupled state.

일 실시 예에 따르면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)은 일정 크기(예: 가로 1500mm, 세로 925mm)일 수 있다. 그리고, 상기 파지부(210)의 크기는 일정한 크기(예: 가로(410) 110mm 및 세로(420) 90mm)일 수 있다. 그리고, 각각의 파지부는 일정 거리(예: 92.5mm)만큼 이격되어 진공 흡착 장치(110)의 상단에 배치될 수 있다. 예를 들면, 두 개의 파지부들이 하나의 피스톤 및 하나의 모터부에 의해 동작되는 경우, 상기 두 개의 파지부들 간의 거리는 일정 거리(예: 67.5mm)만큼 이격될 수 있다. 예를 들면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 가장자리(430)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 모서리에서 일정 거리(예: 10mm)만큼 떨어진 부분일 수 있다.According to an embodiment, the organic light emitting diode panel 130 may have a predetermined size (eg, 1500 mm in width and 925 mm in length). In addition, the size of the gripper 210 may be a constant size (eg, a width of 110 mm and a length of 410 and 90 mm). In addition, each holding part may be disposed on the upper end of the vacuum adsorption device 110 by being spaced apart by a predetermined distance (eg, 92.5 mm). For example, when the two gripping parts are operated by one piston and one motor part, the distance between the two gripping parts may be spaced apart by a predetermined distance (eg, 67.5 mm). For example, the edge 430 of the organic light emitting diode panel 130 may be a portion separated by a predetermined distance (eg, 10 mm) from the edge of the organic light emitting diode panel 130 .

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 복수의 파지부들이 유기발광다이오드 패널을 검사부에 밀착시킨 상태에서 상기 검사부가 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 예시도이다.5 is an exemplary view in which the inspection unit inspects the organic light emitting diode panel in a state in which a plurality of gripping units adhere the organic light emitting diode panel to the inspection unit according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 복수의 파지부들(510)이 유기발광다이오드 패널(130)을 검사부(112)에 밀착시키면, 진공 흡착 장치(110)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 진공 흡착을 통해 상기 검사부(112)에 밀착시킬 수 있다. 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 검사부(112)에 밀착되면, 상기 검사부(112)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 검사하기 시작한다. 상기 검사는 OLED 물질이 흡착된 유기발광다이오드 패널(130)에 대한 OLED 물질의 흡착의 무결점(예: 결함, 이물질 흡착 여부 등)을 검사하는 것이다.Referring to FIG. 5 , when the plurality of grippers 510 closely adhere the organic light emitting diode panel 130 to the inspection unit 112 , the vacuum adsorption device 110 vacuums the organic light emitting diode panel 130 . Through this, it can be closely attached to the inspection unit 112 . When the organic light emitting diode panel 130 is in close contact with the inspecting unit 112 , the inspecting unit 112 starts to inspect the organic light emitting diode panel 130 . The inspection is to inspect the absence of defects in the adsorption of the OLED material to the organic light emitting diode panel 130 on which the OLED material is adsorbed (eg, whether defects, foreign substances are adsorbed, etc.).

도 6a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부를 통해 유기발광다이오드 패널을 진공 흡착 장치의 검사부에 밀착시킨 예시도이다. 도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 흡착 장치의 검사부에 밀착된 유기발광다이오드 패널이 상기 검사부로부터 이탈되어 파지부를 통해 지지되고 있는 예시도이다.6A is an exemplary view in which the organic light emitting diode panel is brought into close contact with the inspection unit of the vacuum adsorption device through the holding unit according to an embodiment of the present invention. 6B is an exemplary view in which the organic light emitting diode panel in close contact with the inspection unit of the vacuum adsorption device according to an embodiment of the present invention is separated from the inspection unit and supported through the holding unit.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 파지부(510)의 지지부(620)는 돌기부(630)를 통해 유기발광다이오드 패널(130)을 진공 흡착 장치(110)의 검사부(112)에 밀착시킬 수 있다. 그리고, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 진공 흡착 장치(110)의 검사부(112)에 밀착되는 경우, 상기 진공 흡착 장치(110)는 진공 흡착을 수행하고, 상기 검사부(112)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 무결함 또는 무결점 여부를 검사할 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 무결함 또는 상기 무결점 여부를 경고음을 통해 출력할 수 있다. 상기 진공 흡착 장치(110)의 진공 흡착이 수행되면, 복수의 파지부들(510)은 상기 진공 흡착 장치(110)의 상단으로 회전될 수 있다.Referring to FIGS. 6A and 6B , the support part 620 of the holding part 510 may bring the organic light emitting diode panel 130 into close contact with the inspection part 112 of the vacuum adsorption device 110 through the protrusion 630 . . In addition, when the organic light emitting diode panel 130 is in close contact with the inspection unit 112 of the vacuum adsorption device 110 , the vacuum adsorption device 110 performs vacuum adsorption, and the inspection unit 112 performs the organic light emitting process. It may be inspected whether the diode panel 130 is defective or has no defects. According to an embodiment, the vacuum adsorption device 110 may output the defect or the defect-free status through a warning sound. When the vacuum adsorption of the vacuum adsorption device 110 is performed, the plurality of grippers 510 may be rotated toward the upper end of the vacuum adsorption device 110 .

일 실시 예에 따르면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 무결함 또는 무결점 여부에 대한 검사가 종료되는 경우, 상기 진공 흡착 장치(110)는 진공 흡착의 수행을 종료할 수 있다. 상기 진공 흡착의 수행이 종료되는 경우, 상기 복수의 파지부들(510) 각각은 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 아래에 위치하도록 일 방향(예: -Z 방향)으로 회전할 수 있다. 그리고, 상기 복수의 파지부들(510) 각각은 상기 일 방향(예: -Z 방향)으로 회전에 기반하여 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지할 수 있다. According to an embodiment, when the inspection on whether the organic light emitting diode panel 130 is defective or has no defects is finished, the vacuum adsorption device 110 may end vacuum adsorption. When the vacuum adsorption is finished, each of the plurality of gripping units 510 may be rotated in one direction (eg, -Z direction) to be positioned under the organic light emitting diode panel 130 . In addition, each of the plurality of grippers 510 may support the organic light emitting diode panel 130 based on rotation in the one direction (eg, -Z direction).

일 실시 예에 따르면, 상기 복수의 파지부들(510) 각각이 상기 일 방향(예: -Z 방향)으로 회전된 후, 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 돌기부(630)를 통해 지지하고 있는 경우, 상기 이동 부재(120)는 제1 위치(예: 상기 이동 부재(120)가 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입되기 전의 위치)에서 제2 위치(예: 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입된 후의 위치)로 이동할 수 있다. 이후, 상기 이동 부재(120)가 상기 제2 위치로의 이동이 완료되면, 상기 복수의 파지부들(510) 각각은 하측 방향(예: -Z 방향)으로 이동하여 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 이동 부재(120)의 돌기부(124)에 의해 지지되도록 할 수 있다.According to an embodiment, after each of the plurality of gripping parts 510 is rotated in the one direction (eg, -Z direction), the organic light emitting diode panel 130 is supported through the protrusion 630 . In this case, the moving member 120 moves from a first position (eg, a position before the moving member 120 is inserted into the lower end of the vacuum adsorption device 110 ) to a second position (eg, the vacuum adsorption device 110 ). ) to the position after input) at the bottom. Thereafter, when the movement of the movable member 120 to the second position is completed, each of the plurality of gripping parts 510 moves in a downward direction (eg, a -Z direction) to move the organic light emitting diode panel 130 . ) may be supported by the protrusion 124 of the moving member 120 .

일 실시 예에 따르면, 상기 피스톤부(610)는 상기 지지부(620)를 상측 방향(예: Z 방향) 또는 하측 방향(예: -Z 방향)으로 이동시키는 동력을 제공할 수 있다. According to an embodiment, the piston unit 610 may provide power to move the support unit 620 in an upward direction (eg, Z direction) or a downward direction (eg, -Z direction).

일 실시 예에 따르면, 상기 모터부(640)는 상기 지지부(620) 및 상기 피스톤부(360)를 진공 흡착 장치(110)의 상측(또는 검사부(112)의 상측)에서 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측(또는 검사부(112)의 하측)으로 180o 회전시키는 동력을 제공할 수 있다. 상기 지지부(620)와 상기 피스톤부(610)는 상기 모터부(640)로부터 제공된 동력에 의해, 상기 진공 흡착 장치(110)의 상측에서 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측으로 180o 회전될 수 있다.According to an embodiment, the motor unit 640 moves the support unit 620 and the piston unit 360 from the upper side of the vacuum adsorption device 110 (or the upper side of the inspection unit 112 ) to the vacuum adsorption device 110 . ) to the lower side (or the lower side of the inspection unit 112) can provide power to rotate 180 o . The support 620 and the piston 610 may be rotated 180 o from the upper side of the vacuum adsorption device 110 to the lower side of the vacuum adsorption device 110 by the power provided from the motor unit 640 . there is.

일 실시 예에 따르면, 상기 모터부(640)에 의해 회전되고, 상기 피스톤부(610)에 의해 상측 방향(예: Z 방향) 또는 하측 방향(예: -Z 방향)으로 이동되는 지지부(620)는 일 측에 돌기부(630)가 배치될 수 있다. 상기 유기발광다이오드 패널(130)은 복수의 돌기부들(630)에 의해 지지될 수 있다. According to an embodiment, the support part 620 is rotated by the motor unit 640 and is moved in an upward direction (eg, Z direction) or downward direction (eg, -Z direction) by the piston unit 610 . A protrusion 630 may be disposed on one side. The organic light emitting diode panel 130 may be supported by a plurality of protrusions 630 .

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이동 부재가 진공 흡착 장치의 하단으로 이동한 예시도이다. 7 is an exemplary view in which the moving member is moved to the lower end of the vacuum adsorption apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 상기 복수의 파지부들(710) 각각은 일 방향(예: Z 방향)으로 회전될 수 있다. 이동 부재(120)는 상기 이동 부재(120)의 복수의 제2 부재들(121) 상의 돌기부들(124)을 통해 유기발광다이오드 패널(130)을 지지할 수 있다. 복수의 돌기부들(124)을 통해 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하고 있는 상기 이동 부재(120)는 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에서 일 방향(예: -Z 방향)으로 이동할 수 있다.Referring to FIG. 7 , each of the plurality of gripping units 710 may be rotated in one direction (eg, the Z direction). The movable member 120 may support the organic light emitting diode panel 130 through the protrusions 124 on the plurality of second members 121 of the movable member 120 . The movable member 120 supporting the organic light emitting diode panel 130 through the plurality of protrusions 124 may move in one direction (eg, -Z direction) from the lower end of the vacuum adsorption device 110 . .

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)의 상기 일 방향(예: -Z 방향)으로 이동이 완료되는 경우, 상기 이동 부재(120)는 현재 위치(예: 제2 위치)에서 제1 위치(예: 상기 이동 부재(120)가 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입되기 전의 위치)로 이동할 수 있다 According to an embodiment, when the movement of the movable member 120 in the one direction (eg, -Z direction) is completed, the movable member 120 moves from the current position (eg, the second position) to the first position. (eg, a position before the moving member 120 is inserted into the lower end of the vacuum adsorption device 110 )

일 실시 예에 따르면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 배치된 검사부(112)에 밀착되는 경우, 상기 진공 흡착 장치(110)의 네 가장자리들 각각에 배치된 복수의 파지부들(111)은 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전(210)할 수 있다. 그리고, 상기 복수의 파지부들(111)은 진공 흡착 장치(110)의 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전한 후, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 배치된 검사부(112)에 밀착되도록, 일 방향(예: Z 방향)으로 이동할 수 있다.According to an embodiment, when the organic light emitting diode panel 130 is in close contact with the inspection unit 112 disposed at the lower end of the vacuum adsorption device 110 , it is disposed at each of the four edges of the vacuum adsorption device 110 . The plurality of gripping units 111 may be rotated 210 by 180 ° in a downward direction (eg, -Z direction) of the vacuum adsorption device 110 . In addition, after the plurality of gripping parts 111 rotate 180 ° in the lower direction (eg, -Z direction) of the vacuum adsorption device 110 , the organic light emitting diode panel 130 is moved to the vacuum adsorption device 110 . ) so as to be in close contact with the inspection unit 112 disposed at the lower end thereof, may be moved in one direction (eg, the Z direction).

도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부를 나타낸 예시도이다.8 is an exemplary view showing a gripper according to an embodiment of the present invention.

일 실시 예에 따르면, 복수의 파지부들(510) 각각은 피스톤부(610), 지지부(620), 및 모터부(640)를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 복수의 파지부들(510) 각각의 지지부(520)는 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하는 돌기부(630)를 포함할 수 있다. 상기 돌기부(630)는 상기 복수의 파지부들(610) 각각의 지지부(620)의 일 측(예: 유기발광다이오드 패널(130)의 가장자리를 지지하는 위치)에 배치될 수 있다.According to an embodiment, each of the plurality of gripping parts 510 may include a piston part 610 , a support part 620 , and a motor part 640 . In addition, the support part 520 of each of the plurality of gripping parts 510 may include a protrusion 630 supporting the organic light emitting diode panel 130 . The protrusion 630 may be disposed on one side (eg, at a position supporting the edge of the organic light emitting diode panel 130 ) of the support part 620 of each of the plurality of gripping parts 610 .

일 실시 예에 따르면, 진공 흡착 장치(110)의 일 측의 가장자리에 배치된 복수의 파지부들(510) 각각의 돌기부(630)는 하나의 연결부재(810)를 통해 연결될 수 있다. 예를 들면, 상기 진공 흡착 장치(110)의 일 측의 가장자리에 배치된 복수의 파지부들(510)(예: 지지부(620)) 각각은 돌출된 하나의 연결부재(810)를 통해 연결될 수 있다.According to an exemplary embodiment, the protrusion 630 of each of the plurality of grippers 510 disposed on the edge of one side of the vacuum adsorption apparatus 110 may be connected through one connection member 810 . For example, each of the plurality of gripping parts 510 (eg, the support 620 ) disposed on the edge of one side of the vacuum adsorption device 110 may be connected through one protruding connecting member 810 . there is.

일 실시 예에 따르면, 상기 모터부(640)는 상기 지지부(620) 및 상기 피스톤부(610)를 진공 흡착 장치(110)의 상측에서 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측으로 180o 회전시키는 동력을 제공할 수 있다. 상기 지지부(620)와 상기 피스톤부(610)는 상기 모터부(640)로부터 제공된 동력에 의해, 상기 진공 흡착 장치(110)의 상측에서 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측으로 180o 회전될 수 있다.According to an embodiment, the motor unit 640 is the power to rotate the support unit 620 and the piston unit 610 from the upper side of the vacuum adsorption device 110 to the lower side of the vacuum adsorption device 110 by 180 o can provide The support 620 and the piston 610 may be rotated 180 o from the upper side of the vacuum adsorption device 110 to the lower side of the vacuum adsorption device 110 by the power provided from the motor unit 640 . there is.

도 9a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부의 회전 동작을 나타낸 예시도이다. 도 9b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부가 상측 방향으로 이동한 예시도이다.9A is an exemplary view illustrating a rotation operation of a gripper according to an embodiment of the present invention. 9B is an exemplary view in which the gripper moves upward according to an embodiment of the present invention.

도 9a 및 도 9b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 파지부(510)는 진공 흡착 장치(110)의 검사부(112) 상단에 배치될 수 있다. 상기 파지부(510)는 모터부(810)의 동력에 기반하여 제1 위치(910)에서 제2 위치(920), 제3 위치(930), 및 제4 위치(940)를 거쳐 제5 위치(950)로 회전될 수 있다. 또한, 상기 파지부(510)는 상기 제5 위치(950)에서 상측 방향(예: Z 방향)(960)으로 이동하여 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 검사부(112)에 밀착시킬 수 있다.9A and 9B , the gripper 510 according to an embodiment of the present invention may be disposed on the upper end of the inspection unit 112 of the vacuum adsorption apparatus 110 . The gripper 510 moves from a first position 910 to a fifth position through a second position 920 , a third position 930 , and a fourth position 940 based on the power of the motor unit 810 . may be rotated to 950 . Also, the gripper 510 may move from the fifth position 950 in an upward direction (eg, in the Z direction) 960 to bring the organic light emitting diode panel 130 into close contact with the inspection unit 112 .

일 실시 예에 따르면, 상기 모터부(810)는 상기 지지부(910) 및 상기 피스톤부(610)를 진공 흡착 장치(110)(예: 검사부(112))의 하측(또는 검사부(112)의 하측)으로 180o 회전시키는 동력을 제공할 수 있다. 상기 지지부(910)와 상기 피스톤부(610)는 상기 모터부(810)로부터 제공된 동력에 의해, 상기 진공 흡착 장치(110)의 상측에서 상기 진공 흡착 장치(110)의 하측으로 180o 회전될 수 있다.According to an embodiment, the motor unit 810 may be configured to move the support unit 910 and the piston unit 610 to the lower side of the vacuum adsorption device 110 (eg, the inspection unit 112 ) (or the lower side of the inspection unit 112 ). ) can provide power to rotate 180 o . The support 910 and the piston 610 may be rotated 180 o from the upper side of the vacuum adsorption device 110 to the lower side of the vacuum adsorption device 110 by the power provided from the motor unit 810 . there is.

도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하기 위해 상기 유입발광소자 패널을 진공 흡착 장치의 하단으로 투입하는 방법을 나타낸 순서도이다.10 is a flowchart illustrating a method of inserting the inlet light emitting device panel into the lower end of the vacuum adsorption device in order to inspect the organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.

이하, 도 10을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사하기 위해 상기 유입발광소자 패널을 진공 흡착 장치의 하단으로 투입하는 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to FIG. 10, in order to inspect the organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention, a method of inserting the inlet light emitting device panel into the lower end of the vacuum adsorption device will be described in detail as follows.

일 실시 예에 따르면, 이동 부재(120)는 상기 이동 부재(120) 상에 놓여진 유기발광다이오드 패널(130)을 진공 흡착 장치로 이동시키기 위해 제1 위치에서 제2 위치로 이동할 수 있다(S1010). 상기 이동 부재(120)는 유기발광다이오드 패널(130)을 제1 위치(예: 상기 이동 부재(120)가 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입되기 전의 위치)에서 제2 위치(예: 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입된 후의 위치)로 이동시킬 수 있다. 상기 이동 부재(120)는 상기 상기 이동 부재(120)의 제1 부재들 내지 제3 부재들의 각각의 일 측에 배치된 돌기부에 의해 지지되는 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동시켜 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단으로 투입시킬 수 있다.According to an embodiment, the moving member 120 may move from a first position to a second position in order to move the organic light emitting diode panel 130 placed on the moving member 120 to the vacuum adsorption device (S1010). . The moving member 120 moves the organic light emitting diode panel 130 from a first position (eg, a position before the moving member 120 is inserted into the lower end of the vacuum adsorption device 110) to a second position (eg: It can be moved to the position after being put in the lower end of the vacuum adsorption device 110). The moving member 120 moves the organic light emitting diode panel 130 supported by a protrusion disposed on one side of each of the first to third members of the moving member 120 in the first position. By moving to the second position, the organic light emitting diode panel 130 may be introduced into the lower end of the vacuum adsorption device 110 .

일 실시 예에 따르면, 상기 이동 부재(120)는 상측(예: Z 방향)으로 이동할 수 있다(S1012). 상기 이동 부재(120)는 유기발광다이오드 패널(130)이 진공 흡착 장치(110)의 검사부(112)에 밀착되도록 상측 방향(예: Z 방향)으로 이동할 수 있다.According to an embodiment, the movable member 120 may move upward (eg, in the Z direction) (S1012). The movable member 120 may move in an upward direction (eg, in the Z direction) so that the organic light emitting diode panel 130 is in close contact with the inspection unit 112 of the vacuum adsorption device 110 .

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 진공 흡착 장치(110)(또는 검사부(112))의 상단에 배치된 복수의 파지부들을 하측 방향(예: -Z 방향)으로 회전시킬 수 있다(S1014). 예를 들면, 상기 복수의 파지부들은 상기 진공 흡착 장치(110)를 통해 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 파지하기 위해 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전될 수 있다.According to an embodiment, the vacuum adsorption device 110 rotates the plurality of grippers disposed on the upper end of the vacuum adsorption device 110 (or the inspection unit 112) in a downward direction (eg, -Z direction). It can be (S1014). For example, the plurality of grippers may be rotated by 180 ° in a downward direction (eg, -Z direction) to grip the organic light emitting diode panel 130 through the vacuum adsorption device 110 .

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 복수의 파지부들을 상측(예: Z 방향)으로 이동시켜 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 이동 부재(120)로부터 분리되도록 할 수 있다(S1016). 상기 복수의 파지부들은 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 파지하기 위해 상기 이동 부재(120)의 하측 방향(예: -Z 방향)으로 180o 회전을 할 수 있다. 그리고, 상기 복수의 파지부들은 이동 부재(120)와 검사부(112)의 사이에 위치하도록 일 방향(예: Z 방향)으로 이동할 수 있다. According to an embodiment, the vacuum adsorption device 110 may move the plurality of grippers upward (eg, in the Z direction) to separate the organic light emitting diode panel 130 from the moving member 120 . There is (S1016). The plurality of grippers may rotate 180 ° in a downward direction (eg, -Z direction) of the movable member 120 to grip the organic light emitting diode panel 130 . In addition, the plurality of gripping units may move in one direction (eg, Z direction) to be positioned between the moving member 120 and the inspection unit 112 .

일 실시 예에 따르면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 복수의 파지부들에 의해 지지되는 경우, 상기 이동 부재(120)는 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동할 수 있다(S1018). 예를 들면, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 복수의 파지부들에 의해 지지되는 경우, 상기 이동 부재(120)는 일 방향(예: -Z 방향)으로 이동한 후, 상기 제2 위치로 다시 이동할 수 있다.According to an embodiment, when the organic light emitting diode panel 130 is supported by the plurality of gripping parts, the movable member 120 may move from the second position to the first position (S1018). For example, when the organic light emitting diode panel 130 is supported by the plurality of grippers, the movable member 120 moves in one direction (eg, -Z direction) and then moves to the second position. can move again.

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 복수의 파지부들을 일 방향(예: Z 방향)으로 상승시켜, 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 검사부(112)에 밀착시킬 수 있다(S1020).According to an embodiment, the vacuum adsorption device 110 may raise the plurality of gripping parts in one direction (eg, Z-direction) to bring the organic light emitting diode panel 130 into close contact with the inspection part 112 . (S1020).

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 검사부(112)를 통해 진공 흡착을 실행하여 상기 유기발광다이오드 패널(130)에 대한 검사를 실행할 수 있다(S1022). 상기 검사부(112)는 상기 검사부(112)에 밀착된 상기 유기발광다이오드 패널(130) 간의 진공 흡착을 통해 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 검사할 수 있다. 상기 검사부(112)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)에 대한 무결점(예: 결함, 이물질 흡착 여부 등)을 검사할 수 있다.According to an embodiment, the vacuum adsorption device 110 may perform vacuum adsorption through the test unit 112 to test the organic light emitting diode panel 130 ( S1022 ). The inspection unit 112 may inspect the organic light emitting diode panel 130 through vacuum adsorption between the organic light emitting diode panels 130 in close contact with the inspection unit 112 . The inspection unit 112 may inspect the organic light emitting diode panel 130 for no defects (eg, whether defects, foreign matter adsorption, etc.).

도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사한 후, 상기 유입발광소자 패널을 진공 흡착 장치로부터 이동시키는 방법을 나타낸 순서도이다.11 is a flowchart illustrating a method of moving the inflow light emitting diode panel from the vacuum adsorption device after inspecting the organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention.

이하, 도 10을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광다이오드 패널을 검사한 후, 상기 유입발광소자 패널을 진공 흡착 장치로부터 이동시키는 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, after inspecting the organic light emitting diode panel according to an embodiment of the present invention with reference to FIG. 10, a method of moving the inlet light emitting diode panel from the vacuum adsorption device will be described in detail as follows.

일 실시 예에 따르면, 진공 흡착 장치(110)는 검사부(112)를 통해 유기발광다이오드 패널의 검사를 종료할 수 있다(S1102). 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 검사부(112)를 통해 상기 유기발광다이오드 패널에 결함 또는 결점이 발생되었는지 판단할 수 있다. According to an embodiment, the vacuum adsorption apparatus 110 may end the inspection of the organic light emitting diode panel through the inspection unit 112 (S1102). The vacuum adsorption apparatus 110 may determine whether a defect or a defect has occurred in the organic light emitting diode panel through the inspection unit 112 .

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 복수의 파지부들을 하강시켜 유기발광다이오드 패널을 상기 검사부로터 분리시킬 수 있다(S1104). 상기 유기발광다이오드 패널의 검사가 종료되면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 복수의 파지부들을 하측 방향(예: -Z 방향)으로 이동시켜, 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 검사부(112)로터 분리시킬 수 있다. 상기 검사부(112)로터 분리된 유기발광다이오드 패널은 상기 복수의 파지부들의 지지부 상의 돌기부에 의해 지지될 수 있다.According to an embodiment, the vacuum adsorption device 110 may lower the plurality of gripping parts to separate the organic light emitting diode panel from the inspection part (S1104). When the inspection of the organic light emitting diode panel is finished, the vacuum adsorption device 110 moves the plurality of gripping parts in a downward direction (eg, -Z direction) to move the organic light emitting diode panel 130 to the inspection part 112 . ) can be separated from the rotor. The organic light emitting diode panel separated from the inspection part 112 may be supported by a protrusion on the support part of the plurality of gripping parts.

일 실시 예에 따르면, 이동 부재(120)는 제1 위치에서 제2 위치로 이동한다(S1106). 상기 이동 부재(120)는 상기 제1 위치(예: 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입되기 전의 위치)에서 제2 위치(예: 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입된 후의 위치)로 이동할 수 있다. According to an embodiment, the moving member 120 moves from the first position to the second position (S1106). The moving member 120 moves from the first position (eg, before the organic light emitting diode panel 130 is inserted into the lower end of the vacuum adsorption device 110 ) to a second position (eg, the organic light emitting diode panel). (130) can move to the position after being put in the lower end of the vacuum adsorption device (110).

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 복수의 파지부들을 상기 이동 부재보다 하측으로 회전시킬 수 있다(S1108). 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 복수의 파지부들을 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 하측으로 180o 회전시킬 수 있다. 상기 이동 부재(120)의 제1 부재 내지 제3 부재(120a, 120b, 121, 122) 각각은 상기 복수의 파지부들(111) 각각의 회전에 닿지 않도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 복수의 파지부들(111) 각각은 상기 이동 부재(120)의 제1 부재 내지 제3 부재(120a, 120b, 121, 122) 각각과 닿지 않도록 상기 진공 흡착 장치(110) 상에 형성될 수 있다.According to an embodiment, the vacuum adsorption apparatus 110 may rotate the plurality of gripping parts to a lower side than the moving member (S1108). The vacuum adsorption device 110 may rotate the plurality of gripping parts to a lower side of the organic light emitting diode panel 130 by 180 ° . Each of the first to third members 120a , 120b , 121 , and 122 of the movable member 120 may be formed so as not to touch the rotation of each of the plurality of gripping parts 111 . In addition, each of the plurality of gripping parts 111 is formed on the vacuum adsorption device 110 so as not to contact each of the first to third members 120a, 120b, 121 and 122 of the movable member 120 . can be

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 복수의 파지부들을 상측 방향으로 회전시킬 수 있다(S1110). 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 복수의 파지부들을 상기 유기발광다이오드 패널(130)의 하측으로 180o 회전시켜 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 상기 이동 부재(120) 상에 지지하도록 한 후, 일 방향(예: Z 방향)으로 180o 회전시킬 수 있다.According to an embodiment, the vacuum adsorption apparatus 110 may rotate the plurality of gripping parts in an upward direction (S1110). The vacuum adsorption device 110 rotates the plurality of gripping parts to the lower side of the organic light emitting diode panel 130 by 180 to support the organic light emitting diode panel 130 on the movable member 120 . , can be rotated 180 o in one direction (eg, Z direction).

일 실시 예에 따르면, 상기 진공 흡착 장치(110)는 상기 이동 부재를 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동시켜, 상기 유기발광다이오드 패널을 진공 흡착 장치로부터 이동시킬 수 있다(S1112). 상기 이동 부재(120)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하고 있는 상태에서, 상기 유기발광다이오드 패널(130)이 상기 진공 흡착 장치(110)의 하단에 투입되기 전의 위치(예: 제1 위치)로 이동할 수 있다. 상기 이동 부재(120)는 상기 유기발광다이오드 패널(130)을 지지하고 있는 상태에서, 일 측 방향(예: -Z 방향)으로 하강한 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동할 수 있다.According to an embodiment, the vacuum adsorption device 110 may move the moving member from the second position to the first position to move the organic light emitting diode panel from the vacuum adsorption device (S1112). The moving member 120 supports the organic light emitting diode panel 130 at a position before the organic light emitting diode panel 130 is inserted into the lower end of the vacuum adsorption device 110 (eg, the first location) can be moved. The movable member 120 may move from the first position descending in one direction (eg, -Z direction) to the second position while supporting the organic light emitting diode panel 130 .

이상에서 상술한 각각의 순서도에서의 각 단계는 도시된 순서에 무관하게 동작될 수 있거나, 또는 동시에 수행될 수 있다. 또한, 본 발명의 적어도 하나의 구성 요소와, 상기 적어도 하나의 구성 요소에서 수행되는 적어도 하나의 동작은 하드웨어 및/또는 소프트웨어로 구현 가능할 수 있다. Each step in each of the above-described flowcharts may be operated regardless of the illustrated order, or may be performed simultaneously. In addition, at least one component of the present invention and at least one operation performed by the at least one component may be implemented in hardware and/or software.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed in the present specification. It is obvious that variations can be made. In addition, although the effects according to the configuration of the present invention have not been explicitly described and described while describing the embodiments of the present invention, it is natural that the effects predictable by the configuration should also be recognized.

110: 진공흡착 장치 111: 파지부
112: 검사부 113: 지지부재
120: 이동 부재 130: 유기발광다이오드 패널110: vacuum adsorption device 111: gripping unit
112: inspection unit 113: support member
120: moving member 130: organic light emitting diode panel

Claims (17)

유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치에 있어서,
상기 유기발광다이오드 패널을 제1 위치에서 상기 진공 흡착 장치의 하측의 제2 위치로 이동시키는 이동 부재;
상기 진공 흡착 장치의 상측에 연결되며, 상기 제2 위치에 위치한 상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 회전하여 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 복수의 파지부들; 및
상기 복수의 파지부들이 상기 진공 흡착 장치의 방향으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 검사부를 포함하며,
상기 이동 부재는 상기 유기발광다이오드 패널을 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동시킨 후, 상기 제2 위치로 이동된 상기 유기발광다이오드 패널을 상기 검사부에 밀착되도록 상기 검사부가 위치한 상측 방향으로 이동시키는 진공 흡착 장치.
In the vacuum adsorption device for inspecting the organic light emitting diode panel,
a moving member for moving the organic light emitting diode panel from a first position to a second position below the vacuum adsorption device;
a plurality of gripping parts connected to the upper side of the vacuum adsorption device and rotating in a downward direction of the organic light emitting diode panel positioned at the second position to support the organic light emitting diode panel; and
and an inspection unit for inspecting the organic light emitting diode panel based on the movement of the plurality of holding units in the direction of the vacuum adsorption device,
The moving member moves the organic light emitting diode panel from the first position to the second position, and then moves the organic light emitting diode panel moved to the second position in an upward direction where the inspection unit is located so as to be in close contact with the inspection unit. vacuum adsorption device.
 제1 항에 있어서,
상기 복수의 파지부들은,
상기 진공 흡착 장치의 상측의 가장자리를 따라 배치되며, 상기 유기발광다이오드 패널의 가장자리를 파지하는 진공 흡착 장치.
According to claim 1,
The plurality of gripping parts,
A vacuum adsorption device disposed along an upper edge of the vacuum adsorption device and gripping an edge of the organic light emitting diode panel.
 제1 항에 있어서,
상기 유기발광다이오드 패널의 가장자리는,
상기 유기발광다이오드 패널의 모서리에서 중심방향으로 미리 결정된 거리를 갖는 진공 흡착 장치.
According to claim 1,
The edge of the organic light emitting diode panel,
A vacuum adsorption device having a predetermined distance from the edge of the organic light emitting diode panel to the center.
 제1 항에 있어서,
상기 복수의 파지부들 각각은,
상기 진공 흡착 장치의 상측과 고정되도록 부착되며, 파지부를 하측 방향으로 180o 회전시키는 모터부;
상기 모터부와 결합되며, 상기 하측 방향으로 180o 회전된 상기 파지부를 상기 진공 흡착 장치 방향으로 상승시키기 위한 피스톤부; 및
상기 파지부의 일측에 배치되어 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 지지부를 포함하는 진공 흡착 장치.
According to claim 1,
Each of the plurality of gripping parts,
a motor unit which is attached to be fixed to the upper side of the vacuum adsorption device and rotates the holding unit by 180 ° downward;
a piston unit coupled to the motor unit and configured to raise the holding unit rotated by 180 ° in the downward direction toward the vacuum adsorption device; and
A vacuum adsorption device including a support portion disposed on one side of the grip portion to support the organic light emitting diode panel.
 제4 항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 지지부의 일측에 형성되며, 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 돌기부를 포함하는 진공 흡착 장치.
5. The method of claim 4,
The support part,
The vacuum adsorption device is formed on one side of the support and includes a protrusion for supporting the organic light emitting diode panel.
 제5 항에 있어서,
상기 돌기부는,
상기 유기발광다이오드 패널의 가장자리를 지지하도록 상기 지지부의 일측에 형성되는 진공 흡착 장치.
6. The method of claim 5,
The protrusion is
A vacuum adsorption device formed on one side of the support to support the edge of the organic light emitting diode panel.
 제1 항에 있어서,
상기 검사부는,
상기 복수의 파지부들이 상기 진공 흡착 장치의 방향으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널의 접촉을 감지하고,
상기 검사부와 상기 유기발광다이오드 패널 간의 진공 흡착을 통해 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치.
According to claim 1,
The inspection unit,
Based on the movement of the plurality of gripping parts in the direction of the vacuum adsorption device, sensing the contact of the organic light emitting diode panel,
A vacuum adsorption device for inspecting the organic light emitting diode panel through vacuum adsorption between the inspection unit and the organic light emitting diode panel.
 제1 항에 있어서,
상기 이동 부재는,
상기 진공 흡착 장치의 방향으로 형성된 두 개의 제1 부재들, 상기 제1 부재들과 수직 방향으로 형성된 복수의 제2 부재들, 및 상기 제2 부재들과 수직 방향으로 형성된 복수의 제3 부재들을 포함하며,
상기 제2 부재들 각각 및 상기 제3 부재들 각각의 일측에는 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 돌기부를 포함하는 진공 흡착 장치.
According to claim 1,
The moving member is
two first members formed in a direction of the vacuum adsorption device, a plurality of second members formed in a direction perpendicular to the first members, and a plurality of third members formed in a direction perpendicular to the second members and
A vacuum adsorption device including a protrusion for supporting the organic light emitting diode panel on one side of each of the second members and the third members.
 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 복수의 파지부들은,
상기 검사부 방향으로 이동된 유기발광다이오드 패널을 파지하기 위해, 상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 180o 회전하는 진공 흡착 장치.
According to claim 1,
The plurality of gripping parts,
A vacuum adsorption device rotates 180 ° downward of the organic light emitting diode panel in order to hold the organic light emitting diode panel moved in the direction of the inspection unit.
 제10 항에 있어서,
상기 이동 부재는,
상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 180o 회전된 상기 복수의 파지부들에 의해 상기 유기발광다이오드 패널이 파지되는 경우, 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하는 진공 흡착 장치.
11. The method of claim 10,
The moving member is
When the organic light emitting diode panel is gripped by the plurality of grippers rotated 180 ° downward of the organic light emitting diode panel, the vacuum adsorption device moves from the second position to the first position.
 제11 항에 있어서,
상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 180o 회전된 상기 복수의 파지부들은 상기 유기발광다이오드 패널이 상기 검사부에 밀착되도록 이동하는 진공 흡착 장치.
12. The method of claim 11,
The plurality of grippers rotated by 180 ° downward of the organic light emitting diode panel are vacuum adsorbed to move the organic light emitting diode panel in close contact with the inspection unit.
 제12 항에 있어서,
상기 유기발광다이오드 패널이 밀착된 상기 검사부는, 상기 유기발광다이오드 패널 간의 진공 흡착을 통해 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치.
13. The method of claim 12,
The inspection unit to which the organic light emitting diode panel is closely attached is a vacuum adsorption device for inspecting the organic light emitting diode panel through vacuum adsorption between the organic light emitting diode panels.
 제13 항에 있어서,
상기 유기발광다이오드 패널의 검사가 완료되는 경우, 상기 이동 부재는 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동하는 진공 흡착 장치.
14. The method of claim 13,
When the inspection of the organic light emitting diode panel is completed, the moving member moves from the first position to the second position.
 제14 항에 있어서,
상기 유기발광다이오드 패널의 검사가 완료되어 상기 이동 부재가 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동되는 경우, 상기 복수의 파지부들은 상기 진공 흡착 장치의 상측 방향으로 180o 회전하는 진공 흡착 장치.
15. The method of claim 14,
When the inspection of the organic light emitting diode panel is completed and the movable member is moved from the first position to the second position, the plurality of grippers rotate 180 ° upward of the vacuum adsorption device.
 제15 항에 있어서,
상기 진공 흡착 장치의 상측 방향으로 180o 회전에 기반하여 상기 유기발광다이오드 패널이 상기 이동 부재 상에 놓여지는 경우, 상기 이동 부재가 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하는 진공 흡착 장치.
16. The method of claim 15,
When the organic light emitting diode panel is placed on the movable member based on a 180 ° upward rotation of the vacuum suction device, the movable member moves from the second position to the first position.
 유기발광다이오드 패널을 검사하는 진공 흡착 장치의 방법에 있어서,
이동 부재가, 상기 유기발광다이오드 패널을 제1 위치에서 상기 진공 흡착 장치의 하측의 제2 위치로 이동시키는 과정;
상기 진공 흡착 장치의 상측에 연결된 복수의 파지부들이, 상기 제2 위치에 위치한 상기 유기발광다이오드 패널의 하측 방향으로 회전하여 상기 유기발광다이오드 패널을 지지하는 과정; 및
상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 검사부가, 상기 복수의 파지부들이 상기 진공 흡착 장치의 방향으로의 이동에 기반하여, 상기 유기발광다이오드 패널을 검사하는 과정을 포함하며,
상기 진공 흡착 장치의 하측의 제2 위치로 이동시키는 과정은,
상기 이동 부재는 상기 제2 위치로 이동된 상기 유기발광다이오드 패널을 상기 검사부에 밀착되도록 상기 검사부가 위치한 상측 방향으로 이동시키는 과정을 포함하는 방법.
In the method of the vacuum adsorption device for inspecting the organic light emitting diode panel,
moving, by a moving member, the organic light emitting diode panel from a first position to a second position below the vacuum adsorption device;
rotating the plurality of grippers connected to the upper side of the vacuum adsorption device in a downward direction of the organic light emitting diode panel positioned at the second position to support the organic light emitting diode panel; and
a process of inspecting the organic light emitting diode panel by an inspection unit inspecting the organic light emitting diode panel, based on the movement of the plurality of gripping units in the direction of the vacuum adsorption device,
The process of moving to a second position below the vacuum adsorption device,
and moving, by the moving member, the organic light emitting diode panel moved to the second position in an upward direction where the inspection unit is located so as to be in close contact with the inspection unit.
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