KR102387525B1 - Oscillation nozzle apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 노즐의 분사 각도를 조절하기 위한 장치의 구성을 간소화함과 아울러 노즐의 분사 각도를 용이하게 조절할 수 있는 오실레이션 노즐 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 구현하기 위한 본 발명은, 회전 구동력을 제공하는 모터(110); 상기 모터(110)의 회전축(111)이 결합되는 회전축 구멍(121)과, 상기 회전축 구멍(121)과 편심된 위치에 배치되어 고정핀(131)이 선택적으로 삽입되는 복수의 구멍(122,123,124,125)이 형성된 각도조절부재(120); 상기 고정핀(131)에 의해 일측단이 상기 각도조절부재(120)에 연결되고, 타측단에는 제1힌지축(141)이 연결된 제1링크(130); 상기 제1힌지축(141)에 일측단이 연결되며 수평방향으로 연장되고, 제2힌지축(142)이 일정간격으로 연결된 제2링크(140); 상기 제2힌지축(142)에 상단이 연결되며 하방향으로 연장된 제3링크(150); 상기 제3링크(150)의 하단에 결합되고, 처리유체가 공급되는 노즐관(160); 상기 노즐관(160)에 길이방향을 따라 이격되며 복수로 구비되어 처리유체를 분사하는 노즐(170);을 포함하되, 상기 각도조절부재(120)에 형성된 회전축 구멍(121)과 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 상기 제1힌지축(141)을 중심으로 하는 상기 제1링크(130)에 결합되는 고정핀(131)의 회전궤적(C1) 상에 위치하도록 배치된 것을 특징으로 한다.An object of the present invention is to provide an oscillation nozzle device capable of easily adjusting the spraying angle of the nozzle while simplifying the configuration of the device for adjusting the spraying angle of the nozzle.
The present invention for implementing this, the motor 110 for providing a rotational driving force; The rotation shaft hole 121 to which the rotation shaft 111 of the motor 110 is coupled, and the rotation shaft hole 121 and a plurality of holes 122, 123, 124, and 125 arranged at an eccentric position and into which the fixing pin 131 is selectively inserted. The formed angle adjustment member 120; a first link 130 having one end connected to the angle adjusting member 120 by the fixing pin 131 and a first hinge shaft 141 connected to the other end; a second link 140 having one end connected to the first hinge shaft 141 and extending in the horizontal direction, and to which the second hinge shaft 142 is connected at regular intervals; a third link 150 having an upper end connected to the second hinge shaft 142 and extending downwardly; a nozzle pipe 160 coupled to the lower end of the third link 150 and supplied with a processing fluid; A plurality of nozzles 170 spaced apart along the longitudinal direction of the nozzle tube 160 and spraying the processing fluid, including, a rotation shaft hole 121 formed in the angle adjusting member 120 and a plurality of holes ( 122,123,124,125 are characterized in that they are disposed on the rotational trajectory C1 of the fixing pin 131 coupled to the first link 130 with the first hinge shaft 141 as the center.

Description

오실레이션 노즐 장치{Oscillation nozzle apparatus}Oscillation nozzle apparatus

본 발명은 오실레이션 노즐 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판 처리용 유체를 분사하는 노즐의 요동 각도 조절이 용이한 오실레이션 노즐 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an oscillation nozzle apparatus, and more particularly, to an oscillation nozzle apparatus in which it is easy to adjust a swing angle of a nozzle for spraying a substrate processing fluid.

일반적으로 에칭 공정은 리소그래피 공정과 함께 기판 표면의 미세가공을 위해 사용된다. 에칭 방법 중 습식 에칭은 에칭하고자 하는 막과 화학적으로 반응하여 용해시킬 수 있는 에칭액(이하, ‘처리유체’라 칭함)을 사용하여 에칭하고자 하는 소재를 원하는 형상으로 에칭하는 방법이다.In general, an etching process is used for microfabrication of a substrate surface in conjunction with a lithography process. Among the etching methods, wet etching is a method of etching a material to be etched into a desired shape using an etchant (hereinafter, referred to as a ‘processing fluid’) that can be dissolved by chemical reaction with the film to be etched.

이러한 에칭 공정에는 처리 대상 기판의 표면에 처리유체를 고르게 분사시켜 균일한 에칭면을 얻을 수 있도록 하기 위해 처리유체를 분사하는 노즐이 소정 각도 범위에서 양방향으로 요동되도록 하는 오실레이션 노즐 장치가 구비된다.In this etching process, an oscillation nozzle device is provided so that the nozzle for spraying the processing fluid is oscillated in both directions within a predetermined angle range in order to obtain a uniform etching surface by evenly spraying the processing fluid on the surface of the substrate to be processed.

이와 관련된 선행기술의 일례로서, 등록실용신안 제20-0442580호에는, 오실레이션 회동수단에 의해 스윙되며 하나 이상의 노즐을 구비하는 매니폴드의 높이와 좌우 위치의 조정이 가능한 스윙 오실레이션 방식의 에칭 매니폴드 구조가 나타나 있다. As an example of the related prior art, in Utility Model Registration No. 20-0442580, there is a swing oscillation type etching manifold that swings by an oscillation rotation means and can adjust the height and left and right positions of a manifold including one or more nozzles. The fold structure is shown.

선행기술의 다른 예로서, 등록특허 제10-0958196호에는, 모터의 회전운동이 캠 또는 크랭크의 구성을 갖는 동력전달부재에 의해 왕복 또는 요동 운동으로 변환되어 다수의 분사노즐을 갖는 노즐부에 전달되도록 구성된 오실레이션 노즐 장치가 나타나 있다.As another example of the prior art, in Patent Registration No. 10-0958196, the rotational motion of the motor is converted into a reciprocating or oscillating motion by a power transmission member having a cam or crank configuration and transmitted to a nozzle unit having a plurality of injection nozzles. An oscillation nozzle arrangement configured to be such is shown.

선행기술의 또 다른 예로서, 등록실용신안 제20-0345186호에는, 모터에 의해 회전하는 캠의 회전운동을 진동로드의 왕복운동으로 전환시켜 전달되도록 상기 캠과 진동로드를 연결하는 연결수단을 포함하는 분사각 조절수단이 구비된 습식에칭장치가 나타나 있다.As another example of the prior art, Utility Model Registration No. 20-0345186 includes a connection means for connecting the cam and the vibrating rod so that the rotational motion of the cam rotated by the motor is converted into the reciprocating motion of the vibrating rod and transmitted. There is shown a wet etching apparatus equipped with a spray angle adjusting means.

그러나, 상기 등록실용신안 제20-0442580호와 등록특허 제10-0958196호에는 노즐이 요동하는 분사 각도를 임의로 조절하기 위한 구성을 포함하고 있지 않고, 상기 등록실용신안 제20-0345186호에는 노즐의 분사 각도를 조절하기 위한 연결수단에 구비되는 링크의 개수가 과다하여 장치의 구성이 복잡한 문제가 있다. However, the registered utility model No. 20-0442580 and the registered patent No. 10-0958196 do not include a configuration for arbitrarily adjusting the spray angle at which the nozzle swings, and the registered utility model No. 20-0345186 includes the nozzle of the nozzle. There is a problem in that the configuration of the device is complicated because the number of links provided in the connection means for adjusting the injection angle is excessive.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 노즐의 분사 각도를 조절하기 위한 장치의 구성을 간소화함과 아울러 노즐의 분사 각도를 용이하게 조절할 수 있는 오실레이션 노즐 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an oscillation nozzle device capable of easily adjusting the spraying angle of the nozzle while simplifying the configuration of the device for adjusting the spraying angle of the nozzle There is this.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 오실레이션 노즐 장치(100)는, 회전 구동력을 제공하는 모터(110); 상기 모터(110)의 회전축(111)이 결합되는 회전축 구멍(121)과, 상기 회전축 구멍(121)과 편심된 위치에 배치되어 고정핀(131)이 선택적으로 삽입되는 복수의 구멍(122,123,124,125)이 형성된 각도조절부재(120); 상기 고정핀(131)에 의해 일측단이 상기 각도조절부재(120)에 연결되고, 타측단에는 제1힌지축(141)이 연결된 제1링크(130); 상기 제1힌지축(141)에 일측단이 연결되며 수평방향으로 연장되고, 제2힌지축(142)이 일정간격으로 연결된 제2링크(140); 상기 제2힌지축(142)에 상단이 연결되며 하방향으로 연장된 제3링크(150); 상기 제3링크(150)의 하단에 결합되고, 처리유체가 공급되는 노즐관(160); 상기 노즐관(160)에 길이방향을 따라 이격되며 복수로 구비되어 처리유체를 분사하는 노즐(170);을 포함하되, 상기 각도조절부재(120)에 형성된 회전축 구멍(121)과 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 상기 제1힌지축(141)을 중심으로 하는 상기 제1링크(130)에 결합되는 고정핀(131)의 회전궤적(C1) 상에 위치하도록 배치된 것을 특징으로 한다.The oscillation nozzle device 100 of the present invention for realizing the object as described above, the motor 110 for providing a rotational driving force; A plurality of holes (122, 123, 124, 125) disposed at an eccentric position with the rotation shaft hole 121 and the rotation shaft hole 121 to which the rotation shaft 111 of the motor 110 is coupled and into which the fixing pin 131 is selectively inserted. The formed angle adjustment member 120; a first link 130 having one end connected to the angle adjusting member 120 by the fixing pin 131 and a first hinge shaft 141 connected to the other end thereof; a second link 140 having one end connected to the first hinge shaft 141 and extending in the horizontal direction, and to which the second hinge shaft 142 is connected at regular intervals; a third link 150 having an upper end connected to the second hinge shaft 142 and extending downwardly; a nozzle pipe 160 coupled to the lower end of the third link 150 and supplied with a processing fluid; A plurality of nozzles 170 spaced apart along the longitudinal direction of the nozzle tube 160 and spraying the processing fluid, including, a rotation shaft hole 121 formed in the angle adjusting member 120 and a plurality of holes ( 122,123,124,125 are characterized in that they are disposed on the rotational trajectory C1 of the fixing pin 131 coupled to the first link 130 with the first hinge shaft 141 as the center.

상기 회전축 구멍(121)의 중심(121a)으로부터 상기 복수의 구멍(122,123,124,125)의 각 중심 간의 거리는, 설정하고자 하는 상기 노즐(170)의 요동 각도일 때의 상기 제2링크(140)의 일측 수평이동 거리와 대응되도록 설정될 수 있다.Horizontal movement of one side of the second link 140 when the distance between the centers of the plurality of holes 122, 123, 124, and 125 from the center 121a of the rotation shaft hole 121 is the swing angle of the nozzle 170 to be set It may be set to correspond to the distance.

상기 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 제1힌지축(141)의 중심(141a)을 회전중심으로 하는 상기 제1링크(130)에 결합되는 고정핀(131)의 중심의 회전궤적(C1)과, 상기 회전축 구멍(121)의 중심(121a)을 회전중심으로 하여 설정하고자 하는 상기 노즐(170)의 요동 각도일 때의 상기 제2링크(140)의 일측 수평이동 거리를 반지름으로 하는 회전궤적(C2)이 교차하는 지점에 형성될 수 있다.The plurality of holes (122, 123, 124, 125), the rotation locus C1 of the center of the fixing pin 131 coupled to the first link 130 with the center 141a of the first hinge shaft 141 as the center of rotation and , a rotation locus in which the horizontal movement distance of one side of the second link 140 is the radius when the rotation angle of the nozzle 170 is set with the center 121a of the rotation shaft hole 121 as the rotation center ( C2) may be formed at the intersection point.

상기 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 상기 노즐(170)의 양방향 요동 범위가 30°, 45°, 60°, 90°인 경우에 각각 대응되는 제1구멍(122), 제2구멍(123), 제3구멍(124), 제4구멍(125)으로 이루어질 수 있다.The plurality of holes (122, 123, 124, 125), the first hole 122, the second hole 123, respectively corresponding to the case in which the bidirectional swing range of the nozzle 170 is 30 °, 45 °, 60 °, 90 °, The third hole 124 and the fourth hole 125 may be formed.

상기 각도조절부재(120)에는, 상기 회전축 구멍(121)을 기준으로, 일측에는 상기 제1구멍(122)과 제3구멍(124)이 형성되고, 타측에는 상기 제2구멍(123)과 제4구멍(125)이 형성될 수 있다. In the angle adjusting member 120, the first hole 122 and the third hole 124 are formed on one side with respect to the rotation shaft hole 121, and the second hole 123 and the second hole 124 are formed on the other side. Four holes 125 may be formed.

본 발명에 따른 오실레이션 노즐 장치에 의하면, 각도조절부재에 회전축 구멍과 노즐의 요동 각도에 대응하는 복수의 구멍을 제1힌지축을 중심으로 하는 제1링크에 결합되는 고정핀의 회전궤적 상에 위치하도록 배치함으로써, 노즐의 분사 각도를 조절하기 위한 연결 링크의 개수를 줄여 장치의 구성을 간소화할 수 있다. According to the oscillation nozzle device according to the present invention, a plurality of holes corresponding to the rotation shaft hole and the swing angle of the nozzle in the angle adjusting member are located on the rotation trajectory of the fixing pin coupled to the first link with the first hinge axis as the center. By disposing to do so, it is possible to simplify the configuration of the device by reducing the number of connection links for adjusting the spraying angle of the nozzle.

또한 설정하고자 하는 노즐의 요동 각도에 대응하여 고정핀을 복수의 구멍 중 어느 하나에 선택적으로 삽입하여 체결함으로써 노즐의 분사 각도를 용이하게 조절할 수 있다.In addition, it is possible to easily adjust the spray angle of the nozzle by selectively inserting and fastening the fixing pin into any one of the plurality of holes in response to the swing angle of the nozzle to be set.

도 1은 본 발명에 따른 오실레이션 노즐 장치(100)의 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 ‘A’부분의 확대 사시도,
도 3은 각도조절부재(120)의 정면도,
도 4는 노즐(170)의 분사 각도에 대응하여 각도조절부재(120)에 각도 조절용 구멍(122,123,124,125)의 위치를 설정하기 위한 방법을 설명하기 위한 도면,
도 5의 (a) 내지 (d)는 본 발명에 따른 오실레이션 노즐 장치(100)의 동작 상태도.1 is a perspective view of an oscillation nozzle device 100 according to the present invention;
2 is an enlarged perspective view of part 'A' shown in FIG. 1;
3 is a front view of the angle adjusting member 120,
4 is a view for explaining a method for setting the position of the angle adjustment hole (122, 123, 124, 125) in the angle adjustment member 120 in response to the injection angle of the nozzle 170,
5 (a) to (d) are operational state diagrams of the oscillation nozzle device 100 according to the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 오실레이션 노즐 장치(100)는, 회전 구동력을 제공하는 모터(110)와, 상기 모터(110)의 회전축(111)에 결합되어 회전운동하는 간격조절부재(120)와, 상기 간격조절부재(120)에 연결되어 회전운동을 병진운동으로 변환하는 제1링크(130)와, 상기 제1링크(130)에 연결되어 좌우방향으로 병진운동하는 제2링크(140)와, 상기 제2링크(140)의 병진운동에 연동하여 요동운동하는 제3링크(150)와, 상기 제3링크(150)와 일체로 요동운동하는 노즐관(160)과, 상기 노즐관(160)의 하부에 구비되어 처리유체를 분사하는 복수의 노즐(170)과, 상기 노즐관(160)의 양단이 회전 가능하게 지지되는 노즐관 지지대(180)와, 상기 노즐관(160)에 처리유체를 공급하는 처리유체 공급관(190) 및 상기 처리유체 공급관(190)에서 분기되어 상기 노즐관(160)에 처리유체를 공급하는 처리유체 분배관(191)을 포함한다.1 to 3 , the oscillation nozzle device 100 according to an embodiment of the present invention is coupled to a motor 110 providing a rotational driving force and a rotation shaft 111 of the motor 110 , A gap adjusting member 120 that rotates, a first link 130 connected to the gap adjusting member 120 to convert a rotational motion into a translational motion, and a first link 130 connected to the first link 130 in the left and right direction A second link 140 that moves in translation, a third link 150 that swings in association with the translation motion of the second link 140 , and a nozzle tube that swings integrally with the third link 150 . 160, a plurality of nozzles 170 provided under the nozzle tube 160 for spraying a processing fluid, and a nozzle tube support 180 on which both ends of the nozzle tube 160 are rotatably supported; , a processing fluid supply pipe 190 for supplying the processing fluid to the nozzle pipe 160 and a processing fluid distribution pipe 191 branching from the processing fluid supply pipe 190 to supply the processing fluid to the nozzle pipe 160 . include

상기 각도조절부재(120)는, 모터(110)의 회전축(111)이 결합되는 회전축 구멍(121)과, 상기 회전축 구멍(121)과 편심된 위치에 배치되어 고정핀(131)이 선택적으로 삽입되는 복수의 구멍(122,123,124,125)을 포함한다.The angle adjustment member 120 is disposed at an eccentric position with the rotation shaft hole 121 to which the rotation shaft 111 of the motor 110 is coupled, and the rotation shaft hole 121, so that the fixing pin 131 is selectively inserted and a plurality of holes 122 , 123 , 124 , and 125 .

상기 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 설정하고자 하는 노즐(170)의 요동 각도의 크기에 대응하여 회전축 구멍(121)을 기준으로 편심된 길이가 서로 달리 설정된다. 일실시예로, 상기 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 노즐(170)의 양방향 요동 범위가 30°, 45°, 60°, 90°인 경우에 각각 대응되는 제1구멍(122), 제2구멍(123), 제3구멍(124), 제4구멍(125)으로 이루어질 수 있다.The plurality of holes 122 , 123 , 124 , and 125 have different eccentric lengths based on the rotation shaft hole 121 in response to the size of the swing angle of the nozzle 170 to be set. In an embodiment, the plurality of holes 122 , 123 , 124 , and 125 have a first hole 122 , a second hole corresponding to the case where the bidirectional swing range of the nozzle 170 is 30°, 45°, 60°, and 90°, respectively. 123 , a third hole 124 , and a fourth hole 125 may be formed.

이 경우 상기 회전축 구멍(121)을 기준으로, 일측에는 상기 제1구멍(122)과 제3구멍(124)이 형성되고, 타측에는 상기 제2구멍(123)과 제4구멍(125)이 형성될 수 있다. 이와 같이 각도조절부재(120)의 중간부에 회전축 구멍(121)을 형성하고, 그 양측으로 제1 내지 제4구멍(122,123,124,125)을 교대로 형성함으로써, 각 구멍(122,123,124,125)을 서로 중첩되지 않도록 여유 있는 간격으로 형성할 수 있게 된다. 상기 제1 내지 제4구멍(122,123,124,125)에는 설정하고자 하는 노즐(170)의 요동 각도의 크기에 대응하여 고정핀(131)이 선택적으로 삽입된다. In this case, based on the rotation shaft hole 121, the first hole 122 and the third hole 124 are formed on one side, and the second hole 123 and the fourth hole 125 are formed on the other side. can be In this way, by forming the rotation shaft hole 121 in the middle part of the angle adjusting member 120, and alternately forming the first to fourth holes 122, 123, 124, 125 on both sides thereof, the respective holes 122, 123, 124, 125 are spaced so as not to overlap each other. It can be formed at an interval. A fixing pin 131 is selectively inserted into the first to fourth holes 122 , 123 , 124 , and 125 according to the size of the swing angle of the nozzle 170 to be set.

미설명부호 126은 상기 회전축 구멍(121)에 삽입되는 회전축(111)을 고정하기 위한 체결부재를 나타낸 것이다.Unexplained reference numeral 126 denotes a fastening member for fixing the rotation shaft 111 inserted into the rotation shaft hole 121 .

상기 제1링크(130)의 일측단은 고정핀(131)에 의해 각도조절부재(120)에 연결되고, 제1링크(130)의 타측단에는 제1힌지축(141)이 연결된다.One end of the first link 130 is connected to the angle adjusting member 120 by a fixing pin 131 , and the other end of the first link 130 is connected to a first hinge shaft 141 .

상기 제2링크(140)의 일측단은 상기 제1힌지축(141)에 의해 제1링크(130)의 타측단과 연결되고, 수평방향으로 연장된 상기 제2링크(140)에는 길이방향을 따라 일정간격으로 다수개의 제2힌지축(142)이 연결된다.One end of the second link 140 is connected to the other end of the first link 130 by the first hinge shaft 141, and the second link 140 extending in the horizontal direction has a lengthwise direction. A plurality of second hinge shafts 142 are connected at regular intervals.

상기 제3링크(150)의 상단은 상기 제2힌지축(142)에 의해 제2링크(140)와 연결되고, 하방향으로 연장된 제3링크(150)의 하단에는 노즐관(160)이 수평방향으로 결합된다. 상기 노즐관(160)의 하부에는 길이방향을 따라 일정간격으로 다수개의 노즐(170)이 구비되어 노즐관(160)을 통하여 공급되는 처리유체를 기판(미도시됨)을 향하여 분사하게 된다.The upper end of the third link 150 is connected to the second link 140 by the second hinge shaft 142, and the nozzle tube 160 is disposed at the lower end of the third link 150 extending downward. connected in the horizontal direction. A plurality of nozzles 170 are provided under the nozzle tube 160 at regular intervals along the longitudinal direction to spray the processing fluid supplied through the nozzle tube 160 toward the substrate (not shown).

상기 노즐관(160)은, 그 양단이 양측으로 구비된 노즐관 지지대(180)에 회전 가능하도록 지지되어 제자리에서 설정된 각도 만큼 요동 가능하도록 구비된다.The nozzle tube 160 is rotatably supported by the nozzle tube support 180 provided on both ends of the nozzle tube 160 so as to be able to swing by an angle set in place.

도 3과 도 4를 참조하면, 상기 길이조절부재(120)에 형성된 회전축 구멍(121)과 제1 내지 제4구멍(122,123,124,125)은, 상기 제1힌지축(141)을 중심으로 하는 상기 제1링크(130)에 결합되는 고정핀(131)의 회전궤적(C1) 상에 위치하도록 배치된다. Referring to FIGS. 3 and 4 , the rotation shaft hole 121 and the first to fourth holes 122 , 123 , 124 , and 125 formed in the length adjusting member 120 have the first hinge shaft 141 as the center. It is disposed so as to be positioned on the rotation trajectory C1 of the fixing pin 131 coupled to the link 130 .

이러한 구성에 의하면, 상기 제1힌지축(141)으로부터 상기 회전축 구멍(121)과 제1 내지 제4구멍(122,123,124,125)까지의 거리는 모두 동일하게 되므로, 고정핀(131)이 제1 내지 제4구멍(122,123,124,125) 중 어디에 삽입되더라도 제1링크(130)의 길이를 가변시킬 필요 없이 노즐(170)의 초기 세팅 위치를 일정하게 설정할 수 있게 된다.According to this configuration, since the distances from the first hinge shaft 141 to the rotation shaft hole 121 and the first to fourth holes 122, 123, 124, and 125 are all the same, the fixing pin 131 is installed in the first to fourth holes. (122, 123, 124, 125) It is possible to constantly set the initial setting position of the nozzle 170 without having to change the length of the first link 130 no matter where it is inserted.

도 4와 도 5를 참조하여, 설정하고자 하는 노즐(170)의 분사 각도가 60°인 경우를 예로들어 각도조절부재(120)에 분사 각도 60°에 대응되는 제3구멍(124)의 위치를 설정하는 방법을 설명한다.4 and 5, for example, when the spray angle of the nozzle 170 to be set is 60 °, the position of the third hole 124 corresponding to the spray angle of 60 ° in the angle adjusting member 120 is determined. Here's how to set it up.

먼저, 제1힌지축(141)의 중심(141a)을 회전중심으로 하여 제1링크(130)에 결합되는 고정핀(131)의 중심의 회전궤적(C1)을 그린다.First, a rotation locus C1 of the center of the fixing pin 131 coupled to the first link 130 is drawn with the center 141a of the first hinge shaft 141 as the rotation center.

다음으로, 상기 회전축 구멍(121)의 중심(121a)을 회전중심으로 하여 설정하고자 하는 노즐(170)의 요동 각도, 즉 60°일 때의 제2링크(140)의 일측 수평이동 거리(L)를 반지름으로 하는 회전궤적(C2)을 그린다.Next, the horizontal movement distance (L) of one side of the second link 140 when the rotation angle of the nozzle 170 to be set with the center 121a of the rotation shaft hole 121 as the rotation center, that is, 60° Draw a rotation trajectory (C2) with a radius of .

그리고, 상기 두 개의 회전궤적(C1,C2)이 교차하는 두 개의 지점 중 어느 한 곳을 제3구멍(124)의 중심(124a)으로 하여 제3구멍(124)을 고정핀(131)과 대응되는 크기로 형성한다.In addition, the third hole 124 corresponds to the fixing pin 131 by using any one of the two points where the two rotational trajectories C1 and C2 intersect as the center 124a of the third hole 124 . formed to a size that

상기에서는 노즐(170)의 요동 각도가 60°인 경우를 예로 들었으나, 요동 각도가 30°, 45°, 90°인 경우에도 이와 동일한 원리로 제1구멍(122)과 제2구멍(123) 및 제4구멍(125)의 위치를 설정할 수 있다.In the above, the case where the swing angle of the nozzle 170 is 60° is taken as an example, but even when the swing angles are 30°, 45°, and 90°, the first hole 122 and the second hole 123 are similar to the same principle. and a position of the fourth hole 125 may be set.

이 경우, 상기 회전축 구멍(121)의 중심(121a)으로부터 상기 복수의 구멍(122,123,124,125)의 각 중심 간의 거리는, 설정하고자 하는 노즐(170)의 요동 각도일 때의 상기 제2링크(140)의 일측 방향의 수평이동 거리(L)와 대응되도록 설정될 수 있다.In this case, the distance between the respective centers of the plurality of holes 122 , 123 , 124 , and 125 from the center 121a of the rotation shaft hole 121 is the swing angle of the nozzle 170 to be set. One side of the second link 140 . It may be set to correspond to the horizontal movement distance L in the direction.

도 1과 도 5를 참조하면, 모터(110)의 구동 시, 모터(110)의 회전축(111)에 결합된 각도조절부재(120)는 회전운동하게 된다. 1 and 5 , when the motor 110 is driven, the angle adjusting member 120 coupled to the rotation shaft 111 of the motor 110 rotates.

이때, 제1링크(130)는 각도조절부재(120)의 회전운동을 병진운동으로 변환하여 제2링크(140)에 전달하되, 각도조절부재(120)에 형성된 복수의 구멍(122,123,124,125) 중 고정핀(131)이 삽입되는 위치에 따라서 제2링크(140)가 좌우방향으로 병진 이동하는 길이가 달라지게 된다. At this time, the first link 130 converts the rotational motion of the angle adjusting member 120 into a translational motion and transmits it to the second link 140 , but is fixed among the plurality of holes 122 , 123 , 124 , 125 formed in the angle adjusting member 120 . The length at which the second link 140 is translated in the left and right direction is changed according to the position where the pin 131 is inserted.

이는 각도조절부재(120)의 회전축 구멍(121)으로부터 고정핀(131)이 삽입될 각 구멍(122,123,124,125)까지의 거리가 상이하기 때문이다.This is because the distances from the rotation shaft hole 121 of the angle adjusting member 120 to the respective holes 122 , 123 , 124 , and 125 into which the fixing pin 131 is to be inserted are different.

상기 제2링크(140)의 좌우방향의 병진운동에 연동하여, 제3링크(150)는 노즐관(160)과 일체로 요동운동하게 되고, 노즐관(160)의 하부에 구비된 노즐(170)에서는 처리유체(C)를 기판(미도시됨)을 향하여 분사하며 기판 처리 공정이 수행된다.Interlocking with the translational movement in the left and right direction of the second link 140 , the third link 150 oscillates integrally with the nozzle tube 160 , and the nozzle 170 provided in the lower part of the nozzle tube 160 . ), the processing fluid (C) is sprayed toward the substrate (not shown), and the substrate processing process is performed.

상기와 같이 본 발명에서는 각도조절부재(120)에 회전축 구멍(121)과 설정하고자 하는 노즐(170)의 요동 각도에 대응하는 복수의 구멍(122,123,124,125)을 제1힌지축(141)을 중심으로 하는 제1링크(141)에 결합되는 고정핀(131)의 회전궤적 상에 위치하도록 배치함으로써, 노즐(170)의 분사 각도를 조절하기 위한 연결 링크들(130,140,150)의 개수를 줄여 장치의 구성을 간소화할 수 있다. As described above, in the present invention, the rotation shaft hole 121 in the angle adjusting member 120 and the plurality of holes 122,123,124,125 corresponding to the swing angle of the nozzle 170 to be set are the first hinge shaft 141 as the center. By arranging to be positioned on the rotational trajectory of the fixing pin 131 coupled to the first link 141, the number of connection links 130, 140, and 150 for adjusting the spraying angle of the nozzle 170 is reduced to simplify the configuration of the device. can do.

또한, 설정하고자 하는 노즐(170)의 요동 각도에 대응하여 고정핀(131)을 복수의 구멍(122,123,124,125) 중 어느 하나에 선택적으로 삽입하여 체결함으로써 노즐(170)의 분사 각도를 용이하게 조절할 수 있다.In addition, the injection angle of the nozzle 170 can be easily adjusted by selectively inserting and fastening the fixing pin 131 into any one of the plurality of holes 122,123,124,125 in response to the swing angle of the nozzle 170 to be set. .

100 : 오실레이션 노즐 장치 110 : 모터
111 : 회전축 120 : 각도조절부재
121 : 회전축 구멍 122 : 제1구멍
123 : 제2구멍 124 : 제3구멍
125 : 제4구멍 126 : 체결부재
130 : 제1링크 131 : 고정핀
140 : 제2링크 141 : 제1힌지축
142 : 제2힌지축 150 : 제3링크
160 : 노즐관 170 : 노즐
180 : 노즐관 지지대 190 : 처리유체 공급관
191 : 처리유체 분배관100: oscillation nozzle device 110: motor
111: rotation shaft 120: angle adjustment member
121: rotation shaft hole 122: first hole
123: second hole 124: third hole
125: fourth hole 126: fastening member
130: first link 131: fixing pin
140: second link 141: first hinge shaft
142: second hinge shaft 150: third link
160: nozzle tube 170: nozzle
180: nozzle pipe support 190: treatment fluid supply pipe
191: treatment fluid distribution pipe

Claims (5)

기판 상에 처리유체를 분사하는 노즐의 요동 각도를 조절하기 위한 오실레이션 노즐 장치에 있어서,
회전 구동력을 제공하는 모터(110);
상기 모터(110)의 회전축(111)이 결합되는 회전축 구멍(121)과, 상기 회전축 구멍(121)과 편심된 위치에 배치되어 고정핀(131)이 선택적으로 삽입되는 복수의 구멍(122,123,124,125)이 형성된 각도조절부재(120);
상기 고정핀(131)에 의해 일측단이 상기 각도조절부재(120)에 연결되고, 타측단에는 제1힌지축(141)이 연결된 제1링크(130);
상기 제1힌지축(141)에 일측단이 연결되며 수평방향으로 연장되고, 제2힌지축(142)이 일정간격으로 연결된 제2링크(140);
상기 제2힌지축(142)에 상단이 연결되며 하방향으로 연장된 제3링크(150);
상기 제3링크(150)의 하단에 결합되고, 처리유체가 공급되는 노즐관(160);
상기 노즐관(160)에 길이방향을 따라 이격되며 복수로 구비되어 처리유체를 분사하는 노즐(170);을 포함하되,
상기 각도조절부재(120)에 형성된 회전축 구멍(121)과 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 상기 제1힌지축(141)을 중심으로 하는 상기 제1링크(130)에 결합되는 고정핀(131)의 회전궤적(C1) 상에 위치하도록 배치된 것을 특징으로 하는 오실레이션 노즐 장치.
An oscillation nozzle device for adjusting a swing angle of a nozzle that sprays a processing fluid on a substrate, the oscillation nozzle device comprising:
a motor 110 providing rotational driving force;
The rotation shaft hole 121 to which the rotation shaft 111 of the motor 110 is coupled, and the rotation shaft hole 121 and a plurality of holes 122, 123, 124, and 125 arranged at an eccentric position and into which the fixing pin 131 is selectively inserted. The formed angle adjustment member 120;
a first link 130 having one end connected to the angle adjusting member 120 by the fixing pin 131 and a first hinge shaft 141 connected to the other end;
a second link 140 having one end connected to the first hinge shaft 141 and extending in the horizontal direction, and to which the second hinge shaft 142 is connected at regular intervals;
a third link 150 having an upper end connected to the second hinge shaft 142 and extending downwardly;
a nozzle pipe 160 coupled to the lower end of the third link 150 and supplied with a processing fluid;
The nozzle tube 160 is spaced apart along the longitudinal direction and provided with a plurality of nozzles 170 for spraying the treatment fluid; including,
The rotation shaft hole 121 and the plurality of holes 122,123,124,125 formed in the angle adjusting member 120 are fixed pins 131 coupled to the first link 130 with the first hinge shaft 141 as the center. Oscillation nozzle device, characterized in that it is disposed on the rotation trajectory (C1) of the.
 제1항에 있어서,
상기 회전축 구멍(121)의 중심(121a)으로부터 상기 복수의 구멍(122,123,124,125)의 각 중심 간의 거리는, 설정하고자 하는 상기 노즐(170)의 요동 각도일 때의 상기 제2링크(140)의 일측 수평이동 거리와 대응되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 오실레이션 노즐 장치.
According to claim 1,
The distance between the centers of the plurality of holes 122 , 123 , 124 , and 125 from the center 121a of the rotation shaft hole 121 is a horizontal movement of one side of the second link 140 when the rotation angle of the nozzle 170 is to be set. Oscillation nozzle device, characterized in that it is set to correspond to the distance.
 제1항에 있어서,
상기 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 상기 제1힌지축(141)의 중심(141a)을 회전중심으로 하는 상기 제1링크(130)에 결합되는 고정핀(131)의 중심의 회전궤적(C1)과, 상기 회전축 구멍(121)의 중심(121a)을 회전중심으로 하여 설정하고자 하는 상기 노즐(170)의 요동 각도일 때의 상기 제2링크(140)의 일측 수평이동 거리를 반지름으로 하는 회전궤적(C2)이 교차하는 지점에 형성되는 것을 특징으로 하는 오실레이션 노즐 장치.
According to claim 1,
The plurality of holes 122 , 123 , 124 , and 125 have a rotation locus C1 of the center of the fixing pin 131 coupled to the first link 130 with the center 141a of the first hinge shaft 141 as the rotation center. And, a rotation locus in which the horizontal movement distance of one side of the second link 140 is the radius when the rotation angle of the nozzle 170 is set with the center 121a of the rotation shaft hole 121 as the rotation center. (C2) Oscillation nozzle device, characterized in that formed at the intersection point.
 제1항에 있어서,
상기 복수의 구멍(122,123,124,125)은, 상기 노즐(170)의 양방향 요동 범위가 30°, 45°, 60°, 90°인 경우에 각각 대응되는 제1구멍(122), 제2구멍(123), 제3구멍(124), 제4구멍(125)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 오실레이션 노즐 장치.
According to claim 1,
The plurality of holes (122, 123, 124, 125), the first hole 122, the second hole 123, respectively corresponding to the case in which the bidirectional swing range of the nozzle 170 is 30 °, 45 °, 60 °, 90 °, An oscillation nozzle device comprising a third hole (124) and a fourth hole (125).
 제4항에 있어서,
상기 각도조절부재(120)에는, 상기 회전축 구멍(121)을 기준으로, 일측에는 상기 제1구멍(122)과 제3구멍(124)이 형성되고, 타측에는 상기 제2구멍(123)과 제4구멍(125)이 형성된 것을 특징으로 하는 오실레이션 노즐 장치.5. The method of claim 4,
In the angle adjusting member 120, the first hole 122 and the third hole 124 are formed on one side with respect to the rotation shaft hole 121, and the second hole 123 and the second hole 124 are formed on the other side. Oscillation nozzle device, characterized in that the four holes (125) are formed.
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