JP3396139B2 - Etching equipment - Google Patents

Etching equipment

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JP3396139B2
JP3396139B2 JP33290396A JP33290396A JP3396139B2 JP 3396139 B2 JP3396139 B2 JP 3396139B2 JP 33290396 A JP33290396 A JP 33290396A JP 33290396 A JP33290396 A JP 33290396A JP 3396139 B2 JP3396139 B2 JP 3396139B2
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    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばカラー受
像管用のシャドウマスク、トリニトロン(登録商標)管
用のアパーチャグリル、半導体素子用のリードフレーム
などのエッチング製品を、フォトエッチング法を用いて
製造する場合において、主面に所定のパターンを有する
レジスト膜が形成された長尺の金属薄板に対しエッチン
グ液を供給して、金属薄板の主面の金属露出面をエッチ
ングするエッチング装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a case where an etching product such as a shadow mask for a color picture tube, an aperture grill for a Trinitron (registered trademark) tube, and a lead frame for a semiconductor element is manufactured by using a photoetching method. 2. An etching apparatus for etching an exposed metal surface of a main surface of a metal thin plate by supplying an etching solution to a long metal thin plate having a main surface on which a resist film having a predetermined pattern is formed.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラー受像管用のシャドウマスクやアパ
ーチャグリル、半導体素子用のリードフレームなどのエ
ッチング製品は、フォトエッチング法を利用して低炭素
アルミキルド鋼やインバー材などの長尺の金属薄板を加
工することにより製造される。このエッチング製品の一
連の製造工程のうち、エッチング工程では、主面に所定
のパターンを有するレジスト膜が形成された長尺の金属
薄板を、水平に支持してその長手方向へ連続的に搬送し
ながら、スプレイパイプの複数個のスプレイノズルから
金属薄板の主面へエッチング液を吹き付け、金属薄板の
主面の金属露出面をエッチングするようにする。このよ
うなエッチング処理を行うエッチング装置においては、
複数個のスプレイノズルを有するスプレイパイプを長尺
の金属薄板の長手方向に沿って配設し、そのようなスプ
レイノズルを互いに平行に金属薄板の短手方向へ複数本
並列させるようにしている。そして、各スプレイパイプ
は、その軸心線を中心として回動自在にそれぞれ支持さ
れており、スプレイパイプが往復回動することにより、
スプレイパイプに設けられた各スプレイノズルが所定の
角度範囲内でそれぞれ揺動するような構成となってい
る。このような構成により、金属薄板の主面の全面にわ
たって均一にエッチング液が供給されるようにしてい
る。
2. Description of the Related Art Etching products such as shadow masks and aperture grills for color picture tubes and lead frames for semiconductor devices are made of long carbon thin plates such as low carbon aluminum killed steel and Invar materials using photo etching. It is manufactured by In a series of manufacturing steps of this etching product, in the etching step, a long thin metal plate having a resist film having a predetermined pattern formed on its main surface is horizontally supported and continuously conveyed in its longitudinal direction. Meanwhile, an etching solution is sprayed from the plurality of spray nozzles of the spray pipe onto the main surface of the metal thin plate to etch the exposed metal surface of the main surface of the metal thin plate. In an etching apparatus that performs such an etching process,
A spray pipe having a plurality of spray nozzles is arranged along the longitudinal direction of a long thin metal plate, and a plurality of such spray nozzles are arranged in parallel in the lateral direction of the thin metal plate. Then, each spray pipe is supported rotatably around its axis, and by the reciprocating rotation of the spray pipe,
Each spray nozzle provided on the spray pipe is configured to swing within a predetermined angle range. With such a configuration, the etching liquid is uniformly supplied over the entire main surface of the thin metal plate.

【0003】スプレイパイプのスプレイノズルを揺動さ
せる揺動機構としては、特開平4−128391号公報
に開示されたように、回転駆動モータの軸回転運動をス
プレイノズルの揺動運動に変換させるものが従来から使
用されている。この揺動機構は、一般に、図4に概略図
を示すように、回転駆動モータ1と、この回転駆動モー
タ1の回転軸に中心部が固着され、回転駆動モータ1に
よって一方向に回転させられる円形カム板2と、スプレ
イノズル4を有するスプレイパイプ3に一端部が固着さ
れ、スプレイパイプ3の軸心を中心としてスプレイパイ
プ3の長さ方向と直交する面内で揺動する揺動部材5
と、この揺動部材5の他端部と円形カム板2の板面上の
連接部6とを連結して、円形カム板2の回転運動を揺動
部材5に伝達するリンク機構とから構成されている。図
4に示したリンク機構は、最も簡単な構成の例であり、
一端部が円形カム板2の連接部6に回動自在に枢着され
他端部が揺動部材5の他端部に回動自在に枢着された1
本のリンク部材7で構成されているが、通常、リンク機
構は、2本もしくはそれ以上のリンク部材を順次連結し
て構成される。図4に示したような構成の揺動機構によ
ると、回転駆動モータ1によって回転駆動される円形カ
ム板2の回転運動が、リンク部材7および揺動部材5を
介してスプレイパイプ3に伝達され、スプレイパイプ3
が往復回動してスプレイノズル4が図4に実線および二
点鎖線で示すように揺動する。
As the swing mechanism for swinging the spray nozzle of the spray pipe, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-128391, a mechanism for converting the rotational movement of the rotary drive motor into the swing movement of the spray nozzle. Has been used for a long time. As shown in the schematic view of FIG. 4, the swing mechanism generally has a central portion fixed to a rotary drive motor 1 and a rotary shaft of the rotary drive motor 1, and is rotated in one direction by the rotary drive motor 1. One end is fixed to the circular cam plate 2 and the spray pipe 3 having the spray nozzle 4, and the swing member 5 swings in a plane orthogonal to the length direction of the spray pipe 3 about the axis of the spray pipe 3.
And a link mechanism that connects the other end of the swinging member 5 and the connecting portion 6 on the plate surface of the circular cam plate 2 to transmit the rotational movement of the circular cam plate 2 to the swinging member 5. Has been done. The link mechanism shown in FIG. 4 is an example of the simplest configuration,
One end is rotatably pivoted to the connecting portion 6 of the circular cam plate 2 and the other end is pivotally pivoted to the other end of the swing member 5.
The link mechanism is composed of two link members 7, but normally the link mechanism is formed by sequentially connecting two or more link members. According to the swing mechanism having the configuration as shown in FIG. 4, the rotary motion of the circular cam plate 2 which is rotationally driven by the rotary drive motor 1 is transmitted to the spray pipe 3 via the link member 7 and the swing member 5. , Spray pipe 3
Reciprocally rotates and the spray nozzle 4 swings as shown by a solid line and a two-dot chain line in FIG.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の揺動機構のよう
に、円形カム板2の回転運動をスプレイパイプ3のスプ
レイノズル4の揺動運動に変換する機構では、製造しよ
うとするシャドウマスクの種類などに応じてスプレイノ
ズル4の揺動角度範囲を変更しようとしたとき、円形カ
ム板2の板面上に対するリンク部材7の一端部の枢着位
置を変更し、リンク部材7を長さの異なるものに交換す
る必要があり、スプレイノズル4の揺動角度範囲を所望
通りに調整するのが面倒であり、また、その揺動角度範
囲の調整精度が出にくい、といった問題点がある。この
面倒さを低減するために、リンク部材7は交換せずにリ
ンク部材7の一端部の枢着位置を円形カム板2の半径方
向の異なる位置に変更して、スプレイノズル4の揺動角
度範囲を調整する方法が考えられるが、この方法では、
以下のような問題が発生する。
In the mechanism for converting the rotational movement of the circular cam plate 2 into the oscillating movement of the spray nozzle 4 of the spray pipe 3 like the conventional oscillating mechanism, the shadow mask to be manufactured is When the swinging angle range of the spray nozzle 4 is to be changed according to the type, the pivotal position of one end of the link member 7 with respect to the plate surface of the circular cam plate 2 is changed to change the length of the link member 7. There is a problem that it is necessary to replace it with a different one, it is troublesome to adjust the swing angle range of the spray nozzle 4 as desired, and it is difficult to adjust the swing angle range. In order to reduce this trouble, the pivoting position of one end of the link member 7 is changed to a different position in the radial direction of the circular cam plate 2 without replacing the link member 7, and the swing angle of the spray nozzle 4 is changed. A method of adjusting the range is possible, but this method
The following problems occur.

【0005】スプレイノズル4の揺動角度と揺動速度と
は、正弦波特性を有するような関係となり、スプレイノ
ズル4からのエッチング液の吹出し方向が金属薄板8の
主面に対し直交する方向となる時(スプレイノズル4が
図4に実線で示した位置になる時)に、スプレイノズル
4の揺動速度が最大となり、スプレイノズル4の振れ角
が最も大きくなった時(スプレイノズル4が図4にそれ
ぞれ二点鎖線で示した位置になった時)に、スプレイノ
ズル4の揺動速度は最小(0)となる。このように、ス
プレイノズル4から吹き出されたエッチング液が金属薄
板8の主面まで到達する距離が小さいときにスプレイノ
ズル4が速く移動し、スプレイノズル4から吹き出され
たエッチング液が金属薄板8の主面まで到達する距離が
大きいときにスプレイノズル4が緩やかな速度で移動す
るため、スプレイノズル4から金属薄板8の主面へのエ
ッチング液の吹付け量がスプレイノズル4の揺動角度位
置にかかわらずほぼ均等になる。ところが、スプレイノ
ズル4の揺動速度は、その揺動方向によって異なり、こ
の結果、スプレイノズル4から金属薄板8の主面へのエ
ッチング液の吹付け量がスプレイノズル4の揺動方向に
よって異なる、といった問題点がある。この点に関し、
図5および図6に基づいてさらに詳しく説明する。
The swing angle and the swing speed of the spray nozzle 4 have a relationship having a sine wave characteristic, and the direction in which the etching solution is blown out from the spray nozzle 4 is orthogonal to the main surface of the thin metal plate 8. (When the spray nozzle 4 is at the position shown by the solid line in FIG. 4), the swing speed of the spray nozzle 4 becomes maximum, and the deflection angle of the spray nozzle 4 becomes the largest (the spray nozzle 4 becomes The swing speed of the spray nozzle 4 becomes the minimum (0) when the positions shown by the two-dot chain line in FIG. 4 are reached). In this way, when the distance that the etching liquid blown out from the spray nozzle 4 reaches the main surface of the metal thin plate 8 is small, the spray nozzle 4 moves quickly, and the etching liquid blown out from the spray nozzle 4 moves to the metal thin plate 8. Since the spray nozzle 4 moves at a slow speed when the distance to reach the main surface is large, the amount of the etching liquid sprayed from the spray nozzle 4 to the main surface of the thin metal plate 8 is at the swing angle position of the spray nozzle 4. Regardless, it becomes almost equal. However, the rocking speed of the spray nozzle 4 varies depending on the rocking direction, and as a result, the amount of the etching liquid sprayed from the spray nozzle 4 onto the main surface of the thin metal plate 8 varies depending on the rocking direction of the spray nozzle 4. There is a problem such as. In this regard,
A more detailed description will be given with reference to FIGS. 5 and 6.

【0006】円形カム板2が時計回りに回転する場合に
おいて、円形カム板2上の連接部6が図5のA位置にあ
る時、揺動部材5はE位置となり、連接部6がB位置に
ある時に揺動部材5はF位置となり、連接部6がC位置
にある時に揺動部材5はG位置となり、連接部6がD位
置にある時に揺動部材5は再びF位置となって、連接部
6および揺動部材5はそれぞれ元の位置に戻る。そし
て、揺動部材5がE位置およびG位置となった時が、ス
プレイパイプ3のスプレイノズル4の振れ角が最も大き
くなる時に対応し、揺動部材5がF位置となった時が、
スプレイノズル4からのエッチング液の吹出し方向が金
属薄板8の主面に対し直交する方向となる時に対応す
る。また、円形カム板2上の連接部6がA位置にある時
の円形カム板の回転角度を0°として、連接部6がA位
置から回転移動したときの回転角度をa°とし、連接部
6がA位置にある時の揺動部材5の揺動角度を0°とし
て、連接部6がA位置から回転移動することによって揺
動部材5が揺動したときの揺動角度をb°としたとき、
円形カム板2の回転角度a°と揺動部材5(従ってスプ
レイパイプ3のスプレイノズル4)の揺動角度b°との
関係は、図6に示したようになる。図6に示すように、
円形カム板2上連接部6がC位置へ回転移動して揺動部
材5がG位置となる時の円形カム板2の回転角度aは、
180°ではなくて、180°より大きい回転角度とな
る。この場合、円形カム板2は一定の角速度で回転して
いるので、円形カム板2上の連接部6がA位置からB位
置を経てC位置へ回転移動する時間、従って揺動部材5
がE位置からG位置へ移動する時間より、連接部6がC
位置からD位置を経てA位置へ回転移動する時間、従っ
て揺動部材5がG位置からE位置へ戻る時間の方が短い
ことになる。このため、揺動部材5の揺動速度は、E位
置からG位置へ移動する期間に比べてG位置からE位置
へ戻る期間の方が速くなり、この結果、スプレイパイプ
3のスプレイノズル4から金属薄板8の主面へのエッチ
ング液の吹付け量がスプレイノズル4の揺動方向によっ
て異なる、といった問題を生じることになるのである。
When the circular cam plate 2 rotates clockwise and the connecting portion 6 on the circular cam plate 2 is in the position A in FIG. 5, the swinging member 5 is in the E position and the connecting portion 6 is in the B position. When the connecting portion 6 is in the C position, the swinging member 5 is in the G position, when the connecting portion 6 is in the C position, and when the connecting portion 6 is in the D position, the swinging member 5 is in the F position again. , The connecting portion 6 and the swinging member 5 respectively return to their original positions. Then, when the swinging member 5 is at the E position and G position corresponds to when the swing angle of the spray nozzle 4 of the spray pipe 3 is the largest, and when the swinging member 5 is at the F position,
This corresponds to the case where the direction in which the etching liquid is blown out from the spray nozzle 4 is the direction orthogonal to the main surface of the thin metal plate 8. Further, the rotation angle of the circular cam plate when the connecting portion 6 on the circular cam plate 2 is in the A position is 0 °, and the rotation angle when the connecting portion 6 is rotationally moved from the A position is a °. When the rocking angle of the rocking member 5 when the rocking member 6 is in the A position is 0 °, the rocking angle when the rocking member 5 rocks by the rotational movement of the connecting portion 6 from the A position is b °. When I did
The relationship between the rotation angle a ° of the circular cam plate 2 and the swing angle b ° of the swing member 5 (hence, the spray nozzle 4 of the spray pipe 3) is as shown in FIG. As shown in FIG.
The rotation angle a of the circular cam plate 2 when the upper connecting portion 6 of the circular cam plate 2 is rotationally moved to the C position and the swing member 5 is in the G position is:
The rotation angle is larger than 180 ° instead of 180 °. In this case, since the circular cam plate 2 is rotating at a constant angular velocity, the time during which the connecting portion 6 on the circular cam plate 2 rotationally moves from the A position to the B position to the C position, that is, the swinging member 5
From the E position to the G position, the connecting portion 6 becomes C
The time required for the rotational movement from the position to the A position through the D position, that is, the time for the swinging member 5 to return from the G position to the E position is shorter. Therefore, the rocking speed of the rocking member 5 becomes faster in the period of returning from the G position to the E position than in the period of moving from the E position to the G position, and as a result, from the spray nozzle 4 of the spray pipe 3. This causes a problem that the amount of the etching liquid sprayed onto the main surface of the thin metal plate 8 varies depending on the swing direction of the spray nozzle 4.

【0007】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、スプレイパイプのスプレイノズルの
揺動角度範囲の調整操作が容易でかつ調整精度が高く、
また、スプレイノズルから金属薄板の主面へのエッチン
グ液の吹付け量をスプレイノズルの揺動方向にかかわら
ず同じにすることが簡単にでき、もって、スプレイパイ
プのスプレイノズルを正確に揺動させて、金属薄板の主
面の被エッチング面を均一にエッチングすることができ
るエッチング装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and the adjustment operation of the swing angle range of the spray nozzle of the spray pipe is easy and the adjustment accuracy is high,
In addition, the amount of the etching liquid sprayed from the spray nozzle to the main surface of the thin metal plate can be easily made the same regardless of the swing direction of the spray nozzle, so that the spray nozzle of the spray pipe can be accurately swung. Therefore, an object of the present invention is to provide an etching apparatus capable of uniformly etching the surface to be etched of the main surface of the thin metal plate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
主面に所定のパターンを有するレジスト膜が形成された
長尺の金属薄板を、水平に支持しながらその長手方向へ
搬送する搬送手段と、金属薄板の長手方向に沿って配設
され、金属薄板の主面へエッチング液を吹き付けるスプ
レイノズルを有し、そのスプレイノズルが金属薄板の長
手方向と直交する方向に沿って揺動するように回動自在
に支持されたスプレイパイプと、このスプレイノズルを
往復回動させて前記スプレイノズルを揺動させる揺動機
構とを備えたエッチング装置において、前記揺動機構を
次のように構成したことを特徴とする。すなわち、一端
部が前記スプレイパイプに固着され、スプレイパイプの
軸心を中心としてスプレイパイプの長さ方向と直交する
面内で揺動する揺動部材と、前記スプレイパイプの長さ
方向と直交するように配設され、スプレイパイプの長さ
方向と直交する面内で揺動自在に支持された駆動側揺動
部材と、この駆動側揺動部材の一端部が固着され、駆動
側揺動部材を、その一端部を中心として往復回動させて
揺動させる揺動駆動手段と、前記揺動部材の他端部と前
記駆動側揺動部材の他端部とを連結して、駆動側揺動部
材の揺動運動を揺動部材に伝達して揺動部材を揺動させ
るリンク機構とから上記揺動機構を構成したことを特徴
とする。
The invention according to claim 1 is
Conveying means for conveying a long metal thin plate having a resist film having a predetermined pattern formed on its main surface in the longitudinal direction while horizontally supporting it, and a metal thin plate arranged along the longitudinal direction of the metal thin plate. Of the spray nozzle, which has a spray nozzle for spraying an etching liquid onto the main surface of the spray nozzle, and the spray nozzle is rotatably supported so as to swing in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the thin metal plate, and this spray nozzle. In an etching apparatus having a swing mechanism that swings the spray nozzle by swinging back and forth, the swing mechanism is configured as follows. That is, one end is fixed to the spray pipe and swings in a plane orthogonal to the length direction of the spray pipe about the axis of the spray pipe, and a swing member orthogonal to the length direction of the spray pipe. Drive side swing member, which is swingably supported in a plane orthogonal to the length direction of the spray pipe, and one end portion of the drive side swing member is fixed to the drive side swing member. Is connected to the other end of the oscillating member and the other end of the drive-side oscillating member by connecting the oscillating drive means for reciprocally oscillating about one end thereof to oscillate. It is characterized in that the swing mechanism is constituted by a link mechanism for transmitting the swing motion of the moving member to the swing member to swing the swing member.

【0009】請求項2に係る発明は、請求項1記載のエ
ッチング装置において、スプレイパイプのスプレイノズ
ルの揺動角度と揺動速度との関係が正弦波特性を有し、
かつ、スプレイノズルから金属薄板の主面に対し直交す
る方向に向けてエッチング液が吹き付けられる時にスプ
レイパイプの揺動速度の絶対値が最大となるように、揺
動駆動手段を制御する制御手段を設けたことを特徴とす
る。
According to a second aspect of the present invention, in the etching apparatus according to the first aspect, the relationship between the swing angle and the swing speed of the spray nozzle of the spray pipe has a sinusoidal characteristic.
Also, a control means for controlling the swing drive means is provided so that the absolute value of the swing speed of the spray pipe becomes maximum when the etching liquid is sprayed from the spray nozzle in the direction orthogonal to the main surface of the thin metal plate. It is characterized by being provided.

【0010】請求項1に係る発明のエッチング装置で
は、揺動駆動手段により駆動側揺動部材が駆動され、駆
動側揺動部材が、一端部を中心としてスプレイノズルの
長さ方向と直交する面内で往復回動して揺動させられ
る。この駆動側揺動部材の揺動運動は、リンク機構を介
して揺動部材に伝達され、揺動部材が、スプレイパイプ
の軸心を中心としてスプレイノズルの長さ方向と直交す
る面内で揺動する。揺動部材がスプレイパイプの軸心を
中心として揺動することにより、スプレイパイプが軸心
線を中心として往復回動し、スプレイパイプに設けられ
たスプレイノズルが、スプレイパイプの長さ方向と直交
する方向すなわち金属薄板の長手方向と直交する方向に
沿って揺動する。そして、搬送手段により支平に支持さ
れて長手方向へ搬送される長尺の金属薄板の主面へ向
け、金属薄板の長手方向と直交する方向に沿って揺動す
るスプレイノズルからエッチング液が吹き付けられ、金
属薄板の主面の被エッチング面がエッチングされる。
In the etching apparatus according to the first aspect of the present invention, the drive-side rocking member is driven by the rocking-driving means, and the drive-side rocking member is a surface that is orthogonal to the length direction of the spray nozzle about one end. It is reciprocally rotated inside and rocked. The oscillating motion of the drive-side oscillating member is transmitted to the oscillating member via the link mechanism, and the oscillating member oscillates in a plane orthogonal to the length direction of the spray nozzle about the axis of the spray pipe. Move. When the swing member swings about the axis of the spray pipe, the spray pipe reciprocally rotates about the axis, and the spray nozzle provided on the spray pipe is orthogonal to the length direction of the spray pipe. It oscillates in a direction that is orthogonal to the longitudinal direction of the thin metal plate. Then, the etching solution is sprayed from a spray nozzle that swings along a direction orthogonal to the longitudinal direction of the thin metal plate toward the main surface of the long thin metal plate that is supported flat by the transport means and is transported in the longitudinal direction. The etched surface of the main surface of the metal thin plate is etched.

【0011】このエッチング装置の揺動機構では、揺動
駆動手段により駆動側揺動部材を揺動させ、その揺動運
動をリンク機構により揺動部材に伝達して、揺動部材を
揺動させ、スプレイパイプを往復回動させてスプレイノ
ズルを揺動させるようにしている。このように、駆動側
揺動部材の揺動運動を、そのまま揺動運動として揺動部
材に伝達し、スプレイパイプのスプレイノズルを揺動さ
せるので、スプレイノズルの揺動角度範囲を変更しよう
とするときは、駆動側揺動部材の揺動角度範囲を変える
だけでよく、その調整操作が容易であり、また、その調
整を精度良く行うことができる。また、一方向への回転
運動を往復運動に変換したりしないで、揺動運動をその
まま揺動運動として伝達するだけであるので、スプレイ
パイプのスプレイノズルの揺動速度をその揺動方向にか
かわらず同じにして、スプレイノズルから金属薄板の主
面へのエッチング液の吹付け量をスプレイノズルの揺動
方向にかかわらず同じにすることが簡単にできる。
In the rocking mechanism of this etching apparatus, the rocking driving means rocks the driving-side rocking member, and the rocking motion is transmitted to the rocking member by the link mechanism to rock the rocking member. The spray nozzle is swung by reciprocally rotating the spray pipe. In this way, the swing motion of the drive-side swing member is transmitted as it is to the swing member to swing the spray nozzle of the spray pipe, so that the swing angle range of the spray nozzle is changed. At this time, it is only necessary to change the swing angle range of the drive-side swing member, the adjustment operation is easy, and the adjustment can be performed accurately. Moreover, since the swing motion is transmitted as it is as the swing motion without converting the rotary motion in one direction into the reciprocating motion, the swing speed of the spray nozzle of the spray pipe does not depend on the swing direction. In the same manner, the amount of the etching liquid sprayed from the spray nozzle to the main surface of the thin metal plate can be easily made the same regardless of the swing direction of the spray nozzle.

【0012】請求2に係る発明のエッチング装置では、
スプレイパイプのスプレイノズルからのエッチング液の
吹出し方向が金属薄板の主面に対し直交する方向となる
時に、スプレイノズルの揺動速度が最大となり、スプレ
イノズルの振れ角が最も大きくなった時に、スプレイノ
ズルの揺動速度が最小(0)となって、その中間の期間
では、スプレイノズルの揺動速度がその揺動角度に対し
正弦波特性を有する関係となるので、スプレイノズルか
ら吹き出されたエッチング液が金属薄板の主面まで到達
する距離が小さいときにスプレイノズルが速く移動し、
スプレイノズルから吹き出されたエッチング液が金属薄
板の主面まで到達する距離が大きいときにスプレイノズ
ルが緩やかな速度で移動することになる。このため、ス
プレイノズルから金属薄板の主面へのエッチング液の吹
付け量がスプレイノズルの揺動角度位置にかかわらずほ
ぼ均等になる。
In the etching apparatus of the invention according to claim 2,
When the spraying direction of the etching liquid from the spray nozzle of the spray pipe is perpendicular to the main surface of the thin metal plate, the swing speed of the spray nozzle becomes maximum, and when the deflection angle of the spray nozzle becomes maximum, The swing speed of the nozzle is minimum (0), and in the intermediate period, the swing speed of the spray nozzle has a sine wave characteristic with respect to the swing angle, so that it is blown out from the spray nozzle. When the distance that the etching liquid reaches the main surface of the thin metal plate is small, the spray nozzle moves quickly,
The spray nozzle moves at a slow speed when the etching liquid blown out from the spray nozzle has a large distance to reach the main surface of the thin metal plate. Therefore, the amount of the etching liquid sprayed from the spray nozzle to the main surface of the thin metal plate is substantially uniform regardless of the swing angle position of the spray nozzle.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図1ないし図3を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0014】図1は、この発明の1実施形態を示し、エ
ッチング装置のスプレイパイプのスプレイノズルを揺動
させる揺動機構の概略構成を示す模式図である。この揺
動機構は、駆動軸が正・逆方向に往復回動するサーボモ
ータ10と、このサーボモータ10の駆動軸に一端部が
固着され、長尺の金属薄板8の長手方向に沿って配設さ
れたスプレイパイプ3の長さ方向と直交するように配設
されて、サーボモータ10の駆動軸に固着された一端部
を中心としてスプレイパイプ3の長さ方向と直交する面
内で揺動するように支持された駆動側揺動部材12と、
一端部がスプレイパイプ3に固着され、スプレイパイプ
3の長さ方向と直交するように配設されて、スプレイパ
イプ3の軸心を中心としてスプレイパイプ3の長さ方向
と直交する面内で揺動するように支持された揺動部材1
4と、この揺動部材14の他端部と駆動側揺動部材12
の他端部とを連結して、駆動側揺動部材12の揺動運動
をそのまま揺動運動として揺動部材14に伝達するリン
ク機構と、サーボモータ10の駆動を制御するコントロ
ーラ18とから構成されている。図1に示した揺動機構
では、リンク機構が、一端部が駆動側揺動部材12の他
端部に回動自在に枢着され他端部が揺動部材14の他端
部に回動自在に枢着された1本のリンク部材16で構成
されている。図1に示したリンク機構は最も簡単な構成
例であるが、リンク機構は、後述するように2本もしく
はそれ以上のリンク部材を順次連結して構成される(図
3参照)。
FIG. 1 shows one embodiment of the present invention and is a schematic view showing a schematic structure of a swing mechanism for swinging a spray nozzle of a spray pipe of an etching apparatus. This swing mechanism includes a servo motor 10 whose drive shaft reciprocally rotates in forward and reverse directions, and one end of which is fixed to the drive shaft of the servo motor 10 and which is arranged along the longitudinal direction of a long thin metal plate 8. The spray pipe 3 is arranged so as to be orthogonal to the length direction of the spray pipe 3, and swings in a plane orthogonal to the length direction of the spray pipe 3 around one end fixed to the drive shaft of the servomotor 10. A drive-side swing member 12 supported so as to
One end is fixed to the spray pipe 3 and is arranged so as to be orthogonal to the length direction of the spray pipe 3 and swings in a plane orthogonal to the length direction of the spray pipe 3 about the axis of the spray pipe 3. Swing member 1 supported to move
4, the other end of the rocking member 14 and the driving-side rocking member 12
And a controller 18 for controlling the drive of the servo motor 10, which is connected to the other end of the drive side swing member 12 to transmit the swing motion of the drive side swing member 12 as it is to the swing member 14. Has been done. In the swing mechanism shown in FIG. 1, one end of the link mechanism is pivotally attached to the other end of the drive side swing member 12 and the other end is swingable to the other end of the swing member 14. It is composed of a single link member 16 that is freely pivoted. The link mechanism shown in FIG. 1 is an example of the simplest configuration, but the link mechanism is configured by sequentially connecting two or more link members as described later (see FIG. 3).

【0015】図1に示した構成の揺動機構によると、サ
ーボモータ10の駆動軸が正・逆方向に往復回動するこ
とにより、駆動側揺動部材12が、図1に実線と二点鎖
線とで示すように、サーボモータ10の駆動軸に固着さ
れた一端部を中心として揺動させられ、その揺動運動が
リンク部材16を介して揺動部材14に伝達され、揺動
部材14が、図1に実線で示した位置からその上下両側
へ、スプレイパイプ3の軸心を中心として、二点鎖線で
示すように振れ角θで揺動させられる。そして、揺動部
材14がスプレイパイプ3の軸心を中心として振れ角θ
で揺動することにより、スプレイパイプ3がその軸心線
を中心として往復回動し、スプレイパイプ3に設けられ
たスプレイノズル4が、図1に実線と二点鎖線とで示す
ように、スプレイパイプ3の軸心を中心として振れ角θ
で揺動することになる。
According to the swing mechanism having the configuration shown in FIG. 1, the drive shaft of the servomotor 10 reciprocally rotates in the forward and reverse directions, so that the drive-side swing member 12 has a solid line and two points. As indicated by the chain line, the one end portion fixed to the drive shaft of the servomotor 10 is swung, and the swinging motion is transmitted to the swinging member 14 via the link member 16, and the swinging member 14 However, from the position shown by the solid line in FIG. 1 to the upper and lower sides thereof, it is swung about the axial center of the spray pipe 3 at the swing angle θ as shown by the chain double-dashed line. Then, the swinging member 14 has a swing angle θ around the axis of the spray pipe 3.
By swinging at, the spray pipe 3 reciprocally rotates about its axis, and the spray nozzle 4 provided on the spray pipe 3 is sprayed as shown by a solid line and a two-dot chain line in FIG. Deflection angle θ around the axis of the pipe 3
Will be rocking at.

【0016】上記したように、サーボモータ10を駆動
させてスプレイパイプ3のスプレイノズル4を揺動させ
る場合において、図1に実線で示したようにスプレイノ
ズル4からのエッチング液の吹出し方向が金属薄板8の
主面に対し直交する方向となる時(スプレイノズル4の
揺動角度が0°になる時)に、スプレイノズル4の揺動
速度が最大となり、図1に二点鎖線でそれぞれ示したよ
うにスプレイノズル4の振れ角が最も大きくなった時
(スプレイノズル4の揺動角度がθになった時)に、ス
プレイノズル4の揺動速度が最小(0)となって、その
中間の期間では、スプレイノズル4の揺動速度が、その
揺動角度に対して図2に示すような正弦波特性を有する
関係となるように、コントローラ18によってサーボモ
ータ10の駆動を制御するようにする。このような制御
を行うことにより、スプレイノズル4は、スプレイノズ
ル4から吹き出されたエッチング液が金属薄板8の主面
まで到達する距離に応じて、その距離が小さいときに速
く移動し、その距離が大きいときに緩やかな速度で移動
することになる。この結果、スプレイノズル4から金属
薄板8の主面へ吹き付けられるエッチング液量が、スプ
レイノズル4の揺動角度位置に関係無くほぼ均等化され
る。
As described above, when the servo motor 10 is driven to swing the spray nozzle 4 of the spray pipe 3, as shown by the solid line in FIG. The swing speed of the spray nozzle 4 is maximized when it becomes a direction orthogonal to the main surface of the thin plate 8 (when the swing angle of the spray nozzle 4 becomes 0 °), and each is shown by a two-dot chain line in FIG. As described above, when the deflection angle of the spray nozzle 4 becomes the largest (when the swing angle of the spray nozzle 4 becomes θ), the swing speed of the spray nozzle 4 becomes the minimum (0), and the middle During the period, the controller 18 controls the drive of the servomotor 10 so that the swing speed of the spray nozzle 4 has a sine wave characteristic as shown in FIG. 2 with respect to the swing angle. To do so. By performing such control, the spray nozzle 4 moves faster when the distance is small, depending on the distance that the etching liquid blown out from the spray nozzle 4 reaches the main surface of the metal thin plate 8, and the distance. When is large, it will move at a slow speed. As a result, the amount of the etching liquid sprayed from the spray nozzle 4 to the main surface of the metal thin plate 8 is almost equalized regardless of the swing angle position of the spray nozzle 4.

【0017】また、図1に示した構成の揺動機構におい
て、製造しようとするシャドウマスクの種類などに応じ
てスプレイパイプ3のスプレイノズル4の揺動角度範囲
を変更する必要があるときには、サーボモータ10の駆
動軸の回動範囲の設定を変更して、駆動側揺動部材12
の揺動角度範囲を変えるだけでよく、駆動側揺動部材1
2とリンク部材16との連接位置を変更したりすること
などは不要である。従って、その調整操作は、容易かつ
精度良く行うことができる。
Further, in the swing mechanism having the structure shown in FIG. 1, when it is necessary to change the swing angle range of the spray nozzle 4 of the spray pipe 3 according to the type of shadow mask to be manufactured, etc. By changing the setting of the rotation range of the drive shaft of the motor 10, the drive side swing member 12
It is sufficient to change the swing angle range of the drive side swing member 1
It is not necessary to change the connecting position between 2 and the link member 16. Therefore, the adjusting operation can be performed easily and accurately.

【0018】図3は、スプレイパイプのスプレイノズル
の揺動機構のより具体的な構成例を示す図であって、長
尺の金属薄板8の搬送方向の手前側から見た図である。
複数個のスプレイノズル(図示せず)を有するスプレイ
パイプ20は、金属薄板8の両主面にそれぞれ対向する
ように、金属薄板8の長手方向に沿って配設されてお
り、それぞれ複数本のスプレイパイプ20が互いに平行
に金属薄板8の短手方向に並列している。スプレイパイ
プ20には、矩形状の揺動板22の一端部が固着されて
おり、揺動板22は、スプレイパイプ20の軸心を中心
として揺動自在に支持されている。この揺動板22が、
図1に示した揺動機構の揺動部材14に対応する。エッ
チングチャンバ24の天板上にはサーボモータ26が固
設されており、サーボモータ26の駆動軸28に駆動側
揺動板30の一端部が固着されている。サーボモータ2
6は、その駆動軸28が正・逆方向に往復回動し、駆動
側揺動板30は、サーボモータ26の駆動軸28を中心
として揺動するようになっている。この駆動側揺動板3
0が、図1に示した揺動機構の駆動側揺動部材12に対
応する。
FIG. 3 is a view showing a more specific structural example of the swing mechanism of the spray nozzle of the spray pipe, and is a view seen from the front side in the transport direction of the long thin metal plate 8.
A spray pipe 20 having a plurality of spray nozzles (not shown) is arranged along the longitudinal direction of the metal thin plate 8 so as to face both main surfaces of the metal thin plate 8, respectively. The spray pipes 20 are arranged parallel to each other in the lateral direction of the thin metal plate 8. One end of a rectangular rocking plate 22 is fixed to the spray pipe 20, and the rocking plate 22 is swingably supported about the axis of the spray pipe 20. This swing plate 22
It corresponds to the swinging member 14 of the swinging mechanism shown in FIG. A servo motor 26 is fixedly mounted on the top plate of the etching chamber 24, and one end of a drive-side rocking plate 30 is fixed to a drive shaft 28 of the servo motor 26. Servo motor 2
6, the drive shaft 28 reciprocates in the forward and reverse directions, and the drive side swing plate 30 swings around the drive shaft 28 of the servomotor 26. This drive side swing plate 3
0 corresponds to the drive-side swing member 12 of the swing mechanism shown in FIG.

【0019】金属薄板8の短手方向に並列した複数本の
スプレイパイプ20にそれぞれ一端部が固着された複数
の揺動板22は、それぞれの他端部が、スプレイパイプ
20の長さ方向と直交する方向に沿って水平に支持され
た1つの水平リンク板32に回動自在に枢着されてお
り、水平リンク板32の一端部は、一端部が固定支軸3
4に回動自在に軸着され揺動板22と平行に配設されて
固定支軸34を中心として揺動する第1揺動リンク板3
6の他端部に回動自在に枢着されている。また、固定支
軸34には、固定支軸34を中心として揺動するように
第2揺動リンク板38の一端部が回動自在に軸着されて
いる。一方、サーボモータ26の駆動軸28に一端部が
固着された駆動側揺動板30は、その他端部に鉛直リン
ク板40の一端部が回動自在に枢着されており、鉛直リ
ンク板40の他端部は、固定支軸42に回動自在に枢着
され駆動側揺動板30と平行に配設されて固定支軸42
を中心として回動する回動リンク板44の一端部に回動
自在に枢着されている。そして、回動リンク板44の他
端部に1つの共通鉛直リンク板46の上端部が回動自在
に枢着されており、共通鉛直リンク板46の上部及び下
端部に、上・下一対の第2揺動リンク板38の他端部が
それぞれ回動自在に枢着されている。
The plurality of swaying plates 22 each having one end fixed to a plurality of spray pipes 20 arranged in parallel in the lateral direction of the metal thin plate 8 have the other ends thereof aligned with the length direction of the spray pipe 20. It is rotatably pivoted to one horizontal link plate 32 which is horizontally supported along a direction orthogonal to each other. One end of the horizontal link plate 32 is fixed at one end.
A first swing link plate 3 which is rotatably attached to the shaft 4 and is arranged in parallel with the swing plate 22 and swings around a fixed support shaft 34.
The other end of 6 is rotatably pivotally attached. Further, one end of a second swing link plate 38 is rotatably attached to the fixed support shaft 34 so as to swing about the fixed support shaft 34. On the other hand, one end of the vertical link plate 40 is rotatably pivotally attached to the other end of the drive-side rocking plate 30 having one end fixed to the drive shaft 28 of the servomotor 26. The other end of the fixed support shaft 42 is rotatably pivotally attached to the fixed support shaft 42 and is disposed in parallel with the drive side swing plate 30.
It is rotatably pivotally attached to one end of a rotary link plate 44 which rotates around. The upper end of one common vertical link plate 46 is rotatably attached to the other end of the rotary link plate 44, and the upper and lower ends of the common vertical link plate 46 have a pair of upper and lower pairs. The other end of the second swing link plate 38 is rotatably attached to each other.

【0020】この図3に示した揺動機構では、以上の水
平リンク板32、固定支軸34、第1揺動リンク板3
6、第2揺動リンク板38、鉛直リンク板40、固定支
軸42、回動リンク板44及び共通鉛直リンク板46に
よってリンク機構が構成されている。そして、サーボモ
ータ26が駆動されると、駆動側揺動板30が、図3に
二点鎖線で示すように揺動させられ、その揺動運動が上
記リンク機構によって上・下のそれぞれ複数の揺動板2
2に伝達されて、複数の揺動板22が同時に揺動し、各
揺動板22の一端部がそれぞれ固着された複数本のスプ
レイパイプ20が同時に往復回動して、スプレイパイプ
20に設けられた複数個のスプレイノズルが揺動するこ
とになる。
In the swing mechanism shown in FIG. 3, the horizontal link plate 32, the fixed support shaft 34, and the first swing link plate 3 described above are used.
6, the second swing link plate 38, the vertical link plate 40, the fixed support shaft 42, the rotary link plate 44, and the common vertical link plate 46 constitute a link mechanism. Then, when the servo motor 26 is driven, the drive-side rocking plate 30 is rocked as indicated by the chain double-dashed line in FIG. 3, and the rocking motion is made up of a plurality of upper and lower parts by the link mechanism. Swing plate 2
2, the plurality of swaying plates 22 simultaneously oscillate, and the plurality of splay pipes 20 to which one end of each swaying plate 22 is fixed are reciprocally rotated at the same time. The plurality of spray nozzles thus swung will swing.

【0021】なお、上記したような揺動機構を採用する
ことにより、従来の揺動機構のように回転運動を揺動運
動に変換するものに比べ、長尺の金属薄板の長手方向に
沿って配設された複数列のスプレイパイプ同士間での振
り位相の同期をとることが容易になり、また、数個のエ
ッチングチャンバ間におけるスプレイパイプの振り位相
の同期をとるこことが容易になるため、長尺の金属薄板
の搬送時におけるエッチング液が吹き付けられることに
よる蛇行を効果的に抑制することが可能になる。
By adopting the swinging mechanism as described above, compared with the conventional swinging mechanism which converts the rotary motion into the swinging motion, the long metal thin plate is provided along the longitudinal direction. Since it becomes easy to synchronize the swing phase between the spray pipes arranged in a plurality of rows, and also it becomes easy to synchronize the swing phase of the spray pipe between several etching chambers. Thus, it is possible to effectively suppress the meandering caused by the etching liquid being sprayed during the transportation of a long thin metal plate.

【0022】[0022]

【発明の効果】請求項1に係る発明のエッチング装置を
使用したときは、水平に支持されて長手方向へ搬送され
る長尺の金属薄板の主面へ揺動しながらエッチング液を
吹き付けるスプレイノズルの揺動角度範囲を、製造しよ
うとするシャドウマスクの種類などに応じて変更する必
要がある場合に、その調整操作が容易であり、その調整
を精度良く行うことができ、また、スプレイノズルから
金属薄板の主面へ吹き付けられるエッチング液の量をス
プレイノズルの揺動方向にかかわらず同じにすることが
簡単にできるため、スプレイノズルを所望通り正確に揺
動させて、金属薄板の主面の被エッチング面を均一にエ
ッチングし、エッチング品質を向上させることができ
る。
When the etching apparatus of the invention according to claim 1 is used, a spray nozzle for spraying the etching liquid while swinging to the main surface of a long thin metal plate supported horizontally and conveyed in the longitudinal direction. When it is necessary to change the swing angle range of the device according to the type of shadow mask to be manufactured, the adjustment operation is easy, and the adjustment can be performed accurately. Since it is easy to make the amount of the etching liquid sprayed on the main surface of the metal sheet the same regardless of the swing direction of the spray nozzle, it is possible to swing the spray nozzle exactly as desired and It is possible to uniformly etch the surface to be etched and improve the etching quality.

【0023】請求項2に係る発明のエッチング装置で
は、スプレイノズルから金属薄板の主面へのエッチング
液の吹付け量がスプレイノズルの揺動角度位置にかかわ
らずほぼ均等になるので、均一なエッチングを行うこと
ができる。
In the etching apparatus according to the second aspect of the present invention, the amount of the etching liquid sprayed from the spray nozzle onto the main surface of the thin metal plate is substantially uniform regardless of the swing angle position of the spray nozzle, so that uniform etching is performed. It can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の1実施形態を示し、エッチング装置
のスプレイパイプのスプレイノズルを揺動させる揺動機
構の概略構成を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the invention and showing a schematic configuration of a swing mechanism for swinging a spray nozzle of a spray pipe of an etching apparatus.

【図2】図1に示した揺動機構における制御方法を説明
するための図であって、スプレイノズルの揺動角度と揺
動速度との関係の1例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining a control method in the swing mechanism shown in FIG. 1, and is a diagram showing an example of a relationship between a swing angle and a swing speed of a spray nozzle.

【図3】スプレイパイプのスプレイノズルの揺動機構の
より具体的な構成例を示す正面図である。
FIG. 3 is a front view showing a more specific configuration example of a swing mechanism of a spray nozzle of a spray pipe.

【図4】従来の、スプレイパイプのスプレイノズルの揺
動機構の概略構成の1例を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a schematic configuration of a conventional swing mechanism of a spray nozzle of a spray pipe.

【図5】従来の揺動機構における問題点を説明するため
の図であって、揺動機構の概略図である。
FIG. 5 is a view for explaining a problem in the conventional swing mechanism, and is a schematic view of the swing mechanism.

【図6】同じく、従来の揺動機構における円形カム板の
回転角度とスプレイパイプのスプレイノズルの揺動角度
との関係を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a rotation angle of a circular cam plate and a swing angle of a spray nozzle of a spray pipe in a conventional swing mechanism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3、20 スプレイパイプ 4 スプレイノズル 8 長尺の金属薄板 10、26 サーボモータ 12 駆動側揺動部材 14 揺動部材 16 リンク部材 18 コントローラ 22 揺動板 30 駆動側揺動板 32〜46 リンク機構 3,20 spray pipe 4 spray nozzles 8 Long metal sheet 10, 26 Servo motor 12 Drive side swing member 14 Swing member 16 Link members 18 Controller 22 Swing plate 30 Drive side swing plate 32-46 link mechanism

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−125701(JP,A) 特開 平5−9755(JP,A) 特開 平5−59576(JP,A) 実開 平6−62533(JP,U) 実開 平6−61964(JP,U) 特公 平3−77276(JP,B2) 実公 昭63−42140(JP,Y2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23F 1/08 C23F 1/00 H01J 9/14 H01L 23/50 Continuation of the front page (56) References JP-A-4-125701 (JP, A) JP-A-5-9755 (JP, A) JP-A-5-59576 (JP, A) Actually open HEI 6-62533 (JP , U) Actual Kaihei 6-61964 (JP, U) Japanese Patent Publication 3-77276 (JP, B2) Actual Public Sho 63-42140 (JP, Y2) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB) Name) C23F 1/08 C23F 1/00 H01J 9/14 H01L 23/50

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 主面に所定のパターンを有するレジスト
膜が形成された長尺の金属薄板を、水平に支持しながら
その長手方向へ搬送する搬送手段と、 金属薄板の長手方向に沿って配設され、金属薄板の主面
へエッチング液を吹き付けるスプレイノズルを有し、そ
のスプレイノズルが金属薄板の長手方向と直交する方向
に沿って揺動するように回動自在に支持されたスプレイ
パイプと、 このスプレイノズルを往復回動させて前記スプレイノズ
ルを揺動させる揺動機構とを備えたエッチング装置にお
いて、 前記揺動機構を、 一端部が前記スプレイパイプに固着され、スプレイパイ
プの軸心を中心としてスプレイパイプの長さ方向と直交
する面内で揺動する揺動部材と、 前記スプレイパイプの長さ方向と直交するように配設さ
れ、スプレイパイプの長さ方向と直交する面内で揺動自
在に支持された駆動側揺動部材と、 この駆動側揺動部材の一端部が固着され、駆動側揺動部
材を、その一端部を中心として往復回動させて揺動させ
る揺動駆動手段と、 前記揺動部材の他端部と前記駆動側揺動部材の他端部と
を連結して、駆動側揺動部材の揺動運動を揺動部材に伝
達して揺動部材を揺動させるリンク機構とから構成した
ことを特徴とするエッチング装置。
1. A conveyance means for conveying a long metal thin plate having a resist film having a predetermined pattern formed on its main surface in the longitudinal direction while horizontally supporting it, and a conveying means arranged along the longitudinal direction of the metal thin plate. And a spray pipe rotatably supported so as to swing along a direction orthogonal to the longitudinal direction of the thin metal plate, the spray pipe being provided with a spray nozzle for spraying an etching solution onto the main surface of the thin metal plate. In an etching apparatus provided with a swinging mechanism for swinging the spray nozzle by swinging the spray nozzle back and forth, the swinging mechanism is configured such that one end is fixed to the spray pipe and an axis of the spray pipe is fixed. A swing member that swings in a plane that is orthogonal to the length direction of the spray pipe as a center, and is disposed so as to be orthogonal to the length direction of the spray pipe. A drive-side swing member that is swingably supported in a plane orthogonal to the length direction, and one end of this drive-side swing member is fixed, and the drive-side swing member reciprocates about that one end. A swing drive means for rotating and swinging, and the other end of the swing member and the other end of the drive side swing member are connected to swing the swing motion of the drive side swing member. An etching apparatus comprising: a link mechanism that transmits to a member to swing the swing member.
【請求項2】 スプレイパイプのスプレイノズルの揺動
角度と揺動速度との関係が正弦波特性を有し、かつ、ス
プレイノズルから金属薄板の主面に対し直交する方向に
向けてエッチング液が吹き付けられる時にスプレイパイ
プの揺動速度の絶対値が最大となるように、揺動駆動手
段を制御する制御手段が設けられた請求項1記載のエッ
チング装置。
2. The relationship between the swing angle and the swing speed of the spray nozzle of the spray pipe has a sine wave characteristic, and the etching solution is directed from the spray nozzle in a direction orthogonal to the main surface of the thin metal plate. 2. The etching apparatus according to claim 1, further comprising control means for controlling the swing drive means so that the absolute value of the swing speed of the spray pipe is maximized when is sprayed.
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