KR102375466B1 - Scribig apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 단재를 이송하는 단재 이송 유닛; 상기 단재 이송 유닛의 일측에 위치한 단재 파쇄기; 및 상기 단재 이송 유닛 상에서 이동하는 상기 단재에 외력을 인가하는 외력 인가 유닛;을 포함할 수 있다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a scrap conveying unit for transferring the end material; a scrap shredder located at one side of the scrap conveying unit; and an external force applying unit that applies an external force to the edge moving on the edge transfer unit.
Description
본 발명은 스크라이빙 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 단부로부터 절단된 기판의 단재를 이송하여 처리하는 단재 처리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a scribing apparatus, and more particularly, to a scrap processing apparatus for transferring and processing a cut material of a substrate from an end of the substrate.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.In general, liquid crystal display panels, organic electroluminescent display panels, inorganic electroluminescent display panels, transmissive projector substrates, reflective projector substrates, etc. used in flat panel displays are brittle mother glass panels (hereinafter referred to as 'substrates') such as glass. ), a unit glass panel cut to a predetermined size (hereinafter referred to as a 'unit substrate') is used.
기판을 단위 기판으로 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재료로 이루어진 스크라이빙 휠을 기판에 가압한 상태에서 스크라이빙 휠 및/또는 기판을 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정을 포함한다.In the process of cutting the substrate into unit substrates, the scribing wheel and/or the substrate are moved while the scribing wheel made of a material such as diamond is pressed against the substrate along the cutting line to be cut. It includes a scribing process to form a line.
기판을 단위 기판으로 절단하는 공정 중에는, 단위 기판에 포함되지 않는 단재(더미(dummy) 또는 컬릿(cullet), 즉, 단위 기판의 유효 영역으로서 사용되지 않고 절단된 후 버려지는 비유효 영역)을 제거할 필요가 있다.During the process of cutting the substrate into a unit substrate, the end material not included in the unit substrate (dummy or cullet, that is, an ineffective region that is not used as an effective region of the unit substrate and is discarded after being cut) is removed. Needs to be.
일례로, 대한민국 공개특허 제10-2003-0069195호는 휠 팁을 사용하여 글라스 기판에 스크라이빙 라인을 형성한 후, 지지 장치에 설치된 척을 사용하여 액정 머더 기판의 절단편을 파지하여 절단편을 분리시키고 폐기하는 구성을 제시하고 있다.As an example, Korean Patent Laid-Open No. 10-2003-0069195 discloses that a scribing line is formed on a glass substrate using a wheel tip, and then the cut piece of the liquid crystal mother substrate is gripped using a chuck installed in a support device to hold the cut piece. A configuration for separating and discarding is presented.
한편, 기판의 단부로부터 절단되어 제거된 단재는 컨베이어 벨트 등의 단재 이송부에 의해 이송된 후 단재 수용부에 수용된다. 그러나, 단재 이송부로부터 단재 수용부로 단재가 이송되는 과정 중, 단재가 비정상적인 상태(세워진 상태)로 이동되어 단재 파쇄기로 진입하지 못하고 그 입구에 정체됨으로써, 후속하는 단재의 진행을 방해하거나 단재 파쇄기의 입구를 차단하는 문제가 있다.On the other hand, the end material cut and removed from the end of the substrate is transferred by the end material transfer unit such as a conveyor belt and then accommodated in the end material receiving unit. However, during the process of transferring the end material from the end material transfer unit to the end material receiving unit, the end material moves to an abnormal state (standing state) and cannot enter the end material crusher and stagnates at the entrance, thereby hindering the subsequent progress of the end material or the entrance of the end material crusher. There is a problem with blocking
본 발명의 목적은 단재 이송부와 단재 파쇄기 사이에서 단재가 정상적인 상태로 이동할 수 있도록 하여, 후속하는 단재의 진행을 방해하거나, 단재 파쇄기의 입구를 차단하는 것을 방지할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a scribing device capable of preventing the progress of a subsequent scrap or blocking the entrance of the scrap crusher by allowing the scrap to move in a normal state between the scrap conveying unit and the scrap crusher will be.
본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 단재를 이송하도록 구성되는 단재를 이송하는 컨베이어 벨트를 포함하는 단재 이송 유닛; 컨베이어 벨트의 표면으로부터 이격된 초과 거리에 해당하는 위치에 설치되어 초과 거리를 초과하는 위치에 단재의 일부분이 위치되는지 여부를 감지하는 감지 센서; 및 초과 거리를 초과하는 위치에 단재의 일부분이 위치되는 것이 상기 감지 센서에 의해 감지되면, 초과 거리를 초과하는 위치에 일부분이 위치된 단재에 외력을 인가하거나 컨베이어 벨트에 외력을 인가하여 컨베이어 벨트를 진동시킴으로써 단재의 위치 및 자세를 변경하는 외력 인가 유닛을 포함한다. The scribing device according to the present invention is an end material conveying unit including a conveyor belt conveying the end material configured to convey the end material; a detection sensor installed at a position corresponding to an excess distance spaced apart from the surface of the conveyor belt to detect whether a portion of the edge is located at a position exceeding the excess distance; And when it is detected by the detection sensor that a part of the edge is positioned at a position exceeding the excess distance, an external force is applied to the edge part located at a position exceeding the excess distance or an external force is applied to the conveyor belt to remove the conveyor belt and an external force applying unit that changes the position and posture of the end material by vibrating it.
또한, 외력 인가 유닛은 단재 이송 유닛 상에서 이동하는 단재와 충돌하는 충돌 부재인 것을 특징으로 한다. In addition, the external force applying unit is characterized in that the collision member collides with the edge member moving on the edge feeding unit.
또한, 외력 인가 유닛은 단재 이송 유닛 상에서 이동하는 단재에 가압하는 가압부인 것을 특징으로 한다. In addition, the external force application unit is characterized in that the pressing unit for pressing the edge material moving on the edge transfer unit.
또한, 외력 인가 유닛은 단재 이송 유닛 상에서 이동하는 단재에 유체를 분사하는 유체 분사부인 것을 특징으로 한다. In addition, the external force applying unit is characterized in that the fluid injection unit for injecting a fluid to the edge moving on the edge transfer unit.
더불어, 단재가 세워져서 이동하는 경우, 외력의 필요 여부를 판단하기 위한 감지 센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, when the end material is erected and moved, it is characterized in that it includes a detection sensor for determining whether an external force is required.
본 발명의 실시예에 따르면, 단재 이동부 상에서 단재가 정상적인 상태로 이동할 수 있도록 하여, 후속하는 단재의 진행을 방해하거나, 단재 파쇄기의 입구를 차단한 것을 방지할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공함으로써, 단재 파쇄기의 정비 및 보수하는 횟수가 줄어 제품에 대한 신뢰성 및 생산성을 향상시킬 수 있다. According to an embodiment of the present invention, by providing a scribing device capable of preventing the progress of the subsequent cutting material from being blocked or blocking the entrance of the cutting material shredder by allowing the cutting material to move in a normal state on the cutting material moving unit , It is possible to improve the reliability and productivity of the product by reducing the number of maintenance and repair of the scrap shredder.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 단재 제거 유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 단재 처리 유닛에 구비되는 감지 센서를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 센서의 위치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은본 발명의 제2 실시예에 따른 제1 외력 인가 유닛을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 제1 외력 인가 유닛의 다른 예를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 제1 외력 인가 유닛의 또 다른 예를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 제2 외력 인가 유닛을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 제2 외력 인가 유닛의 다른 예를 도시한 도면이다. 1 to 3 are diagrams schematically showing a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view schematically illustrating a scrap removal unit of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram schematically illustrating a detection sensor provided in the scrap processing unit according to the first embodiment of the present invention.
6 is a diagram schematically illustrating a position of a sensor according to a first embodiment of the present invention.
7 is a diagram schematically illustrating a first external force applying unit according to a second embodiment of the present invention.
8 is a diagram schematically illustrating another example of a first external force applying unit according to a second embodiment of the present invention.
9 is a diagram schematically showing another example of the first external force applying unit according to the second embodiment of the present invention.
10 is a diagram schematically illustrating a second external force applying unit according to a third embodiment of the present invention.
11 is a view showing another example of the second external force applying unit according to the third embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다. Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 절단되는 대상은 제1 기판 및 제2 기판이 합착된 합착 기판일 수 있다. 예를 들면, 제1 기판은 박막 트랜지스터를 구비할 수 있고, 제2 기판은 컬러 필터를 구비할 수 있다. 이와 반대로, 제1 기판은 컬러 필터를 구비할 수 있고, 제2 기판은 박막 트랜지스터를 구비할 수 있다.An object to be cut by the scribing apparatus according to an embodiment of the present invention may be a fusion substrate to which the first substrate and the second substrate are bonded. For example, the first substrate may include a thin film transistor, and the second substrate may include a color filter. Conversely, the first substrate may include a color filter, and the second substrate may include a thin film transistor.
이하, 합착 기판을 간단히 기판이라고 하며, 외부로 노출된 제1 기판의 표면을 제1 면이라고 하고, 외부로 노출된 제2 기판의 표면을 제2 면이라고 한다.Hereinafter, the bonding substrate is simply referred to as a substrate, the surface of the first substrate exposed to the outside is referred to as a first surface, and the surface of the second substrate exposed to the outside is referred to as a second surface.
또한, 기판 절단 공정이 수행될 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.In addition, a direction in which a substrate to be cut is performed is defined as a Y-axis direction, and a direction perpendicular to a direction in which the substrate is transported (Y-axis direction) is defined as an X-axis direction. And, a direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate is placed is defined as the Z-axis direction.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 유닛(30)과, 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로 이송하는 제1 이송 유닛(10)과, 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로부터 후속 공정으로 이송하는 제2 이송 유닛(20)과, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되는 단재 제거 유닛(40)과, 단재 제거 유닛(40)에 의해 제거된 단재를 처리하는 단재 처리 장치(70) 와, 기판 절단 장치의 구성 부품의 동작을 제어하는 제어 유닛(미도시)을 포함할 수 있다.1 to 4 , the scribing apparatus in the embodiment of the present invention includes a
스크라이빙 유닛(30)은 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 X축 방향으로 스크라이빙 라인을 각각 형성하도록 구성된다.The
스크라이빙 유닛(30)은 X축 방향으로 연장되는 제1 프레임(31)과, 제1 프레임(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제1 스크라이빙 헤드(32)와, 제1 프레임(31)의 아래에서 제1 프레임(31)과 평행하게 X축 방향으로 연장되는 제2 프레임(33)과, 제2 프레임(33)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제2 스크라이빙 헤드(34)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34) 및 제1 및 제2 프레임(31, 33) 사이에는 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)에 각각 연결되어 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)를 X축 방향으로 이동시키는 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 예를 들면, 직선 이동 기구는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구로 구성될 수 있다.The
제1 프레임(31)에는 X축 방향으로 복수의 제1 스크라이빙 헤드(32)가 장착될 수 있으며, 제2 프레임(33)에는 X축 방향으로 복수의 제2 스크라이빙 헤드(34)가 장착될 수 있다. 제1 프레임(31) 및 제2 프레임(33) 사이에는 기판(S)이 통과하는 공간이 형성될 수 있다. 제1 프레임(31) 및 제2 프레임(33)은 개별적인 부재로서 제작되어 조립될 수 있거나, 일체로 제작될 수 있다.A plurality of first
제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)는 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다.The first scribing
제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)에는 스크라이빙 휠(351)을 유지하는 휠 홀더(35)가 설치될 수 있다. 제1 스크라이빙 헤드(32)에 장착되는 스크라이빙 휠(351)과 제2 스크라이빙 헤드(34)에 장착되는 스크라이빙 휠(351)은 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다.A
한 쌍의 스크라이빙 휠(351)은 각각 기판(S)의 제1 및 제2 면에 가압될 수 있다. 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 가압된 상태에서 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 기판(S)에 대하여 상대적으로 X축 방향으로 이동되는 것에 의해, 기판(S)의 제1 및 제2 면에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.The pair of scribing
한편, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)는 각각 제1 및 제2 프레임(31, 33)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이를 위해, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34) 및 제1 및 제2 프레임(31, 33) 사이에는 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)에 각각 연결되어 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)를 Z축 방향으로 이동시키는 헤드 이동 모듈(38, 39)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 헤드 이동 모듈(38, 39)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.Meanwhile, the first and second scribing
제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 각각 제1 및 제2 프레임(31, 33)에 대하여 Z축 방향으로 이동함에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 가압되거나 기판(S)으로부터 이격될 수 있다. 그리고, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 Z축 방향으로 이동하는 정도를 조절하는 것에 의해, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 가하는 가압력이 조절될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 Z축 방향으로 이동되는 것에 의해, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)의 기판(S)으로의 절삭 깊이(침투 깊이)가 조절될 수 있다.As the first and second scribing
제1 이송 유닛(10)은 기판(S)을 지지하는 복수의 벨트(11)와, 복수의 벨트(11) 상에 지지된 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 부재(12)와, 파지 부재(12)와 연결되며 X축 방향으로 연장되는 지지바(13)와, 지지바(13)와 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일(14)과, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되어 기판(S)을 부양시키거나 흡착하여 지지하는 제1 플레이트(15)를 포함할 수 있다.The
복수의 벨트(11)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(11)는 복수의 풀리(111)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(111) 중 적어도 하나는 벨트(11)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.The plurality of
지지바(13)와 제1 가이드 레일(14) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 부재(12)가 기판(S)을 파지한 상태에서 지지바(13)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 복수의 벨트(11)는 파지 부재(12)의 이동과 동기화되어 회전하면서 기판(S)을 안정적으로 지지할 수 있다.An actuator using pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided between the
파지 부재(12)는 기판(S)을 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다른 예로서, 파지 부재(12)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)을 흡착하도록 구성될 수 있다.The gripping
제1 플레이트(15)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1 플레이트(15)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제1 플레이트(15)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(15)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제1 플레이트(15)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(15)에 흡착될 수 있다.The
기판(S)이 제1 플레이트(15)로부터 부양된 상태에서 기판(S)은 제1 플레이트(15)와 마찰 없이 이동될 수 있다. 그리고, 기판(S)의 제1 및 제2 면에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 기판(S)은 제1 플레이트(15)에 흡착되어 고정될 수 있다.In a state in which the substrate S is floated from the
제2 이송 유닛(20)은, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되어 흡착 기판(S)을 부양시키거나 흡착하여 지지하는 제2 플레이트(25)와, 제2 플레이트(25)에 인접하게 배치되는 이송 벨트(21)와, 제2 플레이트(25) 및 이송 벨트(21)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 이동 장치(26)를 포함할 수 있다. 이동 장치(26)는 Y축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일(24)을 따라 제2 플레이트(25) 및 이송 벨트(21)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 역할을 한다. 이동 장치(26)로는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다.The
제2 플레이트(25)와 이송 벨트(21)는 함께 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 즉, 제2 플레이트(25)와 이송 벨트(21)는 기판(S)이 이송되는 방향과 평행한 방향(Y축 방향)으로 함께 이동 가능하게 구성될 수 있다.The
스크라이빙 유닛(30)에 의해 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(25)는 제1 플레이트(15)를 향하여 이동되며, 제1 플레이트(15)와 제2 플레이트(25) 사이에 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 위치될 수 있다. 스크라이빙 유닛(30)에 의해 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)를 향하여 이동되므로, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 모두에 안정적으로 지지될 수 있다.When scribing lines are respectively formed on the first and second surfaces of the substrate S by the
이송 벨트(21)는 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 이송 벨트(21)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 이송 벨트(21)는 복수의 풀리(211)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(211) 중 적어도 하나는 이송 벨트(21)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.A plurality of
제2 플레이트(25)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제2 플레이트(25)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제2 플레이트(25)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(25)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제2 플레이트(25)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(25)에 흡착될 수 있다.The
기판(S)이 제2 플레이트(25)로 이송되는 과정에서, 제2 플레이트(25)의 슬롯으로 가스가 공급되며, 이에 따라, 기판(S)이 제2 플레이트(25)와 마찰 없이 이동될 수 있다.In the process of transferring the substrate S to the
그리고, 기판(S)의 제1 및 제2 면에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 흡착 기판(S)은 제2 플레이트(25)에 흡착되어 고정될 수 있다.In addition, while scribing lines are formed on the first and second surfaces of the substrate S, the adsorption substrate S may be adsorbed and fixed to the
그리고, 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성된 이후에, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25)에 흡착된 상태에서, 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)로부터 멀어지게 이동됨에 따라, 기판(S)이 스크라이빙 라인을 기준으로 분할될 수 있다.Then, after scribing lines are formed on the first and second surfaces of the substrate S, respectively, in a state in which the substrate S is adsorbed to the
한편, 기판(S)이 제2 플레이트(25)로부터 후속 공정으로 이동하는 과정에서, 제2 플레이트(25)의 슬롯으로 가스가 공급되며, 이에 따라, 기판(S)은 제2 플레이트(25)와 마찰 없이 이동될 수 있다.Meanwhile, while the substrate S is moved from the
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 단재 제거 유닛(40)은 기판(S)의 선행단의 가장자리 및 기판(S)의 후행단의 가장자리에 위치된 단재(더미(dummy) 또는 (컬릿(cullet), 즉, 단위 기판으로서 사용되지 않고 절단된 후 버려지는 비유효 영역)을 파지하여 기판(S)으로부터 제거하는 역할을 한다.As shown in FIGS. 3 and 4 , the
단재 제거 유닛(40)은 제1 이송 유닛(10) 및 제2 이송 유닛(20) 사이에 배치될 수 있다.The
단재 제거 유닛(40)은 X축 방향으로 연장되는 지지대(41)와, 지지대(41)에 배치되는 클램프 모듈(42)과, 지지대(41)를 지지대(41)의 중심축(X축 방향과 평행한 축)을 중심으로 회전시키는 회전 모듈(43)과, 지지대(41)를 Y축 방향으로 이동시키는 수평 이동 모듈(44)과, 지지대(41)를 Z축 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈(45)을 포함할 수 있다.The
회전 모듈(43)은 지지대(41)의 회전 중심축에 회전축을 통하여 연결된 회전 모터로 구성될 수 있다. 회전 모듈(43)은 회전 모터의 회전축과 지지대(41) 사이에 구비되는 링크, 벨트 등의 동력 전달 기구를 포함할 수 있다.The
수평 이동 모듈(44) 또는 수직 이동 모듈(45)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The
도 4는 회전 모듈(43), 수평 이동 모듈(44) 및 수직 이동 모듈(45)이 지지대(41)의 양측에 각각 구비된 구성을 도시한다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 회전 모듈(43), 수평 이동 모듈(44) 및 수직 이동 모듈(45)이 지지대(41)의 어느 일측에 구비되고 지지대(41)의 타측에 지지대(41)의 회전, 수평 이동 및 수직 이동을 안내하는 안내 수단이 구비되는 구성이 적용될 수 있다.4 shows a configuration in which the
복수의 클램프 모듈(42)은 지지대(41)를 따라 X축 방향으로 배치될 수 있다. 클램프 모듈(42)은 지지대(41)를 따라 연장된 가이드(411)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 이를 위해, 클램프 모듈(42)과 가이드(411) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 복수의 클램프 모듈(42)이 직선 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 클램프 모듈(42) 사이의 간격이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 클램프 모듈(42)이 기판(S)의 폭에 적절하게 대응하게 배치되어 기판(S)을 안정적으로 파지할 수 있다.The plurality of
단재 제거 유닛(40)에 의해 기판(S)의 단부로부터 제거된 단재(D)는 단재 처리 장치(70)에 의해 처리될 수 있다.The scrap D removed from the end of the substrate S by the
도 5에 도시된 바와 같이, 단재 처리 장치(70)는, 단재 제거 유닛(40)에 의해 제거된 단재(D)를 이송하는 단재 이송 유닛(71)과, 단재 이송 유닛(71)에 의해 이송된 단재(D)를 수용하도록 구성되는 단재 수용 유닛(72)을 포함한다. As shown in FIG. 5 , the
예를 들면, 단재 이송 유닛(71)은, 컨베이어 벨트(711)와, 컨베이어 벨트(711)를 지지하는 풀리(712)를 포함할 수 있다. 단재 제거 유닛(40)의 클램프 모듈(42)에 의해 기판(S)의 단부로부터 제거된 단재(D)는 컨베이어 벨트(711) 상으로 낙하할 수 있다. 컨베이어 벨트(711) 상으로 낙하한 단재(D)는 컨베이어 벨트(711)에 의해 단재 수용 유닛(72)을 향하여 이송될 수 있다.For example, the
단재 이송 유닛(71)로 낙하한 단재(D)는 단재 수용 유닛(72)에 수용될 수 있는 상태인 정상적인 상태를 가지거나, 단재 수용 유닛(72)에 수용될 수 없는 비정상적인 상태를 가질 수 있다.The end material D that has fallen to the end
단재(D)가 비정상적인 상태로 컨베이어 벨트(711)를 이동하는지 여부를 감지하는 감지 센서(74)를 포함할 수 있다. 감지 센서(74)에 의해 비정상적인 상태의 단재(D)를 인지하게 되면, 외력인가부를 통해 외력을 주어, 비정상적인 상태의 단재(D)가 정상적인 상태의 단재(D)로 되도록 단재(D)의 위치 및 자세를 변경하는 것이 가능하다. The end material D may include a
도 6에 도시된 바와 같이, 감지 센서(74)는 단재 수용 유닛(72) 또는 단재 수용 유닛(72)과 인접하게 설치될 수 있다. 이 경우, 감지 센서(74)는 컨베이어 벨트(711)에 단재(D)가 접하는 면의 표면에서 단재(D)의 위치가 이격된 초과 거리(h)인 위치에 설정되는 것이 바람직하다. As shown in FIG. 6 , the
즉, 이격된 초과 거리(h)를 가지는 단재(D)는 비정상적인 상태의 단재(D)로 보고, 이와 반대로, 이격된 초과 거리(h)를 갖지 않는 단재(D)를 정상적인 상태의 단재로 본다. In other words, an edge D having a spaced apart excess distance h is considered an edge D in an abnormal state, and conversely, an edge D not having a spaced excess distance h is considered an edge in a normal state. .
비정상적인 상태의 단재(D)의 경우에, 단재 수용 유닛(72)에 수용되기 어렵다. 반면, 정상적인 상태의 단재(D)의 경우에 단재 수용 유닛(72)에 수용되기 쉽다. In the case of the end material D in an abnormal state, it is difficult to be accommodated in the end
감지 센서(74)에 의해서 비정상적인 상태의 단재(D)가 감지되면, 사용자에게 알람을 발생시키는 알람 발생 유닛을 포함할 수 있다. 알람 발생 유닛에 의해 알람이 발생하면, 사용자는 단재(D)를 치우는 등의 행위를 함으로써, 비정상적인 단재(D)에 의해 후속되는 진행에 막힘 현상을 저지할 수 있다. When the edge D in an abnormal state is detected by the
또는, 감지 센서(74)에 의해 비정상적인 상태의 단재(D)가 감지되고, 감지가 일정시간 동안 유지되는 경우 즉, 단재(D)의 정체 현상이 발생하면, 감지 센서(74)가 사용자에게 알람을 발생시키는 알람 발생 유닛을 포함할 수 있다. 즉, 일정시간 동안 비정상적인 상태의 단재(D)가 유지되는 경우에 감지 센서(74)가 이를 검출하여 사용자에게 알림을 준다. Alternatively, when the edge D in an abnormal state is detected by the
예를 들면, 본 발명에서 정체 현상이란, 단재(D)가 감지 센서(74)에 의해 10초 이상 감지된 경우를 말한다. For example, in the present invention, the congestion phenomenon refers to a case in which the edge D is sensed by the
단재 수용 유닛(72)에 수용될 수 없는 비정상적인 상태의 단재(D)를 가지는 경우, 이를 해결하기 위해 단재 이송 유닛(71)에 제1 외력 인가 유닛(73) 또는 제2 외력 인가 유닛(75)을 포함할 수 있다.In the case of having the end material D in an abnormal state that cannot be accommodated in the end
제1 외력 인가 유닛(73)은 컨베이어 벨트(711) 상에서 이동하는 단재(D)에 직접적인 외력을 인가하는 구성으로써, 단재 수용 유닛(72)으로 이송되기 어려운 비정상적인 상태로부터 단재 수용 유닛(72)으로 이송되기 쉬운 정상적인 상태로 단재(D)의 위치 및 자세를 직접적으로 변경시킨다. The first external force applying unit 73 is a configuration that applies an external force directly to the end material D moving on the
도 7 내지 도 9에 나타난 바와 같이, 제1 외력 인가 유닛(73)의 일례로, 충돌 부재(731), 가압부(732), 유체 분사부(733) 등을 포함할 수 있다. 7 to 9 , an example of the first external force applying unit 73 may include a
충돌 부재(731)는 단재 수용 유닛(72)과 가까운 쪽의 컨베이어 벨트(711) 상에 위치하고, 컨베이어 벨트(711) 상에서의 단재(D)의 이탈을 방지하며, 단재(D)를 단재 수용 유닛(72)으로 안정적으로 안내할 수 있도록 컨베이어 벨트(711)의 외측면을 감싸도록 설치될 수 있다. 그 일례로는 도 7에 나타난 바와 같은 가이드부를 들 수 있다. The
충돌 부재(731)는 비정상적인 상태의 단재(D)가 충돌 부재(731)와 접촉으로 인해, 충돌 부재(731)를 따라 비정상적인 상태에서 정상적인 상태로 단재(D)의 위치 및 자세를 변경할 수 있다. The
도 8에 나타난 바와 같이, 가압부(732)는 컨베이어 벨트(711) 상에서 단재(D)의 이탈을 방지하고, 단재(D)를 단재 수용 유닛(72)으로 안정적으로 안내할 수 있도록 컨베이어 벨트(711)의 외측면에 위치시킬 수 있다. As shown in FIG. 8, the
가압부(732)는 단재 수용 유닛(72)과 이격된 거리에 위치할 수 있다. 가압부(732)는 컨베이어 벨트(711) 상에 지그재그의 형상으로 위치시킬 수 있으며, 비정상적인 단재(D)의 위치에 따라 선택적으로 단재(D)에 외력을 부가할 수 있다. The
도 9에 나타난 바와 같이, 유체 분사부(733)도 단재 수용 유닛(72)과 이격된 거리에 위치할 수 있다. 유체 분사부(733)는 액체 또는 기체를 분사할 수 있는 분사부이다. 비정상적인 상태의 단재(D)에 유체를 분사하여 정상적인 상태로 단재(D)의 위치 및 자세를 변경시킨다. As shown in FIG. 9 , the
또한, 제2 외력 인가 유닛(75)은 컨베이어 벨트(711)에 직접적인 외력을 인가하는 구성으로써, 단재 수용 유닛(72)으로 이송되기 어려운 비정상적인 상태로부터 단재 수용 유닛(72)으로 이송되기 쉬운 정상적인 상태로 단재(D)의 위치 및 자세를 변경시킨다. 즉, 컨베이어 자체에 외력을 인가함으로써, 컨베이어 상에 위치하고 있는 단재(D)의 막힘 현상을 풀어주고, 이에 정체되는 문제를 해결할 수 있다.In addition, the second external force applying unit 75 is a configuration that directly applies an external force to the
제2 외력 인가 유닛(75)의 일례로, 도 10 및 도 11에 나타난 바와 같이, 진동부(751) 또는 요철부(752)를 포함할 수 있다. As an example of the second external force applying unit 75 , as shown in FIGS. 10 and 11 , a vibrating
도 10에 나타난 바와 같이, 진동부(751)는 컨베이어에 진동을 부가하는 방법으로써, 컨베이어 벨트(711)에 직접적으로 압력을 부여하여 간접적으로 단재(D)에 충격을 부여하는 방법이다. As shown in FIG. 10 , the vibrating
도 11에 나타난 바와 같이, 요철부(752)는 굴곡진 형상의 요철부(752)를 컨베이어 벨트(711)상에 놓아 비정상적인 상태의 단재(D)를 정상적인 상태의 단재(D)로 변환하는 것이 가능하게 된다.As shown in FIG. 11 , the
요철부(752)는 컨베이어(711)의 일측에 고정될 수 있다. 요철부(752)는 컨베이어 벨트(711)의 일면을 덮는 굴곡진 형상을 가질 수 있다. The
제2 외력 인가 유닛(75)의 다른 예로서, 도면에는 미도시 하였으나, 단재 처리 장치(70)는 커버(76)의 일측에 각도 조정이 가능한 가변부를 더 포함할 수 있다. 가변부가 상하 움직일 수 있도록 하여 비정상적인 상태의 단재(D)를 정상적인 상태의 단재(D)로 전환시킬 수 있다. As another example of the second external force applying unit 75 , although not shown in the drawings, the
또 다른 예로서, 도면에는 미도시 하였으나, 비정상적인 상태의 단재(D)를 감지 센서(74)가 감지하게 되면, 컨베이어 벨트(711)를 역방향으로 일정시간동안 이동시킨 뒤에 다시 정방향으로 컨베이어 벨트(711)를 이동시킴으로써, 비정상적인 단재(D)를 정상적인 단재(D)로 전환시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 컨베이어 벨트(711)가 단재 수용 유닛(72)을 향하는 방향에 반대하는 방향으로 이동한 후에 단재 수용 유닛(72)을 향하는 방향으로 이동할 수 있다. As another example, although not shown in the drawings, when the
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.
70: 단재 처리 장치
71: 단재 이송 유닛
72: 단재 수용 유닛
73: 제1 외력 인가 유닛
74: 감지 센서
75: 제2 외력 인가 유닛
76: 커버
711: 컨베이어 벨트
712: 풀리
731: 충돌 부재
732: 가압부
733: 유체 분사부
751: 진동부
752: 요철부 70: edge processing device
71: edge feed unit
72: end material receiving unit
73: first external force applying unit
74: detection sensor
75: second external force applying unit
76: cover
711: conveyor belt
712: pulley
731: no collision
732: pressurized part
733: fluid ejection unit
751: vibration unit
752: uneven part
Claims (5)
상기 컨베이어 벨트의 표면으로부터 이격된 초과 거리에 해당하는 위치에 설치되어 상기 초과 거리를 초과하는 위치에 상기 단재의 일부분이 위치되는지 여부를 감지하는 감지 센서; 및
상기 초과 거리를 초과하는 위치에 상기 단재의 일부분이 위치되는 것이 상기 감지 센서에 의해 감지되면, 상기 초과 거리를 초과하는 위치에 일부분이 위치된 단재에 외력을 인가하거나 상기 컨베이어 벨트에 외력을 인가하여 상기 컨베이어 벨트를 진동시킴으로써 상기 단재의 위치 및 자세를 변경하는 외력 인가 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치.an end material transfer unit including a conveyor belt for transferring the end material;
a detection sensor installed at a position corresponding to an excess distance spaced apart from the surface of the conveyor belt to detect whether a portion of the end material is located at a position exceeding the excess distance; and
When it is detected by the detection sensor that a part of the edge is positioned at a position exceeding the excess distance, an external force is applied to the edge part located at a position exceeding the excess distance or an external force is applied to the conveyor belt. and an external force application unit configured to change the position and posture of the end material by vibrating the conveyor belt.
상기 외력 인가 유닛은 상기 단재 이송 유닛 상에서 이동하는 상기 단재와 충돌하는 충돌 부재인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.According to claim 1,
The external force applying unit is a scribing device, characterized in that the collision member collides with the edge moving on the edge transfer unit.
상기 외력 인가 유닛은 상기 단재 이송 유닛 상에서 이동하는 상기 단재에 가압하는 가압부인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.According to claim 1,
The external force applying unit is a scribing device, characterized in that the pressing unit for pressing the edge moving on the edge transfer unit.
상기 외력 인가 유닛은 상기 단재 이송 유닛 상에서 이동하는 상기 단재에 유체를 분사하는 유체 분사부인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.According to claim 1,
The external force applying unit is a scribing device, characterized in that the fluid injection unit for injecting a fluid to the edge moving on the edge transfer unit.
상기 외력 인가 유닛은 상기 컨베이어 벨트 상에 배치되는 요철부인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.According to claim 1,
The external force applying unit is a scribing device, characterized in that the uneven portion disposed on the conveyor belt.
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