KR102353204B1 - Scribing apparatus - Google Patents

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KR102353204B1 KR1020190172140A KR20190172140A KR102353204B1 KR 102353204 B1 KR102353204 B1 KR 102353204B1 KR 1020190172140 A KR1020190172140 A KR 1020190172140A KR 20190172140 A KR20190172140 A KR 20190172140A KR 102353204 B1 KR102353204 B1 KR 102353204B1
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김현정
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠 홀더에 회전 가능하게 장착되며 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠; 스크라이빙 휠이 접근 가능한 위치에 배치되며 스크라이빙 휠과 접촉하여 스크라이빙 휠을 회전시키도록 구성되는 스크라이빙 휠 청소 부재; 및 스크라이빙 휠 청소 부재에 인접하게 배치되며 스크라이빙 휠 청소 부재의 주위의 공기를 흡인하도록 구성되는 흡인 포트를 포함할 수 있다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a scribing wheel rotatably mounted on a scribing wheel holder and configured to form a scribing line on a substrate; a scribing wheel cleaning member disposed at an accessible position and configured to contact the scribing wheel to rotate the scribing wheel; and a suction port disposed adjacent to the scribing wheel cleaning member and configured to suck in air surrounding the scribing wheel cleaning member.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}Scribing Device {SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 기판을 절단하기 위해 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus configured to form a scribing line in a substrate for cutting the substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판이 사용된다. 평판 디스플레이는 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(기판)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(단위 기판)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, and a reflective projector substrate are used for a flat panel display. A flat panel display uses a unit glass panel (unit substrate) cut to a predetermined size from a brittle mother glass panel (substrate) such as glass.

기판을 절단하는 공정은 스크라이빙 공정을 포함한다. 스크라이빙 공정은 기판 상에 가상의 예정선을 따라 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성한다.The process of cutting the substrate includes a scribing process. In the scribing process, a scribing line is formed by moving a scribing wheel while pressing it along an imaginary predetermined line on the substrate.

한편, 기판 상에는 먼지와 같은 이물질이 존재할 수 있다. 또한, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 기판으로부터 파편과 같은 이물질이 발생할 수 있다.Meanwhile, foreign substances such as dust may be present on the substrate. In addition, in the process of forming the scribing line on the substrate, foreign substances such as debris may be generated from the substrate.

이러한 이물질은 스크라이빙 휠에 부착될 수 있다. 스크라이빙 휠에 부착된 이물질은 스크라이빙 휠이 정확한 절삭 깊이(스크라이빙 휠이 기판의 표면에 삽입되는 깊이, 즉, 스크라이빙 라인을 따라 형성되는 홈의 깊이)로 기판의 표면에 삽입되는 것을 방해할 수 있다. 이로 인하여, 기판 상에 정확한 스크라이빙 라인이 형성되지 않을 수 있다.These foreign substances may adhere to the scribing wheel. Foreign substances adhering to the scribing wheel are released by the scribing wheel on the surface of the substrate with the correct cutting depth (the depth at which the scribing wheel is inserted into the surface of the substrate, that is, the depth of the groove formed along the scribing line). may interfere with insertion. Due to this, accurate scribing lines may not be formed on the substrate.

또한, 스크라이빙 휠에 부착된 이물질로 인하여, 스크라이빙 휠이 기판의 표면에 접촉되거나 삽입될 때, 스크라이빙 휠이 마모될 수 있다. 이로 인하여, 스크라이빙 휠의 수명이 저하될 수 있다.In addition, due to foreign substances attached to the scribing wheel, when the scribing wheel is in contact with or inserted into the surface of the substrate, the scribing wheel may be worn. Due to this, the life of the scribing wheel may be reduced.

또한, 스크라이빙 휠을 유지하도록 구성되는 스크라이빙 휠 홀더와 스크라이빙 휠 사이의 간극 내로 이물질이 유입될 수 있다. 이러한 이물질은 스크라이빙 휠의 회전(구름 운동)을 방해할 수 있다. 이로 인하여, 스크라이빙 휠이 적절하게 회전되지 않아, 기판 상에 정확한 스크라이빙 라인이 형성되지 않을 수 있다.Also, foreign matter may be introduced into the gap between the scribing wheel and the scribing wheel holder configured to hold the scribing wheel. These foreign substances may interfere with the rotation (rolling motion) of the scribing wheel. Due to this, the scribing wheel may not rotate properly, so that an accurate scribing line may not be formed on the substrate.

본 발명의 목적은 스크라이빙 휠을 청소할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a scribing device capable of cleaning a scribing wheel.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠 홀더에 회전 가능하게 장착되며 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠; 스크라이빙 휠이 접근 가능한 위치에 배치되며 스크라이빙 휠과 접촉하여 스크라이빙 휠을 회전시키도록 구성되는 스크라이빙 휠 청소 부재; 및 스크라이빙 휠 청소 부재에 인접하게 배치되며 스크라이빙 휠 청소 부재의 주위의 공기를 흡인하도록 구성되는 흡인 포트를 포함할 수 있다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a scribing wheel rotatably mounted on a scribing wheel holder and configured to form a scribing line on a substrate; a scribing wheel cleaning member disposed at an accessible position and configured to contact the scribing wheel to rotate the scribing wheel; and a suction port disposed adjacent to the scribing wheel cleaning member and configured to suck in air surrounding the scribing wheel cleaning member.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 가스를 공급하도록 구성되는 가스 공급기; 스크라이빙 휠 청소 부재와 연결되며 가스 공급기로부터 공급되는 가스의 압력에 의해 스크라이빙 휠 청소 부재를 회전시키는 회전력을 발생시키는 공압 모터; 및 흡인 포트와 연결되며 가스 공급기에서 공급되는 가스의 압력에 의해 흡인 포트에 부압을 발생시키는 부압 발생기를 더 포함할 수 있다.In addition, the scribing apparatus according to an embodiment of the present invention, a gas supply configured to supply a gas; a pneumatic motor connected to the scribing wheel cleaning member and generating a rotational force for rotating the scribing wheel cleaning member by the pressure of gas supplied from the gas supply; and a negative pressure generator connected to the suction port and generating a negative pressure in the suction port by the pressure of the gas supplied from the gas supplier.

흡인 포트의 내경은 스크라이빙 휠 청소 부재의 외경보다 클 수 있다.The inner diameter of the suction port may be larger than the outer diameter of the scribing wheel cleaning member.

흡인 포트의 내경은 스크라이빙 휠의 외경 및 스크라이빙 휠 청소 부재의 외경의 합보다 클 수 있다.The inner diameter of the suction port may be greater than the sum of the outer diameter of the scribing wheel and the outer diameter of the scribing wheel cleaning member.

스크라이빙 휠 청소 부재의 회전 중심축 및 스크라이빙 휠의 회전 중심축은 서로 이격될 수 있다.The central axis of rotation of the scribing wheel cleaning member and the central axis of rotation of the scribing wheel may be spaced apart from each other.

스크라이빙 휠 청소 부재의 회전에 의한 스크라이빙 휠의 회전 속도는 기판에 스크라이빙 라인을 형성할 때의 스크라이빙 휠의 회전 속도보다 높을 수 있다.The rotation speed of the scribing wheel due to the rotation of the scribing wheel cleaning member may be higher than the rotation speed of the scribing wheel when the scribing line is formed on the substrate.

스크라이빙 휠의 일부는 스크라이빙 휠 홀더로부터 돌출될 수 있고, 스크라이빙 휠 청소 부재의 외주에는 스크라이빙 휠의 돌출된 일부가 삽입되는 삽입홈이 형성될 수 있다.A part of the scribing wheel may protrude from the scribing wheel holder, and an insertion groove into which the protruding part of the scribing wheel is inserted may be formed on the outer periphery of the scribing wheel cleaning member.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠을 청소하여 스크라이빙 라인을 정확하게 형성할 수 있으므로, 스크라이빙 라인을 따라 분단된 기판의 절단면의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention, since the scribing line can be accurately formed by cleaning the scribing wheel, the quality of the cut surface of the substrate divided along the scribing line can be improved. .

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 스크라이빙 휠을 청소하여 스크라이빙 휠에 부착된 이물질을 제거함으로써, 이물질로 인한 스크라이빙 휠의 수명 저하를 방지할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, by removing foreign substances attached to the scribing wheel by cleaning the scribing wheel, it is possible to prevent deterioration of the life of the scribing wheel due to the foreign substances.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 일부가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 청소 유닛의 공압 회로도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 청소 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 청소 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 청소 부재가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 청소 부재가 개략적으로 도시된 도면이다.1 is a plan view schematically showing a scribing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 and 3 are side views schematically showing a part of a scribing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
4 is a pneumatic circuit diagram of a scribing wheel cleaning unit provided in the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
5 is a diagram schematically illustrating a scribing wheel and a scribing wheel cleaning unit provided in the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
6 is a diagram schematically illustrating a scribing wheel and a scribing wheel cleaning unit provided in a scribing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
7 is a diagram schematically illustrating a scribing wheel and a scribing wheel cleaning member provided in a scribing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
8 and 9 are diagrams schematically illustrating a scribing wheel and a scribing wheel cleaning member provided in a scribing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이하, 스크라이빙 라인이 형성될 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다. 또한, 스크라이빙 라인이라는 용어는 기판(S)의 표면에서 소정 방향으로 연장되게 형성되는 홈 및/또는 크랙을 의미한다.Hereinafter, a direction in which a substrate on which a scribing line is to be formed is transferred is defined as a Y-axis direction. And, a direction perpendicular to the direction in which the substrate is transferred (the Y-axis direction) is defined as the X-axis direction. And, a direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate is placed is defined as the Z-axis direction. In addition, the term scribe line means a groove and/or crack formed to extend in a predetermined direction on the surface of the substrate (S).

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 유닛(30), 제1 이송 유닛(20), 제2 이송 유닛(40), 스크라이빙 휠 청소 유닛(70)을 포함할 수 있다.1 to 3 , the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a scribing unit 30 , a first transfer unit 20 , a second transfer unit 40 , It may include a scribing wheel cleaning unit 70 .

제1 이송 유닛(20)은 스크라이빙 유닛(30)으로 기판을 이송하도록 구성된다. 제1 이송 유닛(20)은 제1 스테이지(21), 파지 부재(22), 지지바(23), 가이드 레일(24)을 포함할 수 있다.The first transfer unit 20 is configured to transfer the substrate to the scribing unit 30 . The first transfer unit 20 may include a first stage 21 , a gripping member 22 , a support bar 23 , and a guide rail 24 .

제1 스테이지(21)는 기판을 지지하는 역할을 한다. 일 예로서, 제1 스테이지(21)는 X축 방향으로 서로 이격된 복수의 벨트로서 구성될 수 있다. 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제1 스테이지(21)는 가스 공급원과 연결되어 가스를 분사하는 복수의 가스 분사홀을 구비하며, 기판의 하면을 향하여 가스를 분사하여 기판을 부양시키는 부양 테이블로서 구성될 수 있다. 또 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제1 스테이지(21)는 하나의 벨트로서 구성될 수 있다.The first stage 21 serves to support the substrate. As an example, the first stage 21 may be configured as a plurality of belts spaced apart from each other in the X-axis direction. As another example, although not shown, the first stage 21 is connected to a gas supply source and provided with a plurality of gas injection holes for injecting gas, and is configured as a levitation table for levitating the substrate by injecting gas toward the lower surface of the substrate. can be As another example, although not shown, the first stage 21 may be configured as one belt.

파지 부재(22)는 제1 스테이지(21) 상에 지지된 기판의 후행단을 파지하도록 구성된다.The gripping member 22 is configured to grip the trailing end of the substrate supported on the first stage 21 .

지지바(23)는 파지 부재(22)와 연결되며 X축 방향으로 연장된다.The support bar 23 is connected to the gripping member 22 and extends in the X-axis direction.

가이드 레일(24)은 지지바(23)와 연결되며 Y축 방향으로 연장된다.The guide rail 24 is connected to the support bar 23 and extends in the Y-axis direction.

지지바(23)와 가이드 레일(24) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 부재(22)가 기판을 파지한 상태에서 지지바(23)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 제1 스테이지(21)(예를 들면, 벨트)는 파지 부재(22)의 이동과 함께 회전하면서 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.An actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided between the support bar 23 and the guide rail 24 . Accordingly, as the support bar 23 moves in the Y-axis direction by the linear movement mechanism in a state in which the gripping member 22 grips the substrate, the substrate may be transferred in the Y-axis direction. In this case, the first stage 21 (eg, a belt) may stably support the substrate while rotating along with the movement of the holding member 22 .

파지 부재(22)는 기판을 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다른 예로서, 파지 부재(22)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판을 흡착하도록 구성될 수 있다.The gripping member 22 may be a clamp that presses and holds the substrate. As another example, the gripping member 22 may be configured to have a vacuum hole connected to a vacuum source to adsorb the substrate.

한편, 본 발명의 제1 실시예에서는 기판이 제1 스테이지(21)에 탑재된 상태에서 파지 부재(22)가 기판의 후행단을 파지하여 Y축 방향으로 이동함에 따라 기판이 이동하는 Y축 방향으로 이동하는 구성에 대하여 설명하였다.Meanwhile, in the first embodiment of the present invention, in a state in which the substrate is mounted on the first stage 21 , the holding member 22 grips the trailing end of the substrate and moves in the Y-axis direction in the Y-axis direction in which the substrate moves. The configuration to move to has been described.

그러나, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 스크라이빙 장치는, X축 구동 기구, Y축 구동 기구, 회전 기구를 포함할 수 있다. X축 구동 기구는 제1 스테이지(21)를 X축 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다. Y축 구동 기구는 제1 스테이지(21)를 Y축 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 회전 기구는 제1 스테이지(21)를 Z축을 중심으로 회전시키도록 구성될 수 있다.However, the present invention is not limited to this configuration. For example, the scribing apparatus may include an X-axis drive mechanism, a Y-axis drive mechanism, and a rotation mechanism. The X-axis driving mechanism may be configured to move the first stage 21 in the X-axis direction. The Y-axis driving mechanism may be configured to move the first stage 21 in the Y-axis direction. The rotating mechanism may be configured to rotate the first stage 21 about the Z axis.

이러한 구성에 따르면, X축 구동 기구가 제1 스테이지(21)를 X축 방향으로 이동시킴에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판이 X축 방향으로 이동될 수 있다. 또한, Y축 구동 기구가 제1 스테이지(21)를 Y축 방향으로 이동시킴에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판이 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 회전 기구가 제1 스테이지(21)를 Z축을 중심으로 회전시킴에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판이 Z축을 중심으로 회전될 수 있다. 따라서, 기판이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠(33)에 대한 기판의 위치가 조절될 수 있다. 또한, 기판이 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠(33)에 대한 기판의 위치가 조절될 수 있다. 또한, 기판이 Z축을 중심으로 회전됨에 따라, 스크라이빙 휠(33)에 대한 기판의 위치가 조절될 수 있다. 이에 따라, 기판 상의 적절한 위치에서 스크라이빙 휠(33)에 의해 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.According to this configuration, as the X-axis driving mechanism moves the first stage 21 in the X-axis direction, the substrate mounted on the first stage 21 can be moved in the X-axis direction. Also, as the Y-axis driving mechanism moves the first stage 21 in the Y-axis direction, the substrate mounted on the first stage 21 may be moved in the Y-axis direction. Also, as the rotating mechanism rotates the first stage 21 about the Z-axis, the substrate mounted on the first stage 21 may be rotated about the Z-axis. Accordingly, as the substrate moves in the X-axis direction, the position of the substrate with respect to the scribing wheel 33 may be adjusted. In addition, as the substrate moves in the Y-axis direction, the position of the substrate with respect to the scribing wheel 33 may be adjusted. In addition, as the substrate is rotated about the Z-axis, the position of the substrate with respect to the scribing wheel 33 may be adjusted. Accordingly, a scribing line may be formed by the scribing wheel 33 at an appropriate position on the substrate.

제2 이송 유닛(40)은 기판을 스크라이빙 유닛(30)으로부터 후속 공정으로 이송하도록 구성된다. 제2 이송 유닛(40)은 기판을 지지하여 이송하는 제2 스테이지(41)를 포함할 수 있다.The second transfer unit 40 is configured to transfer the substrate from the scribing unit 30 to a subsequent process. The second transfer unit 40 may include a second stage 41 that supports and transfers the substrate.

일 예로서, 제2 스테이지(41)는 X축 방향으로 서로 이격된 복수의 벨트로서 구성될 수 있다. 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제2 스테이지(41)는 하나의 벨트로서 구성될 수 있다.As an example, the second stage 41 may be configured as a plurality of belts spaced apart from each other in the X-axis direction. As another example, although not shown, the second stage 41 may be configured as one belt.

스크라이빙 유닛(30)은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다. 스크라이빙 유닛(30)은, 프레임(31), 스크라이빙 헤드(32)를 포함할 수 있다. 프레임(31)은 X축 방향으로 연장된다. 스크라이빙 헤드(32)는 프레임(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다.The scribing unit 30 is configured to form scribing lines on the substrate. The scribing unit 30 may include a frame 31 and a scribing head 32 . The frame 31 extends in the X-axis direction. The scribing head 32 is movably installed in the frame 31 in the X-axis direction.

프레임(31) 및 스크라이빙 헤드(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비된다. 이러한 직선 이동 기구에 의해 스크라이빙 헤드(32)가 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다.An actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism is provided between the frame 31 and the scribing head 32 . The scribing head 32 may be moved in the X-axis direction along the frame 31 by such a linear movement mechanism.

스크라이빙 헤드(32)는, 스크라이빙 휠 모듈(321), 스크라이빙 휠 이동 모듈(322)을 포함할 수 있다. 스크라이빙 휠 모듈(321)은 스크라이빙 휠(33)을 유지하는 스크라이빙 휠 홀더(34)를 구비한다. 스크라이빙 휠 이동 모듈(322)은 스크라이빙 휠 모듈(321)을 Z축 방향으로 이동시키도록 구성된다.The scribing head 32 may include a scribing wheel module 321 and a scribing wheel moving module 322 . The scribing wheel module 321 has a scribing wheel holder 34 that holds the scribing wheel 33 . The scribing wheel moving module 322 is configured to move the scribing wheel module 321 in the Z-axis direction.

스크라이빙 휠 이동 모듈(322)에 의해 스크라이빙 휠 모듈(321)이 기판을 향하여 이동됨에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판에 스크라이빙 휠(33)이 기판에 가압될 수 있다. 스크라이빙 휠(33)이 기판을 가압하는 정도에 따라 기판에 대한 스크라이빙 휠(33)의 절삭 깊이가 조절될 수 있다. 여기에서, 절삭 깊이는 스크라이빙 휠(33)이 기판의 표면에 삽입되는 깊이, 즉, 스크라이빙 라인을 따라 형성되는 홈의 깊이를 의미한다.As the scribing wheel module 321 is moved toward the substrate by the scribing wheel moving module 322 , the scribing wheel 33 is pressed against the substrate mounted on the first stage 21 . can A cutting depth of the scribing wheel 33 with respect to the substrate may be adjusted according to the degree to which the scribing wheel 33 presses the substrate. Here, the cutting depth means the depth at which the scribing wheel 33 is inserted into the surface of the substrate, that is, the depth of the groove formed along the scribing line.

스크라이빙 휠 이동 모듈(322)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.The scribing wheel moving module 322 may be composed of an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism.

스크라이빙 휠 홀더(34)는 스크라이빙 휠 모듈(321)에 탈착 가능하게 장착될 수 있다.The scribing wheel holder 34 may be detachably mounted to the scribing wheel module 321 .

스크라이빙 휠 홀더(34)에는 스크라이빙 휠(33)이 자유롭게 구름 운동 가능하게 설치될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 기판의 표면에 접촉된 상태에서 스크라이빙 헤드(32)가 수평으로 이동하거나 기판이 수평으로 이동하면 스크라이빙 휠(33)은 스크라이빙 헤드(32)의 이동 방향에 수직인 축을 중심으로 회전될 수 있다. 즉, 스크라이빙 헤드(32)가 X축 방향으로 이동하는 경우, 스크라이빙 휠(33)은 Y축을 중심으로 회전될 수 있다. 그리고, 스크라이빙 헤드(32)가 Y축 방향으로 이동하는 경우, 스크라이빙 휠(33)은 X축 중심으로 회전될 수 있다.The scribing wheel 33 may be freely installed in the scribing wheel holder 34 to allow rolling motion. Accordingly, when the scribing head 32 moves horizontally or the substrate moves horizontally while the scribing wheel 33 is in contact with the surface of the substrate, the scribing wheel 33 moves the scribing head 32 ) can be rotated about an axis perpendicular to the direction of movement. That is, when the scribing head 32 moves in the X-axis direction, the scribing wheel 33 may be rotated about the Y-axis. And, when the scribing head 32 moves in the Y-axis direction, the scribing wheel 33 may rotate around the X-axis.

스크라이빙 휠 청소 유닛(70)은 스크라이빙 휠(33)을 청소하도록 구성된다. 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 청소 유닛(70)은, 스크라이빙 휠 청소 부재(71), 흡인 포트(72)를 포함할 수 있다.The scribing wheel cleaning unit 70 is configured to clean the scribing wheel 33 . 2 to 5 , the scribing wheel cleaning unit 70 may include a scribing wheel cleaning member 71 and a suction port 72 .

스크라이빙 휠 청소 부재(71)는 스크라이빙 휠(33)이 접근 가능한 위치에 배치된다. 스크라이빙 휠 청소 부재(71)는, 예를 들면, Y축과 평행한 축을 중심으로 회전되도록 구성된다. 스크라이빙 휠 청소 부재(71)는 스크라이빙 휠(33)과 접촉하여 회전함으로써, 스크라이빙 휠(33)을 회전시킨다.The scribing wheel cleaning member 71 is disposed at a position accessible to the scribing wheel 33 . The scribing wheel cleaning member 71 is configured to rotate about an axis parallel to the Y axis, for example. The scribing wheel cleaning member 71 rotates in contact with the scribing wheel 33 , thereby rotating the scribing wheel 33 .

스크라이빙 휠 청소 부재(71)는 정방향 또는 역방향으로 회전될 수 있다. 또한, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)는 정방향 및 역방향으로 반복적으로 회전될 수 있다. 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 정방향 및/또는 역방향의 회전에 의해 스크라이빙 휠(33)이 정방향 및/또는 역방향으로 회전될 수 있다.The scribing wheel cleaning member 71 may be rotated in a forward or reverse direction. In addition, the scribing wheel cleaning member 71 may be rotated repeatedly in the forward and reverse directions. The scribing wheel 33 may be rotated in the forward and/or reverse directions by the forward and/or reverse rotation of the scribing wheel cleaning member 71 .

이에 따라, 스크라이빙 휠(33)에 부착된 이물질이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 의해 스크라이빙 휠(33)로부터 분리될 수 있다.Accordingly, foreign substances attached to the scribing wheel 33 may be separated from the scribing wheel 33 by the scribing wheel cleaning member 71 .

스크라이빙 휠 청소 부재(71) 및 흡인 포트(72)는 하나의 지지 플레이트(77)에 일체로 장착될 수 있다. 지지 플레이트(77)는 프레임(31)의 X축 방향 일측에 배치될 수 있다.The scribing wheel cleaning member 71 and the suction port 72 may be integrally mounted on one support plate 77 . The support plate 77 may be disposed on one side of the frame 31 in the X-axis direction.

스크라이빙 휠 청소 부재(71)는 브러시, 스폰지, 롤러 등 스크라이빙 휠(33)의 강성에 비하여 낮은 강성을 갖는 재료로 형성될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)는 스크라이빙 휠(33)의 외주 전체를 감쌀 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)는 스크라이빙 휠(33)에 부착된 이물질을 원활하게 제거할 수 있다.The scribing wheel cleaning member 71 may be formed of a material having low rigidity compared to the rigidity of the scribing wheel 33 , such as a brush, a sponge, or a roller. Accordingly, the scribing wheel cleaning member 71 may wrap the entire outer periphery of the scribing wheel 33 . Accordingly, the scribing wheel cleaning member 71 may smoothly remove foreign substances attached to the scribing wheel 33 .

흡인 포트(72)는 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 인접하게 배치된다. 흡인 포트(72)는 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 주위의 공기를 흡인하도록 구성된다. 한 쌍의 흡인 포트(72)가 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 양측에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명은 흡인 포트(72)의 개수에 한정되지 않는다. 예를 들면, 셋 이상의 흡인 포트(72)가 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 둘레에 배치될 수 있다.The suction port 72 is disposed adjacent to the scribing wheel cleaning member 71 . The suction port 72 is configured to suck in air surrounding the scribing wheel cleaning member 71 . A pair of suction ports 72 may be disposed on both sides of the scribing wheel cleaning member 71 . However, the present invention is not limited to the number of suction ports 72 . For example, three or more suction ports 72 may be disposed around the scribing wheel cleaning member 71 .

도 5에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 인접하는 흡인 포트(72)의 일부분은 스크라이빙 휠 청소 부재(71)로부터 멀어지는 방향으로 오목하게 형성된다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 수용되는 수용부(721)가 형성된다. 따라서, 수용부(721)는 소정의 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 수용되는 수용 공간을 갖는다. 그리고, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 적어도 일부는 흡인 포트(72) 내에 수용된다. 수용부(721)가 형성됨에 따라 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 흡인 포트(72)에 최대로 인접할 수 있다.As shown in FIG. 5 , a portion of the suction port 72 adjacent to the scribing wheel cleaning member 71 is concave in a direction away from the scribing wheel cleaning member 71 . Accordingly, the receiving portion 721 in which the scribing wheel cleaning member 71 is accommodated is formed. Accordingly, the accommodating portion 721 has an accommodating space in which a predetermined scribing wheel cleaning member 71 is accommodated. And, at least a part of the scribing wheel cleaning member 71 is accommodated in the suction port 72 . As the receiving portion 721 is formed, the scribing wheel cleaning member 71 may be maximally adjacent to the suction port 72 .

따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 의해 스크라이빙 휠(33)로부터 제거된 이물질이 외부로 비산되지 않고 흡인 포트(72)로 원활하게 유입될 수 있다.Accordingly, foreign substances removed from the scribing wheel 33 by the scribing wheel cleaning member 71 may be smoothly introduced into the suction port 72 without scattering to the outside.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 흡인 포트(72)의 내경(Ds)은 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 외경(Dc)보다 큰 것이 바람직하다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 흡인 포트(72)의 내경(Ds)에 의해 정의되는 영역 내에 포함될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 의해 스크라이빙 휠(33)로부터 제거된 이물질이 외부로 비산되지 않고 흡인 포트(72)로 원활하게 유입될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 5 , the inner diameter Ds of the suction port 72 is preferably larger than the outer diameter Dc of the scribing wheel cleaning member 71 . Accordingly, the scribing wheel cleaning member 71 may be included in an area defined by the inner diameter Ds of the suction port 72 . Accordingly, foreign substances removed from the scribing wheel 33 by the scribing wheel cleaning member 71 may be smoothly introduced into the suction port 72 without scattering to the outside.

또한, 흡인 포트(72)의 내경(Ds)은 스크라이빙 휠(33)의 외경(Dw) 및 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 외경(Dc)의 합보다 큰 것이 바람직하다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 접촉된 상태에서 스크라이빙 휠(33) 및 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 흡인 포트(72)의 내경(Ds)에 의해 정의되는 영역 내에 포함될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 의해 스크라이빙 휠(33)로부터 제거된 이물질이 외부로 비산되지 않고 흡인 포트(72)로 원활하게 유입될 수 있다.In addition, it is preferable that the inner diameter Ds of the suction port 72 is larger than the sum of the outer diameter Dw of the scribing wheel 33 and the outer diameter Dc of the scribing wheel cleaning member 71 . Accordingly, in a state in which the scribing wheel 33 is in contact with the scribing wheel cleaning member 71, the scribing wheel 33 and the scribing wheel cleaning member 71 are separated by the inner diameter ( Ds). Accordingly, foreign substances removed from the scribing wheel 33 by the scribing wheel cleaning member 71 may be smoothly introduced into the suction port 72 without being scattered to the outside.

한편, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 회전에 의한 스크라이빙 휠(33)의 회전 속도는 기판에 스크라이빙 라인을 형성할 때의 스크라이빙 휠(33)의 회전 속도보다 높을 수 있다. 스크라이빙 휠(33)을 청소하는 과정에서, 스크라이빙 휠(33)이 보다 높은 속도로 회전되므로, 스크라이빙 휠(33)에 부착된 이물질을 보다 신속하고 효과적으로 제거할 수 있고 스크라이빙 휠(33)을 전체적으로 균일하게 청소할 수 있다.On the other hand, the rotation speed of the scribing wheel 33 due to the rotation of the scribing wheel cleaning member 71 may be higher than the rotation speed of the scribing wheel 33 when the scribing line is formed on the substrate. have. In the process of cleaning the scribing wheel 33, since the scribing wheel 33 rotates at a higher speed, foreign substances adhering to the scribing wheel 33 can be removed more quickly and effectively, and the scribing wheel 33 is rotated at a higher speed. It is possible to uniformly clean the ice wheel 33 as a whole.

스크라이빙 휠 청소 유닛(70)은, 가스 공급기(73), 공압 모터(74), 부압 발생기(75)를 포함할 수 있다.The scribing wheel cleaning unit 70 may include a gas supply 73 , a pneumatic motor 74 , and a negative pressure generator 75 .

예를 들면, 가스 공급기(73), 공압 모터(74), 부압 발생기(75)는 지지 플레이트(77)에 일체로 장착될 수 있다.For example, the gas supply 73 , the pneumatic motor 74 , and the negative pressure generator 75 may be integrally mounted to the support plate 77 .

가스 공급기(73)는 가스를 공급하도록 구성된다. 예를 들면, 가스 공급기(73)는 공압 펌프 또는 압축기로 구성될 수 있다. 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스는 공기 또는 비활성 기체일 수 있다.The gas supply 73 is configured to supply gas. For example, the gas supply 73 may consist of a pneumatic pump or a compressor. The gas supplied from the gas supply 73 may be air or an inert gas.

가스 공급기(73)에는 레귤레이터(76)가 연결될 수 있다. 레귤레이터(76)는 가스 공급기(73)로부터 공압 모터(74) 및 부압 발생기(75)로 공급되는 가스의 압력을 조절하는 역할을 한다.A regulator 76 may be connected to the gas supply 73 . The regulator 76 serves to regulate the pressure of the gas supplied from the gas supply 73 to the pneumatic motor 74 and the negative pressure generator 75 .

공압 모터(74)는 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스의 압력에 의해 회전력을 발생시키도록 구성된다. 공압 모터(74)는 압력 라인(P1)을 통하여 가스 공급기(73)에 연결된다. 공압 모터(74)는 회전축(741)을 통하여 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 연결된다. 공압 모터(74)는 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스의 압력을 사용하여 스크라이빙 휠 청소 부재(71)를 회전시키는 회전력을 발생시키도록 구성된다.The pneumatic motor 74 is configured to generate a rotational force by the pressure of the gas supplied from the gas supply 73 . The pneumatic motor 74 is connected to the gas supply 73 via a pressure line P1 . The pneumatic motor 74 is connected to the scribing wheel cleaning member 71 via a rotation shaft 741 . The pneumatic motor 74 is configured to generate a rotational force for rotating the scribing wheel cleaning member 71 using the pressure of the gas supplied from the gas supply 73 .

부압 발생기(75)는 가스 공급기(73)에서 공급되는 가스의 압력에 의해 부압을 발생시키도록 구성된다. 부압 발생기(75)는 압력 라인(P2)을 통하여 흡인 포트(72)에 연결된다. 부압 발생기(75)는 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스의 압력을 사용하여 흡인 포트(72)에 부압을 발생시키도록 구성된다. 예를 들면, 부압 발생기(75)는 대기와 연통되는 출구(751)를 갖는 벤투리관으로서 구성될 수 있다. 따라서, 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스가 부압 발생기(75)의 출구(751)를 통하여 대기중으로 방출됨에 따라, 압력 라인(P2)에는 부압이 형성될 수 있다. 그리고, 압력 라인(P2)과 연결된 흡인 포트(72)에 부압이 형성될 수 있다.The negative pressure generator 75 is configured to generate a negative pressure by the pressure of the gas supplied from the gas supply 73 . The negative pressure generator 75 is connected to the suction port 72 via a pressure line P2. The negative pressure generator 75 is configured to generate a negative pressure in the suction port 72 using the pressure of the gas supplied from the gas supply 73 . For example, the negative pressure generator 75 may be configured as a venturi tube having an outlet 751 in communication with the atmosphere. Accordingly, as the gas supplied from the gas supply 73 is discharged into the atmosphere through the outlet 751 of the negative pressure generator 75 , a negative pressure may be formed in the pressure line P2 . And, a negative pressure may be formed in the suction port 72 connected to the pressure line (P2).

따라서, 하나의 가스 공급기(73)에서 공급되는 가스의 압력에 의해 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 회전될 수 있고 흡인 포트(72)에 부압이 형성될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)를 회전시키 위한 구성 및 흡인 포트(72)에 부압을 형성하기 위한 구성을 별도로 구비하는 경우에 비하여 스크라이빙 장치의 구성 및 제어 방법을 단순화할 수 있다.Accordingly, the scribing wheel cleaning member 71 may be rotated by the pressure of the gas supplied from one gas supply 73 , and a negative pressure may be formed in the suction port 72 . Accordingly, the configuration and control method of the scribing device can be simplified compared to the case where the configuration for rotating the scribing wheel cleaning member 71 and the configuration for forming a negative pressure in the suction port 72 are separately provided. .

도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(32)가 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 이동함에 따라, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 인접하게 위치될 수 있다. 그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 이동 모듈(322)에 의해 스크라이빙 휠 모듈(321)이 Z축 방향으로 이동하며, 이에 따라, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 접촉한다.As shown in FIG. 2 , as the scribing head 32 moves in the X-axis direction along the frame 31 , the scribing wheel 33 is adjacent to the scribing wheel cleaning member 71 . can be located. And, as shown in Fig. 3, the scribing wheel module 321 is moved in the Z-axis direction by the scribing wheel moving module 322, and accordingly, the scribing wheel 33 is It contacts the ice wheel cleaning member 71 .

이러한 상태에서, 가스 공급기(73)로부터 가스가 공급되며, 이에 따라, 공압 모터(74)가 작동하여 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 회전되는 것과 동시에 부압 발생기(75)에 의해 흡인 포트(72)에 부압이 발생한다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)에 부착된 이물질이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 의해 제거될 수 있다. 그리고, 스크라이빙 휠(33)로부터 제거된 이물질은 흡인 포트(72)로 유입될 수 있다.In this state, gas is supplied from the gas supply 73, and accordingly, the pneumatic motor 74 operates to rotate the scribing wheel cleaning member 71 and at the same time as the negative pressure generator 75 causes the suction port ( 72), a negative pressure is generated. Accordingly, foreign substances attached to the scribing wheel 33 may be removed by the scribing wheel cleaning member 71 . In addition, foreign substances removed from the scribing wheel 33 may be introduced into the suction port 72 .

이와 같은 스크라이빙 휠(33)을 청소하는 과정은 미리 설정된 주기로 수행되거나 소정 길이의 스크라이빙 라인을 형성한 이후에 수행될 수 있다.Such cleaning of the scribing wheel 33 may be performed at a preset cycle or after a scribing line of a predetermined length is formed.

이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6 . The same reference numerals are assigned to the same parts as those described in the first embodiment of the present invention, and a detailed description thereof will be omitted.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 인접한 흡인 포트(72)의 단부에는 완충부(722)가 구비될 수 있다.6, according to the scribing device according to the second embodiment of the present invention, the end of the suction port 72 adjacent to the scribing wheel cleaning member 71 is provided with a buffer portion 722 can be

완충부(722)는 탄성을 갖는 가요성 소재로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 완충부(722)는 실리콘과 같은 합성 수지로 형성될 수 있다.The buffer 722 may be made of a flexible material having elasticity. For example, the buffer 722 may be formed of a synthetic resin such as silicone.

스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)로 접근하는 과정에서 스크라이빙 휠(33)이 흡인 포트(72)의 단부에 접촉(충돌)하는 경우, 완충부(722)가 스크라이빙 휠(33)의 충격을 흡수한다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 흡인 포트(72)의 단부에 접촉(충돌)하더라도 스크라이빙 휠(33)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.When the scribing wheel 33 contacts (collides) with the end of the suction port 72 while the scribing wheel 33 approaches the scribing wheel cleaning member 71, the buffer part 722 Absorbs the impact of the scribing wheel (33). Therefore, even if the scribing wheel 33 contacts (collides) with the end of the suction port 72, it is possible to prevent the scribing wheel 33 from being damaged.

이와 같이, 흡인 포트(72)의 단부에 완충부(722)가 구비됨에 따라, 흡인 포트(72)와의 충돌에 의한 스크라이빙 휠(33)의 손상이 방지된다. 또한, 흡인 포트(72)의 단부에 완충부(722)가 구비됨에 따라, 충돌의 우려 없이 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)에 접근할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 설치 위치 및/또는 스크라이빙 휠(33)의 스크라이빙 휠 청소 부재(71)로의 접근 방향을 정밀하게 설계하지 않을 수 있다.As such, as the buffer portion 722 is provided at the end of the suction port 72 , damage to the scribing wheel 33 due to collision with the suction port 72 is prevented. In addition, as the buffer 722 is provided at the end of the suction port 72 , the scribing wheel 33 can approach the scribing wheel cleaning member 71 without fear of a collision. Accordingly, the installation position of the scribing wheel cleaning member 71 and/or the approach direction of the scribing wheel 33 to the scribing wheel cleaning member 71 may not be precisely designed.

또한, 흡인 포트(72)의 단부에 완충부(722)가 구비됨에 따라, 복수의 흡인 포트(72) 사이의 간격을 최대로 줄일 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 휠(33)로부터 제거된 이물질이 외부로 비산되는 것을 더욱 방지할 수 있다.In addition, as the buffer portion 722 is provided at the end of the suction port 72, the gap between the plurality of suction ports 72 can be reduced to the maximum, and accordingly, the scribing wheel 33 removed from the It is possible to further prevent foreign substances from scattering to the outside.

이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 및 제2 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 7 . The same reference numerals are assigned to the same parts as those described in the first and second embodiments of the present invention, and a detailed description thereof will be omitted.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 회전 중심축(Cc) 및 스크라이빙 휠(33)의 회전 중심축(Cw)은 수직축(Z축)을 기준으로 서로 이격될 수 있다.7 , according to the scribing device according to the third embodiment of the present invention, the rotation of the central axis of rotation Cc of the scribing wheel cleaning member 71 and the scribing wheel 33 are rotated. The central axis Cw may be spaced apart from each other based on the vertical axis (Z axis).

스크라이빙 휠(33)의 회전 방향이 일방향으로 정해져 있는 경우(예를 들면, 도면을 기준으로 스크라이빙 휠(33)이 반시계 방향으로만 회전되어야 하는 경우), 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 회전 중심축(Cc) 및 스크라이빙 휠(33)의 회전 중심축(Cw)이 (Z축)을 기준으로 서로 이격되도록 배치된다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 회전력 중 스크라이빙 휠(33)의 회전 방향으로 작용하는 힘의 성분의 크기를 증가시킬 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 회전력이 보다 효과적으로 스크라이빙 휠(33)로 전달되도록 하여, 스크라이빙 휠(33)이 보다 원활하게 회전되도록 할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)로부터 이물질이 보다 효과적으로 제거될 수 있도록 한다.When the rotation direction of the scribing wheel 33 is determined in one direction (for example, when the scribing wheel 33 should be rotated only in a counterclockwise direction based on the drawing), the scribing wheel cleaning member The central axis of rotation (Cc) of (71) and the central axis of rotation (Cw) of the scribing wheel (33) are arranged to be spaced apart from each other based on (Z axis). Accordingly, it is possible to increase the magnitude of a component of the force acting in the rotational direction of the scribing wheel 33 among the rotational force of the scribing wheel cleaning member 71 . Accordingly, the rotational force of the scribing wheel cleaning member 71 is transmitted to the scribing wheel 33 more effectively, so that the scribing wheel 33 can be rotated more smoothly. Accordingly, foreign substances can be more effectively removed from the scribing wheel 33 .

이하, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9 . The same reference numerals are assigned to the same parts as those described in the first to third embodiments of the present invention, and a detailed description thereof will be omitted.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(33)의 일부는 스크라이빙 휠 홀더(34)로부터 돌출될 수 있다. 또한, 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 외주에는 스크라이빙 휠(33)의 돌출된 일부가 삽입되는 삽입홈(711)이 형성될 수 있다.8 and 9 , according to the scribing apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, a part of the scribing wheel 33 may protrude from the scribing wheel holder 34 . . In addition, an insertion groove 711 into which a protruding portion of the scribing wheel 33 is inserted may be formed on the outer periphery of the scribing wheel cleaning member 71 .

도 9에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 삽입홈(711)에 삽입되면, 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 홀더(34)의 내면과 사이에 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 일부가 삽입될 수 있다. 스크라이빙 휠 청소 부재(71)가 브러시인 경우, 브러시 모가 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 홀더(34)의 내면과 사이에 삽입될 수 있다.9, when the scribing wheel 33 is inserted into the insertion groove 711 of the scribing wheel cleaning member 71, the side of the scribing wheel 33 and the scribing wheel holder A portion of the scribing wheel cleaning member 71 may be inserted between the inner surface of the 34 . When the scribing wheel cleaning member 71 is a brush, brush bristles may be inserted between the side surface of the scribing wheel 33 and the inner surface of the scribing wheel holder 34 .

따라서, 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 홀더(34)의 내면 사이의 간극 내에 끼인 이물질을 용이하게 제거할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 홀더(34)의 내면 사이의 간극 내의 이물질이 스크라이빙 휠(33)의 회전(구름 운동)이 방해하는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, foreign substances caught in the gap between the side surface of the scribing wheel 33 and the inner surface of the scribing wheel holder 34 can be easily removed. Accordingly, it is possible to prevent foreign substances in the gap between the side surface of the scribing wheel 33 and the inner surface of the scribing wheel holder 34 from interfering with the rotation (rolling motion) of the scribing wheel 33 .

또한, 스크라이빙 휠(33)의 측면에 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 일부가 균일하게 접촉할 수 있으므로, 스크라이빙 휠(33)의 측면에 부착된 이물질을 용이하게 제거할 수 있다.In addition, since a part of the scribing wheel cleaning member 71 can uniformly contact the side surface of the scribing wheel 33, foreign substances attached to the side surface of the scribing wheel 33 can be easily removed. have.

또한, 스크라이빙 휠(33)에 인접한 스크라이빙 휠 홀더(34)의 부분에 스크라이빙 휠 청소 부재(71)의 일부가 접촉할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)에 인접한 스크라이빙 휠 홀더(34)의 부분에 부착된 이물질을 용이하게 제거할 수 있다.Also, a portion of the scribing wheel cleaning member 71 may contact a portion of the scribing wheel holder 34 adjacent to the scribing wheel 33 . Accordingly, foreign substances adhering to the portion of the scribing wheel holder 34 adjacent to the scribing wheel 33 can be easily removed.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.

32: 스크라이빙 헤드
33: 스크라이빙 휠
34: 스크라이빙 휠 홀더
70: 스크라이빙 휠 청소 유닛
71: 스크라이빙 휠 청소 부재
72: 흡인 포트
73: 가스 공급기
74: 공압 모터
75: 부압 발생기
76: 레귤레이터32: scribing head
33: scribing wheel
34: scribing wheel holder
70: scribing wheel cleaning unit
71: scribing wheel cleaning member
72: suction port
73: gas supply
74: pneumatic motor
75: negative pressure generator
76: regulator

Claims (7)

스크라이빙 휠 홀더에 회전 가능하게 장착되며 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠;
상기 스크라이빙 휠이 접근 가능한 위치에 배치되며 상기 스크라이빙 휠과 접촉하여 상기 스크라이빙 휠을 회전시키도록 구성되는 스크라이빙 휠 청소 부재;
상기 스크라이빙 휠 청소 부재에 인접하게 배치되며 상기 스크라이빙 휠 청소 부재의 주위의 공기를 흡인하도록 구성되는 흡인 포트;
가스를 공급하도록 구성되는 가스 공급기;
상기 스크라이빙 휠 청소 부재와 연결되며 상기 가스 공급기로부터 공급되는 가스의 압력에 의해 상기 스크라이빙 휠 청소 부재를 회전시키는 회전력을 발생시키는 공압 모터; 및
상기 흡인 포트와 연결되며 상기 가스 공급기에서 공급되는 가스의 압력에 의해 상기 흡인 포트에 부압을 발생시키는 부압 발생기를 더 포함하는 스크라이빙 장치.a scribing wheel rotatably mounted to the scribing wheel holder and configured to form a scribing line on the substrate;
a scribing wheel cleaning member disposed at an accessible position of the scribing wheel and configured to contact the scribing wheel to rotate the scribing wheel;
a suction port disposed adjacent the scribing wheel cleaning member and configured to suck in air surrounding the scribing wheel cleaning member;
a gas supply configured to supply gas;
a pneumatic motor connected to the scribing wheel cleaning member and generating a rotational force for rotating the scribing wheel cleaning member by the pressure of the gas supplied from the gas supply; and
The scribing device further comprising a negative pressure generator connected to the suction port and generating a negative pressure in the suction port by the pressure of the gas supplied from the gas supplier. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 흡인 포트의 내경은 상기 스크라이빙 휠 청소 부재의 외경보다 큰 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
The scribing device, characterized in that the inner diameter of the suction port is larger than the outer diameter of the scribing wheel cleaning member. 청구항 1에 있어서,
상기 흡인 포트의 내경은 상기 스크라이빙 휠의 외경 및 상기 스크라이빙 휠 청소 부재의 외경의 합보다 큰 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
The scribing device, characterized in that the inner diameter of the suction port is larger than the sum of the outer diameter of the scribing wheel and the outer diameter of the scribing wheel cleaning member. 청구항 1에 있어서,
상기 스크라이빙 휠 청소 부재의 회전 중심축 및 상기 스크라이빙 휠의 회전 중심축은 서로 이격되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
A scribing device, characterized in that the central axis of rotation of the scribing wheel cleaning member and the central axis of rotation of the scribing wheel are spaced apart from each other. 청구항 1에 있어서,
상기 스크라이빙 휠 청소 부재의 회전에 의한 상기 스크라이빙 휠의 회전 속도는 상기 기판에 상기 스크라이빙 라인을 형성할 때의 상기 스크라이빙 휠의 회전 속도보다 높은 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
Scribing, characterized in that the rotation speed of the scribing wheel due to the rotation of the scribing wheel cleaning member is higher than the rotation speed of the scribing wheel when the scribing line is formed on the substrate. Device. 청구항 1에 있어서,
상기 스크라이빙 휠의 일부는 상기 스크라이빙 휠 홀더로부터 돌출되고, 상기 스크라이빙 휠 청소 부재의 외주에는 상기 스크라이빙 휠의 돌출된 일부가 삽입되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
A part of the scribing wheel protrudes from the scribing wheel holder, and an insertion groove into which the protruding part of the scribing wheel is inserted is formed on the outer periphery of the scribing wheel cleaning member Cribing device.
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