KR102365200B1 - Level controlled roll to roll inspection system - Google Patents

Level controlled roll to roll inspection system Download PDF

Info

Publication number
KR102365200B1
KR102365200B1 KR1020210104599A KR20210104599A KR102365200B1 KR 102365200 B1 KR102365200 B1 KR 102365200B1 KR 1020210104599 A KR1020210104599 A KR 1020210104599A KR 20210104599 A KR20210104599 A KR 20210104599A KR 102365200 B1 KR102365200 B1 KR 102365200B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
roll
inspection target
dancer
marking
Prior art date
Application number
KR1020210104599A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김용근
김병근
김동규
여순재
Original Assignee
주식회사 케이엔제이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이엔제이 filed Critical 주식회사 케이엔제이
Priority to KR1020210104599A priority Critical patent/KR102365200B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102365200B1 publication Critical patent/KR102365200B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details
    • G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H23/00—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs
    • B65H23/04—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally
    • B65H23/048—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally by positively actuated movable bars or rollers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/0061—Force sensors associated with industrial machines or actuators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/8921—Streaks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/93—Detection standards; Calibrating baseline adjustment, drift correction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2553/00—Sensing or detecting means
    • B65H2553/40—Sensing or detecting means using optical, e.g. photographic, elements
    • B65H2553/42—Cameras
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/888—Marking defects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

The present invention relates to a level control type roll-to-roll inspection system. More specifically, the inspection system corrects and reduces vibration or meandering generated during transfer of an object to be inspected in a roll-to-roll type, thereby improving reliability of vision inspection and marking.

Description

레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템{LEVEL CONTROLLED ROLL TO ROLL INSPECTION SYSTEM}LEVEL CONTROLLED ROLL TO ROLL INSPECTION SYSTEM

본 발명은 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사대상을 롤투롤 타입으로 이송 중 발생하는 진동이나 사행을 보정하여 저감시킴으로써, 비젼 검사와 마킹의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a level-adjustable roll-to-roll inspection system, and more particularly, by correcting and reducing vibration or meandering generated during transport of an inspection target in a roll-to-roll type, which can improve the reliability of vision inspection and marking. It relates to a level-controlled roll-to-roll inspection system.

일반적으로 피검사대상을 검사하는 방식에는 그 이송 방식에 따라 시트형 검사 방식과 롤형 검사방식이 있으며, 그 중 롤형 검사방식은 롤(roll) 타입으로 공급이 가능한 판형 길이 부재에 적용된다.In general, a method of inspecting an object to be inspected includes a sheet-type inspection method and a roll-type inspection method depending on the transport method. Among them, the roll-type inspection method is applied to a plate-shaped length member that can be supplied in a roll type.

예컨대, 폴리이미드와 같이 구부러지는 재질의 FPCB(Flexible PCB), 박막 형상의 배터리 중간막 및 단말기에 적용되는 초박막 유리기판(UTG) 등의 롤형 피검사대상은 롤투롤 방식으로 이송하면서 검사가 가능하다.For example, roll-type inspection targets such as flexible PCBs (FPCBs) made of flexible materials such as polyimide, thin-film battery interlayers, and ultra-thin glass substrates (UTGs) applied to terminals can be inspected while being transported in a roll-to-roll manner.

그런데, 종래의 롤형 검사 시스템은 피검사대상의 이송 속도가 고속으로 올라갈수록 혹은 이송 길이가 길어질수록 이송중인 피검사대상의 진동이 커지고 피검사대상의 이송 중 자세가 틀어지는 사행이 발생한다.However, in the conventional roll-type inspection system, as the transport speed of the inspection target increases at a high speed or the transport length increases, the vibration of the inspection target being transported increases, and the posture of the inspection target is meandering during transport.

따라서, 피검사대상에 큰 진동이 발생하거나 사행 이송중인 상태에서 카메라를 이용하여 비젼 검사를 하면 정확도 및 신뢰도가 떨어지고, 더 나아가 검사 후 마킹 과정에도 정밀도가 떨어지는 문제가 있다.Therefore, if the inspection target is subjected to a large vibration or a vision inspection is performed using a camera while it is being transported in a meandering state, the accuracy and reliability are lowered, and furthermore, there is a problem in that the precision is also lowered in the marking process after the inspection.

대한민국 등록특허 제10-2010860호Republic of Korea Patent Registration No. 10-2010860 대한민국 등록특허 제10-1117629호Republic of Korea Patent No. 10-1117629

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 피검사대상을 롤투롤 타입으로 이송 중 발생하는 진동이나 사행을 보정을 통해 저감시킴으로써, 비젼 검사와 마킹의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템을 제공하고자 한다.The present invention is to solve the above-described problems, and by reducing vibration or meandering generated during transport of an inspection target in a roll-to-roll type through correction, a level-adjustable roll-to-roll type that can improve the reliability of vision inspection and marking We want to provide an inspection system.

이를 위해, 본 발명에 따른 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템은 롤 타입으로 감겨 있는 피검사대상을 공급하는 언와인더와; 상기 언와인더로부터 이송된 피검사대상을 롤 타입으로 감아 회수하는 리와인더와; 상기 피검사대상이 이송되는 구간 중 설정된 길이의 검사 구간에 설치된 검사 카메라와; 상기 검사 구간의 상류측에 설치되며, 회전롤을 이용하여 상기 피검사대상을 이송시키는 제1 검사측 공급유닛과; 상기 제1 검사측 공급유닛으로부터 상류측에 이격 설치되며, 회전롤을 이용하여 상기 피검사대상을 이송시키는 제2 검사측 공급유닛과; 상기 제1 검사측 공급유닛과 제2 검사측 공급유닛 사이에 설치되며, 액츄에이터 없이 수동적으로 상기 피검사대상의 이송 중 발생하는 장력 외란을 감쇠시키는 패시브 댄서와; 상기 검사 구간의 하류측에 설치되며, 상하 높이가 조절된 상태에서 상기 피검사대상의 이송을 안내하는 검사측 레벨롤과; 상기 검사 구간의 하류측에서 설정된 길이의 마킹 구간에 설치되며, 상기 피검사대상에 설정된 패턴의 마킹을 하는 마커와; 상기 마킹 구간의 상류측에 설치되며, 회전롤을 이용하여 상기 피검사대상을 이송시키는 마킹측 공급유닛; 및 상기 마킹 구간의 하류측에 설치되며, 상하 높이가 조절된 상태에서 상기 피검사대상의 이송을 안내하는 마킹측 레벨롤;을 포함하는 것을 특징으로 한다.To this end, the level-adjustable roll-to-roll inspection system according to the present invention includes: an unwinder for supplying an inspection target wound in a roll type; a rewinder for winding and collecting the inspection target transferred from the unwinder in a roll type; an inspection camera installed in an inspection section of a set length among sections in which the target to be inspected is transported; a first inspection-side supply unit installed on an upstream side of the inspection section and configured to transport the inspection target using a rotating roll; a second inspection-side supply unit installed upstream from the first inspection-side supply unit, the second inspection-side supply unit transferring the inspection target using a rotating roll; a passive dancer installed between the first inspection-side supply unit and the second inspection-side supply unit and passively attenuating tension disturbance generated during transport of the inspection target without an actuator; an inspection-side level roll that is installed on the downstream side of the inspection section and guides the transfer of the inspection target in a state where the vertical height is adjusted; a marker installed in a marking section having a set length on the downstream side of the inspection section and marking a pattern set on the inspection target; a marking-side supply unit that is installed on the upstream side of the marking section and transfers the inspection target using a rotating roll; and a marking-side level roll that is installed on the downstream side of the marking section and guides the transfer of the inspection target in a state in which the vertical height is adjusted.

이때, 상기 언와인더와 제2 검사측 공급유닛 사이에 설치되며, 액츄에이터를 이용하여 능동적으로 상기 피검사대상의 이송 중 발생하는 장력 외란을 감쇠시키는 액티브 댄서;를 더 포함하는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable to further include an active dancer installed between the unwinder and the second inspection-side supply unit and actively attenuating the tension disturbance generated during the transport of the inspection target by using an actuator.

또한, 상기 액티브 댄서를 지면에 대해 수평한 가상의 면 상에서 상기 피검사대상의 이송 방향을 따라 전후 방향으로 왕복 이동시켜 상기 액티브 댄서의 위치를 조정하는 선형 이동기를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to further include a linear mover for adjusting the position of the active dancer by reciprocating the active dancer in a forward and backward direction along a transport direction of the inspection target on a virtual plane horizontal to the ground.

또한, 상기 선형 이동기는 상기 액티브 댄서의 직선 방향 이동을 안내하는 댄서 가이드와; 상기 액티브 댄서)를 통해 전달되는 외력에 의해 상기 댄서 가이드를 따라 자유 운동되며, 상기 액티브 댄서가 설치되는 안착대와; 상기 댄서 가이드의 길이 방향 전방부에 설치되어, 상기 안착대의 전방측 이동 길이를 제한하는 전방측 스톱퍼; 및 상기 댄서 가이드의 길이 방향 후방부에 설치되어, 상기 안착대의 후방측 이동 길이를 제한하는 후방측 스톱퍼;를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the linear mover and a dancer guide for guiding the linear movement of the active dancer; The active dancer) is freely moved along the dancer guide by an external force transmitted through, and the active dancer is installed; a front stopper installed on the front part of the dancer guide in the longitudinal direction to limit the length of the front side movement of the seating table; and a rear stopper installed in the longitudinal rear portion of the dancer guide to limit the rear movement length of the seating unit.

또한, 상기 검사 카메라는 상기 검사측 레벨롤의 상하 방향 위치 조절에 따라 상기 피검사대상을 바라보는 촬영각이 조절되도록 구성되고, 상기 마커는 상기 마킹측 레벨롤의 상하 방향 위치 조절에 따라 상기 피검사대상을 바라보는 마킹각이 조절되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the inspection camera is configured to adjust a shooting angle for viewing the inspection target according to the vertical position adjustment of the inspection-side level roll, and the marker is the target according to the vertical position adjustment of the marking-side level roll. It is preferable that the marking angle looking at the inspection object is configured to be adjusted.

또한, 상기 검사 카메라는 상기 피검사대상을 상기 피검사대상 표면에 대해 법선 방향에서 촬영하는 수직 카메라; 및 상기 검사 구간 내에서 상기 수직 카메라의 전방 및 후방 중 어느 한 쪽 이상에 설치되며, 상기 피검사대상 표면을 경사 방향에서 촬영하는 경사 카메라;를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the inspection camera may include: a vertical camera for photographing the inspection target in a direction normal to the inspection target surface; and an inclined camera installed on at least one of the front and rear sides of the vertical camera within the inspection section, and photographing the surface to be inspected in an oblique direction.

또한, 상기 피검사대상이 이송 중인 상기 검사측 레벨롤을 촬영하여, 상기 피검사대상과 검사측 레벨롤의 영상을 제공하는 자세검출 카메라를 더 포함하되, 상기 제어부는 상기 자세검출 카메라에서 촬영된 영상을 분석하여, 상기 검사측 레벨롤을 기준으로 하는 상기 피검사대상의 이송 자세나 위치를 획득하여, 상기 피검사대상의 이송 자세나 위치가 설정된 것과 비교하여 어긋난 것으로 판단되면, 상기 피검사대상의 이송 자세나 위치를 교정하도록 상기 피검사대상의 이송 상태를 제어하는 것이 바람직하다.In addition, further comprising a posture detection camera for photographing the inspection-side level roll while the inspection target is being transported, and providing an image of the inspected object and the inspection-side level roll, wherein the control unit is captured by the position detection camera By analyzing the image, the transport posture or position of the inspection target is obtained based on the inspection side level roll, and when it is determined that the transport posture or position of the inspection target is shifted compared to the set one, the inspection target It is preferable to control the transport state of the subject to be inspected to correct the transport posture or position of the .

이상과 같은 본 발명은 검사 구간 및 마킹 구간에 각각 구비된 레벨 롤을 통해 피검사대상의 이송 경로상에서 높이를 조절하여 피검사대상에 최적화된 이송 상태에서 검사 및 마킹을 가능하게 한다. 또한, 본 발명은 장력 외란을 감쇠시키도록 질량-댐퍼-스프링 기구인 댄서롤을 구비하고, 측정된 진동이나 자세에 따라 공급유닛의 속도와 롤의 위치를 보정한다. 따라서, 피검사대상을 이송 중 발생하는 진동이나 사행을 저감시킴으로써 비젼 검사와 마킹 신뢰성을 향상시킬 수 있게 한다.As described above, the present invention enables inspection and marking in a transport state optimized for the inspection target by adjusting the height on the transport path of the inspection target through the level roll provided in the inspection section and the marking section, respectively. In addition, the present invention is provided with a dancer roll as a mass-damper-spring mechanism to attenuate the tension disturbance, and corrects the speed of the supply unit and the position of the roll according to the measured vibration or posture. Therefore, it is possible to improve vision inspection and marking reliability by reducing vibration or meandering generated during transport of the inspection target.

도 1은 본 발명에 따른 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템을 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 액티브 댄서를 나타낸 구성도이다.
도 3은 본 발명의 로드셀을 나타내 설치 상태도이다.
도 4는 본 발명의 선형 이동기를 나타낸 구성도이다.
도 5는 본 발명의 자세검출 카메라에 의해 촬영된 피검사대상 자세 검출 상태도이다.1 is a block diagram showing a level-controlled roll-to-roll inspection system according to the present invention.
2 is a block diagram showing an active dancer of the present invention.
Figure 3 is an installation state diagram showing the load cell of the present invention.
4 is a block diagram showing the linear mover of the present invention.
5 is a state diagram of a posture detection target photographed by the posture detection camera of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a level control type roll-to-roll inspection system according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1과 같이, 본 발명의 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템(100)은 실시예로서 언와인더(110-U), 리와인더(110-R), 검사 카메라(120), 제1 검사측 공급유닛(130), 제2 검사측 공급유닛(140), 패시브 댄서(150), 검사측 레벨롤(LVR-I), 마커(160), 마킹측 공급유닛(170) 및 마킹측 레벨롤(LVR-M)을 포함한다.As shown in Fig. 1, the level-adjustable roll-to-roll inspection system 100 of the present invention is an embodiment of an unwinder 110-U, a rewinder 110-R, an inspection camera 120, and a first inspection-side supply unit. 130, the second inspection side supply unit 140, the passive dancer 150, the inspection side level roll (LVR-I), the marker 160, the marking side supply unit 170 and the marking side level roll (LVR-) M) is included.

또한, 본 발명의 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템(100)은 바람직한 다른 실시예로서 액티브 댄서(180), 로드셀(191), 제어부(192), 선형 이동기(193) 및 자세검출 카메라(194)를 더 포함한다.In addition, the level-adjustable roll-to-roll inspection system 100 of the present invention is an active dancer 180, a load cell 191, a control unit 192, a linear mover 193 and a posture detection camera 194 as another preferred embodiment. include more

위와 같은 구성에서, 시스템 전단부의 언와인더(110-U)에 감겨있던 피검사대상이 풀려 이송된 후 시스템 후단부의 리와인더(110-R)에 감겨 회수되며, 그 사이의 제1 검사측 공급유닛(130), 제2 검사측 공급유닛(140) 및 마킹측 공급유닛(170)에 의해 피검사대상이 이송된다.In the above configuration, the inspected object wound on the unwinder 110-U of the front end of the system is unwound and transported, and then wound around the rewinder 110-R of the rear end of the system and recovered, and the first inspection side supply unit in between. (130), the inspection target is transferred by the second inspection-side supply unit 140 and the marking-side supply unit 170.

피검사대상은 언와인더(110-U)와 리와인더(110-R) 사이의 검사 구간(T1)에 설치된 검사 카메라(120)에 의해 비젼 검사가 이루어지고, 비젼 검사 후 그 하류측의 마킹 구간(T2)에 설치된 마커(160)에 의해 마킹이 이루어진다.The inspection target is subjected to vision inspection by the inspection camera 120 installed in the inspection section T1 between the unwinder 110-U and the rewinder 110-R, and after the vision inspection, the marking section on the downstream side Marking is made by the marker 160 installed in (T2).

또한, 검사측 레벨롤(LVR-I)과 마킹측 레벨롤(LVR-M)은 각각 검사 구간(T1)과 마킹 구간(T2)에서 상기 공급유닛들과 함께 피검사대상의 이송 경로상의 높이를 결정함과 동시에 장력을 조절하여 최적화된 이송 상태를 제공한다.In addition, the inspection side level roll (LVR-I) and the marking side level roll (LVR-M) are respectively the inspection section (T1) and the marking section (T2) with the supply units the height on the transport path of the inspection target It determines and adjusts the tension at the same time to provide an optimized conveying condition.

또한, 패시브 댄서(150)는 제1 검사측 공급유닛(130)과 제2 검사측 공급유닛(140) 사이에서 피검사대상의 이송 중 발생하는 외란 진동을 감쇠시키고, 액티브 댄서(180)는 패시브 댄서(150)와 연동하여 능동적으로 장력 외란을 저감시킨다.In addition, the passive dancer 150 attenuates the disturbance vibration generated during the transfer of the inspection target between the first inspection-side supply unit 130 and the second inspection-side supply unit 140 , and the active dancer 180 is passive In conjunction with the dancer 150, it actively reduces the tension disturbance.

또한, 로드셀(191)에 의해 피검사대상의 하중을 측정하는 방식으로 피검사대상의 이송 상태를 검측하고, 자세검출 카메라(194)는 비젼 방식으로 피검사대상의 이송 상태를 검측한다. 제어부(192)는 이들을 기초로 피검사대상의 공급 속도 및 장력 등을 조정한다.In addition, the load cell 191 detects the transport state of the inspection target in a manner that measures the load of the inspection target, the posture detection camera 194 detects the transport state of the inspection target in the vision method. The control unit 192 adjusts the supply speed and tension of the inspection target based on these.

따라서, 본 발명은 검사 구간(T1) 및 마킹 구간(T2)에 각각 구비된 레벨 롤을 통해 최적화된 이송 상태를 제공하고, 질량-댐퍼-스프링 기구인 댄서에 의해 장력 외란을 감쇠시켜, 비젼 검사와 마킹 신뢰성을 향상시킬 수 있게 한다.Therefore, the present invention provides an optimized conveying state through the level roll provided in each of the inspection section T1 and the marking section T2, and attenuates the tension disturbance by the dancer, which is a mass-damper-spring mechanism, and thus, vision inspection and to improve the marking reliability.

이를 위해, 상기 언와인더(unwinder, 110-U)는 축 형상의 보빈 및 그 양단의 플랜지를 포함하며, 시스템의 전단부에 설치되어 롤 타입으로 감겨 있는 피검사대상을 풀어 리와인더(110-R)를 향해 공급한다.To this end, the unwinder (110-U) includes a shaft-shaped bobbin and flanges at both ends thereof, and is installed at the front end of the system to unwind the test target wound in a roll type, and the rewinder 110-R ) is supplied towards

언와인더(110-U)에서 풀려 공급된 피검사대상은 공급측 아이들 롤(195-S)를 거쳐 장력이 조절된 후 후술하는 액티브 댄서(180)로 공급될 수 있는데, 공급측 아이들 롤(195-S)의 개수 및 위치는 설계 조건에 따라 변경될 수 있다.The inspection target supplied unwinding from the unwinder 110-U may be supplied to the active dancer 180 to be described later after the tension is adjusted through the supply-side idle roll 195-S, and the supply-side idle roll 195-S. The number and location of S) may be changed according to design conditions.

리와인더(rewinder, 110-R)는 언와인더(110-U)로부터 공급된 피검사대상을 롤 타입으로 감아 회수하는 것으로, 보빈 및 플랜지를 포함하여 구성될 수 있으며, 피검사대상의 이송 방향을 기준으로 시스템의 후단부에 설치된다.The rewinder (110-R) collects the inspection target supplied from the unwinder (110-U) by winding it in a roll type, and may include a bobbin and a flange, and controls the transport direction of the inspection target. It is installed at the rear end of the system as a standard.

위와 같은 언와인더(110-U)와 리와인더(110-R)는 그 회전축이 각각 전기모터에 연결되어 그 구동 및 속도가 제어되며, 피검사대상의 이송 방향으로 기준으로 상류측과 하류측에 배치되어 피검사대상의 이송 구간을 형성한다.As for the unwinder 110-U and the rewinder 110-R as above, their rotation shafts are connected to an electric motor, and their driving and speed are controlled, respectively, on the upstream side and the downstream side based on the transport direction of the inspected object. It is arranged to form a transport section of the subject to be inspected.

검사 카메라(120)는 피검사대상이 이송되는 구간 중 설정된 길이의 검사 구간(T1)에 설치되는 것으로, 피검사대상을 촬영하여 획득된 영상 이미지를 통해 소정의 검사가 이루어지도록 한다.The inspection camera 120 is installed in the inspection section T1 of a set length among the sections in which the inspection target is transported, and a predetermined inspection is performed through an image image obtained by photographing the inspection target.

피검사대상은 폴리이미드와 같이 구부러지는 재질의 FPCB(Flexible PCB), 박막 형상의 배터리 중간막 및 단말기에 적용되는 초박막 유리기판(UTG) 등과 같이 롤투롤(roll-to-roll) 이송이 가능한 다양한 판형 길이부재를 포함한다.The test target is a variety of plate types capable of roll-to-roll transport, such as flexible PCBs (FPCBs) made of flexible materials such as polyimide, thin-film battery interlayers, and ultra-thin glass substrates (UTG) applied to terminals. including a length member.

검사 카메라(120)에 의해 비젼 검사가 이루어지는 검사 항목으로는 회로 패턴이나 부품의 실장 상태는 물론 크랙 등 피검사대상에 발생한 손상이나 성형 상태의 양부 등 다양한 항목을 포함할 수 있다.Inspection items for which the vision inspection is performed by the inspection camera 120 may include various items such as a circuit pattern or a mounting state of a component, as well as damage or a good or bad molding state caused to an inspection target such as cracks.

이때, 검사 카메라(120)는 수직 카메라(121) 및 경사 카메라(122)를 포함하는 것이 바람직한데, 수직 카메라(121)는 피검사대상을 해당 피검사대상 표면에 대해 법선 방향에서 촬영하여 회로 패턴 등을 검사한다.At this time, it is preferable that the inspection camera 120 includes a vertical camera 121 and an inclined camera 122, and the vertical camera 121 captures the inspection target in a normal direction with respect to the corresponding inspection target surface to obtain a circuit pattern. check the back

경사 카메라(122)는 상기 검사 구간(T1) 내에서 수직 카메라(121)의 전방 및 후방 중 어느 한 쪽 이상에 설치되며, 피검사대상 표면을 경사 방향에서 촬영한다. 이를 통해 크랙 등 두께가 있는 피검사 부분을 더욱 정확히 파악한다.The inclination camera 122 is installed on one or more of the front and rear sides of the vertical camera 121 within the inspection section T1, and photographs the target surface to be inspected in an oblique direction. Through this, the part to be inspected with thickness such as cracks can be more accurately identified.

제1 검사측 공급유닛(130)은 언와인더(110-U)와 리와인더(110-R) 사이에서 피검사대상을 이송시키는 것으로, 검사 구간(T1)의 상류측에 설치되며, 구동력을 전달받아 회전하는 회전롤을 이용하여 피검사대상을 이송시킨다.The first inspection-side supply unit 130 transfers the inspection target between the unwinder 110-U and the rewinder 110-R, and is installed on the upstream side of the inspection section T1, and transmits the driving force. The object to be inspected is transported using a rotating roll that receives and rotates.

예컨대, 검사측 공급유닛(130)은 그 사이로 피검사대상이 물려 통과하는 상하 한 쌍의 롤(131, 132)을 포함할 수 있으며, 상측롤(131)은 구동롤, 하측롤(132)은 종동롤(idle)로 구성되어 모터에 의한 구동롤의 회전 속도를 제어하여 피검사대상의 이송 속도를 조정한다.For example, the inspection-side supply unit 130 may include a pair of upper and lower rolls 131 and 132 through which the object to be inspected passes through, the upper roll 131 is a driving roll, and the lower roll 132 is It is composed of a driven roll (idle) and controls the rotation speed of the driving roll by a motor to adjust the feeding speed of the inspection target.

제2 검사측 공급유닛(140)은 상기 제1 검사측 공급유닛(130)과 함께 피검사대상을 검사 구간(T1)측으로 이송시키는 것으로, 제1 검사측 공급유닛(130)의 상류측에 이격 설치된다. 이들 사이에는 후술하는 패시브 댄서(150)가 구비된다.The second inspection-side supply unit 140 transfers the inspection target together with the first inspection-side supply unit 130 to the inspection section T1 side, and is spaced apart from the upstream side of the first inspection-side supply unit 130 . is installed A passive dancer 150 to be described later is provided between them.

제2 검사측 공급유닛(140) 역시 그 사이로 피검사대상이 물려 통과하는 상하 한 쌍의 상측롤(141) 및 하측롤(142)로 구성되어 모터에 의한 롤의 회전 속도를 제어하여 피검사대상의 이송 속도를 조정할 수 있다.The second inspection-side supply unit 140 is also composed of a pair of upper and lower upper rolls 141 and lower rolls 142 through which the object to be inspected passes through, and controls the rotational speed of the roll by a motor to control the rotational speed of the object to be inspected. can adjust the feed rate.

패시브 댄서(passive dancer, 150)는 상기 제1 검사측 공급유닛(130)과 제2 검사측 공급유닛(140) 사이에 설치되며, 액츄에이터 없이 수동적으로 피검사대상의 이송시킴에 따라 발생하는 장력 외란을 감쇠시킨다.A passive dancer 150 is installed between the first inspection-side supply unit 130 and the second inspection-side supply unit 140, and tension disturbance generated by passively transferring the inspection target without an actuator attenuates the

패시브 댄서(150)는 진동을 감쇠시키기 위한 질량-댐퍼-스프링 기구에 해당하는 것이나, 실린더와 같은 액츄에이터를 적용하지 않고 수동적으로 피검사대상의 이송 중 발생하는 장력 외란을 감쇠시킨다.The passive dancer 150 is a mass-damper-spring mechanism for damping vibration, but passively attenuates the tension disturbance generated during transport of the inspected object without applying an actuator such as a cylinder.

패시브 댄서(150)는 액츄에이터를 제외하고, 댄서암 및 상기 댄서암의 단부에 설치된 댄서롤을 포함하며, 댄서암은 스프링 등에 의해 피검사대상을 탄성 가압하는 방향으로 탄성력을 작용한다.The passive dancer 150 includes a dancer arm and a dancer roll installed at an end of the dancer arm, except for the actuator, and the dancer arm applies an elastic force in a direction to elastically press the test target by a spring or the like.

따라서, 패시브 댄서(150)가 인가하는 탄성력(혹은 복원력)의 작용 방향과 크기가 피검사대상의 장력에 대응하는 정도에 따라 댄서암이 회동하면서 댄서롤의 위치가 상하로 조정되면서 진동을 감쇠시키게 된다.Therefore, the movement direction and magnitude of the elastic force (or restoring force) applied by the passive dancer 150 rotates according to the degree corresponding to the tension of the subject to be inspected, while the position of the dancer roll is adjusted up and down to attenuate vibration. do.

일 예로, 패시브 댄서(150)가 제1 검사측 공급유닛(130)과 제2 검사측 공급유닛(140) 사이에서 이들보다 하측에 설치되는 경우, 패시브 댄서(150)의 댄서롤은 피검사대상을 그 상면에서 하측 방향으로 가압한다.For example, when the passive dancer 150 is installed below them between the first inspection-side supply unit 130 and the second inspection-side supply unit 140 , the dancer roll of the passive dancer 150 is the target to be inspected is pressed in the downward direction from its upper surface.

따라서, 피검사대상의 이송 환경에 따라 패시브 댄서(150)의 댄서롤이 상측 또는 하측으로 이동하며 완충하는 업/다운 스트림(up/down stream)을 형성하여 피검사대상의 이송 환경을 최적화하게 된다.Therefore, the dancer roll of the passive dancer 150 moves upward or downward according to the transport environment of the inspection target and forms a buffering up/down stream to optimize the transport environment of the inspection target. .

또한, 패시브 댄서(150)의 상류측과 하류측에는 각각 제1 검사측 공급유닛(130)과 제2 검사측 공급유닛(140)이 구비되어 패시브 댄서(150)의 전후에서 피검사대상의 공급 속도를 각각 조절할 수 있도록 하여 이송 환경 설정 정밀도를 더욱 높일 수 있다.In addition, the first inspection-side supply unit 130 and the second inspection-side supply unit 140 are provided on the upstream side and the downstream side of the passive dancer 150 , respectively, so that the supply speed of the inspection target before and after the passive dancer 150 . can be adjusted individually to further increase the precision of setting the transfer environment.

검사측 레벨롤(LVR-I)은 상기 검사 구간(T1) 중 하류측에 설치되어 피검사대상의 이송을 안내하는 것으로, 실시예로 제1 검사측 공급유닛(130)과 검사측 레벨롤(LVR-I) 사이를 검사 구간(T1)으로 정의한다.The inspection side level roll (LVR-I) is installed on the downstream side of the inspection section T1 to guide the transport of the inspection target, and in an embodiment, the first inspection side supply unit 130 and the inspection side level roll ( LVR-I) is defined as the inspection interval (T1).

레벨롤(level roll)은 롤의 기능을 유지하면서 사용자의 조정에 따라 상하 방향 위치(높이)가 조절되는 이송롤의 하나로, 검사측 레벨롤(LVR-I)은 검사 구간(T1) 내 이송 경로상에서의 제1 검사측 공급유닛(130)을 기준으로 하는 높이를 조절한다.The level roll is one of the conveying rolls whose vertical position (height) is adjusted according to the user's adjustment while maintaining the function of the roll. Adjust the height based on the first inspection-side supply unit 130 on the top.

이와 같이 검사측 레벨롤(LVR-I)의 위치(높이)를 조정하면, 검사 구간(T1) 내에서 제1 검사측 공급유닛(130)으로부터 검사측 레벨롤(LVR-I)을 향하는 각도(지면/수평면에 대한 각도)가 변경된다.When the position (height) of the inspection-side level roll LVR-I is adjusted in this way, the angle ( angle with respect to the ground/horizontal plane) is changed.

이때, 검사 카메라(120: 121, 122)의 종류나 피검사대상의 종별마다 피검사대상을 촬영하는 최적의 각도가 결정되어 있으므로, 검사 카메라(120)는 검사측 레벨롤(LVR-I)의 상하 높이 조절에 따라 피검사대상을 바라보는 촬영각이 조절된다.At this time, since the optimal angle for photographing the inspection target is determined for each type of the inspection camera 120: 121, 122 or the type of the inspection target, the inspection camera 120 is the inspection side level roll LVR-I. Depending on the vertical height adjustment, the angle of view of the subject to be tested is adjusted.

촬영각의 조절을 위해 검사 카메라(120)는 일 예로 제어부(192)의 제어신호에 따라 동작하는 3축 구동기(X/Y/Z 구동기)에 설치됨으로써, 검사측 레벨롤(LVR-I)이 조정된 높이에 따라 촬영 자세가 자동으로 조절된다.In order to control the shooting angle, the inspection camera 120 is installed in a three-axis driver (X/Y/Z driver) operating according to a control signal of the control unit 192, for example, so that the inspection-side level roll (LVR-I) is The shooting posture is automatically adjusted according to the adjusted height.

마커(marker, 160)는 검사 구간(T1)을 통과하면서 비젼 검사를 마친 피검사대상에 설정된 패턴의 마킹을 하는 것으로, 검사 구간(T1) 보다 상대적으로 하류측에 있는 마킹 구간(T2)에 설치된다.The marker 160 marks the pattern set on the inspection target that has completed the vision inspection while passing through the inspection section T1, and is installed in the marking section T2 that is relatively downstream from the inspection section T1. do.

상기 마커(160)를 이용하여 피검사대상에 진행하는 마킹으로는 펀치 홀(punch hole) 형성, 스프레이 잉크(spray ink) 분사 및 레이져 조사 등 다양한 방식의 마킹을 포함할 수 있다.Marking performed on the object to be inspected using the marker 160 may include various types of marking such as punch hole formation, spray ink injection, and laser irradiation.

이때, 마커(160) 역시 검사 카메라(120)와 마찬가지로 그 이송 자세가 조정된 피검사대상에 맞게 조정될 수 있다. 예컨대, 마커(160) 역시 다축 구동기에 설치하여 마커(160)의 마킹 진행 각도 혹은 피검대상과의 거리를 조정할 수 있다.In this case, the marker 160 may also be adjusted to suit the inspection target whose transport posture is adjusted like the inspection camera 120 . For example, the marker 160 may also be installed in a multi-axis actuator to adjust the marking progress angle of the marker 160 or the distance from the target to be inspected.

마킹측 공급유닛(170)은 검사 구간(T1)을 통과한 피검사대상을 마킹 구간(T2)을 향해 공급하는 것으로, 마킹 구간(T2)의 상류측에 설치되며, 구동력을 전달받아 회전하는 회전롤을 이용하여 피검사대상을 이송시킨다.The marking-side supply unit 170 supplies the inspection target that has passed the inspection section (T1) toward the marking section (T2), is installed on the upstream side of the marking section (T2), and rotates by receiving a driving force The object to be inspected is transferred using a roll.

마킹측 공급유닛(170) 역시 그 사이로 피검사대상이 물려 통과하는 상하 한 쌍의 롤(171, 172)을 포함하며, 상측롤(171)은 구동롤, 하측롤(172)은 종동롤로 구성되어 구동롤의 회전 속도를 제어하여 피검사대상의 이송 속도를 조정한다.The marking side supply unit 170 also includes a pair of upper and lower rolls 171 and 172 through which the object to be inspected passes through, the upper roll 171 is a driving roll, and the lower roll 172 is a driven roll. Control the rotation speed of the drive roll to adjust the feed speed of the inspection target.

마킹측 레벨롤(LVR-M)은 상기 마킹 구간(T2) 중 하류측에 설치되어 피검사대상의 이송을 안내하는 것으로, 실시예로 마킹측 공급유닛(170)과 마킹측 레벨롤(LVR-M) 사이를 마킹 구간(T2)으로 정의한다.The marking-side level roll (LVR-M) is installed on the downstream side of the marking section (T2) to guide the transport of the inspection target, in an embodiment the marking-side supply unit 170 and the marking-side level roll (LVR-) M) is defined as a marking period (T2) between.

마킹측 레벨롤(LVR-M)은 롤의 기능을 유지하면서 사용자의 조정에 따라 상하 방향 위치(높이)가 조절되므로, 마킹 구간(T2) 내 이송 경로상에서의 마킹측 공급유닛(170)을 기준으로 하는 높이를 조절한다.Since the marking-side level roll (LVR-M) maintains the function of the roll and the vertical position (height) is adjusted according to the user's adjustment, the marking-side supply unit 170 on the transport path within the marking section T2 is a reference Adjust the height to

마킹측 레벨롤(LVR-M)의 위치(높이)를 조정하면, 마킹 구간(T2) 내에서 마킹측 공급유닛(170)으로부터 마킹측 레벨롤(LVR-M)을 향하는 각도(지면/수평면에 대한 각도)가 변경된다.If the position (height) of the marking side level roll (LVR-M) is adjusted, the angle from the marking side supply unit 170 to the marking side level roll (LVR-M) within the marking section T2 (on the ground / horizontal plane) angle) is changed.

이때, 마커(160)의 종류나 피검사대상의 종별마다 마킹시 필요한 최적의 각도 및 거리가 결정되어 있으므로, 마커(160)는 마킹측 레벨롤(LVR-M)의 상하 높이 조절에 따라 피검사대상을 바라보는 마킹각 및 거리가 조절된다.At this time, since the optimal angle and distance required for marking are determined for each type of marker 160 or the type of inspection target, the marker 160 is inspected according to the vertical height adjustment of the marking side level roll (LVR-M). The marking angle and distance to the target are adjusted.

마킹각의 조절을 위해 마커(160)는 일 예로 제어부(192)의 제어신호에 따라 동작하는 3축 구동기(X/Y/Z 구동기)에 설치됨으로써, 마킹측 레벨롤(LVR-M)이 조정된 높이에 따라 마킹 자세가 자동으로 조절된다.For the adjustment of the marking angle, the marker 160 is installed in a three-axis driver (X/Y/Z driver) that operates according to a control signal of the control unit 192, for example, so that the marking-side level roll (LVR-M) is adjusted. The marking posture is automatically adjusted according to the height.

위와 같이 상하 높이가 조절된 마킹측 레벨롤(LVR-M)을 통과하면서 마킹을 마친 피검사대상은 리와인더(110-R)에 감기며, 마킹측 레벨롤(LVR-M)과 리와인더(110-R) 사이에는 적어도 하나 이상의 회수측 아이들 롤(195-R)이 설치되어 피검사대상에 장력을 인가할 수 있다.As above, the inspection target, which has been marked while passing through the marking-side level roll (LVR-M) whose vertical height is adjusted, is wound on the rewinder (110-R), and the marking-side level roll (LVR-M) and the rewinder (110-) At least one recovery-side idle roll (195-R) is installed between R) to apply tension to the inspection target.

한편, 액티브 댄서(active dancer, 180)는 피검사대상에 의해 발생되는 장력 외란을 감쇠시키기 위한 것으로, 언와인더(110-U) 혹은 공급측 아이들 롤(195-S)와 제2 검사측 공급유닛(140) 사이에 설치된다. 따라서, 피검사대상이 검사 구간(T1)으로 진입하기 이전의 위치에서 피검사대상의 진동을 감쇠시킨다.On the other hand, the active dancer (180) is to attenuate the tension disturbance generated by the inspection target, the unwinder (110-U) or the supply side idle roll (195-S) and the second inspection side supply unit It is installed between 140. Accordingly, the vibration of the inspection target is attenuated at a position before the inspection target enters the inspection section T1.

도 2와 같이, 액티브 댄서(180)는 진동을 감쇠시키기 위한 질량-댐퍼-스프링 기구에 해당하는 것으로, 액츄에이터(actuator)를 이용하여 능동적으로 피검사대상의 이송 중 발생하는 장력 외란을 감쇠시킨다.As shown in FIG. 2 , the active dancer 180 corresponds to a mass-damper-spring mechanism for damping vibration, and uses an actuator to actively attenuate tension disturbance generated during transport of an inspection target.

일 예로, 액티브 댄서(180)는 실린더 로드가 전후방 이동하는 실린더 장치(181), 조인트 링크(182a)를 통해 실린더 로드에 연결된 댄서암(182) 및 상기 댄서암(182)의 단부에 회전 가능하게 설치된 댄서롤(183)을 포함하여 구성된다.For example, the active dancer 180 is a cylinder device 181 in which the cylinder rod moves forward and backward, a dancer arm 182 connected to the cylinder rod through a joint link 182a, and an end of the dancer arm 182 to be rotatable. It is configured to include the installed dancer roll (183).

따라서, 실린더 장치(181)의 구동에 따라 댄서 암(182)의 회동 중심점에 조립된 회전축핀(C-X)을 중심으로 댄서 암(182)이 회동하고, 상기 댄서 암(182)의 회동에 따라 피검사대상에 접하여 장력을 인가 중인 댄서 롤(183)의 위치가 대략 상하로 조정된다.Therefore, according to the driving of the cylinder device 181, the dancer arm 182 rotates around the rotation shaft pin CX assembled to the rotation center point of the dancer arm 182, and according to the rotation of the dancer arm 182, The position of the dancer roll 183 that is in contact with the inspection object and is applying tension is approximately adjusted up and down.

또한, 본 발명은 초기 조정을 마친 후 운전 중인 상태에서 피검사대상을 검사 및 마킹하는 실제 환경을 반영하여 실시간 자동 조정이 이루어지도록 센싱하고, 센싱을 통해 피검사대상의 이송 조건을 가변시키는 구성을 더 포함한다.In addition, the present invention provides a configuration for sensing so that real-time automatic adjustment is made by reflecting the actual environment of inspecting and marking the inspection target in a driving state after initial adjustment, and changing the transport condition of the inspection target through sensing include more

이를 위해, 본 발명은 피검사대상의 이송 중 피검사대상으로부터 롤에 가해지는 하중을 측정하는 로드셀(load cell, 191) 및 상기 로드셀(191)에서 측정된 하중에 따라 공급유닛에서의 공급 속도를 조절하는 제어부(192)를 더 포함한다.To this end, the present invention provides a load cell (191) for measuring the load applied to the roll from the inspected object during transport of the inspected object, and the supply speed in the supply unit according to the load measured by the load cell (191). It further includes a control unit 192 for adjusting.

로드셀(191)은 피검사대상의 이송 중 발생하는 하중 및 그 변화를 감지하는 것으로, 도 3에 일 실시예로서 도시한 바와 같이 피검사대상의 이송을 안내하는 롤(roll)에 일체로 설치될 수 있다.The load cell 191 is to detect a load and its change generated during the transport of the inspection target, and to be integrally installed on a roll for guiding the transport of the inspection target as shown in FIG. 3 as an embodiment. can

이러한 로드셀(191)은 검사측/마킹측 공급유닛(130, 140, 170)의 댄서롤 및 검사측/마킹측 레벨롤(LVR-I, LVR-M)들 중 어느 하나 이상에 일체로 설치할 수 있으며, 바람직하게는 검사측 레벨롤(LVR-I)에 일체로 구비된다.This load cell 191 can be integrally installed on any one or more of the dancer roll and the inspection side / marking side level roll (LVR-I, LVR-M) of the inspection side / marking side supply unit (130, 140, 170) and is preferably provided integrally with the inspection side level roll (LVR-I).

검사측 레벨롤(LVR-I)에 로드셀(191)을 구비하는 경우, 롤 중심부의 몸체로부터 양측부에 각각 돌출된 회전축에 로드셀(191)을 설치하며, 회전축은 로드셀(191)의 내측 방향 삽입홈에 끼워져 하중을 전달하는 방식이 적용될 수 있다.When the load cell 191 is provided on the inspection side level roll (LVR-I), the load cell 191 is installed on the rotation shafts protruding from the body of the center of the roll on both sides, respectively, and the rotation shaft is inserted in the inner direction of the load cell 191 A method of transmitting a load by being inserted into the groove may be applied.

따라서, 검사 카메라(120)에 의해 비젼 검사가 이루어지는 검사 구간(T1)에서 피검사대상에 의해 전달되는 하중을 감시함으로써, 조정의 목적이 되는 구간에서 직접 감시 후 피검사대상의 이송 환경을 조절할 수 있게 한다.Therefore, by monitoring the load transmitted by the inspection target in the inspection section T1 in which the vision inspection is performed by the inspection camera 120, it is possible to control the transport environment of the inspection target after direct monitoring in the section to be adjusted. let there be

일 예로, 제어부(192)는 공급유닛(130, 140, 170)의 공급 속도를 조절한다. 공급유닛은 검사측 공급유닛(130, 140)과 마킹측 공급유닛(170) 중 어느 하나 이상을 의미하며, 바람직하게는 이들 모두에서의 공급 속도를 제어한다.For example, the control unit 192 controls the supply speed of the supply units (130, 140, 170). The supply unit means any one or more of the inspection-side supply units 130 and 140 and the marking-side supply unit 170, and preferably controls the supply speed in all of them.

또한, 본 발명은 선형 이동기(193)를 더 포함한다. 선형 이동기(193)는 액티브 댄서(180)를 지면에 대해 수평한 가상의 면 상에서 피검사대상의 이송 방향을 따라 전후 방향으로 왕복 이동시켜 해당 액티브 댄서(180)의 위치를 조정한다.In addition, the present invention further includes a linear mover (193). The linear mover 193 adjusts the position of the active dancer 180 by reciprocating the active dancer 180 in the forward and backward directions along the transport direction of the target on a virtual plane horizontal to the ground.

즉, 선형 이동기(193)는 지면(혹은 워크 테이블)으로부터 일정 높이에서 수평하게 전후 방향으로 이동하여 액티브 댄서(180)의 위치를 조절한다. 조절은 아이들(idle) 상태에서 오직 피검사대상에 의한 자유 운동을 통해서 이루어진다.That is, the linear mover 193 adjusts the position of the active dancer 180 by horizontally moving forward and backward at a predetermined height from the ground (or work table). Control is achieved only through free movement by the test subject in the idle state.

도 4와 같이, 선형 이동기(193)는 액티브 댄서(180)의 직선 방향 이동을 안내하는 댄서 가이드(193a)와, 액티브 댄서(180)가 설치되는 안착대(193b) 및 상기 안착대(193b)가 댄서 가이드(193a)를 따라 이동하는 거리를 제한하는 스톱퍼(193c, 193d)를 포함한다.As shown in FIG. 4 , the linear mover 193 includes a dancer guide 193a for guiding the linear movement of the active dancer 180 , a seat 193b on which the active dancer 180 is installed, and the seat 193b ) Includes stoppers (193c, 193d) for limiting the distance moved along the dancer guide (193a).

여기서, 댄서 가이드(193a)는 LM(Linear Motion) 가이드와 같이 직선 이동을 안내하도록 레일이 형성된 가이드가 적용되고, 안착대(193b)는 상기 레일에 물리는 구동바퀴 등을 포함하여 댄서 가이드(193a)를 따라 자유 운동된다.Here, the dancer guide 193a is a guide formed with a rail to guide linear movement like an LM (Linear Motion) guide is applied, and the seat 193b includes a driving wheel engaged with the rail, and the dancer guide 193a. free movement along

도면에서는 비록 개략적으로 도시하였지만, 안착대(193b)에 설치되는 액티브 댄서(180)는 실린더 장치를 비롯한 모든 구성을 포함하며, 이에 의해 안착대(193b)를 따라 전후 이동하는 액티브 댄서(180)는 그 고유 기능을 온전히 제공한다.Although schematically shown in the drawing, the active dancer 180 installed on the mounting table 193b includes all components including a cylinder device, and thereby the active dancer 180 moving back and forth along the mounting table 193b is It fully provides its unique functions.

또한, 안착대(193b)는 전기모터와 같은 별도의 동력원이 없이, 오직 액티브 댄서(180)를 통해 전달되는 외력에 의해 댄서 가이드(193a)를 따라 자유 운동됨에 따라 검사 도중 충격을 완화하고 액티브 댄서(180)의 위치를 자동으로 조절한다.In addition, as the seat 193b freely moves along the dancer guide 193a by an external force transmitted only through the active dancer 180 without a separate power source such as an electric motor, it relieves the impact during the examination and the active dancer The position of (180) is automatically adjusted.

예컨대, 액티브 댄서(180) 전방측에서 공급측 아이들 롤(195-S)을 통과한 피검사대상이 하향 경사지게 이동하면서 전달된 힘과 그 후방측에서 제2 검사측 공급유닛(140)으로 상향 경사지게 이동하면서 전달됨 힘에 차이가 발생시, 그 차이만큼 전후방향 위치가 조절된다.For example, the force transmitted while the object to be inspected passing through the supply-side idle roll 195-S from the front side of the active dancer 180 is moved in an inclined downward direction and the second inspection-side supply unit 140 from the rear side of the active dancer 180 is moved inclined upwardly. When there is a difference in the transmitted force, the forward and backward position is adjusted by the difference.

이때, 스톱퍼(193c, 193d)는 액티브 댄서(180)가 설치되어 있는 안착대(193b)의 전후 방향 이동을 소정 범위 이내로 제한하도록, 댄서 가이드(193a)에 설치된 전방측 스톱퍼(193c)와 후방측 스톱퍼(193d)를 포함할 수 있다.At this time, the stoppers (193c, 193d) are the front-side stoppers (193c) and the rear side installed on the dancer guide (193a) to limit the front-back direction movement of the seat (193b) on which the active dancer 180 is installed within a predetermined range. A stopper 193d may be included.

따라서, 전방측 스톱퍼(193c)는 댄서 가이드(193a)의 길이 방향 전방부에서 안착대(193b)의 전방측 이동 길이를 제한한다. 후방측 스톱퍼(193d)는 댄서 가이드(193a)의 길이 방향 후방부에서 안착대(193b)의 후방측 이동 길이를 제한한다.Accordingly, the front-side stopper 193c limits the moving length of the front side of the seat 193b in the longitudinal direction of the dancer guide 193a. The rear stopper 193d limits the rearward movement length of the seat 193b in the longitudinal rear portion of the dancer guide 193a.

전방측 스톱퍼(193c)와 후방측 스톱퍼(193d) 사이의 길이(간격)는 이송 방향을 기준으로 액티브 댄서(180)의 직전과 직후에 설치된 롤들에 각각 형성되는 곡선 구간에 의해 결정될 수 있다.The length (interval) between the front-side stopper 193c and the rear-side stopper 193d may be determined by curved sections respectively formed on the rolls installed immediately before and after the active dancer 180 based on the transport direction.

더욱 구체적으로, 액티브 댄서(180)의 전후에 설치된 롤에 의해 피검사대상의 이송 방향이 전환되면서 발생하는 곡률 반지름들 중 최소 곡률 반지름의 1/4 미만의 길이로 설정되어 있는 것이 바람직하다.More specifically, it is preferable to set the length to less than 1/4 of the minimum radius of curvature among the radii of curvature that occur while the transfer direction of the inspection target is switched by the rolls installed before and after the active dancer 180 .

예를 들어, 피검사대상이 이송되기 전의 초기 셋팅 상태에서, 액티브 댄서(180)의 직전(상류측)에서는 언와인더(110-U), 공급측 아이들 롤(195-S) 및 액티브 댄서(180)에 의해 형성된 곡선 구간에서의 제1 곡률 반지름을 측정한다.For example, in the initial setting state before the inspection target is transferred, the unwinder 110-U, the supply side idle roll 195-S, and the active dancer 180 immediately before the active dancer 180 (upstream side) ) to measure the first radius of curvature in the curved section formed by

또한, 액티브 댄서(180)의 직후(하류측)에서는 액티브 댄서(180), 제2 검사측 공급유닛(140) 및 패시브 댄서(150)에 의해 형성된 곡선 구간에서의 제2 곡률 반지름을 측정한다.In addition, immediately after (downstream side) of the active dancer 180 , the second radius of curvature in the curved section formed by the active dancer 180 , the second inspection-side supply unit 140 , and the passive dancer 150 is measured.

따라서, 제1 곡률 반지름과 제2 곡률 반지름 중 제2 곡률 반지름이 더 작은 경우, 제2 곡률 반지름의 1/4의 범위 미만의 길이로 전방측 스톱퍼(193c)와 후방측 스톱퍼(193d)를 이격시킨다. 이때, 길이 방향으로 균등하게 스톱퍼(193c, 193d)를 배치하도록 설정된 길이의 중심(C)에서 전후 방향으로 동일한 거리에 각각 스톱퍼(193c, 193d)를 배치한다.Accordingly, when the second radius of curvature of the first radius of curvature and the second radius of curvature is smaller, the front stopper 193c and the rear stopper 193d are spaced apart by a length less than 1/4 of the second radius of curvature. make it At this time, the stoppers 193c and 193d are respectively arranged at the same distance in the front-rear direction from the center C of the length set to evenly arrange the stoppers 193c and 193d in the longitudinal direction.

나아가, 본 발명은 피검사대상이 이송 중인 검사측 레벨롤(LVR-I)을 촬영하여, 피검사대상과 검사측 레벨롤(LVR-I)의 영상을 제공하는 자세검출 카메라(194)를 더 포함한다. 다시 말해 자세검출 카메라(194)는 검사측 레벨롤(LVR-I)에 의해 이송이 안내되고 있는 피검사대상에 대한 촬영 영상을 제공한다.Furthermore, the present invention further includes a posture detection camera 194 that provides an image of the inspection target and the inspection side level roll (LVR-I) by photographing the inspection side level roll (LVR-I) while the inspection target is being transported. include In other words, the posture detection camera 194 provides a photographed image of the subject to be inspected whose transfer is guided by the inspection-side level roll LVR-I.

이를 위해 자세검출 카메라(194)는 검사측 레벨롤(LVR-I)과 함께 그에 의해 이송중인 피검사대상을 동시에 촬영할 수 있도록, 서로간에 상하 배치되는 피검사대상과 검사측 레벨롤(LVR-I) 중 피검사대상의 직상부측에서 촬영하도록 설치된다.To this end, the posture detection camera 194 includes the inspection target and the inspection side level roll (LVR-I) disposed vertically between each other so that the inspection target being transported can be simultaneously photographed together with the inspection side level roll (LVR-I). ), it is installed so that it is photographed from the upper side of the target to be inspected.

그 후 제어부(192)는 영상신호처리를 통해 자세검출 카메라(194)에서 촬영된 영상을 분석하여, 상기 검사측 레벨롤(LVR-I)을 기준으로 하는 피검사대상의 이송 자세나 위치를 획득한다.After that, the control unit 192 analyzes the image captured by the posture detection camera 194 through image signal processing, and acquires the transport posture or position of the subject to be inspected based on the inspection side level roll (LVR-I). do.

피검사대상의 이송 자세나 위치는 일 예로 검사측 레벨롤(LVR-I)의 폭 방향 양측 단부 지점(SI)과, 이송중인 피검사대상의 폭 방향 중심점(O)이 연속하여 검사측 레벨롤(LVR-I)에 접촉하는 위치 및 피검사대상의 양측면과 검사측 레벨롤(LVR-I)의 양측 단부가 형성하는 각도(θ) 등을 통해 확인 가능하다.The transport posture or position of the inspection target is, for example, the width direction both end points (SI) of the inspection side level roll (LVR-I), and the width direction center point (O) of the inspection target object being transported in succession to the inspection side level roll It can be confirmed through the position in contact with (LVR-I) and the angle (θ) formed by both sides of the inspection target and both ends of the inspection-side level roll (LVR-I).

따라서, 피검사대상의 이송 자세나 위치가 설정된 것과 비교하여 어긋난 것으로 판단되면, 피검사대상의 이송 자세나 위치를 교정하도록 피검사대상의 이송 상태를 제어한다. 피검사대상의 이송상태 제어는 대표적으로 검사측 공급유닛(130)의 공급속도를 제어하는 것이 적용될 수 있다.Therefore, when it is determined that the transport posture or position of the inspection target is shifted compared to the set one, the transport state of the inspection target is controlled to correct the transport posture or position of the inspection target. Controlling the transfer state of the inspection target may be typically applied to control the supply speed of the inspection-side supply unit 130 .

이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.In the above, specific embodiments of the present invention have been described above. However, the spirit and scope of the present invention are not limited to these specific embodiments, but various modifications and variations are possible within the scope that does not change the gist of the present invention. You will understand when you grow up.

따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Therefore, since the embodiments described above are provided to fully inform those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs the scope of the invention, it should be understood that they are exemplary in all respects and not limiting, The invention is only defined by the scope of the claims.

110-U: 언와인더
110-R: 리와인더
120: 검사 카메라
130: 제1 검사측 공급유닛
140: 제2 검사측 공급유닛
150: 패시브 댄서
160: 마커
170: 마킹측 공급유닛
180: 액티브 댄서
191: 로드셀
192: 제어부
193: 선형 이동기
194: 자세검출 카메라
LVR-I: 검사측 레벨롤
LVR-M: 마킹측 레벨롤110-U: Unwinder
110-R: Rewinder
120: inspection camera
130: first inspection side supply unit
140: second inspection side supply unit
150: passive dancer
160: marker
170: marking side supply unit
180: active dancer
191: load cell
192: control unit
193: linear mover
194: posture detection camera
LVR-I: Level roll on the inspection side
LVR-M: Marking side level roll

Claims (8)

롤(roll) 타입으로 감겨 있는 피검사대상을 공급하는 언와인더(110-U)와;
상기 언와인더(110-U)로부터 이송된 피검사대상을 롤 타입으로 감아 회수하는 리와인더(110-R)와;
상기 피검사대상이 이송되는 구간 중 설정된 길이의 검사 구간(T1)에 설치된 검사 카메라(120)와;
상기 검사 구간(T1)의 상류측에 설치되며, 회전롤을 이용하여 상기 피검사대상을 이송시키는 제1 검사측 공급유닛(130)과;
상기 제1 검사측 공급유닛(130)으로부터 상류측에 이격 설치되며, 회전롤을 이용하여 상기 피검사대상을 이송시키는 제2 검사측 공급유닛(140)과;
상기 제1 검사측 공급유닛(130)과 제2 검사측 공급유닛(140) 사이에 설치되며, 액츄에이터 없이 수동적으로 상기 피검사대상의 이송 중 발생하는 장력 외란을 감쇠시키는 패시브 댄서(passive dancer, 150)와;
상기 검사 구간(T1)의 하류측에 설치되며, 상하 높이가 조절된 상태에서 상기 피검사대상의 이송을 안내하는 검사측 레벨롤(LVR-I)과;
상기 검사 구간(T1)의 하류측에서 설정된 길이의 마킹 구간(T2)에 설치되며, 상기 피검사대상에 설정된 패턴의 마킹을 하는 마커(160)와;
상기 마킹 구간(T2)의 상류측에 설치되며, 회전롤을 이용하여 상기 피검사대상을 이송시키는 마킹측 공급유닛(170); 및
상기 마킹 구간(T2)의 하류측에 설치되며, 상하 높이가 조절된 상태에서 상기 피검사대상의 이송을 안내하는 마킹측 레벨롤(LVR-M);을 포함하되,
상기 검사 카메라(120)는 상기 검사측 레벨롤(LVR-I)의 상하 방향 위치 조절에 따라 상기 피검사대상을 바라보는 촬영각이 조절되도록 구성되고,
상기 마커(160)는 상기 마킹측 레벨롤(LVR-M)의 상하 방향 위치 조절에 따라 상기 피검사대상을 바라보는 마킹각이 조절되도록 구성되어 있고,
상기 검사 카메라(120)는,
상기 피검사대상을 상기 피검사대상 표면에 대해 법선 방향에서 촬영하는 수직 카메라(121); 및
상기 검사 구간(T1) 내에서 상기 수직 카메라(121)의 전방 및 후방 중 어느 한 쪽 이상에 설치되며, 상기 피검사대상 표면을 경사 방향에서 촬영하는 경사 카메라(122);를 포함하며,
상기 피검사대상이 이송 중인 상기 검사측 레벨롤(LVR-I)을 촬영하여, 상기 피검사대상과 검사측 레벨롤(LVR-I)의 영상을 제공하는 자세검출 카메라(194)를 더 포함하되,
상기 제어부(192)는,
상기 자세검출 카메라(194)에서 촬영된 영상을 분석하여, 상기 검사측 레벨롤(LVR-I)을 기준으로 하는 상기 피검사대상의 이송 자세나 위치를 획득하여,
상기 피검사대상의 이송 자세나 위치가 설정된 것과 비교하여 어긋난 것으로 판단되면, 상기 피검사대상의 이송 자세나 위치를 교정하도록 상기 피검사대상의 이송 상태를 제어하는 것을 특징으로 하는 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템.an unwinder (110-U) for supplying an inspection target wound in a roll type;
a rewinder (110-R) for winding and collecting the inspection target transferred from the unwinder (110-U) in a roll type;
an inspection camera 120 installed in an inspection section T1 of a set length among sections in which the target to be inspected is transported;
a first inspection-side supply unit 130 installed on the upstream side of the inspection section T1 and transferring the inspection target using a rotating roll;
a second inspection-side supply unit 140 that is installed at an upstream side from the first inspection-side supply unit 130 and transfers the inspection target using a rotating roll;
A passive dancer 150 that is installed between the first inspection-side supply unit 130 and the second inspection-side supply unit 140 and passively attenuates the tension disturbance generated during the transfer of the inspection target without an actuator. )Wow;
an inspection-side level roll (LVR-I) installed on the downstream side of the inspection section (T1) and guiding the transfer of the inspection target in a state in which the vertical height is adjusted;
a marker 160 installed in a marking section T2 of a set length on the downstream side of the inspection section T1, and marking a pattern set on the inspection target;
a marking-side supply unit 170 installed on the upstream side of the marking section (T2) and transferring the inspection target using a rotating roll; and
A marking-side level roll (LVR-M) that is installed on the downstream side of the marking section (T2) and guides the transfer of the inspection target in a state in which the vertical height is adjusted; including;
The inspection camera 120 is configured such that the angle of view of the inspection target is adjusted according to the vertical position adjustment of the inspection side level roll (LVR-I),
The marker 160 is configured to adjust the marking angle looking at the inspection target according to the vertical position adjustment of the marking side level roll (LVR-M),
The inspection camera 120,
a vertical camera 121 for photographing the subject to be inspected in a direction normal to the surface of the subject to be inspected; and
It is installed on one or more of the front and rear of the vertical camera 121 in the inspection section (T1), the inclined camera 122 for taking the inspection target surface in an inclined direction; includes;
Further comprising a posture detection camera 194 for photographing the inspection-side level roll (LVR-I) while the inspection target is being transported, and providing an image of the inspection target and the inspection-side level roll (LVR-I) ,
The control unit 192,
By analyzing the image taken by the posture detection camera 194, the transfer posture or position of the subject to be inspected is obtained based on the test-side level roll (LVR-I),
Level-adjustable roll-to-roll, characterized in that when it is determined that the transport posture or position of the inspection target is shifted compared to the set one, the transport state of the inspection target is controlled to correct the transport posture or position of the inspection target inspection system. 제1항에 있어서,
상기 언와인더(110-U)와 제2 검사측 공급유닛(140) 사이에 설치되며, 액츄에이터를 이용하여 능동적으로 상기 피검사대상의 이송 중 발생하는 장력 외란을 감쇠시키는 액티브 댄서(active dancer, 180);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템.According to claim 1,
An active dancer installed between the unwinder 110-U and the second inspection-side supply unit 140 and actively attenuating the tension disturbance generated during the transfer of the inspection target using an actuator (active dancer, 180); level control roll-to-roll inspection system, characterized in that it further comprises. 제2항에 있어서,
상기 액티브 댄서(180)를 지면에 대해 수평한 가상의 면 상에서 상기 피검사대상의 이송 방향을 따라 전후 방향으로 왕복 이동시켜 상기 액티브 댄서(180)의 위치를 조정하는 선형 이동기(193)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템.3. The method of claim 2,
A linear mover 193 for adjusting the position of the active dancer 180 by reciprocating the active dancer 180 back and forth along the transport direction of the inspection target on a virtual plane horizontal to the ground. Level control roll-to-roll inspection system, characterized in that. 제3항에 있어서,
상기 선형 이동기(193)는,
상기 액티브 댄서(180)의 직선 방향 이동을 안내하는 댄서 가이드(193a)와;
상기 액티브 댄서(180)를 통해 전달되는 외력에 의해 상기 댄서 가이드(193a)를 따라 자유 운동되며, 상기 액티브 댄서(180)가 설치되는 안착대(193b)와;
상기 댄서 가이드(193a)의 길이 방향 전방부에 설치되어, 상기 안착대(193b)의 전방측 이동 길이를 제한하는 전방측 스톱퍼(193c); 및
상기 댄서 가이드(193a)의 길이 방향 후방부에 설치되어, 상기 안착대(193b)의 후방측 이동 길이를 제한하는 후방측 스톱퍼(193d);를 포함하는 것을 특징으로 하는 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템.4. The method of claim 3,
The linear mover 193 is
a dancer guide 193a for guiding the linear movement of the active dancer 180;
a seat 193b that freely moves along the dancer guide 193a by an external force transmitted through the active dancer 180, and on which the active dancer 180 is installed;
a front stopper (193c) installed in the longitudinal direction of the dancer guide (193a) to limit the front movement length of the seating table (193b); and
A level control type roll-to-roll inspection system comprising a; a rear stopper (193d) which is installed in the longitudinal rear portion of the dancer guide (193a) to limit the rear movement length of the seating table (193b) . 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 피검사대상의 이송 중 상기 피검사대상으로부터 롤에 가해지는 하중을 측정하는 로드셀(load cell, 191); 및
상기 로드셀(191)에서 측정된 하중에 따라 상기 제1 검사측 공급유닛(130), 제2 검사측 공급유닛(140) 및 마킹측 공급유닛(170) 중 어느 하나 이상의 공급 속도를 조절하는 제어부(192);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레벨 조절형 롤투롤 검사 시스템.According to claim 1,
a load cell (191) for measuring a load applied to the roll from the inspected object during transport of the inspected object; and
A control unit ( 192); level control roll-to-roll inspection system, characterized in that it further comprises. 삭제delete
KR1020210104599A 2021-08-09 2021-08-09 Level controlled roll to roll inspection system KR102365200B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210104599A KR102365200B1 (en) 2021-08-09 2021-08-09 Level controlled roll to roll inspection system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210104599A KR102365200B1 (en) 2021-08-09 2021-08-09 Level controlled roll to roll inspection system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102365200B1 true KR102365200B1 (en) 2022-02-23

Family

ID=80495540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210104599A KR102365200B1 (en) 2021-08-09 2021-08-09 Level controlled roll to roll inspection system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102365200B1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008239264A (en) * 2007-03-26 2008-10-09 Tanaka Electronics Ind Co Ltd Tension adjusting device
KR101106460B1 (en) * 2010-11-02 2012-01-30 대원화성 주식회사 Sanding apparatus of polyurethane film for grasping an object
KR101117629B1 (en) 2011-12-16 2012-03-16 주식회사 선일기연 Test apparatus for fpcb
KR20140066551A (en) * 2012-11-23 2014-06-02 주식회사 엠디에스 Reel-to-reel inspection apparatus and inspection method using the same
KR20160020867A (en) * 2014-08-14 2016-02-24 주식회사 엘지화학 System for controlling tension of films and System for manufacturing a polarizing plate comprising the same
KR102010860B1 (en) 2017-09-25 2019-08-14 (주)펨트론 Inspection system for FPCB with chip

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008239264A (en) * 2007-03-26 2008-10-09 Tanaka Electronics Ind Co Ltd Tension adjusting device
KR101106460B1 (en) * 2010-11-02 2012-01-30 대원화성 주식회사 Sanding apparatus of polyurethane film for grasping an object
KR101117629B1 (en) 2011-12-16 2012-03-16 주식회사 선일기연 Test apparatus for fpcb
KR20140066551A (en) * 2012-11-23 2014-06-02 주식회사 엠디에스 Reel-to-reel inspection apparatus and inspection method using the same
KR20160020867A (en) * 2014-08-14 2016-02-24 주식회사 엘지화학 System for controlling tension of films and System for manufacturing a polarizing plate comprising the same
KR102010860B1 (en) 2017-09-25 2019-08-14 (주)펨트론 Inspection system for FPCB with chip

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4578299B2 (en) Component mounting equipment
KR102261010B1 (en) Position detecting apparatus, substrate manufacturing apparatus, position detecting method, and manufacturing method of substrate
JP5868122B2 (en) Substrate processing apparatus, table mechanism, positioning method and program
KR20120089305A (en) Component-mounting device, component-mounting system, and component-mounting method
JP2014078580A (en) Electronic component mounting apparatus and board positioning method in the electronic component mounting apparatus
KR102365200B1 (en) Level controlled roll to roll inspection system
CN108029236B (en) Component mounting apparatus
KR102365199B1 (en) Disturbance reduced roll to roll inspection system
JP4910945B2 (en) Component mounting equipment
JP2009212251A (en) Component transfer equipment
JP4921346B2 (en) Adsorption position correction method in component mounting apparatus
KR102667886B1 (en) Roll to roll real-time inspection system
KR20210081134A (en) Roll-to-Roll Repairing System and Method thereof
JP4346349B2 (en) Component mounting method
JP4926264B2 (en) Pattern forming apparatus and positioning apparatus
JP2021171663A (en) Stage device and printing apparatus
US10019793B2 (en) Test system and test method
JP5971930B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP4296029B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP4401193B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP2011157192A (en) Method for position correction of sensor in image recording apparatus and image forming apparatus
JP4860366B2 (en) Surface mount equipment
JP2018107274A (en) Substrate conveyance device
JP5492481B2 (en) Electronic component mounting device
JP7212174B2 (en) Mounting machine

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant