KR102361476B1 - Apparatus and method for picking up semiconductor devices - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자를 픽업하는 장치를 제공한다. 반도체 소자 픽업 장치는, 복수의 반도체 소자들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프가 장착된 웨이퍼 링을 파지하는 클램프와; 상기 웨이퍼의 상부에 배치되고 상기 반도체 소자들 중 선택된 반도체 소자의 상부면에 접촉하여 상기 선택된 반도체 소자를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하는 픽업 유닛과; 상기 다이싱 테이프 아래에 배치되는 척 유닛을 포함하되, 상기 척 유닛은, 상기 선택된 반도체 소자와 상기 다이싱 테이프 사이의 접착력을 감소시키는 광을 조사하는 조사 부재를 더 포함할 수 있다.The present invention provides an apparatus for picking up semiconductor elements. A semiconductor element pickup apparatus includes: a clamp for holding a wafer ring on which a dicing tape to which a wafer divided into a plurality of semiconductor elements is attached is mounted; a pickup unit disposed on the wafer and in contact with an upper surface of a selected one of the semiconductor elements to pick up the selected semiconductor element from the dicing tape; and a chuck unit disposed under the dicing tape, wherein the chuck unit may further include an irradiating member irradiating light to reduce adhesive force between the selected semiconductor element and the dicing tape.

Figure R1020190075517
Figure R1020190075517

Description

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치 및 방법{Apparatus and method for picking up semiconductor devices}Apparatus and method for picking up semiconductor devices

본 발명은 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼로부터 반도체 소자들을 분리하고 기판 상에 반도체 소자들을 본딩하는 공정에서 반도체 소자들을 웨이퍼로부터 분리하기 위하여 픽업하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for picking up semiconductor devices, and more particularly, to a pick-up for separating semiconductor devices from a wafer in a process of separating semiconductor devices from a wafer in a semiconductor manufacturing process and bonding semiconductor devices on a substrate. It relates to an apparatus and method for

반도체 소자들은 도포, 노광, 애싱, 에칭, 세정 등 다양한 공정들을 반복적으로 수행하여 반도체 기판으로서 사용되는 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 그리고, 웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 분할되며, 본딩 공정을 통해 기판 상에 본딩될 수 있다. 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 복수의 반도체 소자들로 분할된 웨이퍼로부터 반도체 소자를 픽업하여 분리시키기 위한 픽업 모듈과, 픽업된 반도체 소자를 기판 상에 부착시키기 위한 본딩 모듈을 포함할 수 있다.Semiconductor devices may be formed on a wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing various processes such as coating, exposure, ashing, etching, and cleaning. In addition, the semiconductor devices formed on the wafer may be divided through a dicing process and bonded to a substrate through a bonding process. An apparatus for performing a bonding process may include a pickup module for picking up and separating a semiconductor device from a wafer divided into a plurality of semiconductor devices, and a bonding module for attaching the picked-up semiconductor device to a substrate.

일반적으로 픽업 모듈은, 이젝팅 유닛을 통해 웨이퍼로부터 선택적으로 반도체 소자들을 분리하여 분리된 반도체 소자를 픽업한다. 이와 달리 반도체 소자들을 흡착하여 들어 올리는 헤드의 일측 높이를 변경하고, 이에 헤드와 반도체 소자의 상대 각도를 변경하여 반도체 소자를 분리하는 경우도 있다.In general, a pickup module selectively separates semiconductor devices from a wafer through an ejecting unit and picks up the separated semiconductor devices. On the other hand, in some cases, the height of one side of the head for adsorbing and lifting the semiconductor elements is changed, and the relative angle between the head and the semiconductor element is changed to separate the semiconductor elements.

그러나, 최근 반도체 소자들의 크기 및/또는 두께가 미세화 되면서 기 알려진 픽업 모듈 또는 픽업 방법을 사용하여 반도체 소자를 웨이퍼로부터 분리하는 경우, 반도체 소자들이 파손된다. 예컨대, 반도체 소자를 픽업시 반도체 소자와 반도체 소자가 부착된 접착 필름 사이의 접착력에 의해 반도체 소자가 파손(예컨대, 크랙의 발생 등)된다. 또한, 헤드와 접착 필름의 상대 각도를 변경하여 반도체 소자를 들어올리는 방안에서, 이전에는 헤드의 각도의 미세 조정이 어려워 헤드의 각도 변경이 짧은 시간 동안 이루어진다. 이 경우에도 반도체 소자가 파손될 위험이 있다.However, as the size and/or thickness of semiconductor devices have recently been miniaturized, when a semiconductor device is separated from a wafer using a known pickup module or pickup method, the semiconductor devices are damaged. For example, when the semiconductor element is picked up, the semiconductor element is damaged (eg, cracks are generated) due to the adhesive force between the semiconductor element and the adhesive film to which the semiconductor element is attached. In addition, in the method of lifting the semiconductor device by changing the relative angle between the head and the adhesive film, it is difficult to finely adjust the angle of the head before, so the angle change of the head is made for a short time. Even in this case, there is a risk of damage to the semiconductor device.

본 발명은 반도체 소자들을 다이싱 테이프로부터 용이하게 분리시키고 픽업하기 위한 반도체 소자 픽업 장치 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a semiconductor element pickup apparatus and method for easily separating and picking up semiconductor elements from a dicing tape.

또한, 본 발명은 픽업 유닛이 반도체 소자와 접촉시 반도체 소자에 인가되는 힘을 완화할 수 있는 반도체 소자 픽업 장치 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor element pickup apparatus and method capable of relieving a force applied to a semiconductor element when the pickup unit comes into contact with the semiconductor element.

또한, 본 발명은 픽업 헤드와 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경하여 반도체 소자를 들어 올리는 경우, 반도체 소자가 파손되는 것을 최소화 할 수 있는 반도체 소자 픽업 장치 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다. Another object of the present invention is to provide a semiconductor device pickup apparatus and method capable of minimizing damage to the semiconductor device when the semiconductor device is lifted by changing the angle between the pickup head and the dicing tape.

또한, 본 발명은 다이싱 테이프와 반도체 소자 사이의 접착력을 감소시켜 반도체 소자를 더욱 용이하게 픽업할 수 있는 반도체 소자 픽업 장치 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor element pickup apparatus and method capable of more easily picking up a semiconductor element by reducing an adhesive force between a dicing tape and a semiconductor element.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 반도체 소자를 픽업하는 장치를 제공한다. 반도체 소자 픽업 장치는, 복수의 반도체 소자들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프가 장착된 웨이퍼 링을 파지하는 클램프와; 상기 웨이퍼의 상부에 배치되고 상기 반도체 소자들 중 선택된 반도체 소자의 상부면에 접촉하여 상기 선택된 반도체 소자를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하는 픽업 유닛과; 상기 다이싱 테이프 아래에 배치되는 척 유닛을 포함하되, 상기 척 유닛은, 상기 선택된 반도체 소자와 상기 다이싱 테이프 사이의 접착력을 감소시키는 광을 조사하는 조사 부재를 더 포함할 수 있다.The present invention provides an apparatus for picking up semiconductor elements. A semiconductor element pickup apparatus includes: a clamp for holding a wafer ring on which a dicing tape to which a wafer divided into a plurality of semiconductor elements is attached is mounted; a pickup unit disposed on the wafer and in contact with an upper surface of a selected one of the semiconductor elements to pick up the selected semiconductor element from the dicing tape; and a chuck unit disposed under the dicing tape, wherein the chuck unit may further include an irradiating member irradiating light to reduce adhesive force between the selected semiconductor element and the dicing tape.

일 실시 예에 의하면, 상기 조사 부재는, 자외선 영역의 파장을 광을 조사할 수 있다.According to an embodiment, the irradiating member may irradiate light with a wavelength in the ultraviolet region.

일 실시 예에 의하면, 상기 척 유닛은, 상기 선택된 반도체 소자가 제공된 영역 이외의 상기 다이싱 테이프를 흡착하는 진공 부재를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the chuck unit may further include a vacuum member for adsorbing the dicing tape other than the region in which the selected semiconductor element is provided.

일 실시 예에 의하면, 상기 픽업 유닛은, 상기 선택된 반도체의 상부면을 흡착하는 흡착홀이 구비된 하부면을 가지는 픽업 헤드와; 상기 픽업 헤드와 결합되어 상기 하부면과 상기 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경시키는 링크를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the pickup unit may include: a pickup head having a lower surface provided with a suction hole for adsorbing an upper surface of the selected semiconductor; It may include a link coupled to the pickup head to change an angle between the lower surface and the dicing tape.

일 실시 예에 의하면, 상기 픽업 유닛은, 상기 픽업 헤드가 상기 선택된 반도체 소자와 접촉시 충격을 완화하는 탄성 부재를 포함하되, 상기 탄성 부재는 상기 픽업 헤드의 타단에 결합될 수 있다.According to an embodiment, the pickup unit may include an elastic member that relieves an impact when the pickup head comes into contact with the selected semiconductor device, and the elastic member may be coupled to the other end of the pickup head.

일 실시 예에 의하면, 상기 링크는, 상기 픽업 헤드의 일단에 결합될 수 있다. According to an embodiment, the link may be coupled to one end of the pickup head.

일 실시 예에 의하면, 상기 링크는, 로드와; 상기 로드의 일단에 제공되어 상기 로드와 상기 픽업 헤드가 상대적으로 회전되도록 결합시키는 힌지를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the link includes a rod; It may include a hinge provided at one end of the rod to couple the rod and the pickup head to be relatively rotated.

일 실시 예에 의하면, 상기 링크는 피에조 구동기에 의해 구동될 수 있다.According to an embodiment, the link may be driven by a piezo actuator.

일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 상기 픽업 유닛과 상기 척 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하되, 상기 제어기는, 상기 조사 부재가 상기 광을 조사하고, 상기 픽업 헤드가 상기 선택된 반도체 소자의 상부면에 접촉되어 상승됨과 동시에 상기 하부면과 상기 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경시키도록 상기 픽업 유닛과 상기 척 유닛을 제어할 수 있다.According to an embodiment, the apparatus further includes a controller for controlling the pickup unit and the chuck unit, wherein the controller is configured such that the irradiating member irradiates the light and the pickup head is positioned above the selected semiconductor element The pickup unit and the chuck unit may be controlled to change an angle between the lower surface and the dicing tape while being raised in contact with the surface.

일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 조사 부재와 상기 픽업 헤드가 서로 대향되게 이동하도록 상기 픽업 유닛과 상기 척 유닛을 제어할 수 있다.According to an embodiment, the controller may control the pickup unit and the chuck unit to move the irradiation member and the pickup head to face each other.

또한, 본 발명은 반도체 소자를 픽업하는 방법을 제공한다. 다이싱 테이프에 부착된 반도체 소자를 픽업하는 방법은, 복수의 반도체 소자들 중 선택된 반도체 소자와 상기 다이싱 테이프 사이의 접착력을 감소시키는 광을 조사하고, 흡착홀이 구비된 픽업 헤드로 상기 선택된 반도체 소자를 픽업할 수 있다.The present invention also provides a method for picking up a semiconductor device. A method of picking up a semiconductor device attached to a dicing tape includes irradiating light that reduces adhesion between a selected semiconductor device among a plurality of semiconductor devices and the dicing tape, and using a pickup head having a suction hole to use the selected semiconductor The device can be picked up.

일 실시 예에 의하면, 상기 광은 자외선 영역의 파장을 가질 수 있다.According to an embodiment, the light may have a wavelength in the ultraviolet region.

일 실시 예에 의하면, 상기 광은, 상기 다이싱 테이프의 하부에서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light may be irradiated from a lower portion of the dicing tape.

일 실시 예에 의하면, 상기 픽업 헤드가 상기 선택된 반도체 소자를 픽업시, 상기 픽업 헤드의 하부면과 상기 선택된 반도체 소자의 상부면이 접촉되어 상승됨과 동시에 상기 하부면과 상기 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경시킬 수 있다.According to an embodiment, when the pickup head picks up the selected semiconductor element, the lower surface of the pickup head and the upper surface of the selected semiconductor element come into contact with each other and rise while simultaneously increasing the angle between the lower surface and the dicing tape. can be changed

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 반도체 소자들을 다이싱 테이프로부터 용이하게 분리시키고 픽업할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, semiconductor devices can be easily separated from and picked up from the dicing tape.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 픽업 유닛이 반도체 소자와 접촉시 반도체 소자에 인가되는 힘을 완화할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, when the pickup unit comes into contact with the semiconductor device, the force applied to the semiconductor device may be relieved.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 픽업 헤드와 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경하여 반도체 소자를 들어 올리는 경우, 반도체 소자가 파손되는 것을 최소화 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, when the semiconductor device is lifted by changing the angle between the pickup head and the dicing tape, damage to the semiconductor device can be minimized.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 다이싱 테이프와 반도체 소자 사이의 접착력을 감소시켜 반도체 소자를 더욱 용이하게 픽업할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the adhesive force between the dicing tape and the semiconductor device may be reduced, so that the semiconductor device may be more easily picked up.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1의 픽업 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3 내지 도 6은 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치를 이용하여 반도체 소자를 다이싱 테이프로부터 분리시키는 방법을 설명하기 위한 도면들이다.1 is a view for explaining a semiconductor device pickup apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the pickup unit of FIG. 1 .
3 to 6 are views for explaining a method of separating a semiconductor device from a dicing tape using the semiconductor device pickup device shown in FIG. 1 .

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. However, the present invention may be implemented in several different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다."Including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated. Specifically, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification is present, and includes one or more other features or It should be understood that the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof does not preclude the possibility of addition.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description.

본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a semiconductor device pickup apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 웨이퍼(W)는 복수의 반도체 소자(D)들로 분할될 수 있다. 또한, 복수의 반도체 소자(D)들로 분할된 웨이퍼(W)는 다이싱 테이프(T)에 부착될 수 있다. 다이싱 테이프(T)는 웨이퍼 링(R)에 장착될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 소자 픽업 장치(1000)는 지지 유닛(100), 픽업 유닛(200), 척 유닛(300), 그리고 제어기(400)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , a wafer W may be divided into a plurality of semiconductor devices D . In addition, the wafer W divided into the plurality of semiconductor devices D may be attached to the dicing tape T. The dicing tape T may be mounted on the wafer ring R. The semiconductor device pickup apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention may include a support unit 100 , a pickup unit 200 , a chuck unit 300 , and a controller 400 .

지지 유닛(100)은 복수의 반도체 소자(D)들로 분할된 웨이퍼(W), 그리고 웨이퍼(W)가 부착된 웨이퍼 링(R)을 지지 및/또는 파지할 수 있다. 지지 유닛(100)은 클램프(102), 스테이지(104), 그리고 서포트 링(106)을 포함할 수 있다.The support unit 100 may support and/or hold the wafer W divided into a plurality of semiconductor devices D and the wafer ring R to which the wafer W is attached. The support unit 100 may include a clamp 102 , a stage 104 , and a support ring 106 .

클램프(102)는 웨이퍼(W)가 부착된 웨이퍼 링(R)을 파지할 수 있다. 클램프(102)는 스테이지(104) 상에 배치될 수 있다. 또한, 스테이지(104) 상에는 다이싱 테이프(T)의 가장자리, 즉 다이싱 테이프(T)의 외측 부위를 지지하기 위한 서포트 링(106)이 배치될 수 있다. 상부에서 바라볼 때, 서포트 링(106)은 링 형상을 가질 수 있다. 또한, 상부에서 바라볼 때, 서포트 링(106)은 클램프(102)보다 스테이지(104)의 내측 영역에 배치될 수 있다. The clamp 102 may hold the wafer ring R to which the wafer W is attached. The clamp 102 may be disposed on the stage 104 . In addition, a support ring 106 for supporting an edge of the dicing tape T, that is, an outer portion of the dicing tape T, may be disposed on the stage 104 . When viewed from above, the support ring 106 may have a ring shape. Also, when viewed from above, the support ring 106 may be disposed in an inner region of the stage 104 rather than the clamp 102 .

클램프(102)는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예컨대, 클램프(102)는 클램프 구동부(미도시)에 의해 수직 방향으로 이동될 수 있다. 웨이퍼 링(R)이 클램프(102)에 의해 파지된 경우, 클램프(102)는 클램프 구동부에 의해 하방으로 이동될 수 있다. 이에, 도 1에 도시된 바와 같이 다이싱 테이프(T)는 그 가장자리 부위가 서포트 링(106)에 의해 수평 방향으로 확장될 수 있다. 이에, 다이싱 테이프(T)에 부착된 복수의 반도체 소자(D)들 사이의 간격이 확장될 수 있다. 복수의 반도체 소자(D)들 사이의 간격이 확장됨에 따라 보다 용이하게 각각 반도체 소자(D)들의 분리가 수행될 수 있다.The clamp 102 may be configured to be movable in a vertical direction. For example, the clamp 102 may be moved in a vertical direction by a clamp driver (not shown). When the wafer ring R is gripped by the clamp 102 , the clamp 102 may be moved downward by the clamp driving unit. Accordingly, as shown in FIG. 1 , the edge of the dicing tape T may be expanded in the horizontal direction by the support ring 106 . Accordingly, an interval between the plurality of semiconductor devices D attached to the dicing tape T may be extended. As the distance between the plurality of semiconductor elements D is extended, the semiconductor elements D may be more easily separated.

픽업 유닛(200)은 웨이퍼(W)의 상부에 배치될 수 있다. 픽업 유닛(200)은 웨이퍼(W)의 상부에 배치되어 복수의 반도체 소자(D)들 중 선택된 반도체 소자(D)의 상부면에 접촉하여, 반도체 소자(D)를 다이싱 테이프(T)로부터 픽업할 수 있다. 픽업 유닛(200)은 픽업 바디(210), 픽업부(220), 그리고 구동부(230)를 포함할 수 있다.The pickup unit 200 may be disposed on the wafer W. The pickup unit 200 is disposed on the wafer W and in contact with the top surface of the semiconductor device D selected from among the plurality of semiconductor devices D to remove the semiconductor device D from the dicing tape T. can be picked up The pickup unit 200 may include a pickup body 210 , a pickup unit 220 , and a driving unit 230 .

픽업 바디(210)에는 픽업부(220), 그리고 구동부(230)가 결합될 수 있다. 픽업 바디(210)는 내부 공간을 가질 수 있다. 픽업 바디(210)의 내부 공간에는 후술하는 픽업부(220)의 구성을 동작시키는 다양한 기재, 그리고 배선들이 배치될 수 있다.A pickup unit 220 and a driving unit 230 may be coupled to the pickup body 210 . The pickup body 210 may have an internal space. In the inner space of the pickup body 210 , various substrates and wires for operating the configuration of the pickup unit 220 to be described later may be disposed.

픽업부(220)는 복수의 반도체 소자(D)들 중 선택된 반도체 소자(D)를 다이싱 테이프(T)로부터 픽업할 수 있다. 예컨대, 픽업부(220)는 복수의 반도체 소자(D)들 중 선택된 반도체 소자(D)를 진공 흡착하여 픽업할 수 있다. 픽업부(220)의 구체적인 구성은 후술한다.The pickup unit 220 may pick up a semiconductor element D selected from among the plurality of semiconductor elements D from the dicing tape T. For example, the pickup unit 220 may vacuum-adsorb the selected semiconductor element D among the plurality of semiconductor elements D to pick it up. A specific configuration of the pickup unit 220 will be described later.

구동부(230)는 픽업 바디(210) 및/또는 픽업부(220)를 이동시킬 수 있다. 구동부(230)는 픽업 바디(210)에 결합될 수 있다. 구동부(230)는 수평 구동부(232)와 수직 구동부(234)를 포함할 수 있다. 수평 구동부(232)는 픽업 바디(210) 및/또는 픽업부(220)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 수평 구동부(232)는 픽업부(220)에 의해 픽업된 반도체 소자(D)를 기판 상에 본딩하기 위하여 픽업 바디(210) 및/또는 픽업부(220)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 수직 구동부(234)는 픽업부(220)가 가지는 픽업 헤드(222)를 선택된 반도체 소자(D)의 상부면에 밀착시키기 위하여 픽업 헤드(222)를 하강시킬 수 있다. 즉, 픽업 유닛(200)이 가지는 구성들의 위치는 구동부(230)에 의해 수평 및/또는 수직 방향으로 자유롭게 변경될 수 있다. The driving unit 230 may move the pickup body 210 and/or the pickup unit 220 . The driving unit 230 may be coupled to the pickup body 210 . The driving unit 230 may include a horizontal driving unit 232 and a vertical driving unit 234 . The horizontal driving unit 232 may move the pickup body 210 and/or the pickup unit 220 in a horizontal direction. For example, the horizontal driving unit 232 may move the pickup body 210 and/or the pickup unit 220 in a horizontal direction to bond the semiconductor device D picked up by the pickup unit 220 on a substrate. . The vertical driving unit 234 may lower the pickup head 222 in order to bring the pickup head 222 included in the pickup unit 220 into close contact with the upper surface of the selected semiconductor device D. That is, the positions of the components of the pickup unit 200 may be freely changed in the horizontal and/or vertical directions by the driving unit 230 .

척 유닛(300)은 다이싱 테이프(T)의 하부에 배치될 수 있다. 척 유닛(300)은 클램프(102)와 서포트 링(106)에 의해 확장된 다이싱 테이프(T)의 하부에 배치될 수 있다. 척 유닛(300)은 척 바디(310), 조사 부재(320), 그리고 진공 부재(330)를 포함할 수 있다. 척 바디(310)에는 조사 부재(320), 그리고 진공 부재(330)가 제공될 수 있다.The chuck unit 300 may be disposed under the dicing tape T. The chuck unit 300 may be disposed under the dicing tape T extended by the clamp 102 and the support ring 106 . The chuck unit 300 may include a chuck body 310 , an irradiation member 320 , and a vacuum member 330 . The chuck body 310 may be provided with an irradiation member 320 and a vacuum member 330 .

조사 부재(320)는 척 바디(310)에 제공될 수 있다. 조사 부재(320)는 광을 조사할 수 있다. 조사 부재(320)는 다이싱 테이프(T)의 하면으로 광을 조사할 수 있다. 조사 부재(320)가 조사하는 광은 다이싱 테이프(T)와 반도체 소자(D) 사이의 접착력을 감소시키는 광일 수 있다. 조사 부재(320)가 조사하는 광은 다이싱 테이프(T)와 반도체 소자(D) 사이의 접착력을 감소시키는 파장을 가질 수 있다. 예컨대, 즉, 조사 부재(320)는 자외선 엘이디(UV LED)로 제공될 수 있다. 조사 부재(320)가 조사하는 광은 자외선 영역의 파장을 가질 수 있다.The irradiation member 320 may be provided on the chuck body 310 . The irradiation member 320 may irradiate light. The irradiation member 320 may radiate light to the lower surface of the dicing tape T. The light irradiated by the irradiation member 320 may be light that reduces the adhesive force between the dicing tape T and the semiconductor device D. Referring to FIG. The light irradiated by the irradiation member 320 may have a wavelength that reduces the adhesive force between the dicing tape T and the semiconductor device D. For example, the irradiation member 320 may be provided as an ultraviolet LED (UV LED). The light irradiated by the irradiation member 320 may have a wavelength in the ultraviolet region.

진공 부재(330)는 다이싱 테이프(T)의 하면을 흡착할 수 있다. 진공 부재(330)는 다이싱 테이프(T)의 일부를 선택적으로 진공 흡착할 수 있다. 예컨대, 진공 부재(330)는 픽업 유닛(200)이 픽업하고자 하는 반도체 소자(D)가 제공된 영역 이외의 다이싱 테이프(T)를 흡착할 수 있다. 이에, 픽업 유닛(200)이 복수의 반도체 소자(D)들 중 선택된 반도체 소자(D)를 픽업시 다이싱 테이프(T)로부터 선택된 반도체 소자(D)의 분리를 용이하게 할 수 있다. The vacuum member 330 may adsorb the lower surface of the dicing tape T. The vacuum member 330 may selectively vacuum adsorb a portion of the dicing tape T. For example, the vacuum member 330 may adsorb the dicing tape T other than the region in which the semiconductor device D to be picked up by the pickup unit 200 is provided. Accordingly, when the pickup unit 200 picks up the selected semiconductor element D from among the plurality of semiconductor elements D, it is possible to easily separate the selected semiconductor element D from the dicing tape T.

진공 부재(330)는 조사 부재(320)의 주변에 배치될 수 있다. 예컨대, 상부에서 바라볼 때 진공 부재(330)는 조사 부재(320)의 인접한 영역에 배치될 수 있다. 진공 부재(330)는 진공홀이 형성된 흡착판과 흡착판에 연결되는 흡착관을 가질 수 있다. 상부에서 바라볼 때, 흡착판은 반도체 소자(D)와 대응하는 형상을 가질 수 있다. 또한, 상부에서 바라볼 때 흡착판은 반도체 소자(D)와 같거나 작은 크기를 가질 수 있다. 그리고 흡착관은 흡착판의 하면 중심에 연결될 수 있다. 진공 부재(330)는 진공 라인(332)에 연결될 수 있다. 구체적으로 진공 라인(332)은 진공 부재(330)의 흡착관에 연결될 수 있다. 진공 라인(332)은 진공 부재(330)가 가지는 진공홀에 감압을 제공할 수 있다. 진공 라인(332)이 제공하는 감압에 의해 다이싱 테이프(T) 및/또는 다이싱 테이프(T)에 부착된 반도체 소자(D)들은 진공 부재(330)에 흡착될 수 있다.The vacuum member 330 may be disposed around the irradiation member 320 . For example, when viewed from above, the vacuum member 330 may be disposed in an area adjacent to the irradiation member 320 . The vacuum member 330 may have a suction plate in which a vacuum hole is formed and a suction tube connected to the suction plate. When viewed from the top, the suction plate may have a shape corresponding to the semiconductor element (D). In addition, when viewed from the top, the suction plate may have the same size as or smaller than that of the semiconductor device (D). And the adsorption tube may be connected to the center of the lower surface of the suction plate. The vacuum member 330 may be connected to the vacuum line 332 . Specifically, the vacuum line 332 may be connected to the adsorption tube of the vacuum member 330 . The vacuum line 332 may provide a reduced pressure to the vacuum hole of the vacuum member 330 . The dicing tape T and/or the semiconductor devices D attached to the dicing tape T may be adsorbed to the vacuum member 330 by the reduced pressure provided by the vacuum line 332 .

척 유닛(300)은 이동할 수 있다. 척 유닛(300)은 척 구동부(미도시)에 의해 이동될 수 있다. 척 유닛(300)은 척 구동부에 의해 수평 및/또는 수직 방향으로 이동될 수 있다. 예컨대, 척 유닛(300)은 다이싱 테이프(T)의 상부에 배치되는 픽업 유닛(300)의 위치가 서로 대응하도록 이동될 수 있다. 더 구체적으로, 조사 부재(320)는 다이싱 테이프(T)의 상부에 배치되는 픽업 헤드(222)의 위치가 서로 대응하도록 이동될 수 있다. 즉, 픽업 유닛(200)이 반도체 소자(D)를 픽업시 픽업 유닛(200)의 픽업 헤드(222)와 조사 부재(320)는 다이싱 테이프(T) 및/또는 반도체 소자(D)를 사이에 두고 서로 대응되게 위치될 수 있다.The chuck unit 300 is movable. The chuck unit 300 may be moved by a chuck driving unit (not shown). The chuck unit 300 may be moved in a horizontal and/or vertical direction by a chuck driving unit. For example, the chuck unit 300 may be moved so that the positions of the pickup units 300 disposed on the dicing tape T correspond to each other. More specifically, the irradiation member 320 may be moved so that the positions of the pickup heads 222 disposed on the dicing tape T correspond to each other. That is, when the pickup unit 200 picks up the semiconductor element D, the pickup head 222 of the pickup unit 200 and the irradiation member 320 interpose the dicing tape T and/or the semiconductor element D. and may be positioned to correspond to each other.

제어기(400)는 반도체 소자 픽업 장치(1000)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(400)는 반도체 소자 픽업 장치(1000)가 가지는 지지 유닛(100), 픽업 유닛(200), 그리고 척 유닛(300) 등을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(400)는 후술하는 반도체 소자 픽업 방법을 수행할 수 있도록 반도체 소자 픽업 장치(1000)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(400)는 클램프(102)의 높이 변경, 픽업 유닛(200)의 반도체 소자(D) 흡착, 위치 변경, 그리고 각도 변경 등의 일련의 구동, 척 유닛(300)의 광 조사, 위치 변경, 다이싱 테이프(T)의 진공 흡착 등의 일련의 구동을 수행할 수 있도록 지지 유닛(100), 픽업 유닛(200), 그리고 척 유닛(300) 등을 제어할 수 있다.The controller 400 may control the semiconductor device pickup apparatus 1000 . For example, the controller 400 may control the support unit 100 , the pickup unit 200 , the chuck unit 300 , and the like of the semiconductor device pickup apparatus 1000 . Also, the controller 400 may control the semiconductor device pickup apparatus 1000 to perform a semiconductor device pickup method, which will be described later. In addition, the controller 400 controls a series of driving, such as changing the height of the clamp 102 , adsorbing the semiconductor element D of the pickup unit 200 , changing the position, and changing the angle, light irradiation of the chuck unit 300, and the position The support unit 100 , the pickup unit 200 , and the chuck unit 300 may be controlled to perform a series of driving such as change and vacuum suction of the dicing tape T .

도 2는 도 1의 픽업 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 구체적으로는, 도 2는 도 1의 픽업 유닛(200)이 포함하는 픽업부(220)를 설명하기 위한 단면도이다. 도 2를 참조하면, 픽업부(220)는 픽업 헤드(222), 링크(226), 그리고 탄성 부재(229)를 포함할 수 있다. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the pickup unit of FIG. 1 . Specifically, FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the pickup unit 220 included in the pickup unit 200 of FIG. 1 . Referring to FIG. 2 , the pickup unit 220 may include a pickup head 222 , a link 226 , and an elastic member 229 .

픽업 헤드(222)는 반도체 소자(D)들 중 선택된 반도체 소자(D)를 진공 흡착할 수 있다. 픽업 헤드(222)의 하부면에는 반도체 소자(D)들 중 선택된 반도체 소자(D)의 상부면을 흡착하는 흡착홀(223)이 구비될 수 있다. 흡착홀(223)은 감압을 제공하는 흡착 라인(225)에 연결되는 흡착관(224)과 연통할 수 있다. 흡착관(224)은 픽업 바디(210)에 형성된 개구(212)에 삽입될 수 있다. 즉, 흡착 라인(225)은 흡착관(224)에 감압을 제공하고, 흡착관(224)에 제공된 감압은 픽업 헤드(222)의 하부면이 반도체 소자(D)를 진공 흡착할 수 있도록 한다. 또한, 픽업 헤드(222)의 하부면은 반도체 소자(D)의 상부면을 전체적으로 밀착할 수 있는 형상 및 크기를 가질 수 있다. 예컨대, 픽업 헤드(222)의 하부면은 반도체 소자(D)와 대응하는 형상을 가질 수 있다. 또한 픽업 헤드(222)의 하부면은 반도체 소자(D)의 면적과 대응하거나 이보다 큰 면적을 가질 수 있다. 또한, 픽업 헤드(222)는 반도체 소자(D)와 접촉시, 반도체 소자(D)에 전달되는 충격을 완화하기 위해 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 픽업 헤드(222)의 하부면은 탄성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 픽업 헤드(222)의 하부면은 고무를 포함하는 재질로 제공될 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 픽업 헤드(222)의 재질은 탄성을 가지는 다양한 재질로 변경될 수 있다.The pickup head 222 may vacuum-adsorb the selected semiconductor device D among the semiconductor devices D. Referring to FIG. A suction hole 223 for adsorbing an upper surface of a selected semiconductor element D among the semiconductor elements D may be provided on a lower surface of the pickup head 222 . The adsorption hole 223 may communicate with the adsorption tube 224 connected to the adsorption line 225 for providing reduced pressure. The adsorption tube 224 may be inserted into the opening 212 formed in the pickup body 210 . That is, the adsorption line 225 provides a reduced pressure to the adsorption tube 224 , and the reduced pressure provided to the adsorption tube 224 allows the lower surface of the pickup head 222 to vacuum adsorb the semiconductor element D. In addition, the lower surface of the pick-up head 222 may have a shape and size capable of closely adhering the upper surface of the semiconductor device D as a whole. For example, the lower surface of the pickup head 222 may have a shape corresponding to that of the semiconductor device (D). Also, the lower surface of the pickup head 222 may have an area corresponding to or larger than the area of the semiconductor device D. As shown in FIG. In addition, the pickup head 222 may include a material having elasticity in order to alleviate an impact transmitted to the semiconductor device D when in contact with the semiconductor device D . The lower surface of the pickup head 222 may be made of a material having elasticity. For example, the lower surface of the pickup head 222 may be provided with a material including rubber. However, the present invention is not limited thereto, and the material of the pickup head 222 may be changed to various materials having elasticity.

링크(226)는 픽업 헤드(222)의 일단에 결합될 수 있다. 링크(226)는 픽업 헤드(222)의 하부면과 다이싱 테이프(T) 사이의 각도를 변경할 수 있다. 구체적으로 링크(226)는 픽업 헤드(222)의 하부면과 클램프(102)에 의해 파지된 다이싱 테이프(T) 사이의 각도를 변경할 수 있다. 링크(226)는 로드(227), 그리고 힌지(228)를 포함할 수 있다. 로드(227)는 그 길이가 신축 가능하게 제공될 수 있다. 로드(227)의 타단은 픽업 바디(210)와 연결될 수 있다. 로드(227)의 일단은 픽업 헤드(222)와 연결될 수 있다. 또한, 로드(227)의 타단은 픽업 바디(210)와 힌지 결합될 수 있다. 또한, 로드(227)의 일단은 픽업 헤드(222)와 힌지(228)에 의해 연결될 수 있다. 힌지(228)는 로드(227)의 일단에 제공되어 로드(227)와 픽업 헤드(222)가 상대적으로 회전되도록 결합시킬 수 있다. 로드(227)의 길이가 신축되는 경우 픽업 헤드(222)의 좌우 높이는 서로 불균형을 이룰 수 있다. 즉, 로드(227)의 길이가 변경되는 경우 픽업 헤드(222)는 틸트(Tilt)될 수 있다. 또한, 로드(227)는 피에조 구동기에 의해 구동될 수 있다. 예컨대, 로드(227)의 길이는 피에조 구동기에 의해 변경될 수 있다. 피에조 구동기는 피에조 회로, 피에조 액츄에이터 등으로 구성될 수 있다. 또한, 피에조 구동기는 공지된 다양한 구성으로 변형될 수 있다. 로드(227)의 길이 변경이 피에조 구동기에 의함으로써, 로드(227)의 길이 변경을 미세하게 조절할 수 있다. The link 226 may be coupled to one end of the pickup head 222 . Link 226 may change the angle between the lower surface of the pickup head 222 and the dicing tape (T). Specifically, the link 226 may change the angle between the lower surface of the pickup head 222 and the dicing tape T gripped by the clamp 102 . The link 226 may include a rod 227 and a hinge 228 . The rod 227 may be provided so that its length is stretchable. The other end of the rod 227 may be connected to the pickup body 210 . One end of the rod 227 may be connected to the pickup head 222 . In addition, the other end of the rod 227 may be hinge-coupled to the pickup body 210 . In addition, one end of the rod 227 may be connected to the pickup head 222 and the hinge 228 . The hinge 228 may be provided at one end of the rod 227 to couple the rod 227 and the pickup head 222 to rotate relatively. When the length of the rod 227 is stretched, the left and right heights of the pickup head 222 may be unbalanced. That is, when the length of the rod 227 is changed, the pickup head 222 may be tilted. Also, the rod 227 may be driven by a piezo actuator. For example, the length of the rod 227 may be changed by a piezo actuator. The piezo actuator may be composed of a piezo circuit, a piezo actuator, or the like. In addition, the piezo actuator may be modified into various known configurations. By changing the length of the rod 227 by the piezo actuator, it is possible to finely control the change in length of the rod 227 .

탄성 부재(229)는 픽업 헤드(222)의 타단에 결합될 수 있다. 예컨대, 탄성 부재(229)의 일단은 픽업 바디(210)와 결합될 수 있다. 탄성 부재(229)의 타단은 픽업 헤드(222)와 결합될 수 있다. 즉, 탄성 부재(229)와 링크(226)는 픽업 헤드(222)에 결합되되, 서로 이격된 위치에서 픽업 헤드(222)와 결합될 수 있다. 탄성 부재(229)는 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)와 접촉시, 반도체 소자(D)에 전달되는 충격을 완화할 수 있다. 또한, 링크(226)의 길이가 신축되는 경우 링크(226)의 길이가 빠르게 변경되는 것을 다소 완화할 수 있다. The elastic member 229 may be coupled to the other end of the pickup head 222 . For example, one end of the elastic member 229 may be coupled to the pickup body 210 . The other end of the elastic member 229 may be coupled to the pickup head 222 . That is, the elastic member 229 and the link 226 are coupled to the pickup head 222 , and may be coupled to the pickup head 222 at positions spaced apart from each other. The elastic member 229 may relieve an impact transmitted to the semiconductor device D when the pickup head 222 comes into contact with the semiconductor device D. Referring to FIG. In addition, when the length of the link 226 is stretched, it is possible to somewhat alleviate the rapid change in the length of the link 226 .

이하에서는, 반도체 소자 픽업 방법에 대하여 상세히 설명한다. 이하에서 설명하는 반도체 소자 픽업 방법은 상술한 반도체 소자 픽업 장치(1000)의 구동에 의해 수행될 수 있다. 도 3 내지 도 6은 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치를 이용하여 반도체 소자를 다이싱 테이프로부터 분리시키는 방법을 설명하기 위한 도면들이다.Hereinafter, the semiconductor element pickup method will be described in detail. The semiconductor device pickup method described below may be performed by driving the above-described semiconductor device pickup apparatus 1000 . 3 to 6 are views for explaining a method of separating a semiconductor device from a dicing tape using the semiconductor device pickup device shown in FIG. 1 .

도 3을 참조하면, 픽업 유닛(200)의 픽업부(220)는 복수의 반도체 소자(D)들 중 선택된 반도체 소자(D)의 상부로 이동할 수 있다. 이 경우, 척 유닛(300)의 위치 또한 마찬가지로 변경될 수 있다. 일 예로, 픽업 헤드(222)와 조사 부재(320)가 서로 대향되게 이동될 수 있다. 즉, 픽업하고자 하는 반도체 소자(D)를 사이에 두고, 픽업 헤드(222)와 조사 부재(320)는 서로 대향되게 위치될 수 있다. 픽업 헤드(222), 그리고 조사 부재(320)가 픽업하고자 하는 반도체 소자(D)의 인근에 위치되면, 조사 부재(320)는 광(L)을 조사한다. 광(L)은 다이싱 테이프(T)와 반도체 소자(D) 사이의 접착력을 감소시킬 수 있다. 이에, 반도체 소자(D)는 더욱 용이하게 다이싱 테이프(T)로부터 분리 및 픽업될 수 있으며, 반도체 소자(D)가 다이싱 테이프(T)로부터 분리시 파손되는 것을 최소화할 수 있다. Referring to FIG. 3 , the pickup unit 220 of the pickup unit 200 may move to an upper portion of the semiconductor device D selected from among the plurality of semiconductor devices D. Referring to FIG. In this case, the position of the chuck unit 300 may also be changed. For example, the pickup head 222 and the irradiation member 320 may be moved to face each other. That is, the pickup head 222 and the irradiation member 320 may be positioned to face each other with the semiconductor device D to be picked up interposed therebetween. When the pickup head 222 and the irradiating member 320 are positioned in the vicinity of the semiconductor device D to be picked up, the irradiating member 320 irradiates the light L. The light L may reduce the adhesive force between the dicing tape T and the semiconductor device D. Accordingly, the semiconductor device D can be more easily separated and picked up from the dicing tape T, and damage to the semiconductor device D when separated from the dicing tape T can be minimized.

도 4를 참조하면, 픽업 유닛(200)의 픽업 헤드(222)는 하강한다. 픽업 헤드(222)가 하강하면서 픽업 헤드(222)의 하부면은 반도체 소자(D)의 상부면과 밀착될 수 있다. 픽업 헤드(222)의 하부면이 반도체 소자(D)의 상부면과 밀착되면 흡착 라인(225)은 흡착관(224)에 감압을 제공하고, 흡착관(224)에 제공된 감압은 흡착홀(223)로 전달된다. 이에, 반도체 소자(D)의 상부면은 픽업 헤드(222)의 하부면에 진공 흡착될 수 있다. 또한, 픽업 헤드(222)의 하부면이 반도체 소자(D)와 접할 때, 반도체 소자(D)에 전달되는 힘은 탄성 부재(229)에 의해 완충된다. 이에, 반도체 소자(D)가 파손되는 것을 최소화 할 수 있다.Referring to FIG. 4 , the pickup head 222 of the pickup unit 200 descends. As the pickup head 222 descends, the lower surface of the pickup head 222 may be in close contact with the upper surface of the semiconductor device D. When the lower surface of the pickup head 222 is in close contact with the upper surface of the semiconductor element D, the adsorption line 225 provides a reduced pressure to the adsorption tube 224 , and the reduced pressure provided to the adsorption tube 224 is applied to the adsorption hole 223 . ) is transferred to Accordingly, the upper surface of the semiconductor device D may be vacuum-adsorbed to the lower surface of the pickup head 222 . In addition, when the lower surface of the pickup head 222 comes into contact with the semiconductor element D, the force transmitted to the semiconductor element D is buffered by the elastic member 229 . Accordingly, damage to the semiconductor device D can be minimized.

도 5를 참조하면, 픽업 유닛(200)의 픽업 헤드(222)는 반도체 소자(D)를 흡착한 상태에서 상승한다. 예컨대, 픽업 헤드(222)는 수직 구동부(234)에 의해 상승될 수 있다. 이때, 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)의 상부면에 접촉되어 상승됨과 동시에 픽업 헤드(222)는 틸트(Tilt)될 수 있다. 즉, 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)의 상부면에 접촉되어 상승됨과 동시에 픽업 헤드(222)의 하부면과 다이싱 테이프(T) 사이의 각도를 변경할 수 있다. 일 예로, 픽업 헤드(222)는 링크(226)의 로드(227) 길이가 축소되면서 틸트될 수 있다. 링크(226)의 길이 변화로 픽업 헤드(222)의 좌우 높이는 불균형을 이룰 수 있다. 픽업 헤드(222)의 틸트에 의해 픽업 헤드(222)의 일측 하부에 대응하는 반도체 소자(D)의 일측 하부가 다이싱 테이프(T)로부터 분리되기 시작한다. 계속하여 픽업 헤드(222)가 상승 및/또는 로드(227)의 길이가 수축하면서 다이싱 테이프(T)가 반도체 소자(D)의 일측으로부터 타측을 향하여 연속적으로 분리될 수 있다. 픽업 헤드(222)의 틸트(Tilt)는 링크(236)의 길이 변화, 그리고 링크(236)와 픽업 헤드(222)의 힌지 결합에 의해 이루어진다. 또한, 상술한 바와 같이 링크(236)의 길이 변화는 피에조(Piezo) 구동기에 의해 이루어지므로, 픽업 헤드(222)의 틸트(Tilt)를 더욱 세밀하게 조정할 수 있다. 또한, 픽업 헤드(222)가 틸트(Tilt)시 픽업 헤드(222)에 결합된 탄성 부재(239)는 신축될 수 있다. 탄성 부재(239)가 신축되면서 발생하는 탄성력(탄성 부재가 원래 상태로 되돌아가려는 힘)에 의해 픽업 헤드(222)의 틸트(Tilt)가 짧은 시간 동안 급격하게 이루어지는 것을 완화할 수 있다. 이에, 반도체 소자(D)가 파손되는 것을 더욱 최소화 할 수 있다.Referring to FIG. 5 , the pickup head 222 of the pickup unit 200 rises while the semiconductor element D is adsorbed. For example, the pickup head 222 may be lifted by a vertical drive 234 . At this time, the pickup head 222 may be raised by contacting the upper surface of the semiconductor element D, and at the same time, the pickup head 222 may be tilted. That is, while the pickup head 222 is raised by contacting the upper surface of the semiconductor element D, the angle between the lower surface of the pickup head 222 and the dicing tape T may be changed. For example, the pickup head 222 may be tilted while the length of the rod 227 of the link 226 is reduced. The left and right heights of the pickup head 222 may be imbalanced due to a change in the length of the link 226 . Due to the tilt of the pickup head 222 , the lower portion of the semiconductor device D corresponding to the lower portion of the one side of the pickup head 222 starts to be separated from the dicing tape T. As the pickup head 222 continues to rise and/or the length of the rod 227 contracts, the dicing tape T may be continuously separated from one side of the semiconductor device D toward the other. The tilt (Tilt) of the pickup head 222 is achieved by a change in the length of the link 236 and the hinge coupling between the link 236 and the pickup head 222 . In addition, as described above, since the length change of the link 236 is made by a piezo driver, the tilt of the pickup head 222 can be more precisely adjusted. Also, when the pickup head 222 is tilted, the elastic member 239 coupled to the pickup head 222 may be stretched or contracted. It is possible to alleviate abrupt tilt of the pickup head 222 for a short time by the elastic force (force to return the elastic member to its original state) generated while the elastic member 239 is stretched and contracted. Accordingly, damage to the semiconductor device D can be further minimized.

도 6을 참조하면, 반도체 소자(D)가 다이싱 테이프(T)로부터 완전히 분리된 후 링크(236)는 분리된 반도체 소자(D)가 수평 상태가 되도록 길이가 변할 수 있다. 계속해서, 픽업 유닛(200)은 수직 및 수평 구동부(232, 234)에 의해 본딩 공정이 수행되는 영역으로 이동될 수 있다.Referring to FIG. 6 , after the semiconductor device D is completely separated from the dicing tape T, the length of the link 236 may change so that the separated semiconductor device D is in a horizontal state. Subsequently, the pickup unit 200 may be moved to an area in which a bonding process is performed by the vertical and horizontal driving units 232 and 234 .

상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시 예에 따르면 조사 부재(320)는 다이싱 테이프(T)와 반도체 소자(D) 사이의 접착력을 감소시키는 광을 조사한다. 그리고, 픽업 헤드(222)를 픽업하고자 하는 반도체 소자(D)의 상부면에 충분히 밀착시켜 반도체 소자(D)를 흡착한다. 이때, 탄성 부재(239)는 반도체 소자(D)에 전달되는 힘을 완충한다. 이어서 픽업 헤드(222)의 일측을 들어올림으로써 픽업 헤드(222)를 틸트 시키고, 이와 동시에 픽업 헤드(222)를 상승함으로써 반도체 소자(D)의 일측으로부터 타측을 향하여 다이싱 테이프(T)가 분리된다. 또한, 픽업 헤드(222)의 틸트는 링크(236)의 길이 변경에 의해 이루어진다. 링크(236)의 길이 변경이 피에조 구동기에 의하고, 픽업 헤드(222)에 결합되는 탄성 부재(239)에 의해 픽업 헤드(222)의 틸트가 세밀하게 수행될 수 있도록 한다. 결과적으로, 상대적으로 얇은 크기 및/또는 두께를 가지는 반도체 소자(D)를 다이싱 테이프(T)로부터 용이하게 분리할 수 있으며, 분리 과정에서 반도체 소자(D)가 손상되는 것을 충분히 방지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention as described above, the irradiation member 320 is irradiated with light to reduce the adhesive force between the dicing tape (T) and the semiconductor device (D). Then, the pickup head 222 is sufficiently closely attached to the upper surface of the semiconductor device D to be picked up to adsorb the semiconductor device D. At this time, the elastic member 239 buffers the force transmitted to the semiconductor device (D). Then, the pickup head 222 is tilted by lifting one side of the pickup head 222, and at the same time, the dicing tape T is separated from one side of the semiconductor element D toward the other by raising the pickup head 222. do. Also, the tilt of the pickup head 222 is achieved by changing the length of the link 236 . The change in length of the link 236 is performed by the piezo actuator, and the tilt of the pickup head 222 can be precisely performed by the elastic member 239 coupled to the pickup head 222 . As a result, the semiconductor device D having a relatively thin size and/or thickness can be easily separated from the dicing tape T, and damage to the semiconductor device D can be sufficiently prevented during the separation process. .

상술한 예에서는, 조사 부재(320)와 픽업 헤드(222)가 서로 대향되게 이동하는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 조사 부재(320)와 픽업 헤드(222)는 서로 독립적으로 이동될 수 있다. 일 예로, 조사 부재(320)는 복수의 반도체 소자(D)들 중 어느 하나의 반도체 소자(D)의 하면에 광을 조사할 수 있다. 그리고, 조사 부재(320)가 이동하여 복수의 반도체 소자(D)들 중 다른 하나의 반도체 소자(D)의 하면에 광을 조사하는 동안 픽업 헤드(222)는 복수의 반도체 소자(D)들 중 어느 하나를 픽업할 수 있다. In the above-described example, the irradiation member 320 and the pickup head 222 have been described as moving to face each other as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, the irradiation member 320 and the pickup head 222 may be moved independently of each other. For example, the irradiation member 320 may irradiate light to the lower surface of any one of the plurality of semiconductor elements D. And, while the irradiation member 320 moves and irradiates light to the lower surface of the other semiconductor element D among the plurality of semiconductor elements D, the pickup head 222 moves the plurality of semiconductor elements D among the plurality of semiconductor elements D. You can pick up either one.

상술한 예에서는, 조사 부재(320)가 광을 조사한 이후, 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)를 흡착하는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)를 흡착하고, 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)를 흡착한 상태에서 조사 부재(320)가 광을 조사할 수도 있다. 이와 달리, 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)와 접촉하기 위해 하강하는 동안 조사 부재(320)가 광을 조사할 수도 있다. 이와 달리, 픽업 헤드(222)가 반도체 소자(D)를 들어올리는 동안 조사 부재(320)가 광을 조사할 수도 있다. In the above-described example, it has been described that the pickup head 222 adsorbs the semiconductor element D after the irradiation member 320 emits light as an example, but is not limited thereto. For example, in a state in which the pickup head 222 adsorbs the semiconductor element D and the pickup head 222 adsorbs the semiconductor element D, the irradiation member 320 may irradiate light. Alternatively, the irradiation member 320 may irradiate light while the pickup head 222 descends to contact the semiconductor element D. Alternatively, the irradiation member 320 may irradiate light while the pickup head 222 lifts the semiconductor element D.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed herein, the scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of skill or knowledge in the art. The written embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in specific application fields and uses of the present invention are possible. Accordingly, the detailed description of the present invention is not intended to limit the present invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

반도체 소자 픽업 장치: 1000
지지 유닛 : 100
클램프 : 102
스테이지 : 104
서포트 링 : 106
픽업 유닛 : 200
픽업 바디 : 210
픽업부 : 220
픽업 헤드 : 222
흡착홀 : 223
흡착관 : 224
흡착라인 : 225
링크 : 226
로드 : 227
힌지 : 228
탄성부재 : 229
구동부 : 230
수평 구동부 : 232
수직 구동부 : 234
척 유닛 : 300
척 바디 : 310
조사 부재 : 320
진공 부재 : 330
진공 라인 : 332
제어기(400)
웨이퍼 : W
반도체 소자 : D
다이싱 테이프 : T
광 : LSemiconductor element pickup device: 1000
Support unit: 100
Clamp: 102
Stage: 104
Support ring: 106
Pickup unit: 200
Pickup body: 210
Pickup unit: 220
Pickup Head: 222
Suction hole : 223
Suction tube: 224
Adsorption line: 225
Link: 226
Load: 227
Hinge: 228
Elastic member: 229
Drive part: 230
Horizontal drive: 232
Vertical drive: 234
Chuck Unit: 300
Chuck body: 310
Absence of irradiation: 320
No vacuum: 330
Vacuum line: 332
controller 400
Wafer: W
Semiconductor device: D
Dicing Tape: T
light: L

Claims (14)

반도체 소자 픽업 장치에 있어서,
복수의 반도체 소자들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프가 장착된 웨이퍼 링을 파지하는 클램프와;
상기 웨이퍼의 상부에 배치되고 상기 반도체 소자들 중 선택된 반도체 소자의 상부면에 접촉하여 상기 선택된 반도체 소자를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하는 픽업 유닛과;
상기 다이싱 테이프 아래에 배치되는 척 유닛을 포함하되,
상기 척 유닛은,
상기 선택된 반도체 소자와 상기 다이싱 테이프 사이의 접착력을 감소시키는 광을 조사하는 조사 부재를 더 포함하고,
상기 픽업 유닛은,
상기 선택된 반도체의 상부면을 흡착하는 흡착홀이 구비된 하부면을 가지는 픽업 헤드와;
상기 픽업 헤드와 결합되어 상기 하부면과 상기 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경시키는 링크와;
상기 픽업 헤드가 상기 선택된 반도체 소자와 접촉시 충격을 완화하는 탄성 부재를 포함하되,
상기 픽업 헤드의 하부면 일단에 상기 링크가 결합되고 상기 픽업 헤드의 하부면 타단에 상기 탄성 부재가 결합되는 반도체 소자 픽업 장치.A semiconductor device pickup device comprising:
a clamp for holding a wafer ring on which a dicing tape to which a wafer divided into a plurality of semiconductor elements is attached is mounted;
a pickup unit disposed on the wafer and in contact with an upper surface of a selected one of the semiconductor elements to pick up the selected semiconductor element from the dicing tape;
a chuck unit disposed under the dicing tape,
The chuck unit is
Further comprising an irradiating member irradiating light to reduce the adhesive force between the selected semiconductor element and the dicing tape,
The pickup unit is
a pickup head having a lower surface provided with a suction hole for adsorbing an upper surface of the selected semiconductor;
a link coupled to the pickup head to change an angle between the lower surface and the dicing tape;
and an elastic member for mitigating an impact when the pickup head comes into contact with the selected semiconductor device,
A semiconductor device pickup device in which the link is coupled to one end of the lower surface of the pickup head and the elastic member is coupled to the other end of the lower surface of the pickup head. 제1항에 있어서,
상기 조사 부재는,
자외선 영역의 파장을 광을 조사하는 반도체 소자 픽업 장치.According to claim 1,
The irradiation member,
A semiconductor element pickup device that irradiates light with a wavelength in the ultraviolet region. 제1항에 있어서,
상기 척 유닛은,
상기 선택된 반도체 소자가 제공된 영역 이외의 상기 다이싱 테이프를 흡착하는 진공 부재를 더 포함하는 반도체 소자 픽업 장치.According to claim 1,
The chuck unit is
and a vacuum member for adsorbing the dicing tape other than the region in which the selected semiconductor element is provided. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 링크는,
로드와;
상기 로드의 일단에 제공되어 상기 로드와 상기 픽업 헤드가 상대적으로 회전되도록 결합시키는 힌지를 포함하는 반도체 소자 픽업 장치.According to claim 1,
The link is
load and;
and a hinge provided at one end of the rod to couple the rod and the pickup head to rotate relative to each other. 반도체 소자 픽업 장치에 있어서,
복수의 반도체 소자들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프가 장착된 웨이퍼 링을 파지하는 클램프와;
상기 웨이퍼의 상부에 배치되고 상기 반도체 소자들 중 선택된 반도체 소자의 상부면에 접촉하여 상기 선택된 반도체 소자를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하는 픽업 유닛과;
상기 다이싱 테이프 아래에 배치되는 척 유닛을 포함하되,
상기 척 유닛은,
상기 선택된 반도체 소자와 상기 다이싱 테이프 사이의 접착력을 감소시키는 광을 조사하는 조사 부재를 더 포함하고,
상기 픽업 유닛은,
상기 선택된 반도체의 상부면을 흡착하는 흡착홀이 구비된 하부면을 가지는 픽업 헤드와;
상기 픽업 헤드와 결합되어 상기 하부면과 상기 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경시키는 링크를 포함하고,
상기 링크는 피에조 구동기에 의해 구동되는 반도체 소자 픽업 장치.A semiconductor device pickup device comprising:
a clamp for holding a wafer ring on which a dicing tape to which a wafer divided into a plurality of semiconductor elements is attached is mounted;
a pickup unit disposed on the wafer and in contact with an upper surface of a selected one of the semiconductor elements to pick up the selected semiconductor element from the dicing tape;
a chuck unit disposed under the dicing tape,
The chuck unit is
Further comprising an irradiating member irradiating light to reduce the adhesive force between the selected semiconductor element and the dicing tape,
The pickup unit is
a pickup head having a lower surface provided with a suction hole for adsorbing an upper surface of the selected semiconductor;
and a link coupled to the pickup head to change an angle between the lower surface and the dicing tape,
The link is a semiconductor element pickup device driven by a piezo actuator. 제8항에 있어서,
상기 장치는,
상기 픽업 유닛과 상기 척 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하되,
상기 제어기는,
상기 조사 부재가 상기 광을 조사하고,
상기 픽업 헤드가 상기 선택된 반도체 소자의 상부면에 접촉되어 상승됨과 동시에 상기 하부면과 상기 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경시키도록 상기 픽업 유닛과 상기 척 유닛을 제어하는 반도체 소자 픽업 장치.9. The method of claim 8,
The device is
Further comprising a controller for controlling the pickup unit and the chuck unit,
The controller is
The irradiation member irradiates the light,
and controlling the pickup unit and the chuck unit to change an angle between the lower surface and the dicing tape while the pickup head is raised in contact with an upper surface of the selected semiconductor element. 제9항에 있어서,
상기 제어기는,
상기 조사 부재와 상기 픽업 헤드가 서로 대향되게 이동하도록 상기 픽업 유닛과 상기 척 유닛을 제어하는 반도체 소자 픽업 장치.10. The method of claim 9,
The controller is
A semiconductor element pickup device for controlling the pickup unit and the chuck unit so that the irradiation member and the pickup head move to face each other. 제1항 또는 제8항의 반도체 소자 픽업 장치를 이용하여 상기 다이싱 테이프에 부착된 상기 반도체 소자를 픽업하는 방법에 있어서,
상기 복수의 반도체 소자들 중 선택된 반도체 소자와 상기 다이싱 테이프 사이의 접착력을 감소시키는 상기 광을 조사하고, 상기 흡착홀이 구비된 상기 픽업 헤드로 상기 선택된 반도체 소자를 픽업하는 반도체 소자 픽업 방법.A method for picking up the semiconductor element adhered to the dicing tape using the semiconductor element pickup device according to claim 1 or 8, the method comprising:
A method for picking up a semiconductor device by irradiating the light that reduces adhesive force between a selected semiconductor device among the plurality of semiconductor devices and the dicing tape, and picking up the selected semiconductor device with the pickup head having the suction hole. 제11항에 있어서,
상기 광은 자외선 영역의 파장을 가지는 반도체 소자 픽업 방법.12. The method of claim 11,
The light is a semiconductor device pickup method having a wavelength in the ultraviolet region. 제11항에 있어서,
상기 광은,
상기 다이싱 테이프의 하부에서 조사되는 반도체 소자 픽업 방법.12. The method of claim 11,
The light is
A semiconductor element pickup method irradiated from a lower portion of the dicing tape. 제11항에 있어서,
상기 픽업 헤드가 상기 선택된 반도체 소자를 픽업시,
상기 픽업 헤드의 상기 하부면과 상기 선택된 반도체 소자의 상기 상부면이 접촉되어 상승됨과 동시에 상기 하부면과 상기 다이싱 테이프 사이의 각도를 변경시키는 반도체 소자 픽업 방법.
12. The method of claim 11,
When the pickup head picks up the selected semiconductor device,
A method for picking up a semiconductor element, wherein the lower surface of the pickup head and the upper surface of the selected semiconductor element are brought into contact with each other and raised while simultaneously changing an angle between the lower surface and the dicing tape.
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