KR102358715B1 - Substrate transporting apparatus with rotation function - Google Patents

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KR102358715B1 KR1020210101159A KR20210101159A KR102358715B1 KR 102358715 B1 KR102358715 B1 KR 102358715B1 KR 1020210101159 A KR1020210101159 A KR 1020210101159A KR 20210101159 A KR20210101159 A KR 20210101159A KR 102358715 B1 KR102358715 B1 KR 102358715B1
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Abstract

The present invention provides a substrate transfer device comprising: a fence frame (100) formed with at least one substrate inlet (110), wherein each of the substrate inlets (110) is connected to a transfer conveyor (101) through which a substrate is drawn in or drawn out; a substrate support module (200) for supporting the inserted substrate and provided with a rotation part (210) for rotating the substrate at a preset angle with respect to a plane; and a lifting module (300) provided with a lifting base part (301) for supporting the substrate support module (200), lifting and lowering the substrate support module (200) to a preset position, and receiving power from a first motor part (302). The rotation part (210) comprises: a direct drive motor (DD motor) (212) for providing power to rotate the inserted substrate; and a rotation sensor (214) for detecting a 90-degree rotation of the substrate through the direct drive motor (212) with respect to a plane. Accordingly, processing time can be reduced.

Description

회전 기능을 갖는 기판이송장치{Substrate transporting apparatus with rotation function}Substrate transporting apparatus with rotation function

본 발명은 회전 기능을 갖는 기판이송장치로서, 수평방향을 기준으로, 기판의 3방향 출고가 가능한 기판이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus having a rotation function, and to a substrate transfer apparatus capable of releasing a substrate in three directions based on a horizontal direction.

평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD)란 디스플레이 중에서 두께가 수㎝, 작게는 수㎜ 에 불과하고, 화면대각길이 1/4 이하의 두께를 갖는 편평한 박형의 디스플레이를 말한다. 이러한 평판디스플레이는 박형, 경량, 저소비 전력 등의 면에서 이점을 가지며, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diode), FED(Field Emission Display), 전자종이(Electronic Paper) 등이 있다. A flat panel display (FPD) refers to a flat, thin display that is only a few centimeters thick and a few millimeters as small as a display, and has a thickness of 1/4 or less of the screen diagonal. Such flat panel displays have advantages in terms of thinness, light weight, low power consumption, etc., and include LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), OLED (Organic Light Emitting Diode), FED (Field Emission Display), and Electronic Paper), etc.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널 등을 제조하기 위해서는 기판 상에 패턴 형성을 위한 다양한 단위 공정, 예를 들면, 식각, 세정, 건조 공정 등이 실행된다. In general, in order to manufacture a flat panel display panel, various unit processes for forming a pattern on a substrate, for example, etching, cleaning, drying, etc. are performed.

이와 같은 단위 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 다수의 처리 유닛, 예컨대 프로세스 챔버(process chamber)에서 이루어지는데, 이러한 프로세스 챔버로 기판을 이송시키고 최적화된 제조 공정을 진행하기 위하여는 기판을 승강시키고 회전 및 정렬시키기 위한 진공 물류 시스템을 필요로 한다. Most of these unit processes are performed in a plurality of processing units for performing the corresponding process, for example, a process chamber. and a vacuum logistics system to align.

종래기술로는 한국공개특허 제10-2015-0069106호인 '기판 이송 장치'가 개시된다. 상기 종래기술은 기판의 승강, 회전 및 정렬을 수행하기 위한 각각의 모듈을 챔버에 효율적으로 배치하여 기판을 이송하기 위한 공간의 활용을 극대화하기 위한 기판 이송 장치를 개시한다. As a prior art, Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2015-0069106, a 'substrate transfer device' is disclosed. The prior art discloses a substrate transfer apparatus for maximizing utilization of a space for transferring a substrate by efficiently disposing each module for performing lifting, rotation and alignment of the substrate in a chamber.

(특허문헌 1) 한국공개특허 제10-2015-0069106호(Patent Document 1) Korean Patent Publication No. 10-2015-0069106

본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 고안된 기술로써, X축 및 Z축 방향으로만 반송이 가능하여, 한 개의 라인에 기판이송장치가 한 대씩 대응될 수 밖에 없는 구조적 문제를 해결하기 위함이다. 또한, 공정처리시간 정체로 생산량의 한계가 있고, 개별 라인 구축을 위해 설비투자비가 많이 소요되는 문제를 해결하는 구조를 제안하고자 한다. The present invention is a technology devised to solve the problems of the prior art, and it is possible to transport only in the X-axis and Z-axis directions, and it is intended to solve the structural problem in which a substrate transport device has to respond one by one to one line. . In addition, we would like to propose a structure that solves the problem of limited production capacity due to stagnant processing time and high facility investment costs for individual line construction.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예는, 적어도 하나의 기판출입구(110)가 형성되며, 상기 각각의 기판출입구(110)는 기판이 인입 또는 인출되는 이송컨베이어(101)가 연결된, 펜스프레임(100); 인입된 기판을 지지하는 기판지지모듈(200)로서, 평면을 기준으로, 미리 설정된 각도로 상기 기판을 회전시키는 회전부(210)가 구비된, 기판지지모듈(200); 및 상기 기판지지모듈(200)을 지지하는 승강베이스부(301)을 구비하고, 상기 기판지지모듈(200)을 미리 설정된 위치까지 승강시키는 승강모듈(300)로서, 제1 모터부(302)로부터 동력을 제공받도록 구성된, 승강모듈(300); 을 포함하며, 상기 회전부(210)는, 상기 인입된 기판을 회전시키도록 동력을 제공하는 직접구동모터(direct drive motor, DD motor)(212); 및 평면을 기준으로, 상기 직접구동모터(212)를 통해, 상기 기판의 90도의 회전을 감지하는 회전센서(214); 를 포함하는, 기판이송장치를 제공한다. In one embodiment of the present invention for solving the above problems, at least one substrate inlet 110 is formed, and each substrate inlet 110 is connected to a transfer conveyor 101 through which a substrate is drawn in or drawn out. , fence frame 100; A substrate support module 200 for supporting an inserted substrate, the substrate support module 200 being provided with a rotation unit 210 for rotating the substrate at a preset angle with respect to a plane; and an elevating base unit 301 for supporting the substrate supporting module 200, the elevating module 300 elevating the substrate supporting module 200 to a preset position from the first motor unit 302. configured to receive power, the elevating module 300; Including, the rotating unit 210, a direct drive motor (direct drive motor, DD motor) 212 for providing power to rotate the inserted substrate; and a rotation sensor 214 for detecting a 90 degree rotation of the substrate through the direct drive motor 212 with respect to a plane. It provides a substrate transfer device comprising a.

또한, 상기 기판지지모듈(200)은, 상기 직접구동모터(212)와 연동되도록 상기 회전부(210) 상부에 위치되며, 기판을 지지하는 기판지지부(220); 제2 모터부(232)로부터 동력을 제공받도록 구성되며, 상기 기판지지부(220) 측에 구비되고, 상기 이송컨베이어(101) 측으로 또는 상기 이송컨베이어(101)의 반대측으로 기판을 이송하도록 구성된 이송롤러(230); 및 상기 기판지지부(220) 상에 기판이 위치될 때, 상기 기판의 정위치 정렬을 감지하고, 정위치시키는 얼라이먼트부(240); 를 포함할 수 있다. In addition, the substrate support module 200, is located above the rotation unit 210 so as to be interlocked with the direct drive motor 212, the substrate support unit 220 for supporting the substrate; A transfer roller configured to receive power from the second motor unit 232 , provided on the substrate support unit 220 side, and transferred to the transfer conveyor 101 side or to the opposite side of the transfer conveyor 101 . (230); And when the substrate is positioned on the substrate support unit 220, the alignment unit 240 for detecting and positioning the in-place alignment of the substrate; may include

또한, 상기 펜스프레임(100)은, 평면을 기준으로, 사각형의 폐쇄공간을 형성하며, 제1 상부출입구(101a)와 제1 하부출입구(101b)가 형성된 제1 면(101); 제2 상부출입구(102a)와 제2 하부출입구(102b)가 형성된 제2 면(102); 도어출입모듈(103a)이 위치되며, 제3 출입구(103b)가 형성된 제3 면(103); 및 상기 승강모듈(300)이 위치된 제4 면(104); 을 포함하며, 상기 펜스프레임(100) 중 상기 제1 내지 제3 면을 통해 3방향으로 기판의 출입이 가능하도록 형성될 수 있다. In addition, the fence frame 100, the first surface 101 to form a rectangular closed space with respect to the plane, the first upper entrance (101a) and the first lower entrance (101b) are formed; a second surface 102 on which a second upper entrance 102a and a second lower entrance 102b are formed; The third surface 103 on which the door entry module 103a is located, the third entrance 103b is formed; and a fourth surface 104 on which the elevating module 300 is located; It includes, and may be formed to allow the substrate to enter and exit in three directions through the first to third surfaces of the fence frame 100 .

또한, 상기 얼라이먼트부(240)는, 진공을 이용하여 이송된 기판을 고정시키거나 또는 위치정렬을 수행하고, 상기 회전부(210) 및 제2 모터부(232)는 마그넷기어를 통해 연결되며, 상기 이송롤러(230)는 미리 설정된 각도만큼 틸팅되도록 구성되어, 기판에 분사되는 약액이 배수되도록 형성될 수 있다. In addition, the alignment unit 240 fixes the transferred substrate or performs position alignment using a vacuum, and the rotating unit 210 and the second motor unit 232 are connected through a magnet gear, and the The transfer roller 230 may be configured to be tilted by a preset angle, so that the chemical liquid sprayed on the substrate is drained.

한편, 본 발명은 전술한 기판이송장치를 이용한 방법으로서, (a) 상기 제1 또는 제2 하부출입구(101b, 102b)를 통해 기판이 인입되는 단계(S110); (b) 상기 얼라이먼트부(240)에 의해, 상기 (a) 단계에서 인입된 기판의 위치정렬을 수행하는 단계(S120); (c) 상기 승강모듈(300)에 의해, 상기 제1 또는 제2 상부출입구(101a, 102a)와 대응되는 위치로 상기 기판지지모듈(200)을 상승시키는 단계(S130); (d) 상기 기판지지모듈(200)의 회전부(210)에 의해, 평면을 기준으로, 상기 기판을 90도 또는 180도 회전시키는 단계(S140); (e) 상기 기판지지모듈(200) 상에서 상기 기판의 위치정렬을 해제시키는 단계(S150); 및 (f) 상기 제1 상부출입구(101a), 제2 상부출입부(102a) 및 제3 출입구(130b) 중 어느 하나로 상기 기판이 인출되는 단계(S160); 를 포함하는 방법을 제공한다. On the other hand, the present invention is a method using the above-described substrate transfer apparatus, (a) the first or second lower entrance (101b, 102b) through the step of introducing the substrate (S110); (b) performing position alignment of the substrate introduced in step (a) by the alignment unit 240 (S120); (c) raising the substrate support module 200 to a position corresponding to the first or second upper inlet 101a, 102a by the elevating module 300 (S130); (d) rotating the substrate by 90 degrees or 180 degrees with respect to a plane by the rotating part 210 of the substrate support module 200 (S140); (e) releasing the alignment of the substrate on the substrate support module 200 (S150); and (f) withdrawing the substrate into any one of the first upper entrance 101a, the second upper entrance 102a, and the third entrance 130b (S160); It provides a method comprising

본 발명은 직접구동모터의 적용을 통해, 인덱스턴 180도 방식을 이용함으로써, X축, Y축 및 Z축 모든 방향으로 반송이 가능한 효과를 발휘한다. The present invention exhibits the effect of being able to transport in all directions of the X-axis, Y-axis and Z-axis by using the index turn 180 degree method through the application of the direct drive motor.

또한, 3방향 인출을 구현함으로써, 공정처리시간을 감소시키고, 생산량을 증대시키는 효과를 발휘함과 동시에, 기판이송장치 하나당 복수의 라인을 대응시킬 수 있다. In addition, by implementing the three-way withdrawal, it is possible to reduce the processing time and increase the production amount, and at the same time, it is possible to correspond to a plurality of lines per one substrate transfer device.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 승강모듈의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 승강모듈의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 기판지지모듈의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 기판지지모듈의 정면도이다.
도 8은 본 발명의 기판지지모듈의 측면도이다.
도 9는 본 발명인 기판이송장치를 이용하는 방법의 순서도이다.
도 10은 도 9의 설명을 위한 개념도이다.
도 11은 도 10에서의 동작을 설명하는 표이다. 1 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to the present invention.
2 is a front view of the substrate transfer apparatus according to the present invention.
3 is a side view of a substrate transfer apparatus according to the present invention.
4 is a side view of the elevating module of the present invention.
5 is a plan view of the elevating module of the present invention.
6 is a plan view of the substrate support module of the present invention.
7 is a front view of the substrate support module of the present invention.
8 is a side view of the substrate support module of the present invention.
9 is a flowchart of a method using the substrate transfer apparatus according to the present invention.
FIG. 10 is a conceptual diagram for explanation of FIG. 9 .
11 is a table for explaining the operation in FIG. 10 .

이하 첨부된 도면 및 실시예를 통하여 본 발명을 상세히 설명하기로 하며, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그에 대해 상세한 설명을 생략하였다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and examples. A detailed description thereof has been omitted.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. And the terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to intentions or customs of users and operators. Therefore, the definition should be made based on the content throughout this specification.

도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 기판지지모듈을 설명한다. 1 to 3, a substrate support module according to the present invention will be described.

본 발명에 따른 기판지지모듈은 크게 펜스프레임(100), 기판지지모듈(200) 및 승강모듈(300)로 구성된다. The substrate support module according to the present invention is largely composed of a fence frame 100 , a substrate support module 200 , and an elevating module 300 .

펜스프레임(100)은 평면을 기준으로, 사각형의 폐쇄공간을 형성한다. 본원에서는 평면이 사각형을 기준으로 설명하나, 이는 기판의 형태에 적합한 형태로 설계될 수 있다. The fence frame 100 forms a rectangular closed space with respect to the plane. Herein, the plane is described based on a quadrangle, but it may be designed in a shape suitable for the shape of the substrate.

사각형의 평면을 기준으로, 펜스프레임(100)은 제1 내지 제4면(101, 102, 103, 104)로 이루어진다. 제1 및 제2 면(101, 102)은 상부출입구 및 하부출입구가 모두 형성된 구조이다. 이는 기판의 제조를 위해, 다양한 단위 공정을 수행하는 바, 기판의 출입구는 이러한 단위 공정이 수행되는 위치에 따라 적절하게 선택될 수 있다. 예를 들어, 제1 하부출입구(101b)로 기판이 인입되어 제1 상부출입구(101a)로 인출될 수도 있으며, 펜스프레임(100) 내에서 기판이 회전될 경우, 제1 하부출입구(101b)로 인입된 후, 다른 면에 위치된 제2 상부출입구(102a)로 인출될 수도 있다. 이에 대해서는 후술하도록 한다. Based on the rectangular plane, the fence frame 100 is composed of first to fourth surfaces 101, 102, 103, and 104. The first and second surfaces 101 and 102 have a structure in which both an upper entrance and a lower entrance are formed. In this case, various unit processes are performed for the manufacture of the substrate, and the entrance and exit of the substrate may be appropriately selected according to the location at which the unit process is performed. For example, the substrate may be drawn in through the first lower entrance 101b and may be drawn out through the first upper entrance 101a. After being drawn in, it may be drawn out through the second upper entrance 102a located on the other side. This will be described later.

제3 면(103)은 도어출입모듈(103a)이 형성된 면을 의미한다. 도어출입모듈(103a)은 기판이송장치의 점검, 수리 등의 작업이 필요할 때, 작업자가 펜스프레임(100)으로의 용이한 진입을 목적으로 한다. 작업자의 진입 편의를 위해, 도어출입모듈(103a)은 하측에 위치되는 것이 바람직하며, 도어출입모듈(103a)과 겹치지 않는 부분에 제3 출입구(103b)가 형성될 수 있다. The third surface 103 means a surface on which the door entry module 103a is formed. The door access module 103a is for the purpose of easy entry by the operator into the fence frame 100 when a task such as inspection and repair of the substrate transfer device is required. For operator's convenience, the door access module 103a is preferably located on the lower side, and the third doorway 103b may be formed in a portion that does not overlap the door access module 103a.

제4 면(104)은 승강모듈(300)이 위치된 면을 의미한다. 승강모듈(300)은 기판의 승강 및 하강을 수행하는 구성으로써, 안정적인 승강 가이드를 위해, 승강 축(306)이 구비된다. 승강 축(306) 및 승강의 구동을 위한 구성들이 제4 면(104) 측에 구비되는 바, 제4 면(104)에는 기판의 출입구를 형성하지 않는 것이 바람직하다. 다만, 설계자의 선택에 따라, 승강 축(306)을 일측으로 배치시키고, 별도의 기판 출입구가 형성될 수도 있다. The fourth surface 104 means a surface on which the elevating module 300 is located. The elevating module 300 is configured to perform elevating and lowering of the substrate, and for a stable elevating guide, an elevating shaft 306 is provided. Since the lifting shaft 306 and components for driving the lifting are provided on the fourth surface 104 side, it is preferable not to form an entrance or exit of the substrate on the fourth surface 104 . However, depending on the designer's selection, the lifting shaft 306 may be disposed on one side, and a separate board entrance/exit may be formed.

본 발명에 따른 기판이송장치는 종래의 기판이송장치와는 달리, 3방향으로 기판이 출입할 수 있는 구조인 바, 작업장의 단위공정장비의 위치에 따라, 매우 호환성이 높고, 탄력적으로 사용될 수 있다. 이에 따라, 기판을 단위공정장비로 이동시키기 위해, 별도의 로봇장비들을 구비할 필요가 없다. The substrate transfer apparatus according to the present invention has a structure that allows substrates to enter and exit in three directions, unlike the conventional substrate transfer apparatus, so it is very compatible and can be used flexibly depending on the location of unit process equipment in the workshop . Accordingly, in order to move the substrate to the unit process equipment, there is no need to provide separate robot equipment.

펜스프레임(100)은 기판을 이송하고, 회전시킴에 있어서, 기판의 동선을 회피하도록 설계되는 것이 바람직하며, 기판의 손상을 방지하기 위해, 소정의 마진 체적을 갖도록 여유롭게 형성될 필요가 있다. The fence frame 100 is preferably designed to avoid the movement of the substrate in transferring and rotating the substrate, and needs to be formed to have a predetermined marginal volume in order to prevent damage to the substrate.

기판지지모듈(200)은 기판을 고정시키는 구성이다. 기판이송장치는 기판의 이동을 전제로 하는 장치인 바, 기판의 안정적인 고정이 중요하다. 본 발명에 따른 기판이송장치는 360도 회전되도록 구성된 회전부(210)를 포함한다. The substrate support module 200 is configured to fix the substrate. Since the substrate transfer device is a device premised on the movement of the substrate, it is important to stably fix the substrate. The substrate transport apparatus according to the present invention includes a rotating unit 210 configured to rotate 360 degrees.

도 2 내지 4를 참조하면, 승강모듈(300)의 승강 전 상태(하측)와 승강 후 상태(상측)의 기판지지모듈(200)이 개략적으로 도시된다. 또한, 승강 전 또는 승강 후에, 회전부(210)에 의해 기판지지모듈(200)이 90도 회전한 상태를 도시한다. 2 to 4 , the substrate support module 200 in a state before (lower side) and after lifting (upper side) of the elevating module 300 is schematically shown. In addition, it shows a state in which the substrate support module 200 is rotated by 90 degrees by the rotating unit 210 before or after lifting.

도 3을 참조하면, 승강 전에는 작업자가 상태를 확인할 수 있는 상태의 높이로 형성되어 작업자는 기판의 상태뿐만 아니라, 위치정렬 여부까지 확인할 수 있다. Referring to FIG. 3 , it is formed at a height at which the operator can check the state before lifting, so that the operator can check not only the state of the substrate but also whether the position is aligned.

승강모듈(300)은 펜스프레임(100) 내측으로 수평하게 연장되는 승강베이스부(301)를 구비한다. 승강베이스부(301) 상에 기판지지모듈(200)이 위치된다. 승강베이스부(301)는 승강 축(306)과 결합되어 수직방향으로 이동될 수 있다. 승강 축(306)의 형태 및 재질은 기판지지모듈(200) 및 기판의 하중을 고려하여 적절하게 설계될 수 있으며, 도 2 및 3에 도시된 형태로 제한되지 않는다. The elevating module 300 is provided with an elevating base portion 301 extending horizontally to the inside of the fence frame 100 . The substrate support module 200 is positioned on the lifting base 301 . The lifting base 301 may be coupled to the lifting shaft 306 to move in the vertical direction. The shape and material of the lifting shaft 306 may be appropriately designed in consideration of the load of the substrate support module 200 and the substrate, and is not limited to the form shown in FIGS. 2 and 3 .

승강모듈(300)의 하측에는 제1 모터부(302)가 위치되어 승강베이스부(301)의 승강을 위한 동력을 제공한다. 제1 모터부(302)는 동력전달벨트를 통해, 승강롤러(308)과 연결되며, 승강롤러(308)는 상단에 위치된 풀리(305)와 타이밍벨트(307)로 연결될 수 있다.A first motor unit 302 is positioned below the elevating module 300 to provide power for elevating the elevating base unit 301 . The first motor unit 302 may be connected to the lifting roller 308 through a power transmission belt, and the lifting roller 308 may be connected to the pulley 305 and the timing belt 307 positioned at the upper end.

승강베이스부(301)의 일측에는 높이감지센서(303)가 구비됨으로써, 승강베이스부(301)의 현재 높이가 감지될 수 있다. 이에 따라, 미리 설정된 이동높이까지 이동 여부를 실시간으로 확인할 수 있다. 높이감지센서(303)에 의해, 승강베이스부(301)는 정위치까지 승강 또는 하강하였는지 확인될 수 있다. 만약, 높이감지센서(303)에 의해 승강 이상이 발생된 경우, 별도의 알람부재를 통해, 작업자 또는 관리자에게 안내를 제공할 수 있다. A height sensor 303 is provided on one side of the lifting base 301 , so that the current height of the lifting base 301 can be detected. Accordingly, it is possible to check in real time whether or not to move up to a preset moving height. By the height detection sensor 303, it can be confirmed whether the lifting base 301 is raised or lowered to the original position. If, by the height detection sensor 303, an abnormality of lifting occurs, a guide may be provided to an operator or a manager through a separate alarm member.

승강 축(306)에는 웨이트부(309)가 롤러부재를 통해 연결되도록 구성된다. 웨이트부(309)에는 다수의 웨이트플레이트가 적층된 상태로 배치되어 기판지지모듈(200)의 하중에 따라, 적절하게 선택될 수 있다. 즉, 제1 모터부(302)에 적절한 부하를 인가하기 위해, 웨이트부(309)를 통해, 기판지지모듈(200)의 하중을 분배하는 기능을 수행한다. 한편, 승강모듈(300)은 가이드 및 마그넷 기어를 적용하는 방식으로 변경될 수도 있으며, 진공의 압력과 진공센서를 통해서, 수직방향으로의 이동을 더욱 정밀하게 감지할 수 있다. 진공 방식이 적용될 경우, 파티클을 감소시키고, 소모품의 수명을 증대시킬 수 있는 효과가 있다. A weight portion 309 is configured to be connected to the lifting shaft 306 through a roller member. A plurality of weight plates are disposed on the weight portion 309 in a stacked state, and may be appropriately selected according to the load of the substrate support module 200 . That is, in order to apply an appropriate load to the first motor unit 302 , a function of distributing the load of the substrate support module 200 through the weight unit 309 is performed. On the other hand, the lifting module 300 may be changed in a manner of applying a guide and a magnet gear, and through a vacuum pressure and a vacuum sensor, it is possible to more precisely detect the movement in the vertical direction. When the vacuum method is applied, there is an effect of reducing particles and increasing the lifespan of consumables.

도 5에는 승강모듈의 평면도가 도시되며, 특히, 승강모듈(300) 중 승강베이스부(301)의 평면 형태를 알 수 있다. 승강베이스부(301) 중 결합부(301a)는 기판지지모듈(200)과 물리적으로 연결되는 부분을 의미한다. 5 is a plan view of the elevating module, and in particular, the planar shape of the elevating base 301 of the elevating module 300 can be seen. The coupling part 301a of the lifting base part 301 means a part physically connected to the substrate support module 200 .

도 6 내지 8은 본 발명의 기판지지모듈의 평면도, 정면도 및 측면도가 순서대로 도시된다. 6 to 8 are sequential views showing a plan view, a front view and a side view of the substrate support module of the present invention.

도 6 내지 8을 참조하면, 회전부(210)는 전술한 승강모듈(300)의 결합부(301a) 측과 결합되어 지지된다. 회전부(210)는, 인입된 기판을 회전시키도록 동력을 제공하는 직접구동모터(direct drive motor, DD motor)(212) 및 평면을 기준으로, 직접구동모터(212)를 통해, 기판의 90도의 회전을 감지하는 회전센서(214)를 포함한다. 6 to 8 , the rotating part 210 is supported by being coupled to the coupling part 301a side of the elevating module 300 described above. The rotation unit 210 is a direct drive motor (DD motor) 212 that provides power to rotate the inserted substrate and a direct drive motor 212 with respect to the plane of the 90 degree angle of the substrate. It includes a rotation sensor 214 for detecting rotation.

직접구동모터(212)는 인덱스턴(index-turn) 180도를 적용함으로써, X축, Y축 및 Z축 3방향으로 모두 반송이 가능한 구조를 구현할 수 있다. 직접구동모터(212는 턴 테이블을 직접 구동(1:1)하는 방식의 모터로써, 회전이 고르고, 전지로 사용할 수 있다. 그 원리는 VFO(가변 주파수 발진기)의 출력을 분주하여 이상기에 의해서 3상 교류를 만들어 3상 모터에 공급하는 것이다. 모터에 부착된 검출기에 의해 회전수(주파수)를 검출하여 VFO의 주파수와 비교해서 회전수가 세트한 값으로 되도록 VFO의 발진 주파수가 제어된다. 이상과 같은 회로는 모두 모터 속에 내장되어 있다. 본 발명은 직접구동모터(212)와 동일한 효과를 발휘할 수 있는 모든 구성으로 적용될 수 있음을 미리 명시한다. The direct drive motor 212 may implement a structure capable of transporting in all three directions of the X-axis, the Y-axis and the Z-axis by applying an index-turn of 180 degrees. The direct drive motor 212 is a type of motor that directly drives the turntable (1:1), and the rotation is even and it can be used as a battery. The principle is to divide the output of the VFO (variable frequency oscillator) by 3 The oscillation frequency of the VFO is controlled so that the number of revolutions (frequency) is detected by the detector attached to the motor and compared with the frequency of the VFO and the number of revolutions becomes the set value by creating a phase alternating current. The same circuit is all built in the motor It is specified in advance that the present invention can be applied to any configuration capable of exhibiting the same effect as the direct drive motor 212 .

직접구동모터(212)는 평면을 기준으로 회전하는 바, 회전각도를 감지하기 위한 회전센서(214)가 구비되며, 정확한 회전각도 감지를 위해, 직접구동모터(212)와 인접한 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 회전센서(214)의 배치는 직접구동모터(212)에 의한 회전을 감지할 수 있는 위치라면, 설계자의 선택에 따라, 적절한 위치에 배치될 수 있다. The direct drive motor 212 rotates on the basis of a plane, and a rotation sensor 214 for detecting a rotation angle is provided. desirable. The rotation sensor 214 may be disposed at an appropriate location according to a designer's selection, as long as it is a location capable of detecting rotation by the direct drive motor 212 .

직접구동모터(212)는 기판지지부(220)의 하측에 위치되어, 기판지지부(220)를 회전하도록 동력을 제공한다. 기판지지부(220)에는 이송컨베이어(101) 측으로 또는 이송컨베이어(101)의 반대측으로 기판을 이송하도록 구성된 복수의 이송롤러(230)가 구비된다. 즉, 이송롤러(230)에 의해 기판은 X축 또는 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 여기서, 이송롤러(230)는 아이들 롤러가 적용될 수 있으며, 일렬 및 병렬로 배치될 수 있다. 이송롤러(230)의 크기, 형태 및 배치는 설계자의 선택에 따라, 적절하게 설계될 수 있다. The direct driving motor 212 is located below the substrate support 220 and provides power to rotate the substrate support 220 . The substrate support unit 220 is provided with a plurality of transfer rollers 230 configured to transfer the substrate to the transfer conveyor 101 side or to the opposite side of the transfer conveyor 101 . That is, the substrate may be moved in the X-axis or Y-axis direction by the transfer roller 230 . Here, the conveying roller 230 may be an idle roller may be applied, and may be arranged in a line or in parallel. The size, shape and arrangement of the conveying roller 230 may be appropriately designed according to the designer's choice.

기판지지부(220)의 가장자리 측에는 기판의 정위치 정렬을 감지하고, 정위치시키는 얼라이먼트부(240)가 복수개로 구비될 수 있다. 기판이송장치의 특성상 손상없이 기판을 안정적으로 이동시키는 것이 가장 중요한 바, 기판의 이동 전, 기판을 정위치시키는 작업이 먼저 수행된다. 얼라이먼트(240)는 실린더 방식으로 적용될 수도 있으나, 진공(vacumm) 방식이 적용될 수도 있다. 진공모드의 온/오프를 통해, 기판을 고정시키고, 정위치시킬 수 있다. A plurality of alignment units 240 may be provided at the edge of the substrate support unit 220 to detect and position the substrate in the correct position. Since it is most important to stably move the substrate without damage due to the characteristics of the substrate transfer device, the operation of positioning the substrate is performed first before moving the substrate. The alignment 240 may be applied in a cylinder manner, but a vacuum method may also be applied. Through on/off of the vacuum mode, the substrate can be fixed and positioned.

이송롤러(230)는 제2 모터부(232)로부터 동력을 제공받도록 구성되며, 헬리컬 기어 방식이 적용될 수도 있으나, 파티클을 감소시키고, 소모품의 수명을 증가시키기 위해, 마그넷 기어 방식이 적용될 수도 있다. The conveying roller 230 is configured to receive power from the second motor unit 232, and a helical gear method may be applied, but in order to reduce particles and increase the lifespan of consumables, a magnet gear method may be applied.

기판지지부(220)는 수직방향으로 틸팅이 가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 틸팅된 상태로, 이송롤러(230)가 동작하여, 기판이 이동하는 것을 의미한다. 바람직하게는 15도 정도의 완만한 경사를 형성시킴으로써, 세정기 라인을 적용할 경우, 약액의 효과적인 배수를 수행할 수 있다. The substrate support 220 may be configured to be tiltable in a vertical direction. That is, in the tilted state, the transfer roller 230 operates, which means that the substrate moves. Preferably, by forming a gentle slope of about 15 degrees, when a cleaner line is applied, effective drainage of the chemical can be performed.

이하에서는, 도 9를 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치를 이용하는 방법을 설명한다. Hereinafter, a method of using the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. 9 .

본 방법은 단계(S110) 내지 단계(S160)을 포함한다. The method includes steps S110 to S160.

단계(S110)은 제1 또는 제2 하부출입구(101b, 102b)를 통해 기판이 인입되는 단계이다. 작업자에 감독하에, 이송컨베이어(101)를 통해 자동으로 출입하도록 구성하는 것이 바람직하다. Step S110 is a step in which the substrate is introduced through the first or second lower entrances 101b and 102b. It is preferable to configure to automatically enter and exit through the transfer conveyor 101 under the supervision of a worker.

단계(S120)은 얼라이먼트부(240)에 의해, 인입된 기판의 위치정렬을 수행하는 단계이다. Step S120 is a step of performing positioning of the inserted substrate by the alignment unit 240 .

단계(S130)은 승강모듈(300)에 의해, 제1 또는 제2 상부출입구(101a, 102a)와 대응되는 위치로 상기 기판지지모듈(200)을 상승시키는 단계이다. Step S130 is a step of raising the substrate support module 200 to a position corresponding to the first or second upper entrances 101a and 102a by the lifting module 300 .

단계(S140)은 기판지지모듈(200)의 회전부(210)에 의해, 평면을 기준으로, 기판을 90도 또는 180도 회전시키는 단계이다. Step S140 is a step of rotating the substrate by 90 degrees or 180 degrees with respect to a plane by the rotation unit 210 of the substrate support module 200 .

단계(S150)은 기판지지모듈(200) 상에서기판의 위치정렬을 해제시키는 단계이다. Step S150 is a step of releasing the alignment of the substrate on the substrate support module 200 .

단계(S160)은 제1 상부출입구(101a), 제2 상부출입부(102a) 및 제3 출입구(130b) 중 어느 하나로 기판이 인출되는 단계이다. 즉, 기판은 3방향으로 배치된 상기의 제1 상부출입구(101a), 제2 상부출입부(102a) 및 제3 출입구(130b) 중 어느 하나로 인출됨으로써, 다양한 단위 공정이 용이하게 수행될 수 있다. Step S160 is a step in which the substrate is drawn out into any one of the first upper entrance 101a, the second upper entrance 102a, and the third entrance 130b. That is, the substrate is drawn out to any one of the first upper entrance 101a, the second upper entrance 102a, and the third entrance 130b arranged in three directions, so that various unit processes can be easily performed. .

도 10 및 도 11에서는 상기 방법의 이해를 위한 모식도 및 표가 도시된다. 10 and 11 are schematic diagrams and tables for understanding the method.

도 10을 참조하면, 도어출입모듈(103a)이 형성된 제3 면(103)에는, 작업자의 관리 용이성을 위해, 제3 출입구(103b)를 통한 기판의 인출만 가능하도록 구성될 수 있다. Referring to FIG. 10 , the third surface 103 on which the door entry module 103a is formed may be configured such that only the substrate can be pulled out through the third entrance 103b for easy management by the operator.

도 11에는 모드 1 내지 6에 대해 설명한 표가 도시된다. 도 11에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 기판이송장치는 B, D 및 E 방향으로 모두 기판이 인출될 수 있으며, 이는 회전부(210)에 의해 기판의 회전각도에 따라 결정된다. 11 shows a table explaining modes 1 to 6 . As can be seen from FIG. 11 , in the substrate transport apparatus according to the present invention, the substrate may be drawn out in all of the B, D and E directions, which is determined according to the rotation angle of the substrate by the rotation unit 210 .

본 발명에서 상기 실시형태는 하나의 예시로서 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 하고 동일한 작용효과를 이루는 것은 어떠한 것이라도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. In the present invention, the above embodiment is an example, and the present invention is not limited thereto. Anything that has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention and achieves the same effect is included in the technical scope of the present invention.

100: 펜스프레임
200: 기판지지모듈
300: 승강모듈100: fence frame
200: substrate support module
300: elevating module

Claims (5)

적어도 하나의 기판출입구(110)가 형성되며, 상기 각각의 기판출입구(110)는 기판이 인입 또는 인출되는 이송컨베이어(101)가 연결된, 펜스프레임(100);
인입된 기판을 지지하는 기판지지모듈(200)로서, 평면을 기준으로, 미리 설정된 각도로 상기 기판을 회전시키는 회전부(210)가 구비된, 기판지지모듈(200); 및
상기 기판지지모듈(200)을 지지하는 승강베이스부(301)을 구비하고, 상기 기판지지모듈(200)을 미리 설정된 위치까지 승강시키는 승강모듈(300)로서, 제1 모터부(302)로부터 동력을 제공받도록 구성된, 승강모듈(300); 을 포함하며,
상기 회전부(210)는,
상기 인입된 기판을 회전시키도록 동력을 제공하는 직접구동모터(direct drive motor, DD motor)(212); 및
평면을 기준으로, 상기 직접구동모터(212)를 통해, 상기 기판의 90도의 회전을 감지하는 회전센서(214); 를 포함하고,
상기 기판지지모듈(200)은,
상기 직접구동모터(212)와 연동되도록 상기 회전부(210) 상부에 위치되며 기판을 지지하는 기판지지부(220);
제2 모터부(232)로부터 동력을 제공받도록 구성되며, 상기 기판지지부(220) 측에 구비되고, 상기 이송컨베이어(101) 측으로 또는 상기 이송컨베이어(101)의 반대측으로 기판을 이송하도록 구성된 이송롤러(230); 및
상기 기판지지부(220) 상에 기판이 위치될 때, 상기 기판의 정위치 정렬을 감지하고, 정위치시키는 얼라이먼트부(240); 를 포함하되,
상기 얼라이먼트부(240)는, 진공을 이용하여 이송된 기판을 고정시키거나 또는 위치정렬을 수행하고,
상기 회전부(210) 및 제2 모터부(232)는 마그넷기어를 통해 연결되며,
상기 이송롤러(230)는 미리 설정된 각도만큼 틸팅되도록 구성되어, 기판에 분사되는 약액이 배수되도록 형성된,
기판이송장치.
At least one substrate inlet 110 is formed, each of the substrate inlet 110 is a transfer conveyor 101 to which the substrate is drawn in or out is connected, a fence frame 100;
A substrate support module 200 for supporting an inserted substrate, the substrate support module 200 being provided with a rotation unit 210 for rotating the substrate at a preset angle with respect to a plane; and
A lifting module 300 having a lifting base 301 for supporting the substrate support module 200 and lifting and lowering the substrate support module 200 to a preset position, the first motor unit 302 being powered configured to receive a, elevating module 300; includes,
The rotating part 210,
a direct drive motor (DD motor) 212 for providing power to rotate the inserted substrate; and
a rotation sensor 214 for detecting a 90 degree rotation of the substrate through the direct drive motor 212 with respect to a plane; including,
The substrate support module 200,
a substrate support unit 220 positioned above the rotating unit 210 to interlock with the direct drive motor 212 and supporting a substrate;
A transfer roller configured to receive power from the second motor unit 232 , provided on the substrate support unit 220 side, and transferred to the transfer conveyor 101 side or to the opposite side of the transfer conveyor 101 . (230); and
When the substrate is positioned on the substrate support unit 220, the alignment unit 240 for detecting and positioning the in-place alignment of the substrate; including,
The alignment unit 240 fixes the transferred substrate using a vacuum or performs positioning,
The rotation unit 210 and the second motor unit 232 are connected through a magnet gear,
The transfer roller 230 is configured to be tilted by a preset angle, so that the chemical liquid sprayed on the substrate is drained,
Substrate transfer device.
 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 펜스프레임(100)은,
평면을 기준으로, 사각형의 폐쇄공간을 형성하며,
제1 상부출입구(101a)와 제1 하부출입구(101b)가 형성된 제1 면(101);
제2 상부출입구(102a)와 제2 하부출입구(102b)가 형성된 제2 면(102);
도어출입모듈(103a)이 위치되며, 제3 출입구(103b)가 형성된 제3 면(103); 및
상기 승강모듈(300)이 위치된 제4 면(104); 을 포함하며,
상기 펜스프레임(100) 중 상기 제1 내지 제3 면을 통해 3방향으로 기판의 출입이 가능하도록 형성되는,
기판이송장치.
The method according to claim 1,
The fence frame 100,
Based on the plane, it forms a rectangular closed space,
a first surface 101 on which the first upper entrance 101a and the first lower entrance 101b are formed;
a second surface 102 on which a second upper entrance 102a and a second lower entrance 102b are formed;
The third surface 103 on which the door entry module 103a is located, the third entrance 103b is formed; and
a fourth surface 104 on which the elevating module 300 is located; includes,
The fence frame 100 is formed to allow the substrate to enter and exit in three directions through the first to third surfaces,
Substrate transfer device.
 삭제delete 청구항 3에 따른 기판이송장치를 이용한 기판이송방법으로서,
(a) 상기 제1 또는 제2 하부출입구(101b, 102b)를 통해 기판이 인입되는 단계(S110);
(b) 상기 얼라이먼트부(240)에 의해, 상기 (a) 단계에서 인입된 기판의 위치정렬을 수행하는 단계(S120);
(c) 상기 승강모듈(300)에 의해, 상기 제1 또는 제2 상부출입구(101a, 102a)와 대응되는 위치로 상기 기판지지모듈(200)을 상승시키는 단계(S130);
(d) 상기 기판지지모듈(200)의 회전부(210)에 의해, 평면을 기준으로, 상기 기판을 90도 또는 180도 회전시키는 단계(S140);
(e) 상기 기판지지모듈(200) 상에서 상기 기판의 위치정렬을 해제시키는 단계(S150); 및
(f) 상기 제1 상부출입구(101a), 제2 상부출입부(102a) 및 제3 출입구(130b) 중 어느 하나로 상기 기판이 인출되는 단계(S160); 를 포함하는,
기판이송방법.
As a substrate transfer method using the substrate transfer apparatus according to claim 3,
(a) introducing the substrate through the first or second lower entrance (101b, 102b) (S110);
(b) performing position alignment of the substrate introduced in step (a) by the alignment unit 240 (S120);
(c) raising the substrate support module 200 to a position corresponding to the first or second upper inlet 101a, 102a by the elevating module 300 (S130);
(d) rotating the substrate by 90 degrees or 180 degrees with respect to a plane by the rotating part 210 of the substrate support module 200 (S140);
(e) releasing the alignment of the substrate on the substrate support module 200 (S150); and
(f) withdrawing the substrate to any one of the first upper entrance 101a, the second upper entrance 102a, and the third entrance 130b (S160); containing,
Substrate transfer method.
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Citations (3)

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