KR102358317B1 - 이미지 센서 - Google Patents

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Abstract

본 기술은 이미지 센서에 관한 것으로, 실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 픽셀블럭들이 배열된 픽셀 어레이를 포함하고, 상기 복수의 픽셀블럭들 각각은, 플로팅디퓨전을 공유하는 복수의 단위픽셀들을 포함하는 수광부; 및 리셋 트랜지스터 및 드라이버 트랜지스터를 포함하는 구동부를 포함하며, 상기 복수의 픽셀블럭들은 제1픽셀블럭, 제1방향으로 상기 제1픽셀블럭과 인접한 제2픽셀블럭, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 각각 상기 제1픽셀블럭 및 상기 제2픽셀블럭과 인접한 제3픽셀블럭 및 제4픽셀블럭을 포함하고, 상기 제1픽셀블럭의 구동부와 상기 제2픽셀블럭의 구동부는 상기 리셋 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖고, 상기 제3픽셀블럭의 구동부와 상기 제4픽셀블럭의 구동부는 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 가질 수 있다.

Description

이미지 센서{IMAGE SENSOR}
본 발명은 반도체 장치 제조 기술에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 이미지 센서에 관한 것이다.
이미지 센서(image sensor)는 광학 영상을 전기 신호로 변환시키는 소자이다. 최근 들어, 컴퓨터 산업과 통신 산업의 발달에 따라 디지털 카메라, 캠코더, PCS(Personal Communication System), 게임 기기, 경비용 카메라, 의료용 마이크로 카메라, 로보트 등 다양한 분야에서 집적도 및 성능이 향상된 이미지 센서의 수요가 증대되고 있다.
본 발명의 실시예는 성능이 향상된 이미지 센서를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 픽셀블럭들이 배열된 픽셀 어레이를 포함하고, 상기 복수의 픽셀블럭들 각각은, 플로팅디퓨전을 공유하는 복수의 단위픽셀들을 포함하는 수광부; 및 상기 수광부에 인접하여 형성되고 리셋 트랜지스터 및 드라이버 트랜지스터를 포함하는 구동부를 포함하며, 상기 복수의 픽셀블럭들은 제1픽셀블럭, 제1방향으로 상기 제1픽셀블럭과 인접한 제2픽셀블럭, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 각각 상기 제1픽셀블럭 및 상기 제2픽셀블럭과 인접한 제3픽셀블럭 및 제4픽셀블럭을 포함하고, 상기 제1픽셀블럭의 구동부와 상기 제2픽셀블럭의 구동부는 상기 리셋 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖고, 상기 제3픽셀블럭의 구동부와 상기 제4픽셀블럭의 구동부는 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 가질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서에서 상기 구동부는 상기 리셋 트랜지스터를 포함하는 제1구동부 및 상기 제1구동부와 인접하고 상기 드라이버 트랜지스터를 포함하는 제2구동부를 포함하며, 상기 제1구동부와 상기 제2구동부 사이에 형성된 픽업영역을 더 포함할 수 있다.
상기 리셋 트랜지스터의 드레인 및 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인은 상기 복수의 픽셀블럭들 각각에서 양측 끝단에 위치할 수 있다. 상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인과 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인은 동일 선상에 위치할 수 있다. 상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인에는 리셋전압이 인가되고, 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인에는 드라이버전압이 안가되며, 상기 리셋전압 및 상기 드라이버전압은 전원전압 또는 그 이상의 포지티브 전압일 수 있다. 상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제1픽셀블럭을 가로지르는 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제1픽셀블럭과 동일한 평면형상을 갖고, 상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제2픽셀블럭을 가로지르는 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제2픽셀블럭과 동일한 평면형상을 가질 수 있다. 상기 제1픽셀블럭의 평면형상은 상기 제4픽셀블럭의 평면형상과 동일하고, 상기 제2픽셀블럭의 평면형상은 상기 제3픽셀블럭의 평면형상과 동일할 수 있다. 상기 플로팅디퓨전은 상기 리셋 트랜지스터의 소스 및 상기 드라이버 트랜지스터의 게이트에 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 픽셀블럭들이 배열된 픽셀 어레이를 포함하고, 상기 복수의 픽셀블럭들 각각은, 플로팅디퓨전을 공유하는 복수의 단위픽셀들을 포함하는 수광부; 상기 수광부에 인접하여 형성되고 리셋 트랜지스터 및 드라이버 트랜지스터를 포함하는 구동부; 및 상기 플로팅디퓨전과 상기 리셋 트랜지스터 및 드라이버 트랜지스터 사이를 전기적으로 연결하는 도전영역 및 상기 플로팅디퓨전을 기준으로 상기 도전영역과 대칭적인 형상을 갖는 더미영역을 포함하는 상호연결부를 포함하며, 상기 복수의 픽셀블럭들은 제1픽셀블럭, 제1방향으로 상기 제1픽셀블럭과 인접한 제2픽셀블럭, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 각각 상기 제1픽셀블럭 및 상기 제2픽셀블럭과 인접한 제3픽셀블럭 및 제4픽셀블럭을 포함하고, 상기 제1픽셀블럭의 구동부와 상기 제2픽셀블럭의 구동부는 상기 리셋 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖고, 상기 제3픽셀블럭의 구동부와 상기 제4픽셀블럭의 구동부는 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 가질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서에서 상기 구동부는 상기 리셋 트랜지스터를 포함하는 제1구동부 및 상기 제1구동부와 인접하고 상기 드라이버 트랜지스터를 포함하는 제2구동부를 포함하며, 상기 제1구동부와 상기 제2구동부 사이에 형성된 픽업영역을 더 포함할 수 있다. 상기 제2구동부는 선택 트랜지스터를 더 포함하고, 상기 픽셀블럭 내에서 상기 드라이버 트랜지스터는 상기 선택 트랜지스터보다 외측에 위치할 수 있다. 상기 선택 트랜지스터의 게이트는 상기 플로팅디퓨전과 동일선상에 위치할 수 있다.
상기 상호연결부의 도전영역은 상기 플로팅디퓨전과 상기 리셋 트랜지스터의 소스 사이 및 상기 플로팅디퓨전과 상기 드라이버 트랜지스터의 게이트 사이를 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 플로팅디퓨전과 상기 리셋 트랜지스터의 소스 사이의 거리는 상기 플로팅디퓨전과 상기 드라이버 트랜지스터의 게이트 사이의 거리와 실질적으로 동일할 수 있다. 상기 상호연결부와 상기 복수의 단위픽셀들 각각이 중첩되는 면적들은 실질적으로 서로 동일할 수 있다. 상기 리셋 트랜지스터의 드레인 및 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인은 상기 복수의 픽셀블럭들 각각에서 양측 끝단에 위치할 수 있다. 상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인과 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인은 동일 선상에 위치할 수 있다. 상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인에는 리셋전압이 인가되고, 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인에는 드라이버전압이 안가되며, 상기 리셋전압 및 상기 드라이버전압은 전원전압 또는 그 이상의 포지티브 전압일 수 있다. 상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제1픽셀블럭과 동일한 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제1픽셀블럭과 동일한 평면형상을 갖고, 상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제2픽셀블럭과 동일한 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제2픽셀블럭과 동일한 평면형상을 가질 수 있다. 상기 제1픽셀블럭의 평면형상은 상기 제4픽셀블럭의 평면형상과 동일하고, 상기 제2픽셀블럭의 평면형상은 상기 제3픽셀블럭의 평면형상과 동일할 수 있다.
상술한 과제의 해결 수단을 바탕으로 하는 본 기술은 리셋 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖는 복수의 픽셀블럭들과 드라이버 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖는 복수의 픽셀블럭들이 일방향으로 교번 배치됨에 따라 공유 픽셀 구조에 기인한 노이즈 발생 및 특성 열화를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서의 픽셀블럭 및 픽셀블럭에 대응하는 컬러패턴을 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 이미지 센서의 픽셀블럭에 대응하는 등가회로도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서의 픽셀 어레이를 일부 도시한 평면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서를 개략적으로 도시한 블럭도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서를 구비한 전자장치를 간략히 도시한 도면.
이하 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 도면은 반드시 일정한 비율로 도시된 것이라 할 수 없으며, 몇몇 예시들에서, 실시예의 특징을 명확히 보여주기 위하여 도면에 도시된 구조물 중 적어도 일부의 비례는 과장될 수도 있다. 도면 또는 상세한 설명에 둘 이상의 층을 갖는 다층 구조물이 개시된 경우, 도시된 것과 같은 층들의 상대적인 위치 관계나 배열 순서는 특정 실시예를 반영할 뿐이어서 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 층들의 상대적인 위치 관계나 배열 순서는 달라질 수도 있다. 또한, 다층 구조물의 도면 또는 상세한 설명은 특정 다층 구조물에 존재하는 모든 층들을 반영하지 않을 수도 있다(예를 들어, 도시된 두 개의 층 사이에 하나 이상의 추가 층이 존재할 수도 있다). 예컨대, 도면 또는 상세한 설명의 다층 구조물에서 제1층이 제2층 상에 있거나 또는 기판상에 있는 경우, 제1층이 제2층 상에 직접 형성되거나 또는 기판상에 직접 형성될 수 있음을 나타낼 뿐만 아니라, 하나 이상의 다른 층이 제1층과 제2층 사이 또는 제1층과 기판 사이에 존재하는 경우도 나타낼 수 있다.
후술하는 본 발명의 실시예는 성능이 향상된 이미지 센서를 제공하기 위한 것이다. 보다 구체적으로, 이미지 센서는 집적도 향상을 위해 공유 픽셀 구조를 가질 수 있다. 본 발명의 실시예는 공유 픽셀 구조에 의해 발생하는 노이즈(noise)에 기인한 특성 열화를 방지할 수 있는 이미지 센서를 제공하기 위한 것이다. 참고로, 공유 픽셀 구조에 기인하여 발생하는 노이즈는 템포럴 노이즈(Temporal noise) 및 고정 패턴 노이즈(fixed pattern noise; FPN)를 포함할 수 있다. 템포럴 노이즈는 이미지 센서의 집적도 증가에 의한 픽셀 트랜지스터의 사이즈 감소 특히, 채널면적의 감소에 기인한 것일 수 있다. 그리고, 고정 패턴 노이즈는 플로팅디퓨전을 공유하는 각각의 단위픽셀들 주변에 배치되는 구조물들 예컨대, 도전라인 및 픽셀 트랜지스터들의 종류 및 형태가 서로 상이하기 때문에 발생하는 오버랩 캐패시턴스(Overlap capacitance)의 차이 또는 기생 캐패시턴스(Parasitic capacitance)의 차이에 기인한 것일 수 있다.
따라서, 후술하는 본 발명의 실시예는 공유 픽셀 구조를 갖는 이미지 센서에서 템포럴 노이즈 및 고정 패턴 노이즈에 기인한 특성 열화를 방지하기 위해 리셋 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖는 복수의 픽셀블럭들과 드라이버 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖는 복수의 픽셀블럭들이 일방향으로 교번 배치된 이미지 센서를 제공할 수 있다.
후술하는 본 발명의 실시예에서 제1방향(D1)은 좌우방향 또는 로우방향일 수 있고, 제2방향(D2)은 컬럼방향 또는 상하방향일 수 있다. 그리고, 상호 교차하는 제3방향(D3) 및 제4방향(D4)은 사선방향일 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 제1방향(D1) 및 제2방향(D2)이 각각 로우방향 및 컬럼방향인 경우를 예시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 제1방향(D1)이 컬럼방향이고, 제2방향(D2)이로우방향일 수도 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서의 픽셀블럭 및 픽셀블럭에 대응하는 컬러패턴을 도시한 평면도이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 실시예에 이미지 센서의 픽셀블럭에 대응하는 등가회로도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 이미지 센서는 공유 픽셀 구조(shared pixel structure)를 갖는 픽셀블럭(110)을 포함할 수 있다. 픽셀블럭(110)은 입사광에 응답하여 광전하를 생성하는 수광부(210), 수광부(210)에서 생성된 광전하에 대응하는 출력신호(Vout)를 생성 및 출력하는 구동부(220) 및 수광부(210)와 구동부(220) 사이를 전기적으로 연결하는 상호연결부(250)를 포함할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 픽셀블럭(110)이 수광부(210) 및 구동부(220)를 각각 하나씩 구비하는 경우를 예시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지는 않는다. 변형예로서, 픽셀블럭(110)은 둘 이상의 수광부(210)를 구비할 수 있고, 둘 이상의 수광부(210)가 하나의 구동부(220)를 공유할 수도 있다. 또한, 다른 변형예로서, 픽셀블럭(110)은 둘 이상의 수광부(210) 및 둘 이상의 구동부(220)를 구비할 수 있고, 둘 이상의 수광부(210)는 둘 이상의 구동부(220)를 서로 공유할 수도 있다.
실시예에 따른 이미지 센서의 픽셀블럭(110)에서 수광부(210)는 m×n(여기서, m,n은 0을 제외한 자연수) 매트릭스 구조로 배열되고, 플로팅디퓨전(FD)을 공유하는 복수의 단위픽셀들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 수광부(210)는 2×2 매트릭스 구조로 배열된 4개의 단위픽셀들(211~214) 즉, 제1단위픽셀(211) 내지 제4단위픽셀(214)을 포함하는 4-공유 픽셀 구조(4-shared pixel structure)일 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 수광부(210)가 4-공유 픽셀 구조인 경우를 예시하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 변형예로서, 수광부(210)는 2n(여기서, n은 0을 제외한 자연수) 공유 픽셀 구조를 가질 수도 있다.
수광부(210)에서 플로팅디퓨전(FD)은 센터에 위치할 수 있고, 제1단위픽셀(211) 내지 제4단위픽셀(214)은 플로팅디퓨전(FD)을 둘러싸도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 수광부(210) 내에서 제1단위픽셀(211), 제2단위픽셀(212), 제3단위픽셀(213) 및 제4단위픽셀(214)은 각각 좌측 상단, 우측 상단, 좌측 하단 및 우측 하단에 위치할 수 있다. 제1단위픽셀(211) 내지 제4단위픽셀(214) 각각은 입사광에 응답하여 광전하를 생성하는 광전변환소자(photoelectric conversion element, PD) 및 전송신호에 응답하여 광전변환소자(PD)에서 생성된 광전하를 플로팅디퓨전(FD)으로 전달하는 전송 트랜지스터(transfer transistor, Tx)를 포함할 수 있다. 광전변환소자(PD)는 포토다이오드(photo diode), 포토 트랜지스터(photo transistor), 포토 게이트(photo gate), 핀드 포토다이오드(pinned photo diode; PPD) 및 이들의 조합 중에서 적어도 하나일 수 있다. 예를 들어, 광전변환소자(PD)는 유기 또는/및 무기 포토다이오드를 포함할 수 있다. 구체적으로, 광전변환소자(PD)는 유기 또는 무기 포토다이오드 중 어느 하나로 구성되거나, 또는 유기 포토다이오드와 무기 포토다이오드가 적층된 형태로 구성될 수도 있다. 전송신호는 전송 게이트(TG)에 인가될 수 있고, 광전변환소자(PD) 및 플로팅디퓨전(FD)은 각각 전송 트랜지스터(Tx)의 소스(S) 및 드레인(D)으로 작용할 수 있다.
실시예에 따른 이미지 센서의 픽셀블럭(110)에서 구동부(220)는 수광부(210)의 일측에 위치할 수 있다. 예를 들어, 수광부(210)의 일측은 도 1에 도시된 바와 같이 수광부(210)의 상단일 수 있다. 변형예로서, 수광부(210)의 일측은 수광부(210)의 우측일 수도 있다.
구동부(220)는 리셋 트랜지스터(reset transistor, Rx)를 포함하는 제1구동부(230), 제1구동부(230)에 인접하고 드라이버 트랜지스터(drive transister, Dx)를 포함하는 제2구동부(240) 및 픽업영역(221)을 포함할 수 있다. 참고로, 도 1에서는 설명의 편의를 위해 제1구동부(230)의 우측에 제2구동부(240)가 위치하는 경우를 도시하였으나, 제2구동부(240)는 제1구동부(230)의 좌측에 위치할 수도 있다(도 3 참조).
제1구동부(230)는 리셋 트랜지스터(Rx)를 포함할 수 있다. 리셋 트랜지스터(Rx)는 리셋신호에 응답하여 수광부(210)의 플로팅디퓨전(FD) 및 광전변환소자(PD)를 초기화시킬 수 있다. 리셋 트랜지스터(Rx)는 제1활성영역(231), 제1활성영역(231) 상에 형성된 리셋 게이트(RG), 리셋 게이트(RG) 양측 제1활성영역(231)에 형성된 제1접합영역(232) 및 제2접합영역(233)을 포함할 수 있다. 제1활성영역(231)은 장축 및 단축을 갖고, 장축이 제1방향(D1)으로 연장된 바타입의 형태를 가질 수 있다. 리셋신호는 리셋 게이트(RG)에 인가될 수 있다. 제1접합영역(232)은 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)일 수 있다. 리셋 트랜지스터(Rx)는 제1접합영역(232)을 통해 리셋전압(Vrst)을 인가받을 수 있다. 즉, 제1접합영역(232)은 리셋전압공급노드(reset voltage supply node, 260)에 연결될 수 있다. 리셋전압(Vrst)은 포지티브 전압(Positive voltage)일 수 있다. 예를 들어, 리셋전압(Vrst)은 전원전압(VDD)이거나, 또는 전원전압(VDD)보다 큰 포지티브 전압일 수 있다. 제2접합영역(233)은 리셋 트랜지스터(Rx)의 소스(S)일 수 있다. 제2접합영역(233)은 제2콘택(C2)을 통해 상호연결부(250)와 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고, 제2접합영역(233)은 상호연결부(250)를 통해 수광부(210)의 플로팅디퓨전(FD)과 전기적으로 연결될 수 있다.
픽셀블럭(110) 내에서 리셋전압(Vrst)이 인가되는 제1접합영역(232)이 가장 외측에 위치할 수 있다. 즉, 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)은 픽셀블럭(110)의 가장 외측에 위치할 수 있다. 이는, 복수의 픽셀블럭(110)들이 배열되는 픽셀 어레이(100)에서 인접한 픽셀블럭(110)들이 제1접합영역(232)을 손쉽게 공유하도록 형성하기 위함이다(도 3 참조). 이처럼, 인접한 픽셀블럭(110)들이 제1접합영역(232)을 공유하면, 제한된 면적 내에서 픽셀 트랜지스터의 사이즈 특히, 픽셀 트랜지스터의 채널면적을 증가시킬 수 있다. 이를 통해, 픽셀 트랜지스터의 특성을 향상시킬 수 있고, 공정 편차에 의한 특성 산포를 낮출 수 있다. 결과적으로, 템포럴 노이즈 발생을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
제2구동부(240)는 수광부(210)에서 생성된 광전하에 대응하는 출력신호(Vout)를 생성하고, 로우라인(미도시)을 통해 인가되는 선택신호에 응답하여 출력신호(Vout)를 컬럼라인(미도시)으로 출력할 수 있다. 이를 위해, 제2구동부(240)는 드라이버 트랜지스터(drive transister, Dx) 및 선택 트랜지스터(selection transistor, Sx)를 포함할 수 있다.
드라이버 트랜지스터(Dx) 및 선택 트랜지스터(Sx)는 제2활성영역(241)을 공유할 수 있으며, 각각 제2활성영역(241) 상에 형성된 드라이버 게이트(DG) 및 선택 게이트(SG)를 포함할 수 있다. 제2활성영역(241)은 장축 및 단축을 갖고, 장축이 제1방향(D1)으로 연장된 바타입의 형태를 가질 수 있다. 드라이버 게이트(DG)는 노이즈 특성을 개선하기 위해 리셋 게이트(RG) 및 선택 게이트(SG)보다 큰 사이즈를 가질 수 있다. 즉, 리셋 트랜지스터(Rx) 및 선택 트랜지스터(Sx)보다 드라이버 트랜지스터(Dx)의 채널면적이 더 클 수 있다. 드라이버 게이트(DG)는 상호연결부(250)를 통해 플로팅디퓨전(FD)과 전기적으로 연결될 수 있다. 선택 게이트(SG)에는 로우라인(미도시)이 연결될 수 있다. 드라이버 게이트(DG) 및 선택 게이트(SG) 양측 제2활성영역(241)에서는 접합영역들이 형성될 수 있다. 드라이버 게이트(DG) 일측 제2활성영역(241)에는 제3접합영역(242)이 형성될 수 있다. 드라이버 게이트(DG) 타측 즉, 드라이버 게이트(DG)와 선택 게이트(SG) 사이의 제2활성영역(241)에는 제4접합영역(243)이 형성될 수 있다. 선택 게이트(SG) 타측 제2활성영역(241)에는 제5접합영역(244)이 형성될 수 있다.
제3접합영역(242)은 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)일 수 있다. 드라이버 트랜지스터(Dx)는 제3접합영역(242)을 통해 드라이버전압(Vdri)을 인가받을 수 있다. 즉, 제3접합영역(242)은 드라이버전압공급노드(Driver voltage supply node, 270)에 연결될 수 있다. 드라이버전압(Vdri)은 포지티브 전압(Positive voltage)일 수 있다. 예를 들어, 드라이버전압(Vdri)은 전원전압(VDD)이거나, 또는 전원전압(VDD)보다 큰 포지티브 전압일 수 있다. 제4접합영역(243)은 드라이버 트랜지스터(Dx)의 소스(S) 및 선택 트랜지스터(Sx)의 드레인(D)일 수 있다. 제5접합영역(244)은 선택 트랜지스터(Sx)의 소스(S)일 수 있다. 제5접합영역(244)은 컬럼라인(미도시)에 연결될 수 있고, 제5접합영역(244)을 통해 출력신호(Vout)를 컬럼라인(미도시)으로 전달할 수 있다.
픽셀블럭(110) 내에서 드라이버전압(Vdri)이 인가되는 제3접합영역(242)이 가장 외측에 위치할 수 있다. 즉, 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)은 픽셀블럭(110)의 가장 외측에 위치할 수 있다. 이는, 복수의 픽셀블럭(110)들이 배열되는 픽셀 어레이(100)에서 인접한 픽셀블럭(110)들이 제3접합영역(242)을 손쉽게 공유하도록 형성하기 위함이다(도 3 참조). 이처럼, 인접한 픽셀블럭(110)들이 제3접합영역(242)을 공유하면, 제한된 면적 내에서 픽셀 트랜지스터의 사이즈 특히, 픽셀 트랜지스터의 채널면적을 증가시킬 수 있다. 이를 통해, 템포럴 노이즈 발생을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. 참고로, 픽셀블럭(110)에서 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)과 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)은 각각 픽셀블럭(110)의 양측 끝단에 위치할 수 있다.
픽셀블럭(110) 내에서 드라이버 트랜지스터(Dx)는 선택 트랜지스터(Sx)보다 외측에 위치할 수 있고, 선택 게이트(SG)는 플로팅디퓨전(FD)과 동일 선상에 위치할 수 있다. 이는, 선택 게이트(SG)에 인가되는 바어어스에 기인한 간섭(Interference)을 최소화하기 위함이다. 즉, 선택 게이트(SG)과 복수의 단위픽셀들(211~214) 사이의 간섭을 최소화하기 위함이다.
한편, 실시예에서는 제2구동부(240)가 드라이버 트랜지스터(Dx) 및 선택 트랜지스터(Sx)로 구성되는 경우를 예시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 변형예로서, 제2구동부(240)는 드라이버 트랜지스터(Dx)만으로 구성될 수도 있다.
픽업영역(221)은 픽셀블럭(110)에 대한 기준전위(Reference potential)를 제공하기 위한 것이다. 예를 들어, 픽업영역(221)을 통해 픽셀블럭(110)이 형성된 기판에 소정의 전압 예컨대, 접지전압(VSS)을 인가할 수 있다. 픽업영역(221)을 통해 기준전위 예컨대, 접지전압을 픽셀블럭(110)에 제공함에 따라 픽셀블럭(110)의 동작 안정성을 향상시킬 수 있다. 여기서, 픽셀블럭(110)의 동작 안정성을 보다 효과적으로 향상시키기 위해 픽업영역(221)은 선택 트랜지스터(Sx)의 소스(S) 즉, 컬럼라인(미도시)과 연결되는 제5접합영역(244)에 인접하도록 형성할 수 있다. 이는, 제5접합영역(244)에 인접한 구조물들에 기인한 전계효과(electrical field effect) 또는 간섭에 의하여 출력신호(Vout)에 변동이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 따라서, 픽업영역(221)은 제1구동부(230)와 제2구동부(240) 사이에 위치할 수 있다.
상호연결부(250)는 수광부(210)와 제1구동부(230) 및 수광부(210)의 제2구동부(240) 사이를 전기적으로 연결하는 역할을 수행할 수 있다. 따라서, 상호연결부(250)는 도전라인을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상호연결부(250)는 제1콘택(C1)을 통해 수광부(210)의 플로팅디퓨전(FD)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상호연결부(250)는 제2콘택(C2)을 통해 제1구동부(230)의 리셋 트랜지스터(Rx) 소스(S) 즉, 제2접합영역(233)에 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고, 상호연결부(250)는 제3콘택(C3)을 통해 제2구동부(240)의 드라이버 게이트(DG)와 전기적으로 연결될 수 있다.
또한, 상호연결부(250)에서 제1콘택(C1)과 제2콘택(C2) 사이의 거리는 제1콘택(C1)과 제3콘택(C3) 사이의 거리와 실질적으로 동일할 수 있다. 이는, 상호연결부(250)와 제1단위픽셀(211)이 중첩되는 면적을 상호연결부(250)와 제2단위픽셀(212)이 중첩되는 면적과 동일하게 제공하기 위함이다. 즉, 상호연결부(250)와 제1단위픽셀(211) 사이의 오버랩 캐패시턴스를 상호연결부(250)와 제2단위픽셀(212) 사이의 오버랩 캐패시턴스와 실질적으로 동일하게 가져가기 위함이다. 이를 통해, 고정 패턴 노이즈 발생 및 특성 열화를 방지할 수 있다.
또한, 상호연결부(250)는 플로팅디퓨전(FD)과 접하는 제1콘택(C1)을 기준으로 수광부(210)와 제1구동부(230) 및 제2구동부(240) 사이를 연결하는 도전영역(251) 및 각 단위픽셀들(211~214)과 상호연결부(250) 사이의 오버랩 캐패시턴스 균형을 맞추기 위한 더미영역(252)을 포함할 수 있다. 더미영역(252)은 제1콘택(C1) 또는 플로팅디퓨전(FD)을 기준으로 도전영역(251)과 제2방향(D2)으로 대칭적인 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상호연결부(250)와 복수의 단위픽셀들(211~214) 각각이 중첩되는 면적은 실질적으로 동일할 수 있다. 즉, 상호연결부(250)와 복수의 단위픽셀들(211~214) 각각에서 발생하는 오버랩 캐패시턴스는 실질적으로 동일할 수 있다. 이를 통해, 고정 패턴 노이즈 발생 및 특성 열화를 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
실시예에 따른 이미지 센서는 픽셀블럭(110)에 대응하는 컬러패턴(310)을 포함할 수 있다. 컬러패턴(310)은 픽셀블럭(110)의 단위픽셀들(211~214) 각각에 대응하는 복수의 컬러필터들(311~314)을 포함할 수 있다. 참고로, 도 1에서 복수의 컬러필터들(311~314)은 점선으로 도시하였다. 복수의 컬러필터들(311~314) 각각은 레드필터(red filter), 그린필터(green filter), 블루필터(blue filter), 사이언필터(cyan filter), 옐로우필터(yellow filter), 마젠타필터(magenta filter), 화이트필터(white filter), 블랙필터(black filter), 적외선차단필터(IR cutoff filter), 적외선패스필터(IR pass filter) 및 특정 파장대역을 통과시키는 밴스패스필터(band pass filter)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하는 단일필터 또는 둘 이상의 포함하는 다중필터일 수 있다. 예를 들어, 컬러패턴(310)은 제1단위픽셀(211) 내지 제4단위픽셀(214)에 각각 대응하는 제1컬러필터(311) 내지 제4컬러필터(314)를 포함할 수 있다. 여기서, 제1컬러필터(311) 및 제4컬러필터(314)는 그린필터일 수 있고, 제2컬러필터(312) 및 제3컬러필터(313)는 각각 레드필터 및 블루필터일 수 있다. 즉, 컬러패턴(310)은 베이어 패턴(bayer pattern)일 수 있다.
한편, 도면에 도시하지는 않았지만, 고정 패턴 노이즈에 기인한 특성 열화를 방지하기 위해 제1컬러필터(311) 내지 제4컬러필터(314)는 모두 동일한 색상을 가질 수도 있다. 또한, 변형예로서, 제1방향(D1)으로 인접한 제1컬러필터(311)와 제2컬러필터(312)가 서로 동일한 색상을 가질 수 있고, 제3컬러필터(313)와 제4컬러필터(314)가 서로 동일한 색상을 가질 수 있다. 이때, 제1컬러필터(311)와 제3컬러필터(313)는 서로 다른 색상을 가질 수 있다. 또한, 다른 변형예로서, 제2방향(D2)으로 인접한 제1컬러필터(311)와 제3컬러필터(313)가 서로 동일한 색상을 가질 수 있고, 제2컬러필터(312)와 제4컬러필터(314)가 서로 동일한 색상을 가질 수 있다. 이때, 제1컬러필터(311)와 제2컬러필터(312)는 서로 다른 색상을 가질 수 있다.
이하에서는, 실시예에 따른 픽셀블럭(110)을 구비하고, 공유 픽셀 구조에 기인한 노이즈 발생 및 특성 열화를 효과적으로 방지할 수 있는 픽셀블럭(110)들의 배치에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서의 픽셀 어레이를 일부 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 픽셀블럭들(110-1~110-4)이 매트릭스 구조로 배열된 픽셀 어레이(100)를 포함할 수 있다. 복수의 픽셀블럭들(110-1~110-4) 각각은 공유 픽셀 구조를 가질 수 있다. 복수의 픽셀블럭들(110-1~110-4) 각각은, 입사광에 응답하여 광전하를 생성하는 수광부(210), 수광부(210)에서 생성된 광전하에 대응하는 출력신호(Vout)를 생성 및 출력하는 구동부(220) 및 수광부(210)와 구동부(220) 사이를 전기적으로 연결하는 상호연결부(250)를 포함할 수 있다. 구동부(220)는 리셋 트랜지스터(Rx)를 포함하는 제1구동부(230) 및 드라이버 트랜지스터(Dx)를 포함하는 제2구동부(240)를 포함할 수 있다. 픽셀블럭(110)에 대해서는 앞서 도 1 및 도 2를 참조하여 상세히 설명한 바, 이하에서는 상세한 설명을 생략하기로 한다.
실시예에 따른 이미지 센서의 픽셀 어레이(100)는 복수의 픽셀블럭들(110-1~110-4) 중 어느 하나의 픽셀블럭(110) 즉, 제1픽셀블럭(110-1)은 제1방향(D1)으로 제2픽셀블럭(110-2)과 인접하게 배치될 수 있다. 그리고, 제1픽셀블럭(110-1) 및 제2픽셀블럭(110-2)은 각각 제2방향(D2)으로 제3픽셀블럭(110-3) 및 제4픽셀블럭(110-4)과 인접하게 배치될 수 있다.
제3방향(D3) 및 제4방향(D4)으로 제1픽셀블럭(110-1)과 동일한 선상에 위치하는 픽셀블럭들(110-1~110-4)은 모두 제1픽셀블럭(110-1)과 동일한 평면형상(Planar shape)을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1픽셀블럭(110-1)의 평면형상은 제4픽셀블럭(110-4)의 평면형상과 동일할 수 있다. 그리고, 제3방향(D3) 및 제4방향(D4)으로 제2픽셀블럭(110-2)과 동일한 선상에 위치하는 픽셀블럭들(110-1~110-4)은 모두 제2픽셀블럭(110-2)과 동일한 평면형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2픽셀블럭(110-2)의 평면형상은 제3픽셀블럭(110-3)의 평면형상과 동일할 수 있다. 따라서, 픽셀 어레이(100)는 제1방향(D1) 및 제2방향(D2)으로 서로 다른 평면형상을 갖는 두 종류의 픽셀블럭(110)이 번갈아 배치된 형태를 가질 수 있다. 이를 통해, 고정 패턴 노이즈에 기인한 특성 열화를 방지할 수 있다.
제1픽셀블럭(110-1)과 제2픽셀블럭(110-2)은 상호 인접하게 배치될 수 있으며, 제1픽셀블럭(110-1)과 제2픽셀블럭(110-2)이 접하는 경계를 기준으로 대칭적인 형태를 가질 수 있다. 제1픽셀블럭(110-1)의 구동부(220-1)는 제2픽셀블럭(110-2)의 구동부(220-2)와 대칭적인 형태를 가질 수 있고, 리셋전압(Vrst)이 인가되는 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)을 공유하는 형태를 가질 수 있다. 구체적으로, 제1픽셀블럭(110-1)과 제2픽셀블럭(110-2)이 접하는 경계를 기준으로 제1픽셀블럭(110-1)의 제1구동부(230-1)와 제2픽셀블럭(110-2)의 제1구동부(230-2)가 마주보는 형태를 가질 수 있으며, 리셋전압(Vrst)이 인가되는 제1접합영역(232)을 공유하는 형태를 가질 수 있다. 제1픽셀블럭(110-1)의 구동부(220-1)와 제2픽셀블럭(110-2)의 구동부(220-2)가 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)을 공유함에 따라 픽셀 트랜지스터의 사이즈 특히, 채널면적을 효과적으로 증가시킬 수 있다. 따라서, 템포럴 노이즈에 기인한 특성 열화를 방지할 수 있다.
제3픽셀블럭(110-3)과 제4픽셀블럭(110-4)은 상호 인접하게 배치될 수 있으며, 제3픽셀블럭(110-3)과 제4픽셀블럭(110-4)이 접하는 경계를 기준으로 대칭적인 형태를 가질 수 있다. 제3픽셀블럭(110-3)의 구동부(220-3)는 제4픽셀블럭(110-4)의 구동부(220-4)와 대칭적인 형태를 가질 수 있고, 드라이버전압(Vdri)이 인가되는 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)을 공유하는 형태를 가질 수 있다. 구체적으로, 제3픽셀블럭(110-3)과 제4픽셀블럭(110-4)이 접하는 경계를 기준으로 제3픽셀블럭(110-3)의 제2구동부(240-3)와 제4픽셀블럭(110-4)의 제2구동부(240-4)가 마주보는 형태를 가질 수 있으며, 드라이버전압(Vdri)이 인가되는 제3접합영역(242)을 공유하는 형태를 가질 수 있다. 제3픽셀블럭(110-3)의 구동부(220-3)와 제4픽셀블럭(110-4)의 구동부(220-4)가 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)을 공유함에 따라 픽셀 트랜지스터의 사이즈 특히, 채널면적을 효과적으로 증가시킬 수 있다. 따라서, 템포럴 노이즈에 기인한 특성 열화를 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
제1픽셀블럭(110-1)과 제2픽셀블럭(110-2)이 공유하는 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)과 제3픽셀블럭(110-3)과 제4픽셀블럭(110-4)이 공유하는 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)은 서로 정렬될 수 있다. 즉, 픽셀블럭들(110-1~110-4)이 공유하는 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)과 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)은 제2방향(D2)으로 동일 선상에 위치할 수 있다. 이를 통해, 고정 패턴 노이즈에 기인한 특성 열화를 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 실시예에 따른 이미지 센서는 리셋 트랜지스터(Rx)의 드레인(D)을 공유하는 형태를 갖는 제1픽셀블럭(110-1) 및 제2픽셀블럭(110-2)과 드라이버 트랜지스터(Dx)의 드레인(D)을 공유하는 형태를 갖는 제3픽셀블럭(110-3) 및 제4픽셀블럭(110-4)이 일방향으로 교번 배치됨에 따라 공유 픽셀 구조에 기인한 노이즈 발생 및 특성 열화를 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서를 개략적으로 도시한 블럭도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 이미지 센서는 복수의 픽셀블럭(110)들이 매트릭스 구조로 배열된 픽셀 어레이(pixel array, 100), 상관 이중 샘플링(correlated double sampling, CDS, 120), 아날로그-디지털 컨버터(analog digital converter, ADC, 130), 버퍼(Buffer, 140), 로우 드라이버(row driver, 150), 타이밍 제너레이터(timing generator, 160), 제어 레지스터(control register, 170) 및 램프 신호 제너레이터(ramp signal generator, 180)를 포함할 수 있다.
타이밍 제너레이터(160)는 로우 드라이버(150), 상관 이중 샘플링(120), 아날로그-디지털 컨버터(130) 및 램프 신호 제너레이터(180) 각각의 동작을 제어하기 위한 하나 이상의 제어 신호를 생성한다. 제어 레지스터(170)는 램프 신호 제너레이터(180), 타이밍 제너레이터(160) 및 버퍼(140) 각각의 동작을 제어하기 위한 하나 이상의 제어 신호를 생성한다.
로우 드라이버(150)는 픽셀 어레이(100)를 로우라인(row line) 단위로 구동한다. 예컨대, 로우 드라이버(150)는 복수의 로우라인(row line)들 중에서 어느 하나의 로우라인(row line)을 선택할 수 있는 선택 신호를 생성할 수 있다. 복수의 로우라인(row line)들 각각에는 복수의 픽셀블럭(110)들과 연결된다. 그리고, 복수의 픽셀블럭(110)들 각각에는 하나의 로우라인(row line)이 연결된다.
복수의 픽셀블럭(110)들 각각은 입사광을 감지하여 이미지 리셋 신호와 이미지 신호를 컬럼라인(column line)을 통해 상관 이중 샘플링(120)으로 출력한다. 상관 이중 샘플링(120)은 수신된 이미지 리셋 신호와 이미지 신호 각각에 대하여 샘플링을 수행한다. 복수의 컬럼라인(column line)들 각각에는 복수의 픽셀블럭(110)들이 연결된다. 복수의 픽셀블럭(110)들 각각에는 하나의 컬럼라인(column line)이 연결된다. 아날로그-디지털 컨버터(130)는 램프 신호 제너레이터(180)로부터 출력된 램프 신호와 상관 이중 샘플링(120)으로부터 출력되는 샘플링 신호를 서로 비교하여 비교 신호를 출력한다. 타이밍 제너레이터(160)로부터 제공되는 클럭 신호에 따라 비교 신호의 레벨 전이(transition) 시간을 카운트하고, 카운트 값을 버퍼(140)로 출력한다. 램프 신호 제너레이터(180)는 타이밍 제너레이터(160)의 제어 하에 동작할 수 있다.
버퍼(140)는 아날로그-디지털 컨버터(130)로부터 출력된 복수의 디지털 신호 각각을 저장한 후 이들 각각을 감지 증폭하여 출력한다. 따라서, 버퍼(140)는 메모리(미도시)와 감지증폭기(미도시)를 포함할 수 있다. 메모리는 카운트 값을 저장하기 위한 것이며, 카운트 값은 복수의 픽셀블럭(110)들로부터 출력된 신호에 연관된 카운트 값을 의미한다. 감지증폭기는 메모리로부터 출력되는 각각의 카운트 값을 감지하여 증폭한다.
상술한 실시예에 따른 이미지 센서는 다양한 전자장치 또는 시스템에 이용될 수 있다. 이하에서는, 도 5를 참조하여 카메라에 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서를 적용한 경우를 예시하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 이미지 센서를 구비한 전자장치를 간략히 도시한 도면이다.
도 5를 참조하여, 실시예들에 따른 이미지 센서를 구비한 전자장치는 정지영상 또는 동영상을 촬영할 수 있는 카메라일 수 있다. 전자장치는 광학 시스템(910, 또는, 광학 렌즈), 셔터 유닛(911), 이미지 센서(900) 및 셔터 유닛(911)을 제어/구동하는 구동부(913) 및 신호 처리부(912)를 포함할 수 있다.
광학 시스템(910)은 피사체로부터의 이미지 광(입사광)을 이미지 센서(900)의 픽셀 어레이(도 3의 도면부호 '100' 참조)로 안내한다. 광학 시스템(910)은 복수의 광학 렌즈로 구성될 수 있다. 셔터 유닛(911)은 이미지 센서(900)에 대한 광 조사 기간 및 차폐 기간을 제어한다. 구동부(913)는 이미지 센서(900)의 전송 동작과 셔터 유닛(911)의 셔터 동작을 제어한다. 신호 처리부(912)는 이미지 센서(900)로부터 출력된 신호에 관해 다양한 종류의 신호 처리를 수행한다. 신호 처리 후의 이미지 신호(Dout)는 메모리 등의 저장 매체에 저장되거나, 모니터 등에 출력된다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위내의 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 픽셀 어레이 110 : 픽셀블럭
210 : 수광부 220 : 구동부
230 : 제1구동부 240 : 제2구동부
250 : 상호연결부 PD : 광전변환소자
FD : 플로팅디퓨전 Tx : 전송 트랜지스터
Rx : 리셋 트랜지스터 Dx : 드라이버 트랜지스터
Sx : 선택 트랜지스터 310 : 컬러패턴

Claims (20)

  1. 복수의 픽셀블럭들이 배열된 픽셀 어레이를 포함하고,
    상기 복수의 픽셀블럭들 각각은,
    플로팅디퓨전을 공유하는 복수의 단위픽셀들을 포함하는 수광부; 및
    상기 수광부에 인접하여 형성되고 리셋 트랜지스터 및 드라이버 트랜지스터를 포함하는 구동부를 포함하며,
    상기 복수의 픽셀블럭들은 제1픽셀블럭, 제1방향으로 상기 제1픽셀블럭과 인접한 제2픽셀블럭, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 각각 상기 제1픽셀블럭 및 상기 제2픽셀블럭과 인접한 제3픽셀블럭 및 제4픽셀블럭을 포함하고,
    상기 제1픽셀블럭의 구동부와 상기 제2픽셀블럭의 구동부는 상기 리셋 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖고, 상기 제3픽셀블럭의 구동부와 상기 제4픽셀블럭의 구동부는 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖고,
    상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인에는 리셋전압이 인가되고, 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인에는 드라이버전압이 안가되며, 상기 리셋전압 및 상기 드라이버전압은 전원전압 또는 그 이상의 포지티브 전압인 이미지 센서.
  2. ◈청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제1항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 리셋 트랜지스터를 포함하는 제1구동부 및 상기 제1구동부와 인접하고 상기 드라이버 트랜지스터를 포함하는 제2구동부를 포함하며, 상기 제1구동부와 상기 제2구동부 사이에 형성된 픽업영역을 더 포함하는 이미지 센서.
  3. ◈청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제1항에 있어서,
    상기 리셋 트랜지스터의 드레인 및 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인은 상기 복수의 픽셀블럭들 각각에서 양측 끝단에 위치하는 이미지 센서.
  4. ◈청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제1항에 있어서,
    상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인과 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인은 동일 선상에 위치하는 이미지 센서.
  5. 삭제
  6. ◈청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제1항에 있어서,
    상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제1픽셀블럭을 가로지르는 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제1픽셀블럭과 동일한 평면형상을 갖고,
    상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제2픽셀블럭을 가로지르는 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제2픽셀블럭과 동일한 평면형상을 갖는 이미지 센서.
  7. ◈청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제1항에 있어서,
    상기 제1픽셀블럭의 평면형상은 상기 제4픽셀블럭의 평면형상과 동일하고, 상기 제2픽셀블럭의 평면형상은 상기 제3픽셀블럭의 평면형상과 동일한 이미지 센서.
  8. ◈청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제1항에 있어서,
    상기 플로팅디퓨전은 상기 리셋 트랜지스터의 소스 및 상기 드라이버 트랜지스터의 게이트에 전기적으로 연결되는 이미지 센서.
  9. 복수의 픽셀블럭들이 배열된 픽셀 어레이를 포함하고,
    상기 복수의 픽셀블럭들 각각은,
    플로팅디퓨전을 공유하는 복수의 단위픽셀들을 포함하는 수광부;
    상기 수광부에 인접하여 형성되고 리셋 트랜지스터 및 드라이버 트랜지스터를 포함하는 구동부; 및
    상기 플로팅디퓨전과 상기 리셋 트랜지스터 및 드라이버 트랜지스터 사이를 전기적으로 연결하는 도전영역 및 상기 플로팅디퓨전을 기준으로 상기 도전영역과 대칭적인 형상을 갖는 더미영역을 포함하는 상호연결부를 포함하며,
    상기 복수의 픽셀블럭들은 제1픽셀블럭, 제1방향으로 상기 제1픽셀블럭과 인접한 제2픽셀블럭, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 각각 상기 제1픽셀블럭 및 상기 제2픽셀블럭과 인접한 제3픽셀블럭 및 제4픽셀블럭을 포함하고,
    상기 제1픽셀블럭의 구동부와 상기 제2픽셀블럭의 구동부는 상기 리셋 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖고, 상기 제3픽셀블럭의 구동부와 상기 제4픽셀블럭의 구동부는 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인을 공유하는 형태를 갖는 이미지 센서.
  10. ◈청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 리셋 트랜지스터를 포함하는 제1구동부 및 상기 제1구동부와 인접하고 상기 드라이버 트랜지스터를 포함하는 제2구동부를 포함하며, 상기 제1구동부와 상기 제2구동부 사이에 형성된 픽업영역을 더 포함하는 이미지 센서.
  11. ◈청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제10항에 있어서,
    상기 제2구동부는 선택 트랜지스터를 더 포함하고,
    상기 픽셀블럭 내에서 상기 드라이버 트랜지스터는 상기 선택 트랜지스터보다 외측에 위치하는 이미지 센서.
  12. ◈청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제11항에 있어서,
    상기 선택 트랜지스터의 게이트는 상기 플로팅디퓨전과 동일선상에 위치하는 이미지 센서.
  13. ◈청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 상호연결부의 도전영역은 상기 플로팅디퓨전과 상기 리셋 트랜지스터의 소스 사이 및 상기 플로팅디퓨전과 상기 드라이버 트랜지스터의 게이트 사이를 전기적으로 연결하는 이미지 센서.
  14. ◈청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제13항에 있어서,
    상기 플로팅디퓨전과 상기 리셋 트랜지스터의 소스 사이의 거리는 상기 플로팅디퓨전과 상기 드라이버 트랜지스터의 게이트 사이의 거리와 실질적으로 동일한 이미지 센서.
  15. ◈청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 상호연결부와 상기 복수의 단위픽셀들 각각이 중첩되는 면적들은 실질적으로 동일한 이미지 센서.
  16. ◈청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 리셋 트랜지스터의 드레인 및 상기 드라이버 트랜지스터의 드레인은 상기 복수의 픽셀블럭들 각각에서 양측 끝단에 위치하는 이미지 센서.
  17. ◈청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인과 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인은 동일 선상에 위치하는 이미지 센서.
  18. ◈청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 제1픽셀블럭과 상기 제2픽셀블럭이 공유하는 리셋 트랜지스터의 드레인에는 리셋전압이 인가되고, 상기 제3픽셀블럭과 상기 제4픽셀블럭이 공유하는 드라이버 트랜지스터의 드레인에는 드라이버전압이 안가되며, 상기 리셋전압 및 상기 드라이버전압은 전원전압 또는 그 이상의 포지티브 전압인 이미지 센서.
  19. ◈청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제1픽셀블럭과 동일한 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제1픽셀블럭과 동일한 평면형상을 갖고,
    상기 복수의 픽셀블럭들 중 상기 제2픽셀블럭과 동일한 사선상에 위치하는 픽셀블럭들은 모두 상기 제2픽셀블럭과 동일한 평면형상을 갖는 이미지 센서.
  20. ◈청구항 20은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제9항에 있어서,
    상기 제1픽셀블럭의 평면형상은 상기 제4픽셀블럭의 평면형상과 동일하고, 상기 제2픽셀블럭의 평면형상은 상기 제3픽셀블럭의 평면형상과 동일한 이미지 센서.
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