KR102350996B1 - 광학렌즈를 이용한 글라스 투과 검사장치 - Google Patents

광학렌즈를 이용한 글라스 투과 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 각 조명모듈이 적어도 2종류 이상의 광신호를 출사하는 광원소자들을 구비함과 동시에 카메라가 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 구비함으로써 다종의 광신호에 대한 이미지 획득이 가능하여 흠결(불량) 선별 및 추출의 정밀도 및 신뢰도를 획기적으로 높일 수 있고, 각 조명수단의 광원소자가 백색광을 출사하는 백색 광원소자들과, 적외선(IR)을 출사하는 적외선 광원소자들과, 자외선(UV)을 출사하는 자외선 광원소자들을 포함함으로써 단일 광신호의 이미지에서는 검출될 수 없었던 문제점을 획기적으로 해결할 수 있으며, 한 번의 스캔(Scan)으로 글라스의 상부, 하부 및 내부의 흠결을 동시에 선별 및 추출 가능하여, 공정시간 및 비용을 더욱 절감시킬 수 있으며, 카메라가 폭 방향으로의 직선 이동 및 PTZ(Pan-Tilt_Zoom) 제어가 가능함과 동시에 검사대상인 글라스(G)가 안착되는 안착지그가 전후방향으로 이동 가능하도록 구성됨으로써 단일 세트의 카메라 및 조명모듈들을 이용하여 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 다양한 검사항목들의 비전검사를 수행할 수 있기 때문에 공정라인 및 설계를 간소화 시킬 수 있을 뿐만 아니라 공정시간 및 비용을 현저히 절감시킬 수 있는 광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치에 관한 것이다.

Description

광학렌즈를 이용한 글라스 투과 검사장치{Inspection apparatus for particle of glass using optical lens}
본 발명은 광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치에 관한 것으로서, 상세하게로는 카메라가 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 구비함과 동시에 팬-틸트 회전 가능하도록 구성되며, 조명모듈이 적외선(IR), 백색광(White) 및 자외선(UV) 광원소자를 포함하여 2종 이상의 다양한 광신호들이 출사됨으로써 단일 세트의 카메라 및 조명모듈들을 이용하여, 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 다양한 검사항목들의 비전검사가 동시에 이루어져 공정시간 및 비용을 현저히 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 다양한 종류의 광신호를 통한 비전검사가 가능하여, 결함 분류 및 검출의 정확성 및 신뢰도를 현저히 높일 수 있는 광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치에 관한 것이다.
통상적으로, LCD(Liquid Crystal Display), 유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes), EL(Electroluminescene) 등은 평판 디스플레이(FPD)의 한 종류로서, 저소비 전력, 경량화 및 평면화 특성이 요구되는 TV, 컴퓨터, 스마트폰 및 HMI(Human Machine Interface) 등의 전자디바이스의 디스플레이 패널에 대한 보급률 및 활용도가 증가하고 있다.
이러한 디스플레이 패널을 구성하는 글라스(Glass)는 외부 충격에 민감하고 취약한 특성을 갖기 때문에 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 외관 불량이 빈번하게 발생하고, 이에 따라 디스플레이 패널의 제조공정라인에는, 디스플레이 패널 제조 시, 외관 불량 및 결함을 분류 및 검출하기 위한 비전검사가 필수적으로 실행되고 있다.
통상적으로, 종래의 글라스 비전검사에는 주로 백색(White) 조명을 활용하여 선명한 이미지를 획득할 수 있었는데, 이러한 백색조명에 의한 이미지는 정상적인 글라스 표면의 이미지와 불량(흠결)의 이미지의 차이가 두드러지지 않아, 흠결 선별 및 검출의 정확성 및 신뢰도가 떨어지는 단점을 갖는다.
또한 백색조명은 글라스 투과율이 100%에 현저히 미치지 못할 뿐만 아니라 굴절률이 높기 때문에 글라스의 상부면과 하부면의 이미지를 획득하기 위해서는, 글라스의 상부면을 검사한 이후, 글라스를 상하부가 반전되도록 회전시킨 후, 하부면을 검사하는 방식으로 이루어짐으로써 비전검사 공정시간이 지체될 뿐만 아니라 장비의 구조 및 설계가 복잡하며, 검사효율성이 떨어지는 문제점이 발생한다.
도 1은 종래의 비전검사시스템을 설명하기 위한 예시도이고, 도 2는 도 1의 검사항목의 개별검사에 따른 카메라 및 조명부의 설치상태를 나타내는 예시도이다.
도 1의 종래의 비전검사시스템(이하 종래기술이라고 함)(100)은 컨베이어 벨트 등과 같이 검사대상(110)을 이송시키는 이송수단(105)과, 이송수단(105)에 의해 기 설정된 위치로 이송된 검사대상(110)을 촬영하여 영상을 획득하는 촬영부(103)들과, 촬영부(103)들을 관리 및 제어함과 동시에 촬영부(103)들의 촬영에 의해 획득된 영상을 분석하여 외관불량 여부를 판별하는 컨트롤러(101)와, 컨트롤러(101)에 의해 판별된 비전검사 결과 정보를 외부로 표출하는 표출부(107)로 이루어진다.
촬영부(103)들은 카메라들 및 조명부들로 이루어진다.
이때 비전검사는 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 다양한 검사항목의 비전검사를 구행하게 되고, 각 검사항목에 따라, 카메라들의 촬영각도(방향), 포커싱 배율 및 조명각도(방향)의 최적값이 다르게 적용될 수 있다.
그러나 종래기술(100)은 촬영부(103)의 카메라들 및 조명부들이 고정된 위치 및 각도로 설치되기 때문에 다양한 검사항목에 대한 비전검사가 이루어질 수 없고, 다양한 검사항목들에 대한 비전검사를 수행하기 위해서는 각 검사항목에 따른 최적의 검사조건에 맞는 촬영부의 세팅들이 별도로 마련되어야 함에 따라 공정라인이 복잡해질 뿐만 아니라 공정비용 및 시간이 증가하는 문제점이 발생한다.
또한 종래기술(100)은 조명부(110)의 광원으로 백색조명 등과 같은 단일 종류의 광원만이 사용되기 때문에 글라스의 일면의 비전검사가 완료되면, 글라스의 일면과 타면의 방향이 바꾸도록 글라스를 반전시킨 후, 글라스의 타면에 대한 비전검사가 이루어져야만 하기 때문에 검사공정이 복잡하고 검사시간이 더욱 지체되는 단점을 갖는다.
즉 글라스 비전검사 시, 광원의 종류에 따라 서로 다른 파장 및 굴절률을 갖기 때문에 광원의 종류가 많아지면 많아질수록 비전검사 정확성은 증가하게 되나, 종래에는 단일 종류의 광원만을 이용하여 비전검사가 이루어지기 때문에 비전검사의 정확성 및 신뢰도가 떨어지는 문제점이 발생한다.
국내공개특허 제10-2020-0107404호(발명의 명칭 : 디스플레이 패널 검사장치)에는 모니터에 의해 기준패턴을 1주기 내에서 일정 각도만큼씩 위상 이동시켜가면서 카메라에 의해 이미지를 순차적으로 획득한 후, 획득된 이미지들을 기반으로 디스플레이 패널의 표면에 대한 위상과 기울기를 산출함에 따라 디스플레이 패널의 표면에 대한 불량 여부를 판별하기 위한 디스플레이 패널 검사장치가 기재되었으나, 상기 디스플레이 패널 검사장치는 카메라 및 조명부의 설치위치 및 각도가 고정된 상태로 운영되는 것이기 때문에 해당 세팅 상태의 카메라 및 조명부에 적합한 개별검사에는 유용하나, 다른 검사조건의 개별검사에는 적용될 수 없는 구조적 한계를 갖는다.
또한 상기 디스플레이 패널 검사장치는 단일 종류의 광원만이 조명으로 사용되기 때문에 글라스의 양면을 검사하기 위해서는, 글라스의 일면을 검사한 이후, 글라스를 반전시킨 상태에서 타면의 검사가 이루어져야함에 따라 검사시간이 지체될 뿐만 아니라 검사공정이 복잡하며, 글라스를 반전시키기 위한 별도의 부속장비들로 인해 구조 및 설계가 복잡해지는 문제점이 발생한다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결과제는 각 조명모듈이 적어도 2종류 이상의 광신호를 출사하는 광원소자들을 구비함과 동시에 카메라가 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 구비함으로써 다종의 광신호에 대한 이미지 획득이 가능하여 흠결(불량) 선별 및 추출의 정밀도 및 신뢰도를 획기적으로 높일 수 있는 광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
또한 본 발명의 다른 해결과제는 각 조명수단의 광원소자가 백색광을 출사하는 백색 광원소자들과, 적외선(IR)을 출사하는 적외선 광원소자들과, 자외선(UV)을 출사하는 자외선 광원소자들을 포함함으로써 단일 광신호의 이미지에서는 검출될 수 없었던 문제점을 획기적으로 해결할 수 있으며, 한 번의 스캔(Scan)으로 글라스의 상부, 하부 및 내부의 흠결을 동시에 선별 및 추출 가능하여, 공정시간 및 비용을 더욱 절감시킬 수 있는 광학렌즈를 이용한 글라스 이물질 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
또한 본 발명의 다른 해결과제는 카메라가 폭 방향으로의 직선 이동 및 PTZ(Pan-Tilt_Zoom) 제어가 가능함과 동시에 검사대상인 글라스(G)가 안착되는 안착지그가 전후방향으로 이동 가능하도록 구성됨으로써 단일 세트의 카메라 및 조명모듈들을 이용하여 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 다양한 검사항목들의 비전검사를 수행할 수 있기 때문에 공정라인 및 설계를 간소화 시킬 수 있을 뿐만 아니라 공정시간 및 비용을 현저히 절감시킬 수 있는 글라스 이물 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 해결수단은 판재 형상의 고정플레이트와, 검사대상이 안착되는 안착지그와, 상기 고정플레이트에 결합되어 상기 안착지그를 이동시키는 이동부와, 상기 이동부에 의해 이송된 안착지그의 글라스(G)로 조명을 출사하는 조명모듈들을 포함하는 조명부와, 카메라를 포함하며 상기 조명부에 의해 글라스(G)로 조명이 출사되면, 상기 카메라가 글라스(G)를 촬영하여 이미지를 획득하는 촬영부를 포함하는 글라스 이물 검사장치에 있어서: 각 조명모듈은 적어도 2종류 이상의 광신호들을 출사하는 광원소자들을 포함하고, 상기 카메라는 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 포함하는 것이다.
또한 본 발명에서 상기 각 조명모듈은 백색광을 출사하는 백색광 광원소자들; 적외선(IR)을 출사하는 IR 광원소자들; 자외선(UV)을 출사하는 UV 광원소자들을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 촬영부는 상기 카메라; 상기 카메라의 상부에 결합하여 상기 카메라를 전후방향으로 회전시키는 제1 회전수단; 상기 제1 회전수단에 결합하여 상기 카메라를 폭 방향으로 회전시키는 제2 회전수단; 상기 제2 회전수단에 결합하여 상기 카메라를 수직 방향으로 승하강시키는 승하강수단; 상기 고정플레이트에 결합하여 상기 승하강수단을 지지하는 고정프레임을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 촬영부는 상기 고정프레임의 내측면에 설치되어 상기 승하강수단에 결합하며, 상기 승하강수단을 폭 방향으로 이동시키는 이동수단을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 조명부는 ‘Π’자 형상으로 조립되는 프레임들로 이루어져 상기 고정플레이트의 상면에 전후방향으로 이격되게 설치되는 기본프레임들; 상기 기본프레임들 각각에 설치되어 글라스(G)가 기 설정된 위치(x, y)로 이동할 때, 글라스(G)를 향하여 적외선(IR)을 출사하는 제1 조명모듈 및 제2 조명모듈을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 조명부는 상기 안착지그의 일측에 설치되어 상기 안착지그에 안착된 글라스(B)로 적외선(IR)을 출사하는 제3 조명모듈을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 글라스 이물 검사장치는 검사항목별로 상기 카메라의 포커싱 배율 최적값, 폭 방향의 회전각도 최적값 및 전후방향의 회전각도 최적값과, 상기 안착지그의 위치 최적값이 기 설정되어 저장되며, 상기 카메라의 촬영에 의해 획득된 이미지를 분석하여 비전검사를 수행하며, 기 설정된 검사-프로세스에 따라 비전검사를 수행하되, 각 검사항목별 비전검사 시, 해당 검사항목에 대응하는 상기 카메라의 포커싱 배율 최적값, 폭 방향의 회전각도 최적값 및 전후방향의 회전각도 최적값과, 상기 안착지그의 위치 최적값을 갖도록 상기 촬영부 및 상기 이동부를 제어하는 것이 바람직하다.
상기 과제와 해결수단을 갖는 본 발명에 따르면 각 조명모듈이 적어도 2종류 이상의 광신호를 출사하는 광원소자들을 구비함과 동시에 카메라가 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 구비함으로써 다종의 광신호에 대한 이미지 획득이 가능하여 흠결(불량) 선별 및 추출의 정밀도 및 신뢰도를 획기적으로 높이기 위한 것이다.
또한 본 발명에 의하면 각 조명수단의 광원소자가 백색광을 출사하는 백색 광원소자들과, 적외선(IR)을 출사하는 적외선 광원소자들과, 자외선(UV)을 출사하는 자외선 광원소자들을 포함함으로써 단일 광신호의 이미지에서는 검출될 수 없었던 문제점을 획기적으로 해결할 수 있으며, 한 번의 스캔(Scan)으로 글라스의 상부, 하부 및 내부의 흠결을 동시에 선별 및 추출 가능하여, 공정시간 및 비용을 더욱 절감시킬 수 있다.
또한 본 발명에 의하면 카메라가 폭 방향으로의 직선 이동 및 PTZ(Pan-Tilt_Zoom) 제어가 가능함과 동시에 검사대상인 글라스(G)가 안착되는 안착지그가 전후방향으로 이동 가능하도록 구성됨으로써 단일 세트의 카메라 및 조명모듈들을 이용하여 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 다양한 검사항목들의 비전검사를 수행할 수 있기 때문에 공정라인 및 설계를 간소화 시킬 수 있을 뿐만 아니라 공정시간 및 비용을 현저히 절감시킬 수 있게 된다.
도 1은 종래의 비전검사시스템을 설명하기 위한 예시도이다.
도 2는 도 1의 검사항목의 개별검사에 따른 카메라 및 조명부의 설치상태를 나타내는 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예인 글라스 이물 검사장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3에서 본체를 제외한 글라스 이물 검사장치를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4를 하부에서 바라본 사시도이다.
도 6은 도 4의 분해사시도이다.
도 7은 도 4의 배면도이다.
도 8은 도 4의 평면도이다.
도 9는 도 4의 촬영부와 조명부를 나타내는 사시도이다.
도 10은 도 3의 이동부를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 3의 조명부를 나타내는 사시도이다.
도 12는 도 11의 조명모듈의 광원소자 종류를 설명하기 위한 구성도이다.
도 13은 도 12의 각 조명모듈의 광원소자들 중 하나인 적외선의 파장과 굴절률을 나타내는 그래프이다.
도 14의 (a)는 본 발명의 조명모듈의 백색 광원소자에서 백색광이 출사될 때 획득된 이미지를 나타내는 예시도이고, (b)는 본 발명의 조명모듈의 적외선 광원소자에서 적외선이 출사될 때 획득된 적외선 이미지를 나타내는 예시도이다.
도 15는 도 3의 촬영부를 나타내는 사시도이다.
도 16은 도 15의 분해사시도이다.
도 17은 도 15의 카메라에 구비된 광학렌즈를 나타내는 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 설명한다.
도 3은 본 발명의 일실시예인 글라스 이물 검사장치를 나타내는 사시도이고,
도 3은 본 발명의 일실시예인 글라스 이물 검사장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3에서 본체를 제외한 글라스 이물 검사장치를 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 4를 하부에서 바라본 사시도이고, 도 6은 도 4의 분해사시도이고, 도 7은 도 4의 배면도이고, 도 8은 도 4의 평면도이고, 도 9는 도 4의 촬영부와 조명부를 나타내는 사시도이다.
도 3 내지 9의 본 발명의 일실시예인 글라스 이물 검사장치(1)는 카메라가 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 구비함과 동시에 팬-틸트 회전 가능하도록 구성되며, 조명모듈이 적외선(IR), 백색(White) 및 UV 광원소자를 포함하여 다양한 광신호의 조사가 가능하도록 구성됨으로써 단일 세트의 카메라 및 조명모듈들을 이용하여, 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 다양한 검사항목들의 비전검사가 동시에 이루어져 공정시간 및 비용을 현저히 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 다양한 종류의 광신호를 이용한 비전검사가 가능하여, 결함 분류 및 검출의 정확성 및 신뢰도를 현저히 높이기 위한 것이다.
또한 본 발명의 글라스 이물 검사장치(1)는 도 3 내지 9에 도시된 바와 같이, 상부가 개구된 함체 형상의 본체(9)와, 본체(9)의 상부 개구부에 밀폐되듯이 설치되는 고정플레이트(91)의 상하부에 결합되어 후술되는 조명부(5)의 안착지그(50)를 전후방으로 이동시키는 이동부(7)와, 이동부(7)에 의해 전후방 이동 가능하도록 설치되는 안착지그(50)와, 안착지그(50)가 기 설정된 위치(x, y)로 이동 시, 안착지그(50)에 안착된 글라스(Glass)를 향하여 다종의 광신호를 출사하는 조명모듈(53), (54), (55)들을 포함하는 조명부(5)와, 조명부(5)에 의해 기 설정된 위치(x, y)로 이동한 글라스(G)를 향하여 다종의 광신호가 출사되면, 기 설정된 검사-프로세스에 따라 카메라(31)의 PTZ(Pan_Tilt_Zoom)를 제어한 후, 촬영을 수행하여 이미지를 획득하는 촬영부(3)로 이루어진다.
이때 본 발명의 글라스 이물 검사장치(1)는 설명의 편의를 위해 도면에는 도시되지 않았으나, 전술하였던 컨트롤러(101) 및 표출부(107)를 포함하고, 본 발명에서는 설명의 편의를 위해 컨트롤러(101)는 촬영부(3)의 카메라(31)의 촬영에 의해 획득된 이미지를 분석하여 흠결(불량) 여부를 판정한다.
이때 컨트롤러(101)에는 각 검사항목(치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등)별로, 포커싱 배율, 팬-틸트 회전각도, 안착지그(50)의 위치좌표(x, y)에 대한 최적값이 기 설정되어 저장되고, 컨트롤러(101)는 기 설정된 검사-프로세스에 따라 검사항목별 비전검사가 이루어지도록 촬영부(3), 조명부(5) 및 이동부(7)를 제어하되, 각 검사항목에 대한 비전 검사 시, 해당 검사항목에 해당하는 포커싱 배율, 팬-틸트 회전각도, 안착지그(50)의 위치좌표(x, y)의 최적값을 추출한 후, 추출된 최적값을 갖도록 촬영부(3), 조명부(5) 및 이동부(7)를 제어하여 해당 검사항목의 비전검사를 수행한다.
또한 도 3에 도시된 바와 같이, +Y축 방향을 전방이라고 하고 ±X축 방향을 폭-방향이라고 하여 본 발명의 기술 내용을 설명하기로 한다.
본체(9)는 상부가 개구되어 내부에 공간이 형성되는 함체로 이루어진다. 이때 본체(9)의 내부 공간에는 비전검사를 수행하기 위한 전원공급수단, 부속장비 등이 설치된다.
또한 본체(9)의 하부면에는 캐스터들이 설치됨으로써 글라스 이물 검사장치(1)의 이동성 및 작업성을 높이도록 하였다.
또한 본체(9)의 상부 개구부에는 고정플레이트(91)가 설치되고, 고정플레이트(91)의 상면에는 촬영부(3) 및 조명부(5)가 결합되고, 고정플레이트(91)의 상하부면에는 이동부(7)가 결합된다.
고정플레이트(91)는 본체(9)의 상부 개구부보다 소정 큰 면적의 판재로 형성되며, 본체(9)의 상부 개구부에 설치되어 구성수단(3), (5), (7)들을 고정 및 지지한다.
또한 고정플레이트(91)의 폭(X축) 방향의 중간지점에는 양면을 관통하여 전후방으로 연장되는 이동공(911)이 길게 형성된다.
이때 고정플레이트(91)의 이동공(911)으로는 후술되는 도 10의 이동부(7)의 이동플레이트(79)의 연결프레임(791)이 삽입됨으로써 이동플레이트(79)는 고정플레이트(91)의 이동공(911)을 따라 전후방으로 이동 가능하게 된다.
도 10은 도 3의 이동부를 나타내는 사시도이다.
이동부(7)는 도 10에 도시된 바와 같이, 구동모터(70)와, 메인 가이드레일(71), 보조 가이드레일(72), (73)들, 링크체인(75), 이동플레이트(79)로 이루어진다.
구동모터(70)는 회전-운동에너지를 발생시키는 구동수단이다.
또한 구동모터(70)는 도면에는 도시되지 않았으나, 메인 가이드레일(71)의 이동홈(711)을 따라 이동 가능하도록 설치되는 이동체와 결합됨으로써 이동체는 구동모터(70)에 의해 메인 가이드레일(71)의 이동홈(711)을 따라 전후방향으로 직선 이동 가능하게 된다.
메인 가이드레일(71)은 장길이의 막대 형상으로 형성되며, 고정플레이트(91)의 상면에, 이동공(911)과 소정 간격을 두고 전후방향으로 길게 설치된다.
또한 메인 가이드레일(71)의 이동공(911)을 향하는 내측면에는 이동홈(711)이 길이 방향으로 연장되게 형성된다.
이러한 메인 가이드레일(71)의 이동홈(711)에는 이동체(미도시)가 이동홈(711)을 따라 직선 이동가능하게 설치된다. 이때 이동체는 구동모터(70)와 연결되어 구동모터(70)의 회전에 따라 메인 가이드레일(71)의 이동홈(711)을 따라 이동하게 되고, 이러한 이동체에는 후술되는 도 11의 안착지그(50)가 결합하게 된다.
즉 이동부(7)의 구동모터(70)의 회전운동은 직선운동으로 변환되어 이동체 -> 안착플레이트(50)로 전달됨으로써 안착지그(50)에 안착된 검사대상인 글라스(G)를 기 설정된 위치(x, y)로 이동할 수 있게 된다.
보조 가이드레일(72), (73)들은 장길이의 레일로 형성되며, 고정플레이트(91)의 상면에 전후방향으로 길게 설치되되, 이동공(911)을 기준으로 양측으로 상호 간격을 두고 설치된다.
또한 보조 가이드레일(72), (73)들에는 도 11의 안착지그(50)가 이동 가능하도록 결합된다.
링크체인(75)은 고정플레이트(91)의 하부면에 설치되며, 단부에 이동플레이트(79)의 연결프레임(791)이 결합된다.
이동플레이트(791)는 판재 형상으로 형성되며, 하부면에 연결프레임(791)이 수직 설치된다.
이때 이동플레이트(791)의 연결프레임(791)은 고정플레이트(91)의 이동공(911)을 통과하여 상단부 및 하단부가 상하부로 돌출되게 배치된다.
도 11은 도 3의 조명부를 나타내는 사시도이고, 도 12는 도 11의 조명모듈의 광원소자 종류를 설명하기 위한 구성도이고, 도 13은 도 12의 각 조명모듈의 광원소자들 중 하나인 적외선의 파장과 굴절률을 나타내는 그래프이고, 도 14의 (a)는 본 발명의 조명모듈의 백색 광원소자에서 백색광이 출사될 때 획득된 이미지를 나타내는 예시도이고, (b)는 본 발명의 조명모듈의 적외선 광원소자에서 적외선이 출사될 때 획득된 적외선 이미지를 나타내는 예시도이다.
조명부(5)는 도 11에 도시된 바와 같이, ‘Π’자 형상으로 조립되는 프레임들로 이루어져 본체(4)의 상면에 전후방향으로 이격되게 설치되는 기본프레임(51), (52)들과, 판재 형상으로 형성되어 검사대상인 글라스(G)가 안착되며 전술하였던 도 10의 이동플레이트(791)에 결합되는 안착지그(50)와, 기본프레임(51), (52)들 각각에 설치되어 기 설정된 위치(x, y)로 이동한 안착지그(50)를 향하여 다종의 광신호를 출사하는 제1, 2 조명모듈(53), (54)들과, 안착지그(50)의 우측(+X) 상면에 설치되어 다종의 광신호를 출사하는 제3 조명모듈(55)로 이루어진다.
기본프레임(51), (52)들은 ‘Π’자 형상으로 조립되는 프레임들로 이루어진다.
또한 기본프레임(51), (52)들은 상면에 전후방향으로 이격되게 설치되며, 제1, 2 조명모듈(53), (54)들이 브라켓에 의해 결합된다.
또한 기본프레임(51), (52)들은 안착지그(50)가 비전검사가 이루어지는 기 설정된 위치(x, y)로 이동 시, 이들 사이에 안착지그(50)가 배치되게 된다.
안착지그(50)는 전술하였던 도 10의 이동플레이트(791) 보다 큰 면적의 판재로 형성되며, 이동플레이트(791)와 결합한다.
또한 안착지그(50)는 좌측부(-Y)가 전술하였던 도 10의 이동부(7)의 이동체와 결합됨과 도시에 이동플레이트(79)에 결합됨으로써 이동체의 직선이동에 따라 전후방으로 이동하게 된다.
또한 안착지그(50)의 하부면은 보조 가이드레일(72), (73)들과 이동 가능하도록 결합됨으로써 이동체 직선 이동 시, 보조 가이드레일(72), (73)들을 따라 직선 이동하게 된다. 즉 도 11의 안착지그(50)는 검사대상인 글라스(G)가 안착되면, 기 설정된 위치(x, y)로 글라스(G)를 이동시키기 위한 장치이다.
또한 안착지그(50)는 이동플레이트(791)와 결합된다. 즉 이동부(7)의 구동모터(70)에 의해 생성된 운동에너지는 이동체 -> 안착지그(50) -> 이동플레이트(79)로 전달되게 된다.
또한 안착지그(50)의 우측에는 제3 조명모듈(55)이 회전 가능하도록 결합된다. 이때 제3 조명모듈(55)은 안착지그(50)의 수평 방향보다 상향 회전된 상태의 출사방향으로 안착지그(50)에 안착된 글라스(G)를 향하여 다종의 광신호들을 출사한다.
제1, 2 조명모듈(53), (54)들은 기본프레임(51), (52)들에 브라켓들에 의해 각각 결합되되, 회전 가능하도록 결합됨으로써 컨트롤러(미도시)의 제어에 따라 조사방향을 변경하여 출사하게 된다.
또한 제1, 2 조명모듈(53), (54)들은 비전검사가 이루어지는 기 설정된 위치(x, y)로 안착지그(50)가 배치되면, 안착지그(50)를 향하여 조명을 출사함으로써 비전검사를 통한 흠결(불량) 선별의 정확성 및 정밀도를 높일 수 있다.
제3 조명모듈(55)은 안착지그(50)의 우측에, 안착지그(50)의 상면보다 상향 회전된 상태로 조명을 출사함으로써 안착지그(50)에 안착된 글라스(G)의 후방으로 조명을 제공한다.
이러한 제1, 2, 3 조명모듈(53), (54), (55)들은 도 12에 도시된 바와 같이, 다양한 종류의 광원소자들을 포함하여 다종의 광신호들을 출사하도록 구성된다.
또한 제1, 2, 3 조명모듈(53), (54), (55)들의 광원소자로는, 백색광을 출사하는 백색 광원소자(610)들과, 적외선(IR)을 출사하는 IR 광원소자(620)들, UV를 출사하는 UV 광원소자(630)들을 포함한다.
이때 도 12에서는 설명의 편의를 위해 각 조명모듈(53, 54 or 55)의 광원소자로, 백색 광원소자(610), IR 광원소자(620) 및 UV 광원소자(630)를 포함하여, 백색광, IR 및 UV의 3종류의 광신호가 출사되는 것으로 예를 들어 설명하였으나, 조명모듈은 이들을 제외한 다른 종류의 광원소자를 포함하는 것으로 구성될 수 있음은 당연하다.
백색(White) 광원소자(610)는 검사대상인 글라스(G)로 백색광을 출사하는 수단이고, 이때 백색광은 다른 종류의 광신호와 비교하여 상대적으로 굴절률이 상대적으로 높기 때문에 글라스(G)의 표면에 대한 흠결(불량) 선별에 유리하다.
IR 광원소자(620)는 검사대상인 글라스(G)로 적외선(IR)을 출사하는 수단이고, 이때 적외선(IR)은 도 13에 도시된 바와 같이, 700nm ~ 1mm의 파장을 갖는 전자기파를 의미하고, IR 파장을 길게 가져가는 특성으로 인해 굴절률이 미세하여 글라스(G) 투과 시, 글라스(G)의 상부와 하부의 이미지 초점의 차이가 미세하기 때문에 글라스(G)의 상부와 하부에 대한 명확한 이미지 추출에 적합하다.
UV 광원소자(630)들은 검사대상인 글라스(G)로 자외선(UV)을 출사하는 수단이고, 이때 자외선(UV)은 14 ~ 400nm의 파장을 갖는 전자기파를 의미하고, 글라스(B)의 트랙(Track)을 검출하는데 유리하다.
이와 같이 다종의 광원소자(610), (620), (630)들을 구비한 제1, 2, 3조명모듈(53), (54), (55)들은 기본프레임(51), (52)들 및 안착지그(55)의 각기 다른 위치에 설치됨과 동시에 회전 가능하도록 설치됨으로써 안착지그(50)에 안착된 글라스(G)를 향하여 다종의 광신호들 및 다양한 각도로 조명을 제공할 수 있게 된다.
다시 말하면, 본 발명의 제1, 2, 3 조명모듈(53), (54), (55)들은 백색 광원소자(610)들을 포함하여, 도 14의 (a)에 도시된 바와 같이, 이미지를 획득할 수 있고, 이러한 백색광에 의한 이미지는 글라스(G)의 표면의 흠결에 대한 선명도가 높은 장점을 갖는다.
또한 본 발명의 제1, 2, 3 조명모듈(53), (54), (55)들은 IR 광원소자(620)들을 포함하여, 도 14의 (b)에 도시된 바와 같이, IR 이미지를 획득할 수 있고, 이러한 IR 이미지는 글라스(G)의 상부 표면뿐만 아니라 내부, 하부면의 흠결에 대해서도 선명도가 높은 장점을 갖는다.
도 15는 도 3의 촬영부를 나타내는 사시도이고, 도 16은 도 15의 분해사시도이고, 도 17은 도 15의 카메라에 구비된 광학렌즈를 나타내는 예시도이다.
도 15와 16의 촬영부(3)는 이동부(7)에 의해 기 설정된 위치(x, y)로 글라스(G)가 이송되어 조명부(5)의 제1, 2, 3 조명모듈(53), (54), (55)들에 의해 다종의 광신호가 출사되면, 컨트롤러(미도시)의 제어에 따라 안착지그(50)에 안착된 글라스(G)를 촬영하여 이미지를 획득하기 위한 수단이다. 이때 촬영부(3)에 의해 획득된 이미지는 컨트롤러(미도시)로 출력되고, 컨트롤러는 촬영부(3)로부터 입력된 이미지를 분석하여 기 설정된 검사-프로세스에 따른 개별항목에 대한 비전검사를 수행하게 된다.
또한 촬영부(3)는 도 15와 16에 도시된 바와 같이, 고정플레이트(91)의 최전방 상면에 설치되는 고정프레임(32)과, 고정프레임(32)에 결합되어 폭 방향으로의 이동체(331)를 이동시키는 이동수단(33)과, 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 포함하며 하부에 안착된 글라스(B)를 촬영하여 이미지를 획득하는 카메라(31)와, 카메라(31)의 상단부에 결합하여 카메라(31)를 전후방향으로 회전시키는 제1 회전수단(36)과, 제1 회전수단(36)과 결합하여 카메라(31) 및 제1 회전수단(36)을 폭 방향으로 회전시키는 제2 회전수단(35)과, 제2 회전수단(35)과 결합하여 카메라(31), 제1, 2 회전수단(36), (35)들을 수직 방향으로 승하강시키되, 후면이 이동수단(33)의 이동체(331)와 결합하여 이동체(331)의 이동에 따라 폭 방향으로 직선 이동하는 승하강수단(34)으로 이루어진다.
이와 같이 구성되는 촬영부(3)는 카메라(31)가 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 포함하여 제1, 2, 3 조명모듈(53), (54), (55)들에 의해 조사된 다종의 광신호들 각각에 대한 이미지들을 획득할 수 있고, 이에 따라 각 검사항목 시, 광신호 종류에 따른 다양한 이미지들을 획득할 수 있게 된다.
또한 카메라(31)는 이동수단(33)과 결합되어 이동수단(33)에 의해 폭 방향으로 이동 가능하도록 구성됨으로써 폭 방향으로 직선 이동 가능하게 된다.
또한 카메라(31)는 승하강수단(34)과 결합되어 승하강수단(34)에 의해 수직 방향으로 승하강 가능하도록 구성된다.
또한 카메라(31)는 제2 회전수단(35)과 결합되어 제2 회전수단(35)에 의해 전후방향으로 회전 가능하도록 구성된다.
또한 카메라(31)는 제1 회전수단(36)과 결합되어 제1 회전수단(36)에 의해 폭 방향으로 회전 가능하도록 구성된다.
즉 본 발명의 촬영부(3)의 카메라(31)는 폭 방향의 직선이동과, PTZ 제어가 가능하도록 구성됨으로써 기 설정된 검사-프로세스에 따른 각 검사항목별 검사 시, 현재 검사항목에 대응하여 위치 및 PTZ 제어를 최적화하여 비전검사를 수행함으로써 단일 세트(SET)로 다양한 검사항목들에 대한 비전검사가 가능하고, 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 구비하여 광신호 종류에 따른 이미지들을 획득할 수 있기 때문에 비전검사의 정밀도를 더욱 높일 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명의 일실시예인 광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치(1)는 각 조명모듈이 적어도 2종류 이상의 광신호를 출사하는 광원소자들을 구비함과 동시에 카메라가 다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 구비함으로써 다종의 광신호에 대한 이미지 획득이 가능하여 흠결(불량) 선별 및 추출의 정밀도 및 신뢰도를 획기적으로 높이기 위한 것이다.
또한 본 발명의 광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치(1)는 각 조명수단의 광원소자가 백색광을 출사하는 백색 광원소자들과, 적외선(IR)을 출사하는 적외선 광원소자들과, 자외선(UV)을 출사하는 자외선 광원소자들을 포함함으로써 단일 광신호의 이미지에서는 검출될 수 없었던 문제점을 획기적으로 해결할 수 있으며, 한 번의 스캔(Scan)으로 글라스의 상부, 하부 및 내부의 흠결을 동시에 선별 및 추출 가능하여, 공정시간 및 비용을 더욱 절감시킬 수 있다.
또한 본 발명의 광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치(1)는 카메라가 폭 방향으로의 직선 이동 및 PTZ(Pan-Tilt_Zoom) 제어가 가능함과 동시에 검사대상인 글라스(G)가 안착되는 안착지그가 전후방향으로 이동 가능하도록 구성됨으로써 단일 세트의 카메라 및 조명모듈들을 이용하여 치핑(Chipping), 크랙(Crack), 스크래치(Scratch), 덴트(Dent) 등의 다양한 검사항목들의 비전검사를 수행할 수 있기 때문에 공정라인 및 설계를 간소화 시킬 수 있을 뿐만 아니라 공정시간 및 비용을 현저히 절감시킬 수 있게 된다.
1:광학렌즈를 이용한 글라스 이물 검사장치
3:촬영부 5:조명부
7:이동부 9:본체
31:카메라 32:고정프레임
33:이동수단 34:승하강수단
35:제2 회전수단 36:제1 회전수단
50:안착지그 51, 52:기본프레임들
53:제1 조명모듈 54:제2 조명모듈
55:제3 조명모듈 70:구동모터
71:메인 가이드레일 72, 73:보조 가이드레일들
75:링크체인 79:이동플레이트
91:고정플레이트 610:백색 광원소자들
620:IR 광원소자들 630:UV 광원소자들

Claims (7)

  1. 판재 형상의 고정플레이트와, 검사대상이 안착되는 안착지그와, 상기 고정플레이트에 결합되어 상기 안착지그를 이동시키는 이동부와, 상기 이동부에 의해 이송된 안착지그의 글라스(G)로 조명을 출사하는 조명모듈들을 포함하는 조명부와, 카메라를 포함하며 상기 조명부에 의해 글라스(G)로 조명이 출사되면, 상기 카메라가 글라스(G)를 촬영하여 이미지를 획득하는 촬영부를 포함하는 글라스 이물 검사장치에 있어서:
    각 조명모듈은
    적어도 2종류 이상의 광신호들을 출사하는 광원소자들을 포함하고,
    상기 카메라는
    다이크로익 필터(Dichroic Fillter)로 코팅된 광학렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 이물 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 조명모듈은
    백색광을 출사하는 백색광 광원소자들;
    적외선(IR)을 출사하는 IR 광원소자들;
    자외선(UV)을 출사하는 UV 광원소자들을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 이물 검사장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 촬영부는
    상기 카메라;
    상기 카메라의 상부에 결합하여 상기 카메라를 전후방향으로 회전시키는 제1 회전수단;
    상기 제1 회전수단에 결합하여 상기 카메라를 폭 방향으로 회전시키는 제2 회전수단;
    상기 제2 회전수단에 결합하여 상기 카메라를 수직 방향으로 승하강시키는 승하강수단;
    상기 고정플레이트에 결합하여 상기 승하강수단을 지지하는 고정프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 이물 검사장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 촬영부는
    상기 고정프레임의 내측면에 설치되어 상기 승하강수단에 결합하며, 상기 승하강수단을 폭 방향으로 이동시키는 이동수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 이물 검사장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 조명부는
    ‘Π’자 형상으로 조립되는 프레임들로 이루어져 상기 고정플레이트의 상면에 전후방향으로 이격되게 설치되는 기본프레임들;
    상기 기본프레임들 각각에 설치되어 글라스(G)가 기 설정된 위치(x, y)로 이동할 때, 글라스(G)를 향하여 적외선(IR)을 출사하는 제1 조명모듈 및 제2 조명모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 이물 검사장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 조명부는
    상기 안착지그의 일측에 설치되어 상기 안착지그에 안착된 글라스(B)로 적외선(IR)을 출사하는 제3 조명모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 이물 검사장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 글라스 이물 검사장치는
    검사항목별로 상기 카메라의 포커싱 배율 최적값, 폭 방향의 회전각도 최적값 및 전후방향의 회전각도 최적값과, 상기 안착지그의 위치 최적값이 기 설정되어 저장되며, 상기 카메라의 촬영에 의해 획득된 이미지를 분석하여 비전검사를 수행하며, 기 설정된 검사-프로세스에 따라 비전검사를 수행하되, 각 검사항목별 비전검사 시, 해당 검사항목에 대응하는 상기 카메라의 포커싱 배율 최적값, 폭 방향의 회전각도 최적값 및 전후방향의 회전각도 최적값과, 상기 안착지그의 위치 최적값을 갖도록 상기 촬영부 및 상기 이동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 글라스 이물 검사장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101416860B1 (ko) * 2013-05-09 2014-07-09 한국영상기술(주) 카메라 렌즈 모듈 이물 검사 시스템
KR101743477B1 (ko) * 2015-12-29 2017-06-07 (주)진성이엔지 디스플레이 글라스 비전 검사장치
KR101755615B1 (ko) * 2016-11-14 2017-07-19 주식회사 인스풀 광학 장치 및 이를 포함하는 광학 검사 장치
KR101800088B1 (ko) * 2015-12-07 2017-11-23 (주)이즈미디어 카메라 모듈의 검사장치
KR102199313B1 (ko) * 2018-12-19 2021-01-06 (주) 인텍플러스 커버 글라스 검사장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101416860B1 (ko) * 2013-05-09 2014-07-09 한국영상기술(주) 카메라 렌즈 모듈 이물 검사 시스템
KR101800088B1 (ko) * 2015-12-07 2017-11-23 (주)이즈미디어 카메라 모듈의 검사장치
KR101743477B1 (ko) * 2015-12-29 2017-06-07 (주)진성이엔지 디스플레이 글라스 비전 검사장치
KR101755615B1 (ko) * 2016-11-14 2017-07-19 주식회사 인스풀 광학 장치 및 이를 포함하는 광학 검사 장치
KR102199313B1 (ko) * 2018-12-19 2021-01-06 (주) 인텍플러스 커버 글라스 검사장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116773522A (zh) * 2023-08-17 2023-09-19 辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司 一种石英制品视觉检测设备及其检测方法
CN116773522B (zh) * 2023-08-17 2023-10-27 辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司 一种石英制品视觉检测设备及其检测方法

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