KR102350673B1

KR102350673B1 - 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈

Info

Publication number: KR102350673B1
Application number: KR1020210029460A
Authority: KR
Inventors: 장조셉
Original assignee: (주)볼타오토메이션
Priority date: 2021-03-05
Filing date: 2021-03-05
Publication date: 2022-01-12

Abstract

본 발명은 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈에 관한 것으로서, 트랜스퍼챔버의 트윈 프로세스챔버(twin process chamber)에 웨이퍼를 동시에 이송하기 위해 하나의 이송로봇에 4개의 블레이드(quad blade)를 장착하는 추세에 대응하여, 기존 3축 모터 개수에서 모터 개수를 증가시키지 않은 채 왼쪽 링크암 유닛(left link-arm unit)과 오른쪽 링크암 유닛(right link-arm unit)을 상호 부딪힘 없이 연동되도록 제어함으로써, 전체 설비를 줄이고, 이를 통해 트랜스퍼챔버의 내부 공간의 증가를 방지함에 따라 내부 진공 유지를 위한 진공펌프의 부하를 유지 또는 저감할 수 있다.

Description

반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈{ROBOT HAVING DUAL-TYPE TRANSFER-ARM}

본 발명은 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 트랜스퍼챔버의 트윈 프로세스챔버(twin process chamber)에 웨이퍼를 동시에 이송하기 위해 하나의 이송로봇에 4개의 블레이드(quad blade)를 장착하는 추세에 대응하여, 기존 3축 모터 개수에서 모터 개수를 증가시키지 않은 채 왼쪽 링크암 유닛(left link-arm unit)과 오른쪽 링크암 유닛(right link-arm unit)을 상호 부딪힘 없이 연동되도록 제어함으로써, 전체 설비를 줄이고, 이를 통해 트랜스퍼챔버의 내부 공간의 증가를 방지함에 따라 내부 진공 유지를 위한 진공펌프의 부하를 유지 또는 저감하고자 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈에 관한 것이다.

반도체 소자 제조용 설비에서 웨이퍼를 이송하기 위한 진공로봇은 진공 챔버(chamber) 내에서 웨이퍼 또는 LCD기판을 핸들링(handling)하기 위해 로드 락 챔버(load lock chamber) 등과 같은 공정 챔버 내에 설치되고 있다.

특히, 반도체 소자 제조 공정은 웨이퍼 상에 증착, 식각, 이온주입, 노광, 현상, 그리고 세정 공정 등의 다양한 단위 공정들을 수행하여 반도체 소자를 제조한다. 이때, 웨이퍼 이송용 진공로봇은 듀얼 암 각각에 듀얼 블레이드를 구비한 쿼드 암(quad arm)을 이용하여 로드락 챔버와 공정챔버 등 공정챔버 간 웨이퍼 이송역할을 한다.

이때, 기존의 3축 DD 동축모터 구조로 트윈 챔버(twin chamber) 사각챔버 또는 트윈 챔버용 12 공정챔버에 대응하기 위해, 최상측 링크(3rd link)는 하나에 블레이드 2개가 구비되어 웨이퍼를 반송하다보니, 좌우 블레이드(blade)가 같이 움직이는 제약이 있습니다.

그래서, AWC(Auto Wafer Centering) 보정은 어느 한쪽 블레이드를 기준으로 진행되거나, 또는 좌우 블레이드를 순차적으로 보정(mapping, placing) 작업을 행하고 있습니다.

이 경우, 현장 작업자는 로봇업체 사양에 맞춰야 하는 불편한 현실이 안고 있다.

현재, 트윈 챔버(twin chamber) 사각챔버에 로봇 암을 4개로 늘려, 좌우가 완전 또는 일부분 AWC가 보정 가능한 6축, 7축, 8축 으로 구성된 다양한 형태의 로봇이 제안되고 있다.

이 경우, 기존 3축 모터 개수는 로봇 암의 개수에 따라 증가시킬 수 있다.

그러나, 모터의 개수가 증가될 경우, 부품수가 늘어남에 따라 신뢰성이 저하되고, 고장율이 높아짐으로써 유지 보수비용이 증가할 뿐만 아니라, 로봇 바디 전체가 진공챔버 내부에 장착해야 하는 리니어 챔버(linear chamber)의 경우, 내부 진공을 실현하기 위해 진공펌프의 부하가 증가하고, 전력소모량이 증가하게 되는 문제점이 있다.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.

관련기술로는 대한민국 공개특허 제10-2011-0063132호(공개일: 2011.06.10. 발명의 명칭: 복수 개의 로봇암을 갖는 이송 로봇을 구비하는 기판처리장치) 등이 제안된 바 있다.

상기한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 종래기술을 의미하는 것은 아니다.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 트랜스퍼챔버의 트윈 프로세스챔버(twin process chamber)에 웨이퍼를 동시에 이송하기 위해 하나의 이송로봇에 4개의 블레이드(quad blade)를 장착하는 추세에 대응하여, 기존 3축 모터 개수에서 모터 개수를 증가시키지 않은 채 왼쪽 링크암 유닛(left link-arm unit)과 오른쪽 링크암 유닛(right link-arm unit)을 상호 부딪힘 없이 연동되도록 제어함으로써, 전체 설비를 줄이면서 4개의 블레이드가 상호 간섭되지 않도록 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 기존 3축 모터를 유지하면서 4개의 블레이드를 전후진 작동하도록 제어함에 따라, 트랜스퍼챔버의 내부 공간의 증가를 방지함으로써, 내부 진공 유지를 위한 진공펌프의 부하를 유지 또는 저감하고자 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈은: 평면상 양방향 회동 가능하도록 제 1구동모터에 연결되는 베이스링크암; 상기 베이스링크암의 상면 일측에 구비되고, 평면상 상기 베이스링크암의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 제 3구동모터와 연결되는 어퍼팔로우링크암; 상기 베이스링크암의 상면 타측에 구비되고, 평면상 상기 베이스링크암의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 제 2구동모터와 연결되며, 높이 방향으로 상기 어퍼팔로우링크암보다 낮게 위치한 로어팔로우링크암; 상기 어퍼팔로우링크암의 상면 타측에 양방향 회동 가능하도록 구비되고, 상기 베이스링크암의 회동에 연동되어 회동되는 어퍼리드링크암; 상기 로어팔로우링크암의 상면 타측에 양방향 회동 가능하게 구비되고, 상기 베이스링크암의 회동에 연동되어 회동되는 로어리드링크암; 및 구동원의 개수를 줄이기 위해, 상기 베이스링크암의 회동 방향에 따라, 상기 어퍼팔로우링크암, 상기 로어팔로우링크암, 어퍼리드링크암, 상기 로어리드링크암을 상호 부딪힘이 방지되도록 상호 설정 궤적만큼 회동 안내하는 연동작동부를 포함한다.

상기 어퍼팔로우링크암은 레프트어퍼리드링크암과 라이트어퍼리드링크암을 동시에 회동 가능하게 구비하고, 상기 로어팔로우링크암은 레프트로어리드링크암과 라이트로어리드링크암을 동시에 회동 가능하게 구비한다.

상기 연동작동부는, 상기 베이스링크암의 내부에 회전 가능하게 구비되는 센터베이스어퍼풀리; 상기 베이스링크암의 내부에서, 상기 센터베이스어퍼풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되는 센터베이스로어풀리; 제 1구동모터의 구동력을 전달받아 상기 베이스링크암을 양방향 회동시키는 제 1드라이브샤프트; 제 2구동모터의 구동력을 전달받아 상기 센터베이스로어풀리를 양방향 회동 안내하는 제 2드라이브샤프트; 제 3구동모터의 구동력을 전달받아 상기 센터베이스어퍼풀리를 양방향 회동 안내하는 제 3드라이브샤프트; 상기 베이스링크암이 양방향으로 회전시, 상기 어퍼팔로우링크암과 상기 레프트어퍼리드링크암과 상기 라이트어퍼리드링크암을 설정 방향으로 회전시키는 레프트구동부; 및 베이스링크암이 양방향으로 회동시, 상기 로어팔로우링크암과 상기 레프트로어리드링크암과 상기 라이트로어리드링크암을 설정 방향으로 회전 안내하는 라이트구동부를 포함한다.

상기 제 2드라이브샤프트는 상기 제 1드라이브샤프트에 축 삽입되고, 상기 제 3드라이브샤프트는 상기 제 2드라이브샤프트에 축 삽입되는 것을 특징으로 한다.

상기 레프트어퍼리드링크암과 상기 라이트어퍼리드링크암이 전진 이송시, 상기 라이트구동부는 상기 로어팔로우링크암, 또는 상기 로어팔로우링크암과 상기 레프트로어리드링크암 및 상기 라이트로어리드링크암을 일방향으로 회전시키는 것을 특징으로 한다.

상기 레프트로어리드링크암과 상기 라이트로어리드링크암이 전진 이송시, 상기 레프트구동부는 상기 어퍼팔로우링크암, 또는 상기 어퍼팔로우링크암과 상기 레프트어퍼리드링크암 및 상기 라이트어퍼리드링크암을 타방향으로 회전시키는 것을 특징으로 한다.

상기 레프트구동부는, 상기 베이스링크암의 타측에 회전 가능하게 구비되는 레프트엔드베이스풀리; 상기 센터베이스로어풀리와 상기 레프트엔드베이스풀리를 반대방향으로 회전 안내하도록 연결하는 레프트역회전연결부; 상기 베이스링크암의 타측에서, 상기 레프트엔드베이스풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되는 레프트커넥팅베이스풀리; 상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 레프트커넥팅베이스풀리를 동일방향으로 회전 안내하도록 연결하는 레프트베이스정회전연결부; 상기 어퍼팔로우링크암의 타측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 레프트엔드베이스풀리에 구속되는 레프트엔드팔로우풀리; 상기 어퍼팔로우링크암의 타측에서 상기 레프트엔드팔로우풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 상기 베이스링크암에 구속되는 레프트커넥팅팔로우풀리; 상기 어퍼팔로우링크암의 일측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 레프트엔드팔로우풀리와 동일한 방향으로 회전되도록 연결되며, 라이트어퍼리드링크암이 동일 방향으로 회전되도록 안내하는 레프트로어팔로우풀리; 및 상기 어퍼팔로우링크암의 일측에서 상기 레프트로어팔로우풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 상기 레프트커넥팅팔로우풀리와 동일한 방향으로 회전되도록 연결되며, 레프트어퍼리드링크암을 동일한 방향으로 회전 안내하는 레프트어퍼팔로우풀리를 포함한다.

상기 레프트역회전연결부는, 상기 센터베이스로어풀리와 상기 레프트엔드베이스풀리를 대각 방향으로 연결하는 제 1레프트역회전벨트; 및 상기 제 1레프트역회전벨트와 교차되도록, 상기 센터베이스로어풀리와 상기 레프트엔드베이스풀리를 대각 방향으로 연결하는 제 2레프트역회전벨트를 포함한다.

상기 레프트베이스정회전연결부는, 상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 레프트커넥팅베이스풀리 사이에 배치되도록 상기 베이스링크암에 회전 가능하게 구비되는 레프트베이스아이들풀리; 상기 레프트커넥팅베이스풀리와 상기 레프트베이스아이들풀리를 연결하는 제 1레프트베이스벨트; 상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 레프트커넥팅베이스풀리를 연결하는 제 2레프트베이스벨트; 및 상기 레프트베이스아이들풀리와 상기 센터베이스어퍼풀리를 연결하는 제 3레프트베이스벨트를 포함한다.

상기 라이트구동부는, 상기 베이스링크암의 일측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 로어팔로우링크암을 구속하는 라이트엔드베이스풀리; 상기 센터베이스로어풀리와 상기 라이트엔드베이스풀리를 동일방향으로 회전 안내하도록 연결하는 라이트베이스정회전연결부; 상기 베이스링크암의 일측에서 상기 라이트엔드베이스풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되는 라이트커넥팅베이스풀리; 상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 라이트커넥팅베이스풀리를 반대방향으로 회전 안내하도록 연결하는 라이트역회전연결부; 상기 로어팔로우링크암의 일측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 베이스링크암에 구속되는 라이트엔드팔로우풀리; 상기 로어팔로우링크암에서 상기 라이트엔드팔로우풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 상기 라이트커넥팅베이스풀리에 구속되는 라이트커넥팅팔로우풀리; 상기 로어팔로우링크암의 타측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 라이트엔드팔로우풀리와 동일 방향으로 회전되도록 연결되며, 라이트로어리드링크암을 동일 방향으로 회전되도록 연결하는 라이트로어팔로우풀리; 및 상기 로어팔로우링크암의 타측에서 상기 라이트로어팔로우풀리와 별개로 회전되도록 구비되고, 상기 라이트커넥팅팔로우풀리와 동일 방향으로 회전되도록 연결되며, 레프트로어리드링크암을 동일 방향으로 회전되도록 연결하는 라이트어퍼팔로우풀리를 포함한다.

상기 라이트베이스정회전연결부는, 상기 센터베이스로어풀리와 상기 라이트엔드베이스풀리 사이에 배치되도록 상기 베이스링크암에 회전 가능하게 구비되는 라이트베이스아이들풀리; 상기 라이트엔드베이스풀리와 상기 라이트베이스아이들풀리를 연결하는 제 1라이트베이스벨트; 상기 센터베이스로어풀리와 상기 라이트엔드베이스풀리를 연결하는 제 2라이트베이스벨트; 및 상기 라이트베이스아이들풀리와 상기 센터베이스로어풀리를 연결하는 제 3라이트베이스벨트를 포함한다.

상기 라이트역회전연결부는, 상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 라이트커넥팅베이스풀리를 대각 방향으로 연결하는 제 1라이트역회전벨트; 및 상기 제 1라이트역회전벨트와 교차되도록, 상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 라이트커넥팅베이스풀리를 대각 방향으로 연결하는 제 2라이트역회전벨트를 포함한다.

상기 베이스링크암, 상기 어퍼팔로우링크암, 상기 로어팔로우링크암, 상기 어퍼리드링크암 및 상기 로어리드링크암은 트랜스퍼챔버의 내부에 구비되고, 상기 제 1구동모터, 상기 제 2구동모터 및 상기 제 3구동모터는 적층된 채 바디 내부에 구비되는 것을 특징으로 한다.

상기 바디는, 상기 트랜스퍼챔버의 내부와 연결된 채 외부로 노출되도록 구비될 경우, 상기 트랜스퍼챔버의 외측에 연결되는 하우징에서 직선 왕복 이동 가능하게 구비되는 것을 특징으로 한다.

상기 바디는, 상기 트랜스퍼챔버의 내부에 구비될 경우 상기 트랜스퍼챔버의 바닥면에서 직선 왕복 이동 가능하게 구비되고, 상기 트랜스퍼챔버의 외측으로 개방되는 케이블링크암에 연결되는 것을 특징으로 한다.

상기 제 1구동모터, 상기 제 2구동모터 및 상기 제 3구동모터 중 최상측에 위치한 모터의 상측면과 상기 바디의 상부 하측면 사이는 벨로즈 씰링부재로 밀폐되는 것을 특징으로 한다.

상기 제 1구동모터, 상기 제 2구동모터 및 상기 제 3구동모터는 Z축모터의 구동에 의해 높이 방향으로 위치 조절되는 것을 특징으로 한다.

상기 라이트역회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스어퍼풀리의 하단부 직경은 상기 레프트베이스정회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스어퍼풀리의 상단부 직경보다 작은 것을 특징으로 한다.

상기 라이트역회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스어퍼풀리의 하단부 직경은 상기 라이트커넥팅베이스풀리의 직경보다 큰 것을 특징으로 한다.

상기 레프트로어리드링크암과 상기 라이트로어리드링크암이 전진에 연동되어 상기 라이트어퍼리드리드링크암의 라이트어퍼블레이드가 상기 레프트어퍼리드링크암의 레프트어퍼블레이드 방향으로 회전되는 것을 특징으로 한다.

상기 센터베이스로어풀리의 하단부 직경은 상기 라이트어퍼블레이드의 기판과 상기 레프트어퍼블레이드의 기판이 서로 부딪히지 않는 범위 내에서 결정되는 것을 특징으로 한다.

상기 레프트역회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스로어풀리의 상단부 직경은 상기 라이트베이스정회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스로어풀리의 하단부 직경보다 작은 것을 특징으로 한다.

상기 레프트역회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스어퍼풀리의 상단부 직경은 상기 레프트커엔드베이스풀리의 직경보다 큰 것을 특징으로한다.

상기 센터베이스로어풀리의 상단부 직경은 상기 라이트어퍼블레이드의 기판과 상기 레프트어퍼블레이드의 기판이 서로 부딪히지 않는 범위 내에서 결정되는 것을 특징으로 한다.

상기 레프트어퍼리드링크암과 상기 라이트어퍼리드링크암이 전진에 연동되어 상기 라이트로어리드리드링크암의 라이트로어블레이드가 상기 레프트로어리드링크암의 레프트로어블레이드 방향으로 회전되는 것을 특징으로 한다.

상기 라이트로어리딩암과 라이트로어블레이드는 상기 레프트로어리딩암과 별개로 회전할 때 상기 어퍼팔로어링크암이 회전하는 것을 특징으로 한다.

상기 라이트어퍼리딩암이과 라이트어퍼블레이드는 상기 레프트어퍼리딩암과 별개로 회전할 때 상기 로어팔로어링크암이 회전하는 것을 특징으로 한다.

상기 어퍼리드링크암에 구비되는 어퍼블레이드와 상기 로어리드링크암에 구비되는 로어블레이드는, 기판의 중심 보정(auto wafer centering)을 실시하기 위해, 상기 어퍼블레이드의 전진 이송 방향에 대해 직교방향으로 리니어 모터 모듈을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 센터베이스어퍼풀리의 직경과 상기 센터베이스로어풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 한다.

상기 레프트엔드베이스풀리의 직경과 상기 레프트커넥팅베이스풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 한다.

상기 라이트엔드베이스풀리의 직경과 상기 라이트커넥팅베이스풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 한다.

상기 레프트엔드팔로우풀리의 직경과 상기 레프트커넥팅팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 한다.

상기 라이트엔드팔로우풀리의 직경과 상기 라이트커넥팅팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 한다.

상기 레프트로어팔로우풀리의 직경과 상기 레프트어퍼팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 한다.

상기 라이트로어팔로우풀리의 직경과 상기 라이트어퍼팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 요부 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 요부 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 확대 단면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송암모듈의 작동도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 단면도이다.
도 10 내지 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 AWC 보정 관계식이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 AWC 보정 관계식에 의한 작동도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 실시예들을 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 요부 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 요부 정면도이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 확대 단면도이다.

도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송암모듈의 작동도이다.

도 10 내지 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 AWC 보정 관계식이다.

도 13 및 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 AWC 보정 관계식에 의한 작동도이다.

도 1 내지 도 7, 도 10 내지 도 14을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇(100)은 기판(10)의 반송(이송) 양(개수)을 증가시키기 위해 쿼드 블레이드(quad blade) 타입의 반송암모듈(300)을 적용한다. 그래서, 반송암모듈(300)은 어퍼암(320,340,350) 및 로어암(330,360,370)이 번갈아가며 기판(10)을 2개씩 트랜스퍼챔버(20)의 둘레면에 개방된 개방구(22)를 통해 프로세스챔버(30)로 반송하게 된다.

특히, 프로세스챔버(30)는 쿼드 블레이드가 각각 기판(10)을 이송(로딩, 언로딩)할 수 있도록 듀얼 챔버로 이루어진다. 그리고, 프로세스챔버(30)의 듀얼 챔버 각각은 기판(10)을 올려놓을 수 있도록 범퍼(32)를 구비한다.

아울러, 트랜스퍼챔버(20)는 평면상 다각 형상인 클러스터타입, 및 장방형으로 대략 직사각 형상인 리니어타입 등 다양하게 적용 가능하다. 트랜스퍼챔버(20)가 클러스터타입일 경우, 반송로봇(100)은 위치 고정된다. 그리고, 트랜스퍼챔버(20)가 리니어타입일 경우, 반송로봇(100)은 왕복 이동 가능하게 구비된다.

물론, 반송로봇(100)이 리니어타입의 트랜스퍼챔버(20) 내부에서 위치 고정되게 구비될 수도 있다. 이때, 반송로봇(100)은 리니어타입의 트랜스퍼챔버(20) 내부에 복수 개 구비될 수 있다.

본 실시예에서는, 트랜스퍼챔버(20)가 리니어타입인 것으로 도시한다.

아울러, 프로세스챔버(30)는 로드락챔버나 공정챔버 등 다양한 스테이션으로 적용 가능하다.

그리고, 트랜스퍼챔버(20)와 프로세스챔버(30)를 연결하는 개방구(22)는 트랜스퍼챔버(20)와 프로세스챔버(30) 내부의 진공 유지 등을 위해 높이가 최소화되는 추세이다.

그래서, 본 발명에 따른 반송암모듈(300)은 Z방향에 해당되는 높이가 개방구(22)의 높이 이내가 되도록 제작된다. 아울러, 반송암모듈(300)은 한 쌍씩 이루어진 쿼드 블레이드의 상호 간섭이 발생되지 않도록 제어된다.

상세히, 반송암모듈(300)은 트랜스퍼챔버(20) 내부에서 바디(200)에 의해 지지된다.

바디(200)는 트랜스퍼챔버(20) 내부에 고정되거나, 또는 리니어 모터 모듈(210)에 왕복 이동 가능하게 구비된다. 이때, 리니어 모터 모듈(210)은 리니어 가이드 레일 및 리니어 모터 등으로 이루어진다. 물론, 바디(200)는 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.

그리고, 반송암모듈(300)은 3축 및 쿼드 블레이드로 크게 이루어진다.

즉, 반송암모듈(300)은 베이스링크암(310), 어퍼팔로우링크암(320), 로어팔로우링크암(330), 어퍼리드링크암(340,350) 및 로어리드링크암(360,370) 및 연동작동부(400)를 포함한다.

이때, 어퍼리드링크암(340,350)은 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)으로 구성된다.

마찬가지로, 로어리드링크암(360,370)은 레프트로어리드링크암(360)과 라이트로어리드링크암(370)으로 구성된다.

아울러, 레프트어퍼리드링크암(340)은 레프트어퍼블레이드(342)를 구비하고, 라이트어퍼리드링크암(350)은 라이트어퍼블레이드(352)를 구비한다. 이때, 개방구(22)의 높이가 최소화 추세임에 따라, 레프트어퍼리드링크암(340)과 레프트어퍼블레이드(342)는 동일 평면상에 위치하고, 라이트어퍼리드링크암(350)과 라이트어퍼블레이드(352)는 동일 평면상에 위치한다.

그리고, 레프트로어리드링크암(360)은 레프트로어블레이드(362)를 회전 가능하게 구비하고, 라이트로어리드링크암(370)은 라이트로어블레이드(372)를 회전 가능하게 구비한다. 마찬가지로, 레프트로어리드링크암(360)과 레프트로어블레이드(362)는 동일 평면상에 배치되고, 라이트로어리드링크암(370)과 라이트로어블레이드(372)는 동일 평면상에 배치된다.

특히, 본 발명에 따른 반송암모듈(300)은 어퍼팔로우링크암(320)에 레프트어퍼리드링크암(340)과 레프트어퍼블레이드(342) 및 라이트어퍼리드링크암(350)과 라이트어퍼블레이드(352)를 구비하고, 로어팔로우링크암(330)에 레프트로어리드링크암(360)과 레프트로어블레이드(362) 및 라이트로어리드링크암(370)과 라이트로어블레이드(372)를 구비함으로써, 쿼드 블레이드(quad blade)를 구성하게 된다.

한편, 베이스링크암(310)은 평면상 양방향 회동 가능하도록 제 1구동모터(432)에 연결된다.

특히, 베이스링크암(310)은 바디(200)의 상부에 위치하고, 후술할, 제 1드라이브샤프트(430)에 직접적으로 연결된다. 그리고, 제 1구동모터(432)는 제 1드라이브샤프트(430)가 양방향 회전되도록 구동한다.

이에 따라, 베이스링크암(310)은 제 1드라이브샤프트(430)를 기준으로 평면상 양방향 회전 가능하게 구비된다.

이때, 베이스링크암(310)은 반송암모듈(300)의 전체 높이를 최소화하기 위해 평판 형상으로 이루어진다.

또한, 어퍼팔로우링크암(320)은 베이스링크암(310)의 상면 일측에 구비되고, 평면상 베이스링크암(310)의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 제 3구동모터(452)와 연결된다.

즉, 어퍼팔로우링크암(320)은 제 1드라이브샤프트(430)와 연결되는 베이스링크암(310)의 해당 부분(대략 중심)에 대해 편심되도록, 베이스링크암(310)의 상면 일측에 구비된다.

그리고, 어퍼팔로우링크암(320)은 반송암모듈(300)의 전체 회동 궤적을 줄이기 위해, 평면상 베이스링크암(310)의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 작동된다.

특히, 베이스링크암(310)과 어퍼팔로우링크암(320)은 평면상 서로 반대 방향으로 회동되도록 제어된다.

물론, 어퍼팔로우링크암(320)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.

아울러, 로어팔로우링크암(330)은 베이스링크암(310)의 상면 타측에 구비되고, 평면상 베이스링크암(310)의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 제 2구동모터(442)와 연결되며, 높이 방향으로 어퍼팔로우링크암(320)보다 낮게 위치한다.

즉, 로어팔로우링크암(330)은 제 1드라이브샤프트(430)와 연결되는 베이스링크암(310)의 해당 부분(대략 중심)에 대해 편심되도록, 베이스링크암(310)의 상면 타측에 구비된다.

그리고, 로어팔로우링크암(330)은 반송암모듈(300)의 전체 회동 궤적을 줄이기 위해, 평면상 베이스링크암(310)의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 작동된다.

특히, 베이스링크암(310)과 로어팔로우링크암(330)은 동일 방향으로 회동되도록 제어된다. 이로써, 로어팔로우링크암(330)은 어퍼팔로우링크암(320)과 간섭이 발생되지 않는다.

한편, 로어팔로우링크암(330)은 Z방향인 높이 방향으로 어퍼팔로우링크암(320)보다 낮게 위치하도록 배치된다.

베이스링크암(310)이 일방향으로 회동시, 어퍼팔로우링크암(320)은 타방향으로 회동되고, 로어팔로우링크암(330)은 일방향으로 회동된다. 이때, 베이스링크암(310)에 대한 어퍼팔로우링크암(320)의 회전양이 베이스링크암(310)의 회전양보다 적다.

물론, 로어팔로우링크암(330)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.

한편, 어퍼리드링크암(340,350)은 어퍼팔로우링크암(320)의 상면 타측에 양방향 회동 가능하도록 구비된다. 이때, 어퍼팔로우링크암(320)은 축 방향을 따라 타측이 베이스링크암(310)에 회전 가능하게 연결된다.

아울러, 어퍼리드링크암(340,350)은 베이스링크암(310)의 회동에 연동되어 베이스링크암(310)과 동일 방향으로 회동된다.

특히, 어퍼리드링크암(340,350)은 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)으로 구성되는데, 레프트어퍼리드링크암(340)은 어퍼팔로우링크암(320)의 상면 타측에서 왼쪽(레프트) 방향으로 연장되고, 라이트어퍼리드링크암(350)은 어퍼팔로우링크암(320)의 상면 타측에서 오른쪽(라이트) 방향으로 연장된다.

이때, 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)은 서로 일체로 구비될 수도 있으나, 상호 분리되어 개별적으로 회동되는 것으로 한다.

물론, 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.

또한, 로어리드링크암(360,370)은 로어팔로우링크암(330)의 상면 타측에 양방향 회동 가능하게 구비된다.

이때, 로어팔로우링크암(330)은 축 방향을 따라 일측이 베이스링크암(310)에 회전 가능하게 연결된다.

아울러, 로어리드링크암(360,370)은 베이스링크암(310)의 회동에 연동되어 베이스링크암(310)과 동일 방향으로 회동된다. 즉, 로어리드링크암(360,370)을 구성하는 레프트로어리드링크암(360)과 라이트로어리드링크암(370)은 베이스링크암(310)의 회동 방향과 동일 방향으로 회동된다.

또한, 레프트어퍼리드링크암(340)은 레프트어퍼블레이드(342)를 구비한다. 라이트어퍼리드링크암(350)은 라이트어퍼블레이드(352)를 구비한다. 특히, 레프트어퍼블레이드(342)는 레프트어퍼리드링크암(340)에 일체로 연결되는 것으로 한다. 마찬가지로, 라이트어퍼블레이드(352)는 라이트어퍼리드링크암(350)에 일체로 연결된다.

레프트어퍼블레이드(342)와 라이트어퍼블레이드(352)는 각각 기판(10)을 대응되는 범퍼(32)에 이송하는 역할을 한다. 이때, 어퍼팔로우링크암(320)이 전진 작동시, 레프트어퍼블레이드(342)와 라이트어퍼블레이드(352)는 동시에 기판(10)을 이송하게 된다.

물론, 레프트어퍼리드링크암(340), 레프트어퍼블레이드(342), 라이트어퍼리드링크암(350) 및 라이트어퍼블레이드(352)는 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.

한편, 연동작동부(400)는 기존 대비 구동원(432,442,452)의 개수를 줄이거나 유지하도록 하여 구동원(432,442,452)의 개수 증가를 방지하기 위해, 베이스링크암(310)의 회동 방향에 따라, 어퍼팔로우링크암(320), 로어팔로우링크암(330), 어퍼리드링크암(340,350) 및 로어리드링크암(360,370)을 상호 부딪힘이 방지되도록 상호 설정 궤적만큼 회동 안내하는 역할을 한다.

즉, 연동작동부(400)에 의해, 어퍼팔로우링크암(320)은 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)을 동시에 회동 가능하게 구비하고, 로어팔로우링크암(330)은 레프트로어리드링크암(360)과 라이트로어리드링크암(370)을 동시에 회동 가능하게 구비한다.

이를 위해, 연동작동부(400)는, 센터베이스어퍼풀리(410), 센터베이스로어풀리(420), 제 1드라이브샤프트(430), 제 2드라이브샤프트(440), 제 3드라이브샤프트(450), 레프트구동부(500) 및 라이트구동부(600)를 구성한다.

센터베이스어퍼풀리(410)는 베이스링크암(310)의 내부 특히, 평면상 축 방향에 대해 대략 중앙에 회전 가능하게 구비된다.

그리고, 센터베이스로어풀리(420)는 베이스링크암(310)의 내부에서, 센터베이스어퍼풀리(410)와 별개로 회전 가능하게 구비된다.

이때, 베이스링크암(310)의 평면적이 최소화되도록, 센터베이스어퍼풀리(410)는 센터베이스로어풀리(420)에 적층된다. 아울러, 센터베이스어퍼풀리(410)와 센터베이스로어풀리(420)는 개별적으로 회전되도록 사이에 베어링 등을 배치한다.

제 1드라이브샤프트(430)는 제 1구동모터(432)의 구동력을 전달받아 베이스링크암(310)을 양방향 회동 안내하는 역할을 하고, 제 2드라이브샤프트(440)는 제 2구동모터(442)의 구동력을 전달받아 센터베이스로어풀리(420)를 양방향 회동 안내하는 역할을 하며, 제 3드라이브샤프트(450)는 제 3구동모터(452)의 구동력을 전달받아 센터베이스어퍼풀리(410)를 양방향 회동 안내하는 역할을 한다.

특히, 바디(200) 내부에서, 제 1드라이브샤프트(430)는 제 1구동모터(432)에 연결되고, 제 2드라이브샤프트(440)는 제 2구동모터(442)에 연결되며, 제 3드라이브샤프트(450)는 제 3구동모터(452)와 연결된다.

이때, 바디(200)의 부피가 최소화되도록, 제 2드라이브샤프트(440)는 제 1드라이브샤프트(430)에 축 삽입되고, 제 3드라이브샤프트(450)는 제 2드라이브샤프트(440)에 축 삽입된다.

또한, 레프트구동부(500)는 베이스링크암(310)이 일방향으로 회전시, 어퍼팔로우링크암(320)과 레프트어퍼리드링크암(340) 및 라이트어퍼리드링크암(350)을 설정 방향으로 회전시키는 역할을 한다. 이를 통해, 레프트어퍼리드링크암(340) 및 라이트어퍼리드링크암(350)은 레프트어퍼블레이드(342)와 라이트어퍼블레이드(352)를 함께 전진 이송한다.

이때, 레프트구동부(500)는 베이스링크암(310)이 일방향으로 회전시, 어퍼팔로우링크암(320)을 타방향으로 회전 안내하며, 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)을 일방향으로 회전 안내하며 전진 이송 유도한다.

마찬가지로, 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)이, 레프트어퍼블레이드(342)와 라이트어퍼블레이드(352)가 전진 후 다시 후진할 때는, 베이스링크암(310)에 연결된 제 1드라이브샤프트(430)가 제 1구동모터(432)에 의해 타방향으로 회전한다.

그리고, 라이트구동부(600)는 베이스링크암(310)이 타방향으로 회동시, 로어팔로우링크암(330)과 레프트로어리드링크암(360) 및 라이트로어리드링크암(370)을 설정 방향으로 회전시키는 역할을 한다. 이를 통해, 레프트로어리드링크암(360) 및 라이트로어리드링크암(370)은 레프트로어블레이드(362) 및 라이트로어블레이드(372)를 함께 전진 이송한다.

즉, 라이트구동부(600)는 베이스링크암(310)이 타방향으로 회전시, 로어팔로우링크암(330)을 일방향으로 회전 안내하며, 레프트로어리드링크암(360)과 라이트로어리드링크암(370)을 타방향으로 회전 안내하며 전진 이송 유도한다.

따라서, 레프트어퍼리드링크암(340)과 라이트어퍼리드링크암(350)이 어퍼팔로우링크암(320)에 대해 일방향으로 회전되면서 전진 이송시, 라이트구동부(600)는 로어팔로우링크암(330)을 일방향으로 회전하고 있는 베이스링크암(310)에 대해 회전하지 않도록 한다.

이때, 어퍼팔로우링크암(320)이 레프트로어리드링크암(360)과 라이트로어리드링크암(370)보다 상측에 배치된다. 그래서, 로어팔로우링크암(330)과 레프트로어리드링크암(360) 및 라이트로어리드링크암(370)은 베이스링크암(310)과 어퍼팔로우링크암(320)의 연결부위에 부딪히지 않게 된다.

아울러, 레프트로어리드링크암(360)과 라이트로어리드링크암(370)이 로어팔로우링크암(330)에 대해 타방향으로 회전되면서 전진 이송시, 레프트구동부(500)는 어퍼팔로우링크암(320)을 일방향으로 회전하고 있는 베이스링크암(310)에 대해 회전하지 않도록 한다.

이를 위해, 레프트구동부(500)는 레프트엔드베이스풀리(510), 레프트역회전연결부(520), 레프트커넥팅베이스풀리(530), 레프트베이스정회전연결부(540), 레프트엔드팔로우풀리(550), 레프트커넥팅팔로우풀리(560), 레프트로어팔로우풀리(570) 및 레프트어퍼팔로우풀리(580)로 구성된다.

레프트엔드베이스풀리(510)는 베이스링크암(310)의 축 방향에 대해 타측에 회전 가능하게 구비된다. 이때, 레프트엔드베이스풀리(510)는 베이스링크암(310)의 외측면에 회전 가능하게 구비될 수 있으나, 베이스링크암(310)의 내부에 회전 가능하게 구비되는 것으로 한다.

그리고, 레프트커넥팅베이스풀리(530)는 베이스링크암(310)의 타측에서, 레프트엔드베이스풀리(510)와 별개로 회전 가능하게 구비된다. 이때, 레프트커넥팅베이스풀리(530)는 베이스링크암(310)의 외측면에 회전 가능하게 구비될 수 있으나, 베이스링크암(310)의 내부에 회전 가능하게 구비되는 것으로 한다. 아울러, 레프트커넥팅베이스풀리(530)는 레프트엔드베이스풀리(510)의 상부에 적층된다.

또한, 레프트역회전연결부(520)는 센터베이스로어풀리(420)와 레프트엔드베이스풀리(510)를 반대방향으로 회전 안내하도록 연결하고, 레프트베이스정회전연결부(540)는 센터베이스어퍼풀리(410)와 레프트커넥팅베이스풀리(530)를 동일방향으로 회전 안내하도록 연결한다.

이로써, 제 2드라이브샤프트(440)와 제 3드라이브샤프트(450)가 동일 방향으로 회전되더라도, 레프트엔드베이스풀리(510)와 레프트커넥팅베이스풀리(530)는 상이한 방향으로 회전된다.

특히, 센터베이스로어풀리(420), 레프트엔드베이스풀리(510), 센터베이스어퍼풀리(410) 및 레프트커넥팅베이스풀리(530)의 회전량에 따라, 각각의 직경(크기)이 정해진다.

아울러, 레프트역회전연결부(520)는 센터베이스로어풀리(420)와 레프트엔드베이스풀리(510)를 대각 방향으로 연결하는 제 1레프트역회전벨트(522), 및 제 1레프트역회전벨트(522)와 교차되도록 센터베이스로어풀리(420)와 레프트엔드베이스풀리(510)를 대각 방향으로 연결하는 제 2레프트역회전벨트(524)로 이루어진다.

이때, 제 1레프트역회전벨트(522)와 제 2레프트역회전벨트(524)는 일체로 연결될 수도 있고, 서로 분리될 수도 있다.

제 1레프트역회전벨트(522)와 제 2레프트역회전벨트(524)가 상호 교차되도록 배치됨으로써, 레프트엔드베이스풀리(510)와 센터베이스로어풀리(420)는 서로 반대 방향으로 회전된다.

물론, 제 1레프트역회전벨트(522)와 제 2레프트역회전벨트(524)는 다양한 재질 및 다양한 형상으로 적용 가능하다.

이때, 레프트역회전연결부(520)가 연결되는 센터베이스로어풀리(420)의 상단부 직경비는 라이트정회전연결부(620)가 연결되는 센터베이스로어풀리(420)의 하단부 직경비보다 작게하고, 레프트엔드베이스풀리(510)의 직경보다 크게 선정한다. 즉, 레프트어퍼리드링크암(340) 및 라이트어퍼리드링크암(350)이 전진할 때, 레프트로어블레이드(362)가 라이트로어블레이드(372) 방향으로 회전하게 되는데, 기판(10)이 서로 부딪히지 않는 범위 내에서, 어퍼팔로우링크암(320)과 라이트로어블레이드(362)간의 간격 및 베이스링크암(310)과 라이트로어블레이드(362) 간의 간격을 확보하기 위해, 센터베이스로어풀리(420)의 상단부의 직경이 정해진다.

그리고, 레프트베이스정회전연결부(540)는 레프트베이스아이들풀리(542), 제 1레프트베이스벨트(544), 제 2레프트베이스벨트(546) 및 제 3레프트베이스벨트(548)로 이루어진다.

레프트베이스아이들풀리(542)는 센터베이스어퍼풀리(410)와 레프트커넥팅베이스풀리(530) 사이에 배치되도록 베이스링크암(310)에 회전 가능하게 구비된다.

제 1레프트베이스벨트(544)는 레프트커넥팅베이스풀리(530)의 둘레면에 일측이 일부 감긴 채 고정되고, 타측이 레프트베이스아이들풀리(542)의 둘레면에 일부 감긴 채 고정된다.

제 2레프트베이스벨트(546)는 센터베이스어퍼풀리(410)의 둘레면에 일측이 일부 감긴 채 고정되고, 레프트커넥팅베이스풀리(530)의 둘레면에 타측이 일부 감긴 채 고정된다.

아울러, 제 3레프트베이스벨트(548)는 레프트베이스아이들풀리(542)의 둘레면에 일측이 일부 감긴 채 고정되고, 센터베이스어퍼풀리(410)에 타측이 일부 감긴 채 고정된다.

그래서, 센터베이스어퍼풀리(410), 레프트커넥팅베이스풀리(530) 및 레프트베이스아이들풀리(542)는 제 3드라이브샤프트(450)와 동일 방향으로 회전된다.

이때, 아이들풀리가 구비되지 않고, 벨트가 센터베이스어퍼풀리(410)와 레프트커넥팅베이스풀리(530)를 감을 수도 있다. 이 경우, 3개의 벨트가 아닌 2개의 벨트를 감게 되지만, 센터베이스어퍼풀리(410)의 두께(높이)가 더 두꺼워진다. 본 실시예에서, 베이스링크암(310)의 두께를 줄이기 위해, 레프트베이스아이들풀리(542)를 사용한다. 그리고, 레프트베이스아이들풀리(542)의 직경은 레프트커넥팅베이스풀리(530)의 직경과 동일하다.

아울러, 센터베이스어퍼풀리(410), 레프트커넥팅베이스풀리(530) 및 레프트베이스아이들풀리(542)의 직경비는 어퍼팔로우링크암(320)의 회전각도와 레프트로어리드링크암(360)의 회전각도에 따라 설정된다.

그리고, 제 1레프트베이스벨트(544), 제 2레프트베이스벨트(546) 및 제 3레프트베이스벨트(548)는 내구성과 파티클 발생 방지를 위해 금속 재질로 이루어지고, 다양한 형상으로 변형 가능하다.

또한, 레프트엔드팔로우풀리(550)는 어퍼팔로우링크암(320)의 축 방향에 대해 타측에 회전 가능하게 구비되고, 레프트엔드베이스풀리(510)에 구속된다. 그래서, 레프트엔드팔로우풀리(550)는 레프트엔드베이스풀리(510)와 동일 방향으로 함께 회전된다. 이때, 레프트엔드팔로우풀리(550)와 레프트엔드베이스풀리(510)는 레프트엔드조인트(552)에 의해 상호 구속된다.

그리고, 레프트커넥팅팔로우풀리(560)는 어퍼팔로우링크암(320)의 축 방향에 대해 타측에서 레프트엔드팔로우풀리(550)와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 베이스링크암(310)에 구속된다.

이때, 어퍼팔로우링크암(320)의 평면적이 최소화되도록, 레프트커넥팅팔로우풀리(560)는 레프트엔드팔로우풀리(550)의 상부에 적층되게 배치된다.

특히, 레프트엔드팔로우풀리(550)와 레프트커넥팅팔로우풀리(560)는 어퍼팔로우링크암(320)의 내부에 회전 가능하게 구비된다. 이로써, 레프트엔드팔로우풀리(550)와 레프트커넥팅팔로우풀리(560)는 외부 환경으로부터 보호되고, 파티클[particle]이 발생되더라도 청정 진공 영역인 트랜스퍼챔버(20)의 내부로 전달되지 않게 된다.

아울러, 레프트커넥팅팔로우풀리(560)는 레프트커넥팅조인트(562)를 통해 베이스링크암(310)과 직접적으로 연결된다.

상세히, 레프트커넥팅조인트(562)는 레프트엔드조인트(552)의 내부에 축 삽입되고, 상측이 레프트커넥팅팔로우풀리(560)에 연결되며, 하측이 베이스링크암(310)의 내부 바닥면에 연결된다.

따라서, 레프트커넥팅팔로우풀리(560)는 베이스링크암(310)과 동일 방향으로 함께 회전된다.

레프트로어팔로우풀리(570)는 어퍼팔로우링크암(320)의 축 방향에 대해 일측에 회전 가능하게 구비되고, 레프트어퍼팔로우풀리(580)는 어퍼팔로우링크암(320)의 축 방향에 대해 일측에서 레프트로어팔로우풀리(570)와 별개로 회전 가능하게 구비된다.

이때, 레프트로어팔로우풀리(570)와 레프트어퍼팔로우풀리(580)는 어퍼팔로우링크암(320)의 내부에 구비되고, 상하 적층되게 배치된다.

그리고, 레프트로어팔로우풀리(570)는 레프트엔드팔로우풀리(550)와 동일 방향으로 회전되도록 레프트엔드팔로우풀리(550)에 연결되며, 레프트어퍼팔로우풀리(580)는 레프트커넥팅팔로우풀리(560)와 동일 방향으로 회전되도록 레프트커넥팅팔로우풀리(560)에 연결된다.

실시예로써, 어퍼팔로우링크암(320)은 내부에서 레프트엔드팔로우풀리(550)와 레프트로어팔로우풀리(570) 사이에 레프트로어아이들풀리(572)를 구비한다.

레프트엔드팔로우풀리(550), 레프트로어아이들풀리(572) 및 레프트로어팔로우풀리(570)는, 상술한 바와 같이, 3개의 벨트가 유기적으로 감기게 된다. 편의상, 3개의 벨트는 제 1레프트베이스벨트(544), 제 2레프트베이스벨트(546) 및 제 3레프트베이스벨트(548)와 동일한 도면부호를 부여한다.

그래서, 레프트로어팔로우풀리(570)는 레프트엔드팔로우풀리(550)와 동일한 방향으로 회전 안내된고, 일체로 연결된 라이트어퍼리드링크암(350)을 동일한 방향으로 회전 안내한다.

이때, 아이들풀리가 구비되지 않고, 벨트가 레프트엔드팔로우풀리(550)와 레프트로어팔로우풀리(570)를 감을 수도 있다. 이 경우 , 3개의 벨트가 아닌 2개로 벨트를 감게 되지만, 레프트로어팔로우풀리(570)의 두께가 더 커진다. 본 예시는 어퍼팔로우링크암(320)의 두께(높이)를 줄이기 위해 아이들풀리(572)를 사용한 것이다. 그리고, 레프트로어아이들풀리(572)의 직경은 레프트엔드팔로우풀리(550)의 직경과 동일하다.

아울러, 레프트어퍼팔로우풀리(580)는 레프트커넥팅팔로우풀리(560)와 동일한 방향으로 회전 안내되고, 일체로 연결된 레프트어퍼리드링크암(340)을 동일한 방향으로 회전 안내한다.

그리고, 어퍼팔로우링크암(320)은 내부에서 레프트커넥팅팔로우풀리(560)와 레프트어퍼팔로우풀리(580) 사이에 레프트어퍼아이들풀리(582)를 구비한다.

레프트커넥팅팔로우풀리(560), 레프트어퍼아이들풀리(582) 및 레프트어퍼팔로우풀리(580)는, 상술한 바와 같이, 3개의 벨트가 유기적으로 감기게 된다. 편의상, 3개의 벨트는 제 1레프트베이스벨트(544), 제 2레프트베이스벨트(546) 및 제 3레프트베이스벨트(548)와 동일한 도면부호를 부여한다.

그래서, 레프트어퍼팔로우풀리(580)는 레프트커넥팅팔로우풀리(560)와 동일한 방향으로 회전 안내되고, 일체로 연결된 레프트어퍼리드링크암(340)을 동일한 방향으로 회전 안내한다.

이때, 아이들풀리가 구비되지 않고, 벨트가 레프트팔로우풀리(560)와 레프트어퍼팔로우풀리(580)를 감을 수도 있다. 이 경우 , 3개의 벨트가 아닌 2개로 벨트를 감게 되고, 레프트팔로우풀리(560)의 두께가 더 커진다. 본 예시는 어퍼팔로우링크암(320)의 두께(높이)를 줄이기 위해 레프트어퍼아이들풀리(582)를 사용한 것이다. 그리고, 레프트어퍼아이들풀리(582)의 직경은 레프트커넉팅팔로우풀리(560)의 직경과 동일하다.

이로써, 레프트어퍼리드링크암(340)에 일체로 연결된 레프트어퍼블레이드(342)와, 라이트어퍼리드링크암(350)에 일체로 연결된 라이트어퍼블레이드(352)는 동일한 방향으로 회전된다.

한편, 라이트구동부(600)는 라이트엔드베이스풀리(610), 라이트베이스정회전연결부(620), 라이트커넥팅베이스풀리(630), 라이트역회전연결부(640), 라이트엔드팔로우풀리(650), 라이트커넥팅팔로우풀리(660), 라이트로어팔로우풀리(670) 및 라이트어퍼팔로우풀리(680)로 이루어진다.

라이트엔드베이스풀리(610)는 베이스링크암(310)의 축 방향에 대해 일측에 회전 가능하게 구비된다. 이때, 라이트엔드베이스풀리(610)는 베이스링크암(310)의 외측면에 회전 가능하게 구비될 수 있으나, 베이스링크암(310)의 내부에 회전 가능하게 구비되는 것으로 한다.

그리고, 라이트엔드베이스풀리(610)는 로어팔로우링크암(330)을 구속한다.

즉, 라이트엔드베이스풀리(610)는 센터베이스로어풀리(420)와 동일 방향으로 회전되도록 센터베이스로어풀리(420)에 연결되고, 라이트엔드조인트(612)에 의해 로어팔로우링크암(330)에 구속된다. 따라서, 제 2드라이브샤프트(440), 라이트엔드베이스풀리(610), 로어팔로우링크암(330)이 동일 방향으로 회전된다.

아울러, 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 베이스링크암(310)의 축 방향에 대해 일측에서 라이트엔드베이스풀리(610)와 별개로 회전 가능하게 구비된다.

이때, 베이스링크암(310)의 평면적이 최소화되도록, 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 라이트엔드베이스풀리(610)의 상부에 적층되게 배치된다.

특히, 라이트엔드베이스풀리(610)와 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 베이스링크암(310)의 내부에 회전 가능하게 구비된다.

그리고, 라이트베이스정회전연결부(620)는 센터베이스로어풀리(420)와 라이트엔드베이스풀리(610)를 동일방향으로 회전 안내하도록 연결한다.

라이트베이스정회전연결부(620)는 라이트베이스아이들풀리(622), 제 1라이트베이스벨트(624), 제 2라이트베이스벨트(626) 및 제 3라이트베이스벨트(628)로 이루어진다.

라이트베이스아이들풀리(622)는 센터베이스로어풀리(420)와 라이트엔드베이스풀리(610) 사이에 배치되도록 베이스링크암(310)에 회전 가능하게 구비된다.

제 1라이트베이스벨트(624)는 라이트엔드베이스풀리(610)의 둘레면에 일측이 일부 감긴 채 고정되고, 라이트베이스아이들풀리(622)의 둘레면에 타측이 일부 감긴 채 고정된다.

제 2라이트베이스벨트(626)는 센터베이스로어풀리(420)의 둘레면에 일측이 일부 감긴 채 고정되고, 라이트엔드베이스풀리(610)의 둘레면에 타측이 일부 감긴 채 고정된다.

아울러, 제 3라이트베이스벨트(628)는 라이트베이스아이들풀리(622)의 둘레면에 일측이 일부 감긴 채 고정되고, 센터베이스로어풀리(420)의 둘레면에 타측이 일부 감긴 채 고정된다.

그래서, 센터베이스로어풀리(420), 라이트베이스아이들풀리(622) 및 라이트엔드베이스풀리(610)는 제 2드라이브샤프트(440)와 동일 방향으로 회전된다.

이때, 아이들풀리가 구비되지 않고, 벨트가 센터베이스로어풀리(420)와 라이트엔드베이스풀리(610)를 감을 수도 있다. 이 경우, 3개의 벨트가 아닌 2개로 벨트를 감게 되지만, 센터베이스로어풀리(420)의 두께가 더 커진다. 본 예시는 베이스링크암(310)의 두께(높이)를 줄이기 위해, 라이트베이스아이들풀리(622)가 사용된다. 그리고, 라이트베이스아이들풀리(622)의 직경은 라이트엔드베이스풀리(610)의 직경과 동일하다.

그리고, 제 1라이트베이스벨트(624), 제 2라이트베이스벨트(626) 및 제 3라이트베이스벨트(628)는 내구성과 파티클 발생 방지를 위해 금속 재질로 이루어지고, 다양한 형상으로 변형 가능하다.

아울러, 센터베이스로어풀리(420), 라이트베이스아이들풀리(622) 및 라이트엔드베이스풀리(610)의 직경비는 로어팔로우링크암(330)의 회전각도에 따라 설정된다.

또한, 라이트역회전연결부(640)는 센터베이스어퍼풀리(410)와 라이트커넥팅베이스풀리(630)를 반대방향으로 회전 안내하도록 연결한다.

따라서, 라이트베이스정회전연결부(620)는 센터베이스로어풀리(420)와 라이트엔드베이스풀리(610)를 동일방향으로 회전 안내하고, 라이트역회전연결부(640)는 센터베이스어퍼풀리(410)와 라이트커넥팅베이스풀리(630)를 반대방향으로 회전 안내함에 따라, 제 2드라이브샤프트(440)와 제 3드라이브샤프트(450)가 동일 방향으로 회전되더라도, 라이트엔드베이스풀리(610)와 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 상이한 방향으로 회전된다.

특히, 센터베이스로어풀리(420), 라이트엔드베이스풀리(610), 센터베이스어퍼풀리(410) 및 라이트커넥팅베이스풀리(630)의 설정 회전량에 따라, 각각의 직경(크기)이 정해진다.

실시예로써, 라이트역회전연결부(640)는 제 1라이트역회전벨트(642) 및 제 2라이트역회전벨트(644)로 이루어진다.

제 1라이트역회전벨트(642)는 센터베이스어퍼풀리(410)와 라이트커넥팅베이스풀리(630)를 대각 방향으로 연결하고, 제 2라이트역회전벨트(644)는 제 1라이트역회전벨트(642)와 교차되도록 센터베이스어퍼풀리(410)와 라이트커넥팅베이스풀리(630)를 대각 방향으로 연결한다.

이때, 제 1라이트역회전벨트(642)와 제 2라이트역회전벨트(644)는 일체로 연결될 수도 있고, 서로 분리된 상태일 수도 있다.

제 1라이트역회전벨트(642)와 제 2라이트역회전벨트(644)가 상호 교차되도록 배치됨으로써, 센터베이스어퍼풀리(410)와 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 서로 반대 방향으로 회전된다.

물론, 제 1라이트역회전벨트(642)와 제 2라이트역회전벨트(644)는 다양한 재질 및 다양한 형상으로 적용 가능하다.

이때, 라이트역회전연결부(640)가 연결되는 센터베이스어퍼풀리(410)의 하단부 직경은 레프트베이스정회전연결부(540)가 연결되는 센터베이스어퍼풀리(410)의 상단부 직경보다 작고, 라이트커넥팅베이스풀리(630)의 직경보다 크다. 즉, 레프트로어리드링크암(360) 및 라이트로어리드링크암(370)이 전진할 때, 라이트어퍼블레이드(352)가 레프트어퍼블레이드(342) 방향으로 회전하게 되는데, 기판(10)이 서로 부딪히지 않는 범위 내에서 센터베이스로어풀리(410) 하단부 직경이 결정된다.

또한, 라이트엔드팔로우풀리(650)는 로어팔로우링크암(330)의 축 방향에 대해 일측에 회전 가능하게 구비되고, 베이스링크암(310)에 구속된다. 이때, 라이트엔드팔로우풀리(650)는 베이스링크암(310)의 일측 가장자리와 일체화된다. 그래서, 라이트엔드팔로우풀리(650)는 베이스링크암(310)과 동일 방향으로 함께 회전된다.

그리고, 라이트커넥팅팔로우풀리(660)는 로어팔로우링크암(330)의 내부에서 라이트엔드팔로우풀리(650)와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 라이트커넥팅베이스풀리(630)에 구속된다.

특히, 라이트엔드베이스풀리(610)는 라이트엔드조인트(612)에 의해 로어팔로우링크암(330)에 구속되고, 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 라이트커넥팅조인트(632)에 의해 라이트커넥팅팔로우풀리(660)에 구속된다.

이때, 라이트커넥팅팔로우풀리(660)는 라이트엔드조인트(612)에 축 삽입되고, 일측이 라이트엔드베이스풀리(610)에 연결되며, 타측이 로어팔로우링크암(330)의 내부 상측면에 연결된다.

따라서, 로어팔로우링크암(330)은 라이트엔드베이스풀리(610)와 동일 방향으로 함께 회전되고, 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 라이트커넥팅팔로우풀리(660)와 동일 방향으로 함께 회전된다.

라이트로어팔로우풀리(670)는 로어팔로우링크암(330)의 축 방향에 대해 타측에 회전 가능하게 구비되고, 라이트어퍼팔로우풀리(680)는 로어팔로우링크암(330)의 축 방향에 대해 타측에서 라이트로어팔로우풀리(670)와 별개로 회전 가능하게 구비된다.

이때, 라이트어퍼팔로우풀리(680)와 라이트로어팔로우풀리(670)는 로어팔로우링크암(330)의 내부에 구비되고, 상하 적층되게 배치된다.

그리고, 라이트로어팔로우풀리(670)는 라이트엔드팔로우풀리(650)에 연결되어 동일 방향으로 회전된다.

아울러, 라이트어퍼팔로우풀리(680)는 로어팔로우링크암(330)의 타측에서 라이트로어팔로우풀리(670)와 별개로 회전되도록 구비되고, 라이트커넥팅팔로우풀리(660)와 동일 방향으로 회전되도록 라이트커넥팅팔로우풀리(660)에 연결된다.

실시예로써, 로어팔로우링크암(330)은, 내부에서, 라이트로어팔로우풀리(670)와 라이트엔드팔로우풀리(650) 사이에 라이트로어아이들풀리(652)를 회전 가능하게 구비하고, 라이트어퍼팔로우풀리(680)와 라이트커넥팅팔로우풀리(660) 사이에 라이트어퍼아이들풀리(662)를 회전 가능하게 구비한다.

이때, 라이트로어팔로우풀리(670), 라이트로어아이들풀리(652) 및 라이트엔드팔로우풀리(650)는, 상술한 바와 같이, 3개의 벨트가 유기적으로 감기게 된다. 편의상, 3개의 벨트는 제 1레프트베이스벨트(544), 제 2레프트베이스벨트(546) 및 제 3레프트베이스벨트(548)와 동일한 방법으로 해당되는 풀리(670,652,650)를 감는다.

마찬가지로, 라이트어퍼팔로우풀리(680), 라이트어퍼아이들풀리(662) 및 라이트커넥팅팔로우풀리(660)는, 상술한 바와 같이, 3개의 벨트가 유기적으로 감기게 된다. 편의상, 3개의 벨트는 제 1레프트베이스벨트(544), 제 2레프트베이스벨트(546) 및 제 3레프트베이스벨트(548)와 동일한 방법으로 해당되는 풀리(680,662,660)를 감는다.

그래서, 라이트로어팔로우풀리(670)는 라이트엔드팔로우풀리(650)와 동일한 방향으로 회전되고, 일체로 연결된 레프트로어리드링크암(360)을 동일한 방향으로 회전 안내한다.

그리고, 라이트어퍼팔로우풀리(680)는 라이트커넥팅팔로우풀리(660)와 동일한 방향으로 회전되고, 일체로 연결된 라이트로어리드링크암(370)을 동일한 방향으로 회전 안내한다.

따라서, 제 2드라이브샤프트(440)가 일방향으로 회전시, 센터베이스로어풀리(420)는 일방향으로 회전되지만, 레프트엔드베이스풀리(510)는 타방향으로 회전됨과 동시에 라이트엔드베이스풀리(610)는 일방향으로 회전된다.

그리고, 제 3드라이브샤프트(450)가 일방향으로 회전시, 센터베이스어퍼풀리(410)는 일방향으로 회전되지만, 레프트커넥팅베이스풀리(530)는 일방향으로 회전됨과 동시에 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 타방향으로 회전된다.

이 후, 쌍을 이루는 레프트어퍼블레이드(342)와 라이트어퍼블레이드(352)가 초기 상태에서 전진 이송시 반송송암모듈(300)의 상호 작동이 설명되고, 쌍을 이루는 레프트로어블레이드(362)와 라이트로어블레이드(372)가 초기 상태에서 전진시 반송암 모듈의 상호 작동이 설명된다.

먼저, 레프트어퍼블레이드(342)와 라이트어퍼블레이드(352)가 초기 상태에서 전진 이송시, 제 1드라이브샤프트(430)와 제 2드라이브샤프트(440)가 각각 제 1구동모터(423)와 제 2구동모터(424)로부터 회전력을 전달받아 일방향으로 회전한다. 이때, 제 3드라이브샤프는(450)는 정지된 상태로 회전되지 않는다.

제 1드라이브샤프트(430)가 연결된 베이스링크암(310)과 제 2드라이브샤프트(440)가 연결된 센터베이스로어풀리(420)는 연동되어 회전하고 있기 때문에, 레프트엔드베이스풀리(510), 레프트커넥팅팔로우풀리(560), 및 레프트엔드팔로우풀리(550)는 모두 같이 회전한다. 이때, 제 3드라이브샤프트(450)가 연결된 센터베이스어퍼풀리(410), 레프트커넥팅베이스풀리(530)만 회전 작동이 되지 않는 상태임에 따라, 레프트커넥팅베이스풀리(530)와 센터베이스어퍼풀리(410)의 상단부 간 풀리 비율에 따라 어퍼팔로우링크암(320)는 타방향으로 회전한다. 본 예시는 풀리(530,410) 직경 비율이 2:1 것으로 한다.

어퍼팔로우링크암(320)이 타방향으로 회전 할 때, 레프트커넥팅팔로우풀리 (560)와 레프트엔드팔로우풀리(550)는 반대로 같이 일방향으로 회전하고 있는 상황이다. 이때, 레프트커넥팅팔로우풀리(560)와 레프트어퍼팔로우풀리(580) 간의 적절한 풀리 직경에 따라, 레프트엔드팔로우풀리(550)와 레프트로어팔로우풀리(570) 간의 적절한 풀리 직경에 따라, 레프트어퍼리드링크암(340), 레프트어퍼블레이드(342), 라이트어퍼리드링크암(350) 및 라이트어퍼블레이드(352)가 전진하게 된다. 본 예시는 대응되는 풀리의 직경 비율이 1:2 인 것으로 한다.

아울러, 레프트어퍼블레이드(342)와 라이트어퍼블레이드(352)가 직선 전진 이송시, 센터베이스어퍼풀리(410)과 라이트커넥팅베이스풀리(630) 사이에 연결된 라이트역회전연결부(640)로 인해, 레프트로어블레이드(362)가 라이트로어블레이드(372) 방향으로 센터베이스어퍼풀리(410)의 하단 직경과 라이트커넥팅베이스풀리(630)간 적절히 선정한 풀리 직경비율에 따라 회전한다.

레프트로어블레이드(362)와 라이트로어블레이드(372)가 초기 상태에서 전진 이송시, 제 1드라이브샤프트(430)와 제 3드라이브샤프트(450)가 각각 제 1구동모터(423)와 제 3구모터(425)로부터 회전력을 전달받아 타방향으로 회전한다. 이때, 제2드라이브샤프트(440)는 회전을 하지 않는 상태가 된다.

제 1드라이브샤프트(430)가 연결된 베이스링크암(310)과 제 3드라이브샤프트(450)가 연결된 센터베이스어퍼풀리(410)는 같이 타방향으로 회전하고 있기 때문에, 라이트커넥팅베이스풀리(630), 라이트커넥팅팔로우풀리(660) 및 라이트엔드팔로우풀리(650)는 모두 같이 회전한다. 이때, 제 2드라이브샤프(440)가 연결된 센터베이스로어풀리(420) 및 라이트엔트베이스풀리(610)만이 회전되지 않고 있어 라이트엔드베이스풀리(610)와 센터베이스로어풀리(420)의 하단부 간 풀리 직경비율에 따라 로어팔로우 링크암(330)이 일방향으로 회전한다. 본 예시는 풀리 비율을 2:1로 한다.

로어팔로우링크암(330)이 일방향으로 회전 할 때, 라이트커넥팅팔로우풀리(660)와 라이트엔드팔로우풀리(650)는 반대로 같이 타방향으로 회전하고 있는 상황이다. 이때, 라이트커넥팅팔로우풀리(660)와 라이트어퍼팔로우풀리(680)간의 적절한 풀리 직경에 따라, 라이트엔드팔로우풀리(650)와 라이트로어팔로우풀리(670)간의 적절한 풀리 직경에 따라, 레프트로어리드링크암(360, 레프트로어블레이드(362), 라이트로어리드링크암(370) 및 라이트로어블레이드(372)가 전진하게 된다. 본 예시는 각각 풀리 비율을 1:2 인 것으로 한다.

아울러, 레프트로어블레이드(362)와 라이트로어블레이드(372)가 직선 전진 이송시, 센터베이스로어풀리(420)와 레프트엔드베이스풀리(510) 사이에 연결된 레프트역회전연결부(520)로 인해, 라이트어퍼블레이드(352)가 레프트어퍼블레이드(342) 방향으로 센터베이스로어풀리(420)의 상단 직경과 레프트엔드베이스풀리(510)간의 적절히 선정한 풀리 직경비율에 따라 회전한다.

이 후에는, 라이트어퍼블레이드(352)가 레프트어퍼블레이드(342)의 전진 이송과 별개로 회전하는 작동원리에 대해 반송암모듈(300)의 상호 작동이 설명되고, 쌍을 이루는 라이트로어블레이드(372)가 레프트로어블레이드(362)의 전진 이송과 별개로 회전하는 작동원리에 대해 반송암모듈(300)의 상호 작동이 설명된다.

라이트어퍼블레이드(352)가 레프트어퍼블레이드(342)와 별개로 회전할 때 센터베이스로어풀리(420)가 회전을 한다. 센터베이스로어풀리는(420)가 타방향으로 회전할 때, 라이트어퍼블레이드(352)는 일방향으로 회전한다. 이때, 로어팔로우링크암(330)은 타방향으로 회전한다. 로어팔로우링크암(330)의 회전할 수 있는 최대 허용량은 각각의 해당 풀리(420,610)간 직경 비율에 따라 정해지고, 어퍼팔로우링크암(320)과 베이스링크암(310)을 잇는 연결부위가 레프트로어블레이드(362)와의 간섭 여부에 따라 결정된다.

반대로, 라이트로어블레이드(372)가 레프트로어블레이드(362)와 별개로 회전할 때, 센터베이스어퍼풀리(410)가 회전을 한다. 센터베이스로어풀리는(410) 타방향으로 회전할 때, 라이트로어블레이트(372))는 일방향으로 회전한다. 이때, 어퍼팔로우링크암(320)은 타방향으로 회전한다. 어퍼팔로우링크암(320)의 회전할 수 있는 최대 허용량은 각각의 해당 풀리(410,530)간 직경 비율에 따라 정해진다.

참고로, 본 예시에 국한하지 않고, 제조사와 고객사의 의향에 따라, 레프트어퍼리드링크암(340)과 레프트어퍼블레이드(342)가 레프트로어팔로우풀리(570)에 장착될 수 있고, 라이트어퍼리드링크암(350)과 라이트어퍼블레이드(352)가 레프트어퍼팔로우풀리(580)에 장착될 수 있다.

마찬가지로, 레프트로어리드링크암(360)과 레프트로어블레이드(362)가 라이트어퍼팔로우풀리(680)에 장착될 수 있고, 라이트로어리드링크암(370)과 라이트어퍼블레이드(372)가 라이트로어팔로우풀리(670)에 장착될 수 있다.

결과적으로, 센터베이스로어풀리(420)는 상단과 하단으로 나눠지고, 레프트역회전연결부(520)를 통해 레프트엔드베이스풀리(510)에 연결하며, 라이트정회전연결부(620)를 통해 라이트엔드베이스풀리(610)에 연결한다.

아울러, 센터베이스로어풀리(410)는 상단과 하단으로 나눠지고, 라이트역회전연결부(640)를 통해 라이트커넥팅베이스풀리(630)에 연결하고, 레프트정회전연결부(540)를 통해 레프트커넥팅베이스풀리(530)에 연결한다.

그리고, 레프트엔드베이스풀리(510)는 센터베이스로어풀리(420)에 연결된 채 레프트엔드팔로우풀리(550)와 연결되고, 레프트커넥팅베이스풀리(530)는 센터베이스어퍼풀리(410)에 연결된 채 어퍼팔로우링크암(320)에 연결된다. 베이스링크암(310)에 연결된 레프트커넥팅팔로우풀리(560)는 레프트어퍼팔로우풀리(580)에 연결되고, 레프트엔드팔로우풀리(550)는 레프트로어팔로우풀리(570)에 연결된다.

라이트엔드베이스풀리(610)는 센터베이스로어풀리(420)에 연결된 채 로어팔로우링크암(330)에 연결되고, 라이트커넥팅베이스풀리(630)는 센터베이스어퍼풀리(410)에 연결된 채 라이트커넥팅팔로우풀리(660)에 연결된다. 베이스링크암(310)에 연결된 라이트엔트팔로우풀리(650)는 라이트로어팔로우풀리(670)에 연결되고, 라이트커넥팅팔로우풀리(660)는 라이트어퍼팔로우풀리(680)에 연결된다.

따라서, 본 발명에 따른 반송암모듈(300)은 듀얼암에 4개의 블레이드(342,352,462,372)를 장착할 수 있게 된다.

이로써, 4개의 블레이드(342,352,462,372)로 구성된 듀얼의 반송암모듈(300)에 구비되는 구동모터(432,442,452)의 개수는 기존 2개의 블레이드로 구성된 듀얼 암에 구비되는 모터와 동일한 개수로 구비될 수 있다.

추가로, 레프트블레이드(342,362)와 라이트블레이드(352,372)의 기판(10) 중심 보정(auto wafer centering)을 실시하기 위해서는, 블레이드(342,352,362,372)의 전진 이송 방향에 대한 직교방향에 리니어 모터 모듈(210)을 구비한다. 다만, 복수 공정 챔버를 대응하기 위해 구성된 리니어타입 트랜스퍼챔버의(20)와 진공로봇의 경우, 리니어 모터 모듈(210)은 이미 구성되어 있기 때문에 별도로 추가 장착할 필요가 없다.

또한, 베이스링크암(310), 어퍼팔로우링크암(320), 로어팔로우링크암(330), 어퍼리드링크암(340,350) 및 로어리드링크암(360,370)은 진공 상태인 트랜스퍼챔버(20)의 내부에 구비된다.

그리고, 바디(200)는 트랜스퍼챔버(20)의 내부에 구비된다.

이때, 바디(200)가 리니어 모터 모듈(210)에 의해 트랜스퍼챔버(20)의 바닥면에 지지된 채 직선 왕복 이동이 가능하게 구비될 수도 있고, 바디(200)가 밀폐된 하우징(700)의 내부에 구비된 채 리니어 모터 모듈(210)에 의해 하우징의 내부면에 지지된 채 직선 왕복 이동이 가능하게 구비될 수도 있다. 물론, 바디(200)는 하우징의 내부에 위치 고정된 채, 하우징이 트랜스퍼챔버(20)의 바닥면을 따라 리니어 모터 모듈(210)에 의해 직선 왕복 이동 가능하게 구비될 수 있다.

아울러, 바디(200) 또는 하우징은 트랜스퍼챔버(20)의 외측으로 개방되는 케이블링크암(800)에 연결될 수 있다. 케이블링크암(800)은 일측이 트랜스퍼챔버(20)를 통해 외부로 개방되게 구비되고, 복수 개의 링크암으로 구성된 채 바디(200) 내부의 구동모터(432,442,452,220)에서 발생되는 열을 외부로 배출 안내한다.

그리고, 제 1구동모터(432), 제 2구동모터(442) 및 제 3구동모터(452) 중 최상측에 위치한 모터(432)의 상측면과 바디(200)의 상부 하측면 사이에는 벨로즈 씰링부재(900)가 구비된다. 이로써, 케이블링크암(800)에 의해 바디(200)의 내부는 대기 영역이지만, 바디(200)에서 트랜스퍼챔버(20) 내부로 삽입되는 드라이브샤프트(430,440,450)의 노출 공간은 진공 영역이 된다.

아울러, 제 1구동모터(432), 제 2구동모터(442) 및 제 3구동모터(452)는 Z축모터(220)의 구동에 의해 높이 방향으로 위치 조절된다. 이로 인해, 상술한 모든 링크암(320,330,340,350,360,370) 및 블레이드(342,352,362,372)가 동시에 상하 이동됨으로써, 기판(10)은 범퍼(32)에 언로딩되거나 로딩이 가능하게 된다.

한편, 도 10 내지 도 14를 참조하여, AWC보정은 레프트블레이드(342,362)의 중심위치와 라이트블레이드(352,372)의 중심위치 및 로봇 제어 파라미터(Xo, Ro, θo, θr)간 상호 관계식을 사용한다.

즉, 도 10을 참조하여, Wx,Wy좌표에 대해서 레프트블레이드(342,362)의 중심위치와 라이트블레이드(352,372)의 중심위치를 계산하면,

식1) Xl1 = Xo - Rx ?? Hxl, where Rx= Ro??sin(θo) and Hxl= Rh??cos(α)

식2) Yl1 = Yo + Ry + Hyl, where Ry= Ro??cos(θo) and Hyl= Rh??sin(α)

식3) Xr1 = Xo - Rx + Hxr, where Rx= Ro??sin(θo) and Hxr = Rh??cos(β)

식4) Yr1 = Yo + Ry + Hyr, where Ry= Ro??cos(θo) and Hyr = Rh??sin(β),

여기서, α = θh ?? θo ; β = θh + θo ?? θr 이다.

이를, 로봇 제어 파라미티 Xo(Yo), Ro, θo, θr를 대입하여 다시 풀어보면,

식5) Xl1 = Xo ?? Ro??sin(θo) ?? Rh??cos(θh - θo)

식6) Yl1 = Yo + Ro??cos(θo) + Rh??sin(θh - θo)

식7) Xr1 = Xo ?? Ro??sin(θo) + Rh??cos(θh + θo - θr )

식8) Yr1 = Yo + Ro??cos(θo) + Rh??sin(θh + θo - θr )

여기서, 블레이드(342,352,362,372)의 전진방향과 리니어 모터 모듈(210)이 서로 직교방향이면, Yo 는 상수가 된다,

블레이드(342,352,362,372)의 전진방향과 리니어 모터 모듈(210)이 서로 평행방향이면, Xo 는 상수가 된다.

식7, 식8를 구하기 위해 먼저 θr를 구한다. 이를 위해

도11에서와 같이, 지오메트리에 따라 θc,θh,θr 의 상호관계식을 나열한다.

식9) θc = 180ㅀ - 2θh +θr,

로봇 제어 파라미터 θr은 다음과 같습니다.

식10) θr = θc - 180ㅀ + 2θh

다음은 로봇 제어 파라미터 θo를 구한다. 하지만, 특이점이 존재한다.

θo 의 특이점 (θo=0, singularity)을 해결하기 위해

도12에서와 같이, 지오메트리 다이그램을 그려, 다음과 같이 θt 과 θl 을 구하고,

식 11) θt = tan -1 ((Yl1-Yr1) / (Xr1-Xl1)) ㅰ will give (+/- θt)

식12) Rh^2=Rh^2+C^2 - 2*Rh*C*cos(θl)

식13) θl = cos-1( C/2Rh)

이때 θt θl 과 θs의 상호관계를 풀어보면,

식14) θs = pi/2- (θt+ θl)

θs가 구하고 나면 , 다음과 같이 부호와 함께 θo를 구할 수 있다.

식15) θo = θs ?? θi

식1부터 식15는 본 예시의 하나의 예이며, 다른 식으로도 구현이 가능하다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 단면도이다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송로봇(100)의 바디(200)는 트랜스퍼챔버(20)의 내부와 연결된 채 외부로 노출되도록 구비될 수도 있다.

이로써, 바디(200) 내부에 구비되는 구동모터(432,442,452) 및 드라이브샤프트(430,440450)의 유지 보수작업이 용이하다.

단, 도 8의 경우, 블레이드(342,352,362,372)의 전진 이송 방향에 대한 직교방향에, 상술한, 리니어 모터 모듈(210)을 구비가 되지 않은 실시예로서, 레프트블레이드(342,362)와 라이트블레이드(352,372)의 기판(10) 중심 보정(auto wafer centering)을 둘 다 실시는 못하고, 레프트블레이드(342,362)나 라이트블레이드(352,372) 중 어느 한 쪽(342,352 또는 362,372)만 웨이퍼 중심이 보정된다.

미설명된 도면부호는 일 실시예에서 상술한 것으로 대체할 수 있다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈의 단면도이다.

도 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반송로봇(100)의 바디(200)는 트랜스퍼챔버(20)의 내부와 연결된 채 외부로 노출되도록 구비되고, 트랜스퍼챔버(20)가 리니어타입임에 따라, 바디(200)는 트랜스퍼챔버(20)의 외측에 연결되는 하우징(700)의 내부에서 직선 왕복 이동 가능하게 구비된다.

이때, 바디(200)는 리니어 모터 모듈(210)에 의해 하우징(700)의 내측면에 지지된 채 안정적으로 직선 왕복 이동이 가능하게 된다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.

10: 기판 20: 트랜스퍼챔버
100: 반송로봇 200: 바디
210: 리니어 모터 모듈 300: 반송암모듈
310: 베이스링크암 320: 어퍼팔로우링크암
330: 로어팔로우링크암 340: 레프트어퍼리드링크암
350: 라이트어퍼리드링크암 360: 레프트로어리드링크암
370: 라이트로어리드링크암 400: 연동작동부
410: 센터베이스어퍼풀리 420: 센터베이스로어풀리
430: 제 1드라이브샤프트 440: 제 2드라이브샤프트
450: 제 3드라이브샤프트 500: 레프트구동부
510: 레프트엔드베이스풀리 520: 레프트역회전연결부
530: 레프트커넥팅베이스풀리
540: 레프트베이스정회전연결부
600: 라이트구동부 610: 라이트엔드베이스풀리
620: 라이트베이스정회전연결부
630: 라이트커넥팅베이스풀리
640: 라이트역회전연결부 650: 라이트엔드팔로우풀리
660: 라이트커넥팅팔로우풀리
670: 라이트로어팔로우풀리 680: 라이트어퍼팔로우풀리

Claims

평면상 양방향 회동 가능하도록 제 1구동모터에 연결되는 베이스링크암;
상기 베이스링크암의 상면 일측에 구비되고, 평면상 상기 베이스링크암의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 제 3구동모터와 연결되는 어퍼팔로우링크암;
상기 베이스링크암의 상면 타측에 구비되고, 평면상 상기 베이스링크암의 내측 궤적을 따라 양방향 회동되도록 제 2구동모터와 연결되며, 높이 방향으로 상기 어퍼팔로우링크암보다 낮게 위치한 로어팔로우링크암;
상기 어퍼팔로우링크암의 상면 타측에 양방향 회동 가능하도록 구비되고, 상기 베이스링크암의 회동에 연동되어 회동되는 어퍼리드링크암;
상기 로어팔로우링크암의 상면 타측에 양방향 회동 가능하게 구비되고, 상기 베이스링크암의 회동에 연동되어 회동되는 로어리드링크암; 및
구동원의 개수를 줄이기 위해, 상기 베이스링크암의 회동 방향에 따라, 상기 어퍼팔로우링크암, 상기 로어팔로우링크암, 상기 어퍼리드링크암, 상기 로어리드링크암을 상호 부딪힘이 방지되도록 상호 설정 궤적만큼 회동 안내하는 연동작동부를 포함하고,
상기 베이스링크암, 상기 어퍼팔로우링크암, 상기 로어팔로우링크암, 상기 어퍼리드링크암 및 상기 로어리드링크암은 트랜스퍼챔버의 내부에 구비되며,
상기 제 1구동모터, 상기 제 2구동모터 및 상기 제 3구동모터는 적층된 채 바디 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 1항에 있어서,
상기 어퍼팔로우링크암은 레프트어퍼리드링크암과 라이트어퍼리드링크암을 동시에 회동 가능하게 구비하고,
상기 로어팔로우링크암은 레프트로어리드링크암과 라이트로어리드링크암을 동시에 회동 가능하게 구비하는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 2항에 있어서, 상기 연동작동부는,
상기 베이스링크암의 내부에 회전 가능하게 구비되는 센터베이스어퍼풀리;
상기 베이스링크암의 내부에서, 상기 센터베이스어퍼풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되는 센터베이스로어풀리;
제 1구동모터의 구동력을 전달받아 상기 베이스링크암을 양방향 회동시키는 제 1드라이브샤프트;
제 2구동모터의 구동력을 전달받아 상기 센터베이스로어풀리를 양방향 회동 안내하는 제 2드라이브샤프트;
제 3구동모터의 구동력을 전달받아 상기 센터베이스어퍼풀리를 양방향 회동 안내하는 제 3드라이브샤프트;
상기 베이스링크암이 양방향으로 회전시, 상기 어퍼팔로우링크암과 상기 레프트어퍼리드링크암과 상기 라이트어퍼리드링크암을 설정 방향으로 회전시키는 레프트구동부; 및
베이스링크암이 양방향으로 회동시, 상기 로어팔로우링크암과 상기 레프트로어리드링크암과 상기 라이트로어리드링크암을 설정 방향으로 회전 안내하는 라이트구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 3항에 있어서,
상기 제 2드라이브샤프트는 상기 제 1드라이브샤프트에 축 삽입되고,
상기 제 3드라이브샤프트는 상기 제 2드라이브샤프트에 축 삽입되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 3항에 있어서,
상기 레프트어퍼리드링크암과 상기 라이트어퍼리드링크암이 전진 이송시, 상기 라이트구동부는 상기 로어팔로우링크암, 또는 상기 로어팔로우링크암과 상기 레프트로어리드링크암 및 상기 라이트로어리드링크암을 일방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 3항에 있어서,
상기 레프트로어리드링크암과 상기 라이트로어리드링크암이 전진 이송시, 상기 레프트구동부는 상기 어퍼팔로우링크암, 또는 상기 어퍼팔로우링크암과 상기 레프트어퍼리드링크암 및 상기 라이트어퍼리드링크암을 타방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 3항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레프트구동부는, 상기 베이스링크암의 타측에 회전 가능하게 구비되는 레프트엔드베이스풀리;
상기 센터베이스로어풀리와 상기 레프트엔드베이스풀리를 반대방향으로 회전 안내하도록 연결하는 레프트역회전연결부;
상기 베이스링크암의 타측에서, 상기 레프트엔드베이스풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되는 레프트커넥팅베이스풀리;
상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 레프트커넥팅베이스풀리를 동일방향으로 회전 안내하도록 연결하는 레프트베이스정회전연결부;
상기 어퍼팔로우링크암의 타측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 레프트엔드베이스풀리에 구속되는 레프트엔드팔로우풀리;
상기 어퍼팔로우링크암의 타측에서 상기 레프트엔드팔로우풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 상기 베이스링크암에 구속되는 레프트커넥팅팔로우풀리;
상기 어퍼팔로우링크암의 일측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 레프트엔드팔로우풀리와 동일한 방향으로 회전되도록 연결되며, 라이트어퍼리드링크암을 동일한 방향으로 회전 안내하는 레프트로어팔로우풀리; 및
상기 어퍼팔로우링크암의 일측에서 상기 레프트로어팔로우풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 상기 레프트커넥팅팔로우풀리와 동일한 방향으로 회전되도록 연결되며, 레프트어퍼리드링크암을 동일한 방향으로 회전 안내하는 레프트어퍼팔로우풀리를 포함하고,
상기 레프트로어팔로우풀리의 직경과 상기 레프트어퍼팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 7항에 있어서, 상기 레프트역회전연결부는,
상기 센터베이스로어풀리와 상기 레프트엔드베이스풀리를 대각 방향으로 연결하는 제 1레프트역회전벨트; 및
상기 제 1레프트역회전벨트와 교차되도록, 상기 센터베이스로어풀리와 상기 레프트엔드베이스풀리를 대각 방향으로 연결하는 제 2레프트역회전벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 7항에 있어서, 상기 레프트베이스정회전연결부는,
상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 레프트커넥팅베이스풀리 사이에 배치되도록 상기 베이스링크암에 회전 가능하게 구비되는 레프트베이스아이들풀리;
상기 레프트커넥팅베이스풀리와 상기 레프트베이스아이들풀리를 연결하는 제 1레프트베이스벨트;
상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 레프트커넥팅베이스풀리를 연결하는 제 2레프트베이스벨트; 및
상기 레프트베이스아이들풀리와 상기 센터베이스어퍼풀리를 연결하는 제 3레프트베이스벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 3항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 라이트구동부는, 상기 베이스링크암의 일측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 로어팔로우링크암을 구속하는 라이트엔드베이스풀리;
상기 센터베이스로어풀리와 상기 라이트엔드베이스풀리를 동일방향으로 회전 안내하도록 연결하는 라이트베이스정회전연결부;
상기 베이스링크암의 일측에서 상기 라이트엔드베이스풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되는 라이트커넥팅베이스풀리;
상기 센터베이스어퍼풀리와 상기 라이트커넥팅베이스풀리를 반대방향으로 회전 안내하도록 연결하는 라이트역회전연결부;
상기 로어팔로우링크암의 일측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 베이스링크암에 구속되는 라이트엔드팔로우풀리;
상기 로어팔로우링크암에서 상기 라이트엔드팔로우풀리와 별개로 회전 가능하게 구비되고, 상기 라이트커넥팅베이스풀리에 구속되는 라이트커넥팅팔로우풀리;
상기 로어팔로우링크암의 타측에 회전 가능하게 구비되고, 상기 라이트엔드팔로우풀리와 동일 방향으로 회전되도록 연결되며, 라이트로어리드링크암을 동일 방향으로 회전되도록 연결하는 라이트로어팔로우풀리; 및
상기 로어팔로우링크암의 타측에서 상기 라이트로어팔로우풀리와 별개로 회전되도록 구비되고, 상기 라이트커넥팅팔로우풀리와 동일 방향으로 회전되도록 연결되며, 레프트로어리드링크암을 동일 방향으로 회전되도록 연결하는 라이트어퍼팔로우풀리를 포함하고,
상기 라이트로어팔로우풀리의 직경과 상기 라이트어퍼팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 10항에 있어서, 상기 라이트베이스정회전연결부는,
상기 센터베이스로어풀리와 상기 라이트엔드베이스풀리 사이에 배치되도록 상기 베이스링크암에 회전 가능하게 구비되는 라이트베이스아이들풀리;
상기 라이트엔드베이스풀리와 상기 라이트베이스아이들풀리를 연결하는 제 1라이트베이스벨트;
상기 센터베이스로어풀리와 상기 라이트엔드베이스풀리를 연결하는 제 2라이트베이스벨트; 및
상기 라이트베이스아이들풀리와 상기 센터베이스로어풀리를 연결하는 제 3라이트베이스벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
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제 1항에 있어서,
상기 바디는, 상기 트랜스퍼챔버의 내부와 연결된 채 외부로 노출되도록 구비될 경우, 상기 트랜스퍼챔버의 외측에 연결되는 하우징에서 직선 왕복 이동 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 1항에 있어서,
상기 바디는, 상기 트랜스퍼챔버의 내부에 구비될 경우 상기 트랜스퍼챔버의 바닥면에서 직선 왕복 이동 가능하게 구비되고, 상기 트랜스퍼챔버의 외측으로 개방되는 케이블링크암에 연결되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 1항에 있어서,
상기 제 1구동모터, 상기 제 2구동모터 및 상기 제 3구동모터 중 최상측에 위치한 모터의 상측면과 상기 바디의 상부 하측면 사이는 벨로즈 씰링부재로 밀폐되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 1항에 있어서,
상기 제 1구동모터, 상기 제 2구동모터 및 상기 제 3구동모터는 Z축모터의 구동에 의해 높이 방향으로 위치 조절되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 10항에 있어서,
상기 라이트역회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스어퍼풀리의 하단부 직경은 레프트베이스정회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스어퍼풀리의 상단부 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 10항에 있어서,
상기 라이트역회전연결부가 연결되는 상기 센터베이스어퍼풀리의 하단부 직경은 상기 라이트커넥팅베이스풀리의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 3항에 있어서,
상기 레프트로어리드링크암과 상기 라이트로어리드링크암이 전진에 연동되어 상기 라이트어퍼리드링크암의 라이트어퍼블레이드가 상기 레프트어퍼리드링크암의 레프트어퍼블레이드 방향으로 회전되고,
상기 센터베이스로어풀리의 하단부 직경은 상기 라이트어퍼블레이드의 기판과 상기 레프트어퍼블레이드의 기판이 서로 부딪히지 않는 범위 내에서 결정되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 7항에 있어서,
상기 레프트커넥팅팔로우풀리와 상기 레프트어퍼팔로우풀리의 직경비, 상기 레프트엔드팔로우풀리와 상기 레프트로어팔로우풀리의 직경비는 1:2 인 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 10항에 있어서,
상기 라이트커넥팅팔로우풀리와 상기 라이트어퍼팔로우풀리의 직경비, 상기 라이트엔드팔로우풀리와 상기 라이트로어팔로우풀리의 직경비는 1:2 인 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 1항에 있어서,
상기 로어팔로우링크암의 최대 회전 허용량은 상기 어퍼팔로우링크암과 상기 베이스링크암을 잇는 연결부위가 레프트로어블레이드와의 간섭 여부에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 1항에 있어서,
상기 어퍼리드링크암에 구비되는 어퍼블레이드와 상기 로어리드링크암에 구비되는 로어블레이드는, 기판의 중심 보정(auto wafer centering)을 실시하기 위해, 상기 어퍼블레이드의 전진 이송 방향에 대해 직교방향으로 리니어 모터 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 3항에 있어서,
상기 센터베이스어퍼풀리의 직경과 상기 센터베이스로어풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 7항에 있어서,
상기 레프트엔드베이스풀리의 직경과 상기 레프트커넥팅베이스풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 10항에 있어서,
상기 라이트엔드베이스풀리의 직경과 상기 라이트커넥팅베이스풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 7항에 있어서,
상기 레프트엔드팔로우풀리의 직경과 상기 레프트커넥팅팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
제 10항에 있어서,
상기 라이트엔드팔로우풀리의 직경과 상기 라이트커넥팅팔로우풀리의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 반송로봇용 쿼드블레이드 타입의 반송암모듈.
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