KR102335737B1 - An Apparatus for Supplying a Small Size Element and a Method for Reworking - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소형 부품 공급 장치 및 그에 의한 리워킹 방법에 관한 것이다. 소형 부품 공급 장치는 다수 개의 소형 부품이 배치된 부품 팩(EM); 및 부품 팩(EM)으로부터 각각의 부품을 분리시키는 분리 수단을 포함하고, 다수 개의 부품은 독립적으로 분리 가능한 전자 소자가 된다.The present invention relates to a device for supplying small parts and a method for reworking therewith. The small component supply device includes a component pack (EM) in which a plurality of small components are disposed; and separation means for separating each component from the component pack EM, wherein the plurality of components becomes an independently separable electronic device.

Description

소형 부품 공급 장치 및 그에 의한 리워킹 방법{An Apparatus for Supplying a Small Size Element and a Method for Reworking}An Apparatus for Supplying a Small Size Element and a Method for Reworking

본 발명은 소형 부품 공급 장치 및 그에 의한 리워킹 방법에 관한 것이고, 리워킹 공정을 위한 다수 개의 소형 부품의 공급을 위한 소형 부품 공급 장치 및 그에 의한 리워킹 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for supplying small parts and a method for reworking by the same, and to a device for supplying small parts for supplying a plurality of small parts for a reworking process and a method for reworking thereby.

다양한 광 산업 분야에서 엘이디 소자가 사용되고, 예를 들어 디스플레이 산업에 엘이디 소자가 적용될 수 있다. 엘이디 소자 구조의 디스플레이는 전력 소모량이 작으면서 효율과 신뢰성이 높다는 이점을 가진다. 또한 픽셀의 화소 기능을 가지는 100 ㎛ 이하의 마이크로 엘이디 소자로 이루어진 단위 패널이 타일 구조로 배치되면 디스플레이의 대면적화가 가능하다는 장점을 가진다. 이로 인하여 마이크로 엘이디를 디스플레이에 적용하기 위한 다양한 개발이 이루어지고 있다. 특허공개번호 10-2019-0006430은 RGB 서브 픽셀의 크기가 수십 ㎛가 되는 마이크로 디스플레이 및 그 제작 방법에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 20-2018-0031126은 디스플레이 패널용 엘이디 칩의 실장 방법 및 이를 이용한 디스플레이 패널에 대하여 개시한다. 마이크로 엘이디 소자의 배치에 의한 디스플레이의 제조 과정에서 일부 엘이디 소자의 작동 오류가 발생되거나, 제조된 디스플레이 유닛에서 일부 엘이디 소자가 오류가 발생되면 엘이디 소자의 리워킹(reworking) 작업이 이루어질 필요가 있다. 이와 같이 기판에 밀집된 엘이디 소자의 리워킹 작업은 자동으로 이루어지는 것이 유리하고, 특히 100 ㎛의 크기를 가지는 마이크로 엘이디 소자의 리워킹 작업을 실질적으로 자동 공정으로 진행되지 않으면 불가능하다. 이와 같은 리워킹 작업을 위하여 마이크로 단위의 크기를 가지는 엘이디 부품이 적절한 방법으로 공급이 되어야 할 필요가 있다. 부품이 공급되면 이후 공급된 부품에 의하여 리워킹 작업이 이루어질 수 있다. 그러나 선행기술 또는 공지기술은 예를 들어 마이크로 단위를 가지는 부품의 공급 방법 또는 이에 의한 리워킹 방법에 대하여 개시하지 않는다.LED devices are used in various optical industries, for example, the LED devices can be applied to the display industry. The display of the LED element structure has advantages of low power consumption and high efficiency and reliability. In addition, if a unit panel made of a micro LED element of 100 μm or less having a pixel function of a pixel is arranged in a tile structure, it is possible to increase the area of the display. For this reason, various developments are being made to apply the micro LED to a display. Patent Publication No. 10-2019-0006430 discloses a micro-display in which the RGB sub-pixels are several tens of μm in size and a method of manufacturing the same. In addition, Patent Publication No. 20-2018-0031126 discloses a method for mounting an LED chip for a display panel and a display panel using the same. When an operation error of some LED elements occurs in the manufacturing process of a display by the arrangement of micro LED elements, or an error occurs in some LED elements in a manufactured display unit, it is necessary to reworking the LED elements. As described above, it is advantageous that the reworking of the LED elements densely on the substrate is performed automatically, and in particular, it is impossible unless the reworking of the micro LED elements having a size of 100 μm is performed in a substantially automatic process. For such a reworking operation, it is necessary to supply LED parts having a size of a micro unit by an appropriate method. After the parts are supplied, a reworking operation may be performed by the supplied parts. However, the prior art or the known art does not disclose, for example, a method for supplying a component having a micro unit or a method for reworking by the method.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.The present invention is to solve the problems of the prior art and has the following objects.

특허문헌 1: 특허공개번호 10-2019-0006430(삼성전자주식회사, 2019.01.18. 공개) 마이크로 엘이디 디스플레이 및 그 제작 방법Patent Document 1: Patent Publication No. 10-2019-0006430 (Samsung Electronics Co., Ltd., published on 2019.01.18.) Micro LED display and manufacturing method thereof 특허문헌 2: 특허공개번호 10-2018-0031126(삼성전자주식회사, 2018.08.28. 공개) 디스플레이 패널용 엘이디 칩의 실장 방법 및 이를 이용한 디스플레이 패널Patent Document 2: Patent Publication No. 10-2018-0031126 (Samsung Electronics Co., Ltd., published on August 28, 2018) Method of mounting LED chip for display panel and display panel using the same

본 발명의 목적은 예를 들어 마이크로 단위를 가지는 다수의 소형 부품을 정해진 위치로 이송시켜 공급하는 소형 부품 공급 장치 및 그에 의한 리워킹 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a small component supply apparatus for transporting and supplying a plurality of small components having a micro unit to a predetermined position, and a reworking method by the same.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 소형 부품 공급 장치는 다수 개의 소형 부품이 배치된 부품 팩; 및 부품 팩으로부터 각각의 부품을 분리시키는 분리 수단을 포함하고, 다수 개의 부품은 독립적으로 분리 가능한 전자 소자가 된다.According to a suitable embodiment of the present invention, the small component supply apparatus includes a component pack in which a plurality of small components are disposed; and separation means for separating each component from the component pack, wherein the plurality of components becomes an independently separable electronic device.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 소형 부품은 엘이디 소자가 되고, 부품 팩은 웨이퍼 또는 젤 팩이 된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the small component is an LED device, and the component pack is a wafer or a gel pack.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 소형 부품의 리워킹 방법은 리워킹 공정을 위한 기판이 고정되는 단계; 부품 공급 모듈에 의하여 다수 개의 부품이 부품 팩의 형태로 공급되는 단계; 기판으로부터 오류 부품이 제거되는 단계: 부품 팩으로부터 하나의 부품이 분리되는 단계; 분리된 부품에 솔더링이 되는 단계; 및 부품이 기판에 접착되는 단계를 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, the reworking method of the small component comprises the steps of fixing a substrate for the reworking process; supplying a plurality of parts in the form of a parts pack by the parts supply module; removing the faulty part from the board: detaching one part from the part pack; Soldering to the separated parts; and adhering the component to the substrate.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 소형 부품은 마이크로 단위의 엘이디 소자가 된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the small component is a micro-unit LED device.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 오류 부품의 분리 또는 부품의 접착 과정은 레이저 광이 조사되는 단계를 포함한다. According to another suitable embodiment of the present invention, the process of separating the faulty part or bonding the part includes the step of irradiating laser light.

본 발명에 따른 소형 부품 공급 장치는 예를 들어 마이크로 단위의 다수 개의 부품이 리워킹 작업을 위하여 효율적으로 공급되도록 한다. 본 발명에 따른 공급 장치는 리워킹 작업을 위한 소형 부품이 정해진 위치로 이송되어 고정되도록 한다. 본 발명에 따른 리워킹 방법은 예를 들어 엘이디 디스플레이를 위한 기판에 배치된 엘이디 소자에 대한 리워킹 공정이 자동으로 진행되도록 한다. 본 발명에 따른 리워킹 방법은 특히 100 ㎛ 이하의 크기를 가지는 마이크로 엘이디 소자의 리워킹 공정이 가능하도록 한다.The small parts supply apparatus according to the present invention enables, for example, a plurality of micro-unit parts to be efficiently supplied for reworking. The supply device according to the present invention allows the small parts for the reworking operation to be transferred to and fixed to a predetermined position. The reworking method according to the present invention enables, for example, a reworking process for an LED device disposed on a substrate for an LED display to automatically proceed. In particular, the reworking method according to the present invention enables a reworking process of a micro LED device having a size of 100 μm or less.

도 1a 및 도 1b는 소형 부품 공급 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 소형 부품 공급 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 소형 부품 공급에 따른 소형 부품의 리워킹 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 리워킹 방법을 위한 리워킹 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
1A and 1B show an embodiment of a small component supply device.
2a and 2b show another embodiment of the small component supply device.
Figure 3 shows an embodiment of the reworking method of small parts according to the supply of small parts according to the present invention.
4 illustrates an embodiment of a reworking apparatus for a reworking method according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the embodiments are for a clear understanding of the present invention, and the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so unless necessary for the understanding of the invention, the description will not be repeated and well-known components will be briefly described or omitted, but the present invention It should not be construed as being excluded from the embodiment of

본 발명에 따른 소형 부품 공급 장치는 다수 개의 소형 부품이 배치된 부품 팩(EM); 및 부품 팩(EM)으로부터 각각의 부품을 분리시키는 분리 수단을 포함하고, 다수 개의 부품은 독립적으로 분리 가능한 전자 소자가 되고, 바람직하게 마이크로 단위의 크기를 가지는 엘이디 소자가 될 수 있다.A small component supply device according to the present invention includes a component pack (EM) in which a plurality of small components are disposed; and a separation means for separating each component from the component pack EM, wherein the plurality of components may be independently separable electronic devices, preferably LED devices having a micro-scale size.

도 1a 및 도 1b는 소형 부품 공급 장치의 실시 예를 도시한 것이다.1A and 1B show an embodiment of a small component supply device.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 부품 팩(EM)은 다수 개의 소형 부품(E_1 내지 E_N)이 행렬(matrix) 형태로 배치된 젤-팩(gel-pack)이 될 수 있다. 부품 팩(EM)은 사각형 둘레 벽을 형성하면서 내부에 수용 공간이 형성된 베이스(B); 베이스(B)의 위쪽 면에 배치된 얇은 막 형태의 연성 분리 막(SP); 연성 분리 막(SP)의 아래쪽 또는 베이스(B)의 바닥 면에 형성된 다수 개의 분리 돌기(S_1 내지 S_L); 베이스(B)의 바닥 면과 연결되어 연성 분리 막(SP)과 바닥 면 사이를 감압 상태 또는 진공 상태로 만드는 압력 조절 경로(VP)로 이루어질 수 있다. 부품 팩(EM)은 가이드 모듈(10)에 의하여 리워킹 공정이 이루어지는 장치로 이송될 수 있다. 가이드 모듈(10)은 서로 마주보는 한 쌍의 기판에 의하여 형성되어 예를 들어 리워킹 장치에 형성된 슬롯에 분리 가능하도록 장착되는 구조를 가지는 가이드 몸체(11); 가이드 몸체(11)의 위쪽 부분에 형성된 유도 경로(12); 유도 경로(12)를 따라 이동 가능한 이송 트레이(13); 및 유도 경로(12)의 한쪽 끝에 형성되어 트레이(13)를 고정시키는 고정 유닛(14)으로 이루어질 수 있다. 이송 트레이(13)는 유도 경로(12)에 형성된 가이드 유닛을 따라 이동 가능한 이동 몸체(131); 이동 몸체(131)에 로딩되는 부품 팩(EM)을 고정시키는 덮개(132); 및 덮개(132)를 이동 몸체(131)에 분리 가능하도록 고정시키는 잠금 탭(133)으로 이루어질 수 있다. 부품 팩(EM)이 이동 몸체(131)에 로딩되면 덮개(132)가 닫히면서 트레이(13)에 고정되어 유도 경로(12)를 따라 이동될 수 있다. 트레이(13)가 이동되어 유도 경로(12)의 한쪽 끝에 형성된 고정 유닛(14)에 고정되면 부품 모듈(EM)로부터 각각의 소형 부품(E_K)이 분리되어 리워킹 공정으로 투입될 수 있다. 예를 들어 진공 흡착 방식으로 작동하는 흡착 수단(AM)이 각각의 소형 부품(EM)의 위쪽으로 이동될 수 있다. 그리고 압력 조절 경로(VP)를 통하여 연성 분리 막(SP)의 아래쪽 부분이 감압 상태 또는 진공 상태로 만들어지면 매트릭스 형태로 배치된 각각의 소형 부품(E_K)가 연성 분리 막(SP)으로부터 분리될 수 있는 상태가 될 수 있다. 이와 같은 상태에서 소형 부품(E_K)이 흡착 수단(AM)에 의하여 리워킹 공정을 위하여 예를 들어 인쇄회로기판과 같은 기판 위로 이동되어 부착될 수 있다. 소형 부품(E_K)은 다양한 방식으로 리워킹 공정을 위하여 정해진 위치로 이동될 수 있다.1A and 1B , the component pack EM may be a gel-pack in which a plurality of small components E_1 to E_N are arranged in a matrix form. The parts pack (EM) includes a base (B) having an accommodating space therein while forming a rectangular peripheral wall; a flexible separator (SP) in the form of a thin film disposed on the upper surface of the base (B); a plurality of separation protrusions S_1 to S_L formed on the bottom of the flexible separation membrane SP or on the bottom surface of the base B; It may be connected to the bottom surface of the base B to form a pressure control path VP that creates a reduced pressure or vacuum between the flexible separation membrane SP and the bottom surface. The component pack EM may be transferred to an apparatus in which a reworking process is performed by the guide module 10 . The guide module 10 is formed by a pair of substrates facing each other, for example, a guide body 11 having a structure that is detachably mounted in a slot formed in the reworking device; a guide path 12 formed in the upper portion of the guide body 11; a transport tray 13 movable along the guide path 12; and a fixing unit 14 formed at one end of the guide path 12 to fix the tray 13 . The transport tray 13 includes a movable body 131 movable along the guide unit formed in the guide path 12; a cover 132 for fixing the component pack EM to be loaded on the moving body 131; and a locking tab 133 for removably fixing the cover 132 to the movable body 131 . When the component pack EM is loaded onto the moving body 131 , the cover 132 is closed and fixed to the tray 13 to move along the induction path 12 . When the tray 13 is moved and fixed to the fixing unit 14 formed at one end of the induction path 12 , each small component E_K may be separated from the component module EM and put into a reworking process. For example, suction means AM operating in a vacuum suction manner can be moved above each small part EM. And when the lower part of the flexible separation membrane SP is made under reduced pressure or vacuum through the pressure control path VP, each small component E_K arranged in a matrix form can be separated from the flexible separation membrane SP. can be in a state of being. In this state, the small component E_K may be moved and attached to a substrate such as a printed circuit board for a reworking process by the adsorption means AM. The small part E_K may be moved to a predetermined position for the reworking process in various ways.

도 2a 및 도 2b는 소형 부품 공급 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.2a and 2b show another embodiment of the small component supply device.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 소형 부품은 예를 들어 4 인치(inch) 또는 다른 크기를 가지는 웨이퍼에 저장될 수 있고, 소형 부품은 예를 들어 마이크로 단위의 크기를 가지는 엘이디 소자가 될 수 있다. 웨이퍼는 고정 모듈(20)에 고정될 수 있고, 고정 모듈(20)은 베이스 몸체(21); 베이스 몸체(21)에 대하여 XY-평면을 따라 이동 가능한 위치 설정 블록(22); 위치 설정 블록(22)에 형성된 적어도 하나의 고정 홀(23a, 23b, 23c)로 이루어질 수 있다. 각각의 고정 홀(23a, 23b, 23c)은 둘레 면에 회전 가능하면서 전체적으로 속이 빈 실린더 형상이 되고, 위쪽에 웨이퍼가 고정되는 확장 링이 형성된 로딩 실린더(231); 로딩 실린더(231)의 둘레 면을 따라 원형으로 형성된 안정 블록(232); 안정 블록(232)에 설치되어 웨이퍼를 고정시키는 적어도 하나의 고정 블록(233_1 내지 233_K) 및 웨이퍼의 이동을 제한하는 스토퍼 블록(234)이 설치될 수 있다. 또한 웨이퍼의 고정 및 웨이퍼로부터 소형 부품의 분리 과정을 제어하는 제어 모듈(25)이 고정 모듈(20)에 결합될 수 있다. 고정 블록(20)에 웨이퍼가 고정되면, 리워킹 공정을 위하여 각각의 소형 부품이 웨이퍼로부터 분리될 필요가 있다. 웨이퍼로부터 각각의 소형 부품을 분리시키기 위하여 분리 모듈(24)이 작동될 수 있다.Referring to FIGS. 2A and 2B , the small component may be stored on a wafer having, for example, 4 inches or another size, and the small component may be, for example, an LED device having a size of a micro unit. . The wafer may be fixed to the fixing module 20 , and the fixing module 20 includes a base body 21 ; a positioning block (22) movable along the XY-plane with respect to the base body (21); It may be formed of at least one fixing hole (23a, 23b, 23c) formed in the positioning block (22). Each of the fixing holes (23a, 23b, 23c) is rotatable on the circumferential surface of the overall hollow cylinder shape, the loading cylinder 231 is formed with an expansion ring on which the wafer is fixed; A stable block 232 formed in a circular shape along the circumferential surface of the loading cylinder (231); At least one fixing block 233_1 to 233_K that is installed in the stability block 232 to fix the wafer and a stopper block 234 to limit the movement of the wafer may be installed. In addition, a control module 25 that controls the process of fixing the wafer and separating the small component from the wafer may be coupled to the fixing module 20 . When the wafer is fixed to the fixing block 20 , each small component needs to be separated from the wafer for a reworking process. Separation module 24 may be activated to separate each small component from the wafer.

도 2a에 도시된 것처럼, 분리 모듈(24)은 각각의 고정 홀(23a, 23b, 23c)의 내부에 배치될 수 있다. 분리 모듈(24)은 고정 베이스(241); 고정 베이스(241)에 상하 이동이 가능하도록 결합되는 분리 유도 유닛(243); 및 분리 유도 유닛(243)을 상하로 이동시키는 모터와 같은 구동 유닛(242)을 포함할 수 있다. 분리 유도 유닛(243)의 위쪽 면에 기체의 유동을 위한 다수 개의 유동 홀이 형성된 흡착 면(243a)이 형성될 수 있고, 흡착 면(243a)은 예를 들어 원판 형상이 될 수 있다. 그리고 흡착 면의 중심에 상하로 이동 가능한 분리 탭(243b)가 배치되고, 분리 탭(243b)의 둘레 면에 유동 홀과 동일 또는 유사한 형상 및 기능을 가지는 분리 홀(H_K)가 형성될 수 있다. 웨이퍼가 고정 모듈(20)에 고정되면, 각각의 소형 부품을 흡착하여 리워킹 공정으로 이동시키는 진공 흡착 수단과 같은 픽업 수단이 분리가 되는 소형 부품의 위쪽으로 이동될 수 있다. 픽업 수단이 정해진 위치로 이동되면 분리 모듈(24)이 고정 홀(23a, 23b, 23c)의 내부에서 분리되어야 하는 소형 부품의 아래쪽에 위치할 수 있다. 분리 유도 유닛(243)의 흡착 면(243a)에 의하여 웨이퍼의 아래쪽이 고정되고, 분리 홀(H_K)에 의하여 분리되는 소형 부품의 둘레 면이 안정적으로 고정될 수 있다. 이후 분리 탭(243b)이 위쪽으로 이동되면서 소형 부품을 밀어 올리면 픽업 수단에 의하여 소형 부품이 픽업이 되어 리워킹 공정이 이루어지는 기판으로 이동될 수 있다. 고정 모듈(20)에 고정된 웨이퍼로부터 소형 부품은 다양한 방법으로 분리되어 픽업이 될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 이와 같은 방법으로 소형 부품이 픽업이 되어 기판으로 이동되면 리워킹 공정이 진행될 수 있다.As shown in FIG. 2A , the separation module 24 may be disposed inside each of the fixing holes 23a, 23b, and 23c. Separation module 24 includes a fixed base 241; a separation induction unit 243 coupled to the fixed base 241 so as to be movable up and down; and a driving unit 242 such as a motor for moving the separation induction unit 243 up and down. An adsorption surface 243a in which a plurality of flow holes for gas flow are formed may be formed on the upper surface of the separation induction unit 243 , and the adsorption surface 243a may have a disk shape, for example. In addition, a vertically movable separation tab 243b may be disposed in the center of the adsorption surface, and a separation hole H_K having the same or similar shape and function as the flow hole may be formed on the circumferential surface of the separation tab 243b. When the wafer is fixed to the fixing module 20 , a pickup means such as a vacuum suction means for adsorbing each small component and moving it to a reworking process may be moved above the separated small component. When the pickup means is moved to a predetermined position, the separation module 24 may be positioned below the small part to be separated in the fixing holes 23a, 23b, and 23c. The lower side of the wafer may be fixed by the suction surface 243a of the separation induction unit 243 , and the peripheral surface of the small part to be separated by the separation hole H_K may be stably fixed. Thereafter, when the separation tab 243b is moved upward and the small component is pushed up, the small component is picked up by the pickup means and moved to the substrate on which the reworking process is performed. A small component may be separated and picked up by various methods from the wafer fixed to the fixing module 20 , and the present invention is not limited thereto. In this way, when the small component is picked up and moved to the substrate, the reworking process may be performed.

도 3은 본 발명에 따른 소형 부품 공급에 따른 소형 부품의 리워킹 방법의 실시 예를 도시한 것이다.Figure 3 shows an embodiment of the reworking method of small parts according to the supply of small parts according to the present invention.

도 3을 참조하면, 소형 부품의 리워킹 방법은 리워킹 공정을 위한 기판이 고정되는 단계(P31); 부품 공급 모듈에 의하여 다수 개의 부품이 부품 팩의 형태로 공급되는 단계(P32); 기판으로부터 오류 부품이 제거되는 단계(P33): 부품 팩으로부터 하나의 부품이 분리되는 단계(P34); 분리된 부품에 솔더링이 되는 단계(P35); 및 부품이 기판에 접착되는 단계를 포함한다.Referring to FIG. 3 , the method of reworking small parts includes fixing a substrate for the reworking process (P31); Step (P32) of supplying a plurality of parts in the form of a parts pack by the parts supply module; The step of removing the faulty part from the board (P33): a step of separating one part from the part pack (P34); Soldering to the separated parts (P35); and adhering the component to the substrate.

리워킹 공정은 동일 기능을 가지면서 하나의 기판에 배치된 다수 개의 소자의 일부를 새로운 소자로 대체하는 공정을 말한다. 예를 들어 디스플레이를 위한 기판에 다수 개의 엘이디 소자가 배치될 수 있고, 일부의 엘이디 소자가 불량으로 판정되면 불량 엘이디 소자의 교체를 위하여 리워킹 공정이 진행될 수 있다. 리워킹 공정은 자동으로 진행될 필요가 있고, 특히 소자의 크기가 매우 작은 경우 소자의 교체가 자동 공정에 의하여 진행되어야 한다. 예를 들어 리워킹 공정을 위한 공정 영역의 크기가 1 내지 100 ㎛의 크기 또는 그와 유사한 크기를 가지는 경우 리워킹 공정은 정밀하게 제어되는 자동 공정에 의하여 진행될 필요가 있다. 자동 리워킹 장치는 리워킹 공정을 위하여 기판은 정해진 위치에 고정될 수 있다(P31). 기판에 다수 개의 엘이디 소자가 배치될 수 있고, 기판은 엘이디 디스플레이용 기판이 될 수 있고, 예를 들어 플랙시블 PCB와 같은 기판이 될 수 있다. 리워킹 공정이 진행되어야 하는 기판이 고정되면(P31), 부품 공급 모듈에 의하여 다수 개의 소형 부품이 배치된 부품 팩이 정해진 위치로 이송되어 리워킹 공정을 위한 부품이 공급될 수 있다(P32). 소형 부품은 위에서 설명된 젤-팩, 웨이퍼 또는 부품 테이프에 저장될 수 있고, 부품 공급 장치에 의하여 이송되어 공급될 수 있다(P32). 부품 팩이 정해진 위치에 고정되어 부품의 공급이 가능한 상태가 되면 기판으로부터 오류 부품이 제거될 수 있다(P33). 기판에서 교체되어야 하는 소자의 위치가 미리 결정될 수 있고, 소자는 예를 들어 예를 들어 50 내지 500 × 50 내지 500 ㎛의 크기를 가질 수 있고, 소자 사이의 간격은 마이크로 단위 또는 밀리미터 단위가 될 수 있다. 또한 기판의 두께가 0. 1 내지 10 ㎜가 될 수 있고, 다른 소자 또는 부품과 회로 패턴에 의하여 전기적으로 연결될 수 있다. 이와 같은 조건에서 엘이디 소자와 같은 소자를 기판으로부터 분리하기 위하여 레이저 장치가 사용될 수 있다. 레이저가 교체가 되어야 하는 소자 주위 또는 위쪽으로 조사되고, 이에 의하여 소자가 기판으로부터 분리 가능한 상태가 될 수 있다. 소자가 기판으로부터 분리 가능한 상태가 되면 노즐과 같은 기체 유동이 가능한 수단에 의하여 소자에 기체 압력이 가해질 수 있다(blow off). 이에 따라 소자가 기판으로부터 분리될 수 있고, 기판으로부터 분리된 소자는 진공 흡입 방식으로 작동하는 흡입 수단을 통하여 흡입되어 기판으로부터 소자가 제거될 수 있다. 또는 별도로 압력이 가해지지 않고 흡입 방식으로 소자를 기판으로부터 제거할 수 있다(P33). 기판으로부터 부품이 제거되면, 제거된 부품의 위치에 새로운 부품을 배치하기 위하여 부품이 부품 팩으로부터 분리될 수 있다(P34). 도 1a 내지 도 2b에서 설명된 된 것과 동일 또는 유사한 방법으로 부품이 부품 팩으로부터 분리되어 픽업 수단에 의하여 픽업이 될 수 있다(P34). 그리고 픽업이 된 부품의 부착 면에 솔더링 크림이 인가될 수 있다(P35). 이후 솔더링 크림이 인가된 부품이 부착되어야 하는 위치에 주변 또는 소자의 위쪽 부분에 레이저 유닛에 의하여 열이 가해질 수 있고, 이에 의하여 부품이 정해진 위치에 접착될 수 있다(P36). 이와 같은 방법으로 기판의 모든 오류 부품이 교체되면 리워킹 공정이 완료된다. 이와 같은 리워킹 공정은 다양한 장치에 의하여 이루어질 수 있고, 아래에서 리워킹 장치의 실시 예에 대하여 설명된다.The reworking process refers to a process of replacing a portion of a plurality of devices disposed on one substrate with a new device while having the same function. For example, a plurality of LED elements may be disposed on a substrate for a display, and when some of the LED elements are determined to be defective, a reworking process may be performed to replace the defective LED elements. The reworking process needs to be performed automatically, and in particular, when the size of the device is very small, the replacement of the device should be performed by the automatic process. For example, when the size of the process area for the reworking process has a size of 1 to 100 μm or a size similar thereto, the reworking process needs to be performed by a precisely controlled automatic process. In the automatic reworking device, the substrate may be fixed at a predetermined position for the reworking process (P31). A plurality of LED devices may be disposed on the substrate, and the substrate may be a substrate for an LED display, for example, a substrate such as a flexible PCB. When the substrate on which the reworking process is to be performed is fixed (P31), the component pack on which a plurality of small components are disposed is transferred to a predetermined position by the component supply module to supply the components for the reworking process (P32). The small component may be stored in the above-described gel-pack, wafer or component tape, and may be transported and supplied by a component supply device (P32). When the component pack is fixed at a predetermined position and the component can be supplied, the faulty component may be removed from the board (P33). The position of the device to be replaced on the substrate can be predetermined, the device can have a size of, for example, 50 to 500 × 50 to 500 μm, and the spacing between the devices can be in micro units or millimeters. have. In addition, the thickness of the substrate may be 0.1 to 10 mm, and may be electrically connected to other elements or components by a circuit pattern. In such a condition, a laser device may be used to separate a device such as an LED device from a substrate. A laser is irradiated around or above the device to be replaced, thereby making the device detachable from the substrate. When the device becomes detachable from the substrate, a gas pressure may be applied to the device by a means capable of gas flow such as a nozzle (blow off). Accordingly, the device may be separated from the substrate, and the device separated from the substrate may be sucked through a suction means operating in a vacuum suction manner to remove the device from the substrate. Alternatively, the device may be removed from the substrate by a suction method without separately applying pressure (P33). When a component is removed from the board, the component may be separated from the component pack to place a new component in the position of the removed component (P34). In the same or similar manner as described in FIGS. 1A to 2B , the parts may be separated from the parts pack and picked up by the pickup means (P34). And soldering cream may be applied to the attachment surface of the picked-up part (P35). Thereafter, heat may be applied by the laser unit to the periphery or upper portion of the element at the position to which the component to which the soldering cream is applied should be attached, whereby the component may be adhered to the predetermined position (P36). In this way, when all faulty parts on the board are replaced, the reworking process is completed. Such a reworking process may be performed by various devices, and an embodiment of the reworking device will be described below.

도 4는 본 발명에 따른 리워킹 방법을 위한 리워킹 장치의 실시 예를 도시한 것이다.4 illustrates an embodiment of a reworking apparatus for a reworking method according to the present invention.

도 4를 참조하면, 리워킹 장치(40)는 제1, 2 레이저 유닛(46, 47) 및 온도 탐지 유닛(45)을 포함할 수 있다. 리워킹 모듈(40)의 XY-평면에서 위치가 위치 베이스 (PB)의 이동에 의하여 설정될 수 있다. 결합 베이스(PB)에 결합된 제1, 2 레이저 장치(46, 47) 또는 다른 구성의 Z축 방향의 이동은 각각의 이동 수단에 의하여 조절될 수 있다. 교체 위치의 확인을 위한 비전 카메라(41)는 길이 조절이 가능한 실린더 형상의 광 유도 블록을 포함할 수 있고, 아래쪽 부분에 링 형상의 링 조명 유닛(411)이 배치되어 적절한 밝기를 가진 이미지가 획득되도록 한다. 바코드 유닛(422)에 의하여 기판의 바코드가 식별될 수 있고, 바코드 유닛(422)은 조절 실린더(423)에 의하여 상하 이동이 될 수 있다. 분리된 소자의 흡입을 위한 흡입 노즐 유닛(43)이 결합 베이스(PB)에 결합될 수 있고, 예를 들어 볼 스크루와 같은 길이 조절 수단 및 작동 실린더와 같은 위치 조절 수단(431)에 의하여 Z축 방향의 위치가 조절될 수 있다. 레이저 센서와 같은 거리 측정 센서(48)에 의하여 결합 베이스(PB)와 기판의 교체 영역 사이의 Z축 거리가 측정될 수 있고, 이에 기초하여 결합 베이스(PB)에 결합된 각각의 구성의 Z축 위치가 설정될 수 있다. 부품에 솔더링 크림을 인가하는 크림 인가 유닛(44)이 결합 베이스(PB)에 상하 이동이 가능하도록 결합될 수 있고, 크림 인가 유닛(44)의 위쪽에 예를 들어 서보 모터와 같은 인가 조절 유닛(441)이 배치될 수 있다. 인가 조절 유닛(441)이 작동 수준이 압력 센서(442)에 의하여 탐지된 압력 정보에 기초하여 결정될 수 있다. 또한 인가 조절 유닛(441)의 작동에 의하여 솔더링 크림이 크림 인가 유닛(44)으로부터 배출되어 소자의 바닥 면에 인가될 수 있다. 제1, 2 레이저 장치(46, 47)가 결합 베이스(PB)에 대하여 상하 이동이 가능하도록 결합된 레이저 블록(492)에 결합될 수 있다. 레이저 블록(492)은 레이저 설정 유닛(49)의 작동에 의하여 결합 베이스(PB)에 고정된 고정 브래킷(491)에 결합된 이동 축을 따라 상하로 이동될 수 있다. 제1 레이저 장치(46)는 XY-평면에 대하여 경사지도록 배치되고, 제2 레이저 장치(47)는 XY-평면에 대하여 수직이 되도록 배치될 수 있다. 제1 레이저 장치(46)에 의하여 소자의 둘레 면에 열이 발생될 수 있고, 제2 레이저 장치(47)에 의하여 소자의 위쪽 부분이 가열될 수 있다. 적외선 카메라와 같은 온도 탐지 유닛(45)에 의하여 소자의 제거 또는 부착 과정에서 온도가 탐지될 수 있다. 제1, 2 레이저 장치(46, 47)에 의하여 가해지는 열에 의하여 소자가 분리되면 노즐 구조를 가지는 흡입 노즐 유닛(43)에 의하여 소자가 흡입되어 기판으로부터 제거될 수 있다. 이후 새로운 엘이디 유닛의 바닥 면에 크림 인가 유닛(44)에 의하여 솔더링 크림이 인가되어 배치될 수 있다. 이후 제1,2 레이저 유닛(46, 47)에 의하여 소자의 둘레 면 및 소자에 열이 가해질 수 있고, 솔더링 크림이 부여된 엘이디 소자가 교체 위치에 접착 방식으로 부착될 수 있다. 다양한 센서, 분리 수단 또는 접착 수단이 리워킹 장치(40)에 부가될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.Referring to FIG. 4 , the reworking device 40 may include first and second laser units 46 and 47 and a temperature detection unit 45 . A position in the XY-plane of the reworking module 40 may be set by movement of the position base PB. The movement in the Z-axis direction of the first and second laser devices 46 and 47 or other components coupled to the coupling base PB may be controlled by each moving means. The vision camera 41 for confirming the replacement position may include a cylinder-shaped light guide block with adjustable length, and a ring-shaped ring lighting unit 411 is disposed in the lower part to obtain an image with appropriate brightness make it possible The barcode of the substrate may be identified by the barcode unit 422 , and the barcode unit 422 may be moved up and down by the adjustment cylinder 423 . The suction nozzle unit 43 for suction of the separated element may be coupled to the coupling base PB, for example, the Z-axis by a length adjusting means such as a ball screw and a position adjusting means 431 such as an operating cylinder. The position of the direction can be adjusted. The Z-axis distance between the coupling base PB and the replacement area of the substrate may be measured by a distance measuring sensor 48 such as a laser sensor, based on which the Z-axis of each component coupled to the coupling base PB A location may be set. A cream applying unit 44 that applies soldering cream to the parts may be coupled to the coupling base PB so as to be movable up and down, and an application control unit such as a servo motor is positioned above the cream applying unit 44 ( 441) can be arranged. The level of operation of the application control unit 441 may be determined based on the pressure information detected by the pressure sensor 442 . Also, the soldering cream may be discharged from the cream application unit 44 by the operation of the application control unit 441 and applied to the bottom surface of the device. The first and second laser devices 46 and 47 may be coupled to the coupled laser block 492 so as to be vertically movable with respect to the coupling base PB. The laser block 492 may be moved up and down along a movement axis coupled to the fixing bracket 491 fixed to the coupling base PB by the operation of the laser setting unit 49 . The first laser device 46 may be disposed to be inclined with respect to the XY-plane, and the second laser device 47 may be disposed to be perpendicular to the XY-plane. Heat may be generated on the peripheral surface of the device by the first laser device 46 , and the upper portion of the device may be heated by the second laser device 47 . The temperature may be detected during the removal or attachment of the device by a temperature detection unit 45 such as an infrared camera. When the element is separated by the heat applied by the first and second laser devices 46 and 47 , the element is sucked by the suction nozzle unit 43 having a nozzle structure to be removed from the substrate. Thereafter, soldering cream may be applied to the bottom surface of the new LED unit by the cream applying unit 44 and disposed. Then, heat may be applied to the peripheral surface of the device and the device by the first and second laser units 46 and 47, and the LED device to which the soldering cream has been applied may be attached to the replacement position in an adhesive manner. Various sensors, separation means or adhesive means may be added to the reworking device 40 and are not limited to the embodiments presented.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.Although the present invention has been described in detail above with reference to the presented embodiment, those skilled in the art will be able to make various modifications and modified inventions without departing from the technical spirit of the present invention with reference to the presented embodiment. . The present invention is not limited by such variations and modifications, but only by the claims appended hereto.

10: 가이드 모듈 11: 가이드 몸체
12: 유도 경로 13: 이송 트레이
14; 고정 유닛 20; 고정 모듈
21: 베이스 몸체 22: 위치 설정 블록
23a, 23b, 23c: 고정 홀 24: 분리 모듈
25: 제어 모듈 40: 리워킹 장치
131: 이동 몸체 132: 덮개
133: 잠금 탭 231: 로딩 실린더
232: 안정 블록 234: 스토퍼 블록
241: 고정 베이스 242: 구동 수단
243: 분리 유도 유닛
10: guide module 11: guide body
12: guide path 13: transport tray
14; fixed unit 20; fixed module
21: base body 22: positioning block
23a, 23b, 23c: fixing hole 24: separation module
25: control module 40: reworking device
131: moving body 132: cover
133: locking tab 231: loading cylinder
232: stability block 234: stopper block
241: fixed base 242: driving means
243: separation induction unit

Claims (5)

다수 개의 소형 부품이 배치된 부품 팩(EM); 및
부품 팩(EM)으로부터 각각의 부품을 분리시키는 분리 수단을 포함하고,
다수 개의 부품은 독립적으로 분리 가능한 전자 소자가 되고
부품 팩(EM)을 리워킹 장치로 이송하는 가이드 모듈(10)을 더 포함하고,
가이드 모듈(10)은 서로 마주보는 한 쌍의 기판에 의해 형성되어 리워킹 장치에 형성된 슬롯에 분리가능하도록 장착되는 가이드 몸체(11); 가이드 몸체(11)의 위쪽 부분에 형성된 유도 경로(12); 유도 경로(12)를 따라 이동 가능한 이송 트레이(13); 및 유도 경로(12)의 한쪽 끝에 형성되어 트레이(13)를 고정시키는 고정 유닛(14)으로 이루어지고,
이송 트레이(13)는 유도 경로(12)에 형성된 가이드 유닛을 따라 이동 가능한 이동 몸체(131); 이동 몸체(131)에 로딩되는 부품 팩(EM)을 고정시키는 덮개(132); 및 덮개(132)를 이동 몸체(131)에 분리 가능하도록 고정시키는 잠금 탭(133)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 부품 공급 장치.
parts pack (EM) in which a large number of small parts are placed; and
separating means for separating each part from the parts pack (EM);
A number of components become independently separable electronic devices.
Further comprising a guide module 10 for transferring the parts pack (EM) to the reworking device,
The guide module 10 includes a guide body 11 formed by a pair of substrates facing each other and detachably mounted in a slot formed in the reworking device; a guide path 12 formed in the upper portion of the guide body 11; a transport tray 13 movable along the guide path 12; and a fixing unit 14 formed at one end of the guide path 12 to fix the tray 13,
The transport tray 13 includes a movable body 131 movable along the guide unit formed in the guide path 12; a cover 132 for fixing the component pack EM to be loaded on the moving body 131; and a locking tab 133 for removably fixing the cover 132 to the moving body 131 .
청구항 1에 있어서, 소형 부품은 엘이디 소자가 되고, 부품 팩은 젤 팩이 되는 것을 특징으로 하는 소형 부품 공급 장치.
The small component supply device according to claim 1, wherein the small component is an LED element, and the component pack is a gel pack.
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