KR102334054B1 - 패널 고정용 다단 척 - Google Patents

패널 고정용 다단 척 Download PDF

Info

Publication number
KR102334054B1
KR102334054B1 KR1020200038683A KR20200038683A KR102334054B1 KR 102334054 B1 KR102334054 B1 KR 102334054B1 KR 1020200038683 A KR1020200038683 A KR 1020200038683A KR 20200038683 A KR20200038683 A KR 20200038683A KR 102334054 B1 KR102334054 B1 KR 102334054B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display area
plate
panel
chuck
seating
Prior art date
Application number
KR1020200038683A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210121622A (ko
Inventor
전은수
유대일
한규용
김재환
Original Assignee
(주)에스티아이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)에스티아이 filed Critical (주)에스티아이
Priority to KR1020200038683A priority Critical patent/KR102334054B1/ko
Publication of KR20210121622A publication Critical patent/KR20210121622A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102334054B1 publication Critical patent/KR102334054B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins

Abstract

패널 고정용 다단 척이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척은, 영상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역 일 측의 비표시 영역을 포함하는 패널을 지지하는 패널 고정용 다단 척에 있어서, 상기 표시 영역이 안착 가능한 제1 안착면을 가지는 표시 영역 안착 플레이트 유닛; 상기 비표시 영역이 안착 가능한 제2 안착면을 가지는 비표시 영역 안착 플레이트; 및 상기 제1 안착면을 기준으로 상기 제2 안착면의 높이 조절이 가능한 비표시 영역 승강 구동 유닛을 포함할 수 있다.

Description

패널 고정용 다단 척{MULTI CHUCK FIXING PANEL}
본 발명은 패널 고정용 다단 척에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패널에 액체 경화형 접착층과 같은 잉크를 적층 형성하는 공정 중 패널을 안정적으로 지지할 수 있는 패널 고정용 다단 척에 관한 것이다.
디스플레이 장치에는 발광 방식에 따라 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD)와 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display, OLED display), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 마이크로 발광 표시 장치(Micro-LED) 등이 있다.
디스플레이 장치는 서로 다른 기능성 패널들로 이루어지고, 각각의 패널은 패널 사이에 접착층을 개재하여 합착한다. 접착층은 그 종류에 따라, 필름형 접착층과 액상 타입의 접착제를 도포해 경화시키는 액체 경화형 접착층이 있다.
디스플레이 장치를 제조하는 각 공정단계마다 패널이 안착되어 견고하게 지지되어야 한다. 각 패널은 영상이 표시되는 표시 영역과 4면 중 적어도 일면, 즉 표시 영역의 일 측에 위치한 비표시 영역을 포함한다. 비표시 영역에는 전원 공급과 신호 전달 및 제어를 위한 PCB 등이 위치할 수 있다. 패널 중에서도 표시 영역은 액체 경화형 접착층을 비롯한 잉크를 제팅하여 필요한 두께와 이미지로 프린팅 공정이 진행된다.
프린팅 공정 상 잉크젯 헤드가 표시 영역 상에 마련되고, 잉크젯 헤드가 표시 영역과 적정 거리를 유지한 채로 표시 영역 상에 잉크를 제팅하는 것이 중요하다. 패널이 고정된 상태에서 잉크젯 헤드가 이동하거나 잉크젯 헤드가 고정된 상태에서 패널가 이동 또는 잉크젯 헤드의 제팅 도중, 비표시 영역과 잉크젯 헤드의 간섭이 발생하는 문제점이 있었다.
잉크젯 헤드 하면에 마련된 노즐은 정밀도가 요구되고 위치 틀어짐 등에 대해 민감한 영역이다. 다양한 크기를 가지는 패널의 형상과 두께에 따라 비표시 영역과 잉크젯 헤드의 간섭이 문제되며, 이러한 간섭에 따라 노즐에 마이크로 크기의 미세 스크래치가 발생에 따른 노즐의 수율이 저하되고, 노즐의 교체로 유지보수에 소요되는 비용이 불가피하게 증가하는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 잉크젯 헤드와의 물리적 간섭을 방지한 채로 패널을 안정적으로 지지 고정할 수 있는 패널 고정용 다단 척에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 패널 고정용 다단 척을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척은, 영상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역 일 측의 비표시 영역을 포함하는 패널을 지지하는 패널 고정용 다단 척에 있어서, 상기 표시 영역이 안착 가능한 제1 안착면을 가지는 표시 영역 안착 플레이트 유닛; 상기 비표시 영역이 안착 가능한 제2 안착면을 가지는 비표시 영역 안착 플레이트; 및 상기 제1 안착면을 기준으로 상기 제2 안착면의 높이 조절이 가능한 비표시 영역 승강 구동 유닛을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 표시 영역 안착 플레이트 유닛은, 상기 제1 안착면을 제공하는 지지 척이 놓여지는 베이스 플레이트를 포함하고, 상기 베이스 플레이트에는, 진공 배기되는 적어도 어느 하나의 진공 흡기관이 형성되고, 상기 진공 흡기관의 외주연을 따라 일정 깊이로 단차 형성된 오링 지지홈이 형성될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 오링 지지홈에 인입되어 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이의 진공 상태를 조성해 상기 지지 척의 흡착력을 조절하고 상기 지지 척의 탈착 용이성을 확보하는 탈착 패킹을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 비표시 영역 승강 구동 유닛은, 가이드 홈이 형성된 가이드 레일; 및 상기 비표시 영역 안착 플레이트와 링크(link)되고, 상기 가이드 레일을 따라 이동하며 상기 비표시 영역 안착 플레이트를 견인하는 가이드 바를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 비표시 영역 안착 플레이트는 상기 가이드 홈을 따라 이동하며 제1 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향을 따라 위치 변이될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 비표시 영역 안착 플레이트는 제1 방향으로 위치 이동하며, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 위치 변이할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 가이드 레일은 상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트가 슬라이드 이동 가능하도록 상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트의 이동방향인 제1 방향으로 마련되고, 상기 가이드 바는 구동력을 제공하는 실린더에 저마찰 방식으로 결합되어 견인될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 가이드 홈은 구름 사다리모양의 형상을 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 비표시 영역 승강 구동 유닛은, 상기 비표시 영역 안착 플레이트 상에 상기 비표시 영역의 안착 여부를 감지하기 위해 상기 비표시 영역이 안착될 영역에 마련된 안착 유무 감지 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 비표시 영역 안착 플레이트의 높이 조절을 위한 비표시 안착 플레이트 승강 구동 유닛에 의해 패널 중 비표시 영역과 잉크젯 헤드의 물리적 간섭을 미연에 방지함으로써 설비의 공정 효율 향상은 물론, 유지보수 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 비표시 영역 승강 구동 유닛이 비표시 영역 안착 플레이트를 가이드하여 슬라이드 이동시킴으로써, 비표시 영역을 들뜸 없이 안착시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 가이드 레일은 비표시 영역 안착 플레이트의 이동시 가이드 홀로 가이드 봉의 위치 변형과 틀어짐을 방지함으로써, 비표시 영역을 안정적으로 안착시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 비표시 영역 승강 구동 유닛은 비표시 영역 안착 플레이트의 승강 높이를 조정해 슬라이딩 이동시킴으로써, 패널의 두께와 형상의 구애 없이 안착시킬 수 있어 다양한 패널을 호환하여 지지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 베이스 플레이트의 오링 지지 홈에 탈착 패킹을 구비함으로써, 지지 척을 표시 영역 안착 플레이트 유닛으로부터 간편하고 신속하게 분리, 교체할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 베이스 플레이트의 오링 지지 홈에 탈착 패킹을 구비함으로써, 소손 또는 손상이 쉬운 지지 척만 베이스 플레이트와 분리, 교체할 수 있어 유지보수 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
도 1(a) 내지 도 1(e)는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널이 안착된 패널 고정용 다단 척을 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척을 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스 플레이트를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 척을 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척을 보여주는 배면 사시도이다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일 실시예에 따른 비표시 영역 승강 구동 유닛의 동작관계를 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척(10)을 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1(a) 내지 도 1(e)는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널을 보여주는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널이 안착된 패널 고정용 다단 척을 보여주는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척을 보여주는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스 플레이트를 보여주는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 척을 보여주는 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척을 보여주는 배면 사시도이며, 도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일 실시예에 따른 비표시 영역 승강 구동 유닛의 동작관계를 보여주는 도면이다.
패널(P)은, LCD와 OLED, PDP 패널과 같은 표시 패널, 터치 패널 중 어느 하나이거나, 이들을 적층 결합한 복수층으로 이루어진 패널일 수 있다. 또한 패널(P)은, 경성 패널뿐만 아니라, 구부리거나(bending) 접거나(folding), 마는(rolling) 것이 가능한 유연한 소재의 플렉서블 패널을 포함할 수 있다.
도 1(a) 내지 도 1(d)를 참조하면 패널(P)은, 표시 영역(P1)과 비표시 영역(P2)을 포함할 수 있다.
표시 영역(P1)은, 영상이 표시되는 영역일 수 있다. 표시 영역(P1)에는, 액체 경화형 접착층이 적층 형성될 수 있다. 표시 영역(P1)을 보호하기 위해 보호필름(PF, protection film)이 부착될 수 있다. 액체 경화형 접착층을 비롯한 잉크는, 보호필름(PF)이 제거된 표시 영역(P1) 상에 적층 형성될 수 있다.
액체 경화형 접착층은, 아크릴계와 에폭시계, 실리콘계 또는 고무계의 레진 중 어느 하나이거나 이들의 혼합물일 수 있으며, 바람직하게는 UV 광에 의해 경화 가능한 UV 경화성 레진일 수 있다.
비표시 영역(P2)은, 패널(P) 중 표시 영역(P1)을 제외한 영역 범위로, 표시 영역(P1) 외부 가장자리 중 적어도 일 측의 영상이 표시되지 않는 영역일 수 있다. 비표시 영역(P2)은, 외부 전원을 공급하는 전원전압 또는 신호 전달 및 제어를 위한 PCB를 포함할 수 있다. 도 1(a) 내지 도 1(d)에 도시된 대로 패널(P)은, 서로 다른 크기와 형상을 가질 수 있다.
도 2 내지 도 7(c)에 도시된 대로 패널 고정용 다단 척(10)은, 디스플레이 장치의 제조 과정 별 각 공정 단계에서 패널(P)을 지지 고정할 수 있다. 패널 고정용 다단 척(10)은, 표시 영역(P1)과 비표시 영역(P2)으로 각 구획하여 다단 방식으로 패널(P)을 지지할 수 있다.
패널 고정용 다단 척(10)은, 표시 영역 안착 플레이트 유닛(100)과 비표시 영역 안착 플레이트(200), 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)을 포함할 수 있다.
도 2 또는 도 3에 도시된 대로 표시 영역 안착 플레이트 유닛(100)은, 제1 안착면(121)을 가질 수 있다. 제1 안착면(121)은, 표시 영역(P1)이 안착될 수 있는 지지면일 수 있다.
표시 영역 안착 플레이트 유닛(100)은, 베이스 플레이트(110)와 지지 척(120), 탈착 패킹(130)을 포함할 수 있다.
다시 도 3와 도 4에 도시된 대로 베이스 플레이트(110)는, 지지 척(120)이 상부에 놓여질 수 있다. 베이스 플레이트(110)는 지지 척(120)과의 착탈을 용이하게 하기 위하여, 진공 흡기관(111)과 오링 지지 홈(112)이 형성될 수 있다.
진공 흡기관(111)은, 베이스 플레이트(110)에 적어도 어느 하나가 형성될 수 있다. 진공 흡기관(111)은, 지지 척(120) 중 제1 안착면(121)과 표시 영역(P1) 사이의 공기를 흡기하는 배관을 제공할 수 있다. 진공 흡기관(111)의 개수는 적절하게 조정될 수 있다. 진공 흡기관(111)은, 펌프(미도시)와 연통되어 펌프(미도시)의 구동 동작에 의해 공기를 흡기할 수 있다.
오링 지지홈(112)은, 진공 흡기관(111)의 외주연을 따라 형성될 수 있다. 오링 지지홈(112)은, 베이스 플레이트(110)의 표면에서 일정 깊이로 하향 단차 형성될 수 있다.
지지 척(120)은, 제1 안착면(121)을 제공할 수 있다. 지지 척(120)은, 표시 영역(P1)을 지지 고정할 수 있다. 지지 척(120)은, 패널(P)의 흡착 여부를 확인하기 위하여 진공 게이지(미도시) 또는 패널 감지용 센서(미도시)가 구비될 수 있다. 패널 감지용 센서(미도시)는, 레이저 센서 또는 조도 센서일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
일 실시예에 따른 지지 척(120)은, 흡착 홀(미도시)로 표시 영역(P1)과 제1 안착면(121) 사이 공기를 진공 흡기하여 표시 영역(P1)을 지지 고정할 수 있다.
다른 실시예에 따른 지지 척(120)은, 미세 크기의 다공질 세라믹 척(porous ceramic chuck) 일 수 있다. 다공질 세라믹 척 방식에 의한 지지 척(120)은, 표시 영역(P1)의 전면을 균일하게 흡착 지지함으로써 지지 척(120) 표면의 명암 차이를 발생시키지 않는 이점이 있다.
지지 척(120)은, 표시 영역(P1) 또는 비표시 영역(P2)과의 정전기 방지를 위해 대전 아노다이징 후처리되거나 국부적으로 CNT 처리될 수 있다.
다시 도 4에 도시된 대로 탈착 패킹(130)은, 베이스 플레이트(110)와 지지 척(120) 사이의 진공 상태를 조성해 지지 척(120)의 흡착력을 조절하고 지지 척(120)의 탈착 용이성을 확보할 수 있다. 탈착 패킹(130)은, 지지 척(120)과 베이스 플레이트(110) 사이에 개재될 수 있다. 탈착 패킹(130)은, 베이스 플레이트(110)로부터 지지 척(120)의 용이한 분리, 탈착을 유도할 수 있다. 탈착 패킹(130)은, 베이스 플레이트(110)에 형성된 적어도 어느 하나의 진공 흡기관(111)의 외주연에 마련될 수 있다. 즉 탈착 패킹(130)은, 오링 지지홈(112)에 인입되어 베이스 플레이트(110)에 안착된 지지 척(120)의 지지력을 조절할 수 있다.
다시 도 2와 도 3에 도시된 대로 비표시 영역 안착 플레이트(200)는, 제2 안착면(210)을 가질 수 있다. 제2 안착면(210)에는, 비표시 영역(P2)이 안착될 수 있다. 비표시 영역 안착 플레이트(200)는, 후술할 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)에 의해 높이 조절할 수 있다. 이에 따라 비표시 영역 안착 플레이트(200)는, 표시 영역(P1)에 대해 상대적으로 낮은 높이에서 비표시 영역(P2)을 지지할 수 있다.
비표시 영역 안착 플레이트(200)는, 대전 방지 재질로 이루어질 수 있다. 일 실시예에 따라 비표시 영역 안착 플레이트(200)는, 정전기 방지를 위해 대전 아노다이징 후처리되거나 국부적으로 CNT 처리될 수 있다. 또한 비표시 영역 안착 플레이트(200)는, 수지 계열로 코팅이 이뤄질 수 있다.
다시 도 2와 도 3, 도 6, 도 7에 도시된 대로 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)은, 제1 안착면(121)을 기준으로 제2 안착면(210)의 높이 조절이 가능할 수 있다. 보다 구체적으로 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)은, 제2 안착면(210)을 제1 안착면(121)과 나란하게 높이 조절하거나, 제1 안착면(121)보다 높게 또는 낮게 제2 안착면(210)의 높이 조절이 가능하다.
비표시 영역 승강 구동 유닛(300)은, 서로 다른 크기와 형상을 가지는 비표시 영역(P2)에 따라 적절한 높이로 승강 높이를 조정할 수 있다. 또한 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)은, 비표시 영역 안착 플레이트(200)에 의해 지지되는 비표시 영역(P2)의 변형 또는 표시 영역(P1)의 들뜸이 생기지 않도록, 더 나아가 표시 영역(P1)과 비표시 영역(P2)의 접합 영역에 충격이 발생하지 않도록 비표시 영역(P2)의 승강 높이를 조정하기 위해 비표시 영역 안착 플레이트(200)의 높이를 조절할 수 있다.
비표시 영역 승강 구동 유닛(330)는, 비표시 영역(P2)을 비표시 영역 안착 플레이트(200)와 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320) 사이에 개재한 채로, 비표시 영역(P2)을 표시 영역(P1)에 대하여 수직 방향에서 하면에 위치시킬 수 있다.
이를 위하여 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)은, 실린더(310)와 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320), 가이드 레일(330), 가이드 바(340)를 포함하고, 더 나아가 가이드 플레이트(350)와 안착 유무 감지 센서를 더 포함할 수 있다.
실린더(310)는, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)의 이동 구동력을 제공할 수 있다. 실린더(310)는, 가이드 바(340)를 견인하여 이동시킬 수 있다. 실린더(300)는, 끝단부가 표시 영역 안착 플레이트 유닛(100)에 힌지 결합될 수 있다. 실린더(310)는, 가이드 바(340)와 직교하도록 마련되어 가이드 바(340)의 양단에 고정 결합될 수 있다. 실린더(310)는 복수개가 마련될 수 있고, 각각의 실린더(310)는 서로 동기화되어 구동될 수 있다. 실린더(310)는, 실린더 하우징과 실린더 로드, 피스톤을 포함할 수 있다.
실린더 로드는, 실린더 하우징 내부에 삽입 마련되고, 피스톤에 의해 전방 왕복운동이 가능하다. 실린더 로드는, 가이드 바(340)의 일단부에 결합될 수 있다. 실린더 로드는, 피스톤의 왕복 운동에 의한 구동력을 가이드 바(340)에 전달할 수 있다.
비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)는, 비표시 영역(P2)을 상면에서 가압 지지할 수 있다. 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)는, 비표시 영역(P2)의 상면을 면접촉하며 하면 방향으로 가압할 수 있다.
가이드 레일(330)에는, 가이드 홈(331)이 형성될 수 있다. 가이드 레일(330)은, 가이드 바(340)의 이동 경로를 가이드할 수 있다. 가이드 홈(331)은, 비표시 영역 안착 플레이트(200)의 지지 높이와 높이에 따라 서로 다른 형상을 가질 수 있다. 일 실시예에 따른 가이드 홈(331)은, 구름 사다리 모양의 형상을 가질 수 있다. 가이드 홈(331)은, 가이드 바(340)에 대응되는 단면 너비를 가질 수 있다.
가이드 레일(330)은, 제1 방향으로 마련될 수 있다. 이에 따라 가이드 바(340)가 가이드 레일(330)을 따라 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)가 슬라이드 이동 가능함으로써 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)의 이동방향을 가이드 할 수 있다. 이때 제1 방향은, 어느 하나의 수평방향일 수 있다.
가이드 바(340)는, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)와 링크(link)될 수 있다. 일 실시예에 따라 가이드 바(340)는, 가이드 플레이트(350)를 매개로 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)와 링크될 수 있다. 가이드 바(340)는, 각 양단이 구동력을 제공하는 실린더(310)에 저마찰 방식으로 결합되어 견인될 수 있다. 일 실시예에 따른 저마찰 방식에는, 베어링 구조가 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
가이드 플레이트(350)는, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)의 양단에 연장 마련되어, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)와 가이드 바(340)를 일체형으로 연결할 수 있다. 가이드 플레이트(350)는, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)와 가이드 바(340)의 연결 상태를 안정적으로 지지할 수 있다. 복수의 가이드 플레이트(350)는, 서로 이격 배치되어 가이드 바(340)의 양단에 결합될 수 있다.
가이드 플레이트(350)는, 가이드 바(340)의 이동시 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320) 양단을 지지한 채로 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)와 연동하여 이동될 수 있다.
가이드 바(340)는, 환봉 형태의 단면을 가질 수 있다. 환봉 형태의 가이드 바(340)는, 가이드 홈(331)을 따라 전후진 이동할 수 있다. 가이드 바(340)는, 가이드 홈(331)을 따라 이동하며 캠 운동할 수 있다. 가이드 바(340)는, 가이드 홈(331)을 따라 곡선 형태의 직선 운동을 할 수 있다. 가이드 바(340)는, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(200)를 견인할 수 있다.
안착 유무 감지 센서는, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)의 위치 이동을 감지하며, 또한 비표시 영역 안착 플레이트(200) 상에 비표시 영역(P2)의 안착 여부를 감지할 수 있다. 안착 유무 감지 센서는, 비표시 영역 안착 플레이트(200) 중 적어도 일 영역으로서, 비표시 영역(P2)이 안착될 영역에 마련될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 고정용 다단 척(10)의 동작 관계를 시계열에 따라 설명하기로 한다.
패널 고정용 다단 척(10)은, 디스플레이 장치의 제조 과정 중 다른 공정 영역에서 패널 이송 로봇(미도시)에 의해 이송해온 패널(P)을 지지 고정할 수 있다.
패널 고정용 다단 척(10)은, 표시 영역(P1)과 비표시 영역(P2)을 이분화하여 각각의 영역을 분리 지지 고정할 수 있다. 패널 고정용 다단 척(10)은, 패널(P) 중 표시 영역(P1)을 1차 지지 후, 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)에 의해 비표시 영역 안착 플레이트(200)가 제1, 제2 방향으로 이동 후 비표시 영역(P2)을 지지할 수 있다.
표시 영역(P1)은, 표시 영역 안착 플레이트 유닛(100) 상의 지지 척(120)에 안착, 지지 고정될 수 있다.
비표시 영역(P2)을 지지 고정하기 위해, 일련의 동작 관계가 이뤄질 수 있다. 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)이 비표시 영역 안착 플레이트(200)를 비표시 영역(P2)의 하면에 이동시켜 비표시 영역(P2)이 안착, 지지 고정될 수 있다.
보다 구체적으로 실린더(310)의 일 구성인 피스톤의 제1 방향 구동에 의해 실린더 로드의 일단부와 연결된 가이드 바(340)가 제1 방향과 나란한 방향으로 이동할 수 있다. 이때 가이드 바(340)는, 실린더(310)의 구동에 의해 가이드 레일(330)의 가이드 홈(331)을 따라 가이드 되며 제1 방향으로 전진 운동하며, 제2 방향으로 위치 변이를 가질 수 있다. 가이드 레일(330)이 가이드 바(340)의 유동 변형을 제어함으로써 결과적으로 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)의 이동시 위치 변형 및 비틀림을 방지할 수 있다.
다시 도 7a 내지 도 7c에 도시된 대로 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)는, 가이드 홈(331)을 따라 이동할 수 있다. 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)는, 가이드 홈(331)의 형상에 대응되어 제1 방향 및 제2 방향을 따라 위치 변이되며 이동할 수 있다. 제2 방향은, 제1 방향과 직교하는 수직 방향일 수 있다. 일 실시예에 따라 제1 방향은 직교 좌표계 상에서 수평방향으로 X축 또는 Y축일 수 있고, 제2 방향은 Z 축일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
이때 실린더(300)는, 힌지 결합된 채로 소정 각도로 회전하며 가이드 레일(330)의 가이드 홈(331)을 따라 제1 방향 및/또는 제2 방향으로 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)를 이동시킬 수 있다.
비표시 영역 안착 플레이트(200)는, 제1 방향으로 위치 이동하며, 제2 방향으로 각각 위치 변이될 수 있다.
안착 유무 감지 센서가 비표시 영역 가압 지지 플레이트(320)의 위치 및 위치 변이를 감지하여, 비표시 영역 가압 지지 플레이트(200)가 특정 위치, 즉 비표시 영역(P2)의 상면에 위치시 비표시 영역 승강 구동 유닛(300)의 동작이 완료될 수 있다. 이에 따라 표시 영역 안착 플레이트 유닛(100) 상에는 표시 영역(P1)이 안착 지지되고 비표시 영역 안착 플레이트(200)은, 제2 방향에서 표시 영역 안착 플레이트 유닛(100)보다 낮게 위치된 상태에서 비표시 영역(P2)을 지지할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 패널 고정용 다단 척
100 : 표시 영역 안착 플레이트 유닛 110 : 베이스 플레이트
111 : 진공 흡기관 112 : 오링 지지홈
120 : 지지 척 121 : 제1 안착면
130 : 탈착 패킹
200 : 비표시 영역 안착 플레이트 210 : 제2 안착면
300 : 비표시 영역 승강 구동 유닛 310 : 실린더
320 : 비표시 영역 가압 지지 플레이트 330 : 가이드 레일
331 : 가이드 홈 340 : 가이드 바
350 : 가이드 플레이트
P : 패널 P1 : 표시 영역
P2 : 비표시 영역

Claims (9)

  1. 영상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역 일 측의 비표시 영역을 포함하는 패널을 지지하는 패널 고정용 다단 척에 있어서,
    상기 표시 영역이 안착 가능한 제1 안착면을 가지는 표시 영역 안착 플레이트 유닛;
    상기 비표시 영역이 안착 가능한 제2 안착면을 가지는 비표시 영역 안착 플레이트; 및
    상기 제1 안착면을 기준으로 상기 제2 안착면의 높이 조절이 가능한 비표시 영역 승강 구동 유닛을 포함하고,
    상기 비표시 영역 승강 구동 유닛은,
    상기 비표시 영역을 가압 지지하는 비표시 영역 가압 지지 플레이트;
    가이드 홈이 형성된 가이드 레일; 및
    상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트와 링크(link)되고, 상기 가이드 레일을 따라 이동하며 상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트를 견인하는 가이드 바를 포함하고,
    상기 비표시 영역은 상기 비표시 영역 안착 플레이트와 상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트 사이에 개재된 상태에서 상기 표시 영역을 기준으로 하면에 위치하는, 패널 고정용 다단 척.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시 영역 안착 플레이트 유닛은,
    상기 제1 안착면을 제공하는 지지 척이 놓여지는 베이스 플레이트를 포함하고,
    상기 베이스 플레이트에는, 진공 배기되는 적어도 어느 하나의 진공 흡기관이 형성되고, 상기 진공 흡기관의 외주연을 따라 일정 깊이로 단차 형성된 오링 지지홈이 형성된, 패널 고정용 다단 척.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 오링 지지홈에 인입되어 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 척 사이의 진공 상태를 조성해 상기 지지 척의 흡착력을 조절하고 상기 지지 척의 탈착 용이성을 확보하는 탈착 패킹을 더 포함하는, 패널 고정용 다단 척.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트는 상기 가이드 홈을 따라 이동하며 제1 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향을 따라 위치 변이되는, 패널 고정용 다단 척.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 비표시 영역 안착 플레이트는 제1 방향으로 위치 이동하며, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 위치 변이하는, 패널 고정용 다단 척.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트가 슬라이드 이동 가능하도록 상기 비표시 영역 가압 지지 플레이트의 이동방향인 제1 방향으로 마련되고,
    상기 가이드 바는 구동력을 제공하는 실린더에 저마찰 방식으로 결합되어 견인되는, 패널 고정용 다단 척.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 홈은 구름 사다리모양의 형상을 가지는, 패널 고정용 다단 척.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 비표시 영역 승강 구동 유닛은,
    상기 비표시 영역 안착 플레이트 상에 상기 비표시 영역의 안착 여부를 감지하기 위해 상기 비표시 영역이 안착될 영역에 마련된 안착 유무 감지 센서를 더 포함하는, 패널 고정용 다단 척.
KR1020200038683A 2020-03-31 2020-03-31 패널 고정용 다단 척 KR102334054B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200038683A KR102334054B1 (ko) 2020-03-31 2020-03-31 패널 고정용 다단 척

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200038683A KR102334054B1 (ko) 2020-03-31 2020-03-31 패널 고정용 다단 척

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210121622A KR20210121622A (ko) 2021-10-08
KR102334054B1 true KR102334054B1 (ko) 2021-12-02

Family

ID=78610229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200038683A KR102334054B1 (ko) 2020-03-31 2020-03-31 패널 고정용 다단 척

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102334054B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101071265B1 (ko) * 2008-11-26 2011-10-10 세메스 주식회사 디스플레이 패널 이송 유닛 및 이를 갖는 디스플레이 패널 가공 장치

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100711158B1 (ko) * 2004-11-13 2007-04-24 유원테크 주식회사 액정표시장치 백라이트용 광학필름의 흡착이송 공급장치
KR100913579B1 (ko) * 2007-05-14 2009-08-26 주식회사 에스에프에이 구동용 회로기판의 본딩장치 및 그 방법
KR102344109B1 (ko) * 2017-04-04 2021-12-29 세메스 주식회사 본딩 스테이지 및 이를 구비하는 다이 본딩 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101071265B1 (ko) * 2008-11-26 2011-10-10 세메스 주식회사 디스플레이 패널 이송 유닛 및 이를 갖는 디스플레이 패널 가공 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210121622A (ko) 2021-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101260297B1 (ko) 곡면형 터치 스크린 패널의 라미네이션장치
KR101849656B1 (ko) 디스플레이 장치의 제조방법, 디스플레이 장치의 제조장치
KR101312164B1 (ko) 접합 장치 및 접합 방법
JP4870046B2 (ja) 板ガラスの貼合方法およびその装置
TWI498208B (zh) 板狀部材貼合裝置
KR20180034737A (ko) 라미네이팅 장치 및 이를 이용한 라미네이팅 방법
US8919406B2 (en) Bonding apparatus
TW201332769A (zh) 貼合裝置
US20080135127A1 (en) Apparatus and method for attaching substrates
CN111689018A (zh) 贴标机构和贴标签机
KR102334054B1 (ko) 패널 고정용 다단 척
KR20130014835A (ko) 브레이킹 바를 이용한 브레이킹 장치
CN112644135B (zh) 真空吸附垫组装体、显示器层压装置及显示器层压方法
KR101362295B1 (ko) 연성 회로 기판 벤딩 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
JP2008311466A (ja) 基板保持装置および基板処理装置
KR101372518B1 (ko) 필름 부착 장치 및 방법
CN113104645B (zh) 具有缓冲的大吸力真空吸盘及输送装置
CN115079451B (zh) 基板组装装置及基板组装方法
KR102011878B1 (ko) 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법
KR102273297B1 (ko) 패널 이송 로봇 및 이를 이용한 패널 이송 방법
KR101356026B1 (ko) 인쇄 회로 기판 지지 장치, 및 이를 구비한 하부 기판 리프트 유닛, 리프트 방법, 및 기판 합착 장치
KR20210012110A (ko) 곡면형 플렉서블 디스플레이 제조용 라미네이터
KR102386963B1 (ko) Uv 경화 장치
KR200224034Y1 (ko) 세라믹 그린 시트의 박리장치
CN113540382A (zh) 邦定装置以及利用其的显示装置制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant