KR102332482B1 - 체크 밸브 구조체 - Google Patents

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KR102332482B1
KR102332482B1 KR1020210075709A KR20210075709A KR102332482B1 KR 102332482 B1 KR102332482 B1 KR 102332482B1 KR 1020210075709 A KR1020210075709 A KR 1020210075709A KR 20210075709 A KR20210075709 A KR 20210075709A KR 102332482 B1 KR102332482 B1 KR 102332482B1
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박기호
임이택
이태경
우병찬
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(주)상아프론테크
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체는, 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체는, 바디부; 및 상기 바디부의 내부에 구비되고, 상기 유체의 흐름을 일방향으로 제어하는 체크 모듈을 포함하고, 상기 바디부는, 상기 하우징의 내측을 향하도록 구비되는 상부 바디부; 및 상기 상부 바디부와 결합되는 하부 바디부를 포함하고, 상기 바디부에는 상기 상부 바디부와 상기 하부 바디부 사이로 유입된 액체가 상기 체크 모듈로 유입되는 것이 방지되도록 상기 액체를 상기 바디부의 하측으로 유도하는 유도 통로가 구비된다.

Description

체크 밸브 구조체{CHECK VALVE STRUCTURE}
본 발명은 체크 밸브 구조체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 웨이퍼에 부착된 불순물을 제거하기 위한 퍼지 가스를 웨이퍼에 균일하게 공급하기 위한 체크 밸브 구조체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하는 공정은 웨이퍼의 노광, 식각, 확산, 증착 등의 반도체 제조 공정을 선택적으로 수행하고, 이러한 반도체 제조 공정은 개별적인 반도체 제조 장치에서 순차적으로 진행된다.
이러한 웨이퍼는 각각 반도체 제조 공정의 대기 시간 동안 웨이퍼의 표면이 물리적으로 손상되는 것을 방지하기 위해 웨이퍼 저장 장치에 보관된다.
웨이퍼 저장 장치에 보관된 웨이퍼는 보관되는 동안 불순물이 부착되거나 산화되는 문제가 있다. 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하기 위해, 웨이퍼 저장 장치의 내부에는 질소와 같은 퍼지 가스(purge gas)가 주입된다. 이러한 퍼지 가스는 웨이퍼에 부착된 불순물을 제거한다.
이러한 웨이퍼 저장 장치는 세정액을 이용하여 주기적으로 세정된다. 그러나, 이러한 세정액이 웨이퍼 저장 장치의 외측 또는 내측에 잔존하게 되는 경우, 웨이퍼 저장 장치가 세정액에 의해 손상되는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 세정액이 잔존하는 것을 방지하여 웨이퍼 저장 장치의 품질을 유지하는 체크 밸브 구조체를 제공하고자 한다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체는, 바디부; 및 상기 바디부의 내부에 구비되고, 상기 유체의 흐름을 일방향으로 제어하는 체크 모듈을 포함하고, 상기 바디부는, 상기 체크 모듈의 상측을 수용하는 제1 바디부; 및 상기 상부 바디부와 결합되는 제2 바디부를 포함하고, 상기 바디부에는 상기 제1 바디부와 상기 제2 바디부 사이로 유입된 액체가 상기 체크 모듈로 유입되는 것이 방지되도록 상기 액체를 상기 바디부의 하측으로 유도하는 유도 통로가 구비될 수 있다.
이 때, 상기 체크 모듈은 상기 바디부의 일측 방향 또는 상기 바디부의 타측 방향 중 어느 하나를 향하도록 상기 바디부에 선택적으로 결합될 수 있다.
이 때, 상기 제2 바디부는, 상기 제1 바디부와 결합되는 결합부; 상기 결합부로부터 연장되어 상기 제2 바디부의 내측에서 상기 제2 바디부의 하측 방향으로 경사지게 형성되는 경사부 및 상기 경사부으로부터 연장되고, 곡면을 가지는 곡면부를 포함하되, 상기 경사면과 곡면부는 상기 결합부로 유입된 액체를 상기 제2 바디부의 하측으로 이송되도록 구비될 수 있다.
이 때, 상기 유도 통로는, 상기 제1 바디부에 형성되는 제1 유도 통로; 상기 제1 유도 통로와 연통되고, 상기 제2 바디부에 형성되는 제2 유도 통로; 및 상기 제2 유도 통로와 연통되고, 상기 제2 바디부의 하측 방향을 따라 형성되는 제3 유도 통로를 포함할 수 있다.
이 때, 상기 제1 유도 통로와 상기 제2 유도 통로 사이에는 제1 경계선에 의해 구획되고, 상기 제2 유도 통로와 상기 제3 유도 통로 사이에는 제2 경계선에 의해 구획되고, 상기 제2 경계선은 상기 제1 경계선과 일정 거리만큼 이격되어 형성될 수 있다.
이 때, 상기 체크 모듈은, 상기 바디부에 수용되는 제1 하우징; 상기 제1 하우징과 결합되고, 상기 유체가 이동되는 이동 통로가 구비되는 제2 하우징; 상기 이동 통로를 개폐하는 이동부; 및 상기 이동부에 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함할 수 있다.
이 때, 상기 체크 밸브 구조체는, 상기 이동부의 일측에 구비되는 오링; 및 상기 제1 하우징의 내측면에 형성되고, 상기 이동부의 이동에 따라 상기 오링과 밀착되도록 경사지게 형성되는 걸림부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체는, 상부 바디부와 하부 바디부 사이로 유입된 액체가 유도 통로를 통해 바디부의 하측으로 유도하게 되므로, 체크 모듈로 액체가 유입되는 것을 방지하여 체크 모듈의 품질을 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 저장 장치를 나타내는 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 저장 장치를 나타내는 배면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 저장 장치의 유체 분배기를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체를 나타내는 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 체크 밸브 구조체를 나타내는 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 본 발명에 따른 실시예는 다양하게 변형될 수 있다. 특정한 실시예가 도면에서 묘사되고 상세한 설명에서 자세하게 설명될 수 있다. 그러나, 첨부된 도면에 개시된 특정한 실시예는 다양한 실시예를 쉽게 이해하도록 하기 위한 것일 뿐이다. 따라서, 첨부된 도면에 개시된 특정 실시예에 의해 기술적 사상이 제한되는 것은 아니며, 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 균등물 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상술한 용어에 의해 한정되지는 않는다. 상술한 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 발명의 실시예에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 발명의 실시예에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
한편, 본 발명의 실시예에서 사용되는 구성요소에 대한 "모듈" 또는 "부"는 적어도 하나의 기능 또는 동작을 수행한다. 그리고, "모듈" 또는 "부"는 하드웨어, 소프트웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합에 의해 기능 또는 동작을 수행할 수 있다. 또한, 특정 하드웨어에서 수행되어야 하거나 적어도 하나의 프로세서에서 수행되는 "모듈" 또는 "부"를 제외한 복수의 "모듈들" 또는 복수의 "부들"은 적어도 하나의 모듈로 통합될 수도 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
그 밖에도, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 저장 장치를 나타내는 정면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 저장 장치를 나타내는 배면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 웨이퍼 저장 장치(100)는 하우징(110), 복수의 체크 밸브 구조체(130) 및 복수의 유체 분배기(120)를 포함한다.
상기 하우징(110)은 외부로부터 복수의 웨이퍼(W)가 수용되도록 일측이 개구된 형태로 이루어진다. 이 때, 상기 하우징(110)에는 복수의 웨이퍼(W)가 수용되는 내부 공간이 구비된다. 도 3에서는 하나의 웨이퍼만 도시되어 있으나, 이는 도면의 이해의 편의를 위한 것임을 밝혀둔다.
그리고, 상기 하우징(110)은 플라스틱 또는 금속 재질로 이루어진다. 다만, 상기 하우징(110)은 플라스틱 또는 금속 재질에 한정되지 않고, 강성을 갖는 다양한 재질로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 하우징(110)은 일측을 개폐하는 도어를 포함한다. 상기 도어는 상기 하우징(110)의 일측을 폐쇄함에 따라, 상기 하우징(110)의 내부와 외부 사이의 공기의 흐름을 차단한다. 다만, 상기 하우징(110)에는 도어가 구비되는 것에 한정되지 않고, 상기 도어가 존재하지 않게 되어, 상기 하우징(110)의 일측은 개방된 형태를 유지할 수 있다.
또한, 상기 하우징(110)의 내측에는 상기 복수의 웨이퍼(W)를 지지하는 지지부(미도시)가 구비된다. 이 때, 상기 지지부는 상기 하우징(110)의 내측으로부터 상기 하우징(110)의 내부 공간을 향하여 돌출 형성된다.
상기 복수의 체크 밸브 구조체(130)는 상기 하우징(110)의 하측(112)에 형성된 연결관(112a)에 삽입되어 상기 하우징(110)의 하측(112)을 관통한다. 상기 복수의 체크 밸브 구조체(130)는 상기 하우징(110)의 외부로부터 상기 하우징(110)의 내부 공간으로 이동되는 유체의 흐름 또는 상기 하우징(110)의 내부 공간으로부터 상기 하우징(110)의 외부로 이동되는 유체의 흐름을 일방향으로 제어한다. 여기서, 상기 유체는 질소 또는 비활성 가스와 같은 퍼지 가스(purge gas)이다.
그리고, 상기 복수의 체크 밸브 구조체(130)는 제1 체크 밸브(135) 및 상기 제1 체크 밸브(135)와 이격되어 배치되는 제2 체크 밸브(136)를 포함한다.
이 때, 상기 복수의 체크 밸브 구조체(130) 중 어느 하나가 외부로부터 상기 하우징(110)의 내부 공간으로 상기 유체가 유입되도록 제어하는 경우, 외부로부터 상기 하우징(110)의 내부 공간으로 상기 유체의 유입이 중단되더라도 상기 유체는 상기 체크 밸브 구조체(130)를 통해 외부로 배출되는 것이 상기 체크 밸브 구조체(130)에 의해 차단된다.
반대로, 상기 복수의 체크 밸브 구조체(130) 중 다른 하나가 상기 하우징(110)의 내부 공간으로부터 외부로 상기 유체가 유입되도록 제어하는 경우, 상기 하우징(110)의 내부 공간으로부터 외부로 상기 유체의 유입이 중단되더라도 상기 유체는 상기 체크 밸브 구조체(130)를 통해 상기 하우징(110)의 내부 공간으로 유입되는 것이 상기 체크 밸브 구조체(130)에 의해 차단된다. 상기 체크 밸브 구조체(130)에 대한 자세한 설명은 이후 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
상기 복수의 유체 분배기(120)는 복수의 체크 밸브 구조체(130) 각각과 연결되고, 상기 체크 밸브 구조체(130)로부터 유입되는 상기 유체를 상기 하우징(110)의 내부 공간으로 분배한다. 그리고, 상기 복수의 유체 분배기(120)는 상기 제1 체크 밸브(135)와 연결되는 제1 유체 분배기(121) 및 상기 제2 체크 밸브(136)와 연결되는 제2 유체 분배기(122)를 포함한다.
이 때, 상기 복수의 유체 분배기(120)는 상기 하우징(110)의 횡방향을 따라 서로 대칭적으로 배치된다. 이에 따라, 상기 유체가 상기 하우징(110)의 특정 위치에 밀집되는 것이 방지되어 상기 유체가 상기 하우징(110)의 내부 공간에 균일하게 분배되므로, 상기 유체가 상기 하우징(110)에 수용된 상기 복수의 웨이퍼(W)에 균일하게 분사되어 웨이퍼의 품질을 확보할 수 있다. 그리고, 상기 복수의 유체 분배기(120)에 대한 설명은 이후 도면을 참조하여 자세하게 설명하기로 한다.
상기 하우징(110)은 상기 하우징(110)의 하측(112)을 관통한 복수의 배출부(140)를 구비한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 배출부(140)는 상기 복수의 체크 밸브 구조체(130)와 이격되어 배치된다. 그리고, 상기 복수의 배출부(140)는 상기 하우징(110)의 내부 공간의 상기 유체가 외부로 배출되는 배출 통로를 제공한다. 또한, 본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 상기 배출부(140)는 상기 유체의 흐름을 제어하는 체크 밸브일 수 있다.
전술한 바와 같이, 상기 체크 밸브 구조체(130)를 통해 유입된 상기 유체는 상기 유체 분배기(120)를 통해 상기 하우징(110)의 내부 공간으로 균일하게 분배된다. 그리고, 상기 유체는 상기 하우징(110)의 내부 공간에서 체류한다.
이 때, 상기 유체가 상기 웨이퍼(W)에 부착된 불순물과 결합되면, 불순물과 결합된 상기 유체는 중력 방향으로 하강하게 된다. 이에 따라, 상기 불순물과 결합된 상기 유체는 상기 하우징(110)의 하측에 배치된 상기 복수의 배출부(140)를 통해 외부로 배출된다.
또한, 상기 복수의 배출부(140)는 상기 체크 밸브 구조체(130)와 이격되어 배치됨에 따라, 상기 체크 밸브 구조체(130)를 통해 유입되는 상기 유체가 바로 상기 복수의 배출부(140)를 통해 외부로 배출되지 않고 상기 하우징(110)의 내부 공간에 충분히 체류하게 되므로, 상기 유체의 공급에 따른 에너지 소모를 절감할 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 저장 장치의 유체 분배기를 나타내는 평면도이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 복수의 유체 분배기(120)는 케이스(123) 및 분배 부재(미도시)를 포함한다.
상기 케이스(123)는 상기 하우징(110, 도 1 참조)의 내부 공간의 높이와 대응되도록 형성된다. 이 때, 상기 케이스(123)는 제1 고정 부재(127a)에 의해 상기 하우징(110)의 하측(112)에 고정된다. 그리고, 상기 케이스(123)는 제2 고정 부재(127b)에 의해 상기 하우징(110)의 상측(115)에 고정된다. 이에 따라, 상기 케이스(123)는 상기 하우징(110)의 내부 공간(110a)의 높이 방향(Z)을 따라 직립한 상태를 유지한다.
그리고, 상기 케이스(123)는 플라스틱으로 이루어진다. 다만, 상기 케이스(123)는 플라스틱으로 이루어진 것에 한정되지 않고, 금속과 같이 다양한 재질로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 케이스(123)의 내부에는 상기 복수의 체크 밸브 구조체(130)와 연통되는 분배 통로(미도시)가 구비된다. 그리고, 상기 케이스(123)에는 상기 분배 통로(미도시)와 연통되는 복수의 분배 홀(123c)이 형성된다.
상기 분배 부재는 상기 케이스(123)의 길이 방향을 따라 상기 케이스(123)의 내측에 구비된다. 이 때, 상기 분배 부재는 상기 복수의 분배 홀(123c)이 형성된 상기 케이스(123)의 내측에 부착된다. 상기 분배 부재(125)는 상기 유체가 상기 복수의 분배 홀(123c)에 균일하게 분배되도록 구비된다.
이에 따라, 상기 복수의 체크 밸브 구조체(130)를 통해 유입된 상기 유체는 상기 분배 부재에 의해 상기 체크 밸브 구조체(130)에 인접한 상기 분배 통로로만 바로 통과되지 않고, 상기 분배 부재는 상기 유체를 상기 복수의 분배 홀(123c)에 균일하게 분배되도록 유도한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체를 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체를 나타내는 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브 구조체를 나타내는 단면도이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 상기 체크 밸브 구조체(130)는 바디부(131, 132) 및 체크 모듈(133)을 포함한다. 여기서, 상기 체크 밸브 구조체(130)는 전술한 웨이퍼 저장 장치에 적용되나, 이에 한정되지 않고, 유체의 흐름을 제어하는 다양한 장치에 적용될 수 있다.
상기 바디부(131, 132)는 상기 하우징(110)의 하측(112)에 결합되는 외부 바디부(131) 및 상기 외부 바디부(132)의 내부에 수용되는 내부 바디부(132)를 포함한다.
상기 외부 바디부(131)는 제1 외부 바디부(131a) 및 상기 제1 외부 바디부(131a)에 결합되는 제2 외부 바디부(131b)를 포함한다.
상기 내부 바디부(132)는 제1 내부 바디부(132a) 및 상기 제1 내부 바디부(132a)에 결합되는 제2 내부 바디부(132b)를 포함한다. 이 때, 상기 제1 내부 바디부(132a)의 외측면에는 제1 오링(132ab)을 수용하는 제1 오링 수용홈(132aa)이 형성된다. 상기 제1 오링(132ab)은 상기 제1 오링 수용홈(132aa)에 수용되면서 상기 제1 외부 바디부(131a)의 내측면에 밀착되므로, 상기 제1 외부 바디부(131a)와 상기 제1 내부 바디부(132a) 사이로 물과 같은 이물질이 유입되는 것이 차단된다. 또한, 상기 제2 내부 바디부(132b)의 외측면에는 제2 오링(132bb)을 수용하는 제2 오링 수용홈(132ba)이 형성된다. 상기 제2 오링(132bb)은 상기 제2 오링 수용홈(132ba)에 수용되면서 상기 제2 외부 바디부(131b)의 내측면에 밀착되므로, 상기 제2 외부 바디부(131b)와 상기 제2 내부 바디부(132b) 사이로 물과 같은 이물질이 유입되는 것이 차단된다.
상기 체크 모듈(133)은 상기 제1 내부 바디부(132a)와 상기 제2 내부 바디부(132b) 사이에 수용된다. 또한, 상기 체크 모듈(133)의 의 외측면에는 제3 오링(133a)을 수용하는 제3 오링 수용홈(133a)이 형성된다. 상기 제3 오링(133a)은 상기 제3 오링 수용홈(133a)에 수용되면서 상기 제2 내부 바디부(132b)의 내측면에 밀착되므로, 상기 체크 모듈(133)과 상기 제2 내부 바디부(132b) 사이로 물과 같은 이물질이 유입되는 것이 차단된다.
상기 체크 모듈(133)은 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 하우징(133c), 제2 하우징(133d), 이동부(133e) 및 탄성 부재(133f)를 포함한다.
상기 제1 하우징(133c)은 상기 내부 바디부(132)에 수용된다.
상기 제2 하우징(133d)은 상기 제1 하우징(133c)과 결합된다. 상기 제2 하우징(133d)에는 상기 유체가 이동되는 이동 통로(133da)가 구비된다.
상기 이동부(133e)는 상기 이동 통로(133da)를 개폐한다. 상기 이동부(133e)는 상기 제2 하우징(133d)의 이동 통로(133da)에서 왕복 이동될 수 있다.
상기 탄성 부재(133f)는 상기 이동부(133e)에 탄성력을 제공한다. 상기 탄성 부재(133f)는 스프링 형태이다. 다만, 상기 탄성 부재(133f)는 스프링 형태에 한정되지 않고, 탄성력을 제공하는 다양한 형태일 수 있다. 상기 탄성 부재(133f)의 일측은 상기 제2 하우징(133d)에 고정되고, 상기 탄성 부재(133f)의 타측은 상기 이동부(133e)에 고정된다.
상기 탄성 부재(133f)의 탄성력보다 더 큰 압력으로 상기 이동부(133e)를 가압하면, 상기 이동부(133e)는 일측으로 이동된다. 이에 따라, 상기 체크 모듈(133)은 상기 이동통로를 개방하여, 상기 유체는 상기 체크 모듈(133)의 일측(130b)으로부터 상기 체크 모듈(133)의 타측(130a)으로 이동된다.
그리고, 상기 유체의 유입이 중단되면, 상기 탄성 부재(133f)는 상기 이동부(133e)를 상기 제1 하우징(133c)으로 이동시켜, 상기 체크 모듈(133)은 상기 이동통로(133da)를 폐쇄한다.
또한, 상기 체크 모듈(133)은 오링(133r) 및 걸림부(133ca)를 포함한다.
상기 오링(133r)은 상기 이동부(133e)의 일측에 구비된다. 상기 오링(133e)은 고무 재질로 이루어지고, 이외에 실리콘과 같이 탄력성을 가지는 다양한 재질로 이루어질 수 있다.
상기 걸림부(133ca)는 상기 제1 하우징(133c)의 내측면에 경사지게 형성된다. 이에 따라, 상기 걸림부(133ca)는 상기 이동부(133e)의 이동에 따라 상기 오링(133ca)과 밀착된다. 이를 통해, 상기 오링(133ca)은 상기 이동부(133e)와 상기 제1 하우징(133c) 사이에서 액체의 이동을 차단하게 된다.
한편, 상기 제1 내부 바디부(132a)와 상기 제2 내부 바디부(132b)가 결합되면, 상기 제1 내부 바디부(132a)의 제1 결합면(132ac)과 상기 제2 내부 바디부(132b)의 제2 결합면(132bc) 사이로 미세한 갭이 발생된다.
액체와 같이 이물질이 상기 제1 내부 바디부(132a)의 제1 결합면(132ac)과 상기 제2 내부 바디부(132b)의 제2 결합면(132bc) 사이로 유입될 경우, 이물질이 상기 제1 내부 바디부(132a), 상기 제2 내부 바디부(132b)와 상기 체크 모듈(133)의 외측에 잔존하게 되는 문제가 있다. 이를 방치할 경우, 이물질은 상기 웨이퍼 저장 장치(100)의 내부로 유입되어 웨이퍼의 품질을 저하되는 문제가 있다.
이를 해결하기 위해, 상기 내부 바디부(132)에는 유도 통로(132ad, 132bd, 132bg)가 구비된다.
상기 유도 통로(132ad, 132bd, 132bg)는 상기 제1 내부 바디부(132)에 형성되는 제1 유도 통로(132ad), 상기 제1 유도 통로(132ad)와 연통되는 제2 유도 통로(132bd) 및 상기 제2 유도 통로(132bg)와 연통되는 제3 유도 통로(132bg)를 포함한다.
상기 제1 유도 통로(132ad)에는 액체가 직접적으로 유입되지 않는다. 상기 제1 유도 통로(132ad)는 에어를 포함하여 상기 유도 통로(132ad, 132bd, 132bg)에 유입된 액체에 의해 상기 유도 통로(132ad, 132bd, 132bg)의 압력이 증가하게 되어, 상기 액체의 이동이 저하되는 것이 방지된다.
상기 제2 유도 통로(132bd)는 상기 제2 내부 바디부(132)에 형성되고, 상기 액체는 상기 제2 유도 통로(132bd)를 통해 이동한다.
상기 제3 유도 통로(132bg)는 상기 제2 내부 바디부(132)의 하측 방향을 따라 형성된다. 즉, 상기 제3 유도 통로(132bg)는 외부와 연통되어 상기 액체가 중력에 의해 상기 제3 유도 통로(132bg)를 통해 외부로 배출된다.
이 때, 상기 제1 유도 통로(132ad)와 상기 제2 유도 통로(132bd) 사이에는 제1 경계선에 의해 구획되고, 상기 제2 유도 통로(132bd)와 상기 제3 유도 통로(132bg) 사이에는 제2 경계선에 의해 구획된다. 그리고, 상기 제2 경계선은 상기 제1 경선과 일정 거리(L)만큼 이격되어 형성된다.
이에 따라, 상기 액체는 상기 제1 내부 바디부(132a)와 상기 제2 내부 바디부(132b) 사이로 유입되더라도 상기 일정 거리(L)만큼 높이 차이로 인하여 상기 제3 유도 통로(132bg)로 원활하게 이동된다.
이와 같이, 상기 액체는 상기 제1 내부 바디부(132a), 상기 제2 내부 바디부(132b)와 상기 체크 모듈(133)에 잔존하지 않고 외부로 배출된다.
또한, 상기 제2 내부 바디부(132b)는 결합부(132bh), 경사부(132be) 및 곡면부(132bf)를 포함한다.
상기 결합부(132bh)는 상기 상부 바디부(132a)와 결합된다. 이 때, 상기 결합부(132bh)와 상기 상부 바디부(132a) 사이에는 미세한 갭이 존재한다.
상기 경사부(132be)는 상기 결합부(132bh)로부터 연장되어 상기 제2 내부 바디부(132b)의 내측에서 상기 제2 내부 바디부(132b)의 하측 방향으로 경사지게 형성된다.
이에 따라, 상기 액체는 상기 경사부(132be)를 따라 이동하게 되므로, 바로 낙하되지 않게 되어 상기 액체가 튀는 현상이 방지되면서 상기 액체가 원활하게 이동된다.
상기 곡면부(132bf)는 상기 경사부(132be)로부터 연장되고, 곡면을 가진다. 이에 따라, 상기 액체가 상기 제2 유도 통로(132bd)에서 특정 위치에 고이는 것이 방지되면서 상기 액체가 원활하게 이동된다.
이와 같이, 상기 경사면(132be)과 상기 곡면부(132bf)는 상기 결합부(132bh)로 유입된 액체를 상기 내부 바디부(132)의 하측으로 이송되도록 구비된다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 저장 장치의 체크 밸브 구조체를 나타내는 단면도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 체크 밸브 구조체(130')의 구성요소는 전술한 실시예의 구성요소와 동일하고, 체크 모듈(133)의 배치에 대해 중점적으로 설명하기로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 체크 모듈(133)은 전술한 실시예에 따른 체크 모듈(133)과 반대 방향으로 상기 내부 바디부(132a, 132b)에 수용된다.
즉, 상기 체크 모듈(133)은 상기 내부 바디부(132a, 132b)의 일측 방향 또는 상기 내부 바디부(132a, 132b)의 타측 방향 중 어느 하나를 향하도록 상기 내부 바디부(132a, 132b)에 선택적으로 결합된다.
이에 따라, 상기 체크 모듈(133)은 상기 유체의 흐름을 상기 내부 바디부(132a, 132b)의 일측 방향 또는 상기 내부 바디부(132a, 132b)의 타측 방향 중 어느 하나의 방향으로 제어할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
130: 체크 밸브 구조체
131, 132: 바디부
133: 체크 모듈
132ad, 132bd, 132bg: 유도 통로

Claims (7)

  1. 바디부; 및
    상기 바디부의 내부에 구비되고, 유체의 흐름을 일방향으로 제어하는 체크 모듈을 포함하고,
    상기 바디부는,
    상기 체크 모듈의 상측을 수용하는 제1 바디부; 및
    상기 제1 바디부와 결합되는 제2 바디부를 포함하고,
    상기 바디부에는 상기 제1 바디부와 상기 제2 바디부 사이로 유입된 액체가 상기 체크 모듈로 유입되는 것이 방지되도록 상기 액체를 상기 바디부의 하측으로 유도하는 유도 통로가 구비되고,
    상기 제2 바디부는,
    상기 제1 바디부와 결합되는 결합부;
    상기 결합부로부터 연장되어 상기 제2 바디부의 내측에서 상기 제2 바디부의 하측 방향으로 경사지게 형성되는 경사부 및
    상기 경사부으로부터 연장되고, 곡면을 가지는 곡면부를 포함하되,
    상기 경사부와 상기 곡면부는 상기 결합부로 유입된 액체를 상기 제2 바디부의 하측으로 이송되도록 구비되는, 체크 밸브 구조체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 체크 모듈은 상기 바디부의 일측 방향 또는 상기 바디부의 타측 방향 중 어느 하나를 향하도록 상기 바디부에 선택적으로 결합되는, 체크 밸브 구조체.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 유도 통로는,
    상기 제1 바디부에 형성되는 제1 유도 통로;
    상기 제1 유도 통로와 연통되고, 상기 제2 바디부에 형성되는 제2 유도 통로; 및
    상기 제2 유도 통로와 연통되고, 상기 제2 바디부의 하측 방향을 따라 형성되는 제3 유도 통로를 포함하고, 체크 밸브 구조체.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 유도 통로와 상기 제2 유도 통로 사이에는 제1 경계선에 의해 구획되고,
    상기 제2 유도 통로와 상기 제3 유도 통로 사이에는 제2 경계선에 의해 구획되고,
    상기 제2 경계선은 상기 제1 경계선과 일정 거리만큼 이격되어 형성되는, 체크 밸브 구조체.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 체크 모듈은,
    상기 바디부에 수용되는 제1 하우징;
    상기 제1 하우징과 결합되고, 상기 유체가 이동되는 이동 통로가 구비되는 제2 하우징;
    상기 이동 통로를 개폐하는 이동부; 및
    상기 이동부에 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함하는, 체크 밸브 구조체.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 이동부의 일측에 구비되는 오링; 및
    상기 제1 하우징의 내측면에 형성되고, 상기 이동부의 이동에 따라 상기 오링과 밀착되도록 경사지게 형성되는 걸림부를 더 포함하는, 체크 밸브 구조체.
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