KR102328513B1 - 산업용 로봇 - Google Patents

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KR102328513B1
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다카유키 야자와
요시키 시무라
요스케 다카세
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 있어서, 예를 들어 고온의 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도, 제1 핸드를 이동시키기 위한 모터 및 제2 핸드를 이동시키기 위한 모터의, 열의 영향에 의한 손상을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 산업용 로봇(1)은, 핸드(5, 6)와, 핸드(5)가 고정되는 핸드 지지 부재(7)와, 핸드(6)가 고정되는 핸드 지지 부재(8)와, 핸드 지지 부재(7, 8)가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하는 암(9)과, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고 있다. 제1 구동 기구의 일부를 구성하는 모터 및 제2 구동 기구의 일부를 구성하는 모터는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다.

Description

산업용 로봇
본 발명은, 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.
종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암을 보유 지지하는 암 지지 부재를 구비하고 있다. 암은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재는 암에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다.
또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고 있다. 제1 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제1 나사 부재와, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 나사 부재에 걸림 결합하는 제1 너트 부재와, 제1 나사 부재를 회전시키는 제1 모터를 구비하고 있다. 제2 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제2 나사 부재와, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 나사 부재에 걸림 결합하는 제2 너트 부재와, 제2 나사 부재를 회전시키는 제2 모터를 구비하고 있다. 제1 모터는 암의 내부의 전단부측에 고정되고 제2 모터는 암의 내부의 후단부측에 고정되어 있다.
또한 종래, 진공 중에서 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 2 참조). 특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암과, 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 이 산업용 로봇은, 트랜스퍼 챔버와, 트랜스퍼 챔버를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버를 구비하는 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 트랜스퍼 챔버 및 프로세스 챔버의 내부는 진공으로 되어 있다.
특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇의 핸드 및 암은 트랜스퍼 챔버 내에 배치되어 있다. 프로세스 챔버에는 각종 기기가 설치되어 있으며, 프로세스 챔버에서는 유리 기판에 대한 각종 처리가 실행된다. 특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇은, 프로세스 챔버로부터의 유리 기판의 반출이나 프로세스 챔버로의 유리 기판의 반입을 행한다. 또한 프로세스 챔버에서는 고온 환경 하에서 유리 기판에 대한 처리가 실행되는 경우가 있으며, 고온 환경 하에서 유리 기판에 대한 처리가 실행되는 프로세스 챔버에서는 그 내부 온도가 높게 되어 있다.
일본 특허 공개 제2015-80828호 공보 일본 특허 공개 제2015-139854호 공보
본원 발명자는, 특허문헌 2에 기재된 산업용 로봇과 같이 진공 중에서 유리 기판 등의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇으로서, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇의 채용을 검토하고 있다.
그러나 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 암의 내부의 전단부측에 제1 모터가 고정되고 암의 내부의 후단부측에 제2 모터가 고정되어 있기 때문에, 이 산업용 로봇에 의하여, 고온 환경 하에서 유리 기판의 처리가 실행되는 프로세스 챔버(즉, 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버)에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우, 제1 모터 또는 제2 모터가 고온의 프로세스 챔버에 접근한다. 또한 제1 모터 또는 제2 모터가 고온의 프로세스 챔버에 접근하면 제1 모터 또는 제2 모터의 온도가 높아져, 제1 모터 또는 제2 모터가 열의 영향으로 손상될 우려가 높아진다.
그래서 본 발명의 과제는, 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 가짐과 함께 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 있어서, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도, 제1 핸드를 이동시키기 위한 제1 모터 및 제2 핸드를 이동시키기 위한 제2 모터의, 열의 영향에 의한 손상을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데에 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 산업용 로봇은, 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇이며, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재와 제2 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고, 제1 구동 기구는 구동원으로서의 제1 모터를 구비하고, 제2 구동 기구는 구동원으로서의 제2 모터를 구비하고, 제1 모터 및 제2 모터는 암의 중심 부분의 내부에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 산업용 로봇에서는, 제1 모터 및 제2 모터는 암의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 그 때문에 본 발명의 산업용 로봇으로, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도 제1 모터 및 제2 모터와 고온의 프로세스 챔버의 거리를 확보하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도 제1 모터 및 제2 모터의 온도의 상승을 억제하는 것이 가능해지며, 그 결과, 제1 모터 및 제2 모터의, 열의 영향에 의한 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 예를 들어 암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고, 암의 중심이 본체부에 연결되어 있다. 본 발명에서는, 암의 중심 부분의 내부에 제1 모터 및 제2 모터가 배치되어 있기 때문에, 이 경우에는, 본체부에 대하여 회동하는 암 등의 이너셔를 저감시키는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 암의 중심 부분의 내부에는, 제1 모터 및 제2 모터가 배치되는 내부 공간이 형성되고, 내부 공간은 대기압으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면 본 발명의 산업용 로봇으로, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도 제1 모터 및 제2 모터를 효율적으로 냉각하는 것이 가능해진다. 따라서, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도 제1 모터 및 제2 모터의 온도의 상승을 효과적으로 억제하는 것이 가능해지며, 그 결과, 제1 모터 및 제2 모터의, 열의 영향에 의한 손상을 방지하는 것이 가능해진다. 또한 이와 같이 구성하면 제1 모터 및 제2 모터의 윤활제로서 고가의 진공 그리스를 사용할 필요가 없게 되기 때문에, 산업용 로봇의 이니셜 코스트 및 러닝 코스트를 저감시키는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 내부 공간에는, 제1 모터의 출력축과 제2 모터의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 제1 모터 및 제2 모터가 배치되고, 제1 구동 기구는, 제1 모터의 출력축에 연결되는 제1 회전축과, 제1 회전축을 회전 가능하게 지지함과 함께 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 제1 자성 유체 시일을 구비하고, 제2 구동 기구는, 제2 모터의 출력축에 연결되는 제2 회전축과, 제2 회전축을 회전 가능하게 지지함과 함께 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 제2 자성 유체 시일을 구비하고, 암은, 내부 공간을 획정함과 함께 제1 자성 유체 시일을 보유 지지하는 제1 벽부와, 내부 공간을 획정함과 함께 제2 자성 유체 시일을 보유 지지하는 제2 벽부를 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성하면, 암의 내부에 있어서는, 암의 중심 부분에 형성되는 내부 공간만이 대기압으로 된다. 따라서 암의 단부까지 대기압으로 되는 공간이 넓게 되어 있는 경우와 비교하여 암의 내부의 구성을 간소화하는 것이 가능해짐과 함께, 진공 영역으로 공기가 유출될 우려를 저감시키는 것이 가능해진다. 또한 이와 같이 구성하면 암의 중심측에 제1 자성 유체 시일 및 제2 자성 유체 시일이 배치되기 때문에, 예를 들어 고온의 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도 제1 자성 유체 시일 및 제2 자성 유체 시일과 고온의 프로세스 챔버의 거리를 확보하는 것이 가능해진다. 따라서 제1 자성 유체 시일 및 제2 자성 유체 시일의 온도의 상승을 억제하는 것이 가능해지며, 그 결과, 제1 자성 유체 시일 및 제2 자성 유체 시일의, 열의 영향에 의한 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 예를 들어 제1 회전축은, 암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향과, 제1 회전축의 축 방향이 일치하도록 배치되고, 제2 회전축은, 암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향과, 제2 회전축의 축 방향이 일치하도록 배치되고, 제1 구동 기구는, 제1 회전축의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어와, 제1 베벨 기어에 맞물리는 제2 베벨 기어와, 제2 베벨 기어가 고정되는 제3 회전축과, 제3 회전축에 고정되는 2개의 제1 구동 풀리를 구비하고, 제2 구동 기구는, 제2 회전축의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어와, 제3 베벨 기어에 맞물리는 제4 베벨 기어와, 제4 베벨 기어가 고정되는 제4 회전축과, 제4 회전축에 고정되는 2개의 제2 구동 풀리를 구비하고 있다.
본 발명에 있어서, 제1 구동 기구는, 제4 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 제1 종동 풀리와, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 구동 풀리와 제1 종동 풀리에 가설되는 2개의 제1 벨트를 구비하고, 제2 구동 기구는, 제3 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 제2 종동 풀리와, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 구동 풀리와 제2 종동 풀리에 가설되는 2개의 제2 벨트를 구비하고, 제2 베벨 기어는, 제3 회전축의 축 방향에 있어서의 제3 회전축의 중심측에 고정되고, 2개의 제1 구동 풀리의 각각은, 제3 회전축의 축 방향에 있어서의 제3 회전축의 양 단부의 각각에 고정되고, 제2 종동 풀리는, 제2 베벨 기어와 제1 구동 풀리 사이에서 제3 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되고, 제4 베벨 기어는, 제4 회전축의 축 방향에 있어서의 제4 회전축의 중심측에 고정되고, 2개의 제1 종동 풀리의 각각은, 제4 회전축의 축 방향에 있어서의 제4 회전축의 양 단부의 각각에 회전 가능하게 보유 지지되고, 제2 구동 풀리는, 제4 베벨 기어와 제1 종동 풀리 사이에서 제4 회전축에 고정되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성하면, 제1 구동 풀리가 고정되는 제3 회전축에 제2 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되고, 제2 구동 풀리가 고정되는 제4 회전축에 제1 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되어 있기 때문에, 제1 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이나 제2 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이 별도 마련되어 있는 경우와 비교하여 산업용 로봇의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다. 또한 이와 같이 구성하면 2개의 제1 벨트와 2개의 제2 벨트가 수평 방향으로 늘어서도록 배치되기 때문에, 상하 방향에 있어서의 암의 두께를 얇게 하는 것이 가능해진다. 따라서 산업용 로봇의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다.
이상과 같이 본 발명에서는, 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 가짐과 함께 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 있어서, 예를 들어 고온으로 되어 있는 프로세스 챔버에 대한 반송 대상물의 반입이나 반출을 행하는 경우에도, 제1 핸드를 이동시키기 위한 제1 모터 및 제2 핸드를 이동시키기 위한 제2 모터의, 열의 영향에 의한 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 배면도이다.
도 4의 (A)는 도 1에 도시하는 암의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, (B)는 (A)의 E-E 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5의 (A)는 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다.
도 6의 (A)는 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다.
도 7의 (A)는 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, (B)는 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
(산업용 로봇의 개략 구성)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 배면도이다.
본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 진공 중에서 반송하는 로봇이다. 이 로봇(1)은 액정 디스플레이 장치의 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 이 제조 시스템은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(3)(이하, 「챔버(3)」라 함)와, 챔버(3)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)를 구비하고 있다(도 1 참조).
챔버(3, 4)의 내부는 진공으로 되어 있다. 즉, 챔버(3, 4)는 진공 챔버이다. 챔버(3)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)은, 챔버(4)로의 기판(2)의 반입과 챔버(4)로부터의 기판(2)의 반출을 행한다. 챔버(4)의 내부에는 각종 장치 등이 배치되어 있으며, 챔버(4)의 내부에서는 기판(2)에 대하여 각종 처리가 행해진다. 본 형태의 챔버(4)에서는 고온 환경 하에서 기판(2)에 대한 처리가 실행된다. 그 때문에 챔버(4)의 내부 온도는 높게 되어 있다.
로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 제1 핸드로서의 핸드(5)와, 기판(2)이 탑재되는 제2 핸드로서의 핸드(6)와, 핸드(5)가 고정되는 제1 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(7)와, 핸드(6)가 고정되는 제2 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(8)와, 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하는 암(9)과, 암(9)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다.
본체부(10)는, 암(9)의 중심부가 고정되는 원기둥형의 승강 부재(12)(도 2 참조)와, 승강 부재(12)를 승강시키는 승강 기구와, 승강 부재(12)를 회동시키는 회동 기구와, 이들의 구성이 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다. 플랜지(14)에는, 승강 부재(12)의 상단부측 부분이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다.
핸드(5, 6) 및 암(9)은 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 상술한 바와 같이 로봇(1)의 일부는 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 중에 배치되어 있고, 핸드(5, 6) 및 암(9)은 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 중(대기 중)에 배치되어 있다.
암(9)은, 핸드 지지 부재(7)와 핸드 지지 부재(8)가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하고 있다. 로봇(1)은, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구로서의 구동 기구(17)와, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구로서의 구동 기구(18)를 구비하고 있다(도 4 참조).
이하, 핸드(5, 6), 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구체적인 구성을 설명한다. 또한 이하의 설명에서는, 암(9)에 대한 핸드 지지 부재(7, 8)의 이동 방향인 도 1 등의 X 방향을 「전후 방향」이라 하고, 상하 방향(연직 방향)과 전후 방향에 직교하는 도 1 등의 Y 방향을 「좌우 방향」이라 한다. 또한 전후 방향 중의 X1 방향측을 「전방」측이라 하고 그 반대측인 X2 방향측을 「후방」측이라 한다.
(핸드, 핸드 지지 부재, 암 및 구동 기구의 구성)
도 4의 (A)는, 도 1에 도시하는 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4의 (B)는, 도 4의 (A)의 E-E 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 5의 (A)는, 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, 도 5의 (B)는, 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다. 도 6의 (A)는, 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, 도 6의 (B)는, 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다. 도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 7의 (B)는, 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 8은, 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9는, 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
핸드(5)는, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(21)를 구비하고 있다. 핸드(6)는 핸드(5)와 마찬가지로, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(22)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(5, 6)는 6개의 포크(20)를 구비하고 있다. 포크(20)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21, 22)는, 좌우 방향으로 가늘고 긴 대략 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21)의 길이(좌우 방향의 길이)는 핸드 기부(22)의 길이(좌우 방향의 길이)보다도 길게 되어 있다.
핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 방향으로 서로 겹쳐지도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)가 상측에 배치되고 핸드(6)가 하측에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)가 상측에 배치되고 핸드 기부(22)가 하측에 배치되어 있다. 또한 도 3에 도시한 바와 같이 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)의 중심과 핸드 기부(22)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 즉, 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)의 중심과 핸드(6)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다.
암(9)은 핸드(6)의 하측에 배치되어 있다. 이 암(9)은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 또한 암(9)은 중공형으로 형성되어 있다. 암(9)의 좌우 방향의 폭은 핸드(5, 6)의 좌우 방향의 폭보다도 좁게 되어 있다. 암(9)은, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5, 6)의 중심과 암(9)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 암(9)은, 암(9)의 프레임인 암 프레임(23)과, 암(9)의 상하, 좌우 및 전후의 측면을 구성하는 커버 부재(24)와, 암(9)의 중심부에 배치되는 상자형의 모터 수용 부재(25)와, 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되는 상면 커버(26)를 구비하고 있다. 또한 도 4 내지 도 9에서는 커버 부재(24)의 도시를 생략하고 있다.
암 프레임(23)은, 전후 방향에 있어서의 암(9)의 전역에서 암(9)의 프레임을 구성하고 있다. 이 암 프레임(23)은, 암 프레임(23)의 우측면을 구성하는 우측 판부(23a)와, 암 프레임(23)의 좌측면을 구성하는 좌측 판부(23b)와, 암 프레임(23)의 상측면을 구성하는 상측 판부(23c)와, 암 프레임(23)의 하측면을 구성하는 하측 판부(23d)를 구비하고 있다.
우측 판부(23a), 좌측 판부(23b), 상측 판부(23c) 및 하측 판부(23d)는 평판 형으로 형성되어 있다. 우측 판부(23a)는, 우측 판부(23a)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고, 좌측 판부(23b)는, 좌측 판부(23b)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는, 상측 판부(23c)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 하측 판부(23d)는, 하측 판부(23d)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다.
우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b)는, 좌우 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는 우측 판부(23a)의 상단부 및 좌측 판부(23b)의 상단부에 나사에 의하여 고정되어 있다. 하측 판부(23d)는 우측 판부(23a)의 하단부 및 좌측 판부(23b)의 하단부에 나사에 의하여 고정되어 있다. 상측 판부(23c)의 우단부 및 하측 판부(23d)의 우단부는 우측 판부(23a)보다도 우측에 배치되고, 상측 판부(23c)의 좌단부 및 하측 판부(23d)의 좌단부는 좌측 판부(23b)보다도 좌측에 배치되어 있다.
모터 수용 부재(25)는, 상면측이 개구되는, 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)에는, 구동 기구(17)를 구성하는 후술하는 모터(37)와, 구동 기구(18)를 구성하는 후술하는 모터(38)가 수용되어 있다. 모터 수용 부재(25)는 암 프레임(23)의 중심 부분에 고정되어 있다. 즉, 모터 수용 부재(25)는 암(9)의 중심 부분에 배치되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면의 중심은 승강 부재(12)의 상단부에 고정되어 있다. 즉, 암(9)의 중심은 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)의, 하단부 이외의 대부분의 부분은, 좌우 방향에 있어서 우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b) 사이에 배치되어 있다(도 5의 (A), 도 9 참조).
상면 커버(26)는 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 상면 커버(26)는, 모터 수용 부재(25)의 상면측에 형성되는 개구부를 막도록 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되어 있다. 암(9)의 중심 부분의 내부에는, 모터 수용 부재(25)와 상면 커버(26)에 의하여 획정되는 내부 공간 S가 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면부의 중심에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(25a)이 형성되어 있다. 상술한 바와 같이 승강 부재(12)는 원통형으로 형성되어 있다. 승강 부재(12)는, 관통 구멍(25a)을 둘러싸도록 모터 수용 부재(25)의 저면에 고정되어 있으며, 케이스체(13)의 내부와 내부 공간 S가 통하고 있다. 케이스체(13)의 내부 및 내부 공간 S는 대기압으로 되어 있다.
도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(29)이 고정되어 있다. 또한 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(30)이 고정되어 있다. 가이드 레일(29, 30)은, 가이드 레일(29, 30)의 긴 변 방향과 전후 방향이 일치하도록 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다.
본 형태에서는, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(29)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다(도 7 참조). 마찬가지로, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(30)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다. 우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(29)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(29)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 마찬가지로, 우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(30)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(30)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한 가이드 레일(30)은 가이드 레일(29)의 상측에 배치되어 있다.
핸드 지지 부재(7)는, 가이드 레일(29)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(7a)와, 핸드(5)의 핸드 기부(21)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(7b)로 구성되어 있다. 마찬가지로 핸드 지지 부재(8)는, 가이드 레일(30)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(8a)와, 핸드(6)의 핸드 기부(22)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(8b)로 구성되어 있다.
도 8, 도 9에 도시한 바와 같이 2개의 슬라이드부(7a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 2개의 슬라이드부(8a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 또한 2개의 슬라이드부(8a)는 2개의 슬라이드부(7a)의 상측에 배치되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 우단부 부분은 커버 부재(24)의 우측면보다도 우측으로 돌출되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 좌단부 부분은 커버 부재(24)의 좌측면보다도 좌측으로 돌출되어 있다.
2개의 핸드 고정부(7b) 중의 한쪽 핸드 고정부(7b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 우단부 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(7b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 좌단부 부분의 하면이 고정되어 있다.
2개의 핸드 고정부(8b) 중의 한쪽 핸드 고정부(8b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 우측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(8b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 좌측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다.
우측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되어 있다. 마찬가지로, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되어 있다.
구체적으로는 2개의 슬라이드부(7a)의 각각에 3개의 가이드 블록(31)이, 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 2개의 슬라이드부(8a)의 각각에 3개의 가이드 블록(32)이, 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조). 본 형태에서는 가이드 레일(29)과 가이드 블록(31)에 의하여, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 기구(33)가 구성되어 있다. 또한 가이드 레일(30)과 가이드 블록(32)에 의하여, 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 기구(34)가 구성되어 있다.
구동 기구(17, 18)는 암(9)의 내부에 배치되어 있다. 구동 기구(17)는 구동원으로서의 모터(37)를 구비하고 있다. 구동 기구(18)는 구동원으로서의 모터(38)를 구비하고 있다. 모터(37, 38)는 내부 공간 S에 배치되어 있다. 즉, 모터(37, 38)는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 모터(37, 38)는 소정의 브래킷에 의해 모터 수용 부재(25)에 고정되어 있다. 모터(37)와 모터(38)는 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 구체적으로는 모터(37)가 후방측에 배치되고 모터(38)가 전방측에 배치되어 있다. 본 형태의 모터(37)는 제1 모터이고 모터(38)는 제2 모터이다.
모터(37, 38)는, 모터(37, 38)의 출력축의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한 모터(37, 38)는, 모터(37)의 출력축과 모터(38)의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 내부 공간 S에 배치되어 있다. 구체적으로는, 모터(37)의 출력축이 후방측을 향하여 돌출되고 모터(38)의 출력축이 전방측을 향하여 돌출되도록 모터(37, 38)가 내부 공간 S에 배치되어 있다. 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심은 일치하고 있다. 또한 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37, 38)의 회전 중심과 암(9)의 중심은 대략 일치하고 있다. 또한 모터(37, 38)에는 냉각용 에어 배관(도시 생략)이 감겨 있다.
또한 구동 기구(17)는, 모터(37)의 출력축에 연결되는 제1 회전축으로서의 회전축(39)과, 회전축(39)의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어로서의 베벨 기어(40)와, 베벨 기어(40)에 맞물리는 제2 베벨 기어로서의 베벨 기어(41)와, 베벨 기어(41)가 고정되는 제3 회전축으로서의 회전축(42)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 모터(38)의 출력축에 연결되는 제2 회전축으로서의 회전축(43)과, 회전축(43)의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어로서의 베벨 기어(44)와, 베벨 기어(44)에 맞물리는 제4 베벨 기어로서의 베벨 기어(45)와, 베벨 기어(45)가 고정되는 제4 회전축으로서의 회전축(46)을 구비하고 있다.
또한, 구동 기구(17)는, 회전축(42)에 고정되는 2개의 구동 풀리(48)와, 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(49)와, 구동 풀리(48)와 종동 풀리(49)에 가설되는 2개의 벨트(50)를 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(46)에 고정되는 2개의 구동 풀리(52)와, 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(53)와, 구동 풀리(52)와 종동 풀리(53)에 가설되는 2개의 벨트(54)를 구비하고 있다. 본 형태의 구동 풀리(48)는 제1 구동 풀리이고, 종동 풀리(49)는 제1 종동 풀리이고, 벨트(50)는 제1 벨트이고, 구동 풀리(52)는 제2 구동 풀리이고, 종동 풀리(53)는 제2 종동 풀리이고, 벨트(54)는 제2 벨트이다.
회전축(39)은, 회전축(39)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 출력축 선단(후단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 회전축(43)은, 회전축(43)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 출력축 선단(전단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 베벨 기어(40, 41), 회전축(42), 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(53)는 암(9)의 후단부측의 내부에 배치되어 있다. 베벨 기어(44, 45), 회전축(46), 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(49)는 암(9)의 전단부측의 내부에 배치되어 있다.
또한 구동 기구(17)는, 회전축(39)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 제1 자성 유체 시일로서의 자성 유체 시일(56)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(43)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 제2 자성 유체 시일로서의 자성 유체 시일(57)을 구비하고 있다. 도 5에 도시한 바와 같이 자성 유체 시일(56)은, 모터 수용 부재(25)의 후방면을 구성하는 후방 벽부(25b)에 고정되어 있다. 자성 유체 시일(57)은, 모터 수용 부재(25)의 전방면을 구성하는 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다.
구체적으로는 자성 유체 시일(56)은, 후방 벽부(25b)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 후방 벽부(25b)에 고정되고, 자성 유체 시일(57)은, 전방 벽부(25c)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다. 즉, 암(9)은, 내부 공간 S를 획정함과 함께 자성 유체 시일(56)을 보유 지지하는 후방 벽부(25b)와, 내부 공간 S를 획정함과 함께 자성 유체 시일(57)을 보유 지지하는 전방 벽부(25c)를 구비하고 있다. 본 형태의 후방 벽부(25b)는 제1 벽부이고 전방 벽부(25c)는 제2 벽부이다.
또한 회전축(39, 43)은, 암 프레임(23)에 고정되는 복수의 베어링(59)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한 본 형태의 회전축(39)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(37)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(56)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(40)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 전단부는, 자성 유체 시일(56)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 후단부는, 가장 후방측의 베어링(59)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (B) 참조).
마찬가지로 본 형태의 회전축(43)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(38)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(57)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(44)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 후단부는, 자성 유체 시일(57)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 전단부는, 가장 전방측의 베어링(59)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (A) 참조). 또한 회전축(39, 43)은 1개의 장축에 의하여 구성되어 있어도 된다.
회전축(42)은 베벨 기어(40)의 후방측에 배치되어 있다. 회전축(42)은, 회전축(42)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(42)에 고정되는 구동 풀리(48)는 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(53)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(41)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 중심측에 고정되어 있다.
회전축(46)은 베벨 기어(44)의 전방측에 배치되어 있다. 회전축(46)은, 회전축(46)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(46)에 고정되는 구동 풀리(52)는 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(49)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(45)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 중심측에 고정되어 있다.
2개의 구동 풀리(48)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 양 단부의 각각에 고정되어 있다. 종동 풀리(53)는 베벨 기어(41)와 구동 풀리(48) 사이에서 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있으며, 2개의 종동 풀리(53)는 2개의 구동 풀리(48)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 2개의 종동 풀리(49)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 양 단부의 각각에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 구동 풀리(52)는 베벨 기어(45)와 종동 풀리(49) 사이에서 회전축(46)에 고정되어 있으며, 2개의 구동 풀리(52)는 2개의 종동 풀리(49)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다.
벨트(50)는 핸드 지지 부재(7)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(50)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(7a)의 각각의 상단부에 고정되어 있다. 본 형태의 벨트(50)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(49)에 가설된 벨트(50)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(7a)에 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 벨트(50)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.
벨트(54)는 핸드 지지 부재(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(54)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(8a)의 각각의 하단부에 고정되어 있다. 벨트(50)와 마찬가지로 본 형태의 벨트(54)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(53)에 가설된 벨트(54)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(8a)에 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조). 또한 벨트(54)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.
구동 풀리(48, 52) 및 종동 풀리(49, 53)가 상술한 바와 같이 배치되어 있기 때문에, 전후 방향에서 보았을 때에 2개의 벨트(50)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되고, 2개의 벨트(54)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되어 있다. 또한 벨트(54)는 벨트(50)와 좌우 방향으로 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 즉, 암(9)의 내부의 좌우의 양 단부측에 있어서, 벨트(54)는 좌우 방향의 내측에서 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다.
(본 형태의 주된 효과)
이상 설명한 바와 같이 본 형태에서는, 모터(37, 38)는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 내부가 고온으로 되어 있는 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에도 모터(37, 38)와 고온의 챔버(4)의 거리를 확보하는 것이 가능해진다(도 1 참조). 따라서 본 형태에서는, 고온으로 되어 있는 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에도 모터(37, 38)의 온도의 상승을 억제하는 것이 가능해지며, 그 결과, 모터(37, 38)의, 열의 영향에 의한 손상을 억제하는 것이 가능해진다. 또한 본 형태에서는, 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되는 암(9)의 중심부에 모터(37, 38)가 배치되어 있기 때문에, 본체부(10)에 대하여 회동하는 암(9) 등의 이너셔를 저감시키는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 모터(37, 38)가 배치되는 내부 공간 S는 대기압으로 되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 고온의 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에도 냉각용 에어를 이용하여 모터(37, 38)를 효율적으로 냉각하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는, 고온의 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에도 모터(37, 38)의 온도의 상승을 효과적으로 억제하는 것이 가능해지며, 그 결과, 모터(37, 38)의, 열의 영향에 의한 손상을 방지하는 것이 가능해진다. 또한 본 형태에서는, 대기압으로 되어 있는 내부 공간 S에 모터(37, 38)가 배치되어 있기 때문에, 모터(37, 38)의 윤활제로서 고가의 진공 그리스를 사용할 필요가 없게 된다. 따라서 본 형태에서는 로봇(1)의 이니셜 코스트 및 러닝 코스트를 저감시키는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 회전축(39)을 회전 가능하게 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(56)이, 내부 공간 S를 획정하는 후방 벽부(25b)에 설치되고, 회전축(43)을 회전 가능하게 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(57)이, 내부 공간 S를 획정하는 전방 벽부(25c)에 설치되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 암(9)의 내부에 있어서 암(9)의 중심 부분에 형성되는 내부 공간 S만이 대기압으로 된다. 따라서 본 형태에서는, 암(9)의 단부까지 대기압으로 되는 공간이 넓게 되어 있는 경우와 비교하여 암(9)의 내부의 구성을 간소화하는 것이 가능해짐과 함께, 진공 영역 VR로 공기가 유출될 우려를 저감시키는 것이 가능해진다.
또한 본 형태에서는 암(9)의 중심측에 자성 유체 시일(56, 57)이 배치되어 있기 때문에, 고온의 챔버(4)에 대한 기판(2)의 반입이나 반출을 로봇(1)이 행하는 경우에도 자성 유체 시일(56, 57)과 고온의 챔버(4)의 거리를 확보하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는 자성 유체 시일(56, 57)의 온도의 상승을 억제하는 것이 가능해지며, 그 결과, 자성 유체 시일(56, 57)의, 열의 영향에 의한 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 구동 풀리(48)가 고정되는 회전축(42)에 종동 풀리(53)가 회전 가능하게 보유 지지되고, 구동 풀리(52)가 고정되는 회전축(46)에 종동 풀리(49)가 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 종동 풀리(53)가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이나 종동 풀리(49)가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이 별도 마련되어 있는 경우와 비교하여 로봇(1)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다. 또한 본 형태에서는, 암(9)의 내부에 배치되는 2개의 벨트(50)와 2개의 벨트(54)가 좌우 방향으로 늘어서도록 배치되어 있기 때문에, 암(9)의 두께(상하 방향의 두께)을 얇게 하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는 로봇(1)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다.
(다른 실시 형태)
상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.
상술한 형태에서는, 종동 풀리(49)는 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있지만, 종동 풀리(49)를 회전 가능하게 보유 지지하는 축이 별도 마련되어 있어도 된다. 마찬가지로 상술한 형태에서는, 종동 풀리(53)는 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있지만, 종동 풀리(53)를 회전 가능하게 보유 지지하는 축이 별도 마련되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 벨트(54)는 좌우 방향의 내측에서 벨트(50)와 인접하도록 배치되어 있지만, 예를 들어 우측에 배치되는 벨트(50)의 우측에 벨트(54)가 배치되어 있어도 되고, 좌측에 배치되는 벨트(50)의 좌측에 벨트(54)가 배치되어 있어도 된다.
상술한 형태에 있어서, 도 10에 도시한 바와 같이 벨트(50)와 벨트(54)가 상하 방향으로 겹쳐지도록 배치되어 있어도 된다. 구체적으로는, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 있어서, 벨트(50)와 벨트(54)가 상하 방향으로 겹쳐지도록 배치되어 있어도 된다. 이 경우에도 모터(37, 38)는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 또한 도 10에서는, 상술한 형태와 마찬가지의 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.
상술한 형태에서는 벨트(50, 54)를 이용하여 핸드 지지 부재(7, 8)를 전후 방향으로 이동시키고 있지만, 상술한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 나사 부재를 이용하여 핸드 지지 부재(7, 8)를 전후 방향으로 이동시켜도 된다. 이 경우에도 모터(37, 38)는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 또한 상술한 형태에 있어서, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 암(9)은, 암 지지 부재에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 암 지지 부재에 보유 지지되어 있어도 된다.
상술한 형태에 있어서, 모터(37, 38)의 출력축과 좌우 방향이 일치하도록 모터(37, 38)가 배치되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 암(9)의 내부의 전체가 대기압으로 되어 있어도 된다. 또한 암(9)의 내부의 전체가 진공으로 되어 있어도 된다. 즉, 모터(37, 38)는 진공 중에 배치되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은, 예를 들어 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판이어도 되고 유리 기판(2) 이외의 반송 대상물이어도 된다.
1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(유리 기판, 반송 대상물)
5: 핸드(제1 핸드)
6: 핸드(제2 핸드)
7: 핸드 지지 부재(제1 핸드 지지 부재)
8: 핸드 지지 부재(제2 핸드 지지 부재)
9: 암
10: 본체부
17: 구동 기구(제1 구동 기구)
18: 구동 기구(제2 구동 기구)
25b: 후방 벽부(제1 벽부)
25c: 전방 벽부(제2 벽부)
37: 모터(제1 모터)
38: 모터(제2 모터)
39: 회전축(제1 회전축)
40: 베벨 기어(제1 베벨 기어)
41: 베벨 기어(제2 베벨 기어)
42: 회전축(제3 회전축)
43: 회전축(제2 회전축)
44: 베벨 기어(제3 베벨 기어)
45: 베벨 기어(제4 베벨 기어)
46: 회전축(제4 회전축)
48: 구동 풀리(제1 구동 풀리)
49: 종동 풀리(제1 종동 풀리)
50: 벨트(제1 벨트)
52: 구동 풀리(제2 구동 풀리)
53: 종동 풀리(제2 종동 풀리)
54: 벨트(제2 벨트)
56: 자성 유체 시일(제1 자성 유체 시일)
57: 자성 유체 시일(제2 자성 유체 시일)
S: 내부 공간

Claims (6)

  1. 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇이며,
    상기 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 상기 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 상기 제1 핸드 지지 부재와 상기 제2 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 상기 암에 대하여 상기 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 상기 암에 대하여 상기 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고,
    상기 제1 구동 기구는 구동원으로서의 제1 모터를 구비하고,
    상기 제2 구동 기구는 구동원으로서의 제2 모터를 구비하고,
    상기 암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고,
    상기 암에 대한 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향을 전후 방향이라 하면,
    상기 본체부는, 상기 암의 전후 방향의 중심 부분에 위치하는 모터 수용 부재에 연결되고,
    상기 제1 모터 및 상기 제2 모터는 상기 모터 수용 부재의 내부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 모터 수용 부재의 내부에는, 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터가 배치되는 내부 공간이 형성되고,
    상기 내부 공간은 대기압으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 내부 공간에는, 상기 제1 모터의 출력축과 상기 제2 모터의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터가 배치되고,
    상기 제1 구동 기구는, 상기 제1 모터의 출력축에 연결되는 제1 회전축과, 상기 제1 회전축을 회전 가능하게 지지함과 함께 상기 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 제1 자성 유체 시일을 구비하고,
    상기 제2 구동 기구는, 상기 제2 모터의 출력축에 연결되는 제2 회전축과, 상기 제2 회전축을 회전 가능하게 지지함과 함께 상기 내부 공간으로부터의 공기의 유출을 방지하는 제2 자성 유체 시일을 구비하고,
    상기 암은, 상기 내부 공간을 획정함과 함께 상기 제1 자성 유체 시일을 보유 지지하는 제1 벽부와, 상기 내부 공간을 획정함과 함께 상기 제2 자성 유체 시일을 보유 지지하는 제2 벽부를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 회전축은, 상기 암에 대한 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향과, 상기 제1 회전축의 축 방향이 일치하도록 배치되고,
    상기 제2 회전축은, 상기 암에 대한 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향과, 상기 제2 회전축의 축 방향이 일치하도록 배치되고,
    상기 제1 구동 기구는, 상기 제1 회전축의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어와, 상기 제1 베벨 기어에 맞물리는 제2 베벨 기어와, 상기 제2 베벨 기어가 고정되는 제3 회전축과, 상기 제3 회전축에 고정되는 2개의 제1 구동 풀리를 구비하고,
    상기 제2 구동 기구는, 상기 제2 회전축의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어와, 상기 제3 베벨 기어에 맞물리는 제4 베벨 기어와, 상기 제4 베벨 기어가 고정되는 제4 회전축과, 상기 제4 회전축에 고정되는 2개의 제2 구동 풀리를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 구동 기구는, 상기 제4 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 제1 종동 풀리와, 상기 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제1 구동 풀리와 상기 제1 종동 풀리에 가설되는 2개의 제1 벨트를 구비하고,
    상기 제2 구동 기구는, 상기 제3 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 제2 종동 풀리와, 상기 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제2 구동 풀리와 상기 제2 종동 풀리에 가설되는 2개의 제2 벨트를 구비하고,
    상기 제2 베벨 기어는, 상기 제3 회전축의 축 방향에 있어서의 상기 제3 회전축의 중심측에 고정되고,
    2개의 상기 제1 구동 풀리의 각각은, 상기 제3 회전축의 축 방향에 있어서의 상기 제3 회전축의 양 단부의 각각에 고정되고,
    상기 제2 종동 풀리는, 상기 제2 베벨 기어와 상기 제1 구동 풀리 사이에서 상기 제3 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되고,
    상기 제4 베벨 기어는, 상기 제4 회전축의 축 방향에 있어서의 상기 제4 회전축의 중심측에 고정되고,
    2개의 상기 제1 종동 풀리의 각각은, 상기 제4 회전축의 축 방향에 있어서의 상기 제4 회전축의 양 단부의 각각에 회전 가능하게 보유 지지되고,
    상기 제2 구동 풀리는, 상기 제4 베벨 기어와 상기 제1 종동 풀리 사이에서 상기 제4 회전축에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022104004A (ja) * 2020-12-28 2022-07-08 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015080828A (ja) 2013-10-22 2015-04-27 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2015139854A (ja) 2014-01-29 2015-08-03 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2016002602A (ja) 2014-06-13 2016-01-12 トヨタ自動車株式会社 搬送アーム

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2258645A1 (de) * 1972-11-30 1974-06-20 Orenstein & Koppel Ag Elektromotoren zum gleichzeitigen antrieb von zwei in einem eisenbahn-drehgestell gelagerten achsen
DE3217301C2 (de) * 1982-05-05 1986-02-20 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Antrieb für elektrische Schienentriebfahrzeuge
JP3135330B2 (ja) * 1991-12-28 2001-02-13 エスエムシー株式会社 アクチュエータおよびその構造体
JPH0840559A (ja) * 1994-07-29 1996-02-13 Tokyo Bijutsu Shiko Jigiyou Kyodo Kumiai 荷積用ロボット及び荷積用ロボットによる荷積方法
JPH1126550A (ja) * 1997-07-04 1999-01-29 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置
JP2002066976A (ja) * 2000-08-28 2002-03-05 Assist Japan Kk 基板搬送用真空ロボット
JP2003203963A (ja) * 2002-01-08 2003-07-18 Tokyo Electron Ltd 搬送機構、処理システム及び搬送方法
JP4369851B2 (ja) * 2004-11-01 2009-11-25 株式会社ダイヘン 直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット
JP4694436B2 (ja) * 2006-07-28 2011-06-08 株式会社ダイヘン 搬送ロボット
JP2008246644A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Daihen Corp 搬送装置
JP5018285B2 (ja) * 2007-07-06 2012-09-05 株式会社Ｉｈｉ ベルト張設装置及び搬送装置
KR100987362B1 (ko) * 2008-09-02 2010-10-13 주식회사 티이에스 반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치
JP6173677B2 (ja) * 2012-08-09 2017-08-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの原点位置復帰方法
JP6313963B2 (ja) * 2013-01-07 2018-04-18 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP6235881B2 (ja) * 2013-08-09 2017-11-22 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP6557475B2 (ja) * 2015-02-10 2019-08-07 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015080828A (ja) 2013-10-22 2015-04-27 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2015139854A (ja) 2014-01-29 2015-08-03 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2016002602A (ja) 2014-06-13 2016-01-12 トヨタ自動車株式会社 搬送アーム

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