KR102327736B1 - 퓨즈 소자 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 대향 배치된 한 쌍의 전극단자와, 상기 한 쌍의 전극단자 사이를 연결하도록 구비된 퓨즈 엘리먼트, 그리고 상기 각 전극단자의 하부면에 형성된 한 쌍의 공간형성부재를 포함하는 퓨즈 소자를 제시한다.

Description

퓨즈 소자 및 이의 제조 방법{FUSE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 퓨즈 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 과전류에 의한 회로 손상을 방지하기 위해 사용되는 퓨즈 소자 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

각종 전자기기의 인쇄회로기판에 설계된 전기 회로는 전기적 과부하에 대한 보호를 필요로 한다. 이는 인쇄회로기판에 물리적으로 체결되는 퓨즈 소자에 의해 제공될 수 있다.

즉, 퓨즈 소자는, 정상 동작 시에는 일반적인 저항기와 동등하게 작용하고, 과전류가 흐를 시에는 금속으로 이루어진 퓨즈 엘리먼트가 발열에 의해 용단되어 전자 기기의 회로를 보호하도록 작동한다.

이러한 퓨즈 엘리먼트의 용단은, 과전류 시 퓨즈 엘리먼트에서 발생하는 저항열에 의한 현상으로, 퓨즈 엘리먼트의 저항값이 작아지면 용단에 필요한 저항열을 확보할 수 없게 되어 퓨즈 엘리먼트가 용단되지 않거나, 용단되더라도 용단되기 까지의 시간이 길어지는 등 용단 특성이 저하된다. 이처럼, 용단 특성이 저하되면 그 사이에 보호해야 할 전자 회로가 손상받을 우려가 있다.

또한, 빠른 시간 내 퓨즈 엘리먼트가 용단되더라도 퓨즈 엘리먼트의 용융물이 기판 상에 그대로 잔존하게 되면, 용융물에 의해 퓨즈 엘리먼트가 재쇼트되어 퓨즈로서 동작하지 못하는 문제가 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 특개2002-140975 호 특허문헌 2: 일본 공개특허공보 특개평6-176680 호

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 퓨즈 엘리먼트의 용융물을 수용할 수 있는 공간부를 마련하여 안정적인 동작이 가능한 퓨즈 소자 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 창안된 본 발명은, 대향 배치된 한 쌍의 전극단자와, 상기 한 쌍의 전극단자 사이를 연결하도록 구비된 퓨즈 엘리먼트, 그리고 상기 각 전극단자의 하부면에 형성된 한 쌍의 공간형성부재를 포함하는 퓨즈 소자를 제공한다.

여기서, 상기 퓨즈 엘리먼트는 양 단부가 상기 각 전극단자의 상부면에 걸치도록 구비되고, 상기 한 쌍의 공간형성부재 사이의 이격거리는 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 이격거리와 같게 형성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 공간형성부재는, 실장 기판의 랜드가 접하는 영역을 제외한 나머지 영역에 형성되며, 상기 랜드와 동일한 두께를 갖는 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명은 상기 한 쌍의 공간형성부재 사이의 공간부에 노출된 상기 퓨즈 엘리먼트의 하부면에 접하도록 구비되는 저융점 금속과, 상기 퓨즈 엘리먼트를 포함한 상기 한 쌍의 전극단자의 상부면을 모두 복개하도록 구비되는 보호부재를 더 포함하는 퓨즈 소자를 제공한다.

상기의 퓨즈 소자를 제조하는 방법으로서 본 발명은, 캐리어의 일면 또는 양면에 금속층을 형성하는 단계와, 상기 금속층 상에 한 쌍의 전극단자를 이격되게 형성하는 단계와, 상기 각 전극단자 상에 공간형성부재를 형성하는 단계와, 상기 캐리어를 분리하는 단계, 그리고 상기 금속층을 선택적으로 식각하여 퓨즈 엘리먼트를 형성하는 단계를 포함하는 퓨즈 소자 제조방법을 제공한다.

여기서, 상기 한 쌍의 전극단자를 형성하는 단계는, 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 공간에 상응하는 크기의 레지스트를 상기 금속층 상에 배치하는 단계와, 상기 레지스트에 의해 커버된 부분을 제외한 상기 금속층에 대해 도금을 실시하는 단계, 그리고 상기 레지스트를 박리하는 단계를 통해 진행하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 공간형성부재를 형성하는 단계는, 상기 한 쌍의 전극단자 및 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 공간을 모두 복개하는 절연수지층을 형성하는 단계와, 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 공간 및 랜드 연결부가 노출되도록 상기 절연수지층을 선택적으로 제거하는 단계를 통해 진행하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 퓨즈 엘리먼트를 형성하는 단계는, 상기 캐리어로부터 분리된 상기 금속층의 표면 상에 레지스트를 부착하는 단계와, 상기 레지스트를 패터닝하여 레지스트 패턴을 형성하는 단계, 그리고 외부로 노출된 상기 금속층을 에칭하고 상기 레지스트 패턴을 박리하는 단계를 통해 진행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 과부하 시 생기는 퓨즈 엘리먼트의 용융물이 기판 상에 잔존하지 않고 공간부 내에 수용됨으로써 용용물에 의한 재쇼트 불량을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 퓨즈 소자의 단면도
도 2는 본 발명에 따른 퓨즈 소자의 평면도
도 3은 본 발명에 따른 퓨즈 소자의 저면도
도 4는 본 발명의 퓨즈 소자가 실장 기판에 안착된 모습의 단면도
도 5는 본 발명의 퓨즈 소자 제조방법을 순서대로 나타낸 흐름도
도 6 내지 도 16은 각 단계의 공정에서 나타나는 퓨즈 소자의 공정도로서, 도 6a, 도 7a, 도 8a, 도 9a, 도 10a, 도 11a, 도 12a, 도 13a, 도 14a, 도 15a, 도 16a는 각 공정의 단면도, 그리고 도 6b, 도 7b, 도 8b, 도 9b, 도 10b, 도 11b, 도 12b, 도 13b, 도 14b, 도 15b, 도 16b는 각 공정의 평면도

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 다수형도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

한편, 도면의 구성요소는 반드시 축척에 따라 그려진 것은 아니고, 예컨대, 본 발명의 이해를 돕기 위해 도면의 일부 구성요소의 크기는 다른 구성요소에 비해 과장될 수 있다. 또한, 각 도면에 걸쳐 표시된 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, 도시의 간략화 및 명료화를 위해, 도면은 일반적 구성 방식을 도시하고, 본 발명의 설명된 실시예의 논의를 불필요하게 불명료하도록 하는 것을 피하기 위해 공지된 특징 및 기술의 상세한 설명은 생략될 수 있다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용효과를 더욱 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 퓨즈 소자의 단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 퓨즈 소자의 평면도이다. 여기서, 도 2는 본 발명에 포함된 보호부재를 제외하고 도시하였음을 미리 밝혀둔다. 도 3은 본 발명에 따른 퓨즈 소자의 저면도이고, 도 4는 본 발명의 퓨즈 소자가 실장 기판에 안착된 모습의 단면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 퓨즈 소자(100)는, 전극단자(110)와 퓨즈 엘리먼트(120), 그리고 공간형성부재(130)를 포함할 수 있다.

상기 전극단자(110)는, 본 발명의 퓨즈 소자(100)가 실장되는 실장 기판(200)에 대해 실장면으로 제공되며, 소정 간격을 두고 대향 배치된 한 쌍으로 금속으로 구성된다. 즉, 상기 한 쌍의 전극단자(110)는 실장 기판(200)의 랜드(210)와 전기적으로 연결되어 각각 전기 신호의 입력단과 출력단으로서 기능한다.

따라서, 상기 전극단자(110)는 전기전도성이 우수한 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 구리(Cu) 및 백금(Pt)으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종 이상의 금속으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 전극단자(110)는 상기 랜드(210)와의 접속 신뢰성을 확보하고 전기적 접속에 있어 불필요한 저항이 부가되는 것을 방지하기 위해 판상의 패드 형태로 형성될 수 있다.

상기 퓨즈 엘리먼트(120)는 상기 한 쌍의 전극단자(110) 사이를 횡 방향으로 연결하도록 구비된다. 보다 구체적으로, 상기 퓨즈 엘리먼트(120)는 상기 한 쌍의 전극단자(110) 사이의 이격거리보다 더 큰 길이를 갖도록 형성되며, 이에 따라 양 단부가 상기 각 전극단자(110)의 상부면에 걸치도록 구비된다.

상기 퓨즈 엘리먼트(120)는 전극단자(110)와 동종의 금속으로 형성되거나, 또는 전극단자(110)보다 융점이 낮은 금속 예컨대, 인듐, 비스무트 또는 주석 등의 도전 재료, 혹은 이들의 혼합 재료로부터 형성될 수 있다. 따라서, 상기 전극단자(110)를 통해 인가된 전류는 상기 퓨즈 엘리먼트(120)를 통과하게 되며, 상기 퓨즈 엘리먼트(120)는 정격 전류 이상의 과전류 유입 시 저항열에 의해 용단됨으로써 전자기기의 회로를 보호한다.

여기서, 저항열은 퓨즈 엘리먼트(120)가 가지는 저항값에 비례하여 발생하고, 저항값은 아래의 수학식 1에 의해 결정된다. 따라서, 신속한 용단을 위하여 상기 퓨즈 엘리먼트(120)는 두께가 얇고 폭이 좁은 선형(線形) 패턴으로 형성될 수 있다.

(ρ,L,S는 각각 비저항, 길이, 단면적에 해당한다.)

이처럼, 상기 퓨즈 엘리먼트(120)는 높은 저항값 구현을 위해 미세 패턴으로 형성되고, 그 양 단부가 한 쌍의 전극단자(110)의 상부면에 각각 걸치도록 구비되어 있어 약한 충격에도 쉽게 끊어질 우려가 있다.

따라서, 이를 방지할 위한 수단으로서 본 발명은, 상기 퓨즈 엘리먼트(120)에 가해지는 힘을 완화하는 동시에 습기나 열 등 외부 환경으로부터 상기 전극단자(110)을 보호하는 보호부재(140)를 더 포함할 수 있다.

상기 보호부재(140)는 퓨즈 엘리먼트(120)를 포함한 전극단자(110)의 상부면을 모두 복개하도록 구비되며, 탄성이 우수한 절연 수지 예컨대, 에폭시 수지, 페놀 수지, 우레탄 수지, 실리콘 수지, 폴리이미드 수지 등을 사용하여 형성할 수 있다.

상기 공간형성부재(130)는 전극단자(110)와 마찬가지로 한 쌍으로 구성되며, 각각의 공간형성부재(130)는 한 쌍의 전극단자(110)의 하부면, 즉 기판 실장면에 접하도록 구비된다.

여기서, 상기 공간형성부재(130)는, 전극단자(110)와 랜드(210)의 접촉면인 랜드 연결부(110a)를 제외한 나머지 영역에 구비된다. 즉, 상기 전극단자(110)의 하부면, 즉 기판 실장면에서 일부 영역은 랜드(210)와 접하고, 그외의 나머지 영역은 공간형성부재(130)와 접하게 된다.

상기 공간형성부재(130)는 소정의 두께를 갖도록 형성되며, 이에 따라, 본 발명의 퓨즈 소자(100)가 실장 기판(200)에 안착 시 상기 한 쌍의 공간형성부재(130) 사이로 공간부(S)가 형성된다.

그 결과, 상기 퓨즈 엘리먼트(120) 용단 시 그 용융물은 공간부(S) 내에 수용되고, 따라서 본 발명은 용융물에 의한 재쇼트 불량을 방지하여 퓨즈로서의 동작 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 공기의 열 제어 효과로 인해 고(高) 정격전류 영역에서 온도 상승이 억제되어 용단 특성이 보다 개선된다.

상기 공간부(S) 내에 수용된 용융물은 공간형성부재(130)에 의해 가로막혀 상기 랜드(210)와의 접촉이 차단된다. 이처럼, 상기 공간형성부재(130)는 용융물과 랜드(210)를 절연시키는 차단막으로서의 기능도 하므로, 공간형성부재(130)의 구성 재질로는 절연성 및 내열성이 우수한 절연 수지 예컨대, 에폭시 수지, 페놀 수지, 우레탄 수지, 실리콘 수지, 폴리이미드 수지 등을 사용할 수 있다.

상기 한 쌍의 공간형성부재(130) 사이의 간격이 너무 좁으면 공간부(S)의 부피가 작아져 용융물이 모두 수용되지 않으므로, 상기 한 쌍의 공간형성부재(130) 사이의 이격거리는 전극단자(110) 사이의 이격거리와 동일하게 형성하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 공간형성부재(130)의 두께는 상기 랜드(210)의 두께와 동일한 값으로 설정할 수 있다. 만약, 상기 공간형성부재(130)가 랜드(210)보다 얇게 형성되면 공간형성부재(130)와 실장 기판(200) 사이의 틈새로 용융물이 흘러들어가 랜드(210)와 쇼트가 발생할 수 있다. 이와 반대로, 상기 공간형성부재(130)가 랜드(210)보다 두껍게 형성되면 랜드(210)와 전극단자(110)가 서로 접촉되지 않고 떨어지게 된다.

한편, 본 발명은 보다 우수한 용단 특성을 구현하기 위하여, 상기 공간부(S)에 노출된 퓨즈 엘리먼트(120)의 하부면에 접하도록 구비되는 저융점 금속(150)을 더 포함할 수 있다.

상기 저융점 금속(150)은 상기 퓨즈 엘리먼트(120)보다 융점이 낮은 금속으로 이루어진다. 예를 들면, 상기 퓨즈 엘리먼트(120)가 구리(Cu) 또는 구리합금으로 형성되는 경우, 상기 저융점 금속(150)의 재질로는 주석(Sn), 인듐(In), 비스무트(Bi), 납(Pb) 등의 단일 금속 및 이들의 합금을 사용할 수 있다.

이와 같은 구성에 따라, 과전류 상태의 발열 시에 상기 저융점 금속(150)은 퓨즈 엘리먼트(120)와 합급화되고, 이 과정에서 퓨즈 엘리먼트(120)의 금속 성분이 저융점 금속(150)으로 확산되어 융점이 낮아져 퓨즈 엘리먼트(120)의 용단 속도가 빨라지게 된다.

이제, 본 발명의 퓨즈 소자를 제조하는 방법에 대해 살펴보기로 한다.

도 5는 본 발명의 퓨즈 소자 제조방법을 순서대로 나타낸 흐름도이고, 도 6 내지 도 16은 각 단계의 공정에서 나타나는 퓨즈 소자의 공정도이다. 여기서, 도 6a, 도 7a, 도 8a, 도 9a, 도 10a, 도 11a, 도 12a, 도 13a, 도 14a, 도 15a, 도 16a는 각 공정의 단면도이고, 도 6b, 도 7b, 도 8b, 도 9b, 도 10b, 도 11b, 도 12b, 도 13b, 도 14b, 도 15b, 도 16b는 각 공정의 평면도이다.

도 5 내지 도 16을 참조하면, 본 발명의 퓨즈 소자를 제조한 위한 첫번째 단계로 먼저, 캐리어(10)의 일면 또는 양면에 금속층(120')을 형성하는 단계를 진행한다(S100, 도 6a 및 도 6b).

상기 캐리어(10)는 적층체를 지지 후 후속 공정에서 제거되는 임시 부재로서, 상기 금속층(120')과의 용이한 분리를 위해 금속층(120')과는 이형의 금속재질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 금속층(120')이 구리(Cu)로 형성되는 경우 상기 캐리어(10)는 니켈(Ni)로 형성될 수 있다.

상기 금속층(120')은 후속하는 에칭 공정에 의해 상기 퓨즈 엘리먼트(120)가 되므로 요구되는 스펙에 따른 두께로 형성한다.

그 다음, 상기 금속층(120') 상에 한 쌍의 전극단자(110)를 이격되게 형성하는 단계를 진행한다(S110).

이를 위해 우선, 상기 한 쌍의 전극단자(110) 사이의 공간에 상응하는 크기의 레지스트(20)를 상기 금속층(120')의 중앙부에 배치한다(도 7a 및 도 7b).

그리고 나서, 상기 금속층(120')을 인입선으로 전해 도금 또는 무전해 도금 공정을 실시하여 상기 레지스트(20)에 의해 커버된 부분을 제외한 나머지 영역에 대해 금속(110')을 성장시킨 후(도 8a 및 도 8b), 상기 레지스트(20)를 박리하면 원하는 패턴의 전극단자(110)가 형성된다(도 9a 및 도 9b).

그 다음, 상기 한 쌍의 전극단자(110) 사이의 노출된 상기 금속층(120') 상에 저융점 금속(150)을 형성하는 단계를 진행한다(S120, 도 10a 및 도 10b).

상기 저융점 금속(150)은 퓨즈 엘리먼트(120)의 용단을 촉진하기 위한 구성으로서 상기 퓨즈 엘리먼트(120)보다 융점이 낮은 주석(Sn), 인듐(In), 비스무트(Bi), 납(Pb) 등의 단일 금속 및 이들의 합금을 사용하여 형성할 수 있다.

상기 한 쌍의 전극단자(110) 사이의 이격거리는 수 ㎛에 불과하므로 상기 저융점 금속(150) 역시 마이크로 단위의 크기로 형성하며, 증착이나 스터퍼 등의 진공 기술, 무전해 도금, 전해 도금, 또는 스크린 인쇄법 등 다양한 공법을 사용하여 형성할 수 있다.

그 다음, 상기 전극단자(110) 상에 공간형성부재(130)를 형성하는 단계를 진행한다(S130).

이를 위해 우선, 상기 한 쌍의 전극단자(110) 및 전극단자(110) 사이의 공간을 모두 복개하는 절연수지층(130')을 형성한다(도 11a 및 도 11b).

상기 절연수지층(130')은 후속 공정에 의해 공간형성부재(130)가 되므로, 그 재질로는 에폭시 수지, 페놀 수지, 우레탄 수지, 실리콘 수지, 폴리이미드 수지 등을 사용할 수 있으며, 상기 랜드(210)와 동일한 두께로 형성하는 것이 바람직하다.

그리고 나서, CO₂ 레이저 또는 YAG 레이저 등의 설비를 이용하여 상기 절연수지층(130')을 선택적으로 제거한다. 이를 통해, 상기 전극단자(110) 사이의 공간 및 랜드 연결부(110a)를 노출시키는 한 쌍의 공간형성부재(130)가 형성된다(도 12a 및 도 12b).

그 다음, 상기 캐리어(10)와 금속층(120') 사이를 분리시키고(S140), 상기 금속층(120')을 선택적으로 식각하여 퓨즈 엘리먼트(120)를 형성하는 단계를 진행한다(S150).

상기 퓨즈 엘리먼트(120)의 형성을 위해 우선, 상기 캐리어(10)로부터 분리된 상기 금속층(120') 표면 상에 레지스트(21)를 부착한다(도 13a 및 도 13b).

상기 레지스트(21)는 감광성 바인더와 광중합 개시제, 기타 용매 등을 조성물로 하여 이루어지는 광감성 부재로서, 빛을 받은 부분에서 광반응이 일어나 현상 시 남게되는 네거티브 타입(negative type)과, 빛을 받은 부분이 현상 시 제거되는 포지티브 타입(positive type) 등을 모두 사용할 수 있다.

그 다음, 노광 및 현상 공정을 통해 상기 레지스트(21)를 선택적으로 제거하여 레지스트 패턴(21')을 형성한다(도 14a 및 도 14b).

상기 레지스트 패턴(21')은 퓨즈 엘리먼트(120)와 상응하는 패턴을 가진다. 따라서, 상기 레지스트 패턴(21')에 의해 커버된 부분을 제외한 나머지 영역, 즉 외부로 노출된 금속층(120')을 에칭하고 상기 레지스트 패턴(21')을 박리하면 퓨즈 엘리먼트(120)가 형성된다(도 15a 및 도 15b).

상기 퓨즈 엘리먼트(120)가 형성되면 마지막으로, 상기 퓨즈 엘리먼트(120)를 포함한 전극단자(110)의 상부면을 모두 복개하는 보호부재(140)를 형성함으로써 본 발명의 퓨즈 소자(100)를 최종 완성할 수 있다(S160, 도 16a 및 도 16b).

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

100: 본 발명에 따른 퓨즈 소자
110: 전극단자
120: 퓨즈 엘리먼트
130: 공간형성부재
140: 보호부재
150: 저융점 금속
200: 실장 기판
210: 랜드

Claims (16)

1. 대향 배치된 한 쌍의 전극단자;
   상기 한 쌍의 전극단자 사이를 연결하며, 상기 한 쌍의 전극단자의 일면에 접촉 형성된 퓨즈 엘리먼트; 및
   상기 각 전극단자의 일면과 마주하는 타면에 형성되며, 상기 퓨즈 엘리먼트와 이격된 한 쌍의 공간형성부재;를 포함하는 퓨즈 소자.
   
2. 제1 항에 있어서,
   상기 퓨즈 엘리먼트는 양 단부가 상기 각 전극단자의 상부면에 걸치도록 구비되는 퓨즈 소자.
   
3. 제1 항에 있어서,
   상기 한 쌍의 공간형성부재 사이의 이격거리는 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 이격거리와 같은 퓨즈 소자.
   
4. 제1 항에 있어서,
   상기 한 쌍의 공간형성부재 사이의 공간부에 노출된 상기 퓨즈 엘리먼트의 하부면에 접하도록 구비되는 저융점 금속을 더 포함하는 퓨즈 소자.
   
5. 제1 항에 있어서,
   상기 공간형성부재는,
   실장 기판의 일면과 접하며,
   상기 실장 기판의 랜드가 접하는 영역을 제외한 나머지 영역에 형성되는 퓨즈 소자.
   
6. 제5 항에 있어서,
   상기 공간형성부재는 상기 랜드와 동일한 두께를 갖는 퓨즈 소자.
   
7. 제1 항에 있어서,
   상기 공간형성부재는 절연수지로 이루어지는 퓨즈 소자.
   
8. 제1 항에 있어서,
   상기 퓨즈 엘리먼트를 포함한 상기 한 쌍의 전극단자의 상부면을 모두 복개하며,
   상기 퓨즈 엘리먼트 및 한 쌍의 전극단자 각각과 접촉 형성되는 보호부재를 더 포함하는 퓨즈 소자.
   
9. 제8 항에 있어서,
   상기 보호부재는 절연수지로 이루어지는 퓨즈 소자.
   
10. 캐리어의 일면 또는 양면에 금속층을 형성하는 단계;
    상기 금속층의 일면과 접하는 타면을 가지는 한 쌍의 전극단자를 이격되게 형성하는 단계;
    상기 각 전극단자의 타면과 마주하는 일면에 형성되며, 상기 금속층과 이격된 공간형성부재를 형성하는 단계;
    상기 캐리어를 분리하는 단계; 및
    상기 금속층을 선택적으로 식각하여 퓨즈 엘리먼트를 형성하는 단계;를 포함하는 퓨즈 소자 제조방법.
    
11. 제10 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 전극단자를 형성하는 단계는, 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 공간에 상응하는 크기의 레지스트를 상기 금속층 상에 배치하는 단계;
    상기 레지스트에 의해 커버된 부분을 제외한 상기 금속층에 대해 도금을 실시하는 단계; 및
    상기 레지스트를 박리하는 단계;를 통해 진행하는 퓨즈 소자 제조방법.
    
12. 제10 항에 있어서,
    상기 공간형성부재를 형성하기 전 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 노출된 상기 금속층 상에 저융점 금속을 형성하는 단계를 더 포함하는 퓨즈 소자 제조방법.
    
13. 제10 항에 있어서,
    상기 공간형성부재를 형성하는 단계는, 상기 한 쌍의 전극단자 및 상기 한 쌍의 전극단자 사이의 공간을 모두 복개하는 절연수지층을 형성하는 단계; 및
    상기 한 쌍의 전극단자 사이의 공간 및 랜드 연결부가 노출되도록 상기 절연수지층을 선택적으로 제거하는 단계:를 통해 진행하는 퓨즈 소자 제조방법.
    
14. 제13 항에 있어서,
    상기 절연수지층 형성 시 실장 기판의 랜드와 동일한 두께로 형성하는 퓨즈 소자 제조방법.
    
15. 제10 항에 있어서,
    상기 퓨즈 엘리먼트를 형성하는 단계는, 상기 캐리어로부터 분리된 상기 금속층의 표면 상에 레지스트를 부착하는 단계;
    상기 레지스트를 패터닝하여 레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및
    외부로 노출된 상기 금속층을 에칭하고 상기 레지스트 패턴을 박리하는 단계;를 통해 진행하는 퓨즈 소자 제조방법.
    
16. 제10 항에 있어서,
    상기 퓨즈 엘리먼트를 형성하는 단계 이후 상기 퓨즈 엘리먼트를 포함한 상기 한 쌍의 전극단자의 상부면을 모두 복개하는 보호부재를 형성하는 단계를 더 포함하는 퓨즈 소자 제조방법.

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