KR102317947B1 - 고속 ldi 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석하는 장치에 연관된다. 일실시예에서 상기 시료가 배치되는 플레이트를 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 구동부가 등속도로 이동하도록 제어하는 제어부; 및 상기 시료에 레이저 광을 조사하는 레이저를 포함할 수 있다.

Description

고속 LDI 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR FAST LASER DESORPTION IONIZATION}

레이저 탈착 이온화(Laser Desorption Ionization) 장치에 연관된다. 보다 상세하게는, 다양한 시료를 분석하는 레이저 탈착 이온화 장치에 연관된다.

종래에는 미생물 시료를 매트릭스 용액을 이용하여 질량 분석 스펙트럼을 구하는 장치가 존재한다. 그러나 시료의 위치에 따라 다수의 지점을 분석하는 경우에는 개별적으로 레이저 광이 조사되는 위치를 이동시키거나 시료를 이동시키는 방식으로 수행하여 시간이 오래 소요된다.

따라서, 빠른 속도로 시료의 종류와 무관하게 다수의 지점에 대하여 질량 분석 스펙트럼을 측정할 수 있는 장치의 개발이 요구된다.

미국 공개특허 US 2017/0358438 A1호 (공개일자 2017년12월14일)는 안일 입자 유도 결합 플라즈마 질량 분석 장치를 개시한다. 디스플레이의 질량 스펙트럼을 분석하는 시스템에 관한 발명이다.

일실시예에 따르면 시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석하는 장치에 있어서, 상기 시료가 배치되는 플레이트를 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 구동부가 등속도로 이동하도록 제어하는 제어부; 및 상기 시료에 레이저 광을 조사하는 레이저를 포함하는 질량 분석 장치가 개시된다.

다른 일실시예에 따르면 상기 플레이트의 이동 거리를 확인하고 미리 지정되는 간격 주기로 상기 레이저에 조사 명령을 전달하는 인코더를 더 포함하는 질량 분석 장치가 개시된다.

또 다른 일실시예에 따르면 상기 레이저는, 상기 인코더의 조사 명령에 따라 상기 시료에 레이저 광을 조사하는 질량 분석 장치도 개시된다.

다른 일실시예에 따르면 상기 구동부는, 상기 플레이트를 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 이동시킬 수 있다.

일실시예에 따르면 상기 구동부는, 상기 플레이트가 제2 방향으로 이동한 경우에, 상기 플레이트를 상기 제1 방향의 반대 방향으로 이동시키는 질량 분석 장치가 제시된다.

또한 상기 구동부는, 직선형 전동기로 구성될 수 있다.

일측에 따르면 시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석하는 장치에 있어서, 상기 시료가 배치되는 플레이트를 제1 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 구동부가 등속도로 이동하도록 제어하는 제어부; 상기 시료에 레이저 광을 조사하는 레이저; 상기 시료에서 탈착되는 이온을 검출하는 이온 검출부; 및 상기 이온 검출기에서 검출되는 이온의 비행 시간(Time-Of-Flight)을 계산하여 질량 스펙트럼을 분석하는 프로세서를 포함하는 질량 분석 장치가 개시된다.

다른 일측에 따르면 시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석하는 장치의 동작 방법에 있어서, 제어부에 의해 구동부가 상기 시료가 배치되는 플레이트를 제1 방향으로 등속도로 이동시키는 단계; 및 이동하는 상기 플레이트 상의 상기 시료에 레이저 광을 조사하는 단계를 포함하는 질량 분석 방법이 제시된다.

또 다른 일측에 따르면 레이저 광을 조사하는 단계 이전에, 인코더가 상기 플레이트의 이동 거리를 확인하고 미리 지정되는 간격 주기로 상기 레이저에 조사 명령을 전달하는 단계를 더 포함하는 질량 분석 방법도 가능하다.

이 때, 상기 구동부는 직선형 전동기로 구성되는 질량 분석 방법이 가능하다.

다른 일측에 따르면 이온 검출기가 상기 시료에서 탈착되는 이온을 검출하는 단계를 더 포함하는 질량 분석 방법이 개시된다.

도 1은 일실시예에 따른 LDI 질량 분석 장치의 구성을 도시한 블록도이다.
도 2는 일실시예에 따른 종래 LDI 질량 분석 장치의 동작 흐름도이다.
도 3은 일실시예에 따른 고속 LDI 질량 분석 장치의 동작 흐름도이다.
도 4는 일실시예에 따른 질량 분석용 시료의 스팟을 도시한다.
도 5는 일실시예에 따른 속도에 따른 이미지 왜곡을 도시한다.
도 6은 일실시예에 따른 시료의 고속 LDI 질량 분석 장치에서 레이서 조사 경로를 도시한다.

이하에서, 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 권리범위는 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.

아래 설명에서 사용되는 용어는, 연관되는 기술 분야에서 일반적이고 보편적인 것으로 선택되었으나, 기술의 발달 및/또는 변화, 관례, 기술자의 선호 등에 따라 다른 용어가 있을 수 있다. 따라서, 아래 설명에서 사용되는 용어는 기술적 사상을 한정하는 것으로 이해되어서는 안 되며, 실시예들을 설명하기 위한 예시적 용어로 이해되어야 한다.

또한 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 설명 부분에서 상세한 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 아래 설명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가지는 의미와 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 이해되어야 한다.

일실시예에 따른 시료를 분석하는 레이저 탈착 이온화 질량 분석 장치에 있어서, LDI를 이용한 이미징을 위해서는 수많은 픽셀의 스펙트럼을 찍어야 하므로 장시간이 소요된다. 예를 들어 가로, 세로가 100 X 100인 10,000 개의 픽셀을 촬영하는 경우에 장시간이 소요될 수 있다.

일실시예에 따른 종래 LDI 질량 분석 장치는, 특정 지점(픽셀)을 찍고 플레이트를 이동하여 다음 지점(픽셀)을 찍는 순서를 반복한다. 하나의 스텝(Step)을 이동시키기 위해 가속→정속→정지 하는 시간이 보통 수백 msec가 소요된다. 이 때, 상기 스텝은 예시적으로 수 um일 수 있다.

또한 모터의 백래쉬(Backlash) 등으로 인해 정확한 위치로 이동하지 못해 이미지가 왜곡되는 경우도 발생한다.

다른 일실시예에 따른 종래 LDI 질량 분석 장치는 느린 플레이트 이동 시간을 보완하기 위해 레이저에 반사경을 추가하고 반사경 각도를 제어하여 찍는 위치를 변경하는 시도가 있다. 그러나 이러한 구조는 매우 복잡하고 제어가 어렵다는 한계가 있다.

도 1은 일실시예에 따른 LDI 질량 분석 장치의 구성을 도시한 블록도이다. 일실시예에 따른 LDI 질량 분석 장치(100)는 제어부(110), 레이저(120) 및 구동부/인코더(130)를 포함할 수 있다.

일실시예에 따르면, 질량 분석 장치는 시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석할 수 있다. 질량 분석 장치는 고진공 상태에서 시료를 측정할 수 있다. 이를 위해 챔버는 시료 도입부 및 진공 시스템을 더 포함할 수 있다. 시료는 대기 상태로부터 고진공 상태로 들어가기 위해 저진공 상태를 거칠 수 있다. 상기 시료는 OLED(Organic Light Emitting Diode) 패널 시료일 수 있으며, 경우에 따라서는 MALDI-TOF 분석에 사용되는 미생물 시료일 수 있으며 상기 예시에 한정되는 것은 아니다.

레이저(120)는 시료에 레이저 광을 조사할 수 있다. 상기 레이저 조사부(120)는 5um 이하의 극세초점 레이저 광학 시스템을 포함할 수 있다. 레이저 조사부(120)는 예시적으로 QHD 급 이상의 고해상도 OLED 패널을 픽셀 단위로 직접 분석할 수 있다. 이를 통해 MALDI-TOF 질량 분석에서 사용되는 레이저 빔 사이즈인 100~200um 보다 더 작은 단위의 분석이 가능하며, 보다 높은 분해능이 달성될 수 있다.

일실시예에 따른 질량 분석 장치는 이온 검출부(미도시)를 더 포함할 수 있으며, 상기 이온 검출부는 시료에서 탈착되는 이온을 검출할 수 있다. 이온 검출부는 이온 광학계를 이용할 수 있다. 이온 광학계는 고전압 또는 고전압 펄스를 이용하여 이온을 상기 이온 검출부로 전달할 수 있다. 이온 광학계는 이온 디플렉터(Deflectors)를 포함할 수 있다. 이온 디플렉터는 이온의 경로를 보정하여 원하는 방향으로 보내는 기능을 수행할 수 있다. 이온 광학계는 렌즈를 포함할 수 있다. 렌즈는 퍼져 나가는 이온을 이온 검출부로 모아주는 역할을 수행할 수 있다.

탈착되는 이온은 플라이트 튜브(Flight Tube)를 통과하여 상기 이온 검출부에 도달하고, 상기 플라이트 튜브의 길이 방향은 챔버의 수평 방향과 수직일 수 있다.

일실시예에 따른 질량 분석 장치는 레이저 광을 이용한 Laser Desorption/Ionization-Time of flight (LDI-TOF) 시스템으로 레이저 조사부(120)가 레이저 광을 시료에 조사하여 탈착되는 이온을 이온 검출부를 통해 플라이트 튜브를 통과하는 비행 시간(Time of Flight)을 분석하여 질량 스펙트럼을 분석할 수 있다.

MALDI-TOF 질량분석기(Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization Time of Flight Mass Spectrometer)는 분자량이 큰 이온들에 효과적인 이온화 방법으로 매트릭스 라 불리는 저분자 유기물질과 분석시료를 섞어 분석하는 방법이다. 이와 다르게 매트릭스 사용 없이 레이저에 의해 직접적으로 이온화시키는 것이 LDI(Laser Desorption/Ionization) 이온화 법이다. 사용하는 레이저 파장과 실제 분석하고자 하는 물질의 흡수가 중요한 요소이며, 일부 유기 물질들은 본 장비에서 사용하는 UV 레이저에 대해 좋은 이온화 감도를 보인다. 이에 따라, 일 실시예에 따른 질량 분석 장치는 349nm UV 레이저를 사용할 수 있다.

일실시예에 따른 LDI 질량 분석 장치(100)를 구성하는 제어부(110)는, 구동부/인코더(130)를 제어할 수 있다.

구체적으로, 구동부/인코더(130)가 등속으로 이동하도록 제어할 수 있다. 상기 제어부(110)는 미리 지정되는 속도로 등속 이동하도록 명령할 수 있다.

구동부/인코더(130)는 등속도로 이동하면서 레이저(120)가 특정 거리 간격으로 시료에 레이저 광을 조사하도록 할 수 있다. 상기 구동부/인코더(130)는 예시적으로 구동부와 인코더가 서로 연결되어 있는 구조일 수 있다.

보다 상세하게는 구동부는 시료가 배치되는 플레이트를 이동시키도록 하는 구성이며, 인코더는 상기 구동부에 연결되어 시료 플레이트의 이동 거리를 확인하고 레이저(120)에 조사 명령을 전달하는 구성을 의미한다.

상기 인코더는 시료 플레이드가 이동한 거리를 확인하여 등간격으로 레이저(120)에 조사 명령을 전달할 수 있다.

상기 조사 명령을 전달받은 레이저(120)는 시료에 레이저 광을 조사할 수 있다. 상기 시료는 픽셀이 일정한 간격으로 배치되므로, 등간격에 대응하는 조사 명령에 따라 각 픽셀에 정확하게 레이저를 조사할 수 있다.

일실시예에 따른 고속 LDI 질량 분석 장치는 등속도로 이동하면서 등간격으로 레이저 광을 조사하기 때문에, 가속→정속→정지 단계를 수행하면서 각 픽셀마다 이미징을 수행하는 종래의 질량 분석 장치에 비해 빠른 속도로 많은 스팟을 이미징 할 수 있다. 즉, 플레이트가 이동하는 중에 레이저 광을 조사함으로써, 초당 10 픽셀 이상의 속도로 이미징이 가능하다.

도 2 및 도 3에서는 종래의 LDI 질량 분석 장치와 고속 LDI 질량 분석 장치의 동작 흐름을 비교하여 고속 LDI 장치의 동작 방법을 설명한다.

도 2는 일실시예에 따른 종래 LDI 질량 분석 장치의 동작 흐름도이다. 종래의 LDI 질량 분석 장치는, 시료의 매 스팟(Spot)마다 이동하고 이동 완료 확인 후에 레이저 광을 조사하는 단계를 반복한다.

상세히 설명하면, 제어부에서 구동부/인코더로 이동 명령(S210)을 전달하면, 구동부/인코더는 레이저 광이 조사되는 위치에 적절하게 시료가 올려진 플레이트를 이동시킨다. 이동이 완료된 것을 확인하고 이동 완료(S220) 메시지를 제어부로 전달한다.

이동이 완료되어 시료 상의 적절한 스팟으로 레이저 광이 조사되도록 배치되면, 그 때 제어부가 레이저로 레이저 광 조사 명령(S230)을 전달한다. 레이저 광 조사 명령(S230)을 전달 받은 레이저는 레이저 광을 조사하게 된다.

이 과정을 동일하게 반복하여 다음 스팟에 대해 제어부는 구동부/인코더로 이동 명령(S240)을 전달하고, 구동부/인코더가 이동 완료 후에 이동 완료(S250) 메시지를 전달하면, 그에 대응하여 레이저 조사 명령(S260)을 레이저로 전달한다.

매 이동시에 시료 플레이트를 가속, 정속, 및 정지 시켜야 하므로 이를 제어하는 데에 시간이 소요되고, 이동을 직접 수행하는 구동부/인코더의 모터 백래시 현상에 의해 오차가 발생할 수도 있다.

그에 따라 도 3에서는 일실시예에 따른 고속 LDI 질량 분석 장치의 동작 흐름을 도시한다. 일실시예에 따른 고속 LDI 질량 분석 장치는, 제어부가 구동부/인코더로 등속 이동 명령(S310)을 전달한다. 그에 대응하여 구동부/인코더는 시료가 배치되는 플레이트를 등속도로 이동시키고, 이동한 거리를 확인하여 등간격으로 레이저에 레이저 광 조사 명령(S320, S321, S322, S323)을 전달한다.

등간격으로 조사 명령을 전달받은 레이저는 시료에 각 픽셀마다 레이저를 조사할 수 있다.

도 4는 일실시예에 따른 질량 분석용 시료의 스팟을 도시한다. 일실시예에 따른 시료는 복수의 스팟을 포함할 수 있다. 예를 들어 가로, 세로 100 X 100 픽셀인 경우에 총 10,000 개의 픽셀 스팟을 포함할 수 있다.

각 픽셀의 중심을 기준으로 인접 픽셀의 중심 까지의 거리를 스텝(Step) 거리라고 표현한다. 레이저 광은 각 픽셀 단위로 조사되어야 하므로, 한 스텝을 이동할 때마다 레이저 광이 조사된다.

도 4에서 레이저 광이 조사되는 영역은 중심 원 내부이며, 뒤쪽에 픽셀이 가로로 나열되는 모습을 도시한다. 구동부/인코더는 시료를 적절히 등속도로 이동시켜 레이저 광이 조사되는 위치로 배치시킬 수 있다.

도 5는 일실시예에 따른 속도에 따른 이미지 왜곡을 도시한다. 구동부/인코더가 이동하는 속도에 따라 획득하는 스펙트럼 이미지가 달라질 수 있다.

예를 들어 구동부/인코더가 너무 빠른 속도로 이동하는 경우에는 시료의 각 스팟(픽셀)에 정확하게 레이저 광이 조사되지 않는다. 반대로 구동부/인코더가 너무 느린 속도로 이동하는 경우에도 레이저 광이 정확하게 조사되지 않는다.

따라서 시료 플레이트는 적절한 속도로 이동해야 하고, 인코더는 시료 플레이트의 이동 거리를 확인하여 스텝 거리에 맞게 조사 명령을 레이저로 전달해야 한다.

도 6은 일실시예에 따른 시료의 고속 LDI 질량 분석 장치에서 레이서 조사 경로를 도시한다. 일실시예에 따른 시료가 가로, 세로 7 X 5로 총 35 픽셀로 구성되는 경우에, 고속 LDI 질량 분석 장치는 플레이트를 'ㄹ'자 형태로 이동시킬 수 있다.

구동부/인코더는 시료 플레이트를 일측 방향(오른쪽 방향)으로 직선 등속운동 시키고, 가장 마지막 픽셀까지 촬영한 경우에 상기 일측 방향에 수직한 방향(아래 방향)으로 1 스텝 거리만큼 이동시키고 다시 상기 일측 방향의 반대 방향(왼쪽 방향)으로 직선 등속운동 시킬 수 있다.

여기서 방향의 순서는 통상의 기술자의 입장에서 다양하게 변형할 수 있다. 예를 들어 좌측 방향으로 이동을 시작하거나 아래 방향으로 이동을 시작할 수 있고, 아래쪽 스팟(픽셀)부터 시작한 경우에는 일측 방향에 수직한 방향은 위쪽 방향이 될 수도 있다. 이는 예시적일뿐 이에 한정되는 것은 아니다.

일실시예에 따른 고속 LDI 질량 분석 장치는 플레이트를 레이저 광 조사에 비해 상대적으로 느린 속도로 가능한 등속 운동하도록 제어하면서, 일정 간격으로 레이저 광을 조사하여 스펙트럼을 이미징 할 수 있다.

또한 단순히 일정 시간 간격으로 찍을 경우, 모터의 속도 편차에 따른 스펙트럼 이미지의 왜곡이 발생할 수 있으므로 왜곡을 방지하기 위해, 시료 플레이트의 위치를 파악하는 인코더에서 특정 거리(한 스텝) 간격으로 조사 명령을 전달할 수 있다.

다른 일실시예에서 구동부/인코더는 모터를 포함할 수 있고, 상기 모터는 방향에 관계없이 등속 운동하도록 제어하기 위해 회전 모터(Rotary Motor)가 아닌 직선형 모터(Linear Motor)일 수 있다.

이상에서 설명된 장치는 하드웨어 구성요소, 소프트웨어 구성요소, 및/또는 하드웨어 구성요소 및 소프트웨어 구성요소의 조합으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 실시예들에서 설명된 장치 및 구성요소는, 예를 들어, 프로세서, 콘트롤러, ALU(arithmetic logic unit), 디지털 신호 프로세서(digital signal processor), 마이크로컴퓨터, FPA(field programmable array), PLU(programmable logic unit), 마이크로프로세서, 또는 명령(instruction)을 실행하고 응답할 수 있는 다른 어떠한 장치와 같이, 하나 이상의 범용 컴퓨터 또는 특수 목적 컴퓨터를 이용하여 구현될 수 있다. 처리 장치는 운영 체제(OS) 및 상기 운영 체제 상에서 수행되는 하나 이상의 소프트웨어 애플리케이션을 수행할 수 있다. 또한, 처리 장치는 소프트웨어의 실행에 응답하여, 데이터를 접근, 저장, 조작, 처리 및 생성할 수도 있다. 이해의 편의를 위하여, 처리 장치는 하나가 사용되는 것으로 설명된 경우도 있지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는, 처리 장치가 복수 개의 처리 요소(processing element) 및/또는 복수 유형의 처리 요소를 포함할 수 있음을 알 수 있다. 예를 들어, 처리 장치는 복수 개의 프로세서 또는 하나의 프로세서 및 하나의 콘트롤러를 포함할 수 있다. 또한, 병렬 프로세서(parallel processor)와 같은, 다른 처리 구성(processing configuration)도 가능하다.

소프트웨어는 컴퓨터 프로그램(computer program), 코드(code), 명령(instruction), 또는 이들 중 하나 이상의 조합을 포함할 수 있으며, 원하는 대로 동작하도록 처리 장치를 구성하거나 독립적으로 또는 결합적으로(collectively) 처리 장치를 명령할 수 있다. 소프트웨어 및/또는 데이터는, 처리 장치에 의하여 해석되거나 처리 장치에 명령 또는 데이터를 제공하기 위하여, 어떤 유형의 기계, 구성요소(component), 물리적 장치, 가상 장치(virtual equipment), 컴퓨터 저장 매체 또는 장치, 또는 전송되는 신호 파(signal wave)에 영구적으로, 또는 일시적으로 구체화(embody)될 수 있다. 소프트웨어는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템 상에 분산되어서, 분산된 방법으로 저장되거나 실행될 수도 있다. 소프트웨어 및 데이터는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 저장될 수 있다.

실시예에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.

실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

Claims (11)

1. 시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석하는 장치에 있어서,
   상기 시료가 배치되는 플레이트를 제1 방향으로 등속도로 이동시키는 구동부;
   상기 구동부가 등속도로 이동하도록 제어하는 제어부;
   상기 시료에 레이저 광을 조사하는 레이저; 및
   상기 플레이트의 이동 거리를 확인하여 단위 스텝 거리 간격으로 상기 레이저에 조사 명령을 전달하는 인코더
   를 포함하고,
   상기 구동부는,
   직선형 전동기로 구성되고, 상기 제1 방향의 가장 마지막 픽셀에 상기 레이저 광이 조사된 경우에, 상기 플레이트를 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 단위 스텝 거리 만큼 이동시킨 후에 상기 플레이트를 상기 제1 방향의 반대 방향으로 등속도로 이동시키며, 상기 레이저의 상기 레이저 광 조사 속도 보다 느린 속도로 상기 플레이트를 이동시키고,
   상기 단위 스텝 거리는,
   상기 시료 내에 일정한 간격으로 배치된 픽셀들 중 서로 인접한 픽셀들의 중심 사이의 거리이며,
   상기 레이저는,
   5μm 이하로 조절된 초점 크기 및 349nm 파장을 갖는 상기 레이저 광을 조사하고, 상기 인코더의 조사 명령을 수신하는 경우에 응답하여 상기 시료에 상기 레이저 광을 조사하며,
   상기 장치는,
   상기 레이저 광의 조사를 이용하여 QHD(quad high definition) 이상의 해상도를 갖는 OLED 패널을 픽셀 단위로 분석하는,
   질량 분석 장치.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석하는 장치에 있어서,
   상기 시료가 배치되는 플레이트를 제1 방향으로 등속도로 이동시키는 구동부;
   상기 구동부가 등속도로 이동하도록 제어하는 제어부;
   상기 시료에 레이저 광을 조사하는 레이저;
   상기 플레이트의 이동 거리를 확인하여 단위 스텝 거리 간격으로 상기 레이저에 조사 명령을 전달하는 인코더;
   상기 시료에서 탈착되는 이온을 검출하는 이온 검출부; 및
   상기 이온 검출부에서 검출되는 이온의 비행 시간(Time-Of-Flight)을 계산하여 질량 스펙트럼을 분석하는 프로세서
   를 포함하고,
   상기 구동부는,
   직선형 전동기로 구성되고, 상기 제1 방향의 가장 마지막 픽셀에 상기 레이저 광이 조사된 경우에, 상기 플레이트를 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 단위 스텝 거리 만큼 이동시킨 후에 상기 플레이트를 상기 제1 방향의 반대 방향으로 등속도로 이동시키며, 상기 레이저의 상기 레이저 광 조사 속도 보다 느린 속도로 상기 플레이트를 이동시키고,
   상기 단위 스텝 거리는,
   상기 시료 내에 일정한 간격으로 배치된 픽셀들 중 서로 인접한 픽셀들의 중심 사이의 거리이며,
   상기 레이저는,
   5μm 이하로 조절된 초점 크기 및 349nm 파장을 갖는 상기 레이저 광을 조사하고, 상기 인코더의 조사 명령을 수신하는 경우에 응답하여 상기 시료에 상기 레이저 광을 조사하며,
   상기 장치는,
   상기 레이저 광의 조사를 이용하여 QHD(quad high definition) 이상의 해상도를 갖는 OLED 패널을 픽셀 단위로 분석하는,
   질량 분석 장치.
   
8. 시료를 레이저 탈착 이온화 방식으로 분석하는 장치의 동작 방법에 있어서,
   제어부에 의해 구동부가 상기 시료가 배치되는 플레이트를 제1 방향으로 등속도로 이동시키는 단계;
   인코더가 상기 플레이트의 이동 거리를 확인하여 단위 스텝 거리 간격으로 레이저에 조사 명령을 전달하는 단계; 및
   이동하는 상기 플레이트 상의 상기 시료에 레이저 광을 조사하는 단계
   를 포함하고,
   상기 구동부는,
   직선형 전동기로 구성되고, 상기 제1 방향의 가장 마지막 픽셀에 상기 레이저 광이 조사된 경우에, 상기 플레이트를 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 단위 스텝 거리 만큼 이동시킨 후에 상기 플레이트를 상기 제1 방향의 반대 방향으로 등속도로 이동시키며, 상기 레이저의 상기 레이저 광 조사 속도 보다 느린 속도로 상기 플레이트를 이동시키고,
   상기 단위 스텝 거리는,
   상기 시료 내에 일정한 간격으로 배치된 픽셀들 중 서로 인접한 픽셀들의 중심 사이의 거리이며,
   상기 레이저는,
   5μm 이하로 조절된 초점 크기 및 349nm 파장을 갖는 상기 레이저 광을 조사하고, 상기 인코더의 조사 명령을 수신하는 경우에 응답하여 상기 시료에 상기 레이저 광을 조사하며,
   상기 장치는,
   상기 레이저 광의 조사를 이용하여 QHD(quad high definition) 이상의 해상도를 갖는 OLED 패널을 픽셀 단위로 분석하는,
   질량 분석 방법.
   
9. 삭제
10. 삭제
11. 제8항에 있어서,
    이온 검출기가 상기 시료에서 탈착되는 이온을 검출하는 단계
    를 더 포함하는 질량 분석 방법.
    

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