KR102312460B1 - 반도체 진공펌프용 소음장치 - Google Patents

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주식회사 스마텍
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Abstract

본 발명은 반도체 공정에서 사용된 고온의 폐가스를 배출하는 진공펌프에 채용되어 그 진공펌프의 펌핑시 발생되는 넓은 주파수 범위의 소리를 저감하는 소음장치에 관한 기술로서, 중저음의 저주파와 고주파를 포함하는 넓은 범위의 주파수 대역에서 발생하는 소리를 저감하는 기술에 관한 것으로서, 특히 소음장치가 흡음 동작을 하는 과정에서 고온의 폐가스가 그 소음장치에 오래 머무르지 않으면서도 그 진공펌프에서 불규칙하게 발생되는 소리를 효과적으로 저감시키는 기술이다.
본 발명에 따르면, 제 2 소음 부재가 아웃렛 부재, 소리저감 망 부재, 흡음 부재, 소리저감 패브릭 부재를 구비함에 따라 제 3 구역의 짧은 구간에서도 넓은 주파수 대역(특히, 고주파 영역)에 대응하는 진공펌프의 소리를 효과적으로 저감시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

반도체 진공펌프용 소음장치 {silencer for semiconductor vacuum pump}
본 발명은 반도체 공정에서 사용된 고온의 폐가스를 배출하는 진공펌프에 채용되어 그 진공펌프의 펌핑시 발생되는 넓은 주파수 범위의 소리를 저감하는 소음장치에 관한 기술이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 중저음의 저주파와 고주파를 포함하는 넓은 범위의 주파수 대역에서 발생하는 소리를 저감하는 기술에 관한 것으로서, 특히 소음장치가 흡음 동작을 하는 과정에서 고온의 폐가스가 그 소음장치에 오래 머무르지 않으면서도 그 진공펌프에서 불규칙하게 발생되는 소리를 효과적으로 저감시키는 기술이다.
일반적으로 반도체 공정챔버에서 반도체 공정을 수행하기 위해서는 공정가스가 사용되는데, 이렇게 반도체 공정챔버에서 사용된 후의 공정가스는 대략 300도 이상의 고온 폐가스로서 그 공정챔버에 연결되는 진공펌프가 펌핑함에 따라 외부로 배출될 수 있다.
그리고, 진공펌프가 그 고온의 폐가스를 펌핑하는 과정에서 시끄러운 소리가 발생하게 되는데, 이러한 시끄러운 소리를 저감하기 위해 소위 사일런서(silencer)라는 소음장치가 채용된다.
여기서, 사일런서의 내부 구조에 따라 흡음형 소음기, 팽창형 소음기, 공명형 소음기로 구분될 수도 있다.
예컨대, 흡음형 소음기는 원통형의 관 내부에 흡음재를 넣어 제작한 것으로서, 넓은 주파수 범위에서 소음 성능이 우수하다는 특징이 있다.
팽창형 소음기는 소음기의 내부에 원형관과 분리판을 설치하여 통로 단면의 급격한 변화가 발생하도록 제작한 것으로서, 그 원형관의 내부에서 소리의 정상적인 진행파와 반사파의 간섭에 의해 소리가 저감되는 특징을 갖는다. 팽창형 소음기는 중저음 대역에서의 소음 성능이 우수하다는 특징이 있다.
공명형 소음기는 그 내부에 타공된 원형판과 분리판을 설치하고 여러 개의 공명실을 형성함에 따라 각 공명실에서 발생하는 공명 현상으로 소리가 저감되는 특징이 있다. 공명형 소음기도 팽창형 소음기와 마찬가지로 중저음 대역에서의 소음 성능이 우수하다는 특징이 있다.
한편, 반도체 진공펌프를 통해 배기되는 폐가스는 대략 300도 이상의 고온 상태이므로 진공펌프에서 발생하는 소리를 저감하는 것으로서 흡음형 소음기를 채용하는 경우 그 고온 상태의 폐가스가 그 소음기에서 머무르는 시간을 최대한 줄여서 주변의 구성에 발생할 수 있는 문제점을 미연에 방지할 필요가 있다.
그러므로, 소음기로서 흡음형이 채용될 경우에는 그 구간의 한계가 있으므로 진공펌프에서 발생하는 소리를 저감하는 정도에도 한계가 있다.
그리고, 소음기로서 팽창형이나 공명형을 채용하는 경우에는 흡음형에 비해 해당 소음기에서 고온 상태의 폐가스가 머무르는 시간을 줄일 수 있는 장점은 있지만 진공펌프에서 발생하는 소리를 저감시키는 것에는 한계가 있다.
그에 따라, 흡음형의 장점과 팽창형/공명형의 장점을 구성으로 채용함에 따라 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결할 수 있는 기술 구현이 요구된다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 흡음 동작 과정에서 폐가스의 고열에도 불구하고 소음장치 주변의 구성에 발생될 수 있는 문제점을 미연에 방지함과 아울러 그 진공펌프에서 불규칙하게 발생되는 넓음 주파수 대역의 소리를 효과적으로 저감시키는 반도체 진공펌프용 소음장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 반도체 진공펌프용 소음장치는 양단이 막힌 구조인 속이 빈 파이프 형태의 메인 관 부재(110); 자신의 테두리가 메인 관 부재의 내벽에 맞닿아 고정됨에 따라 메인 관 부재의 공간을 제 1 구역과 나머지 구역으로 구획하는 제 1 격벽 부재(120); 나머지 구역에 대응하는 메인 관 부재의 내벽에 자신의 테두리가 맞닿아 고정됨에 따라 나머지 구역을 제 1 구역으로부터 순차적으로 제 2 구역과 제 3 구역으로 구획하는 제 2 격벽 부재(130); 제 1 격벽 부재를 관통하는 복수 개의 파이프 부재가 제 1 격벽 부재에 거치됨에 따라 고온의 폐가스가 메인 관 부재의 일단부를 통해 제 2 구역으로 진입한 후 제 1 구역으로 이동하였다가 제 3 구역으로 이동하도록 가이드하는 제 1 소음 부재(140); 제 3 구역에 대응하는 메인 관 부재에 배치된 상태로 제 1 소음 부재로부터 넘어오는 폐가스가 메인 관 부재의 타단부를 통해 외부로 이동하도록 가이드하는 제 2 소음 부재(150);를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 제 1 소음 부재(140)는, 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 제 2 구역과 연통하도록 외부로부터 제 1 격벽 부재에 인접하는 메인 관 부재의 일단부를 관통한 후 제 1 격벽 부재까지 관통하여 배치됨에 따라 외부의 폐가스가 제 2 구역으로 이동하도록 가이드하는 인렛 부재(141); 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 제 1 구역과 제 3 구역이 연통하도록 메인 관 부재의 내측 중앙부에서 제 1 격벽 부재와 제 2 격벽 부재를 각각 관통하여 제 1 격벽 부재와 제 2 격벽 부재에 거치됨에 따라 제 1 구역의 폐가스가 제 3 구역으로 이동하도록 가이드하는 중앙 연통 부재(142); 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 제 1 구역과 제 2 구역이 연통하도록 제 1 격벽 부재를 관통하여 제 1 격벽 부재에 거치됨에 따라 제 2 구역의 폐가스가 제 1 구역으로 이동하도록 가이드하는 사이드 연통 부재(143);를 구비할 수 있다.
그리고, 제 2 소음 부재(150)는, 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 제 3 구역과 연통하도록 외부로부터 인렛 부재와 대향하는 메인 관 부재의 타단부를 관통하여 배치됨에 따라 제 3 구역 내의 폐가스가 외부로 이동하도록 가이드하는 아웃렛 부재(151); 중앙 연통 부재와 아웃렛 부재를 상호 연통 연결하며 자신 몸체의 내외부를 관통하는 다수의 기공이 형성된 소리저감 망 부재(152); 소리저감 망 부재의 외측에 대응하는 제 3 구역 내에 채워지는 흡음 부재(153); 소리저감 망 부재의 외표면을 휘감는 형태로 흡음 부재와 소리저감 망 부재 사이에 배치되는 소리저감 패브릭 부재(154);를 구비할 수 있다.
한편, 소리저감 패브릭 부재(154)는 원단 패브릭에 대해 테프론 코팅, 실리콘 코팅, 알루미늄 라미네이팅이 이루어진 불연 재질로 구성될 수 있다. 그리고, 흡음 부재(153)는 글라스 울 재질로 구성될 수 있다.
다른 한편, 본 발명은 메인 관 부재의 외경보다 더 큰 내경을 갖는 금속 재질의 관으로 이루어지고 자신 몸체의 내외부를 관통하는 복수의 방열 절개 부재를 구비하며 메인 관 부재에 끼워져 메인 관 부재의 외표면과 소정 거리 이격 배치되는 방열 관 부재(210); 금속 재질로 이루어지고 방열관 부재의 내벽과 메인 관 부재의 외벽을 연결함에 따라 메인 관 부재의 열을 방열관 부재로 전도시키는 복수 개의 방열 브라켓 부재(221, 222);를 더 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명은 제 1,2 격벽 부재, 제 1,2 소음 부재를 구비함에 따라 소음장치의 짧은 구간 내에서도 진공펌프에서 발생된 소리를 효과적으로 저감시킬 수 있는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 제 1 소음 부재가 인렛 부재, 중앙 연통 부재, 사이드 연통 부재를 구비함에 따라 제 1 구역과 제 2 구역의 짧은 구간 내에서도 진공펌프로부터 발생된 소리를 소위 간섭이나 공명 현상을 통해 효과적으로 저감시킬 수 있는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 제 2 소음 부재가 아웃렛 부재, 소리저감 망 부재, 흡음 부재, 소리저감 패브릭 부재를 구비함에 따라 제 3 구역의 짧은 구간에서도 넓은 주파수 대역(특히, 고주파 영역)에 대응하는 진공펌프의 소리를 효과적으로 저감시킬 수 있는 장점을 나타낸다.
[도 1]은 본 발명에 따른 반도체 진공펌프용 소음장치를 도시한 예시도,
[도 2]는 [도 1]에서 방열관 부재를 발췌하여 도시한 도면,
[도 3]은 [도 1]에서 방열관 부재를 삭제한 나머지 구성의 도면,
[도 4]는 [도 3]에서 소리저감 망 부재와 소리저감 패브릭 부재를 분리하여 도시한 도면,
[도 5]는 [도 3]에서 폐가스의 흐름을 예시적으로 나타낸 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 1]은 본 발명에 따른 반도체 진공펌프용 소음장치를 도시한 예시도이고, [도 2]는 [도 1]에서 방열관 부재를 발췌하여 도시한 도면이고, [도 3]은 [도 1]에서 방열관 부재를 삭제한 나머지 구성의 도면이고, [도 4]는 [도 3]에서 소리저감 망 부재와 소리저감 패브릭 부재를 분리하여 도시한 도면이고, [도 5]는 [도 3]에서 폐가스의 흐름을 예시적으로 나타낸 도면이다.
[도 1] 내지 [도 5]를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 진공펌프용 소음장치는 메인 관 부재(110), 제 1 격벽 부재(120), 제 2 격벽 부재(130), 제 1 소음 부재(140), 제 2 소음 부재(150)를 포함하여 구성될 수 있다.
메인 관 부재(110)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 양쪽 단부가 막혀 있는 속이 빈 파이프 형태로 이루어질 수 있다.
메인 관 부재(110)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 자신의 일단부에 연결되는 인렛 부재(141)와 아웃렛 부재(151)에 연통 연결됨에 따라 인렛 부재(141)로부터 진입되는 폐가스가 아웃렛 부재(151)를 경유하여 외부로 배출되도록 가이드할 수 있다.
여기서, 인렛 부재(141)는 그 일단부가 진공펌프(미도시)에 연결될 수 있다. 그 결과, 진공펌프를 경유하는 고온의 폐가스가 인렛 부재(141)를 통해 메인 관 부재(110)를 경유하여 아웃렛 부재(151)를 통해 외부로 배기될 수 있다.
제 1 격벽 부재(120)는 바람직하게는 원반형으로 이루어지고 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 자신의 테두리가 메인 관 부재(110)의 내벽에 맞닿아 고정됨에 따라 메인 관 부재(110)의 공간을 제 1 구역(10), 제 2 구역(20), 제 3 구역(30)으로 구획할 수 있다.
제 2 격벽 부재(130)는 제 1 격벽 부재(120)와 마찬가지로 바람직하게는 원반형으로 이루어지고 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 제 2 구역(20)과 제 3 구역(30)을 구획하는 메인 관 부재(110)의 내벽에 자신의 테두리가 맞닿아 고정될 수 있다.
이처럼, 제 1 격벽 부재(120)와 제 2 격벽 부재(130)가 메인 관 부재(110)의 내부를 그 메인 관 부재(110)의 길이 방향을 따라 제 1 구역(10)으로부터 순차적으로 제 2 구역(20)과 제 3 구역(30)으로 구획할 수 있다.
제 1 소음 부재(140)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 제 1 격벽 부재(120)를 관통하는 복수 개의 파이프 부재로서의 인렛 부재(141), 중앙 연통 부재(142), 사이드 연통 부재(143)가 제 1 격벽 부재(120)에 거치될 수 있다.
그 결과, [도 5]에서와 같이 고온의 폐가스가 메인 관 부재(110)의 일단부에 위치하는 인렛 부재(141)를 통해 제 2 구역(20)으로 진입한 후 사이드 연통 부재(143)를 경유하면서 제 1 구역(10)으로 이동하였다가 중앙 연통 부재(142)를 통해 제 3 구역(30)으로 이동할 수 있다.
상세하게, 제 1 소음 부재(140)는 인렛 부재(141), 중앙 연통 부재(142), 사이드 연통 부재(143)를 구비할 수 있다.
인렛 부재(141)는 자신의 양단부가 개구된 형태의 속이 빈 파이프 형태로 이루어질 수 있다.
인렛 부재(141)는 제 2 구역(20)과 연통하도록 진공펌프(미도시)가 위치하는 외부로부터 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 제 1 격벽 부재(120)에 인접하는 메인 관 부재(110)의 일단부를 관통한 후 제 1 격벽 부재(120)까지 관통하여 배치될 수 있다.
그 결과, 인렛 부재(141)는 진공펌프로부터 유입되는 고온의 폐가스가 [도 5]에서와 같이 제 2 구역(20)으로 이동하도록 가이드할 수 있다.
사이드 연통 부재(143)는 자신의 양단부가 개구된 형태의 속이 빈 파이프 형태로 이루어질 수 있다.
사이드 연통 부재(143)는 제 1 구역(10)과 제 2 구역(20)이 연통하도록 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 제 1 격벽 부재(120)를 관통하여 제 1 격벽 부재(120)에 거치될 수 있다.
그 결과, 사이드 연통 부재(143)는 [도 5]에서와 같이 제 2 구역(20)의 폐가스가 제 1 구역(10)으로 이동하도록 가이드할 수 있다.
중앙 연통 부재(142)는 자신의 양단부가 개구된 형태의 속이 빈 파이프 형태로 이루어질 수 있다.
중앙 연통 부재(142)는 제 1 구역(10)과 제 3 구역(30)이 서로 연통하도록 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 메인 관 부재(110)의 내측 중앙부에서 제 1 격벽 부재(120)와 제 2 격벽 부재(130)를 각각 관통하여 제 1 격벽 부재(120)와 제 2 격벽 부재(130)에 거치될 수 있다.
그 결과, 중앙 연통 부재(142)는 [도 5]에서와 같이 제 1 구역(10)의 폐가스가 제 3 구역(30)으로 이동하도록 가이드할 수 있다.
제 2 소음 부재(150)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 제 3 구역(30)에 대응하는 메인 관 부재(110)에 배치된 상태로 제 1 소음 부재(140)로부터 넘어오는 폐가스가 메인 관 부재(110)의 타단부에 배치되는 아웃렛 부재(151)를 통해 외부로 이동하도록 가이드한다.
상세하게, 제 2 소음 부재(150)는 아웃렛 부재(151), 소리저감 망 부재(152), 흡음 부재(153), 소리저감 패브릭 부재(154)를 구비할 수 있다.
아웃렛 부재(151)는 자신의 양단부가 개구된 형태의 속이 빈 파이프 형태로 이루어질 수 있다.
아웃렛 부재(151)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 제 3 구역(30)과 연통하도록 외부로부터 인렛 부재(141)와 대향하는 메인 관 부재(110)의 타단부를 관통하여 배치될 수 있다.
그 결과, 아웃렛 부재(151)는 [도 5]에서와 같이 제 3 구역(30) 내의 폐가스가 외부로 배기되도록 가이드할 수 있다.
소리저감 망 부재(152)는 바람직하게는 자신의 양단부가 개구된 형태의 금속 재질인 원통형 파이프로 이루어질 수 있다.
소리저감 망 부재(152)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 중앙 연통 부재(142)와 아웃렛 부재(151)를 상호 연통 연결할 수 있다. 그리고, 소리저감 망 부재(152)는 [도 4]에서와 같이 자신 몸체의 내외부를 관통하는 다수의 기공이 형성될 수 있다.
흡음 부재(153)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 소리저감 망 부재(152)의 외측에 대응하는 제 3 구역(30) 내에 채워질 수 있다.
여기서, 흡음 부재(153)는 바람직하게는 폐가스의 온도인 대략 300℃ 정도의 고온 환경에서도 그 내구성을 유지할 수 있는 글라스 울(glass wool) 재질로 구성될 수 있다.
글라스 울(glass wool)은 인조광물섬유 중의 하나로서 대략 300℃ 정도의 고온 환경에서도 그 내구성이 유지되는 것으로 알려져 있다.
소리저감 패브릭 부재(154)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 소리저감 망 부재(152)의 외표면을 휘감는 형태로 흡음 부재(153)와 소리저감 망 부재(152) 사이에 배치될 수 있다.
소리저감 패브릭 부재(154)는 바람직하게는 지속적인 화염과 고열의 환경에서도 내화성이 우수한 특수 가공 원단으로 이루어질 수 있다.
이러한 특수 가공 원단은 최초의 원단 패브릭에 대해 테프론(teflon) 코팅, 실리콘 코팅, 알루미늄 라미네이팅을 거쳐 제작되는 불연 재질로서 대략 600℃ 정도의 고온 환경에서도 그 내구성이 유지되는 것으로 알려져 있다.
한편, 인렛 부재(141)를 통해 대략 100~104dB 정도의 소리가 진공펌프로부터 유입되는 경우, 인렛 부재(141), 중앙 연통 부재(142), 사이드 연통 부재(143)를 구비하는 제 1 소음 부재(140)를 경유하는 과정에서 최초의 소리가 80~78dB 정도로 작아짐이 실험으로 확인되었다.
그리고, 아웃렛 부재(151), 소리저감 망 부재(152), 흡음 부재(153), 소리저감 패브릭 부재(154)를 구비하는 제 2 소음 부재(150)를 경유하는 과정에서 제 1 소음 부재(140)를 통해 작아진 소리가 71~69dB 정도로 더 작아짐이 실험으로 확인되었다.
다른 한편, 본 발명에 따른 반도체 진공펌프용 소음장치는 [도 1] 내지 [도 3]에서와 같이 방열관 부재(210), 방열 브라켓 부재(221, 222)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
방열 관 부재(210)는 효과적인 방열을 위해 메인 관 부재(110)의 외경보다 더 큰 내경을 갖는 금속 재질의 관으로 이루어질 수 있다.
방열 관 부재(210)는 [도 1]과 [도 2]에서와 같이 자신 몸체의 내외부를 관통하는 복수의 방열 절개 부재를 구비할 수 있고 메인 관 부재(110)에 끼워져 메인 관 부재(110)의 외표면과 소정 거리 이격 배치될 수 있다.
방열 브라켓 부재(221, 222)는 효과적인 열전도를 위해 금속 재질로 이루어질 수 있다.
방열 브라켓 부재(221, 222)는 복수 개 구비되어 [도 1]과 [도 3]에서와 같이 방열관 부재(210)의 내벽과 메인 관 부재(110)의 외벽을 연결함에 따라 메인 관 부재(110)의 열을 방열관 부재(210)로 전도시킬 수 있다.
10 : 제 1 구역
20 : 제 2 구역
30 : 제 3 구역
110 : 메인 관 부재
120 : 제 1 격벽 부재
130 : 제 2 격벽 부재
140 : 제 1 소음 부재
141 : 인렛 부재
142 : 중앙 연통 부재
143 : 사이드 연통 부재
150 : 제 2 소음 부재
151 : 아웃렛 부재
152 : 소리저감 망 부재
153 : 흡음 부재
154 : 소리저감 패브릭 부재
210 : 방열관 부재
221, 222 : 방열 브라켓 부재

Claims (6)

  1. 양단이 막힌 구조인 속이 빈 파이프 형태의 메인 관 부재(110);
    자신의 테두리가 상기 메인 관 부재의 내벽에 맞닿아 고정됨에 따라 상기 메인 관 부재의 공간을 제 1 구역과 나머지 구역으로 구획하는 제 1 격벽 부재(120);
    상기 나머지 구역에 대응하는 상기 메인 관 부재의 내벽에 자신의 테두리가 맞닿아 고정됨에 따라 상기 나머지 구역을 상기 제 1 구역으로부터 순차적으로 제 2 구역과 제 3 구역으로 구획하는 제 2 격벽 부재(130);
    상기 제 1 격벽 부재를 관통하는 복수 개의 파이프 부재가 상기 제 1 격벽 부재에 거치됨에 따라 고온의 폐가스가 상기 메인 관 부재의 일단부를 통해 상기 제 2 구역으로 진입한 후 상기 제 1 구역으로 이동하였다가 상기 제 3 구역으로 이동하도록 가이드하는 제 1 소음 부재(140);
    상기 제 3 구역에 대응하는 상기 메인 관 부재에 배치된 상태로 상기 제 1 소음 부재로부터 넘어오는 폐가스가 상기 메인 관 부재의 타단부를 통해 외부로 이동하도록 가이드하는 제 2 소음 부재(150);
    를 포함하여 구성되고,
    상기 제 1 소음 부재(140)는, 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 상기 제 2 구역과 연통하도록 외부로부터 상기 제 1 격벽 부재에 인접하는 상기 메인 관 부재의 일단부를 관통한 후 상기 제 1 격벽 부재까지 관통하여 배치됨에 따라 외부의 폐가스가 상기 제 2 구역으로 이동하도록 가이드하는 인렛 부재(141)와, 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 상기 제 1 구역과 상기 제 3 구역이 연통하도록 상기 메인 관 부재의 내측 중앙부에서 상기 제 1 격벽 부재와 상기 제 2 격벽 부재를 각각 관통하여 상기 제 1 격벽 부재와 상기 제 2 격벽 부재에 거치됨에 따라 상기 제 1 구역의 폐가스가 상기 제 3 구역으로 이동하도록 가이드하는 중앙 연통 부재(142)와, 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 상기 제 1 구역과 상기 제 2 구역이 연통하도록 상기 제 1 격벽 부재를 관통하여 상기 제 1 격벽 부재에 거치됨에 따라 상기 제 2 구역의 폐가스가 상기 제 1 구역으로 이동하도록 가이드하는 사이드 연통 부재(143)를 구비하고,
    상기 제 2 소음 부재(150)는, 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 상기 제 3 구역과 연통하도록 외부로부터 상기 인렛 부재와 대향하는 상기 메인 관 부재의 타단부를 관통하여 배치됨에 따라 상기 제 3 구역 내의 폐가스가 외부로 이동하도록 가이드하는 아웃렛 부재(151)와, 상기 중앙 연통 부재와 상기 아웃렛 부재를 상호 연통 연결하며 자신 몸체의 내외부를 관통하는 다수의 기공이 형성된 소리저감 망 부재(152)와, 상기 소리저감 망 부재의 외측에 대응하는 상기 제 3 구역 내에 채워지는 흡음 부재(153)와, 상기 소리저감 망 부재의 외표면을 휘감는 형태로 상기 흡음 부재와 상기 소리저감 망 부재 사이에 배치되는 소리저감 패브릭 부재(154)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 진공펌프용 소음장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 소리저감 패브릭 부재(154)는 원단 패브릭에 대해 테프론 코팅, 실리콘 코팅, 알루미늄 라미네이팅이 이루어진 불연 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 진공펌프용 소음장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 흡음 부재(153)는 글라스 울 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 진공펌프용 소음장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 메인 관 부재의 외경보다 더 큰 내경을 갖는 금속 재질의 관으로 이루어지고 자신 몸체의 내외부를 관통하는 복수의 방열 절개 부재를 구비하며 상기 메인 관 부재에 끼워져 상기 메인 관 부재의 외표면과 소정 거리 이격 배치되는 방열 관 부재(210);
    금속 재질로 이루어지고 상기 방열관 부재의 내벽과 상기 메인 관 부재의 외벽을 연결함에 따라 상기 메인 관 부재의 열을 상기 방열관 부재로 전도시키는 복수 개의 방열 브라켓 부재(221, 222);
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 진공펌프용 소음장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19980025663A (ko) * 1996-10-04 1998-07-15 정몽규 자동차의 소음감쇄장치
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KR20090064161A (ko) * 2007-12-15 2009-06-18 기아자동차주식회사 차량의 메인 소음기

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