KR102272028B1 - 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템은, 각각의 반도체 생산설비에 연결되어 제조 물질을 공급하는 복수의 공급장치, 복수의 공급장치에 각각 연결되어 제조 물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하고, 수집한 상태 데이터를 규격화된 데이터로 변환하는 데이터 수집장치, 및 데이터 수집장치로부터 규격화된 상태 데이터를 수신하여 분석하고, 분석 결과를 근거로 복수의 공급장치를 모니터링하며, 사용자 단말장치의 요청시 복수의 공급장치에 대한 모니터링 화면을 제공하는 데이터 분석 서비스장치를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가령 반도체 생산에 필요한 여러 부속 화학물질의 공급장치들을 하나의 시스템에 묶어 모니터링하는 것으로서 반도체 생산장비에 직접 연결되어 사용자에게 실시간으로 정보를 제공하는 역할을 수행하고, 특히 반도체 생산에 필요한 조건을 형성하기 위하여 각각의 공급장치들의 상태들을 제어하며 실시간으로 모니터링할 수 있는 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조는 고도의 정밀성을 요구하며, 반도체 소자의 제조를 위해 반도체 제조라인에서는 반도체 소자의 제조 공정에 따른 각각의 반도체 제조 설비들, 예를 들어, 박막증착설비, 식각설비 등을 배치하여 대부분의 제조공정을 수행하고 있다. 이러한 반도체 제조 설비들은 웨이퍼에 대한 소정의 공정이 실질적으로 진행되는 공정설비 즉 반도체 생산설비와, 공정설비에 연결되어 공정설비에 진행되는 소정 공정이 원활히 수행될 수 있도록 보조해 주는 공급설비 즉 부속 화학물 공급장치로 나뉘어 설치되는 것이 일반적이다. 이때, 공정설비 및 공급설비는 공간활용 측면이나 공정진행 중 발생될 수 있는 불측의 사고를 예방하기 위하여 상호 연결된 상태로 서로 분리·배치된다. 이에, 공정설비는 FAB(Fabrication facility) 라인 내에 구비되며, 공급설비는 지하 탱크 또는 서비스 에어리어(Service area) 내에 배치된다.
한편, 공정설비는 소정의 자료수집 기능을 갖는 호스트 컴퓨터와 온라인(On-Line)으로 연결되고, 공정설비와 관련된 여러 가지 데이터는 호스트 컴퓨터에 입력·저장된다. 이때, 공정설비는 호스트 컴퓨터와 데이터 교신을 담당하는 소정의 통신포트를 통하여, 예컨대 SECS(Semi Equipment Comunications Standard) 프로토콜(Protocol)에 의해 지속적인 데이터 교환을 수행할 수 있다. 한편, 공정설비 및 공급설비에 각각 투입되는 원부자재에 대한 데이터를 관리할 경우, 작업자는 공정설비 및 공급설비에 원부자재를 투입하기 전에 원부자재에 대한 데이터를 수작업으로 기록대장에 기록하거나 키보드를 통해 호스트 컴퓨터에 저장하였다.
그런데, 기존의 시스템은 공급장치들이 현재 가지고 있는 시스템에 맞추어 적용되어야 했기 때문에 통신 방식에 따라서 변화해야 하는 컨버터가 필요하여 데이터를 다시 모으기가 쉽지 않다. 각 공급장치들의 제조사들은 규격화된 방식을 사용하고 있지 않으며 그 공급장치들의 데이터를 보기 위하여 사용자는 독자적으로 시스템을 구성하거나 데이터를 보더라도 한 화면의 인터페이스에서 모니터링할 수 없기 때문에 모니터링하는 데에 어려움이 있다.
그래서 시스템을 통합하면서 발생되는 경제적인 부담을 줄이고 시스템이 설치되었을 때 사용자로 하여금 편리하게 데이터를 모니터링하고 관리할 수 있도록 하는 방안이 절실히 요구되고 있다.
본 발명의 실시예는 가령 반도체 생산에 필요한 여러 부속 화학물질의 공급장치들을 하나의 시스템에 묶어 모니터링하는 것으로서 반도체 생산장비에 직접 연결되어 사용자에게 실시간으로 정보를 제공하는 역할을 수행하고, 특히 반도체 생산에 필요한 조건을 형성하기 위하여 각각의 공급장치들의 상태들을 제어하며 실시간으로 모니터링할 수 있는 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템 및 그 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템은, 각각의 반도체 생산설비에 연결되어 제조 물질을 공급하는 복수의 공급장치, 상기 복수의 공급장치에 각각 연결되어 상기 제조 물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하고, 상기 수집한 상태 데이터를 규격화된 데이터로 변환하는 데이터 수집장치, 및 상기 데이터 수집장치로부터 상기 규격화된 상태 데이터를 수신하여 분석하고, 분석 결과를 근거로 상기 복수의 공급장치를 모니터링하며, 사용자 단말장치의 요청시 상기 복수의 공급장치에 대한 모니터링 화면을 제공하는 데이터 분석 서비스장치를 포함한다.
각각의 데이터 수집장치는, 상기 공급장치로부터 서로 다른 통신 규격의 데이터를 수집하여 상기 수집한 데이터를 규격화된 디지털 데이터로 자동 변환할 수 있다.
상기 데이터 수집장치는 네트워크 케이블로 전원을 공급받는 PoE(Power of ethernet)를 사용해 전원을 공급받을 수 있다.
상기 데이터 분석서비스장치는 상기 사용자 단말장치의 요청에 따라 지정 조건을 기준으로 상기 복수의 공급장치의 수집 데이터를 분석 비교하는 비교 화면을 제공할 수 있다.
상기 데이터 분석서비스장치는, 상기 사용자 단말장치로부터 상기 공급장치의 상태를 제어하기 위한 제어 명령이 설정되는 경우, 상기 설정한 제어 명령을 벗어날 때 알림을 상기 사용자 단말장치로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 방법은, 각각의 반도체 생산설비에 연결되는 복수의 공급장치가, 상기 각각의 반도체 생산설비에 제조 물질을 공급하는 단계, 상기 복수의 공급장치에 각각 연결되는 데이터 수집 장치가, 상기 제조 물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하고, 상기 수집한 상태 데이터를 규격화된 데이터로 변환하는 단계, 및 데이터 분석 서비스 장치가, 상기 데이터 수집장치로부터 상기 규격화된 상태 데이터를 수신하여 분석하고, 분석 결과를 근거로 상기 복수의 공급장치를 모니터링하며, 사용자 단말장치의 요청시 상기 복수의 공급장치에 대한 모니터링 화면을 제공하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 모니터링 데이터 수집 장치는 서브 컴포넌트 장치들 즉 반도체 생산에 필요한 여러 부속 화학물질의 공급 장치들의 데이터 값을 한눈에 보게 해주며 동시에 데이터 분석을 통하여 공급에 문제가 없도록 도와주는 역할을 하므로 반도체 생산에 수율을 높일 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 실시예는 부가적으로 분석 시스템을 제공하여 실시간 또는 과거의 데이터 값들이 끼치는 영향에 대해서도 알 수 있게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템을 나타내는 도면,
도 2는 도 1의 데이터수집시스템을 예시하여 나타낸 도면,
도 3은 도 2의 데이터 수집 장치와 데이터 분석서비스장치의 연결 상태를 예시하여 나타낸 도면,
도 4는 도 1의 데이터 분석서비스장치의 세부구조를 예시한 블록다이어그램, 그리고
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 과정을 나타내는 흐름도이다.
도 2는 도 1의 데이터수집시스템을 예시하여 나타낸 도면,
도 3은 도 2의 데이터 수집 장치와 데이터 분석서비스장치의 연결 상태를 예시하여 나타낸 도면,
도 4는 도 1의 데이터 분석서비스장치의 세부구조를 예시한 블록다이어그램, 그리고
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 과정을 나타내는 흐름도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템을 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 데이터수집시스템을 예시하여 나타낸 도면이며, 도 3은 도 2의 데이터 수집 장치와 데이터 분석서비스장치의 연결 상태를 예시하여 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 수집 분석 시스템(이하, 데이터 수집 분석 시스템)(90)은 데이터 수집 시스템(100), 통신망(110), 데이터 수집분석장치(120) 및 사용자 단말장치(130)의 일부 또는 전부를 포함한다.
여기서, "일부 또는 전부를 포함한다"는 것은 통신망(110)과 같은 일부 구성요소가 생략되어 데이터 수집 시스템(100)과 데이터수집분석장치(120)가 다이렉트 통신(예: P2P 통신)을 수행하거나, 데이터 수집분석장치(120)를 구성하는 구성요소의 일부 또는 전부가 통신망(110)을 구성하는 네트워크장치(예: 무선교환장치 등)에 통합되어 구성될 수 있는 것 등을 의미하는 것으로서, 발명의 충분한 이해를 돕기 위하여 전부 포함하는 것으로 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 데이터 수집 시스템(100)은 반도체 생산설비, 그리고 그 반도체 생산설비에 연결되어 여러 부속 화학물질을 공급하는 공급장치(200), 그리고 공급장치(200)에 연결되어 데이터를 수집하는 데이터 수집장치(210)를 포함한다. 여기서, 반도체 생산에 필요한 여러 공급장치(200)들은 서브 컴포넌트(sub component)라 명명될 수 있다. 현재 하나의 회사가 모든 공급장치(200)들을 공급하고 있는 것이 아니므로 규격화된 정보 통신 연결 방식을 가지고 있지 않다. 특히 반도체 생산에 필요한 조건을 형성하기 위하여 각각의 공급장치(200)들의 상태들을 제어하며 실시간으로 모니터링할 수 있는 장치가 필요하며, 본 발명의 실시예에 따른 데이터 수집 장치(210)는 이러한 역할을 수행한다고 볼 수 있다.
데이터 수집 장치(210)는 모니터링 데이터 수집 장치라 명명될 수 있으며, 이러한 서브 컴포넌트 장치들의 데이터 값을 한눈에 보게 해주며 동시에 데이터 분석을 통하여 공급에 문제가 없도록 도와주는 역할을 하게 되어 반도체 생산에 수율을 높일 수 있게 한다. 또한, 본 발명의 실시예는 부가적으로 도 1의 데이터분석서비스장치(120)와 같은 분석 시스템을 제공하여 실시간 또는 과거의 데이터 값들이 끼치는 영향에 대하여도 알 수 있도록 한다.
데이터 수집 장치(210)는 공급장치(200)에서 출력되는 정보 종류에 상관없이 출력포트에 연결되면 그에 맞도록 정보를 자동으로 전환하여 (장치에서) 인식하도록 하여 정보를 수집할 수 있도록 한다. 여기서, 인식은 장치의 식별정보나 규격화된 데이터 포맷을 의미할 수 있다. 공급장치(200)들의 메인시스템, 가령 CPU나 MPU 등의 제어장치가 가까이 있거나 멀리 떨어져 있더라도 데이터 수집 장치(210)가 있으면 유무선으로 정보를 전달할 수 있으며 그 정보를 사용자는 네트워크가 연결된 PC, 스마트폰 등에서 실시간으로 확인 가능하게 된다. 또한 수집된 데이터를 사용자가 원하는 방향으로 설정 가능하며 가공하여 다양한 그래프로 표현하고 데이터를 보관하여 다음 생산을 위해 공급되는 수치의 기준점을 자동으로 설정하게 하여 기준점을 벗어날 경우 알림을 제공해 사용자가 실시간으로 서브 컴포넌트들 즉 공급장치(200)들의 데이터값을 수정할 수 있도록 한다.
각각의 공급장치(200)들의 위치는 반도체 생산장비와 서로 붙어 있거나 거리가 떨어진 곳에 위치할 수 있다. 데이터 수집 장치(210)는 거리와 장소에 제한받지 않고 공급장치(200)들의 데이터 출력포트에 연결한다. 데이터 수집 장치(210)는 소형의 크기로 제작되어 공간을 많이 차지하지는 않는다. 데이터 수집 장치(210)의 전원은 네트워크 케이블로 전원을 받는 PoE(Power of ethernet)를 사용하여 전원을 공급받는다. 그래서 별도의 파워콘센트전원의 매립을 필요로 하지 않는다. 데이터 수집 장치(210)와 네트워크 케이블을 연결하면 거리에 상관없이 네트워크가 구축된 환경에서 수집된 데이터를 볼 수 있다. 또한 무선신호 역시 가능하여 네트워크 케이블을 제한받지 않을 수도 있다.
도 2는 도 1에 도시한 다수의 데이터 수집 시스템(100)이 공급장치(200)와 데이터 수집장치(210)를 포함하는 것을 보여주고 있으며, 데이터 수집 시스템(100)은 반도체 생산 설비를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 공급장치(200)를 공급하는 공급업체들이 데이터 수집 장치(210)를 함께 설치하거나, 또는 공급장치(200)의 내부에 일체화하여 데이터 수집 장치(210)를 구성할 수 있으며, 데이터 수집 장치(210)는 가령 도 1의 데이터 분석서비스장치(120)를 설치하여 서비스를 제공하는 업체에서 설치하여 운영할 수도 있으므로, 본 발명의 실시예에서는 어느 하나의 형태에 특별히 한정하지는 않을 것이다. 다시 말해, 본 발명의 실시예에 따른 데이터 수집 장치(210)는 공급장치(200)에서 출력되는 정보 종류에 상관없이 출력포트에 연결되면 그에 맞도록 정보를 자동으로 전환하는 동작을 수행할 수 있다. 예를 들어, 공급장치(200)의 출력 데이터를 데이터 분석서비스장치(120)에서 인식할 수 있는 데이터 포맷 구조로 변경하거나, 데이터 분석서비스장치(120)의 데이터를 공급장치(200)의 데이터 포맷 구조로 변경할 수 있다. 이와 같이, 데이터 수집장치(210)는 연결포트를 연결하여 공급장치(200)에서 출력되는 데이터를 수집할 수 있으며, 출력되는 데이터 종류는 RS232, RS422, RS485, 이더넷(ethernet), 통신 포트(communication port) 및 아날로그 데이터 종류를 받아서 자동으로 디지털 데이터로 변환할 수 있다.
통신망(110)은 유무선 통신망을 모두 포함한다. 가령 통신망(110)으로서 유무선 인터넷망이 이용되거나 연동될 수 있다. 여기서 유선망은 케이블망이나 공중 전화망(PSTN)과 같은 인터넷망을 포함하는 것이고, 무선 통신망은 CDMA, WCDMA, GSM, EPC(Evolved Packet Core), LTE(Long Term Evolution), 와이브로(Wibro) 망 등을 포함하는 의미이다. 물론 본 발명의 실시예에 따른 통신망(110)은 이에 한정되는 것이 아니며, 향후 구현될 차세대 이동통신 시스템의 접속망으로서 가령 클라우드 컴퓨팅 환경하의 클라우드 컴퓨팅망, 5G망 등에 사용될 수 있다. 가령, 통신망(110)이 유선 통신망인 경우 통신망(110) 내의 액세스포인트는 전화국의 교환국 등에 접속할 수 있지만, 무선 통신망인 경우에는 통신사에서 운용하는 SGSN 또는 GGSN(Gateway GPRS Support Node)에 접속하여 데이터를 처리하거나, BTS(Base Transceiver Station), NodeB, e-NodeB 등의 다양한 중계기에 접속하여 데이터를 처리할 수 있다.
통신망(110)은 액세스포인트를 포함할 수 있다. 액세스포인트는 건물 내에 많이 설치되는 펨토(femto) 또는 피코(pico) 기지국과 같은 소형 기지국을 포함한다. 여기서, 펨토 또는 피코 기지국은 소형 기지국의 분류상 데이터 수집 장치(210)나 사용자 단말장치(130) 등을 최대 몇 대까지 접속할 수 있느냐에 따라 구분된다. 물론 액세스포인트는 데이터 수집 장치(210)나 사용자 단말장치(130)와 지그비 및 와이파이(Wi-Fi) 등의 근거리 통신을 수행하기 위한 근거리 통신 모듈을 포함한다. 액세스포인트는 무선통신을 위하여 TCP/IP 혹은 RTSP(Real-Time Streaming Protocol)를 이용할 수 있다. 여기서, 근거리 통신은 와이파이 이외에 블루투스, 지그비, 적외선(IrDA), UHF(Ultra High Frequency) 및 VHF(Very High Frequency)와 같은 RF(Radio Frequency) 및 초광대역 통신(UWB) 등의 다양한 규격으로 수행될 수 있다. 이에 따라 액세스포인트는 데이터 패킷의 위치를 추출하고, 추출된 위치에 대한 최상의 통신 경로를 지정하며, 지정된 통신 경로를 따라 데이터 패킷을 다음 장치, 예컨대 데이터 분석서비스장치(120)로 전달할 수 있다. 액세스포인트는 일반적인 네트워크 환경에서 여러 회선을 공유할 수 있으며, 예컨대 라우터(router), 리피터(repeater) 및 중계기 등이 포함된다.
데이터 분석서비스장치(120)는 DB(120a)과 같은 서버 이외에도 별도의 운영 서버를 포함할 수 있으며, 다수의 데이터 수집 장치(210)로부터 데이터를 제공받아 공급장치(200)들의 데이터를 다시 수집 및 분석하여 사용자 단말장치(130)의 사용자들이 정보를 열람하거나 모니터링할 수 있도록 한다. 기존에는 공급장치(200)들의 정보를 열람하거나 모니터링하려면 각각의 공급장치(200)들을 따로 봐야 했다면, 본 발명의 실시예에서는 모니터링에 필요한 데이터 수집장치(210)를 설치하고, 데이터 분석서비스장치(120)를 통해 이를 모니터링할 수 있도록 함으로써 데이터 수집장치(210)가 연결된 공급장치(200)들의 정보를 한눈에 볼 수 있다. 그 정보를 가지고 사용자는 본인이 원하는 대로 구성할 수 있게 되는 것이다. 가령 사용자는 서비스 화면에 접속하여 공급장치(200)에 대한 원격 제어가 가능할 수 있다.
좀더 구체적으로 데이터 분석서비스장치(120)는 데이터를 볼 수 있도록 제공하는 사용자(user) 인터페이스 화면에서 사용자는 보고 싶은 데이터를 볼 수 있도록 화면을 구성하거나 동시에 여러 데이터를 특정 조건에 맞도록 설정하고 비교도 가능하게 한다. 데이터를 가공할 수 있도록 해주는 도구를 사용자 인터페이스 화면에서 제공하여 여러 모양의 그래프 표시 및 대조가 가능하도록 전환해 준다. 또한, 데이터 분석서비스장치(120)는 수집되는 공급장치(200)의 데이터들은 별도의 서버 가령 도 1의 DB(120a)를 통해 데이터가 저장되도록 하여 장기간 보존할 수도 있다. 데이터 분석서비스장치(120)는 지나간 데이터의 결과도 서버에서 불러와 정보를 볼 수 있다. 도 3에서는 데이터 분석서비스장치(120)가 다수의 데이터 수집 장치(210)들과 유선 또는 무선으로 연결될 수 있는 것을 보여주고 있다. 안정적인 통신을 위하여 유선으로 통신을 수행하는 것이 바람직하지만, 유선 통신이 불안정한 경우에는 무선으로 자동 접속하여 데이터를 전송 및 수신할 수 있다. 반도체 제조 공정에 관련되는 만큼 지속 가능한 통신이 이뤄지는 것이 바람직하다. 물론 이는 시스템 설계자의 의도에 따라 다양하게 동작이 이루어질 수 있을 것이다.
사용자 단말장치(130)는 도 2의 공급장치(200)나 데이터 수집 장치(210)에 관계되는 관계자들의 단말장치를 의미할 수 있지만, 데이터 분석서비스장치(120)를 운영하는 서비스 업체의 관리자 장치를 의미할 수 있다. 물론 관계자의 단말장치나 관리자 장치는 데스크탑컴퓨터, 랩탑컴퓨터, 태블릿PC, 스마트폰, 스마트TV 등 다양한 장치를 포함할 수 있다. 사용자 단말장치(130)를 통해 데이터 분석서비스장치(120)에서 제공하는 서비스에 접속하여 반도체 생산에 필요한 여러 부속 화학물질의 공급장치(200)들을 하나의 시스템에서 묶어 모니터링하는 것이 가능할 수 있게 되는 것이다.
또한, 사용자 단말장치(130)는 데이터 값을 한눈에 볼 수 있기 때문에 데이터 분석에 의해 공급에 문제가 없도록 (가령 공급장치(200)를 제어)할 수 있고 이를 통해 반도체 생산의 수율을 높일 수 있다. 또한, 데이터 분석에 의해 실시간 또는 과거의 데이터 값들이 끼치는 영향에 대하여도 확인하는 것이 얼마든지 가능할 수 있게 된다. 이에 따라, 사용자 단말장치(130)는 인터페이스 화면을 통해 특정 조건을 설정하는 방식으로 공급장치(200)들을 제어할 수 있으며, 특정 조건을 벗어나는 경우에는 데이터 분석서비스장치(120)로부터 알림을 수신하여 문제에 신속하게 대처할 수 있을 것이다.
도 4는 도 1의 데이터 분석서비스장치의 세부 구조를 예시한 블록다이어그램이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 데이터 분석 서비스장치(120)는 통신 인터페이스부(400), 제어부(410), 데이터 분석처리부(420) 및 저장부(430)의 일부 또는 전부를 포함한다.
통신 인터페이스부(400)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 복수의 데이터 수집 장치(210)와 각각 통신을 수행한다. 통신을 수행하는 과정에서 통신 인터페이스부(400)는 변/복조, 먹싱/디먹싱, 인코딩/디코딩 등의 다양한 동작을 수행할 수 있으며, 이와 관련한 내용은 당업자에게 자명하므로 더 이상의 설명은 생략하도록 한다.
통신 인터페이스부(400)는 데이터 수집 장치(210)에서 제공하는 데이터를 제어부(410)로 전달한다. 또한, 통신 인터페이스부(400)은 각각의 데이터 수집 장치(210)를 제어하는 사용자 단말장치(130)의 요청에 따라 데이터 수집 장치(210)로 제어 명령을 전송하여, 사용자 명령에 따라 공급장치(200)가 제어될 수 있게 한다.
또한, 제어부(410)는 도 1의 데이터 분석서비스장치(120)를 구성하는 도 4의 통신 인터페이스부(400), 데이터 분석처리부(420) 및 저장부(430)의 전반적인 제어 동작을 담당한다. 대표적으로 제어부(410)는 통신 인터페이스부(400)로부터 복수의 공급장치(200)들과 관련한 상태 데이터가 제공되면 이를 저장부(430)에 임시 저장한 후 데이터 분석처리부(420)로 제공할 수 있다. 또한, 제어부(410)는 데이터 분석처리부(420)의 데이터 분석결과를 도 1의 DB(120a)에 체계적으로 분류하여 저장시킬 수 있다.
이외에도 제어부(410)는 사용자 단말장치(130)로부터 요청이 있는 경우 데이터 분석처리부(420)를 제어하여 다양한 형태의 서비스 화면을 제공할 수 있다. 이와 관련해서는 데이터 분석처리부(420)를 설명하면서 계속해서 다루기로 한다.
데이터 분석처리부(420)는 복수의 데이터 수집장치(210)로부터 제공되는 데이터를 가령 공급장치(200)별로 분석할 수 있으며, 이를 위하여 공급장치(200)의 식별정보(예: 장치ID 등)를 사용하거나, 데이터 수집장치(210)의 식별정보를 사용할 수 있다. 이와 같이, 공급장치(200)나 데이터 수집장치(210)의 식별정보를 근거로 상태 데이터의 분석 결과를 매칭시켜 저장하므로, 사용자 단말장치(130)로부터 요청이 있을 때 이를 근거로 서비스 화면을 제공할 수 있다.
물론 서비스 화면은 다양한 형태로 생성되어 제공될 수 있다. 예를 들어, 수집한 데이터를 사용자가 원하는 방향으로 설정 가능하며 가공하여 다양한 그래프로 표현할 수 있다. 또한, 반도체 생산한 필요한 조건을 형성하기 위하여 각각의 공급장치(200)들의 상태들을 제어할 수 있도록 한다. 이를 위하여 사용자 인터페이스 화면을 생성하여 사용자 단말장치(130)로 제공할 수 있다. 이와 같이 데이터를 볼 수 있도록 제공하는 사용자 인터페이스 화면에서 사용자가 보고싶은 데이터를 볼 수 있도록 화면을 구성하거나 동시에 여러 데이터를 특정 조건에 맞도록 설정하여 또는 특정 조건을 기준으로 비교도 얼마든지 가능할 수 있다. 대표적으로 특정 기간 동안에 여러 공급장치(200)들의 동작 상태를 비교하는 것이 그 예가 될 수 있다. 데이터를 가공할 수 있도록 하는 도구를 사용자 인터페이스 화면에서 제공하여 여러 모양의 그래프 표시 및 대조가 가능할 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 데이터 분석처리부(420)는, 디지털 데이터의 형태로 변환 및 규격화되어 제공되는 복수의 데이터 수집장치(210)로부터의 데이터를 분석하고, 분석 결과를 사용자 단말장치(130)에서 요청할 때 다양한 포맷으로 제공할 수 있다. 물론 이러한 서비스 화면 혹은 인터페이스 화면은 프로그램 설계자의 의도에 따라 다양하게 생성될 수 있으므로, 본 발명의 실시예에서는 어느 하나의 형태에 특별히 한정하지는 않을 것이다. 또한 데이터 분석처리부(420)는 데이터 분석 결과를 지정 포맷으로 생성하여 도 1의 DB(120a)에 체계적으로 분류하여 저장되도록 할 수 있다.
저장부(430)는 제어부(410)의 제어하에 다양한 유형의 데이터를 임시 저장한 후 출력할 수 있다. 저장부(430)는 본 발명의 실시예에 따라 복수의 데이터 수집장치(210)로부터 제공되는 규격화된 디지털 데이터를 임시 저장한 후, 제어부(410)의 제어하에 데이터 분석처리부(420)에 제공할 수 있다.
상기한 내용 이외에도 본 발명의 실시예에 따른 도 4의 통신 인터페이스부(400), 제어부(410), 데이터 분석처리부(420) 및 저장부(430)는 다양한 동작을 수행할 수 있으며, 기타 자세한 내용은 앞서 충분히 설명하였으므로 그 내용들로 대신하고자 한다.
한편, 본 발명의 다른 실시예로서 제어부(410)는 CPU 및 메모리를 포함할 수 있으며, 원칩화하여 형성될 수 있다. CPU는 제어회로, 연산부(ALU), 명령어해석부 및 레지스트리 등을 포함하며, 메모리는 램을 포함할 수 있다. 제어회로는 제어동작을, 그리고 연산부는 2진비트정보의 연산동작을, 그리고 명령어해석부는 인터프리터나 컴파일러 등을 포함하여 고급언어를 기계어로, 또 기계어를 고급언어로 변환하는 동작을 수행할 수 있으며, 레지스트리는 소프트웨어적인 데이터 저장에 관여할 수 있다. 상기의 구성에 따라, 가령 도 1의 데이터 분석서비스장치(120)의 동작 초기에 데이터 분석처리부(420)에 저장되어 있는 프로그램을 복사하여 메모리 즉 램(RAM)에 로딩한 후 이를 실행시킴으로써 데이터 연산 처리 속도를 빠르게 증가시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 과정을 나타내는 흐름도이다.
설명의 편의상 도 5를 도 1 및 도 2와 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템(90)은 각각의 반도체 생산설비에 연결되는 복수의 공급장치(200)가, 각각의 반도체 생산설비에 제조 물질을 공급한다(S500).
또한, 복수의 공급장치(200)에 각각 연결되는 데이터 수집 장치(210)가, 제조 물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하고, 수집한 상태 데이터를 규격화된 데이터로 변환한다(S510). 예를 들어, 제1 공급장치는 제1 데이터 수집장치와 RS232 통신을 수행하고, 또 제2 공급장치는 제2 데이터 수집장치와 이더넷 통신을 수행할 수 있지만, RS232 통신에 의한 데이터와, 이더넷 통신에 의한 데이터는 서로 데이터의 유형이 다르지만, 규격화된 디지털 데이터로 변환되어 데이터 분석서비스장치(120)로 변환 데이터를 전송한다.
이와 같이, 데이터 분석서비스장치(120)가, 데이터 수집장치(210)로부터, 규격화된 상태 데이터를 수신하여 분석하고 분석 결과를 근거로 복수의 공급장치(200)를 모니터링하며, 사용자 단말장치(130)의 요청시 복수의 공급장치(200)에 대한 모니터링 화면을 제공할 수 있다(S520).
상기한 내용 이외에도 도 5의 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템(90)은 다양한 동작을 수행할 수 있으며, 기타 자세한 내용은 앞서 충분히 설명하였으므로 그 내용들로 대신하고자 한다.
한편, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합하거나 결합하여 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다. 또한, 그 모든 구성요소들이 각각 하나의 독립적인 하드웨어로 구현될 수 있지만, 각 구성 요소들의 그 일부 또는 전부가 선택적으로 조합되어 하나 또는 복수 개의 하드웨어에서 조합된 일부 또는 전부의 기능을 수행하는 프로그램 모듈을 갖는 컴퓨터 프로그램으로서 구현될 수도 있다. 그 컴퓨터 프로그램을 구성하는 코드들 및 코드 세그먼트들은 본 발명의 기술 분야의 당업자에 의해 용이하게 추론될 수 있을 것이다. 이러한 컴퓨터 프로그램은 컴퓨터가 읽을 수 있는 비일시적 저장매체(non-transitory computer readable media)에 저장되어 컴퓨터에 의하여 읽혀지고 실행됨으로써, 본 발명의 실시 예를 구현할 수 있다.
여기서 비일시적 판독 가능 기록매체란, 레지스터, 캐시(cache), 메모리 등과 같이 짧은 순간 동안 데이터를 저장하는 매체가 아니라, 반영구적으로 데이터를 저장하며, 기기에 의해 판독(reading)이 가능한 매체를 의미한다. 구체적으로, 상술한 프로그램들은 CD, DVD, 하드 디스크, 블루레이 디스크, USB, 메모리 카드, ROM 등과 같은 비일시적 판독가능 기록매체에 저장되어 제공될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
100: 데이터 수집 시스템 110: 통신망
120: 데이터 분석서비스장치 130: 사용자 단말장치
200: 공급장치 210: 데이터 수집 장치
400: 통신 인터페이스부 410: 제어부
420: 데이터 분석처리부 430: 저장부
120: 데이터 분석서비스장치 130: 사용자 단말장치
200: 공급장치 210: 데이터 수집 장치
400: 통신 인터페이스부 410: 제어부
420: 데이터 분석처리부 430: 저장부
Claims (6)
- 각각의 반도체 생산설비에 연결되어 제조 물질을 공급하는 복수의 공급장치;
상기 복수의 공급장치에 각각 연결되어 상기 제조 물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하고, 상기 수집한 상태 데이터를 규격화된 데이터로 변환하는 데이터 수집장치; 및
상기 데이터 수집장치로부터 상기 규격화된 상태 데이터를 수신하여 분석하고, 분석 결과를 근거로 상기 복수의 공급장치를 모니터링하며, 사용자 단말장치의 요청시 상기 복수의 공급장치에 대한 모니터링 화면을 제공하는 데이터 분석 서비스장치;를 포함하며,
각각의 데이터 수집장치는, 상기 공급장치로부터 서로 다른 통신 규격의 데이터를 수집하여 상기 수집한 데이터를 규격화된 디지털 데이터로 자동 변환하되, 상기 데이터 수집장치로서 제1 데이터 수집장치는 상기 복수의 공급 장치 중 제1 공급장치로부터 제1 통신 규격으로 데이터를 수집하여 상기 규격화된 디지털 데이터로 자동 변환하고, 상기 데이터 수집장치로서 제2 데이터 수집장치는 상기 복수의 공급 장치 중 제2 공급장치로부터 상기 제1 통신 규격과 다른 제2 통신 규격으로 데이터를 수집하여 상기 규격화된 디지털 데이터로 자동 변환하며,
상기 데이터 분석서비스장치는 상기 사용자 단말장치의 요청에 따라 지정 조건을 기준으로 상기 복수의 공급장치의 수집 데이터를 분석 비교하는 비교 화면을 제공하고,
상기 데이터 분석서비스장치는, 상기 상태 데이터의 분석에 의해 실시간 또는 과거의 데이터 값들이 끼치는 영향에 대하여 확인이 이루어지도록 하며,
상기 데이터 분석서비스장치는, 유선 통신에 의해 상기 데이터 수집장치로부터 디지털 데이터를 수신하고, 상기 유선 통신이 불안정한 경우 무선으로 자동 접속하여 상기 디지털 데이터를 수신하는 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 데이터 수집장치는 네트워크 케이블로 전원을 공급받는 PoE(Power of ethernet)를 사용해 전원을 공급받는 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 데이터 분석서비스장치는, 상기 사용자 단말장치로부터 상기 공급장치의 상태를 제어하기 위한 제어 명령이 설정되는 경우, 상기 설정한 제어 명령을 벗어날 때 알림을 상기 사용자 단말장치로 제공하는 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 시스템. - 각각의 반도체 생산설비에 연결되는 복수의 공급장치가, 상기 각각의 반도체 생산설비에 제조 물질을 공급하는 단계;
상기 복수의 공급장치에 각각 연결되는 데이터 수집 장치가, 상기 제조 물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하고, 상기 수집한 상태 데이터를 규격화된 데이터로 변환하는 단계; 및
데이터 분석 서비스 장치가, 상기 데이터 수집장치로부터 상기 규격화된 상태 데이터를 수신하여 분석하고, 분석 결과를 근거로 상기 복수의 공급장치를 모니터링하며, 사용자 단말장치의 요청시 상기 복수의 공급장치에 대한 모니터링 화면을 제공하는 단계;를 포함하며,
각각의 데이터 수집장치가, 상기 공급장치로부터 서로 다른 통신 규격의 데이터를 수집하여 상기 수집한 데이터를 규격화된 디지털 데이터로 자동 변환하되, 상기 데이터 수집장치로서 제1 데이터 수집장치는 상기 복수의 공급 장치 중 제1 공급장치로부터 제1 통신 규격으로 데이터를 수집하여 상기 규격화된 디지털 데이터로 자동 변환하고, 상기 데이터 수집장치로서 제2 데이터 수집장치는 상기 복수의 공급 장치 중 제2 공급장치로부터 상기 제1 통신 규격과 다른 제2 통신 규격으로 데이터를 수집하여 상기 규격화된 디지털 데이터로 자동 변환하는 단계;
상기 데이터 분석서비스장치가, 상기 사용자 단말장치의 요청에 따라 지정 조건을 기준으로 상기 복수의 공급장치의 수집 데이터를 분석 비교하는 비교 화면을 제공하는 단계;
상기 데이터 분석서비스장치가, 상기 상태 데이터의 분석에 의해 실시간 또는 과거의 데이터 값들이 끼치는 영향에 대하여 확인이 이루어지도록 하는 단계; 및
상기 데이터 분석서비스장치는, 유선 통신에 의해 상기 데이터 수집장치로부터 디지털 데이터를 수신하고, 상기 유선 통신이 불안정한 경우 무선으로 자동 접속하여 상기 디지털 데이터를 수신하는 단계;를
더 포함하는 반도체 제조를 위한 데이터 분석 서비스 방법.
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|---|---|---|---|
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