CN103763401A - 半导体工厂设备的分布式管理系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体工厂设备的分布式管理系统，包括设备服务端，数据中心服务器以及远程终端。其中，设备服务端与半导体工厂内的各设备进行数据交互；数据中心服务器与设备服务端和远程终端相连，并进行数据交互；远程终端通过所述数据中心服务器获取各设备的数据以及对各设备进行数据管理。本发明能够辅助使用者对半导体工厂设备进行远程托管。

Description

半导体工厂设备的分布式管理系统

技术领域

本发明涉及半导体设备通信技术领域，特别涉及一种半导体工厂设备分布式管理系统。

背景技术

半导体工厂内设置的半导体设备数量众多，并且这些半导体设备在工厂里的分布也比较松散，如果工厂中未配置足够多的程师去现场管理每一台设备，可能无法及时获取和管理每一台设备的工作状态，所以，有必要提供一种分布式管理系统来辅助半导体工厂中的工程师来管理更多的同类设备。

发明内容

本发明的主要目的旨在提供一种对半导体工厂中的设备进行托管以进行工艺文件的编辑和管理、查看设备信息等的分布式管理系统。

为达成上述目的，本发明提供一种半导体工厂设备分布式管理系统，其包括设备服务端，数据中心服务器以及远程终端，其中，所述设备服务端与所述半导体工厂内的各设备进行数据交互；所述数据中心服务器与所述设备服务端和所述远程终端相连，并进行数据交互；所述远程终端通过所述数据中心服务器获取所述各设备的设备数据以及对所述各设备进行设备数据管理。

优选地，所述数据中心服务器接收所述设备服务端传输的所述半导体工厂内各设备的设备数据，并对该设备数据进行存储。

优选地，所述远程终端提供一显示界面，用于接收输入信号以及显示其接收的所述设备数据。

优选地，所述远程终端根据该输入信号向所述数据中心服务器发出设备数据获取请求，当所述数据中心服务器存储其请求的所述设备数据时，传输该设备数据至所述远程终端，当所述数据中心服务器未存储其请求的所述设备数据时，从所述设备服务端获取该设备数据后存储并传输至所述远程终端。

优选地，所述输入信号为数据查询指令。

优选地，所述输入信号为数据分析指令，所述远程终端接收请求获取的所述设备数据后对该设备数据进行分析处理并通过所述显示界面显示分析处理结果。

优选地，所述设备数据包括工艺数据，所述远程终端通过操作界面接收一工艺数据的编辑信息，并将该编辑信息传输至所述数据中心服务器，由其输出至所述设备服务端以对所述各设备进行工艺数据的编辑。

优选地，所述数据中心服务器存储该工艺数据的编辑信息。

优选地，所述设备数据包括工艺数据，所述远程终端通过操作界面接收一工艺数据的删除指令，并将该删除指令传输至所述数据中心服务器，由其输出至所述设备服务端以对所述各设备进行工艺数据的删除。

优选地，所述数据中心服务器保留所述删除指令所针对的工艺数据。

优选地，所述数据中心服务器对其所存储的设备数据制作备份数据。

优选地，所述数据中心服务器的设备数据丢失时，通过该备份数据还原。

本发明所提出的半导体工厂设备分布式管理系统，通过数据中心服务器与设备服务端以及远程终端之间的数据交互，能够辅助使用者对设备进行远程托管，如可实现半导体工厂中各设备工艺文件的远程管理，设备数据信息的保存和恢复，以及设备数据信息的远程查询和分析等功能。

附图说明

图1为本发明半导体工厂设备的分布式管理系统的方块图；

图2为本发明一实施例分布式管理系统进行数据查询的流程图；

图3为本发明一实施例分布式管理系统进行数据分析的流程图；

图4为本发明一实施例分布式管理系统进行工艺数据编辑的流程图；

图5为本发明一实施例分布式管理系统进行工艺数据删除的流程图。

具体实施方式

为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。

图1为本发明半导体工厂设备分布式管理系统的方块图，以下将结合图1对本发明进行详细的说明。

半导体工厂设备分布式管理系统包括设备服务端10，数据中心服务器20以及远程终端30。其中，设备服务端10与半导体工厂内的多个设备（设备1，设备2，设备3，设备4……）进行数据交互。其中，设备服务端10和数据中心服务器20之间，数据中心服务器20和远程终端之间采用以太网连接以实现相互通讯。交互的数据可包括设备数据和指令数据，设备数据包括设备信息如日志，报警历史，作业历史等等；以及工艺数据如工艺气体的流量，工艺菜单的参数等等。指令数据用于对各个设备进行控制，如对设备数据的删除，查询，分析的请求等，均属于指令数据。相较于现有技术中设备服务端与远程终端直接进行数据交互，本发明增加了数据中心服务器，该数据中心服务器除了在设备服务端10和远程终端30之间进行数据交互之外，还可将来自设备服务端和远程终端的设备数据进行存储，备份和恢复，从而可保证交互的设备数据的完整性以及避免因误操作导致设备数据的丢失。

以下将详细说明本发明半导体工厂设备的分布式管理系统的各个功能的实现。

第一实施例数据查询

图2为本实施例的分布式管理系统进行设备数据查询的流程图。请参考图2，该方法包括：

步骤201，通过远程终端接收数据查询指令。其中远程终端提供一可接收输入信号的操作界面，本实施例中，输入信号为数据查询指令。具体的，如远程终端的操作界面上显示“数据查询”按钮由使用者点选该按钮以及输入要查询的设备数据，或操作界面显示“数据查询”按钮以及设备数据种类由使用者选择，从而发出数据查询指令，远程终端通过操作界面接收该指令。

步骤202，远程终端根据该数据查询指令发出设备数据的获取请求。其中，设备数据包括设备信息和工艺数据。

步骤203，判断数据中心服务器中是否存储所请求的设备数据，如前所述，数据中心服务器20可接收来自设备服务端的有关半导体工厂内各个设备的设备数据，并对其进行存储。若数据中心服务器20存储了所请求的设备数据，则进行步骤205；否则，进行步骤204。

步骤204，数据中心服务器从设备服务端接收请求的设备数据，并存储，然后进行步骤205。由于数据中心服务器在发送从设备服务端获取的设备数据之前，先对其存储，则当后续再产生设备数据获取请求时，可直接发送至远程终端。

步骤205，数据中心服务器将所请求的设备数据发送至远程终端。

步骤206，远程终端显示该设备数据。具体的，远程终端30的操作界面可用于显示该设备数据。

第二实施例数据分析

图3为本实施例的分布式管理系统进行设备数据分析的流程图。请参考图3，该方法包括：

步骤301，通过远程终端接收数据分析指令。

步骤302，远程终端根据该数据分析指令发出设备数据的获取请求。

步骤303，判断数据中心服务器中是否存储所请求的设备数据，若数据中心服务器20存储了所请求的设备数据，则进行步骤305；否则，进行步骤304。

步骤304，数据中心服务器从设备服务端接收请求的设备数据，并存储。

步骤305，数据中心服务器将所请求的设备数据发送至远程终端。

步骤306，远程终端对该设备数据进行分析处理，并将分析处理结果通过操作界面显示。

本实施例与第一实施例进行数据查询的区别在于，本实施例中远程终端所接收的输入信号为数据分析指令，如远程终端的操作界面上显示“数据分析”按钮，由使用者点选该按钮并输入要进行分析的设备数据，或操作界面上显示“数据分析按钮”以及要分析的数据选项由使用者选择，从而发出数据分析指令。远程终端通过操作界面接收该数据分析指令。之后当远程终端获取要进行分析的设备数据后，会对该设备数据分析处理，如生成相应的图表，供使用者参考。

第三实施例工艺数据编辑

图4为本实施例的分布式管理系统进行工艺数据编辑的流程图。请参考图4，该方法包括：

步骤401，通过远程终端接收工艺数据的编辑信息。具体来说，本实施例中输入信号为工艺数据的编辑信息，使用者在远程终端的操作界面上进行工艺数据的编辑，远程终端则通过该操作界面接收该编辑信息。

步骤402，通过远程终端发送该编辑信息至数据中心服务器。需要注意的是，工艺数据的编辑信息并不在远程终端中保存，数据流直接传输到数据中心服务器上。

步骤403，通过数据中心服务器发送该编辑信息至设备服务端。较佳的，数据中心服务器先将该编辑信息作为一个独立的工艺数据的版本保存，然后再将编辑信息传输至设备服务端。较佳的，数据中心服务器同时保留编辑前的工艺数据，因此工艺数据的各个版本都会保存在数据中心服务器中。

步骤404，设备服务端根据该编辑信息对各设备进行工艺数据的编辑，供各设备使用。

在本实施例中，虽然使用者是在远程终端的操作界面上进行工艺数据的编辑和管理，但能够实现与直接在设备上的操作完全一致。

在本实施例中，可由远程终端的操作界面直接显示工艺数据的空白编辑界面，由使用者直接输入编辑信息，创建新的工艺数据；也可由使用者先发送数据查询指令，查询当前各设备的工艺数据并在该操作界面上显示当前工艺数据的可编辑界面，由使用者在此可编辑界面上进行工艺数据的编辑，对原工艺数据进行修改。

第四实施例工艺数据删除

图5为本实施例的分布式管理系统进行工艺数据删除的流程图。请参考图5，该方法包括：

步骤501，通过远程终端接收工艺数据的删除指令。具体来说，本实施例中输入信号为工艺数据删除指令，远程终端通过操作界面接收该指令。

步骤502，通过远程终端发送该删除指令至数据中心服务器。

步骤503，通过数据中心服务器发送该删除指令至设备服务端。较佳的，数据中心服务器保留该删除指令所针对的工艺数据，工艺数据的各个版本都会保存在数据中心服务器中。

步骤504，设备服务端根据该删除指令对各设备进行工艺数据的删除。

与第四实施例类似，本实施例中可由远程终端的操作界面直接显示工艺数据的删除按钮，由使用者选择该按钮并输入要删除的工艺数据种类；也可由操作界面显示删除按钮以及要删除的工艺种类选项供使用者选择；也可由使用者先发送数据查询指令，查询当前各设备的某一工艺数据并在该操作界面上显示当前工艺数据的可编辑界面，由使用者在此可编辑界面上进行工艺数据的删除。虽然使用者是在远程终端的操作界面上进行工艺数据的删除，但能够实现与直接在设备上的操作完全一致。

第五实施例工艺数据的管理

如前所述，当通过远程终端对工艺数据进行编辑或删除后，数据中心服务器仍然保留了工艺数据编辑前的版本或删除指令所针对的版本，因此仍可对工艺数据的各个版本进行管理。例如当想要将工艺数据恢复到编辑之前或删除之前的版本，远程终端只需发出数据指令（如还原指令）就能够从数据中心服务器快速调取所需的工艺数据的版本并将其发送至设备服务端，设备服务端接收该编辑前或删除前的版本以对各设备的工艺数据还原。而例如当想要删除某一个工艺数据的所有版本时，远程终端发出数据指令（如管理删除指令），由此存储在数据中心服务器上的该工艺数据的所有版本都将被删除，不会再发送至设备服务端供各设备使用。

第六实施例数据备份与还原

在本实施中，数据中心服务器包括一存储区，例如非易失性存储器，用于备份数据中心服务器所存储的数据。数据中心服务器可定期通过该非易失性存储器进行数据备份，或在每一次存储数据时顺势备份一份到该非易失性存储器，或者接收来自远程终端的“备份”的指令数据而将特定数据备份至该非易失性存储器。当数据中心服务器因故障或意外造成数据丢失时，可从非易失性存储器中将数据还原。

综上所述，本发明的半导体工厂设备分布式管理系统，通过数据中心服务器与设备服务端以及远程终端之间的数据交互，能够辅助使用者对半导体工厂中的各个设备进行远程托管，如可实现半导体工厂中各设备工艺数据的管理，设备数据的保存和恢复，以及设备数据的远程查询和分析等功能。

虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述诸多实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。

Claims (12)

1.一种半导体工厂设备的分布式管理系统，其特征在于，包括设备服务端，数据中心服务器以及远程终端，其中，

所述设备服务端与所述半导体工厂内的各设备进行数据交互；

所述数据中心服务器与所述设备服务端和所述远程终端相连，并进行数据交互；

所述远程终端通过所述数据中心服务器获取所述各设备的设备数据以及对所述各设备进行设备数据管理。

2.根据权利要求1所述的分布式管理系统，其特征在于，所述数据中心服务器接收所述设备服务端传输的所述半导体工厂内各设备的设备数据，并对该设备数据进行存储。

3.根据权利要求2所述的分布式管理系统，其特征在于，所述远程终端提供一显示界面，用于接收输入信号以及显示其接收的所述设备数据。

4.根据权利要求3所述的分布式管理系统，其特征在于，所述远程终端根据该输入信号向所述数据中心服务器发出设备数据获取请求，当所述数据中心服务器存储其请求的所述设备数据时，传输该设备数据至所述远程终端，当所述数据中心服务器未存储其请求的所述设备数据时，从所述设备服务端获取该设备数据后存储并传输至所述远程终端。

5.根据权利要求4所述的分布式管理系统，其特征在于，所述输入信号为数据查询指令。

6.根据权利要求4所述的分布式管理系统，其特征在于，所述输入信号为数据分析指令，所述远程终端接收请求获取的所述设备数据后对该设备数据进行分析处理并通过所述显示界面显示分析处理结果。

7.根据权利要求1所述的分布式管理系统，其特征在于，所述设备数据包括工艺数据，所述远程终端通过操作界面接收一工艺数据的编辑信息，并将该编辑信息传输至所述数据中心服务器，由其输出至所述设备服务端以对所述各设备进行工艺数据的编辑。

8.根据权利要求7所述的分布式管理系统，其特征在于，所述数据中心服务器存储该工艺数据的编辑信息。

9.根据权利要求1所述的分布式管理系统，其特征在于，所述设备数据包括工艺数据，所述远程终端通过操作界面接收一工艺数据的删除指令，并将该删除指令传输至所述数据中心服务器，由其输出至所述设备服务端以对所述各设备进行工艺数据的删除。

10.根据权利要求9所述的分布式管理系统，其特征在于，所述数据中心服务器保留所述删除指令所针对的工艺数据。

11.根据权利要求1所述的分布式管理系统，其特征在于，所述数据中心服务器对其所存储的设备数据制作备份数据。

12.根据权利要求11所述的分布式管理系统，其特征在于，所述数据中心服务器的设备数据丢失时，通过该备份数据还原。

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